WO2018074044A1 - 有機el素子 - Google Patents
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- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 238
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 85
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 85
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 49
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 claims abstract description 18
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 50
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 50
- 239000000463 material Substances 0.000 description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 description 34
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 24
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 17
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 15
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 10
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 9
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 9
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 8
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 5
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 5
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 5
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 5
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 5
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000007611 bar coating method Methods 0.000 description 4
- 239000011365 complex material Substances 0.000 description 4
- ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N coumarin Chemical compound C1=CC=C2OC(=O)C=CC2=C1 ZYGHJZDHTFUPRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007756 gravure coating Methods 0.000 description 4
- 239000011964 heteropoly acid Substances 0.000 description 4
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 4
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 4
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 3
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 3
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 3
- PKURFTDCIWJBDF-UHFFFAOYSA-N 2-hexylnaphthalene-1-sulfonic acid Chemical compound C1=CC=CC2=C(S(O)(=O)=O)C(CCCCCC)=CC=C21 PKURFTDCIWJBDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VQGHOUODWALEFC-UHFFFAOYSA-N 2-phenylpyridine Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=N1 VQGHOUODWALEFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 2
- 229910000846 In alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N Pyrrole Chemical compound C=1C=CNC=1 KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical compound N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N Quinoline Chemical compound N1=CC=CC2=CC=CC=C21 SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 2
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 2
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Chemical compound [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 2
- TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N caesium atom Chemical compound [Cs] TVFDJXOCXUVLDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XJHCXCQVJFPJIK-UHFFFAOYSA-M caesium fluoride Chemical compound [F-].[Cs+] XJHCXCQVJFPJIK-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 2
- 229960000956 coumarin Drugs 0.000 description 2
- 235000001671 coumarin Nutrition 0.000 description 2
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N europium atom Chemical compound [Eu] OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 2
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 229910000476 molybdenum oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N oxadiazole Chemical compound C1=CON=N1 WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N oxomolybdenum Chemical compound [Mo]=O PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DGBWPZSGHAXYGK-UHFFFAOYSA-N perinone Chemical compound C12=NC3=CC=CC=C3N2C(=O)C2=CC=C3C4=C2C1=CC=C4C(=O)N1C2=CC=CC=C2N=C13 DGBWPZSGHAXYGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 2
- 229920000548 poly(silane) polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 2
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 150000004032 porphyrins Chemical class 0.000 description 2
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 2
- NROKBHXJSPEDAR-UHFFFAOYSA-M potassium fluoride Chemical compound [F-].[K+] NROKBHXJSPEDAR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 2
- IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N rubidium atom Chemical compound [Rb] IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AHLATJUETSFVIM-UHFFFAOYSA-M rubidium fluoride Chemical compound [F-].[Rb+] AHLATJUETSFVIM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910001925 ruthenium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- PUZPDOWCWNUUKD-UHFFFAOYSA-M sodium fluoride Chemical compound [F-].[Na+] PUZPDOWCWNUUKD-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 2
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IATRAKWUXMZMIY-UHFFFAOYSA-N strontium oxide Chemical compound [O-2].[Sr+2] IATRAKWUXMZMIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MDYOLVRUBBJPFM-UHFFFAOYSA-N tropolone Chemical compound OC1=CC=CC=CC1=O MDYOLVRUBBJPFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001935 vanadium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- SCYULBFZEHDVBN-UHFFFAOYSA-N 1,1-Dichloroethane Chemical compound CC(Cl)Cl SCYULBFZEHDVBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 1,1-Diethoxyethane Chemical compound CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NGQSLSMAEVWNPU-YTEMWHBBSA-N 1,2-bis[(e)-2-phenylethenyl]benzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1/C=C/C1=CC=CC=C1\C=C\C1=CC=CC=C1 NGQSLSMAEVWNPU-YTEMWHBBSA-N 0.000 description 1
- SHXCHSNZIGEBFL-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzothiazole;zinc Chemical class [Zn].C1=CC=C2SC=NC2=C1 SHXCHSNZIGEBFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 1,4,4-triphenylbuta-1,3-dienylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C=1C=CC=CC=1)=CC=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WLODWTPNUWYZKN-UHFFFAOYSA-N 1h-pyrrol-2-ol Chemical class OC1=CC=CN1 WLODWTPNUWYZKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OWILVGDLTGETSV-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihexylbenzenesulfonic acid Chemical compound CCCCCCC1=CC=CC(S(O)(=O)=O)=C1CCCCCC OWILVGDLTGETSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QBDAFARLDLCWAT-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydropyran-6-one Chemical compound O=C1OCCC=C1 QBDAFARLDLCWAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHKKNVAGWPTSRS-UHFFFAOYSA-N 2-dodecylnaphthalene-1-sulfonic acid Chemical compound C1=CC=CC2=C(S(O)(=O)=O)C(CCCCCCCCCCCC)=CC=C21 WHKKNVAGWPTSRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MEFNVSITOPKYCS-UHFFFAOYSA-N 2-octylnaphthalene-1-sulfonic acid Chemical compound C1=CC=CC2=C(S(O)(=O)=O)C(CCCCCCCC)=CC=C21 MEFNVSITOPKYCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FZTBAQBBLSYHJZ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1,3-oxazol-4-ol Chemical class OC1=COC(C=2C=CC=CC=2)=N1 FZTBAQBBLSYHJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DWYHDSLIWMUSOO-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-benzimidazole Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=NC2=CC=CC=C2N1 DWYHDSLIWMUSOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DYVKHLGFIPFKMZ-UHFFFAOYSA-N 3,6-di(nonyl)naphthalene-1,8-disulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C1=CC(CCCCCCCCC)=CC2=CC(CCCCCCCCC)=CC(S(O)(=O)=O)=C21 DYVKHLGFIPFKMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOJDFUWWKJARLI-UHFFFAOYSA-N 3,6-di(nonyl)naphthalene-1-sulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C1=CC(CCCCCCCCC)=CC2=CC(CCCCCCCCC)=CC=C21 WOJDFUWWKJARLI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWXICGTUELOLSQ-UHFFFAOYSA-N 4-dodecylbenzenesulfonic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 KWXICGTUELOLSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MAGFQRLKWCCTQJ-UHFFFAOYSA-N 4-ethenylbenzenesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C1=CC=C(C=C)C=C1 MAGFQRLKWCCTQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ICTSJDQTIQLGSE-UHFFFAOYSA-N 4-hexylnaphthalene-1-sulfonic acid Chemical compound CCCCCCc1ccc(c2ccccc12)S(O)(=O)=O ICTSJDQTIQLGSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FEPBITJSIHRMRT-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxybenzenesulfonic acid Chemical compound OC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 FEPBITJSIHRMRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GMSNNWHMDVLYMJ-UHFFFAOYSA-N 5,5-bis(2,2-diphenylethenyl)-2-phenylcyclohexa-1,3-diene Chemical group C1C=C(C=2C=CC=CC=2)C=CC1(C=C(C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC=CC=1)C=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 GMSNNWHMDVLYMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCPXWRQRBFJBPZ-UHFFFAOYSA-N 5-sulfosalicylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(S(O)(=O)=O)=CC=C1O YCPXWRQRBFJBPZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AJWRRBADQOOFSF-UHFFFAOYSA-N C1=CC=C2OC([Zn])=NC2=C1 Chemical class C1=CC=C2OC([Zn])=NC2=C1 AJWRRBADQOOFSF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UXYHZIYEDDINQH-UHFFFAOYSA-N C1=CNC2=C3C=NN=C3C=CC2=C1 Chemical compound C1=CNC2=C3C=NN=C3C=CC2=C1 UXYHZIYEDDINQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UDYCQCSHSJLKFG-UHFFFAOYSA-N CCCCCCCCCCCCc1cc2ccccc2cc1S(O)(=O)=O Chemical compound CCCCCCCCCCCCc1cc2ccccc2cc1S(O)(=O)=O UDYCQCSHSJLKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XPQOEOAEOZRAIS-UHFFFAOYSA-N CCCCCCc1ccc(CCCCCC)c(c1)S(O)(=O)=O Chemical compound CCCCCCc1ccc(CCCCCC)c(c1)S(O)(=O)=O XPQOEOAEOZRAIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZINICSCDQVBRJU-UHFFFAOYSA-N CCCCCCc1ccc2cc(ccc2c1)S(O)(=O)=O Chemical compound CCCCCCc1ccc2cc(ccc2c1)S(O)(=O)=O ZINICSCDQVBRJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYKHUARBDBEWFH-UHFFFAOYSA-N CCCCCCc1ccc2cccc(c2c1)S(O)(=O)=O Chemical compound CCCCCCc1ccc2cccc(c2c1)S(O)(=O)=O MYKHUARBDBEWFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JYAVIPNDJHQFON-UHFFFAOYSA-N CCCCc1cc2ccc(cc2cc1CCCC)S(O)(=O)=O Chemical compound CCCCc1cc2ccc(cc2cc1CCCC)S(O)(=O)=O JYAVIPNDJHQFON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000284156 Clerodendrum quadriloculare Species 0.000 description 1
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229930192627 Naphthoquinone Natural products 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OIBDRYGXDROZIN-UHFFFAOYSA-N OC1=NC2=CC=CC=C2C=C1.OC=1C=CC=C2C=CC=NC12.OC=1C=CC=C2C=CC=NC12.OC=1C=CC=C2C=CC=NC12 Chemical class OC1=NC2=CC=CC=C2C=C1.OC=1C=CC=C2C=CC=NC12.OC=1C=CC=C2C=CC=NC12.OC=1C=CC=C2C=CC=NC12 OIBDRYGXDROZIN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920012266 Poly(ether sulfone) PES Polymers 0.000 description 1
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N Stilbene Natural products C=1C=CC=CC=1/C=C/C1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N 0.000 description 1
- XBDYBAVJXHJMNQ-UHFFFAOYSA-N Tetrahydroanthracene Natural products C1=CC=C2C=C(CCCC3)C3=CC2=C1 XBDYBAVJXHJMNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 1
- DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N [1,10]phenanthroline Chemical compound C1=CN=C2C3=NC=CC=C3C=CC2=C1 DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULGYAEQHFNJYML-UHFFFAOYSA-N [AlH3].[Ca] Chemical compound [AlH3].[Ca] ULGYAEQHFNJYML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JFBZPFYRPYOZCQ-UHFFFAOYSA-N [Li].[Al] Chemical compound [Li].[Al] JFBZPFYRPYOZCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JHYLKGDXMUDNEO-UHFFFAOYSA-N [Mg].[In] Chemical compound [Mg].[In] JHYLKGDXMUDNEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011354 acetal resin Substances 0.000 description 1
- 229910000288 alkali metal carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001508 alkali metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000272 alkali metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001615 alkaline earth metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000287 alkaline earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N aluminium(3+) Chemical compound [Al+3] REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SNAAJJQQZSMGQD-UHFFFAOYSA-N aluminum magnesium Chemical compound [Mg].[Al] SNAAJJQQZSMGQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001448 anilines Chemical class 0.000 description 1
- 150000004056 anthraquinones Chemical class 0.000 description 1
