WO2018198779A1 - 回転角度検出装置及び回転角度検出方法 - Google Patents

回転角度検出装置及び回転角度検出方法 Download PDF

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magnetic sensor
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昌樹 桑原
和広 大平
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日本精工株式会社
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    • G01D5/24471Error correction
    • G01D5/2448Correction of gain, threshold, offset or phase control

Definitions

  • the present invention relates to a rotation angle detection device and a rotation angle detection method.
  • a rotation angle detection device that detects a relative angle or an absolute angle of a rotation angle detection target is used for a motor for driving an automobile such as an electric power steering device.
  • a rotation angle detection device that detects a relative angle or an absolute angle of a rotation angle detection target is used for a motor for driving an automobile such as an electric power steering device.
  • Patent Document 1 describes a bearing with a rotation angle detection device in which a rotation angle detection device is integrated.
  • the rotation angle detection device described in Patent Document 1 includes a rotating body in which magnetic poles arranged at equal intervals are provided in concentric rings and a plurality of magnetic tracks having different numbers of magnetic poles are formed, and each of these magnetic tracks A plurality of magnetic sensors that respectively detect the magnetic field of the motor, and a rotating body is installed on the rotating shaft of the rotor of the motor for driving the automobile or a member that rotates integrally with the rotating shaft to detect the rotor angle of the motor for driving the motor To do.
  • the rotation angle detection device can be incorporated in a compact manner without increasing the axial dimension of the motor for driving the automobile.
  • High-accuracy rotor angle information is required to control motors for driving automobiles such as electric power steering devices, but the detection value contains errors due to errors in the physical position of the magnetic sensor, eccentricity of the rotating body, etc. It is possible that
  • the present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a rotation angle detection device and a rotation angle detection method capable of detecting a rotation angle with high accuracy.
  • a rotational angle detection device includes a plurality of magnetic pole pairs each having N poles and S poles arranged in concentric rings at equal intervals and having different numbers of magnetic pole pairs.
  • a rotating body having a track, a plurality of magnetic sensor units for detecting a magnetic field of one magnetic track and outputting a sin signal and a cos signal, and the magnetic sensor unit outputting in accordance with a rotation angle of the rotating body
  • the value of the sin signal approaches the value of the reference sin signal of the magnetic sensor unit, or the value of the cos signal output by the magnetic sensor unit according to the rotation angle of the rotating body is
  • a storage unit for storing magnetic sensor correction information set in advance so as to approach the value of the reference cos signal of the unit, and correcting the sin signal and the cos signal based on the magnetic sensor correction information a correction calculation unit that corrects the in signal and the correction cos signal, a phase detection unit that calculates a phase of the correction sin signal and the correction cos signal, a
  • the rotation angle detection device can correct the sin signal and the cos signal before the detection phase of the magnetic sensor is calculated in the phase detection unit in real time. Further, since the phase is calculated using the corrected sin signal and the corrected cos signal obtained by correcting the sin signal and the cos signal based on preset known magnetic sensor correction information, the detection accuracy of the absolute angle of the rotating body is improved. To do. Therefore, the rotation angle detection device can detect the absolute angle of the rotating body with high accuracy.
  • the plurality of magnetic tracks preferably include a first magnetic track having a number P of magnetic pole pairs (P is a natural number) and a second magnetic track having a number P-1 or P + 1 of magnetic pole pairs. .
  • the plurality of magnetic tracks have the number of magnetic pole pairs n ⁇ (Q ⁇ 1).
  • the absolute angle in each section obtained by dividing the entire circumference of the rotating body into n can be further detected, and the reliability of detecting the absolute angle of the rotating body can be improved.
  • the average value of the sin signal is Vsinave
  • the average value of the cos signal is Vcosave
  • the input signal values are sin ⁇ i and cos ⁇ i
  • the output signal values are sin ⁇ ′ and cos ⁇ ′
  • the Vsinave and the Vcosave are stored in the storage unit as the magnetic sensor correction information, and the correction calculation unit calculates the sin ⁇ ′ using the following formula (1) and the formula (2). It is preferable to calculate cos ⁇ ′.
  • the maximum value of the sin signal is Vsinmax
  • the minimum value of the sin signal is Vsinmin
  • the maximum value of the cos signal is Vcosmax
  • the minimum value of the cos signal is Vcosmin
  • the input signal value is sin ⁇ i , cos ⁇ i , and output signal values as sin ⁇ ′ and cos ⁇ ′, the V sinmax, the Vsinmin, the Vcosmax, and the Vcosmin are stored in the storage unit as the magnetic sensor correction information. It is preferable to calculate the sin ⁇ ′ using the following formula (3) and to calculate the cos ⁇ ′ using the following formula (4).
  • the average value of the sin signal is Vsinave
  • the average value of the cos signal is Vcosave
  • the maximum value of the sin signal is Vsinmax
  • the minimum value of the sin signal is Vsinmin
  • the maximum value of the cos signal is The value is Vcosmax
  • the minimum value of the cos signal is Vcosmin
  • the input signal values are sin ⁇ i and cos ⁇ i
  • the output signal values are sin ⁇ ′ and cos ⁇ ′.
  • Vcosmin are stored in the storage unit as the magnetic sensor correction information, and the correction calculation unit calculates the sin ⁇ ′ using the following formula (5) and the following formula (7), and the following formula (6 ) And the following equation (8) It is preferable to.
  • the sensor phase error between the output phase of the sin signal and the output phase of the cos signal is ⁇ ic
  • the input signal value is sin ⁇ ′, cos ( ⁇ ′ + ⁇ ic )
  • the output signal values sin [theta o of the cos [theta] o, the theta ics is stored in the storage unit as the magnetic sensor correction information
  • the correction operation unit is configured to calculate the sin [theta o using the following equation (9)
  • the cos ⁇ o is preferably calculated using the following formula (10).
  • the rotation angle detection device can easily perform the correction calculation of the phase of the cos signal with the sin signal as a reference using the equation (10). For this reason, the speed at which the rotation angle detection device calculates the absolute angle of the rotating body is improved.
  • the sensor phase error between the output phase of the sin signal and the output phase of the cos signal is ⁇ ic
  • the input signal value is sin ( ⁇ ′ + ⁇ ic ), cos ⁇ ′
  • the output signal values sin [theta o of the cos [theta] o, the theta ics is stored in the storage unit as the magnetic sensor correction information
  • the correction operation unit is configured to calculate the cos [theta] o using the following equation (11)
  • the sin ⁇ o is preferably calculated using the following formula (12).
  • the rotation angle detection device can easily perform a correction operation on the phase of the sin signal with reference to the cos signal using the equation (12). For this reason, the speed at which the rotation angle detection device calculates the absolute angle of the rotating body is improved.
  • the input signal values are sin ⁇ ′ and cos ⁇ ′
  • the output signal values are sin ⁇ o and cos ⁇ o
  • the correction calculation unit calculates the sin ⁇ ′ using the following equation (13). While calculating, it is preferable to calculate the said cos (theta) o using following formula (14).
  • the rotation angle detection device can easily perform a correction operation that suppresses periodic amplitude fluctuations of the sin signal and the cos signal using the equations (13) and (14). For this reason, the speed at which the rotation angle detection device calculates the absolute angle of the rotating body is improved.
  • the sensor phase error between the output phase of the sin signal and the output phase of the cos signal is ⁇ ic
  • the input signal value is sin ⁇ ′, cos ( ⁇ ′ + ⁇ ic )
  • the theta ics is stored in the storage unit as the magnetic sensor correction information, the correction operation unit, the sin [theta using the following equation (15) and the following formula (17) While calculating o , it is preferable to calculate the cos ⁇ o using the following formula (16) and the following formula (18).
  • the sensor phase error between the output phase of the sin signal and the output phase of the cos signal is ⁇ ic
  • the input signal value is sin ( ⁇ ′ + ⁇ ic ), cos ⁇ ′
  • the theta ics is stored in the storage unit as the magnetic sensor correction information, the correction operation unit, the sin [theta using the following equation (19) and the following equation (21) While calculating o , it is preferable to calculate the said cos (theta) o using following formula (20) and following formula (22).
  • the plurality of magnetic tracks are magnetized on one end face in the axial direction of the rotating body.
  • the rotation angle detection device can be thinned in the axial direction, and the hollow hole can be enlarged.
  • the application range of the rotation angle detection device can be expanded, for example, to be applied to a bearing of an inner ring rotation type or an outer ring rotation type, or to a structure in which a cable of a device is wired in a hollow hole.
  • the freedom degree of the design of the apparatus which applies a rotation angle detection apparatus can be raised.
  • the side surface of the rotating body may be magnetized. In this case, the rotation angle detection device can be reduced in the radial direction.
  • the rotation angle detection device includes an angle information generation unit that generates absolute angle information including the absolute angle, the two magnetic sensor units, the two correction calculation units, the two phase detection units, It is preferable that at least one IC chip on which the phase difference detection unit, the angle calculation unit, and the angle information generation unit are integrated is provided.
  • the absolute angle information is converted into a predetermined signal and output, and the IC chip further includes the communication unit.
  • the IC chip further includes the storage unit.
  • the rotation angle detection device can be further reduced in size and cost.
  • the first communication unit that converts the absolute angle information into a predetermined signal and outputs it, and the second communication unit that converts the predetermined signal into a predetermined communication protocol are included.
  • the IC chip preferably further includes the first communication unit.
  • the IC chip further includes the storage unit.
  • the rotation angle detection device can be further reduced in size and cost.
  • the plurality of magnetic tracks are provided on a first magnetic track, a second magnetic track provided on an outer periphery of the first magnetic track, and an inner periphery of the first magnetic track.
  • a first magnetic sensor module including the third magnetic track, the magnetic sensor detecting the magnetic field of the first magnetic track, and the magnetic sensor detecting the magnetic field of the second magnetic track; It is preferable to include a second magnetic sensor module including the magnetic sensor that detects the magnetic field of the magnetic track and the magnetic sensor that detects the magnetic field of the third magnetic track.
  • the first magnetic sensor module and the second magnetic sensor module are arranged so as to be shifted in the circumferential direction of the rotating body.
  • the radial width of the first magnetic track can be reduced.
  • the diameter of the hollow hole of a rotary body can be enlarged, and the freedom degree of design of the apparatus which applies a rotation angle detection apparatus can be raised.
  • a rotation angle detection method includes a plurality of magnetic pole pairs having N poles and S poles arranged in a concentric ring at equal intervals and having different numbers of magnetic pole pairs.
  • a value of the sin signal output from a plurality of magnetic sensor units that detect a magnetic field of one magnetic track and output a sin signal and a cos signal according to a rotation angle of a rotating body having a track is the magnetic sensor.
  • the value of the cos signal output from the magnetic sensor unit is set to the value of the reference cos signal of the magnetic sensor unit so as to approach the value of the reference sin signal of the unit or according to the rotation angle of the rotating body.
  • a signal correction step of correcting the sin signal and the cos signal into a corrected sin signal and a corrected cos signal based on magnetic sensor correction information set in advance so as to approach, and the correction si Has a phase calculating step of calculating a phase of the signal and the correction cos signal, a phase difference calculation step of calculating a phase difference between a plurality of said phase, and a absolute angle calculating step of converting the phase difference to the absolute angle.
  • the sin signal and the cos signal before calculating the detection phase of the magnetic sensor can be corrected in real time. Further, since the phase is calculated using the corrected sin signal and the corrected cos signal obtained by correcting the sin signal and the cos signal based on preset known magnetic sensor correction information, the detection accuracy of the absolute angle of the rotating body is improved. To do. Therefore, the absolute angle of the rotating body can be detected with high accuracy.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a rotation angle detection device according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a rotating body of the rotation angle detection device according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram showing an example of each magnetic track of the rotating body shown in FIG.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating an arrangement example of the magnetic sensor module of the rotation angle detection device according to the first embodiment.
  • 5 is a cross-sectional view of the rotation angle detection device according to the first embodiment taken along the line IV-IV shown in FIG.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating an example of each magnetic sensor of the rotation angle detection device according to the first embodiment.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating a waveform example of each part of the rotation angle detection device according to the first embodiment.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating an example of functional blocks of the correction calculation unit according to the first embodiment.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating an example of a control block of the normalization processing unit according to the first embodiment.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating an example of a normalization operation in the normalization processing unit illustrated in FIG. 9.
  • FIG. 11 is a diagram illustrating an example different from FIG. 9 of the control block of the normalization processing unit according to the first embodiment.
  • FIG. 12 is a diagram illustrating an example of a normalization operation in the normalization processing unit illustrated in FIG. 11.
  • FIG. 13 is a diagram illustrating an example of a control block in which the normalization processing unit according to the first embodiment includes both an offset voltage correction unit and an amplitude correction unit.
  • FIG. 9 is a diagram illustrating an example of a control block of the normalization processing unit according to the first embodiment.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating an example of a normalization operation in the normalization processing unit illustrated in FIG. 9.
  • FIG. 14 is a diagram illustrating an example of a correction target in the sensor phase correction unit according to the first embodiment.
  • FIG. 15 is a diagram illustrating an example of a control block of the sensor phase correction unit according to the first embodiment.
  • FIG. 16 is a diagram illustrating an example of the phase correction operation in the sensor phase correction unit illustrated in FIG. 15.
  • FIG. 17 is a diagram illustrating an example different from that of FIG. 14 to be corrected in the sensor phase correction unit according to the first embodiment.
  • FIG. 18 is a diagram illustrating an example of a control block different from that in FIG. 15 of the sensor phase correction unit according to the first embodiment.
  • FIG. 19 is a diagram illustrating an example of the phase correction operation in the sensor phase correction unit illustrated in FIG. FIG.
  • FIG. 20 is a diagram illustrating an example of a specific procedure of the rotation angle detection method according to the first embodiment.
  • FIG. 21 is a diagram illustrating an example of functional blocks of the correction calculation unit according to the second embodiment.
  • FIG. 22 is a diagram illustrating an example of a control block of the amplitude variation suppressing unit according to the second embodiment.
  • FIG. 23 is a diagram illustrating an example of functional blocks of the correction calculation unit according to the third embodiment.
  • FIG. 24 is a diagram illustrating an example of a control block in which the correction calculation unit according to the first embodiment includes both a sensor phase correction unit and an amplitude variation suppression unit.
  • FIG. 25 is a diagram illustrating an example different from FIG.
  • FIG. 26 is a diagram illustrating an example of a rotating body of the rotation angle detection device according to the fourth embodiment.
  • FIG. 27 is a diagram showing an example of each magnetic track of the rotating body shown in FIG.
  • FIG. 28 is a diagram illustrating an arrangement example of the magnetic sensor module of the rotation angle detection device according to the fourth embodiment.
  • FIG. 29 is a cross-sectional view taken along the line IV′-IV ′ of FIG. 28 of the rotation angle detection device according to the fourth embodiment.
  • FIG. 30 is a diagram illustrating an arrangement example of the magnetic sensor modules of the rotation angle detection device according to the fifth embodiment.
  • FIG. 31 is a diagram illustrating a first modification of the magnetic sensor module.
  • FIG. 32 is a flowchart for explaining the operation of the magnetic sensor module when power is supplied.
  • FIG. 33 is a diagram illustrating a second modification of the magnetic sensor module.
  • FIG. 34 is a diagram illustrating a third modification of the magnetic sensor module.
  • FIG. 35 is a diagram illustrating a fourth modification of the magnetic sensor module.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a rotation angle detection device according to the first embodiment.
  • the rotation angle detection apparatus 1 according to the first embodiment includes a rotating body 100 having a first magnetic track 2A and a second magnetic track 2B, a magnetic sensor module 200, a communication unit 9, and a storage unit. 10.
  • the magnetic sensor module 200 includes a first magnetic sensor 3A, a first correction calculation unit 4A, a first phase detection unit 5A, a second magnetic sensor 3B, a second correction calculation unit 4B, and a second phase detection unit 5B.
  • the magnetic sensor module 200 is integrated on, for example, one IC chip. Thereby, it is possible to reduce the number of parts constituting the rotation angle detection device 1, improve the positional accuracy between the first magnetic sensor 3A and the second magnetic sensor 3B, reduce the manufacturing cost and the assembly cost, etc. A small and inexpensive rotation angle detection device 1 can be realized.
  • the magnetic sensor module 200 may include the communication unit 9 and the storage unit 10, for example. Thereby, the further size reduction and cost reduction of the rotation angle detection apparatus 1 are realizable.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a rotating body of the rotation angle detection device according to the first embodiment.
  • FIG. 3 is a diagram showing an example of each magnetic track of the rotating body shown in FIG.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating an arrangement example of the magnetic sensor module of the rotation angle detection device according to the first embodiment.
  • 5 is a cross-sectional view of the rotation angle detection device according to the first embodiment taken along the line IV-IV shown in FIG.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating an example of each magnetic sensor of the rotation angle detection device according to the first embodiment.
  • the first magnetic track 2A in which magnetic pole pairs 2A1 composed of N poles and S poles are arranged at equal intervals and the magnetic pole pairs 2B1 are arranged at equal intervals.
  • the second magnetic track 2B is arranged in the radial direction in a concentric ring shape with the rotation axis X of the rotating body 100 as an axis.
  • the first magnetic track 2A and the second magnetic track 2B of the first embodiment can be obtained by, for example, alternately magnetizing one end face in the axial direction of the rotating body 100 to the N pole and the S pole at equal intervals in the circumferential direction. .
  • first magnetic track 2A and the second magnetic track 2B different magnetic poles are alternately arranged in the circumferential direction such that, for example, the shaded portion is an N pole and the non-shaded portion is an S pole. It is equally distributed.
  • the first magnetic track 2A has 32 magnetic pole pairs 2A1.
  • the second magnetic track 2B has 31 magnetic pole pairs 2B1. That is, when the number of magnetic pole pairs 2A1 of the first magnetic track 2A is P (P is a natural number), the number of magnetic pole pairs 2B1 of the second magnetic track 2B is P-1.
  • the rotating body 100 can be composed of, for example, a neodymium magnet, a ferrite magnet, a samarium cobalt magnet, or the like according to a necessary magnetic flux density.
  • the first magnetic track 2A and the second magnetic track 2B have an axial configuration in which one end face in the axial direction of the rotating body 100 is magnetized.
  • the rotation angle detection apparatus 1 can be made thin in an axial direction, and a hollow hole can be enlarged. Accordingly, the application range of the rotation angle detection device 1 according to the first embodiment is expanded, for example, applied to a bearing of an inner ring rotating type or an outer ring rotating type, or applied to a structure in which a cable of a device is wired in a hollow hole. can do.
  • the freedom degree of design of the apparatus which applies the rotation angle detection apparatus 1 which concerns on Embodiment 1 can be raised.
  • the magnetic sensor module 200 As shown in FIGS. 4 and 5, the magnetic sensor module 200 according to the first embodiment is provided to face the rotating body 100 provided with the first magnetic track 2 ⁇ / b> A and the second magnetic track 2 ⁇ / b> B in the axial direction through a gap. It has been.
  • the first magnetic sensor 3A of the magnetic sensor module 200 faces the first magnetic track 2A and detects the magnetic field of the first magnetic track 2A.
  • the second magnetic sensor 3B of the magnetic sensor module 200 faces the second magnetic track 2B and detects the magnetic field of the second magnetic track 2B.
  • the magnetic sensor module 200 is provided at a fixed portion that does not rotate synchronously with the rotating body 100.
  • the magnetic pole pair 2A1 is arranged such that the pitch of the magnetic pole pair 2A1 of the first magnetic track 2A is one period and the phase difference is 90 ° in terms of electrical angle.
  • Two magnetic sensor elements 3A1 and 3A2 arranged apart in the direction are provided.
  • the second magnetic sensor 3B is disposed apart from the magnetic pole pair 2B1 in the arrangement direction so that the pitch of one magnetic pole pair 2B1 of the second magnetic track 2B is one period and has a phase difference of 90 ° in electrical angle.
  • the two magnetic sensor elements 3B1 and 3B2 are provided.
  • magnetic sensor elements 3A1 and 3A2 and the magnetic sensor elements 3B1 and 3B2 for example, magnetic sensor elements such as a Hall element and a magnetoresistive effect (MR) sensor can be used.
  • MR magnetoresistive effect
  • the first magnetic sensor 3A outputs a first sin signal sin ⁇ i 1 and a first cos signal cos ⁇ i 1 corresponding to the phase in the magnetic pole pair 2A1.
  • the second magnetic sensor 3B outputs a second sin signal sin ⁇ i 2 and a second cos signal cos ⁇ i 2 corresponding to the phase in the magnetic pole pair 2B1.
