JPS5966041A - パルスｘ線発生装置 - Google Patents
パルスｘ線発生装置Info
- Publication number
- JPS5966041A JPS5966041A JP17672282A JP17672282A JPS5966041A JP S5966041 A JPS5966041 A JP S5966041A JP 17672282 A JP17672282 A JP 17672282A JP 17672282 A JP17672282 A JP 17672282A JP S5966041 A JPS5966041 A JP S5966041A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coaxial line
- ray
- anode
- target
- conductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/22—X-ray tubes specially designed for passing a very high current for a very short time, e.g. for flash operation
Landscapes
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は被検体のＸ線結晶解析及び非破壊検査に使用さ
れるパルスＸ線発生装置に関する。
れるパルスＸ線発生装置に関する。
従来のＸ線発生装置はガラス容器内に陰極とこれに対向
する部分にターゲットを有するＩＩＪ！極とを収設し、
容器内を高真空に封じて構成したＸ線発生部と、陽極と
陰極間に直流高圧を印加すると同時に陰極を加熱するた
めの電源部とよりなシ、陽極と１へ極間に印加した直流
高圧によって陰極の加熱によ多発生した熱電子を加速し
、ターゲットに＃欠させることによｐＸ線′／を発生す
るものである。
する部分にターゲットを有するＩＩＪ！極とを収設し、
容器内を高真空に封じて構成したＸ線発生部と、陽極と
陰極間に直流高圧を印加すると同時に陰極を加熱するた
めの電源部とよりなシ、陽極と１へ極間に印加した直流
高圧によって陰極の加熱によ多発生した熱電子を加速し
、ターゲットに＃欠させることによｐＸ線′／を発生す
るものである。
このような従来のｘＩｍ発生装置は、中連続したＸ線が
発生し＼大強度、短パルスのＸ線な＠生させることがで
きないためＸ線の照射時間が長くなシ、被検体のＸ線結
晶解析及び非破壊検査において長時間照射の制約から静
止１１羨のみ１１！＋ることしかできず、例えば相！舐
移等における結晶構造の１時間変化を連続的に蜆祭する
ことができない。■Ｘ線発生部は熱電子放出現象全利用
しておシ、陰極が比較的大形で、容器外部での高圧絶縁
が必咬であるため大形になり、かつｒｆｆ、源部も直流
高圧と陰極加熱用の磁圧を得るため＼大形になるので装
置全体が大形になる。■高真便ガラス容器を使用してい
るため機械的＃撃に弱く取吸いに注意を払わねばならず
、かつ不必要な部分へのＸ１腺照射を防止できない。■
Ｘ線発生部が大形であシ、しかも電源部が一体になって
いるので、特に被検体が複雑な形状である場合、必要な
観測部分−・の取付けが極めて困難になる等の欠点があ
る。
発生し＼大強度、短パルスのＸ線な＠生させることがで
きないためＸ線の照射時間が長くなシ、被検体のＸ線結
晶解析及び非破壊検査において長時間照射の制約から静
止１１羨のみ１１！＋ることしかできず、例えば相！舐
移等における結晶構造の１時間変化を連続的に蜆祭する
ことができない。■Ｘ線発生部は熱電子放出現象全利用
しておシ、陰極が比較的大形で、容器外部での高圧絶縁
が必咬であるため大形になり、かつｒｆｆ、源部も直流
高圧と陰極加熱用の磁圧を得るため＼大形になるので装
置全体が大形になる。■高真便ガラス容器を使用してい
るため機械的＃撃に弱く取吸いに注意を払わねばならず
、かつ不必要な部分へのＸ１腺照射を防止できない。■
Ｘ線発生部が大形であシ、しかも電源部が一体になって
いるので、特に被検体が複雑な形状である場合、必要な
観測部分−・の取付けが極めて困難になる等の欠点があ
る。
本発明は上記の欠点を解消することを目的としたもので
あって、以下図１倉１によってその一実施例を説明する
。
