WO2018225182A1 - エージング装置 - Google Patents

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WO2018225182A1
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aging
shelf
chamber shelf
rotation
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Inventor
健治 大沼
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シャープ株式会社
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    • G01N17/00—Investigating resistance of materials to the weather, to corrosion, or to light
    • G01N17/004—Investigating resistance of materials to the weather, to corrosion, or to light to light
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    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01N2203/02—Details not specific for a particular testing method
    • G01N2203/022—Environment of the test

Definitions

  • the present invention relates to an aging device.
  • aging may be performed on various stages and various objects. Further, even after the product is completed, the product may be aged.
  • An object of the present invention is to provide an aging device with improved uniformity of temperature distribution in a chamber.
  • An aging apparatus is an aging apparatus that performs aging by arranging a plurality of objects to be aged in a chamber, the chamber being cylindrical, and a chamber shelf disposed inside the chamber.
  • the chamber shelf can be arranged with a plurality of aging objects in the direction of the rotation axis.
  • an aging device with improved uniformity of temperature distribution in the chamber can be provided.
  • FIG. 1 is a diagram showing an outline of an aging device 30 of the present embodiment.
  • the aging device 30 of this embodiment includes a casing 32, a chamber 34, a chamber shelf 36, a rotating unit 40, and a hot air device 60.
  • the housing 32 has a cylindrical shape, and the inside of the housing 32 is a chamber 34.
  • the chamber 34 is provided with a chamber shelf 36.
  • the chamber shelf 36 can be rotated inside the chamber 34 by being connected to a rotating unit 40 provided in the chamber 34.
  • the rotating unit 40 rotates about a rotating shaft 42 located at substantially the center position C of the cylindrical casing 32.
  • the chamber shelf 36 connected to the rotating unit 40 rotates along the inner wall of the housing 32 with the rotation shaft 42 as the center of rotation.
  • the chamber shelf 36 has a substantially arc shape in plan view from above.
  • the chamber shelf 36 is not provided in a full circle along the inner wall of the cylindrical housing 32 in correspondence with the full circumference of the cylinder, but at a portion of the circumference. It is provided in an arc shape.
  • the chamber shelf 36 is provided with an arrangement portion 38 for arranging the aging object 55.
  • the shape of the arrangement portion 38 is not particularly limited, and is appropriately designed according to, for example, the shape of the aging object 55.
  • the placement unit 38 can place the aging object 55 on the outer wall (outer peripheral surface) of the chamber shelf 36. It is provided as possible.
  • the aging object 55 is provided in a hole shape or a shelf shape by providing a dug in the outer wall of the chamber shelf 36 corresponding to the case where the aging object 55 has a more three-dimensional shape.
  • An arrangement unit 38 is exemplified.
  • the chamber shelf 36 is provided with a plurality of arrangement portions 38 both in the vertical direction (vertical direction, the extending direction of the rotating shaft) and in the horizontal direction (left-right direction) that is orthogonal to the vertical direction.
  • a total of twelve arrangement portions 38 are provided on the outer wall of the chamber shelf 36, four in the vertical direction and three in the horizontal direction.
  • the rotating unit 40 includes a control unit (not shown) that controls rotation, a rotating shaft 42, a connecting unit (not shown) that connects the rotating shaft 42 and the chamber shelf 36, and the like.
  • the casing 32 is cylindrical, and the rotation shaft 42 is disposed at a substantially central position C of the cylindrical shape.
  • the arc-shaped chamber shelf 36 is located on the circumference around the rotation axis 42 and along the inner wall of the housing 32. And the chamber shelf 36 and the rotating shaft 42 are connected via the connection part. Therefore, when the rotating unit 40 rotates (arrow A in FIG. 1), the chamber shelf 36 rotates along the inner wall of the housing 32 (arrow B in FIG. 1).
  • Rotating the chamber shelf 36 moves the air inside the chamber 34 and generates an air flow.
  • the chamber shelf 36 is not circular but arcuate in plan view from above. Therefore, when the chamber shelf 36 rotates, air movement is more likely to occur than when the circular chamber shelf 36 rotates. Further, as in the case where the chamber shelf is cylindrical (circular in plan view), it is difficult to separate the gas between the inside and the outside of the cylinder. Therefore, when the chamber shelf 36 has an arc shape in plan view, the accuracy (uniformity) of the temperature distribution inside the chamber 34 is more likely to be improved.
  • the rotation speed of the rotation unit 40 is not particularly limited, but a speed at which the air inside the chamber 34 moves and an airflow is generated is preferable. This is because it is easy to make the temperature distribution in the chamber 34 uniform by moving the air inside the chamber 34.
  • the rotation is a low speed rotation of 10 rotations per minute or less, and the setting can be changed every 1 km / h in the range of 1 km / h to 10 km / h.
  • Hot air device Hot air is supplied to the chamber 34 from a hot air device 60 provided outside the housing 32.
  • a hot air device 60 provided outside the housing 32.
  • the warm air from the warm air device 60 to the inside of the chamber 34, the air inside the chamber 34 is heated and an air flow is generated inside the chamber 34.
  • the hot air device 60 is appropriately selected according to the aging temperature, the temperature inside the chamber 34 and its distribution, the flow velocity and flow rate and direction of the air flow, the temperature of the aging object, and the like. Control etc.
  • FIG. 1 shows a configuration example in which four temperature sensors for measuring temperature are provided (P1 to P4).
  • the configuration in which the hot air device 60 is provided outside the housing 32 is illustrated.
  • the position of the hot air device 60 is not limited to this configuration.
