WO2016189704A1 - 制御装置、及びデータ再生装置 - Google Patents

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WO2016189704A1
WO2016189704A1 PCT/JP2015/065280 JP2015065280W WO2016189704A1 WO 2016189704 A1 WO2016189704 A1 WO 2016189704A1 JP 2015065280 W JP2015065280 W JP 2015065280W WO 2016189704 A1 WO2016189704 A1 WO 2016189704A1
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WO
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data
plc
control
logging
unit
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PCT/JP2015/065280
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English (en)
French (fr)
Inventor
大貴 星野
Original Assignee
三菱電機株式会社
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/04—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
    • G05B19/05—Programmable logic controllers, e.g. simulating logic interconnections of signals according to ladder diagrams or function charts
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
    • G05B23/02—Electric testing or monitoring

Definitions

  • the present invention relates to a control device and a data reproduction device.
  • a trouble analysis support device is used to support trouble analysis.
  • This trouble analysis support apparatus takes in the input / output contact information of the PLC that controls the manufacturing facility, and creates a control information log file according to the specified conditions.
  • the control information log file is a file in which digitized input / output contact information fetched from the PLC is stored.
  • the trouble analysis support device reads the same program as the PLC to be recorded, simulates the operation of the PLC, and determines the value of the output contact.
  • the trouble analysis support device compares the value of the output contact of the PLC in the control information log file with the value of the output contact as a result of the simulation, and detects the difference.
  • the difference information is displayed on the display (see, for example, Patent Document 1).
  • JP 2000-250775 A (paragraphs 0031, 0035, 0040, 0041, 0048, FIG. 1 and FIG. 3)
  • a control system that controls a plurality of manufacturing apparatuses may be composed of a plurality of control apparatuses.
  • the production line is configured by connecting a plurality of control devices, and each control device executes control of the manufacturing device in each process.
  • control device transmits data when the control device of the previous process executes control via a signal line or the like from the control device of the previous process. Receive.
  • the control device executes control in consideration of the received data. For this reason, in order for the control device to perform operation confirmation and trouble analysis, not only the control device but also a pre-process control device is required.
  • the present invention has been made in view of the above, and a control device capable of executing an operation check in consideration of data of the previous process without the control device of the previous process, and data for outputting data to the control device
  • An object is to obtain a playback device.
  • the control device is connected to the manufacturing device of the first step among the plurality of steps, and controls the manufacturing device of the first step based on the data of the previous step of the first step.
  • Data obtained by the second PLC that is a second PLC that controls the PLC and the manufacturing apparatus of another process and is not connected to the first PLC is output to the first PLC as data of the previous process.
  • a data reproducing device is connected to the manufacturing device of the first step among the plurality of steps, and controls the manufacturing device of the first step based on the data of the previous step of the first step.
  • a data reproducing apparatus is connected to a manufacturing apparatus of a first process among a plurality of processes, and controls a manufacturing apparatus of a first process based on data of a previous process of the first process.
  • the data obtained by the second PLC which is a second PLC that controls the manufacturing apparatus in another process and is not connected to the first PLC, is transferred to the first PLC as the previous process data. Output.
  • control device that can execute an operation check in consideration of the data of the previous process without the control device of the previous process, and a data reproducing device that outputs data to the control device.
  • FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a control system in a first embodiment.
  • 3 is a block diagram showing a configuration of a data logger unit in Embodiment 1.
  • FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a logging data reproducing device in Embodiment 1.
  • FIG. 2 is a diagram showing an existing semiconductor production line in the first embodiment.
  • FIG. 4 is a flowchart showing an operation procedure of the logging data reproducing device in the first embodiment. It is an example explaining the data interpolation procedure when the control cycle in Embodiment 1 is shorter than the logging cycle.
  • FIG. 10 is a block diagram showing a configuration of a control system in a second embodiment.
  • FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a control system in the first embodiment.
  • Fig.1 (a) has shown the control system which controls the existing manufacturing line.
  • FIG. 1B shows a control system for controlling a new production line.
  • a control system using the control device according to the first embodiment will be described with reference to FIG. The present invention is not limited to the description of the first embodiment.
  • a control system for controlling an existing manufacturing line includes a PLC 1a, a sensor 2a, a manufacturing apparatus 3a, a PLC 1b, a sensor 2b, and a manufacturing apparatus 3b.
  • the control system may further include one or more PLCs, sensors, or manufacturing apparatuses (not shown).
  • the PLC 1a is connected to the sensor 2a and the manufacturing apparatus 3a.
  • the PLC 1a controls the operation of the manufacturing apparatus 3a based on the input signal from the sensor 2a.
  • the sensor 2a is, for example, various sensors such as an encoder, or a device such as an operation switch.
  • the manufacturing apparatus 3a is an apparatus operated by various actuators such as an electromagnetic valve and a motor.
  • the PLC 1a includes an internal bus 10a, a CPU (Central Processing Unit) unit 11a, a data logger unit 12a, an output unit 13a, and a network unit 14a.
  • the internal bus 10a is a signal line for connecting the CPU unit 11a, the data logger unit 12a, the output unit 13a, and the network unit 14a and transmitting / receiving data between the units.
  • the CPU unit 11a is a device that controls the overall operation of the PLC 1a.
  • the CPU unit 11a has a memory (not shown) inside.
  • the CPU unit 11a acquires data from the sensor 2a, calculates data according to a sequence control program stored in the memory, and outputs a signal for controlling the manufacturing apparatus 3a. At this time, although the details will be described later, the CPU unit 11a performs an operation based on data of a previous process among a plurality of processes.
  • the CPU unit 11a generates control data for the manufacturing apparatus 3a.
  • control data As an example of the control data, although details will be described later, operation information and operation result data of the manufacturing apparatus 3a generated by the PLC 1a when the PLC 1a executes control of the manufacturing apparatus 3a can be mentioned.
  • examples of the control data include internal data of the PLC 1a that is necessary for the PLC 1b to control the manufacturing apparatus 3b.
  • the data logger unit 12a acquires and accumulates control data of the manufacturing apparatus 3a. Further, the data logger unit 12a generates a logging file in which the control data of the manufacturing apparatus 3a is recorded in time series. The data logger unit 12a stores the generated logging file in the external storage medium 4a attached to the data logger unit 12a.
  • the external storage medium 4a is a storage means that is detachably attached to the data logger unit 12a.
  • the external storage medium 4a is, for example, an SD memory card, a CF card, a USB memory, or the like.
  • the output unit 13a receives an output command from the CPU unit 11a and outputs control data of the manufacturing apparatus 3a to an external device.
  • the network unit 14a is connected to the network via a signal line or the like that connects the PLC 1a and another device, and transmits / receives data to / from the other device.
  • the PLC 1b is connected to the sensor 2b and the manufacturing apparatus 3b.
  • the PLC 1b controls the operation of the manufacturing apparatus 3b based on the input signal from the sensor 2b and the control data of the manufacturing apparatus 3a acquired from the PLC 1a.
  • the sensor 2b and the manufacturing apparatus 3b are the same devices as the sensor 2a and the manufacturing apparatus 3a.
  • the PLC 1b includes an internal bus 10b, a CPU unit 11b, a data logger unit 12b, a network unit 14b, and an input unit 15b.
  • the internal bus 10b, the CPU unit 11b, the data logger unit 12b, and the network unit 14b are units that have the same configuration and operation as the internal bus 10a, the CPU unit 11a, the data logger unit 12a, and the network unit 14a, respectively. The description is omitted.
  • the input unit 15b is a unit that passes a signal input from an external device to the CPU unit 11b.
  • the input unit 15b is connected to the output unit 13a of the PLC 1a via a signal line or the like.
  • the input unit 15b transmits the control data of the manufacturing apparatus 3a output from the output unit 13a to the CPU unit 11b. That is, the PLC 1a and the PLC 1b are connected electrically or online via the signal line or the like between the output unit 13a and the input unit 15b.
  • the PLC 1a and the PLC 1b are electrically connected to the network unit 14a and the network unit 14b electrically or online via a signal line or the like.
  • the network unit 14a and the network unit 14b are used when data is transmitted and received between devices other than the PLC 1a and the PLC 1b.
  • the network unit 14a and the network unit 14b are used when data is transmitted and received between devices other than the PLC 1b and the PLC 1a.
  • the control system for controlling the new production line includes a PLC 1A, a sensor 2A, a production apparatus 3A, a PLC 1B, a sensor 2B, a production apparatus 3B, and a logging data reproducing apparatus 5. It is comprised by. However, in FIG. 1B, the PLC 1A, the sensor 2A, and the manufacturing apparatus 3A are apparatuses that have not been delivered to a new manufacturing line.
  • the control system may further include one or more PLCs, sensors, or manufacturing apparatuses (not shown).
  • the PLC 1A, the sensor 2A, and the manufacturing apparatus 3A are apparatuses that have the same configuration and operation as the PLC 1a, the sensor 2a, and the manufacturing apparatus 3a, respectively, and thus description thereof is omitted.
  • PLC 1B is connected to sensor 2B and manufacturing apparatus 3B. Although described in detail later, the PLC 1B outputs a signal for controlling the operation of the manufacturing apparatus 3b based on the input signal from the sensor 2B and the control data of the manufacturing apparatus 3a acquired from the PLC 1a.
  • the sensor 2B is the same device as the sensor 2a or the sensor 2b.
  • the manufacturing apparatus 3B is the same apparatus as the manufacturing apparatus 3a or the manufacturing apparatus 3b.
  • the PLC 1B includes an internal bus 10B, a CPU unit 11B, a network unit 14B, and an input unit 15B.
  • the internal bus 10B, the CPU unit 11B, the network unit 14B, and the input unit 15B are units that have the same configuration and operation as the internal bus 10b, the CPU unit 11b, the network unit 14b, and the input unit 15b, respectively. Is omitted.
  • the logging data reproduction device 5 is connected to the PLC 1B electrically or online via a signal line or the like. Further, the external storage medium 4b is detachably attached to the logging data reproducing device 5.
  • the external storage medium 4b is, for example, an SD memory card, a CF card, a USB memory, or the like.
  • the external storage medium 4b stores the logging file generated by the data logger unit 12a of the PLC 1a directly or indirectly via the external storage medium 4a.
  • the external storage medium 4b may be the same as the external storage medium 4a.
  • the logging data reproducing device 5 acquires a logging file from the external storage medium 4b.
  • the logging data reproducing device 5 reads the control data control data of the manufacturing device 3a from the acquired logging file, and outputs it to the PLC 1B as data of the previous process.
  • any or all of the PLC 1a, PLC 1b, PLC 1A, PLC 1B, and PLC are referred to as PLC 1.
  • Any or all of the sensors 2a, 2b, 2A, 2B, and a sensor (not shown) are referred to as a sensor 2.
  • Any or all of the manufacturing apparatus 3a, the manufacturing apparatus 3b, the manufacturing apparatus 3A, the manufacturing apparatus 3B, and the manufacturing apparatus (not shown) are referred to as a manufacturing apparatus 3.
  • Any one or all of the data logger unit 12a, the data logger unit 12b, the data logger unit 12A, and the data logger unit 12 are referred to as a data logger unit 12.
  • FIG. 1 it is shown that one sensor 2 and a manufacturing apparatus 3 are connected to each PLC 1, but how many sensors 2 and manufacturing apparatuses 3 are connected to each PLC 1. Also good.
  • the new production line shown in FIG. 1 (b) is the same production line as the existing production line shown in FIG. 1 (a), and is a production line introduced into another factory.
  • the PLC 1A, the sensor 2A, the manufacturing apparatus 3A, the PLC 1B, the sensor 2B, the manufacturing apparatus 3B, the logging data reproducing apparatus 5 and the like in the new manufacturing line are the same as the PLC 1a, the sensor 2a, the manufacturing apparatus 3a, the PLC 1b,
  • the sensor 2b and the manufacturing apparatus 3b are not electrically connected to each other by a signal line or online.
  • FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the data logger unit in the first embodiment.
  • the data logger unit 12a according to the first embodiment will be described in detail with reference to FIG. In FIG. 2, not only the data logger unit 12a but also the internal bus 10a, the external storage medium 4a, and the setting terminal 6a are illustrated.
  • the data logger unit 12b and the data logger unit 12A are units having the same configuration and operation as the data logger unit 12a. For this reason, description about the data logger unit 12b and the data logger unit 12A is omitted.
