WO2018055978A1

WO2018055978A1 - 脱臭装置及び塗布装置

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Publication number: WO2018055978A1
Application number: PCT/JP2017/030448
Authority: WO
Inventors: 健史濱川; 森　俊裕; 貫志岡本
Original assignee: Toray Engineering Co Ltd
Current assignee: Toray Engineering Co Ltd
Priority date: 2016-09-21
Filing date: 2017-08-25
Publication date: 2018-03-29
Anticipated expiration: 2019-03-21
Also published as: JP2018047420A; TW201825373A

Abstract

臭気量を低下させることなく、臭気を流通させる臭気配管部の擦れによる発塵を抑え、耐久性を向上させることができる脱臭装置及びその脱臭装置を備えた塗布装置を提供する。具体的には、ステージ面に搬送された基板に塗布膜を形成する塗布装置に設けられる脱臭装置であって、塗布器に対して移動可能に設けられ、廃液トレイの臭気を脱臭する脱臭器本体と、排気吸引源を有する支持フレーム部と、脱臭器本体と支持フレーム部とを連結し、前記脱臭器本体の臭気を排気吸引源に導くジョイントダクト部と、を有しており、ジョイントダクト部は、脱臭器本体と支持フレームとを連結する連通ダクト部と、連通ダクト部をステージ面に垂直な軸周りに回転可能に支持する旋回支持部とを有しており、支持フレーム部には、旋回支持部が脱臭器本体の移動方向と直交する方向に変位することを許容する差分吸収ガイド部が設けられている構成とする。

Description

脱臭装置及び塗布装置

　本発明は、基板上に塗布膜を形成する塗布装置の廃液トレイに設けられる脱臭装置に関するものであり、臭気を流通させる配管の擦れによる発塵を抑え、耐久性を向上させることができる脱臭装置、及び、その脱臭装置を備えた塗布装置に関するものである。

　液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイには、ガラス等の基板上にレジスト液等の塗布液が塗布されたもの（塗布基板という）が使用されている。この塗布基板は、塗布液を塗布する塗布装置によって形成されている。塗布装置は、図７に示すように、基板Ｗを載置するステージ１１０と、載置された基板Ｗに一方向に延びるスリットから塗布液を吐出する塗布器１００とを有しており、塗布器１００から塗布液を吐出させながら、基板Ｗを相対的に移動させることにより、基板Ｗ上に塗布膜が形成されるようになっている（例えば特許文献１参照）。

　また、塗布装置は、一般に、メンテナンス装置１０１が設けられており、塗布器１００の吐出状態を一定に保つことができるようになっている。このメンテナンス装置１０１には、清掃装置１０２と、廃液を受ける廃液トレイ１０３が設けられており（図８参照）、基板Ｗに塗布膜を形成する塗布動作を完了するとメンテナンス装置１０１が塗布器１００まで移動し、廃液トレイ１０３上に塗布器１００が位置するように位置決めされる。そして、清掃装置１０２が塗布器１００のスリットに沿って移動することによりスリットに付着した塗布液が拭き取られ、拭き取られた余分な塗布液は、廃液トレイ１０３に落下して回収される。

　この廃液トレイ１０３には、不要な塗布液に加え、清掃装置１０２を洗浄するための洗浄液等の溶剤が長時間貯留されるため臭気が充満する。そのため、廃液トレイ１０３には、脱臭装置１０４が設置されており、廃液トレイ１０３に充満する臭気が排気されるようになっている。具体的には、図８に示すように、脱臭装置１０４は、廃液トレイ１０３に隣接して設けられており、脱臭器本体１０５と、メンテナンス装置１０１（廃液トレイ１０３）と共通の走行装置１０６と、脱臭器本体１０５から臭気を流通させる臭気配管部１０７とを有しており、臭気配管部１０７は排気吸引源（不図示）に接続されている。脱臭器本体１０５には、廃液トレイ１０３側に開口する臭気吸引口１０８が形成されており、排気吸引源からの吸引力が臭気配管部１０７を通じて臭気吸引口１０８に発生するように形成されている。これにより、廃液トレイ１０３に充満する臭気は、臭気吸引口１０８から吸引され、臭気配管部１０７を通じて排気吸引源に排気されるようになっている。ここで、臭気配管部１０７は、Ｕ字に曲げた余長分が設けられており、メンテナンス装置１０１が塗布器１００の位置まで移動しても脱臭器本体１０５が追従でき、走行装置１０６の走行とともに常に臭気を吸引できるように形成されている。