  • the first sin signal sin ⁇ i 1 and the first cos signal cos ⁇ i 1 output from the first magnetic sensor 3A are input to the first correction calculation unit 4A.
  • the second sin signal sin ⁇ i 2 and the second cos signal cos ⁇ i 2 output from the second magnetic sensor 3B are input to the second correction calculation unit 4B.
  • the first correction calculation unit 4A performs correction calculation processing, which will be described later, on the input first sin signal sin ⁇ i 1 and first cos signal cos ⁇ i 1, and performs the first correction sin signal sin ⁇ o 1 and the first correction cos signal cos ⁇ . o 1 is output.
  • the second correction calculation unit 4B performs correction calculation processing, which will be described later, on the second sin signal sin ⁇ i 2 and the second cos signal cos i ⁇ 2, and the second correction sin signal sin ⁇ o 2 and the second correction cos signal cos ⁇ o. 2 is output.
  • the correction calculation processing by the first correction calculation unit 4A and the second correction calculation unit 4B will be described in detail later.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating a waveform example of each part of the rotation angle detection device according to the first embodiment.
  • FIG. 7A shows the magnetic pole pattern of the first magnetic track 2A
  • FIG. 7B shows an example of the magnetic pole pattern of the second magnetic track 2B.
  • FIG. 7C shows the input signal waveform of the first phase detector 5A
  • FIG. 7D shows the input signal waveform of the second phase detector 5B.
  • FIG. 7E shows the detected phase signal waveform output by the first phase detector 5A
  • FIG. 7F shows the detected phase signal waveform output by the second phase detector 5B.
  • FIG. 7G shows the phase difference signal waveform output by the phase difference detector 6.
  • FIG. 7 shows an example in which the two magnetic pole pairs 2B1 of the second magnetic track 2B correspond to the section from the point a to the point b composed of the three magnetic pole pairs 2A1 of the first magnetic track 2A. That is, at the points a and b, the phase of the detection signal of the first magnetic sensor 3A and the phase of the detection signal of the second magnetic sensor 3B match. In this case, it is possible to detect an absolute angle at an arbitrary position up to point b with respect to point a. Thus, the absolute angle between two points where the phase of the detection signal of the first magnetic sensor 3A and the phase of the detection signal of the second magnetic sensor 3B coincide can be detected.
  • the magnetic pole phase of the first magnetic track 2A and the magnetic pole phase of the second magnetic track 2B coincide. That is, the magnetic sensor module 200 uses the point A where the phase of the detection signal of the first magnetic sensor 3A and the phase of the detection signal of the second magnetic sensor 3B coincide with each other as the origin position to determine the absolute angle on the entire circumference of the rotating body 100. Can be detected.
  • the relationship between the number of magnetic pole pairs 2A1 of the first magnetic track 2A and the number of magnetic pole pairs 2B1 of the second magnetic track 2B is not limited to the example shown in FIG. 3, and for example, the magnetic poles of the first magnetic track 2A When the number of pairs 2A1 is P, the number of magnetic pole pairs 2B1 of the second magnetic track 2B may be P + 1.
  • the phase difference detection unit 6 outputs the phase difference signal illustrated in FIG. 7G based on the detection phase signals output from the first phase detection unit 5A and the second phase detection unit 5B.
  • the angle calculation unit 7 performs a process of converting the phase difference obtained by the phase difference detection unit 6 into an absolute angle according to a preset calculation parameter. Calculation parameters used in the angle calculation unit 7 are stored in the storage unit 10.
  • an angle information generation unit 8 is provided after the angle calculation unit 7.
  • the angle information generation unit 8 includes, as information including the absolute angle calculated by the angle calculation unit 7 (hereinafter, also referred to as “absolute angle information”), for example, an A phase signal and a B phase signal that are 90 degrees out of phase, An ABZ phase signal composed of a Z phase signal indicating the origin position is generated.
  • A-phase signal and the B-phase signal for example, a first correction sin signal and a first correction cos signal that are outputs of the first correction calculation unit 4A, and a second correction sin that is an output of the second correction calculation unit 4B. Any one of the signals and the second correction cos signal may be used.
  • the communication unit 9 converts the absolute angle information generated by the angle information generation unit 8 into a predetermined signal (for example, ABZ phase signal, parallel signal, serial data, analog voltage, PWM modulation signal, etc.) and outputs it to the external control device To do.
  • a predetermined signal for example, ABZ phase signal, parallel signal, serial data, analog voltage, PWM modulation signal, etc.
  • the absolute angle information converted into a predetermined signal is output, so that the number of electrical connection lines to the external control device can be reduced.
  • an output request signal of absolute angle information may be input to the communication unit 9 from an external control device.
  • the rotation angle detection device 1 may be configured to operate in response to an absolute angle information output request signal and output the absolute angle information from the communication unit 9.
  • the number of magnetic pole pairs 2A1 of the first magnetic track 2A (P), the number of magnetic pole pairs 2B1 of the second magnetic track 2B (P + 1), which will be described later Necessary for the operation of the rotation angle detector 1 such as the first magnetic sensor correction information used in the first correction calculation unit 4A, the second magnetic sensor correction information used in the second correction calculation unit 4B described later, the absolute angle reference position, etc. Information is stored.
  • storage part 10 a non-volatile memory is illustrated, for example.
  • parameters and arithmetic expressions used in the first correction calculation unit 4A and the second correction calculation unit 4B are stored in the storage unit 10 as the first magnetic sensor correction information and the second magnetic sensor correction information.
  • the parameters and calculation formulas used in the first correction calculation unit 4A include information used for correcting the first sin signal sin ⁇ i 1 and the first cos signal cos ⁇ i 1 which are detection signals of the first magnetic sensor 3A.
  • a parameter or an arithmetic expression is set such that the detection signal of the first magnetic sensor 3A approaches the value of the reference sin signal or cos signal of the first magnetic sensor 3A assumed in advance. It shall be.
  • the parameters and calculation formulas used in the second correction calculation unit 4B include information used for correcting the second sin signal sin ⁇ i 2 and the second cos signal cos ⁇ i 2 that are detection signals of the second magnetic sensor 3B.
  • the second magnetic sensor correction information a parameter or an arithmetic expression is set such that the detection signal of the second magnetic sensor 3B approaches the value of the reference sin signal or cos signal of the second magnetic sensor 3B assumed in advance. It shall be.
  • various parameters and information stored in the storage unit 10 may be configured to be updated from the external control device via the communication unit 9, for example. Thereby, the setting according to the use condition of the rotation angle detection apparatus 1 becomes possible.
  • first magnetic track 2A and the second magnetic track 2B are “magnetic track 2”
  • first magnetic sensor 3A and the second magnetic sensor 3B are “magnetic sensor 3”
  • first correction calculation unit 4A and the second correction are also referred to as “magnetic sensor correction information”.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating an example of functional blocks of the correction calculation unit according to the first embodiment.
  • the correction calculation unit 4 includes a normalization processing unit 41 and a sensor phase correction unit 42.
  • the correction calculation unit 4 sin signal output from the magnetic sensor 3 sin [theta i and cos signals cos [theta] i is inputted.
  • the correction calculation unit 4 also acquires magnetic sensor correction information applied by the normalization processing unit 41 and the sensor phase correction unit 42 from the storage unit 10.
  • Normalization processing unit 41 outputs a sin signal sin [theta i and cos signals cos [theta] i is normalized and normalized sin signal sin [theta 'and normalization cos signal cos [theta]' output from the magnetic sensor 3 to the sensor phase correction unit 42.
  • the sensor phase correction unit 42 corrects the phases of the normalized sin signal sin ⁇ ′ and the normalized cos signal cos ⁇ ′ and outputs a corrected sin signal sin ⁇ o and a corrected cos signal cos ⁇ o .
  • FIG. 9 is a diagram illustrating an example of a control block of the normalization processing unit according to the first embodiment.
  • FIG. 10 is a diagram illustrating an example of a normalization operation in the normalization processing unit illustrated in FIG. 9.
  • the normalization processing unit 41 includes an offset voltage correction unit 411.
  • the sin signal sin ⁇ i cos signal cos ⁇ i
  • the normalized sin signal sin ⁇ ′ normalized cos signal cos ⁇ ′
  • an average value Vsinave (Vcosave) of a sin signal (cos signal) that is a detection signal of the magnetic sensor 3 is set in advance as magnetic sensor correction information and stored in the storage unit 10.
  • the average value Vsinave may be, for example, an average value of sin signals for a predetermined period based on the electrical angle of the magnetic track 2, or may be an average value of sin signals for an arbitrary period.
  • the average value Vcosave may be, for example, an average value of a cosine signal for a predetermined period depending on an electrical angle of the magnetic track 2, or may be an average value of a cosine signal for an arbitrary period.
  • the average value Vsinave (Vcosave) of these sin signals (cos signals) may be a value measured at the time of shipping inspection of the rotation angle detection device 1, for example.
  • the offset voltage correction unit 411 normalizes the offset voltage of the sin signal sin ⁇ i using the average value V sinave of the sin signal that is the detection signal of the magnetic sensor 3. Specifically, Vsinave is subtracted from the sin signal sin ⁇ i , that is, the normalized sin signal sin ⁇ ′ is calculated by the following equation (1).
  • the above formula (1) is stored and set in advance in the storage unit 10 as magnetic sensor correction information.
  • the offset voltage correction unit 411 outputs a normalized sin signal sin ⁇ ′ indicated by a solid line in FIG. 10 by normalizing the offset voltage of the sin signal sin ⁇ i using the above equation (1).
  • the offset voltage correction unit 411 normalizes the offset voltage of the cos signal cos ⁇ i using the average value V cosave of the cos signal that is the detection signal of the magnetic sensor 3. Specifically, Vcosave is subtracted from the cos signal cos ⁇ i , that is, the normalized cos signal cos ⁇ ′ is calculated by the following equation (2).
  • the above equation (2) is stored and set in advance in the storage unit 10 as magnetic sensor correction information.
  • the offset voltage correction unit 411 outputs a normalized cos signal cos ⁇ ′ indicated by a solid line in FIG. 10 by normalizing the offset voltage of the cos signal cos ⁇ i using the above equation (2).
  • FIG. 11 is a diagram illustrating an example different from FIG. 9 of the control block of the normalization processing unit according to the first embodiment.
  • FIG. 12 is a diagram illustrating an example of a normalization operation in the normalization processing unit illustrated in FIG. 11.
  • the normalization processing unit 41 includes an amplitude correction unit 412.
  • the sin signal sin ⁇ i cos signal cos ⁇ i
  • the normalized sin signal sin ⁇ ′ normalized cos signal cos ⁇ ′
  • a maximum value Vsinmax (Vcosmax) and a minimum value Vsinmin (Vcosmin) of a sin signal (cos signal) that is a detection signal of the magnetic sensor 3 are set and stored as magnetic sensor correction information in advance.
  • the maximum value Vsinmax of the sin signal may be, for example, an average value of the maximum values of the sin signal in each period of a predetermined period by the electrical angle of the magnetic track 2, or the maximum value of the sin signal of any one period. It may be a value.
  • the minimum value Vsinmin of the sin signal may be, for example, an average value of the minimum values of the sin signal in each period corresponding to a predetermined period by the electrical angle of the magnetic track 2, or the minimum value of the sin signal of any one period. It may be a value.
  • the maximum value Vcosmax of the cos signal may be, for example, an average value of the maximum values of the cos signal in each period corresponding to a predetermined period by the electrical angle of the magnetic track 2, or the maximum value of the cos signal in any one period. It may be a value.
  • the minimum value Vcosmin of the cos signal may be, for example, an average value of the minimum values of the cos signal in each period corresponding to a predetermined period by the electrical angle of the magnetic track 2, or the minimum value of the cos signal in any one period. It may be.
  • the maximum value Vsinmax (Vcosmax) and the minimum value Vsinmin (Vcosmin) of these sin signals (cos signals) may be values measured at the time of shipping inspection of the rotation angle detection device 1, for example.
  • the amplitude correction unit 412 normalizes the amplitude of the sin signal sin ⁇ i using the maximum value Vsinmax and the minimum value Vsinmin of the sin signal. Specifically, the sin signal sin ⁇ i is divided by a value obtained by dividing the absolute value of V sin max by subtracting V sin min by 2, that is, the normalized sin signal sin ⁇ ′ is calculated by the following equation (3).
  • the above equation (3) is stored and set in advance in the storage unit 10 as magnetic sensor correction information.
  • the amplitude correction unit 412 normalizes the amplitude of the sin signal sin ⁇ i using the above equation (3), thereby outputting a normalized sin signal sin ⁇ ′ in which the amplitude shown by the solid line in FIG. 12 is normalized.
  • the amplitude correction unit 412 uses the maximum value Vcosmax and minimum value Vcosmin of cos signals, normalize the amplitude of the cos signal cos [theta] i. Specifically, the cos signal cos ⁇ i is divided by a value obtained by dividing the absolute value of the value obtained by subtracting V cos min from V cos max by 2, that is, the normalized cos signal cos ⁇ ′ is calculated by the following equation (4).
  • the above equation (4) is stored and set in advance in the storage unit 10 as magnetic sensor correction information.
  • the amplitude correction unit 412 normalizes the amplitude of the cos signal cos ⁇ i using the above equation (4), thereby outputting a normalized cos signal cos ⁇ ′ in which the amplitude shown by the solid line in FIG. 12 is normalized.
  • FIG. 13 is a diagram illustrating an example of a control block in which the normalization processing unit according to the first embodiment includes both an offset voltage correction unit and an amplitude correction unit.
  • the offset voltage correction unit 411 normalizes the offset voltage of the sin signal sin ⁇ i using the average value V sinave of the sin signal that is the detection signal of the magnetic sensor 3. Specifically, Vsinave is subtracted from the sin signal sin ⁇ i , that is, the normalized sin signal sin ⁇ ′′ is calculated by the following equation (5).
  • the above equation (5) is stored and set in the storage unit 10 as magnetic sensor correction information in advance.
  • the offset voltage correction unit 411 normalizes the offset voltage of the sin signal sin ⁇ i using the above equation (5).
  • the offset voltage correction unit 411 normalizes the offset voltage of the cos signal cos ⁇ i using the average value V cosave of the cos signal that is the detection signal of the magnetic sensor 3. Specifically, Vcosave is subtracted from the cos signal cos ⁇ i , that is, the normalized cos signal cos ⁇ ′′ is calculated by the following equation (6).
  • the above equation (6) is stored and set in advance in the storage unit 10 as magnetic sensor correction information.
  • the offset voltage correction unit 411 normalizes the offset voltage of the cos signal cos ⁇ i using the above equation (6).
  • the amplitude correction unit 412 normalizes the amplitude of the normalized sin signal sin ⁇ ′′ using the maximum value Vsinmax and the minimum value Vsinmin of the sin signal. Specifically, the normalized sin signal sin ⁇ ′′ is divided by a value obtained by dividing the absolute value of the value obtained by subtracting Vsinmin from Vsinmax by 2, that is, the normalized sin signal sin ⁇ ′ is calculated by the following equation (7).
  • the above equation (7) is stored and set in advance in the storage unit 10 as magnetic sensor correction information.
  • the amplitude correction unit 412 normalizes the amplitude of the normalized sin signal sin ⁇ ′′ using the above equation (7).
  • the amplitude correction unit 412 normalizes the amplitude of the normalized cos signal cos ⁇ ′′ using the maximum value Vcosmax and the minimum value Vcosmin of the cos signal. Specifically, the normalized cos signal cos ⁇ ′′ is divided by a value obtained by dividing the absolute value of the value obtained by subtracting V cosmin from V cos max by 2, that is, the normalized cos signal cos ⁇ ′ is calculated by the following equation (8).
  • the above equation (8) is stored and set in advance in the storage unit 10 as magnetic sensor correction information.
  • the amplitude correction unit 412 normalizes the amplitude of the normalized cos signal cos ⁇ ′′ using the above equation (8).
  • the offset voltage correction unit 411 first, the normalized sin signal sin ⁇ ′′ and the normalized cos signal cos ⁇ ′′ obtained by normalizing the offset voltages of the sin signal sin ⁇ i and the cos signal cos ⁇ i are obtained.
  • the amplitude correction unit 412 calculates a normalized sin signal sin ⁇ ′ and a normalized cos signal cos ⁇ ′ obtained by normalizing the amplitudes of the normalized sin signal sin ⁇ ′′ and the normalized cos signal cos ⁇ ′′.
  • a normalized sin signal sin ⁇ ′ and a normalized cos signal cos ⁇ ′ in which both the offset voltage and the amplitude of the sin signal sin ⁇ i and the cos signal cos ⁇ i are normalized can be obtained.
  • FIG. 14 is a diagram illustrating an example of a correction target in the sensor phase correction unit according to the first embodiment.
  • the magnetic sensor element 3A1 and the magnetic sensor element 3A2 of the first magnetic sensor 3A have a phase difference of 90 ° in electrical angle with the pitch of one magnetic pole pair 2A1 of the first magnetic track 2A as one cycle.
  • the magnetic sensor element 3B1 and the magnetic sensor element 3B2 of the second magnetic sensor 3B are spaced apart from each other in the arrangement direction of the magnetic pole pair 2A1, and the pitch of one magnetic pole pair 2B1 of the second magnetic track 2B is one period.
  • the output phase of the magnetic sensor element 3A1 (3B1) and the magnetic sensor are arranged so as to be separated from each other in the arrangement direction of the magnetic pole pair 2B1 so as to have a phase difference of 90 ° in terms of electrical angle.
  • FIGS. 15 and 16 show examples in which the output phase of the magnetic sensor element 3A2 (3B2) is corrected based on the magnetic sensor element 3A1 (3B1).
  • FIG. 15 is a diagram illustrating an example of a control block of the sensor phase correction unit according to the first embodiment.
  • FIG. 16 is a diagram illustrating an example of the phase correction operation in the sensor phase correction unit illustrated in FIG. 15.
  • the normalized cos signal cos ⁇ ′ is indicated by a broken line
  • the corrected cos signal cos ⁇ o is indicated by a solid line.
  • the sensor phase correction unit 42 shown in FIG. 15 determines that the sensor phase error ⁇ ic between the output phase of the magnetic sensor element 3A1 (3B1) and the output phase of the magnetic sensor element 3A2 (3B2) is the first magnetic sensor correction information ( Second magnetic sensor correction information) and stored in the storage unit 10.
  • the sensor phase error ⁇ ic may be, for example, a value measured at the time of shipping inspection of the rotation angle detection device 1.
  • the sensor phase correction unit 42 corrects the phase of the normalized cos signal cos ⁇ ′ using the sensor phase error ⁇ ic with reference to the normalized sin signal sin ⁇ ′.
  • the sensor phase correction unit 42 does not correct the normalized normalized sin signal sin ⁇ ′. That is, the corrected sin signal sin ⁇ o in the sensor phase correcting unit 42 can be expressed by the following equation (9).
  • the sensor phase correction unit 42 calculates the correction cos signal cos ⁇ o by the above equation (10).
  • the above equation (10) is also referred to as a “first phase correction calculation equation”.
  • the above formula (10), that is, the first phase correction calculation formula is stored and set in advance in the storage unit 10 as first magnetic sensor correction information (second magnetic sensor correction information). ing.
  • the sensor phase correction unit 42 corrects the phase of the normalized cos signal cos ⁇ ′ using the above equation (10), that is, the first phase correction arithmetic expression, thereby correcting the corrected cos signal cos ⁇ o shown by a solid line in FIG. Is output.
  • FIG. 17 is a diagram illustrating an example different from FIG. 14 to be corrected in the sensor phase correction unit according to the first embodiment.
  • FIGS. 18 and 19 below show examples in which the output phase of the magnetic sensor element 3A1 (3B1) is corrected with reference to the magnetic sensor element 3A2 (3B2).
  • FIG. 18 is a diagram illustrating an example of a control block different from that in FIG. 15 of the sensor phase correction unit according to the first embodiment.
  • FIG. 19 is a diagram illustrating an example of the phase correction operation in the sensor phase correction unit illustrated in FIG. In the example shown in FIG. 19, the normalized sin signal sin ⁇ ′ is indicated by a broken line, and the corrected sin signal sin ⁇ o is indicated by a solid line.
  • the sensor phase correction unit 42a shown in FIG. 18 has a sensor phase error ⁇ ic between the output phase of the magnetic sensor element 3A1 (3B1) and the output phase of the magnetic sensor element 3A2 (3B2) in advance as the first magnetic sensor correction information ( Second magnetic sensor correction information) and stored in the storage unit 10.
  • the sensor phase error ⁇ ic may be, for example, a value measured at the time of shipping inspection of the rotation angle detection device 1.