  • the data logger unit 12a is connected to the setting terminal 6a via an Ethernet (registered trademark) cable as shown in FIG.
  • Setting software for the data logger unit 12a is installed in the setting terminal 6a.
  • the setting terminal 6a transmits a signal to the data logger unit 12a based on a user operation.
  • the setting terminal 6a is, for example, a setting PC (Personal Computer).
  • the data logger unit 12a includes a storage unit 121a and a calculation unit 122a as a hardware configuration.
  • the storage unit 121a is a memory such as a ROM (Read Only Memory), and stores data and programs.
  • the arithmetic unit 122a is a central processing unit (CPU) that controls the overall operation of the data logger unit 12a.
  • the calculation unit 122a acquires and accumulates control data of the manufacturing apparatus 3a using data and programs stored in the storage unit 121a.
  • the logging setting unit 123a, the data collection unit 124a, the file generation unit 125a, and the file storage unit 126a are implemented in software in the data logger unit 12a by the arithmetic unit 122a executing the program stored in the storage unit 121a. Is done.
  • the logging setting unit 123a sets the setting information when generating the logging file by recording the control data of the manufacturing apparatus 3a based on the signal received from the setting terminal 6a.
  • the logging setting unit 123a includes a logging target setting unit 1231a and a logging cycle setting unit 1232a.
  • the logging target setting unit 1231a sets the logging target in the setting information of the logging setting unit 123a.
  • the logging target is control data to be collected by the data logger unit 12a among the control data of the manufacturing apparatus 3a.
  • the logging cycle setting unit 1232a sets the logging cycle in the setting information of the logging setting unit 123a.
  • the logging cycle is a cycle in which the data logger unit 12a collects control data to be logged.
  • a cycle slower than the control cycle of the PLC 1a is set in addition to the control cycle of the PLC 1a.
  • the control period of the PLC 1a is a predetermined sampling period of the PLC 1a.
  • the PLC 1a executes a predetermined sequence control for each sampling period.
  • the logging target and the logging cycle can be arbitrarily set and changed by the user operating the setting terminal 6a.
  • the data collection unit 124a collects control data of the manufacturing apparatus 3a from the CPU unit 11a via the internal bus 10a. At this time, the data collecting unit 124a collects the logging target control data set by the logging target setting unit 1231a for each logging cycle set by the logging cycle setting unit 1232a. At the time of collection, the data collection unit 124a adds time data to the collected control data.
  • the file generation unit 125a generates a logging file based on the control data collected by the data collection unit 124a.
  • the file generation unit 125a writes the control data to the logging file in time series together with the time data. Since the logging data is stored in time series for each logging cycle, the logging file also has logging cycle information.
  • the file storage unit 126a stores and stores the logging file generated by the file generation unit 125a in the external storage medium 4a.
  • FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of the logging data reproducing apparatus according to the first embodiment.
  • the logging data reproducing device 5 in the first embodiment will be described in detail with reference to FIG. In FIG. 3, not only the logging data reproducing device 5 but also the external storage medium 4b, the setting terminal 6b, and the PLC 1B are illustrated.
  • the logging data reproduction device 5 is connected to the setting terminal 6b via an Ethernet (registered trademark) cable as shown in FIG.
  • Setting software for the logging data reproducing device 5 is installed in the setting terminal 6b.
  • the setting terminal 6b transmits a signal to the logging data reproducing device 5 based on a user operation.
  • the setting terminal 6b is a PC or the like similar to the setting terminal 6a.
  • the setting terminal 6b may be the same as the setting terminal 6a.
  • the logging data reproduction device 5 includes a storage unit 51 and a calculation unit 52 as a hardware configuration.
  • the storage unit 51 is a memory such as a ROM, and stores data and programs.
  • the calculation unit 52 is a central processing unit (CPU) that controls the overall operation of the logging data reproducing device 5.
  • the calculation unit 52 acquires a logging file from the external storage medium 4b by using data and programs stored in the storage unit 51.
  • the calculation unit 52 reads control data from the acquired logging file using data or a program, and outputs the control data to the PLC 1B.
  • the reproduction setting unit 53, the file acquisition unit 54, and the data reproduction unit 55 are realized in software in the logging data reproduction device 5 by the arithmetic unit 52 executing the program stored in the storage unit 51.
  • the reproduction setting unit 53 sets setting information regarding reading of the collected control data based on the signal received from the setting terminal 6b.
  • the reproduction setting unit 53 includes an output target data setting unit 531 and a control cycle setting unit 532.
  • the output target data setting unit 531 sets output target data in the setting information of the reproduction setting unit 53.
  • the output target data is control data to be output to the PLC 1B among the control data of the manufacturing apparatus 3a.
  • the control cycle setting unit 532 sets the control cycle of the PLC 1B.
  • the control period of the PLC 1B is a predetermined sampling period of the PLC 1B.
  • the PLC 1B executes a predetermined sequence control for each sampling period.
  • the output target data and the control cycle of the PLC 1B can be arbitrarily set and changed by the user operating the setting terminal 6b.
  • the file acquisition unit 54 acquires a logging file from the external storage medium 4b attached to the logging data reproducing device 5.
  • the file acquisition unit 54 reads the control data of the manufacturing apparatus 3a from the acquired logging file. At this time, the file acquisition unit 54 reads the output target data set by the output target data setting unit 531.
  • the data reproduction unit 55 outputs the output target data read by the file acquisition unit 54 to the PLC 1B. At this time, when the logging cycle of the logging file acquired by the file acquisition unit 54 and the control cycle of the PLC 1B set by the control cycle setting unit 532 are different, the data reproducing unit 55 interpolates the data interpolated according to the control cycle of the PLC 1B. Is output.
  • FIG. 4 is a diagram showing an existing food processing line in the first embodiment.
  • An example in which the control system according to Embodiment 1 is applied to a food processing line will be described with reference to FIG.
  • the control system in Embodiment 1 can be similarly applied to other production lines.
  • the control system in Embodiment 1 is not limited to this example.
  • the existing food processing line includes a PLC 1a, a manufacturing apparatus 3a, a conveying apparatus 7a, a PLC 1b, a manufacturing apparatus 3b, a conveying apparatus 7b, a PLC 1c, a manufacturing apparatus 3c, and a conveying apparatus 7c. And comprising.
  • the PLC 1a, the manufacturing apparatus 3a, the PLC 1b, and the manufacturing apparatus 3b illustrated in FIG. 4 are the same as the PLC 1a, the manufacturing apparatus 3a, the PLC 1b, and the manufacturing apparatus 3b illustrated in FIG.
  • the manufacturing apparatus 3a is controlled by the PLC 1a, and performs a weighing, charging, and mixing step among a plurality of steps in the food processing line.
  • the manufacturing apparatus 3a measures the materials such as flour and seasonings according to the product to be manufactured, and puts them into the container. Moreover, the manufacturing apparatus 3a mixes materials, seasonings, and the like in the container for a predetermined time.
  • the PLC 1a controls the manufacturing apparatus 3a to execute the operation of the weighing / input / mixing process. For example, at the time of weighing, the PLC 1a causes the manufacturing apparatus 3a to measure a certain material so as to supply a predetermined weight based on a signal from the sensor 2a that is a weight sensor. In addition, for example, at the time of input, the PLC 1a acquires information on the input amount of each material in time series for each product being manufactured. The PLC 1a stores the acquired information on the input amount of each material in a logging file. The information stored in the logging file is sent from the PLC 1a to a display device (not shown) and displayed graphically on the display device.
  • the transfer apparatus 7a transfers the mixed material and the like to the manufacturing apparatus 3b.
  • the manufacturing apparatus 3b is controlled by the PLC 1b and performs a kneading / dividing step among a plurality of steps in the food processing line.
  • the manufacturing apparatus 3b kneads the material mixed by the manufacturing apparatus 3a in a container. Further, the manufacturing apparatus 3b cuts the kneaded product into a designated size.
  • the PLC 1b controls the manufacturing apparatus 3b to execute the operation of the kneading / dividing process. For example, the PLC 1b obtains information on the input amount of each material from the PLC 1a in the previous process in time series via the output unit 13a of the PLC 1a and the input unit 15b of the PLC 1b. Moreover, PLC1b acquires the information of room temperature from the sensor 2b which is a thermometer. The PLC 1b determines the kneading time based on the information corresponding to the product currently in its own process and the room temperature information among the time-series information regarding the input amount of each material.
  • the PLC 1b causes the manufacturing apparatus 3b to knead the material in the container for the determined kneading time.
  • the PLC 1b acquires, in a time series, information on the viscosity of the kneaded product from the sensor 2 (not shown), which is a viscometer, for each product being manufactured.
  • the PLC 1b stores the acquired room temperature information and viscosity information about the finished kneading in the logging file.
  • the PLC 1b obtains information on the size of the cut pieces in time series for each product being manufactured.
  • the PLC 1b stores information on the size of the acquired segmentation in the logging file.
  • the transport apparatus 7b transports the cut pieces to the manufacturing apparatus 3c.
  • the manufacturing apparatus 3c is controlled by the PLC 1c and performs a molding process among a plurality of processes in the food processing line.
  • the manufacturing apparatus 3c forms what was cut by the manufacturing apparatus 3b into a predetermined shape.
  • PLC1c controls the manufacturing apparatus 3c, and performs the operation
  • the PLC 1c acquires, in a time series, information on the viscosity of the finished kneading and information on the size of the divided one from the PLC 1b in the previous process.
  • the PLC 1c is acquired via an output unit (not shown) of the PLC 1b and an input unit (not shown) of the PLC 1c.
  • PLC1c acquires the information of the weight of what was cut out from the weight sensor.
  • the PLC 1c is based on the time series information about the viscosity of the finished kneading and the information on the product currently in the process among the time series information about the size of the carved and the weight information of the carved one. Then, the manufacturing apparatus 3c is controlled to form the kneaded material into a predetermined shape.
  • the transport apparatus 7c transports the molded product to the manufacturing apparatus 3 in the next process (not shown).
  • the food processing line bakes the product formed by the manufacturing apparatus 3c at a predetermined temperature for a predetermined time, and finally manufactures bread as a product.
  • control data is divided into, for example, the input amount and room temperature of each material in the weighing / input / mixing process, the specified size and viscosity in the kneading / dividing process, and the molding process.
  • Information such as the weight of things and the temperature at which the bread is baked. That is, the control data includes data specified as a result of the operation of the manufacturing apparatus 3 in addition to the conditions and external conditions specified when the PLC 1 executes control of the manufacturing apparatus 3. These control data are recorded in time series for each product being manufactured by the PLC 1 in each process, and stored in a logging file.
  • FIG. 5 is a diagram showing an existing semiconductor production line in the first embodiment. An example in which the control system according to the first embodiment is applied to a semiconductor manufacturing line will be described with reference to FIG. Note that the control system in the first embodiment is not limited to this example.
  • the existing semiconductor manufacturing line includes a PLC 1a, a manufacturing apparatus 3a, a transfer apparatus 7a, a PLC 1b, a manufacturing apparatus 3b, a transfer apparatus 7b, a PLC 1c, a manufacturing apparatus 3c, and a transfer apparatus 7c. And comprising.
  • the PLC 1a, the manufacturing apparatus 3a, the PLC 1b, and the manufacturing apparatus 3b illustrated in FIG. 5 are the same as the PLC 1a, the manufacturing apparatus 3a, the PLC 1b, and the manufacturing apparatus 3b illustrated in FIG.
  • the manufacturing apparatus 3a is controlled by the PLC 1a and performs a pattern forming process among a plurality of processes in the semiconductor manufacturing line.
  • the manufacturing apparatus 3a repeatedly prints a circuit pattern on the wafer to create a large number of chips.
  • the PLC 1a controls the manufacturing apparatus 3a to execute the operation of the pattern forming process.
  • the transfer apparatus 7a transfers the wafer on which the circuit pattern is formed to the manufacturing apparatus 3b.
  • the manufacturing apparatus 3b is controlled by the PLC 1b and performs a wafer inspection process among a plurality of processes in the semiconductor manufacturing line.
  • the manufacturing apparatus 3b inspects whether or not the circuit formed on the wafer functions normally, and determines the quality of each chip on the wafer.