あって、以下図１倉１によってその一実施例を説明する
。
本発明においては、第１図〜第３図に示すようにターゲ
ット１を中心部に設けた陽極２を管体３の内面に一体に
収設して容器４（ｉ−形成し、この容器４の陽極２に電
子放出用同軸線５の外部導体５ａを冷陰極となるこの螺
子放出相同ＱＱＩｌｓ５の中心導体５ｂがターゲット１
に対向するよう接続し、容器４の側方部にターゲット１
よシ放出されるＸ線を取出すだめのＸ線取出窓６を設け
、容器４内にガスを封入してｘｉ発生部’ｉｆｃ構成す
ると共に、高圧パルス発生用同軸線８と、この高圧パル
ス発生用同軸線８の外部導体８ａと中心導体８ｂ間に形
成される靜電答ｎを充電するための直流１ヒ源９とよシ
高圧パルス電源部１０ｒ構成し、高圧パルス発生用同軸
線８と′成子放出用量ＩＩｔＩ］線５との間を開閉手段
１１を介して接続せしめてなる。な訃、１２は電源スィ
ッチである。
ット１を中心部に設けた陽極２を管体３の内面に一体に
収設して容器４（ｉ−形成し、この容器４の陽極２に電
子放出用同軸線５の外部導体５ａを冷陰極となるこの螺
子放出相同ＱＱＩｌｓ５の中心導体５ｂがターゲット１
に対向するよう接続し、容器４の側方部にターゲット１
よシ放出されるＸ線を取出すだめのＸ線取出窓６を設け
、容器４内にガスを封入してｘｉ発生部’ｉｆｃ構成す
ると共に、高圧パルス発生用同軸線８と、この高圧パル
ス発生用同軸線８の外部導体８ａと中心導体８ｂ間に形
成される靜電答ｎを充電するための直流１ヒ源９とよシ
高圧パルス電源部１０ｒ構成し、高圧パルス発生用同軸
線８と′成子放出用量ＩＩｔＩ］線５との間を開閉手段
１１を介して接続せしめてなる。な訃、１２は電源スィ
ッチである。
電子放出用同軸線５及び高圧パルス発生用同軸線８とし
ては同軸ケーブル、同軸コード等を使用することができ
る。Ｘ線取出窓６としてはＸ線を透過スるベリリウム、
アルミニウム等の金属消（１０μ程度）を使用すること
ができる。ガスとしてはヘリウム、アルゴン等の不活比
カスを１吏用することができる。開閉手段１１としＣは
手動スイッチ、リレー接点及び高気圧ギャン７“、半導
体スイッチ等を使用することができる。
ては同軸ケーブル、同軸コード等を使用することができ
る。Ｘ線取出窓６としてはＸ線を透過スるベリリウム、
アルミニウム等の金属消（１０μ程度）を使用すること
ができる。ガスとしてはヘリウム、アルゴン等の不活比
カスを１吏用することができる。開閉手段１１としＣは
手動スイッチ、リレー接点及び高気圧ギャン７“、半導
体スイッチ等を使用することができる。
本発明は上記のような構成であるから、１電源スイッチ
１２を閉じると、直流心源９によりｆ６圧パルス発生用
同軸線８の外部導体８ａと中心導体８ｂ間に形成される
０岨容量に岨竹が充電される。しかる後、開閉手段」１
を閉じると、靜嵯容崖の充′隠電圧が高圧パルス発生用
同１１’ｌｌｌ緋８の外部導体８ａに頂１子放出用同軸
線５の外部導体５ａを介して接続した陽極２と、パルス
発生用同軸線８の中心導体８ｂに接続した電子放出用同
軸線５の中心導体５ｂとの間に印加されるｅ ’ｔＷ−
子放出用同軸線５の中心導体５ｂを冷陰極とし、陽極２
との間に印加された充′ｌ＋１電圧による′【４界によ
シ中心導体５ｂの先端より多量の「ｄ子ビームが放出さ
れる。
１２を閉じると、直流心源９によりｆ６圧パルス発生用
同軸線８の外部導体８ａと中心導体８ｂ間に形成される
０岨容量に岨竹が充電される。しかる後、開閉手段」１
を閉じると、靜嵯容崖の充′隠電圧が高圧パルス発生用
同１１’ｌｌｌ緋８の外部導体８ａに頂１子放出用同軸
線５の外部導体５ａを介して接続した陽極２と、パルス
発生用同軸線８の中心導体８ｂに接続した電子放出用同
軸線５の中心導体５ｂとの間に印加されるｅ ’ｔＷ−
子放出用同軸線５の中心導体５ｂを冷陰極とし、陽極２
との間に印加された充′ｌ＋１電圧による′【４界によ
シ中心導体５ｂの先端より多量の「ｄ子ビームが放出さ
れる。
Ｘ線発生部７のインピーダンスは容器４内にガスが封入
されているので低く、低インピーダンスの高圧パルス発
生用同軸線８と整合し“Ｃいるので、ＫＪ’放出用回＋
ｉｌ＋線５の中心導体５ｂの先端よシ多臘の１電子ビー
ム（数十ＫＶ〜数灯ＫＶ、数ＫＡ以上、パルス幅１０ｎ
ｓ以」二）が得られるものである。
されているので低く、低インピーダンスの高圧パルス発