  • the sensor phase correction unit 42 a corrects the phase of the normalized sin signal sin ⁇ ′ using the sensor phase error ⁇ ic as a reference with the normalized cos signal cos ⁇ ′.
  • the sensor phase correction unit 42a does not correct the normalized normalized cosine signal cos ⁇ ′. That is, the correction cos signal cos ⁇ o in the sensor phase correction unit 42a can be expressed by the following equation (11).
  • the sensor phase correction unit 42 calculates the corrected sin signal sin ⁇ o by the above equation (12).
  • the above equation (12) is also referred to as a “second phase correction calculation equation”.
  • the above formula (12), that is, the second phase correction calculation formula is stored and set in advance in the storage unit 10 as first magnetic sensor correction information (second magnetic sensor correction information). ing.
  • the sensor phase correction unit 42a corrects the phase of the normalized sin signal sin ⁇ ′ using the above equation (12), that is, the second phase correction arithmetic expression, thereby correcting the corrected sin signal sin ⁇ o shown by a solid line in FIG. Is output.
  • the first correction calculation unit 4A includes the sensor phase correction unit 42 or the sensor phase correction unit 42a, so that the output phase of the first magnetic sensor 3A can be corrected. Moreover, the 2nd correction calculating part 4B can correct
  • FIG. 20 is a diagram illustrating an example of a specific procedure of the rotation angle detection method according to the first embodiment.
  • the first correction computing section 4A is based on the first magnetic sensor correction information, the 1sin signal sin [theta i 1 and first 1cos signal cos [theta] i 1 first correction sin signal sin [theta o 1 and the first correction cos signal cos [theta] o 1 correcting the second correction computing section 4B, on the basis of the second magnetic sensor correction information, the first 2sin signal sin [theta i 2 and the 2cos signal cos [theta] i 2 second correction sin signal sin [theta o 2 and the second correction cos signal cos [theta] o 2 to correct (step S101).
  • the first phase detector 5A calculates the phases of the first corrected sin signal sin ⁇ o 1 and the first corrected cos signal cos ⁇ o 1, and the second phase detector 5B calculates the second corrected sin signal sin ⁇ o 2. Then, the phase of the second corrected cos signal cos ⁇ o 2 is calculated (step S102).
  • the phase difference detection unit 6 calculates the phase difference between the first magnetic sensor 3A and the second magnetic sensor 3B based on the detection phase of the first magnetic sensor 3A and the detection phase of the second magnetic sensor 3B ( Step S103).
  • the angle calculation unit 7 converts the phase difference output from the phase difference detection unit 6 into an absolute angle (step S104).
  • 2 magnetic tracks 2B are arranged in a radial direction in a concentric ring shape with the rotation axis X as an axis, and when the number of magnetic pole pairs 2A1 of the first magnetic track 2A is P (P is a natural number) Rotating body 100 in which the number of magnetic pole pairs 2B1 of two magnetic tracks 2B is P-1 or P + 1, and the magnetic field of the first magnetic track 2A is detected, and the first sin signal sin ⁇ i 1 and the first cos signal cos ⁇ i 1 are output.
  • the first magnetic sensor 3A, the second magnetic sensor 3B that detects the magnetic field of the second magnetic track 2B and outputs the second sin signal sin ⁇ i 2 and the second cos signal cos ⁇ i 2, and the rotation angle of the first magnetic track 2A Meet Next, the value of the first sin signal sin ⁇ i 1 output from the first magnetic sensor 3A is made to approach the value of the reference sin signal of the first magnetic sensor 3A, or the value of the first sin signal is changed depending on the rotation angle of the first magnetic track 2A.
  • First magnetic sensor correction information set in advance so that the value of the first cos signal cos ⁇ i 1 output by the first magnetic sensor 3A approaches the value of the reference cos signal of the first magnetic sensor 3A, and second The value of the second sin signal sin ⁇ i 2 output by the second magnetic sensor 3B in accordance with the rotation angle of the magnetic track 2B is made to approach the value of the reference sin signal of the second magnetic sensor 3B, or the second magnetic track 2B
  • the value of the second cos signal cos ⁇ i 2 output by the second magnetic sensor 3B in accordance with the rotation angle of the second magnetic sensor 3B is set in advance so as to approach the value of the reference cos signal of the second magnetic sensor 3B.
  • the 2 storage unit 10 for storing the magnetic sensor correction information, the first sin signal sin ⁇ i 1 and the first cos signal cos ⁇ i 1 based on the first magnetic sensor correction information, the first correction sin signal sin ⁇ o 1 and the first correction cos signal cos ⁇ .
  • a phase difference detection unit 6 that calculates a phase difference between the first magnetic sensor 3A and the second magnetic sensor 3B based on the detection phase of 3B, and an angle calculation unit 7 that converts this phase difference into an absolute angle. .
  • the rotation angle detection device 1 can correct the sin signal and the cos signal before the phase is calculated in the first phase detection unit 5A and the second phase detection unit 5B in real time. Further, since the phase is calculated using the corrected sin signal and the corrected cos signal obtained by correcting the sin signal and the cos signal based on preset known magnetic sensor correction information, the detection accuracy of the absolute angle of the rotating body 100 is improved. improves. Therefore, the rotation angle detection device 1 according to this embodiment can detect the absolute angle of the rotating body 100 with high accuracy.
  • the offset voltage correction unit 411 corrects the sin signal by using the average value Vsinave of the sin signal.
  • the cos signal is corrected using the average value Vcosave of the cos signal.
  • the maximum value Vsinmax of the sin signal which is the detection signal of the first magnetic sensor 3A (second magnetic sensor 3B)
  • the minimum value Vsinmin, the maximum value Vcosmax of the cos signal, and the minimum value Vcosmin of the cos signal are stored in advance in the storage unit 10 as first magnetic sensor correction information (second magnetic sensor correction information), and the amplitude correction unit 412
  • the sin signal is corrected using the maximum value Vsinmax and the minimum value Vsinmin
  • the cos signal is corrected using the maximum value Vcosmax and the minimum value Vcosmin of the cos signal.
  • the amplitudes of the sin signal and the cos signal can be normalized.
  • the correction calculation unit 4 (the first correction calculation unit 4A and the second correction calculation unit 4B) includes both the offset voltage correction unit 411 and the amplitude correction unit 412 so that the offset voltage of the sin signal and the cos signal can be reduced. Both amplitude and can be normalized.
  • the sensor phase error ⁇ ic between the output phase of 3A2 (3B2) and the first phase correction calculation formula are stored in advance in the storage unit 10 as first magnetic sensor correction information (second magnetic sensor correction information), and the sensor phase
  • the correction unit 42 corrects the cos signal using the sensor phase error ⁇ ic and the first phase correction arithmetic expression. Thereby, the output phase of the magnetic sensor element 3A2 (3B2) can be corrected with the magnetic sensor element 3A1 (3B1) as a reference.
  • the sensor phase error ⁇ ic and the second phase between the output phase of the magnetic sensor element 3A1 (3B1) and the output phase of the magnetic sensor element 3A2 (3B2) in the first magnetic sensor 3A (second magnetic sensor 3B) The correction calculation formula is stored in advance in the storage unit 10 as first magnetic sensor correction information (second magnetic sensor correction information), and the sensor phase correction unit 42a uses the sensor phase error ⁇ ic and the second phase correction calculation formula. , The sin signal is corrected. Thereby, the output phase of the magnetic sensor element 3A1 (3B1) can be corrected with the magnetic sensor element 3A2 (3B2) as a reference.
  • the rotation angle detection method detects the magnetic field of the first magnetic track 2A according to the rotation angle of the first magnetic track 2A in which the magnetic pole pairs 2A1 composed of the N pole and the S pole are arranged at equal intervals.
  • the 1sin value of the signal sin [theta i 1 of the first magnetic sensor 3A has output for outputting a first 1sin signal sin [theta i 1 and the 1cos signal cos [theta] i 1 and approaches the value of the reference of the sin signal of the first magnetic sensor 3A
  • the value of the first cos signal cos ⁇ i 1 output by the first magnetic sensor 3A approaches the value of the reference cos signal of the first magnetic sensor 3A.
  • the signal is corrected to the s signal cos ⁇ o 1 (signal correction step), and the magnetic field of the second magnetic track 2B is detected according to the rotation angle of the second magnetic track 2B in which the magnetic pole pairs 2B1 are arranged at equal intervals to detect the second sin signal sin ⁇ i.
  • the 2sin signal value of sin [theta i 2 of the second magnetic sensor 3B is output for outputting the second and 2cos signal cos [theta] i 2 is to be closer to the value of the reference of the sin signal of the second magnetic sensor 3B, or the second magnetic
  • the second cos signal cos ⁇ i 2 output from the second magnetic sensor 3B according to the rotation angle of the track 2B is set in advance so that the value of the reference cos signal of the second magnetic sensor 3B approaches the value of the reference cos signal.
  • the first 2sin signal sin [theta i 2 and the 2cos signal cos [theta] i 2 second correction sin signal sin [theta o 2 and the second correction cos signal cos [theta] 2 is corrected (signal correction step), first calculates a correction sin signal sin [theta o 1 and the first correction cos signal cos [theta] o 1 phase (phase calculation step), the second correction sin signal sin [theta o 2 and a second correction
  • the phase of the cos signal cos ⁇ o 2 is calculated (phase calculation step), and based on the detection phase of the first magnetic sensor 3A and the detection phase of the second magnetic sensor 3B, the first magnetic sensor 3A and the second magnetic sensor 3B A phase difference is calculated (phase difference calculation step), and this phase difference is converted into an absolute angle (absolute angle calculation step).
  • the sin signal and the cos signal before the phase is calculated in the first phase detection unit 5A and the second phase detection unit 5B can be corrected in real time. Further, since the phase is calculated using the corrected sin signal and the corrected cos signal obtained by correcting the sin signal and the cos signal based on preset known magnetic sensor correction information, the detection accuracy of the absolute angle of the rotating body 100 is improved. improves. Therefore, in the rotation angle detection method according to the present embodiment, the absolute angle of the rotating body 100 can be detected with high accuracy.
  • first magnetic track 2A and the second magnetic track 2B have an axial configuration in which one end face in the axial direction of the rotating body 100 is magnetized.
  • first magnetic track 2 ⁇ / b> A and the second magnetic track 2 ⁇ / b> B may be magnetized on the outer peripheral surface of the rotating body 100, and may be a radial type configuration arranged in the axial direction.
  • the first magnetic track 2A and the second magnetic track 2B are “magnetic track 2”
  • the first magnetic sensor 3A and the second magnetic sensor 3B are “magnetic sensor 3”
  • the first correction calculation unit 4A is also referred to as “correction calculation unit 4a”
  • the first magnetic sensor correction information and the second magnetic sensor correction information are also referred to as “magnetic sensor correction information”.
  • FIG. 21 is a diagram illustrating an example of functional blocks of the correction calculation unit according to the second embodiment.
  • the correction calculation unit 4 a according to the second embodiment includes the normalization processing unit 41 and the amplitude variation suppression unit 43 described in the first embodiment.
  • the correction calculation unit 4a sin signal output from the magnetic sensor 3 sin [theta i and cos signals cos [theta] i is inputted.
  • the correction calculation unit 4 a acquires magnetic sensor correction information applied by the normalization processing unit 41 and the amplitude variation suppression unit 43 from the storage unit 10.
  • Normalization processing unit 41 outputs a sin signal sin [theta i and cos signals cos [theta] i is normalized and normalized sin signal sin [theta 'and normalization cos signal cos [theta]' output from the magnetic sensor 3 to the sensor phase correction unit 42.
  • the amplitude fluctuation suppressing unit 43 corrects amplitude fluctuations of the normalized sin signal sin ⁇ ′ and the normalized cos signal cos ⁇ ′ and outputs a corrected sin signal sin ⁇ o and a corrected cos signal cos ⁇ o .
  • FIG. 22 is a diagram illustrating an example of a control block of the amplitude variation suppressing unit according to the second embodiment. Since the control block of the normalization processing unit 41 is the same as that of the first embodiment, the description thereof is omitted here.
  • the output amplitude of the magnetic sensor 3 varies.
  • the magnetic sensor 3 and the magnetic track 2 The axial distance between the two may vary during one rotation of the rotating body 100.
  • the amplitude fluctuation suppressing unit 43 illustrated in FIG. 22 calculates a corrected sin signal sin ⁇ o by the following equation (13).
  • the following formula (13) is also referred to as a “first amplitude fluctuation correction calculation formula”.
  • the above equation (13), that is, the first amplitude fluctuation correction calculation formula is stored and set in advance in the storage unit 10 as magnetic sensor correction information.
  • the amplitude fluctuation suppressing unit 43 calculates the corrected sin signal sin ⁇ o in which the periodic amplitude fluctuation of the normalized sin signal sin ⁇ ′ is suppressed using the above equation (13), that is, the first amplitude fluctuation correction arithmetic expression. Output.
  • the amplitude fluctuation suppressing unit 43 shown in FIG. 22 calculates a corrected cos signal cos ⁇ o by the following equation (14).
  • the following formula (14) is also referred to as a “second amplitude fluctuation correction calculation formula”.
  • the above equation (14), that is, the second amplitude fluctuation correction calculation formula is stored and set in advance in the storage unit 10 as magnetic sensor correction information.
  • the amplitude fluctuation suppressing unit 43 calculates the corrected cos signal cos ⁇ o that suppresses the periodic amplitude fluctuation of the normalized cos signal cos ⁇ ′ using the above equation (14), that is, the second amplitude fluctuation correction calculation expression. Output.
  • the first correction calculation unit 4A includes the amplitude fluctuation suppressing unit 43, so that the fluctuation of the output amplitude of the first magnetic sensor 3A can be corrected. Moreover, the 2nd correction calculating part 4B can correct
  • the first amplitude fluctuation correction calculation formula and the second amplitude fluctuation correction calculation formula are preliminarily stored in the first sensor correction.
  • the information is stored in the storage unit 10 as information, and the amplitude fluctuation suppressing unit 43 corrects the sin signal and the cos signal using the first amplitude fluctuation correction arithmetic expression and the second amplitude fluctuation correction arithmetic expression.
  • variation of the output amplitude of 3 A of 1st magnetic sensors (2nd magnetic sensor 3B) can be correct
  • the first magnetic track 2A and the second magnetic track 2B are “magnetic track 2”
  • the first magnetic sensor 3A and the second magnetic sensor 3B are “magnetic sensor 3”
  • the first correction calculation unit 4A is also referred to as “correction calculation unit 4b”
  • the first magnetic sensor correction information and the second magnetic sensor correction information are also referred to as “magnetic sensor correction information”.
  • FIG. 23 is a diagram illustrating an example of functional blocks of the correction calculation unit according to the third embodiment.
  • FIG. 24 is a diagram illustrating an example of a control block in which the correction calculation unit according to the first embodiment includes both a sensor phase correction unit and an amplitude variation suppression unit.
  • FIG. 25 is a diagram illustrating an example different from FIG. 24 of the control block in which the correction calculation unit according to the first embodiment includes both the sensor phase correction unit and the amplitude variation suppression unit.
  • the correction calculation unit 4b includes the normalization processing unit 41 and the sensor phase correction unit 42 (or the sensor phase correction unit 42a) described in the first embodiment, and the embodiment.
  • the amplitude fluctuation suppressing unit 43 described in 2 is provided.
  • the correction operation unit 4b sin signal output from the magnetic sensor 3 sin [theta i and cos signals cos [theta] i is inputted.
  • the correction calculation unit 4 b acquires magnetic sensor correction information applied by the normalization processing unit 41 and the amplitude variation suppression unit 43 from the storage unit 10.
  • Normalization processing unit 41 outputs the normalized sin signal sin [theta 'and normalization cos signal cos [theta]' is normalized and sin signal sin [theta i and cos signals cos [theta] i which is outputted from the magnetic sensor 3 to the sensor phase correction unit 42,42a To do.
  • the sensor phase correction units 42 and 42a correct the phase of the normalized sin signal sin ⁇ ′ or the normalized cos signal cos ⁇ ′ and output a corrected sin signal sin ⁇ o ′ and a corrected cos signal cos ⁇ o ′.
  • the sensor phase correction unit 42 shown in FIG. 24 does not correct the normalized normalized sin signal sin ⁇ ′. That is, the corrected sin signal sin ⁇ o ′ in the sensor phase correction unit 42 can be expressed by the following equation (15).
  • the sensor phase correction unit 42 illustrated in FIG. 24 calculates a corrected cos signal cos ⁇ o ′ by the following equation (16).
  • the following formula (16) is also referred to as a “first phase correction calculation formula” similarly to the above formula (10).
  • the above formula (16), that is, the first phase correction calculation formula is stored and set in advance in the storage unit 10 as magnetic sensor correction information.
  • the sensor phase correction unit 42 calculates and outputs a corrected cos signal cos ⁇ o ′ in which the phase of the normalized cos signal cos ⁇ ′ is corrected using the above equation (16), that is, the first phase correction calculation expression.
  • the amplitude fluctuation suppressing unit 43 corrects the amplitude fluctuation of the corrected sin signal sin ⁇ o ′ and the corrected cos signal cos ⁇ o ′, and outputs the corrected sin signal sin ⁇ o and the corrected cos signal cos ⁇ o .
  • the amplitude variation suppressing unit 43 illustrated in FIG. 24 calculates the corrected sin signal sin ⁇ o by the following equation (17).
  • the following expression (17) is also referred to as a “first amplitude fluctuation correction calculation expression”, similarly to the above expression (13).
  • the above equation (17), that is, the first amplitude fluctuation correction arithmetic expression is stored and set in advance in the storage unit 10 as magnetic sensor correction information.
  • the amplitude fluctuation suppressing unit 43 shown in FIG. 24 calculates a corrected cos signal cos ⁇ o by the following equation (18).
  • the following formula (18) is also referred to as a “second amplitude fluctuation correction calculation formula”, similarly to the above formula (14).
  • the above equation (18), that is, the second amplitude fluctuation correction arithmetic expression is stored and set in advance in the storage unit 10 as magnetic sensor correction information.
  • the sensor phase correction unit 42a shown in FIG. 25 calculates a corrected sin signal sin ⁇ o ′ by the following equation (19).
  • the following equation (19) is also referred to as a “second phase correction calculation equation”, similarly to the above equation (12).
  • the above formula (19), that is, the second phase correction calculation formula is stored and set in advance in the storage unit 10 as magnetic sensor correction information.
  • the sensor phase correction unit 42a calculates and outputs a corrected sin signal sin ⁇ o ′ in which the phase of the normalized sin signal sin ⁇ ′ is corrected using the above equation (19), that is, the second phase correction calculation equation.
  • the sensor phase correction unit 42a shown in FIG. 25 does not correct the normalized normalized cosine signal cos ⁇ ′. That is, the correction cos signal cos ⁇ o ′ in the sensor phase correction unit 42a can be expressed by the following equation (20).
  • the amplitude fluctuation suppressing unit 43 corrects the amplitude fluctuation of the corrected sin signal sin ⁇ o ′ and the corrected cos signal cos ⁇ o ′, and outputs the corrected sin signal sin ⁇ o and the corrected cos signal cos ⁇ o .
  • the amplitude fluctuation suppressing unit 43 illustrated in FIG. 25 calculates a corrected sin signal sin ⁇ o by the following equation (21).
  • the following formula (21) is also referred to as a “first amplitude fluctuation correction calculation formula”, similarly to the above formulas (13) and (17).
  • the above equation (21), that is, the first amplitude fluctuation correction arithmetic expression is stored and set in advance in the storage unit 10 as magnetic sensor correction information.
  • the amplitude fluctuation suppressing unit 43 shown in FIG. 25 calculates a corrected cos signal cos ⁇ o by the following equation (22).
  • the following formula (22) is also referred to as a “second amplitude fluctuation correction calculation formula”, similarly to the above formulas (14) and (18).
  • the above equation (22), that is, the second amplitude fluctuation correction arithmetic expression is stored and set in advance in the storage unit 10 as magnetic sensor correction information.
  • the first correction calculation unit 4A includes both the sensor phase correction unit 42 or the sensor phase correction unit 42a described in the first embodiment and the amplitude fluctuation suppression unit 43 described in the second embodiment, so that the first magnetic sensor Both 3A output phase and output amplitude variation can be corrected.
  • the second correction calculation unit 4B includes both the sensor phase correction unit 42 or the sensor phase correction unit 42a described in the first embodiment and the amplitude fluctuation suppression unit 43 described in the second embodiment. It is possible to correct both the output phase and output amplitude fluctuation of the magnetic sensor 3B.
  • the correction calculation unit 4b includes both the sensor phase correction unit 42 or the sensor phase correction unit 42a and the amplitude fluctuation suppression unit 43. .