  • PLC 1b controls the manufacturing apparatus 3b to execute the operation of the wafer inspection process.
  • the PLC 1b acquires the quality information of each chip on the inspected wafer from the manufacturing apparatus 3b in time series for each product being manufactured.
  • the PLC 1b stores the acquired pass / fail information of each chip in a logging file.
  • the transfer device 7b transfers the wafer that has been inspected to the manufacturing apparatus 3c.
  • the manufacturing apparatus 3c is controlled by the PLC 1c and performs a dicing process among a plurality of processes in the semiconductor manufacturing line.
  • the manufacturing apparatus 3c cuts the wafer inspected by the manufacturing apparatus 3b into chips. After separating each chip, the manufacturing apparatus 3c removes the chip that has been judged to be defective in the wafer inspection process, which is a previous process.
  • the PLC1c controls the manufacturing apparatus 3c, and performs the operation
  • the PLC 1c acquires quality information of each chip on the wafer in time series from the PLC 1b in the previous process.
  • the PLC 1c is acquired via an output unit (not shown) of the PLC 1b and an input unit (not shown) of the PLC 1c.
  • the PLC 1c controls the manufacturing apparatus 3c on the basis of the pass / fail information corresponding to the wafer currently in its own process among the pass / fail information of each chip, and removes the chip that has been judged to be defective in the wafer inspection process.
  • the transfer apparatus 7c transfers the chips that have been judged good in the wafer inspection process to the manufacturing apparatus 3 in the next process (not shown).
  • control data is, for example, pass / fail information of each chip on the wafer passed from the wafer inspection process to the dicing process.
  • each PLC 1 acquires control data from the PLC 1 of the previous process among a plurality of processes.
  • Each PLC 1 controls the manufacturing apparatus 3 in its own process based on the data corresponding to the product currently in its own process among the acquired time-series control data.
  • the PLC 1B of the kneading / separating process controls the manufacturing apparatus 3B based on the control data of the PLC 1A of the weighing / input / mixing process as the previous process.
  • the previous process PLC 1A has not been delivered.
  • PLC1B cannot acquire control data from PLC1A of the previous process via the output unit 13A of PLC1A and the input unit 15B of PLC1B.
  • the PLC 1B in the new production line is not electrically connected to the PLC 1 or the like in the existing production line by a signal line or online. For this reason, control data cannot be acquired from PLC1 etc. of the existing manufacturing line.
  • the control system of the first embodiment is provided with a logging data reproduction device 5 that acquires a logging file from the external storage medium 4b when applied to a new food processing line.
  • the PLC 1B in the subsequent process acquires the control data acquired by the PLC 1a in the weighing / input / mixing process, which is the previous process, from the logging data reproducing device 5 via the logging file. Since the PLC 1B in the post process controls the operation of the manufacturing apparatus 3B based on the control data acquired via the logging file, the operation check in consideration of the data in the pre process is performed even without the PLC 1A in the pre process. Is possible.
  • the control system of Embodiment 1 when applying the control system of Embodiment 1 to a semiconductor manufacturing line, it is the same as that of applying to a food processing line.
  • FIG. 6 is a flowchart showing an operation procedure of the logging data reproducing apparatus according to the first embodiment. The operation of the logging data reproducing device 5 in the first embodiment will be described with reference to FIG.
  • the user Before starting the operation of the logging data reproducing device 5, the user operates the setting terminal 6b to specify the output target data and the control cycle of the PLC 1B.
  • the output target data setting unit 531 sets output target data based on a signal received from the setting terminal 6b.
  • Control cycle setting unit 532 sets the control cycle of PLC 1B based on the signal received from setting terminal 6b.
  • the logging data reproducing device 5 is mounted with an external storage medium 4b that stores a logging file.
  • This logging file is a file generated by the PLC 1a and storing control data of the manufacturing apparatus 3a.
  • This control data is time-series data collected every logging cycle by the data logger unit 12a of the PLC 1a.
  • the logging data reproducing device 5 is not limited to starting the operation when the external storage medium 4b is mounted, and may start the operation in response to an operation start command in a mounted state.
  • the file acquisition unit 54 reads the output target data setting information from the output target data setting unit 531.
  • the file acquisition unit 54 acquires a logging file from the external storage medium 4b and reads control data of the manufacturing apparatus 3a. At this time, the file acquisition unit 54 reads the control data set in the output target data among the control data of the manufacturing apparatus 3a.
  • step S ⁇ b> 2 the data reproducing unit 55 reads the control cycle setting information of the PLC 1 ⁇ / b> B from the control cycle setting unit 532. Further, the data reproduction unit 55 receives control data from the file acquisition unit 54.
  • step S3 the data reproduction unit 55 compares the control cycle of the PLC 1B set by the control cycle setting unit 532 with the logging cycle of the logging file acquired by the file acquisition unit 54, and determines whether or not they match. To do.
  • step S4 the data reproducing unit 55 interpolates the data so that the cycle of the acquired control data matches the control cycle of the PLC 1B.
  • FIG. 7 is an example for explaining the data interpolation procedure when the control cycle is shorter than the logging cycle.
  • FIG. 8 is an example for explaining the data interpolation procedure when the control cycle is longer than the logging cycle and is a multiple of the logging cycle.
  • FIG. 9 is an example for explaining the data interpolation procedure when the control cycle is longer than the logging cycle and not a multiple of the logging cycle.
  • control cycle since the control cycle is shorter than the logging cycle, corresponding control data may not exist at any time in the control cycle.
  • the intervals of the control data a1, the control data a2, and the control data a3 are each 2 ms.
  • the data reproducing unit 55 interpolates data using a general data interpolation method based on the acquired control data. Specifically, in FIG. 7B, the data reproducing unit 55 calculates an interpolation formula A1 that connects the control data using a general data interpolation method, and interpolates the control data.
  • a general data interpolation method is, for example, linear interpolation or spline interpolation. Since these are general methods, description thereof is omitted here.
  • the data reproducing unit 55 acquires control data for every 1 ms that is a control cycle from the calculated interpolation formula A1. For example, the data reproducing unit 55 acquires control data a4 between the control data a1 and the control data a2 from the calculated interpolation formula A1. The period between the control data a1 and the control data a4 and the period between the control data a4 and the control data a2 are each 1 ms. The data reproducing unit 55 acquires control data a1, control data a4, control data a2, and the like as control data interpolated in accordance with the control period of the PLC 1B.
  • the data interpolation procedure when the control cycle of the PLC 1B is longer than the logging cycle and is a multiple of the logging cycle will be described.
  • the logging cycle is 2 ms and the control cycle is 4 ms.
  • the control data is collected every logging period 2 ms as shown in FIG.
  • the actual data B1 which connected the value of each control data is also shown.
  • control cycle is longer than the logging cycle and the control cycle of the PLC 1B is a multiple of the logging cycle, control data corresponding to each control cycle exists, but there is control data unnecessary for the control of the PLC 1B.
  • the interval between the control data b1 and the control data b3 is 4 ms.
  • the control data b2 in the meantime is data unnecessary for the control of the PLC 1B.
  • the data reproducing unit 55 removes unnecessary data from the acquired control data and acquires the remaining control data. For example, in FIG. 8B, the data reproducing unit 55 removes unnecessary control data b2 from the acquired control data. The data reproducing unit 55 acquires the remaining control data b1, control data b3, and the like as control data interpolated in accordance with the control period of the PLC 1B.
  • control cycle is longer than the logging cycle and is not a multiple of the logging cycle, corresponding control data may not exist at any time in the control cycle.
  • the intervals of the control data c1, the control data c2, the control data c3, the control data c4, the control data c5, and the control data c6 are each 2 ms.
  • there is no control data between the control data c3 and the control data c4 there is no control data whose interval with the control data c1 is 5 ms. For this reason, the number of necessary control data is insufficient, and the PLC 1B cannot normally use these control data.
  • the data reproducing unit 55 interpolates data using a general data interpolation method based on the acquired control data. Specifically, in FIG. 9B, the data reproduction unit 55 calculates an interpolation formula C1 that connects the control data using a general data interpolation method as in the case of FIG. Is interpolated.
  • the data reproducing unit 55 acquires control data every 5 ms that is a control cycle from the calculated interpolation formula C1. For example, the data reproducing unit 55 acquires control data c7 between the control data c3 and the control data c4 in FIG. 9B from the calculated interpolation formula C1. The period from the control data c1 to the control data c7 is 5 ms. The data reproducing unit 55 acquires control data c1, control data c7, control data c6, and the like as control data interpolated in accordance with the control period of the PLC 1B.
  • step S4 the data reproducing unit 55 interpolates the control data in accordance with the control period of the PLC 1B, and then proceeds to step S5.
  • step S3 if the logging cycle and the control cycle of the PLC 1B are the same in step S3, the process proceeds to step S5. In this case, the data reproducing unit 55 does not perform interpolation of the acquired control data.
  • step S4 the data reproducing unit 55 outputs the acquired control data to the PLC 1B.
  • the operation procedure of the logging data reproducing device 5 has been described above.
  • the control device includes the PLC 1B and the logging data reproducing device 5.
  • PLC1B is connected with the manufacturing apparatus 3B of the 1st process among several processes, and controls the manufacturing apparatus 3B based on the control data of the pre-process of a 1st process.
  • the logging data reproducing device 5 outputs the control data acquired by the PLC 1a that controls the manufacturing device 3a in another process and is not connected to the PLC 1B to the PLC 1B as control data for the previous process.
  • the term “not connected” here means that the signal line or the like is not connected electrically or online.
  • the PLC 1a stores the logging file in the external storage medium 4a in advance.
  • the logging data reproducing device 5 acquires a logging file from the external storage medium 4b, and reads control data from the acquired logging file.
  • the PLC 1B controls the manufacturing apparatus 3B based on this control data.
  • the control device according to the first embodiment can perform operation confirmation and trouble analysis in consideration of the control data of the previous process without the PLC 1A of the previous process.
  • control device in the first embodiment operates even when the PLC 1 of the previous process of the control device cannot be delivered immediately when introducing a production line similar to the existing production line with a proven record into another factory. Confirmation can be executed. Therefore, the delivery waiting period can be used without waste, and the period until the start-up of a new production line can be used effectively.
  • control device according to the first embodiment can perform operation confirmation and the like even when the control device in the previous process is in a remote area.
  • the control device is configured to check the operation of the manufacturing apparatus 3B using the control data of the previous process, even when the control data period of the previous process acquired from the logging file is different from the control period of the PLC 1B. Execution becomes possible.
  • the PLC 1a has the data logger unit 12a and the PLC 1b has the data logger unit 12b.
  • the present invention is not limited to this.
  • the number of PLCs 1 connected to the data logger unit 12 may be any number.
  • the PLC 1B includes the logging data reproducing device 5, but the present invention is not limited to this.
  • the number of PLCs 1 connected to the logging data reproducing device 5 may be any number.
  • the PLC 1a stores the logging file in the external storage medium 4a in advance, and the logging data reproducing device 5 acquires the logging file.
  • the present invention is not limited to this.
  • the PLC 1 may store the logging file in the external storage medium 4a in advance.
  • the PLC 1 stores the logging file in the external storage medium 4a in advance. It's also good.
  • the logging data reproducing device 5 acquires the logging file from the external storage medium 4b, and the PLC 1B reads the control data from the acquired logging file and executes control based on the read control data. Even if there is no PLC 1A in the previous process, it is possible to execute an operation check in consideration of the control data in the previous process.
  • FIG. FIG. 10 is a block diagram showing a configuration of a control system in the second embodiment.
  • a control system using the control device according to the second embodiment will be described with reference to FIG.
  • Embodiment 2 what attached
  • the present invention is not limited by the description of the second embodiment.
  • the control system of the second embodiment is such that the control system of the first embodiment shown in FIG. 1 further includes an external storage device 8.
  • the external storage device 8 is, for example, a shared server or a PC.
  • the external storage device 8 is provided so as to be connectable to each of the data logger unit 12a and the logging data reproduction device 5 via an Ethernet (registered trademark) cable. That is, the external storage device 8 can be connected to the data logger unit 12a and the logging data reproducing device 5 electrically or online via a signal line or the like.
  • an external storage medium 4a is detachably attached to the data logger unit 12a.
  • the external storage medium 4a stores a logging file in which the control data of the manufacturing apparatus 3a is stored.