- 229940054051 antipsychotic indole derivative Drugs 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L barium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ba+2] OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001632 barium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- SRSXLGNVWSONIS-UHFFFAOYSA-N benzenesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C1=CC=CC=C1 SRSXLGNVWSONIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940092714 benzenesulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- XJHABGPPCLHLLV-UHFFFAOYSA-N benzo[de]isoquinoline-1,3-dione Chemical class C1=CC(C(=O)NC2=O)=C3C2=CC=CC3=C1 XJHABGPPCLHLLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KOPBYBDAPCDYFK-UHFFFAOYSA-N caesium oxide Chemical compound [O-2].[Cs+].[Cs+] KOPBYBDAPCDYFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001942 caesium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 1
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001716 carbazoles Chemical class 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce] ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 150000004775 coumarins Chemical class 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- HFXKQSZZZPGLKQ-UHFFFAOYSA-N cyclopentamine Chemical compound CNC(C)CC1CCCC1 HFXKQSZZZPGLKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960003263 cyclopentamine Drugs 0.000 description 1
- CUIWZLHUNCCYBL-UHFFFAOYSA-N decacyclene Chemical compound C12=C([C]34)C=CC=C4C=CC=C3C2=C2C(=C34)C=C[CH]C4=CC=CC3=C2C2=C1C1=CC=CC3=CC=CC2=C31 CUIWZLHUNCCYBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003759 ester based solvent Substances 0.000 description 1
- 239000004210 ether based solvent Substances 0.000 description 1
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 150000007946 flavonol Chemical class 0.000 description 1
- HVQAJTFOCKOKIN-UHFFFAOYSA-N flavonol Natural products O1C2=CC=CC=C2C(=O)C(O)=C1C1=CC=CC=C1 HVQAJTFOCKOKIN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000011957 flavonols Nutrition 0.000 description 1
- JVZRCNQLWOELDU-UHFFFAOYSA-N gamma-Phenylpyridine Natural products C1=CC=CC=C1C1=CC=NC=C1 JVZRCNQLWOELDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 1
- 229910021482 group 13 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LHJOPRPDWDXEIY-UHFFFAOYSA-N indium lithium Chemical compound [Li].[In] LHJOPRPDWDXEIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YZASAXHKAQYPEH-UHFFFAOYSA-N indium silver Chemical compound [Ag].[In] YZASAXHKAQYPEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002475 indoles Chemical class 0.000 description 1
- 230000002687 intercalation Effects 0.000 description 1
- 238000009830 intercalation Methods 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002503 iridium Chemical class 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005453 ketone based solvent Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 1
- XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L lithium carbonate Chemical compound [Li+].[Li+].[O-]C([O-])=O XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910052808 lithium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- GCICAPWZNUIIDV-UHFFFAOYSA-N lithium magnesium Chemical compound [Li].[Mg] GCICAPWZNUIIDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N lithium oxide Chemical compound [Li+].[Li+].[O-2] FUJCRWPEOMXPAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001947 lithium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L magnesium carbonate Chemical compound [Mg+2].[O-]C([O-])=O ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000001095 magnesium carbonate Substances 0.000 description 1
- 229910000021 magnesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJCKRGFTWFGHGZ-UHFFFAOYSA-N magnesium silver Chemical compound [Mg].[Ag] SJCKRGFTWFGHGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052976 metal sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- DCZNSJVFOQPSRV-UHFFFAOYSA-N n,n-diphenyl-4-[4-(n-phenylanilino)phenyl]aniline Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 DCZNSJVFOQPSRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- PSZYNBSKGUBXEH-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1-sulfonic acid Chemical compound C1=CC=C2C(S(=O)(=O)O)=CC=CC2=C1 PSZYNBSKGUBXEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KVBGVZZKJNLNJU-UHFFFAOYSA-N naphthalene-2-sulfonic acid Chemical compound C1=CC=CC2=CC(S(=O)(=O)O)=CC=C21 KVBGVZZKJNLNJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002791 naphthoquinones Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 150000004866 oxadiazoles Chemical class 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002926 oxygen Chemical class 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- FIZIRKROSLGMPL-UHFFFAOYSA-N phenoxazin-1-one Chemical compound C1=CC=C2N=C3C(=O)C=CC=C3OC2=C1 FIZIRKROSLGMPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UOMHBFAJZRZNQD-UHFFFAOYSA-N phenoxazone Natural products C1=CC=C2OC3=CC(=O)C=CC3=NC2=C1 UOMHBFAJZRZNQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003013 phosphoric acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- DHRLEVQXOMLTIM-UHFFFAOYSA-N phosphoric acid;trioxomolybdenum Chemical compound O=[Mo](=O)=O.O=[Mo](=O)=O.O=[Mo](=O)=O.O=[Mo](=O)=O.O=[Mo](=O)=O.O=[Mo](=O)=O.O=[Mo](=O)=O.O=[Mo](=O)=O.O=[Mo](=O)=O.O=[Mo](=O)=O.O=[Mo](=O)=O.O=[Mo](=O)=O.OP(O)(O)=O DHRLEVQXOMLTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IYDGMDWEHDFVQI-UHFFFAOYSA-N phosphoric acid;trioxotungsten Chemical compound O=[W](=O)=O.O=[W](=O)=O.O=[W](=O)=O.O=[W](=O)=O.O=[W](=O)=O.O=[W](=O)=O.O=[W](=O)=O.O=[W](=O)=O.O=[W](=O)=O.O=[W](=O)=O.O=[W](=O)=O.O=[W](=O)=O.OP(O)(O)=O IYDGMDWEHDFVQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical class N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 150000003057 platinum Chemical class 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920001197 polyacetylene Polymers 0.000 description 1
- 229920006350 polyacrylonitrile resin Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920005596 polymer binder Polymers 0.000 description 1
- 239000002491 polymer binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 239000011698 potassium fluoride Substances 0.000 description 1
- 235000003270 potassium fluoride Nutrition 0.000 description 1
- CHWRSCGUEQEHOH-UHFFFAOYSA-N potassium oxide Chemical compound [O-2].[K+].[K+] CHWRSCGUEQEHOH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001950 potassium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- JEXVQSWXXUJEMA-UHFFFAOYSA-N pyrazol-3-one Chemical compound O=C1C=CN=N1 JEXVQSWXXUJEMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DNXIASIHZYFFRO-UHFFFAOYSA-N pyrazoline Chemical compound C1CN=NC1 DNXIASIHZYFFRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003219 pyrazolines Chemical class 0.000 description 1
- 150000003222 pyridines Chemical class 0.000 description 1
- 150000004059 quinone derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910001952 rubidium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- CWBWCLMMHLCMAM-UHFFFAOYSA-M rubidium(1+);hydroxide Chemical compound [OH-].[Rb+].[Rb+] CWBWCLMMHLCMAM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N rubrene Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C1=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=CC=C2C(C=2C=CC=CC=2)=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1 YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N ruthenium(iv) oxide Chemical compound O=[Ru]=O WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZUNJOHGWZRPMI-UHFFFAOYSA-N samarium atom Chemical compound [Sm] KZUNJOHGWZRPMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- CGFYHILWFSGVJS-UHFFFAOYSA-N silicic acid;trioxotungsten Chemical compound O[Si](O)(O)O.O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1.O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1.O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1.O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 CGFYHILWFSGVJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000011775 sodium fluoride Substances 0.000 description 1
- 235000013024 sodium fluoride Nutrition 0.000 description 1
- KKCBUQHMOMHUOY-UHFFFAOYSA-N sodium oxide Chemical compound [O-2].[Na+].[Na+] KKCBUQHMOMHUOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001948 sodium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N stilbene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C=CC1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000021286 stilbenes Nutrition 0.000 description 1
- FVRNDBHWWSPNOM-UHFFFAOYSA-L strontium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Sr+2] FVRNDBHWWSPNOM-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001637 strontium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005504 styryl group Chemical group 0.000 description 1
- GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N terbium atom Chemical compound [Tb] GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IFLREYGFSNHWGE-UHFFFAOYSA-N tetracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC4=CC=CC=C4C=C3C=C21 IFLREYGFSNHWGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VLLMWSRANPNYQX-UHFFFAOYSA-N thiadiazole Chemical compound C1=CSN=N1.C1=CSN=N1 VLLMWSRANPNYQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003577 thiophenes Chemical class 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N toluene-4-sulfonic acid Chemical compound CC1=CC=C(S(O)(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N triphenylamine Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 ODHXBMXNKOYIBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N ytterbium Chemical compound [Yb] NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003751 zinc Chemical class 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H10K50/11—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
Definitions
- the present invention relates to an organic EL element.
- the organic EL element described in Patent Document 1 includes a support substrate, a metal wiring (fine wire structure portion) disposed on the support substrate, and a conductive layer disposed to cover the metal wiring. It has.
- the metal wiring has a predetermined pattern including a plurality of openings.
- the conductive layer is disposed on the metal wiring and on the support substrate exposed from the opening along the unevenness of the metal wiring.
- the organic EL element is configured by arranging the organic functional layer and the counter electrode along the uneven shape of the conductive layer on the transparent electrode having such a configuration. In this configuration, the thickness dimension of the conductive layer and the organic functional layer tends to be small at the convex portion of the metal wiring. In this case, in the organic EL element, in a portion where the thickness dimension of the conductive layer and the organic functional layer is small, a short circuit may occur between the counter electrode due to electric field concentration, and current leakage may occur. In the organic EL element, when current leakage occurs, current efficiency decreases.
- An object of one aspect of the present invention is to provide an organic EL element that can suppress a decrease in current efficiency.
- An organic EL device is provided on a support substrate, a metal wiring having a predetermined pattern including a plurality of openings, and a support substrate exposed on the metal wiring and the openings.
- the thickness dimension of the thickest part is T
- the thickness dimension of the thinnest part of the first electrode layer disposed at a position in contact with the metal wiring is S
- the thickness dimension T of the thickest part is 250 nm or less.
- the ratio of S to T is 0.4 or more and 1 or less.
- the thickness dimension T of the thickest portion of the first electrode layer and the thickness dimension S of the thinnest portion of the first electrode layer disposed at a position in contact with the metal wiring are as follows. The above ratio is satisfied. Thereby, in this organic EL element, it can suppress that a short circuit arises between a 1st electrode layer and a 2nd electrode layer. As a result, in the present organic EL element, it is possible to suppress the occurrence of current leakage, and thus it is possible to suppress a decrease in current efficiency.
- the cross section along the width direction of the metal wiring has a trapezoidal shape, and the angle formed between the side surface of the metal wiring and the support substrate may be an acute angle.
- the structure of the organic EL element satisfying the above relationship is particularly effective for suppressing a decrease in current efficiency in the organic EL element.
- the ratio of C to K (C / K ratio) is 0. It may be 4 or more and 3 or less. With this configuration, it is possible to more effectively suppress a decrease in current efficiency in an organic EL element including a metal wiring that satisfies the above ratio.
- a decrease in current efficiency can be suppressed.
- FIG. 1 is a diagram illustrating a cross-sectional configuration of an organic EL element according to an embodiment.
- FIG. 2 is a diagram showing metal wiring.
- FIG. 3 is a partially enlarged view showing a cross-sectional configuration of the organic EL element.
