WO2018016832A1 - 전원공급장치 및 이를 포함하는 레이저 장치 - Google Patents

전원공급장치 및 이를 포함하는 레이저 장치 Download PDF

Info

Publication number
WO2018016832A1
WO2018016832A1 PCT/KR2017/007677 KR2017007677W WO2018016832A1 WO 2018016832 A1 WO2018016832 A1 WO 2018016832A1 KR 2017007677 W KR2017007677 W KR 2017007677W WO 2018016832 A1 WO2018016832 A1 WO 2018016832A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
supply
power
period
switch
pulse
Prior art date
Application number
PCT/KR2017/007677
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
김형석
유찬훈
장성록
김광훈
Original Assignee
한국전기연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1020160091199A external-priority patent/KR20180009493A/ko
Priority claimed from KR1020170052656A external-priority patent/KR20180119219A/ko
Application filed by 한국전기연구원 filed Critical 한국전기연구원
Publication of WO2018016832A1 publication Critical patent/WO2018016832A1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/11—Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
    • H01S3/1123—Q-switching
    • H01S3/115—Q-switching using intracavity electro-optic devices
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M3/00—Conversion of dc power input into dc power output
    • H02M3/22—Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac
    • H02M3/24—Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac by static converters
    • H02M3/28—Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode to produce the intermediate ac
    • H02M3/325—Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode to produce the intermediate ac using devices of a triode or a transistor type requiring continuous application of a control signal
    • H02M3/335—Conversion of dc power input into dc power output with intermediate conversion into ac by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode to produce the intermediate ac using devices of a triode or a transistor type requiring continuous application of a control signal using semiconductor devices only