  • the hot air device 60 may be disposed inside the housing 32.
  • the chamber 34 is cylindrical. Therefore, for example, the aging device 30 can be made smaller and space-saving more easily than the case where the chamber is a rectangular parallelepiped or the like, and the temperature distribution inside the chamber 34 tends to be uniform.
  • the chamber shelf 36 moves (rotates) instead of being fixed. Therefore, when the chamber shelf 36 rotates, an air flow is generated inside the chamber 34 and the air flow is easily stabilized. Therefore, the temperature distribution inside the chamber 34 tends to be uniform.
  • the aging object 55 arranged on the chamber shelf 36 is sequentially moved to different places instead of a fixed place inside the chamber 34. Therefore, the temperature of the aging object 55 arranged on the chamber shelf 36 tends to be uniform.
  • the chamber shelf 36 has an arc shape. Therefore, an air flow is likely to be generated inside the chamber 34 as the chamber shelf 36 rotates as compared with the case where the chamber shelf 36 is cylindrical. In addition, the temperature distribution inside the chamber 34 tends to be uniform as compared with the case where the chamber shelf is cylindrical. This is because the gas is rarely separated between the inside and outside of the cylindrical shape. Furthermore, compared with the case where a chamber shelf is a rectangular parallelepiped, the space required for rotation can be reduced.
  • temperature sensors P 1 to P 4 are provided inside the chamber 34 as an example of the measuring device described above. As shown in FIG. 1, the temperature sensors P 1 to P 4 are provided at a high position (P 1 and P 3) and a low position (P 2 and P 4) of the chamber 34. Further, the temperature sensors P 1 and P 2 and the temperature sensors P 3 and P 4 are provided at positions that are substantially opposed to each other inside the chamber 34.
  • the accuracy of the temperature distribution inside the chamber 34 is defined as the difference between the set temperature for aging and the temperature measured by the temperature sensors P1 to P4.
  • the accuracy of the temperature distribution is ⁇ 2 ° C., more preferably ⁇ 1 ° C.
  • the accuracy of temperature distribution is ⁇ 3 ° C.
  • the conventional aging device refers to a device in which the chamber is a rectangular parallelepiped and the chamber shelf is fixed.
  • a temperature difference between the upper side and the lower side inside the chamber 34 becomes a problem. Further, in the interior of the chamber 34, a temperature difference tends to occur between above and below. In this regard, in the aging device 30 of the present embodiment, good temperature distribution accuracy is realized even if the sensors P1 and P3 provided above and the sensors P2 and P4 provided below are included.
  • Embodiment 2 of the present invention will be described below with reference to FIGS. 2 and 3.
  • members having the same functions as those described in the embodiment are given the same reference numerals, and descriptions thereof are omitted.
  • the aging device 30 of the present embodiment is different from the aging device 30 of the first embodiment in the way the hot air flows. That is, in the first embodiment, as shown in FIG. 1, warm air is supplied from the warm air device 60 provided on the lower side surface of the housing 32 toward the inside of the chamber 34 (arrow D in FIG. 1). ). On the other hand, in this embodiment, as shown in FIG. 2, the warm air is supplied from the upper side to the lower side of the chamber 34. The warm air is exhausted from the lower portion of the housing 32 toward the outside of the chamber 34. This will be specifically described below.
  • the aging device 30 of the present embodiment is provided with a hot air device 61 at the center position of the upper portion of the housing 32. Further, an exhaust mechanism 65 that exhausts the air inside the chamber 34 to the outside of the chamber 34 is provided on the lower side surface of the housing 32.
  • the chamber shelf outer surface 36 (1) which is the outer surface of the chamber shelf 36, is provided with a vent 66 that is a vent hole.
  • the vent 66 is provided for each of the placement portions 38.
  • the vent 66 is provided on the rotation direction side (the tip direction side of the arrow A) when the chamber shelf 36 rotates with respect to the arrangement portion 38.
  • the hot air blown out from the hot air device 61 blows into the chamber shelf 36 from the chamber shelf upper part 36 (2) which is the upper part of the chamber shelf 36 (arrow H in FIG. 2).
  • the warm air blown into the chamber shelf 36 is blown out of the chamber shelf 36 from each vent 66 (arrow I in FIG. 2).
  • each vent 66 is provided on the rotational direction side of the chamber shelf 36 with respect to each placement portion 38, the warm air blown from the vent 66 is likely to hit the aging object (FIG. 2). Arrow I). Therefore, aging is performed effectively.
  • the hot air blown out from the vent 66 is exhausted from the exhaust mechanism 65 to the outside of the chamber 34.
  • a hot air device 61 that blows out hot air is provided in the upper portion of the chamber 34, and an exhaust mechanism 65 that discharges the hot air is provided in the lower portion of the chamber 34. Therefore, a flow of warm air downward from the top is generated inside the chamber 34, and the relatively cool air below the chamber 34 is efficiently discharged outside the chamber 34.
  • the hot air device 61 is provided in the vicinity of the upper portion of the chamber shelf 36 (chamber shelf upper portion 36 (2)), and the hot air supplied from the hot air device 61 is introduced into the chamber shelf 36.
  • the introduced warm air is individually injected to each of the aging objects 55 through the vent holes 66 provided in each of the placement portions 38. Therefore, each aging object 55 is easily aged.
  • the housing 32 is provided with a door 70 for entering and exiting the chamber 34.
  • the opening / closing of the door 70 and the rotation of the chamber shelf 36 can be linked.
  • the details of the rotating unit 40 such as the rotating shaft are not shown, but the aging device 30 of the present embodiment is also used for the rotation as in the aging device 30 of the first embodiment.
