WO2019051957A1 - 一种涂布机喷头的清洗装置及清洗方法 - Google Patents

一种涂布机喷头的清洗装置及清洗方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2019051957A1
WO2019051957A1 PCT/CN2017/109105 CN2017109105W WO2019051957A1 WO 2019051957 A1 WO2019051957 A1 WO 2019051957A1 CN 2017109105 W CN2017109105 W CN 2017109105W WO 2019051957 A1 WO2019051957 A1 WO 2019051957A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
nozzle
cleaning
valve
cleaning agent
cleaned
Prior art date
Application number
PCT/CN2017/109105
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
赵凯
Original Assignee
深圳市华星光电技术有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 深圳市华星光电技术有限公司 filed Critical 深圳市华星光电技术有限公司
Priority to US15/574,245 priority Critical patent/US20190076892A1/en
Publication of WO2019051957A1 publication Critical patent/WO2019051957A1/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
    • B05B15/50—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter
    • B05B15/55—Arrangements for cleaning; Arrangements for preventing deposits, drying-out or blockage; Arrangements for detecting improper discharge caused by the presence of foreign matter using cleaning fluids

Definitions

  • the invention relates to the technical field of optical processes, in particular to a cleaning device and a cleaning method for a coating machine nozzle.
  • the alignment liquid of the liquid crystal panel needs to be transported to the printing nozzle, and then the alignment liquid is printed on the substrate through the printing nozzle, and after baking, it becomes an alignment film, which can provide a pretilt angle to the liquid crystal molecules. Therefore, the uniformity of the rotation direction of the liquid crystal molecules is better, and the nozzle has a small hole diameter and is prone to blockage due to the high precision of the nozzle. Therefore, the cleaning degree of the coater nozzle will directly affect the yield of the product.
  • the embodiment of the invention provides a cleaning device and a cleaning method for a coating machine nozzle, which can solve the problem of clogging of the coating machine nozzle and improve the cleaning efficiency of the coating machine nozzle.
  • An embodiment of the present invention provides a cleaning device for a coating machine nozzle, comprising: a nozzle to be cleaned, a first pipeline for supplying an alignment liquid to the nozzle to be cleaned, and a cleaning agent for supplying the nozzle to be cleaned a second pipeline and a waste liquid collection tank, wherein the first pipeline is provided with a first valve, the second pipeline is provided with a high pressure pump and a second valve, the first valve is in an open state, and the second valve is In a closed state, the waste liquid collection tank is disposed on an output side of the nozzle to be cleaned, and the waste liquid collection tank is provided with a protective cover, wherein the cleaning device includes four execution states, and the four executions The state is sequentially executed.
  • the first valve When in the first execution state, the first valve is closed, and the aligning liquid flowing into the nozzle is disconnected.
  • the second execution state When in the second execution state, the first valve is closed, the second valve is closed, and the second valve is closed.
  • the protective cover of the liquid collecting tank is embedded with the nozzle to prevent splashing of waste liquid.
  • the first valve When in the third execution state, the first valve is closed, the second valve is opened, and the cleaning nozzle is used for cleaning. Washing and turning on the high pressure pump to pressurize the cleaning agent.
  • the fourth execution state the first valve is closed, the second valve is closed, and the high pressure pump is in a non-operating state, and the cleaning agent flowing into the nozzle is disconnected.
  • the cleaning agent is N-methylpyrrolidone.
  • the embodiment of the invention further provides a cleaning device for a coating machine nozzle, comprising a nozzle to be cleaned, a first pipeline for providing an alignment liquid to the nozzle to be cleaned, and a cleaning agent for the nozzle to be cleaned.
  • a second pipeline and a waste liquid collection tank wherein the first pipeline is provided with a first valve, the second pipeline is provided with a high pressure pump and a second valve, and the waste liquid collection tank is disposed at the to-be-cleaned a discharge side of the nozzle, a waste cover is disposed on the waste liquid collection tank, wherein the cleaning device includes four execution states, and the four execution states are sequentially executed, and when in the first execution state, the nozzle is flowed into the nozzle
