WO2016189899A1 - プラズマ生成素子 - Google Patents

プラズマ生成素子 Download PDF

Info

Publication number
WO2016189899A1
WO2016189899A1 PCT/JP2016/054296 JP2016054296W WO2016189899A1 WO 2016189899 A1 WO2016189899 A1 WO 2016189899A1 JP 2016054296 W JP2016054296 W JP 2016054296W WO 2016189899 A1 WO2016189899 A1 WO 2016189899A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
portions
plasma
insulating coating
plasma generation
conductive wire
Prior art date
Application number
PCT/JP2016/054296
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
慶太郎 山田
哲也 江崎
与明 高土
聡彦 山本
Original Assignee
シャープ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by シャープ株式会社 filed Critical シャープ株式会社
Priority to CN201680012961.1A priority Critical patent/CN107615889A/zh
Publication of WO2016189899A1 publication Critical patent/WO2016189899A1/ja

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma

Definitions

  • the present invention relates to a plasma generating element that generates a plasma by generating a dielectric barrier discharge.
  • Patent Document 1 Japanese Patent No. 3015268 is cited as a document disclosing a plasma generating apparatus having mechanical strength and capable of generating plasma in an environment such as high-humidity air or water.
  • the plasma generating apparatus disclosed in Patent Document 1 inserts a rod-shaped conductor into a longitudinal through hole provided in a rod-shaped ceramic dielectric, and integrally bonds the conductor and the ceramic dielectric with glass or an adhesive.
  • a plurality of electrodes configured by sealing are provided, and the plurality of electrodes are configured to be joined in a line contact state in a ceramic dielectric.
  • the dielectric is formed of ceramics. For this reason, when installing a plasma production apparatus, it can arrange only in the shape of a straight line.
  • the installation space is limited by the shape of the component and the positional relationship with the component.
  • the size of the installation space varies depending on the size of the component parts and the variation in the assembly position. For this reason, the size of the installation space may be smaller than the size of the plasma generation device. In such a case, even if a plasma generator having a fixed shape is prepared, it cannot be installed.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a plasma generating element that has flexibility and can improve the degree of freedom of installation.
  • a plasma generation element is a plasma generation element having a plasma generation unit that generates plasma by generating dielectric barrier discharge, and includes a plurality of conductive line portions arranged in parallel to each other, A plurality of insulation coating portions that insulate and coat the conductive wire portions, and each of the plurality of insulation coating portions includes a plurality of the conductive wires so that a gap capable of generating plasma is formed between adjacent insulation coating portions.
  • the plasma generating section is provided by the plurality of conductive wire sections and the plurality of insulating coating sections in a portion that is provided over a predetermined length in the extending direction of each section, and is covered by the plurality of insulating coating sections.
  • the plurality of conductive wire portions and the plurality of insulating coating portions are both flexible and generate a potential difference at each of the adjacent conductive wire portions. Ri, plasma is generated can be configured in the plasma generator.
  • the insulating coating portions adjacent to each other may be connected at least partially from the one end side to the other end side.
  • the plurality of conductive wire portions are preferably arranged on a plane, a curved surface, or an annular shape.
  • the plurality of conductive wire portions bend in the same direction correspondingly in at least a part of the extending direction, so that the plasma generating portion is bent. You may have.
  • a plurality of sets of the plurality of conductive wire portions and the plurality of insulating coating portions constituting the plasma generating portion are provided, whereby the plasma generating portion is You may have two or more.
  • FIG. 1 is a schematic diagram of a plasma generation apparatus including a plasma generation element according to Embodiment 1.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the plasma generating element according to Embodiment 1.
  • FIG. 4 is a schematic diagram of a plasma generation apparatus including a plasma generation element according to a second embodiment.
  • 6 is a cross-sectional view of a plasma generating element according to Embodiment 3.
  • FIG. 6 is a schematic diagram of a plasma generation apparatus including a plasma generation element according to a fourth embodiment.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view of a plasma generating element according to a fourth embodiment.
  • FIG. 6 is a schematic diagram of a plasma generation apparatus including a plasma generation element according to a fifth embodiment.
  • FIG. 10 is a schematic diagram of a plasma apparatus including a plasma generating element according to a sixth embodiment. It is sectional drawing which shows the internal structure of the air cleaner which concerns on Embodiment 7. FIG. It is a rear view of the air cleaner concerning Embodiment 7.
  • FIG. 1 is a schematic diagram of a plasma generation apparatus including a plasma generation element according to the present embodiment.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the plasma generating element according to the present embodiment. With reference to FIG. 1 and FIG. 2, the plasma generation apparatus 100 and the plasma generation element 1 which concern on this Embodiment are demonstrated.
  • the plasma generation apparatus 100 includes a plasma generation element 1 and a high voltage circuit 50.
  • the plasma generating element 1 includes a plurality of covered conductors 10.
  • the plurality of coated conductors 10 are arranged in parallel with a predetermined interval from each other.
  • the plurality of covered conductive wires 10 are arranged on the same plane.
  • the plurality of covered conductive wires 10 are supported by a pair of support plates 60 facing each other.
  • a plurality of holes are provided in the pair of support plates 60 according to the number of the plurality of covered conductors 10.
  • a plurality of covered conductors 10 are inserted into each of the plurality of holes. Thereby, both ends of the plurality of covered conductive wires 10 are supported by the pair of support plates 60.
  • Each of the plurality of covered conductors 10 has flexibility. Thereby, the distance between the pair of support plates 60 is variable.
  • Each of the plurality of covered conductive wires 10 includes a conductive wire 20 as a conductive wire portion and an insulating coating layer 30 as an insulating coating portion.
  • the plurality of conductive wires 20 are flexible metal wires. Each of the plurality of conductive lines 20 is provided in a straight line shape. The plurality of conductive lines 20 are arranged in parallel to each other. The plurality of conductive lines 20 are arranged side by side in a direction intersecting the extending direction.
  • the plurality of insulating coating layers 30 are made of a flexible insulating resin member. Each of the plurality of insulating coating layers 30 is provided over a predetermined length in the extending direction of each of the plurality of conductive lines 20 so that a gap R capable of generating plasma is formed in the insulating coating layers 30 adjacent to each other. ing.
  • the insulating coating layer 30 covers the conductive wire 20 so that at least one end of the conductive wire 20 is exposed.
  • one insulating coating layer 31 is covered with the conductive wire 21 so that one end side of one conductive wire 21 of the adjacent conductive wires 20 is exposed.
  • One insulating coating layer 32 among the insulating coating layers 30 adjacent to each other is such that the other end side (the side opposite to the one end side) of one conductive line 22 of the adjacent conductive wires 20 is exposed. Is covered.
  • the wiring 51 connected to one end side of the conductive line 21 on one side, and the other end side of the conductive line 22 on the other side of the conductive lines 20 adjacent to each other (opposite side to the one end side).
  • a high voltage circuit 50 is provided between the wiring 52 and the wiring 52.
  • the conductive wires 21 on one side are connected in parallel.
  • the other conductive wire 22 is connected in parallel.
  • the high voltage circuit 50 generates a high voltage from a voltage supplied from a power source (not shown).
  • the high voltage circuit 50 applies high frequency and high voltage between the conductive lines 20 adjacent to each other. As a result, a potential difference is generated between the conductive lines 20 adjacent to each other.
  • the voltage applied between the conductive wires 20 adjacent to each other is preferably an AC voltage.
  • the coated conductors 10 adjacent to each other are arranged close to each other, so that a gap R capable of generating plasma is formed between the insulating coating layers 30 adjacent to each other.
  • plasma can be generated by satisfying predetermined discharge conditions. Specifically, a voltage equal to or higher than the discharge start voltage determined according to the product of the distance between the insulating coating layers 30 adjacent to each other and the atmospheric pressure (fluid pressure) is applied between the adjacent conductive lines 20. Then, dielectric barrier discharge is generated and plasma is generated.
  • the charged particles in the plasma are accumulated on the surfaces of the insulating coating layers 30 adjacent to each other due to the potential difference between the conductive lines 20 adjacent to each other, and the generation of the plasma ends.
  • a charge having a polarity opposite to that of the one conductive line 21 of the adjacent conductive lines 20 is accumulated on the surface of one insulating cover layer 31 of the adjacent insulating cover layers 30.
  • charges having a polarity opposite to that of the other conductive line 22 of the conductive wires 20 adjacent to each other are accumulated.
  • the plasma generation unit P is configured by the plurality of conductive wires 20 and the plurality of insulating coating layers 30 in portions covered by the plurality of insulating coating layers 30.
  • Virus inactivation or impurity gas contained in the gas to be treated such as odor can be decomposed and removed. Thereby, the gas to be processed can be purified.
  • the plasma generating element 1 according to the present embodiment can be bent and deformed because the plurality of conductive wires 20 and the plurality of insulating coating layers 30 have flexibility.
  • the distance between both ends of the plurality of conductive lines 20 can be varied by bending the plurality of conductive lines 20 in the same direction correspondingly in at least a part of the extending direction.
  • the distance between the pair of support plates 60 can be varied.
  • the conductive wire 21 on one side is alternately connected on one end side and the other end side.
  • the present invention is not limited to this and may be connected in series. In this case, the conductive wire 21 on the other side is alternately connected on one end side and the other end side.
  • FIG. 3 is a schematic diagram of a plasma generation apparatus including the plasma generation element according to the present embodiment.
  • plasma generation apparatus 100A and plasma generation element 1A according to the present exemplary embodiment will be described.
  • the plasma generating apparatus 100A according to the present embodiment is different in the configuration of the plasma generating element 1A from the plasma generating apparatus 100 according to the first embodiment. Other configurations are almost the same.
  • the plasma generating element 1A includes a first coated conductor 10A, a second coated conductor 10B, and a high voltage circuit 50.
  • the first covered conductor 10A and the second covered conductor 10B have flexibility.
  • the first covered conductive wire 10A and the second covered conductive wire 10B include a conductive wire and an insulating coating layer that covers the conductive wire.
