WO2016185785A1

WO2016185785A1 - トルクセンサ用シャフトの製造設備およびその製造方法

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Publication number: WO2016185785A1
Application number: PCT/JP2016/059045
Authority: WO
Inventors: 正博小牧; 広宣蔦野; 巧吉田
Original assignee: 株式会社中山アモルファス
Priority date: 2015-05-21
Filing date: 2016-03-22
Publication date: 2016-11-24
Also published as: RU2695299C2; US20180148820A1; EP3299786A1; US10418544B2; RU2017144819A3; JP2016217898A; KR20180011206A; CN107850500A; RU2017144819A; EP3299786B1; CN107850500B; KR102420463B1; EP3299786A4; JP6475084B2

Abstract

【課題】　トルクセンサ用シャフトのための好ましい製造設備・製造方法を提供する。【解決手段】　軸状ワークの側面に、金属ガラス皮膜を含む磁歪部を所定の模様に形成することによりトルクセンサ用シャフトを製造する設備である。a)軸状ワークを搬送パレットＡ上に回転可能に取り付け、b)軸状ワークの予熱装置２０、軸状ワークの側面への金属ガラス皮膜の形成用溶射装置４０、当該皮膜上に上記模様に対応する被覆部を設けるマスキング装置６０、および当該被覆部を含む金属ガラス皮膜へ向けてのショットブラスト装置７０を含む各作業装置に対して、上記の搬送パレットＡを順次搬送し、c)各作業装置において、搬送パレットＡ上の上記軸状ワークを回転させながら、その軸状ワークに対し予熱、溶射、マスキングおよびショットブラストをそれぞれ行うことを特徴とする。

Description

トルクセンサ用シャフトの製造設備およびその製造方法

　本発明は、シャフト（回転軸）の表面にトルク検出用の磁歪部を有するトルクセンサ用シャフトの製造設備および製造方法に関するものである。

　磁歪部を有するシャフトを用いてトルクを検出するトルクセンサについて、一般的な構造を図１４に示す。トルクを受けるシャフト１が軸受６を介してハウジング７に支持されており、そのシャフト１の一部表面において全周（３６０°）に磁歪部Ｖ・Ｗが形成されている。また、ハウジング７の内側で、磁歪部Ｖ・Ｗの各外周に近い位置にコイルＸ・Ｙが配置されている。磁歪部Ｖ・Ｗとしては、軸１の側面に、図示のとおり、軸方向に対して互いに逆向きに傾斜した螺旋状（いわゆるシェブロン状）の縞模様に磁性材料が形成される（つまり、磁性体の皮膜や突出部を螺旋状の複数の線として形成される）のが一般的である。ハウジング７には、図示のようにアンプ基板８や信号線用のコネクタ９なども付設される。
　シャフト１にトルクが作用すると、磁歪部Ｖ・Ｗに引張応力と圧縮応力とがそれぞれ発生し、その結果、相反する磁歪効果によって各磁歪部Ｖ・Ｗの透磁率がそれぞれ増加・減少する。この透磁率の変化をもとにコイルＸ・Ｙに誘導起電力が発生するため、直流変換や両者の差動増幅を行うことにより、トルクの大きさに比例した電圧出力が得られるわけである。

　下記の特許文献１には、上記形式のトルクセンサに使用できる、トルク検出特性にすぐれたシャフトが開示されている。すなわち、表面に金属ガラス（アモルファス合金）の皮膜を含む磁歪部を設けたシャフトで、当該皮膜を、火炎を急速冷却する方式の溶射によってシャフトの表面に形成したものである。火炎を急速冷却する溶射とは、金属粉末を含む火炎を噴射して金属粉末を溶融させるとともに、当該火炎を、それがシャフト表面に達する前より外側からの冷却ガスによって冷却する方式の溶射である。