  • the external storage device 8 is connected to the data logger unit 12a when acquiring the logging file from the data logger unit 12a.
  • the user operates a setting PC (not shown) in which the setting software is installed, and designates whether or not to transfer each logging file from the data logger unit 12a to the external storage device 8, and the transfer timing.
  • the data logger unit 12a externally stores the specified logging file among the logging files stored in the external storage medium 4a based on whether or not each logging file needs to be transferred and the transfer timing. Transfer to device 8.
  • the external storage device 8 is connected to the logging data playback device 5 when transferring the logging file to the logging data playback device 5.
  • the logging data reproducing device 5 acquires a logging file from the external storage device 8 when connected to the external storage device 8.
  • the logging data reproducing device 5 stores the acquired logging file in the attached external storage medium 4b. The user may specify whether or not each logging file needs to be transferred from the external storage device 8 to the logging data reproducing device 5 and the transfer timing.
  • the external storage device 8 can be connected to or disconnected from the data logger unit 12a and the logging data reproduction device 5 by the user at an arbitrary timing.
  • the external storage device 8 does not always have to be connected to the data logger unit 12a. Further, the external storage device 8 need not always be connected to the logging data reproducing device 5.
  • the logging data reproduction device 5 acquires the logging file via the external storage device 8 that acquired the control data of the previous process from the PLC 1a.
  • the PLC 1B reads control data from the logging file acquired by the logging data reproducing device 5, and executes control based on the read control data.
  • the control device according to the second embodiment can perform operation confirmation and the like in consideration of the control data of the previous process without the PLC 1A of the previous process.
  • the external storage device 8 in the second embodiment has been described as being connected to the data logger unit 12a and acquiring the logging file from the data logger unit 12a, the present invention is not limited to this.
  • the existing production line when the PLC 1 other than the PLC 1a has the data of the production device 3a, the external storage device 8 is connected to the data logger unit 12 of the PLC 1 and acquires the logging file. It's also good.
  • the external storage device 8 is connected to the data logger unit 12 of the PLC 1, A logging file may be acquired.
  • the logging data reproducing device 5 acquires the logging file from the external storage device 8, and the PLC 1B reads the control data from the acquired logging file and executes control based on the read control data. Even if there is no PLC 1A in the previous process, it is possible to execute an operation check in consideration of the control data in the previous process.
  • the logging data reproducing device 5 reads the control data of the manufacturing device 3a from the logging file as the control data of the previous process and outputs it to the PLC 1B.
  • the PLC 1B may execute control of the manufacturing apparatus 3B using not only control data of the manufacturing apparatus 3A in the previous process but also control data of the manufacturing apparatus 3 corresponding to the previous process.
  • the logging data reproducing device 5 takes in not only the control data of the manufacturing apparatus 3a as control data of the previous process but also the control data of the manufacturing apparatus 3 which is a further previous process of the manufacturing apparatus 3a, and outputs it to the PLC 1B.
  • the logging data reproducing device 5 may fetch the control data of the process two steps before or before the manufacturing apparatus 3B as the control data of the previous process and output it to the PLC 1B. Even in such a case, it is possible to achieve the same effect as the case where the control data of the manufacturing apparatus 3a is used as the control data of the previous process.
  • the logging data reproduction device 5 is provided in a control device of a control system that controls a new production line and is connected to the PLC 1B. It is not limited.
  • the logging data reproduction device 5 may be provided as a separate device from the control device having the PLC 1B.
  • the logging data reproducing device 5 may be manufactured regardless of the control device having the PLC 1B. Even in such a case, it is possible to achieve the same effect as when the logging data reproducing device 5 is provided as a part of the control device of the control system.
  • the logging data reproducing device 5 may be provided as a part of the PLC 1B, not as a device different from the PLC 1B.
  • the logging data reproducing device 5 may be provided as a predetermined unit of the PLC 1B. Even in such a case, it is possible to achieve the same effect as when the logging data reproducing device 5 is provided as a device different from the PLC 1B.
  • the configuration shown in the above embodiment is an example of the configuration of the present invention, and may be combined as appropriate without departing from the gist of the present invention, such as combining with another known technique or omitting a part thereof. Needless to say, it can be changed.

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Abstract

複数の制御装置を有する製造ラインの各制御装置が前工程のデータを考慮した制御を実行する制御システムに適用されるとともに、前工程の制御装置がなくても前工程のデータを考慮した動作確認等を実行可能な制御装置、及びこの制御装置にデータを出力するデータ再生装置を提供する。　この発明に係る制御装置は、複数の工程のうち第１の工程の製造装置３Ｂと接続され、第１の工程の前工程のデータに基づいて、第１の工程の製造装置３Ｂを制御する第１のＰＬＣ１Ｂと、他の工程の製造装置３ａを制御する第２のＰＬＣ１ａであって第１のＰＬＣ３Ｂと接続されていない第２のＰＬＣ１ａが取得したデータを、前工程のデータとして第１のＰＬＣ３Ｂに出力するデータ再生装置５と、を備える。

