WO2017208909A1 - ラミネート装置、ラミネート方法および太陽電池モジュールの製造方法 - Google Patents

ラミネート装置、ラミネート方法および太陽電池モジュールの製造方法 Download PDF

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WO2017208909A1
WO2017208909A1 PCT/JP2017/019243 JP2017019243W WO2017208909A1 WO 2017208909 A1 WO2017208909 A1 WO 2017208909A1 JP 2017019243 W JP2017019243 W JP 2017019243W WO 2017208909 A1 WO2017208909 A1 WO 2017208909A1
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laminated body
laminating
workpiece
laminating apparatus
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高敬 上田
晋輔 瀧本
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三菱電機株式会社
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    • B29C63/00—Lining or sheathing, i.e. applying preformed layers or sheathings of plastics; Apparatus therefor
    • B29C63/02—Lining or sheathing, i.e. applying preformed layers or sheathings of plastics; Apparatus therefor using sheet or web-like material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Definitions

  • a method for suppressing heating of the translucent substrate of the workpiece when the workpiece is laminated is proposed.
  • a translucent substrate is supported by supporting the translucent substrate before pressurizing with a diaphragm, and is lifted by a lift pin movable in the vertical direction to provide a gap between the translucent substrate and the heat plate.
  • a method is disclosed in which the time for direct heating from the hot plate of the laminating apparatus is shortened and the heating rate of the translucent substrate is reduced.
  • Patent Document 1 Even in Patent Document 1 or Patent Document 2, warping caused by a difference in thermal expansion due to a temperature difference between the heat source side and the non-heat source side cannot be avoided, and an in-plane temperature difference occurs. However, defects such as remaining bubbles or abnormal appearance may occur.
  • the present invention has been made in view of the above, and provides a laminating apparatus capable of reducing the in-plane temperature distribution of a workpiece during laminating and suppressing the occurrence of defects such as residual bubbles or abnormal appearance.
  • the purpose is to obtain.
  • the present invention it is possible to obtain a laminating apparatus that can reduce the in-plane temperature distribution of a workpiece during laminating and suppress the occurrence of defects such as remaining bubbles or abnormal appearance.
  • FIG. Sectional enlarged view of the lower chamber of the laminating apparatus used in the solar cell module manufacturing apparatus of Embodiment 1 Cross-section explanatory drawing which shows typically the structure of the laminating apparatus used with the manufacturing apparatus of the solar cell module of Embodiment 1 Process sectional drawing which shows the correction process in the lamination process of Embodiment 1 Process sectional drawing which shows the correction process in the lamination process of Embodiment 1 (A) to (d) is a diagram showing a manufacturing process of a solar cell module using the laminating apparatus of the first embodiment.
  • the perspective view of the solar cell module formed by the laminating method of Embodiment 1 The top view which shows the hot platen of the laminating apparatus used with the manufacturing apparatus of the solar cell module of Embodiment 1.
  • FIG. The top view which shows the hot platen of the laminating apparatus used with the manufacturing apparatus of the solar cell module of Embodiment 2.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a laminating apparatus used in the solar cell module manufacturing apparatus according to Embodiment 1 of the present invention
  • FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a lower chamber of the laminating apparatus.
  • FIG. 2 shows a II-II cross section of FIG.
  • FIG. 3 is a cross-sectional explanatory view schematically showing the structure of a laminating apparatus used in the solar cell module manufacturing apparatus of Embodiment 1 of the present invention.
  • 4 and 5 are process cross-sectional views showing the correction process in the laminating process of the first embodiment.
  • the laminating apparatus 100 forms a space between the upper chamber 20 and the upper chamber 20 and heats or cools the stacked body 10S for the solar cell module that is a workpiece in the space.
  • a lower chamber 30 having a portion, and a diaphragm sheet 40 constituting a diaphragm displaceable in the space.
  • the temperature control unit includes a heat plate 32 that places and heats the workpiece, and a plurality of displacement units that are embedded in the heat plate 32 so as to move up and down, and that push up and displace the stacked body 10S on the heat plate 32.
  • a lift pin 34 and a lifting device 35 that moves the lift pin 34 up and down independently are provided, and the laminated body 10S on the hot plate 32 is heated and pressurized by the diaphragm sheet 40 and the hot plate 32.
  • the hot plate 32 is heated by a heater H embedded in the hot plate 32.
  • the elevating device 35 has a plurality of lift pins 34 that can be moved up and down and can be independently displaced in the plane direction even in the plane of the hot plate 32.
  • the lift pins 34 move up and down the laminated body 10 ⁇ / b> S and the hot plate 32.
  • the in-plane distance can be adjusted, and the position in the plane of the hot plate 32 can be displaced by the displacement in the opening, that is, the lift pin lifting / lowering hole 33.
  • the upper chamber 20 of the laminating apparatus 100 is provided with a diaphragm sheet 40.
  • the upper chamber 20 and the lower chamber 30 are overlapped, the upper chamber 20 and the lower chamber 30 are divided into two chambers by the diaphragm sheet 40. It has become.
  • the lift pin lifting / lowering hole 33 regulates the movement of the lift pin 34 in the horizontal direction, the lift pin 34 can be moved only in the height direction, and the height of the adhesion preventing sheet 36 can be adjusted.
  • the elevating device 35 includes a driving device such as a ROBO Cylinder, and can be positioned freely in the vertical direction within the range of the lift pin elevating hole 33.
  • the resin is stretched to a desired thickness to form resin sheets 3a and 3b.
  • the solar cell 1 is formed, and the tab wire 2 connects the positive electrode of the cell to the negative electrode of the adjacent cell, thereby forming a connected string of the solar cells 1 as shown in FIG.
  • the laminated body 10S is transported to the laminating apparatus 100 shown in FIGS. 1 to 5, and the laminating apparatus 100 performs the laminating process.
  • the correction process of correcting the thermal deformation of the laminated body 10S by changing the distance between the hot plate 32 and the laminated body 10S in the plane of the laminated body 10S. Is included.
  • FIG. 4 illustrates a state where the laminated body 10 ⁇ / b> S is placed on the adhesion preventing sheet 36.
  • the upper chamber exhaust valve 51 of the laminating apparatus 100 shown in FIG. 3 is immediately opened and the upper chamber 20 and the diaphragm sheet 40 are opened by the vacuum pump 50.
  • the space divided by is made negative pressure, and the upper chamber 20 is overlaid on the lower chamber 30.
  • the lower chamber exhaust valve 52 is opened, and the space defined by the diaphragm sheet 40 of the lower chamber 30 and the upper chamber 20 is set to a negative pressure by the vacuum pump 50.
  • the lift pins 34 are lowered below the upper surface of the hot plate 32 by the lifting device 35, and air is sucked into the space defined by the upper chamber 20 and the diaphragm sheet 40, The whole laminated body 10S is pressurized.
  • the processed solar cell module 10 sealed with the sealing resin 3 can be taken out by heating and pressing the laminated body 10S.
  • the frame 11 is mounted on the laminated body 10S for the solar cell module sealed in the above process, and the solar cell module 10 is completed as shown in the cross-sectional view of the main part in FIG. 6D and the perspective view in FIG. .
  • the thickness of the glass for example, since the magnitude of warpage becomes significant when the thickness is 3.0 mm or more, the effect of suppressing warpage by this configuration becomes significant. Further, since the position of the lift pin 34 can be changed in the plane direction, it is possible to prevent a part of the workpiece from coming into contact with the hot plate 32 and rapidly heating depending on the area or shape of the workpiece. Therefore, the difference in fluidity of the sealing resin 3 composed of the resin sheets 3a and 3b can be reduced, and the occurrence of defects such as remaining bubbles or abnormal appearance can be suppressed.
  • the lifting device 35 that displaces the plurality of lift pins 34 independently in the height direction is provided, warping or bending generated in the workpiece during heating is provided. It can be corrected. Therefore, the distance between the workpiece and the hot plate 32 can be changed, and the amount of heating in the surface of the workpiece can be controlled. Since the plurality of lift pins 34 can be individually changed in the plane direction, the lift pins 34 can be arranged in accordance with the area or shape of the workpiece, and a part of the workpiece contacts the hot plate 32 and is heated rapidly. Can be prevented.
  • the lift pins 34 of the elevating device 35 can move up and down and can be independently displaced in the plane direction even within the surface of the hot plate 32. That is, the lift pin 34 can move the stacked body 10 ⁇ / b> S up and down to adjust the in-plane distance from the hot plate, and the position in the plane of the hot plate can be displaced by the displacement in the opening 33. Since the temperature of 10S can be finely adjusted, highly accurate correction of the laminated body 10S can be realized.
  • the displacement method of the lift pins 34 in the plane direction may be either mechanical or electrical.
  • the lift pin 34 can be displaced in the plane direction by moving the lifting device 35 in the horizontal direction by the cylinder.
  • FIG. FIG. 9 is a plan view showing a hot plate of a laminating apparatus used in the solar cell module manufacturing apparatus of the second embodiment.
  • a plurality of lift pin elevating holes 33 having a circular cross section are provided corresponding to the positions where the lift pins 34 constituting the displacement portion are formed, as shown in FIGS.
  • the plurality of lifting devices 35 can be configured to lift and lower the plurality of lift pins 34 individually.
  • the hot plate 32 has a cross-shaped lift pin lifting / lowering hole 33S through which the lift pin 34 is inserted, and the four corners E of the cross constitute a stopper that prevents the lift pin 34 from moving in a plane.
  • a plurality of cross-shaped lift pin lifting / lowering holes 33 ⁇ / b> S are provided in the hot plate 32, and the plurality of lift pins 34 can be individually moved in the planar direction.
  • the movement range in the plane direction is a cross range, and can be moved by a certain distance in the XY directions.
  • the position in the plane direction can be accurately determined. Can be adjusted. Since other configurations are the same as those of the first embodiment, description thereof is omitted here. The same symbols are assigned to the same parts.
  • the lifting / lowering apparatus 35 has a function of moving the plurality of lift pins 34 individually and a function of moving in the plane direction. . Therefore, the position of the lift pin 34 can be changed in the height direction and the plane direction, and the warp can be corrected with high accuracy.
  • the first embodiment as a result of examination, the following was found. When the length of the short side of the glass substrate 4 of the laminated body 10S is 600 mm or more, the influence of warping or bending becomes large.
  • the short side is 600 mm or more and the long side is 800 mm or more in size
  • the influence of the warp becomes remarkable, and the warp suppressing effect by this configuration becomes remarkable.
  • the thickness of the glass for example, since the magnitude of warpage becomes significant when the thickness is 3.0 mm or more, the effect of suppressing warpage by this configuration becomes significant.
  • FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view of the lower chamber of the laminating apparatus used in the solar cell module manufacturing apparatus according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 10 corresponds to the II-II cross section of FIG. 11 and 12 are process cross-sectional views illustrating the correction process in the laminating process of the third embodiment.