　トルクセンサ用シャフトとして特許文献１に記載のものを使用すると、つぎのような理由によりトルク検出特性が高くなる。すなわち、
　a)　アモルファス合金は高透磁率で高磁歪であるため、磁歪部に金属ガラスを有するシャフトを使用するトルクセンサは、トルクの検出感度が高い。
　b)　金属ガラス皮膜を溶射によってシャフトの表面に形成することから、同皮膜とシャフトとの密着性が高く、したがって、同皮膜を接着剤等で固定する場合等に比べてヒステリシスが少ない。
　c)　同皮膜を溶射によって形成すると、アモルファス化と同時にシャフト上に皮膜が積層され密着するため、簡単かつ迅速に磁歪部が形成される。金属粉末を含む火炎を噴射して金属粉末を一旦溶融させるとともに急速冷却する方式をとると、シャフト表面に対する金属ガラス皮膜の密着性がとくに高く、上記b)の面で有利である。

再表ＷＯ２０１２／１７３２６１号公報

　上記した急速冷却方式の溶射によってシャフトの表面に金属ガラス皮膜を形成するためには、シャフトを適切に予熱して溶射温度も制御する必要がある。形成した皮膜をトルク検出に適した模様の磁歪部とするためにも種々の処理が必要である。溶射およびその前後のいずれかの処理が不適切だと、金属ガラス層が形成されなかったり、シャフトに対する当該皮膜の密着性が不十分となり、トルクの検出特性が確保できない。
　そのため、トルクセンサ用シャフトを量産するためには、溶射とその前後の処理を適切かつ円滑に行うことができる設備および方法を採用しなければならない。

　本発明は、以上のような目的から、トルクセンサ用シャフトのための好ましい製造設備および製造方法を提供しようとするものである。

　発明の製造設備は、軸状ワーク（中空または中実のもの）の側面に、金属ガラス皮膜を含む磁歪部を所定の模様に形成することによりトルクセンサ用シャフトを製造する設備であって、
　・　上記軸状ワークを搬送パレット上に回転可能に取り付け、
　・　軸状ワークの予熱装置、軸状ワークの側面への金属ガラス皮膜の形成用溶射装置、当該皮膜上に上記模様に対応する被覆部を設けるマスキング装置、および当該被覆部を含む金属ガラス皮膜へ向けてのショットブラスト装置を含む各作業装置に対して、上記の搬送パレットを順次搬送し、
　・　各作業装置において、搬送パレット上の上記軸状ワークを回転させながら、その軸状ワークに対し予熱、溶射、マスキングおよびショットブラストをそれぞれ行う
　ことを特徴とする。
　図１には、そのような構成の設備について一例を示している。

　こうした設備によると、各軸状ワークの側面に、金属ガラス皮膜を含む所定模様の磁歪部を形成して、効率的にトルクセンサ用シャフトを製造することができる。軸状ワークを取り付けた搬送パレットを上記各作業装置の位置に順次搬送することにより、各軸状ワークに予熱、溶射、マスキングおよびショットブラストをそれぞれ行うこと、ならびに、搬送パレット上で上記軸状ワークを回転させるため、当該ワークの一部側面における全周域に上記の予熱、溶射、マスキングおよびショットブラストの各処理を行えることがその理由である。
　なお、上記のマスキングは、軸状ワークにおける金属ガラス皮膜上に、磁歪部としての螺旋状の縞模様と同じ模様の樹脂皮膜（たとえばゴム皮膜）を形成するプロセスである。そうした樹脂皮膜を被覆部とし、当該被覆部を有する金属ガラス皮膜に向けてショットブラストを行うことにより、被覆部のない部分の金属ガラス皮膜のみを除去し、もって金属ガラス皮膜を上記縞模様の磁歪部とすることができる。