  • the alignment liquid is disconnected, and when in the second execution state, the protective cover of the waste liquid collection tank is embedded with the spray head to prevent the waste liquid from splashing, and when in the third execution state, the cleaning agent is used for cleaning.
  • the nozzle is cleaned, and the high pressure pump is turned on to
  • the embodiment of the invention further provides a cleaning method for a coating machine nozzle, comprising a nozzle, a first pipeline for providing an alignment liquid to the nozzle, a second pipeline for supplying the cleaning agent to the nozzle, and a second tube a high pressure pump that pressurizes the road and a waste collection tank;
  • the second line that supplies the cleaning agent to the nozzle is disconnected.
  • the cleaning device and the cleaning method of the coating machine nozzle provided by the invention provide a cleaning agent and a supporting boosting pump to pressurize the cleaning agent of the second pipeline by using the second pipeline, and perform the coating nozzle Cleaning, under the premise of cost saving, strengthens the cleaning effect and greatly improves the cleaning efficiency of the coating machine nozzle.
  • FIG. 1 is a schematic structural view of a cleaning device for a coating machine head according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is another schematic structural view of a cleaning device for a coating machine nozzle according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a schematic flow chart of a cleaning method of a coating machine nozzle provided by an embodiment of the present invention.
  • connection In the description of the present invention, it should be noted that the terms “installation”, “connected”, and “connected” are to be understood broadly, and may be fixed or detachable, for example, unless otherwise explicitly defined and defined. Connected, or integrally connected; may be mechanically connected, may be electrically connected or may communicate with each other; may be directly connected, or may be indirectly connected through an intermediate medium, may be internal communication of two elements or interaction of two elements relationship.
  • Connected, or integrally connected may be mechanically connected, may be electrically connected or may communicate with each other; may be directly connected, or may be indirectly connected through an intermediate medium, may be internal communication of two elements or interaction of two elements relationship.
  • the specific meanings of the above terms in the present invention can be understood on a case-by-case basis.
  • first feature "on” or “under” the second feature may include direct contact of the first and second features, and may also include that the first and second features are not in direct contact. Instead, it is contacted by additional features between them.
  • first feature “above”, “above” and “above” the second feature includes the first feature directly above and above the second feature, or merely indicating that the first feature level is higher than the second feature.
  • the first feature “below”, “below” and “below” the second feature includes the first feature directly below and below the second feature, or merely the first feature level being less than the second feature.
  • the cleaning device of the coating machine nozzle of the present embodiment includes a nozzle 101 to be cleaned, an alignment liquid temporary storage tank 102, and The head 101 to be cleaned provides a first line 103 of an alignment liquid (PI liquid), a detergent temporary storage tank 104, a second line 105 for supplying a cleaning agent to the head 101 to be cleaned, and waste collection Slot 106.
  • PI liquid alignment liquid
  • a detergent temporary storage tank 104 a detergent temporary storage tank 104
  • second line 105 for supplying a cleaning agent to the head 101 to be cleaned
  • waste collection Slot 106 waste collection Slot
  • the first pipe 103 is provided with a first valve 1031.
  • One end of the first pipe 103 is connected to the alignment liquid temporary storage tank 102, and the other end is connected to the nozzle 101 to be cleaned.
  • the first valve 1031 is disposed between the alignment liquid temporary storage tank 102 and the spray head 101 to be cleaned.
  • the first valve 1031 is in an open state by default.
  • the second line 105 is provided with a second valve 1051 and a high pressure pump 1052.
  • One end of the second pipeline 105 is connected to the cleaning agent temporary storage tank 104, and the other end is connected to the shower head 101 to be cleaned.
  • the second valve 1051 and the high pressure pump 1052 are disposed between the detergent temporary storage tank 104 and the shower head 101 to be cleaned.