特開２０１１－２１３４３５号公報

　しかし、上記脱臭装置１０４では、臭気配管部１０７の耐久性に問題があり、また、走行中にパーティクルが発生するという問題があった。すなわち、臭気配管部１０７は、Ｕ字状に屈曲させて設けられているため、メンテナンス装置１０１に伴う脱臭器本体１０５の移動により屈曲状態が変化する。そのため、長期運転により臭気配管の屈曲による劣化が早まることに加え、臭気配管部１０７が他の部材（例えば、走行装置１０６）と接触して擦れることにより、パーティクルが発生する虞があるという問題があった。

　また、他の部材との接触を防止するため、臭気配管部１０７をケーブルベア（登録商標）内に収容することも考えられるが、ケーブルベア（登録商標）内に収容するには臭気配管部１０７を小径にする必要があり、臭気吸引口１０８から吸引する臭気量を大きくすることができないという問題があった。

　そこで、本発明は、臭気量を低下させることなく、臭気を流通させる臭気配管部の擦れによる発塵を抑え、耐久性を向上させることができる脱臭装置、及び、その脱臭装置を備えた塗布装置を提供することを目的としている。

　上記課題を解決するために本発明の脱臭装置、及び、その脱臭装置を備えた塗布装置は、ステージ面に搬送された基板に対して塗布器から塗布液を吐出して基板上に塗布膜を形成する塗布装置に設けられる脱臭装置であって、前記塗布器に対して基板の搬送方向に移動可能に設けられ、前記塗布器の廃液を貯留する廃液トレイの臭気を脱臭する脱臭器本体と、前記脱臭器本体に対して固定して設けられ、排気吸引源を有する支持フレーム部と、前記脱臭器本体と前記支持フレーム部とを連結し、前記脱臭器本体の臭気を排気吸引源に導くジョイントダクト部と、を有しており、前記ジョイントダクト部は、前記脱臭器本体と前記支持フレームとを連通させる連通ダクト部と、前記連通ダクト部を前記ステージ面に垂直な軸周りに回転可能に支持する旋回支持部とを有しており、前記支持フレーム部には、前記旋回支持部が前記脱臭器本体の移動方向と直交する方向に変位することを許容する差分吸収ガイド部が設けられていることを特徴としている。

　本発明によれば、脱臭器本体と、支持フレーム部とがジョイントダクト部で連結され、支持フレーム部に旋回支持部が設けられていることにより、脱臭器本体がメンテナンス装置とともに移動すると、旋回支持部が旋回することによりジョイントダクト部が脱臭器本体に追従する。また、旋回支持部には、差分吸収ガイド部が設けられているため、脱臭器本体が支持フレーム部から最も離れた状態から移動し支持フレーム部に接近すると脱臭器本体と支持フレーム部（旋回支持部）との距離が短くなるが、差分吸収ガイド部により旋回支持部が脱臭器本体の移動方向と直交する方向に変位することが許容されるため、脱臭器本体と支持フレーム部の旋回支持部との距離を一定に保つことができる。すなわち、ジョイントダクト部が長さを一定にした状態で連結状態を維持することができる。これにより、脱臭器本体がどの位置であってもジョイントダクト部の長さを一定できるため、従来のようにジョイントダクト部（従来の臭気配管に相当）に余長を持たせるためにＵ字状に屈曲させる必要がない。したがって、ジョイントダクト部の耐久性を向上させ、ジョイントダクト部の擦れによる発塵を抑えることができる。また、ケーブルベア（登録商標）を用いる必要がなくジョイントダクト部の設置スペースも限定されないことから、ジョイントダクト部の小径化による臭気量の低下を回避することができる。

　また、前記ジョイントダクト部の連通ダクト部は、姿勢変化のない直線状の管部材で形成されている構成にしてもよい。

　この構成によれば、姿勢変化のない（剛性の高い）金属製（例えば、ステンレス、アルミ等）の管部材を使用することができるため、樹脂製などで形成された管部材に比べて、姿勢変化による他の部材との接触による擦れ、撓みによる劣化等の問題を回避することができる。

