WO2017149933A1 - 振動装置及びその駆動方法、並びにカメラ - Google Patents

Abstract

接合界面における剥離を抑制しつつ、大きな振幅を得ることを可能とする、振動装置を得る。　筒状部材１４と、筒状部材１４に固定されている圧電振動子１６とを有する筒状振動体部１２と、筒状部材１４の先端面１４ｂに外周部が接合されており、かつレンズ９の前方に配置されている透光性部分を有する透光体部１３とを備える、振動装置２。筒状振動体部１２の振動により、透光体部１３が屈曲モードで振動されるように構成されている。屈曲モードは、Ｚ方向において透光体部１３の中央最大変位部分と、先端面１４ｂに連結されている外周部とが、同じ向きに変位する第１のモードと、逆向きに変位する第２のモードにおいて、先端面１４ｂと外周部との接合界面内に第１のモード及び第２のモードのノードが位置するように、透光体部１３の外周部が、筒状振動体部１２の先端面１４ｂに接合されている。

Description

振動装置及びその駆動方法、並びにカメラ

　本発明は、レンズを有するカメラ本体に用いられる振動装置及び振動装置の駆動方法、並びにカメラに関する。

　車両搭載用カメラや、家屋の外に設けられるカメラは、雨に晒される。そのため、レンズの前方に、ガラスや透明プラスチックからなるカバーが設けられている。しかしながら、カバーに水滴が付着すると、視野がクリアでなくなる。

　下記の特許文献１には、このような用途に用いられるドーム型カバーが開示されている。ドーム型カバーには、円筒部が連結されている。円筒部に圧電振動子が取り付けられている。ドーム型カバーに水滴が付着した場合に、圧電振動子により円筒部及びドーム型カバーを振動させる。それによって水滴が除去される。ドーム型カバーにおける振動のノード位置を変更することにより、液滴を霧化する位置を変更し得ることが記載されている。

　下記の特許文献２には、カメラ本体の前方に超音波トランスデューサ、接着剤層及び外部レンズが配置されている。超音波トランスデューサを駆動することにより、外部レンズを振動させる。それによって、外部レンズに付着した水滴が除去される。

特開２０１２－１３８７６８号公報 特開２００７－８２０６２号公報

　特許文献１や特許文献２において、水滴を確実に除去するには、ドーム型カバーや外部レンズを大きく振動させる必要があった。他方、特許文献１において、ドーム型カバーを大きく振動させようとすると、ドーム型カバーと、円筒部との接合界面において剥離するおそれがあった。

　特許文献２においても、外部レンズを大きく駆動させるために、超音波トランスデューサにおいて大きな振動を発生させると、外部レンズと超音波トランスデューサとの接合界面において、剥離が生じるおそれがあった。

　本発明の目的は、接合界面における剥離を抑制しつつ、大きな振幅を得ることを可能とする、振動装置及び振動装置の駆動方法を提供することにある。

　本発明に係る振動装置は、レンズを有するカメラ本体に用いられる振動装置であって、第１の端部及び第２の端部を有し、前記第１の端部において開口を囲む先端面を有し、前記第１の端部側において、前記第２の端部よりも厚みの薄い薄肉部を有する筒状部材と、前記筒状部材に固定されている圧電振動子とを有する、筒状振動体部と、前記開口を覆うように、前記筒状部材の前記先端面に外周部が接合されており、かつ前記レンズの前方に配置されている透光性部分を有する、透光体部とを備え、前記筒状振動体部の振動により、前記透光体部が屈曲モードで振動されるように構成されており、前記屈曲モードが、前記屈曲モードの振動における前記透光体部の中央最大変位部分と、前記先端面に連結されている前記外周部とが、前記筒状振動体部の中心軸方向であるＺ方向において同じ向きに変位する第１のモードと、逆向きに変位する第２のモードとを有し、前記先端面と前記外周部との接合界面内に前記第１のモード及び前記第２のモードのノードが位置するように、前記透光体部の前記外周部が前記筒状振動体部の前記先端面に接合されている。

　本発明に係る振動装置のある特定の局面では、前記筒状振動体部を、前記Ｚ方向に変位させるように、前記圧電振動子が設けられている。

　本発明に係る振動装置の他の特定の局面では、前記筒状部材が筒状本体と、前記筒状本体に連結されており、前記薄肉部を有する筒状のモード変換結合部とを有し、前記モード変換結合部の前記筒状本体に連結されている側とは反対側の端部が、前記第１の端部であり、前記開口及び前記先端面を有する。この場合には、透光体部における振幅をより一層大きくすることができる。