  • the first covered conductor 10A and the second covered conductor 10B are supported by a pair of support plates 60 facing each other.
  • Each of the pair of support plates 60 is provided with a plurality of holes along the extending direction of the support plates. Every other first covered conductor 10A is inserted into the hole.
  • the first covered conductor 10 ⁇ / b> A is folded back toward the inside of the pair of support plates 60 on the outside of the pair of support plates 60.
  • the first covered conductive wire 10 ⁇ / b> A is alternately folded on one side and the other side of the pair of support plates 60.
  • the first covered conductive wire 10A includes a plurality of first covered conductive wire portions 10A1 and a plurality of folded portions 10A2.
  • the plurality of first covered conductive wire portions 10 ⁇ / b> A ⁇ b> 1 are located inside the pair of support plates 60, and the plurality of folded portions 10 ⁇ / b> A ⁇ b> 2 are located outside the pair of support plates 60.
  • the plurality of first covered conductor portions 10A1 extend linearly.
  • the plurality of first covered conductor portions 10A1 are arranged in parallel to each other.
  • the plurality of first covered conductor portions 10A1 are arranged side by side in a direction that intersects the extending direction that extends linearly (a direction that is substantially orthogonal in FIG. 3).
  • the plurality of first covered conductor portions 10A1 are arranged on the same plane.
  • Each of the plurality of first coated conductor portions 10A1 includes a conductive wire portion and an insulating coating portion that covers the conductive wire portion from one side to the other side in the extending direction.
  • the second covered conductor 10B is inserted into a hole different from the hole into which the first covered conductor 10A is inserted.
  • the second covered conductor 10 ⁇ / b> B is folded back toward the inside of the pair of support plates 60 on the outside of the pair of support plates 60.
  • the second covered conductor 10 ⁇ / b> B is alternately folded on one side and the other side of the pair of support plates 60.
  • the second coated conductor 10B includes a plurality of second coated conductor portions 10B1 and a plurality of folded portions 10B2.
  • the plurality of second covered conductor portions 10B1 are located inside the pair of support plates 60, and the plurality of folded portions 10B2 are located outside the pair of support plates 60.
  • the plurality of second covered conductor portions 10B1 extend linearly.
  • the plurality of second covered conductive wire portions 10B1 are arranged in parallel to each other.
  • the plurality of second covered conductor portions 10B1 are arranged side by side in a direction that intersects the extending direction that extends linearly (a direction that is substantially orthogonal in FIG. 3).
  • the plurality of second covered conductor portions 10B1 are arranged on the same plane.
  • Each of the plurality of second covered conductive wire portions 10B1 has a conductive wire portion and an insulating covering portion that covers the conductive wire portion from one side to the other side in the extending direction.
  • the plurality of first covered conductor portions 10A1 and the plurality of second covered conductor portions 10B1 are alternately arranged in a direction intersecting the extending direction (a direction substantially orthogonal in FIG. 3). Thereby, the plurality of conductive wire portions included in the plurality of first covered conductor portions 10A1 and the plurality of second covered conductor portions 10B1 are arranged in parallel to each other. In addition, in the plurality of insulation coating portions included in the plurality of first covered conductor portions 10A1 and the plurality of second covered conductor portions 10B1, gaps capable of generating plasma are formed between the adjacent conductive wire portions.
  • a high voltage circuit 50 is provided between a wiring 51 connected to one end of the conductive wire of the first covered conductive wire 10A and a wiring 52 connected to one end of the second covered conductive wire 10B.
  • the high voltage circuit 50 applies high frequency and high voltage between the conductive wire of the first covered conductive wire 10A and the conductive wire of the second covered conductive wire 10B. As a result, a potential difference is generated between the conductive line portions adjacent to each other.
  • the voltage applied between the conductive line portions adjacent to each other is preferably an alternating voltage.
  • the conductive line portions adjacent to each other are arranged close to each other, whereby a gap capable of generating plasma is formed between the insulating coating portions adjacent to each other.
  • plasma can be generated by satisfying a predetermined discharge condition in the gap.
  • the discharge start voltage is equal to or higher than the discharge start voltage determined according to the product of the distance between the conductive wire portion of the first covered conductive wire 10A and the conductive wire portion of the second covered conductive wire 10B adjacent to each other and the atmospheric pressure (fluid pressure).
  • a voltage is applied between the conductive wire portion of the first covered conductive wire 10A and the conductive wire portion of the second covered conductive wire 10B that are adjacent to each other, a dielectric barrier discharge is generated and plasma is generated.
  • the plasma generation unit P is configured by the plurality of conductive wire portions and the plurality of insulating coating portions which are covered by the plurality of insulating coating portions.
  • the first covered conductor 10A and the second covered conductor 10B have flexibility, so that bending deformation is possible.
  • each of the plurality of first covered conductor portions 10A1 included in the first covered conductor 10A and the plurality of second covered conductor portions 10B1 included in the second covered conductor 10B corresponds to at least a part of the extending direction.
  • the distance between both ends of the plurality of first covered conductor portions 10A1 and the plurality of second covered conductor portions 10B1 can be varied.
  • the distance between the pair of support plates 60 can be varied. Thereby, the freedom degree of installation of the said plasma production
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of the plasma generating element according to the present embodiment.
  • plasma generating element 1B according to the present exemplary embodiment will be described.
  • the insulating coating portions 30 ⁇ / b> B adjacent to each other are connected via the connecting portion 33. Is different. Other configurations are almost the same.
  • the insulating coating portions 30B adjacent to each other are connected via a connecting portion 33 from one end side to the other end side.
  • the plurality of insulating coating portions 30B that cover the plurality of conductive wires 20 and the connecting portion 33 are integrally formed by, for example, extrusion molding.
  • the insulating coating portion 30B and the connecting portion 33 are made of an insulating resin member having flexibility.
  • each of a pair of plate is provided with the insertion part extended in the extension direction of a plate.
  • the distance between the insulating coating portions 30B adjacent to each other can be made substantially constant from one end side to the other end side.
  • the plasma can be generated by satisfying predetermined discharge conditions in the gap between the insulating coating portions 30B adjacent to each other. Specifically, a voltage equal to or higher than the discharge start voltage determined according to the product of the distance between the insulation coating portions 30B adjacent to each other and the atmospheric pressure (fluid pressure) is applied between the adjacent conductive lines 20. Then, dielectric barrier discharge is generated and plasma is generated.
  • the plasma is stabilized in the gap R from one end side to the other end side of the insulating coating portion 30B. Can be generated.
  • the plurality of conductive wires 20, the plurality of insulating coating portions 30B, and the plurality of connecting portions 33 have flexibility, so that bending deformation is possible.
  • the distance between both ends of the plurality of conductive lines 20 can be varied by bending the plurality of conductive lines 20 in the same direction correspondingly in at least a part of the extending direction.
  • the distance between the pair of support plates can be varied.
  • the insulating coating portions 30B adjacent to each other are connected by integrally forming the plurality of insulating coating portions 30B and the connecting portions 33 has been described.
  • the insulating coating portions 30B adjacent to each other may be connected in a line contact with an adhesive or the like.
  • the insulating coating portions 30B adjacent to each other have been described by way of example in which they are connected via the connecting portion 33 from one end side to the other end side. What is necessary is just to be connected at least in part from at least one end side to the other end side. For example, when supported by a pair of support plates as described above, the insulating coating portions 30B adjacent to each other need not be connected outside the pair of support plates.
  • FIG. 5 is a schematic diagram of a plasma generation apparatus including the plasma generation element according to the present embodiment.
  • FIG. 6 is a cross-sectional view of the plasma generating element according to the present embodiment. With reference to FIG. 5 and FIG. 6, plasma generation apparatus 100C and plasma generation element 1C according to the present embodiment will be described.
  • the plasma generation device 100 ⁇ / b> C according to the present embodiment is different in the configuration of the plasma generation element 1 ⁇ / b> C from the plasma generation device 100 ⁇ / b> B according to the third embodiment.
  • a plurality of coated conductors 10 are arranged in a ring shape.
  • the plurality of insulating coating portions 30 ⁇ / b> C cover the plurality of conductive wires 20.
  • the mutually adjacent insulating coating portions 30C are connected via a connecting portion 33 from one end side to the other end side.
  • the plurality of insulating coating portions 30C and the connecting portion 33 are integrally formed by, for example, extrusion molding.
  • the insulating covering portion 30C and the connecting portion 33 are made of a flexible insulating resin member.
  • the plurality of coated conductors 10 to which the insulating coating portions 30C adjacent to each other are connected are supported by a pair of annular members 60C having an opening at the center.
  • the pair of annular members 60C By fitting the pair of annular members 60C to both ends of the plurality of coated conductors 10, the plurality of coated conductors 10 are supported by the pair of annular members 60C.
  • the pair of annular members 60 ⁇ / b> C are fitted on the outer peripheral sides of the plurality of covered conductors 10.
  • the distance between the insulating covering portions 30C adjacent to each other on the outer side and the inner side of the plurality of covered conductive wires 10 arranged in an annular shape (the gap R) The distance) can be made substantially constant from one end side to the other end side.
  • the plasma can be generated by satisfying predetermined discharge conditions in the gap between the insulating coating portions 30C adjacent to each other. Specifically, a voltage equal to or higher than the discharge start voltage determined according to the product of the distance between the insulating coating portions 30C adjacent to each other and the atmospheric pressure (fluid pressure) is applied between the adjacent conductive lines 20. Then, dielectric barrier discharge is generated and plasma is generated.
  • the plasma is stabilized in the gap R from one end side to the other end side of the insulating coating portion 30C. Can be generated.
  • the plurality of conductive wires 20, the plurality of insulating coating portions 30C, and the plurality of connecting portions 33 have flexibility, so that bending deformation is possible.