　また、前記ジョイントダクト部には、液体又は気体が流通する配管が収容されている構成にしてもよい。

　この構成によれば、廃液トレイを含むメンテナンス装置に必要な液配管、エア配管等を収容することができ、別途ケーブルベア（登録商標）等の配管案内機構が不要になる。

　本発明によれば、臭気量を低下させることなく、臭気を流通させる臭気配管部の擦れによる発塵を抑え、耐久性を向上させることができる。

本発明の脱臭装置と組み合わされる塗布装置を概略的に示す斜視図である。上記実施形態の塗布装置を搬送方向に見た図である。上記実施形態ににおけるジョイントダクト部を示す図である。上記実施形態のメンテナンス装置の斜視図である。上記実施形態のメンテナンス装置における脱臭装置内部を示す図である。上記実施形態のジョイントダクト部の動きを示す図であり、（ａ）は、脱臭装置（メンテナンス装置）が待機位置に位置する状態を示す図であり、（ｂ）は、脱臭装置が待機位置からメンテナンス位置に移動する途中で、支持フレーム部に最も近接した状態を示す図であり、（ｃ）脱臭装置がメンテナンス装置に位置する状態を示す図である。従来の脱臭装置と組み合わされる塗布装置を示す図である。従来の脱臭装置を含むメンテナンス装置を示す斜視図である。

　以下、本発明の脱臭装置に係る実施の形態について図面を用いて説明する。

　図１は、本発明の脱臭装置と組み合わされる塗布装置２を概略的に示す斜視図であり、図２は、図１における塗布装置２の正面図である。

　図１、図２において、塗布装置２は、基板Ｗを搬送する基板搬送装置１と塗布ユニット２１とを有しており、基板搬送装置１に搬送された基板Ｗに塗布膜を形成するものである。すなわち、基板搬送装置１で基板Ｗを搬送させつつ、塗布ユニット２１から塗布液を吐出することにより基板Ｗ上に塗布膜が形成されるようになっている。

　以下の説明では、基板Ｗが搬送される方向をＸ軸方向とし、Ｘ軸方向が搬送方向に相当する。また、Ｘ軸方向と水平面上で直交する方向をＹ軸方向とし、特にＹ軸方向を川幅方向ともいう。そして、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の双方に直交する方向をＺ軸方向として説明を進めることとする。

　塗布ユニット２１は、基板Ｗに塗布液を塗布するものであり、フレーム部２２と塗布器２３とを有している。フレーム部２２は、浮上ステージ部１０のＹ軸方向両側にそれぞれ配置される支柱２２ａを有しており、この支柱２２ａに塗布器２３が設けられている。具体的には、支柱２２ａは、Ｙ軸方向（川幅方向）両側に固定して設けられており、後述する基板保持部３０の走行を妨げることのないように、基板保持部３０の走行経路よりも外側に配置されている。そして、これらの支柱２２ａに塗布器２３が架け渡されており、塗布器２３が浮上ステージ部１０を横切る状態で取り付けられている。また、支柱２２ａには昇降機構が設けられており、昇降機構を作動させることにより塗布器２３がＺ方向に移動できるようになっている。すなわち、昇降機構により塗布器２３が浮上ステージ部１０に対して接離動作できるようになっている。

　塗布器２３は、塗布液を吐出するものであり、一方向に延びて形成されている。この塗布器２３は、一方向に延びるスリットノズル２３ａ（図２参照）が形成されており、塗布器２３内に貯留された塗布液をスリットノズル２３ａから吐出できるようになっている。具体的には、スリットノズル２３ａは、浮上ステージ部１０と対向する面に形成されており、塗布器２３はスリットノズル２３ａが川幅方向に延びる状態で設置されている。そして、搬送される基板Ｗに対して塗布器２３を昇降させて基板Ｗとスリットノズル２３ａとの距離を所定の距離に合わせた状態で、スリットノズル２３ａから塗布液を吐出することにより、川幅方向に一様な塗布膜が搬送方向に連続的に形成されるようになっている。そして、スリットノズル２３ａから塗布液を吐出させつつ、基板Ｗを移動させることにより、基板Ｗ上には、均一厚さの塗布膜が形成されるようになっている。

　また、基板搬送装置１は、基板Ｗを浮上させつつ、一方向（本実施形態ではＸ軸方向、基板搬送方向ともいう）に搬送させるものである。基板搬送装置１は、基板Ｗを浮上させる浮上ステージ部１０と、浮上ステージ部１０に浮上させた基板Ｗを保持し搬送させる基板搬送ユニット３とを有している。