  • FIG. 13 is a plan view of a hot plate of the laminating apparatus, and FIGS. 10 to 12 correspond to the XX cross section of FIG.
  • the laminating apparatus 100 according to the third embodiment is implemented in that the heat plate constituting the temperature control unit is divided into 30 small heat plates 32p, and the height can be adjusted for each of the small heat plates 32p. Different from the laminating apparatus 100 of the first embodiment.
  • the lift pins 34 constituting the displacement part are embedded in the small heat plate 32p and can be moved up and down independently, as in the laminating apparatus 100 of the first embodiment. However, one heat is generated for each small heat plate 32p. Plate lift pins 34p are arranged, and the small heat plate 32p can also be moved up and down independently. The small hot plate 32p can be moved up and down independently along the hot plate lifting hole 33p by the hot plate lifting device 35p.
  • the laminated body 10S on the hot plate which is an aggregate of the small hot plates 32p, is heated and pressurized by the diaphragm sheet 40 and the small hot plate 32p.
  • the small heat plate 32p is heated by a heater H embedded in the small heat plate 32p.
  • the laminating apparatus 100 of the third embodiment also forms a space between the upper chamber 20 and the upper chamber 20 and is a work piece in the space for a solar cell module.
  • seat 40 which comprises the diaphragm which can be displaced in space are provided.
  • the solar cells 1 are connected by the tab wires 2 and the arrayed ones are placed on the glass substrate 4 via the resin sheets 3a and 3b. Then, the laminated body 10S formed by being sandwiched between the protective sheet 5 as the back surface protective material is formed. Next, the laminated body 10S is placed on the small heat plate 32p of the laminating apparatus 100 as shown in FIG.
  • FIG. 11 illustrates a state where the laminated body 10 ⁇ / b> S is placed on the adhesion preventing sheet 36.
  • the hot plate lift pin 34p at the center is lowered to lower the small hot plate 32p at the center. That is, by raising the lift pin 34 and lowering the hot plate lift pin 34p, the temperature of the laminated body 10S is more efficiently lowered at the center portion on the hot plate side, and the warpage of the laminated body 10S is instantaneously corrected. That is, compared with Embodiment 1, the laminated body 10S returns to the original flat shape in a shorter time. Therefore, while the laminated body 10S having a flat shape is placed on the hot plate 32, the lift pins 34 are lowered by the lifting device 35 to obtain the flat laminated body 10S shown in FIG.
  • the upper chamber exhaust valve 51 of the laminating apparatus 100 shown in FIG. 3 is immediately opened and the upper chamber 20 and the diaphragm sheet 40 are opened by the vacuum pump 50.
  • the space divided by is made negative pressure, and the upper chamber 20 is overlaid on the lower chamber 30.
  • the lower chamber exhaust valve 52 is opened, and the space defined by the diaphragm sheet 40 of the lower chamber 30 and the upper chamber 20 is set to a negative pressure by the vacuum pump 50.
  • the lift pins 34 are lowered below the upper surface of the hot plate 32 by the lifting device 35, and air is sucked into the space defined by the upper chamber 20 and the diaphragm sheet 40, The whole laminated body 10S is pressurized.
  • the laminated solar cell module 10 can be taken out by heating and pressing the laminated body 10S.
  • FIG. 6D the main part sectional view is shown in FIG. 6D and the perspective view is shown in FIG. The solar cell module 10 is completed.
  • a plurality of lift pins can be individually varied in the height direction, thereby correcting the warp or deflection generated in the workpiece, and being capable of varying in the plane direction is a lamination that is a workpiece.
  • a lamination that is a workpiece.
  • the distance between the workpiece and the small hot plate 32p can be changed, and the amount of heating in the surface of the workpiece can be controlled.
  • the in-plane can be heated uniformly to reduce the fluidity difference of the sealing resin, and the occurrence of defects such as remaining bubbles or abnormal appearance can be suppressed.
  • the following was found as a result of examination.
  • the length of the short side of the glass substrate 4 of the laminated body 10S is 600 mm or more, the influence of warping or bending becomes large. Further, when the short side is 600 mm or more and the long side is 800 mm or more in size, the influence of the warp becomes remarkable, and the warp suppressing effect by this configuration becomes remarkable.
  • the thickness of the glass for example, since the magnitude of warpage becomes significant when the thickness is 3.0 mm or more, the effect of suppressing warpage by this configuration becomes significant.
  • FIG. FIG. 14 is a plan view showing a hot plate of a laminating apparatus used in the solar cell module manufacturing apparatus of the fourth embodiment.
  • a plurality of lift pin lifting / lowering holes 33 having a circular cross section are provided corresponding to the positions where the lift pins 34 constituting the displacement portion are formed, as shown in FIGS. 11 and 12.
  • the plurality of lifting devices 35 can be configured to lift and lower the plurality of lift pins 34 individually.
  • the small heat plate 32q is provided with a plurality of cross-shaped lift pin elevating holes 33q, and the plurality of lift pins 34q are individually arranged in the plane direction.
  • the movement range in the plane direction is a cross range, and can be moved by a certain distance in the XY directions, and the distance between the hot plate and the laminate 10S as the workpiece can be adjusted with high accuracy. Since other configurations are the same as those of the third embodiment, description thereof is omitted here. The same symbols are assigned to the same parts.
  • the lifting / lowering apparatus 35 has a function of moving the plurality of lift pins 34q individually and a function of moving in the plane direction. . Therefore, the position of the lift pin 34q can be changed in the height direction and the plane direction, and the warp can be corrected with high accuracy.
  • Embodiments 1 to 3 the following was found as a result of the study. When the length of the short side of the glass substrate 4 of the laminated body 10S is 600 mm or more, the influence of warping or bending becomes large.
  • the short side is 600 mm or more and the long side is 800 mm or more in size
  • the influence of the warp becomes remarkable, and the warp suppressing effect by this configuration becomes remarkable.
  • the thickness of the glass for example, since the magnitude of warpage becomes significant when the thickness is 3.0 mm or more, the effect of suppressing warpage by this configuration becomes significant.
  • FIG. 15 is an enlarged cross-sectional view of the lower chamber of the laminating apparatus used in the solar cell module manufacturing apparatus according to Embodiment 5 of the present invention.
  • FIG. 15 corresponds to the II-II cross section of FIG. 16 and 17 are process cross-sectional views illustrating the correction process in the laminating process of the fifth embodiment.
  • the heat plate constituting the temperature control unit is divided into a plurality of small regions to form the small heat plate 32r, and the small region is measured by the temperature sensor 37 and automatically.
  • the lift pins 34 constituting the displacement part are moved up and down.
  • the temperature sensor 37 is a contact sensor, and contacts each small area of the laminated body 10S, which is a workpiece, via the adhesion prevention sheet 36, and detects the temperature of the back surface of the laminated body 10S.
  • Each temperature sensor 37 is a sensor elevating device 38 using a cylinder spring and moves up and down in contact with the adhesion preventing sheet 36 together with the laminated body 10S.
  • the lift pins 34 are embedded in the small heat plate 32r and can be moved up and down independently.
  • a control unit (not shown) The lift pin 34 can be moved up and down independently by the lift device 35 along the lift pin lift hole 33 automatically.
  • the solar cells 1 are connected by the tab wires 2 and the arrayed ones are placed on the glass substrate 4 via the resin sheets 3a and 3b. Then, the laminated body 10S formed by being sandwiched between the protective sheet 5 as the back surface protective material is formed. Next, the laminated body 10S is placed on the small heat plate 32r of the laminating apparatus 100 of the fifth embodiment as shown in FIG.
  • FIG. 15 illustrates a state where the laminated body 10 ⁇ / b> S is placed on the adhesion preventing sheet 36.
  • the temperature sensor 37 contacts the adhesion preventing sheet 36 and detects the temperature of the back surface of the laminate 10S.
  • the lift pins 34 are merely raised to a uniform height, a temperature difference is generated in the thickness direction of the laminate 10S, which is a workpiece, and the laminate 10S is warped as shown in FIG.
  • the sensor 37 is kept in contact with the laminated body 10S via the adhesion preventing sheet 36 according to the displacement of the laminated body 10S by the sensor elevating device 38. And if heating is continued, the curvature of laminated body 10S will become large. If the warpage increases, the temperature difference between the central portion and the end portion of the laminate 10S increases, and the flowability of the sealing resin also varies.
  • a control unit raises the lift pin 34 at the center of the laminated body 10S based on the output of the temperature sensor 37. That is, by automatically raising the lift pins 34, the temperature of the laminated body 10S falls more efficiently at the central portion on the hot plate side, and the warpage of the laminated body 10S is corrected instantaneously. That is, compared with Embodiment 1, the laminated body 10S automatically returns to the original flat shape with good controllability. Therefore, while the laminated body 10S having a flat shape is placed on the small heat plate 32r, the lift pins 34 are lowered by the elevating device 35 to obtain the flat shaped laminated body 10S shown in FIG.
  • the upper chamber exhaust valve 51 of the laminating apparatus 100 shown in FIG. 3 is immediately opened and the upper chamber 20 and the diaphragm sheet 40 are opened by the vacuum pump 50.
  • the space divided by is made negative pressure, and the upper chamber 20 is overlaid on the lower chamber 30.
  • the lower chamber exhaust valve 52 is opened, and the space defined by the diaphragm sheet 40 of the lower chamber 30 and the upper chamber 20 is set to a negative pressure by the vacuum pump 50.
  • the lift pin 34 is lowered below the upper surface of the small heat plate 32r by the elevating device 35, and air is sucked into the space defined by the upper chamber 20 and the diaphragm sheet 40. Then, the entire laminate 10S is pressurized.
  • the laminated solar cell module 10 can be taken out by heating and pressing the laminated body 10S.
  • FIG. 6D the main part sectional view is shown in FIG. 6D and the perspective view is shown in FIG. The solar cell module 10 is completed.
  • a plurality of lift pin lifting holes 33 are provided in the small heat plate 32r as shown in FIG. 8, and a plurality of lifting devices 35 have a function of individually lifting and lowering the plurality of lift pins 34 as shown in FIG.
  • the lift pin 34 can be changed in the height direction.
  • the lifting device 35 is a lifting device such as a ROBO Cylinder.
  • the small heat plate 32r is provided with a plurality of cross-shaped lift pin elevating holes 33S as shown in FIG. 9 so that the plurality of lift pins 34 can be individually moved in the plane direction.
  • the position for supporting the workpiece can be changed in the plane direction.
  • the lifting device 35 has a function of moving the plurality of lift pins 34 individually and a function of moving the lift pins 34 in the plane direction, the position of the lift pins 34 can be varied in the height direction and the plane direction.