  • the distance between both ends of the plurality of conductive lines 20 can be varied by bending the plurality of conductive lines 20 in the same direction correspondingly in at least a part of the extending direction.
  • the distance between the pair of annular members 60C can be varied.
  • the plasma generated inside the insulating coating portion 30C can be kept in a space surrounded by the plurality of coated conductors 10.
  • the gas to be treated By allowing the gas to be treated to pass through the space along the extending direction of the plurality of conductive wires 20, inactivation of bacteria and viruses present in the gas to be treated, or in the gas to be treated such as odor
  • the impurity gas contained can be efficiently decomposed and removed. Thereby, process target gas can be purified efficiently.
  • FIG. 7 is a schematic diagram of a plasma generation apparatus including the plasma generation element according to the present embodiment. With reference to FIG. 7, plasma generating apparatus 100D according to the present embodiment will be described.
  • the plasma generation device 100D according to the present embodiment is different in the configuration of the plasma generation element 1D from the plasma generation device 100 according to the embodiment.
  • the plurality of coated conductors 10 are bent in the same direction correspondingly in at least a part of the extending direction.
  • the plurality of conductive wires and the plurality of covered conductors included in the plurality of covered conductors 10 are also bent in the same direction correspondingly in at least a part of the extending direction.
  • the plasma generation part P constituted by the plurality of conductive wire portions and the plurality of insulating coating layers covered by the plurality of insulating coating layers also has a bent portion.
  • FIG. 8 is a diagram for explaining the effect of the plasma generating element according to the present embodiment.
  • a plurality of covered conductors in a state after being bent are indicated by solid lines, and a plurality of covered conductors in a state before being bent are indicated by two-dot chain lines.
  • the effect of plasma generating element 1D according to the present exemplary embodiment will be described.
  • the plurality of covered conductive wires 10 in a state before being bent extend linearly.
  • the distance from one end to the other end is L1.
  • the length of the covered conducting wire 10 in the extending direction is L1.
  • the distance from one end to the other end is L2.
  • L2 is smaller than L1. Since the distance from one end to the other end of the plurality of covered conductors 10 in the state after bending is shorter than that in the state before bending, the plasma generating element 1D can be installed in a smaller installation space.
  • the length of the coated conductor 10 in the extending direction itself is L1
  • the gap between the insulating coating layers adjacent to each other is also the length of L1 along the extending direction of the coated conductor. Formed with.
  • the plasma generating element 1D has plasma as compared with a case where a plurality of covered conducting wires extending linearly with a length L2 are arranged in an installation space having a length L2.
  • the area of the generation unit P can be widened. Thereby, inactivation of bacteria and viruses present in the processing target gas or processing target gas such as odor by passing the processing target gas through the space along the extending direction of the plurality of conductive wires
  • the impurity gas contained therein can be efficiently decomposed and removed. Thereby, process target gas can be purified efficiently.
  • the plurality of conductive wires, the plurality of insulating coating portions, and the plurality of connecting portions included in the plurality of coated conducting wires have flexibility, so that bending deformation occurs. It becomes possible.
  • the distance between the ends of the plurality of conductive lines can be varied by further bending the plurality of conductive lines in the same direction correspondingly in at least a part of the extending direction from the state after the bending. Thereby, the freedom degree of installation of the said plasma generation element 1D and plasma generation apparatus 100D provided with the same can be improved.
  • the case where the plurality of covered conductors 10 are bent in the same plane has been described as an example, but the plurality of covered conductors 10 may be bent so as to form a curved surface.
  • FIG. 9 is a schematic view of a plasma apparatus including the plasma generating element according to the present embodiment. With reference to FIG. 9, plasma generating apparatus 100E according to the present embodiment will be described.
  • the plasma generation device 100E according to the present embodiment is different in the configuration of the plasma generation element 1E from the plasma generation device 100 according to the first embodiment. Other configurations are almost the same.
  • the plasma generating element 1E includes a plurality of coated conductors 10.
  • Each of the plurality of covered conductive wires 10 includes a conductive wire and an insulating coating layer that covers the conductive wire.
  • the insulating coating layers adjacent to each other are connected from one end side to the other end side via a connecting portion as in the third embodiment.
  • the plurality of coated conductive wires 10 are provided in a meandering manner such that portions extending linearly and portions curved in a U-shape are alternately continued.
  • the plurality of covered conductive wires 10 are supported by a pair of support plates facing each other.
  • the plurality of covered conductors 10 are supported by a pair of support plates 60 facing each other.
  • the pair of support plates 60 extend in one direction (upward in FIG. 9).
  • Each of the pair of support plates 60 has a plurality of insertion portions into which a plurality of connected covered conductors 10 can be inserted.
  • the plurality of insertion portions are arranged side by side along the one direction.
  • the plurality of covered conductors 10 are folded back toward the inside of the pair of support plates 60 on the outside of the pair of support plates 60.
  • the plurality of covered conductive wires 10 are alternately folded on one side and the other side of the pair of support plates 60.
  • each of the plurality of insulating coating portions is formed with a gap capable of generating plasma between adjacent insulating coating portions. Is provided.
  • plasma can be generated by satisfying predetermined discharge conditions.
  • the conductive wire portions of the covered conductive wires 10 that are adjacent to each other have a voltage equal to or higher than the discharge start voltage determined according to the product of the distance between the conductive wire portions of the adjacent conductive wires 10 and the atmospheric pressure (fluid pressure). By being applied between them, dielectric barrier discharge is generated and plasma is generated.
  • the plasma generating portion P is configured by the plurality of conductive wire portions and the plurality of insulating coating portions of the portion covered by the plurality of insulating coating portions.
  • a plurality of portions extending linearly are provided.
  • the plurality of linearly extending portions are arranged side by side along the one direction.
  • the plurality of linearly extending portions are positioned in parallel to each other.
  • a plurality of plasma generation portions P are also provided.
  • the plurality of plasma generation units P are arranged side by side along the one direction.
  • the plurality of plasma generating parts P are located in parallel to each other.
  • a plurality of plasma generating units P are configured. By flowing the gas to be processed in parallel with the direction in which the plurality of coated conducting wires 10 are arranged, the gas to be processed can be efficiently cleaned.
  • the plasma generating element 1E according to the present embodiment can be bent and deformed because the conductive wires 20 and the plurality of insulating coating layers 30 included in the plurality of coated conductive wires 10 have flexibility.
  • a plurality of plasma generation parts P can be formed, and the gas to be processed can be cleaned over a wide range.
  • the distance between the both ends of the some conductive wire 20 is made by bending each correspondingly in the same direction in at least one part of the said extension direction.
  • the distance between the pair of support plates 60 can be varied.
  • the plurality of plasma generating parts P are positioned in parallel because the linearly extending portions of the plurality of coated conductive wires 10 extending in a meandering manner are positioned in parallel to each other.
  • the present invention is not limited to this, and the plasma generating elements according to the first to fifth embodiments are arranged in a direction perpendicular to the plane on which the plurality of conductive line portions are arranged. By doing so, a plurality of plasma generation units may be provided. In order to form the plasma generation part P over a wide range, a plurality of plasma generation elements may be provided on the same plane.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view showing the internal configuration of the air cleaner according to the present embodiment.
  • FIG. 11 is a rear view of the air cleaner according to the present embodiment.
  • Air cleaner 200 is an example of an electronic device that includes a plasma generation device.
  • plasma generation device 100 according to Embodiment 1 is used as the plasma generation device.
  • the air purifier 200 includes a plasma generating device 100, a main body 210 provided with a suction port 220 and a blower outlet 230, a blower path 240, and a blower 250 as a blower.
  • the suction port 220 is provided on the back side of the main body 210.
  • the air outlet 230 is provided above the main body 210.
  • the air supply path 240 is provided in the main body 210 and connects the suction port 220 and the air outlet 230.
  • a blower 250 is provided in the blower path 240.
  • a part of the ventilation path 240 is defined by the casing of the blower 250.
  • the blower 250 blows air sucked from the inlet 220 toward the outlet 230.
  • various blowers such as a sirocco fan and a cross flow fan can be employed.
  • the plasma generating apparatus 100 is disposed in the blower path 240. Specifically, the plasma generation apparatus 100 is disposed in a position in the vicinity of the suction port 220 or in the blower path 240 located between the blower 250 and the blower outlet 230.
  • the plasma generating apparatus 100 is arrange
  • the plasma production apparatus 100 should just be arrange
  • the plane or the like on which the plurality of covered conductive wires 10 are arranged may be substantially parallel to the blowing direction.
  • an air purifier has been described as an example of an electric device.
  • the electric device is not limited to this, but includes an air conditioner (air conditioner), a refrigeration device, and the like.
  • a vacuum cleaner, a humidifier, a dehumidifier, or the like may be used as long as it is an electric device having a blowing unit for allowing the plasma generating apparatus 100 to pass air when sucking air and blowing air.
  • the plasma generation apparatus 100 according to the first embodiment is used as the plasma generation apparatus has been described as an example.
  • the present invention is not limited to this, and the plasma generation according to the second to sixth embodiments is described. Any of the plasma generation apparatuses including the element may be used.
  • Plasma generating element 10 coated conductor, 10A first coated conductor, 10A1 first coated conductor, 10A2, 10B2 folded portion, 10B second coated conductor, 10B1 second coated conductor 20, 21, 22 conductive wire, 30, 31, 32 insulation coating layer, 30B, 30C insulation coating part, 33 connection part, 50 high voltage circuit, 51, 52 wiring, 60 pair of support plates, 60C pair of hollow disks 100, 100A, 100B, 100C, 100D, 100E Plasma generator, 200 air purifier, 210 main body, 220 suction port, 230 air outlet, 240 air supply path, 250 air blower.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