　浮上ステージ部１０は、基板Ｗを浮上させるものであり、本実施形態ではエア浮上機構を有している。浮上ステージ部１０は、基台１１上に平板部１２が設けられて形成されており、複数枚の平板部１２がＸ軸方向に沿って配列されて形成されている。すなわち、平板部１２は、平滑なステージ面１２ａ（図１参照）を有しており、それぞれのステージ面１２ａが均一高さになるように配列されている。そして、ステージ面１２ａには、搬送させる基板Ｗとの間に空気層が形成されることにより基板Ｗを所定高さ位置に浮上させることができるようになっている。具体的には、平板部１２には、ステージ面１２ａに開口する微小な噴出口（不図示）と吸引口（不図示）とが形成されており、噴出口とコンプレッサとが配管で接続され、吸引口と真空ポンプとが配管で接続されている。そして、噴出口から噴出されるエアと吸引口に発生する吸引力とをバランスさせることにより、基板Ｗがステージ面１２ａから所定高さに水平の姿勢で浮上させることができるようになっている。これにより、基板Ｗの平面姿勢（平面度という）を高精度に維持した状態で搬送できる
ようになっている。

　また、浮上ステージ部１０の平板部１２は、そのＹ軸方向寸法が搬送される基板ＷのＹ軸方向寸法よりも小さく形成されており、ステージ面１２ａ上に基板Ｗを載置すると、ステージ面１２ａから基板ＷのＹ軸方向端部がはみ出した状態となる。このはみ出した部分を後述の基板搬送ユニット３で保持することにより、基板Ｗを搬送できるようになっている。

　また、基板搬送ユニット３は、浮上状態の基板Ｗを搬送させるものであり、基板Ｗを保持する基板保持ユニット３０と、基板保持ユニット３０を走行させる搬送駆動部３１とを有している。

　搬送駆動部３１は、基板保持ユニット３０を搬送方向に移動させるように構成されており、浮上ステージ部１０に沿って搬送方向に延びる搬送レール部３１ａと、この搬送レール部３１ａ上を走行するベース部３１ｂとで形成されている。具体的には、搬送方向に延びるように設けられた基台３１ｃ（図２参照）が浮上ステージ部１０の川幅方向両側に配置されており、それぞれの基台３１ｃ上に搬送レール部３１ａが設けられている。すなわち、搬送レール部３１ａが浮上ステージ部１０に沿って途切れることなく連続して設けられている。また、ベース部３１ｂは、凹形状に形成された板状部材であり、例えば図２に示すように、搬送レール部３１ａの上面を覆うように設けられている。ベース部３１ｂは、エアパッドを介して搬送レール部３１ａに覆うように設けられており、リニアモータ（不図示）を駆動させることにより、ベース部３１ｂが搬送レール部３１ａ上を走行するようになっている。すなわち、リニアモータを駆動制御することにより、ベース部３１ｂが搬送レール部３１ａ上を接触することなく走行し、所定の位置で停止できるようになっている。

　また、ベース部３１ｂには、基板保持ユニット３０が設けられており、この基板保持ユニット３０により基板Ｗが吸着保持されるようになっている。すなわち、基板保持ユニット３０に基板Ｗを吸着させた状態でリニアモータを駆動制御することにより、基板Ｗを浮上ステージ部１０に沿って移動させることができ、所定の位置で停止させることができるようになっている。

　また、塗布装置２には、メンテナンス装置４が設けられており、塗布器２３を適切に保つことができるようになっている。メンテナンス装置４は、図４に示すように、清掃装置４１と廃液トレイ４２を有しており、浮上ステージ部１０上に設けられている。

　廃液トレイ４２は、一方向に延びる形状を有しており、浮上ステージ部１０をＹ軸方向に横切るように配置されている。廃液トレイ４２は、液体を貯留できる形状を有しており、塗布器２３よりも一回り大きい形状に形成されている。すなわち、廃液トレイ４２は、廃液トレイ４２上に塗布器２３が配置され清掃装置４１による清掃動作が行われた場合に、洗浄液、及び、余分な塗布液等の廃液を受けるように形成されている。