　本発明に係る振動装置のさらに他の特定の局面では、前記圧電振動子が筒状である。

　本発明に係る振動装置のさらに別の特定の局面では、前記筒状振動体部が、円筒状である。この場合には、筒状振動体部のＺ方向の振動だけでなく、呼吸振動をも利用することができる。

　本発明に係る振動装置の駆動方法は、本発明に従って構成されている振動装置の駆動方法であって、前記第１のモード及び前記第２のモードの少なくとも一方で前記透光体部を振動させるとともに、前記第１のモードにおける振動のノード及び前記第２のモードにおける振動のノードが、前記接合界面内に位置するように、前記振動装置を駆動する。

　本発明に係る振動装置の駆動方法のある特定の局面では、前記第１のモードの共振周波数と、前記第２のモードの共振周波数の差が小さくなるように、前記第１のモード及び前記第２のモードの少なくとも一方のモードで、前記透光体部を振動させる。

　本発明に係る振動装置の駆動方法の他の特定の局面では、前記第１のモードで振動させる工程と、前記第２のモードで振動させる工程とを交互に繰り返す。

　本発明に係るカメラは、本発明に従って構成されている振動装置を有する。

　本発明に係る振動装置及びその駆動方法によれば、接合界面における剥離を効果的に抑制することができる。従って、透光体部をより大きな振幅で振動させることが可能となる。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る振動装置が備えられているカメラの略図的正面断面図である。 図２は、本発明の第１の実施形態で用いられている振動装置の斜視図である。 図３は、本発明の第１の実施形態で用いられている圧電振動子の正面断面図である。 図４は、本発明の第１の実施形態において透光体部と筒状振動体部との連結構造の右側の半分を示す略図的正面断面図である。 図５は、第１のモードで透光体部が屈曲振動している場合の変位分布を示す図である。 図６は、第２のモードで透光体部が屈曲振動している場合の変位分布を示す図である。 図７は、本発明の第１の実施形態の振動装置における共振特性と、透光体部における変位量と周波数との関係を示す図である。 図８は、図７に示した共振特性の要部と位相特性とを示す図である。 図９は、透光体部の厚みと、第１のモードの共振周波数及び変位との関係並びに第２のモードの共振周波数及び変位との関係を示す図である。 図１０は、透光体部の厚みと、第１のモードの共振周波数及び変位との関係並びに第２のモードの共振周波数及び変位との関係を示す図である。 図１１は、本発明の第１の実施形態における透光体部が第１のモードで振動した場合の変位分布を示す模式的正面断面図である。 図１２は、本発明の第１の実施形態における透光体部が第２のモードで振動した場合の変位分布を示す模式的正面断面図である。 図１３（ａ）及び図１３（ｂ）は、本発明の第１の実施形態に係る振動装置において、水滴を除去する工程を説明するための模式的正面断面図である。 図１４（ａ）～図１４（ｃ）は、第１の実施形態に係る振動装置において、水滴を除去する工程を説明するための各模式的正面断面図である。 図１５は、透光体部の変形例を示す正面断面図である。 図１６は、透光体部の他の変形例を示す正面断面図である。 図１７は、本発明の第２の実施形態に係るカ振動装置の透光体部及び筒状振動体部の構造を説明するための略図的正面断面図である。

　以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

　なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。

　図１は、本発明の第１の実施形態に係る振動装置を有するカメラの略図的正面断面図である。図２は、この振動装置の斜視図である。カメラ１は、振動装置２を有する。振動装置２内には、カメラ本体３が収納されている。

　カメラ本体３は、筒状の本体部材４を有する。本体部材４の下端は、ベースプレート１０に固定されている。本体部材４の上端に撮像部５が固定されている。撮像部５内には、撮像素子を含む回路６が内蔵されている。撮像部５に対向するように、レンズモジュール７が固定されている。レンズモジュール７は、筒状体からなり、内部に複数のレンズ９が設けられている。

　上記カメラ本体３の構造は、レンズ９の前方に位置している被撮像物を撮像し得る限り特に限定されるものではない。

　振動装置２は、筒状のケース部材１１と、筒状振動体部１２と、透光体部１３とを有する。筒状のケース部材１１は円筒状である。もっとも、ケース部材１１は、角筒状などの他の形状であってもよい。ケース部材１１は、例えば金属や合成樹脂からなる。