- FIG. 4 is a diagram illustrating an embodiment.
- the organic EL element 1 includes a support substrate 3, a metal wiring 5, an anode layer (first electrode layer) 7, and a hole injection layer (first An electrode layer) 9, a hole transport layer (organic functional layer) 11, a light emitting layer (organic functional layer) 13, an electron transport layer (organic functional layer) 15, an electron injection layer (organic functional layer) 17, A cathode layer (second electrode layer) 19.
- the support substrate 3 is made of a member that is transparent to visible light (light having a wavelength of 400 nm to 800 nm).
- Examples of the support substrate 3 include glass.
- the thickness of the support substrate 3 is, for example, 0.05 mm to 1.1 mm.
- the support substrate 3 may be made of a resin, and may be, for example, a film-like substrate (a flexible substrate or a flexible substrate). In this case, the thickness of the support substrate 3 is, for example, 30 ⁇ m or more and 500 ⁇ m or less. When the support substrate 3 is a resin, the thickness of the support substrate 3 is preferably 45 ⁇ m or more from the viewpoint of twisting, wrinkling, and elongation of the substrate during continuous roll-to-roll processing. The thickness of the support substrate 3 is preferably 125 ⁇ m or less from the viewpoint of flexibility.
- the material of the support substrate 3 is a resin
- examples of the material include a plastic film.
- the material of the support substrate 3 is, for example, polyethersulfone (PES); polyester resin such as polyethylene terephthalate (PET) or polyethylene naphthalate (PEN); polyolefin resin such as polyethylene (PE), polypropylene (PP), or cyclic polyolefin; Polyamide resin; Polycarbonate resin; Polystyrene resin; Polyvinyl alcohol resin; Saponified ethylene-vinyl acetate copolymer; Polyacrylonitrile resin; Acetal resin; Polyimide resin;
- PET polyethylene terephthalate
- PEN polyethylene naphthalate
- polyolefin resin such as polyethylene (PE), polypropylene (PP), or cyclic polyolefin
- Polyamide resin Polycarbonate resin
- Polystyrene resin Polyvinyl alcohol resin
- the material of the support substrate 3 is preferably a polyester resin or a polyolefin resin because of its high heat resistance, a low coefficient of linear expansion, and a low production cost.
- Polyethylene terephthalate or polyethylene naphthalate is more preferable. preferable.
- These resin may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.
- a gas barrier layer or a moisture barrier layer may be disposed on one main surface 3 a of the support substrate 3.
- the other main surface 3b of the support substrate 3 is a light emitting surface.
- the metal wiring 5 is disposed on one main surface 3 a of the support substrate 3.
- the metal wiring 5 is a conductor and constitutes a network structure.
- the material of the metal wiring 5 is, for example, silver, aluminum, copper, palladium, gold, nickel, iron, molybdenum, chromium, or an alloy containing one or more of these metals (for example, MAM (molybdenum / aluminum / molybdenum). )) And the like.
- the metal wiring 5 has a predetermined pattern having a plurality of openings 6.
- the predetermined pattern is, for example, a lattice pattern as shown in FIG.
- the plurality of openings 6 correspond to a mesh.
- the mesh shape includes, for example, a rectangle such as a rectangle or a square, a triangle, and a hexagon.
- the form of the predetermined pattern is not limited as long as the metal wiring 5 has a network structure.
- the thickness of the metal wiring 5, that is, the height of the metal wiring 5 from the one main surface 3a of the support substrate 3 is 10 nm to 500 nm, preferably 50 nm to 300 nm.
- the line width of the metal wiring 5 is preferably 500 ⁇ m or less, and more preferably 0.5 ⁇ m or more and 500 ⁇ m or less.
- the interval between the metal wirings 5 is preferably 50 ⁇ m or more, and more preferably 50 ⁇ m or more and 1 cm or less.
- the metal wiring 5 can be formed by using, for example, a photolithography method.
- a metal layer to be the metal wiring 5 is formed by a physical vapor deposition (PVD) method, a sputtering method, or the like. Thereafter, the metal wiring 5 is obtained by patterning the metal layer into a predetermined pattern using a photolithography method.
- PVD physical vapor deposition
- the metal wiring 5 may be formed using a lift-off method. In this case, first, a mask having an opening in a region where the metal wiring 5 having a predetermined pattern is to be formed is formed. Thereafter, metal is deposited on the opening of the mask by physical vapor deposition, sputtering, or the like to form a metal wiring. Subsequently, the metal wiring 5 having a predetermined pattern is obtained by removing the mask.
- the metal wiring 5 may be formed using various printing methods such as an ink jet printing method, a gravure printing method, or a screen printing method.
- the ink in which the nanostructures are dispersed is printed with a predetermined pattern of the metal wiring 5 by, for example, an ink jet printing method. Then, the metal wiring 5 is obtained by baking.
- the anode layer 7 is disposed on the metal wiring 5 and on the support substrate 3 exposed from the opening 6 of the metal wiring 5.
- an electrode layer showing optical transparency is used.
- a thin film of metal oxide, metal sulfide, metal or the like having high electrical conductivity can be used, and a thin film having high light transmittance is preferably used.
- a thin film having high light transmittance indium oxide, zinc oxide, tin oxide, indium tin oxide (abbreviated as ITO), indium zinc oxide (abbreviated as IZO), gold, platinum,
- a thin film made of silver, copper, or the like is used.
- a thin film made of ITO, IZO, or tin oxide is preferably used.
- an organic transparent conductive film such as polyaniline and derivatives thereof, polythiophene and derivatives thereof may be used.
- the thickness of the anode layer 7 can be determined in consideration of light transmittance, electrical conductivity and the like.
- the thickness of the anode layer 7 is not less than 10 nm and not more than 1 ⁇ m, preferably not less than 10 nm and not more than 500 nm, more preferably not less than 10 nm and not more than 300 nm in the portion located in the center of the opening 6 of the metal wiring 5.
- Examples of the method for forming the anode layer 7 include a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a plating method, and a coating method.
- a coating method spin coating method, casting method, micro gravure coating method, gravure coating method, bar coating method, roll coating method, wire bar coating method, dip coating method, spray coating method, screen printing method, flexographic printing method, An offset printing method, an inkjet printing method, etc. can be mentioned.
- the hole injection layer 9 is disposed on the main surface of the anode layer 7 (the side opposite to the surface in contact with the support substrate 3).
- Examples of the material constituting the hole injection layer 9 include vanadium oxide, molybdenum oxide, ruthenium oxide, and oxides such as aluminum oxide, phenylamine compounds, starburst amine compounds, phthalocyanine compounds, amorphous carbon, polyaniline, And polythiophene derivatives such as polyethylenedioxythiophene (PEDOT).
- a conventionally known organic material having a charge transporting property can be used as a material for the hole injection layer 9 by combining this with an electron accepting material.
- an electron accepting material a heteropolyacid compound or an arylsulfonic acid can be suitably used.
- the heteropoly acid compound has a structure in which a hetero atom is located at the center of a molecule, which is represented by a chemical structure of Keggin type or Dawson type, and is an oxygen acid such as vanadium (V), molybdenum (Mo), tungsten (W), etc.
- This is a polyacid obtained by condensing an isopolyacid and an oxygen acid of a different element.
- the oxygen acid of a different element mainly include silicon (Si), phosphorus (P), and arsenic (As) oxygen acids.
- Specific examples of the heteropolyacid compound include phosphomolybdic acid, silicomolybdic acid, phosphotungstic acid, phosphotungstomolybdic acid, and silicotungstic acid.
- Aryl sulfonic acids include benzene sulfonic acid, tosylic acid, p-styrene sulfonic acid, 2-naphthalene sulfonic acid, 4-hydroxybenzene sulfonic acid, 5-sulfosalicylic acid, p-dodecyl benzene sulfonic acid, dihexyl benzene sulfonic acid, 2 , 5-dihexylbenzenesulfonic acid, dibutylnaphthalenesulfonic acid, 6,7-dibutyl-2-naphthalenesulfonic acid, dodecylnaphthalenesulfonic acid, 3-dodecyl-2-naphthalenesulfonic acid, hexylnaphthalenesulfonic acid, 4-hexyl-1 -Naphthalenesulfonic acid, octylnaphthalenesulfonic
- the thickness of the hole injection layer 9 is 5 nm or more and 500 nm or less, preferably 5 nm or more and 300 nm or less.
- the hole injection layer 9 is formed by, for example, a coating method using a coating liquid containing the above material.
- the hole injection layer 9 can be formed by applying a coating solution on the anode layer 7 using one of these coating methods.
- the hole transport layer 11 is disposed on the main surface of the hole injection layer 9 (surface opposite to the surface in contact with the anode layer 7).
- a known hole transport material can be used as the material of the hole transport layer 11.
- the material of the hole transport layer 11 include polyvinyl carbazole or derivatives thereof, polysilane or derivatives thereof, polysiloxane or derivatives thereof having an aromatic amine in the side chain or main chain, pyrazoline or derivatives thereof, arylamine or derivatives thereof, Stilbene or derivatives thereof, triphenyldiamine or derivatives thereof, polyaniline or derivatives thereof, polythiophene or derivatives thereof, polyarylamine or derivatives thereof, polypyrrole or derivatives thereof, poly (p-phenylene vinylene) or derivatives thereof, or poly (2, 5-thienylene vinylene) or a derivative thereof.
- the thickness of the hole transport layer 11 varies depending on the material used, and is appropriately set so that the drive voltage and the light emission efficiency become appropriate values.
- the thickness of the hole transport layer 11 is, for example, 1 nm to 1 ⁇ m, preferably 2 nm to 500 nm, and more preferably 5 nm to 200 nm.
- Examples of the method for forming the hole transport layer 11 include a coating method using a coating solution containing the above materials.
- Examples of the coating method include the method exemplified for the hole injection layer 9.
- the solvent for the coating solution is not particularly limited as long as it dissolves the above-mentioned materials.
- a chlorine-based solvent such as chloroform, methylene chloride, and dichloroethane
- an ether-based solvent such as tetrahydrofuran
- an aromatic hydrocarbon-based solvent such as toluene and xylene.
- ketone solvents such as acetone and methyl ethyl ketone
- ester solvents such as ethyl acetate, butyl acetate, and ethyl cellosolve acetate.
- the light emitting layer 13 is disposed on the main surface of the hole transport layer 11 (the surface opposite to the surface in contact with the hole injection layer 9).
- the light emitting layer 13 usually includes an organic substance that mainly emits fluorescence and / or phosphorescence, or an organic substance and a dopant material for the light emitting layer that assists the organic substance.
- the dopant material for the light emitting layer is added, for example, for improving the light emission efficiency or changing the light emission wavelength.
- the organic substance may be a low molecular compound or a high molecular compound.
- Examples of the light-emitting material constituting the light-emitting layer 13 include organic substances that emit mainly fluorescence and / or phosphorescence, such as the following dye materials, metal complex materials, and polymer materials, and dopant materials for the light-emitting layer. .