  • the second valve 1051 is in a closed state by default.
  • the waste liquid collection tank 106 is disposed on the output side of the head 101 to be cleaned for receiving the waste liquid discharged from the head 101 to be cleaned.
  • the waste liquid collection tank 106 includes a shield 1061.
  • the cleaning device includes four execution states, and the four execution states are sequentially executed.
  • the first valve 1031 When in the first execution state, the first valve 1031 is closed, and the alignment liquid flowing into the nozzle is disconnected.
  • the protective cover 1061 of the waste liquid collection tank 106 is embedded with the spray head 101 to prevent splashing of waste liquid.
  • the second valve 1051 When in the third execution state, the second valve 1051 is opened and treated with a cleaning agent.
  • the cleaning nozzle 101 is cleaned, and the high pressure pump 1052 starts to operate to pressurize the cleaning agent.
  • the second valve 1041 When in the fourth execution state, the second valve 1041 is closed to disconnect the cleaning agent flowing into the nozzle.
  • the cleaning agent can be NMP (N-methylpyrrolidone).
  • the cleaning device 100 further includes a control circuit coupled to the high pressure pump 1052 for controlling the operation of the high pressure pump.
  • the two ends of the nozzle 101 to be cleaned are respectively provided with a groove 1011, and the protective cover 1061 at both ends of the waste liquid collecting tank 106 is provided with a corresponding groove 1011. Raised 1062.
  • the protrusions 1062 on the protective cover 1061 at both ends of the waste liquid collection tank 106 can be correspondingly embedded in the nozzle 101 to be cleaned, and the protective cover 1061 of the waste liquid collection tank 106 can be realized.
  • the nozzle 101 is embedded to prevent splashing of waste droplets.
  • FIG. 3 is a schematic flow chart of a cleaning method of a coating machine nozzle according to an embodiment of the present invention.
  • the cleaning method of the coater nozzle is applied to a cleaning device of a coater nozzle.
  • the invention comprises a spray head, a first pipeline for providing an alignment liquid to the spray head, a second pipeline for supplying the cleaning agent to the spray nozzle, a high pressure pump for pressurizing the second pipeline, and a waste liquid collection tank.
  • the method includes:
  • step S101 when it is detected that the head is in a blocked state, the first line that supplies the alignment liquid to the head is disconnected.
  • step S102 the waste liquid collection tank and the spray head are embedded to prevent the waste liquid from splashing.
  • a protective cover may be disposed on the waste liquid collection tank, and after the first pipeline that supplies the alignment liquid to the nozzle is disconnected, the protective cover and the nozzle are embedded to prevent waste droplets. splash.
  • step S103 the cleaning nozzle to be cleaned is cleaned using the cleaning agent provided by the second conduit, and the high pressure pump is turned on to pressurize the cleaning agent in the second conduit.
  • the cleaning agent may be N-methylpyrrolidone, which is a low molecular material washing solvent. Controlling the opening of the valve on the second pipeline, cleaning the nozzle to be cleaned by the cleaning agent provided by the second pipeline, and simultaneously opening the high pressure pump through the control circuit, and the high pressure pump continuously pressurizing the cleaning agent in the second pipeline. Increase the flow rate of the cleaning agent and the flushing force to better clean the nozzles to be cleaned.
  • step S104 after the cleaning agent is cleaned, the second line that supplies the cleaning agent to the nozzle is disconnected.
  • the method further includes: opening the first pipeline that supplies the alignment liquid to the nozzle; The waste liquid collection tank is separated from the spray head when the spray head is not in a blocked state. When it is detected that the nozzle is still in a blocked state, the flow of the cleaning method of the coater nozzle is continued until the detection of the nozzle is not in a blocked state.
  • the cleaning method of the coating machine nozzle provided by the embodiment provides a pressurizing agent for the second pipeline by using the second pipeline to provide the cleaning agent and the auxiliary boosting pump, and the coating machine
  • the nozzle is cleaned, and under the premise of cost saving, the cleaning effect is enhanced, and the cleaning efficiency of the coating machine nozzle is greatly improved.