  • the temperature sensor 37 is provided for measuring the temperature of the workpiece during the lamination process, and is not limited to the contact type temperature sensor. Although a temperature measurement method is not illustrated, for example, a temperature measurement unit may be provided by providing a hole or a cut in the small heat plate 32r and the adhesion preventing sheet 36 so that the temperature of the workpiece can be measured from the small heat plate 32r side. As the measurement method, various measurement methods such as a non-contact temperature measurement method and a contact temperature sensor measurement method can be applied.
  • the lift pin 34 located at the high temperature part of the work piece is raised according to the temperature of the work piece detected by the temperature sensor 37, and the low temperature part of the work piece is obtained.
  • the lift pin 34 located at is automatically changed low. Therefore, uniform heating is possible by changing the height of the lift pins 34 following the change in the warp shape of the workpiece generated by heating.
  • the plurality of lift pins 34 can be individually changed in the height direction or the plane direction, thereby correcting the warp or the deflection generated in the workpiece and heating the workpiece. It can be performed uniformly.
  • the height of the lift pin 34 is automatically changed with respect to the in-plane temperature difference generated during heating, thereby uniformizing the in-plane temperature of the workpiece and eliminating the fluidity difference of the sealing resin 3.
  • the occurrence of defects such as residual or abnormal appearance can be suppressed.
  • Embodiments 1 to 4 the following was found as a result of the examination. When the length of the short side of the glass substrate 4 of the laminated body 10S is 600 mm or more, the influence of warping or bending becomes large.
  • the short side is 600 mm or more and the long side is 800 mm or more in size
  • the influence of the warp becomes remarkable, and the warp suppressing effect by this configuration becomes remarkable.
  • the thickness of the glass for example, since the magnitude of warpage becomes significant when the thickness is 3.0 mm or more, the effect of suppressing warpage by this configuration becomes significant.
  • the height of the lift pins 34 is not automatically changed sequentially, but may be set manually based on data calculated based on measurement results obtained by measuring the temperature distribution of the laminated body 10S in advance. Good.
  • FIG. 18 is an enlarged cross-sectional view of a lower chamber of a laminating apparatus used in the solar cell module manufacturing apparatus according to Embodiment 6 of the present invention.
  • FIG. 18 corresponds to the II-II cross section of FIG. 19 and 20 are process cross-sectional views illustrating the correction process in the lamination process of the sixth embodiment.
  • the heat plate constituting the temperature control unit is divided into 30 small heat plates 32p, and the height can be adjusted for each of the small heat plates 32p.
  • the configuration of the temperature sensor 37 of the fifth embodiment is added.
  • the hot plate constituting the temperature control unit is divided into a plurality of small hot plates 32p, and each small region is measured by the temperature sensor 37, and the hot plate lift pin 34p automatically constituting the displacement unit. Is moved up and down.
  • the other parts are the same as those in the third and fifth embodiments, and although the description is omitted here, the same parts are denoted by the same reference numerals.
  • the solar cells 1 are connected by the tab wires 2 and the arrayed ones are placed on the glass substrate 4 via the resin sheets 3a and 3b.
  • the laminated body 10S formed by being sandwiched between the protective sheet 5 as the back surface protective material is formed.
  • the laminated body 10S is placed on the plurality of small heat plates 32p of the laminating apparatus 100 of the sixth embodiment as shown in FIG.
  • FIG. 18 illustrates a state in which the laminated body 10 ⁇ / b> S is placed on the adhesion preventing sheet 36.
  • the temperature sensor 37 contacts the adhesion preventing sheet 36 and detects the temperature of the back surface of the laminate 10S.
  • a control unit raises the lift pin 34 at the center of the laminated body 10S and lowers the hot plate lift pin 34p at the center based on the output of the temperature sensor 37. That is, by automatically raising the lift pin 34 and lowering the small heat plate 32p at the center, the temperature of the laminated body 10S is lowered more efficiently at the central portion of the hot plate, and the warpage of the laminated body 10S is instantaneous. It will be corrected. That is, compared with Embodiment 4, the laminated body 10S automatically returns to the original flat shape with good controllability. Therefore, while the laminated body 10S having a flat shape is placed on the small heat plate 32p, the lift pins 34 are lowered by the elevating device 35 to obtain the flat shaped laminated body 10S shown in FIG.
  • the upper chamber exhaust valve 51 of the laminating apparatus 100 shown in FIG. 3 is immediately opened and the upper chamber 20 and the diaphragm sheet 40 are opened by the vacuum pump 50.
  • the space divided by is made negative pressure, and the upper chamber 20 is overlaid on the lower chamber 30.
  • the lower chamber exhaust valve 52 is opened, and the space defined by the diaphragm sheet 40 of the lower chamber 30 and the upper chamber 20 is set to a negative pressure by the vacuum pump 50.
  • the lift pin 34 is lowered below the upper surface of the small heat plate 32p by the elevating device 35, and air is sucked into the space defined by the upper chamber 20 and the diaphragm sheet 40. Then, the entire laminate 10S is pressurized.
  • the laminated solar cell module 10 can be taken out by heating and pressing the laminated body 10S.
  • FIG. 6D the main part sectional view is shown in FIG. 6D and the perspective view is shown in FIG. The solar cell module 10 is completed.
  • the plurality of hot plate lift pins 34p can be individually varied in the height direction, warpage or deflection generated in the workpiece can be corrected. Further, by being able to vary in the plane direction, it is possible to prevent a part of the workpiece from coming into contact with the hot plate and being rapidly heated depending on the area or shape of the workpiece. Further, by changing the height of the small heat plate 32p, the distance between the workpiece and the small heat plate 32p can be adjusted, and the amount of heating in the surface of the workpiece can be controlled. Therefore, the in-plane can be heated uniformly to reduce the fluidity difference of the sealing resin, and the occurrence of defects such as remaining bubbles or abnormal appearance can be suppressed.
  • the laminating method of the sixth embodiment by individually adjusting the heights or positions of the plurality of hot plate lift pins 34p and adding a height difference to the height of the hot plate lift pins 34p, Workpiece warpage can be corrected.
  • the in-plane temperature distribution of the work piece is reduced and sealed. Since there is no difference in the fluidity of the stopping resin, it is possible to suppress the occurrence of defects such as remaining bubbles and abnormal appearance.
  • each of the plurality of small heat plates 32p includes the temperature sensor 37, and the heat plate lifting device that lifts and lowers the small heat plate 32p according to the output of the temperature sensor 37.
  • the small hot plate 32p positioned at the high temperature portion of the workpiece is displaced high and the small hot plate 32p positioned at the low temperature portion of the workpiece is displaced low depending on the temperature of the workpiece detected by the temperature sensor 37.
  • FIG. 21 is a plan view showing a hot plate of a laminating apparatus used in the solar cell module manufacturing apparatus of Embodiment 7, and FIG. 22 is a bottom view of the laminating apparatus used in the solar cell module manufacturing apparatus of Embodiment 7.
  • 21 is an enlarged sectional view of the chamber, taken along the line XXII-XXII of FIG. 21, and
  • FIG. 23 is an enlarged sectional view of the lower chamber of the laminating apparatus used in the solar cell module manufacturing apparatus of the seventh embodiment. It is XXIII-XXIII sectional drawing.
  • openings 56 having a rectangular section through which the plate-like body 55 is inserted instead of the lift pins 34 are arranged on the hot plate 32.
  • the plate-like body 55 is arranged in a direction parallel to the short side of the laminated body 10S that is a workpiece, and can be moved up and down independently, and the length of the laminated body 10S that is the workpiece. It is possible to force warpage in the direction along the side. Since other configurations are the same as those of the first embodiment, description thereof is omitted here.
  • the in-plane temperature distribution can be improved, and the occurrence of defects such as remaining bubbles or abnormal appearance can be suppressed.
  • FIG. FIG. 24 is a plan view showing a hot plate of a laminating apparatus used in the solar cell module manufacturing apparatus of the eighth embodiment.
  • the eighth embodiment is a laminating apparatus in which the heating plate is divided into five by the dividing unit 57 and the small heating plate 32r for each plate-like body 55 can be independently controlled to move up and down and the temperature.
  • the plate-like body 55 is arranged in a direction parallel to the short side of the workpiece, and can be moved up and down independently, forcing a long side warp of the laminate 10S as the workpiece. can do. Since other configurations are the same as those of the first embodiment, description thereof is omitted here.
  • the solar cell module laminating process has been described.
  • the present invention is not limited to solar cells, and a laminate in which a resin sheet is arranged on a substrate including solar cells is laminated.
  • the present invention can also be applied to other electronic modules obtained and various devices including, for example, a structure in which both sides are made of glass, or a laminate of two pieces of glass.