- dye material examples include cyclopentamine and derivatives thereof, tetraphenylbutadiene and derivatives thereof, triphenylamine and derivatives thereof, oxadiazole and derivatives thereof, pyrazoloquinoline and derivatives thereof, distyrylbenzene and derivatives thereof, Styrylarylene and its derivatives, pyrrole and its derivatives, thiophene compounds, pyridine compounds, perinone and its derivatives, perylene and its derivatives, oligothiophene and its derivatives, oxadiazole dimer, pyrazoline dimer, quinacridone and its derivatives, coumarin and its derivatives Derivatives and the like can be mentioned.
- Metal complex materials examples include rare earth metals such as Tb, Eu, and Dy, or Al, Zn, Be, Pt, Ir, and the like as a central metal, and oxadiazole, thiadiazole, phenylpyridine, phenylbenzimidazole, and quinoline.
- the metal complex which has a structure etc. in a ligand can be mentioned.
- metal complexes include metal complexes that emit light from triplet excited states such as iridium complexes and platinum complexes, aluminum quinolinol complexes, benzoquinolinol beryllium complexes, benzoxazolyl zinc complexes, benzothiazole zinc complexes, azomethyl zinc complexes. , Porphyrin zinc complex, phenanthroline europium complex, and the like.
- polymer material examples include polyparaphenylene vinylene and derivatives thereof, polythiophene and derivatives thereof, polyparaphenylene and derivatives thereof, polysilane and derivatives thereof, polyacetylene and derivatives thereof, polyfluorene and derivatives thereof, polyvinylcarbazole and derivatives thereof, Examples thereof include a material obtained by polymerizing the above dye material or metal complex material.
- Dopant material for light emitting layer examples include perylene and derivatives thereof, coumarin and derivatives thereof, rubrene and derivatives thereof, quinacridone and derivatives thereof, squalium and derivatives thereof, porphyrin and derivatives thereof, styryl dyes, tetracene and derivatives thereof, pyrazolone and Derivatives thereof, decacyclene and derivatives thereof, phenoxazone and derivatives thereof, and the like can be given.
- the thickness of the light emitting layer 13 is usually about 2 nm to 200 nm.
- the light emitting layer 13 is formed by, for example, a coating method using a coating liquid (for example, ink) containing the above light emitting material.
- the solvent of the coating solution containing the light emitting material is not limited as long as it dissolves the light emitting material.
- the electron transport layer 15 is disposed on the main surface of the light emitting layer 13 (the surface opposite to the surface in contact with the hole transport layer 11).
- a known electron transport material can be used.
- the material for the electron transport layer 15 include compounds having a condensed aryl ring such as naphthalene and anthracene and derivatives thereof, styryl aromatic ring derivatives represented by 4,4-bis (diphenylethenyl) biphenyl, perylene derivatives, Perinone derivatives, coumarin derivatives, naphthalimide derivatives, anthraquinones, naphthoquinones, diphenoquinones, anthraquinodimethanes, quinone derivatives such as tetracyanoanthraquinodimethane, phosphate derivatives, carbazole derivatives, and indole derivatives, tris (8-quinolinolate) Quinolinol complexes such as aluminum (III), hydroxyazole complex
- the thickness of the electron transport layer 15 is, for example, 1 to 100 nm.
- Examples of the method for forming the electron transport layer 15 include a vacuum deposition method and a coating method using a coating liquid when a low molecular electron transport material is used. Examples of the method for forming the electron transport layer 15 include a coating method using a coating liquid when a polymer electron transport material is used. When the coating method using the coating liquid is performed, a polymer binder may be used in combination. Examples of the coating method include the method exemplified for the hole injection layer 9.
- the electron injection layer 17 is disposed on the main surface of the electron transport layer 15 (the surface opposite to the surface in contact with the light emitting layer 13).
- a known electron injection material can be used.
- the material of the electron injection layer 17 include alkali metals, alkaline earth metals, alloys containing at least one of alkali metals and alkaline earth metals, oxides of alkali metals or alkaline earth metals, halides, Examples thereof include carbonates and mixtures of these substances.
- alkali metals, alkali metal oxides, halides, and carbonates include lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, lithium oxide, lithium fluoride, sodium oxide, sodium fluoride, potassium oxide, potassium fluoride , Rubidium oxide, rubidium fluoride, cesium oxide, cesium fluoride, lithium carbonate, and the like.
- alkaline earth metals, alkaline earth metal oxides, halides and carbonates include magnesium, calcium, barium, strontium, magnesium oxide, magnesium fluoride, calcium oxide, calcium fluoride, barium oxide, Examples thereof include barium fluoride, strontium oxide, strontium fluoride, and magnesium carbonate.
- the electron injection material a material obtained by mixing a conventionally known electron transporting organic material and an alkali metal organometallic complex can also be used.
- the thickness of the electron injection layer 17 is, for example, 1 to 50 nm.
- the cathode layer 19 is disposed on the main surface of the electron injection layer 17 (opposite the surface in contact with the electron transport layer 15).
- a material of the cathode layer 19 for example, an alkali metal, an alkaline earth metal, a transition metal, a Group 13 metal of the periodic table, or the like can be used.
- Specific examples of the material for the cathode layer 19 include lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium, beryllium, magnesium, calcium, strontium, barium, aluminum, scandium, vanadium, zinc, yttrium, indium, cerium, and samarium.
- alloys include magnesium-silver alloys, magnesium-indium alloys, magnesium-aluminum alloys, indium-silver alloys, lithium-aluminum alloys, lithium-magnesium alloys, lithium-indium alloys, calcium-aluminum alloys, and the like. it can.
- the cathode layer 19 for example, a transparent conductive electrode made of a conductive metal oxide, a conductive organic substance, or the like can be used.
- the conductive metal oxide include indium oxide, zinc oxide, tin oxide, ITO, and IZO.
- the conductive organic substance include polyaniline and derivatives thereof, polythiophene and derivatives thereof, and the like. it can.
- the cathode layer 19 may be formed of a laminate in which two or more layers are laminated. In some cases, the electron injection layer is used as the cathode layer 19.
- the thickness of the cathode layer 19 is set in consideration of electric conductivity and / or durability.
- the thickness of the cathode layer 19 is usually 10 nm to 10 ⁇ m, preferably 20 nm to 1 ⁇ m, and more preferably 50 nm to 500 nm.
- Examples of the method for forming the cathode layer 19 include a vacuum deposition method and a coating method.
- the metal wiring 5 has a trapezoidal cross section along the width direction.
- the metal wiring 5 has an upper surface 5a, a side surface 5b, and a side surface 5c.
- the upper surface 5a is a flat surface, and is parallel to the support substrate 3, for example.
- the side surface 5b and the side surface 5c are inclined with respect to the support substrate 3 at a predetermined angle ⁇ .
- the angle ⁇ formed between each of the side surface 5b and the side surface 5c and the support substrate 3 is an acute angle ( ⁇ ⁇ 90 °).
- the total thickness of the anode layer 7 and the hole injection layer 9 (first electrode layer) (hereinafter referred to as “edge portion”) is T, and the metal wiring 5 is in contact with the thickness dimension.
- the thickness dimension of the total thinnest part (hereinafter referred to as “shoulder part”) of the anode layer 7 and the hole injection layer 9 disposed at the position is S
- the thickness dimension T of the edge part is 250 nm or less.
- the ratio of S to T (S / T ratio) is 0.4 or more and 1 or less.
- the anode layer 7 and the hole injection layer 9 disposed in contact with the metal wiring 5 are the anode layer 7 located on the metal wiring 5 and the hole injection layer 9 located on the anode layer 7. That is, the anode layer 7 disposed at a position in contact with the metal wiring 5 is the anode layer 7 disposed on the upper surface 5a, the side surface 5b, or the side surface 5c of the metal wiring 5.
- T is preferably 5 nm or more and 500 nm or less, and more preferably 10 nm or more and 170 nm or less.
- the thickness dimension T of the edge portion is in the direction orthogonal to the support substrate 3 at the lower end (end on the support substrate 3 side) of the side surface 5 b (5 c) of the metal wiring 5.
- the thickness dimension S of the shoulder portion is the thickness in the direction orthogonal to the support substrate 3 at the position of one end (the end on the side surface 5b (side surface 5c) side) of the upper surface 5a of the metal wiring 5.
- the measurement position of the thickness dimension T of the edge portion and the thickness dimension S of the shoulder portion may include a range of ⁇ 0.5 ⁇ m.
- the thickness T of the edge portion and the thickness S of the shoulder portion are such that the thickness T of the edge portion is 250 nm or less.
- the ratio (S / T ratio) is 0.4 or more and 1 or less.
- the metal wiring 5 has a trapezoidal cross section along the width direction.
- the angle ⁇ formed between the side surfaces 5 b and 5 c of the metal wiring 5 and the support substrate 3 is an acute angle.
- a structure satisfying the above relationship is particularly effective for suppressing a decrease in current efficiency in the organic EL element 1.
- the thickness dimension of the metal wiring 5 is K
- the center thickness dimension of the anode layer 7 and the hole injection layer 9 in the center of the opening 6 of the metal wiring 5 is C.
- the ratio of C to K is preferably 0.4 or more and 3 or less, and more preferably 0.5 or more and 2.5 or less.
- C is preferably 210 nm or less, and more preferably 10 nm or more and 160 nm or less.
- Example 1 As the supporting substrate 3, a glass substrate having a thickness of 0.7 mm was used. A metal wiring 5 having a thickness K of 100 nm was arranged on one main surface 3a of the support substrate 3 as shown in FIGS. The metal wiring 5 was formed so that the cross section along the width direction of the metal wiring 5 was trapezoidal.
- an anode layer forming ink to be the anode layer 7 was applied so as to cover the metal wiring 5 by spin coating.
- the anode layer forming ink was dried by heating at 80 ° C. for 2 minutes in the air atmosphere, and then heated at 130 ° C. for 15 minutes to form the anode layer 7.
- a hole injection layer forming ink to be the hole injection layer 9 was applied onto the anode layer 7 by spin coating.
- the hole injection layer forming ink was dried by heating at 80 ° C. for 4 minutes in the air atmosphere, and then heated at 230 ° C. for 15 minutes to form the hole injection layer 9.
- the central film thickness dimension that is the total film thickness of the anode layer 7 and the hole injection layer 9 at the center of the opening 6 of the metal wiring 5 is 74 nm. Formed as follows.
- Element 1 was produced.
- the values of C, T, and S of the produced organic EL element 1, the ratio of S to T (S / T ratio), and the ratio of C to K (C / K ratio) are shown in FIG.
- Examples 2 to 6, Comparative Examples 1 to 3 The current efficiency was measured in the same manner as in Example 1 except that K and C were changed as shown in FIG. C was adjusted by changing the thickness of the anode layer 7.
- FIG. 4 shows measurement results of C, T, and S values, S / T ratio, C / K ratio, and current efficiency of the obtained organic EL element. Note that “ ⁇ ” in FIG. 4 indicates that a luminance of 1000 cd / m 2 or more was not obtained.
- an organic EL element having a T of 250 nm or less and an S / T ratio of 0.4 to 1.0 is an organic EL element having a T of greater than 250 nm or an S / T ratio of 0.4. It was confirmed that a decrease in current efficiency was suppressed as compared with organic EL elements not up to 1.0.
- the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made.
- the organic EL element in which the anode layer 7, the hole injection layer 9, the hole transport layer 11, the light emitting layer 13, the electron transport layer 15, the electron injection layer 17, and the cathode layer 19 are arranged in this order. 1 was illustrated.