　廃液トレイ４２には、清掃装置４１が設けられている。この清掃装置４１は、塗布器２３に付着した塗布液を洗浄するものである。具体的には、清掃装置４１は、Ｖ字溝を有する洗浄ブロック４２ａを有しており、この洗浄ブロック４２ａが廃液トレイ４２の長手方向に走行できるように形成されている。また、洗浄ブロック４２ａのＶ字溝内には、スリットノズル２３ａに接触する掻き取り部材が設けられており、さらにＶ字溝内に洗浄液が吐出されるようになっている。すなわち、洗浄ブロック４２ａのＶ字溝にスリットノズル２３ａが配置された状態では、掻き取り部材がスリットノズル２３ａの側面に接触するようになっている。この状態で、洗浄液を吐出しつつ洗浄ブロック４２ａを走行させると、掻き取り部材がスリットノズル２３ａの側面に接触しつつスリットノズル２３ａの長手方向に移動することにより、スリットノズル２３ａの側面に付着した塗布液が洗浄液で軟化され掻き取られる。これにより、清掃装置４１により塗布器２３が機械的に清掃できるようになっている。そして、掻き取られた塗布液、及び、洗浄液は廃液トレイ４２に落下し、廃液トレイ４２で一時的に貯留され、最終的に外部に排出されるようになっている。

　また、メンテナンス装置４には、走行装置５が設けられており、メンテナンス装置４が基板Ｗの搬送方向に移動できるようになっている。本実施形態では、図２，図３に示すように、浮上ステージ部１０に沿って搬送方向に延びる走行レール部５１と、この走行レール部５１上を走行する走行ベース部５２とで形成されている。具体的には、走行レール部５１が基台３１ｃ上の搬送レール部３１ａの外側に配置され、この走行レール部５１が浮上ステージ部１０に沿って連続して設けられている。そして、走行レール部５１上には、走行ベース部５２が走行レール部５１の上面を覆うようにエアパッドを介して設けられ、リニアモータ（不図示）により走行ベース部５２が走行レール部５１上を走行するように形成されている。すなわち、リニアモータを駆動制御することにより、走行ベース部５２が走行レール部５１上を走行し、所定の位置で停止できるようになっている。本実施形態では、走行ベース部５２は、メンテナンス位置と待機位置とに停止できるように設定されている。すなわち、メンテナンス位置では、メンテナンス装置４の廃液トレイ４２が塗布器２３直下に位置するようにメンテナンス装置４が移動し、待機位置では、メンテナンス装置４がメンテナンス位置から離れた所定の場所に移動するように設定されている。

　また、図４に示すように、メンテナンス装置４には、脱臭装置６が設けられており、廃液トレイ４２に貯留される洗浄液、塗布液等の溶剤が発生する臭気を吸引することにより脱臭するものである。脱臭装置６は、臭気を脱臭する脱臭器本体６１と、排気吸引源を有する支持フレーム部６２と、脱臭器本体６１と支持フレーム部６２とを連結するジョイントダクト部６３とを有しており、排気吸引源からの吸引力がジョイントダクト部６３を通じて脱臭器本体６１に発生させることにより、廃液トレイ４２の臭気が脱臭器本体６１から脱臭されるように形成されている。

　脱臭器本体６１は、臭気を吸引する吸引開口部６１ａを有しており、吸引開口部６１ａが廃液トレイ４２上に臨むように廃液トレイ４２と隣接して設けられている。具体的には、脱臭器本体６１は、直方体形状を有しており、廃液トレイ４２と隣接して一体的に設けられている。すなわち、脱臭器本体６１は廃液トレイ４２に固定されており、メンテナンス装置４が移動すると脱臭器本体６１が廃液トレイ４２と供に移動するようになっている。そして、廃液トレイ４２と接する壁面６１ｂには、吸引開口部６１ａが設けられており、本実施形態では、５つの吸引開口部６１ａが設けられている。図４に示す例では、吸引開口部６１ａは、廃液トレイ４２から所定の高さ位置に一方向（Ｙ軸方向）に並んで設けられている。