Landscapes

  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Details Or Accessories Of Spraying Plant Or Apparatus (AREA)

Abstract

一种涂布机喷头的清洗装置，包括：待清洗的喷头（101）、配向液暂存罐（102）、向喷头（101）提供配向液的第一管路（103）、清洗剂暂存罐（104）、向喷头（101）提供清洗剂的第二管路（105）、以及废液收集槽（106）。以及一种涂布机喷头的清洗方法，当检测到喷头（101）处于堵塞状态时，将第一管路（103）断开，将废液收集槽（106）与喷头（101）进行嵌设，使用第二管路（105）提供的清洗剂对喷头（101）进行清洗，清洗完毕后，将第二管路（105）断开。

Description

一种涂布机喷头的清洗装置及清洗方法 技术领域
本发明涉及光学工艺技术领域，尤其涉及一种涂布机喷头的清洗装置及清洗方法。
 背景技术
在液晶面板的制造过程中，需要将液晶面板的配向液输送至印刷喷头处，再通过印刷喷头将配向液喷印在基板上，经过烘烤后成为配向膜，可以给液晶分子提供一个预倾角，使得液晶分子的旋转方向一致性更好，由于喷头精度要求较高，喷头孔直径较小，容易发生堵塞。因此，涂布机喷头的清洗度将直接影响产品的良率。
现有的涂布机喷头的清洗方法有两种，一种是对配向液加压加大对喷头的冲击力度，这种方法成本较高。另一种是将贮存的配向液排空，换成低分子材料溶剂进行冲洗，这种方法需要进行换液，时间较长，且效率低。
 技术问题
本发明实施例提供一种涂布机喷头的清洗装置及清洗方法，可以解决涂布机喷头堵塞的问题，提高涂布机喷头的清洗效率。
 技术解决方案
本发明实施例提供了一种涂布机喷头的清洗装置，包括待清洗的喷头、向所述待清洗的喷头提供配向液的第一管路、向所述待清洗的喷头提供清洗剂的第二管路以及废液收集槽，所述第一管路上设置有第一阀门，所述第二管路上设置有高压泵以及第二阀门，所述第一阀门处于开启状态，所述第二阀门处于关闭状态，所述废液收集槽设置在所述待清洗的喷头的输出侧，所述废液收集槽上设置有防护罩，其中所述清洗装置包括四种执行状态，所述四种执行状态依次执行，当处于第一执行状态时，所述第一阀门关闭，将流入所述喷头的配向液断开，当处于第二执行状态时，第一阀门关闭，第二阀门关闭，将废液收集槽的防护罩与所述喷头进行嵌设，以防止废液滴溅，当处于第三执行状态时，第一阀门关闭，第二阀门开启，使用清洗剂对待清洗的喷头进行清洗，并开启高压泵对所述清洗剂进行加压，当处于第四执行状态时，第一阀门关闭，第二阀门关闭，高压泵处于非工作状态，将流入所述喷头的清洗剂断开，所述清洗剂为N-甲基吡咯烷酮。
本发明实施例还提供了一种涂布机喷头的清洗装置，包括待清洗的喷头、向所述待清洗的喷头提供配向液的第一管路、向所述待清洗的喷头提供清洗剂的第二管路以及废液收集槽，所述第一管路上设置有第一阀门，所述第二管路上设置有高压泵以及第二阀门，所述废液收集槽设置在所述待清洗的喷头的输出侧，所述废液收集槽上设置有防护罩，其中所述清洗装置包括四种执行状态，所述四种执行状态依次执行，当处于第一执行状态时，将流入所述喷头的配向液断开，当处于第二执行状态时，将废液收集槽的防护罩与所述喷头进行嵌设，以防止废液滴溅，当处于第三执行状态时，使用清洗剂对待清洗的喷头进行清洗，并开启高压泵对所述清洗剂进行加压，当处于第四执行状态时，将流入所述喷头的清洗剂断开。
本发明实施例还提供了一种涂布机喷头的清洗方法，包括喷头、向所述喷头提供配向液的第一管路，向所述喷头提供清洗剂的第二管路、对第二管路进行加压的高压泵以及废液收集槽；
当检测到所述喷头处于堵塞状态时，将向所述喷头提供配向液的第一管路断开；
将废液收集槽与所述喷头进行嵌设，以防止废液滴溅；
使用所述第二管路提供的清洗剂对待清洗的喷头进行清洗，并开启高压泵对所述第二管路中的清洗剂进行加压；
待所述清洗剂清洗完毕后，将向所述喷头提供清洗剂的第二管路断开。
 有益效果
本发明提供的一种涂布机喷头的清洗装置及清洗方法，通过使用第二管路提供清洗剂及配套的增压泵对第二管路的清洗剂进行加压，对涂布机喷头进行清洗，在节省成本的前提下，加强了清洗的效果，极大的提高了涂布机喷头的清洗效率。
 附图说明
图1是本发明实施例提供的涂布机喷头的清洗装置的结构示意图。
图2是本发明实施例提供的涂布机喷头的清洗装置的另一结构示意图。
图3是本发明实施例提供的涂布机喷头的清洗方法的流程示意图。
 本发明的最佳实施方式
请参照附图中的图式，其中相同的组件符号代表相同的组件，本发明的原理是以实施在一适当的环境中来举例说明。以下的说明是基于所示例的本发明的具体实施例，其不应被视为限制本发明未在此详述的其它具体实施例。
本说明书所使用的词语“实施例”意指用作实例、示例或例证。此外，本说明书和所附权利要求中所使用的冠词“一”一般地可以被解释为意指“一个或多个”，除非另外指定或从上下文清楚导向单数形式。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
此外，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