- the configuration of the organic EL element 1 is not limited to this.
- the organic EL element 1 may have the following configuration.
- Anode layer / light emitting layer / cathode layer (b) Anode layer / hole injection layer / light emitting layer / cathode layer (c) Anode layer / hole injection layer / light emitting layer / electron injection layer / cathode layer (d) Anode layer / hole injection layer / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode layer (e) Anode layer / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / cathode layer (f) anode layer / hole Injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron injection layer / cathode layer (g) anode layer / hole injection layer / hole transport layer / light emitting layer / electron transport layer / electron injection layer / cathode layer (h) anode Layer / light emitting layer / electron injecting layer / cathode layer (i) anode layer / light emitting layer
- the first electrode layer is an anode layer, or an anode layer and a hole injection layer.
- S, T, and C indicate the thickness dimension of the anode layer.
- the organic EL element 1 may have one organic functional layer, or may have a multilayer (two or more layers) organic functional layer.
- the organic function of two layers As a structure of the organic EL element which has a layer, the layer structure shown to the following (j) can be mentioned, for example.
- the two (structural unit A) layer configurations may be the same or different.
- the charge generation layer is a layer that generates holes and electrons by applying an electric field. Examples of the charge generation layer include a thin film made of vanadium oxide, ITO, molybdenum oxide, or the like.
- Examples of the configuration of the organic EL element having three or more light-emitting layers 13 include the layer configuration shown in (k) below. Can do. (K) Anode layer / (structural unit B) x / (structural unit A) / cathode layer
- (Structural unit B) x represents a stacked body in which (Structural unit B) is stacked in x stages.
- a plurality of (structural unit B) layer structures may be the same or different.
- the organic EL element may be configured by directly laminating a plurality of organic functional layers without providing the charge generation layer.
- the metal wiring 5 is described as an example in which the cross section along the width direction is trapezoidal.
- the shape of the cross section along the width direction of the metal wiring is not limited to this.
- the cross-sectional shape along the width direction of the metal wiring may be a rectangular shape or the like.
- SYMBOLS 1 Organic EL element, 3 ... Support substrate, 5 ... Metal wiring, 5b, 5c ... Side surface, 6 ... Opening part, 7 ... Anode layer (1st electrode layer), 9 ... Hole injection layer (1st electrode layer) , 11 ... hole transport layer (organic functional layer), 13 ... light emitting layer (organic functional layer), 19 ... cathode layer (second electrode layer).
Landscapes
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Abstract
有機EL素子1は、有機EL素子1は、支持基板3と、支持基板3上に配置され、複数の開口部6を含む所定パターンを有する金属配線5と、金属配線5上及び開口部6から露出する支持基板3上に配置される一層又は複層の第1電極層7,9と、第1電極層7上に配置される有機機能層13と、有機機能層13上に配置される第2電極層19と、を備え、第1電極層7の最厚部の厚さ寸法をT、金属配線5に接触する位置に配置された第1電極層7の最薄部の厚さ寸法をSとした場合、最厚部の厚さ寸法Tが250nm以下であり、Tに対するSの比(S/T比)が0.4以上1以下である。
Description
本発明は、有機EL素子に関する。
従来の有機EL素子として、例えば、特許文献1に記載されたものが知られている。特許文献1に記載の有機EL素子は、支持基材と、支持基材上に配置された金属配線(細線構造部)と、金属配線を覆うように配置された導電層と、を有する透明電極を備えている。
上記透明電極では、金属配線は、複数の開口部を含む所定パターンを有している。導電層は、金属配線上及び開口部から露出した支持基板上に、金属配線による凹凸に沿って配置される。有機EL素子は、このような構成を有する透明電極上に、有機機能層及び対向電極が導電層の凹凸形状に沿って配置されることにより構成される。この構成では、金属配線の凸部において導電層及び有機機能層の厚さ寸法が小さくなりやすい。この場合、有機EL素子では、導電層及び有機機能層の厚さ寸法が小さい部分において、電界集中により対向電極との間で短絡が生じ、電流リークが発生するおそれがある。有機EL素子は、電流リークが発生すると、電流効率が低下する。
本発明の一側面は、電流効率の低下を抑制できる有機EL素子を提供することを目的とする。
本発明の一側面に係る有機EL素子は、支持基板と、支持基板上に配置され、複数の開口部を含む所定パターンを有する金属配線と、金属配線上及び開口部から露出する支持基板上に配置された一層又は複層の第1電極層と、第1電極層上に配置された有機機能層と、有機機能層上に配置された第2電極層と、を備え、第1電極層の最厚部の厚さ寸法をT、金属配線に接触する位置に配置された第1電極層の最薄部の厚さ寸法をSとした場合、最厚部の厚さ寸法Tが250nm以下であり、Tに対するSの比(S/T比)が0.4以上1以下である。
本発明の一側面に係る有機EL素子では、第1電極層の最厚部の厚さ寸法T、金属配線に接触する位置に配置された第1電極層の最薄部の厚さ寸法Sが上記比を満たしている。これにより、本有機EL素子では、第1電極層と第2電極層との間で短絡が生じることを抑制できる。その結果、本有機EL素子では、電流リークの発生を抑制できるため、電流効率の低下を抑制できる。
一実施形態においては、金属配線は、幅方向に沿った断面が台形形状を呈しており、金属配線の側面と支持基板とが成す角度が鋭角であってもよい。このような構成を有する金属配線において、上記関係を満たす本有機EL素子の構造は、有機EL素子における電流効率の低下の抑制に特に有効である。
一実施形態においては、金属配線の厚さ寸法をK、開口部の中央部における第1電極層の中央厚さ寸法をCとした場合、Kに対するCの比(C/K比)が0.4以上3以下であってもよい。この構成では、上記比を満たす金属配線を備える有機EL素子において、電流効率の低下をより効果的に抑制できる。
本発明の一側面によれば、電流効率の低下を抑制できる。
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
本発明の一実施形態において、図1に示されるように、有機EL素子1は、支持基板3と、金属配線5と、陽極層(第1電極層)7と、正孔注入層(第1電極層)9と、正孔輸送層(有機機能層)11と、発光層(有機機能層)13と、電子輸送層(有機機能層)15と、電子注入層(有機機能層)17と、陰極層(第2電極層)19と、を備えている。
[支持基板]
支持基板3は、可視光(波長400nm~800nmの光)に対して透光性を有する部材から構成されている。支持基板3としては、例えば、ガラス等が挙げられる。支持基板3がガラスである場合、支持基板3の厚さは、例えば、0.05mm~1.1mmである。
支持基板3は、可視光(波長400nm~800nmの光)に対して透光性を有する部材から構成されている。支持基板3としては、例えば、ガラス等が挙げられる。支持基板3がガラスである場合、支持基板3の厚さは、例えば、0.05mm~1.1mmである。
支持基板3は、樹脂から構成されていてもよく、例えば、フィルム状の基板(フレキシブル基板、可撓性を有する基板)であってもよい。この場合、支持基板3の厚さは、例えば、30μm以上500μm以下である。支持基板3が樹脂の場合は、支持基板3の厚さは、ロールツーロール方式の連続時の基板のヨレ、シワ、及び伸びの観点からは45μm以上が好ましい。支持基板3の厚さは、可撓性の観点からは125μm以下が好ましい。
支持基板3が樹脂である場合、その材料としては、例えば、プラスチックフィルム等が挙げられる。支持基板3の材料は、例えば、ポリエーテルスルホン(PES);ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル樹脂;ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、環状ポリオレフィン等のポリオレフィン樹脂;ポリアミド樹脂;ポリカーボネート樹脂;ポリスチレン樹脂;ポリビニルアルコール樹脂;エチレン-酢酸ビニル共重合体のケン化物;ポリアクリロニトリル樹脂;アセタール樹脂;ポリイミド樹脂;エポキシ樹脂等が挙げられる。
支持基板3の材料は、上記樹脂の中でも、耐熱性が高く、線膨張率が低く、かつ、製造コストが低いことから、ポリエステル樹脂、又はポリオレフィン樹脂が好ましく、ポリエチレンテレフタレート、又はポリエチレンナフタレートがさらに好ましい。これらの樹脂は、1種を単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
支持基板3の一方の主面3a上には、ガスバリア層、或いは、水分バリア層(バリア層)が配置されていてもよい。支持基板3の他方の主面3bは、発光面である。
[金属配線]