  • both the output phase of the first magnetic sensor 3A (second magnetic sensor 3B) and the fluctuation of the output amplitude can be corrected, and the absolute angle of the rotating body 100 is detected with higher accuracy than in the first and second embodiments. can do.
  • the position detection accuracy by the rotation angle detection device can be improved as compared with the first and second embodiments, and accordingly, the rotation control performance of various devices can be improved compared with the first and second embodiments. .
  • FIG. 26 is a diagram illustrating an example of a rotating body of the rotation angle detection device according to the fourth embodiment.
  • FIG. 27 is a diagram showing an example of each magnetic track of the rotating body shown in FIG.
  • FIG. 28 is a diagram illustrating an arrangement example of the magnetic sensor module of the rotation angle detection device according to the fourth embodiment.
  • FIG. 29 is a cross-sectional view taken along the line IV′-IV ′ of FIG. 28 of the rotation angle detection device according to the fourth embodiment.
  • the rotating body 100a of the rotation angle detection device 1a includes the third magnetic track 2C in which the magnetic pole pairs 2C1 are arranged at equal intervals in addition to the configuration of the first embodiment. ing.
  • the third magnetic track 2C has 28 magnetic pole pairs 2C1.
  • the first magnetic track 2A, the second magnetic track 2B, and the third magnetic track 2C have an axial configuration provided on one end face in the axial direction of the rotating body 100a.
  • a radial configuration in which the first magnetic track 2A, the second magnetic track 2B, and the third magnetic track 2C are arranged in the axial direction on the outer peripheral surface of the rotating body 100a may be used.
  • first magnetic sensor modules 200a and second magnetic sensor modules 200b are provided side by side in the radial direction of the rotating body 100a. These two first magnetic sensor modules 200a and 200b have substantially the same configuration and function as the magnetic sensor modules 200 described in the first, second, and third embodiments.
  • the first magnetic sensor module 200a and the second magnetic sensor module 200b face the rotating body 100a provided with the first magnetic track 2A, the second magnetic track 2B, and the third magnetic track 2C in the axial direction through gaps, respectively. Is provided.
  • the first magnetic sensor 3A of the first magnetic sensor module 200a faces the first magnetic track 2A and detects the magnetic field of the first magnetic track 2A.
  • the second magnetic sensor 3B of the first magnetic sensor module 200a faces the second magnetic track 2B and detects the magnetic field of the second magnetic track 2B.
  • the first magnetic sensor 3A of the second magnetic sensor module 200b is opposed to the first magnetic track 2A and detects the magnetic field of the first magnetic track 2A.
  • the second magnetic sensor 3B of the second magnetic sensor module 200b faces the third magnetic track 2C and detects the magnetic field of the third magnetic track 2C.
  • the first magnetic sensor module 200a and the second magnetic sensor module 200b are provided in a fixed part that does not rotate synchronously with the rotating body 100a.
  • the magnetic pole phase of the first magnetic track 2A matches the magnetic pole phase of the second magnetic track 2B at point A.
  • the first magnetic sensor module 200a has an absolute position on the entire circumference of the rotating body 100a with the point A where the phase of the detection signal of the first magnetic sensor 3A coincides with the phase of the detection signal of the second magnetic sensor 3B. The angle can be detected.
  • the relationship between the number of magnetic pole pairs 2A1 of the first magnetic track 2A and the number of magnetic pole pairs 2B1 of the second magnetic track 2B is not limited to the above.
  • the number of magnetic pole pairs 2A1 of the first magnetic track 2A When P is P the number of magnetic pole pairs 2B1 of the second magnetic track 2B may be P + 1.
  • the magnetic pole phase of the first magnetic track 2A and the magnetic pole phase of the third magnetic track 2C coincide with each other at points A, B, C, and D that divide the rotating body 100a into four in the circumferential direction. That is, the second magnetic sensor module 200b determines points A, B, C, and D at which the phase of the detection signal of the first magnetic sensor 3A matches the phase of the detection signal of the second magnetic sensor 3B. As the origin position, an absolute angle in each section obtained by dividing the entire circumference of the rotator 100a into four can be detected.
  • the second magnetic sensor module 200b has the magnetic poles of the first magnetic track 2A.
  • the number of magnetic pole pairs 2C1 of the third magnetic track 2C is n ⁇ (Q ⁇ 1), and the rotating body 100a is divided into n in the circumferential direction. If the magnetic pole phase of the first magnetic track 2A matches the magnetic pole phase of the third magnetic track 2C, the phase of the detection signal of the first magnetic sensor 3A matches the phase of the detection signal of the second magnetic sensor 3B.
  • the absolute angle in each section obtained by dividing the entire circumference of the rotating body 100a into n can be detected with each point to be the origin position.
  • the relationship between the number of magnetic pole pairs 2A1 of the first magnetic track 2A and the number of magnetic pole pairs 2C1 of the third magnetic track 2C is not limited to the above.
  • the number of magnetic pole pairs 2A1 of the first magnetic track 2A May be n ⁇ Q
  • the number of magnetic pole pairs 2C1 of the third magnetic track 2C may be n ⁇ (Q + 1).
  • the absolute angle of the rotator 100a is added to the configuration for detecting the absolute angle in each section obtained by dividing the entire circumference of the rotator 100a by n into the configuration for detecting the absolute angle in the entire circumference of the rotator 100a.
  • the reliability of detection can be increased.
  • the rotation angle detection device 1a further includes the third magnetic track 2C having the rotation axis X as an axis, and the number of the magnetic pole pairs 2A1 of the first magnetic track 2A is n ⁇ Q.
  • the number of magnetic pole pairs 2C1 of the third magnetic track 2C is n ⁇ (Q ⁇ 1) or n ⁇ (Q + 1), and the magnetic field and the second magnetic track of the first magnetic track 2A
  • the first magnetic sensor module 200a that detects the magnetic field of 2B to detect the absolute angle in the entire circumference of the rotating body 100a, and the magnetic field of the first magnetic track 2A and the magnetic field of the third magnetic track 2C are detected to detect the rotating body.
  • a second magnetic sensor module 200b for detecting an absolute angle in each section obtained by dividing the entire circumference of 100a by n.
  • first magnetic sensor module 200a and the second magnetic sensor module 200b are connected to the correction calculation units 4, 4a, 4b (the first correction calculation unit 4A and the second correction calculation unit 4B) as in the first, second, and third embodiments.
  • the absolute angle of the rotating body 100a can be detected with high accuracy.
  • FIG. 30 is a diagram illustrating an arrangement example of the magnetic sensor modules of the rotation angle detection device according to the fifth embodiment.
  • the rotating body 100b of the rotation angle detecting device 1b according to the fifth embodiment is the same as the rotating body 100a of the rotating angle detecting device 1a according to the fourth embodiment, the first magnetic track 2A and the second magnetic track 2B. And a third magnetic track 2C.
  • the number of magnetic pole pairs of the first magnetic track 2A, the number of magnetic pole pairs of the second magnetic track 2B, and the number of magnetic pole pairs of the third magnetic track 2C are the same as those in the fourth embodiment.
  • the first magnetic sensor module 200a rotates with the point A where the phase of the detection signal of the first magnetic sensor 3A coincides with the phase of the detection signal of the second magnetic sensor 3B as the origin position.
  • the absolute angle in the entire circumference of the body 100b can be detected (see FIG. 27).
  • the second magnetic sensor module 200b has the first The number of magnetic pole pairs 2A1 of the magnetic track 2A is n ⁇ Q (n and Q are natural numbers), the number of magnetic pole pairs 2C1 of the third magnetic track 2C is n ⁇ (Q ⁇ 1), and the rotating body 100a is n in the circumferential direction.
  • the phase of the detection signal of the first magnetic sensor 3A and the detection signal of the second magnetic sensor 3B The absolute angle in each section obtained by dividing the entire circumference of the rotator 100b into n can be detected with each point having the same phase as the origin position.
  • the relationship between the number of magnetic pole pairs 2A1 of the first magnetic track 2A and the number of magnetic pole pairs 2C1 of the third magnetic track 2C is not limited to the above as in the fourth embodiment.
  • the number of magnetic pole pairs 2A1 of the track 2A is n ⁇ Q
  • the number of magnetic pole pairs 2C1 of the third magnetic track 2C may be n ⁇ (Q + 1).
  • Embodiment 4 shows an example in which the first magnetic sensor module 200a and the second magnetic sensor module 200b are arranged in the radial direction of the rotating body 100a (see FIG. 28).
  • the first magnetic sensor 3A of the first magnetic sensor module 200a and the first magnetic sensor 3A of the second magnetic sensor module 200b that detect the magnetic field of the first magnetic track 2A are arranged in the radial direction of the rotating body 100a. Therefore, the radial width of the first magnetic track 2A needs to be larger than the radial width of the second magnetic track 2B and the third magnetic track 2C.
  • the first magnetic sensor module 200a and the second magnetic sensor module 200b are arranged with an angle ⁇ shifted in the circumferential direction of the rotating body 100b.
  • the first magnetic sensor 3A of the first magnetic sensor module 200a and the first magnetic sensor 3A of the second magnetic sensor module 200b are arranged in the circumferential direction of the rotating body 100b.
  • the width W1 in the radial direction can be made smaller than that in the fourth embodiment.
  • the radial width W1 of the first magnetic track 2A can be made equal to the radial width W2 of the second magnetic track 2B and the radial width W3 of the third magnetic track 2C. (W1 ⁇ W2 ⁇ W3).
  • the diameter ⁇ of the hollow hole of the rotating body 100b can be made larger than in the fourth embodiment.
  • the freedom degree of the design of the apparatus which applies the rotation angle detection apparatus 1b which concerns on Embodiment 5 can be raised rather than Embodiment 4.
  • the first magnetic sensor module 200a and the second magnetic sensor module 200b are arranged so as to be shifted by an angle ⁇ in the circumferential direction of the rotating body 100b.
  • the radial width W1 of the first magnetic track 2A can be made smaller than that of the fourth embodiment.
  • the diameter ⁇ of the hollow hole of the rotating body 100b can be made larger than in the fourth embodiment, and the degree of freedom in designing the device to which the rotation angle detection device 1b according to the fifth embodiment is applied is greater than in the fourth embodiment. Can be increased.
  • FIG. 31 is a diagram showing a first modification of the magnetic sensor module.
