WO2017094227A1 - 光記録媒体 - Google Patents

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正次 諏訪部
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ソニー株式会社
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Definitions

  • the present technology relates to an optical recording medium including a plurality of information signal layers.
  • Patent Document 1 proposes a film configuration in which a protective layer (dielectric layer) mainly composed of indium oxide and tin oxide is provided on at least one surface of a transmissive recording layer.
  • An object of the present technology is to provide an optical recording medium capable of improving the transmittance of the information signal layer and suppressing the fluctuation of the transmittance of the information signal layer before and after recording.
  • the first technique includes a plurality of information signal layers, and among the plurality of information signal layers, at least one of the information signal layers other than the innermost part from the light irradiation surface includes: A recording layer, a first dielectric layer provided on the side opposite to the light incident side of the recording layer, and a second dielectric layer provided on the light incident side of the recording layer, the first dielectric layer and The second dielectric layer contains indium oxide and tin oxide, and the atomic concentration of tin in the first dielectric layer is an optical recording medium higher than the atomic concentration of tin in the second dielectric layer.
  • the second technique includes a plurality of information signal layers, and among the plurality of information signal layers, at least one of the information signal layers other than the innermost surface from the light irradiation surface includes the recording layer and the light incidence of the recording layer.
  • the atomic concentration of tin in the first dielectric layer in the vicinity of the interface on the light incident side of the first dielectric layer is an optical recording medium that is higher than the atomic concentration of tin in the second dielectric layer.
  • FIG. 1A is a perspective view illustrating an example of an appearance of an optical recording medium according to an embodiment of the present technology.
  • FIG. 1B is a schematic cross-sectional view illustrating an example of the configuration of an optical recording medium according to an embodiment of the present technology.
  • FIG. 2 is a schematic diagram illustrating an example of the configuration of each information signal layer.
  • FIG. 3 is a schematic diagram illustrating an example of a configuration of an optical recording medium according to a modification of the embodiment of the present technology.
  • FIG. 4 is a graph showing the recording power dependence of i-MLSE of samples 1B and 2B.
  • FIG. 5A is a graph showing the recording power dependence of i-MLSE of Sample 1B before and after the storage test.
  • FIG. 5B is a graph showing the i-MLSE recording power dependency of Sample 2B before and after the storage test.
  • FIG. 6 is a graph showing the recording power dependence of i-MLSE of samples 3B and 4B.
  • FIG. 7 is a graph showing the i-MLSE recording power dependence of samples 5B, 6B, 7B, and 8B.
  • the optical recording medium a plurality of information signal layers are preferably provided on a substrate and a cover layer is provided on the information signal layer.
  • the thickness of the cover layer is not particularly limited, and the cover layer includes a substrate, a sheet, a coating layer, and the like.
  • a high NA objective lens is used, so a thin light transmission layer such as a sheet or coating layer is used as the cover layer, and information signals are emitted by irradiating light from the light transmission layer side. It is preferable to perform recording and reproduction. In this case, it is also possible to employ a substrate having opacity as the substrate.
  • the light incident surface for recording or reproducing the information signal is appropriately set on at least one of the cover layer side and the substrate side according to the format of the optical recording medium.
  • the optical recording medium a bonded type in which two discs including a plurality of information signal layers are bonded through a bonding layer is also preferable.
  • a spacer layer is preferably provided between each information signal layer.
  • the disc has a plurality of information signal layers provided on a substrate and a cover layer as a light transmission layer is provided on the information signal layers.
  • light incident surfaces for recording or reproducing information signals are set on both sides of the optical recording medium.
  • an optical recording medium 10 As shown in FIG. 1A, an optical recording medium 10 according to an embodiment of the present technology has a disc shape with an opening (hereinafter referred to as “center hole”) provided at the center.
  • the shape of the optical recording medium 10 is not limited to this example, and may be a card shape.
  • the optical recording medium 10 is a so-called multilayer write-once optical recording medium, and includes an information signal layer L0, an intermediate layer S1, an information signal layer L1,..., An intermediate layer Sn, and an information signal layer Ln.
  • the light transmission layer 12 serving as a cover layer is laminated on one main surface of the substrate 11 in this order.
  • the information signal layer L0 is located farthest from the surface C on the light transmission layer 12 side, and the information signal layers L1 to Ln are located in front of it.
  • n is, for example, an integer of 1 or more, preferably an integer of 2 or more or 3 or more.
  • information signals are recorded or reproduced by irradiating the information signal layers L0 to Ln with laser light from the surface C on the light transmission layer 12 side.
  • laser light having a wavelength in the range of 400 nm or more and 410 nm or less is collected by an objective lens having a numerical aperture in the range of 0.84 or more and 0.86 or less, and each information signal layer L0 is formed from the light transmission layer 12 side.
  • Recording or reproduction of information signals is performed by irradiating .about.Ln.
  • the information signal layers L0 to Ln have a recording capacity of 25 GB or more with respect to a wavelength of 405 nm and a numerical aperture NA of the condenser lens of 0.85.
  • an optical recording medium 10 for example, a multilayer Blu-ray disc (BD: Blu-ray Disc (registered trademark)) can be cited.
  • BD Blu-ray Disc (registered trademark)
  • the surface 10S on which the information signal layers L0 to Ln are irradiated with laser light for recording or reproducing information signals is referred to as a light irradiation surface 10S.
  • the substrate 11 the information signal layers L0 to Ln, the intermediate layers S1 to Sn, and the light transmission layer 12 constituting the optical recording medium 10 will be described in order.
  • the substrate 11 has, for example, a disk shape with a center hole provided at the center.
  • One main surface of the substrate 11 is an uneven surface, for example, and the information signal layer L0 is formed on the uneven surface.
  • the concave portion is referred to as an in-groove Gin
  • the convex portion is referred to as an on-groove Gon.
  • the shapes of the in-groove Gin and the on-groove Gon include various shapes such as a spiral shape and a concentric circle shape. Further, the in-groove Gin and / or the on-groove Gon are wobbled (meandered), for example, to stabilize the linear velocity and add address information.
  • the diameter (diameter) of the substrate 11 is selected to be 120 mm, for example.
  • the thickness of the substrate 11 is selected in consideration of rigidity, preferably 0.3 mm or more and 1.3 mm or less, more preferably 0.6 mm or more and 1.3 mm or less, for example 1.1 mm.
  • the diameter (diameter) of the center hole is selected to be 15 mm, for example.
  • a plastic material or glass can be used. From the viewpoint of cost, it is preferable to use a plastic material.
  • a plastic material for example, a polycarbonate resin, a polyolefin resin, an acrylic resin, or the like can be used.
  • the information signal layers L1 to Ln transmit laser light for recording or reproducing information signals so that the information signal layers L0 to Ln-1 on the back side as viewed from the light irradiation surface C can be recorded or reproduced. It is a transmissive information signal layer configured to be possible.
  • the information signal layers L 1 to Ln are provided adjacent to the recording layer 21 having an upper surface (first main surface) and a lower surface (second main surface), and the lower surface of the recording layer 21.
  • the first dielectric layer 22 and the second dielectric layer 23 provided adjacent to the upper surface of the recording layer 21 are provided.
  • the upper surface means a main surface on the side irradiated with laser light for recording or reproducing an information signal among both main surfaces of the recording layer 21, and the lower surface is irradiated with the above-described laser light.
  • the main surface on the opposite side to the substrate side that is, the main surface on the substrate side.
  • the recording layer 21 contains an inorganic recording material containing a metal oxide as a main component.
  • This inorganic recording material is, for example, an inorganic recording material containing manganese oxide (MnO-based material), an inorganic recording material containing palladium oxide (PdO-based material), an inorganic recording material containing copper oxide (CuO-based material), or silver oxide.
  • Inorganic recording material (AgO-based material).
  • the MnO-based material preferably further contains one or both of tungsten oxide and molybdenum oxide and zirconium oxide in addition to manganese oxide.
  • the MnO-based material may further contain one or both of nickel oxide and magnesium oxide together with these oxides other than manganese oxide or separately from these oxides other than manganese oxide.
  • the PdO-based material preferably further contains tungsten oxide and copper oxide in addition to palladium oxide, and more preferably further contains tungsten oxide, copper oxide and zinc oxide.
  • the durability of the recording layer 21 can be improved. Further, by suppressing the escape of oxygen and the intrusion of H 2 O in the recording layer 21, the change in the film quality of the recording layer 21 can be suppressed and the film quality of the recording layer 21 can be ensured.
  • the first and second dielectric layers 22 and 23 contain a mixture of indium oxide and tin oxide (hereinafter referred to as “ITO”).
  • ITO indium oxide and tin oxide
  • the atomic concentration of tin in the first dielectric layer 22 provided on the lower surface of the recording layer 21 is higher than the atomic concentration of tin in the second dielectric layer 23 provided on the upper surface of the recording layer 21.
  • the difference in tin atomic concentration between the first and second dielectric layers 23 and 23 is, for example, greater than 0 atomic% and less than or equal to 1 atomic%, preferably greater than 0 atomic% and less than or equal to 0.5 atomic%.
  • the atomic concentration of tin in the first dielectric layer 22 in the vicinity of the interface on the lower surface side of the recording layer 21 is the atomic concentration of tin in the second dielectric layer 23 in the vicinity of the interface on the upper surface side of the recording layer 21.
  • the difference between the atomic concentration of tin in the first dielectric layer 22 near the interface on the lower surface side of the recording layer 21 and the atomic concentration of tin in the second dielectric layer 23 near the interface on the upper surface side of the recording layer 21 is, for example, It is greater than 0 atomic% and less than or equal to 1 atomic%, preferably greater than 0 atomic% and less than or equal to 0.5 atomic%.
  • the innermost information signal layer L0 when viewed from the light irradiation surface C is adjacent to the recording layer 31, the first dielectric layer 32 provided adjacent to the lower surface of the recording layer 31, and the upper surface of the recording layer 31. And a second dielectric layer 33 provided.