図1及び図2に示されるように、金属配線5は、支持基板3の一方の主面3a上に配置されている。金属配線5は、導電体であり、ネットワーク構造を構成している。金属配線5の材料は、例えば、銀、アルミニウム、銅、パラジウム、金、ニッケル、鉄、モリブデン、クロム、又は、これらの金属のうち1種以上を含む合金(例えば、MAM(モリブデン・アルミニウム・モリブデン))等が挙げられる。
図1及び図2に示されるように、金属配線5は、支持基板3の一方の主面3a上に配置されている。金属配線5は、導電体であり、ネットワーク構造を構成している。金属配線5の材料は、例えば、銀、アルミニウム、銅、パラジウム、金、ニッケル、鉄、モリブデン、クロム、又は、これらの金属のうち1種以上を含む合金(例えば、MAM(モリブデン・アルミニウム・モリブデン))等が挙げられる。
金属配線5は、複数の開口部6を有する所定のパターンを有している。所定パターンは、例えば、図2に示されるように、格子状のパターンである。格子状のパターンの場合、複数の開口部6は、網目に対応する。網目の形状は、例えば、長方形又は正方形のような四角形、三角形、及び、六角形を含む。所定パターンは、金属配線5がネットワーク構造を有すればその形態は限定されない。
金属配線5の厚さ、すなわち金属配線5の支持基板3の一方の主面3aからの高さは、10nm以上500nm以下であり、好ましくは50nm以上300nm以下である。金属配線5の線幅は、500μm以下であることが好ましく、0.5μm以上500μm以下であることがより好ましい。金属配線5同士の間隔は、50μm以上であることが好ましく、50μm以上1cm以下がより好ましい。
金属配線5は、例えば、フォトリソグラフィー法を利用して形成され得る。この場合、最初に、物理蒸着(PVD)法及びスパッタリング法等により、金属配線5となるべき金属層を形成する。その後、金属層を、フォトリソグラフィー法を用いて所定のパターンにパターニングすることで、金属配線5が得られる。
金属配線5は、リフトオフ法を用いて形成されてもよい。この場合、最初に、所定パターンの金属配線5が形成されるべき領域が開口されているマスクを形成する。その後、物理蒸着及びスパッタリング法等によりマスクの開口部に金属を堆積させて金属配線を形成する。続いて、マスクを除去することで、所定パターンの金属配線5が得られる。
金属配線5は、インクジェット印刷法、グラビア印刷法又はスクリーン印刷法等の種々の印刷方法を用いて形成されてもよい。この場合、例えば、インクジェット印刷法等によって、ナノ構造体が分散されたインクを、金属配線5の所定のパターンで印刷する。その後、焼成することにより金属配線5が得られる。
[陽極層]
陽極層7は、金属配線5上、及び、金属配線5の開口部6から露出する支持基板3上に配置されている。陽極層7には、光透過性を示す電極層が用いられる。光透過性を示す電極としては、電気伝導度の高い金属酸化物、金属硫化物及び金属等の薄膜を用いることができ、光透過率の高い薄膜が好適に用いられる。例えば、光透過率の高い薄膜としては、酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化スズ、インジウム錫酸化物(Indium Tin Oxide:略称ITO)、インジウム亜鉛酸化物(Indium Zinc Oxide:略称IZO)、金、白金、銀、及び銅等からなる薄膜が用いられ、これらの中でもITO、IZO、又は酸化スズからなる薄膜が好適に用いられる。陽極層7としては、ポリアニリン及びその誘導体、ポリチオフェン及びその誘導体等の有機物の透明導電膜を用いてもよい。
陽極層7は、金属配線5上、及び、金属配線5の開口部6から露出する支持基板3上に配置されている。陽極層7には、光透過性を示す電極層が用いられる。光透過性を示す電極としては、電気伝導度の高い金属酸化物、金属硫化物及び金属等の薄膜を用いることができ、光透過率の高い薄膜が好適に用いられる。例えば、光透過率の高い薄膜としては、酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化スズ、インジウム錫酸化物(Indium Tin Oxide:略称ITO)、インジウム亜鉛酸化物(Indium Zinc Oxide:略称IZO)、金、白金、銀、及び銅等からなる薄膜が用いられ、これらの中でもITO、IZO、又は酸化スズからなる薄膜が好適に用いられる。陽極層7としては、ポリアニリン及びその誘導体、ポリチオフェン及びその誘導体等の有機物の透明導電膜を用いてもよい。
陽極層7の厚さは、光の透過性、電気伝導度等を考慮して決定することができる。陽極層7の厚さは、金属配線5の開口部6の中央に位置する部分において、10nm以上1μm以下であり、好ましくは10nm以上500nm以下であり、更に好ましくは10nm以上300nm以下である。
陽極層7の形成方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、メッキ法及び塗布法等を挙げることができる。塗布法としては、スピンコート法、キャスティング法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、バーコート法、ロールコート法、ワイアーバーコート法、ディップコート法、スプレーコート法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、及び、インクジェットプリント法等を挙げることができる。
[正孔注入層]
正孔注入層9は、陽極層7の主面(支持基板3に接する面とは反対側)上に配置されている。正孔注入層9を構成する材料の例としては、酸化バナジウム、酸化モリブデン、酸化ルテニウム、及び、酸化アルミニウム等の酸化物、フェニルアミン化合物、スターバースト型アミン化合物、フタロシアニン化合物、アモルファスカーボン、ポリアニリン、及び、ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)のようなポリチオフェン誘導体等を挙げることができる。
正孔注入層9は、陽極層7の主面(支持基板3に接する面とは反対側)上に配置されている。正孔注入層9を構成する材料の例としては、酸化バナジウム、酸化モリブデン、酸化ルテニウム、及び、酸化アルミニウム等の酸化物、フェニルアミン化合物、スターバースト型アミン化合物、フタロシアニン化合物、アモルファスカーボン、ポリアニリン、及び、ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)のようなポリチオフェン誘導体等を挙げることができる。
電荷輸送性を有する従来知られた有機材料は、これと電子受容性材料とを組み合わせることにより、正孔注入層9の材料として用いることができる。電子受容性材料としては、ヘテロポリ酸化合物やアリールスルホン酸を好適に用いることができる。
ヘテロポリ酸化合物とは、Keggin型あるいはDawson型の化学構造で示される、ヘテロ原子が分子の中心に位置する構造を有し、バナジウム(V)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)等の酸素酸であるイソポリ酸と、異種元素の酸素酸とが縮合してなるポリ酸である。異種元素の酸素酸としては、主にケイ素(Si)、リン(P)、ヒ素(As)の酸素酸が挙げられる。ヘテロポリ酸化合物の具体例としては、リンモリブデン酸、ケイモリブデン酸、リンタングステン酸、リンタングストモリブデン酸、及び、ケイタングステン酸等が挙げられる。
アリールスルホン酸としては、ベンゼンスルホン酸、トシル酸、p-スチレンスルホン酸、2-ナフタレンスルホン酸、4-ヒドロキシベンゼンスルホン酸、5-スルホサリチル酸、p-ドデシルベンゼンスルホン酸、ジヘキシルベンゼンスルホン酸、2,5-ジヘキシルベンゼンスルホン酸、ジブチルナフタレンスルホン酸、6,7-ジブチル-2-ナフタレンスルホン酸、ドデシルナフタレンスルホン酸、3-ドデシル-2-ナフタレンスルホン酸、ヘキシルナフタレンスルホン酸、4-ヘキシル-1-ナフタレンスルホン酸、オクチルナフタレンスルホン酸、2-オクチル-1-ナフタレンスルホン酸、ヘキシルナフタレンスルホン酸、7-へキシル-1-ナフタレンスルホン酸、6-ヘキシル-2-ナフタレンスルホン酸、ジノニルナフタレンスルホン酸、2,7-ジノニル-4-ナフタレンスルホン酸、ジノニルナフタレンジスルホン酸、及び、2,7-ジノニル-4,5-ナフタレンジスルホン酸、等が挙げられる。ヘテロポリ酸化合物と、アリールスルホン酸を混合して用いてもよい。
正孔注入層9の厚さは、5nm以上500nm以下であり、好ましくは5nm以上300nm以下である。
正孔注入層9は、例えば、上記材料を含む塗布液を用いた塗布法によって形成される。
塗布法としては、スピンコート法、キャスティング法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、バーコート法、ロールコート法、ワイアーバーコート法、ディップコート法、スプレーコート法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、及び、インクジェットプリント法等を挙げることができる。正孔注入層9は、これら塗布法のうちの1つを用いて、陽極層7上に塗布液を塗布することによって形成することができる。
[正孔輸送層]
正孔輸送層11は、正孔注入層9の主面(陽極層7に接する面とは反対側の面)上に配置されている。正孔輸送層11の材料には、公知の正孔輸送材料が用いられ得る。正孔輸送層11の材料の例は、ポリビニルカルバゾール若しくはその誘導体、ポリシラン若しくはその誘導体、側鎖若しくは主鎖に芳香族アミンを有するポリシロキサン若しくはその誘導体、ピラゾリン若しくはその誘導体、アリールアミン若しくはその誘導体、スチルベン若しくはその誘導体、トリフェニルジアミン若しくはその誘導体、ポリアニリン若しくはその誘導体、ポリチオフェン若しくはその誘導体、ポリアリールアミン若しくはその誘導体、ポリピロール若しくはその誘導体、ポリ(p-フェニレンビニレン)若しくはその誘導体、又はポリ(2,5-チエニレンビニレン)若しくはその誘導体などを挙げることができる。
正孔輸送層11は、正孔注入層9の主面(陽極層7に接する面とは反対側の面)上に配置されている。正孔輸送層11の材料には、公知の正孔輸送材料が用いられ得る。正孔輸送層11の材料の例は、ポリビニルカルバゾール若しくはその誘導体、ポリシラン若しくはその誘導体、側鎖若しくは主鎖に芳香族アミンを有するポリシロキサン若しくはその誘導体、ピラゾリン若しくはその誘導体、アリールアミン若しくはその誘導体、スチルベン若しくはその誘導体、トリフェニルジアミン若しくはその誘導体、ポリアニリン若しくはその誘導体、ポリチオフェン若しくはその誘導体、ポリアリールアミン若しくはその誘導体、ポリピロール若しくはその誘導体、ポリ(p-フェニレンビニレン)若しくはその誘導体、又はポリ(2,5-チエニレンビニレン)若しくはその誘導体などを挙げることができる。
正孔輸送層11の厚さは、用いる材料によって最適値が異なり、駆動電圧と発光効率が適度な値となるように適宜設定される。正孔輸送層11の厚さは、例えば1nm~1μmであり、好ましくは2nm~500nmであり、更に好ましくは5nm~200nmである。
正孔輸送層11の形成方法としては、例えば、上記材料を含む塗布液を用いた塗布法等が挙げられる。塗布法としては、正孔注入層9で例示した方法が挙げられる。塗布液の溶媒としては、上記材料を溶解するものであればよく、例えば、クロロホルム、塩化メチレン、ジクロロエタン等の塩素系溶媒、テトラヒドロフラン等のエーテル系溶媒、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素系溶媒、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチル、及び、エチルセルソルブアセテート等のエステル系溶媒を挙げることができる。
[発光層]
発光層13は、正孔輸送層11の主面(正孔注入層9に接する面とは反対側の面)上に配置されている。発光層13は、通常、主として蛍光及び/又はりん光を発光する有機物、或いは該有機物とこれを補助する発光層用ドーパント材料を含む。発光層用ドーパント材料は、例えば、発光効率を向上させたり、発光波長を変化させたりするために加えられる。有機物は、低分子化合物であってもよいし、高分子化合物であってもよい。発光層13を構成する発光材料としては、例えば、下記の色素材料、金属錯体材料、高分子材料等の主として蛍光及び/又はりん光を発光する有機物、発光層用ドーパント材料等を挙げることができる。
発光層13は、正孔輸送層11の主面(正孔注入層9に接する面とは反対側の面)上に配置されている。発光層13は、通常、主として蛍光及び/又はりん光を発光する有機物、或いは該有機物とこれを補助する発光層用ドーパント材料を含む。発光層用ドーパント材料は、例えば、発光効率を向上させたり、発光波長を変化させたりするために加えられる。有機物は、低分子化合物であってもよいし、高分子化合物であってもよい。発光層13を構成する発光材料としては、例えば、下記の色素材料、金属錯体材料、高分子材料等の主として蛍光及び/又はりん光を発光する有機物、発光層用ドーパント材料等を挙げることができる。
(色素材料)
