JPS606993Y2 - Ｘ線発生装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、Ｘ線発生装置に関する。

Ｘ線の利用分野は、医療、工業、理化学など多岐にわた
っており、Ｘ線発生装置に要求される機能も千差万別で
ある。

この中で、板あるいは膜などの厚さを測定したり測定器
の較正などに利用する分野などでは、Ｘ線のエネルギー
と線量率の変動がそのまま測定あるいは較正の精度に関
係してくる。

このＸ線の線量率などを安定に保つ手段としてＸ線管の
管電圧・管電流を自動制御する手段が知られているが、
Ｘ線管の高電圧側で直接検出することは難しい場合が多
く、通常接地側で検出し、フィードバック制御している
。

しかしながら、Ｘ線管外部の絶縁状態、Ｘ線内壁の電荷
あるいは焦点外電子流の状態が変化すると、これに応じ
て出力Ｘ線量が変動してしまうため、適正な制御が行な
得なくなる。

例えば、絶縁ガスを封入したＸ線発生装置の場合、Ｘ線
管から放出されたＸ線により絶縁ガスが分解し、Ｘ線管
のガラス外壁に付着し沿面のリーク電流が増加し、これ
に対応してＸ線量が変動する。

また、Ｘ線管内部に於てフィラメントより供給される電
子の一部がガラス内壁に帯電したり、焦点以外の陽極部
分に流れたりする。

これらの利用されるＸ線以外の無関係な管内電子流は、
周囲の温度変化あるいはＸ線管内残留ガスなどの挙動で
時間的に変動する性質を持っており、これらの変動によ
り出力Ｘ線量の変動が生じ、Ｘ線管の管電流、管電圧を
適正に制御することができない。

本考案は、このような欠点を除去するものでＸ線管のア
ノードとカソード間に主電子流が通過する孔を有する仕
切板を設けるとともに、この仕切板が電気的に接続され
るＸ線管外壁の一部を金属で構成し、その部分にＸ線放
射窓を設けるとともに接地電位に接続し、主電子流以外
の電子流などがＸ線量などに影響を及ぼさないように構
成されたＸ線発生装置を提供しようとするものである。

以下、本考案の一実施例につき第１図を参照して説明す
る。

１０は内部にＦＳ６ガス１１が封入された筐体で、Ｘ線
管１２及び図示しない高圧トランスが収納されている。

このＸ線管１２の対向配置されたカソード１３及びアノ
ード１４の間には、支切板１５が設けられている。

この支切板１５は、カソード１３、アノード１４間の主
電子流が通過する位置に孔１６を有する環状に形成され
ている。

また、この支切板１５は、ガラス管壁１７とともにＸ線
管壁を形成する金属リング１８に取着されている。

このリング１８は、Ｘ線管１２のほぼ中央部分に設けら
れ、リード線２０により前記筐体１０に接続されている
。

また、このリング１８は、その一部にＸ線吸収の少ない
ベリリウムなどで形成されたＸ線取出し窓１９を有して
いる。

このＸ線取出し窓１９と対向する前記筐体１０には、透
孔が形成され、その外側には、ベリリウム等の材料によ
り形成された放射窓２１がその透孔を密封するように取
着されている。

この同窓１９．２１間には、ばね性をもつベローズ２２
がルーズニ取着され、完全に他と隔離はされていないが
、一つの空間を形成している。

もちろん、この空間にも他と同様ＳＦ６ガス１１′が存
在している。

このように構成することにより、カソード１３から飛び
出した電子の大半すなわち主電子流は、仕切板１５の孔
１６を通過しアノード１４に達する。

それ以外の電子は、仕切板１５に吸収されるので、ガラ
ス管壁１７に付着する電子は減少する。

したがって、ガラス管壁１７内の帯電によるＸ線量の変
動を少なくすることができる。

なお、支切板１５に吸収される電子の大小は、■側の管
電流信号で制御すればＸ線量に無関係に調整可能となる
。

また、ベローズ２２により形成された空間内のＳＦ６ガ
ス１１′にはアノード１４から放出されたＸ線が照射さ
れ、分解ガスが生皮され、その分解ガスがＸ線取出し窓
１９及びリング１８などに付着するが、このＸ線取出し
窓１９などは接地されているので、絶縁上問題となるこ
とはない。

また、主放射方向以外に放出されたＸ線は、ガラス管壁
１７、リング１８及びＸ線取出し窓１９を通して管外の
ＳＦ６ガス１１に照射されるが、これら部材により相当
吸収されるので、分解分の生皮は少なく押えられる。

なお、この一実施例では絶縁物としてＳＦ６ガス１１を
用いて説明したが、絶縁油などの絶縁物を用いても良い
。

また、Ｘ線管壁をガラス壁として説明したが、例えばセ
ラミック等の絶縁体を用いた管壁のＸ線管に適用できる
事はもちろんである。

また、この一実施例ではＸ線取出し窓１９及び放射窓２
１間にベローズ２２を設けて説明したが、その形状は特
に限定することなくこの間を他と仕切れる形状であれば
良く、さらには、第２図に示すように構成しても良い。

すなわち、この第２図に示した他の実施例は、Ｘ線取出
し窓１９部分に、大気に開放された孔を有するフランジ
２３にその端部が封着されたフード２４を取付けて構成
したものである。

この実施例の特徴は、Ｘ線取出し窓１９及びフード２４
により他の筐体内部から完全に隔離され、大気中の開放
されている点である。

これにより、主放射Ｘ線の通路にＳＦ６ガスが存在しな
い為、ＳＦ６ガス１１が劣化することができない。

本考案は、以上述べた如く、筐体、Ｘ線管管壁間の絶縁
物の劣化を押えることが可能となり、また管壁の一部分
を接地した金属性のリングで構成したので、絶縁上の問
題もなくなり、Ｘ線量の変動を少なくすることができ、
したがって、管電流、管電圧を適正に制御することがで
きるなどの効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は夫々本考案の異なった実施例を説明
する一部切欠き構成図で、図中１５は支切板、１８はリ
ング、２２はベローズテアル。

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. （１）Ｘ線管を絶縁物を封入した筐体内に収納して構成
   したＸ線発生装置において、Ｘ線管のアノード、カソー
   ド間に位置し主電子流通路部分に孔を設けて形成した支
   切板と、この支切板が電気的に接続されるＸ線管の管壁
   の一部を構成し、Ｘ線取出し窓を有するとともに接地電
   位に接続された金属リングと、このリングと前記筐体間
   に取着され、前記Ｘ線取出し窓と前記筐体に設けられた
   放射窓との間を他の筐体内空間と区分する部材とを具備
   したことを特徴とするＸ線発生装置。
2. （２）部材が、筐体の他の空間に存在する絶縁物の流通
   を妨げることなくＸ線取出し窓と放射窓との間を他から
   区分するベローズで構成されたことを特徴とする実用新
   案登録請求の範囲第（１）項記載のＸ線発生装置。
3. （３）部材が、筐体とリングとの間に封着され、筐体の
   絶縁物の流出を防止し、かつその空間を大気中に開放す
   ることに構成された実用新案登録請求の範囲第（１）項
   記載のＸ線発生装置。