　ケース部材１１の下端がベースプレート１０に固定されている。ケース部材１１の上端側には、環状の突出部１１ａが設けられている。環状の突出部１１ａは、ケース部材１１の径方向内側に突出している。突出部１１ａの上面に、円環状の凹部１１ｂが設けられている。

　筒状振動体部１２は、筒状部材１４と、筒状の固定部材１５と、圧電振動子１６とを有する。圧電振動子１６は、筒状の圧電振動素子であり、例えばランジュバン型振動子などにより構成される。

　固定部材１５の上端が、筒状部材１４の下端にねじ込まれている。それによって、筒状の圧電振動子１６が固定部材１５の上面と、筒状部材１４の下面との間に挟持されて固定されている。上記筒状部材１４及び上記固定部材１５は、金属や合成樹脂からなる。

　筒状の圧電振動子１６は、円環状の圧電素子１６ａを有する。図３に示すように、円環状の圧電素子１６ａは、円環状の圧電板１６ａ１，１６ａ２を有する。圧電板１６ａ１，１６ａ２は、図示の矢印方向が分極方向である。すなわち、厚み方向において、圧電板１６ａ１の分極方向と圧電板１６ａ２の分極方向とは逆方向となっている。圧電板１６ａ１，１６ａ２間に、筒状の端子１６ｄが挟持されている。また、圧電板１６ａ１と第２の筒部材との間に、筒状の端子１６ｅが挟持されている。

　圧電板１６ａ１，１６ａ２は、チタン酸ジルコン酸鉛系圧電セラミックスからなる。もっとも、他の圧電セラミックスや圧電単結晶が用いられてもよい。圧電板１６ａ１，１６ａ２の両面には、図示しない電極が形成されている。

　図１に戻り、上記筒状部材１４は、径方向外側に突出しているフランジ部１４ａを有する。フランジ部１４ａの下面が、凹部１１ｂ内に位置するようにして、筒状部材１４が、ケース部材１１に固定されている。

　筒状部材１４は、筒状振動体部１２の中心軸方向であるＺ方向において、第１の端部と、第２の端部とを有する。この第１の端部において、筒状部材１４は、先端面１４ｂを有する。先端面１４ｂは、円環状であり、筒状部材１４の第１の端部側の開口を囲んでいる。先端面１４ｂに、平板状の透光体部１３の外周部が接合されている。この接合は、特に図示はしないが、接着剤などの接合材を用いた適宜の接合方法により果たされている。従って、上記先端面１４ｂが、本発明における接合界面を構成している。筒状部材１４は、第１の端部側において、第２の端部よりも厚みが薄い、薄肉部１４ｅを有する。薄肉部１４ｅは、モード変換結合部を構成しており、かつ振幅を増大させる機能を有する。

　透光体部１３は、ガラスからなり、その全体が透光性を有する。もっとも、透光体部１３は、レンズ９の前方に位置している部分、すなわちカメラの視野に相当する部分のみが透光性を有していてもよい。

　透光体部１３を構成する材料は、ガラスに限らず、透光性プラスチックスなどが用いられてもよい。

　透光体部１３は、上記カメラ本体３の最前方のレンズ９のさらに前方に位置している。

　圧電振動子１６の振動により、圧電振動子１６が取り付けられている筒状振動体部１２が図１に示すＺ方向において伸縮するように振動する。図１に示すＺ方向とは、筒状振動体部１２の中心軸方向において、筒状振動体部１２から透光体部１３に向かう方向である。また、図１の逆相方向とは、上記Ｚ方向と直交する方向であって、図１の左側から右側に向かうＸ方向をいうものとする。この場合、筒状振動体部１２の振動は、Ｚ方向の変位を伴う限り、特に限定されない。例えば、圧電振動子１６がいわゆる呼吸振動のように縮径拡径状態とを交互による振動モードであってもよい。その場合においても、結果として、筒状振動体部１２の先端面１４ｂは、Ｚ方向に変位を繰り返すこととなる。筒状部材１４の中心軸方向において、第１の端部に位置している先端面１４ｂ側をＺ方向前方、第１の端部とは反対側の第２の端部側をＺ方向後方とする。