  • the rotation angle detection apparatus 1 illustrated in FIG. 1 an example in which the magnetic sensor module 200 integrated on one IC chip, the communication unit 9 and the storage unit 10 provided outside the IC chip is shown.
  • the rotation angle detection device 1A illustrated in FIG. 31 shows an example in which the magnetic sensor module 200, the communication unit 9, and the storage unit 10 are integrated on one IC chip.
  • the magnetic sensor module 200 includes a first magnetic sensor 3A, a first correction calculation unit 4A, a first phase detection unit 5A, a second magnetic sensor 3B, a second correction calculation unit 4B, A two-phase detection unit 5B, a phase difference detection unit 6, an angle calculation unit 7, an angle information generation unit 8, a processing unit 11, and a RAM 12 are provided.
  • the processing unit 11 reads various types of information from the storage unit 10 and stores the various types of read information in the RAM 12.
  • the various types of information include calculation parameters used in the angle calculation unit 7, the number of magnetic pole pairs 2A1 of the first magnetic track 2A (P), the number of magnetic pole pairs 2B1 of the second magnetic track 2B (P + 1), and the first correction calculation.
  • This is information necessary for the operation of the rotation angle detection device 1, such as first magnetic sensor correction information used in the unit 4A, second magnetic sensor correction information used in the second correction calculation unit 4B, and an absolute angle reference position.
  • the angle calculation unit 7 reads calculation parameters and the like from the RAM 12.
  • the first correction calculation unit 4A reads the first magnetic sensor correction information and the like from the RAM 12.
  • the second correction calculation unit 4B reads the second magnetic sensor correction information and the like from the RAM 12. Therefore, the magnetic sensor module 200 shortens the access distance from the angle calculation unit 7, the first correction calculation unit 4A, and the second correction calculation unit 4B, and can perform information reading and writing processing at high speed.
  • FIG. 32 is a flowchart for explaining the operation of the magnetic sensor module 200 when power is supplied.
  • step S ⁇ b> 201 the processing unit 11 accesses the storage unit 10 to read various information from the storage unit 10 when power is supplied.
  • step S ⁇ b> 202 the processing unit 11 stores various types of read information in the RAM 12.
  • FIG. 33 is a diagram showing a second modification of the magnetic sensor module.
  • the rotation angle detection device 1B illustrated in FIG. 33 an example is shown in which the magnetic sensor module 200 and the communication unit 9 are integrated on one IC chip.
  • FIG. 34 is a diagram showing a third modification of the magnetic sensor module.
  • FIG. 35 is a diagram illustrating a fourth modification of the magnetic sensor module.
  • the absolute angle information generated by the angle information generation unit 8 is converted into a predetermined signal (for example, an ABZ phase signal, a parallel signal, serial data). , Analog voltage, PWM modulation signal, etc.) and output the first communication unit 9A and a predetermined signal output from the first communication unit 9A into a predetermined communication protocol that can be recognized by the external control device
  • a predetermined signal for example, an ABZ phase signal, a parallel signal, serial data.
  • 35 shows an example in which the magnetic sensor module 200 and the first communication unit 9A are integrated on one IC chip.
  • any of the modes shown in FIGS. 1 and 31 to 35 may be used.

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Abstract

回転角度を高い精度で検出することができる回転角度検出装置及び回転角度検出方法を提供する。回転角度検出装置は、回転体に設けられた複数の磁気トラックの磁界をそれぞれ検知して各磁気トラック毎のsin信号及びcos信号を出力する、複数の磁気センサ部を有し、回転体の回転角に応じて磁気センサ部が出力したsin信号の値が、磁気センサ部の基準のsin信号の値に近づくようにし、又は回転体の回転角に応じてセンサ部が出力したcos信号の値が、磁気センサ部の基準のcos信号の値に近づくようにする事前に設定された磁気センサ補正情報に基づきsin信号及びcos信号を補正sin信号及び補正cos信号に補正する。

Description

回転角度検出装置及び回転角度検出方法
 本発明は、回転角度検出装置及び回転角度検出方法に関する。
 電動パワーステアリング装置等の自動車駆動用モータには、回転角度検出対象の相対角度や絶対角度を検出する回転角度検出装置が用いられる。また、回転制御が必要な各種機器に用いる軸受への適用も考えられる。例えば、特許文献1には、回転角度検出装置を一体に組み込んだ回転角度検出装置付き軸受が記載されている。特許文献1に記載される回転角度検出装置は、それぞれ等間隔に並んだ磁極が同心のリング状に設けられて互いに磁極数が異なる複数の磁気トラックが形成された回転体と、これら各磁気トラックの磁界をそれぞれ検出する複数の磁気センサとを備え、自動車駆動用モータのロータの回転軸、またはこの回転軸と一体に回転する部材に回転体を設置し、自動車駆動用モータのロータ角度を検出する。これにより、自動車駆動用モータの軸方向寸法を増加させることなく、コンパクトに回転角度検出装置を組み込むことができる。
特許第5671255号公報
 電動パワーステアリング装置等の自動車駆動用モータの制御のためには高精度のロータ角度情報が必要となるが、磁気センサの物理的な位置の誤差や回転体の偏心等によって検出値に誤差が含まれることが考えられる。
 本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、回転角度を高い精度で検出することができる回転角度検出装置及び回転角度検出方法を提供すること、を目的としている。
 上記の目的を達成するため、本発明の一態様に係る回転角度検出装置は、N極とS極とからなる磁極対が等間隔に同心のリング状に並び、互いに磁極対数が異なる複数の磁気トラックを有する回転体と、1つの前記磁気トラックの磁界を検知してsin信号及びcos信号を出力する、複数の磁気センサ部と、前記回転体の回転角に応じて前記磁気センサ部が出力した前記sin信号の値が、当該磁気センサ部の基準のsin信号の値に近づくようにし、又は前記回転体の回転角に応じて前記磁気センサ部が出力した前記cos信号の値が、当該磁気センサ部の基準のcos信号の値に近づくようにする事前に設定された磁気センサ補正情報を記憶する記憶部と、前記磁気センサ補正情報に基づき前記sin信号及び前記cos信号を補正sin信号及び補正cos信号に補正する補正演算部と、前記補正sin信号及び前記補正cos信号の位相を算出する位相検出部と、複数の前記位相の位相差を算出する位相差検出部と、前記位相差を絶対角度に変換する角度算出部と、を備える。
 これにより、回転角度検出装置は、位相検出部において磁気センサの検出位相を算出する前のsin信号及びcos信号をリアルタイムに補正することができる。また、sin信号及びcos信号を予め設定された既知の磁気センサ補正情報に基づいて補正した補正sin信号及び補正cos信号を用いて位相が算出されるので、回転体の絶対角度の検出精度が向上する。したがって、回転角度検出装置は、回転体の絶対角度を高い精度で検出することができる。
 回転角度検出装置の望ましい態様として、前記複数の磁気トラックは、磁極対数P(Pは自然数)の第1磁気トラックと、磁極対数P-1又はP+1の第2磁気トラックと、を含むことが好ましい。
 これにより、回転体の全周における絶対角度を検出することができる。
 回転角度検出装置の望ましい態様として、前記第1磁気トラックの磁極対数をn×Q(n、Qは正の自然数)としたとき、前記複数の磁気トラックは、磁極対数n×(Q-1)又はn×(Q+1)の第3磁気トラックをさらに含むことが好ましい。
 これにより、回転体の全周をn分割した各区間における絶対角度をさらに検出することができ、回転体の絶対角度検出の信頼性を高めることができる。
 回転角度検出装置の望ましい態様として、前記sin信号の平均値をVsinave、前記cos信号の平均値をVcosave、入力の信号値をsinθ、cosθ、出力の信号値をsinθ’、cosθ’とし、前記Vsinave及び前記Vcosaveが前記磁気センサ補正情報として前記記憶部に記憶され、前記補正演算部は、下記式(1)を用いて前記sinθ’を演算すると共に、下記式(2)を用いて前記cosθ’を演算することが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000023
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000024
 これにより、sin信号及びcos信号のオフセット電圧が正規化されるので、回転体の絶対角度の検出精度が向上する。
 回転角度検出装置の望ましい態様として、前記sin信号の最大値をVsinmax、前記sin信号の最小値をVsinmin、前記cos信号の最大値をVcosmax、前記cos信号の最小値をVcosmin、入力の信号値をsinθ、cosθ、出力の信号値をsinθ’、cosθ’とし、前記Vsinmax、前記Vsinmin、前記Vcosmax、及び前記Vcosminが前記磁気センサ補正情報として前記記憶部に記憶され、前記補正演算部は、下記式(3)を用いて前記sinθ’を演算すると共に、下記式(4)を用いて前記cosθ’を演算することが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000025
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000026
 これにより、sin信号及びcos信号の振幅が正規化されるので、回転体の絶対角度の検出精度が向上する。
 回転角度検出装置の望ましい態様として、前記sin信号の平均値をVsinave、前記cos信号の平均値をVcosave、前記sin信号の最大値をVsinmax、前記sin信号の最小値をVsinmin、前記cos信号の最大値をVcosmax、前記cos信号の最小値をVcosmin、入力の信号値をsinθ、cosθ、出力の信号値をsinθ’、cosθ’とし、前記Vsinave、前記Vcosave、前記Vsinmax、前記Vsinmin、前記Vcosmax、及び前記Vcosminが前記磁気センサ補正情報として前記記憶部に記憶され、前記補正演算部は、下記式(5)及び下記式(7)を用いて前記sinθ’を演算すると共に、下記式(6)及び下記式(8)を用いて前記cosθ’を演算することが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000027
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000028
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000029
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000030
 これにより、sin信号及びcos信号のオフセット電圧及び振幅の双方が正規化されるので、回転体の絶対角度の検出精度が向上する。
 回転角度検出装置の望ましい態様として、前記sin信号の出力位相と前記cos信号の出力位相との間のセンサ位相誤差をθic、入力の信号値をsinθ’、cos(θ’+θic)、出力の信号値をsinθ、cosθとし、前記θicが前記磁気センサ補正情報として前記記憶部に記憶され、前記補正演算部は、下記式(9)を用いて前記sinθを演算すると共に、下記式(10)を用いて前記cosθを演算することが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000031
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000032
 sin信号の出力位相とcos信号の出力位相との間のセンサ位相誤差は、予め回転角度検出装置の出荷検査時等に測定した既知の値を用いることができる。また、回転角度検出装置は、(10)式を用いて容易にsin信号を基準としたcos信号の位相の補正演算を行うことができる。このため、回転角度検出装置が回転体の絶対角度を演算する速度が向上する。
 回転角度検出装置の望ましい態様として、前記sin信号の出力位相と前記cos信号の出力位相との間のセンサ位相誤差をθic、入力の信号値をsin(θ’+θic)、cosθ’、出力の信号値をsinθ、cosθとし、前記θicが前記磁気センサ補正情報として前記記憶部に記憶され、前記補正演算部は、下記式(11)を用いて前記cosθを演算すると共に、下記式(12)を用いて前記sinθを演算することが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000033
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000034
 sin信号の出力位相とcos信号の出力位相との間のセンサ位相誤差は、予め回転角度検出装置の出荷検査時等に測定した既知の値を用いることができる。また、回転角度検出装置は、(12)式を用いて容易にcos信号を基準としたsin信号の位相の補正演算を行うことができる。このため、回転角度検出装置が回転体の絶対角度を演算する速度が向上する。
 回転角度検出装置の望ましい態様として、入力の信号値をsinθ’、cosθ’、出力の信号値をsinθ、cosθとし、前記補正演算部は、下記式(13)を用いて前記sinθ’を演算すると共に、下記式(14)を用いて前記cosθを演算することが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000035
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000036
 回転角度検出装置は、(13)式及び(14)式を用いて容易にsin信号及びcos信号の周期的な振幅変動を抑制する補正演算を行うことができる。このため、回転角度検出装置が回転体の絶対角度を演算する速度が向上する。
 回転角度検出装置の望ましい態様として、前記sin信号の出力位相と前記cos信号の出力位相との間のセンサ位相誤差をθic、入力の信号値をsinθ’、cos(θ’+θic)、出力の信号値をsinθ、cosθとし、前記θicが前記磁気センサ補正情報として前記記憶部に記憶され、前記補正演算部は、下記式(15)及び下記式(17)を用いて前記sinθを演算すると共に、下記式(16)及び下記式(18)を用いて前記cosθを演算することが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000037
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000038
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000039
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000040
 これにより、(15)式、(16)式、(17)式、及び(18)式を用いて容易にsin信号を基準としたcos信号の位相の補正演算とsin信号及びcos信号の周期的な振幅変動を抑制する補正演算の双方を行うことができる。
 回転角度検出装置の望ましい態様として、前記sin信号の出力位相と前記cos信号の出力位相との間のセンサ位相誤差をθic、入力の信号値をsin(θ’+θic)、cosθ’、出力の信号値をsinθ、cosθとし、前記θicが前記磁気センサ補正情報として前記記憶部に記憶され、前記補正演算部は、下記式(19)及び下記式(21)を用いて前記sinθを演算すると共に、下記式(20)及び下記式(22)を用いて前記cosθを演算することが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000041
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000042
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000043
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000044
 これにより、(19)式、(20)式、(21)式、及び(22)式を用いて容易にcos信号を基準としたsin信号の位相の補正演算とsin信号及びcos信号の周期的な振幅変動を抑制する補正演算の双方を行うことができる。
 回転角度検出装置の望ましい態様として、前記複数の磁気トラックは、前記回転体の軸方向の一方の端面に着磁されていることが好ましい。
 このような構成とすることで、回転角度検出装置を軸方向に薄くすることができ、また、中空穴を大きくすることができる。これにより、例えば、内輪回転型や外輪回転型の軸受に適用する、あるいは、中空穴に機器のケーブルを配線する構造に適用する等、回転角度検出装置の適用範囲を拡大することができる。また、回転角度検出装置を適用する機器の設計の自由度を高めることができる。また、回転体の側面に着磁しても良い。この場合は、回転角度検出装置を径方向に小さくすることができる。
 回転角度検出装置の望ましい態様として、前記絶対角度を含む絶対角度情報を生成する角度情報生成部を有し、2つの前記磁気センサ部、2つの前記補正演算部、2つの前記位相検出部、前記位相差検出部、角度算出部、及び前記角度情報生成部が1つに集積化されているICチップを少なくとも1以上備えることが好ましい。
 これにより、回転角度検出装置を構成する部品点数の低減、磁気センサ間の位置精度の向上、製造コストや組立コストの低減等を図ることができ、小型且つ安価な回転角度検出装置を実現可能である。
 回転角度検出装置の望ましい態様として、前記絶対角度情報を所定の信号に変換して出力する通信部を有し、前記ICチップは、前記通信部をさらに有することが好ましい。
 これにより、回転角度検出装置の更なる小型化及び低コスト化を実現することができる。
 回転角度検出装置の望ましい態様として、前記ICチップは、前記記憶部をさらに有することが好ましい。
 これにより、回転角度検出装置をより一層小型化及び低コスト化することができる。
 回転角度検出装置の望ましい態様として、前記絶対角度情報を所定の信号に変換して出力する第1通信部と、前記所定の信号を所定の通信プロトコルに変換する第2通信部と、を有し、前記ICチップは、前記第1通信部をさらに有することが好ましい。
 これにより、回転角度検出装置の更なる小型化及び低コスト化を実現することができる。
 回転角度検出装置の望ましい態様として、前記ICチップは、前記記憶部をさらに有することが好ましい。
 これにより、回転角度検出装置をより一層小型化及び低コスト化することができる。
 回転角度検出装置の望ましい態様として、前記複数の磁気トラックは、第1磁気トラックと、前記第1磁気トラックの外周に設けられた第2磁気トラックと、前記第1磁気トラックの内周に設けられた第3磁気トラックと、を含み、前記第1磁気トラックの磁界を検知する前記磁気センサと前記第2磁気トラックの磁界を検知する前記磁気センサとを含む第1磁気センサモジュールと、前記第1磁気トラックの磁界を検知する前記磁気センサと前記第3磁気トラックの磁界を検知する前記磁気センサとを含む第2磁気センサモジュールと、を備えることが好ましい。
 これにより、回転角度検出装置による位置検出精度を向上させることができ、これに伴い、各種機器の回転制御性能の向上に貢献することができる。
 回転角度検出装置の望ましい態様として、前記第1磁気センサモジュールと前記第2磁気センサモジュールとが前記回転体の周方向にずれて配置されていることが好ましい。
 これにより、第1磁気トラックの径方向の幅を小さくすることができる。このため、回転体の中空穴の直径を大きくすることができ、回転角度検出装置を適用する機器の設計の自由度を高めることができる。
 上記の目的を達成するため、本発明の一態様に係る回転角度検出方法は、N極とS極とからなる磁極対が等間隔に同心のリング状に並び、互いに磁極対数が異なる複数の磁気トラックを有する回転体の回転角に応じて、1つの前記磁気トラックの磁界を検知してsin信号及びcos信号を出力する、複数の磁気センサ部が出力した前記sin信号の値が、当該磁気センサ部の基準のsin信号の値に近づくようにし、又は前記回転体の回転角に応じて、前記磁気センサ部が出力した前記cos信号の値が、当該磁気センサ部の基準のcos信号の値に近づくようにする事前に設定された磁気センサ補正情報に基づき、前記sin信号及び前記cos信号を補正sin信号及び補正cos信号に補正する信号補正ステップと、前記補正sin信号及び前記補正cos信号の位相を算出する位相算出ステップと、複数の前記位相の位相差を算出する位相差算出ステップと、前記位相差を絶対角度に変換する絶対角度算出ステップと、を有する。
 これにより、磁気センサの検出位相を算出する前のsin信号及びcos信号をリアルタイムに補正することができる。また、sin信号及びcos信号を予め設定された既知の磁気センサ補正情報に基づいて補正した補正sin信号及び補正cos信号を用いて位相が算出されるので、回転体の絶対角度の検出精度が向上する。したがって、回転体の絶対角度を高い精度で検出することができる。
 本発明によれば、回転角度を高い精度で検出することができる回転角度検出装置を提供することができる。