Description

制御装置、及びデータ再生装置
　本発明は、制御装置、及びデータ再生装置に関する。
　従来、ＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ　Ｌｏｇｉｃ　Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）を利用したシーケンス制御装置により制御されている設備において、トラブル解析を支援するためのトラブル解析支援装置が用いられる。このトラブル解析支援装置は、製造設備を制御しているＰＬＣの入出力接点情報を取り込み、指定された条件に従って、制御情報ログファイルを作成する。制御情報ログファイルは、ＰＬＣから取り込まれたデジタル化された入出力接点情報が格納されているファイルである。
　また、トラブル解析支援装置は、記録対象であるＰＬＣと同じプログラムを読み込み、ＰＬＣの動作をシミュレーションし、出力接点の値を確定する。トラブル解析支援装置は、制御情報ログファイルのＰＬＣの出力接点の値と、シミュレーションした結果の出力接点の値とを比較し、その差異を検出する。シミュレーション結果とロギングした制御信号情報が異なる場合は、ディスプレイに差異情報を表示する（例えば、特許文献１参照）。
特開２０００－２５０７７５号公報（段落００３１、００３５、００４０、００４１、００４８、図１、及び図３）
　複数の製造装置を制御する制御システムは、複数の制御装置により構成される場合がある。例えば、製造ラインは、複数の制御装置が連なって構成されており、各制御装置は、各工程の製造装置の制御を実行する。
　一般的に、製造ラインのような複数の制御装置を有する制御システムにおいて、制御装置は、前工程の制御装置が制御を実行したときのデータを、その前工程の制御装置から信号線等を介して受け取る。制御装置は、受け取ったデータを考慮した制御を実行する。このため、制御装置が動作確認やトラブル解析を実行するためには、当該制御装置だけでなく、前工程の制御装置の存在も必要となる。
　しかし、製造ラインの立ち上げ時において、製造ラインを構成する全ての制御装置が同じ時期に納入されることは稀である。このため、制御装置は、その前工程の制御装置が納入されるまで、動作確認やトラブル解析を実行できない。
　この発明は、上記に鑑みてなされたものであり、前工程の制御装置がなくても前工程のデータを考慮した動作確認等を実行可能な制御装置、及びこの制御装置にデータを出力するデータ再生装置を得ることを目的とする。
　この発明に係る制御装置は、複数の工程のうち第１の工程の製造装置と接続され、第１の工程の前工程のデータに基づいて、第１の工程の製造装置を制御する第１のＰＬＣと、他の工程の製造装置を制御する第２のＰＬＣであって第１のＰＬＣと接続されていない第２のＰＬＣが取得したデータを、前工程のデータとして第１のＰＬＣに出力するデータ再生装置と、を備える。
　この発明に係るデータ再生装置は、複数の工程のうち第１の工程の製造装置と接続され、第１の工程の前工程のデータに基づいて、第１の工程の製造装置を制御する第１のＰＬＣに対し、他の工程の製造装置を制御する第２のＰＬＣであって第１のＰＬＣと接続されていない第２のＰＬＣが取得したデータを、前工程のデータとして第１のＰＬＣに出力する。
　この発明によれば、前工程の制御装置がなくても前工程のデータを考慮した動作確認等を実行可能な制御装置、及びこの制御装置にデータを出力するデータ再生装置を提供できる。
実施の形態１における制御システムの構成を示すブロック図である。 実施の形態１におけるデータロガーユニットの構成を示すブロック図である。 実施の形態１におけるロギングデータ再生装置の構成を示すブロック図である。 実施の形態１における既存の食品加工ラインを示す図である。 実施の形態１における既存の半導体製造ラインを示す図である。 実施の形態１におけるロギングデータ再生装置の動作手順を示すフローチャートである。 実施の形態１における制御周期がロギング周期よりも短い場合のデータの補間手順を説明する例である。 実施の形態１における制御周期がロギング周期よりも長く、ロギング周期の倍数である場合のデータの補間手順を説明する例である。 実施の形態１における制御周期がロギング周期よりも長く、ロギング周期の倍数でない場合のデータの補間手順を説明する例である。 実施の形態２における制御システムの構成を示すブロック図である。
実施の形態１．
　図１は、実施の形態１における制御システムの構成を示すブロック図である。このうち、図１（ａ）は、既存の製造ラインを制御する制御システムを示している。図１（ｂ）は、新設の製造ラインを制御する制御システムを示している。図１を用いて、実施の形態１における制御装置を用いた制御システムについて説明する。なお、本発明は、この実施の形態１の記述により限定されるものではない。
　まず、既存の製造ラインについて説明する。既存の製造ラインを制御する制御システムは、図１（ａ）に示すとおり、ＰＬＣ１ａと、センサ２ａと、製造装置３ａと、ＰＬＣ１ｂと、センサ２ｂと、製造装置３ｂと、を備える。なお、本制御システムは、図示しないＰＬＣ、センサ、または製造装置を、さらに１つまたは複数備えていても良い。
　ＰＬＣ１ａは、センサ２ａ及び製造装置３ａと接続する。ＰＬＣ１ａは、センサ２ａからの入力信号に基づいて、製造装置３ａの動作を制御する。センサ２ａは、例えば、エンコーダなどの各種センサや、操作スイッチ等の装置である。製造装置３ａは、例えば、電磁弁やモータなどの各種アクチュエータにより動作される装置である。
　ＰＬＣ１ａは、内部バス１０ａと、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｕｎｉｔ）ユニット１１ａと、データロガーユニット１２ａと、出力ユニット１３ａと、ネットワークユニット１４ａと、を備える。内部バス１０ａは、ＣＰＵユニット１１ａ、データロガーユニット１２ａ、出力ユニット１３ａ、及びネットワークユニット１４ａを接続し、各ユニット間でデータを相互に送受信するための信号線である。
　ＣＰＵユニット１１ａは、ＰＬＣ１ａの全体の動作を制御する装置である。ＣＰＵユニット１１ａは、図示しないメモリを内部に有している。ＣＰＵユニット１１ａは、センサ２ａからデータを取得し、メモリに格納されているシーケンス制御プログラムに従ってデータを演算して、製造装置３ａを制御するための信号を出力する。この際、ＣＰＵユニット１１ａは、詳細は後述するが、複数の工程のうち前工程のデータに基づいて演算を行う。また、ＣＰＵユニット１１ａは、製造装置３ａの制御データを生成する。
　制御データの例としては、詳細は後述するが、ＰＬＣ１ａが製造装置３ａの制御を実行した時に、ＰＬＣ１ａが生成した製造装置３ａの動作情報や動作結果のデータが挙げられる。このほか、制御データの例としては、ＰＬＣ１ｂが製造装置３ｂを制御するために必要となる、ＰＬＣ１ａの内部データが挙げられる。
　データロガーユニット１２ａは、製造装置３ａの制御データを取得し、蓄積する。また、データロガーユニット１２ａは、製造装置３ａの制御データを時系列に記録したロギングファイルを生成する。データロガーユニット１２ａは、生成したロギングファイルを、データロガーユニット１２ａに装着されている外部記憶媒体４ａに記憶させる。外部記憶媒体４ａは、データロガーユニット１２ａに脱着可能に装着された記億手段である。外部記憶媒体４ａは、例えば、ＳＤメモリカードやＣＦカード、ＵＳＢメモリ等である。
　出力ユニット１３ａは、ＣＰＵユニット１１ａからの出力指令を受けて、製造装置３ａの制御データ等を外部の機器へと出力する。ネットワークユニット１４ａは、ＰＬＣ１ａと他の装置とを接続する信号線等を介してネットワーク接続されており、他の装置との間でデータを送受信する。
　ＰＬＣ１ｂは、センサ２ｂ及び製造装置３ｂと接続する。ＰＬＣ１ｂは、センサ２ｂからの入力信号とＰＬＣ１ａから取得した製造装置３ａの制御データとに基づいて、製造装置３ｂの動作を制御する。センサ２ｂ及び製造装置３ｂは、センサ２ａ及び製造装置３ａと同様の装置である。
　ＰＬＣ１ｂは、内部バス１０ｂと、ＣＰＵユニット１１ｂと、データロガーユニット１２ｂと、ネットワークユニット１４ｂと、入力ユニット１５ｂと、を備える。内部バス１０ｂ、ＣＰＵユニット１１ｂ、データロガーユニット１２ｂ、及びネットワークユニット１４ｂは、それぞれ内部バス１０ａ、ＣＰＵユニット１１ａ、データロガーユニット１２ａ、及びネットワークユニット１４ａと同様の構成及び動作をするユニット等であるため、説明を省略する。
　入力ユニット１５ｂは、外部の機器から入力された信号をＣＰＵユニット１１ｂに渡すユニットである。入力ユニット１５ｂは、信号線等を介してＰＬＣ１ａの出力ユニット１３ａと接続されている。入力ユニット１５ｂは、出力ユニット１３ａが出力した製造装置３ａの制御データ等をＣＰＵユニット１１ｂへと送信する。つまり、ＰＬＣ１ａとＰＬＣ１ｂは、出力ユニット１３ａと入力ユニット１５ｂとの間で、信号線等を介して電気的に、または、オンラインで接続されている。
　また、ＰＬＣ１ａとＰＬＣ１ｂは、ネットワークユニット１４ａとネットワークユニット１４ｂとの間でも、信号線等を介して電気的に、または、オンラインで接続されている。なお、ネットワークユニット１４ａとネットワークユニット１４ｂは、ＰＬＣ１ａとＰＬＣ１ｂ以外の他の装置との間でデータを送受信する際に使用される。または、ネットワークユニット１４ａとネットワークユニット１４ｂは、ＰＬＣ１ｂとＰＬＣ１ａ以外の他の装置との間でデータを送受信する際に使用される。
　次に、新設の製造ラインについて説明する。新設の製造ラインを制御する制御システムは、図１（ｂ）に示すとおり、ＰＬＣ１Ａと、センサ２Ａと、製造装置３Ａと、ＰＬＣ１Ｂと、センサ２Ｂと、製造装置３Ｂと、ロギングデータ再生装置５と、により構成される。但し、図１（ｂ）において、ＰＬＣ１Ａ、センサ２Ａ、及び製造装置３Ａは、新設の製造ラインに未納入の装置である。なお、本制御システムは、図示しないＰＬＣ、センサ、または製造装置を、さらに１つまたは複数備えていても良い。
　新設の製造ラインを制御する制御システムにおいて、ＰＬＣ１Ａ、センサ２Ａ、及び製造装置３Ａは、それぞれＰＬＣ１ａ、センサ２ａ、及び製造装置３ａと同様の構成及び動作をする装置であるため、説明を省略する。
　ＰＬＣ１Ｂは、センサ２Ｂ及び製造装置３Ｂと接続する。ＰＬＣ１Ｂは、詳細は後述するが、センサ２Ｂからの入力信号とＰＬＣ１ａから取得した製造装置３ａの制御データとに基づいて、製造装置３ｂの動作を制御するための信号を出力する。センサ２Ｂは、センサ２ａまたはセンサ２ｂと同様の装置である。製造装置３Ｂは、製造装置３ａまたは製造装置３ｂと同様の装置である。
　ＰＬＣ１Ｂは、内部バス１０Ｂと、ＣＰＵユニット１１Ｂと、ネットワークユニット１４Ｂと、入力ユニット１５Ｂと、を備える。内部バス１０Ｂ、ＣＰＵユニット１１Ｂ、ネットワークユニット１４Ｂ、及び入力ユニット１５Ｂは、それぞれ内部バス１０ｂ、ＣＰＵユニット１１ｂ、ネットワークユニット１４ｂ、及び入力ユニット１５ｂと同様の構成及び動作をするユニット等であるため、説明を省略する。
　ロギングデータ再生装置５は、ＰＬＣ１Ｂとの間で、信号線等を介して電気的に、または、オンラインで接続される。また、ロギングデータ再生装置５には、外部記憶媒体４ｂが脱着可能に装着される。外部記憶媒体４ｂは、例えば、ＳＤメモリカードやＣＦカード、ＵＳＢメモリ等である。外部記憶媒体４ｂには、ＰＬＣ１ａのデータロガーユニット１２ａが生成したロギングファイルが、外部記憶媒体４ａを経由して直接または間接的に記憶される。なお、外部記憶媒体４ｂは、外部記憶媒体４ａと同一のものであってもよい。
　ロギングデータ再生装置５は、外部記憶媒体４ｂからロギングファイルを取得する。ロギングデータ再生装置５は、取得したロギングファイルから製造装置３ａの制御データ制御データを読み込み、前工程のデータとしてＰＬＣ１Ｂに出力する。
　なお、以下において、ＰＬＣ１ａ、ＰＬＣ１ｂ、ＰＬＣ１Ａ、ＰＬＣ１Ｂ、及び図示しないＰＬＣについて、これらのいずれかまたは全てのことをＰＬＣ１と称する。センサ２ａ、センサ２ｂ、センサ２Ａ、センサ２Ｂ、及び図示しないセンサについて、これらのいずれかまたは全てのことをセンサ２と称する。製造装置３ａ、製造装置３ｂ、製造装置３Ａ、製造装置３Ｂ、及び図示しない製造装置について、これらのいずれかまたは全てのことを製造装置３と称する。
　データロガーユニット１２ａ、データロガーユニット１２ｂ、及びデータロガーユニット１２Ａ、及び図示しないデータロガーユニット１２について、これらのいずれかまたは全てのことをデータロガーユニット１２と称する。
　なお、図１において、各ＰＬＣ１には１台のセンサ２及び製造装置３が接続されることを示しているが、各ＰＬＣ１に接続されるセンサ２及び製造装置３の台数は何台であっても良い。
　なお、図１（ｂ）に示す新設の製造ラインは、図１（ａ）に示す既存の製造ラインと同様の製造ラインであって、他の工場に導入された製造ラインである。このため、新設の製造ラインにおけるＰＬＣ１Ａ、センサ２Ａ、製造装置３Ａ、ＰＬＣ１Ｂ、センサ２Ｂ、製造装置３Ｂ、ロギングデータ再生装置５等は、既存の製造ラインにおけるＰＬＣ１ａ、センサ２ａ、製造装置３ａ、ＰＬＣ１ｂ、センサ２ｂ、及び製造装置３ｂ等のそれぞれに対し、信号線等により電気的に、または、オンラインで接続されていない。