  • the recording layer 31 contains an inorganic recording material containing a metal oxide as a main component.
  • This inorganic recording material the same material as the recording layer 21 can be used.
  • the first and second dielectric layers 32 and 33 have the same functions as the first and second dielectric layers 22 and 23.
  • the first and second dielectric layers 32 and 33 may contain ITO similarly to the first and second dielectric layers 22 and 23, or contain a dielectric material other than ITO. Also good.
  • the intermediate layers S1 to Sn serve to separate the information signal layers L0 to Ln with a sufficient physical and optical distance, and the surface thereof is provided with an uneven surface.
  • the uneven surface forms, for example, concentric or spiral grooves (in-groove Gin and on-groove Gon).
  • the thickness of the intermediate layers S1 to Sn is preferably set to 9 ⁇ m to 50 ⁇ m.
  • the material of the intermediate layers S1 to Sn is not particularly limited, but it is preferable to use an ultraviolet curable acrylic resin. Further, since the intermediate layers S1 to Sn serve as an optical path of laser light for recording or reproducing information signals to the inner layer, it is preferable that the intermediate layers S1 to Sn have sufficiently high light transmittance.
  • the light transmission layer 12 is a resin layer formed by curing a photosensitive resin such as an ultraviolet curable resin.
  • a photosensitive resin such as an ultraviolet curable resin.
  • the material of the resin layer include an ultraviolet curable acrylic resin.
  • the light transmissive layer 12 may be constituted by a light transmissive sheet having an annular shape and an adhesive layer for bonding the light transmissive sheet to the substrate 11.
  • the light-transmitting sheet is preferably made of a material having a low absorption ability with respect to laser light used for recording and reproduction, specifically, a material having a transmittance of 90% or more.
  • a material for the light transmissive sheet for example, a polycarbonate resin material, a polyolefin-based resin (for example, ZEONEX (registered trademark)), or the like can be used.
  • a material for the adhesive layer for example, an ultraviolet curable resin, a pressure sensitive adhesive (PSA), or the like can be used.
  • the thickness of the light transmission layer 12 is preferably selected from the range of 10 ⁇ m to 177 ⁇ m, for example, 100 ⁇ m.
  • an objective lens having a high NA (numerical aperture) of, for example, about 0.85 high density recording can be realized.
  • the hard coat layer may be made of a mixture of fine silica gel powder to improve the mechanical strength, or an ultraviolet curable resin such as a solvent type or a solventless type.
  • the thickness is preferably about 1 ⁇ m to several ⁇ m.
  • substrate 11 with which the uneven surface was formed in one main surface is shape
  • a method for molding the substrate 11 for example, an injection molding (injection) method, a photopolymer method (2P method: Photo Polymerization), or the like can be used.
  • the information signal layer L0 is formed by sequentially laminating the first dielectric layer 32, the recording layer 31, and the second dielectric layer 33 on the substrate 11 by sputtering, for example.
  • an ultraviolet curable resin is uniformly applied on the information signal layer L0 by, for example, a spin coating method. Thereafter, the concave / convex pattern of the stamper is pressed against the ultraviolet curable resin uniformly applied on the information signal layer L0, and the ultraviolet curable resin is irradiated with ultraviolet rays to be cured, and then the stamper is peeled off. Thereby, the uneven pattern of the stamper is transferred to the ultraviolet curable resin, and for example, an intermediate layer S1 provided with in-groove Gin and on-groove Gon is formed on the information signal layer L0.
  • the information signal layer L1 is formed by sequentially laminating the first dielectric layer 22, the recording layer 21, and the second dielectric layer 23 on the intermediate layer S1, for example, by sputtering. Below, the formation process of each layer of the information signal layer L1 is demonstrated concretely.
  • the substrate 11 is transported into a vacuum chamber provided with a target containing ITO, and the inside of the vacuum chamber is evacuated to a predetermined pressure. Thereafter, while introducing Ar gas and O 2 gas as process gases into the vacuum chamber, the target is sputtered to form the first dielectric layer 22 on the substrate 11.
  • the substrate 11 is transferred into a vacuum chamber provided with a target for forming a recording layer, and the inside of the vacuum chamber is evacuated until a predetermined pressure is reached. Thereafter, while introducing a process gas such as Ar gas or O 2 gas into the vacuum chamber, the target is sputtered to form the recording layer 21 on the first dielectric layer 22.
  • a process gas such as Ar gas or O 2 gas
  • the substrate 11 is transferred into a vacuum chamber equipped with a target containing ITO, and the inside of the vacuum chamber is evacuated until a predetermined pressure is reached. Thereafter, the target is sputtered while introducing Ar gas as a process gas into the vacuum chamber, and the second dielectric layer 23 is formed on the recording layer 21.
  • the targets used for forming the first and second dielectric layers 22 and 23 have the same composition.
  • the first dielectric layer 22 formed by sputtering the target while introducing Ar gas and O 2 gas as described above is formed by sputtering the target without introducing O 2 gas. Compared with the dielectric layer 23, it has a higher atomic concentration of tin.
  • an ultraviolet curable resin is uniformly applied on the information signal layer L1 by, for example, a spin coating method. Thereafter, the concave / convex pattern of the stamper is pressed against the ultraviolet curable resin uniformly applied on the information signal layer L1, and the ultraviolet curable resin is irradiated with ultraviolet rays to be cured, and then the stamper is peeled off. Thereby, the uneven pattern of the stamper is transferred to the ultraviolet curable resin, and for example, an intermediate layer S2 provided with an in-groove Gin and an on-groove Gon is formed on the information signal layer L1.
  • UV resin ultraviolet curable resin
  • the optical recording medium 10 includes a plurality of information signal layers L0 to Ln.
  • information signal layers L1 to Ln other than the innermost part from the light irradiation surface 10S are the recording layer 21 and the first dielectric layer 22 provided on the lower surface side of the recording layer 21.
  • a second dielectric layer 23 provided on the upper surface side of the recording layer 21.
  • the first dielectric layer 22 and the second dielectric layer 23 include indium oxide and tin oxide, and the atomic concentration of tin in the first dielectric layer 22 is compared with the atomic concentration of tin in the second dielectric layer 23. high.
  • the transmittance of the information signal layers L1 to Ln can be improved, and the variation in transmittance before and after recording can be suppressed.
  • the information signal layers LA1 to LAn are replaced with the first dielectric layer 22 having a single layer structure instead of the first dielectric layer 22 having a single layer structure.
  • a layer 24 is provided.
  • the first dielectric layer 24 includes a lower dielectric layer (first layer) 24a and an upper dielectric layer (second layer) 24b.
  • the lower dielectric layer 24 a is provided on the intermediate layer S 1, S 2,..., Sn side opposite to the lower surface of the recording layer 21, and the upper dielectric layer 24 b is provided on the lower surface side of the recording layer 21.
  • the lower dielectric layer 24a and the upper dielectric layer 24b contain ITO.
  • the atomic concentration of tin in the upper dielectric layer 24b is higher than the atomic concentration of tin in the lower dielectric layer 24a.
  • the difference in the atomic concentration of tin between the upper dielectric layer 24b and the lower dielectric layer 24a is, for example, greater than 0 atomic% and less than or equal to 1 atomic%, preferably greater than 0 atomic% and less than or equal to 0.5 atomic%.
  • the atomic concentration of tin in the upper dielectric layer 24 b is higher than the atomic concentration of tin in the second dielectric layer 23.
  • the atomic concentration of tin in the upper dielectric layer 24 b in the vicinity of the interface on the lower surface side of the recording layer 21 is changed to the atomic concentration of tin in the second dielectric layer 23 in the vicinity of the interface on the upper surface side of the recording layer 21. Higher than that.
  • the difference between the atomic concentration of tin in the upper dielectric layer 24b near the interface on the lower surface side of the recording layer 21 and the atomic concentration of tin in the second dielectric layer 23 near the interface on the upper surface side of the recording layer 21 is, for example, 0 atomic % And below 1 atomic%, preferably above 0 atomic% and below 0.5 atomic%.
  • the atomic concentration of tin in the lower dielectric layer 24a may be the same as or different from the atomic concentration of tin in the second dielectric layer 23.
  • the upper dielectric layer 24b is obtained by sputtering a target containing ITO while introducing Ar gas and O 2 gas.
  • the lower dielectric layer 24a is obtained by sputtering a target containing ITO while introducing Ar gas.
  • the targets used for forming the lower dielectric layer 24a and the upper dielectric layer 24b have the same composition.
  • the power margin of the optical recording medium 10 according to an embodiment can be improved.
  • first dielectric layer 24 having a two-layer structure with different tin atomic concentrations
  • a single-layer first dielectric layer in which the atomic concentration distribution of tin changes in the thickness direction may be provided.
  • the atomic concentration of tin in the vicinity of the interface on the lower surface side of the recording layer 21 is opposite to the lower surface of the recording layer 21 (that is, the intermediate layers S1, S2,..., Sn side).
  • the first dielectric layer may be an inclined film that is inclined so that the atomic concentration of tin decreases from the interface on the lower surface side of the recording layer 21 toward the interface on the opposite side.
  • all the first and second dielectric layers 22 and 23 of the information signal layers L1 to Ln include ITO, and a difference in tin concentration between the first and second dielectric layers 22 and 23 is present.
  • the first and second dielectric layers 22 and 23 of some of the information signal layers L1 to Ln have a tin concentration difference, and the first and second dielectric layers of the remaining layers are different.
  • the two dielectric layers 22 and 23 may not have a tin concentration difference.
  • the configuration in which all the first and second dielectric layers 22 and 23 of the information signal layers L1 to Ln include ITO has been described. However, some layers of the information signal layers L1 to Ln are described.
  • the first and second dielectric layers 22 and 23 may include ITO, and the remaining first and second dielectric layers 22 and 23 may include a dielectric material other than ITO.