Definitions

  • the present invention relates to a power supply and a laser device comprising the same.
  • the high voltage pulse generator circuit can supply pulse power to load devices requiring high voltage, such as various test equipment, plasma generators (such as PSII), and pulse laser devices.
  • load devices requiring high voltage such as various test equipment, plasma generators (such as PSII), and pulse laser devices.
  • the general high voltage pulse generator circuit is difficult to control the pulse width, has a limitation in increasing the pulse repetition rate, and has difficulty in obtaining a fast rise time of the pulse.
  • IGBT Insulated Gate Bipolar Transistor
  • the power supply device is to reduce the rise time and fall time of the pulse and the pulse width, and to increase the repetition rate.
  • a power supply according to another embodiment of the present invention is to provide a complementary switching operation with a simple structure.
  • the first power cell for supplying a first power to one end of the load; And a second power cell for supplying a second power source having the same polarity as the first power source to the other end of the load, wherein the first power cell supplies the first power source during a first supply period,
  • the second power cell is provided with a power supply for supplying the second power during a second supply period within the first supply period.
  • the first power cell stops the supply of the first power supply during the first supply stop period that is continuous with the first supply period, and the second power cell during the second supply stop period that is continuous with the second supply period.
  • the supply of the second power may be stopped, and the first supply stop period may be within the second supply stop period.
  • the first time difference between the start time points of the first supply period and the second supply period and the second time difference between the end time points of the first supply period and the second supply period may be equal to each other.
  • the first pulse is supplied to the load during a first time difference between the first supply period and the start time points of the second supply period, and the first time period between the first supply period and the end time points of the second supply period.
  • the second pulse may be supplied to the load for a two time difference.
  • the sum of the first supply period and the first supply stop period and the sum of the second supply period and the second supply stop period are the same in the supply period, and between the supply start points of the first pulse and the second pulse.
  • the time difference of may be smaller than the supply period.
  • the magnitude of the first power source and the magnitude of the second power source may be the same.
  • the switches included in the first power cell and the second power cell may be MOSFET switches.
  • n first power cells are connected in series to each other to supply n times of the first power source to one end of the load, and n second power cells are connected to each other in series to n times of the second power source Can be supplied to the other side of the load.
  • a gain medium for generating an induced emission laser in accordance with the supply of the pumping energy; And an optical shutter configured to receive a first pulse and a second pulse from a power supply to control the emission of the laser to output a pulse laser, wherein the power supply supplies first power to one side of the optical shutter.
  • a first power cell; And a second power cell configured to supply a second power source having the same polarity as that of the first power source to the other side of the optical shutter unit, wherein the first pulse includes the first power cell and the second power cell connected to the first power cell.
  • a power supply is supplied between the power and the time points of supplying the second power, and the second pulse is between the time points at which the first power cell and the second power cell stop supply of the first power and the second power. Can be supplied to.
  • the first power cell stops the supply of the first power during a first supply stop period that is subsequent to the first supply period for supplying the first power, and the second power cell is within the first supply period.
  • the second power supply may be stopped during the second supply stop period which is subsequent to the second supply period for supplying the second power.
  • the first stop supply period may be within the second stop supply period.
  • the first pulse is supplied between start points of the first supply period and the second supply period
  • the second pulse is supplied between end points of the first supply period and the second supply period
  • the width of the first pulse and the width of the second pulse may be the same.
  • the sum of the first supply period and the first supply stop period and the sum of the second supply period and the second supply stop period are the same in the supply period, and between the supply start points of the first pulse and the second pulse.
  • the time difference of may be smaller than the supply period.
  • the magnitude of the first power source and the magnitude of the second power source may be the same.
  • the switches included in the first power cell and the second power cell may be MOSFET switches.
  • n first power cells are connected in series to each other to supply n times of the first power to one side of the optical shutter unit, and n second power cells are connected to each other in series to n times of the second power May be supplied to the other side of the optical shutter unit.
  • a first power is supplied to one end of a load for a first supply period, and a first supply for stopping the supply of the first power for a first supply stop period subsequent to the first supply period.
  • Power cell Supplying a second power source having the same polarity as the first power source to the other end of the load for a second supply period within the first supply period, including the first supply stop period and continuing with the second supply period
  • a second power cell for stopping the supply of the second power during a second stop supply period
  • a first switch driving unit driving switches of the first power cell to supply and stop the first power to the load according to the charging of the first charging unit according to the secondary side voltage transformed from the primary side voltage
  • a second switch driving unit driving switches of the second power cell to supply and stop the second power to the load according to the charging of the second charging unit according to the secondary side voltage transformed from the primary side voltage.
  • Power supply is provided.
  • the first charging unit may include a first capacitive element configured to apply a first switch turn-on voltage to the first power cell to supply the first power according to supply of the secondary voltage different from the polarity of the primary voltage. And a second capacitive element configured to apply a second switch turn-on voltage according to the supply of the secondary side voltage such as the polarity of the primary side voltage to cause the first power cell to stop the supply of the first power source.
  • the first switch driving unit may include a first transformer including a primary coil receiving the primary voltage and a plurality of secondary coils magnetically coupled by the primary coil and a core.
  • the transformer polarity of some of the plurality of secondary side coils and the remaining transformer polarity of the plurality of secondary side coils may be different from each other.
  • the second charging unit may include: a third capacitive element configured to apply a third switch turn-on voltage according to the supply of the secondary voltage different from the polarity of the primary voltage so that the second power cell supplies the second power; And a fourth capacitive element configured to apply a fourth switch turn-on voltage according to the supply of the secondary side voltage such as the polarity of the primary side voltage to cause the second power cell to stop the supply of the second power source.
  • the second switch driving unit may include a second transformer including a primary coil receiving the primary voltage and a plurality of secondary coils magnetically coupled by the primary coil and a core.
  • the transformer polarity of some of the plurality of secondary side coils and the remaining transformer polarity of the plurality of secondary side coils may be different from each other.
  • the power supply apparatus can reduce the rise time and fall time of the pulse and the pulse width through the first power cell and the second power cell connected to both sides of the load, and increase the repetition rate.
  • the power supply device does not require a separate insulated power source, so the structure of the power supply device is simple, and the switch can be complementarily driven without a separate synchronization circuit.
  • FIG. 1 shows a power supply according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a timing chart for the operation of the power supply of FIG.
  • FIG 3 shows a modification of the power supply apparatus according to the embodiment of the present invention.
  • 4 and 5 are circuit diagrams of a first switch driving unit and a second switch driving unit.
  • FIG. 7 and 8 illustrate a first switch driving unit and a second switch driving unit for driving the first to eighth switches of the first power cell and the second power cell.
  • FIG. 9 shows a laser apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • a power supply apparatus may include a first power cell 100 and a second power cell 200.
  • the power supply apparatus can reduce the rise time and fall time of the pulse and the pulse width through the first power cell and the second power cell connected to both sides of the load, and increase the repetition rate.
  • the power supply apparatus according to another embodiment of the present invention, the first power cell (100), the second power cell 200 and the first switch driving unit 300 and the second switch driving unit 400 ) May be included.
  • the structure of the power supply device is simple because no separate insulated power source is required, and the switch can be complementarily driven without a circuit for separate synchronization.
  • the first power cell 100 and the second power cell 200 will be described first, and then the switch driving units 300 and 400 will be described.
  • the first power cell 100 supplies the first power source V O1 to one end of the load.
  • the second power cell 200 supplies a second power source V O2 having the same polarity as the first power source V O1 to the other end of the load.
  • + V O1 may be supplied to one end of the load and + V O2 may be supplied to the other end of the load. Accordingly, the load voltage V L applied to the load becomes a difference between the first power source V O1 and the second power source V O2 .
  • the first power cell 100 may include first switches M 1 to fourth switches M 4 .
  • One end of the first switch M 1 may be connected to one end of the load.
  • the first cell power source V CELL1 and the second cell power source V CELL2 may be disposed between the first switch M 1 and the second switch M 2 .
  • the size of the first cell power supply V CELL1 and the second cell power supply V CELL2 may be equal to each other at 0.5V S.
  • One end and the other end of the first cell power supply V CELL1 may be connected to the other end of the first switch M 1 and one end of the second cell power supply V CELL2 , respectively.
  • the other end of the second cell power supply V CELL2 may be connected to one end of the second switch M 2 .
  • One end of the third switch M 3 may be connected to the common node of the load with the first switch M 1 .
  • the other end of the third switch M 3 may be connected to one end of the fourth switch M 4 .
  • the common node of the first cell power source V CELL1 and the second cell power source V CELL2 may be connected to the common node of the third switch M 3 and the fourth switch M 4 .
  • one end of the first cell power supply V CELL1 and the second cell power supply V CELL2 may have a positive polarity, and the other end of the first cell power supply V CELL1 and the second cell power supply V CELL2 .
  • the stage can be negative polarity.
  • the second power cell 200 may include fifth switches M 5 to eighth switches M 8 .
  • One end of the fifth switch M 5 may be connected to the other end of the load.
  • the third cell power source V CELL3 and the fourth cell power source V CELL4 may be disposed between the fifth switch M 5 and the sixth switch M 6 .
  • the size of the third cell power source V CELL3 and the fourth cell power source V CELL4 may also be the same as 0.5V S.
  • One end and the other end of the third cell power supply V CELL3 may be connected to the other end of the fifth switch M 5 and one end of the fourth cell power supply V CELL4 , respectively.
  • the other end of the fourth cell power supply V CELL4 may be connected to one end of the sixth switch M 6 .
  • One end of the seventh switch M 7 may be connected to the common node of the load with the fifth switch M 5 .
  • the other end of the seventh switch M 7 may be connected to one end of the eighth switch M 8 .
  • the common node of the third cell power source V CELL3 and the fourth cell power source V CELL4 may be connected to the common node of the seventh switch M 7 and the eighth switch M 8 .
  • one end of the third cell power source V CELL3 and the fourth cell power source V CELL4 may have a positive polarity, and the other end of the third cell power source V CELL3 and the fourth cell power source V CELL4 .
  • the stage can be negative polarity.
  • the first power cell 100 supplies the first power V O1 during the first supply period P S1 .
  • the second power cell 200 supplies the second power source V O2 during the second supply period P S2 in the first supply period P S1 .
  • the first switch M 1 and the second switch M 2 are turned on, and the third switch M 3 and the fourth switch M 4 are turned off to form the first switch.
  • the power supply V O1 is supplied to one end of the load.
  • the first power source V O1 may be V S which is the sum of the first cell power source V CELL1 and the second cell power source V CELL2 .
  • the fifth switch M 5 and the sixth switch M 6 are turned on, and the seventh switch M 7 and the eighth switch M 8 are turned off to form a second power source.
  • V O2 is supplied to the other end of the load.
  • the second power source V O2 may also be V S which is the sum of the third cell power source V CELL3 and the fourth cell power source V CELL4 .
  • the first supply period P S1 overlaps the second supply period P S2 . And a period not overlapping with the second supply period P S2 .
  • the voltage difference between the two power cells is applied to the load while the pulse width of each power cell is taken wide. Since it is applied, the pulse width w shortening limit can be overcome.
  • the first power cell 100 stops the supply of the first power source V O1 for the first supply stop period P S- STOP1 that is continuous with the first supply period P S1 and the second power cell.
  • the 200 may stop the supply of the second power source V O2 during the second supply stop period P S- STOP2 that is continuous with the second supply period P S2 .
  • the first switch M 1 and the second switch M 2 may be turned off, and the third switch M 3 and the fourth switch M 4 may be turned on. have. As a result, the supply of the first power source V O1 is stopped.
  • the fifth switch M 5 and the sixth switch M 6 may be turned off, and the seventh switch M 7 and the eighth switch M 8 may be turned on. have. As a result, the supply of the second power source V O2 is stopped.
  • the first supply stop period P S- STOP1 may be within the second supply stop period P S- STOP2 . Accordingly, the first power source V O1 and the second power source V O2 are not supplied to the load during the time period when the first supply stop period P S- STOP1 and the second supply stop period P S- STOP2 overlap. Therefore, the load voltage (V L ) is zero.
  • the first switch M 1 and the second switch M 2 are turned on. Since the first power source V O1 is supplied to the load and the second power source V O2 is not supplied, a pulse may be supplied to the load.
  • the first time difference T D1 and the second time difference T D2 form a pulse width w of pulses supplied to the load, and the first time difference T D1 and the second time difference T
  • the pulse widths w of the pulses may be equal to each other since D2 ) is the same.
  • the first pulse Pulse1 is supplied to the load during the first time difference T D1
  • the second pulse Pulse2 is supplied to the load during the second time difference T D2 .
  • the first supply period P S1 may be longer than the second supply period P S2
  • the second supply period P S2 may be included in the first supply period P S1 .
  • the first pulse Pulse1 may be generated by a difference between a start time of the first supply period P S1 and the second supply period P S2 .
  • the second pulse Pulse2 may be generated by a difference between an end point of the first supply period P S1 and the second supply period P S2 .
  • the difference between the first supply period (P S1 ) and the second supply period (P S2 ) is kept constant, and the difference between the start time of the first supply period (P S1 ) and the second supply period (P S2 )
  • the first pulse Pulse1 and the second pulse Pulse2 having a constant pulse width and interval are loaded. (V L ) can be applied.
  • T S the sum of the first supply period P S1 and the first supply stop period P S- STOP1 and the sum of the second supply period P S2 and the second supply stop period P S-STOP2 are supply cycles. (T S ) may be the same.
  • the time difference between the start points of supply of the first pulse Pulse1 and the second pulse Pulse2 may be smaller than the supply period T S.
  • the time difference between the supply start points of the first pulse Pulse1 and the second pulse Pulse2 may be a pulse supply period 0.5T S through which pulses are supplied to the load.
  • the pulse supply period 0.5T S is smaller than the supply period T S , the repetition rate of the pulses may increase. That is, since the frequency for the supply period T S is 1 / T S and the pulse repetition rate is 1 / (0.5T S ), a pulse repetition rate twice as high as the frequency of the supply period T S can be obtained.
  • the size of the first power supply V O1 and the size of the second power supply V O2 may be the same. Accordingly, when the first power source V O1 and the second power source V O2 are simultaneously supplied, the load voltage V L may be zero. That is, the load voltage V L between the first pulse Pulse1 and the second pulse Pulse2 may be zero.