  • a mechanism (rotating unit 40) is provided.
  • the waiting time until the start of the operation can be shortened as compared with the case where the rotation is separately stopped. it can.
  • the rotation can be started by operating a switch provided outside the housing 32.
  • the rotation can be started in conjunction with closing the door 70.
  • FIG. 2 illustrates a configuration in which a work shelf 39 is provided below each placement unit 38. The work efficiency can be improved by providing the work shelves 39 in the respective placement portions 38.
  • the floor 32 (1) (see FIG. 2) of the housing 32 does not rotate, and only the chamber shelf 36 can rotate.
  • a chamber shelf 33 that rotates integrally with the chamber shelf 36 may be provided below the chamber shelf 36.
  • the operator can work while standing on the chamber shelf 33, so that it is not necessary to stop the rotation of the chamber shelf 36 during the work. Therefore, work efficiency can be improved.
  • the configuration of the aging device 30 is not limited to the above configuration.
  • the chamber shelf 36 is illustrated in FIG. 1 as having an arc shape of about 1 ⁇ 4 of the circumference, but is not limited thereto.
  • it may be a semicircular shape about 1 ⁇ 2 of the circumference.
  • it can also be set as the cylindrical shape corresponding to the whole circumference instead of circular arc shape.
  • the chamber shelf 36 may be provided with a member that can easily generate and control an air flow, such as a protrusion or a wing, so that an air flow is easily generated when rotating and / or an air flow is easily stabilized. Is possible.
  • the aging device 30 of the present embodiment can age various aging objects 55.
  • it is suitably used for aging of a display, especially a flexible display.
  • an EL display panel will be described as an example of a flexible display.
  • FIG. 4 is a flowchart showing an example of a method for manufacturing the EL display panel 2 as an example of the flexible display panel 2.
  • FIG. 5A is a cross-sectional view illustrating a configuration example during the formation of the EL display panel 2 of the present embodiment.
  • FIG. 5B is a cross-sectional view showing a configuration example of the EL display panel 2 of the present embodiment.
  • Step S1 The resin layer 12 is formed on a translucent mother substrate 50 such as a glass substrate.
  • Step S2 Inorganic barrier film 3 is formed.
  • Step S3 A TFT (Thin Film Transistor) layer 4 including a plurality of inorganic insulating films 16, 18, 20 and a planarizing film 21 is formed.
  • TFT Thin Film Transistor
  • Step S4 A light emitting element layer 5 such as an OLED element layer is formed.
  • Step S5 The sealing layer 6 including the inorganic sealing films 26 and 28 and the organic sealing film 27 is formed.
  • Step S6 A protective material 9 such as a PET film is pasted on the sealing layer 6 via the adhesive layer 8.
  • Step S7 The resin layer 12 is irradiated with a laser beam.
  • the resin layer 12 absorbs the irradiated laser light
  • the lower surface of the resin layer 12 that is an interface with the mother substrate 50 is altered by ablation.
  • a release layer is formed, and the bonding force between the resin layer 12 and the mother substrate 50 is reduced.
  • Step S8 The mother substrate 50 is peeled from the resin layer 12. Thereby, the laminated body 7 peels from the mother substrate 50.
  • the laminate 7 refers to the entire multilayer body formed on the mother substrate 50.
  • the outermost layer is formed from the resin layer 12 formed on the mother substrate 50. The layers up to the protective material 9 are shown.
  • Step S9 A support material 10 such as a PET film is attached to the lower surface of the resin layer 12 via the adhesive layer 11.
  • Step S10 The mother substrate 50 is divided, the protective material 9 is cut, and a plurality of EL display panels are cut out.
  • Step S11 The protective material 9 on the terminal portion of the TFT layer 4 is peeled off and the terminal is taken out.
  • Step S12 A functional film (not shown) is pasted.
  • Step S13 An electronic circuit board is mounted on the terminal using ACF or the like.
  • the EL display panel 2 as an example of a flexible display is formed. Each step is performed by a manufacturing apparatus.
  • 5A and 5B, 4 is a TFT layer
  • 15 is a semiconductor film
  • 16 is an inorganic insulating film (gate insulating film)
  • 22 is an anode electrode
  • 23b is a bank
  • 23c is a partition wall
  • 24 Is an EL (Electro Luminescence) layer
  • 25 is a cathode electrode
  • 26 is a first inorganic sealing film (inorganic sealing film)
  • 27 is an organic sealing film
  • 28 is a second inorganic sealing film (inorganic sealing film)
  • G indicates a gate electrode
  • S indicates a source electrode
  • D indicates a drain electrode
  • DA indicates an active region
  • NA indicates an inactive region.
  • the active region DA corresponds to a region where the light emitting element layer 5 is formed (region where the semiconductor film 15, the gate electrode G, the source electrode S, and the drain electrode D are formed) and is also expressed as a display region. it can.
  • the inactive area NA is an area other than the active area DA, and is an area where terminals used for connection to an electronic circuit board or the like are formed.
  • an aging process is performed after step S10, and a non-defective product determination is performed immediately after the panel inspection process. Aging using the aging device 30 of this embodiment can be performed after the step of S10.
  • the brightness can be promoted to a stable region by performing the aging using the aging device 30 of the present embodiment.
  • the flexible display used for the aging apparatus 30 of this embodiment will not be specifically limited if it is a display panel provided with the flexible and bendable light emitting element.
  • the light-emitting element is a light-emitting element whose luminance and transmittance are controlled by current.