  • the information signal layers L1 to Ln are all described as an example of the layer configuration including the recording layer and the dielectric layers provided on both sides of the recording layer. It is not limited to. At least one of the plurality of information signal layers L1 to Ln has a layer configuration including a recording layer and a dielectric layer provided on both surfaces of the recording layer, and the remaining layers are You may have another layer structure. However, from the viewpoint of productivity, it is preferable that all information signal layers have the same layer configuration.
  • a plurality of information signal layers L0 to Ln and a light transmission layer 12 are stacked in this order on the substrate 11, and laser light is transmitted from the light transmission layer 12 side to the plurality of information signal layers.
  • the present technology is not limited to this example.
  • a plurality of information signal layers and a protective layer are stacked in this order on a substrate, and information signals are recorded or reproduced by irradiating the plurality of information signal layers with laser light from the substrate side.
  • An optical recording medium has a configuration in which a plurality of information signal layers are provided between two substrates, and recording information signals by irradiating a plurality of information signal layers with laser light from at least one substrate side.
  • the present technology can also be applied to an optical recording medium on which information signals are recorded or reproduced by irradiation.
  • Example 1A ⁇ I Improvement of transmittance and suppression of transmittance change (MnO recording layer)> [Sample 1A] First, a polycarbonate substrate having a thickness of 1.1 mm was formed by injection molding. An uneven surface having in-grooves and on-grooves was formed on the polycarbonate substrate. Next, the first information signal layer was formed by sequentially laminating the first dielectric layer, the recording layer, and the second dielectric layer on the uneven surface of the polycarbonate substrate by sputtering.
  • an ultraviolet curable resin was uniformly applied onto the first information signal layer by spin coating, and this was irradiated with ultraviolet rays to be cured, thereby forming a light transmission layer having a thickness of 100 ⁇ m.
  • the intended optical recording medium was obtained.
  • the first information signal layer was formed on the uneven surface of the polycarbonate substrate in the same manner as in the sample 1A.
  • an ultraviolet curable resin was uniformly applied on the first information signal layer by spin coating.
  • the concave / convex pattern of the stamper was pressed against the ultraviolet curable resin uniformly applied on the first information signal layer, and the ultraviolet curable resin was irradiated with ultraviolet rays to be cured, and then the stamper was peeled off.
  • an intermediate layer having a thickness of 15 ⁇ m and having in-grooves and on-grooves was formed.
  • the second information signal layer was formed by sequentially laminating the first dielectric layer, the recording layer, and the second dielectric layer on the intermediate layer.
  • the configuration of the second information signal layer was the same as that of the first information signal layer.
  • an ultraviolet curable resin was uniformly applied onto the second information signal layer by spin coating, and the light transmissive layer having a thickness of 85 ⁇ m was formed by irradiating it with ultraviolet rays to be cured.
  • the intended optical recording medium was obtained.
  • Example 2A Optical recording is performed in the same manner as in Example 1A except that the first dielectric layer of the first information signal layer is formed by sputtering an ITO target in a mixed gas atmosphere of Ar gas and O 2 gas. A medium was obtained.
  • Example 2B Example 1B except that the first dielectric layer of the first information signal layer and the second information signal layer is formed by sputtering an ITO target in a mixed gas atmosphere of Ar gas and O 2 gas. In the same manner, an optical recording medium was obtained.
  • the transmittance change rate TCR of the second information signal layer of the sample 1B was obtained as follows. First, similarly to the above-described evaluation of transmittance, the reflectance R0 of the first information signal layer of sample 1A and the transmittance T1 of the second information signal layer of sample 1B were obtained. Next, recording was performed on the second information signal layer of Sample 1B by a disc tester. The recording conditions were the same as the power margin evaluation described later. The recording power was the optimum recording power Pwo.
  • the reflectance R10 ′ of the first information signal layer immediately below the area where the second information signal layer was recorded was measured with a disc tester.
  • the transmittance T1 ′ of the second information signal layer of the sample 1B was obtained using the following equation.
  • T1 ′ ⁇ (R10 ′ / R0) ⁇ 100 [%]
  • ⁇ (R10 ′ / R0) means the square root of (R10 ′ / R0).
  • the transmittance change rate TCR of the second information signal layer of the sample 1B before and after recording was obtained using the following equation.
  • TCR ((T1 ′ / T1) ⁇ 1) ⁇ 100 [%]
  • the transmittance change rate TCR of the second information signal layer of sample 2B was determined in the same manner as the transmittance change rate TCR of the second information signal layer of sample 1B.
  • the power margin Pw Mgn was determined using the following formula, where the lower limit value of the recording power at which i-MLSE was less than 13% was Pwd and the upper limit value was Pwu.
  • Pw Mgn ((Pwu ⁇ Pwd) / (Pwu + Pwd)) ⁇ 100 [%]
  • composition analysis First, the formation of the light transmission layer was omitted, and samples 1B and 2B in which the upper surface of the second information signal layer was exposed were prepared as samples for composition analysis. Next, the samples 1B and 2B are sputtered under the following conditions, and X-ray Fluorescence Analysis (XRF) in the depth direction from the surface of the first information signal layer is performed to obtain the second dielectric.
  • XRF X-ray Fluorescence Analysis
  • the atomic concentration distribution of indium, tin, and oxygen in the thickness (depth) direction of the body layer was determined.
  • Tables 1 and 2 show the evaluation results of Samples 2A and 2B.
  • the transmittance of the second information signal layer of sample 2B is higher than the transmittance of the second information signal layer of sample 1B. Further, the transmittance change rate of the second information signal layer of the sample 2B is reduced as compared with the transmittance change rate of the second information signal layer of the sample 1B.
  • the power margin of the second information signal layer of sample 2B is narrower than the power margin of the second information signal layer of sample 1B. However, the power margin of the second information signal layer of the sample 2B is a range that is sufficiently allowed as an optical recording medium used in an existing consumer drive.
  • the second information signal layer can be obtained by setting the atomic concentration of tin in the first dielectric layer on the lower surface side of the recording layer to be higher than the atomic concentration of tin in the second dielectric layer on the upper surface side of the recording layer.
  • the transmittance of the second information signal layer before and after recording can be suppressed.
  • the tin of the first dielectric layer to be deposited was compared with the case where the ITO target was sputtered without introducing oxygen.
  • the atomic concentration of can be slightly increased.
  • Example 3A An optical recording medium was obtained in the same manner as in Example 1A, except that the configuration of the first information signal layer and the film formation conditions were changed as follows.
  • Example 3B The first information signal layer and the second information signal layer were formed with the same configuration and film formation conditions as the first information signal layer in Sample 3A. Except for this, an optical recording medium was obtained in the same manner as in Example 1B.
  • Example 4A Optical recording is performed in the same manner as in Example 3A except that the first dielectric layer of the first information signal layer is formed by sputtering an ITO target in a mixed gas atmosphere of Ar gas and O 2 gas. A medium was obtained.
  • Example 4B Example 3B except that the first dielectric layer of the first information signal layer and the second information signal layer is formed by sputtering the ITO target in a mixed gas atmosphere of Ar gas and O 2 gas. In the same manner, an optical recording medium was obtained.
  • Table 3 shows the evaluation results of Sample 3B and Sample 4B.
  • Table 3 shows the following. Even when a PdO-based recording layer is used as the recording layer, the atomic concentration of tin in the first dielectric layer on the lower surface side of the recording layer is set to the atomic concentration of tin in the second dielectric layer on the upper surface side of the recording layer. By making it higher than this, the same effect as the MnO-based recording layer can be obtained. That is, it is possible to improve the transmittance of the second information signal layer and suppress the change in the transmittance of the second information signal layer before and after recording.
  • Example 5A An optical recording medium was obtained in the same manner as Sample 1A, except that a first dielectric layer having a two-layer structure was formed as the first dielectric layer of the first information signal layer.
  • Example 5B The first information signal layer and the second information signal layer were formed with the same configuration and film formation conditions as the first information signal layer in Sample 5A. Except for this, an optical recording medium was obtained in the same manner as in Example 1B.
  • Example 6A An optical recording medium was obtained in the same manner as Sample 5A, except that the upper dielectric layer of the first information signal layer was formed by sputtering an ITO target in a mixed gas atmosphere of Ar gas and O 2 gas. .
  • Example 6B Except that the upper dielectric layer of the first information signal layer and the second information signal layer is formed by sputtering an ITO target in a mixed gas atmosphere of Ar gas and O 2 gas. An optical recording medium was obtained.
  • Example 7A An optical recording medium is obtained in the same manner as Sample 5A, except that the lower dielectric layer of the first information signal layer is formed by sputtering an ITO target in a mixed gas atmosphere of Ar gas and O 2 gas. It was.
  • Example 7B Except for forming the lower dielectric layer of the first information signal layer and the second information signal layer by sputtering the ITO target in a mixed gas atmosphere of Ar gas and O 2 gas, the same as sample 5B Thus, an optical recording medium was obtained.
  • sample 8A Except for forming the upper dielectric layer and the lower dielectric layer of the first information signal layer by sputtering an ITO target in a mixed gas atmosphere of Ar gas and O 2 gas, the same as sample 5A An optical recording medium was obtained.
  • Example 8B Other than forming the upper dielectric layer and the lower dielectric layer of the first information signal layer and the second information signal layer by sputtering an ITO target in a mixed gas atmosphere of Ar gas and O 2 gas An optical recording medium was obtained in the same manner as Sample 5B.
  • Table 4 shows the evaluation results of Samples 5B, 6B, 7B, and 8B.
  • the first dielectric layer has a two-layer structure, the atomic concentration of tin in the upper dielectric layer is higher than the atomic concentration of the lower dielectric layer, and the atomic concentration of tin in the upper dielectric layer is By making it higher than the atomic concentration of tin, it is possible to improve the power margin while improving the transmittance of the second information signal layer and suppressing the change in the transmittance of the second information signal layer before and after recording.
  • the present technology can also employ the following configurations.