プラズマ生成素子（１）は、互いに並行して配置された複数の導電線部（２０）と、複数の導電線部（２０）を絶縁被覆する複数の絶縁被覆部（３０）とを備え、複数の絶縁被覆部（３０）の各々は、隣り合う絶縁被覆部（３０）間においてプラズマが生成可能な隙間（Ｒ）が形成されるように複数の導電線部（２０）の各々の延在方向における所定の長さにわたって設けられ、これにより複数の絶縁被覆部（３０）によって覆われている部分の複数の導電線部（２０）と複数の絶縁被覆部（３０）とによってプラズマ生成部が構成され、複数の導電線部（２０）および複数の絶縁被覆部（３０）は、いずれも柔軟性を有し、隣り合う導電線（２０）間部の各々において電位差を発生させることにより、プラズマ生成部においてプラズマが生成可能に構成されている。

Description

プラズマ生成素子
　本発明は、誘電体バリア放電を生じさせてプラズマを生成するプラズマ生成素子に関する。
　機械的強度を備え、高湿空気中や水中等の環境下においてプラズマを生成可能なプラズマ生成装置が開示された文献として、特許第３０１５２６８号公報（特許文献１）が挙げられる。
　特許文献１に開示のプラズマ生成装置は、棒状の導電体を棒状のセラミックス誘電体に設けた長尺方向の貫通孔に挿入し、ガラスまたは接着剤で導電体およびセラミックス誘電体を一体に接合、封止することにより構成される電極を複数備え、これら複数の電極をセラミックス誘電体において線接触の状態で接合することにより構成される。
特許第３０１５２６８号公報
　しかしながら、特許文献１に記載のプラズマ生成装置にあっては、誘電体がセラミックスで形成されている。このため、プラズマ生成装置を設置する場合には、直線状にしか配置することができない。
　電気機器等の内部にプラズマ生成装置を設置する場合には、構成部品の形状や、構成部品との位置関係により、設置空間が制限される。当該設置空間のサイズは、構成部品の大きさ、組み付け位置のバラツキにより、変動する。このため、設置空間のサイズが、プラズマ生成装置の大きさよりも小さくなる場合がある。かかる場合には、定形を有するプラズマ生成装置を準備しても、これを設置できなくなる。
　本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、柔軟性を有し、設置の自由度を向上させることができるプラズマ生成素子を提供することにある。
　本発明に基づくプラズマ生成素子は、誘電体バリア放電が生じることでプラズマを生成するプラズマ生成部を有するプラズマ生成素子であって、互いに並行して配置された複数の導電線部と、上記複数の導電線部を絶縁被覆する複数の絶縁被覆部とを備え、上記複数の絶縁被覆部の各々は、隣り合う絶縁被覆部間においてプラズマが生成可能な隙間が形成されるように上記複数の導電線部の各々の延在方向における所定の長さにわたって設けられ、これにより上記複数の絶縁被覆部によって覆われている部分の上記複数の導電線部と上記複数の絶縁被覆部とによって上記プラズマ生成部が構成され、上記複数の導電線部および上記複数の絶縁被覆部は、いずれも柔軟性を有し、隣り合う導電線間部の各々において電位差を発生させることにより、上記プラズマ生成部においてプラズマが生成可能に構成されている。
　上記本発明に基づくプラズマ生成素子にあっては、互いに隣り合う上記絶縁被覆部は、上記一端側から上記他端側にかけて少なくとも一部において連結されていてもよい。
　上記本発明に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記複数の導電線部は、平面上、曲面上、または環状に配置されることが好ましい。
　上記本発明に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記複数の導電線部が、延在方向の少なくとも一部において、それぞれが対応して同一方向に曲がることにより、上記プラズマ生成部が曲がり部を有していてもよい。
　上記本発明に基づくプラズマ生成素子にあっては、上記プラズマ生成部を構成する１組の上記複数の導電線部および上記複数の絶縁被覆部が、複数組設けられることにより、上記プラズマ生成部を複数有していてもよい。
　本発明によれば、柔軟性を有し、設置の自由度を向上させることができるプラズマ生成素子を提供することができる。
実施の形態１に係るプラズマ生成素子を具備するプラズマ生成装置の概略図である。 実施の形態１に係るプラズマ生成素子の断面図である。 実施の形態２に係るプラズマ生成素子を具備するプラズマ生成装置の概略図である。 実施の形態３に係るプラズマ生成素子の断面図である。 実施の形態４に係るプラズマ生成素子を具備するプラズマ生成装置の概略図である。 実施の形態４に係るプラズマ生成素子の断面図である。 実施の形態５に係るプラズマ生成素子を具備するプラズマ生成装置の概略図である。 実施の形態５に係るプラズマ生成素子の効果を説明するための図である。 実施の形態６に係るプラズマ生成素子を具備するプラズマ装置の概略図である。 実施の形態７に係る空気清浄機の内部構成を示す断面図である。 実施の形態７に係る空気清浄機の背面図である。
　以下、本発明の実施の形態について、図を参照して詳細に説明する。なお、以下に示す実施の形態においては、同一のまたは共通する部分について図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。
　（実施の形態１）
　図１は、本実施の形態に係るプラズマ生成素子を具備するプラズマ生成装置の概略図である。図２は、本実施の形態に係るプラズマ生成素子の断面図である。図１および図２を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００およびプラズマ生成素子１について説明する。
　図１に示すように、プラズマ生成装置１００は、プラズマ生成素子１および高電圧回路５０を備える。図１および図２に示すように、プラズマ生成素子１は、複数の被覆導線１０を備える。
　複数の被覆導線１０は、互いに所定の間隔をあけて平行に並んで配置されている。複数の被覆導線１０は、同一平面上に配置されている。複数の被覆導線１０は、互いに対向する一対の支持プレート６０によって支持されている。
　一対の支持プレート６０には、複数の被覆導線１０の数に応じて複数の穴部が設けられている。複数の穴部のそれぞれに、複数の被覆導線１０が挿入される。これにより、複数の被覆導線１０の両端が、一対の支持プレート６０によって支持される。
　複数の被覆導線１０のそれぞれが柔軟性を有する。これにより、一対の支持プレート６０間の距離が可変となる。複数の被覆導線１０のそれぞれは、導電線部としての導電線２０と絶縁被覆部としての絶縁被覆層３０とを含む。
　複数の導電線２０は、柔軟性を有する金属線である。複数の導電線２０のそれぞれは、直線状に設けられている。複数の導電線２０は、互いに並行して配置されている。複数の導電線２０は、延在方向に交差する方向に並んで配置されている。
　複数の絶縁被覆層３０は、柔軟性を有する絶縁性樹脂部材によって構成されている。複数の絶縁被覆層３０のそれぞれは、互いに隣り合う絶縁被覆層３０においてプラズマが生成可能な隙間Ｒが形成されるように複数の導電線２０の各々の延在方向における所定の長さにわたって設けられている。
　絶縁被覆層３０は、導電線２０の少なくとも一方の端部が露出するように導電線２０を被覆している。互いに隣り合う絶縁被覆層３０のうち一方の絶縁被覆層３１は、互いに隣接する導電線２０の一方の導電線２１の一端側が露出するように当該導電線２１が覆われている。互いに隣り合う絶縁被覆層３０のうち一方の絶縁被覆層３２は、互いに隣接する導電線２０の一方の導電線２２の他端側（上記一端側と反対側）が露出するように当該導電線２２が覆われている。
　互いに隣り合う導電線２０のうち一方側の導電線２１の一端側に接続される配線５１と、互いに隣り合う導電線２０のうち他方側の導電線２２の他端側（上記一端側と反対側）に接続される配線５２との間に、高電圧回路５０が設けられている。一方側の導電線２１は、並列に接続されている。他方側の導電線２２は、並列に接続されている。
　高電圧回路５０は、不図示の電源から供給される電圧から高電圧を発生させる。高電圧回路５０は、高周波、高電圧を互いに隣り合う導電線２０間に印加する。これにより、互いに隣り合う導電線２０間の各々において電位差を発生させる。互いに隣り合う導電線２０間に印加される電圧は、交流電圧であることが好ましい。
　上述のように互いに隣り合う被覆導線１０が近接して配置されることにより、互いに隣り合う絶縁被覆層３０との間にプラズマが生成可能な隙間Ｒが形成される。
　当該隙間Ｒにおいて、所定の放電条件を充足することによりプラズマを生成することができる。具体的には、互いに隣り合う絶縁被覆層３０の距離と雰囲気圧力（流体圧力）との積に応じて決定される放電開始電圧以上の電圧が互いに隣り合う導電線２０間に印加されることにより、誘電体バリア放電が発生しプラズマが生成される。
　プラズマが生成されると、互いに隣り合う導電線２０間の電位差により、プラズマ中の荷電粒子が互いに隣り合う絶縁被覆層３０の表面に蓄積され、プラズマの生成が終了する。この際、互いに隣り合う絶縁被覆層３０の一方の絶縁被覆層３１の表面には、互いに隣り合う導電線２０の一方の導電線２１とは反対の極性を有する電荷が蓄積される。互いに隣り合う絶縁被覆層３０の他方の絶縁被覆層３２の表面には、互いに隣り合う導電線２０の他方の導電線２２とは反対の極性の電荷が蓄積される。