请参阅图1，图1为本发明实施例提供的涂布机喷头的清洗装置的结构示意图，本实施的涂布机喷头的清洗装置包括待清洗的喷头101、配向液暂存罐102、向所述待清洗的喷头101提供配向液（PI液体）的第一管路103、清洗剂暂存罐104、向所述待清洗的喷头101提供清洗剂的第二管路105、以及废液收集槽106。
所述第一管路103上设置有第一阀门1031，所述第一管路103的一端连接所述配向液暂存罐102，另一端连接所述待清洗的喷头101。所述第一阀门1031设置在配向液暂存罐102与所述待清洗的喷头101之间。所述第一阀门1031默认为开启状态。
所述第二管路105上设置有第二阀门1051以及高压泵1052。所述第二管路105的一端连接所述清洗剂暂存罐104，另一端连接所述待清洗的喷头101。所述第二阀门1051以及高压泵1052设置在清洗剂暂存罐104与待清洗的喷头101之间。所述第二阀门1051默认为关闭状态。
所述废液收集槽106设置在所述待清洗的喷头101的输出侧，用于接收待清洗的喷头101排出的废液。所述废液收集槽106包括防护罩1061。
其中，所述清洗装置包括四种执行状态，所述四种执行状态依次执行，当处于第一执行状态时，将第一阀门1031关闭，将流入所述喷头的配向液断开，当处于第二执行状态时，将废液收集槽106的防护罩1061与所述喷头101进行嵌设，以防止废液滴溅，当处于第三执行状态时，将第二阀门1051开启，使用清洗剂对待清洗的喷头101进行清洗，高压泵1052开始工作，以对所述清洗剂进行加压，当处于第四执行状态时，将第二阀门1041关闭，将流入所述喷头的清洗剂断开。在一种实施方式中，所述清洗剂可以为NMP（N-甲基吡咯烷酮）。在一种实施方式中，所述清洗装置100还包括控制电路，所述控制电路与所述高压泵1052连接，用于控制高压泵工作。
在一些可能的实施方式中，如图2所述，所述待清洗的喷头101的两端分别设置有凹槽1011，所述废液收集槽106两端的防护罩1061设置有相应凹槽1011设置的凸起1062。当处于第二执行状态时，可以将废液收集槽106两端的防护罩1061上的凸起1062对应嵌设于待清洗的喷头101中，可以实现废液收集槽106的防护罩1061与所述喷头101的嵌设，以防止废液滴溅。
请参阅图3，图3是本发明实施例提供的涂布机喷头的清洗方法的流程示意图。该涂布机喷头的清洗方法应用于涂布机喷头的清洗装置中。包括喷头、向所述喷头提供配向液的第一管路，向所述喷头提供清洗剂的第二管路、对第二管路进行加压的高压泵以及废液收集槽。
具体而言，该方法包括：
在步骤S101中，当检测到喷头处于堵塞状态时，将向喷头提供配向液的第一管路断开。
其中，当检测到喷头处于堵塞状态时，说明喷头需要进行清洗，控制关闭第一管路上的阀门，将向喷头提供配向液的第一管路断开。
在步骤S102中，将废液收集槽与喷头进行嵌设，以防止废液滴溅。
在一实施方式中，所述废液收集槽上可以设置防护罩，在将向喷头提供配向液的第一管路断开之后，将防护罩与所述喷头进行嵌设，可以防止废液滴溅。
在步骤S103中，使用第二管路提供的清洗剂对待清洗的喷头进行清洗，并开启高压泵对第二管路中的清洗剂进行加压。
其中，所述清洗剂可以为N-甲基吡咯烷酮，为一种低分子材料冲洗溶剂。控制开启第二管路上的阀门，使用第二管路提供的清洗剂对待清洗的喷头进行清洗，并同时通过控制电路开启高压泵，高压泵对第二管路中的清洗剂进行持续加压，增加清洗剂的流速与冲洗力度，进而更好的对待清洗的喷头进行清洗。
在步骤S104中，待清洗剂清洗完毕后，将向喷头提供清洗剂的第二管路断开。
在一实施方式中，在待清洗剂清洗完毕后，将向喷头提供清洗剂的第二管路断开之后，还可以包括：将向所述喷头提供配向液的第一管路开启；当检测到喷头不处于堵塞状态时，将所述废液收集槽与所述喷头分开。当检测到喷头还处于堵塞状态时，继续该涂布机喷头的清洗方法的流程，直至检测到喷头不处于堵塞状态时结束。
由上述可知，本实施例提供的一种涂布机喷头的清洗方法，通过使用第二管路提供清洗剂及配套的增压泵对第二管路的清洗剂进行加压，对涂布机喷头进行清洗，在节省成本的前提下，加强了清洗的效果，极大的提高了涂布机喷头的清洗效率。
尽管已经相对于一个或多个实现方式示出并描述了本发明，但是本领域技术人员基于对本说明书和附图的阅读和理解将会想到等价变型和修改。本发明包括所有这样的修改和变型，并且仅由所附权利要求的范围限制。特别地关于由上述组件执行的各种功能，用于描述这样的组件的术语旨在对应于执行所述组件的指定功能（例如其在功能上是等价的）的任意组件（除非另外指示），即使在结构上与执行本文所示的本说明书的示范性实现方式中的功能的公开结构不等同。此外，尽管本说明书的特定特征已经相对于若干实现方式中的仅一个被公开，但是这种特征可以与如可以对给定或特定应用而言是期望和有利的其他实现方式的一个或多个其他特征组合。而且，就术语“包括”、“具有”、“含有”或其变形被用在具体实施方式或权利要求中而言，这样的术语旨在以与术语“包含”相似的方式包括。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (16)