  • a recording layer Among the plurality of information signal layers, at least one of the information signal layers other than the backmost from the light irradiation surface is, A recording layer; A first dielectric layer provided on the opposite side of the recording layer from the light incident side; A second dielectric layer provided on the light incident side of the recording layer, The first dielectric layer and the second dielectric layer include indium oxide and tin oxide, An optical recording medium in which the atomic concentration of tin in the first dielectric layer is higher than the atomic concentration of tin in the second dielectric layer.
  • the optical recording medium according to (1) wherein a difference in tin atomic concentration between the first dielectric layer and the second dielectric layer is 0.5 atomic% or less.
  • the atomic concentration of tin in the first dielectric layer is higher in the vicinity of the interface on the recording layer side than in the vicinity of the interface on the side opposite to the recording layer.
  • the first dielectric layer includes a first layer and a second layer, Of the first layer and the second layer, the second layer is provided on the light irradiation side of the first dielectric layer, The optical recording medium according to (1), wherein an atomic concentration of tin in the second layer is higher than an atomic concentration of tin in the second dielectric layer.
  • At least one of the information signal layers other than the backmost from the light irradiation surface is, A recording layer; A first dielectric layer provided on the opposite side of the recording layer from the light incident side; A second dielectric layer provided on the light incident side of the recording layer, The first dielectric layer and the second dielectric layer include indium oxide and tin oxide, An optical recording medium in which an atomic concentration of tin in the first dielectric layer in the vicinity of a light incident side interface is higher than an atomic concentration of tin in the second dielectric layer.

Abstract

光記録媒体は、複数の情報信号層を備え、複数の情報信号層のうち、光照射面から最奥以外の情報信号層のうちの少なくとも１層が、記録層と、記録層の光入射側とは反対側に設けられた第１誘電体層と、記録層の光入射側に設けられた第２誘電体層とを備える。第１誘電体層および第２誘電体層は、酸化インジウムおよび酸化スズを含み、第１誘電体層のスズの原子濃度は、第２誘電体層のスズの原子濃度に比べて高い。

Description

光記録媒体
　本技術は、複数の情報信号層を備える光記録媒体に関する。
　近年では、光記録媒体においては、記録容量をさらに増大させるために、情報信号層を多層化する技術が広く採用されている。多層光記録媒体では、媒体表面から最奥以外の情報信号層には、透過率が高く、かつ記録前後の透過率変化が小さいことが望まれる。
　多層光記録媒体では、媒体表面から最奥以外の情報信号層について様々な膜構成が検討されている。例えば特許文献１では、透過型記録層の少なくとも一方の面に酸化インジウムおよび酸化スズを主成分とする保護層（誘電体層）を設けた膜構成が提案されている。
特開２００９－１２９５２６号公報
　本技術の目的は、情報信号層の透過率を向上し、かつ記録前後における情報信号層の透過率変動を抑制できる光記録媒体を提供することにある。
　上述の課題を解決するために、第１の技術は、複数の情報信号層を備え、複数の情報信号層のうち、光照射面から最奥以外の情報信号層のうちの少なくとも１層が、記録層と、記録層の光入射側とは反対側に設けられた第１誘電体層と、記録層の光入射側に設けられた第２誘電体層とを備え、第１誘電体層および第２誘電体層は、酸化インジウムおよび酸化スズを含み、第１誘電体層のスズの原子濃度は、第２誘電体層のスズの原子濃度に比べて高い光記録媒体である。
　第２の技術は、複数の情報信号層を備え、複数の情報信号層のうち、光照射面から最奥以外の情報信号層のうちの少なくとも１層が、記録層と、記録層の光入射側とは反対側に設けられた第１誘電体層と、記録層の光入射側に設けられた第２誘電体層とを備え、第１誘電体層および第２誘電体層は、酸化インジウムおよび酸化スズを含み、第１誘電体層の光入射側の界面近傍における第１誘電体層のスズの原子濃度は、第２誘電体層のスズの原子濃度に比べて高い光記録媒体である。
　以上説明したように、情報信号層の透過率を向上し、かつ記録前後における情報信号層の透過率変動を抑制できる。
図１Ａは、本技術の一実施形態に係る光記録媒体の外観の一例を示す斜視図である。図１Ｂは、本技術の一実施形態に係る光記録媒体の構成の一例を示す概略断面図である。 図２は、各情報信号層の構成の一例を示す模式図である。 図３は、本技術の一実施形態の変形例に係る光記録媒体の構成の一例を示す模式図である。 図４は、サンプル１Ｂ、２Ｂのｉ－ＭＬＳＥの記録パワー依存性を示すグラフである。 図５Ａは、保存試験前後におけるサンプル１Ｂのｉ－ＭＬＳＥの記録パワー依存性を示すグラフである。図５Ｂは、保存試験前後におけるサンプル２Ｂのｉ－ＭＬＳＥの記録パワー依存性を示すグラフである。 図６は、サンプル３Ｂ、４Ｂのｉ－ＭＬＳＥの記録パワー依存性を示すグラフである。 図７は、サンプル５Ｂ、６Ｂ、７Ｂ、８Ｂのｉ－ＭＬＳＥの記録パワー依存性を示すグラフである。
　本技術では、光記録媒体としては、複数の情報信号層は基板上に設けられ、情報信号層上にカバー層が設けられているものが好ましい。このカバー層の厚さは特に限定されるものではなく、カバー層には、基板、シート、コーティング層などが含まれる。高密度の光記録媒体では、高ＮＡの対物レンズが用いられるため、カバー層としてシート、コーティング層などの薄い光透過層を採用し、この光透過層の側から光を照射することにより情報信号の記録および再生を行うことが好ましい。この場合、基板としては、不透明性を有するものを採用することも可能である。情報信号を記録または再生するための光の入射面は、光記録媒体のフォーマットに応じてカバー層側および基板側の表面の少なくとも一方に適宜設定される。
　本技術では、光記録媒体としては、複数の情報信号層を含む２枚のディスクが貼合層を介して貼り合わされた貼合型のものも好ましい。この構成の場合、各情報信号層間にはスペーサ層が設けられていることが好ましい。また、ディスクとしては、複数の情報信号層が基板上に設けられ、それらの情報信号層上に光透過層としてのカバー層が設けられているものが好ましい。この貼合型の光記録媒体の場合、情報信号を記録または再生するための光の入射面は、光記録媒体の両面に設定される。
　本技術の実施形態について以下の順序で説明する。
１　光記録媒体の構成
２　光記録媒体の製造方法
３　効果
４　変形例
［１　光記録媒体の構成］
　図１Ａに示すように、本技術の一実施形態に係る光記録媒体１０は、中央に開口（以下「センターホール」という。）が設けられた円盤形状を有する。なお、光記録媒体１０の形状はこの例に限定されるものではなく、カード状などとすることも可能である。