　続いて、互いに隣り合う導電線２０間に反対の極性を有する電圧が印加されると、蓄積された電荷が作る電界と、互いに隣り合う導電線２０間に印加された電圧による電界とにより、再びプラズマが生成される。
　互いに隣り合う導電線２０間に印加される電圧の極性が反転する毎に誘電体バリア放電が繰り返し行われる。このように、複数の絶縁被覆層３０によって覆われている部分の複数の導電線２０と複数の絶縁被覆層３０とによってプラズマ生成部Ｐが構成される。
　隣り合う絶縁被覆層３０間の隙間Ｒのそれぞれにおいて、絶縁被覆層３０の一端側から他端側にかけてプラズマが生成されるため、広範囲にプラズマを生成することが可能となる。このため、処理対象気体とプラズマ生成部との接触効率を向上させることが可能となる。
　プラズマを発生させつつ、プラズマ生成装置１００に空気等の処理対象気体を複数の導電線２０が配置される同一平面に平行な方向に沿って通過させることにより、処理対象気体中に存在する菌やウイルスの不活化、または、臭気等の処理対象気体中に含まれる不純物ガスの分解除去を行なうことができる。これにより処理対象気体を浄化することができる。
　本実施の形態に係るプラズマ生成素子１は、複数の導電線２０および複数の絶縁被覆層３０が柔軟性を有することにより、曲げ変形が可能となる。複数の導電線２０を延在方向の少なくとも一部においてそれぞれを対応して同一方向に曲げることにより、複数の導電線２０の両端間の距離を変動させることができる。たとえば、上述のように一対の支持プレート６０によって複数の導電線２０を支持するような場合には、一対の支持プレート６０間の距離を変動させることができる。これにより、当該プラズマ生成素子１、およびこれを備えたプラズマ生成装置１００の設置の自由度を向上させることができる。
　なお、本実施の形態においては、一方側の導電線２１が並列に接続されている場合を例示して説明したが、これに限定されず、直列に接続されていてもよい。この場合には、一方側の導電線２１が一端側と他端側にて交互に接続される。同様に、他方側の導電線２１が並列に接続されている場合を例示して説明したが、これに限定されず、直列に接続されていてもよい。この場合には、他方側の導電線２１が一端側と他端側にて交互に接続される。
　（実施の形態２）
　図３は、本実施の形態に係るプラズマ生成素子を具備するプラズマ生成装置の概略図である。図３を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ａおよびプラズマ生成素子１Ａについて説明する。
　図３に示すように、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ａは、実施の形態１に係るプラズマ生成装置１００と比較した場合に、プラズマ生成素子１Ａの構成が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
　プラズマ生成素子１Ａは、第１被覆導線１０Ａ、第２被覆導線１０Ｂ、および高電圧回路５０を備える。第１被覆導線１０Ａおよび第２被覆導線１０Ｂは、柔軟性を有する。第１被覆導線１０Ａおよび第２被覆導線１０Ｂは、導電線と、これを被覆する絶縁被覆層とを含む。第１被覆導線１０Ａおよび第２被覆導線１０Ｂは、互いに対向する一対の支持プレート６０によって支持されている。
　一対の支持プレート６０のそれぞれには、複数の穴部が支持プレートの延在方向に沿って並んで設けられている。第１被覆導線１０Ａは、一つ置きに穴部に挿入される。第１被覆導線１０Ａは、一対の支持プレート６０の外側にて、一対の支持プレート６０の内側に向かうように折り返される。第１被覆導線１０Ａは、一対の支持プレート６０の一方側および他方側にて交互に折り返される。
　第１被覆導線１０Ａは、複数の第１被覆導線部１０Ａ１、および複数の折り返し部１０Ａ２を含む。複数の第１被覆導線部１０Ａ１は、一対の支持プレート６０の内側に位置し、複数の折り返し部１０Ａ２は、一対の支持プレート６０の外側に位置する。
　複数の第１被覆導線部１０Ａ１は、直線状に延在する。複数の第１被覆導線部１０Ａ１は、互いに並行して配置されている。複数の第１被覆導線部１０Ａ１は、直線状に延在する延在方向に交差する方向（図３中において略直交する方向）に並んで配置されている。複数の第１被覆導線部１０Ａ１は、同一平面上に配置されている。
　複数の第１被覆導線部１０Ａ１は、それぞれ導電線部およびこれを延在方向の一方側から他方側にわたって被覆する絶縁被覆部を有する。
　第２被覆導線１０Ｂは、第１被覆導線１０Ａが挿入される穴部とは異なる穴部に挿入される。第２被覆導線１０Ｂは、一対の支持プレート６０の外側にて、一対の支持プレート６０の内側に向かうように折り返される。第２被覆導線１０Ｂは、一対の支持プレート６０の一方側および他方側にて交互に折り返される。
　第２被覆導線１０Ｂは、複数の第２被覆導線部１０Ｂ１、および複数の折り返し部１０Ｂ２を含む。複数の第２被覆導線部１０Ｂ１は、一対の支持プレート６０の内側に位置し、複数の折り返し部１０Ｂ２は、一対の支持プレート６０の外側に位置する。
　複数の第２被覆導線部１０Ｂ１は、直線状に延在する。複数の第２被覆導線部１０Ｂ１は、互いに並行して配置されている。複数の第２被覆導線部１０Ｂ１は、直線状に延在する延在方向に交差する方向（図３中において略直交する方向）に並んで配置されている。複数の第２被覆導線部１０Ｂ１は、同一平面上に配置されている。
　複数の第２被覆導線部１０Ｂ１は、それぞれ導電線部およびこれを延在方向の一方側から他方側にわたって被覆する絶縁被覆部を有する。
　複数の第１被覆導線部１０Ａ１および複数の第２被覆導線部１０Ｂ１は、延在方向に交差する方向（図３中において略直交する方向）に交互に並ぶように配置されている。これにより、複数の第１被覆導線部１０Ａ１および複数の第２被覆導線部１０Ｂ１に含まれる複数の導電線部は、互いに並行して配置される。また、複数の第１被覆導線部１０Ａ１および複数の第２被覆導線部１０Ｂ１に含まれる複数の絶縁被覆部は、互いに隣り合う導電線部間においてプラズマ生成可能な隙間が形成される。
　第１被覆導線１０Ａの導電線の一端側に接続される配線５１と、第２被覆導線１０Ｂの一端側に接続される配線５２との間に、高電圧回路５０が設けられている。
　高電圧回路５０は、高周波、高電圧を第１被覆導線１０Ａの導電線および第２被覆導線１０Ｂの導電線間に印加する。これにより、互いに隣り合う導電線部間の各々において電位差を発生させる。互いに隣り合う導電線部間に印加される電圧は、交流電圧であることが好ましい。
　上述のように、互いに隣り合う導電線部が近接して配置されることにより、互いに隣り合う絶縁被覆部との間にプラズマが生成可能な隙間が形成される。
　本実施の形態においても、実施の形態１と同様に、当該隙間において、所定の放電条件を充足することによりプラズマを生成することができる。具体的には、互いに隣り合う第１被覆導線１０Ａの導線部と第２被覆導線１０Ｂの導電線部間の距離と雰囲気圧力（流体圧力）との積に応じて決定される放電開始電圧以上の電圧が互いに隣り合う第１被覆導線１０Ａの導線部と第２被覆導線１０Ｂの導電線部間に印加されることにより、誘電体バリア放電が発生し、プラズマが生成される。
　このように、複数の絶縁被覆部によって覆われている部分の複数の導電線部と複数の絶縁被覆部とによってプラズマ生成部Ｐが構成される。
　以上のように、本実施の形態に係るプラズマ生成素子１Ａにあっても、第１被覆導線１０Ａおよび第２被覆導線１０Ｂが柔軟性を有することにより、曲げ変形が可能となる。これにより、第１被覆導線１０Ａに含まれる複数の第１被覆導線部１０Ａ１および第２被覆導線１０Ｂに含まれる複数の第２被覆導線部１０Ｂ１をこれら延在方向の少なくとも一部においてそれぞれを対応して同一方向に曲げることにより、複数の第１被覆導線部１０Ａ１および複数の第２被覆導線部１０Ｂ１の両端間の距離を変動させることができる。たとえば、上述のように一対の支持プレート６０によって第１被覆導線１０Ａおよび第２被覆導線１０Ｂを支持するような場合には、一対の支持プレート６０間の距離を変動させることができる。これにより、当該プラズマ生成素子１Ａ、およびこれを備えたプラズマ生成装置１００Ａの設置の自由度を向上させることができる。
　（実施の形態３）
　図４は、本実施の形態に係るプラズマ生成素子の断面図である。図４を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成素子１Ｂについて説明する。
　図４に示すように、本実施の形態に係るプラズマ生成素子１Ｂは、実施の形態１に係るプラズマ生成素子１と比較した場合に、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂが連結部３３を介して連結されている点において相違する。その他の構成についてはほぼ同様である。
　互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂは、一端側から他端側にかけて連結部３３を介して接続されている。複数の導電線２０を被覆する複数の絶縁被覆部３０Ｂと、連結部３３とは、たとえば押出し成形等によって一体に成形されている。絶縁被覆部３０Ｂおよび連結部３３は、柔軟性を有する絶縁性樹脂部材によって構成されている。
　なお、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂが連結された複数の被覆導線１０を一対のプレートにて支持する場合には、一対のプレートのそれぞれには、プレートの延在方向に延びる挿入部が設けられる。複数の被覆導線１０の両端が、一対の支持プレートの挿入部にそれぞれ挿入されることにより、複数の被覆導線１０が一対のプレートに支持される。