図1は、実施形態1に係る回転角度検出装置の一例を示す図である。 図2は、実施形態1に係る回転角度検出装置の回転体の一例を示す図である。 図3は、図2に示す回転体の各磁気トラックの一例を示す図である。 図4は、実施形態1に係る回転角度検出装置の磁気センサモジュールの配置例を示す図である。 図5は、実施形態1に係る回転角度検出装置の図4に示すIV-IV断面図である。 図6は、実施形態1に係る回転角度検出装置の各磁気センサの一例を示す図である。 図7は、実施形態1に係る回転角度検出装置の各部波形例を示す図である。 図8は、実施形態1に係る補正演算部の機能ブロックの一例を示す図である。 図9は、実施形態1に係る正規化処理部の制御ブロックの一例を示す図である。 図10は、図9に示す正規化処理部における正規化動作の一例を示す図である。 図11は、実施形態1に係る正規化処理部の制御ブロックの図9とは異なる一例を示す図である。 図12は、図11に示す正規化処理部における正規化動作の一例を示す図である。 図13は、実施形態1に係る正規化処理部がオフセット電圧補正部及び振幅補正部の双方を具備した制御ブロックの一例を示す図である。 図14は、実施形態1に係るセンサ位相補正部における補正対象の一例を示す図である。 図15は、実施形態1に係るセンサ位相補正部の制御ブロックの一例を示す図である。 図16は、図15に示すセンサ位相補正部における位相補正動作の一例を示す図である。 図17は、実施形態1に係るセンサ位相補正部における補正対象の図14とは異なる一例を示す図である。 図18は、実施形態1に係るセンサ位相補正部の図15とは異なる制御ブロックの一例を示す図である。 図19は、図18に示すセンサ位相補正部における位相補正動作の一例を示す図である。 図20は、実施形態1に係る回転角度検出方法の具体的な手順の一例を示す図である。 図21は、実施形態2に係る補正演算部の機能ブロックの一例を示す図である。 図22は、実施形態2に係る振幅変動抑制部の制御ブロックの一例を示す図である。 図23は、実施形態3に係る補正演算部の機能ブロックの一例を示す図である。 図24は、実施形態1に係る補正演算部がセンサ位相補正部及び振幅変動抑制部の双方を具備した制御ブロックの一例を示す図である。 図25は、実施形態1に係る補正演算部がセンサ位相補正部及び振幅変動抑制部の双方を具備した制御ブロックの図24とは異なる一例を示す図である。 図26は、実施形態4に係る回転角度検出装置の回転体の一例を示す図である。 図27は、図26に示す回転体の各磁気トラックの一例を示す図である。 図28は、実施形態4に係る回転角度検出装置の磁気センサモジュールの配置例を示す図である。 図29は、実施形態4に係る回転角度検出装置の図28に示すIV’-IV’断面図である。 図30は、実施形態5に係る回転角度検出装置の磁気センサモジュールの配置例を示す図である。 図31は、磁気センサモジュールの第1の変形例を示す図である。 図32は、電源が供給されたときの磁気センサモジュールの動作についての説明に供するフローチャートである。 図33は、磁気センサモジュールの第2の変形例を示す図である。 図34は、磁気センサモジュールの第3の変形例を示す図である。 図35は、磁気センサモジュールの第4の変形例を示す図である。
 以下、発明を実施するための形態(以下、実施形態という)につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、下記の実施形態により本発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、下記実施形態で開示した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。
(実施形態1)
<回転角度検出装置の構成>
 図1は、実施形態1に係る回転角度検出装置の一例を示す図である。図1に示すように、実施形態1に係る回転角度検出装置1は、第1磁気トラック2A及び第2磁気トラック2Bを有する回転体100と、磁気センサモジュール200と、通信部9と、記憶部10と、を備える。
 磁気センサモジュール200は、第1磁気センサ3Aと、第1補正演算部4Aと、第1位相検出部5Aと、第2磁気センサ3Bと、第2補正演算部4Bと、第2位相検出部5Bと、位相差検出部6と、角度算出部7と、角度情報生成部8と、を備える。
 本実施形態において、磁気センサモジュール200は、例えば、1つのICチップに集積化されている。これにより、回転角度検出装置1を構成する部品点数の低減、第1磁気センサ3Aと第2磁気センサ3Bとの間の位置精度の向上、製造コストや組立コストの低減等を図ることができ、小型且つ安価な回転角度検出装置1を実現可能である。なお、磁気センサモジュール200は、例えば、通信部9及び記憶部10を含んでいても良い。これにより、回転角度検出装置1の更なる小型化及び低コスト化を実現することができる。
 図2は、実施形態1に係る回転角度検出装置の回転体の一例を示す図である。図3は、図2に示す回転体の各磁気トラックの一例を示す図である。図4は、実施形態1に係る回転角度検出装置の磁気センサモジュールの配置例を示す図である。図5は、実施形態1に係る回転角度検出装置の図4に示すIV-IV断面図である。図6は、実施形態1に係る回転角度検出装置の各磁気センサの一例を示す図である。
 図2又は図3に示すように、実施形態1の回転体100は、N極とS極とからなる磁極対2A1が等間隔に並ぶ第1磁気トラック2Aと、磁極対2B1が等間隔に並ぶ第2磁気トラック2Bとが、回転体100の回転軸Xを軸心とする同心のリング状に径方向に並び設けられている。実施形態1の第1磁気トラック2A及び第2磁気トラック2Bは、例えば回転体100の軸方向の一方の端面を周方向に等間隔でN極及びS極に交互に着磁することで得られる。
 具体的に、第1磁気トラック2A及び第2磁気トラック2Bは、例えば図に網がけしてある部分がN極、網がけのない部分がS極といったように、周方向に異なる磁極が交互に等配されている。
 図3に示す例において、第1磁気トラック2Aは、32対の磁極対2A1を有している。また、第2磁気トラック2Bは、31対の磁極対2B1を有している。すなわち、第1磁気トラック2Aの磁極対2A1の数をP(Pは自然数)としたとき、第2磁気トラック2Bの磁極対2B1の数はP-1となる。
 回転体100は、必要な磁束密度に応じて、例えば、ネオジム磁石、フェライト磁石、サマリウムコバルト磁石等から構成することが可能である。
 本実施形態では、第1磁気トラック2A及び第2磁気トラック2Bが回転体100の軸方向の一方の端面に着磁されたアキシャル型の構成としている。このような構成とすることで、回転角度検出装置1を軸方向に薄くすることができ、また、中空穴を大きくすることができる。これにより、例えば、内輪回転型や外輪回転型の軸受に適用する、あるいは、中空穴に機器のケーブルを配線する構造に適用する等、実施形態1に係る回転角度検出装置1の適用範囲を拡大することができる。また、実施形態1に係る回転角度検出装置1を適用する機器の設計の自由度を高めることができる。
 図4及び図5に示すように、実施形態1の磁気センサモジュール200は、第1磁気トラック2A及び第2磁気トラック2Bが設けられた回転体100とギャップを介してアキシャル方向に対向して設けられている。
 より具体的には、磁気センサモジュール200の第1磁気センサ3Aは、第1磁気トラック2Aに対向し、第1磁気トラック2Aの磁界を検知する。磁気センサモジュール200の第2磁気センサ3Bは、第2磁気トラック2Bに対向し、第2磁気トラック2Bの磁界を検知する。
 磁気センサモジュール200は、回転体100とは同期回転しない固定部位に設けられている。
 図6に示すように、第1磁気センサ3Aは、第1磁気トラック2Aの1つの磁極対2A1のピッチを1周期として、電気角で90°の位相差を有するように、磁極対2A1の並び方向に離して配置された2つの磁気センサ素子3A1,3A2を備える。また、第2磁気センサ3Bは、第2磁気トラック2Bの1つの磁極対2B1のピッチを1周期として、電気角で90°の位相差を有するように、磁極対2B1の並び方向に離して配置された2つの磁気センサ素子3B1,3B2を備える。
 磁気センサ素子3A1,3A2及び磁気センサ素子3B1,3B2としては、例えば、ホール素子、磁気抵抗効果(MR(Magneto Resistance effect))センサなどの磁気センサ素子を用いることができる。
 第1磁気センサ3Aは、磁極対2A1内の位相に応じた第1sin信号sinθ1及び第1cos信号cosθ1を出力する。
 また、第2磁気センサ3Bは、磁極対2B1内の位相に応じた第2sin信号sinθ2及び第2cos信号cosθ2を出力する。
 図1に示すように、第1磁気センサ3Aから出力された第1sin信号sinθ1及び第1cos信号cosθ1は、第1補正演算部4Aに入力される。また、第2磁気センサ3Bから出力された第2sin信号sinθ2及び第2cos信号cosθ2は、第2補正演算部4Bに入力される。
 第1補正演算部4Aは、入力された第1sin信号sinθ1及び第1cos信号cosθ1に対し、後述する補正演算処理を行い、第1補正sin信号sinθ1及び第1補正cos信号cosθ1を出力する。また、第2補正演算部4Bは、第2sin信号sinθ2及び第2cos信号cosθ2に対し、後述する補正演算処理を行い、第2補正sin信号sinθ2及び第2補正cos信号cosθ2を出力する。第1補正演算部4A及び第2補正演算部4Bによる補正演算処理については、詳細に後述する。
 図7は、実施形態1に係る回転角度検出装置の各部波形例を示す図である。図7の(a)は、第1磁気トラック2Aの磁極パターンを示し、図7の(b)は、第2磁気トラック2Bの磁極パターンの一例を示している。図7の(c)は、第1位相検出部5Aの入力信号波形を示し、図7の(d)は、第2位相検出部5Bの入力信号波形を示している。図7の(e)は、第1位相検出部5Aにより出力される検出位相信号波形を示し、図7の(f)は、第2位相検出部5Bにより出力される検出位相信号波形を示している。図7の(g)は、位相差検出部6により出力される位相差信号波形を示している。
 図7に示す例では、第1磁気トラック2Aの3つの磁極対2A1からなるa点からb点の区間に対し、第2磁気トラック2Bの2つの磁極対2B1が対応した例を示している。すなわち、a点とb点とで、第1磁気センサ3Aの検出信号の位相と第2磁気センサ3Bの検出信号の位相とが一致する。この場合、a点を基準としたb点までの任意位置における絶対角度を検出することができる。このように、第1磁気センサ3Aの検出信号の位相と第2磁気センサ3Bの検出信号の位相とが一致する2点間の絶対角度を検出することができる。
 図3に示す例では、第1磁気トラック2Aの磁極対2A1の数を32(P=32)、第2磁気トラック2Bの磁極対2B1の数を31(P-1=31)とし、A点において第1磁気トラック2Aの磁極位相と第2磁気トラック2Bの磁極位相とが一致している。すなわち、磁気センサモジュール200は、第1磁気センサ3Aの検出信号の位相と第2磁気センサ3Bの検出信号の位相とが一致するA点を原点位置として、回転体100の全周における絶対角度を検出することができる。
 なお、第1磁気トラック2Aの磁極対2A1の数と第2磁気トラック2Bの磁極対2B1の数との関係は、図3に示す例に限るものではなく、例えば、第1磁気トラック2Aの磁極対2A1の数をPとしたとき、第2磁気トラック2Bの磁極対2B1の数をP+1とした構成であっても良い。
 第1位相検出部5Aは、図7の(c)に例示した入力信号に基づき、図7の(e)に例示した検出位相信号を出力する。具体的には、第1位相検出部5Aは、第1補正演算部4Aの出力である第1補正sin信号sinθ1及び第1補正cos信号cosθ1から磁極対2A1内の位相(θ1=arctan(sinθ1/cosθ1))を算出する。
 第2位相検出部5Bは、図7の(d)に例示した入力信号に基づき、図7の(f)に例示した検出位相信号を出力する。具体的には、第2位相検出部5Bは、第2補正演算部4Bの出力である第2補正sin信号sinθ2及び第2補正cos信号cosθ2から磁極対2B1内の位相(θ2=arctan(sinθ2/cosθ2))を算出する。
 位相差検出部6は、第1位相検出部5A及び第2位相検出部5Bから出力された各検出位相信号に基づき、図7の(g)に例示した位相差信号を出力する。
 角度算出部7は、位相差検出部6で求められた位相差を、予め設定された計算パラメータに従い絶対角度へ換算する処理を行う。角度算出部7で用いられる計算パラメータは、記憶部10に記憶されている。
 さらに、本実施形態では、角度算出部7の後段に角度情報生成部8が設けられている。
 角度情報生成部8は、角度算出部7で算出された絶対角度を含む情報(以下、「絶対角度情報」とも言う)として、例えば、互いに90度位相の異なるA相信号及びB相信号と、原点位置を示すZ相信号とで構成されるABZ相信号を生成する。なお、A相信号及びB相信号としては、例えば、第1補正演算部4Aの出力である第1補正sin信号及び第1補正cos信号、第2補正演算部4Bの出力である第2補正sin信号及び第2補正cos信号のうちのいずれか1組の信号を用いれば良い。
 通信部9は、角度情報生成部8が生成した絶対角度情報を所定の信号(例えば、ABZ相信号、パラレル信号、シリアルデータ、アナログ電圧、PWM変調信号等)に変換して外部制御装置に出力する。
 このように、所定の信号に変換した絶対角度情報を出力する構成とすることで、外部制御装置との間の電気的な接続線の本数を減らすことができる。
 なお、通信部9に対し、例えば、外部制御装置から絶対角度情報の出力要求信号が入力される態様であっても良い。この場合、回転角度検出装置1は、絶対角度情報の出力要求信号に応じて動作し、通信部9から絶対角度情報を出力する構成としても良い。
 記憶部10には、角度算出部7で用いられる計算パラメータの他に、第1磁気トラック2Aの磁極対2A1の数(P)、第2磁気トラック2Bの磁極対2B1の数(P+1)、後述する第1補正演算部4Aで用いられる第1磁気センサ補正情報、後述する第2補正演算部4Bで用いられる第2磁気センサ補正情報、絶対角度基準位置等、回転角度検出装置1の動作に必要な情報が記憶されている。記憶部10としては、例えば、不揮発性メモリが例示される。
 本実施形態では、第1磁気センサ補正情報及び第2磁気センサ補正情報として、第1補正演算部4A及び第2補正演算部4Bにおいて用いられるパラメータや演算式が記憶部10に記憶されている。
 第1補正演算部4Aにおいて用いられるパラメータや演算式には、第1磁気センサ3Aの検出信号である第1sin信号sinθ1及び第1cos信号cosθ1の補正に用いる情報が含まれる。第1磁気センサ補正情報としては、第1磁気センサ3Aの検出信号が、予め想定した第1磁気センサ3Aの基準のsin信号の値又はcos信号の値に近づくようなパラメータや演算式が設定されているものとする。
 また、第2補正演算部4Bにおいて用いられるパラメータや演算式には、第2磁気センサ3Bの検出信号である第2sin信号sinθ2及び第2cos信号cosθ2の補正に用いる情報が含まれる。第2磁気センサ補正情報としては、第2磁気センサ3Bの検出信号が、予め想定した第2磁気センサ3Bの基準のsin信号の値又はcos信号の値に近づくようなパラメータや演算式が設定されているものとする。
 なお、記憶部10に記憶された各種パラメータや情報は、例えば、外部制御装置から通信部9を介して更新可能な構成としても良い。これにより、回転角度検出装置1の使用状況に応じた設定が可能となる。
<補正演算部の構成及び動作>
 第1磁気トラック2A及び第2磁気トラック2B、第1磁気センサ3A及び第2磁気センサ3B、第1補正演算部4A及び第2補正演算部4Bは、それぞれ同様の構成及び動作であるので、以下の説明では、第1磁気トラック2A及び第2磁気トラック2Bを「磁気トラック2」、第1磁気センサ3A及び第2磁気センサ3Bを「磁気センサ3」、第1補正演算部4A及び第2補正演算部4Bを「補正演算部4」、第1磁気センサ補正情報及び第2磁気センサ補正情報を「磁気センサ補正情報」とも言う。
 図8は、実施形態1に係る補正演算部の機能ブロックの一例を示す図である。図8に示すように、補正演算部4は、正規化処理部41と、センサ位相補正部42と、を備える。
 補正演算部4には、磁気センサ3から出力されたsin信号sinθ及びcos信号cosθが入力される。また、補正演算部4は、記憶部10から正規化処理部41及びセンサ位相補正部42で適用される磁気センサ補正情報を取得する。
 正規化処理部41は、磁気センサ3から出力されたsin信号sinθ及びcos信号cosθを正規化して正規化sin信号sinθ’及び正規化cos信号cosθ’をセンサ位相補正部42に出力する。
 センサ位相補正部42は、正規化sin信号sinθ’及び正規化cos信号cosθ’の位相を補正して補正sin信号sinθ及び補正cos信号cosθを出力する。
 次に、実施形態1に係る補正演算部4の各構成部について説明する。
 まず、実施形態1に係る正規化処理部41について説明する。図9は、実施形態1に係る正規化処理部の制御ブロックの一例を示す図である。図10は、図9に示す正規化処理部における正規化動作の一例を示す図である。
 図9に示す例において、正規化処理部41は、オフセット電圧補正部411を備えている。また、図10に示す例では、sin信号sinθ(cos信号cosθ)を破線で示し、正規化sin信号sinθ’(正規化cos信号cosθ’)を実線で示している。
 図9及び図10に示す例では、磁気センサ3の検出信号にオフセット電圧が重畳している場合を想定している。
 図9に示すオフセット電圧補正部411は、予め磁気センサ3の検出信号であるsin信号(cos信号)の平均値Vsinave(Vcosave)が磁気センサ補正情報として設定され、記憶部10に記憶されている。なお、平均値Vsinaveは、例えば、磁気トラック2の電気角で所定周期分のsin信号の平均値であっても良いし、任意の1周期分のsin信号の平均値であっても良い。また、平均値Vcosaveは、例えば、磁気トラック2の電気角で所定周期分のcos信号の平均値であっても良いし、任意の1周期分のcos信号の平均値であっても良い。これらのsin信号(cos信号)の平均値Vsinave(Vcosave)は、例えば、回転角度検出装置1の出荷検査時に測定した値であっても良い。
 図9に示す例において、オフセット電圧補正部411は、磁気センサ3の検出信号であるsin信号の平均値Vsinaveを用いて、sin信号sinθのオフセット電圧を正規化する。具体的には、sin信号sinθから、Vsinaveを減算、すなわち下記式(1)により正規化sin信号sinθ’を算出する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000045
 図9に示すオフセット電圧補正部411は、上記式(1)が予め磁気センサ補正情報として記憶部10に記憶され設定されている。オフセット電圧補正部411は、この上記式(1)を用いてsin信号sinθのオフセット電圧を正規化することにより、図10に実線で示す正規化sin信号sinθ’を出力する。
 また、図9に示す例において、オフセット電圧補正部411は、磁気センサ3の検出信号であるcos信号の平均値Vcosaveを用いて、cos信号cosθのオフセット電圧を正規化する。具体的には、cos信号cosθから、Vcosaveを減算、すなわち下記式(2)により正規化cos信号cosθ’を算出する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000046
 図9に示すオフセット電圧補正部411は、上記式(2)が予め磁気センサ補正情報として記憶部10に記憶され設定されている。オフセット電圧補正部411は、この上記式(2)を用いてcos信号cosθのオフセット電圧を正規化することにより、図10に実線で示す正規化cos信号cosθ’を出力する。
 図11は、実施形態1に係る正規化処理部の制御ブロックの図9とは異なる一例を示す図である。図12は、図11に示す正規化処理部における正規化動作の一例を示す図である。図11に示す例において、正規化処理部41は、振幅補正部412を備えている。また、図12に示す例では、sin信号sinθ(cos信号cosθ)を破線で示し、正規化sin信号sinθ’(正規化cos信号cosθ’)を実線で示している。
 図11及び図12に示す例では、磁気センサ3の検出信号に出力振幅のバラツキがある場合を想定している。
 図11に示す振幅補正部412は、予め磁気センサ3の検出信号であるsin信号(cos信号)の最大値Vsinmax(Vcosmax)と最小値Vsinmin(Vcosmin)とが磁気センサ補正情報として設定され、記憶部10に記憶されている。なお、sin信号の最大値Vsinmaxは、例えば、磁気トラック2の電気角で所定周期分の各周期におけるsin信号の最大値の平均値であっても良いし、任意の1周期のsin信号の最大値であっても良い。また、sin信号の最小値Vsinminは、例えば、磁気トラック2の電気角で所定周期分の各周期におけるsin信号の最小値の平均値であっても良いし、任意の1周期のsin信号の最小値であっても良い。また、cos信号の最大値Vcosmaxは、例えば、磁気トラック2の電気角で所定周期分の各周期におけるcos信号の最大値の平均値であっても良いし、任意の1周期のcos信号の最大値であっても良い。またcos信号の最小値Vcosminは、例えば、磁気トラック2の電気角で所定周期分の各周期におけるcos信号の最小値の平均値であっても良いし、任意の1周期のcos信号の最小値であっても良い。これらのsin信号(cos信号)の最大値Vsinmax(Vcosmax)及び最小値Vsinmin(Vcosmin)は、例えば、回転角度検出装置1の出荷検査時に測定した値であっても良い。
 図11に示す例において、振幅補正部412は、sin信号の最大値Vsinmax及び最小値Vsinminを用いて、sin信号sinθの振幅を正規化する。具体的には、sin信号sinθを、VsinmaxからVsinminを減算した値の絶対値を2で除した値で除算、すなわち下記式(3)により正規化sin信号sinθ’を算出する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000047
 図11に示す振幅補正部412は、上記式(3)が予め磁気センサ補正情報として記憶部10に記憶され設定されている。振幅補正部412は、この上記式(3)を用いてsin信号sinθの振幅を正規化することにより、図12に実線で示す振幅が正規化された正規化sin信号sinθ’を出力する。
 また、図11に示す例において、振幅補正部412は、cos信号の最大値Vcosmax及び最小値Vcosminを用いて、cos信号cosθの振幅を正規化する。具体的には、cos信号cosθを、VcosmaxからVcosminを減算した値の絶対値を2で除した値で除算、すなわち下記式(4)により正規化cos信号cosθ’を算出する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000048
 図11に示す振幅補正部412は、上記式(4)が予め磁気センサ補正情報として記憶部10に記憶され設定されている。振幅補正部412は、この上記式(4)を用いてcos信号cosθの振幅を正規化することにより、図12に実線で示す振幅が正規化された正規化cos信号cosθ’を出力する。
 なお、上述した例では、説明の都合上、正規化処理部41に含まれるオフセット電圧補正部411と振幅補正部412とを個別に説明したが、正規化処理部41は、オフセット電圧補正部411及び振幅補正部412の双方を具備した構成であるのが好ましい。図13は、実施形態1に係る正規化処理部がオフセット電圧補正部及び振幅補正部の双方を具備した制御ブロックの一例を示す図である。
 図13に示す例において、オフセット電圧補正部411は、磁気センサ3の検出信号であるsin信号の平均値Vsinaveを用いて、sin信号sinθのオフセット電圧を正規化する。具体的には、sin信号sinθから、Vsinaveを減算、すなわち下記式(5)により正規化sin信号sinθ’’を算出する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000049
 図13に示すオフセット電圧補正部411は、上記式(5)が予め磁気センサ補正情報として記憶部10に記憶され設定されている。オフセット電圧補正部411は、この上記式(5)を用いてsin信号sinθのオフセット電圧を正規化する。
 また、図13に示す例において、オフセット電圧補正部411は、磁気センサ3の検出信号であるcos信号の平均値Vcosaveを用いて、cos信号cosθのオフセット電圧を正規化する。具体的には、cos信号cosθから、Vcosaveを減算、すなわち下記式(6)により正規化cos信号cosθ’’を算出する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000050
 図13に示すオフセット電圧補正部411は、上記式(6)が予め磁気センサ補正情報として記憶部10に記憶され設定されている。オフセット電圧補正部411は、この上記式(6)を用いてcos信号cosθのオフセット電圧を正規化する。
 図13に示す例において、振幅補正部412は、sin信号の最大値Vsinmax及び最小値Vsinminを用いて、正規化sin信号sinθ’’の振幅を正規化する。具体的には、正規化sin信号sinθ’’を、VsinmaxからVsinminを減算した値の絶対値を2で除した値で除算、すなわち下記式(7)により正規化sin信号sinθ’を算出する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000051
 図13に示す振幅補正部412は、上記式(7)が予め磁気センサ補正情報として記憶部10に記憶され設定されている。振幅補正部412は、この上記式(7)を用いて正規化sin信号sinθ’’の振幅を正規化する。
 また、図13に示す例において、振幅補正部412は、cos信号の最大値Vcosmax及び最小値Vcosminを用いて、正規化cos信号cosθ’’の振幅を正規化する。具体的には、正規化cos信号cosθ’’を、VcosmaxからVcosminを減算した値の絶対値を2で除した値で除算、すなわち下記式(8)により正規化cos信号cosθ’を算出する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000052
 図13に示す振幅補正部412は、上記式(8)が予め磁気センサ補正情報として記憶部10に記憶され設定されている。振幅補正部412は、この上記式(8)を用いて正規化cos信号cosθ’’の振幅を正規化する。
 すなわち、図13に示す例では、オフセット電圧補正部411において、まず、sin信号sinθ及びcos信号cosθのオフセット電圧を正規化した正規化sin信号sinθ’’及び正規化cos信号cosθ’’を算出し、振幅補正部412において、正規化sin信号sinθ’’及び正規化cos信号cosθ’’の振幅を正規化した正規化sin信号sinθ’及び正規化cos信号cosθ’を算出する。これにより、sin信号sinθ及びcos信号cosθのオフセット電圧と振幅との双方が正規化された正規化sin信号sinθ’及び正規化cos信号cosθ’を得ることができる。