  • an organic EL Electro Luminescence
  • OLED Organic Light Emitting Diode
  • a display or a QLED display equipped with an EL display QLED Quadantum Dot Emitting Diode
  • an inorganic EL display equipped with an inorganic light emitting diode is used.
  • An aging apparatus is an aging apparatus that performs aging by arranging a plurality of objects to be aged in a chamber, the chamber being cylindrical, and a chamber shelf disposed inside the chamber.
  • the chamber shelf can be arranged with a plurality of aging objects in the direction of the rotation axis.
  • the chamber shelf has an arc shape in plan view from the direction of the rotation axis.
  • the rotation shaft is located at the center of the chamber.
  • the chamber shelf is rotated at a rotation speed of 1 km / h to 10 km / h at a speed of 10 revolutions per minute or less.
  • a hot air device is provided in the upper part of the chamber, and an exhaust mechanism is provided in the lower part of the chamber.
  • the chamber shelf is provided with a plurality of arrangement portions for arranging the aging objects, and the chamber shelf is provided for each of the arrangement portions.
  • a vent is provided.
  • the vent is provided on the rotation direction side of the chamber shelf of the corresponding arrangement portion.
  • the chamber shelf is provided with a work shelf for each of the placement portions.
  • a door is provided in a casing covering the chamber, and opening / closing of the door and rotation of the chamber shelf are interlocked.
  • a chamber shelf that rotates integrally with the chamber shelf is provided below the chamber shelf.

Abstract

チャンバー（３４）は円筒形であり、チャンバー（３４）の内部に配置されるチャンバー棚（３６）は回転可能であり、チャンバー棚（３６）は、回転軸（４２）の方向に複数個のエージング対象物（５５）が配置可能であるエージング装置（３０）。

Description

エージング装置
　本発明は、エージング装置に関する。
　製品を製造する際に、種々の段階及び種々の対象物に対してエージングを行うことがある。また、製品が完成した後も、製品に対してエージングを行うことがある。
　エージングを行う際には、エージング装置のチャンバー内の温度精度や、チャンバー内の温度分布の均一性等が求められる。チャンバー内に複数個の対象物を入れる場合には、特にチャンバー内の温度分布の均一性が重要となる。
日本国公開特許公報「特開２０１５－１３８７５６号公報」（２０１５年７月３０日公開） 日本国公開特許公報「特開平９－２０５０４３号公報」（１９９７年８月５日公開）
　本発明は、チャンバー内の温度分布の均一性を高めたエージング装置を提供することを課題とする。
　本発明の一態様に係るエージング装置は、チャンバーに複数個のエージング対象物を配置してエージングをするエージング装置であって、前記チャンバーは円筒形であり、前記チャンバーの内部に配置されるチャンバー棚は回転可能であり、前記チャンバー棚は、回転軸の方向に複数個の前記エージング対象物が配置可能である。
　本発明の一態様によれば、チャンバー内の温度分布の均一性を高めたエージング装置を提供することができる。
エージング装置の概要を示す図である。 他の形態のエージング装置の概要を示す図である。 他の形態のチャンバー棚の概要を示す図である。 ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示パネルの製造方法の一例を示すフローチャートである。 （ａ）は、本実施形態のＥＬ表示パネルの形成途中の構成例を示す断面図であり、（ｂ）は、本実施形態のＥＬ表示パネルの構成例を示す断面図である。
　（実施形態１）
　図１は、本実施形態のエージング装置３０の概要を示す図である。
　図１に示すように、本実施形態のエージング装置３０は、筐体３２とチャンバー３４とチャンバー棚３６と回転部４０と温風装置６０とを備えている。