Abstract

上チャンバーと、上チャンバーとの間に空間を形成するとともに空間内の太陽電池モジュールの積層体（１０Ｓ）を加熱または冷却する熱板（３２）を有する温度制御部を備えた下チャンバー（３０）と、空間内で変位可能なダイヤフラムとを備える。温度制御部が、積層体（１０Ｓ）を載置して加熱する熱板（３２）と、熱板（３２）内で上下動可能に埋め込まれ、熱板（３２）上の積層体を変位させる変位部としての複数のリフトピン（３４）と、リフトピン（３４）を独立して上下動させる昇降装置を具備し、熱板（３２）上の積層体（１０Ｓ）をダイヤフラムと熱板（３２）とで加熱加圧する。

Description

ラミネート装置、ラミネート方法および太陽電池モジュールの製造方法
　本発明は、太陽電池モジュールの製造に用いられるラミネート装置、ラミネート方法および太陽電池モジュールの製造方法に関する。
　従来、太陽電池セルをシート状の樹脂封止材で封止して太陽電池モジュールを形成するラミネート装置の技術が提案されている。太陽電池モジュールは、太陽電池セルの積層体を封止したものと、封止された積層体の周りを支持するフレームとを具備している。太陽電池モジュールは、被加工物の透光性基板上に封止樹脂、太陽電池セル、封止樹脂、ＰＥＴ(ＰｏｌｙＥｔｈｙｌｅｎｅ　Ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ：ポリエチレンテレフタレート)をはじめとする耐水樹脂シートを積層した積層体を、ラミネート装置で加熱加圧処理し、各部材を密着させたものである。
　太陽電池モジュールの製造に用いられるラミネート装置には、各種のものがある。一例の装置では、上チャンバーと下チャンバーとの間にダイヤフラムシートを挟着しておき、下チャンバーに設けられた熱板を、ヒータによって加熱し、当該熱板上に被加工物が載置される。
　次に、上チャンバーの排気弁を開きバキュームポンプにより上チャンバー内を負圧とし、ヒータにより熱板を加熱することで被加工物を加熱する。
　さらに、下チャンバーの排気弁を開き下チャンバー内を負圧とすることで、被加工物から発生した気泡を外部に排出した後、上チャンバーの排気弁を閉じ、上チャンバーの吸気弁を開き上チャンバー内を大気圧とし、これによりダイヤフラムシートを膨張させ被加工物を加圧する。下チャンバーの排気弁を閉じ、下チャンバーの吸気弁を開いて下チャンバー内を大気圧となし、これにより上チャンバーと下チャンバーを分離して、加工済の被加工物を取り出すこととなる。
　ここで、ラミネート装置では、被加工物をラミネート処理する際に、被加工物の透光性基板が加熱されるのを抑制するための方法が提案されている。特許文献１ではダイヤフラムによる加圧を行う前に透光性基板を支持し、上下方向に可動するリフトピンで押し上げて透光性基板と熱板との間に隙間を設けることで透光性基板がラミネート装置の熱板から直接加熱を受ける時間を短縮して、透光性基板の加熱速度を緩やかにする方法が開示されている。
　また、特許文献２では、ラミネート装置で被加工物を自動搬入させる際に、リフトピンあるいはそれに準ずる支持機構により搬送用に被加工物と熱板の間に設けられた搬送シートと被加工物を持ち上げる方法が開示されている。特許文献２の方法でも、搬送中の被加工物が熱板に直接接触するのを防ぎ、加熱を緩やかにすることができる。
特開２０１１－１２９７５３号公報 特開２０１２－５１３３８号公報
　ラミネート処理中に熱板からの加熱により、被加工物の厚み方向における熱源に近い箇所と熱源から遠い箇所とに温度差が生じ、被加工物に反りが発生することがある。また、被加工物が反ることで更に温度差が大きくなり、温度の違いによって封止樹脂の流動性が異なるため、気泡の残存または外観異常をはじめとする不良が発生するという問題があった。
　これらの問題については特許文献１あるいは特許文献２に開示されているように、搬送時に熱源との接触を防ぐ方法で搬送時の反りの発生は抑制できる。しかしながら、リフトピンによって支持された被加工物は、面内すべてで熱板との距離が均一であるため、厚み方向における温度差が生じラミネート処理する過程で、被加工物が加熱されると熱源側と非熱源側との面に温度差が生じ、熱膨張の差で反りが発生することがある。また、リフトピンによる支持により熱板との隙間を設ける方法では、熱板からの直接加熱は防ぐことはできるが、熱膨張による反りを防ぐことはできない。従って特許文献１あるいは特許文献２においても、熱源側と非熱源側との面の温度差に起因する、熱膨張の差によって発生する反りについては回避することができず、面内温度差が発生し、気泡の残存または外観異常をはじめとする不良が発生することがある。
　本発明は、上記に鑑みてなされたもので、ラミネート時における被加工物の面内温度分布を軽減し、気泡の残存または外観異常をはじめとする不良の発生を抑えることが可能なラミネート装置を得ることを目的とする。
　上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明のラミネート装置は、上チャンバーと、上チャンバーとの間に空間を形成するとともに空間内の被加工物を加熱または冷却する温度制御部を備えた下チャンバーと、空間内で変位可能なダイヤフラムとを備える。温度制御部は、被加工物を載置して加熱する熱板と、熱板内で上下動可能に埋め込まれ、熱板上の被加工物を変位させる複数の変位部と、変位部のそれぞれを独立して上下動させる昇降装置を具備し、熱板上の被加工物を熱板とダイヤフラムとで加熱加圧する。
　本発明によれば、ラミネート時における被加工物の面内温度分布を軽減し、気泡の残存または外観異常をはじめとする不良の発生を抑えることが可能なラミネート装置を得ることができる。
実施の形態１の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置を示す斜視図 実施の形態１の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置の下チャンバーの断面拡大図 実施の形態１の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置の構造を模式的に示す断面説明図 実施の形態１のラミネート工程における矯正工程を示す工程断面図 実施の形態１のラミネート工程における矯正工程を示す工程断面図 （ａ）から（ｄ）は、実施の形態１のラミネート装置を用いた太陽電池モジュールの製造工程を示す図 実施の形態１のラミネート方法で形成された太陽電池モジュールの斜視図 実施の形態１の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置の熱板を示す平面図 実施の形態２の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置の熱板を示す平面図 実施の形態３の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置の下チャンバーの断面拡大図 実施の形態３のラミネート工程における矯正工程を示す工程断面図 実施の形態３のラミネート工程における矯正工程を示す工程断面図 実施の形態３のラミネート装置の熱板の平面図 実施の形態４の太陽電池モジュール製造装置で用いられるラミネート装置の熱板を示す平面図 実施の形態５の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置の下チャンバーの断面拡大図 実施の形態５のラミネート工程における矯正工程を示す工程断面図 実施の形態５のラミネート工程における矯正工程を示す工程断面図 実施の形態６の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置の下チャンバーの断面拡大図 実施の形態６のラミネート工程における矯正工程を示す工程断面図 実施の形態６のラミネート工程における矯正工程を示す工程断面図 実施の形態７の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置の下チャンバーの熱板の平面図 実施の形態７の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置の下チャンバーの断面拡大図であり、図２１のXXII－XXII断面図 実施の形態７の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置の下チャンバーの断面拡大図であり、図２１のXXIII－XXIII断面図 実施の形態８の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置の下チャンバーの熱板の平面図
　以下に、本発明に係るラミネート装置およびラミネート方法を用いた太陽電池モジュールの製造方法の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は以下の記述に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、以下に示す図面においては、理解の容易のため、各部材の縮尺が実際とは異なる場合がある。
実施の形態１．
　図１は、本発明の実施の形態１の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置を示す斜視図、図２は同ラミネート装置の下チャンバーの断面拡大図である。図２は図１のII-II断面を示す。図３は、本発明の実施の形態１の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置の構造を模式的に示す断面説明図である。図４および図５は、実施の形態１のラミネート工程における矯正工程を示す工程断面図である。実施の形態１のラミネート装置１００は、上チャンバー２０と、上チャンバー２０との間に空間を形成するとともに空間内の被加工物である太陽電池モジュール用の積層体１０Ｓを加熱または冷却する温度制御部を備えた下チャンバー３０と、空間内で変位可能なダイヤフラムを構成するダイヤフラムシート４０とを備える。温度制御部は、被加工物を載置して加熱する熱板３２と、熱板３２内で上下動可能に埋め込まれ、熱板３２上の積層体１０Ｓを突き上げて変位させる複数の変位部を構成するリフトピン３４と、リフトピン３４を独立して上下動させる昇降装置３５を具備し、熱板３２上の積層体１０Ｓをダイヤフラムシート４０と熱板３２とで加熱加圧する。熱板３２は熱板３２内に埋め込まれたヒータＨで加熱される。昇降装置３５は、上下動可能で独立して熱板３２の面内でも平面方向に変位可能な複数のリフトピン３４を有しており、リフトピン３４は、積層体１０Ｓを上下動させ熱板３２との面内距離を調整可能であるとともに、開口つまりリフトピン昇降用穴３３内での変位により熱板３２の面内での位置も変位可能である。
　ラミネート装置１００は、図３に示すように、上チャンバー２０と下チャンバー３０とは、バキュームポンプ５０で減圧されるが、上チャンバー２０と下チャンバー３０とには、上チャンバー用排気弁５１および下チャンバー用排気弁５２によって、独立して内圧を制御できるようになっている。上チャンバー２０は、上チャンバー用排気弁５１を介してバキュームポンプ５０に接続されている。一方、下チャンバー３０は、下チャンバー用排気弁５２を介してバキュームポンプ５０に接続されている。また上チャンバー２０は、上チャンバー用吸気弁５３を有し、大気圧の流入を制御することができる。一方、下チャンバー３０は、下チャンバー用吸気弁５４を有し、大気圧の流入を制御することができる。