 次に、実施形態1に係るセンサ位相補正部42について説明する。図14は、実施形態1に係るセンサ位相補正部における補正対象の一例を示す図である。
 上述したように、第1磁気センサ3Aの磁気センサ素子3A1と磁気センサ素子3A2とは、第1磁気トラック2Aの1つの磁極対2A1のピッチを1周期として、電気角で90°の位相差を有するように、磁極対2A1の並び方向に離して配置され、第2磁気センサ3Bの磁気センサ素子3B1と磁気センサ素子3B2とは、第2磁気トラック2Bの1つの磁極対2B1のピッチを1周期として、電気角で90°の位相差を有するように、磁極対2B1の並び方向に離して配置される構成としているが、本実施形態では、磁気センサ素子3A1(3B1)の出力位相と磁気センサ素子3A2(3B2)の出力位相との間に誤差(以下、「センサ位相誤差」という)θicを含んでいる場合を想定している。このような想定としては、例えば、磁気トラック2に設けられた各磁極の間隔にバラツキがある場合や、回転体100の回転軸Xが偏心している場合等、磁気センサ3の磁気トラック2上の径方向位置が回転体100の1回転中に変動する場合が考えられる。
 図14及び以下の図15、図16に示す例では、磁気センサ素子3A1(3B1)を基準として、磁気センサ素子3A2(3B2)の出力位相を補正する例を示している。
 図15は、実施形態1に係るセンサ位相補正部の制御ブロックの一例を示す図である。図16は、図15に示すセンサ位相補正部における位相補正動作の一例を示す図である。図16に示す例では、正規化cos信号cosθ’を破線で示し、補正cos信号cosθを実線で示している。
 図15に示すセンサ位相補正部42は、予め磁気センサ素子3A1(3B1)の出力位相と磁気センサ素子3A2(3B2)の出力位相との間のセンサ位相誤差θicが第1磁気センサ補正情報(第2磁気センサ補正情報)として設定され、記憶部10に記憶されている。このセンサ位相誤差θicは、例えば、回転角度検出装置1の出荷検査時に測定した値であっても良い。
 図15に示す例において、センサ位相補正部42は、センサ位相誤差θicを用いて、正規化sin信号sinθ’を基準として正規化cos信号cosθ’の位相を補正する。一方、センサ位相補正部42では、基準となる正規化sin信号sinθ’については補正を行わない。すなわち、センサ位相補正部42における補正sin信号sinθは、下記式(9)で表せる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000053
 一方、補正cos信号cosθは、下記式(10)により表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000054
 センサ位相補正部42は、上記式(10)により補正cos信号cosθを算出する。以下、上記式(10)を「第1の位相補正演算式」ともいう。
 図15に示すセンサ位相補正部42は、上記式(10)、すなわち第1の位相補正演算式が予め第1磁気センサ補正情報(第2磁気センサ補正情報)として記憶部10に記憶され設定されている。センサ位相補正部42は、この上記式(10)、すなわち第1の位相補正演算式を用いて正規化cos信号cosθ’の位相を補正することにより、図16に実線で示す補正cos信号cosθを出力する。
 図17は、実施形態1に係るセンサ位相補正部における補正対象の図14とは異なる一例を示す図である。
 図17及び以下の図18、図19に示す例では、磁気センサ素子3A2(3B2)を基準として、磁気センサ素子3A1(3B1)の出力位相を補正する例を示している。
 図18は、実施形態1に係るセンサ位相補正部の図15とは異なる制御ブロックの一例を示す図である。図19は、図18に示すセンサ位相補正部における位相補正動作の一例を示す図である。図19に示す例では、正規化sin信号sinθ’を破線で示し、補正sin信号sinθを実線で示している。
 図18に示すセンサ位相補正部42aは、予め磁気センサ素子3A1(3B1)の出力位相と磁気センサ素子3A2(3B2)の出力位相との間のセンサ位相誤差θicが第1磁気センサ補正情報(第2磁気センサ補正情報)として設定され、記憶部10に記憶されている。このセンサ位相誤差θicは、例えば、回転角度検出装置1の出荷検査時に測定した値であっても良い。
 図18に示す例において、センサ位相補正部42aは、センサ位相誤差θicを用いて、正規化cos信号cosθ’を基準として正規化sin信号sinθ’の位相を補正する。一方、センサ位相補正部42aでは、基準となる正規化cos信号cosθ’については補正を行わない。すなわち、センサ位相補正部42aにおける補正cos信号cosθは、下記式(11)で表せる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000055
 一方、補正sin信号sinθは、下記式(12)により表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000056
 センサ位相補正部42は、上記式(12)により補正sin信号sinθを算出する。以下、上記式(12)を「第2の位相補正演算式」ともいう。
 図18に示すセンサ位相補正部42aは、上記式(12)、すなわち第2の位相補正演算式が予め第1磁気センサ補正情報(第2磁気センサ補正情報)として記憶部10に記憶され設定されている。センサ位相補正部42aは、この上記式(12)、すなわち第2の位相補正演算式を用いて正規化sin信号sinθ’の位相を補正することにより、図19に実線で示す補正sin信号sinθを出力する。
 第1補正演算部4Aは、センサ位相補正部42又はセンサ位相補正部42aを有することで、第1磁気センサ3Aの出力位相を補正することができる。また、第2補正演算部4Bは、センサ位相補正部42又はセンサ位相補正部42aを有することで、第2磁気センサ3Bの出力位相を補正することができる。
 次に、実施形態1に係る回転角度検出方法の具体的な手順について説明する。図20は、実施形態1に係る回転角度検出方法の具体的な手順の一例を示す図である。
 まず、第1補正演算部4Aは、第1磁気センサ補正情報に基づき、第1sin信号sinθ1及び第1cos信号cosθ1を第1補正sin信号sinθ1及び第1補正cos信号cosθ1に補正し、第2補正演算部4Bは、第2磁気センサ補正情報に基づき、第2sin信号sinθ2及び第2cos信号cosθ2を第2補正sin信号sinθ2及び第2補正cos信号cosθ2に補正する(ステップS101)。
 次に、第1位相検出部5Aは、第1補正sin信号sinθ1及び第1補正cos信号cosθ1の位相を算出し、第2位相検出部5Bは、第2補正sin信号sinθ2及び第2補正cos信号cosθ2の位相を算出する(ステップS102)。
 次に、位相差検出部6は、第1磁気センサ3Aの検出位相と第2磁気センサ3Bの検出位相とに基づき、第1磁気センサ3Aと第2磁気センサ3Bとの位相差を算出する(ステップS103)。
 そして、角度算出部7は、位相差検出部6から出力される位相差を絶対角度に変換する(ステップS104)。
 以上説明したように、実施形態1に係る回転角度検出装置1は、N極とS極とからなる磁極対2A1が等間隔に並ぶ第1磁気トラック2Aと、磁極対2B1が等間隔に並ぶ第2磁気トラック2Bとが、回転軸Xを軸心とする同心のリング状に径方向に並び設けられ、第1磁気トラック2Aの磁極対2A1の数をP(Pは自然数)としたとき、第2磁気トラック2Bの磁極対2B1の数をP-1又はP+1とする回転体100と、第1磁気トラック2Aの磁界を検知して第1sin信号sinθ1及び第1cos信号cosθ1を出力する第1磁気センサ3Aと、第2磁気トラック2Bの磁界を検知して第2sin信号sinθ2及び第2cos信号cosθ2を出力する第2磁気センサ3Bと、第1磁気トラック2Aの回転角に応じて第1磁気センサ3Aが出力した第1sin信号sinθ1の値が、第1磁気センサ3Aの基準のsin信号の値に近づくようにし、又は第1磁気トラック2Aの回転角に応じて第1磁気センサ3Aが出力した第1cos信号cosθ1の値が、第1磁気センサ3Aの基準のcos信号の値に近づくようにする事前に設定された第1磁気センサ補正情報、及び、第2磁気トラック2Bの回転角に応じて第2磁気センサ3Bが出力した第2sin信号sinθ2の値が、第2磁気センサ3Bの基準のsin信号の値に近づくようにし、又は第2磁気トラック2Bの回転角に応じて第2磁気センサ3Bが出力した第2cos信号cosθ2の値が、第2磁気センサ3Bの基準のcos信号の値に近づくようにする事前に設定された第2磁気センサ補正情報を記憶する記憶部10と、第1磁気センサ補正情報に基づき第1sin信号sinθ1及び第1cos信号cosθ1を第1補正sin信号sinθ1及び第1補正cos信号cosθ1に補正する第1補正演算部4Aと、第2磁気センサ補正情報に基づき第2sin信号sinθ2及び第2cos信号cosθ2を第2補正sin信号sinθ2及び第2補正cos信号cosθ2に補正する第2補正演算部4Bと、第1補正sin信号sinθ1及び第1補正cos信号cosθ1の位相を算出する第1位相検出部5Aと、第2補正sin信号sinθ2及び第2補正cos信号cosθ2の位相を算出する第2位相検出部5Bと、第1磁気センサ3Aの検出位相と第2磁気センサ3Bの検出位相とに基づき、第1磁気センサ3Aと第2磁気センサ3Bとの位相差を算出する位相差検出部6と、この位相差を絶対角度に変換する角度算出部7と、を備える。
 これにより、回転角度検出装置1は、第1位相検出部5A及び第2位相検出部5Bにおいて位相を算出する前のsin信号及びcos信号をリアルタイムに補正することができる。また、sin信号及びcos信号を予め設定された既知の磁気センサ補正情報に基づいて補正した補正sin信号及び補正cos信号を用いて位相が算出されるので、回転体100の絶対角度の検出精度が向上する。したがって、本実施形態に係る回転角度検出装置1は、回転体100の絶対角度を高い精度で検出することができる。
 また、補正演算部4(第1補正演算部4A、第2補正演算部4B)では、第1磁気センサ3A(第2磁気センサ3B)の検出信号であるsin信号の平均値Vsinave、及びcos信号の平均値Vcosaveが予め第1磁気センサ補正情報(第2磁気センサ補正情報)として記憶部10に記憶され、オフセット電圧補正部411は、sin信号の平均値Vsinaveを用いて、sin信号を補正し、cos信号の平均値Vcosaveを用いて、cos信号を補正する。これにより、sin信号及びcos信号のオフセット電圧を正規化することができる。
 また、補正演算部4(第1補正演算部4A、第2補正演算部4B)では、第1磁気センサ3A(第2磁気センサ3B)の検出信号であるsin信号の最大値Vsinmax、sin信号の最小値Vsinmin、cos信号の最大値Vcosmax、及びcos信号の最小値Vcosminが予め第1磁気センサ補正情報(第2磁気センサ補正情報)として記憶部10に記憶され、振幅補正部412は、sin信号の最大値Vsinmaxと最小値Vsinminとを用いて、sin信号を補正し、cos信号の最大値Vcosmaxと最小値Vcosminとを用いて、cos信号を補正する。これにより、sin信号及びcos信号の振幅を正規化することができる。
 また、補正演算部4(第1補正演算部4A、第2補正演算部4B)では、オフセット電圧補正部411及び振幅補正部412の双方を具備することで、sin信号及びcos信号のオフセット電圧と振幅との双方を正規化することができる。
 また、補正演算部4(第1補正演算部4A、第2補正演算部4B)では、第1磁気センサ3A(第2磁気センサ3B)における磁気センサ素子3A1(3B1)の出力位相と磁気センサ素子3A2(3B2)の出力位相との間のセンサ位相誤差θic及び第1の位相補正演算式が予め第1磁気センサ補正情報(第2磁気センサ補正情報)として記憶部10に記憶され、センサ位相補正部42は、センサ位相誤差θic及び第1の位相補正演算式を用いて、cos信号を補正する。これにより、磁気センサ素子3A1(3B1)を基準として、磁気センサ素子3A2(3B2)の出力位相を補正することができる。あるいは、第1磁気センサ3A(第2磁気センサ3B)における磁気センサ素子3A1(3B1)の出力位相と磁気センサ素子3A2(3B2)の出力位相との間のセンサ位相誤差θic及び第2の位相補正演算式が予め第1磁気センサ補正情報(第2磁気センサ補正情報)として記憶部10に記憶され、センサ位相補正部42aは、センサ位相誤差θic及び第2の位相補正演算式を用いて、sin信号を補正する。これにより、磁気センサ素子3A2(3B2)を基準として、磁気センサ素子3A1(3B1)の出力位相を補正することができる。
 これにより、回転角度検出装置による位置検出精度を向上させることができ、これに伴い、各種機器の回転制御性能の向上に貢献することができる。
 また、実施形態1に係る回転角度検出方法は、N極とS極とからなる磁極対2A1が等間隔に並ぶ第1磁気トラック2Aの回転角に応じて、第1磁気トラック2Aの磁界を検知して第1sin信号sinθ1及び第1cos信号cosθ1を出力する第1磁気センサ3Aが出力した第1sin信号sinθ1の値が、第1磁気センサ3Aの基準のsin信号の値に近づくようにし、又は第1磁気トラック2Aの回転角に応じて、第1磁気センサ3Aが出力した第1cos信号cosθ1の値が、第1磁気センサ3Aの基準のcos信号の値に近づくようにする事前に設定された第1磁気センサ補正情報に基づき、第1sin信号sinθ1及び第1cos信号cosθ1を第1補正sin信号sinθ1及び第1補正cos信号cosθ1に補正し(信号補正ステップ)、磁極対2B1が等間隔に並ぶ第2磁気トラック2Bの回転角に応じて、第2磁気トラック2Bの磁界を検知して第2sin信号sinθ2及び第2cos信号cosθ2を出力する第2磁気センサ3Bが出力した第2sin信号sinθ2の値が、第2磁気センサ3Bの基準のsin信号の値に近づくようにし、又は第2磁気トラック2Bの回転角に応じて第2磁気センサ3Bが出力した第2cos信号cosθ2の値が、第2磁気センサ3Bの基準のcos信号の値に近づくようにする事前に設定された第2磁気センサ補正情報に基づき、第2sin信号sinθ2及び第2cos信号cosθ2を第2補正sin信号sinθ2及び第2補正cos信号cosθ2に補正し(信号補正ステップ)、第1補正sin信号sinθ1及び第1補正cos信号cosθ1の位相を算出し(位相算出ステップ)、第2補正sin信号sinθ2及び第2補正cos信号cosθ2の位相を算出し(位相算出ステップ)、第1磁気センサ3Aの検出位相と第2磁気センサ3Bの検出位相とに基づき、第1磁気センサ3Aと第2磁気センサ3Bとの位相差を算出し(位相差算出ステップ)、この位相差を絶対角度に変換する(絶対角度算出ステップ)。
 これにより、第1位相検出部5A及び第2位相検出部5Bにおいて位相を算出する前のsin信号及びcos信号をリアルタイムに補正することができる。また、sin信号及びcos信号を予め設定された既知の磁気センサ補正情報に基づいて補正した補正sin信号及び補正cos信号を用いて位相が算出されるので、回転体100の絶対角度の検出精度が向上する。したがって、本実施形態に係る回転角度検出方法では、回転体100の絶対角度を高い精度で検出することができる。
 なお、上述した実施形態1では、第1磁気トラック2A及び第2磁気トラック2Bが回転体100の軸方向の一方の端面に着磁されたアキシャル型の構成とした例を示したが、これに限るものではなく、例えば、第1磁気トラック2A及び第2磁気トラック2Bが回転体100の外周面に着磁され、軸方向に並び設けられたラジアル型の構成であっても良い。
(実施形態2)
 実施形態2に係る回転角度検出装置の構成、回転体、磁気トラック、磁気センサモジュールの配置等は、上述した実施形態1と同様であるので、ここでは説明を省略する。また、上述した実施形態1で説明したものと同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。また、以下の説明では、第1磁気トラック2A及び第2磁気トラック2Bを「磁気トラック2」、第1磁気センサ3A及び第2磁気センサ3Bを「磁気センサ3」、第1補正演算部4A及び第2補正演算部4Bを「補正演算部4a」、第1磁気センサ補正情報及び第2磁気センサ補正情報を「磁気センサ補正情報」とも言う。
 図21は、実施形態2に係る補正演算部の機能ブロックの一例を示す図である。図21に示すように、実施形態2に係る補正演算部4aは、実施形態1において説明した正規化処理部41と、振幅変動抑制部43と、を備える。
 補正演算部4aには、磁気センサ3から出力されたsin信号sinθ及びcos信号cosθが入力される。また、補正演算部4aは、記憶部10から正規化処理部41及び振幅変動抑制部43で適用される磁気センサ補正情報を取得する。
 正規化処理部41は、磁気センサ3から出力されたsin信号sinθ及びcos信号cosθを正規化して正規化sin信号sinθ’及び正規化cos信号cosθ’をセンサ位相補正部42に出力する。
 振幅変動抑制部43は、正規化sin信号sinθ’及び正規化cos信号cosθ’の振幅変動を補正して補正sin信号sinθ及び補正cos信号cosθを出力する。
 図22は、実施形態2に係る振幅変動抑制部の制御ブロックの一例を示す図である。正規化処理部41の制御ブロックについては、実施形態1と同様であるので、ここでは説明を省略する。
 本実施形態では、磁気センサ3の出力振幅が変動する場合を想定している。このような想定としては、例えば、回転体100の磁気トラック2が設けられたアキシャル面が平滑でない場合や、回転体100の回転軸Xが傾いている場合等、磁気センサ3と磁気トラック2との間の軸方向距離が回転体100の1回転中に変動する場合が考えられる。
 図22に示す振幅変動抑制部43は、下記式(13)により補正sin信号sinθを算出する。以下、下記式(13)を「第1の振幅変動補正演算式」ともいう。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000057
 図22に示す振幅変動抑制部43は、上記式(13)、すなわち第1の振幅変動補正演算式が予め磁気センサ補正情報として記憶部10に記憶され設定されている。振幅変動抑制部43は、この上記式(13)、すなわち第1の振幅変動補正演算式を用いて、正規化sin信号sinθ’の周期的な振幅変動を抑制した補正sin信号sinθを演算して出力する。
 また、図22に示す振幅変動抑制部43は、下記式(14)により補正cos信号cosθを算出する。以下、下記式(14)を「第2の振幅変動補正演算式」ともいう。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000058
 図22に示す振幅変動抑制部43は、上記式(14)、すなわち第2の振幅変動補正演算式が予め磁気センサ補正情報として記憶部10に記憶され設定されている。振幅変動抑制部43は、この上記式(14)、すなわち第2の振幅変動補正演算式を用いて、正規化cos信号cosθ’の周期的な振幅変動を抑制した補正cos信号cosθを演算して出力する。
 第1補正演算部4Aは、振幅変動抑制部43を有することで、第1磁気センサ3Aの出力振幅の変動を補正することができる。また、第2補正演算部4Bは、振幅変動抑制部43を有することで、第2磁気センサ3Bの出力振幅の変動を補正することができる。
 以上説明したように、補正演算部4a(第1補正演算部4A、第2補正演算部4B)では、第1の振幅変動補正演算式及び第2の振幅変動補正演算式が予め第1センサ補正情報として記憶部10に記憶され、振幅変動抑制部43は、第1の振幅変動補正演算式及び第2の振幅変動補正演算式を用いて、sin信号及びcos信号を補正する。これにより、第1磁気センサ3A(第2磁気センサ3B)の出力振幅の変動を補正することができる。
 これにより、回転角度検出装置による位置検出精度を向上させることができ、これに伴い、各種機器の回転制御性能の向上に貢献することができる。
(実施形態3)
 実施形態3に係る回転角度検出装置の構成、回転体、磁気トラック、磁気センサモジュールの配置等は、上述した実施形態1,2と同様であるので、ここでは説明を省略する。また、上述した実施形態1,2で説明したものと同じ構成要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。また、以下の説明では、第1磁気トラック2A及び第2磁気トラック2Bを「磁気トラック2」、第1磁気センサ3A及び第2磁気センサ3Bを「磁気センサ3」、第1補正演算部4A及び第2補正演算部4Bを「補正演算部4b」、第1磁気センサ補正情報及び第2磁気センサ補正情報を「磁気センサ補正情報」とも言う。
 図23は、実施形態3に係る補正演算部の機能ブロックの一例を示す図である。図24は、実施形態1に係る補正演算部がセンサ位相補正部及び振幅変動抑制部の双方を具備した制御ブロックの一例を示す図である。図25は、実施形態1に係る補正演算部がセンサ位相補正部及び振幅変動抑制部の双方を具備した制御ブロックの図24とは異なる一例を示す図である。
 図23から図25に示すように、実施形態3に係る補正演算部4bは、実施形態1において説明した正規化処理部41及びセンサ位相補正部42(又はセンサ位相補正部42a)と、実施形態2において説明した振幅変動抑制部43と、を備える。
 補正演算部4bには、磁気センサ3から出力されたsin信号sinθ及びcos信号cosθが入力される。また、補正演算部4bは、記憶部10から正規化処理部41及び振幅変動抑制部43で適用される磁気センサ補正情報を取得する。
 正規化処理部41は、磁気センサ3から出力されたsin信号sinθ及びcos信号cosθを正規化して正規化sin信号sinθ’及び正規化cos信号cosθ’をセンサ位相補正部42,42aに出力する。
 センサ位相補正部42,42aは、正規化sin信号sinθ’又は正規化cos信号cosθ’の位相を補正して補正sin信号sinθ’及び補正cos信号cosθ’を出力する。
 図24に示すセンサ位相補正部42では、基準となる正規化sin信号sinθ’については補正を行わない。すなわち、センサ位相補正部42における補正sin信号sinθ’は、下記式(15)で表せる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000059
 図24に示すセンサ位相補正部42は、下記式(16)により補正cos信号cosθ’を算出する。以下、下記式(16)を、上記式(10)と同様に「第1の位相補正演算式」ともいう。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000060
 図24に示すセンサ位相補正部42は、上記式(16)、すなわち第1の位相補正演算式が予め磁気センサ補正情報として記憶部10に記憶され設定されている。センサ位相補正部42は、この上記式(16)、すなわち第1の位相補正演算式を用いて正規化cos信号cosθ’の位相を補正した補正cos信号cosθ’を演算して出力する。
 振幅変動抑制部43は、補正sin信号sinθ’及び補正cos信号cosθ’の振幅変動を補正して補正sin信号sinθ及び補正cos信号cosθを出力する。
 具体的には、図24に示す振幅変動抑制部43は、下記式(17)により補正sin信号sinθを算出する。以下、下記式(17)を、上記式(13)と同様に「第1の振幅変動補正演算式」ともいう。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000061
 図24に示す振幅変動抑制部43は、上記式(17)、すなわち第1の振幅変動補正演算式が予め磁気センサ補正情報として記憶部10に記憶され設定されている。振幅変動抑制部43は、この上記式(17)、すなわち第1の振幅変動補正演算式を用いて、補正sin信号sinθ’の周期的な振幅変動を抑制した補正sin信号sinθを演算して出力する。
 また、図24に示す振幅変動抑制部43は、下記式(18)により補正cos信号cosθを算出する。以下、下記式(18)を、上記式(14)と同様に「第2の振幅変動補正演算式」ともいう。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000062
 図24に示す振幅変動抑制部43は、上記式(18)、すなわち第2の振幅変動補正演算式が予め磁気センサ補正情報として記憶部10に記憶され設定されている。振幅変動抑制部43は、この上記式(18)、すなわち第2の振幅変動補正演算式を用いて、補正cos信号cosθ’の周期的な振幅変動を抑制した補正cos信号cosθを演算して出力する。
 図25に示すセンサ位相補正部42aは、下記式(19)により補正sin信号sinθ’を算出する。以下、下記式(19)を、上記式(12)と同様に「第2の位相補正演算式」ともいう。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000063
 図25に示すセンサ位相補正部42aは、上記式(19)、すなわち第2の位相補正演算式が予め磁気センサ補正情報として記憶部10に記憶され設定されている。センサ位相補正部42aは、この上記式(19)、すなわち第2の位相補正演算式を用いて正規化sin信号sinθ’の位相を補正した補正sin信号sinθ’を演算して出力する。
 また、図25に示すセンサ位相補正部42aでは、基準となる正規化cos信号cosθ’については補正を行わない。すなわち、センサ位相補正部42aにおける補正cos信号cosθ’は、下記式(20)で表せる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000064
 振幅変動抑制部43は、補正sin信号sinθ’及び補正cos信号cosθ’の振幅変動を補正して補正sin信号sinθ及び補正cos信号cosθを出力する。
 具体的には、図25に示す振幅変動抑制部43は、下記式(21)により補正sin信号sinθを算出する。以下、下記式(21)を、上記式(13)、(17)と同様に「第1の振幅変動補正演算式」ともいう。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000065
 図25に示す振幅変動抑制部43は、上記式(21)、すなわち第1の振幅変動補正演算式が予め磁気センサ補正情報として記憶部10に記憶され設定されている。振幅変動抑制部43は、この上記式(21)、すなわち第1の振幅変動補正演算式を用いて、補正sin信号sinθ’の周期的な振幅変動を抑制した補正sin信号sinθを演算して出力する。