　図２は、実施の形態１におけるデータロガーユニットの構成を示すブロック図である。図２を用いて、実施の形態１におけるデータロガーユニット１２ａについて詳細に説明する。なお、図２においては、データロガーユニット１２ａだけでなく、内部バス１０ａ、外部記憶媒体４ａ、及び設定用端末６ａも図示している。
　なお、データロガーユニット１２ｂとデータロガーユニット１２Ａは、データロガーユニット１２ａと同様の構成及び動作をするユニットである。このため、データロガーユニット１２ｂとデータロガーユニット１２Ａについての説明は省略する。
　データロガーユニット１２ａは、図２に示すとおり、Ｅｔｈｅｒｎｅｔ（登録商標）ケーブルを介して設定用端末６ａと接続される。設定用端末６ａには、データロガーユニット１２ａの設定用ソフトウェアがインストールされている。設定用端末６ａは、ユーザの操作に基づいて、データロガーユニット１２ａに信号を送信する。設定用端末６ａは、例えば、設定用のＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ　Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）である。
　データロガーユニット１２ａは、ハードウェア構成として、記憶部１２１ａと、演算部１２２ａとを備える。記憶部１２１ａは、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ　Ｏｎｌｙ　Ｍｅｍｏｒｙ）等のメモリであって、データやプログラムを記憶する。演算部１２２ａは、データロガーユニット１２ａの全体の動作を制御する中央処理装置（ＣＰＵ）である。演算部１２２ａは、記憶部１２１ａに記憶されたデータやプログラムを用いて、製造装置３ａの制御データを取得し、蓄積する。ロギング設定部１２３ａ、データ収集部１２４ａ、ファイル生成部１２５ａ、及びファイル保存部１２６ａは、演算部１２２ａが記憶部１２１ａに記憶されたプログラムを実行することによって、データロガーユニット１２ａ内にソフトウェア的に実現される。
　ロギング設定部１２３ａは、設定用端末６ａから受けた信号に基づいて、製造装置３ａの制御データを記録してロギングファイルを生成する際の設定情報を設定する。ロギング設定部１２３ａは、ロギング対象設定部１２３１ａと、ロギング周期設定部１２３２ａと、を有する。
　ロギング対象設定部１２３１ａは、ロギング設定部１２３ａの設定情報のうち、ロギング対象を設定する。ロギング対象とは、製造装置３ａの制御データのうち、データロガーユニット１２ａが収集する対象の制御データである。
　ロギング周期設定部１２３２ａは、ロギング設定部１２３ａの設定情報のうち、ロギング周期を設定する。ロギング周期とは、データロガーユニット１２ａがロギング対象の制御データを収集する周期のことである。ロギング周期は、ＰＬＣ１ａの制御周期のほか、ＰＬＣ１ａの制御周期よりも遅い周期が設定される。なお、ＰＬＣ１ａの制御周期とは、ＰＬＣ１ａの所定のサンプリング周期のことである。ＰＬＣ１ａは、このサンプリング周期ごとに所定のシーケンス制御を実行する。
　ロギング対象とロギング周期とは、ユーザが設定用端末６ａを操作して任意に設定、及び変更することができる。
　データ収集部１２４ａは、ＣＰＵユニット１１ａから製造装置３ａの制御データを、内部バス１０ａを介して収集する。このとき、データ収集部１２４ａは、ロギング対象設定部１２３１ａで設定されたロギング対象の制御データを、ロギング周期設定部１２３２ａで設定されたロギング周期ごとに収集する。収集に際し、データ収集部１２４ａは、収集した制御データに時刻データを付加する。
　ファイル生成部１２５ａは、データ収集部１２４ａが収集した制御データをもとに、ロギングファイルを生成する。ファイル生成部１２５ａは、制御データを時刻データとあわせて時系列にロギングファイルに書き込む。ロギングファイルは、制御データがロギング周期ごとに時系列に格納されるため、ロギング周期の情報も有する。
　ファイル保存部１２６ａは、ファイル生成部１２５ａにより生成されたロギングファイルを外部記憶媒体４ａに保存し、記憶させる。
　図３は、実施の形態１におけるロギングデータ再生装置の構成を示すブロック図である。図３を用いて、実施の形態１におけるロギングデータ再生装置５について詳細に説明する。なお、図３においては、ロギングデータ再生装置５だけでなく、外部記憶媒体４ｂ、設定用端末６ｂ、及びＰＬＣ１Ｂも図示している。
　ロギングデータ再生装置５は、図３に示すとおり、Ｅｔｈｅｒｎｅｔ（登録商標）ケーブルを介して設定用端末６ｂと接続される。設定用端末６ｂには、ロギングデータ再生装置５の設定用ソフトウェアがインストールされている。設定用端末６ｂは、ユーザの操作に基づいて、ロギングデータ再生装置５に信号を送信する。設定用端末６ｂは、上記の設定用端末６ａと同様のＰＣ等である。なお、設定用端末６ｂは、設定用端末６ａと同一のものであってもよい。
　ロギングデータ再生装置５は、ハードウェア構成として、記憶部５１と、演算部５２とを備える。記憶部５１は、ＲＯＭ等のメモリであって、データやプログラムを記憶する。演算部５２は、ロギングデータ再生装置５の全体の動作を制御する中央処理装置（ＣＰＵ）である。演算部５２は、記憶部５１に記憶されたデータやプログラムを用いて、外部記憶媒体４ｂからロギングファイルを取得する。演算部５２は、データやプログラムを用いて、取得したロギングファイルから制御データを読み込み、ＰＬＣ１Ｂに出力する。再生設定部５３、ファイル取得部５４、及びデータ再生部５５は、演算部５２が記憶部５１に記憶されたプログラムを実行することによって、ロギングデータ再生装置５内にソフトウェア的に実現される。
　再生設定部５３は、設定用端末６ｂから受けた信号に基づいて、収集した制御データの読み込みに関する設定情報を設定する。再生設定部５３は、出力対象データ設定部５３１と、制御周期設定部５３２と、を有する。
　出力対象データ設定部５３１は、再生設定部５３の設定情報のうち、出力対象データを設定する。出力対象データとは、製造装置３ａの制御データのうち、ＰＬＣ１Ｂに出力すべき制御データのことである。
　制御周期設定部５３２は、ＰＬＣ１Ｂの制御周期を設定する。ＰＬＣ１Ｂの制御周期とは、ＰＬＣ１Ｂの所定のサンプリング周期のことである。ＰＬＣ１Ｂは、このサンプリング周期ごとに所定のシーケンス制御を実行する。
　出力対象データとＰＬＣ１Ｂの制御周期とは、ユーザが設定用端末６ｂを操作して任意に設定、及び変更することができる。
　ファイル取得部５４は、ロギングデータ再生装置５に装着された外部記憶媒体４ｂから、ロギングファイルを取得する。ファイル取得部５４は、取得したロギングファイルから、製造装置３ａの制御データを読み込む。このとき、ファイル取得部５４は、出力対象データ設定部５３１で設定された出力対象データを読み込む。
　データ再生部５５は、ファイル取得部５４が読み込んだ出力対象データをＰＬＣ１Ｂに出力する。このとき、データ再生部５５は、ファイル取得部５４が取得したロギングファイルのロギング周期と制御周期設定部５３２で設定されたＰＬＣ１Ｂの制御周期とが異なる場合、ＰＬＣ１Ｂの制御周期にあわせて補間したデータを出力する。
　図４は、実施の形態１における既存の食品加工ラインを示す図である。図４を用いて、実施の形態１における制御システムを食品加工ラインに適用する例について説明する。なお、以下においては、制御システムを、パンを製造する食品加工ラインに適用する例について説明するが、実施の形態１における制御システムはその他の製造ラインであっても同様に適用することができる。また、実施の形態１における制御システムは、この例に限定されるものではない。
　既存の食品加工ラインは、図４に示すとおり、ＰＬＣ１ａと、製造装置３ａと、搬送装置７ａと、ＰＬＣ１ｂと、製造装置３ｂと、搬送装置７ｂと、ＰＬＣ１ｃと、製造装置３ｃと、搬送装置７ｃと、を備える。なお、図４に示すＰＬＣ１ａ、製造装置３ａ、ＰＬＣ１ｂ、及び製造装置３ｂは、図１（ａ）に示すＰＬＣ１ａ、製造装置３ａ、ＰＬＣ１ｂ、及び製造装置３ｂと同一である。
　製造装置３ａは、ＰＬＣ１ａにより制御され、食品加工ラインにおける複数の工程のうち、計量・投入・混ぜ合わせ工程を行う。製造装置３ａは、製造する製品にあわせて小麦粉等の材料や調味料等を計量し、容器に投入する。また、製造装置３ａは、材料や調味料等を容器内で所定時間混ぜ合わせる。
　ＰＬＣ１ａは、製造装置３ａを制御して、計量・投入・混ぜ合わせ工程の動作を実行させる。例えば、計量の際、ＰＬＣ１ａは、重量センサであるセンサ２ａからの信号に基づいて、ある材料を所定の重量だけ供給するように、製造装置３ａに計量させる。また例えば、投入の際、ＰＬＣ１ａは、各材料の投入量の情報を、製造途中の製品ごとに時系列に取得する。ＰＬＣ１ａは、取得した各材料の投入量の情報をロギングファイルに格納する。なお、ロギングファイルに格納された情報は、ＰＬＣ１ａから図示しない表示装置に送られ、当該表示装置にグラフィカルに表示される。
　製造装置３ａの計量・投入・混ぜ合わせ工程の後、搬送装置７ａは、混ぜ合わせた材料等を製造装置３ｂへ搬送する。
　製造装置３ｂは、ＰＬＣ１ｂにより制御され、食品加工ラインにおける複数の工程のうち、こねる・分ける工程を行う。製造装置３ｂは、製造装置３ａが混ぜ合わせた材料等を容器内でこねる。また、製造装置３ｂは、こね終わったものを指定された大きさに切り分ける。
　ＰＬＣ１ｂは、製造装置３ｂを制御して、こねる・分ける工程の動作を実行させる。例えば、ＰＬＣ１ｂは、前工程のＰＬＣ１ａから、各材料の投入量の情報を、ＰＬＣ１ａの出力ユニット１３ａとＰＬＣ１ｂの入力ユニット１５ｂとを介して時系列に取得する。また、ＰＬＣ１ｂは、温度計であるセンサ２ｂから、室温の情報を取得する。ＰＬＣ１ｂは、各材料の投入量に関する時系列の情報のうち現在自工程にある製品に対応する情報と室温の情報とに基づいて、こね時間を決定する。こねる作業の際、ＰＬＣ１ｂは、決定したこね時間の間、製造装置３ｂに材料等を容器内でこねさせる。こねる作業が終わると、ＰＬＣ１ｂは、粘度計である図示しないセンサ２から、こね終わったものに関する粘度の情報を、製造途中の製品ごとに時系列に取得する。ＰＬＣ１ｂは、取得した室温の情報、及びこね終わったものに関する粘度の情報をロギングファイルに格納する。
　さらに、例えば、分ける作業の際、ＰＬＣ１ｂは、切り分けたものの大きさの情報を、製造途中の製品ごとに時系列に取得する。ＰＬＣ１ｂは、取得した切り分けたものの大きさの情報をロギングファイルに格納する。
　製造装置３ｂのこねる・分ける工程の後、搬送装置７ｂは、切り分けたものを製造装置３ｃへ搬送する。
　製造装置３ｃは、ＰＬＣ１ｃにより制御され、食品加工ラインにおける複数の工程のうち、成形工程を行う。製造装置３ｃは、製造装置３ｂが切り分けたものを所定の形状に成形する。
　ＰＬＣ１ｃは、製造装置３ｃを制御して、成形工程の動作を実行させる。例えば、ＰＬＣ１ｃは、前工程のＰＬＣ１ｂから、こね終わったものの粘度の情報と、切り分けたものの大きさの情報と、を時系列に取得する。このとき、ＰＬＣ１ｃは、ＰＬＣ１ｂの有する図示しない出力ユニットとＰＬＣ１ｃの有する図示しない入力ユニットとを介して取得する。また、ＰＬＣ１ｃは、重量センサから、切り分けたものの重さの情報を取得する。ＰＬＣ１ｃは、こね終わったものの粘度に関する時系列の情報及び切り分けたものの大きさに関する時系列の情報のうち現在自工程にある製品に対応する情報と、切り分けたものの重さの情報と、に基づいて、製造装置３ｃを制御し、こねたものを所定の形状に成形させる。
　製造装置３ｃの成形工程の後、搬送装置７ｃは、成形したものを図示しない次工程の製造装置３へ搬送する。
　その後、食品加工ラインは、製造装置３ｃが成形したものを所定の温度で所定時間焼く等し、最終的に製品としてパンを製造する。
　図４に示す既存の食品加工ラインにおいて、制御データは、例えば、計量・投入・混ぜ合わせ工程における各材料の投入量や室温、こねる・分ける工程における指定された大きさや粘度、成形工程における分けたものの重さ、パンを焼くときの温度などの情報のことである。つまり、制御データは、ＰＬＣ１が製造装置３の制御を実行する際に指定された条件や外的条件のほか、製造装置３が動作をした結果のデータなどのことである。これらの制御データは、各工程のＰＬＣ１により製造途中の製品ごとに時系列に記録され、ロギングファイルに格納される。
　図５は、実施の形態１における既存の半導体製造ラインを示す図である。図５を用いて、実施の形態１における制御システムを半導体製造ラインに適用する例について説明する。なお、実施の形態１における制御システムは、この例に限定されるものではない。
　既存の半導体製造ラインは、図５に示すとおり、ＰＬＣ１ａと、製造装置３ａと、搬送装置７ａと、ＰＬＣ１ｂと、製造装置３ｂと、搬送装置７ｂと、ＰＬＣ１ｃと、製造装置３ｃと、搬送装置７ｃと、を備える。なお、図５に示すＰＬＣ１ａ、製造装置３ａ、ＰＬＣ１ｂ、及び製造装置３ｂは、図１（ａ）に示すＰＬＣ１ａ、製造装置３ａ、ＰＬＣ１ｂ、及び製造装置３ｂと同一である。
　製造装置３ａは、ＰＬＣ１ａにより制御され、半導体製造ラインにおける複数の工程のうち、パターン形成工程を行う。製造装置３ａは、ウェハ上に回路パターンを繰り返し焼き付け、多数のチップを作成する。ＰＬＣ１ａは、製造装置３ａを制御して、パターン形成工程の動作を実行させる。