　連結部３３を介して絶縁被覆部３０Ｂが連結されるため、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂ間の距離（隙間Ｒの距離）を一端側から他端側にかけてほぼ一定にすることができる。
　互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂ間の隙間において、所定の放電条件を充足することによりプラズマを生成することができる。具体的には、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂの距離と雰囲気圧力（流体圧力）との積に応じて決定される放電開始電圧以上の電圧が互いに隣り合う導電線２０間に印加されることにより、誘電体バリア放電が発生しプラズマが生成される。
　上述のように、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂ間の距離は、一端側から他端側にかけてほぼ一定であるため、絶縁被覆部３０Ｂの一端側から他端側にかけて隙間Ｒにおいてプラズマを安定して生成することができる。
　本実施の形態に係るプラズマ生成素子１Ｂにあっても、複数の導電線２０、複数の絶縁被覆部３０Ｂおよび複数の連結部３３が柔軟性を有することにより、曲げ変形が可能となる。複数の導電線２０を延在方向の少なくとも一部においてそれぞれを対応して同一方向に曲げることにより、複数の導電線２０の両端間の距離を変動させることができる。たとえば、上述のように一対の支持プレートによって複数の導電線２０を支持するような場合には、一対の支持プレート間の距離を変動させることができる。これにより、当該プラズマ生成素子１Ｂ、およびこれを備えたプラズマ生成装置１００の設置の自由度を向上させることができる。
　なお、本実施の形態においては、複数の絶縁被覆部３０Ｂと連結部３３とが一体に成形されることにより、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂが連結される場合を例示して説明したが、これに限定されず、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂが接着剤等によって線接触した状態で連結されてもよい。
　また、本実施の形態においては、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂは、一端側から他端側にかけて連結部３３を介して接続されている場合を例示して説明したが、これに限定されず、少なくとも一端側から他端側にかけて少なくとも一部において連結されていればよい。たとえば、上述のように一対の支持プレートによって支持される場合には、一対の支持プレートの外側においては、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｂが連結されていなくてもよい。
　（実施の形態４）
　図５は、本実施の形態に係るプラズマ生成素子を具備するプラズマ生成装置の概略図である。図６は、本実施の形態に係るプラズマ生成素子の断面図である。図５および図６を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ｃおよびプラズマ生成素子１Ｃについて説明する。
　図５および図６に示すように、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ｃは、実施の形態３に係るプラズマ生成装置１００Ｂと比較した場合に、プラズマ生成素子１Ｃの構成が相違する。
　プラズマ生成素子１Ｃにおいては、複数の被覆導線１０が環状に配置されている。複数の絶縁被覆部３０Ｃは、複数の導電線２０を被覆する。互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｃは、一端側から他端側にかけて連結部３３を介して連結されている。
　複数の絶縁被覆部３０Ｃと、連結部３３とは、たとえば押出し成形等によって一体に成形されている。絶縁被覆部３０Ｃおよび連結部３３は、柔軟性を有する絶縁性樹脂部材によって構成されている。
　互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｃが連結された複数の被覆導線１０は、中央部に開口部を有する一対の環状部材６０Ｃによって支持される。一対の環状部材６０Ｃを複数の被覆導線１０の両端に嵌め込むことにより、複数の被覆導線１０が一対の環状部材６０Ｃに支持される。一対の環状部材６０Ｃは、複数の被覆導線１０の外周側に嵌め込込まれる。
　連結部３３を介して絶縁被覆部３０Ｃが連結されるため、環状に配列されている複数の被覆導線１０の外側および内側のそれぞれにて、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｃ間の距離（隙間Ｒの距離）を一端側から他端側にかけてほぼ一定にすることができる。
　互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｃ間の隙間において、所定の放電条件を充足することによりプラズマを生成することができる。具体的には、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｃの距離と雰囲気圧力（流体圧力）との積に応じて決定される放電開始電圧以上の電圧が互いに隣り合う導電線２０間に印加されることにより、誘電体バリア放電が発生しプラズマが生成される。
　上述のように、互いに隣り合う絶縁被覆部３０Ｃ間の距離は、一端側から他端側にかけてほぼ一定であるため、絶縁被覆部３０Ｃの一端側から他端側にかけて隙間Ｒにおいてプラズマを安定して生成することができる。
　本実施の形態に係るプラズマ生成素子１Ｃにあっても、複数の導電線２０、複数の絶縁被覆部３０Ｃおよび複数の連結部３３が柔軟性を有することにより、曲げ変形が可能となる。複数の導電線２０を延在方向の少なくとも一部においてそれぞれを対応して同一方向に曲げることにより、複数の導電線２０の両端間の距離を変動させることができる。たとえば、上述のように一対の環状部材６０Ｃによって複数の導電線２０を支持するような場合には、一対の環状部材６０Ｃ間の距離を変動させることができる。これにより、当該プラズマ生成素子１Ｃ、およびこれを備えたプラズマ生成装置１００Ｃの設置の自由度を向上させることができる。
　さらに、複数の導電線２０を環状に配置することにより、絶縁被覆部３０Ｃの内側にて生成されるプラズマは、複数の被覆導線１０によって囲まれる空間内に留めることができる。複数の導電線２０の延在方向に沿って処理対象気体を当該空間に対して通過させることにより、処理対象気体中に存在する菌やウイルスの不活化、または、臭気等の処理対象気体中に含まれる不純物ガスの分解除去を効率よく行なうことができる。これにより、処理対象気体を効率よく浄化することができる。
　（実施の形態５）
　図７は、本実施の形態に係るプラズマ生成素子を具備するプラズマ生成装置の概略図である。図７を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ｄについて説明する。
　本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ｄは、実施の形態に係るプラズマ生成装置１００と比較した場合にプラズマ生成素子１Ｄの構成が相違する。
　プラズマ生成素子１Ｄは、複数の被覆導線１０が延在方向の少なくとも一部において、それぞれが対応して同一方向に曲がっている。これにより、複数の被覆導線１０に含まれる複数の導電線および複数の被覆導線も上記延在方向の少なくとも一部において、それぞれが対応して同一方向に曲がっている。
　このため、複数の絶縁被覆層によって覆われている部分の複数の導電線部と複数の絶縁被覆層とによって構成されるプラズマ生成部Ｐも曲がり部を有する。
　図８は、本実施の形態に係るプラズマ生成素子の効果を説明するための図である。図８においては、折り曲げ後の状態にある複数の被覆導線を実線で示し、折り曲げ前の状態にある複数の被覆導線を二点鎖線で示している。図８を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成素子１Ｄの効果について説明する。
　図８に示すように、折り曲げ前の状態にある複数の被覆導線１０は、直線状に延在する。折り曲げ前の状態にある複数の被覆導線１０にあっては、一端から他端までの距離がＬ１である。言い換えると、被覆導線１０の延在方向の長さは、Ｌ１である。
　上述のように折り曲げられた折り曲げ後の状態にある複数の被覆導線１０においては、一端から他端までの距離がＬ２となる。Ｌ２は、Ｌ１よりも小さくなっている。折り曲げ後の状態にある複数の被覆導線１０は、一端から他端までの距離が折り曲げ前の状態よりも短くなるため、より小さい設置空間内にプラズマ生成素子１Ｄを設置することができる。
　一方で、折り曲げ後の状態においては、被覆導線１０の延在方向の長さ自体は、Ｌ１であるため、互いに隣り合う絶縁被覆層間の隙間も被覆導線の延在方向に沿ってＬ１の長さで形成される。