生用同軸線８と整合し“Ｃいるので、ＫＪ’放出用回＋
ｉｌ＋線５の中心導体５ｂの先端よシ多臘の１電子ビー
ム（数十ＫＶ〜数灯ＫＶ、数ＫＡ以上、パルス幅１０ｎ
ｓ以」二）が得られるものである。
この多量の電子ビームはターゲラ）ｌに＃矢し、単発の
大旭匿短パルスＸ線を発生させ゛る。開閉手段１１の開
閉を高運ｊ灰で、−収えぜば、高繰返しの大強度短パル
スＸ線を発生させることができる。
大旭匿短パルスＸ線を発生させ゛る。開閉手段１１の開
閉を高運ｊ灰で、−収えぜば、高繰返しの大強度短パル
スＸ線を発生させることができる。
本発明によるパルスｘ線発生装置にょシ得られるＸａは
、発生するｘ＃！の性質上、かつ装置葭の構造上、比較
的低エネルギー直載（１４Ｌ子ビームエネルギーとして
数＋ＫｅＶ〜数１ＫｅＶ）の単発または高繰返しくｌ０
０ｐ／Ｂ以上）の大強度（電子ビーム電流として数ＫＡ
−数十ＫＡ）、短パルス（パルス幅数ｎ８〜数巨ｎ８）
のＸ線である。
、発生するｘ＃！の性質上、かつ装置葭の構造上、比較
的低エネルギー直載（１４Ｌ子ビームエネルギーとして
数＋ＫｅＶ〜数１ＫｅＶ）の単発または高繰返しくｌ０
０ｐ／Ｂ以上）の大強度（電子ビーム電流として数ＫＡ
−数十ＫＡ）、短パルス（パルス幅数ｎ８〜数巨ｎ８）
のＸ線である。
−ヒ述のように本発明によれば、■大強度短パルスのＸ
線を発生させ、ｘｉ取出窓６より取出すことができるの
で、Ｘ線の照射時間を短縮することができ、被検体のＸ
線結晶解析及び非破壊検査において静止摩を得ることが
できるばかシでなく、例えばＸ線結晶解析における結晶
構潰の時間変化を光の場合のストロボ写真のように１つ
のパルス幅を時間の単位として連続的にｍ ？１ｌｌＪ
することができる。これは相転移に代表される＄ｔｆｆ
ｉ変化の不連続部分を解明する。Ｘ線解析による有力な
手段として期待できる。■ＸＸ線発生部は電界放出現象
を利用してお勺、冷陰極が螺子放出相同＋＋ｌ＋ 巌５
で比較的小形で、容器外部での高圧絶、襟も不要である
ため悼小形になシ、かつ電源部１０も直流電＃９と高圧
パルス発生用同軸！８よシなるためへ小形になるので、
装置全体を小形にできる。■ＸＩＭ発生部７の容器４は
陽極２と管体３を一体にした構漬になっておシ、金属で
被われているので、機械内向’＋ｊ＜に極めて強く、取
扱いが容易であυ、かつα体３としてＸＮＵを遮蔽する
黒鉛等の金属を用いれば不必要な部分へのＸ線照射を防
止できる。■Ｘ線発生部７が小形でありｓ１源部用との
接続が”Ｊ 浦１生の成子放出用四囲１線５にニジなさ
れているので、特に被検体が複雑な形状でめってもどの
ような位＋＆にあってもＸ線発生部７の容器４を８要な
観測部分に極めて容易に取付けることができる等の効果
を奏する。
線を発生させ、ｘｉ取出窓６より取出すことができるの
で、Ｘ線の照射時間を短縮することができ、被検体のＸ
線結晶解析及び非破壊検査において静止摩を得ることが
できるばかシでなく、例えばＸ線結晶解析における結晶
構潰の時間変化を光の場合のストロボ写真のように１つ
のパルス幅を時間の単位として連続的にｍ ？１ｌｌＪ
することができる。これは相転移に代表される＄ｔｆｆ
ｉ変化の不連続部分を解明する。Ｘ線解析による有力な
手段として期待できる。■ＸＸ線発生部は電界放出現象
を利用してお勺、冷陰極が螺子放出相同＋＋ｌ＋ 巌５
で比較的小形で、容器外部での高圧絶、襟も不要である
ため悼小形になシ、かつ電源部１０も直流電＃９と高圧
パルス発生用同軸！８よシなるためへ小形になるので、
装置全体を小形にできる。■ＸＩＭ発生部７の容器４は
陽極２と管体３を一体にした構漬になっておシ、金属で
被われているので、機械内向’＋ｊ＜に極めて強く、取
扱いが容易であυ、かつα体３としてＸＮＵを遮蔽する
黒鉛等の金属を用いれば不必要な部分へのＸ線照射を防
止できる。■Ｘ線発生部７が小形でありｓ１源部用との
接続が”Ｊ 浦１生の成子放出用四囲１線５にニジなさ
れているので、特に被検体が複雑な形状でめってもどの
ような位＋＆にあってもＸ線発生部７の容器４を８要な
観測部分に極めて容易に取付けることができる等の効果
を奏する。
第１図は本発明装置の一実施例を示す斜視図、第２図は
その回路図、第３図は本発明におけるＸ線発生部の断面
図でめる。 １・・・・・・・・・ターゲット、２・・・・・・・・
・１瀞極、３・・・・・・・・・管体、４・・・・・・