　製造装置３ａのパターン形成工程の後、搬送装置７ａは、回路パターンを形成したウェハを製造装置３ｂへ搬送する。
　製造装置３ｂは、ＰＬＣ１ｂにより制御され、半導体製造ラインにおける複数の工程のうち、ウェハ検査工程を行う。製造装置３ｂは、ウェハ上に形成された回路が正常に機能するか否かを検査し、ウェハ上の各チップの良否を判定する。
　ＰＬＣ１ｂは、製造装置３ｂを制御して、ウェハ検査工程の動作を実行させる。ウェハの検査が終わると、ＰＬＣ１ｂは、製造装置３ｂから、検査したウェハ上の各チップの良否情報を、製造途中の製品ごとに時系列に取得する。ＰＬＣ１ｂは、取得した各チップの良否情報をロギングファイルに格納する。
　ウェハ検査工程の後、搬送装置７ｂは、検査が終わったウェハを製造装置３ｃへ搬送する。
　製造装置３ｃは、ＰＬＣ１ｃにより制御され、半導体製造ラインにおける複数の工程のうち、ダイジング工程を行う。製造装置３ｃは、製造装置３ｂが検査したウェハをチップの形に切り離す。各チップを切り離した後、製造装置３ｃは、前工程であるウェハ検査工程において不良判定を受けたチップを除去する。
　ＰＬＣ１ｃは、製造装置３ｃを制御して、ダイジング工程の動作を実行させる。例えば、ＰＬＣ１ｃは、前工程のＰＬＣ１ｂから、ウェハ上の各チップの良否情報を時系列に取得する。このとき、ＰＬＣ１ｃは、ＰＬＣ１ｂの有する図示しない出力ユニットとＰＬＣ１ｃの有する図示しない入力ユニットとを介して取得する。ＰＬＣ１ｃは、各チップの良否情報のうち現在自工程にあるウェハに対応する良否情報に基づいて、製造装置３ｃを制御し、ウェハ検査工程で不良判定を受けたチップを除去させる。
　製造装置３ｃのダイジング工程の後、搬送装置７ｃは、ウェハ検査工程で良判定を受けたチップを図示しない次工程の製造装置３へ搬送する。
　図５に示す既存の半導体製造ラインにおいて、制御データは、例えば、ウェハ検査工程からダイジング工程へ渡されるウェハ上の各チップの良否情報のことである。
　このように、食品加工ラインや半導体製造ラインなど複数のＰＬＣ１が連なって構成される制御システムにおいて、各ＰＬＣ１は、複数の工程のうち前工程のＰＬＣ１から制御データを取得する。各ＰＬＣ１は、取得した時系列の制御データのうち、現在自工程にある製品に対応するデータに基づいて、自工程の製造装置３を制御する。
　ここで、図４に示す既存の食品加工ラインに対応する食品加工ラインを新規に立ち上げる場合について説明する。制御システムのユーザには、実績のある既存の製造ラインと同様の製造ラインを他工場にも導入することを希望する者も多い。このとき、ユーザは、新設の製造ラインを構成するＰＬＣ１が全て揃う前に、納入されたＰＬＣ１から順番に動作確認を実行することを要望する場合がある。
　しかし、製造ラインの新規立ち上げ時において、製造ラインを構成する全てのＰＬＣ１が同じ時期に納入されることは稀である。例えば、新設の食品加工ラインにおいて、図４のこねる・分ける工程のＰＬＣ１ｂに対応するものとして、図１（ｂ）に示すＰＬＣ１Ｂが納入されたとする。しかし、新設の食品加工ラインにおいて、図４の計量・投入・混ぜ合わせ工程のＰＬＣ１ａに対応するものとして、図１（ｂ）に示すＰＬＣ１Ａは未だ納入されていない。
　ここで、こねる・分ける工程のＰＬＣ１Ｂは、前工程である計量・投入・混ぜ合わせ工程のＰＬＣ１Ａの制御データに基づいて、製造装置３Ｂを制御する。しかし、前工程のＰＬＣ１Ａは未納入である。このため、ＰＬＣ１Ｂは、前工程のＰＬＣ１Ａから制御データを、ＰＬＣ１Ａの出力ユニット１３ＡとＰＬＣ１Ｂの入力ユニット１５Ｂとを介して取得することができない。
　また、新設の製造ラインにおけるＰＬＣ１Ｂは、上記のとおり、既存の製造ラインにおけるＰＬＣ１等に対し、信号線等により電気的に、または、オンラインで接続されていない。このため、既存の製造ラインのＰＬＣ１等から制御データを取得することもできない。
　したがって、新設の食品加工ラインを構成する各ＰＬＣ１が全て揃う前に、納入されたＰＬＣ１Ｂから順に動作確認やトラブル解析を実行しようとしても、ＰＬＣ１Ｂは、その前工程のＰＬＣ１Ａが納入されるまで、動作確認等を実行することができない。
　そこで、実施の形態１の制御システムは、新設の食品加工ラインへの適用にあたり、外部記憶媒体４ｂからロギングファイルを取得するロギングデータ再生装置５を設ける。後工程のＰＬＣ１Ｂは、ロギングデータ再生装置５から、前工程である計量・投入・混ぜ合わせ工程のＰＬＣ１ａが取得した制御データを、ロギングファイルを介して取得する。後工程のＰＬＣ１Ｂは、ロギングファイルを介して取得した制御データに基づいて製造装置３Ｂの動作を制御するため、前工程のＰＬＣ１Ａがなくても前工程のデータを考慮した動作確認等を実行することが可能となる。なお、実施の形態１の制御システムを半導体製造ラインに適用する場合も、食品加工ラインに適用する場合と同様である。
　図６は、実施の形態１におけるロギングデータ再生装置の動作手順を示すフローチャートである。図６を用いて、実施の形態１におけるロギングデータ再生装置５の動作を説明する。
　まず、ロギングデータ再生装置５の動作開始前に、ユーザは、設定用端末６ｂを操作して、出力対象データと、ＰＬＣ１Ｂの制御周期と、を指定する。出力対象データ設定部５３１は、設定用端末６ｂから受けた信号に基づいて、出力対象データを設定する。制御周期設定部５３２は、設定用端末６ｂから受けた信号に基づいて、ＰＬＣ１Ｂの制御周期を設定する。
　また、ロギングデータ再生装置５には、ロギングファイルを記憶した外部記憶媒体４ｂが装着される。このロギングファイルは、ＰＬＣ１ａにより生成され、製造装置３ａの制御データを格納したファイルである。この制御データは、ＰＬＣ１ａのデータロガーユニット１２ａがロギング周期ごとに収集した時系列のデータである。
　なお、ロギングデータ再生装置５は、外部記憶媒体４ｂが装着されたときに動作を開始することに限られず、予め装着された状態で動作開始指令を受けて動作を開始することとしても良い。
　図６のステップＳ１において、ファイル取得部５４は、出力対象データ設定部５３１から、出力対象データの設定情報を読み込む。ファイル取得部５４は、外部記憶媒体４ｂからロギングファイルを取得し、製造装置３ａの制御データを読み込む。このとき、ファイル取得部５４は、製造装置３ａの制御データのうち、出力対象データで設定された制御データを読み込む。
　ステップＳ２において、データ再生部５５は、制御周期設定部５３２から、ＰＬＣ１Ｂの制御周期の設定情報を読み込む。また、データ再生部５５は、ファイル取得部５４から制御データが渡される。
　ステップＳ３において、データ再生部５５は、制御周期設定部５３２で設定されたＰＬＣ１Ｂの制御周期とファイル取得部５４が取得したロギングファイルのロギング周期とを比較し、両者が一致するか否かを判定する。
　ＰＬＣ１Ｂの制御周期とロギング周期とが異なる周期の場合、ステップＳ４へ移行する。ステップＳ４において、データ再生部５５は、取得した制御データの周期がＰＬＣ１Ｂの制御周期と一致するようにデータを補間する。
　ここで、制御データの補間について説明する。図７は、制御周期がロギング周期よりも短い場合におけるデータの補間手順を説明する例である。図８は、制御周期がロギング周期よりも長く、ロギング周期の倍数である場合におけるデータの補間手順を説明する例である。図９は、制御周期がロギング周期よりも長く、ロギング周期の倍数でない場合におけるデータの補間手順を説明する例である。図７、８、及び９を用いて、実施の形態１における制御データの補間手順について説明する。
　まず、ＰＬＣ１Ｂの制御周期がロギング周期よりも短い場合におけるデータの補間手順を説明する。例えば、図７に示すように、ロギング周期が２ｍｓ、制御周期が１ｍｓであるとする。この場合、制御データは、図７（ａ）に示すとおり、ロギング周期２ｍｓごとに収集されている。
　しかし、制御周期がロギング周期よりも短いため、制御周期のうち任意の時刻において、対応する制御データが存在しない場合がある。例えば、図７（ａ）において、制御データａ１、制御データａ２、及び制御データａ３の間隔は、それぞれ２ｍｓである。しかし、制御データａ１と制御データａ２との間に制御データが存在しない。このため、必要な制御データの数が足りておらず、通常、ＰＬＣ１Ｂは、これらの制御データを使用することができない。
　そこで、データ再生部５５は、取得した制御データをもとに、一般的なデータ補間法を用いてデータを補間する。具体的には、図７（ｂ）において、データ再生部５５は、一般的なデータ補間法を用いて各制御データを結ぶ補間式Ａ１を算出し、各制御データを内挿する。なお、一般的なデータ補間法とは、例えば線形補間やスプライン補間等のことである。これらは一般的な方法であるため、ここではその説明を省略する。
　図７（ｃ）において、データ再生部５５は、算出した補間式Ａ１から、制御周期である１ｍｓごとに制御データを取得する。例えば、データ再生部５５は、算出した補間式Ａ１から、制御データａ１と制御データａ２との間の制御データａ４を取得する。制御データａ１から制御データａ４までの間と制御データａ４から制御データａ２までの間とは、周期がそれぞれ１ｍｓである。データ再生部５５は、制御データａ１、制御データａ４、及び制御データａ２などを、ＰＬＣ１Ｂの制御周期にあわせて補間した制御データとして取得する。
　次に、ＰＬＣ１Ｂの制御周期がロギング周期よりも長く、ロギング周期の倍数である場合におけるデータの補間手順を説明する。例えば、図８に示すように、ロギング周期が２ｍｓ、制御周期が４ｍｓであるとする。この場合、制御データは、図８（ａ）に示すとおり、ロギング周期２ｍｓごとに収集されている。なお、図８においては、各制御データの値を結んだ実データＢ１も示している。
　しかし、制御周期がロギング周期よりも長く、ＰＬＣ１Ｂの制御周期がロギング周期の倍数であるため、各制御周期に対応する制御データが存在するものの、ＰＬＣ１Ｂの制御に不要な制御データがある。例えば、図８（ａ）において、制御データｂ１と制御データｂ３との間隔は、４ｍｓである。このため、その間の制御データｂ２は、ＰＬＣ１Ｂの制御に不要なデータである。
　そこで、データ再生部５５は、取得した制御データから、不要なデータを除去するとともに、残った制御データを取得する。例えば、図８（ｂ）において、データ再生部５５は、取得した制御データから不要な制御データｂ２を除去する。データ再生部５５は、残った制御データｂ１、制御データｂ３などを、ＰＬＣ１Ｂの制御周期にあわせて補間した制御データとして取得する。
　次に、ＰＬＣ１Ｂの制御周期がロギング周期よりも長く、ロギング周期の倍数でない場合におけるデータの補間手順を説明する。例えば、図９に示すように、ロギング周期が２ｍｓ、制御周期が５ｍｓであるとする。この場合、制御データは、図９（ａ）に示すとおり、ロギング周期２ｍｓごとに収集されている。
　しかし、制御周期がロギング周期よりも長く、ロギング周期の倍数でないため、制御周期のうち任意の時刻において、対応する制御データが存在しない場合がある。例えば、図９（ａ）において、制御データｃ１、制御データｃ２、制御データｃ３、制御データｃ４、制御データｃ５、及び制御データｃ６の間隔は、それぞれ２ｍｓである。しかし、制御データｃ３と制御データｃ４との間に制御データが存在しないため、制御データｃ１との間隔が５ｍｓである制御データが存在しない。このため、必要な制御データの数が足りておらず、通常、ＰＬＣ１Ｂは、これらの制御データを使用することができない。
　そこで、データ再生部５５は、取得した制御データをもとに、一般的なデータ補間法を用いてデータを補間する。具体的には、図９（ｂ）において、データ再生部５５は、図７の場合と同様に、一般的なデータ補間法を用いて各制御データを結ぶ補間式Ｃ１を算出し、各制御データを内挿する。
　図９（ｃ）において、データ再生部５５は、算出した補間式Ｃ１から、制御周期である５ｍｓごとに制御データを取得する。例えば、データ再生部５５は、算出した補間式Ｃ１から、図９（ｂ）における制御データｃ３と制御データｃ４との間の制御データｃ７を取得する。制御データｃ１から制御データｃ７までの間は、周期が５ｍｓである。データ再生部５５は、制御データｃ１、制御データｃ７、及び制御データｃ６などを、ＰＬＣ１Ｂの制御周期にあわせて補間した制御データとして取得する。
　以上が、実施の形態１における制御データの補間手順の説明である。
　図６に戻り、ステップＳ４において、データ再生部５５が、ＰＬＣ１Ｂの制御周期にあわせて制御データを補間した後、ステップＳ５へ移行する。
　一方、ステップＳ３において、ロギング周期とＰＬＣ１Ｂの制御周期とが同じ周期の場合、ステップＳ５へ移行する。この場合、データ再生部５５は、取得した制御データの補間を行わない。
　ステップＳ４において、データ再生部５５は、取得した制御データを、ＰＬＣ１Ｂに出力する。以上が、ロギングデータ再生装置５の動作手順の説明である。
　以上において説明したとおり、実施の形態１における制御装置は、ＰＬＣ１Ｂと、ロギングデータ再生装置５と、を備える。ＰＬＣ１Ｂは、複数の工程のうち第１の工程の製造装置３Ｂと接続され、第１の工程の前工程の制御データに基づいて、製造装置３Ｂを制御する。ロギングデータ再生装置５は、他の工程の製造装置３ａを制御するＰＬＣ１ａであってＰＬＣ１Ｂと接続されていないＰＬＣ１ａが取得した制御データを、前工程の制御データとしてＰＬＣ１Ｂに出力する。ここでいう接続されていないとは、特に、信号線等により電気的に、または、オンラインで接続されていないことを表す。