　ラミネート装置１００の上チャンバー２０には、ダイヤフラムシート４０が備えられており、上チャンバー２０と下チャンバー３０とを重ねた際に、上チャンバー２０と下チャンバー３０をダイヤフラムシート４０で２室に区切る構造となっている。
　ラミネート装置１００の下チャンバー３０には、被加工物である積層体１０Ｓを加熱するための熱板３２とフッ素樹脂製の接着防止シート３６、加工中に積層体１０Ｓを支持するための複数のリフトピン３４、リフトピン３４を昇降させる昇降装置３５を備えており、熱板３２の上に接着防止シート３６、さらに接着防止シート３６の上に積層体１０Ｓを載せる。接着防止シート３６は、熱板３２により加熱された積層体１０Ｓの中の封止樹脂３が溶融し、ガラス基板４からはみ出し熱板３２に接着することを防止する。リフトピン３４は、熱板３２の上面より下方に設けられており、昇降装置３５により熱板３２上面より上方に上昇し積層体１０Ｓと熱板３２とに隙間を設けることができる。熱板３２には、図８に熱板３２の平面図を示すように、複数のリフトピン昇降用穴３３が設けられている。図４および図５は図８のIV－IV断面に相当する。図４および図５に示すように複数の昇降装置３５が複数のリフトピン３４を個別に昇降できる機能を有することで、複数のリフトピン３４を高さ方向に変動可能とする。リフトピン昇降用穴３３は、リフトピン３４の水平方向の移動を規制し、高さ方向にのみリフトピン３４が移動可能で、接着防止シート３６の高さを調整できるようになっている。ここで昇降装置３５はロボシリンダをはじめとする駆動装置を備え、リフトピン昇降用穴３３の範囲で上下方向に自在に位置決めができるものである。
　次に、実施の形態１によるラミネート装置１００を用いたラミネート方法を用いた太陽電池モジュールの製造方法について図６を参照して説明する。図６（ａ）から図６（ｄ）は、実施の形態１のラミネート装置１００を用いた太陽電池モジュールの製造工程を示す図である。実施の形態１のラミネート装置１００は、図６に示すように、太陽電池セル１をタブ線２で接続し、アレイ状にしたものを樹脂シート３ａ，３ｂを介して、ガラス基板４、裏面保護材である保護シート５との間にはさみ、積層体１０Ｓを形成したものを載置し、加熱加圧し、太陽電池モジュール１０を形成するものである。
　ラミネート工程の説明に先立ち、まず、太陽電池モジュールの製造工程について簡単に説明する。
　まず、図６（ａ）に示すように、樹脂を所望の厚さに延伸し、樹脂シート３ａおよび３ｂを形成する。
　一方、太陽電池セル１を形成し、タブ線２で、当該セルの正極を隣接セルの負極に接続し、図６（ｂ）に示すように太陽電池セル１の接続されたストリングを形成する。
　次に、図６（ｃ）に示すように、ガラス基板４上に、引き延ばされた樹脂シート３ａ、太陽電池セル１をタブ線２で接続したストリング、引き延ばされた樹脂シート３ｂ、ＰＥＴをはじめとする耐水樹脂で構成された保護シート５を順次積層し、積層体１０Ｓを形成する。
　そして積層体１０Ｓを図１から図５に示したラミネート装置１００に搬送し、ラミネート装置１００でラミネート処理を実施する。ラミネート工程は、熱板３２上に積層体１０Ｓを載置した後、積層体１０Ｓの面内で、熱板３２と積層体１０Ｓとの距離を変化させ積層体１０Ｓの熱変形を矯正する矯正工程とを含むものである。
　ラミネート装置１００では、まず、図１および図２に示すように、下チャンバー３０の熱板３２に設けられた、ヒータＨによって、熱板３２を任意の温度に昇温し、上チャンバー２０と下チャンバー３０を分離し、下チャンバー３０の熱板３２の上方に設けられた、接着防止シート３６の上に被加工物である積層体１０Ｓを載せる。積層体１０Ｓを載せる際、図６（ｃ）に示した積層体１０Ｓのガラス基板４側が下側となるようにして接着防止シート３６の上に載せる。
　そして昇降装置３５により、リフトピン３４を上昇させ接着防止シート３６と積層体１０Ｓを持ち上げ、熱板３２との間に隙間を設ける。ここで接着防止シート３６に熱板３２に設けたリフトピン昇降用穴３３と同形状の穴を設けた場合は、積層体１０Ｓのみを持ち上げることが可能である。図４は、接着防止シート３６の上に積層体１０Ｓを載せた状態を図示している。リフトピン３４を均一高さに上昇させただけでは、被加工物である積層体１０Ｓの厚み方向に温度差が発生し、図４に示すように、積層体１０Ｓに反りが生じている。そして加熱を続けると積層体１０Ｓの反りが大きくなる。反りが大きくなれば積層体１０Ｓの中央部と端部の温度差が大きくなり、図６に示した樹脂シート３ａ，３ｂからなる封止樹脂３の流動性にも差が生じる。
　そこで、図５に示すように、積層体１０Ｓの中央部のリフトピン３４を高くすることで、積層体１０Ｓのガラス基板４の反りの矯正がなされ、積層体１０Ｓは短時間で元の平坦な形状に戻る。そこで平坦な形状となった積層体１０Ｓを熱板３２に載置したまま、昇降装置３５により、リフトピン３４を下降させ、図２に示した平坦な形状の積層体１０Ｓとする。
　上記工程を経て、積層体１０Ｓの反りの矯正を行った後、即時に、図３に示したラミネート装置１００の上チャンバー用排気弁５１を開き、バキュームポンプ５０により、上チャンバー２０とダイヤフラムシート４０で区切られた空間を負圧とし、下チャンバー３０の上に上チャンバー２０を重ねる。そして、下チャンバー用排気弁５２を開き、バキュームポンプ５０により、下チャンバー３０と上チャンバー２０のダイヤフラムシート４０で区切られた空間も負圧とする。積層体１０Ｓから発生した気泡を外部に排出した後、昇降装置３５によりリフトピン３４を熱板３２の上面より下方に下降させ、上チャンバー２０とダイヤフラムシート４０で区切られた空間への吸気を行い、積層体１０Ｓ全体を加圧する。
　以上のようにして、ラミネート装置１００内でラミネート処理を実施した後、積層体１０Ｓを加熱加圧して、封止樹脂３による封止のなされた加工済みの太陽電池モジュール１０を取り出すことができる。
　上記工程で封止された太陽電池モジュール用の積層体１０Ｓにフレーム１１を装着し、図６（ｄ）に要部断面図、図７に斜視図を示すように、太陽電池モジュール１０が完成する。
　実施の形態１のラミネート方法によれば、複数のリフトピン３４を独立して個別に高さ方向に変動できることにより、ラミネート処理に先立ち、被加工物である積層体１０Ｓに発生する反りまたは撓みを矯正することができる。また、検討の結果、以下のことがわかった。積層体１０Ｓのガラス基板４の短辺の長さが６００ｍｍ以上のサイズで、反りあるいは撓みの影響が大きくなる。さらに短辺が６００ｍｍ以上で、長辺の長さが８００ｍｍ以上のサイズで、反りの影響が顕著となり、本構成による反りの抑制効果が顕著となる。ガラスの厚みに関しては、例えば、３.０ｍｍ以上で反りの大きさが顕著となるため、本構成による反りの抑制効果が顕著となる。また、リフトピン３４の位置を平面方向に変動できることで被加工物の面積または形状により、被加工物の一部が熱板３２に接触して急加熱することを防止できる。従って、樹脂シート３ａ，３ｂからなる封止樹脂３の流動性差を軽減させ、気泡の残存または外観異常をはじめとする不良の発生を抑えることができる。
　また、実施の形態１のラミネート装置１００によれば、複数のリフトピン３４を高さ方向に独立して変位させる昇降装置３５を備えたことで、加熱中に被加工物に発生する反りまたは撓みを矯正することができる。従って被加工物と熱板３２の距離を変化でき被加工物の面内の加熱量を制御することができる。複数のリフトピン３４を個別に平面方向に変動できることで、被加工物の面積または形状に合わせてリフトピン３４を配置することが可能で、被加工物の一部が熱板３２に接触して急加熱されることを防止できる。以上のように、昇降装置３５のリフトピン３４は、上下動可能でかつ独立して熱板３２の面内でも平面方向に変位可能である。つまり、リフトピン３４は、積層体１０Ｓを上下動させ熱板との面内距離を調整可能であるとともに、開口３３内での変位により熱板の面内での位置も変位可能であり、積層体１０Ｓの温度を微調整することができるため、積層体１０Ｓの高精度の矯正が実現可能である。リフトピン３４の平面方向への変位方法としては、機械式、電気式を問わない。例えば、昇降装置３５をシリンダにより水平方向に移動させることで、リフトピン３４を平面方向に変位させることが可能である。
実施の形態２．
　図９は、実施の形態２の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置の熱板を示す平面図である。実施の形態１では、図８に示したように、変位部を構成するリフトピン３４の形成位置に対応して断面円形の複数のリフトピン昇降用穴３３を設け、図４および図５に示したように複数の昇降装置３５が複数のリフトピン３４を個別に昇降できるように構成した。これに対し、実施の形態２では、熱板３２に、リフトピン３４を挿通する十字状のリフトピン昇降用穴３３Ｓを有し、十字の４隅Ｅが、リフトピン３４の平面移動を阻止するストッパを構成するようにしたものである。図９に示すように、熱板３２に複数の十字状のリフトピン昇降用穴３３Ｓを設け、複数のリフトピン３４を個別に平面方向にも移動できる機能を有する。平面方向の移動範囲は十字の範囲であり、ＸＹ方向に一定距離の移動が可能となっており、熱板３２と被加工物である積層体１０Ｓとの距離に加え平面方向の位置を精度よく調整することができる。他の構成については実施の形態１と同様であるためここでは説明を省略する。同一部位には同一符号を付した。
　実施の形態２のラミネート装置１００では、複数の十字状のリフトピン昇降用穴３３Ｓを設けたことで、昇降装置３５が、複数のリフトピン３４を個別に昇降できる機能と平面方向に移動できる機能を有する。従って、高さ方向および平面方向にリフトピン３４の位置を変動可能であり、高精度に反りの矯正を行うことができる。実施の形態１と同様に、検討の結果、以下のことがわかった。積層体１０Ｓのガラス基板４の短辺の長さが６００ｍｍ以上のサイズで、反りあるいは撓みの影響が大きくなる。さらに短辺が６００ｍｍ以上で、長辺の長さが８００ｍｍ以上のサイズで、反りの影響が顕著となり、本構成による反りの抑制効果が顕著となる。ガラスの厚みに関しては、例えば、３.０ｍｍ以上で反りの大きさが顕著となるため、本構成による反りの抑制効果が顕著となる。
実施の形態３．
　図１０は本発明の実施の形態３の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置の下チャンバーの断面拡大図である。図１０は図１のII-II断面に相当する。図１１および図１２は、実施の形態３のラミネート工程における矯正工程を示す工程断面図である。図１３は、同ラミネート装置の熱板の平面図であり、図１０から図１２は図１３のＸ－Ｘ断面に相当する。実施の形態３のラミネート装置１００は、温度制御部を構成する熱板が３０個の小熱板３２ｐに分割され、小熱板３２ｐ毎に高さを調整できるようになっている点で実施の形態１のラミネート装置１００と異なる。また変位部を構成するリフトピン３４は実施の形態１のラミネート装置１００と同様、小熱板３２ｐ内に埋め込まれ独立して上下動可能となっているが、さらに小熱板３２ｐ毎に一つの熱板リフトピン３４ｐが配され、小熱板３２ｐも独立して上下動可能となっている。小熱板３２ｐは、熱板昇降装置３５ｐにより、熱板昇降用穴３３ｐに沿って、独立して上下動可能となっている。
　つまり温度制御部は、実施の形態１のリフトピン３４およびリフトピン３４を昇降する昇降装置３５に加え、被加工物である積層体１０Ｓを載置して加熱する３０個の小熱板３２ｐと、小熱板３２ｐ内で上下動可能に埋め込まれ、小熱板３２ｐ上の積層体１０Ｓを変位させる複数のリフトピン３４と、リフトピン３４を独立して上下動させる昇降装置３５を具備している。