  1. 一种涂布机喷头的清洗装置，其中，包括待清洗的喷头、向所述待清洗的喷头提供配向液的第一管路、向所述待清洗的喷头提供清洗剂的第二管路以及废液收集槽，所述第一管路上设置有第一阀门，所述第二管路上设置有高压泵以及第二阀门，所述第一阀门处于开启状态，所述第二阀门处于关闭状态，所述废液收集槽设置在所述待清洗的喷头的输出侧，所述废液收集槽上设置有防护罩，其中所述清洗装置包括四种执行状态，所述四种执行状态依次执行，当处于第一执行状态时，所述第一阀门关闭，将流入所述喷头的配向液断开，当处于第二执行状态时，第一阀门关闭，第二阀门关闭，将废液收集槽的防护罩与所述喷头进行嵌设，以防止废液滴溅，当处于第三执行状态时，第一阀门关闭，第二阀门开启，使用清洗剂对待清洗的喷头进行清洗，并开启高压泵对所述清洗剂进行加压，当处于第四执行状态时，第一阀门关闭，第二阀门关闭，高压泵处于非工作状态，将流入所述喷头的清洗剂断开，所述清洗剂为N-甲基吡咯烷酮。
  2. 如权利要求1所述的涂布机喷头的清洗装置，其中，所述装置还包括控制电路，所述控制电路与所述高压泵连接，用于控制高压泵进行工作。
  3. 如权利要求2所述的涂布机喷头的清洗装置，其中，所述装置还包括配向液暂存罐，所述配向液暂存罐与所述第一管路连接。
  4. 如权利要求3所述的涂布机喷头的清洗装置，其中，所述装置还包括清洗剂暂存罐，所述清洗剂暂存罐与所述第二管路连接。
  5. 如权利要求4所述的涂布机喷头的清洗装置，其中，所述高压泵设置在清洗剂暂存罐与第二阀门之间。
  6. 如权利要求1所述的涂布机喷头的清洗装置，其中，所述待清洗的喷头的两端分别设置有凹槽，所述废液收集槽两端的防护罩对应设置有凸起，所述凸起嵌设于所述凹槽中。
  7. 一种涂布机喷头的清洗装置，其中，包括待清洗的喷头、向所述待清洗的喷头提供配向液的第一管路、向所述待清洗的喷头提供清洗剂的第二管路以及废液收集槽，所述第一管路上设置有第一阀门，所述第二管路上设置有高压泵以及第二阀门，所述废液收集槽设置在所述待清洗的喷头的输出侧，所述废液收集槽上设置有防护罩，其中所述清洗装置包括四种执行状态，所述四种执行状态依次执行，当处于第一执行状态时，将流入所述喷头的配向液断开，当处于第二执行状态时，将废液收集槽的防护罩与所述喷头进行嵌设，以防止废液滴溅，当处于第三执行状态时，使用清洗剂对待清洗的喷头进行清洗，并开启高压泵对所述清洗剂进行加压，当处于第四执行状态时，将流入所述喷头的清洗剂断开。
  8. 如权利要求7所述的涂布机喷头的清洗装置，其中，所述第一阀门处于开启状态，所述第二阀门处于关闭状态，当所述清洗装置处于第一执行状态时，第一阀门关闭，当所述清洗装置处于第二执行状态时，第一阀门关闭，第二阀门关闭，废液收集槽的防护罩与所述喷头嵌设，当所述清洗装置处于第三执行状态时，第一阀门关闭，第二阀门开启，高压泵处于工作状态，当所述清洗装置处于第四执行状态时，第一阀门关闭，第二阀门关闭，高压泵处于非工作状态。
  9. 如权利要求8所述的涂布机喷头的清洗装置，其中，所述装置还包括控制电路，所述控制电路与所述高压泵连接，用于控制高压泵进行工作。
  10. 如权利要求9所述的涂布机喷头的清洗装置，其中，所述装置还包括配向液暂存罐，所述配向液暂存罐与所述第一管路连接。
  11. 如权利要求10所述的涂布机喷头的清洗装置，其中，所述装置还包括清洗剂暂存罐，所述清洗剂暂存罐与所述第二管路连接。
  12. 如权利要求11所述的涂布机喷头的清洗装置，其中，所述高压泵设置在清洗剂暂存罐与第二阀门之间。
  13. 如权利要求7所述的涂布机喷头的清洗装置，其中，所述清洗剂为N-甲基吡咯烷酮。
  14. 一种涂布机喷头的清洗方法，其中，包括喷头、向所述喷头提供配向液的第一管路，向所述喷头提供清洗剂的第二管路、对第二管路进行加压的高压泵以及废液收集槽；
    当检测到所述喷头处于堵塞状态时，将向所述喷头提供配向液的第一管路断开；
    将废液收集槽与所述喷头进行嵌设，以防止废液滴溅；
    使用所述第二管路提供的清洗剂对待清洗的喷头进行清洗，并开启高压泵对所述第二管路中的清洗剂进行加压；
    待所述清洗剂清洗完毕后，将向所述喷头提供清洗剂的第二管路断开。
  15. 如权利要求14所述的涂布机喷头的清洗方法，其中，所述清洗剂为N-甲基吡咯烷酮。
  16. 如权利要求15所述的涂布机喷头的清洗方法，其中，所述待所述清洗剂清洗完毕后，将向所述喷头提供清洗剂的第二管路断开之后，还包括：
    将向所述喷头提供配向液的第一管路开启；
    当检测到喷头不处于堵塞状态时，将所述废液收集槽与所述喷头分开。
PCT/CN2017/109105 2017-09-12 2017-11-02 一种涂布机喷头的清洗装置及清洗方法 WO2019051957A1 (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US15/574,245 US20190076892A1 (en) 2017-09-12 2017-11-02 Cleaning apparatus and cleaning method for nozzle of coating machine