　振動装置２では、筒状部材１４の先端面１４ｂがＺ方向前方に位置している振動姿態と、Ｚ方向後方に位置している振動姿態との間で変位を繰り返す。その結果、透光体部１３が屈曲モード振動する。この屈曲モード振動により、透光体部１３の外表面に付着した水滴を霧化により除去することができる。

　振動装置２の特徴は、上記屈曲モードの振動のノードが、前述した接合界面に位置しているように、透光体部１３が筒状部材１４の先端面１４ｂに固定されていることにある。これをより詳細に説明する。

　上記のように筒状部材１４の振動により、透光体部１３が屈曲モード振動する場合、透光体部１３の主面の中央が最も大きく変位する。この最も大きく変位する部分を、中央最大変位部分とする。筒状部材１４の先端面１４ｂに接合されている外周部において、変位は最も小さくなっている。

　この場合、屈曲モードとしては、以下に述べる第１のモードと、第２のモードが出現する。

　図４～図６を参照して、上記第１のモード及び第２のモード状態の変位を説明する。

　図４は、上記筒状振動体部１２を、透光体部１３との連結構造の右側の半分を示す略図的正面断面図である。図４では、ハッチングは省略されている。これは、次に述べる図５及び図６において、変位分布の表現にハッチングを用いているためである。図４では、筒状振動体部１２及び透光体部１３の一点鎖線Ａの右側で示す部分のみが図示されている。図４は静止状態を示す。

　図５は、第１のモードで透光体部１３が屈曲振動している場合の変位分布を示す。なお、図５及び図６における変位分布は、図５及び図６にハッチングで示した各領域の変位量が、図５及び図６の右側に示したスケールの大きさとなっていることを示している。第１のモードでは、先端面１４ｂがＺ方向において、Ｚ方向前面側に変位した場合、中央最大変位部分は、矢印Ａ２で示すように、同じ方向に変位する。第１のモードでは、先端面１４ｂと、透光体部１３の中央最大変位部分とが、Ｚ方向において同相変位することとなる。この場合、図５から明らかなように、先端面１４ｂすなわち接合界面はほとんど変位していない。従って、第１のモードでは、振動のノードは接合界面内に位置している。

　他方、図６は、第２のモードの場合の変位分布を示す図である。図６の矢印Ａ１で示すように、先端面１４ｂがＺ方向前方に変位した場合、第２のモードでは、透光体部１３の中央最大変位部分は、矢印－Ａ２で示すように、Ｚ方向後方に変位する。すなわち、先端面１４ｂと、透光体部１３の中央最大変位部分とはＺ方向において逆相で変位する。

　なお、図６では、先端面１４ｂ、すなわち接合界面が変位しており、振動のノードが接合界面に位置していない。この図６に示す変位分布は、本実施形態の場合の変位分布ではない。本実施形態の特徴は、上記第１のモード及び第２のモードのいずれの振動のノードも、上記接合界面に位置するように、透光体部１３が、筒状振動体部１２に固定されていることにある。この点について、以下においてより詳細に説明する。

　上記第１の実施形態の振動装置２において、圧電振動子を駆動し、振動させた場合の共振特性と、透光体部における変位量と周波数との関係を図７に示す。また、図８は、図７の共振特性の要部を拡大して示し、かつ位相特性を示す。

　図７及び８における矢印Ｂ１が、上記第１のモードの共振特性であり、矢印Ｂ２が、第２のモードにおける共振特性を示す。図８の変位量における約８００００～１０００００Ｈｚ周波数位置における変位量が、上記第１のモード及び第２のモードにおける変位量を示す。

　本願発明者らは、上記第１のモード及び第２のモードが出現することに鑑み、透光体部１３の厚み、筒状部材１４の長さ及び内径を変化させ、種々検討した。図９は、筒状部材１４の長さが２１．１ｍｍ、開口部の半径Ｒが４．５ｍｍの場合の結果を示す。図１０は、筒状部材１４の長さが２１．１ｍｍ、開口部の半径Ｒが４．２５ｍｍの場合の結果を示す。

　図９及び図１０において、第１のモードの共振周波数をＦｒ１、第２のモードの共振周波数をＦｒ２とする。

　図９及び図１０から明らかなように、透光体部１３の厚みを変化させた場合や、開口部の半径Ｒを変化させた場合に、第１のモードの共振周波数Ｆｒ１、第２のモードの共振周波数Ｆｒ２及び第１のモード及び第２のモードの変位量が変化することがわかる。そして、この透光体部の厚み、開口部の半径Ｒ、さらに、筒状部材１４のＺ方向に沿う寸法である長さ、透光体部１３、及び筒状部材１４の材質を調整することにより、第１のモードだけでなく、第２のモードにおいても、接合界面内に振動のノードを位置させることができる。