　図１Ｂに示すように、光記録媒体１０は、いわゆる多層の追記型光記録媒体であり、情報信号層Ｌ０、中間層Ｓ１、情報信号層Ｌ１、・・・、中間層Ｓｎ、情報信号層Ｌｎ、カバー層である光透過層１２がこの順序で基板１１の一主面に積層された構成を有する。情報信号層Ｌ０が光透過層１２側の表面Ｃを基準として最も奥に位置し、その手前に情報信号層Ｌ１～Ｌｎが位置している。但し、ｎは、例えば１以上の整数、好ましくは２以上または３以上の整数である。
　この一実施形態に係る光記録媒体１０では、光透過層１２側の表面Ｃからレーザ光を各情報信号層Ｌ０～Ｌｎに照射することにより、情報信号の記録または再生が行われる。例えば、４００ｎｍ以上４１０ｎｍ以下の範囲の波長を有するレーザ光を、０．８４以上０．８６以下の範囲の開口数を有する対物レンズにより集光し、光透過層１２の側から各情報信号層Ｌ０～Ｌｎに照射することにより、情報信号の記録または再生が行われる。情報信号層Ｌ０～Ｌｎは、例えば、波長４０５ｎｍ、集光レンズの開口数ＮＡ０．８５に対して２５ＧＢ以上の記録容量を有する。このような光記録媒体１０としては、例えば多層のブルーレイディスク（ＢＤ：Blu-ray Disc（登録商標））が挙げられる。以下では、情報信号層Ｌ０～Ｌｎに情報信号を記録または再生するためのレーザ光が照射される表面１０Ｓを光照射面１０Ｓという。
　以下、光記録媒体１０を構成する基板１１、情報信号層Ｌ０～Ｌｎ、中間層Ｓ１～Ｓｎ、および光透過層１２について順次説明する。
（基板）
　基板１１は、例えば、中央にセンターホールが設けられた円盤形状を有する。この基板１１の一主面は、例えば、凹凸面となっており、この凹凸面上に情報信号層Ｌ０が成膜される。以下では、凹凸面のうち凹部をイングルーブＧin、凸部をオングルーブＧonという。
　このイングルーブＧinおよびオングルーブＧonの形状としては、例えば、スパイラル状、同心円状などの各種形状が挙げられる。また、イングルーブＧinおよび／またはオングルーブＧonが、例えば、線速度の安定化やアドレス情報付加などのためにウォブル（蛇行）されている。
　基板１１の径（直径）は、例えば１２０ｍｍに選ばれる。基板１１の厚さは、剛性を考慮して選ばれ、好ましくは０．３ｍｍ以上１．３ｍｍ以下、より好ましくは０．６ｍｍ以上１．３ｍｍ以下、例えば１．１ｍｍに選ばれる。また、センターホールの径（直径）は、例えば１５ｍｍに選ばれる。
　基板１１の材料としては、例えば、プラスチック材料またはガラスを用いることができ、コストの観点から、プラスチック材料を用いることが好ましい。プラスチック材料としては、例えば、ポリカーボネート系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、アクリル系樹脂などを用いることができる。
（情報信号層）
　情報信号層Ｌ１～Ｌｎは、光照射面Ｃから見て奥側の情報信号層Ｌ０～Ｌｎ－１に対する記録または再生が可能なように、情報信号の記録または再生を行うためのレーザ光を透過可能に構成された透過型情報信号層である。
　図２に示すように、情報信号層Ｌ１～Ｌｎは、上面（第１の主面）および下面（第２の主面）を有する記録層２１と、記録層２１の下面に隣接して設けられた第１誘電体層２２と、記録層２１の上面に隣接して設けられた第２誘電体層２３とを備える。このような構成とすることで、情報信号層Ｌ０～Ｌｎの保存信頼性を向上することができる。ここで、上面とは、記録層２１の両主面のうち、情報信号を記録または再生するためのレーザ光が照射される側の主面をいい、下面とは、上述のレーザ光が照射される側とは反対側の主面、すなわち基板側の主面をいう。
　記録層２１は、金属酸化物を含む無機記録材料を主成分として含んでいる。この無機記録材料は、例えば、酸化マンガンを含む無機記録材料（ＭｎＯ系材料）、酸化パラジウムを含む無機記録材料（ＰｄＯ系材料）、酸化銅を含む無機記録材料（ＣｕＯ系材料）または酸化銀を含む無機記録材料（ＡｇＯ系材料）である。
　ＭｎＯ系材料は、酸化マンガン以外に、酸化タングステンおよび酸化モリブデンの一方または両方と、酸化ジルコニウムとをさらに含んでいることが好ましい。ＭｎＯ系材料が、酸化マンガン以外のこれらの酸化物と共に、または酸化マンガン以外のこれらの酸化物とは別に、酸化ニッケルおよび酸化マグネシウムの一方または両方をさらに含んでいてもよい。
　ＰｄＯ系材料は、酸化パラジウム以外に、酸化タングステンおよび酸化銅をさらに含んでいることが好ましく、酸化タングステン、酸化銅および酸化亜鉛をさらに含んでいることがより好ましい
　第１、第２誘電体層２２、２３がガスバリア層として機能することで、記録層２１の耐久性を向上することができる。また、記録層２１の酸素の逃避やＨ2Ｏの侵入を抑制することで、記録層２１の膜質の変化を抑制し、記録層２１の膜質を確保することができる。
　第１、第２誘電体層２２、２３は、酸化インジウムおよび酸化スズの混合体（以下「ＩＴＯ」という。）を含んでいる。記録層２１の下面に設けられた第１誘電体層２２におけるスズの原子濃度は、記録層２１の上面に設けられた第２誘電体層２３のスズの原子濃度に比べて高い。第１、第２誘電体層２３、２３のスズの原子濃度差は、例えば０atomic％より大きく１atomic％以下、好ましくは０atomic％より大きく０．５atomic％以下である。より具体的には、記録層２１の下面側の界面近傍における第１誘電体層２２のスズの原子濃度が、記録層２１の上面側の界面近傍における第２誘電体層２３のスズの原子濃度に比べて高い。記録層２１の下面側の界面近傍における第１誘電体層２２のスズの原子濃度と、記録層２１の上面側の界面近傍における第２誘電体層２３のスズの原子濃度との差は、例えば０atomic％より大きく１atomic％以下、好ましくは０atomic％より大きく０．５atomic％以下である。
　光照射面Ｃから見て最奥の情報信号層Ｌ０は、記録層３１と、記録層３１の下面に隣接して設けられた第１誘電体層３２と、記録層３１の上面に隣接して設けられた第２誘電体層３３とを備える。
　記録層３１は、金属酸化物を含む無機記録材料を主成分として含んでいる。この無機記録材料としては、記録層２１と同様のものを用いることができる。第１、第２誘電体層３２、３３は、第１、第２誘電体層２２、２３と同様の機能を有する。第１、第２誘電体層３２、３３は、第１、第２誘電体層２２、２３と同様にＩＴＯを含むものであってもよいし、ＩＴＯ以外の誘電体材料を含むものであってもよい。
（中間層）
　中間層Ｓ１～Ｓｎは、情報信号層Ｌ０～Ｌｎを物理的および光学的に十分な距離をもって離間させる役割を果たし、その表面には凹凸面が設けられている。その凹凸面は、例えば、同心円状または螺旋状のグルーブ（イングルーブＧinおよびオングルーブＧon）を形成している。中間層Ｓ１～Ｓｎの厚みは、９μｍ～５０μｍに設定することが好ましい。中間層Ｓ１～Ｓｎの材料は特に限定されるものではないが、紫外線硬化性アクリル樹脂を用いることが好ましい。また、中間層Ｓ１～Ｓｎは、奥側の層への情報信号の記録または再生のためのレーザ光の光路となることから、十分に高い光透過性を有していることが好ましい。
（光透過層）
　光透過層１２は、例えば、紫外線硬化樹脂などの感光性樹脂を硬化してなる樹脂層である。この樹脂層の材料としては、例えば、紫外線硬化型のアクリル系樹脂が挙げられる。また、円環形状を有する光透過性シートと、この光透過性シートを基板１１に対して貼り合わせるための接着層とから光透過層１２を構成するようにしてもよい。光透過性シートは、記録および再生に用いられるレーザ光に対して、吸収能が低い材料からなることが好ましく、具体的には透過率９０パーセント以上の材料からなることが好ましい。光透過性シートの材料としては、例えば、ポリカーボネート樹脂材料、ポリオレフィン系樹脂（例えばゼオネックス（登録商標））などを用いることができる。接着層の材料としては、例えば、紫外線硬化樹脂、感圧性粘着剤（ＰＳＡ：Pressure Sensitive Adhesive）などを用いることができる。
　光透過層１２の厚さは、好ましくは１０μｍ以上１７７μｍ以下の範囲内から選ばれ、例えば１００μｍに選ばれる。このような薄い光透過層１２と、例えば０．８５程度の高ＮＡ(numerical aperture)化された対物レンズとを組み合わせることによって、高密度記録を実現することができる。
（ハードコート層）
　なお、図示しないが、光透過層１２の表面（光照射面１０Ｓ）に、例えば機械的な衝撃や傷に対する保護、また利用者の取り扱い時の塵埃や指紋の付着などから、情報信号の記録再生品質を保護するためのハードコート層をさらに設けてもよい。ハードコート層には、機械的強度を向上させるためにシリカゲルの微粉末を混入したものや、溶剤タイプ、無溶剤タイプなどの紫外線硬化樹脂を用いることができる。機械的強度を有し、撥水性や撥油性を持たせるには、厚さを１μｍから数μｍ程度とすることが好ましい。
［２　光記録媒体の製造方法］
　次に、本技術の一実施形態に係る光記録媒体の製造方法の一例について説明する。
（基板の成形工程）
　まず、一主面に凹凸面が形成された基板１１を成形する。基板１１の成形の方法としては、例えば、射出成形（インジェクション）法、フォトポリマー法（２Ｐ法：Photo Polymerization）などを用いることができる。
（情報信号層Ｌ０の形成工程）
　次に、例えばスパッタ法により、基板１１上に、第１誘電体層３２、記録層３１、および第２誘電体層３３を順次積層することにより、情報信号層Ｌ０を形成する。
（中間層の形成工程）