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710814959.2A CN107442336A (zh) 2017-09-12 2017-09-12 一种涂布机喷头的清洗装置及清洗方法
CN201710814959.2 2017-09-12

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2019051957A1 true WO2019051957A1 (zh) 2019-03-21

Family

ID=60495420

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/CN2017/109105 WO2019051957A1 (zh) 2017-09-12 2017-11-02 一种涂布机喷头的清洗装置及清洗方法

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN107442336A (zh)
WO (1) WO2019051957A1 (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108655122A (zh) * 2018-04-27 2018-10-16 江苏龙灯化学有限公司 一种植保无人机管路清洗装置
CN110744925A (zh) * 2018-07-24 2020-02-04 宝山钢铁股份有限公司 一种浸润式钢板喷印机喷头清洗装置
CN111774230A (zh) * 2020-07-09 2020-10-16 湖州新意科技有限公司 一种pvc装饰材料生产用颜色喷料装置
CN115921402A (zh) * 2023-02-14 2023-04-07 无锡极电光能科技有限公司 一种涂布清洗系统及其控制方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4416213A (en) * 1981-02-14 1983-11-22 Tazmo Co., Ltd. Rotary coating apparatus
US20030104123A1 (en) * 1998-12-28 2003-06-05 Satoshi Kokubo Slit coating method and method of manufacturing color filter substrate using same
CN1905951A (zh) * 2004-10-12 2007-01-31 凸版印刷株式会社 具有清洗机构的涂覆装置、涂覆装置的清洗方法以及用于涂覆装置的清洗机构
CN102442068A (zh) * 2010-09-30 2012-05-09 北大方正集团有限公司 喷头清洗装置及其工作方法
CN106746717A (zh) * 2017-01-03 2017-05-31 京东方科技集团股份有限公司 一种清洁装置和pi液涂布设备