  • the switches included in the first power cell 100 and the second power cell 200 may be MOSFET switches. That is, the first to fourth switches M 4 of the first power cell 100 and the fifth to eighth switches M 8 of the second power cell 200 are MOSFETs (Metal Oxide Silicon Field Effect Transistors). It may be a switch. MOSFET switches can reduce the rise and fall times of pulses compared to IGBTs.
  • the present invention is not limited thereto, and various switching elements other than a MOSFET may be used as the switching element.
  • the switching elements include various switching elements including a bipolar junction transistor (BJT), a field effect transistor (FET), a single junction transistor (UJT), a metal oxide semiconductor field effect transistor (MOSFET), and an isolation gate bipolar transistor (IGBT). It may be at least one of the.
  • n first power cells 100 are connected in series to each other to supply n times the first power source V O1 to one end of a load, and n second power cells 200 are connected to each other in series.
  • n times the second power supply V O2 can be supplied to the other side of the load.
  • switching of each of the first power cell 100 and the second power cell 200 may be simultaneously performed according to the timing of FIG. 2.
  • the n first power cells 100 are connected to each other in series and one first power cell 100 supplies the first power source V O1 , the n first power cells 100 100) can supply a voltage of n * V S to one end of the load.
  • n second power cells 200 are connected to each other in series and one second power cell 200 supplies a second power source V O2 , the n second power cells 200 are n * V S. Can supply the other end of the load.
  • the voltage sizes of the first pulse Pulse1 and the second pulse Pulse2 supplied to the load become n * V S , the voltage corresponding to the load requiring the high voltage pulse may be corresponded.
  • FIG. 4 is a circuit diagram of the first switch driving unit 300 and the second switch driving unit 400.
  • the turn-on and turn-off timings of the switches included in the first switch driving unit 300 and the turn-on and turn-off timings of the switches included in the second switch driving unit 400 are different, but have the same circuit configuration.
  • the driving unit 300 will be described.
  • first switch M 1 and the second switch M 2 are driven through switch driving circuits having the same configuration, and the third switch M 3 and the fourth switch M 4 are also configured with the same configuration. Since driving through the driving circuits, the operation of the first switch driving unit 300 will be described by driving the first switch M 1 and the third switch M 3 , which are complementary to each other.
  • the first switch driving unit 300 may include a first transformer 310.
  • the first transformer 310 may include one primary coil L1 and a plurality of secondary coils L21 and L22.
  • the primary coil L1 and the plurality of secondary coils L21 and L22 may be magnetically coupled by one core. Accordingly, in order to drive the first switch M 1 and the third switch M 3 , the volume of the voltage input part that receives the voltage Vp from the outside may be reduced and the configuration may be simplified, so that the configuration of the first switch driving part 300 may be reduced. Volume reduction and simple configuration are possible.
  • the first charging unit 330 may include a first capacitive element C1 and a second capacitive element C2.
  • each of the first capacitive element C1 and the second capacitive element C2 may be a capacitor element
  • each of the first capacitor C1 and the second capacitive element C2 may be a first capacitor. C1) and the second capacitor C2.
  • the first capacitor C1 may apply the first switch turn-on voltage according to the supply of the secondary voltage V21 different from the polarity of the primary voltage so that the first power cell supplies the first power V O1 . .
  • the secondary side for driving the third switch M 3 and the fourth switch M 4 when the voltage Vp input to the primary coil L1 is a positive voltage, the secondary side for driving the third switch M 3 and the fourth switch M 4 . Since the coil L22 has the same polarity as the primary coil L1, the secondary voltage V22 for driving the third switch M 3 and the fourth switch M 4 may have one end of the secondary coil L22. It can be a positive and negative voltage on the other end. Accordingly, the second capacitor C2 of the first charging unit 330 may be charged through the diode D2.
  • the secondary coil L21 for driving the first switch M 1 has a polarity opposite to that of the primary coil L1
  • the secondary coil L21 is used to drive the first switch M 1 and the second switch M 2 .
  • the difference voltage V21 may be a voltage at which one end of the secondary coil L21 is negative and the other end is positive.
  • the switch Q1 which is a p-channel field effect transistor (FET), and the switch Q4, which is an N-channel FET, are turned on, and a gate terminal of the first switch M 1 and A first switch turn-on voltage, which is a voltage across the first capacitor C1, is applied to the source terminal, so that the first switch M 1 is turned on, and zero voltage is applied to the gate terminal and the source terminal of the third switch M 3 .
  • the third switch M 3 may be turned off by being applied. As described above, it can be seen that the first switch M 1 and the third switch M 3 operate complementarily.
  • the first switch M 1 may be turned on according to the first switch turn-on voltage, which is the voltage across the first capacitor C1.
  • the second switch M 2 is turned on by the same circuit as the circuit for driving the first switch M 1 , and the same as the circuit for driving the third switch M 3 . Since the fourth switch M 4 is turned off by the circuit, the first power V O1 may be supplied to the load.
  • the second capacitor C2 may apply the second switch turn-on voltage according to the supply of the secondary voltage such as the polarity of the primary voltage to cause the first power cell to stop supplying the first power V O1 . have.
  • the secondary coil L21 for driving the first switch M 1 when the voltage Vp input to the primary coil L1 is a negative voltage, the secondary coil L21 for driving the first switch M 1 is the primary side. Since the polarity opposite to the coil L1, the secondary voltage V21 for driving the first switch M 1 may be a voltage at which one end of the secondary coil L21 is positive and the other end is negative. Accordingly, since a positive voltage is applied to the anode terminal of the diode D1, the first capacitor C1 may be charged through the diode D1.
  • the secondary coil L22 for driving the third switch M 3 has the same polarity as the primary coil L1
  • the secondary voltage V22 for driving the third switch M 3 is the secondary coil.
  • One end of (L22) may be a negative voltage and the other end is a positive voltage.
  • the switch Q2 which is an n-channel FET, and the switch Q3, which is a p-channel FET, may be turned on.
  • the first switching gate terminal and the source terminal of (M 1) the zero voltage to the second is applied to a switch turn-on voltage the first switch is turned off (M 1), the third gate terminal and the source of the switch (M 3)
  • the third switch M 3 may be turned on by applying a voltage across the second capacitor C2 in the previously charged state to the terminal.
  • the first switch M 1 and the third switch M 3 may operate complementarily.
  • the third switch M 3 may be turned on according to the second switch turn-on voltage, which is the voltage across the second capacitor C2.
  • the fourth switch M 4 of FIG. 7 is also turned on, and the first switch M 1 and the second switch M 2 , which are complementary to each other, are turned off so that the first power supply V O1 of the load is turned off. Supply can be stopped.
  • the first switch M 1 , the second switch M 2 , and the third switch C may be formed of the energy stored in the first capacitor C1 and the second capacitor C2 as described above. Since the M 3 ) and the fourth switch M 4 are driven respectively, a separate power supply for driving the first to fourth switches M 1 to M 4 is not required, and thus the structure of the power supply device is simple and separate.
  • the first switch M 1 and the second switch M 2 , the third switch M 3 , and the fourth switch M 4 may be complementarily driven without a circuit for synchronization.
  • one end of the first capacitor C1 may be connected to a cathode of the diode D1, one end of the resistor R4, one end of the capacitor C13, and a source terminal of the switch Q1.
  • the other end of the first capacitor C1 may be connected to the other end of the secondary coil L21, the other end of the resistor R2, the source terminal of the switch Q2, the other end of the resistor R6, and the source terminal of the first switch M 1 .
  • One end of the secondary coil L21 is connected to the anode of the diode D1, one end of the resistor R3 and one end of the resistor R1, the resistor R3 is connected to the capacitor C12, the capacitor C12 is connected to the gate end of the switch Q1, the other end of the resistor R4 and It may be connected to the other end of the capacitor C13.
  • resistor R1 may be connected to one end of resistor R2 and the gate end of switch Q2.
  • the other end of the secondary coil L21 may be connected to the other end of the first capacitor C1, the other end of the resistor R2, the source terminal of the switch Q2, the other end of the resistor R6, and the source terminal of the first switch M 1 .
  • the common terminal of the switch Q1 and the switch Q2 may be connected to one end of the resistor R5, and the other end of the resistor R5 may be connected to one end of the resistor R6 and the gate terminal of the first switch M 1 .
  • one end of the second capacitor C2 may be connected to the cathode of the diode D2, one end of the resistor R10, one end of the capacitor C23, and the source terminal of the switch Q3.
  • the other end of the second capacitor C2 may be connected to the other end of the secondary coil L22, the other end of the resistor R8, the source terminal of the switch Q4, the other end of the resistor R12, and the source terminal of the third switch M 3 .
  • One end of the secondary coil L22 is connected to the anode of the diode D2, one end of the resistor R7 and one end of the resistor R8, the resistor R9 is connected to the capacitor C22, the capacitor C22 is the gate end of the switch Q3, the other end of the resistor R10 and It may be connected to the other end of the capacitor C23.
  • Resistor R7 may also be connected to one end of resistor R8 and the gate end of switch Q4.
  • the other end of the secondary coil L22 may be connected to the other end of the second capacitor C2, the other end of the resistor R8, the source terminal of the switch Q4, the other end of the resistor R12, and the source terminal of the third switch M 3 .
  • the common terminal of the switch Q3 and the switch Q4 may be connected to one end of the resistor R11, and the other end of the resistor R11 may be connected to one end of the resistor R12 and the gate terminal of the third switch M 3 .
  • the first switch driving unit 300 of FIG. 7 applies the first power V O1 to the load according to the charging of the first charging unit 330 according to the secondary voltages V21 and V22 transformed from the primary voltage.
  • the switches M1 to M4 of the first power cell 100 which perform supply and stop are driven.
  • the first switch driving unit 300 includes a plurality of secondary coils magnetically coupled by the primary coil L1 receiving the primary voltage and the primary coil L1 and the core ( It may include a first transformer 310 including L21, L22.
  • the transformer polarity of some of the plurality of secondary side coils L21 and L22 and the remaining transformer polarity of the plurality of secondary side coils L21 and L22 may be different from each other.
  • the secondary coils L21 and L22 magnetically coupled to the core for driving the first switch M 1 to the fourth switch M 4 may be provided. It can be four.
  • the secondary coil L21 for driving the first switch M 1 and the second switch M 2 may have a different polarity than the primary coil L1
  • the third switch M 3 and The secondary coil L22 for driving the fourth switch M 4 may have the same polarity as the primary coil L1.
  • the second switch driving unit 400 of the second power source V O2 is applied to the load according to the charging of the second charging unit 430 according to the secondary voltages V21 and V22 transformed from the primary voltage.
  • the switches M 5 to M 8 of the second power cell 200 that perform supply and stop of the power supply are driven.
  • the circuit configuration of the second switch driving unit 400 is the same as that of the first switch driving unit 300 of FIGS. 4 and 7 and the first of the second charging unit 430.
  • the capacitor C1 is for driving the fifth switch M 5 and the sixth switch M 6
  • the second capacitor C2 of the second charging unit 430 is the seventh switch M 7 and the eighth. It may be for driving the switch M 8 . Accordingly, the fifth switch M 5 and the sixth switch M 6 , and the seventh switch M 7 and the eighth switch M 8 may operate complementarily.
  • the second charging unit 430 of FIGS. 5 and 8 may include a third capacitive element C3 and a fourth capacitive element C4.
  • each of the third capacitive element C3 and the fourth capacitive element C4 may be formed as a capacitor element, and each of the third capacitor C3 and the fourth capacitive element C4 may have a third capacitor ( C3) and the fourth capacitor C4.
  • the third capacitor C3 may apply the third switch turn-on voltage according to the supply of the secondary voltage different from the polarity of the primary voltage to allow the second power cell to supply the second power V O2 .
  • the fourth capacitor C4 may apply the fourth switch turn-on voltage according to the supply of the secondary voltage such as the polarity of the primary voltage to cause the second power cell to stop supplying the second power V O2 . .
  • the second switch driving unit 400 includes a primary coil L1 receiving the primary voltage and a plurality of secondary coils L21 and L22 magnetically coupled by the primary coil L1 and the core.
  • a second transformer 410 may be included.
  • the transformer polarity of some of the plurality of secondary coils L21 and L22 and the other transformer polarity of the plurality of secondary coils L21 and L22 may be different from each other.
  • the second switch driving unit 400 may operate to satisfy the timing chart of FIG. 2. Therefore, the detailed description of the operation and configuration of the second switch driving unit 400 will be omitted.
  • the power supply device according to an embodiment of the present invention can be applied to various applications, and a laser device including a power supply device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
  • a laser device according to an embodiment of the present invention includes a gain medium 510, an optical shutter unit 530, and a power supply 550. Since the power supply 550 has been described in detail above, a description thereof will be omitted.
  • the gain medium 510 produces an induced emission laser in response to the supply of pumping energy.
  • various components constituting the laser resonator are not illustrated. Since the configuration of the laser resonator is general to those skilled in the art, the description thereof is omitted.
  • the optical shutter unit 530 receives the first pulse Pulse1 and the second pulse Pulse2 from the power supply 550 and controls the emission of the laser to output the pulse laser.
  • the optical shutter unit 530 may include a Q-switching unit, and the Q-switching unit may include a Pockels cell.
  • the Pockels cell may temporarily block the optical path by polarization rotation in response to the supply of the first pulse Pulse1 and the second pulse Pulse2. Accordingly, the optical shutter unit 530 may output a pulse laser.
  • optical shutter unit 530 includes the Q-switching unit, the optical shutter unit 530 is not limited thereto. It may be applied to the unit 530.
  • the first power cell 100 supplies the first power source V O1 to one side of the optical shutter unit 530.
  • the second power cell 200 supplies a second power source V O2 having the same polarity as the first power source V O1 to the other side of the optical shutter unit 530.
  • the first pulse Pulse1 is supplied between the time points at which the first power cell 100 and the second power cell 200 supply the first power source V O1 and the second power source V O2
  • the second pulse Pulse2 is supplied between time points at which the first power cell 100 and the second power cell 200 stop supply of the first power source V O1 and the second power source V O2 .
  • the first power cell 100 is the first power supply (V O1 ) during the first supply stop period (P S-STOP1 ) continuous with the first supply period (P S1 ) for supplying the first power supply (V O1 ).
  • Supply can be stopped.
  • the second power cell 200 may have a second supply stop period P S- STOP2 which is continuous with the second supply period P S2 that supplies the second power source V O2 within the first supply period P S1 . ), The supply of the second power supply V O2 may be stopped.
  • the first supply stop period P S-STOP1 may be within the second supply stop period P S-STOP2 .
  • a first supply period (P S1) and the second supply period (P S2) starts the first pulse (Pulse1) between the point in time is supplied to the first supply period (P S1) and the second supply period (P S2) of The second pulse Pulse2 may be supplied between the end time points of.
  • the width w of the first pulse Pulse1 and the width w of the second pulse Pulse2 may be equal to each other.
  • the sum of the first supply period P S1 and the first supply stop period P S- STOP1 and the sum of the second supply period P S2 and the second supply stop period P S-STOP2 are supply cycles.
  • the same as T S and a time difference between the start points of supply of the first pulse Pulse 1 and the second pulse Pulse 2 may be smaller than the supply period T S.
  • the size of the first power source V O1 and the size of the second power source V O2 may be the same, and the switches included in the first power cell 100 and the second power cell 200 may be MOSFET switches. .
  • the n first power cells 100 are connected in series to each other to supply n times the first power source V O1 to one end of the pumping source part, and the n second power cells 200 are connected to each other in series. N times the second power supply V O2 may be supplied to the other side of the pumping source portion.
  • the present invention relates to a power supply and a laser device comprising the same.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Charge And Discharge Circuits For Batteries Or The Like (AREA)