　上記製造設備においては、
　・　各軸状ワークが、上記磁歪部の形成用部分を長さ方向の中央部付近に有する中空の（つまり筒型の）ものであること、
　・　上記搬送パレット上の当該ワークについて、全長（全体）を、上記搬送パレットにおける棒状ホルダーの外側に被せて回転可能に支持し、両端部に対称形状（ほぼ対称のものを含む）の筒状カバーをそれぞれ被せることにより上記形成用部分を露出させること、
　・　および、上記の各筒状カバーが、上記ワークの一部を露出させる開口を有すること
　をさらに特徴とするものが好ましい。
　そうした例を図２・図３に示している。図３中の符号１が軸状ワークであり、符号２Ｂ・３が棒状ホルダーおよび筒状カバーである。図３（ｂ）に示す筒状カバー３における開口３ｂが、軸状ワーク１の一部を露出させる上記の開口である。

　上のようにすると、図３（ｅ）のとおり、中空の各軸状ワーク１は棒状ホルダー２Ｂに被せられて搬送パレットＡ上に回転可能に支持され、かつ、両端部を筒状カバー３で覆われて中央部付近の磁歪部形成用部分１ａを露出させた状態になる。筒状カバー３は、磁歪部形成用部分１ａを露出させて他の部分を覆うので、上述の各作業装置により、露出させた磁歪部形成用部分１ａのみに対し予熱や溶射、マスキングおよびショットブラストを行って磁歪部を円滑に形成できることになる。
　上記の各筒状カバーとして、軸状ワークの両端部に対称形状のもの（形状が対称で寸法・材質等にも差がないもの）を使用すること等から、軸状ワークの中央部にある磁歪部形成用部分を予熱して溶射する際、当該部分の温度の偏りを防止することができる。磁歪部形成用部分の両側を筒状カバーが対称に等しく覆うこと、および、軸状ワークの全長が棒状ホルダーの外側に被せられるため、当該ホルダーと一体になった軸状ワークにつき、いずれかの端部寄りに熱容量の偏りが生じることが避けられること、がその理由である。
　また、上記の各筒状カバーが上記のとおり開口を有するため、軸状ワークに対する適切な予熱を行いやすい。仮にそのような開口がないとすると、露出させた磁歪部形成用部分とその周辺をバーナー等で予熱したとき、磁歪部形成用部分以外の部位を加熱しがたいことから、当該部分のうち端部寄りの箇所に温度の低い部分が発生しやすい。各筒状カバーに上記のとおり開口を設けて、磁歪部形成用部分の外側をも加熱することにより、はじめて当該部分の全体を均一に予熱することができる。
　以上のとおり、上記した中空の軸状ワークに対して上記のとおりホルダーおよび筒状カバーを使用することにより、磁歪部形成用部分を適切に予熱することができ、もって好ましい溶射皮膜の形成が可能になる。

　あるいは、上記製造設備においては、
　・　上記の各軸状ワークが、上記磁歪部の形成用部分を長さ方向の中央部付近に有する中実の（つまり中空でない棒状の）ものであること、
　・　上記搬送パレット上の当該ワークについて、一端側を、上記搬送パレットにおけるスリーブ状ホルダーの内側に挿入して回転可能に支持するとともに筒状カバーで覆い、他端側にも、上記ホルダーと対称形状（ほぼ対称のものを含む）のスリーブ状ホルダーを取り付けるとともに上記筒状カバーと対称形状（ほぼ対称のものを含む）の筒状カバーを被せることにより、上記形成用部分を露出させること、
　・　ならびに、上記の各ホルダーおよび上記の各筒状カバーが、上記ワークの一部を露出させる開口を有すること
　を特徴とするものも好ましい。
　そうした例を図２・図４に示している。図中の符号１が軸状ワークであり、同２・３がホルダーおよび筒状カバーである。図４（ｃ）・（ｂ）に示すホルダー２・筒状カバー３における開口２ｃ・３ｂが、軸状ワーク１の一部を露出させる上記の開口である。