　筐体３２は円筒形を有しており、筐体３２の内部がチャンバー３４である。チャンバー３４にはチャンバー棚３６が設けられている。そして、チャンバー棚３６は、チャンバー３４に設けられている回転部４０と連結されることで、チャンバー３４の内部で回転可能となっている。
　図１に示す例では、回転部４０は、円筒形の筐体３２のほぼ中心位置Ｃに位置する回転軸４２を軸として回転する。そして、回転部４０に連結されているチャンバー棚３６は、回転軸４２をその回転の中心として、筐体３２の内壁に沿って回転する。
　以下、順に説明する。
　（チャンバー棚）
　チャンバー棚３６は、上からの平面視において、略円弧形の形状を有している。すなわち、チャンバー棚３６は、円筒形の筐体３２の内壁に沿って、円筒形の全円周に対応して全円状に設けられているのではなく、その円周の一部の位置に円弧状に設けられている。
　また、チャンバー棚３６には、エージング対象物５５を配置するための配置部３８が設けられている。この配置部３８の形状は特には限定されず、例えばエージング対象物５５の形状等に応じて、適宜設計される。図１に示す例では、エージング対象物５５がパネルのような平板な形状を有しているため、配置部３８は、エージング対象物５５をチャンバー棚３６の外壁（外周面）に配置することが可能となるように設けられている。
　配置部３８の他の例としては、エージング対象物５５がより立体的な形状である場合に対応して、チャンバー棚３６の外壁に掘り込みを設けることで、穴状や棚状に設けられた配置部３８が挙げられる。
　また、チャンバー棚３６には、配置部３８が、縦方向（上下方向、回転軸の延伸方向）にも、それと直交する方向である横方向（左右方向）にも、複数個設けられている。図１に示す例では、縦方向に４個、横方向に３個、合計１２個の配置部３８がチャンバー棚３６の外壁に設けられている。
　これにより、チャンバー棚３６に、エージング対象物５５を複数個配置することが可能である。図１に示す例では、１個のチャンバー棚３６に、１２個のエージング対象物５５が配置されている。
　（回転部）
　回転部４０は、回転を制御する制御部（図示せず）、回転軸４２、回転軸４２とチャンバー棚３６とを連結する連結部（図示せず）等を備えている。
　本実施形態では、筐体３２が円筒形であり、その円筒形の略中心位置Ｃに回転軸４２が配置されている。
　円弧形のチャンバー棚３６は、回転軸４２を中心とした円周であって、筐体３２の内壁に沿う円周上に位置している。そして、チャンバー棚３６と回転軸４２とは、連結部を介して連結されている。そのため、回転部４０が回転することで（図１の矢印Ａ）、チャンバー棚３６は筐体３２の内壁に沿って回転する（図１の矢印Ｂ）。
　チャンバー棚３６が回転することで、チャンバー３４の内部の空気が動き、気流が発生する。本実施形態では、チャンバー棚３６が上からの平面視において、円形ではなく円弧形である。そのため、チャンバー棚３６が回転した際、円形のチャンバー棚３６が回転するよりも、空気の動きが生じ易い。また、チャンバー棚が円筒形（平面視において円形）である場合のように、円筒の内部と外部とで気体が隔てられ難い。そのため、チャンバー棚３６が平面視において円弧形である場合には、チャンバー３４の内部の温度分布の精度（均一性）がより向上しやすい。
　（回転速度）
　回転部４０の回転速度は、特には限定されないが、チャンバー３４の内部の空気が動き、気流が発生する速度が好ましい。チャンバー３４の内部の空気が動くことでチャンバー３４内の温度分布を均一にすることが容易になるからである。なお、回転は、低速回転で、１分当たり１０回転以下とし、時速１ｋｍ／ｈ～１０Ｋｍ／ｈの範囲で、１Ｋｍ／ｈ毎設定が変更出来るようにする。
　（温風装置）
　チャンバー３４には、筐体３２の外部に設けられている温風装置６０から温風が供給される。温風装置６０からチャンバー３４の内部に温風が供給されることで、チャンバー３４の内部の空気が加熱され、またチャンバー３４の内部に気流が発生する。
　温風装置６０は、エージングの温度、チャンバー３４の内部の温度やその分布、気流の流速や流量や向き、エージング対象物の温度等に応じて、適宜、温風の温度、流速、流量、向きなどを制御する。
　また、チャンバー３４には、チャンバー３４の内部の温度やその分布、気流の流速や流量や向き、エージング対象物５５の温度等を測定できる計測装置等が、適宜設けられる。図１では、温度を測定する温度センサーが４個設けられた構成例を示している（Ｐ１～Ｐ４）。
　なお、本実施形態では、温風装置６０が筐体３２の外部に設けられている構成を例示した。ただし、温風装置６０の位置はこの構成に限定されず、例えば筐体３２の内部に温風装置６０を配置してもよい。
　（温風の流れ、気流、温度分布）
　本実施形態では、図１の矢印Ｄに示すように、温風装置６０からチャンバー３４の内部に温風が供給される。そして、チャンバー棚３６が矢印Ｂに示すように回転することで、チャンバー３４の内部にチャンバー棚３６の回転方向と同方向の気流が生じる（図１の矢印Ｅ）。これにより、チャンバー３４の内部の温度分布が均一になり、温度分布の精度が向上する。
　また、本実施形態では、チャンバー３４が円筒形である。そのため、例えばチャンバーが直方体等である場合よりも、エージング装置３０の小形化、省スペース化が容易であるのに加えて、チャンバー３４の内部の温度分布が均一になり易い。
　また、本実施形態では、チャンバー棚３６が固定ではなく移動（回転）する。そのため、チャンバー棚３６が回転することでチャンバー３４の内部に気流が発生し、かつその気流を安定化させやすい。よって、チャンバー３４の内部の温度分布が均一になり易い。
　また、チャンバー棚３６が回転することで、チャンバー棚３６に配置されているエージング対象物５５が、チャンバー３４の内部の一定の場所ではなく、異なる場所に順次移動される。そのため、チャンバー棚３６に配置されたエージング対象物５５の温度が均一になり易い。