　このため、本実施の形態に係るプラズマ生成素子１Ｄは、Ｌ２の長さを有する設置空間内に、Ｌ２長さで直線状に延在する複数の被覆導線を配置する場合と比較して、プラズマ生成部Ｐの領域を広くすることができる。これにより、複数の導電線の延在方向に沿って処理対象気体を当該空間に対して通過させることにより、処理対象気体中に存在する菌やウイルスの不活化、または、臭気等の処理対象気体中に含まれる不純物ガスの分解除去を効率よく行なうことができる。これにより、処理対象気体を効率よく浄化することができる。
　また、本実施の形態に係るプラズマ生成素子１Ｄにあっても、複数の被覆導線に含まれる複数の導電線、複数の絶縁被覆部および複数の連結部が柔軟性を有することにより、曲げ変形が可能となる。折り曲げ後の状態からさらに複数の導電線を延在方向の少なくとも一部においてそれぞれを対応して同一方向に曲げることにより、複数の導電線の両端間の距離を変動させることができる。これにより、当該プラズマ生成素子１Ｄ、およびこれを備えたプラズマ生成装置１００Ｄの設置の自由度を向上させることができる。
　本実施の形態においては、複数の被覆導線１０が同一平面内において曲がっている場合を例示して説明したが、複数の被覆導線１０が曲面を形成するように曲がっていてもよい。
　（実施の形態６）
　図９は、本実施の形態に係るプラズマ生成素子を具備するプラズマ装置の概略図である。図９を参照して、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ｅについて説明する。
　図９に示すように、本実施の形態に係るプラズマ生成装置１００Ｅは、実施の形態１に係るプラズマ生成装置１００と比較した場合に、プラズマ生成素子１Ｅの構成が相違する。その他の構成については、ほぼ同様である。
　プラズマ生成素子１Ｅは、複数の被覆導線１０を備える。複数の被覆導線１０のそれぞれは、導電線およびこれを被覆する絶縁被覆層を有する。互いに隣り合う絶縁被覆層は、実施の形態３と同様に連結部を介して一端部側から他端部側にかけて連結されている。
　複数の被覆導線１０は、直線状に延在する部分とＵ字状に湾曲する部分とが交互に連続するように蛇行状に設けられている。複数の被覆導線１０は、互いに対向する一対の支持プレートによって支持されている。
　複数の被覆導線１０は、互いに対向する一対の支持プレート６０によって支持されている。一対の支持プレート６０は、一方向（図９中において上方）に延在する。一対の支持プレート６０のそれぞれは、連結された複数の被覆導線１０を挿入可能な挿入部を複数有する。当該複数の挿入部は、上記一方向に沿って並んで配置されている。
　複数の被覆導線１０は、一対の支持プレート６０の外側にて、一対の支持プレート６０の内側に向かうように折り返される。複数の被覆導線１０は、一対の支持プレート６０の一方側および他方側にて交互に折り返される。
　蛇行しながら延在する複数の被覆導線１０のうち直線状に延在する部分においては、複数の絶縁被覆部の各々は、隣り合う絶縁被覆部間においてプラズマが生成可能な隙間が形成されるように設けられている。
　当該隙間において、所定の放電条件を充足することによりプラズマを生成することができる。具体的には、互いに隣り合う被覆導線１０の導電線部間の距離と雰囲気圧力（流体圧力）との積に応じて決定される放電開始電圧以上の電圧が互いに隣り合う被覆導線１０の導線部間に印加されることにより、誘電体バリア放電が発生し、プラズマが生成される。
　このように、直線状に延在する部分において、複数の絶縁被覆部によって覆われている部分の複数の導電線部と複数の絶縁被覆部とによってプラズマ生成部Ｐが構成される。
　直線状に延在する部分は、複数設けられている。複数の直線状に延在する部分は、上記一方向に沿って並んで配置されている。複数の直線状に延在する部分は、互いに平行に位置している。
　直線状に延在する部分が、複数設けられることにより、プラズマ生成部Ｐも複数設けられる。複数のプラズマ生成部Ｐは、上記一方向に沿って並んで配置されている。複数のプラズマ生成部Ｐは、互いに平行に位置している。
　プラズマ生成素子１Ｅにおいては、複数のプラズマ生成部Ｐが構成されている。複数の被覆導線１０が並ぶ方向に平行に処理対象気体を流動させることにより、効率よく処理対象気体を清浄化させることができる。
　本実施の形態に係るプラズマ生成素子１Ｅは、複数の被覆導線１０に含まれる導電線２０および複数の絶縁被覆層３０が柔軟性を有することにより、曲げ変形が可能となる。複数の被覆導線１０を蛇行状に延在させることにより、複数のプラズマ生成部Ｐを形成することができ、広範囲に亘って処理対象気体を清浄化することができる。
　また、複数の被覆導線１０のうち直線状に延在する部分において、当該延在方向の少なくとも一部においてそれぞれを対応して同一方向に曲げることにより、複数の導電線２０の両端間の距離を変動させることができる。たとえば、上述のように一対の支持プレート６０によって複数の被覆導線１０を支持するような場合には、一対の支持プレート６０間の距離を変動させることができる。これにより、当該プラズマ生成素子１Ｅ、およびこれを備えたプラズマ生成装置１００Ｅの設置の自由度を向上させることができる。
　なお、本実施の形態においては、蛇行状に延在する複数の被覆導線１０のうち直線状に延在する部分が互いに平行に位置することにより、複数のプラズマ生成部Ｐが平行に位置する場合を例示して説明したが、これに限定されず、実施の形態１から実施の形態５に係るプラズマ生成素子を、複数の導電線部が配置される平面に対して直交する方向に数並べて配置することにより、複数のプラズマ生成部を設けてもよい。なお、プラズマ生成部Ｐを広範囲にわたって形成するために、複数のプラズマ生成素子を同一平面上に設けてもよい。
　（実施の形態７）
　図１０は、本実施の形態に係る空気清浄機の内部構成を示す断面図である。図１１は、本実施の形態に係る空気清浄機の背面図である。図１０および図１１を参照して、本実施の形態に係る空気清浄機２００について説明する。なお、空気清浄機２００は、プラズマ生成装置を具備する電子機器の一例であり、プラズマ生成装置としては、たとえば実施の形態１に係るプラズマ生成装置１００が用いられる。
　図１０および図１１に示すように、空気清浄機２００は、プラズマ生成装置１００、吸込口２２０および吹出口２３０が設けられた本体部２１０、送風経路２４０および送風部としての送風機２５０を備える。
　吸込口２２０は、本体部２１０の背面側に設けられている。吹出口２３０は、本体部２１０の上方に設けられている。送風経路２４０は、本体部２１０内に設けられ、吸込口２２０および吹出口２３０を接続する。送風経路２４０内には、送風機２５０が設けられている。送風経路２４０の一部は、送風機２５０のケーシングによって規定される。
　送風機２５０は、吸込口２２０から吸い込んだ空気を吹出口２３０に向けて送風する。送風機２５０としては、シロッコファン、クロスフローファン等の各種の送風機を採用することができる。
　プラズマ生成装置１００は、送風経路２４０に配置される。具体的には、プラズマ生成装置１００は、吸込口２２０近傍の位置や、送風機２５０と吹出口２３０との間に位置する送風経路２４０に配置される。プラズマ生成装置１００は、たとえば、被覆導線１０の延在方向と送風方向とが略平行となるように配置される。なお、プラズマ生成装置１００は、送風する送風の圧力損失が小さくなるように配置されていればよく、上述のように被覆導線１０の延在方向と送風方向との関係に限定されない。複数の被覆導線１０が配置される平面等が、送風方向に略平行であればよい。
　このようにプラズマ生成装置１００を配置し、プラズマを生成しつつプラズマ生成装置１００に空気を通過させることにより、空気中に存在する菌やウイルスの不活化、または、臭気等の空気中に含まれる不純物ガスの分解除去を行なうことができる。これにより、吸込口２２０から吸い込まれる空気および吹出口２３０から吹出されることとなる空気を浄化することができる。この結果、吹出口２３０から清浄な空気を吹出すことができる。
　なお、本実施の形態においては電気機器の一例として空気清浄機について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、電気機器は、これ以外に空気調和機（エアコンディショナー）、冷蔵機器、掃除機、加湿器、除湿機などであってもよく、空気を吸込んで送風する際に、プラズマ生成装置１００に空気を通過させるための送風部を有する電気機器であればよい。
　また、本実施の形態においては、プラズマ生成装置として実施の形態１に係るプラズマ生成装置１００を用いる場合を例示して説明したが、これに限定されず、実施の形態２から６に係るプラズマ生成素子を含むプラズマ生成装置のいずれかが用いられてもよい。
　以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
　１，１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ　プラズマ生成素子、１０　被覆導線、１０Ａ　第１被覆導線、１０Ａ１　第１被覆導線部、１０Ａ２，１０Ｂ２　折り返し部、１０Ｂ　第２被覆導線、１０Ｂ１　第２被覆導線部、２０，２１，２２　導電線、３０，３１，３２　絶縁被覆層、３０Ｂ，３０Ｃ　絶縁被覆部、３３　連結部、５０　高電圧回路、５１，５２　配線、６０　一対の支持プレート、６０Ｃ　一対の中空円盤、１００，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ，１００Ｅ　プラズマ生成装置、２００　空気清浄機、２１０　本体部、２２０　吸込口、２３０　吹出口、２４０　送風経路、２５０　送風機。