　図１１は、上記第１の実施形態における第１のモードにおける変位分布を示す模式的正面断面図であり、図１２は、第２のモードにおける変位分布を示す模式的正面断面図である。図１１に示すように、第１のモードにおいて、矢印Ａ１，Ａ２で示すように、筒状部材１４及び透光体部１３の中央最大変位部分は、同相でＺ方向において伸縮する。そして、図１１から明らかなように、接合界面にある先端面１４ｂがほとんど変位しておらず、振動のノードが接合界面内に位置している。

　また、図１２に示すように、第２のモードでは、矢印Ａ１，－Ａ２で示すように、筒状部材１４と、透光体部１３の中央最大変位部分とは、Ｚ方向において逆相で変位する。そして、図１２では、接合界面がほとんど変位しておらず、従って、第２のモードにおいても振動のノードが接合界面内に位置していることがわかる。

　本実施形態では、筒状部材１４がＳＵＳ３０４からなり、その長さは２１．１ｍｍとされている。また、透光体部１３はガラスからなり、その厚みは１．１ｍｍとした。また、先端面１４ｂが囲んでいる半径は内径を４．５ｍｍとした。

　上記のように、筒状部材１４及び透光体部１３の材質に応じて、厚みや長さなどの各寸法を調整することにより、第１のモード及び第２のモードのいずれの振動のノードも接合界面に位置させることができる。

　よって、上記実施形態の振動装置では、駆動に際し、透光体部１３と筒状部材１４との接合界面における剥離が生じ難い。そのため、より大きな振幅で透光体部１３を振動させることができる。よって、透光体部１３の表面に付着した水滴をより確実に除去することができる。ところで、第１のモードの共振周波数Ｆｒ１と、第２のモードの共振周波数Ｆｒ２は、接近していることが好ましい。図９及び図１０から明らかなように、第１のモードの共振周波数Ｆｒ１と、第２のモードの共振周波数Ｆｒ２とが接近している領域では、第１のモードの変位量及び第２のモードの変位量の双方が大きくなり、ピーク値を示すことがわかる。従って、好ましくは、第１のモードの共振周波数Ｆｒ１と、第２のモードの共振周波数Ｆｒ２とが接近していること、より具体的には共振周波数差Ｆｒ１－Ｆｒ２の絶対値の（Ｆｒ１＋Ｆｒ２）に対する割合が±１０％以内とすることが望ましい。それによって、大きな振幅を確実に得ることができる。

　上記実施形態の振動装置２では、第１のモードの振動により、水滴を除去し、第２のモードの振動で振動のノードを跨ぐ水滴を移動させ、水滴同士を合着させることができる。これを、図１３及び図１４を参照して説明する。

　図１３（ａ）では、透光体部１３の外表面に、水滴Ｃ１が付着している。この状態で、第１のモードで透光体部１３を振動させる。その結果、図１３（ｂ）に示すように、水滴が霧化され、除去されていく。他方図１４（ａ）では、透光体部１３の表面に、小さな水滴Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３が付着している。第２のモードで透光体部１３を振動させると、ノードを跨いでいる水滴Ｄ２，Ｄ３などが移動する。そのため、図１４（ｂ）に示すように、水滴同士が合着する。しかる後図１４（ｃ）に示すように、第１のモードで透光体部１３を振動させることにより、合着した大きな水滴を霧化し、除去することができる。

　従って、本実施形態の振動装置２では、第２のモードで振動させ、次に第１のモードで振動させることが好ましい。また、より好ましくは、第１のモードで駆動する工程と、第２のモードで駆動する工程とを交互に繰り返すことが好ましい。それによって、透光体部１３の外表面に付着した水滴をより確実に除去することができる。

　なお、第１の実施形態の振動装置２では、透光体部１３は、平板状であったが、図１５及び図１６に示すように、ドーム状の透光体部１３Ａ，１３Ｂを用いてもよい。また、図１５では、ドーム状の透光体部１３Ａは、外周縁にフランジ部１３Ａ１を有する。このようなフランジ部１３Ａ１を有する場合、フランジ部１３Ａ１の下面が、筒状本体１４の先端面１４ｂに接合される。それによって、接合界面が構成される。