　また、本実施形態では、チャンバー棚３６が円弧形である。そのため、チャンバー棚３６が円筒形である場合に比べて、チャンバー棚３６が回転することにより、チャンバー３４の内部に気流が発生しやすい。また、チャンバー棚が円筒形である場合に比べて、チャンバー３４の内部の温度分布が均一になり易い。円筒形の内側と外側とで気体が分け隔てられたりすることが少ないためである。更に、チャンバー棚が直方体である場合に比べて、回転に要するスペースを少なくすることができる。
　（センサー）
　本実施形態では、先に説明した計測装置等の一例として、温度センサーＰ１～Ｐ４が、チャンバー３４の内部に設けられている。温度センサーＰ１～Ｐ４は、図１に示すように、チャンバー３４の高い位置（Ｐ１とＰ３）と低い位置（Ｐ２とＰ４）とに設けられている。また、温度センサーＰ１及びＰ２と、温度センサーＰ３及びＰ４とは、チャンバー３４の内部においてほぼ対向する位置に設けられている。
　温度センサーＰ１～Ｐ４を前記のように設けることで、チャンバー３４の内部全体の温度分布が把握し易くなる。
　ここで、チャンバー３４の内部の温度分布の精度を、エージングの設定温度と温度センサーＰ１～Ｐ４によって測定された温度との差、とする。本実施形態のエージング装置３０では、温度分布の精度は±２℃となり、より好ましくは±１℃とすることができる。
　これに対して、従来のエージング装置では、温度分布の精度は±３℃である。ここで、従来のエージング装置とは、チャンバーが直方体であり、チャンバー棚が固定されているものを指す。
　本実施形態のチャンバー棚３６のように、縦方向に複数個のエージング対象物５５が配置される場合には、特にチャンバー３４の内部における上方と下方との温度差が問題となる。また、チャンバー３４の内部においては、その上方と下方とで温度差が生じ易い。これについて、本実施形態のエージング装置３０では、上方に設けられているセンサーＰ１及びＰ３、下方に設けられているセンサーＰ２及びＰ４を含めても、良好な温度分布の精度が実現されている。
　（実施形態２）
　本発明の実施形態２について、図２及び図３に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、前記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
　本実施形態のエージング装置３０は、温風の流れ方が実施形態１のエージング装置３０とは異なる。すなわち、実施形態１では、図１に示すように、筐体３２の下部側面に設けられた温風装置６０から、チャンバー３４の内部に向けて温風が供給されていた（図１の矢印Ｄ）。これに対して本実施形態では、図２に示すように、チャンバー３４の上方から下方に向けて温風が供給される。そして、温風は、筐体３２の下部からチャンバー３４の外部に向けて排気される。以下、具体的に説明する。
　本実施形態のエージング装置３０には、図２に示すように、筐体３２の上部の中心位置に温風装置６１が設けられている。また、筐体３２の下部側面には、チャンバー３４の内部の空気をチャンバー３４の外部に排気する排気機構６５が設けられている。
　更に、チャンバー棚３６の外面であるチャンバー棚外面３６（１）には、通気用の穴である通気口６６が設けられている。この通気口６６は、配置部３８の各々に対して設けられている。本実施形態では、通気口６６は、配置部３８に対して、チャンバー棚３６が回転する際の回転方向側（矢印Ａの先端方向側）に設けられている。
　温風装置６１から吹き出た温風は、チャンバー棚３６の上部であるチャンバー棚上部３６（２）から、チャンバー棚３６の内部に吹き込む（図２の矢印Ｈ）。チャンバー棚３６の内部に吹き込んだ温風は、各通気口６６からチャンバー棚３６の外側に吹き出す（図２の矢印Ｉ）。その際、各通気口６６が、各配置部３８に対して、チャンバー棚３６の回転方向側に設けられているので、通気口６６から吹き出た温風が、エージング対象物に当たりやすい（図２の矢印Ｉ）。よって、エージングが効果的に行われる。
　通気口６６から吹き出た温風は、排気機構６５からチャンバー３４の外部に排気される。本実施形態では、温風を吹き出す温風装置６１がチャンバー３４の上部に設けられており、温風を排出する排気機構６５がチャンバー３４の下部に設けられている。そのため、チャンバー３４の内部に上から下向きの温風の流れが生じ、チャンバー３４の下方にある相対的に温度の低い空気が、効率的にチャンバー３４の外部に排出される。
　また、温風装置６１は、チャンバー棚３６の上部（チャンバー棚上部３６（２））近傍に設けられており、温風装置６１から供給された温風がチャンバー棚３６に導入される。そして、導入された温風は、配置部３８の各々に設けられた通気口６６を介して、エージング対象物５５の各々に個別に噴射される。そのため、各エージング対象物５５が均一にエージングされやすい。
　（ドア）
　また、本実施形態では、筐体３２に、チャンバー３４に出入りするためのドア７０が設けられている。
　このドア７０の開閉と、チャンバー棚３６の回転とを連動させることもできる。なお、図２では、回転軸等、回転部４０の詳細についての図示は省略しているが、本実施形態のエージング装置３０にも、実施形態１のエージング装置３０と同様に、回転のための機構（回転部４０）が設けられている。
　前記の連動のさせ方としては、例えば、ドア７０が開かれると、チャンバー棚３６の回転が停止するようにすることが考えられる。これにより、チャンバー棚３６の回転を止めるための操作が不要となり、作業手順の簡略化が可能である。
　また、ドア７０を開くことでチャンバー棚３６の回転が止まる（止まり始める）ので、別途回転を止める操作をする場合に比べて、作業開始まで（回転が止まるまで）の待ち時間を短縮することができる。
　なお、回転の開始については、例えば、ドア７０を閉じてから、筐体３２の外部に設けられたスイッチを操作して、回転が開始されるようにすることができる。或いは、ドア７０を閉じることに連動して、回転が開始されるようにすることもできる。
　（作業用棚）