　次に、例えばスピンコート法により紫外線硬化樹脂を情報信号層Ｌ０上に均一に塗布する。その後、情報信号層Ｌ０上に均一に塗布された紫外線硬化樹脂に対してスタンパの凹凸パターンを押し当て、紫外線を紫外線硬化樹脂に対して照射して硬化させた後、スタンパを剥離する。これにより、スタンパの凹凸パターンが紫外線硬化樹脂に転写され、例えばイングルーブＧinおよびオングルーブＧonが設けられた中間層Ｓ１が情報信号層Ｌ０上に形成される。
（情報信号層Ｌ１の形成工程）
　次に、例えばスパッタ法により、中間層Ｓ１上に、第１誘電体層２２、記録層２１、および第２誘電体層２３を順次積層することにより、情報信号層Ｌ１を形成する。以下に、情報信号層Ｌ１の各層の形成工程について具体的に説明する。
　まず、基板１１を、ＩＴＯを含むターゲットが備えられた真空チャンバー内に搬送し、真空チャンバー内を所定の圧力になるまで真空引きする。その後、真空チャンバー内にプロセスガスとしてＡｒガスおよびＯ2ガスを導入しながら、ターゲットをスパッタして、基板１１上に第１誘電体層２２を成膜する。
　次に、基板１１を、記録層成膜用のターゲットが備えられた真空チャンバー内に搬送し、真空チャンバー内を所定の圧力になるまで真空引きする。その後、真空チャンバー内にＡｒガスやＯ2ガスなどのプロセスガスを導入しながら、ターゲットをスパッタして、第１誘電体層２２上に記録層２１を成膜する。
　次に、基板１１を、ＩＴＯを含むターゲットが備えられた真空チャンバー内に搬送し、真空チャンバー内を所定の圧力になるまで真空引きする。その後、真空チャンバー内にプロセスガスとしてＡｒガスを導入しながら、ターゲットをスパッタして、記録層２１上に第２誘電体層２３を成膜する。なお、第１、第２誘電体層２２、２３の成膜に用いられるターゲットは同一組成を有するものである。
　上述のようにＡｒガスおよびＯ2ガスを導入しながらターゲットをスパッタリングして成膜された第１誘電体層２２は、Ｏ2ガスを導入せずにターゲットをスパッタリングして成膜された第２誘電体層２３に比べて高いスズの原子濃度を有している。
（中間層の形成工程）
　次に、例えばスピンコート法により紫外線硬化樹脂を情報信号層Ｌ１上に均一に塗布する。その後、情報信号層Ｌ１上に均一に塗布された紫外線硬化樹脂に対してスタンパの凹凸パターンを押し当て、紫外線を紫外線硬化樹脂に対して照射して硬化させた後、スタンパを剥離する。これにより、スタンパの凹凸パターンが紫外線硬化樹脂に転写され、例えばイングルーブＧinおよびオングルーブＧonが設けられた中間層Ｓ２が情報信号層Ｌ１上に形成される。
（情報信号層Ｌ２～Ｌｎおよび中間層Ｓ３～Ｓｎの形成工程）
　次に、上述の情報信号層Ｌ１および中間層Ｓ２の形成工程と同様にして、中間層Ｓ２上に、情報信号層Ｌ２、中間層Ｓ２、情報信号層Ｌ３、・・・、中間層Ｓｎ、情報信号層Ｌｎをこの順序で中間層Ｓ２上に積層する。
（光透過層の形成工程）
　次に、例えばスピンコート法により、紫外線硬化樹脂（ＵＶレジン）などの感光性樹脂を情報信号層Ｌｎ上にスピンコートした後、紫外線などの光を感光性樹脂に照射し、硬化する。これにより、情報信号層Ｌｎ上に光透過層１２が形成される。
　以上の工程により、目的とする光記録媒体１０が得られる。
［３　効果］
　本実施形態に係る光記録媒体１０は、複数の情報信号層Ｌ０～Ｌｎを備える。複数の情報信号層Ｌ０～Ｌｎのうち、光照射面１０Ｓから最奥以外の情報信号層Ｌ１～Ｌｎが、記録層２１と、記録層２１の下面側に設けられた第１誘電体層２２と、記録層２１の上面側に設けられた第２誘電体層２３とを備える。第１誘電体層２２および第２誘電体層２３は、酸化インジウムおよび酸化スズを含み、第１誘電体層２２のスズの原子濃度は、第２誘電体層２３のスズの原子濃度に比べて高い。これにより、情報信号層Ｌ１～Ｌｎの透過率を向上し、かつ記録前後の透過率変動を抑制できる
［４　変形例］
　図３に示すように、一実施形態の変形例に係る光記録媒体１０Ａでは、情報信号層ＬＡ１～ＬＡｎが、単層構造の第１誘電体層２２に代えて２層構造の第１誘電体層２４を備えている。第１誘電体層２４は、下側誘電体層（第１層）２４ａと上側誘電体層（第２層）２４ｂとを備える。下側誘電体層２４ａは、記録層２１の下面とは反対側となる中間層Ｓ１、Ｓ２、・・・、Ｓｎの側に設けられ、上側誘電体層２４ｂは、記録層２１の下面側に設けられる。
　下側誘電体層２４ａおよび上側誘電体層２４ｂは、ＩＴＯを含んでいる。上側誘電体層２４ｂのスズの原子濃度は、下側誘電体層２４ａのスズの原子濃度に比べて高い。上側誘電体層２４ｂと下側誘電体層２４ａとのスズの原子濃度差は、例えば０atomic％より大きく１atomic％以下、好ましくは０atomic％より大きく０．５atomic％以下である。また、上側誘電体層２４ｂのスズの原子濃度は、第２誘電体層２３のスズの原子濃度に比べて高い。より具体的には、記録層２１の下面側の界面近傍における上側誘電体層２４ｂのスズの原子濃度が、記録層２１の上面側の界面近傍における第２誘電体層２３のスズの原子濃度に比べて高い。記録層２１の下面側の界面近傍における上側誘電体層２４ｂのスズの原子濃度と、記録層２１の上面側の界面近傍における第２誘電体層２３のスズの原子濃度との差は、例えば０atomic％より大きく１atomic％以下、好ましくは０atomic％より大きく０．５atomic％以下である。下側誘電体層２４ａのスズの原子濃度は、第２誘電体層２３のスズの原子濃度と同一であってもよいし、異なっていてもよい。
　上側誘電体層２４ｂは、ＡｒガスおよびＯ2ガスを導入しながらＩＴＯを含むターゲットをスパッタリングすることにより得られる。一方、下側誘電体層２４ａは、Ａｒガスを導入しながらＩＴＯを含むターゲットをスパッタリングすることにより得られる。ここで、下側誘電体層２４ａと上側誘電体層２４ｂの成膜に用いられるターゲットは同一組成を有するものである。
　上述の構成を有する光記録媒体１０Ａでは、一実施形態に係る光記録媒体１０のパワーマージンを改善することができる
　なお、スズの原子濃度が異なる２層構造の第１誘電体層２４に代えて、スズの原子濃度分布が厚さ方向に変化する単層の第１誘電体層を備えるようにしてもよい。この場合、第１誘電体層は、記録層２１の下面側の界面近傍におけるスズの原子濃度が、記録層２１の下面とは反対側（すなわち中間層Ｓ１、Ｓ２、・・・、Ｓｎの側）の界面近傍側の原子濃度に比して高い濃度分布を有する。第１誘電体層が、記録層２１の下面側の界面からそれとは反対側の界面に向けてスズの原子濃度が減少するように傾斜する傾斜膜であってもよい。
　上述の一実施形態では、情報信号層Ｌ１～Ｌｎのすべての第１、第２誘電体層２２、２３がＩＴＯを含み、第１、第２誘電体層２２、２３の間にスズの濃度差がある構成について説明したが、情報信号層Ｌ１～Ｌｎのうちの一部の層の第１、第２誘電体層２２、２３がスズの濃度差を有し、残りの層の第１、第２誘電体層２２、２３がスズの濃度差を有していない構成としてもよい。
　上述の一実施形態では、情報信号層Ｌ１～Ｌｎのすべての第１、第２誘電体層２２、２３がＩＴＯを含む構成について説明したが、情報信号層Ｌ１～Ｌｎのうちの一部の層の第１、第２誘電体層２２、２３がＩＴＯを含み、残りの層の第１、第２誘電体層２２、２３がＩＴＯ以外の誘電体材料を含むようにしてもよい。
　上述の一実施形態では、複数の情報信号層Ｌ１～Ｌｎのすべてが、記録層と、記録層の両面に設けられた誘電体層とを備える層構成を例として説明したが、層構成はこれに限定されるものではない。複数の情報信号層情報信号層Ｌ１～Ｌｎのうちの少なくとも一層が、記録層と、記録層の両面に設けられた誘電体層とを備える層構成を有し、残りの層が、これとは別の層構成を有していてもよい。但し、生産性の観点からすると、全ての情報信号層を同一の層構成とすることが好ましい。
　上述の実施形態では、基板１１上に複数の情報信号層Ｌ０～Ｌｎ、光透過層１２がこの順序で積層された構成を有し、この光透過層１２側からレーザ光を複数の情報信号層Ｌ０～Ｌｎに照射することにより情報信号の記録または再生が行われる光記録媒体に対して本技術を適用した場合を例として説明したが、本技術はこの例に限定されるものではない。例えば、基板上に複数の情報信号層、保護層がこの順序で積層された構成を有し、基板側からレーザ光を複数の情報信号層に照射することにより情報信号の記録または再生が行われる光記録媒体、２枚の基板の間に複数の情報信号層が設けられた構成を有し、少なくとも一方の基板の側からレーザ光を複数の情報信号層に照射することにより情報信号の記録または再生が行われる光記録媒体、または複数の情報信号層を含む２枚のディスクが貼り合わされた構成を有し、それぞれのディスクの表面からそれぞれのディスクに含まれる複数の情報信号層にレーザ光を照射することにより情報信号の記録または再生が行われる光記録媒体に対しても本技術は適用可能である。
　以下、実施例により本技術を具体的に説明するが、本技術はこれらの実施例のみに限定されるものではない。
　本技術の実施例について以下の順序で説明する。
ｉ　透過率の向上および透過率変化の抑制（ＭｎＯ系記録層）
ii　透過率の向上および透過率変化の抑制（ＰｄＯ系記録層）
iii　パワーマージンの改善
＜ｉ　透過率の向上および透過率変化の抑制（ＭｎＯ系記録層）＞
［サンプル１Ａ］
　まず、射出成形により、厚さ１．１ｍｍのポリカーボネート基板を成形した。なお、このポリカーボネート基板上には、イングルーブおよびオングルーブを有する凹凸面を形成した。次に、スパッタ法によりポリカーボネート基板の凹凸面上に第１誘電体層、記録層、第２誘電体層を順次積層することにより、第１情報信号層を形成した。
　以下に、第１情報信号層の構成および成膜条件を示す。
　第１誘電体層（基板側）
　　材料：ＩＴＯ
　　厚さ：１８ｎｍ
