JP2009171756A - パルスレーザ用電源装置 - Google Patents
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Abstract
電源装置を共通化してパルスレーザの種類に関わりなく使用できるようにする。
【解決手段】
電源装置は記憶部と判定部と設定部を備える。パルスレーザ毎に予備充電電圧値は定められており、記憶部は、パルスレーザと予備充電電圧値とを対応させて記憶する。判定部は、電源装置の外部、例えばPPMが有する制御装置からその電源装置自身を搭載するパルスレーザの情報を取得する。この情報にはパルスレーザの種類や主コンデンサの容量やパルスレーザの機差情報等、パルスレーザ固有の情報が含まれる。判定部は、この情報を用いて電源装置自身を搭載するパルスレーザの種類を判定する。設定部は判定したパルスレーザに対応する予備充電電圧値を記憶部から読み出し設定する。電源装置は設定された予備充電電圧値にて各パルス間に主コンデンサの予備充電をする。
【選択図】 図3
Description
パルスレーザ1には、交流の電圧源2と、電圧源2から供給される交流電圧を平滑化し所望の電圧にする主回路31を備えたパルスレーザ用電源装置(以下、電源装置という)3と、電源装置3の主回路31によって充電される主コンデンサ41及び主コンデンサ41の充電エネルギーを順次後段の転送コンデンサに転送する磁気パルス圧縮回路42を備えたパルスパワーモジュール(以下、PPMという)4と、PPM4の磁気パルス圧縮回路42によって高電圧が印加されるピーキングコンデンサ51及び主放電電極52を備えたレーザチャンバモジュール5と、電源装置2に充電電圧指令を出力するパルスレーザ1のメインコントローラ6とが設けられる。
コンデンサに充電されたエネルギーを主放電電極間に供給することによって当該主放電電極間でパルス放電を発生させてレーザ光を出力するパルスレーザに搭載される電源装置であって、一旦予め設定された予備充電電圧値まで前記コンデンサを予備充電し、その後に所望の電圧値まで前記コンデンサを充電するようにしたパルスレーザ用電源装置において、
パルスレーザ毎に定められた予備充電電圧値を記憶する記憶部と、
搭載されるパルスレーザの情報を外部から取得し、取得した情報を用いて搭載されるパルスレーザの種類を判定する判定部と、
前記判定部で判定したパルスレーザに対応する予備充電電圧値を前記記憶部から読み出し、読み出した予備充電電圧値を設定する設定部と、を備え、
前記設定部で設定した予備充電電圧値で前記コンデンサを予備充電する
ことを特徴とする。
前記判定部は、前記パルスレーザ内の制御装置から前記情報を取得する
ことを特徴とする。
前記制御装置に前記情報を要求する要求部を備えた
ことを特徴とする。
前記記憶部は、パルスレーザ毎に定められた予備充電開始タイミングも記憶し、
前記設定部は、前記判定部で判定したパルスレーザに対応した予備充電開始タイミングを前記記憶部から読み出し、読み出した予備充電開始タイミングを設定し、
前記設定部で設定した予備充電開始タイミングで前記コンデンサの予備充電を開始する
ことを特徴とする。
31…主回路、32…コントローラ、33…記憶部、34…要求部、35…判定部、
36…設定部、41…主コンデンサ、42…磁気パルス圧縮回路、43…コントローラ、
45…情報記憶部
Claims (4)
- コンデンサに充電されたエネルギーを主放電電極間に供給することによって当該主放電電極間でパルス放電を発生させてレーザ光を出力するパルスレーザに搭載される電源装置であって、一旦予め設定された予備充電電圧値まで前記コンデンサを予備充電し、その後に所望の電圧値まで前記コンデンサを充電するようにしたパルスレーザ用電源装置において、
パルスレーザ毎に定められた予備充電電圧値を記憶する記憶部と、
搭載されるパルスレーザの情報を外部から取得し、取得した情報を用いて搭載されるパルスレーザの種類を判定する判定部と、
前記判定部で判定したパルスレーザに対応する予備充電電圧値を前記記憶部から読み出し、読み出した予備充電電圧値を設定する設定部と、を備え、
前記設定部で設定した予備充電電圧値で前記コンデンサを予備充電する
ことを特徴とするパルスレーザ用電源装置。 - 前記判定部は、前記パルスレーザ内の制御装置から前記情報を取得する
ことを特徴とする請求項1記載のパルスレーザ用電源装置。 - 前記制御装置に前記情報を要求する要求部を備えた
ことを特徴とする請求項2記載のパルスレーザ用電源装置。 - 前記記憶部は、パルスレーザ毎に定められた予備充電開始タイミングも記憶し、
前記設定部は、前記判定部で判定したパルスレーザに対応した予備充電開始タイミングを前記記憶部から読み出し、読み出した予備充電開始タイミングを設定し、
前記設定部で設定した予備充電開始タイミングで前記コンデンサの予備充電を開始する
ことを特徴とする請求項1記載のパルスレーザ用電源装置。
Priority Applications (1)
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JP2008007798A JP5114775B2 (ja) | 2008-01-17 | 2008-01-17 | パルスレーザ用電源装置 |
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JP2008007798A JP5114775B2 (ja) | 2008-01-17 | 2008-01-17 | パルスレーザ用電源装置 |
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JP5114775B2 JP5114775B2 (ja) | 2013-01-09 |
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Family Applications (1)
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JP (1) | JP5114775B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018016832A1 (ko) * | 2016-07-19 | 2018-01-25 | 한국전기연구원 | 전원공급장치 및 이를 포함하는 레이저 장치 |
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2008
- 2008-01-17 JP JP2008007798A patent/JP5114775B2/ja active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2018016832A1 (ko) * | 2016-07-19 | 2018-01-25 | 한국전기연구원 | 전원공급장치 및 이를 포함하는 레이저 장치 |
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