色素材料としては、例えば、シクロペンダミン及びその誘導体、テトラフェニルブタジエン及びその誘導体、トリフェニルアミン及びその誘導体、オキサジアゾール及びその誘導体、ピラゾロキノリン及びその誘導体、ジスチリルベンゼン及びその誘導体、ジスチリルアリーレン及びその誘導体、ピロール及びその誘導体、チオフェン化合物、ピリジン化合物、ペリノン及びその誘導体、ペリレン及びその誘導体、オリゴチオフェン及びその誘導体、オキサジアゾールダイマー、ピラゾリンダイマー、キナクリドン及びその誘導体、クマリン及びその誘導体等を挙げることができる。
色素材料としては、例えば、シクロペンダミン及びその誘導体、テトラフェニルブタジエン及びその誘導体、トリフェニルアミン及びその誘導体、オキサジアゾール及びその誘導体、ピラゾロキノリン及びその誘導体、ジスチリルベンゼン及びその誘導体、ジスチリルアリーレン及びその誘導体、ピロール及びその誘導体、チオフェン化合物、ピリジン化合物、ペリノン及びその誘導体、ペリレン及びその誘導体、オリゴチオフェン及びその誘導体、オキサジアゾールダイマー、ピラゾリンダイマー、キナクリドン及びその誘導体、クマリン及びその誘導体等を挙げることができる。
(金属錯体材料)
金属錯体材料としては、例えば、Tb、Eu、Dy等の希土類金属、又はAl、Zn、Be、Pt、Ir等を中心金属に有し、オキサジアゾール、チアジアゾール、フェニルピリジン、フェニルベンゾイミダゾール、キノリン構造等を配位子に有する金属錯体を挙げることができる。金属錯体としては、例えば、イリジウム錯体、白金錯体等の三重項励起状態からの発光を有する金属錯体、アルミニウムキノリノール錯体、ベンゾキノリノールベリリウム錯体、ベンゾオキサゾリル亜鉛錯体、ベンゾチアゾール亜鉛錯体、アゾメチル亜鉛錯体、ポルフィリン亜鉛錯体、フェナントロリンユーロピウム錯体等を挙げることができる。
金属錯体材料としては、例えば、Tb、Eu、Dy等の希土類金属、又はAl、Zn、Be、Pt、Ir等を中心金属に有し、オキサジアゾール、チアジアゾール、フェニルピリジン、フェニルベンゾイミダゾール、キノリン構造等を配位子に有する金属錯体を挙げることができる。金属錯体としては、例えば、イリジウム錯体、白金錯体等の三重項励起状態からの発光を有する金属錯体、アルミニウムキノリノール錯体、ベンゾキノリノールベリリウム錯体、ベンゾオキサゾリル亜鉛錯体、ベンゾチアゾール亜鉛錯体、アゾメチル亜鉛錯体、ポルフィリン亜鉛錯体、フェナントロリンユーロピウム錯体等を挙げることができる。
(高分子材料)
高分子材料としては、例えば、ポリパラフェニレンビニレン及びその誘導体、ポリチオフェン及びその誘導体、ポリパラフェニレン及びその誘導体、ポリシラン及びその誘導体、ポリアセチレン及びその誘導体、ポリフルオレン及びその誘導体、ポリビニルカルバゾール及びその誘導体、上記色素材料、又は金属錯体材料を高分子化した材料等を挙げることができる。
高分子材料としては、例えば、ポリパラフェニレンビニレン及びその誘導体、ポリチオフェン及びその誘導体、ポリパラフェニレン及びその誘導体、ポリシラン及びその誘導体、ポリアセチレン及びその誘導体、ポリフルオレン及びその誘導体、ポリビニルカルバゾール及びその誘導体、上記色素材料、又は金属錯体材料を高分子化した材料等を挙げることができる。
(発光層用ドーパント材料)
発光層用ドーパント材料としては、例えば、ペリレン及びその誘導体、クマリン及びその誘導体、ルブレン及びその誘導体、キナクリドン及びその誘導体、スクアリウム及びその誘導体、ポルフィリン及びその誘導体、スチリル色素、テトラセン及びその誘導体、ピラゾロン及びその誘導体、デカシクレン及びその誘導体、フェノキサゾン及びその誘導体等を挙げることができる。
発光層用ドーパント材料としては、例えば、ペリレン及びその誘導体、クマリン及びその誘導体、ルブレン及びその誘導体、キナクリドン及びその誘導体、スクアリウム及びその誘導体、ポルフィリン及びその誘導体、スチリル色素、テトラセン及びその誘導体、ピラゾロン及びその誘導体、デカシクレン及びその誘導体、フェノキサゾン及びその誘導体等を挙げることができる。
発光層13の厚さは、通常約2nm~200nmである。発光層13は、例えば、上記のような発光材料を含む塗布液(例えばインク)を用いる塗布法により形成される。発光材料を含む塗布液の溶媒としては、発光材料を溶解するものであれば、限定されない。
電子輸送層15は、発光層13の主面(正孔輸送層11に接する面とは反対側の面)上に配置されている。電子輸送層15の材料には、公知の電子輸送材料が用いれ得る。電子輸送層15の材料には、例えば、ナフタレン、アントラセンなどの縮合アリール環を有する化合物やその誘導体、4,4-ビス(ジフェニルエテニル)ビフェニルに代表されるスチリル系芳香環誘導体、ペリレン誘導体、ペリノン誘導体、クマリン誘導体、ナフタルイミド誘導体、アントラキノン、ナフトキノン、ジフェノキノン、アントラキノジメタン、テトラシアノアントラキノジメタンなどのキノン誘導体、リンオキサイド誘導体、カルバゾール誘導体、及び、インドール誘導体、トリス(8-キノリノラート)、アルミニウム(III)などのキノリノール錯体、及び、ヒドロキシフェニルオキサゾール錯体などのヒドロキシアゾール錯体、アゾメチン錯体、トロポロン金属錯体及びフラボノール金属錯体、電子受容性窒素を有するヘテロアリール環を有する化合物などが挙げられる。
電子輸送層15の厚さは、例えば、1~100nmである。
電子輸送層15の形成方法としては、低分子の電子輸送材料を用いる場合、真空蒸着法、塗布液を用いた塗布法等を挙げることができる。電子輸送層15の形成方法としては、高分子の電子輸送材料を用いる場合、塗布液を用いた塗布法等を挙げることができる。塗布液を用いた塗布法を実施する場合には、高分子バインダーを併用してもよい。塗布法としては、正孔注入層9で例示した方法が挙げられる。
[電子注入層]
電子注入層17は、電子輸送層15の主面(発光層13と接する面とは反対側の面)上に配置されている。電子注入層17の材料には、公知の電子注入材料が用いられ得る。電子注入層17の材料には、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属、アルカリ金属およびアルカリ土類金属のうちの1種類以上を含む合金、アルカリ金属若しくはアルカリ土類金属の酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩、またはこれらの物質の混合物などを挙げることができる。アルカリ金属、アルカリ金属の酸化物、ハロゲン化物、および炭酸塩の例としては、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、酸化リチウム、フッ化リチウム、酸化ナトリウム、フッ化ナトリウム、酸化カリウム、フッ化カリウム、酸化ルビジウム、フッ化ルビジウム、酸化セシウム、フッ化セシウム、炭酸リチウムなどを挙げることができる。また、アルカリ土類金属、アルカリ土類金属の酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩の例としては、マグネシウム、カルシウム、バリウム、ストロンチウム、酸化マグネシウム、フッ化マグネシウム、酸化カルシウム、フッ化カルシウム、酸化バリウム、フッ化バリウム、酸化ストロンチウム、フッ化ストロンチウム、炭酸マグネシウムなどを挙げることができる。
電子注入層17は、電子輸送層15の主面(発光層13と接する面とは反対側の面)上に配置されている。電子注入層17の材料には、公知の電子注入材料が用いられ得る。電子注入層17の材料には、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属、アルカリ金属およびアルカリ土類金属のうちの1種類以上を含む合金、アルカリ金属若しくはアルカリ土類金属の酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩、またはこれらの物質の混合物などを挙げることができる。アルカリ金属、アルカリ金属の酸化物、ハロゲン化物、および炭酸塩の例としては、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、酸化リチウム、フッ化リチウム、酸化ナトリウム、フッ化ナトリウム、酸化カリウム、フッ化カリウム、酸化ルビジウム、フッ化ルビジウム、酸化セシウム、フッ化セシウム、炭酸リチウムなどを挙げることができる。また、アルカリ土類金属、アルカリ土類金属の酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩の例としては、マグネシウム、カルシウム、バリウム、ストロンチウム、酸化マグネシウム、フッ化マグネシウム、酸化カルシウム、フッ化カルシウム、酸化バリウム、フッ化バリウム、酸化ストロンチウム、フッ化ストロンチウム、炭酸マグネシウムなどを挙げることができる。
電子注入材料としては、従来知られた電子輸送性の有機材料と、アルカリ金属の有機金属錯体を混合した材料も利用することができる。
電子注入層17の厚さは、例えば、1~50nmである。
電子注入層17の形成方法としては、真空蒸着法等が挙げられる。
[陰極層]
陰極層19は、電子注入層17の主面(電子輸送層15に接する面の反対側)上に配置されている。陰極層19の材料としては、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属、遷移金属及び周期表第13族金属等を用いることができる。陰極層19の材料としては、具体的には、例えば、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、アルミニウム、スカンジウム、バナジウム、亜鉛、イットリウム、インジウム、セリウム、サマリウム、ユーロピウム、テルビウム、イッテルビウム等の金属、前記金属のうちの2種以上の合金、前記金属のうちの1種以上と、金、銀、白金、銅、マンガン、チタン、コバルト、ニッケル、タングステン、錫のうちの1種以上との合金、又はグラファイト若しくはグラファイト層間化合物等が用いられる。合金の例としては、マグネシウム-銀合金、マグネシウム-インジウム合金、マグネシウム-アルミニウム合金、インジウム-銀合金、リチウム-アルミニウム合金、リチウム-マグネシウム合金、リチウム-インジウム合金、カルシウム-アルミニウム合金等を挙げることができる。
陰極層19は、電子注入層17の主面(電子輸送層15に接する面の反対側)上に配置されている。陰極層19の材料としては、例えば、アルカリ金属、アルカリ土類金属、遷移金属及び周期表第13族金属等を用いることができる。陰極層19の材料としては、具体的には、例えば、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、アルミニウム、スカンジウム、バナジウム、亜鉛、イットリウム、インジウム、セリウム、サマリウム、ユーロピウム、テルビウム、イッテルビウム等の金属、前記金属のうちの2種以上の合金、前記金属のうちの1種以上と、金、銀、白金、銅、マンガン、チタン、コバルト、ニッケル、タングステン、錫のうちの1種以上との合金、又はグラファイト若しくはグラファイト層間化合物等が用いられる。合金の例としては、マグネシウム-銀合金、マグネシウム-インジウム合金、マグネシウム-アルミニウム合金、インジウム-銀合金、リチウム-アルミニウム合金、リチウム-マグネシウム合金、リチウム-インジウム合金、カルシウム-アルミニウム合金等を挙げることができる。
また、陰極層19としては、例えば、導電性金属酸化物及び導電性有機物等からなる透明導電性電極を用いることができる。導電性金属酸化物としては、具体的には、酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化スズ、ITO、及びIZOを挙げることができ、導電性有機物としてポリアニリン及びその誘導体、ポリチオフェン及びその誘導体等を挙げることができる。なお、陰極層19は、2層以上を積層した積層体で構成されていてもよい。なお、電子注入層が陰極層19として用いられる場合もある。
陰極層19の厚さは、電気伝導度及び/又は耐久性を考慮して設定される。陰極層19の厚さは、通常、10nm~10μmであり、好ましくは20nm~1μmであり、更に好ましくは50nm~500nmである。陰極層19の形成方法としては、例えば、真空蒸着法、塗布法等を挙げることができる。
図3に示されるように、本実施形態に係る有機EL素子1では、金属配線5は、幅方向に沿った断面が台形状を呈している。金属配線5は、上面5aと、側面5bと、側面5cと、を有している。上面5aは、平坦面であり、例えば、支持基板3と平行を成している。側面5b及び側面5cは、支持基板3に対して所定の角度θを成して傾斜している。側面5b及び側面5cのそれぞれと支持基板3とが成す角度θは、鋭角である(θ<90°)。
有機EL素子1では、陽極層7及び正孔注入層9(第1電極層)の合計の最厚部(以下、「エッジ部」と称する)の厚さ寸法をT、金属配線5に接触する位置に配置された陽極層7及び正孔注入層9の合計の最薄部(以下、「ショルダー部」と称する)の厚さ寸法をSとした場合、エッジ部の厚さ寸法Tが250nm以下であり、Tに対するSの比(S/T比)が0.4以上1以下である。金属配線5に接触する位置に配置された陽極層7及び正孔注入層9とは、金属配線5上に位置する陽極層7及び当該陽極層7上に位置する正孔注入層9である。すなわち、金属配線5に接触する位置に配置された陽極層7は、金属配線5の上面5a、側面5b又は側面5c上に配置された陽極層7である。