Abstract

본 발명의 실시예에 따른 전원공급장치는 부하의 한쪽 단에 제1 전원을 제1 공급 기간 동안 공급하고, 상기 제1 공급 기간과 연속되는 제1 공급중지 기간 동안 상기 제1 전원의 공급을 중지하는 제1 파워 셀; 상기 부하의 다른 쪽 단에 상기 제1 전원과 동일한 극성을 지닌 제2 전원을 상기 제1 공급 기간 내의 제2 공급 기간 동안 공급하고, 상기 제1 공급중지 기간을 포함하며 상기 제2 공급 기간과 연속되는 제2 공급중지 기간 동안 상기 제2 전원의 공급을 중지하는 제2 파워 셀; 1차측 전압에서 변압된 2차측 전압에 따른 제1 충전부의 충전에 따라 상기 부하에 상기 제1 전원의 공급 및 중지를 수행하는 상기 제1 파워 셀의 스위치들을 구동하는 제1 스위치 드라이빙부; 및 1차측 전압에서 변압된 2차측 전압에 따른 제2 충전부의 충전에 따라 상기 부하에 상기 제2 전원의 공급 및 중지를 수행하는 상기 제2 파워 셀의 스위치들을 구동하는 제2 스위치 드라이빙부를 포함한다.

Description

[규칙 제26조에 의한 보정 19.09.2017]　전원공급장치 및 이를 포함하는 레이저 장치
본 발명은 전원공급장치 및 이를 포함하는 레이저 장치에 관한 것이다.
고전압 펄스 발생 회로는 각종 시험장비나 플라즈마 발생장치(PSII 등), 펄스 레이저 장치와 같이 고전압을 필요로 하는 부하 장치로 펄스 전원을 공급할 수 있다.
일반적인 고전압 펄스 발생 회로는 펄스 폭의 조절이 어렵고 펄스 반복률을 높이는데 한계가 있을 뿐만 아니라 펄스의 빠른 상승 시간을 얻는 데에 어려움이 있다.
이를 해결하기 위하여 스파크 갭 스위치 대신 IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)를 사용하고자 하는 노력이 있어 왔다.
하나의 IGBT를 사용하는 것이 아니라 전압 정격에 견딜 수 있도록 원하는 만큼의 복수개 IGBT들을 직렬로 연결하여 이들을 동시에 턴 온/오프하는 방법이 사용될 수 있다.
본원 출원인은 반도체 스위치를 이용한 새로운 형태의 펄스 전원 시스템을 특허 출원한 바 있다(한국등록특허 제0820171호).
아울러 펄스의 상승 시간 및 하강 시간 및 펄스폭을 줄이고, 반복율을 높이기 위한 전원공급장치에 대한 연구가 진행되고 있다.
본 발명의 실시예에 따른 전원공급장치는 펄스의 상승 시간 및 하강 시간 및 펄스폭을 줄이고, 반복율을 높이기 위한 것이다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 전원공급장치는 간단한 구조로 상보적 스위칭 동작을 제공하기 위한 것이다.
본 출원의 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 과제는 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일측면에 따르면, 부하의 한쪽 단에 제1 전원을 공급하는 제1 파워 셀; 및 상기 부하의 다른 쪽 단에 상기 제1 전원과 동일한 극성을 지닌 제2 전원을 공급하는 제2 파워 셀을 포함하며, 상기 제1 파워 셀은 제1 공급 기간 동안 상기 제1 전원을 공급하고, 상기 제2 파워 셀은 상기 제1 공급 기간 내의 제2 공급 기간 동안 상기 제2 전원을 공급하는 전원공급장치가 제공된다.
상기 제1 파워 셀은 상기 제1 공급 기간과 연속되는 제1 공급중지 기간 동안 상기 제1 전원의 공급을 중지하고, 상기 제2 파워 셀은 상기 제2 공급 기간과 연속되는 제2 공급중지 기간 동안 상기 제2 전원의 공급을 중지하며, 상기 제1 공급중지 기간은 상기 제2 공급중지 기간 내에 있을 수 있다.
상기 제1 공급 기간 및 상기 제2 공급 기간의 시작 시점들 사이의 제1 시간차이와 상기 제1 공급 기간 및 상기 제2 공급 기간의 종료 시점들 사이의 제2 시간차이는 서로 같을 수 있다.
상기 제1 공급 기간 및 상기 제2 공급 기간의 시작 시점들 사이의 제1 시간차이 동안에 제1 펄스가 상기 부하에 공급되고, 상기 제1 공급 기간 및 상기 제2 공급 기간의 종료 시점들 사이의 제2 시간차이 동안 상기 부하에 제2 펄스가 공급될 수 있다.
상기 제1 공급 기간 및 상기 제1 공급중지 기간의 합과 상기 제2 공급 기간 및 상기 제2 공급중지 기간의 합은 공급주기로 동일하고, 상기 제1 펄스 및 상기 제2 펄스의 공급시작시점들 사이의 시간차이는 상기 공급주기보다 작을 수 있다.
상기 제1 전원의 크기와 상기 제2 전원의 크기는 서로 같을 수 있다.
상기 제1 파워 셀과 상기 제2 파워 셀에 포함된 스위치들은 MOSFET 스위치일 수 있다.
n 개의 상기 제1 파워 셀이 서로 직렬로 연결되어 상기 제1 전원의 n 배를 상기 부하의 한쪽 단에 공급하고, n 개의 상기 제2 파워 셀이 서로 직렬로 연결되어 상기 제2 전원의 n 배를 상기 부하의 다른 쪽에 공급할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 펌핑 에너지의 공급에 따라 유도방출된 레이저를 생성하는 생성하는 이득 매질; 및 전원공급장치로부터 제1 펄스 및 제2 펄스를 공급받아 상기 레이저의 방출을 제어하여 펄스 레이저를 출력하는 광 셔터부를 포함하며, 상기 전원공급장치는, 상기 광 셔터부의 일측에 제1 전원을 공급하는 제1 파워 셀; 및 상기 광 셔터부의 타측에 상기 제1 전원과 동일한 극성을 지닌 제2 전원을 공급하는 제2 파워 셀을 포함하며, 상기 제1 펄스는 상기 제1 파워 셀 및 상기 제2 파워 셀이 상기 제1 전원 및 상기 제2 전원을 공급하는 시점들 사이에 공급되고, 상기 제2 펄스는 상기 제1 파워 셀 및 상기 제2 파워 셀이 상기 제1 전원 및 상기 제2 전원의 공급을 중지하는 시점들 사이에 공급될 수 있다.
상기 제1 파워 셀은, 상기 제1 전원을 공급하는 제1 공급 기간과 연속되는 제1 공급중지 기간 동안 상기 제1 전원의 공급을 중지하고, 상기 제2 파워 셀은, 상기 제1 공급 기간 내에서 상기 제2 전원을 공급하는 제2 공급 기간과 연속되는 제2 공급중지 기간 동안 상기 제2 전원의 공급을 중지할 수 있다.
상기 제1 공급중지 기간은 상기 제2 공급중지 기간 내에 있을 수 있다.
상기 제1 공급 기간 및 상기 제2 공급 기간의 시작 시점들 사이에서 상기 제1 펄스가 공급되고, 상기 제1 공급 기간 및 상기 제2 공급 기간의 종료 시점들 사이에서 상기 제2 펄스가 공급되며, 상기 제1 펄스의 폭과 상기 제2 펄스의 폭은 서로 같을 수 있다.
상기 제1 공급 기간 및 상기 제1 공급중지 기간의 합과 상기 제2 공급 기간 및 상기 제2 공급중지 기간의 합은 공급주기로 동일하고, 상기 제1 펄스 및 상기 제2 펄스의 공급시작시점들 사이의 시간차이는 상기 공급주기보다 작을 수 있다.
상기 제1 전원의 크기와 상기 제2 전원의 크기는 서로 같을 수 있다.
상기 제1 파워 셀과 상기 제2 파워 셀에 포함된 스위치들은 MOSFET 스위치일 수 있다.
n 개의 상기 제1 파워 셀이 서로 직렬로 연결되어 상기 제1 전원의 n 배를 상기 광 셔터부의 일측에 공급하고, n 개의 상기 제2 파워 셀이 서로 직렬로 연결되어 상기 제2 전원의 n 배를 상기 광 셔터부의 타측에 공급할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 부하의 한쪽 단에 제1 전원을 제1 공급 기간 동안 공급하고, 상기 제1 공급 기간과 연속되는 제1 공급중지 기간 동안 상기 제1 전원의 공급을 중지하는 제1 파워 셀; 상기 부하의 다른 쪽 단에 상기 제1 전원과 동일한 극성을 지닌 제2 전원을 상기 제1 공급 기간 내의 제2 공급 기간 동안 공급하고, 상기 제1 공급중지 기간을 포함하며 상기 제2 공급 기간과 연속되는 제2 공급중지 기간 동안 상기 제2 전원의 공급을 중지하는 제2 파워 셀; 1차측 전압에서 변압된 2차측 전압에 따른 제1 충전부의 충전에 따라 상기 부하에 상기 제1 전원의 공급 및 중지를 수행하는 상기 제1 파워 셀의 스위치들을 구동하는 제1 스위치 드라이빙부; 및 1차측 전압에서 변압된 2차측 전압에 따른 제2 충전부의 충전에 따라 상기 부하에 상기 제2 전원의 공급 및 중지를 수행하는 상기 제2 파워 셀의 스위치들을 구동하는 제2 스위치 드라이빙부를 포함하는 전원공급장치가 제공된다.
상기 제1 충전부는, 상기 1차측 전압의 극성과 다른 상기 2차측 전압의 공급에 따라 제1 스위치 턴온 전압을 인가하여 상기 제1 파워 셀이 상기 제1 전원을 공급하도록 하는 제1 용량성 소자와, 상기 1차측 전압의 극성과 같은 상기 2차측 전압의 공급에 따라 제2 스위치 턴온 전압을 인가하여 상기 제1 파워 셀이 상기 제1 전원의 공급을 중지하도록 하는 제2 용량성 소자를 포함할 수 있다.
상기 제1 스위치 드라이빙부는 상기 1차측 전압을 공급받는 1차측 코일과, 상기 1차측 코일과 코어에 의하여 자기적으로 결합되는 복수의 2차측 코일을 포함하는 제1 변압기를 포함할 수 있다.
상기 복수의 2차측 코일 중 일부의 변압기 극성과 상기 복수의 2차측 코일 중 나머지 변압기 극성은 서로 다를 수 있다.
상기 제2 충전부는, 상기 1차측 전압의 극성과 다른 상기 2차측 전압의 공급에 따라 제3 스위치 턴온 전압을 인가하여 상기 제2 파워 셀이 상기 제2 전원을 공급하도록 하는 제3 용량성 소자와, 상기 1차측 전압의 극성과 같은 상기 2차측 전압의 공급에 따라 제4 스위치 턴온 전압을 인가하여 상기 제2 파워 셀이 상기 제2 전원의 공급을 중지하도록 하는 제4 용량성 소자를 포함할 수 있다.
상기 제2 스위치 드라이빙부는 상기 1차측 전압을 공급받는 1차측 코일과, 상기 1차측 코일과 코어에 의하여 자기적으로 결합되는 복수의 2차측 코일을 포함하는 제2 변압기를 포함할 수 있다.
상기 복수의 2차측 코일 중 일부의 변압기 극성과 상기 복수의 2차측 코일 중 나머지 변압기 극성은 서로 다를 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 전원공급장치는 부하에 양측에 연결된 제1 파워 셀 및 제2 파워 셀을 통하여 펄스의 상승 시간 및 하강 시간 및 펄스폭을 줄이고, 반복율을 높일 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 전원공급장치는 별도의 절연 전원이 필요 없어 전원공급장치의 구조가 간단하며, 별도의 동기를 위한 회로 없이 스위치를 상보적으로 구동할 수 있다.
본 출원의 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 효과는 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 전원공급장치를 나타낸다.
도 2는 도 1의 전원공급장치의 동작을 위한 타이밍 차트를 나타낸다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 전원공급장치의 변형예를 나타낸다.
도 4 및 도 5는 제1 스위치 드라이빙부 및 제2 스위치 드라이빙부의 회로도이다.
도 6은 1차측 전압에 따른 스위치의 동작을 나타낸다.
도 7 및 도 8은 제1 파워 셀 및 제2 파워 셀의 제1 스위치 내지 제8 스위치를 구동하기 위한 제1 스위치 드라이빙부 및 제2 스위치 드라이빙부를 나타낸다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 레이저 장치를 나타낸다.
이하 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 다만, 첨부된 도면은 본 발명의 내용을 보다 쉽게 개시하기 위하여 설명되는 것일 뿐, 본 발명의 범위가 첨부된 도면의 범위로 한정되는 것이 아님은 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 알 수 있을 것이다.
또한, 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다음으로 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 전원공급장치에 대해 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 전원공급장치를 나타낸다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 전원공급장치는 제1 파워 셀(power cell)(100) 및 제2 파워 셀(200)를 포함할 수 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 전원공급장치는 부하에 양측에 연결된 제1 파워 셀 및 제2 파워 셀을 통하여 펄스의 상승 시간 및 하강 시간 및 펄스폭을 줄이고, 반복율을 높일 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 전원공급장치는 제1 파워 셀(power cell)(100), 제2 파워 셀(200) 및 제1 스위치 드라이빙부(300) 및 제2 스위치 드라이빙부(400)를 포함할 수 있다.
따라서, 별도의 절연 전원이 필요 없어 전원공급장치의 구조가 간단하며, 별도의 동기를 위한 회로 없이 스위치를 상보적으로 구동할 수 있다.
제1 파워 셀(power cell)(100) 및 제2 파워 셀(200)에 대해 먼저 설명한 후 스위치 드라이빙부(300, 400)에 대하여 설명하도록 한다.
제1 파워 셀(100)은 부하의 한쪽 단에 제1 전원(VO1)을 공급한다. 또한 제2 파워 셀(200)은 부하의 다른 쪽 단에 제1 전원(VO1)과 동일한 극성을 지닌 제2 전원(VO2)을 공급한다. 예를 들어, 부하의 한쪽 단에 +VO1이 공급되고, 부하의 다른쪽 단에 +VO2가 공급될 수 있다. 이에 따라 부하에 인가되는 부하 전압( VL)은 제1 전원(VO1)과 제2 전원(VO2)의 차이가 된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 제1 파워 셀(100)은 제1 스위치(M1) 내지 제4 스위치(M4)를 포함할 수 있다. 제1 스위치(M1)의 한쪽 단은 부하의 한쪽 단과 연결될 수 있다.
제1 스위치(M1)와 제2 스위치(M2) 사이에는 제1 셀 전원(VCELL1)과 제2 셀 전원(VCELL2)이 배치될 수 있다. 이 때 제1 셀 전원(VCELL1)과 제2 셀 전원(VCELL2)의 크기는 0.5VS로 서로 같을 수 있다.