　配置部３８の構成等、チャンバー棚３６の具体的な構成は、例えばエージング対象物５５の種類や大きさ等に基づいて種々が考えられる。図２には、各配置部３８の下方に作業用棚３９が設けられている構成を例示している。各配置部３８に作業用棚３９が設けられていることにより、作業効率を向上させることができる。
　（チャンバーの内部）
　チャンバー３４の内部においては、筐体３２の床３２（１）（図２参照）は回転せずに、チャンバー棚３６のみが回転するようにすることができる。或いは、図３に示すように、チャンバー棚３６の下部に、チャンバー棚３６と一体として回転するチャンバー棚台３３を設けてもよい。
　チャンバー棚台３３を設けた場合、作業者がチャンバー棚台３３に立って作業することができるので、作業の際にチャンバー棚３６の回転を止める必要がない。そのため、作業効率を向上させることができる。
　また、チャンバー棚３６がチャンバー棚台３３と一体として回転する場合、ドア７０とチャンバー棚３６の回転とを連動させる必要もなくなるため、装置の簡素化を図ることができる。
　（他の構成）
　なお、エージング装置３０の構成は、前記の構成に限定されない。
　例えばチャンバー棚３６について、図１では円周の１／４程度の円弧形を例示したが、これには限定されない。例えば、円周の１／２程度の半円形とすることもできる。また、円弧形ではなく、全円周に対応する円筒形とすることもできる。
　また、チャンバー棚３６には、回転した際に気流を生じ易いように、又は／及び、気流を安定させ易いように、突起や羽等、空気の流れを生成、制御し易い部材を設けることも可能である。
　（エージング対象物）
　本実施形態のエージング装置３０は、種々のエージング対象物５５をエージングすることができる。例えば、ディスプレイ、中でもフレキシブルなディスプレイのエージングに好適に用いられる。以下、フレキシブルディスプレイの一例として、ＥＬ表示パネルについて説明する。
　（表示パネル）
　図４はフレキシブルな表示パネル２の一例としての、ＥＬ表示パネル２の製造方法の一例を示すフローチャートである。図５（ａ）は、本実施形態のＥＬ表示パネル２の形成途中の構成例を示す断面図である。図５（ｂ）は、本実施形態のＥＬ表示パネル２の構成例を示す断面図である。
　フレキシブルなＥＬ表示パネルを製造する場合、図４及び図５に示すように、およそ次のステップＳ１からステップＳ１３を経る。
　ステップＳ１：ガラス基板等の透光性のマザー基板５０上に樹脂層１２を形成する。
　ステップＳ２：無機バリア膜３を形成する。
　ステップＳ３：複数の無機絶縁膜１６・１８・２０及び平坦化膜２１を含むＴＦＴ（Ｔｈｉｎ　Ｆｉｌｍ　Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）層４を形成する。
　ステップＳ４：ＯＬＥＤ素子層等の発光素子層５を形成する。
　ステップＳ５：無機封止膜２６・２８及び有機封止膜２７を含む封止層６を形成する。
　ステップＳ６：封止層６上に接着層８を介してＰＥＴフィルム等の保護材９を貼り付ける。
　ステップＳ７：樹脂層１２にレーザー光を照射する。ここでは、照射されたレーザー光を樹脂層１２が吸収することで、マザー基板５０との界面である樹脂層１２の下面がアブレーションによって変質する。これにより剥離層が形成され、樹脂層１２とマザー基板５０との間の結合力が低下する。
　ステップＳ８：マザー基板５０を樹脂層１２から剥離する。これにより、積層体７がマザー基板５０から剥離する。ここで積層体７とは、マザー基板５０上に形成されている多層体の全体を指し、図５（ａ）に示す例では、マザー基板５０上に形成されている樹脂層１２から、最外層である保護材９までの層を示す。
　ステップＳ９：樹脂層１２の下面に、接着層１１を介してＰＥＴフィルム等の支持材１０を貼り付ける。
　ステップＳ１０：マザー基板５０を分断するとともに保護材９をカットし、複数のＥＬ表示パネルを切り出す。
　ステップＳ１１：ＴＦＴ層４の端子部上の保護材９を剥離し、端子出しを行う。
　ステップＳ１２：機能フィルム（図示せず）を貼り付ける。
　ステップＳ１３：ＡＣＦ等を用いて端子部に電子回路基板を実装する。
　以上により、フレキシブルディスプレイの一例としてのＥＬ表示パネル２が形成される。前記各ステップは製造装置が行う。
　なお、図５（ａ）及び図５（ｂ）において、４はＴＦＴ層、１５は半導体膜、１６は無機絶縁膜（ゲート絶縁膜）、２２はアノード電極、２３ｂはバンク、２３ｃは隔壁、２４はＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）層、２５はカソード電極、２６は第１無機封止膜（無機封止膜）、２７は有機封止膜、２８は第２無機封止膜（無機封止膜）、Ｇはゲート電極、Ｓはソース電極、Ｄはドレイン電極、ＤＡはアクティブ領域、ＮＡは非アクティブ領域を示している。
　また、アクティブ領域ＤＡとは、発光素子層５が形成されている領域（前記半導体膜１５、ゲート電極Ｇ、ソース電極Ｓ及びドレイン電極Ｄが形成されている領域）に対応し、表示領域とも表現できる。一方、非アクティブ領域ＮＡとは、アクティブ領域ＤＡ以外の領域であり、電子回路基板等との接続に用いられる端子が形成される領域である。
　（エージング工程）
　ＥＬ表示パネルの製造においては、上記ステップＳ１０後にエージング処理を行い、直後にパネル検査工程で良品判定を行う。Ｓ１０の工程後で本実施形態のエージング装置３０を用いたエージングを行うことができる。
　フレキシブルディスプレイは、初期の輝度劣化が激しく、パネルによるばらつきも多く発生する為、本実施形態のエージング装置３０を用いてエージングを行うことにより、輝度を安定領域まで促進させることができる。
　（フレキシブルディスプレイ）