　　成膜条件：Ａｒガス雰囲気下にてＩＴＯターゲットをスパッタすることにより成膜した。
　記録層
　　材料：ＭｎＯ
　　厚さ：３０ｎｍ
　　成膜条件：ＡｒガスとＯ2ガスとの混合ガス雰囲気下にてＭｎターゲットをスパッタすることにより成膜した。
　第２誘電体層（光透過層側）
　　材料：ＩＴＯ
　　厚さ：１８ｎｍ
　　成膜条件：Ａｒガス雰囲気下にてＩＴＯターゲットをスパッタすることにより成膜した。
　なお、第１、第２誘電体層の成膜に用いられるＩＴＯターゲットは同一組成を有するものとした。
　次に、スピンコート法により、紫外線硬化樹脂を第１情報信号層上に均一塗布し、これに紫外線を照射して硬化させることにより、厚さ１００μｍを有する光透過層を形成した。
　以上により、目的とする光記録媒体を得た。
［サンプル１Ｂ］
　まず、サンプル１Ａと同様にして、ポリカーボネート基板の凹凸面上に第１情報信号層を形成した。次に、スピンコート法により紫外線硬化樹脂を第１情報信号層上に均一に塗布した。その後、第１情報信号層上に均一に塗布された紫外線硬化樹脂に対してスタンパの凹凸パターンを押し当て、紫外線を紫外線硬化樹脂に対して照射して硬化させた後、スタンパを剥離した。これらにより、イングルーブおよびオングルーブを有する、厚さ１５μｍの中間層が形成された。
　次に、中間層上に第１誘電体層、記録層、第２誘電体層を順次積層することにより、第２情報信号層を形成した。第２情報信号層の構成は、第１情報信号層と同様の構成にした。
　次に、スピンコート法により、紫外線硬化樹脂を第２情報信号層上に均一塗布し、これに紫外線を照射して硬化させることにより、厚さ８５μｍを有する光透過層を形成した。
　以上により、目的とする光記録媒体を得た。
［サンプル２Ａ］
　ＡｒガスとＯ2ガスとの混合ガス雰囲気下にてＩＴＯターゲットをスパッタすることにより、第１情報信号層の第１誘電体層を成膜する以外のことは実施例１Ａと同様にして光記録媒体を得た。
［サンプル２Ｂ］
　ＡｒガスとＯ2ガスとの混合ガス雰囲気下にてＩＴＯターゲットをスパッタすることにより、第１情報信号層および第２情報信号層の第１誘電体層を成膜する以外のことは実施例１Ｂと同様にして光記録媒体を得た。
［評価］
　上述のようにして得られたサンプルを用いて、以下の評価を行った。なお、本実施例では、ディスクテスタとしてパルステック社製、商品名：ＯＤＵ－１０００を用いた。
（透過率）
　サンプル１Ｂの第２情報信号層の透過率Ｔ１は、以下のようにして求められた。まず、サンプル１Ａの第１情報信号層の反射率Ｒ０をディスクテスタにて測定した。次に、サンプル１Ｂの第１情報信号層の反射率Ｒ１０をディスクテスタにて測定した。次に、以下の式を用いて、サンプル１Ｂの第２情報信号層の透過率Ｔ１を求めた。
　　　　　　　Ｔ１＝√（Ｒ１０／Ｒ０）×１００［％］
　ここで、“√（Ｒ１０／Ｒ０）”は、（Ｒ１０／Ｒ０）の平方根を意味する。
　サンプル２Ｂの第２情報信号層の透過率Ｔ１は、サンプル１Ｂの第２情報信号層の透過率Ｔ１と同様にして求められた。
（透過率変化率）
　サンプル１Ｂの第２情報信号層の透過率変化率ＴＣＲは、以下のようにして求められた。まず、上述の透過率の評価と同様にして、サンプル１Ａの第１情報信号層の反射率Ｒ０と、サンプル１Ｂの第２情報信号層の透過率Ｔ１を求めた。次に、サンプル１Ｂの第２情報信号層にディスクテスタにて記録を行った。なお、記録の条件は、後述のパワーマージンの評価と同様とした。また、記録パワーは最適記録パワーＰｗｏとした。
　次に、第２情報信号層を記録したエリア直下の第１情報信号層の反射率Ｒ１０’をディスクテスタにて測定した。次に、以下の式を用いて、サンプル１Ｂの第２情報信号層の透過率Ｔ１’を求めた。
　Ｔ１’＝√（Ｒ１０’／Ｒ０）×１００［％］
　ここで、“√（Ｒ１０’／Ｒ０）”は、（Ｒ１０’／Ｒ０）の平方根を意味する。
　次に、以下の式を用いて、記録前後におけるサンプル１Ｂの第２情報信号層の透過率変化率ＴＣＲを求めた。
　ＴＣＲ＝（（Ｔ１’／Ｔ１）－１）×１００［％］
　サンプル２Ｂの第２情報信号層の透過率変化率ＴＣＲは、サンプル１Ｂの第２情報信号層の透過率変化率ＴＣＲと同様にして求められた。
（保存試験前の最適記録パワーおよびパワーマージン）
　保存試験前において、サンプル１Ｂ、２Ｂの第２情報信号層の最適記録パワーおよびパワーマージンを以下のようにして評価した。まず、ディスクテスタを用いて、開口数ＮＡ＝０．８５、記録波長λ＝４０５ｎｍ、記録線速ｖ＝１５．３８ｍ／ｓ（４倍速相当）で１層あたり３２ＧＢ密度の１－７変調データを記録した後、ｖ＝７．６９ｍ／ｓ（２倍速相当）で記録部のｉ－ＭＬＳＥ（Integrated Maximum Likelihood Sequenced Error）を測定した。この際、記録パワーを変えてｉ－ＭＬＳＥを測定した。次に、ｉ－ＭＬＳＥが１３％を下回る記録パワーの下限値をＰｗｄ、上限値をＰｗｕとして、以下の式を用いて、パワーマージンＰｗ Ｍｇｎを求めた。
　Ｐｗ Ｍｇｎ＝（（Ｐｗｕ－Ｐｗｄ）／（Ｐｗｕ＋Ｐｗｄ））×１００［％］
　また、以下の式を用いて、最適記録パワーＰｗｏを求めた。
　Ｐｗｏ＝（Ｐｗｄ＋Ｐｗｕ）／２
（保存試験後の最適記録パワーおよびパワーマージン）
　保存試験後において、サンプル１Ｂ、２Ｂの第２情報信号層の最適記録パワーおよびパワーマージンを以下のようにして評価した。まず、サンプル１Ｂ、２Ｂを８０℃８５％ＲＨ下に２００ｈ保管した後、サンプル１Ｂ、２Ｂを室温に戻した。その後、保存試験前の最適記録パワーおよびパワーマージンの評価と同様にして、最適記録パワーおよびパワーマージンを求めた。
　また、以下の式から、保存試験前後の最適記録パワーＰｗｏ比およびパワーマージン比を求めた。
　Ｐｗｏ比＝（保存試験後の最適記録パワー）／（保存試験前の最適記録パワー）
　パワーマージン比＝（保存試験後のパワーマージン）／（保存試験前のパワーマージン）
（組成分析）
　まず、光透過層の形成を省略し、第２情報信号層の上面が露出した状態のサンプル１Ｂ、２Ｂを組成分析用サンプルとして準備した。次に、このサンプル１Ｂ、２Ｂを以下の条件でスパッタリングして、第１情報信号層の表面から深さ方向の蛍光Ｘ線元素分析（X-ray Fluorescence Analysis：ＸＲＦ）を実施し、第２誘電体層の厚さ（深さ）方向におけるインジウム、スズおよび酸素の原子濃度分布を求めた。
＜スパッタリング条件＞
加速電圧：１ｋＶ
スパッタレート：１．４ｎｍ／ｍｉｎ（ＳｉＯ2換算）
　上記組成分析の結果、インジウムおよび酸素の原子濃度分布についてはほとんど違いが確認されなかったのに対して、スズの原子濃度分布については明確な違いが確認された。すなわち、サンプル２Ｂの第１誘電体層の原子濃度が、サンプル１Ｂの第１誘電体層の原子濃度に比して高いことが確認された。記録層の下面側の界面近傍におけるサンプル２Ｂの第１誘電体層の原子濃度とサンプル１Ｂの第１誘電体層の原子濃度との差は、０．３atomic％であった。
　表１、表２は、サンプル２Ａ、２Ｂの評価結果を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　表１、表２から以下のことがわかる。
　サンプル２Ｂの第２情報信号層の透過率は、サンプル１Ｂの第２情報信号層の透過率に比して高い。また、サンプル２Ｂの第２情報信号層の透過率変化率は、サンプル１Ｂの第２情報信号層の透過率変化率に比して低減されている。
　一方、サンプル２Ｂの第２情報信号層のパワーマージンは、サンプル１Ｂの第２情報信号層のパワーマージンに比して狭い。但し、サンプル２Ｂの第２情報信号層のパワーマージンでも、既存の民生用ドライブにて使用される光記録媒体として十分に許容される範囲である。
　したがって、記録層の下面側となる第１誘電体層のスズの原子濃度を、記録層の上面側となる第２誘電体層のスズの原子濃度よりも高くすることで、第２情報信号層の透過率を向上し、かつ記録前後における第２情報信号層の透過率変化を抑制することができる。
　また、上記組成分析の結果から、酸素を導入しながらＩＴＯターゲットをスパッタした場合には、酸素を導入せずにＩＴＯターゲットをスパッタした場合に比べて、成膜される第１誘電体層のスズの原子濃度を僅かながら高くすることができる。
＜ii　透過率の向上および透過率変化の抑制（ＰｄＯ系記録層）＞
［サンプル３Ａ］
　以下のように第１情報信号層の構成および成膜条件を変更する以外は実施例１Ａと同様にして光記録媒体を得た。
　　材料：ＩＴＯ
　　厚さ：８ｎｍ
　　成膜条件：Ａｒガス雰囲気下にてＩＴＯターゲットをスパッタすることにより成膜した。
　記録層
　　材料：Ｐｄ－Ｗ－Ｚｎ－Ｃｕ－Ｏ
　　厚さ：３０ｎｍ
　　成膜条件：ＡｒガスとＯ2ガスとの混合ガス雰囲気下にて、Ｐｄターゲット、Ｗターゲット、ＺｎターゲットおよびＣｕターゲットをコスパッタすることにより成膜した。
　第２誘電体層（光透過層側）
　　材料：ＩＴＯ
　　厚さ：２０ｎｍ
　　成膜条件：Ａｒガス雰囲気下にてＩＴＯターゲットをスパッタすることにより成膜した。
［サンプル３Ｂ］
　第１情報信号層および第２情報信号層を、サンプル３Ａにおける第１情報信号層と同様の構成および成膜条件で形成した。これ以外のことは実施例１Ｂと同様にして光記録媒体を得た。
［サンプル４Ａ］
　ＡｒガスとＯ2ガスとの混合ガス雰囲気下にてＩＴＯターゲットをスパッタすることにより、第１情報信号層の第１誘電体層を成膜する以外のことは実施例３Ａと同様にして光記録媒体を得た。
［サンプル４Ｂ］
　ＡｒガスとＯ2ガスとの混合ガス雰囲気下にてＩＴＯターゲットをスパッタすることにより、第１情報信号層および第２情報信号層の第１誘電体層を成膜する以外のことは実施例３Ｂと同様にして光記録媒体を得た。