제1 셀 전원(VCELL1)의 한쪽 단과 다른쪽 단은 각각 제1 스위치(M1)의 다른쪽 단 및 제2 셀 전원(VCELL2)의 한쪽 단과 연결될 수 있다. 또한 제2 셀 전원(VCELL2)의 다른 쪽 단은 제2 스위치(M2)의 한쪽 단과 연결될 수 있다.
제3 스위치(M3)의 한쪽 단은 제1 스위치(M1)와 부하의 공통 노드에 연결될 수 있다. 또한 제3 스위치(M3)의 다른쪽 단은 제4 스위치(M4)의 한쪽 단과 연결될 수 있다.
이 때 제1 셀 전원(VCELL1)과 제2 셀 전원(VCELL2)의 공통 노드는 제3 스위치(M3)와 제4 스위치(M4)의 공통 노드와 연결될 수 있다.
이상의 설명에서 제1 셀 전원(VCELL1) 및 제2 셀 전원(VCELL2)의 한쪽 단은 포지티브 극성일 수 있고, 제1 셀 전원(VCELL1) 및 제2 셀 전원(VCELL2)의 다른쪽 단은 네거티브 극성일 수 있다.
한편, 제2 파워 셀(200)은 제5 스위치(M5) 내지 제8 스위치(M8)를 포함할 수 있다. 제5 스위치(M5)의 한쪽 단은 부하의 다른쪽 단과 연결될 수 있다.
제5 스위치(M5)와 제6 스위치(M6) 사이에는 제3 셀 전원(VCELL3)과 제4 셀 전원(VCELL4)이 배치될 수 있다. 이 때 제3 셀 전원(VCELL3)과 제4 셀 전원(VCELL4)의 크기 역시 0.5VS로 서로 같을 수 있다.
제3 셀 전원(VCELL3)의 한쪽 단과 다른쪽 단은 각각 제5 스위치(M5)의 다른쪽 단 및 제4 셀 전원(VCELL4)의 한쪽 단과 연결될 수 있다. 또한 제4 셀 전원(VCELL4)의 다른 쪽 단은 제6 스위치(M6)의 한쪽 단과 연결될 수 있다.
제7 스위치(M7)의 한쪽 단은 제5 스위치(M5)와 부하의 공통 노드에 연결될 수 있다. 또한 제7 스위치(M7)의 다른쪽 단은 제8 스위치(M8)의 한쪽 단과 연결될 수 있다.
이 때 제3 셀 전원(VCELL3)과 제4 셀 전원(VCELL4)의 공통 노드는 제7 스위치(M7)와 제8 스위치(M8)의 공통 노드와 연결될 수 있다. 이상의 설명에서 제3 셀 전원(VCELL3) 및 제4 셀 전원(VCELL4)의 한쪽 단은 포지티브 극성일 수 있고, 제3 셀 전원(VCELL3) 및 제4 셀 전원(VCELL4)의 다른쪽 단은 네거티브 극성일 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 이와 같은 제1 파워 셀(100)은 제1 공급 기간(PS1) 동안 제1 전원(VO1)을 공급한다. 또한 제2 파워 셀(200)은 제1 공급 기간(PS1) 내의 제2 공급 기간(PS2) 동안 제2 전원(VO2)을 공급한다.
즉, 제1 공급 기간(PS1)에 제1 스위치(M1) 및 제2 스위치(M2)가 턴온되고 제3 스위치(M3) 및 제4 스위치(M4)는 턴오프되어 제1 전원(VO1)이 부하의 한쪽 단에 공급된다. 이 때 제1 전원(VO1)은 제1 셀 전원(VCELL1)과 제2 셀 전원(VCELL2)의 합인 VS일 수 있다.
또한 제2 공급 기간(PS2)에 제5 스위치(M5)와 제6 스위치(M6)가 턴온되고 제7 스위치(M7) 및 제8 스위치(M8)는 턴오프되어 제2 전원(VO2)이 부하의 다른쪽 단에 공급된다. 이 때 제2 전원(VO2) 역시 제3 셀 전원(VCELL3)과 제4 셀 전원(VCELL4)의 합인 VS일 수 있다.
이 때 도 2에 도시된 바와 같이, 제2 공급 기간(PS2)이 제1 공급 기간(PS1) 내에 있으므로 제1 공급 기간(PS1)은 제2 공급 기간(PS2)과 중첩되는 기간과 제2 공급 기간(PS2)과 중첩되지 않는 기간을 포함할 수 있다.
상기 중첩되는 기간에서는 부하의 한쪽 단과 다른쪽 단에 동시에 VS가 공급되므로 부하의 양단 사이의 전압, 즉 부하 전압(VL)은 0이 된다. 이와 다르게 상기 중첩되지 않는 기간에서는 부하의 다른쪽 단에 제2 전원(VO2)의 공급이 중지되므로 부하 전압(VL)은 VS가 된다. 이에 따라 펄스폭(w)를 지닌 펄스가 부하에 공급될 수 있다.
본 발명의 실시예와 다르게 하나의 파워 셀만을 사용하게 될 경우 반도체 소자의 응답특성의 한계로 인해 펄스폭(w)을 좁게 가져가는 것이 어려울 수 있다.
이와 다르게 본 발명의 실시예에서와 같이, 제1 파워 셀(100)과 제2 파워 셀(200)을 사용하면 각각의 파워 셀의 펄스폭은 넓게 가져가면서 두 개의 파워 셀 사이의 전압차가 부하에 인가되므로 펄스폭(w) 단축 한계를 극복할 수 있다.
한편, 제1 파워 셀(100)은 제1 공급 기간(PS1)과 연속되는 제1 공급중지 기간(PS- STOP1) 동안 제1 전원(VO1)의 공급을 중지하고, 제2 파워 셀(200)은 제2 공급 기간(PS2)과 연속되는 제2 공급중지 기간(PS- STOP2) 동안 제2 전원(VO2)의 공급을 중지할 수 있다.
제1 공급중지 기간(PS- STOP1)에서는 제1 스위치(M1) 및 제2 스위치(M2)가 턴오프되고 제3 스위치(M3) 및 제4 스위치(M4)가 턴온될 수 있다. 이에 따라 제1 전원(VO1)의 공급이 중지된다.
제2 공급중지 기간(PS- STOP2)에서는 제5 스위치(M5) 및 제6 스위치(M6)가 턴오프되고 제7 스위치(M7) 및 제8 스위치(M8)가 턴온될 수 있다. 이에 따라 제2 전원(VO2)의 공급이 중지된다.
이 때 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 공급중지 기간(PS- STOP1)은 제2 공급중지 기간(PS- STOP2) 내에 있을 수 있다. 이에 따라 제1 공급중지 기간(PS- STOP1)과 제2 공급중지 기간(PS- STOP2)이 중첩되는 시간 동안에는 제1 전원(VO1)과 제2 전원(VO2)이 부하에 공급되지 않으므로 부하 전압(VL)은 0이 된다.
이와 다르게 제1 공급중지 기간(PS- STOP1)과 제2 공급중지 기간(PS- STOP2)이 중첩되지 않는 시간 동안에는 제1 스위치(M1) 및 제2 스위치(M2)의 턴온으로 인하여 제1 전원(VO1)이 부하에 공급되고, 제2 전원(VO2)은 공급되지 않으므로 부하에 펄스가 공급될 수 있다.
한편, 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 공급 기간(PS1) 및 제2 공급 기간(PS2)의 시작 시점들 사이의 제1 시간차이(TD1)와 제1 공급 기간(PS1) 및 제2 공급 기간(PS2)의 종료 시점들 사이의 제2 시간차이(TD2)는 서로 같을 수 있다.
이와 같은 제1 시간차이(TD1)와 제2 시간차이(TD2)는 부하에 공급되는 펄스들의 펄스폭(w)을 형성하며, 제1 시간차이(TD1)와 제2 시간차이(TD2)가 동일하므로 펄스들의 펄스폭(w)은 서로 같을 수 있다.
이 때 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 시간차이(TD1) 동안에 제1 펄스(Pulse1)가 부하에 공급되고, 제2 시간차이(TD2) 동안 부하에 제2 펄스(Pulse2)가 공급될 수 있다.
이때, 제1 공급 기간(PS1)이 제2 공급 기간(PS2)보다 길고, 제1 공급 기간(PS1) 내에 제2 공급 기간(PS2)이 포함될 수 있다. 제1 펄스(Pulse1)는 제1 공급 기간(PS1)와 제2 공급 기간(PS2)의 시작 시점의 차이에 의하여 생성될 수 있다. 또한, 제2 펄스(Pulse2)는 제1 공급 기간(PS1)와 제2 공급 기간(PS2)의 종료 시점의 차이에 의하여 생성될 수 있다.
따라서, 제1 공급 기간(PS1)와 제2 공급 기간(PS2)의 차이를 일정하게 유지하고, 제1 공급 기간(PS1)와 제2 공급 기간(PS2)의 시작 시점의 차이와 제1 공급 기간(PS1)와 제2 공급 기간(PS2)의 종료 시점의 차이를 동일하게 유지함으로써, 일정한 펄스폭 및 간격을 갖는 제1 펄스(Pulse1) 및 제2 펄스(Pulse2)가 부하(VL)에 인가될 수 있다.
한편, 제1 공급 기간(PS1) 및 제1 공급중지 기간(PS- STOP1)의 합과 제2 공급 기간(PS2) 및 제2 공급중지 기간(PS-STOP2)의 합은 공급주기(TS)로 동일할 수 있다.
이 때 제1 펄스(Pulse1) 및 제2 펄스(Pulse2)의 공급시작시점들 사이의 시간차이는 공급주기(TS)보다 작을 수 있다. 제1 펄스(Pulse1) 및 제2 펄스(Pulse2)의 공급시작시점들 사이의 시간차이는 부하에 펄스들이 공급되는 펄스공급주기(0.5TS)일 수 있다.
이와 같이 공급주기(TS)보다 펄스공급주기(0.5TS)가 작으므로 펄스의 반복율은 증가할 수 있다. 즉, 공급주기(TS)에 대한 주파수는 1/TS이고, 펄스의 반복율은 1/(0.5TS)이므로 공급주기(TS)의 주파수에 비하여 2배의 펄스 반복율을 얻을 수 있다.
이상에서 제1 전원(VO1)의 크기와 제2 전원(VO2)의 크기는 서로 같을 수 있다. 이에 따라 제1 전원(VO1) 및 제2 전원(VO2)이 동시에 공급될 때 부하 전압(VL)은 0이 될 수 있다. 즉, 제1 펄스(Pulse1)와 제2 펄스(Pulse2) 사이의 부하 전압(VL)은 0이 될 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 제1 파워 셀(100)과 제2 파워 셀(200)에 포함된 스위치들은 MOSFET 스위치일 수 있다. 즉, 제1 파워 셀(100)의 제1 내지 제4 스위치(M4)와, 제2 파워 셀(200)의 제5 내지 제8 스위치(M8)는 MOSFET(Metal Oxide Silicon Field Effect transistor) 스위치일 수 있다. MOSFET 스위치는 IGBT에 비하여 펄스의 상승 시간 및 하강 시간을 줄일 수 있다.
다만, 본 발명은 이에 한정되지 아니하고, 스위칭 소자로서 MOSFET 이외의 다양한 스위칭 소자가 사용될 수도 있다. 이때, 스위칭 소자는 양극성 접합 트랜지스터(BJT), 전계효과 트랜지스터(FET), 단접합 트랜지스터(UJT), 금속산화막반도체 전계효과 트랜지스터(MOSFET), 절 연게이트 양극성 트랜지스터(IGBT)를 포함한 다양한 스위칭 소자들 중 적어도 어느 하나가 될 수 있다.
한편, n 개의 제1 파워 셀(100)이 서로 직렬로 연결되어 제1 전원(VO1)의 n 배를 부하의 한쪽 단에 공급하고, n 개의 제2 파워 셀(200)이 서로 직렬로 연결되어 제2 전원(VO2)의 n 배를 부하의 다른 쪽에 공급할 수 있다.
이 때 제1 파워 셀(100) 및 제2 파워 셀(200) 각각의 스위칭은 도 2의 타이밍에 따라 동시에 이루어질 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, n 개의 제1 파워 셀(100)이 서로 직렬 연결되고, 하나의 제1 파워 셀(100)이 제1 전원(VO1)을 공급하므로 n 개의 제1 파워 셀(100)은 n*VS의 전압을 부하 한쪽 단에 공급할 수 있다.
마찬가지로 n 개의 제2 파워 셀(200)이 서로 직렬 연결되고, 하나의 제2 파워 셀(200)이 제2 전원(VO2)을 공급하므로 n 개의 제2 파워 셀(200)은 n*VS의 전압을 부하 다른쪽 단에 공급할 수 있다.
이에 따라 부하에 공급되는 제1 펄스(Pulse1)와 제2 펄스(Pulse2)의 전압크기는 n*VS 가 되므로 고전압 펄스가 필요한 부하에 대응할 수 있다.
다음으로 도면을 참조하여 제1 스위치 드라이빙부(300) 및 제2 스위치 드라이빙부(400)에 대해 설명한다.
도 4는 제1 스위치 드라이빙부(300) 및 제2 스위치 드라이빙부(400)의 회로도이다. 제1 스위치 드라이빙부(300)가 포함하는 스위치들의 턴온 및 턴오프 타이밍과 제2 스위치 드라이빙부(400)가 포함하는 스위치들의 턴온 및 턴오프 타이밍이 다를 뿐 서로 같은 회로 구성을 지님으로 제1 스위치 드라이빙부(300)에 대해 먼저 설명하도록 한다.
또한 제1 스위치(M1)와 제2 스위치(M2)는 서로 동일한 구성의 스위치 드라이빙 회로들을 통하여 드라이빙되고, 제3 스위치(M3)와 제4 스위치(M4) 역시 서로 동일한 구성의 스위치 드라이빙 회로들을 통하여 드라이빙되므로 상보적으로 동작하는 제1 스위치(M1) 및 제3 스위치(M3)의 드라이빙을 통하여 제1 스위치 드라이빙부(300)의 동작을 설명하도록 한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 제1 스위치 드라이빙부(300)는 제1 변압기(310)를 포함할 수 있다. 제1 변압기(310)는 하나의 1차측 코일(L1)과 복수의 2차측 코일(L21, L22)을 포함할 수 있다.
이 때 1차측 코일(L1)과 복수의 2차측 코일(L21, L22)은 하나의 코어에 의하여 자기적 결합될 수 있다. 이에 따라 제1 스위치(M1) 및 제3 스위치(M3)를 구동하기 위하여 외부에서 전압 Vp를 입력받는 전압 입력부의 부피가 작아지고 구성이 간단해질 수 있어 제1 스위치 드라이빙부(300)의 부피 감소 및 간단한 구성이 가능하다.
제1 충전부(330)는 제1 용량성 소자(C1)와 제2 용량성 소자(C2)를 포함할 수 있다. 여기서, 제1 용량성 소자(C1)와 제2 용량성 소자(C2)는 각각 커패시터 소자로 이루어질 수 있으며, 제1 용량성 소자(C1)와 제2 용량성 소자(C2) 각각 제1 캐패시터(C1)와 제2 캐패시터(C2)가 될 수 있다.
제1 캐패시터(C1)는 1차측 전압의 극성과 다른 2차측 전압(V21)의 공급에 따라 제1 스위치 턴온 전압을 인가하여 제1 파워 셀이 제1 전원(VO1)을 공급하도록 할 수 있다. 예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이, 1차측 코일(L1)로 입력되는 전압 Vp가 양의 전압일 때 제3 스위치(M3) 및 제4 스위치(M4)를 구동하기 위한 2차측 코일(L22)은 1차측 코일(L1)과 동일한 극성이므로 제3 스위치(M3) 및 제4 스위치(M4)를 구동하기 위한 2차측 전압(V22)는 2차측 코일(L22)의 일단이 포지티브이고 타단이 네거티브인 전압일 수 있다. 이에 따라 다이오드 D2를 통해 제1 충전부(330)의 제2 캐패시터(C2)가 충전될 수 있다.
또한 제1 스위치(M1) 를 구동하기 위한 2차측 코일(L21)은 1차측 코일(L1)과 반대되는 극성이므로 제1 스위치(M1)와 제2 스위치(M2)를 구동하기 위한 2차측 전압(V21)은 2차측 코일(L21)의 일단이 네거티브이고 타단이 포지티브인 전압일 수 있다.