　上のようにすると、図４（ｄ）のとおり、各軸状ワーク１の一端側（図示の例では下端側）は、ホルダー２によって搬送パレットＡ上に回転可能に支持され、かつ、筒状カバー３で覆われて上記磁歪部の形成用部分１ａを露出させた状態になる。そして各軸状ワーク１の他端側（図示の例では上端側）についても、上記一端側のホルダー２と同様のホルダー２が取り付けられ、上記一端側の筒状カバー３と同様の筒状カバー３で覆われて上記形成用部分１ａを露出させた状態になる。一端側および他端側の筒状カバー３は、軸状ワーク１の中央部の磁歪部形成用部分１ａを露出させて他の部分を覆うので、上述の各作業装置により、露出させた磁歪部形成用部分１ａのみに対し予熱や溶射、マスキングおよびショットブラストを行って磁歪部を円滑に形成できることになる。
　上記の各ホルダーおよび各筒状カバーとして、軸状ワークの一端側および他端側において対称形状のもの（形状が対称で寸法・材質等にも差がないホルダーおよび筒状カバー）を使用するため、軸状ワークの中央部にある磁歪部形成用部分を予熱して溶射する際、温度の偏りを防止しやすい。磁歪部形成用部分の両側を筒状カバーが対称に等しく覆うこと、および、磁歪部形成用部分の両側で、ホルダーに装着されてホルダーと一体になった軸状ワークの熱容量にほとんど差が生じないことに基づき、当該部分においていずれかの端部寄りに温度が偏ることを防止できるのである。
　また、各ホルダーおよび各筒状カバーが上記のとおり開口を有するため、軸状ワークに対する適切な予熱を行いやすい。各ホルダーおよび各筒状カバーが有する開口を通して磁歪部形成用部分の外側をも加熱することにより、前述の場合と同様に当該形成用部分の全体を均一に予熱できるからである。
　以上のとおり、上記した中実の軸状ワークに対して上記のとおりホルダーおよび筒状カバーを使用することにより、磁歪部形成用部分を適切に予熱することができ、もって好ましい溶射皮膜の形成が可能になる。

　上記製造設備については、
　・　各作業装置に、上記の搬送パレットを一定の経路に沿って搬送し一定位置に停止させる搬送装置が付設され、
　・　当該搬送装置に、一定位置に停止させられた搬送パレット上の軸状ワークを回転させるためのモータと、そのモータの駆動力を搬送パレットに伝えるための駆動側マグネットカップリングとが設けられ、
　・　搬送パレットに、一定位置に停止させられたとき上記駆動側マグネットカップリングから非接触状態で駆動力を受ける被駆動側マグネットカップリングと、当該駆動力を軸状ワークのそれぞれに伝えるための伝動機構とが設けられている
　といったものが好ましい。
　図２には、そのような搬送パレットＡと搬送装置Ｂとを有する製造設備の一例を示している。

　上のような設備であれば、搬送パレットは搬送装置によって各作業装置間を搬送され、各作業装置における作業に適した一定位置に停止したとき、当該搬送装置におけるモータの駆動力を受けて、自身が有する軸状ワークを回転させることができる。その際、搬送装置のモータの駆動力は、搬送装置に設けられた駆動側マグネットカップリングと搬送パレットに設けられた被駆動側マグネットカップリングとの間の磁力結合、ならびに搬送パレット上の伝動機構を経由して軸状ワークに伝えられる。
　このような構成を採用する場合、搬送パレットには、軸状ワークを回転させるための駆動源（モータ等）を搭載する必要がない。そのため、搬送パレットを、軽量かつシンプルであって低コストの構成にすることができる。
　また、マグネットカップリングによって非接触の動力伝達が可能であるため、搬送パレットと搬送装置との間で動力伝達用機器を機械的に噛み合わせる手段が不要となる。つまり、搬送パレットを定位置に停止させるだけで、継手等を噛み合わせることなく、搬送装置から搬送パレットへの動力伝達が可能になる。こうした点でも、設備構成を簡単化できる利点がある。