　また、図１７に示す第２の実施形態のように、筒状部材１４が、モード変換結合部１４ｃと、筒状本体１４ｄとを有していてもよい。モード変換結合部１４ｃは、本発明における薄肉部をも構成している。よって振幅を大きくし得る。ここでは、モード変換結合部１４ｃのＺ方向先端が、筒状部材１４の先端となる。従って、モード変換結合部１４ｃの先端に先端面１４ｂが位置している。この場合、筒状本体１４ｄは、圧電振動子１６を駆動することにより、呼吸振動などで振動される。モード変換結合部１４ｃは、この振動モードをＺ方向の伸縮振動などの振動モードに変換する。その場合、モード変換結合部１４ｃの寸法を調整し、モード変換結合部１４ｃにおける共振周波数と、筒状本体１４ｄの共振周波数とを一致させることが好ましい。それによって、モードを変換し、先端面１４ｂにおける振幅をより一層大きくすることができる。

１…カメラ
２…振動装置
３…カメラ本体
４…本体部材
５…撮像部
６…回路
７…レンズモジュール
９…レンズ
１０…ベースプレート
１１…ケース部材
１１ａ…突出部
１１ｂ…凹部
１２…筒状振動体部
１３…透光体部
１３Ａ，１３Ｂ…透光体部
１３Ａ１…フランジ部
１４…筒状部材
１４ａ…フランジ部
１４ｂ…先端面
１４ｃ…モード変換結合部
１４ｄ…筒状本体
１４ｅ…薄肉部
１５…固定部材
１６…圧電振動子
１６ａ…圧電素子
１６ａ１，１６ａ２…圧電板
１６ｄ，１６ｅ…端子

Claims (9)

1. 　レンズを有するカメラ本体に用いられる振動装置であって、
   　第１の端部及び第２の端部を有し、前記第１の端部において開口を囲む先端面を有し、前記第１の端部において、前記第２の端部よりも厚みが薄い薄肉部を有する筒状部材と、前記筒状部材に固定されている圧電振動子とを有する、筒状振動体部と、
   　前記開口を覆うように、前記筒状部材の前記先端面に外周部が接合されており、かつ前記レンズの前方に配置されている透光性部分を有する、透光体部とを備え、
   　前記筒状振動体部の振動により、前記透光体部が屈曲モードで振動されるように構成されており、
   　前記屈曲モードが、前記屈曲モードの振動における前記透光体部の中央最大変位部分と、前記先端面に連結されている前記外周部とが、前記筒状振動体部の中心軸方向であるＺ方向において同じ向きに変位する第１のモードと、逆向きに変位する第２のモードとを有し、前記先端面と前記外周部との接合界面内に前記第１のモード及び前記第２のモードのノードが位置するように、前記透光体部の前記外周部が前記筒状振動体部の前記先端面に接合されている、振動装置。
2. 　前記筒状振動体部を、前記Ｚ方向に変位させるように、前記圧電振動子が設けられている、請求項１に記載の振動装置。
3. 　前記筒状部材が筒状本体と、
   　前記筒状本体に連結されており、前記薄肉部を有する筒状のモード変換結合部とを有し、
   　前記モード変換結合部の前記筒状本体に連結されている側とは反対側の端部が、前記第１の端部であり、前記開口及び前記先端面を有する、請求項１または２に記載の振動装置。
4. 　前記圧電振動子が筒状である、請求項１～３のいずれか１項に記載の振動装置。
5. 　前記筒状振動体部が、円筒状である、請求項１～４のいずれか１項に記載の振動装置。
6. 　請求項１～５のいずれか１項に記載の振動装置の駆動方法であって、前記第１のモード及び前記第２のモードの少なくとも一方で前記透光体部を振動させるとともに、前記第１のモードにおける振動のノード及び前記第２のモードにおける振動のノードが、前記接合界面内に位置するように、前記振動装置を駆動する、振動装置の駆動方法。
7. 　前記第１のモードの共振周波数と、前記第２のモードの共振周波数の差が小さくなるように、前記第１のモード及び前記第２のモードの少なくとも一方のモードで、前記透光体部を振動させる、請求項６に記載の振動装置の駆動方法。
8. 　前記第１のモードで振動させる工程と、前記第２のモードで振動させる工程とを交互に繰り返す、請求項６または７に記載の振動装置の駆動方法。
9. 　請求項１～５のいずれか１項に記載の振動装置を有する、カメラ。

Images