Claims (5)

  1. 　誘電体バリア放電が生じることでプラズマを生成するプラズマ生成部を有するプラズマ生成素子であって、
    　互いに並行して配置された複数の導電線部と、
    　前記複数の導電線部を絶縁被覆する複数の絶縁被覆部とを備え、
    　前記複数の絶縁被覆部の各々は、隣り合う絶縁被覆部間においてプラズマが生成可能な隙間が形成されるように前記複数の導電線部の各々の延在方向における所定の長さにわたって設けられ、これにより前記複数の絶縁被覆部によって覆われている部分の前記複数の導電線部と前記複数の絶縁被覆部とによって前記プラズマ生成部が構成され、
    　前記複数の導電線部および前記複数の絶縁被覆部は、いずれも柔軟性を有し、
    　隣り合う導電線部間の各々において電位差を発生させることにより、前記プラズマ生成部においてプラズマが生成可能に構成された、プラズマ生成素子。
  2. 　互いに隣り合う前記絶縁被覆部は、一端側から他端側にかけて少なくとも一部において連結されている、請求項１に記載のプラズマ生成素子。
  3. 　前記複数の導電線部は、平面上、曲面上、または環状に配置される、請求項１または２に記載のプラズマ生成素子。
  4. 　前記複数の導電線部が、延在方向の少なくとも一部において、それぞれが対応して同一方向に曲がることにより、前記プラズマ生成部が曲がり部を有する、請求項１または２に記載のプラズマ生成素子。
  5. 　前記プラズマ生成部を構成する１組の前記複数の導電線部および前記複数の絶縁被覆部が、複数組設けられることにより、前記プラズマ生成部を複数有している、請求項１から４のいずれか１項に記載のプラズマ生成素子。
PCT/JP2016/054296 2015-05-27 2016-02-15 プラズマ生成素子 WO2016189899A1 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201680012961.1A CN107615889A (zh) 2015-05-27 2016-02-15 等离子体生成元件

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015107354A JP2016225025A (ja) 2015-05-27 2015-05-27 プラズマ生成素子
JP2015-107354 2015-05-27

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2016189899A1 true WO2016189899A1 (ja) 2016-12-01

Family

ID=57394095

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2016/054296 WO2016189899A1 (ja) 2015-05-27 2016-02-15 プラズマ生成素子

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2016225025A (ja)
CN (1) CN107615889A (ja)
WO (1) WO2016189899A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107484319A (zh) * 2017-08-17 2017-12-15 福州美美环保科技有限公司 一种可拓展的等离子发生装置
CN111918472A (zh) * 2020-08-14 2020-11-10 清华大学 以流体作阻挡介质的柔性平板等离子体发生器

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017107781A (ja) * 2015-12-11 2017-06-15 日本特殊陶業株式会社 プラズマリアクタ及び積層体用クランプ
CN109772247A (zh) * 2019-03-25 2019-05-21 安吉润风空气净化科技有限公司 一种双介质阻挡等离子体放电基本单元及反应器

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0341820U (ja) * 1989-08-31 1991-04-22
JP2006082025A (ja) * 2004-09-16 2006-03-30 Sekisui Chem Co Ltd 粉体のプラズマ処理装置および方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4982851B2 (ja) * 2006-11-20 2012-07-25 国立大学法人京都大学 プラズマ生成装置、表面処理装置、および流体改質装置
KR101116972B1 (ko) * 2007-12-27 2012-03-14 샤프 가부시키가이샤 플라즈마 처리 장치, 플라즈마 처리 장치용 가열 장치 및 플라즈마 처리 방법
JP5473001B2 (ja) * 2009-10-16 2014-04-16 コリア・インスティテュート・オブ・マシナリー・アンド・マテリアルズ 汚染物質除去用プラズマ反応器及び駆動方法
US9220162B2 (en) * 2011-03-09 2015-12-22 Samsung Electronics Co., Ltd. Plasma generating apparatus and plasma generating method
CN103841741B (zh) * 2014-03-12 2016-09-28 中国科学院电工研究所 基于介质阻挡放电的大气压等离子体发生装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0341820U (ja) * 1989-08-31 1991-04-22
JP2006082025A (ja) * 2004-09-16 2006-03-30 Sekisui Chem Co Ltd 粉体のプラズマ処理装置および方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107484319A (zh) * 2017-08-17 2017-12-15 福州美美环保科技有限公司 一种可拓展的等离子发生装置
CN107484319B (zh) * 2017-08-17 2024-03-26 福州美美环保科技有限公司 一种可拓展的等离子发生装置
CN111918472A (zh) * 2020-08-14 2020-11-10 清华大学 以流体作阻挡介质的柔性平板等离子体发生器
CN111918472B (zh) * 2020-08-14 2021-06-29 清华大学 以流体作阻挡介质的柔性平板等离子体发生器

Also Published As

Publication number Publication date
CN107615889A (zh) 2018-01-19
JP2016225025A (ja) 2016-12-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2016189899A1 (ja) プラズマ生成素子
JP4874771B2 (ja) イオン化装置
JP7049329B2 (ja) 放電装置および電気機器
US10320160B2 (en) Ion generation apparatus and electrical equipment
WO2013161534A1 (ja) コロナ放電装置及び空気調和機
WO2010004904A1 (ja) イオン発生装置および電気機器
US10315201B2 (en) Air cleaner for air conditioner
KR20170102978A (ko) 이온 발생 장치 및 전기 기기
JP5535007B2 (ja) イオナイザモジュール
JP6936850B2 (ja) 放電装置および電気機器
JP2007294180A (ja) イオン発生装置及びこれを備えた電気機器
JPWO2014002158A1 (ja) 空気調和機
CN107925225B (zh) 离子产生装置及电器设备
WO2017216904A1 (ja) 粒子状物質燃焼装置
JP2016126967A (ja) プラズマ生成素子、プラズマ生成装置および電気機器
JP2016006748A (ja) イオン発生装置および電気機器
JP2014119186A (ja) 放電ユニット、放電ユニットを備えた空気清浄機及び放電ユニットを備えた空気調和装置
EP3185375B1 (en) Discharge unit
JP2016038943A (ja) イオン発生装置および電気機器
JP6537274B2 (ja) プラズマ生成素子、プラズマ生成装置および電気機器
JP2008159389A (ja) イオン化装置及びその製造方法
JP2020528657A (ja) イオン発生装置
JP5816807B2 (ja) 電気集塵装置
JP2017118917A (ja) 空気清浄機
TWI653061B (zh) 放電裝置及電氣機器

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 16799608

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 16799608

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1