　脱臭器本体６１には、ジョイントダクト部６３を通じて排気吸引源からの吸引力が供給される。脱臭器本体６１のＹ軸方向両端部には、ジョイントダクト部６３が連結されており、このジョイントダクト部６３を通じて排気吸引源からの吸引力が供給されるようになっている。具体的には、ジョイントダクト部６３には２本の吸引ホース６４（図５参照）が接続されており、この吸引ホース６４を通じて吸引開口部６１ａから吸引力が発生する。すなわち、脱臭器本体６１には、すべての吸引開口部６１ａと連通するマニホールド部６１ｃが形成されており、マニホールド部６１ｃには４つの吸引ホース６４が接続されている。これにより、吸引ホース６４から吸引力が発生するとマニホールド部６１ｃ全体に吸引力が発生し、それぞれの吸引開口部６１ａから吸引力が発生するようになっている。ここで、吸引ホース６４から供給される吸引力は、吸引ホース６４付近では強くなる。そのため、吸引ホース６４がマニホールド部６１ｃに対してＹ軸方向にほぼ均等に並んで接続されることにより、吸引ホース６４から供給される吸引力がＹ軸方向に亘って均一になり、さらにマニホールド部６１ｃで集合させることにより、吸引力がマニホールド部６１ｃ全体に亘って均一になる。したがって、それぞれの吸引開口部６１ａに発生する吸引力が均一になり、廃棄トレイから発生する臭気を廃棄トレイ全体に亘って偏りなく吸引できるようになっている。

　また、支持フレーム部６２は、支柱部材であり、浮上ステージ部１０の両側に１つずつ設置されている。この支持フレーム部６２は、脱臭器本体６１に対して固定して設けられており、工場の床面に固定して設けられている。そして、本実施形態の支持フレーム部６２の内部には、工場に設けられる排気吸引源が収容されており、脱臭器本体６１から吸引された臭気が排気吸引源を通じて排気される。すなわち、排気吸引源とジョイントダクト部６３とが接続されており、脱臭器本体６１から吸引された臭気がジョイントダクト部６３を通じて排気吸引源から排気されるようになっている。ここで、支持フレーム部６２の上面部６２ａは、平面状に形成されており、この上面部６２ａにジョイントダクト部６３が接続されている。具体的には、支持フレーム部６２の上面部６２ａには、後述する差分吸収ガイド部７（図３参照）が設けられており、差分吸収ガイド部７の平板ブロック部７１に連結されている。

　ジョイントダクト部６３は、脱臭器本体６１と支持フレーム部６２とを連結するものであり、脱臭器本体６１から吸引した臭気を排気吸引源に導くものである。すなわち、ジョイントダクト部６３は、脱臭器本体６１から吸引された臭気を支持フレーム部６２に流通させ、臭気を支持フレーム部６２の排気供給源から排気させる。このジョイントダクト部６３は、連通ダクト部６３ａと、その両端に配置される旋回支持部６３ｂとを有している。

　連通ダクト部６３ａは、一方向に延びる管部材で形成されており、旋回支持部６３ｂを介して脱臭器本体６１と支持フレーム部６２とを連通させて接続するものである。この連通ダクト部６３ａは、姿勢変化の少ない材料で形成されており、本実施形態ではステンレスで形成されている。すなわち、樹脂製の管部材やプラスチック製のチューブのような撓み変化がなく、脱臭器本体６１と支持フレーム部６２とを連結する姿勢を保つことができるように形成されている。これにより、姿勢変化による他の部材との接触による擦れ、撓みによる劣化等の問題を回避することができる。

　旋回支持部６３ｂは、連通ダクト部６３ａを浮上ステージ部１０のステージ面１２ａに垂直な軸周り（本実施形態ではＺ軸周り）に回転可能に支持するものである。旋回支持部６３ｂは、連通ダクト部６３ａの両端部に設けられており、端部が支持フレーム部６２に連結されている。この旋回支持部６３ｂは、スイベルジョイントが用いられており、一方向に延びる形状の固定部６３ｂ１と、Ｌ字状に形成される旋回部６３ｂ２とを有している（図３参照）。本実施形態では、固定部６３ｂ１が脱臭器本体６１、又は、支持フレーム部６２に連結され、旋回部６３ｂ２が連通ダクト部６３ａに連結されている。