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3637136A (en) * 1970-03-11 1972-01-25 Epec Systems Corp Spray gun system for slurry
US4443269A (en) * 1979-10-01 1984-04-17 Health Physics Systems, Inc. Tool decontamination method
JP2001129456A (ja) * 1999-11-04 2001-05-15 Sekisui Chem Co Ltd スプレイ塗装装置におけるノズルの洗浄方法及びスプレイ塗装装置
CN1559800A (zh) * 2004-03-09 2005-01-05 健 梁 数码喷印机全自动喷头清洗装置及使用方法
CN101190430B (zh) * 2006-12-01 2012-01-04 比亚迪精密制造有限公司 供漆系统清洗装置及方法
WO2011099547A1 (ja) * 2010-02-12 2011-08-18 本田技研工業株式会社 塗装ガンの洗浄装置および洗浄方法
CN103107090B (zh) * 2011-11-14 2016-04-06 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 制造半导体器件的方法
CN103552381A (zh) * 2013-11-15 2014-02-05 济南优诺思喷印设备有限公司 便于清洗的喷墨装置
CN203780054U (zh) * 2014-02-28 2014-08-20 宝山钢铁股份有限公司 一种全封闭式喷印机喷头清洗废液回收装置
CN104560472A (zh) * 2015-01-29 2015-04-29 安徽通源电力科技有限公司 太阳能光伏电站清洁用清洗剂及其制备方法
CN105062706B (zh) * 2015-08-14 2018-01-09 上海奈拓化工科技有限公司 树脂光学镜片合模用玻璃模具高精度超声清洗剂
CN106808805A (zh) * 2015-11-28 2017-06-09 周利军 打印机墨盒自动清洗系统
CN106076981B (zh) * 2016-06-30 2019-02-01 兰荣 物体表面清洗装置、方法及清洗冰球的制备方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4416213A (en) * 1981-02-14 1983-11-22 Tazmo Co., Ltd. Rotary coating apparatus
US20030104123A1 (en) * 1998-12-28 2003-06-05 Satoshi Kokubo Slit coating method and method of manufacturing color filter substrate using same
CN1905951A (zh) * 2004-10-12 2007-01-31 凸版印刷株式会社 具有清洗机构的涂覆装置、涂覆装置的清洗方法以及用于涂覆装置的清洗机构
CN102442068A (zh) * 2010-09-30 2012-05-09 北大方正集团有限公司 喷头清洗装置及其工作方法
CN106746717A (zh) * 2017-01-03 2017-05-31 京东方科技集团股份有限公司 一种清洁装置和pi液涂布设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN107442336A (zh) 2017-12-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2019051957A1 (zh) 一种涂布机喷头的清洗装置及清洗方法
US20170110344A1 (en) Wet etching apparatus
CN101286445B (zh) 平板显示器的玻璃基底的蚀刻设备和蚀刻玻璃基底的方法
US20070119322A1 (en) Printing system and method for manufacturing liquid crystal display device using the same
KR20000035132A (ko) 처리장치 및 처리방법
JP4215900B2 (ja) ウェット処理用ノズル装置およびウェット処理装置
CN107159602A (zh) 基板清洗设备
WO2014198107A1 (zh) 基板的清洗方法
US20100212826A1 (en) Apparatus and method for washing alignment film printing mask and method for fabricating a liquid crystal display device
US20190076892A1 (en) Cleaning apparatus and cleaning method for nozzle of coating machine
CN100437218C (zh) 基底处理装置
CN100385629C (zh) 半导体晶圆片的清洗方法及其清洗设备
TW200540978A (en) Apparatus and method for process substrate
KR20090070735A (ko) 유체 분사 장치 및 그 세척 방법
CN208928729U (zh) 一种皮带轮电泳清洗装置
KR102274514B1 (ko) 기판처리용 약액 배출장치
US20140158164A1 (en) Cleaning machine, and cleaning method and cleaning system thereof
CN101373341B (zh) 去除边缘光刻胶装置
CN109940516A (zh) 浆料回收系统及其清洁方法
CN217293852U (zh) 一种两用的涂胶复合机
CN207619529U (zh) 一种喷淋蚀刻机
KR100812096B1 (ko) 글라스 식각장치 및 식각방법
CN206160684U (zh) 一种基板的干燥装置
TWI282586B (en) Etching system and de-ion water adding set
CN208873703U (zh) 一种分架式晶圆清洗装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 17924800

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 17924800

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1