 また、図25に示す振幅変動抑制部43は、下記式(22)により補正cos信号cosθを算出する。以下、下記式(22)を、上記式(14)、(18)と同様に「第2の振幅変動補正演算式」ともいう。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000066
 図25に示す振幅変動抑制部43は、上記式(22)、すなわち第2の振幅変動補正演算式が予め磁気センサ補正情報として記憶部10に記憶され設定されている。振幅変動抑制部43は、この上記式(22)、すなわち第2の振幅変動補正演算式を用いて、補正cos信号cosθ’の周期的な振幅変動を抑制した補正cos信号cosθを演算して出力する。
 第1補正演算部4Aは、実施形態1において説明したセンサ位相補正部42又はセンサ位相補正部42aと、実施形態2において説明した振幅変動抑制部43との双方を有することで、第1磁気センサ3Aの出力位相及び出力振幅の変動の双方を補正することができる。また、第2補正演算部4Bは、実施形態1において説明したセンサ位相補正部42又はセンサ位相補正部42aと、実施形態2において説明した振幅変動抑制部43との双方を有することで、第2磁気センサ3Bの出力位相及び出力振幅の変動の双方を補正することができる。
 以上説明したように、補正演算部4b(第1補正演算部4A、第2補正演算部4B)では、センサ位相補正部42又はセンサ位相補正部42aと、振幅変動抑制部43との双方を備える。このため、第1磁気センサ3A(第2磁気センサ3B)の出力位相及び出力振幅の変動の双方を補正することができ、実施形態1,2よりも高精度に回転体100の絶対角度を検出することができる。
 これにより、回転角度検出装置による位置検出精度を実施形態1,2よりも向上させることができ、これに伴い、各種機器の回転制御性能の向上に実施形態1,2よりも貢献することができる。
(実施形態4)
 図26は、実施形態4に係る回転角度検出装置の回転体の一例を示す図である。図27は、図26に示す回転体の各磁気トラックの一例を示す図である。図28は、実施形態4に係る回転角度検出装置の磁気センサモジュールの配置例を示す図である。図29は、実施形態4に係る回転角度検出装置の図28に示すIV’-IV’断面図である。
 図26及び図27に示すように、実施形態4に係る回転角度検出装置1aの回転体100aは、実施形態1の構成に加え、磁極対2C1が等間隔に並ぶ第3磁気トラック2Cを有している。
 図27に示す例において、第3磁気トラック2Cは、28対の磁極対2C1を有している。
 なお、本実施形態では、第1磁気トラック2A、第2磁気トラック2B、及び第3磁気トラック2Cが回転体100aの軸方向の一方の端面に設けられたアキシャル型の構成であるが、これに限るものではなく、例えば、第1磁気トラック2A、第2磁気トラック2B、及び第3磁気トラック2Cが回転体100aの外周面に軸方向に並び設けられたラジアル型の構成であっても良い。
 図28及び図29に示すように、実施形態4では、2つの第1磁気センサモジュール200aおよび第2磁気センサモジュール200bが回転体100aの径方向に並び設けられている。これら2つの第1磁気センサモジュール200aおよび第2磁気センサモジュール200bは、実施形態1,2,3において説明した磁気センサモジュール200と実質的に同一の構成及び機能を有している。
 第1磁気センサモジュール200aおよび第2磁気センサモジュール200bは、第1磁気トラック2A、第2磁気トラック2B、及び第3磁気トラック2Cが設けられた回転体100aとそれぞれギャップを介してアキシャル方向に対向して設けられている。
 より具体的には、第1磁気センサモジュール200aの第1磁気センサ3Aは、第1磁気トラック2Aに対向し、第1磁気トラック2Aの磁界を検知する。第1磁気センサモジュール200aの第2磁気センサ3Bは、第2磁気トラック2Bに対向し、第2磁気トラック2Bの磁界を検知する。また、第2磁気センサモジュール200bの第1磁気センサ3Aは、第1磁気トラック2Aに対向し、第1磁気トラック2Aの磁界を検知する。第2磁気センサモジュール200bの第2磁気センサ3Bは、第3磁気トラック2Cに対向し、第3磁気トラック2Cの磁界を検知する。
 第1磁気センサモジュール200aおよび第2磁気センサモジュール200bは、回転体100aとは同期回転しない固定部位に設けられている。
 図27に示す例では、第1磁気トラック2Aの磁極対2A1の数を32(P=32、Pは自然数)、第2磁気トラック2Bの磁極対2B1の数を31(P-1=31)とし、A点において第1磁気トラック2Aの磁極位相と第2磁気トラック2Bの磁極位相とが一致している。すなわち、第1磁気センサモジュール200aは、第1磁気センサ3Aの検出信号の位相と第2磁気センサ3Bの検出信号の位相とが一致するA点を原点位置として、回転体100aの全周における絶対角度を検出することができる。
 なお、第1磁気トラック2Aの磁極対2A1の数と第2磁気トラック2Bの磁極対2B1の数との関係は、上記に限るものではなく、例えば、第1磁気トラック2Aの磁極対2A1の数をPとしたとき、第2磁気トラック2Bの磁極対2B1の数をP+1とした構成であっても良い。
 また、図27に示す例では、第1磁気トラック2Aの磁極対2A1の数を32(=4×8)、第3磁気トラック2Cの磁極対2C1の数を28(=4×7)とし、回転体100aを周方向に4分割するA点、B点、C点、D点の各点において第1磁気トラック2Aの磁極位相と第3磁気トラック2Cの磁極位相とが一致している。すなわち、第2磁気センサモジュール200bは、第1磁気センサ3Aの検出信号の位相と第2磁気センサ3Bの検出信号の位相とが一致するA点、B点、C点、D点の各点を原点位置として、回転体100aの全周を4分割した各区間における絶対角度を検出することができる。
 図27に示す第1磁気トラック2Aの磁極対2A1の数と第3磁気トラック2Cの磁極対2C1の数との関係を一般化すると、第2磁気センサモジュール200bは、第1磁気トラック2Aの磁極対2A1の数をn×Q(n,Qは自然数)、第3磁気トラック2Cの磁極対2C1の数をn×(Q-1)とし、回転体100aを周方向にn分割する各点において第1磁気トラック2Aの磁極位相と第3磁気トラック2Cの磁極位相とが一致する構成とすれば、第1磁気センサ3Aの検出信号の位相と第2磁気センサ3Bの検出信号の位相とが一致する各点を原点位置として、回転体100aの全周をn分割した各区間における絶対角度を検出することができる。
 なお、第1磁気トラック2Aの磁極対2A1の数と第3磁気トラック2Cの磁極対2C1の数との関係は、上記に限るものではなく、例えば、第1磁気トラック2Aの磁極対2A1の数をn×Qとしたとき、第3磁気トラック2Cの磁極対2C1の数をn×(Q+1)とした構成であっても良い。
 このように、回転体100aの全周における絶対角度を検出する構成に対し、回転体100aの全周をn分割した各区間における絶対角度を検出する構成を加えることで、回転体100aの絶対角度検出の信頼性を高めることができる。
 以上説明したように、実施形態4に係る回転角度検出装置1aは、回転軸Xを軸心とする第3磁気トラック2Cをさらに備え、第1磁気トラック2Aの磁極対2A1の数をn×Q(n,Qは自然数)としたとき、第3磁気トラック2Cの磁極対2C1の数をn×(Q-1)又はn×(Q+1)とし、第1磁気トラック2Aの磁界及び第2磁気トラック2Bの磁界を検知して、回転体100aの全周における絶対角度を検出する第1磁気センサモジュール200aと、第1磁気トラック2Aの磁界及び第3磁気トラック2Cの磁界を検知して、回転体100aの全周をn分割した各区間における絶対角度を検出する第2磁気センサモジュール200bとを備える。
 これにより、回転体100aの絶対角度検出の信頼性を高めることができる。
 また、第1磁気センサモジュール200aおよび第2磁気センサモジュール200bを、実施形態1,2,3と同様に、補正演算部4,4a,4b(第1補正演算部4A、第2補正演算部4B)を具備した構成とすることで、高精度に回転体100aの絶対角度を検出することができる。
 これにより、回転角度検出装置による位置検出精度を向上させることができ、これに伴い、各種機器の回転制御性能の向上に貢献することができる。
(実施形態5)
 図30は、実施形態5に係る回転角度検出装置の磁気センサモジュールの配置例を示す図である。
 本実施形態において、実施形態5に係る回転角度検出装置1bの回転体100bは、実施形態4に係る回転角度検出装置1aの回転体100aと同様に、第1磁気トラック2A、第2磁気トラック2B、及び第3磁気トラック2Cを有している。
 本実施形態において、第1磁気トラック2Aの磁極対数、及び第2磁気トラック2Bの磁極対数、及び第3磁気トラック2Cの磁極対数は、実施形態4と同一である。
 すなわち、実施形態4と同様に、第1磁気センサモジュール200aは、第1磁気センサ3Aの検出信号の位相と第2磁気センサ3Bの検出信号の位相とが一致するA点を原点位置として、回転体100bの全周における絶対角度を検出することができる(図27参照)。
 また、実施形態4と同様に、第1磁気トラック2Aの磁極対2A1の数と第3磁気トラック2Cの磁極対2C1の数との関係を一般化すると、第2磁気センサモジュール200bは、第1磁気トラック2Aの磁極対2A1の数をn×Q(n,Qは自然数)、第3磁気トラック2Cの磁極対2C1の数をn×(Q-1)とし、回転体100aを周方向にn分割する各点において第1磁気トラック2Aの磁極位相と第3磁気トラック2Cの磁極位相とが一致する構成とすれば、第1磁気センサ3Aの検出信号の位相と第2磁気センサ3Bの検出信号の位相とが一致する各点を原点位置として、回転体100bの全周をn分割した各区間における絶対角度を検出することができる。
 なお、第1磁気トラック2Aの磁極対2A1の数と第3磁気トラック2Cの磁極対2C1の数との関係についても、実施形態4と同様に、上記に限るものではなく、例えば、第1磁気トラック2Aの磁極対2A1の数をn×Qとしたとき、第3磁気トラック2Cの磁極対2C1の数をn×(Q+1)とした構成であっても良い。
 実施形態4では、第1磁気センサモジュール200aと第2磁気センサモジュール200bとが、回転体100aの径方向に並び設けられた例を示した(図28参照)。この場合、第1磁気トラック2Aの磁界を検知する、第1磁気センサモジュール200aの第1磁気センサ3Aと、第2磁気センサモジュール200bの第1磁気センサ3Aとが、回転体100aの径方向に並ぶこととなるため、第1磁気トラック2Aの径方向の幅を、第2磁気トラック2B及び第3磁気トラック2Cの径方向の幅よりも大きくする必要がある。
 本実施形態では、図30に示すように、第1磁気センサモジュール200aと第2磁気センサモジュール200bとが回転体100bの周方向に角度θだけずれて配置されている。これにより、第1磁気センサモジュール200aの第1磁気センサ3Aと、第2磁気センサモジュール200bの第1磁気センサ3Aとが、回転体100bの周方向に並ぶこととなるため、第1磁気トラック2Aの径方向の幅W1を、実施形態4よりも小さくすることができる。具体的には、例えば、第1磁気トラック2Aの径方向の幅W1を、第2磁気トラック2Bの径方向の幅W2、第3磁気トラック2Cの径方向の幅W3と同等にすることができる(W1≒W2≒W3)。このため、実施形態4よりも、回転体100bの中空穴の直径Φを大きくすることができる。これにより、実施形態5に係る回転角度検出装置1bを適用する機器の設計の自由度を実施形態4よりも高めることができる。
 以上説明したように、実施形態5に係る回転角度検出装置1bは、第1磁気センサモジュール200aと第2磁気センサモジュール200bとが回転体100bの周方向に角度θだけずれて配置されている。これにより、第1磁気トラック2Aの径方向の幅W1を、実施形態4よりも小さくすることができる。このため、実施形態4よりも、回転体100bの中空穴の直径Φを大きくすることができ、実施形態5に係る回転角度検出装置1bを適用する機器の設計の自由度を実施形態4よりも高めることができる。
 以下、回転角度検出装置の磁気センサモジュールの変形例について説明する。なお、以下の説明では、上述した実施形態1から実施形態3で説明したものと同じ構成要素には同一の符号を付すか、又は省略して重複する説明は省略する。
 図31は、磁気センサモジュールの第1の変形例を示す図である。図1に例示した回転角度検出装置1では、1つのICチップに集積化された磁気センサモジュール200と、ICチップ外に設けられた通信部9及び記憶部10を有する例を示した。これに対し、図31に例示する回転角度検出装置1Aでは、磁気センサモジュール200、通信部9、及び記憶部10が1つのICチップに集積化された例を示している。
 具体的には、磁気センサモジュール200は、第1磁気センサ3Aと、第1補正演算部4Aと、第1位相検出部5Aと、第2磁気センサ3Bと、第2補正演算部4Bと、第2位相検出部5Bと、位相差検出部6と、角度算出部7と、角度情報生成部8と、処理部11と、RAM12とを備える。
 処理部11は、電源が供給された場合、記憶部10から各種の情報を読み出し、読み出した各種の情報をRAM12に保存する。各種の情報とは、角度算出部7で用いられる計算パラメータ、第1磁気トラック2Aの磁極対2A1の数(P)、第2磁気トラック2Bの磁極対2B1の数(P+1)、第1補正演算部4Aで用いられる第1磁気センサ補正情報、第2補正演算部4Bで用いられる第2磁気センサ補正情報、絶対角度基準位置等、回転角度検出装置1の動作に必要な情報である。
 角度算出部7は、計算パラメータなどをRAM12から読み出す。第1補正演算部4Aは、第1磁気センサ補正情報などをRAM12から読み出す。第2補正演算部4Bは、第2磁気センサ補正情報などをRAM12から読み出す。よって、磁気センサモジュール200は、角度算出部7、第1補正演算部4Aおよび第2補正演算部4Bからのアクセス距離が短くなり、情報の読み込み、書き出し処理を高速に行うことができる。
 ここで、磁気センサモジュール200において電源が供給されたときの動作について説明する。図32は、電源が供給されたときの磁気センサモジュール200の動作についての説明に供するフローチャートである。
 ステップS201において、処理部11は、電源が供給されたときに、記憶部10にアクセスして、記憶部10から各種の情報を読み出す。
 ステップS202において、処理部11は、読み出した各種の情報をRAM12に保存する。
 図33は、磁気センサモジュールの第2の変形例を示す図である。図33に例示する回転角度検出装置1Bでは、磁気センサモジュール200及び通信部9が1つのICチップに集積化された例を示している。
 図34は、磁気センサモジュールの第3の変形例を示す図である。図35は、磁気センサモジュールの第4の変形例を示す図である。図34に例示する回転角度検出装置1C及び図35に例示する回転角度検出装置1Dでは、角度情報生成部8が生成した絶対角度情報を所定の信号(例えば、ABZ相信号、パラレル信号、シリアルデータ、アナログ電圧、PWM変調信号等)に変換して出力する第1通信部9Aと、この第1通信部9Aから出力された所定の信号を、外部制御装置が認識可能な所定の通信プロトコルに変換する第2通信部9Bとを有する例を示している。
 図34に例示する回転角度検出装置1Cでは、磁気センサモジュール200、第1通信部9A、及び記憶部10が1つのICチップに集積化された例を示している。
 図35に例示する回転角度検出装置1Dでは、磁気センサモジュール200及び第1通信部9Aが1つのICチップに集積化された例を示している。
 1つのICチップに集積化する際、図1、図31から図35の何れの態様であっても良い。
1,1a,1A,1B,1C,1D 回転角度検出装置
2 磁気トラック
2A 第1磁気トラック
2A1 磁極対
2B 第2磁気トラック
2B1 磁極対
2C 第3磁気トラック
2C1 磁極対
3 磁気センサ
3A 第1磁気センサ
3A1,3A2 磁気センサ素子
3B 第2磁気センサ
3B1,3B2 磁気センサ素子
4 補正演算部
4A 第1補正演算部
4B 第2補正演算部
5A 第1位相検出部
5B 第2位相検出部
6 位相差検出部
7 角度算出部
8 角度情報生成部
9 通信部
9A 第1通信部
9B 第2通信部
10 記憶部
11 処理部
12 RAM
41 正規化処理部
42,42a センサ位相補正部
43 振幅変動抑制部
100,100a 回転体
200 磁気センサモジュール
200a 第1磁気センサモジュール
200b 第2磁気センサモジュール
411 オフセット電圧補正部
412 振幅補正部

Claims (13)

  1.  N極とS極とからなる磁極対が等間隔に同心のリング状に並び、互いに磁極対数が異なる複数の磁気トラックを有する回転体と、
     1つの前記磁気トラックの磁界を検知してsin信号及びcos信号を出力する、複数の磁気センサ部と、
     前記回転体の回転角に応じて前記磁気センサ部が出力した前記sin信号の値が、当該磁気センサ部の基準のsin信号の値に近づくようにし、又は前記回転体の回転角に応じて前記磁気センサ部が出力した前記cos信号の値が、当該磁気センサ部の基準のcos信号の値に近づくようにする事前に設定された磁気センサ補正情報を記憶する記憶部と、
     前記磁気センサ補正情報に基づき前記sin信号及び前記cos信号を補正sin信号及び補正cos信号に補正する補正演算部と、
     前記補正sin信号及び前記補正cos信号の位相を算出する位相検出部と、
     複数の前記位相の位相差を算出する位相差検出部と、
     前記位相差を絶対角度に変換する角度算出部と、
     を備える
     回転角度検出装置。
  2.  前記sin信号の平均値をVsinave、前記cos信号の平均値をVcosave、入力の信号値をsinθ、cosθ、出力の信号値をsinθ’、cosθ’とし、前記Vsinave及び前記Vcosaveが前記磁気センサ補正情報として前記記憶部に記憶され、
     前記補正演算部は、
     下記式(1)を用いて前記sinθ’を演算すると共に、下記式(2)を用いて前記cosθ’を演算する
     請求項1に記載の回転角度検出装置。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
  3.  前記sin信号の最大値をVsinmax、前記sin信号の最小値をVsinmin、前記cos信号の最大値をVcosmax、前記cos信号の最小値をVcosmin、入力の信号値をsinθ、cosθ、出力の信号値をsinθ’、cosθ’とし、前記Vsinmax、前記Vsinmin、前記Vcosmax、及び前記Vcosminが前記磁気センサ補正情報として前記記憶部に記憶され、
     前記補正演算部は、
     下記式(3)を用いて前記sinθ’を演算すると共に、下記式(4)を用いて前記cosθ’を演算する
     請求項1に記載の回転角度検出装置。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000003
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000004
  4.  前記sin信号の平均値をVsinave、前記cos信号の平均値をVcosave、前記sin信号の最大値をVsinmax、前記sin信号の最小値をVsinmin、前記cos信号の最大値をVcosmax、前記cos信号の最小値をVcosmin、入力の信号値をsinθ、cosθ、出力の信号値をsinθ’、cosθ’とし、前記Vsinave、前記Vcosave、前記Vsinmax、前記Vsinmin、前記Vcosmax、及び前記Vcosminが前記磁気センサ補正情報として前記記憶部に記憶され、
     前記補正演算部は、
     下記式(5)及び下記式(7)を用いて前記sinθ’を演算すると共に、下記式(6)及び下記式(8)を用いて前記cosθ’を演算する
     請求項1に記載の回転角度検出装置。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000005
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000006
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000007
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000008
  5.  前記sin信号の出力位相と前記cos信号の出力位相との間のセンサ位相誤差をθic、入力の信号値をsinθ’、cos(θ’+θic)、出力の信号値をsinθ、cosθとし、前記θicが前記磁気センサ補正情報として前記記憶部に記憶され、
     前記補正演算部は、
     下記式(9)を用いて前記sinθを演算すると共に、下記式(10)を用いて前記cosθを演算する
     請求項2から請求項4の何れか一項に記載の回転角度検出装置。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000009
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000010
  6.  前記sin信号の出力位相と前記cos信号の出力位相との間のセンサ位相誤差をθic、入力の信号値をsin(θ’+θic)、cosθ’、出力の信号値をsinθ、cosθとし、前記θicが前記磁気センサ補正情報として前記記憶部に記憶され、
     前記補正演算部は、
     下記式(11)を用いて前記cosθを演算すると共に、下記式(12)を用いて前記sinθを演算する
     請求項2から請求項4の何れか一項に記載の回転角度検出装置。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000011
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000012
  7.  入力の信号値をsinθ’、cosθ’、出力の信号値をsinθ、cosθとし、
     前記補正演算部は、
     下記式(13)を用いて前記sinθを演算すると共に、下記式(14)を用いて前記cosθを演算する
     請求項2から請求項4の何れか一項に記載の回転角度検出装置。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000013
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000014
  8.  前記sin信号の出力位相と前記cos信号の出力位相との間のセンサ位相誤差をθic、入力の信号値をsinθ’、cos(θ’+θic)、出力の信号値をsinθ、cosθとし、前記θicが前記磁気センサ補正情報として前記記憶部に記憶され、
     前記補正演算部は、
     下記式(15)及び下記式(17)を用いて前記sinθを演算すると共に、下記式(16)及び下記式(18)を用いて前記cosθを演算する
     請求項2から請求項4の何れか一項に記載の回転角度検出装置。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000015
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000016
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000017
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000018
  9.  前記sin信号の出力位相と前記cos信号の出力位相との間のセンサ位相誤差をθic、入力の信号値をsin(θ’+θic)、cosθ’、出力の信号値をsinθ、cosθとし、前記θicが前記磁気センサ補正情報として前記記憶部に記憶され、
     前記補正演算部は、
     下記式(19)及び下記式(21)を用いて前記sinθを演算すると共に、下記式(20)及び下記式(22)を用いて前記cosθを演算する
     請求項2から請求項4の何れか一項に記載の回転角度検出装置。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000019
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000020
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000021
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000022
  10.  前記複数の磁気トラックは、前記回転体の軸方向の一方の端面に着磁されている
     請求項1から請求項9の何れか一項に記載の回転角度検出装置。
  11.  前記複数の磁気トラックは、
     第1磁気トラックと、
     前記第1磁気トラックの外周に設けられた第2磁気トラックと、
     前記第1磁気トラックの内周に設けられた第3磁気トラックと、
     を含み、
     前記第1磁気トラックの磁界を検知する前記磁気センサと前記第2磁気トラックの磁界を検知する前記磁気センサとを含む第1磁気センサモジュールと、
     前記第1磁気トラックの磁界を検知する前記磁気センサと前記第3磁気トラックの磁界を検知する前記磁気センサとを含む第2磁気センサモジュールと、
     を備える
     請求項1から請求項10の何れか一項に記載の回転角度検出装置。
  12.  前記第1磁気センサモジュールと前記第2磁気センサモジュールとが前記回転体の周方向にずれて配置されている
     請求項11に記載の回転角度検出装置。
  13.  N極とS極とからなる磁極対が等間隔に同心のリング状に並び、互いに磁極対数が異なる複数の磁気トラックを有する回転体の回転角に応じて、1つの前記磁気トラックの磁界を検知してsin信号及びcos信号を出力する、複数の磁気センサ部が出力した前記sin信号の値が、当該磁気センサ部の基準のsin信号の値に近づくようにし、又は前記回転体の回転角に応じて、前記磁気センサ部が出力した前記cos信号の値が、当該磁気センサ部の基準のcos信号の値に近づくようにする事前に設定された磁気センサ補正情報に基づき、前記sin信号及び前記cos信号を補正sin信号及び補正cos信号に補正する信号補正ステップと、
     前記補正sin信号及び前記補正cos信号の位相を算出する位相算出ステップと、
     複数の前記位相の位相差を算出する位相差算出ステップと、
     前記位相差を絶対角度に変換する絶対角度算出ステップと、
     を有する
     回転角度検出方法。
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