　旋回支持部６３ｂの固定部６３ｂ１は、Ｚ軸方向に延びる姿勢で、脱臭器本体６１、他又は、支持フレーム部６２に連結されており、旋回部６３ｂ２は、その一方端が固定部６３ｂ１に対して中心軸周りに回転可能に接続されている。すなわち、旋回部６３ｂ２は、一方端側から固定部６３ｂ１の延びる方向に沿ってＺ軸方向に延び、途中で９０度向きを変えて延びる形状を有している。そして、旋回部６３ｂ２を固定部６３ｂ１に対して回転させると、旋回部６３ｂ２の他方端が固定部６３ｂ１の中心軸から一定距離離れた位置で外径側を向く姿勢で回転する。すなわち、旋回支持部６３ｂは、連通ダクト部６３ａを浮上ステージ部１０のステージ面１２ａに垂直な軸周り（固定部６３ｂ１の中心軸周り）に回転可能に支持している。これにより、脱臭器本体６１が基板Ｗの搬送方向に移動しても、ジョイントダクト部６３が脱臭器本体６１に追従することができる。すなわち、図６に示すように、メンテナンス装置４がメンテナンス位置から待機位置に移動すると、それに伴って脱臭器本体６１も移動することにより、支持フレーム部６２に対して脱臭器本体６１が基板搬送方向上流側及び基板搬送方向下流側に移動する。このとき、支持フレーム部６２側の旋回支持部６３ｂの旋回部６３ｂ２が固定部６３ｂ１に対して回転することにより、旋回部６３ｂ２の一方端部（連通ダクト部６３ａと連結される側）が脱臭器本体６１に常に対向することができる。同様に、脱臭器本体６１側の旋回支持部６３ｂの旋回部６３ｂ２が固定部６３ｂ１に対して回転することにより、旋回部６３ｂ２の一方端部（連通ダクト部６３ａと連結される側）が支持フレーム部６２に常に対向することができる。このように、メンテナンス装置４（脱臭器本体６１）が基板Ｗの搬送方向に移動するに従って、旋回支持部６３ｂの旋回部６３ｂ２が回転することにより、ジョイントダクト部６３がその寸法を変えることなく脱臭器本体６１に追従することができる。

　また、支持フレーム部６２に設けられる旋回支持部６３ｂには、差分吸収ガイド部７が設けられている（図３参照）。この差分吸収ガイド部７は、旋回支持部６３ｂが脱臭器本体６１の移動と直交する方向に変位することを許容するものである。この差分吸収ガイド部７は、支持フレーム部６２の上面部６２ａに設けられており、ガイドレール部７２と平板ブロック部７１とを有している。すなわち、支持フレーム部６２の上面部６２ａに、一方向に延びるガイドレール部７２が基板Ｗの搬送方向（Ｘ軸方向）と直交する方向（Ｙ軸方向）に設置されており、このガイドレール部７２上を平板ブロック部７１が移動できるように形成されている。本実施形態では、平板ブロック部７１がＸ軸方向に力を受けると、スムーズにガイドレール部７２上を移動できるように調節されている。そして、平板ブロック部７１には、旋回支持部６３ｂの固定部６３ｂ１が取り付けられており、旋回支持部６３ｂの位置をＹ軸方向に変位できるようになっている。これにより、脱臭器本体６１が搬送方向のどの位置にあっても、脱臭器本体６１と支持フレーム部６２の旋回支持部６３ｂとの距離を一定に保つことができる。

　すなわち、図６に示すように、脱臭器本体６１（メンテナンス装置４）が待機位置に配置されており、ジョイントダクト部６３の連通ダクト部６３ａが基板Ｗの搬送方向上流側に位置する待機位置に延びた状態で設置されている。この場合、支持フレーム部６２上の旋回支持部６３ｂは、浮上ステージ部１０に近い位置に配置されている（図６（ａ））。

　そして、塗布動作が完了しメンテナンス動作を行うために、脱臭器本体６１（メンテナンス装置４）が塗布器２３直下のメンテナンス位置に移動する。脱臭器本体６１が基板Ｗの搬送方向下流側に移動すると、脱臭器本体６１が支持フレーム部６２に近づくため、脱臭器本体６１の旋回支持部６３ｂの位置と、支持フレーム部６２の旋回部６３ｂ２の位置が互いに近接しようとする。そして、連通ダクト部６３ａがステンレスで形成されているため、旋回支持部６３ｂ同士が近接しようとすると、近接した分だけ旋回支持部６３ｂに負荷がかかるが、差分吸収ガイド部７の平板ブロック部７１が旋回支持部６３ｂ同士が近接しようとする力を受け、浮上ステージ部１０から離れた位置に移動する。すなわち、支持フレーム部６２上の旋回支持部６３ｂが浮上ステージ部１０からＹ軸方向に離れた位置に移動し旋回支持部６３ｂ同士の距離が一定に保たれる（図６（ｂ））。そして、脱臭器本体６１がさらに搬送方向下流側に移動すると、今度は旋回支持部６３ｂ同士が離れようとするため、旋回支持部６３ｂは連通ダクト部６３ａから引張力を受ける。そのため、差分吸収ガイド部７の平板ブロック部７１が浮上ステージ部１０側に移動することにより、旋回支持部６３ｂ同士の距離が一定に保たれる（図６（ｃ））。