［評価］
　上述のようにして得られたサンプルを用いて、上記と同様にして透過率、透過率変化率およびパワーマージンを評価した。
　表３は、サンプル３Ｂ、サンプル４Ｂの評価結果を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
　表３から以下のことがわかる。
　記録層としてＰｄＯ系記録層を用いた場合にも、記録層の下面側となる第１誘電体層のスズの原子濃度を、記録層の上面側となる第２誘電体層のスズの原子濃度よりも高くすることで、ＭｎＯ系記録層と同様の効果が得られる。すなわち、第２情報信号層の透過率を向上し、かつ記録前後における第２情報信号層の透過率変化を抑制することができる。
＜iii　パワーマージンの改善＞
［サンプル５Ａ］
　第１情報信号層の第１誘電体層として、２層構造の第１誘電体層を成膜する以外はサンプル１Ａと同様にして光記録媒体を得た。
　以下に、２層構造の第１誘電体層の構成および成膜条件を示す。
　下側誘電体層（基板側）
　　材料：ＩＴＯ
　　厚さ：９ｎｍ
　　成膜条件：Ａｒガス雰囲気下にてＩＴＯターゲットをスパッタすることにより成膜した。
　上側誘電体層（光透過層側）
　　材料：ＩＴＯ
　　厚さ：９ｎｍ
　　成膜条件：Ａｒガス雰囲気下にてＩＴＯターゲットをスパッタすることにより成膜した。
［サンプル５Ｂ］
　第１情報信号層および第２情報信号層を、サンプル５Ａにおける第１情報信号層と同様の構成および成膜条件で形成した。これ以外のことは実施例１Ｂと同様にして光記録媒体を得た。
［サンプル６Ａ］
　ＡｒガスとＯ2ガスとの混合ガス雰囲気下にてＩＴＯターゲットをスパッタすることにより、第１情報信号層の上側誘電体層を成膜する以外はサンプル５Ａと同様にして光記録媒体を得た。
［サンプル６Ｂ］
　ＡｒガスとＯ2ガスとの混合ガス雰囲気下にてＩＴＯターゲットをスパッタすることにより、第１情報信号層および第２情報信号層の上側誘電体層を成膜する以外はサンプル５Ｂと同様にして光記録媒体を得た。
［サンプル７Ａ］
　ＡｒガスとＯ2ガスとの混合ガス雰囲気下にてＩＴＯターゲットをスパッタすることにより、第１情報信号層の下側誘電体層を成膜する以外はサンプル５Ａと同様にして光記録媒体を得た。
［サンプル７Ｂ］
　ＡｒガスとＯ2ガスとの混合ガス雰囲気下にてＩＴＯターゲットをスパッタすることにより、第１情報信号層および第２情報信号層の下側誘電体層を成膜する以外はサンプル５Ｂと同様にして光記録媒体を得た。
［サンプル８Ａ］
　ＡｒガスとＯ2ガスとの混合ガス雰囲気下にてＩＴＯターゲットをスパッタすることにより、第１情報信号層の上側誘電体層および下側誘電体層を成膜する以外はサンプル５Ａと同様にして光記録媒体を得た。
［サンプル８Ｂ］
　ＡｒガスとＯ2ガスとの混合ガス雰囲気下にてＩＴＯターゲットをスパッタすることにより、第１情報信号層および第２情報信号層の上側誘電体層および下側誘電体層を成膜する以外はサンプル５Ｂと同様にして光記録媒体を得た。
［評価］
　上述のようにして得られたサンプルを用いて、上記と同様にして透過率、透過率変化率およびパワーマージンを評価した。また、それらの値を以下の基準で評価した。
＜パワーマージン＞
　○：２５％以上、△：１５％以上２５％未満、×：１５％未満
＜透過率＞　
　○：７０％以上、△：６７％以上７０％以下、×６７％未満
＜透過率変化率＞
　○：５％以下、△：５％を超え７％以下、×：７％を超える
　但し、上記記号“○”、“△”、“×”はそれぞれ、評価結果として“良好（good）”、“可(average)”、“悪い（bad）”を意味する、
　表４は、サンプル５Ｂ、６Ｂ、７Ｂ、８Ｂの評価結果を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
　表４から以下のことがわかる。
　第１誘電体層を２層構造とし、上側誘電体層のスズの原子濃度を下側誘電体層の原子濃度よりも高くし、上側誘電体層のスズの原子濃度を第２誘電体層のスズの原子濃度よりも高くすることで、第２情報信号層の透過率を向上し、かつ記録前後における第２情報信号層の透過率変化を抑制しつつ、パワーマージンを改善できる。
　以上、本技術の実施形態、その変形例および実施例について具体的に説明したが、本技術は、上述の実施形態および実施例に限定されるものではなく、本技術の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。
　例えば、上述の実施形態、その変形例および実施例において挙げた構成、方法、工程、形状、材料および数値などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料および数値などを用いてもよい。
　また、上述の実施形態、その変形例および実施例の構成、方法、工程、形状、材料および数値などは、本技術の主旨を逸脱しない限り、互いに組み合わせることが可能である。
　また、本技術は以下の構成を採用することもできる。
（１）
　複数の情報信号層を備え、
　前記複数の情報信号層のうち、光照射面から最奥以外の情報信号層のうちの少なくとも１層が、
　記録層と、
　前記記録層の光入射側とは反対側に設けられた第１誘電体層と、
　前記記録層の光入射側に設けられた第２誘電体層と
　を備え、
　前記第１誘電体層および前記第２誘電体層は、酸化インジウムおよび酸化スズを含み、
　前記第１誘電体層のスズの原子濃度は、前記第２誘電体層のスズの原子濃度に比べて高い光記録媒体。
（２）
　前記第１誘電体層と前記第２誘電体層とのスズの原子濃度の差は、０．５atomic％以下である（１）に記載の光記録媒体。
（３）
　前記第１誘電体層内におけるスズの原子濃度は、前記記録層とは反対側の界面近傍に比べて前記記録層側の界面近傍において高い（１）に記載の光記録媒体。
（４）
　前記第１誘電体層は、第１層と第２層と備え、
　前記第１層および前記第２層のうち前記第２層が、前記第１誘電体層の光照射側に設けられ、
　前記第２層のスズの原子濃度は、前記第２誘電体層のスズの原子濃度に比べて高い（１）に記載の光記録媒体。
（５）
　前記第２誘電体層と前記第２層とに含まれるスズの含有量の差は、０．５atomic％以下である（４）に記載の光記録媒体。
（６）
　前記第２層のスズの原子濃度は、前記第１層のスズの原子濃度に比べて高い（４）または（５）に記載の光記録媒体。
（７）
　前記記録層は、酸化マンガンを含む（１）から（６）のいずれかに記載の光記録媒体。
（８）
　複数の情報信号層を備え、
　前記複数の情報信号層のうち、光照射面から最奥以外の情報信号層のうちの少なくとも１層が、
　記録層と、
　前記記録層の光入射側とは反対側に設けられた第１誘電体層と、
　前記記録層の光入射側に設けられた第２誘電体層と
　を備え、
　前記第１誘電体層および前記第２誘電体層は、酸化インジウムおよび酸化スズを含み、
　光入射側の界面近傍における前記第１誘電体層のスズの原子濃度は、前記第２誘電体層のスズの原子濃度に比べて高い光記録媒体。
　１０、１０Ａ　　光記録媒体
　１０Ｓ　　光照射面
　１１　　基板
　１２　　光透過層
　２１　　記録層
　２２、２４　　第１誘電体層
　２３　　第２誘電体層
　２４ａ　　下側誘電体層
　２４ｂ　　上側誘電体層
　Ｌ０～Ｌｎ、ＬＡ０～ＬＡｎ　　情報信号層
　Ｓ１～Ｓｎ　　中間層
　Ｇin　　イングルーブ
　Ｇon　　オングルーブ

Claims (8)

  1. 　複数の情報信号層を備え、
    　前記複数の情報信号層のうち、光照射面から最奥以外の情報信号層のうちの少なくとも１層が、
    　記録層と、
    　前記記録層の光入射側とは反対側に設けられた第１誘電体層と、
    　前記記録層の光入射側に設けられた第２誘電体層と
    　を備え、
    　前記第１誘電体層および前記第２誘電体層は、酸化インジウムおよび酸化スズを含み、
    　前記第１誘電体層のスズの原子濃度は、前記第２誘電体層のスズの原子濃度に比べて高い光記録媒体。
  2. 　前記第１誘電体層と前記第２誘電体層とのスズの原子濃度の差は、０．５atomic％以下である請求項１に記載の光記録媒体。
  3. 　前記第１誘電体層内におけるスズの原子濃度は、前記記録層とは反対側の界面近傍に比べて前記記録層側の界面近傍において高い請求項１に記載の光記録媒体。
  4. 　前記第１誘電体層は、第１層と第２層と備え、
    　前記第１層および前記第２層のうち前記第２層が、前記第１誘電体層の光照射側に設けられ、
    　前記第２層のスズの原子濃度は、前記第２誘電体層のスズの原子濃度に比べて高い請求項１に記載の光記録媒体。
  5. 　前記第２誘電体層と前記第２層とに含まれるスズの含有量の差は、０．５atomic％以下である請求項４に記載の光記録媒体。
  6. 　前記第２層のスズの原子濃度は、前記第１層のスズの原子濃度に比べて高い請求項４に記載の光記録媒体。
  7. 　前記記録層は、酸化マンガンを含む請求項１に記載の光記録媒体。
  8. 　複数の情報信号層を備え、
    　前記複数の情報信号層のうち、光照射面から最奥以外の情報信号層のうちの少なくとも１層が、
    　記録層と、
    　前記記録層の光入射側とは反対側に設けられた第１誘電体層と、
    　前記記録層の光入射側に設けられた第２誘電体層と
    　を備え、
    　前記第１誘電体層および前記第２誘電体層は、酸化インジウムおよび酸化スズを含み、
    　光入射側の界面近傍における前記第１誘電体層のスズの原子濃度は、前記第２誘電体層のスズの原子濃度に比べて高い光記録媒体。
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