・・・容器、５・・・・・・・・・電子放出用同軸線１
５ａ・・・・・・・・・外部導体、５ｂ・・・・・・・
・・中心導体、６・・・・・・・・・Ｘ線取出窓、７・
・・・・・・−Ｘ線発生部、８・・・・・・・・・高圧
パルス発生用同軸線、８ａ・・・・・・・・・外部導体
、８ｂ・・・・・・・・・中ノ１ノ導体、９・・・・・
・・・・直流亀υば、１０・・・・・・・・・高圧パル
スα源部、１１・・・・・・・・・開閉手段、１２・・
・・・・・・・電源スィッチ。
その回路図、第３図は本発明におけるＸ線発生部の断面
図でめる。 １・・・・・・・・・ターゲット、２・・・・・・・・
・１瀞極、３・・・・・・・・・管体、４・・・・・・
・・・容器、５・・・・・・・・・電子放出用同軸線１
５ａ・・・・・・・・・外部導体、５ｂ・・・・・・・
・・中心導体、６・・・・・・・・・Ｘ線取出窓、７・
・・・・・・−Ｘ線発生部、８・・・・・・・・・高圧
パルス発生用同軸線、８ａ・・・・・・・・・外部導体
、８ｂ・・・・・・・・・中ノ１ノ導体、９・・・・・
・・・・直流亀υば、１０・・・・・・・・・高圧パル
スα源部、１１・・・・・・・・・開閉手段、１２・・
・・・・・・・電源スィッチ。
Claims (1)
- ターゲットを中心部に設けた陽極をｄ体内面に一体に収
設してｄ器を形成し、このｄ器の陽極に゛電子放出用向
１１４Ｉｌ線の外部導体を冷陰極となるこの′成子放出
用量；ｌＱｂ ｒＨの中心導体がターゲットに対向する
よう接続し、容器の側方部にターゲットより放出される
Ｘ線を取出すためのＸ線取出窓を設け、容器内にガスを
封入してＸ線発生部を構成すると共に、高圧パルス発生
用同軸線と、この高圧パルス発生用同軸線の外部導体と
中心導体間に形成される静電容量を充電するだめの直流
電源とよシ高圧パルス′亀源部を構成し、高圧パルス発
生用同軸線と鑞子放出用同軸線との間を開閉手段を介し
て接続せしめてなるパルスＸ線発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17672282A JPS6020865B2 (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | パルスｘ線発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17672282A JPS6020865B2 (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | パルスｘ線発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5966041A true JPS5966041A (ja) | 1984-04-14 |
| JPS6020865B2 JPS6020865B2 (ja) | 1985-05-24 |
Family
ID=16018629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17672282A Expired JPS6020865B2 (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | パルスｘ線発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6020865B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019069686A1 (ja) * | 2017-10-05 | 2019-04-11 | 東レ株式会社 | 構造物の検査装置 |
-
1982
- 1982-10-06 JP JP17672282A patent/JPS6020865B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019069686A1 (ja) * | 2017-10-05 | 2019-04-11 | 東レ株式会社 | 構造物の検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6020865B2 (ja) | 1985-05-24 |
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