　そして、小熱板３２ｐの集合体である熱板上の積層体１０Ｓが、ダイヤフラムシート４０と小熱板３２ｐの集合体とで加熱加圧される。小熱板３２ｐは、小熱板３２ｐ内に埋め込まれたヒータＨで加熱される。実施の形態３のラミネート装置１００についても、実施の形態１のラミネータ装置と同様、上チャンバー２０と、上チャンバー２０との間に空間を形成するとともに空間内の被加工物である太陽電池モジュール用の積層体１０Ｓを加熱または冷却する温度制御部を備えた下チャンバー３０と、空間内で変位可能なダイヤフラムを構成するダイヤフラムシート４０とを備える。
　次に実施の形態３のラミネート装置１００を用いたラミネート方法について説明する。実施の形態１と同様、まず、図６（ｃ）に示したように、太陽電池セル１をタブ線２で接続し、アレイ状にしたものを樹脂シート３ａ，３ｂを介して、ガラス基板４、裏面保護材である保護シート５との間にはさむことで形成された積層体１０Ｓを形成する。次いで積層体１０Ｓを図１０に示すようにラミネート装置１００の小熱板３２ｐ上に載置する。
　そして昇降装置３５により、リフトピン３４を上昇させ接着防止シート３６と積層体１０Ｓを持ち上げ、熱板３２との間に隙間を設ける。ここで接着防止シート３６に熱板３２に設けたリフトピン昇降用穴３３と同形状の穴を設けた場合は、積層体１０Ｓのみを持ち上げることが可能である。図１１は、接着防止シート３６の上に積層体１０Ｓを載せた状態を図示している。リフトピン３４を均一高さに上昇させただけでは、積層体１０Ｓの厚み方向に温度差が発生し、図１１に示すように、積層体１０Ｓに反りが生じている。そして加熱を続けると積層体１０Ｓの反りが大きくなる。反りが大きくなれば積層体１０Ｓの中央部と端部の温度差が大きくなり、封止樹脂の流動性にも差が生じる。
　そこで、図１２に示すように、積層体１０Ｓの中央部のリフトピン３４を高くするとともに、中央部の熱板リフトピン３４ｐを下降させて中央部の小熱板３２ｐを低くする。つまりリフトピン３４を上昇させるとともに熱板リフトピン３４ｐを下降させることで、積層体１０Ｓは熱板側中央部で、より効率よく温度が降下し、積層体１０Ｓの反りは瞬時に矯正される。つまり実施の形態１に比べて、積層体１０Ｓはより短時間で元の平坦な形状に戻る。そこで平坦な形状となった積層体１０Ｓを熱板３２に載置したまま、昇降装置３５により、リフトピン３４を下降させ、図１０に示した平坦な形状の積層体１０Ｓとする。
　上記工程を経て、積層体１０Ｓの反りの矯正を行った後、即時に、図３に示したラミネート装置１００の上チャンバー用排気弁５１を開き、バキュームポンプ５０により、上チャンバー２０とダイヤフラムシート４０で区切られた空間を負圧とし、下チャンバー３０の上に上チャンバー２０を重ねる。そして、下チャンバー用排気弁５２を開き、バキュームポンプ５０により、下チャンバー３０と上チャンバー２０のダイヤフラムシート４０で区切られた空間も負圧とする。積層体１０Ｓから発生した気泡を外部に排出した後、昇降装置３５によりリフトピン３４を熱板３２の上面より下方に下降させ、上チャンバー２０とダイヤフラムシート４０で区切られた空間への吸気を行い、積層体１０Ｓ全体を加圧する。
　以上のようにして、ラミネート装置１００内でラミネート処理を実施した後、積層体１０Ｓを加熱加圧して、封止のなされた加工済みの太陽電池モジュール１０を取り出すことができる。
　上記工程で封止された太陽電池モジュールの積層体１０Ｓにフレーム１１を装着し、実施の形態１と同様、図６（ｄ）に要部断面図、図７に斜視図を示したように、太陽電池モジュール１０が完成する。
　実施の形態３のラミネート装置１００によれば、複数リフトピンを個別に高さ方向に変動できることにより、被加工物に発生する反りまたは撓みを矯正し、平面方向に変動できることで被加工物である積層体１０Ｓの面積あるいは形状により、積層体１０Ｓの一部が熱板３２に接触して不均一に急加熱されることを防止できる。更に小熱板３２ｐの高さを独立して変動させることにより、被加工物と小熱板３２ｐの距離を変化させることができ被加工物の面内の加熱量を制御することができる。従って、面内を均一に加熱し封止樹脂の流動性差を軽減させ、気泡の残存または外観異常をはじめとする不良の発生を抑えることができる。実施の形態１および２と同様に、検討の結果、以下のことがわかった。積層体１０Ｓのガラス基板４の短辺の長さが６００ｍｍ以上のサイズで、反りあるいは撓みの影響が大きくなる。さらに短辺が６００ｍｍ以上で、長辺の長さが８００ｍｍ以上のサイズで、反りの影響が顕著となり、本構成による反りの抑制効果が顕著となる。ガラスの厚みに関しては、例えば、３.０ｍｍ以上で反りの大きさが顕著となるため、本構成による反りの抑制効果が顕著となる。
実施の形態４．
　図１４は、実施の形態４の太陽電池モジュール製造装置で用いられるラミネート装置の熱板を示す平面図である。実施の形態３では、図１３に示したように、変位部を構成するリフトピン３４の形成位置に対応して断面円形の複数のリフトピン昇降用穴３３を設け、図１１および図１２に示したように複数の昇降装置３５が複数のリフトピン３４を個別に昇降できるように構成した。これに対し、実施の形態４では、図９に示した実施の形態２と同様、小熱板３２ｑに複数の十字状のリフトピン昇降用穴３３ｑを設け、複数のリフトピン３４ｑを個別に平面方向に移動できる機能を有する。平面方向の移動範囲は十字の範囲であり、ＸＹ方向に一定距離の移動が可能となっており、熱板と被加工物である積層体１０Ｓとの距離を精度よく調整することができる。他の構成については実施の形態３と同様であるためここでは説明を省略する。同一部位には同一符号を付した。
　実施の形態４のラミネート装置１００では、複数の十字状のリフトピン昇降用穴３３ｑを設けたことで、昇降装置３５が、複数のリフトピン３４ｑを個別に昇降できる機能と平面方向に移動できる機能を有する。従って、高さ方向および平面方向にリフトピン３４ｑの位置を変動可能であり、高精度に反りの矯正を行うことができる。実施の形態１から３と同様に、検討の結果、以下のことがわかった。積層体１０Ｓのガラス基板４の短辺の長さが６００ｍｍ以上のサイズで、反りあるいは撓みの影響が大きくなる。さらに短辺が６００ｍｍ以上で、長辺の長さが８００ｍｍ以上のサイズで、反りの影響が顕著となり、本構成による反りの抑制効果が顕著となる。ガラスの厚みに関しては、例えば、３.０ｍｍ以上で反りの大きさが顕著となるため、本構成による反りの抑制効果が顕著となる。
実施の形態５．
　図１５は本発明の実施の形態５の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置の下チャンバーの断面拡大図である。図１５は図１のII-II断面に相当する。図１６および図１７は、実施の形態５のラミネート工程における矯正工程を示す工程断面図である。実施の形態５のラミネート装置１００は、温度制御部を構成する熱板が複数の小領域に分割されて小熱板３２ｒを構成し、小領域毎に、温度センサ３７で測定し、自動的に変位部を構成するリフトピン３４を上下動させるものである。温度センサ３７は接触式センサであり、被加工物である積層体１０Ｓの小領域毎に接着防止シート３６を介して接触し積層体１０Ｓの裏面の温度検出を行う。各温度センサ３７はシリンダばねを用いたセンサ昇降装置３８で、積層体１０Ｓとともに接着防止シート３６に接触した上下動する。またリフトピン３４は実施の形態１のラミネート装置１００と同様、小熱板３２ｒ内に埋め込まれ独立して上下動可能となっているが、各温度センサ３７の出力に応じて、図示しない制御部で自動的に昇降装置３５により、リフトピン昇降用穴３３に沿って、リフトピン３４が独立して上下動可能となっている。
　次に実施の形態５のラミネート装置１００を用いたラミネート方法について説明する。実施の形態１と同様、まず、図６（ｃ）に示したように、太陽電池セル１をタブ線２で接続し、アレイ状にしたものを樹脂シート３ａ，３ｂを介して、ガラス基板４、裏面保護材である保護シート５との間にはさむことで形成された積層体１０Ｓを形成する。次いで積層体１０Ｓを図１５に示すように実施の形態５のラミネート装置１００の小熱板３２ｒ上に載置する。
　そして昇降装置３５により、リフトピン３４を上昇させ接着防止シート３６と積層体１０Ｓを持ち上げ、小熱板３２ｒとの間に隙間を設ける。ここでも接着防止シート３６に小熱板３２ｒに設けたリフトピン昇降用穴３３と同形状の穴を設けた場合は、積層体１０Ｓのみを持ち上げることが可能である。図１５は、接着防止シート３６の上に積層体１０Ｓを載せた状態を図示している。温度センサ３７は接着防止シート３６に接触して積層体１０Ｓの裏面の温度を検出する。リフトピン３４を均一高さに上昇させただけでは、被加工物である積層体１０Ｓの厚み方向に温度差が発生し、図１６に示すように、積層体１０Ｓに反りが生じているが、温度センサ３７がセンサ昇降装置３８で積層体１０Ｓの変位に従い、接着防止シート３６を介して積層体１０Ｓに接触した状態を維持する。そして加熱を続けると積層体１０Ｓの反りが大きくなる。反りが大きくなれば積層体１０Ｓの中央部と端部の温度差が大きくなり、封止樹脂の流動性にも差が生じる。
　そこで、図１７に示すように、図示しない制御部が温度センサ３７の出力に基づき積層体１０Ｓの中央部のリフトピン３４を高くする。つまりリフトピン３４を自動的に上昇させることで、積層体１０Ｓは熱板側中央部で、より効率よく温度が降下し、積層体１０Ｓの反りは瞬時に矯正される。つまり実施の形態１に比べて、積層体１０Ｓは自動的に制御性よく元の平坦な形状に戻る。そこで平坦な形状となった積層体１０Ｓを小熱板３２ｒに載置したまま、昇降装置３５により、リフトピン３４を下降させ、図１５に示した平坦な形状の積層体１０Ｓとする。
　上記工程を経て、積層体１０Ｓの反りの矯正を行った後、即時に、図３に示したラミネート装置１００の上チャンバー用排気弁５１を開き、バキュームポンプ５０により、上チャンバー２０とダイヤフラムシート４０で区切られた空間を負圧とし、下チャンバー３０の上に上チャンバー２０を重ねる。そして、下チャンバー用排気弁５２を開き、バキュームポンプ５０により、下チャンバー３０と上チャンバー２０のダイヤフラムシート４０で区切られた空間も負圧とする。積層体１０Ｓから発生した気泡を外部に排出した後、昇降装置３５によりリフトピン３４を小熱板３２ｒの上面より下方に下降させ、上チャンバー２０とダイヤフラムシート４０で区切られた空間への吸気を行い、積層体１０Ｓ全体を加圧する。
　以上のようにして、ラミネート装置１００内でラミネート処理を実施した後、積層体１０Ｓを加熱加圧して、封止のなされた加工済みの太陽電池モジュール１０を取り出すことができる。
　上記工程で封止された太陽電池モジュールの積層体１０Ｓにフレーム１１を装着し、実施の形態１と同様、図６（ｄ）に要部断面図、図７に斜視図を示したように、太陽電池モジュール１０が完成する。
　小熱板３２ｒに、図８のように複数のリフトピン昇降用穴３３を設け、図１５に示すように複数の昇降装置３５が複数のリフトピン３４を個別に昇降できる機能を有することで、複数のリフトピン３４を高さ方向に変動可能とする。ここで昇降装置３５にはロボシリンダをはじめとする昇降装置を用いる。
　また、実施の形態５においても小熱板３２ｒに図９のような複数の十字状のリフトピン昇降用穴３３Ｓを設け、複数のリフトピン３４を個別に平面方向に移動できる機能を有することで、被加工物を支持する位置を平面方向に変動可能となる。さらに、昇降装置３５が、複数のリフトピン３４を個別に昇降できる機能と平面方向に移動できる機能を有することで、高さ方向および平面方向にリフトピン３４の位置を変動可能である。