이와 같은 2차측 전압(V21, V22)의 공급에 따라 p 채널 FET(field effect transistor)인 스위치 Q1과 N 채널 FET인 스위치 Q4가 턴온되며, 제1 스위치(M1)의 게이트(gate) 단자 및 소스(source) 단자에는 제1 캐패시터(C1) 양단 전압인 제1 스위치 턴온 전압이 인가되어 제1 스위치(M1)이 턴온되고, 제3 스위치(M3)의 게이트 단자 및 소스 단자에는 영전압이 인가되어 제3 스위치(M3)가 턴오프될 수 있다. 이상에서 설명된 바와 같이 제1 스위치(M1) 와, 제3 스위치(M3) 는 상보적으로 동작함을 알 수 있다.
이와 같이 제1 캐패시터(C1) 양단 전압인 제1 스위치 턴온 전압에 따라 제1 스위치(M1) 가 턴온될 수 있다. 이 때 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 스위치(M1)를 구동하는 회로와 동일한 회로에 의하여 제2 스위치(M2)가 턴온되고, 제3 스위치(M3)를 구동하는 회로와 동일한 회로에 의하여 제4 스위치(M4)가 턴오프되므로 부하에 제1 전원(VO1)이 공급될 수 있다.
한편, 제2 캐패시터(C2)는 1차측 전압의 극성과 같은 2차측 전압의 공급에 따라 제2 스위치 턴온 전압을 인가하여 제1 파워 셀이 제1 전원(VO1)의 공급을 중지하도록 할 수 있다.
예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이, 1차측 코일(L1)로 입력되는 전압 Vp가 음의 전압일 때, 제1 스위치(M1) 를 구동하기 위한 2차측 코일(L21)은 1차측 코일(L1)과 반대 극성이므로 제1 스위치(M1) 를 구동하기 위한 2차측 전압(V21)은 2차측 코일(L21)의 일단이 포지티브이고 타단이 네거티브인 전압일 수 있다. 이에 따라 다이오드 D1의 애노드 단에 양의 전압이 인가되므로 다이오드 D1을 통해 제1 캐패시터(C1)가 충전될 수 있다.
또한 제3 스위치(M3) 를 구동하기 위한 2차측 코일(L22)은 1차측 코일(L1)과 동일한 극성이므로 제3 스위치(M3) 를 구동하기 위한 2차측 전압(V22)는 2차측 코일(L22)의 일단이 네거티브이고 타단은 포지티브인 전압일 수 있다.
이와 같은 2차측 전압(V21, V22)의 공급에 따라 n 채널 FET인 스위치 Q2와 p 채널 FET인 스위치 Q3가 턴온될 수 있다. 또한 제1 스위치(M1)의 게이트 단자 및 소스 단자에는 영전압이 제2 스위치 턴온 전압으로서 인가되어 제1 스위치(M1)이 턴오프되고, 제3 스위치(M3)의 게이트 단자 및 소스 단자에는 앞서 충전된 상태의 제2 캐패시터(C2) 양단 전압이 인가되어 제3 스위치(M3)가 턴온될 수 있다.
이에 따라 제1 스위치(M1) 와 제3 스위치(M3) 는 상보적으로 동작할 수 있다.
이와 같이 제2 캐패시터(C2) 양단 전압인 제2 스위치 턴온 전압에 따라 제3 스위치(M3)가 턴온될 수 있다. 이 때 도 7의 제4 스위치(M4) 역시 턴온되고, 상보적으로 동작하는 제1 스위치(M1) 및 제2 스위치(M2)는 턴오프되므로 부하에 제1 전원(VO1)의 공급이 중지될 수 있다.
한편, 도 6에 도시된 바와 같이, 이와 같이 제1 캐패시터(C1)와 제2 캐패시터(C2)에 저장된 에너지로 제1 스위치(M1) 및 제2 스위치(M2)와, 제3 스위치(M3) 및 제4 스위치(M4)를 각각 구동하므로 제1 내지 제4 스위치(M1~M4)를 구동하기 위한 별도의 절연 전원이 필요 없어 전원공급장치의 구조가 간단하며, 별도의 동기를 위한 회로 없이 제1 스위치(M1) 및 제2 스위치(M2)와, 제3 스위치(M3) 및 제4 스위치(M4)를 상보적으로 구동할 수 있다.
도 4에서 제1 캐패시터(C1)의 일단은 다이오드 D1의 캐소드, 저항 R4의 일단, 캐피시터 C13의 일단 및 스위치 Q1의 소스 단자에 연결될 수 있다. 제1 캐패시터(C1)의 타단은 2차측 코일(L21)의 타단, 저항 R2의 타단, 스위치 Q2의 소스 단자, 저항 R6의 타단, 제1 스위치(M1)의 소스 단자와 연결될 수 있다.
2차측 코일(L21)의 일단은 다이오드 D1의 애노드, 저항 R3의 일단 및 저항 R1의 일단과 연결되고, 저항 R3은 캐패시터 C12와 연결되고, 캐패시터 C12는 스위치 Q1의 게이트 단, 저항 R4의 타단 및 캐패시터 C13의 타단에 연결될 수 있다. 또한 저항 R1은 저항 R2의 일단 및 스위치 Q2의 게이트 단에 연결될 수 있다.
2차측 코일(L21)의 타단은 제1 캐패시터(C1)의 타단, 저항 R2의 타단, 스위치 Q2의 소스 단자, 저항 R6의 타단 및 제1 스위치(M1)의 소스 단자와 연결될 수 있다.
스위치 Q1과 스위치 Q2의 공통단은 저항 R5의 일단과 연결되고, 저항 R5의 타단은 저항 R6의 일단 및 제1 스위치(M1)의 게이트 단자와 연결될 수 있다.
한편, 제2 캐패시터(C2)의 일단은 다이오드 D2의 캐소드, 저항 R10의 일단, 캐피시터 C23의 일단 및 스위치 Q3의 소스 단자에 연결될 수 있다. 제2 캐패시터(C2)의 타단은 2차측 코일(L22)의 타단, 저항 R8의 타단, 스위치 Q4의 소스 단자, 저항 R12의 타단, 제3 스위치(M3)의 소스 단자와 연결될 수 있다.
2차측 코일(L22)의 일단은 다이오드 D2의 애노드, 저항 R7의 일단 및 저항 R8의 일단과 연결되고, 저항 R9은 캐패시터 C22와 연결되고, 캐패시터 C22는 스위치 Q3의 게이트 단, 저항 R10의 타단 및 캐패시터 C23의 타단에 연결될 수 있다. 또한 저항 R7은 저항 R8의 일단 및 스위치 Q4의 게이트 단에 연결될 수 있다.
2차측 코일(L22)의 타단은 제2 캐패시터(C2)의 타단, 저항 R8의 타단, 스위치 Q4의 소스 단자, 저항 R12의 타단 및 제3 스위치(M3)의 소스 단자와 연결될 수 있다.
스위치 Q3과 스위치 Q4의 공통단은 저항 R11의 일단과 연결되고, 저항 R11의 타단은 저항 R12의 일단 및 제3 스위치(M3)의 게이트 단자와 연결될 수 있다.
이와 같이 도 7의 제1 스위치 드라이빙부(300)는 1차측 전압에서 변압된 2차측 전압(V21, V22)에 따른 제1 충전부(330)의 충전에 따라 부하에 제1 전원(VO1)의 공급 및 중지를 수행하는 제1 파워 셀(100)의 스위치들(M1 내지 M4)을 구동한다.
앞서 설명된 바와 같이, 제1 스위치 드라이빙부(300)는 1차측 전압을 공급받는 1차측 코일(L1)과, 1차측 코일(L1)과 코어에 의하여 자기적으로 결합되는 복수의 2차측 코일(L21, L22)을 포함하는 제1 변압기(310)를 포함할 수 있다.
또한, 복수의 2차측 코일(L21, L22) 중 일부의 변압기 극성과 복수의 2차측 코일(L21, L22) 중 나머지 변압기 극성은 서로 다를 수 있다. 예를 들어, 도 4 및 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 스위치(M1) 내지 제4 스위치(M4)의 구동을 위하여 코어와 자기적으로 결합된 2차측 코일(L21, L22)은 4개일 수 있다.
이 때 제1 스위치(M1) 및 제2 스위치(M2)를 구동하기 위한 2차측 코일(L21)은 1차측 코일(L1)과 다른 극성을 지닐 수 있으며, 제3 스위치(M3) 및 제4 스위치(M4)를 구동하기 위한 2차측 코일(L22)은 1차측 코일(L1)과 동일한 극성을 지닐 수 있다.
다음으로 도 5 및 도 8의 제2 스위치 드라이빙부(400)에 대해 상세히 설명한다.
도 5 및 도 8의 제2 스위치 드라이빙부(400)는 1차측 전압에서 변압된 2차측 전압(V21, V22)에 따른 제2 충전부(430)의 충전에 따라 부하에 제2 전원(VO2)의 공급 및 중지를 수행하는 제2 파워 셀(200)의 스위치들(M5 내지 M8)을 구동한다.
도 5 및 도 8에 도시된 바와 같이, 제2 스위치 드라이빙부(400)의 회로 구성은 도 4 및 도 7의 제1 스위치 드라이빙부(300)와 동일하며, 제2 충전부(430)의 제1 캐패시터(C1)는 제5 스위치(M5)와 제6 스위치(M6)의 구동을 위한 것이고, 제2 충전부(430)의 제2 캐패시터(C2)는 제7 스위치(M7) 와 제8 스위치(M8)의 구동을 위한 것일 수 있다. 이에 따라 제5 스위치(M5) 및 제6 스위치(M6)와, 제7 스위치(M7) 및 제8 스위치(M8)가 상보적으로 동작할 수 있다.
도 5 및 도 8의 제2 충전부(430)는 제3 용량성 소자(C3)와 제4 용량성 소자(C4)를 포함할 수 있다. 여기서, 제3 용량성 소자(C3)와 제4 용량성 소자(C4)는 각각 커패시터 소자로 이루어질 수 있으며, 제3 용량성 소자(C3)와 제4 용량성 소자(C4) 각각 제3 캐패시터(C3)와 제4 캐패시터(C4)가 될 수 있다. 제3 캐패시터(C3)는 1차측 전압의 극성과 다른 2차측 전압의 공급에 따라 제3 스위치 턴온 전압을 인가하여 제2 파워 셀이 제2 전원(VO2)을 공급하도록 할 수 있다.
또한 제4 캐패시터(C4)는 1차측 전압의 극성과 같은 2차측 전압의 공급에 따라 제4 스위치 턴온 전압을 인가하여 제2 파워 셀이 제2 전원(VO2)의 공급을 중지하도록 할 수 있다.
제2 스위치 드라이빙부(400)는 1차측 전압을 공급받는 1차측 코일(L1)과, 1차측 코일(L1)과 코어에 의하여 자기적으로 결합되는 복수의 2차측 코일(L21, L22)을 포함하는 제2 변압기(410)를 포함할 수 있다.
복수의 2차측 코일(L21, L22) 중 일부의 변압기 극성과 복수의 2차측 코일(L21, L22) 중 나머지 변압기 극성은 서로 다를 수 있다.
앞서 언급된 바와 같이, 제2 스위치 드라이빙부(400)는 제1 스위치 드라이빙부(300)와 동일한 회로 구성을 가지면, 도 2의 타이밍 차트를 만족하도록 동작할 수 있다. 따라서 제2 스위치 드라이빙부(400)의 동작 및 구성에 대해서는 상세한 설명을 생략하도록 한다.
본 발명의 실시예에 따른 전원공급장치는 다양한 응용장치에 적용될 수 있으며, 아래에서는 본 발명의 실시예에 따른 전원공급장치를 포함하는 레이저 장치에 대해 도면을 참조하여 설명한다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 레이저 장치를 나타낸다. 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 레이저 장치는 이득 매질(510), 광 셔터(shutter)부(530), 및 전원공급장치(550)를 포함한다. 전원공급장치(550)에 대해서는 앞서 상세히 설명하였으므로 이에 대한 설명은 생략된다.
이득 매질(510)은 펌핑 에너지의 공급에 따라 유도방출된 레이저를 생성한다. 도면에서는 설명의 편의를 위하여 레이저 공진기를 구성하는 다양한 구성요소에 대해 도시되지 않았으며, 이와 같은 레이저 공진기의 구성은 통상의 기술자에게 일반적인 것이므로 이에 대한 설명은 생략된다.
광 셔터부(530)는 전원공급장치(550)로부터 제1 펄스(Pulse1) 및 제2 펄스(Pulse2)를 공급받아 레이저의 방출을 제어하여 펄스 레이저를 출력한다. 이 때 광 셔터부(530)는 Q-스위칭부를 포함할 수 있으며, Q-스위칭부는 포켈스 셀(pockels cell)을 포함할 수 있다. 포켈스 셀은 제1 펄스(Pulse1) 및 제2 펄스(Pulse2)의 공급에 따라 편광회전시켜 광로를 일시적으로 차단할 수 있다. 이에 따라 광 셔터부(530)는 펄스 레이저를 출력할 수 있다.
이상에서는 광 셔터부(530)가 Q-스위칭부를 포함하였으나 이에 한정되는 것은 아니며 제1 펄스(Pulse1) 및 제2 펄스(Pulse2)의 공급에 따라 레이저의 방출을 제어할 수 있는 구성이면 다양한 광 셔터부(530)에 적용될 수 있다.
제1 파워 셀(100)은 광 셔터부(530)의 일측에 제1 전원(VO1)을 공급한다. 또한 제2 파워 셀(200)은 광 셔터부(530)의 타측에 제1 전원(VO1)과 동일한 극성을 지닌 제2 전원(VO2)을 공급한다.
이 때 제1 펄스(Pulse1)는 제1 파워 셀(100) 및 제2 파워 셀(200)이 제1 전원(VO1) 및 제2 전원(VO2)을 공급하는 시점들 사이에 공급되고, 제2 펄스(Pulse2)는 제1 파워 셀(100) 및 제2 파워 셀(200)이 제1 전원(VO1) 및 제2 전원(VO2)의 공급을 중지하는 시점들 사이에 공급된다.
한편, 제1 파워 셀(100)은 제1 전원(VO1)을 공급하는 제1 공급 기간(PS1)과 연속되는 제1 공급중지 기간(PS-STOP1) 동안 제1 전원(VO1)의 공급을 중지할 수 있다. 또한 제2 파워 셀(200)은 제1 공급 기간(PS1) 내에서 제2 전원(VO2)을 공급하는 제2 공급 기간(PS2)과 연속되는 제2 공급중지 기간(PS- STOP2) 동안 제2 전원(VO2)의 공급을 중지할 수 있다.
이 때 제1 공급중지 기간(PS-STOP1)은 제2 공급중지 기간(PS-STOP2) 내에 있을 수 있다.
제1 공급 기간(PS1) 및 제2 공급 기간(PS2)의 시작 시점들 사이에서 제1 펄스(Pulse1)가 공급되고, 제1 공급 기간(PS1) 및 제2 공급 기간(PS2)의 종료 시점들 사이에서 제2 펄스(Pulse2)가 공급될 수 있다. 이 때 제1 펄스(Pulse1)의 폭(w)과 제2 펄스(Pulse2)의 폭(w)은 서로 같을 수 있다.
한편, 제1 공급 기간(PS1) 및 제1 공급중지 기간(PS- STOP1)의 합과 제2 공급 기간(PS2) 및 제2 공급중지 기간(PS-STOP2)의 합은 공급주기(TS)로 동일하고, 제1 펄스(Pulse1) 및 제2 펄스(Pulse2)의 공급시작시점들 사이의 시간차이는 공급주기(TS)보다 작을 수 있다.
제1 전원(VO1)의 크기와 제2 전원(VO2)의 크기는 서로 같을 수 있으며, 제1 파워 셀(100)과 제2 파워 셀(200)에 포함된 스위치들은 MOSFET 스위치일 수 있다.
n 개의 제1 파워 셀(100)이 서로 직렬로 연결되어 제1 전원(VO1)의 n 배를 펌핑 소스부의 한쪽 단에 공급하고, n 개의 제2 파워 셀(200)이 서로 직렬로 연결되어 제2 전원(VO2)의 n 배를 펌핑 소스부의 다른 쪽에 공급할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
본 발명은 전원공급장치 및 이를 포함하는 레이저 장치에 관한 것이다.