　このように、上記実施形態によれば、脱臭器本体６１がメンテナンス装置４とともに移動すると、旋回支持部６３ｂが旋回することによりジョイントダクト部６３が脱臭器本体６１に追従する。そして、旋回支持部６３ｂには、差分吸収ガイド部７が設けられているため、脱臭器本体６１が支持フレーム部６２から最も離れた状態から移動し支持フレーム部６２に接近すると脱臭器本体６１と支持フレーム部６２（旋回支持部６３ｂ）との距離が短くなるが、差分吸収ガイド部７により旋回支持部６３ｂが脱臭器本体６１の移動方向と直交する方向に変位することが許容されるため、脱臭器本体６１と支持フレーム部６２の旋回支持部６３ｂとの距離を一定に保つことができる。すなわち、ジョイントダクト部６３が長さを一定にした状態で連結状態を維持することができる。これにより、脱臭器本体６１がどの位置であってもジョイントダクト部６３の長さを一定できるため、従来のようにジョイントダクト部６３（従来の臭気配管に相当）に余長を持たせるためにＵ字状に屈曲させる必要がない。したがって、ジョイントダクト部６３の耐久性を向上させ、ジョイントダクト部６３の擦れによる発塵を抑えることができる。また、ケーブルベア（登録商標）を用いる必要がなくジョイントダクト部６３の設置スペースも限定されないことから、ジョイントダクト部６３の小径化による臭気量の低下を回避することができる。

　また、上記実施形態では、連通ダクト部６３ａにステンレス製の管部材を使用する例について説明したが、姿勢変化のない（剛性の高い）管部材であればよい。例えば、アルミ等の金属製の管部材を使用することができ、樹脂製などで形成された管部材に比べて、撓み変形などの姿勢変化により、他の部材との接触による擦れ、劣化等の問題を回避することができる。

　また、上記実施形態では、ジョイントダクト部６３を臭気が流通する臭気配管として使用しているが、臭気を流通させつつ、廃液トレイ４２を含むメンテナンス装置４に必要な液配管、エア配管等を収容させる配管として使用してもよい。この場合には、従来必要であった液配管、エア配管を収容しつつ案内するケーブルベア（登録商標）を省くことができる。

　また、上記実施形態では、基板Ｗが浮上搬送される場合について説明したが、搬送形態には特に限定せず、塗布器が固定され、その塗布器に対してメンテナンス装置が移動してメンテナンス動作を行う形態であれば、本発明の脱臭装置を適用することができる。

　１　基板搬送装置
　２　塗布装置
　４　メンテナンス装置
　６　脱臭装置
　７　差分吸収ガイド部
　１０　浮上ステージ部
　２３　塗布器
　４２　廃液トレイ
　６１　脱臭器本体
　６２　支持フレーム部
　６３　ジョイントダクト部
　６３ａ　連通ダクト部
　６３ｂ　旋回支持部

Claims

　ステージ面に搬送された基板に対して塗布器から塗布液を吐出して基板上に塗布膜を形成する塗布装置に設けられる脱臭装置であって、
　前記塗布器に対して基板の搬送方向に移動可能に設けられ、前記塗布器の廃液を貯留する廃液トレイの臭気を脱臭する脱臭器本体と、
　前記脱臭器本体に対して固定して設けられ、排気吸引源を有する支持フレーム部と、
　前記脱臭器本体と前記支持フレーム部とを連結し、前記脱臭器本体の臭気を排気吸引源に導くジョイントダクト部と、
を有しており、
　前記ジョイントダクト部は、前記脱臭器本体と前記支持フレームとを連通させる連通ダクト部と、前記連通ダクト部を前記ステージ面に垂直な軸周りに回転可能に支持する旋回支持部とを有しており、
　前記支持フレーム部には、前記旋回支持部が前記脱臭器本体の移動方向と直交する方向に変位することを許容する差分吸収ガイド部が設けられていることを特徴とする脱臭装置。
　前記ジョイントダクト部の連通ダクト部は、姿勢変化のない直線状の管部材で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の脱臭装置。
　前記ジョイントダクト部には、液体又は気体が流通する配管が収容されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の脱臭装置。
　前記請求項１～３のいずれかに記載の脱臭装置を備えたことを特徴とする塗布装置。