　また、温度センサ３７は、ラミネート処理中の被加工物の温度を測定するために設けられており、接触式温度センサに限定されるものではない。温度測定方法は図示しないが、たとえば、小熱板３２ｒ側から被加工物の温度を測定できるように小熱板３２ｒ、接着防止シート３６に穴または切り込みを設けて温度測定部を設けても良い、測定方法についても、非接触式温度測定する方法、接触式温度センサを押し当てて測定する方法をはじめ種々の測定方法が適用可能である。
　実施の形態５のラミネート装置１００を用いたラミネート方法によれば、温度センサ３７で検知した被加工物の温度によって、被加工物の高温部に位置するリフトピン３４を高く、被加工物の低温部に位置するリフトピン３４を低く自動的に変動させる。従って、加熱により発生する被加工物の反り形状の変化に追従してリフトピン３４の高さを変動させることで均一な加熱が可能となる。
　また、実施の形態５のラミネート装置１００によれば、複数のリフトピン３４を個別に高さ方向または平面方向に変動できることで、被加工物に発生する反りまたは撓みを矯正し被加工物の加熱を均一に行うことができる。加熱中に発生した面内温度差に対して、自動でリフトピン３４の高さを変動させることで、被加工物の面内の温度を均一化し、封止樹脂３の流動性差をなくすため、気泡の残存または外観異常をはじめとする不良の発生を抑えることができる。実施の形態１から４と同様に、検討の結果、以下のことがわかった。積層体１０Ｓのガラス基板４の短辺の長さが６００ｍｍ以上のサイズで、反りあるいは撓みの影響が大きくなる。さらに短辺が６００ｍｍ以上で、長辺の長さが８００ｍｍ以上のサイズで、反りの影響が顕著となり、本構成による反りの抑制効果が顕著となる。ガラスの厚みに関しては、例えば、３.０ｍｍ以上で反りの大きさが顕著となるため、本構成による反りの抑制効果が顕著となる。
　なお、リフトピン３４の高さは、逐次自動的に変化させるのではなく、あらかじめ積層体１０Ｓの温度分布を測定しておき測定結果に基づいて算出したデータにもとづき、手動で設定するようにしてもよい。
実施の形態６．
　図１８は本発明の実施の形態６の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置の下チャンバーの断面拡大図である。図１８は図１のII-II断面に相当する。図１９および図２０は、実施の形態６のラミネート工程における矯正工程を示す工程断面図である。実施の形態６のラミネート装置１００は、温度制御部を構成する熱板が３０個の小熱板３２ｐに分割され、小熱板３２ｐ毎に高さを調整できるようになっている実施の形態３の構成に加え、実施の形態５の温度センサ３７の構成を加えたものである。実施の形態５と同様、温度制御部を構成する熱板が複数の小熱板３２ｐに分割され、小領域毎に、温度センサ３７で測定し、自動的に変位部を構成する熱板リフトピン３４ｐを上下動させるものである。他部については実施の形態３および５と同様であり、ここでは説明を省略するが同一部位には同一符号を付した。
　次に実施の形態６のラミネート装置１００を用いたラミネート方法について説明する。実施の形態１と同様、まず、図６（ｃ）に示したように、太陽電池セル１をタブ線２で接続し、アレイ状にしたものを樹脂シート３ａ，３ｂを介して、ガラス基板４、裏面保護材である保護シート５との間にはさむことで形成された積層体１０Ｓを形成する。次いで積層体１０Ｓを図１８に示すように実施の形態６のラミネート装置１００の複数の小熱板３２ｐ上に載置する。
　そして昇降装置３５により、リフトピン３４を上昇させ接着防止シート３６と積層体１０Ｓを持ち上げ、複数の小熱板３２ｐとの間に隙間を設ける。ここでも接着防止シート３６に小熱板３２ｐに設けたリフトピン昇降用穴３３と同形状の穴を設けた場合は、積層体１０Ｓのみを持ち上げることが可能である。図１８は、接着防止シート３６の上に積層体１０Ｓを載せた状態を図示している。温度センサ３７は接着防止シート３６に接触して積層体１０Ｓの裏面の温度を検出する。熱板リフトピン３４ｐを均一高さに上昇させただけでは、積層体１０Ｓの厚み方向に温度差が発生し、図１９に示すように、積層体１０Ｓに反りが生じているが温度センサ３７がセンサ昇降装置３８で積層体１０Ｓの変位に従い、接着防止シート３６を介して積層体１０Ｓに接触した状態を維持する。そして加熱を続けると積層体１０Ｓの反りが大きくなる。反りが大きくなれば積層体１０Ｓの中央部と端部の温度差が大きくなり、封止樹脂の流動性にも差が生じる。
　そこで、図２０に示すように、図示しない制御部が温度センサ３７の出力に基づき積層体１０Ｓの中央部のリフトピン３４を高くすると共に中央部の熱板リフトピン３４ｐを低くする。つまりリフトピン３４を自動的に上昇させるとともに中央部の小熱板３２ｐを降下させることで、積層体１０Ｓは熱板側中央部で、より効率よく温度が降下し、積層体１０Ｓの反りは瞬時に矯正される。つまり実施の形態４に比べて、積層体１０Ｓは自動的に制御性よく元の平坦な形状に戻る。そこで平坦な形状となった積層体１０Ｓを小熱板３２ｐに載置したまま、昇降装置３５により、リフトピン３４を下降させ、図１８に示した平坦な形状の積層体１０Ｓとする。
　上記工程を経て、積層体１０Ｓの反りの矯正を行った後、即時に、図３に示したラミネート装置１００の上チャンバー用排気弁５１を開き、バキュームポンプ５０により、上チャンバー２０とダイヤフラムシート４０で区切られた空間を負圧とし、下チャンバー３０の上に上チャンバー２０を重ねる。そして、下チャンバー用排気弁５２を開き、バキュームポンプ５０により、下チャンバー３０と上チャンバー２０のダイヤフラムシート４０で区切られた空間も負圧とする。積層体１０Ｓから発生した気泡を外部に排出した後、昇降装置３５によりリフトピン３４を小熱板３２ｐの上面より下方に下降させ、上チャンバー２０とダイヤフラムシート４０で区切られた空間への吸気を行い、積層体１０Ｓ全体を加圧する。
　以上のようにして、ラミネート装置１００内でラミネート処理を実施した後、積層体１０Ｓを加熱加圧して、封止のなされた加工済みの太陽電池モジュール１０を取り出すことができる。
　上記工程で封止された太陽電池モジュールの積層体１０Ｓにフレーム１１を装着し、実施の形態１と同様、図６（ｄ）に要部断面図、図７に斜視図を示したように、太陽電池モジュール１０が完成する。
　本発明の実施の形態６によれば、複数の熱板リフトピン３４ｐを個別に高さ方向に変動できることにより、被加工物に発生する反りまたは撓みを矯正することができる。また、平面方向に変動できることで被加工物の面積または形状により、被加工物の一部が熱板に接触して急加熱されるのを防止できる。更に小熱板３２ｐの高さを変動させることにより、被加工物と小熱板３２ｐとの距離を調整することができ被加工物の面内の加熱量を制御することができる。従って、面内を均一に加熱し封止樹脂の流動性差を軽減させ、気泡の残存または外観異常をはじめとする不良の発生を抑えることができる。
　以上説明してきたように、実施の形態６のラミネート方法によれば、複数の熱板リフトピン３４ｐの高さあるいは位置を個別に調整して熱板リフトピン３４ｐの高さに高低差を付けることで、被加工物の反りを矯正することができる。被加工物の低温部と小熱板３２ｐとの距離を近づけ、また、被加工物の高温部と小熱板３２ｐとの距離を遠ざけることで被加工物の面内温度分布を軽減させ、封止樹脂の流動性差がなくなるため、気泡の残存および外観異常をはじめとする不良の発生を抑えることができる。
　また、実施の形態６のラミネート装置１００によれば、複数の小熱板３２ｐは、それぞれ温度センサ３７を備え、温度センサ３７の出力に応じて、小熱板３２ｐを昇降する熱板昇降装置を備えている。かかる構成により温度センサ３７で検知した被加工物の温度によって、被加工物の高温部に位置する小熱板３２ｐを高く、被加工物の低温部に位置する小熱板３２ｐを低く変位させることができる。従って、加熱により発生する被加工物の反り形状の変化に追従して小熱板３２ｐの高さを変動させることで均一な加熱が可能となる。
実施の形態７．
　図２１は、実施の形態７の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置の熱板を示す平面図、図２２は、実施の形態７の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置の下チャンバーの断面拡大図であり、図２１のXXII－XXII断面図、図２３は、実施の形態７の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置の下チャンバーの断面拡大図であり、図２１のXXIII－XXIII断面図である。実施の形態７のラミネート装置１００では、熱板３２に、リフトピン３４に代えて板状体５５を挿通する断面長方形の開口５６を配列している。板状体５５は、被加工物である積層体１０Ｓの短辺と平行な方向に配列され、それぞれを独立して上下方向に昇降可能となっており、被加工物である積層体１０Ｓの長辺に沿った方向の反りを強制することができる。他の構成については実施の形態１と同様であるためここでは説明を省略する。
　実施の形態７によれば、被加工物の長辺に発生する反りを強制することで、面内温度分布を改善し、気泡の残存または外観異常をはじめとする不良の発生を抑えることができる。
　また、磨耗あるいは破損が発生した際の確認あるいは取替えは、板状体５５一枚ごとに着脱が可能なため、作業工数が少なくなり、高いメンテナンス性が得られる。本実施の形態では、中央から長辺への面内温度分布については低減度合が少なくなる可能性があるが、反りあるいは温度分布の大半は中央と短辺の間に現れるため、反りの矯正と温度分布の低減が出来ることに加え高いメンテナンス性が得られる。
　検討の結果、以下のことがわかった。積層体１０Ｓのガラス基板４の短辺の長さが６００ｍｍ以上のサイズで、反りあるいは撓みの影響が大きくなる。さらに短辺が６００ｍｍ以上で、長辺の長さが８００ｍｍ以上のサイズで、反りの影響が顕著となり、本構成による反りの抑制効果が顕著となる。ガラスの厚みに関しては、例えば、３.０ｍｍ以上で反りの大きさが顕著となるため、本構成による反りの抑制効果が顕著となる。
実施の形態８．
　図２４は、実施の形態８の太陽電池モジュールの製造装置で用いられるラミネート装置の熱板を示す平面図である。実施の形態８では、熱板を分割部５７で、５つに分割し１枚の板状体５５毎の小熱板３２ｒを独立して昇降および温度を制御できるようにしたラミネート装置である。板状体５５は、被加工物の短辺と平行な方向に配列され、それぞれを独立して上下方向に昇降可能となっており、被加工物である積層体１０Ｓの長辺の反りを強制することができる。他の構成については実施の形態１と同様であるためここでは説明を省略する。
　実施の形態８によれば、被加工物の長辺に発生する反りを強制することで、面内温度分布を改善し、気泡の残存または外観異常をはじめとする不良の発生を抑えることができる。
　また、磨耗あるいは破損が発生した際の確認や取替えは、小熱板３２ｒ一枚ごとに着脱が可能なため、作業工数が少なくなり、高いメンテナンス性が得られる。本実施の形態では、中央から長辺への面内温度分布の低減が少なくなる可能性があるが、反りや温度分布の大半が中央と短辺の間に現れるため、反りの矯正と温度分布の低減が出来ることに加え高いメンテナンス性が得られる。