　ＰＬＣ１ａは、予め外部記憶媒体４ａにロギングファイルを記憶させる。ロギングデータ再生装置５は、外部記憶媒体４ｂからロギングファイルを取得し、取得したロギングファイルから制御データを読み込む。ＰＬＣ１Ｂは、この制御データに基づいて製造装置３Ｂを制御する。これにより、実施の形態１における制御装置は、前工程のＰＬＣ１Ａがなくても前工程の制御データを考慮した動作確認やトラブル解析の実行が可能になる。
　このため、実施の形態１における制御装置は、実績のある既存の製造ラインと同様の製造ラインを他工場に導入する際、当該制御装置の前工程のＰＬＣ１が即座に納入できない場合においても、動作確認等を実行することができる。よって、納入待ち期間を無駄なく利用することができ、新設の製造ラインの立ち上げまでの期間を有効に活用することが可能になる。また、実施の形態１における制御装置は、前工程の制御装置が離れた地域にある場合においても、動作確認等を実行することができる。
　さらに、ロギングデータ再生装置５は、前工程の制御データの周期とＰＬＣ１Ｂの制御周期とが異なる場合、前工程の制御データの周期がＰＬＣ１Ｂの制御周期と一致するように前工程の制御データを補間し、補間したデータをＰＬＣ１Ｂに出力する。このため、実施の形態１における制御装置は、ロギングファイルから取得した前工程の制御データの周期がＰＬＣ１Ｂの制御周期と異なる場合でも、前工程の制御データを用いた製造装置３Ｂの動作確認等の実行が可能になる。
　なお、実施の形態１において、ＰＬＣ１ａはデータロガーユニット１２ａを有し、ＰＬＣ１ｂはデータロガーユニット１２ｂを有することとしたが、これに限られるものではない。データロガーユニット１２に接続されるＰＬＣ１の台数は、何台であっても良い。
　また、実施の形態１において、ＰＬＣ１Ｂはロギングデータ再生装置５を有することとしたが、これに限られるものでもない。ロギングデータ再生装置５に接続されるＰＬＣ１の台数は、何台であっても良い。
　なお、実施の形態１において、ＰＬＣ１ａが予め外部記憶媒体４ａにロギングファイルを記憶させておき、ロギングデータ再生装置５がこのロギングファイルを取得することを説明したが、これに限られるものではない。例えば、既存の製造ラインにおいて、ＰＬＣ１ａ以外の他のＰＬＣ１が製造装置３ａの制御データを有している場合、このＰＬＣ１が、予め外部記憶媒体４ａにロギングファイルを記憶させておくこととしても良い。また、例えば、新設の製造ラインにおいて、ＰＬＣ１ＡとＰＬＣ１Ｂ以外のいずれかのＰＬＣ１が製造装置３ａの制御データを有している場合、このＰＬＣ１が、予め外部記憶媒体４ａにロギングファイルを記憶させておくこととしても良い。このような場合においても、ロギングデータ再生装置５が、外部記憶媒体４ｂからロギングファイルを取得し、ＰＬＣ１Ｂが、取得したロギングファイルから制御データを読み込み、読み込んだ制御データに基づく制御を実行するため、前工程のＰＬＣ１Ａがなくても前工程の制御データを考慮した動作確認等の実行が可能になる。
実施の形態２．
　図１０は、実施の形態２における制御システムの構成を示すブロック図である。図１０を用いて、実施の形態２における制御装置を用いた制御システムについて説明する。なお、実施の形態２において、実施の形態１と同一の名称及び符号を付しているものは、同一または同等の構成を表すものとして説明を省略し、異なる部分を重点的に説明する。また、本発明は、この実施の形態２の記述により限定されるものではない。
　実施の形態２の制御システムは、図１０に示すとおり、図１に示す実施の形態１の制御システムが、さらに外部記憶装置８を備えることとしたものである。外部記憶装置８は、例えば、共有サーバやＰＣ等である。外部記憶装置８は、データロガーユニット１２ａ及びロギングデータ再生装置５のそれぞれと、Ｅｔｈｅｒｎｅｔ（登録商標）ケーブルを介して接続可能に設けられる。つまり、外部記憶装置８は、データロガーユニット１２ａ及びロギングデータ再生装置５との間で、信号線等を介して電気的に、または、オンラインで接続可能である。
　データロガーユニット１２ａには、実施の形態１と同様に、外部記憶媒体４ａが脱着可能に装着される。外部記憶媒体４ａは、製造装置３ａの制御データが格納されたロギングファイルを記憶する。
　外部記憶装置８は、データロガーユニット１２ａからロギングファイルを取得する際に、データロガーユニット１２ａと接続される。ユーザは、設定用ソフトウェアがインストールされた図示しない設定用のＰＣを操作して、データロガーユニット１２ａから外部記憶装置８への各ロギングファイルの転送要否と、転送するタイミングと、を指定する。データロガーユニット１２ａは、各ロギングファイルの転送要否と、転送するタイミングと、に基づいて、外部記憶媒体４ａに記憶されたロギングファイルのうち指定されたロギングファイルを、指定されたタイミングで外部記憶装置８へ転送する。
　外部記憶装置８は、ロギングデータ再生装置５にロギングファイルを転送する際に、ロギングデータ再生装置５に接続される。ロギングデータ再生装置５は、外部記憶装置８と接続された場合に、外部記憶装置８からロギングファイルを取得する。ロギングデータ再生装置５は、取得したロギングファイルを、装着されている外部記憶媒体４ｂに記憶させる。外部記憶装置８からロギングデータ再生装置５への各ロギングファイルの転送要否と、転送するタイミングと、をユーザが指定することとしても良い。
　なお、実施の形態２において、外部記憶装置８は、データロガーユニット１２ａとロギングデータ再生装置５の両方に対し、ユーザが任意のタイミングで接続または切断することができる。外部記憶装置８は、データロガーユニット１２ａに対して、常に接続していなくて良い。また、外部記憶装置８は、ロギングデータ再生装置５に対しても、常に接続していなくて良い。
　以上において説明したように、実施の形態２の制御装置は、ロギングデータ再生装置５が、ＰＬＣ１ａから前工程の制御データを取得した外部記憶装置８を介してロギングファイルを取得する。ＰＬＣ１Ｂは、ロギングデータ再生装置５が取得したロギングファイルから制御データを読み込み、読み込んだ制御データに基づく制御を実行する。このため、実施の形態２における制御装置は、実施の形態１の場合と同様に、前工程のＰＬＣ１Ａがなくても前工程の制御データを考慮した動作確認等の実行が可能になる。
　なお、実施の形態２における外部記憶装置８は、データロガーユニット１２ａに接続され、データロガーユニット１２ａからロギングファイルを取得することを説明したが、これに限られるものではない。例えば、既存の製造ラインにおいて、ＰＬＣ１ａ以外の他のＰＬＣ１が製造装置３ａのデータを有している場合、外部記憶装置８は、このＰＬＣ１の有するデータロガーユニット１２に接続され、ロギングファイルを取得することとしても良い。また、例えば、新設の製造ラインにおいて、ＰＬＣ１ＡとＰＬＣ１Ｂ以外のいずれかのＰＬＣ１が製造装置３ａのデータを有している場合、外部記憶装置８は、このＰＬＣ１の有するデータロガーユニット１２に接続され、ロギングファイルを取得することとしても良い。このような場合においても、ロギングデータ再生装置５が、外部記憶装置８からロギングファイルを取得し、ＰＬＣ１Ｂが、取得したロギングファイルから制御データを読み込み、読み込んだ制御データに基づく制御を実行するため、前工程のＰＬＣ１Ａがなくても前工程の制御データを考慮した動作確認等の実行が可能になる。
　実施の形態１と実施の形態２において、ロギングデータ再生装置５が前工程の制御データとして製造装置３ａの制御データをロギングファイルから読み込み、ＰＬＣ１Ｂに出力することを説明したが、これに限られるものではない。例えば、ＰＬＣ１Ｂは、前工程の製造装置３Ａの制御データだけでなく、そのさらに前工程にあたる製造装置３の制御データを用いて製造装置３Ｂの制御を実行するような場合がある。この場合、ロギングデータ再生装置５は、前工程の制御データとして製造装置３ａの制御データだけでなく、製造装置３ａのさらに前工程にあたる製造装置３の制御データを取り込み、ＰＬＣ１Ｂに出力する。つまり、ロギングデータ再生装置５は、製造装置３Ｂの２つ前やそれ以上前の工程の制御データを、前工程の制御データとして取り込み、ＰＬＣ１Ｂに出力することとしても良い。このような場合においても、前工程の制御データとして製造装置３ａの制御データを用いる場合と同様の効果を奏することができる。
　なお、実施の形態１と実施の形態２において、ロギングデータ再生装置５は、新設の製造ラインを制御する制御システムの有する制御装置に設けられ、ＰＬＣ１Ｂと接続されることを説明したが、これに限られるものではない。ロギングデータ再生装置５は、ＰＬＣ１Ｂを有する制御装置とは別体の装置として設けられることとしても良い。ロギングデータ再生装置５は、例えば、ＰＬＣ１Ｂを有する制御装置とは関係なく製造等されるものであっても良い。このような場合においても、ロギングデータ再生装置５が、制御システムの有する制御装置の一部として設けられる場合と同様の効果を奏することができる。
　さらに、ロギングデータ再生装置５は、ＰＬＣ１Ｂとは別の装置として設けられるのではなく、ＰＬＣ１Ｂの一部として設けられることとしても良い。ロギングデータ再生装置５は、例えば、ＰＬＣ１Ｂの有する所定のユニット等として設けても良い。このような場合においても、ロギングデータ再生装置５がＰＬＣ１Ｂとは別の装置として設けられる場合と同様の効果を奏することができる。
　なお、以上の実施の形態に示した構成は、本発明の構成の一例であり、別の公知の技術と組み合わせたり、一部を省略したりするなど、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更することも可能であることは言うまでもない。
　１ａ，１ｂ，１ｃ，１Ａ，１Ｂ　ＰＬＣ、１２ａ，１２ｂ，１２Ａ　データロガーユニット、１２３ａ　ロギング設定部、１２３１ａ　ロギング対象設定部、１２３２ａ　ロギング周期設定部、１２４ａ　データ収集部、１２５ａ　ファイル生成部、１２６ａ　ファイル保存部、２ａ，２ｂ，２Ａ，２Ｂ　センサ、３ａ，３ｂ，３Ａ，３Ｂ　製造装置、４ａ，４ｂ　外部記憶媒体、５　ロギングデータ再生装置、５３　再生設定部、５３１　出力対象データ設定部、５３２　制御周期設定部、５４　ファイル取得部、５５　データ再生部、６ａ，６ｂ　設定用端末、８　外部記憶装置

Claims (9)

  1. 複数の工程のうち第１の工程の製造装置と接続され、前記第１の工程の前工程のデータに基づいて、前記第１の工程の製造装置を制御する第１のＰＬＣと、
    他の工程の製造装置を制御する第２のＰＬＣであって前記第１のＰＬＣと接続されていない前記第２のＰＬＣが取得したデータを、前記前工程のデータとして前記第１のＰＬＣに出力するデータ再生装置と、
    を備えたことを特徴とする制御装置。
  2. 前記前工程のデータは、前記複数の工程の各製造装置と接続されていない前記第２のＰＬＣが取得したデータである
    ことを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
  3. 前記前工程のデータは、前記第１の工程の前工程に対応する第２の工程の製造装置を制御する前記第２のＰＬＣが取得したデータである
    ことを特徴とする請求項２に記載の制御装置。
  4. 前記データ再生装置は、前記前工程のデータの周期と前記第１のＰＬＣの制御周期とが異なる場合、前記前工程のデータの周期が前記第１のＰＬＣの制御周期と一致するように前記前工程のデータを補間し、補間したデータを前記第１のＰＬＣに出力する
    ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の制御装置。
  5. 前記データ再生装置は、前記前工程のデータを記憶した外部記憶媒体を介して前記前工程のデータを取得する
    ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の制御装置。
  6. 前記データ再生装置は、前記第２のＰＬＣから前記前工程のデータを取得した外部記憶装置を介して前記前工程のデータを取得する
    ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の制御装置。
  7. 前記データ再生装置は、取得すべきデータが設定された設定情報に基づいて、前記前工程のデータのうち任意のデータを取得し、取得したデータを前記第１のＰＬＣへ出力する
    ことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の制御装置。
  8. 前記設定情報は、前記データ再生装置と接続可能な外部機器により設定される
    ことを特徴とする請求項７に記載の制御装置。
  9. 複数の工程のうち第１の工程の製造装置と接続され、前記第１の工程の前工程のデータに基づいて、前記第１の工程の製造装置を制御する第１のＰＬＣに対し、
    他の工程の製造装置を制御する第２のＰＬＣであって前記第１のＰＬＣと接続されていない前記第２のＰＬＣが取得したデータを、前記前工程のデータとして前記第１のＰＬＣに出力する、
    ことを特徴とするデータ再生装置。
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