Claims (20)

  1. 부하의 한쪽 단에 제1 전원을 공급하는 제1 파워 셀; 및
    상기 부하의 다른 쪽 단에 상기 제1 전원과 동일한 극성을 지닌 제2 전원을 공급하는 제2 파워 셀을 포함하며,
    상기 제1 파워 셀은 제1 공급 기간 동안 상기 제1 전원을 공급하고,
    상기 제2 파워 셀은 상기 제1 공급 기간 내의 제2 공급 기간 동안 상기 제2 전원을 공급하는 것을 특징으로 하는 전원공급장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 파워 셀은 상기 제1 공급 기간과 연속되는 제1 공급중지 기간 동안 상기 제1 전원의 공급을 중지하고,
    상기 제2 파워 셀은 상기 제2 공급 기간과 연속되는 제2 공급중지 기간 동안 상기 제2 전원의 공급을 중지하며,
    상기 제1 공급중지 기간은 상기 제2 공급중지 기간 내에 있는 것을 특징으로 하는 전원공급장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 공급 기간 및 상기 제2 공급 기간의 시작 시점들 사이의 제1 시간차이와 상기 제1 공급 기간 및 상기 제2 공급 기간의 종료 시점들 사이의 제2 시간차이는 서로 같은 것을 특징으로 하는 전원공급장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제1 공급 기간 및 상기 제2 공급 기간의 시작 시점들 사이의 제1 시간차이 동안에 제1 펄스가 상기 부하에 공급되고,
    상기 제1 공급 기간 및 상기 제2 공급 기간의 종료 시점들 사이의 제2 시간차이 동안 상기 부하에 제2 펄스가 공급되는 것을 특징으로 하는 전원공급장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 공급 기간 및 상기 제1 공급중지 기간의 합과 상기 제2 공급 기간 및 상기 제2 공급중지 기간의 합은 공급주기로 동일하고,
    상기 제1 펄스 및 상기 제2 펄스의 공급시작시점들 사이의 시간차이는 상기 공급주기보다 작은 것을 특징으로 하는 전원공급장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 전원의 크기와 상기 제2 전원의 크기는 서로 같은 것을 특징으로 하는 전원공급장치.
  7. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 파워 셀과 상기 제2 파워 셀에 포함된 스위치들은 MOSFET 스위치인 것을 특징으로 하는 전원공급장치.
  8. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    n 개의 상기 제1 파워 셀이 서로 직렬로 연결되어 상기 제1 전원의 n 배를 상기 부하의 한쪽 단에 공급하고,
    n 개의 상기 제2 파워 셀이 서로 직렬로 연결되어 상기 제2 전원의 n 배를 상기 부하의 다른 쪽에 공급하는 것을 특징으로 하는 전원공급장치.
  9. 상기 펌핑 에너지의 공급에 따라 유도방출된 레이저를 생성하는 생성하는 이득 매질; 및
    전원공급장치로부터 제1 펄스 및 제2 펄스를 공급받아 상기 레이저의 방출을 제어하여 펄스 레이저를 출력하는 광 셔터부를 포함하며,
    상기 전원공급장치는,
    상기 광 셔터부의 일측에 제1 전원을 공급하는 제1 파워 셀; 및
    상기 광 셔터부의 타측에 상기 제1 전원과 동일한 극성을 지닌 제2 전원을 공급하는 제2 파워 셀을 포함하며,
    상기 제1 펄스는 상기 제1 파워 셀 및 상기 제2 파워 셀이 상기 제1 전원 및 상기 제2 전원을 공급하는 시점들 사이에 공급되고,
    상기 제2 펄스는 상기 제1 파워 셀 및 상기 제2 파워 셀이 상기 제1 전원 및 상기 제2 전원의 공급을 중지하는 시점들 사이에 공급되는 것을 특징으로 하는 레이저 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 파워 셀은,
    상기 제1 전원을 공급하는 제1 공급 기간과 연속되는 제1 공급중지 기간 동안 상기 제1 전원의 공급을 중지하고,
    상기 제2 파워 셀은,
    상기 제1 공급 기간 내에서 상기 제2 전원을 공급하는 제2 공급 기간과 연속되는 제2 공급중지 기간 동안 상기 제2 전원의 공급을 중지하는 것을 특징으로 하는 레이저 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제1 공급 기간 및 상기 제2 공급 기간의 시작 시점들 사이에서 상기 제1 펄스가 공급되고,
    상기 제1 공급 기간 및 상기 제2 공급 기간의 종료 시점들 사이에서 상기 제2 펄스가 공급되며,
    상기 제1 펄스의 폭과 상기 제2 펄스의 폭은 서로 같은 것을 특징으로 하는 레이저 장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 제1 공급 기간 및 상기 제1 공급중지 기간의 합과 상기 제2 공급 기간 및 상기 제2 공급중지 기간의 합은 공급주기로 동일하고,
    상기 제1 펄스 및 상기 제2 펄스의 공급시작시점들 사이의 시간차이는 상기 공급주기보다 작은 것을 특징으로 하는 레이저 장치.
  13. 제9항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    n 개의 상기 제1 파워 셀이 서로 직렬로 연결되어 상기 제1 전원의 n 배를 상기 광 셔터부의 일측에 공급하고,
    n 개의 상기 제2 파워 셀이 서로 직렬로 연결되어 상기 제2 전원의 n 배를 상기 광 셔터부의 타측에 공급하는 것을 특징으로 하는 레이저 장치.
  14. 부하의 한쪽 단에 제1 전원을 제1 공급 기간 동안 공급하고, 상기 제1 공급 기간과 연속되는 제1 공급중지 기간 동안 상기 제1 전원의 공급을 중지하는 제1 파워 셀;
    상기 부하의 다른 쪽 단에 상기 제1 전원과 동일한 극성을 지닌 제2 전원을 상기 제1 공급 기간 내의 제2 공급 기간 동안 공급하고, 상기 제1 공급중지 기간을 포함하며 상기 제2 공급 기간과 연속되는 제2 공급중지 기간 동안 상기 제2 전원의 공급을 중지하는 제2 파워 셀;
    1차측 전압에서 변압된 2차측 전압에 따른 제1 충전부의 충전에 따라 상기 부하에 상기 제1 전원의 공급 및 중지를 수행하는 상기 제1 파워 셀의 스위치들을 구동하는 제1 스위치 드라이빙부; 및
    1차측 전압에서 변압된 2차측 전압에 따른 제2 충전부의 충전에 따라 상기 부하에 상기 제2 전원의 공급 및 중지를 수행하는 상기 제2 파워 셀의 스위치들을 구동하는 제2 스위치 드라이빙부를 포함하는 전원공급장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 제1 충전부는,
    상기 1차측 전압의 극성과 다른 상기 2차측 전압의 공급에 따라 제1 스위치 턴온 전압을 인가하여 상기 제1 파워 셀이 상기 제1 전원을 공급하도록 하는 제1 용량성 소자와,
    상기 1차측 전압의 극성과 같은 상기 2차측 전압의 공급에 따라 제2 스위치 턴온 전압을 인가하여 상기 제1 파워 셀이 상기 제1 전원의 공급을 중지하도록 하는 제2 용량성 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 전원공급장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 제1 스위치 드라이빙부는
    상기 1차측 전압을 공급받는 1차측 코일과, 상기 1차측 코일과 코어에 의하여 자기적으로 결합되는 복수의 2차측 코일을 포함하는 제1 변압기를 포함하는 것을 특징으로 하는 전원공급장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 복수의 2차측 코일 중 일부의 변압기 극성과 상기 복수의 2차측 코일 중 나머지 변압기 극성은 서로 다른 것을 특징으로 하는 전원공급장치.
  18. 제14항에 있어서,
    상기 제2 충전부는,
    상기 1차측 전압의 극성과 다른 상기 2차측 전압의 공급에 따라 제3 스위치 턴온 전압을 인가하여 상기 제2 파워 셀이 상기 제2 전원을 공급하도록 하는 제3 용량성 소자와,
    상기 1차측 전압의 극성과 같은 상기 2차측 전압의 공급에 따라 제4 스위치 턴온 전압을 인가하여 상기 제2 파워 셀이 상기 제2 전원의 공급을 중지하도록 하는 제4 용량성 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 전원공급장치.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 제2 스위치 드라이빙부는
    상기 1차측 전압을 공급받는 1차측 코일과, 상기 1차측 코일과 코어에 의하여 자기적으로 결합되는 복수의 2차측 코일을 포함하는 제2 변압기를 포함하는 것을 특징으로 하는 전원공급장치.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 복수의 2차측 코일 중 일부의 변압기 극성과 상기 복수의 2차측 코일 중 나머지 변압기 극성은 서로 다른 것을 특징으로 하는 전원공급장치.
PCT/KR2017/007677 2016-07-19 2017-07-17 전원공급장치 및 이를 포함하는 레이저 장치 WO2018016832A1 (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2016-0091199 2016-07-19
KR1020160091199A KR20180009493A (ko) 2016-07-19 2016-07-19 전원공급장치 및 이를 포함하는 레이저 장치
KR10-2017-0052656 2017-04-25
KR1020170052656A KR20180119219A (ko) 2017-04-25 2017-04-25 전원공급장치 및 이를 포함하는 레이저 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2018016832A1 true WO2018016832A1 (ko) 2018-01-25