　なお、本実施形態のエージング装置３０に用いられるフレキシブルディスプレイは、柔軟性を有し、屈曲可能な発光素子を備えた表示パネルであれば、特に限定されるものではない。前記発光素子は、電流によって輝度や透過率が制御される発光素子であり、電流制御の発光素子としては、ＯＬＥＤ（Ｏｒｇａｎｉｃ　Ｌｉｇｈｔ　Ｅｍｉｔｔｉｎｇ　Ｄｉｏｄｅ：有機発光ダイオード）を備えた有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ　Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ：エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ、又は無機発光ダイオードを備えた無機ＥＬディスプレイ等のＥＬディスプレイＱＬＥＤ（Ｑｕａｎｔｕｍ　ｄｏｔ　Ｌｉｇｈｔ　Ｅｍｉｔｔｉｎｇ　Ｄｉｏｄｅ：量子ドット発光ダイオード）を備えたＱＬＥＤディスプレイ等がある。
　（まとめ）
　本発明の態様１に係るエージング装置は、チャンバーに複数個のエージング対象物を配置してエージングをするエージング装置であって、前記チャンバーは円筒形であり、前記チャンバーの内部に配置されるチャンバー棚は回転可能であり、前記チャンバー棚は、回転軸の方向に複数個の前記エージング対象物が配置可能である。
　本発明の態様２に係るエージング装置は、前記チャンバー棚は、前記回転軸の方向からの平面視で、円弧形を有している。
　本発明の態様３に係るエージング装置は、前記回転軸は、前記チャンバーの中心に位置している。
　本発明の態様４に係るエージング装置は、前記チャンバー棚は、１分当たり１０回転以下とし、時速１ｋｍ／ｈ～１０Ｋｍ／ｈの回転速度で回転する。
　本発明の態様５に係るエージング装置は、前記チャンバーの上部に温風装置が設けられており、前記チャンバーの下部に排気機構が設けられている。
　本発明の態様６に係るエージング装置は、前記チャンバー棚には、前記エージング対象物を配置するための配置部が複数個設けられており、前記チャンバー棚には、前記配置部の各々に対して通気口が設けられている。
　本発明の態様７に係るエージング装置は、前記通気口は、対応する前記配置部の、前記チャンバー棚の回転方向側に設けられている。
　本発明の態様８に係るエージング装置は、前記チャンバー棚には、前記配置部の各々に対して作業用棚が設けられている。
　本発明の態様９に係るエージング装置は、前記チャンバーを覆う筐体にドアが設けられており、前記ドアの開閉と、前記チャンバー棚の回転とが連動する。
　本発明の態様１０に係るエージング装置は、前記ドアが開かれることに連動して、前記回転が止まる。
　本発明の態様１１に係るエージング装置は、前記チャンバー棚の下部に、当該チャンバー棚と一体として回転するチャンバー棚台が設けられている。
　（組み合わせ等）
　なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
２　　　　　ＥＬ表示パネル（表示パネル）
４　　　　　ＴＦＴ層
３　　　　　無機バリア膜
５　　　　　発光素子層
６　　　　　封止層
７　　　　　積層体
８、１１　　接着層
９　　　　　保護材
１０　　　　支持材
１２　　　　樹脂層
１５　　　　半導体膜
１６　　　　無機絶縁膜（ゲート絶縁膜）
１８、２０　無機絶縁膜
２１　　　　平坦化膜
２２　　　　アノード電極
２３ｂ　　　バンク
２３ｃ　　　隔壁
２４　　　　ＥＬ層
２５　　　　カソード電極
２６　　　　第１無機封止膜
２６　　　　無機封止膜（第２無機封止膜）
２７　　　　有機封止膜
２８　　　　無機封止膜（第２無機封止膜）
３０　　　　エージング装置
３２　　　　筐体
３２（１）　筐体の床
３３　　　　チャンバー棚台
３４　　　　チャンバー
３６　　　　チャンバー棚
３７　　　　チャンバー外面
３８　　　　配置部
３９　　　　作業用棚
４０　　　　回転部
４２　　　　回転軸
５０　　　　マザー基板
５５　　　　エージング対象物
６０　　　　温風装置
６１　　　　温風装置
６５　　　　排気機構
６６　　　　通気口
７０　　　　ドア
Ｃ　　　　　中心位置
Ｐ１～Ｐ４　温度センサー

Claims (11)

  1. 　チャンバーに複数個のエージング対象物を配置してエージングをするエージング装置であって、
    　前記チャンバーは円筒形であり、
    　前記チャンバーの内部に配置されるチャンバー棚は回転可能であり、
    　前記チャンバー棚は、回転軸の方向に複数個の前記エージング対象物が配置可能であるエージング装置。
  2. 　前記チャンバー棚は、前記回転軸の方向からの平面視で、円弧形を有している請求項１に記載のエージング装置。
  3. 　前記回転軸は、前記チャンバーの中心に位置している請求項１又は２に記載のエージング装置。
  4. 　前記チャンバー棚は、１分当たり、１回転以上１０回転以下の回転速度で回転する請求項１から３の何れか１項に記載のエージング装置。
  5. 　前記チャンバーの上部に温風装置が設けられており、
    　前記チャンバーの下部に排気機構が設けられている請求項１から４の何れか１項に記載のエージング装置。
  6. 　前記チャンバー棚には、前記エージング対象物を配置するための配置部が複数個設けられており、
    　前記チャンバー棚には、前記配置部の各々に対して通気口が設けられている請求項１から５の何れか１項に記載のエージング装置。
  7. 　前記通気口は、対応する前記配置部の、前記チャンバー棚の回転方向側に設けられている請求項６に記載のエージング装置。
  8. 　前記チャンバー棚には、前記配置部の各々に対して作業用棚が設けられている請求項６に記載のエージング装置。
  9. 　前記チャンバーを覆う筐体にドアが設けられており、
    　前記ドアの開閉と、前記チャンバー棚の回転とが連動する請求項１から８の何れか１項に記載のエージング装置。
  10. 　前記ドアが開かれることに連動して、前記回転が止まる請求項９に記載のエージング装置。
  11. 　前記チャンバー棚の下部に、当該チャンバー棚と一体として回転するチャンバー棚台が設けられている請求項１から９の何れか１項に記載のエージング装置。
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