　また、実施の形態１から８では太陽電池モジュールのラミネート処理について説明したが、太陽電池に限定されることなく、太陽電池をはじめとする基板上に、樹脂シートを配した積層体をラミネートして得られる他の電子モジュール、さらには、例えば、両面をガラスとした構造、単に２枚のガラスをラミネート加工したものをはじめとする種々のデバイスにも適用可能である。
　本発明のいくつかの実施の形態を説明したが、これらの実施の形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施の形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施の形態およびその変形は、発明の範囲に含まれるとともに、請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
　１　太陽電池セル、２　タブ線、３ａ，３ｂ　樹脂シート、４　ガラス基板、５　保護シート、１０　太陽電池モジュール、１０Ｓ　積層体、１１　フレーム、２０　上チャンバー、３０　下チャンバー、３２　熱板、３２ｐ，３２ｑ，３２ｒ　小熱板、３３　リフトピン昇降用穴、３３ｐ　熱板昇降用穴、３４　リフトピン、３４ｐ　熱板リフトピン、３５　昇降装置、３５ｐ　熱板昇降装置、３６　接着防止シート、３７　温度センサ、３８　センサ昇降装置、４０　ダイヤフラムシート、５０　バキュームポンプ、５１　上チャンバー用排気弁、５２　下チャンバー用排気弁、５３　上チャンバー用吸気弁、５４　下チャンバー用吸気弁、５５　板状体、５６　開口、５７　分割部。

Claims (19)

  1. 　上チャンバーと、
    　前記上チャンバーとの間に空間を形成するとともに前記空間内の被加工物を加熱または冷却する温度制御部を備えた下チャンバーと、
    　前記空間内で変位可能なダイヤフラムとを備え、
    　前記温度制御部は、被加工物を載置して加熱する熱板と、前記熱板内で上下動可能に埋め込まれ、前記熱板上の前記被加工物を変位させる複数の変位部と、前記変位部のそれぞれを独立して上下動させる昇降装置を具備し、
    　前記熱板上の前記被加工物を前記熱板と前記ダイヤフラムとで加熱および加圧することを特徴とするラミネート装置。
  2. 　前記昇降装置は、前記複数の変位部を独立して前記熱板の面内で平面方向に変位可能に構成されたことを特徴とする請求項１に記載のラミネート装置。
  3. 　前記変位部は、被加工物を昇降させる複数のリフトピンで構成されたことを特徴とする請求項１または２に記載のラミネート装置。
  4. 　前記変位部は、前記被加工物の短辺と平行な向きに配され、被加工物を昇降させる複数の板状体で構成され、前記昇降装置は、前記複数の板状体ごとにそれぞれを独立して上下動可能であることを特徴とする請求項１または２に記載のラミネート装置。
  5. 　前記熱板は、前記リフトピンを挿通する十字状の穴を有し、前記十字状の穴の４隅が、前記リフトピンの平面移動を阻止するストッパを構成することを特徴とする請求項３に記載のラミネート装置。
  6. 　前記昇降装置は、前記複数の変位部を高さ方向および平面方向に独立して変位させることを特徴とする請求項１に記載のラミネート装置。
  7. 　前記熱板は複数の小熱板で構成されており、前記小熱板は、前記小熱板の位置を変位させる熱板昇降装置を備えたことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のラミネート装置。
  8. 　前記熱板は、複数の温度センサを備え、
    　前記温度センサの出力に応じて、前記変位部の高さを制御する制御部を備えたことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のラミネート装置。
  9. 　前記複数の小熱板は、それぞれ温度センサを備え、
    　前記熱板昇降装置は、前記温度センサの出力に応じて、前記小熱板を昇降することを特徴とする請求項７に記載のラミネート装置。
  10. 　基板上に、樹脂シートを配し、積層体を形成する積層工程と、
    　上チャンバーと、前記上チャンバーとの間に空間を形成するとともに前記空間内を加熱または冷却する熱板を有する温度制御部を備えた下チャンバーと、前記空間内で変位可能なダイヤフラムと、前記上チャンバーまたは下チャンバーのいずれかの前記ダイヤフラムと対向する面に設けられた、ラミネート装置を用い、前記積層体を前記熱板と前記ダイヤフラムで挟み加熱および加圧してラミネート体を形成するラミネート工程とを備え、
    　前記ラミネート工程が、
    　前記熱板上に前記積層体を載置する工程と、
    　前記積層体の面内で、前記熱板と前記積層体との距離を変化させ前記積層体の熱変形を矯正する矯正工程とを含むことを特徴とするラミネート方法。
  11. 　前記温度制御部が、前記積層体を載置して加熱する熱板と、前記熱板内で上下動可能に埋め込まれ、前記熱板上の前記積層体を変位させる複数の変位部と、前記変位部を独立して上下動させる昇降装置を具備し、
    　前記矯正工程は前記変位部の上下動により前記積層体を平坦な状態に戻す工程であることを特徴とする請求項１０に記載のラミネート方法。
  12. 　前記温度制御部が、前記積層体を載置して加熱する熱板と、前記熱板内で上下動可能に埋め込まれ、前記熱板上の前記積層体を変位させる複数のリフトピンと、前記リフトピンを独立して上下動させる昇降装置を具備し、
    　前記矯正工程は前記リフトピンの上下動により前記積層体を平坦な状態に戻す工程であることを特徴とする請求項１１に記載のラミネート方法。
  13. 　前記温度制御部が、前記積層体を載置して加熱する熱板と、前記熱板内で上下動可能に埋め込まれ、前記熱板上の前記積層体を変位させる複数の板状体と、前記板状体を独立して上下動させる昇降装置を具備し、
    　前記矯正工程は前記板状体の上下動により前記積層体を平坦な状態に戻す工程であることを特徴とする請求項１１に記載のラミネート方法。
  14. 　前記矯正工程は、前記複数の変位部を独立して前記熱板の面内で変位させる工程を含むことを特徴とする請求項１１から１３のいずれか１項に記載のラミネート方法。
  15. 　前記熱板は、前記リフトピンを挿通する十字状の穴を有し、
    　前記矯正工程は、前記リフトピンを前記十字状の穴に沿って、前記リフトピンを上下動および平面移動する工程を含むことを特徴とする請求項１２に記載のラミネート方法。
  16. 　前記熱板は複数の小熱板で構成されており、
    　前記矯正工程は、前記小熱板の位置を変位させる工程を含むことを特徴とする請求項１１から１５のいずれか１項に記載のラミネート方法。
  17. 　前記矯正工程は、前記積層体の温度分布を測定する工程と、前記温度分布に応じて、前記変位部の高さを制御する工程を含むことを特徴とする請求項１１から１６のいずれか１項に記載のラミネート方法。
  18. 　前記複数の小熱板は、それぞれ温度センサを備え、
    　前記矯正工程は、
    　前記温度センサの出力に応じて、前記小熱板を昇降させる工程を含むことを特徴とする請求項１６に記載のラミネート方法。
  19. 　基板上に、樹脂封止材と、太陽電池セルとを積層して得られた積層体を形成する積層工程と、
    　上チャンバーと、前記上チャンバーとの間に空間を形成するとともに前記空間内を加熱または冷却する熱板を有する温度制御部を備えた下チャンバーと、前記空間内で変位可能なダイヤフラムと、前記上チャンバーまたは下チャンバーのいずれかの前記ダイヤフラムと対向する面に設けられた、ラミネート装置を用い、前記積層体を前記熱板と前記ダイヤフラムで挟み加熱および加圧してラミネート体を形成するラミネート工程とを備え、
    　前記ラミネート工程が、
    　前記熱板上に前記積層体を載置する工程と、
    　前記積層体の面内で、前記熱板と前記積層体との距離を変化させ前記積層体の熱変形を矯正する矯正工程とを含むことを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112045793A (zh) * 2020-09-22 2020-12-08 温康纳(常州)机械制造有限公司 一种三维真空压贴设备的送料托盘系统及其小拼块
CN113442099A (zh) * 2021-06-29 2021-09-28 Tcl华星光电技术有限公司 一种基板加工载台

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI701090B (zh) * 2019-01-17 2020-08-11 日月光半導體製造股份有限公司 面板處理設備與方法及多段吸附裝置
JP7397299B2 (ja) 2019-11-27 2023-12-13 日亜化学工業株式会社 貼り合わせ治具及び貼り合わせ方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3037201U (ja) * 1996-10-25 1997-05-16 株式会社エヌ・ピー・シー ラミネート装置
JPH11272342A (ja) * 1998-03-24 1999-10-08 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板熱処理装置および基板熱処理方法
JP2004122553A (ja) * 2002-10-02 2004-04-22 Nichigo Morton Co Ltd 積層装置及び積層方法
JP2008126407A (ja) * 2006-11-16 2008-06-05 Npc Inc ラミネート装置
JP2012245669A (ja) * 2011-05-26 2012-12-13 Mitsubishi Electric Corp ラミネート装置及びラミネート方法
JP2014136355A (ja) * 2013-01-16 2014-07-28 Npc Inc ラミネート装置およびラミネート方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3037201U (ja) * 1996-10-25 1997-05-16 株式会社エヌ・ピー・シー ラミネート装置
JPH11272342A (ja) * 1998-03-24 1999-10-08 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板熱処理装置および基板熱処理方法
JP2004122553A (ja) * 2002-10-02 2004-04-22 Nichigo Morton Co Ltd 積層装置及び積層方法
JP2008126407A (ja) * 2006-11-16 2008-06-05 Npc Inc ラミネート装置
JP2012245669A (ja) * 2011-05-26 2012-12-13 Mitsubishi Electric Corp ラミネート装置及びラミネート方法
JP2014136355A (ja) * 2013-01-16 2014-07-28 Npc Inc ラミネート装置およびラミネート方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112045793A (zh) * 2020-09-22 2020-12-08 温康纳(常州)机械制造有限公司 一种三维真空压贴设备的送料托盘系统及其小拼块
CN113442099A (zh) * 2021-06-29 2021-09-28 Tcl华星光电技术有限公司 一种基板加工载台

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