Family

ID=60992657

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KR2017/007677 WO2018016832A1 (ko) 2016-07-19 2017-07-17 전원공급장치 및 이를 포함하는 레이저 장치

Country Status (1)

Country Link
WO (1) WO2018016832A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109858084A (zh) * 2018-12-26 2019-06-07 广东电网有限责任公司电力科学研究院 一种功率边界数学模型的建立方法及装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010047855A (ko) * 1999-11-23 2001-06-15 윤문수 전원 출력 제어 장치 및 그를 이용한 펄스형 레이저 전원장치
JP2009171756A (ja) * 2008-01-17 2009-07-30 Gigaphoton Inc パルスレーザ用電源装置
JP2009182021A (ja) * 2008-01-29 2009-08-13 Gigaphoton Inc パルスレーザ用高圧電源の充電器の制御方法
KR20110008438A (ko) * 2009-07-20 2011-01-27 엘지이노텍 주식회사 전원 공급 장치
KR20130048196A (ko) * 2010-03-03 2013-05-09 소니 주식회사 전력 제어 장치, 전력 제어 방법 및 급전 시스템

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010047855A (ko) * 1999-11-23 2001-06-15 윤문수 전원 출력 제어 장치 및 그를 이용한 펄스형 레이저 전원장치
JP2009171756A (ja) * 2008-01-17 2009-07-30 Gigaphoton Inc パルスレーザ用電源装置
JP2009182021A (ja) * 2008-01-29 2009-08-13 Gigaphoton Inc パルスレーザ用高圧電源の充電器の制御方法
KR20110008438A (ko) * 2009-07-20 2011-01-27 엘지이노텍 주식회사 전원 공급 장치
KR20130048196A (ko) * 2010-03-03 2013-05-09 소니 주식회사 전력 제어 장치, 전력 제어 방법 및 급전 시스템

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109858084A (zh) * 2018-12-26 2019-06-07 广东电网有限责任公司电力科学研究院 一种功率边界数学模型的建立方法及装置
CN109858084B (zh) * 2018-12-26 2023-01-24 广东电网有限责任公司电力科学研究院 一种功率边界数学模型的建立方法及装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2017014487A1 (ko) 배터리 스택 밸런싱 장치
WO2013033929A1 (zh) Lcd驱动系统中的切角电路及lcd驱动系统
WO2018186573A1 (ko) 차량 구동용 전력 공급 시스템
WO2017075843A1 (zh) 一种扫描驱动装置
WO2018053957A1 (zh) 扫描驱动电路及显示装置
WO2016056768A1 (ko) 엘씨 공진을 이용한 배터리 셀 밸런싱 시스템 및 방법
WO2015182998A1 (ko) 시프트 회로, 시프트 레지스터 및 표시장치
WO2018097652A1 (ko) Dc-dc 전압 컨버터의 진단 시스템
WO2017124598A1 (zh) 一种栅极驱动电路及显示面板
WO2016076517A1 (ko) 전력변환부
WO2018016832A1 (ko) 전원공급장치 및 이를 포함하는 레이저 장치
WO2019078605A1 (ko) 게이트 구동회로 및 이를 포함하는 전력 스위치 제어장치
WO2019132373A1 (ko) 전기차용 파워 릴레이 어셈블리 및 그 구동 방법
WO2013033926A1 (zh) Lcd驱动系统中的切角电路及lcd驱动系统
WO2020105827A1 (ko) 전기 자동차의 동력 장치
WO2017014368A1 (ko) 펄스 전원 장치
WO2018044078A1 (ko) Dc-dc 전압 컨버터를 벅 동작 모드에서 안전 동작 모드로 전환하는 제어 시스템
WO2010056004A2 (ko) 엘이디 조명 및 램프의 효율적 구동을 위한 전류 발란스 회로
WO2023182749A1 (ko) 순차 독립 발전형 발전장치를 이용한 배터리 클러스터링 시스템
WO2016114415A1 (ko) 개선된 시간 응답 특성을 가지는 레벨 시프터 회로 및 그 제어 방법
WO2019117323A1 (ko) 영전압-영전류 직류 회로 차단기
WO2018117591A2 (ko) 진공 갭 스위치를 이용한 역전류 주입형 직류 전류 차단 장치 및 방법
WO2017135523A9 (ko) 대기 전력 제어 기능을 구비한 전원 공급 장치 및 그 전원 공급 방법
WO2019027191A1 (ko) Dc-dc 전압 컨버터를 벅 동작 모드에서 안전 동작 모드로 전환하는 제어 시스템
WO2024029949A1 (ko) 적응적으로 영전류를 검출하는 스위칭 레귤레이터 및 그 제어방법

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 17831305

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 17831305

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1