Tは、5nm以上500nm以下であることが好ましく、10nm以上170nm以下であることがより好ましい。
図3に示されるように、エッジ部の厚さ寸法Tは、金属配線5の側面5b(5c)の下端(支持基板3側の端)の位置において、支持基板3に対して直交する方向における厚さである。ショルダー部の厚さ寸法Sは、金属配線5の上面5aの一端(側面5b(側面5c)側の端)の位置において、支持基板3に対して直交する方向における厚さである。エッジ部の厚さ寸法T及びショルダー部の厚さ寸法Sの測定位置は、±0.5μmの範囲を含み得る。
以上説明したように、本実施形態に係る有機EL素子1では、エッジ部の厚さ寸法T、ショルダー部の厚さ寸法Sは、エッジ部の厚さ寸法Tが250nm以下であり、Tに対するSの比(S/T比)が0.4以上1以下である。これにより、有機EL素子1では、陽極層7と陰極層19との間で短絡が生じることを抑制できる。その結果、有機EL素子1では、電流リークの発生を抑制できるため、電流効率の低下を抑制できる。
本実施形態に係る有機EL素子1では、金属配線5は、幅方向に沿った断面が台形形状を呈している。有機EL素子1では、金属配線5の側面5b,5cと支持基板3とが成す角度θが鋭角である。このような構成を有する金属配線5において、上記関係を満たす構造は、有機EL素子1における電流効率の低下の抑制に特に有効である。
本実施形態に係る有機EL素子では、金属配線5の厚さ寸法をK、金属配線5の開口部6の中央部における陽極層7及び正孔注入層9の中央厚さ寸法をCとした場合、Kに対するCの比(C/K比)は0.4以上3以下であることが好ましく、0.5以上2.5以下であることがより好ましい。Cは、210nm以下であることが好ましく、10nm以上160nm以下であることがより好ましい。この構成では、上記比を満たす金属配線5を備える有機EL素子1において、電流効率の低下を効果的に抑制できる。
続いて、有機EL素子1の一実施例について、図4を参照して説明する。なお、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
(実施例1)
支持基板3として、厚さ0.7mmのガラス基板を用いた。厚さKが100nmの金属配線5を、支持基板3の一方の主面3a上に、図1及び図2に示すように配置した。金属配線5は、当該金属配線5の幅方向に沿った断面が台形状になるように形成した。
支持基板3として、厚さ0.7mmのガラス基板を用いた。厚さKが100nmの金属配線5を、支持基板3の一方の主面3a上に、図1及び図2に示すように配置した。金属配線5は、当該金属配線5の幅方向に沿った断面が台形状になるように形成した。
続いて、陽極層7となる陽極層形成用インクを、スピンコート法によって金属配線5を覆うように塗布した。陽極層形成用インクを大気雰囲気中において80℃で2分間加熱して乾燥させた後、130℃で15分間加熱して、陽極層7を形成した。次に、正孔注入層9となる正孔注入層形成用インクを、スピンコート法によって陽極層7上に塗布した。正孔注入層形成用インクを大気雰囲気中において80℃で4分間加熱して乾燥させた後、230℃で15分間加熱して、正孔注入層9を形成した。陽極層7及び正孔注入層9を形成する際、金属配線5の開口部6の中央部における陽極層7及び正孔注入層9の合計の膜厚である中央膜厚寸法が、74nmとなるように形成した。
次に、正孔注入層9上に、正孔輸送層11、発光層13、電子輸送層15、電子注入層17、及び陰極層19を順に形成し、封止基板を貼合して有機EL素子1を作製した。作製した有機EL素子1のC、T、及びSの値、Tに対するSの比(S/T比)、及びKに対するCの比(C/K比)を、図4に示す。
作製した有機EL素子1の輝度1000cd/m2における電流効率を測定した。測定結果を図4に示す。
(実施例2~6、比較例1~3)
KとCを図4に示されるように変更した以外は、実施例1と同様にして、電流効率を測定した。Cは、陽極層7の厚みを変化させることで調整した。得られた有機EL素子のC、T、及びSの値、S/T比、C/K比、及び電流効率の測定結果を図4に示す。なお、図4における「-」は、1000cd/m2以上の輝度が得られなかったことを示す。
KとCを図4に示されるように変更した以外は、実施例1と同様にして、電流効率を測定した。Cは、陽極層7の厚みを変化させることで調整した。得られた有機EL素子のC、T、及びSの値、S/T比、C/K比、及び電流効率の測定結果を図4に示す。なお、図4における「-」は、1000cd/m2以上の輝度が得られなかったことを示す。
図4に示すとおり、Tが250nm以下であり、S/T比が0.4~1.0である有機EL素子は、Tが250nmより大きい有機EL素子、またはS/T比が0.4~1.0でない有機EL素子に比べて、電流効率の低下が抑制されていることが確認された。
本発明は上記した本実施形態に限定されることなく種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、陽極層7、正孔注入層9、正孔輸送層11、発光層13、電子輸送層15、電子注入層17及び陰極層19がこの順番で配置された有機EL素子1を例示した。しかし、有機EL素子1の構成はこれに限定されない。有機EL素子1は、以下の構成を有していてもよい。
(a)陽極層/発光層/陰極層
(b)陽極層/正孔注入層/発光層/陰極層
(c)陽極層/正孔注入層/発光層/電子注入層/陰極層
(d)陽極層/正孔注入層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極層
(e)陽極層/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/陰極層
(f)陽極層/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子注入層/陰極層
(g)陽極層/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極層
(h)陽極層/発光層/電子注入層/陰極層
(i)陽極層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極層
ここで、記号「/」は、記号「/」を挟む各層が隣接して積層されていることを示す。上記(g)は、上記実施形態の構成を示している。上記(a)~(i)において、第1電極層は、陽極層、又は、陽極層及び正孔注入層である。有機EL素子1が、第1電極層として陽極層のみを有している場合、S、T、及びCは、陽極層の厚さ寸法を指す。
(a)陽極層/発光層/陰極層
(b)陽極層/正孔注入層/発光層/陰極層
(c)陽極層/正孔注入層/発光層/電子注入層/陰極層
(d)陽極層/正孔注入層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極層
(e)陽極層/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/陰極層
(f)陽極層/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子注入層/陰極層
(g)陽極層/正孔注入層/正孔輸送層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極層
(h)陽極層/発光層/電子注入層/陰極層
(i)陽極層/発光層/電子輸送層/電子注入層/陰極層
ここで、記号「/」は、記号「/」を挟む各層が隣接して積層されていることを示す。上記(g)は、上記実施形態の構成を示している。上記(a)~(i)において、第1電極層は、陽極層、又は、陽極層及び正孔注入層である。有機EL素子1が、第1電極層として陽極層のみを有している場合、S、T、及びCは、陽極層の厚さ寸法を指す。
有機EL素子1は、一層の有機機能層を有していてもよいし、複層(2層以上)の有機機能層を有していてもよい。上記(a)~(i)の層構成のうちのいずれか1つにおいて、陽極層7と陰極層19との間に配置された積層構造を「構造単位A」とすると、2層の有機機能層を有する有機EL素子の構成として、例えば、下記(j)に示す層構成を挙げることができる。2個ある(構造単位A)の層構成は、互いに同じであっても、異なっていてもよい。電荷発生層とは、電界を印加することにより、正孔と電子とを発生する層である。電荷発生層としては、例えば酸化バナジウム、ITO、酸化モリブデン等からなる薄膜を挙げることができる。
(j)陽極層/(構造単位A)/電荷発生層/(構造単位A)/陰極層
(j)陽極層/(構造単位A)/電荷発生層/(構造単位A)/陰極層
「(構造単位A)/電荷発生層」を「構造単位B」とすると、3層以上の発光層13を有する有機EL素子の構成として、例えば、以下の(k)に示す層構成を挙げることができる。
(k)陽極層/(構造単位B)x/(構造単位A)/陰極層
(k)陽極層/(構造単位B)x/(構造単位A)/陰極層
記号「x」は、2以上の整数を表し、「(構造単位B)x」は、(構造単位B)がx段積層された積層体を表す。複数ある(構造単位B)の層構成は同じでも、異なっていてもよい。
電荷発生層を設けずに、複数の有機機能層を直接的に積層させて有機EL素子を構成してもよい。
上記実施形態では、金属配線5が、幅方向に沿った断面が台形状である形態を一例に説明した。しかし、金属配線の幅方向に沿った断面の形状は、これに限定されない。例えば、金属配線の幅方向に沿った断面の形状は、矩形状等であってもよい。
1…有機EL素子、3…支持基板、5…金属配線、5b,5c…側面、6…開口部、7…陽極層(第1電極層)、9…正孔注入層(第1電極層)、11…正孔輸送層(有機機能層)、13…発光層(有機機能層)、19…陰極層(第2電極層)。
Claims (3)
- 支持基板と、
前記支持基板上に配置され、複数の開口部を含む所定パターンを有する金属配線と、
前記金属配線上及び前記開口部から露出する前記支持基板上に配置された一層又は複層の第1電極層と、
前記第1電極層上に配置された有機機能層と、
前記有機機能層上に配置された第2電極層と、を備え、
前記第1電極層の最厚部の厚さ寸法をT、前記金属配線に接触する位置に配置された前記第1電極層の最薄部の厚さ寸法をSとした場合、前記最厚部の厚さ寸法Tが250nm以下であり、
Tに対するSの比(S/T比)が0.4以上1以下である、有機EL素子。 - 前記金属配線は、幅方向に沿った断面が台形形状を呈しており、
前記金属配線の側面と前記支持基板とが成す角度が鋭角である、請求項1に記載の有機EL素子。 - 前記金属配線の厚さ寸法をK、前記開口部の中央部における前記第1電極層の中央厚さ寸法をCとした場合、
Kに対するCの比(C/K比)が0.4以上3以下である、請求項1又は2に記載の有機EL素子。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016203651A JP6383772B2 (ja) | 2016-10-17 | 2016-10-17 | 有機el素子 |
JP2016-203651 | 2016-10-17 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2018074044A1 true WO2018074044A1 (ja) | 2018-04-26 |
Family
ID=62019165
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2017/029535 WO2018074044A1 (ja) | 2016-10-17 | 2017-08-17 | 有機el素子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6383772B2 (ja) |
WO (1) | WO2018074044A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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- 2016-10-17 JP JP2016203651A patent/JP6383772B2/ja not_active Expired - Fee Related
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- 2017-08-17 WO PCT/JP2017/029535 patent/WO2018074044A1/ja active Application Filing
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6383772B2 (ja) | 2018-08-29 |
JP2018067390A (ja) | 2018-04-26 |
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