　上記製造設備については、さらに、
　・　上記搬送パレット上に複数個の軸状ワークを取り付けるものとし、
　・　上記予熱装置におけるバーナー、溶射装置における溶射ガン、マスキング装置における被覆材塗布用ローラ、およびショットブラスト装置におけるブラストガンのうち一以上が、搬送パレット上に設けられる軸状ワークの数よりも少なく、搬送パレット上の軸状ワークの配列方向に移動可能である
　といったものも好ましい。
　図１０に例示する溶射装置４０においても、搬送パレットＡ上の軸状ワーク１の数が１２であるのに対して溶射ガン４７の数は４と少なく、溶射装置４０内のサーボモータ４４によって各溶射ガン４７は左右に移動可能である。

　搬送パレット上に複数個の軸状ワークを取り付ける設備では、上記の各作業装置に、バーナー、溶射ガン、被覆材塗布用ローラおよびブラストガンが軸状ワークと同数配置されるのが、能率面で理想的である。各作業装置において、そこにある搬送パレット上のすべての軸状ワークに対して同時に作業を行い、もってトルクセンサ用シャフトを能率的に製造できるからである。
　しかし、バーナー、溶射ガン、被覆材塗布用ローラおよびブラストガンのうち一以上の数を軸状ワークの数よりも少なくした上記の製造設備は、設備コストに関してメリットがある。すなわち、そのような設備は、バーナー等すべての機器を軸状ワークと同数そなえる前記の設備に比べて、製造能力こそ高くはないが、バーナー等の機器数が少ない分だけ設備コストが低廉である。数が少ない機器は、軸状ワークの配列方向に移動させることにより、すべての軸状ワークに対して必要な作業を実施することが可能である。
　しかも、作業装置のそれぞれに同時に一つの搬送パレットを供給して同時に各作業を行わせる場合には、バーナー等の各機器の数を、各作業装置の工程の所要時間に合わせて適切に設定すれば、数が少ないことによる能率の低下を最小限に抑えることが可能である。すなわち、所要時間の短い工程を行う作業装置については、当該作業のための機器を少なくし、それらの各機器を、他の作業装置が所要時間の長い工程を行っている間に、複数の軸状ワークに対して移動させ作業させるようにすれば、全体の工程が大きく遅延することが避けられる。

　上記製造設備について、あるいは、
　・　上記予熱装置におけるバーナー、溶射装置における溶射ガン、マスキング装置における被覆材塗布様ローラ、およびショットブラスト装置におけるブラストガンのうち一以上が、搬送パレット上の軸状ワークよりも高い位置にある支持手段により支持されているのもよい。
　図６、図７、図８はそれぞれ予熱装置、溶射装置ショットブラスト装置を例示するが、それらにおいてバーナー、ブラストガンおよび溶射ガンは、搬送パレット上の軸状ワークよりも高い位置にある支持手段（支持フレーム等）で支持されている。
　バーナーや溶射ガン、被覆材塗布様ローラ、またはブラストガンがそのような支持手段にて高い位置から支持されていると、設備のフロア上に作業者用の空間（作業者が、製造に付随する作業や点検・整備等を行うためのためのスペース）が確保されやすい。

　上記製造設備は、さらに、
　・　上記搬送装置による搬送経路と直角の方向に上記搬送パレットを横行させることのできる横行装置が、上記搬送装置に併設されていて、それら双方の装置による周回経路に沿って搬送パレットが搬送されることにより上記の各作業装置間に搬送パレットが順次搬送される、といったものも好適である。
　図１および図１３の各製造設備においても、横行装置Ｃ（Ｃ１・Ｃ２）が２台ずつ配置されていて、搬送装置Ｂとともに搬送パレットＡ用の周回経路を構成している。
　横行装置が併設されないときは、多くの場合、搬送パレット用の搬送経路を直線状（一方向または往復の経路）に構成せざるを得ない。しかし、上記のとおり横行装置を併設すれば、直線状の経路ではなく周回経路に沿って搬送パレットを搬送できる。そうなると、設備の全長を短くして設備をコンパクトにすることが可能になる。

　上記製造設備は、とくに、
　・　溶射装置が、金属粉末を含む火炎を溶射ガンより噴射して金属粉末を溶融させ、当該火炎を、それが軸状ワークの表面に達する前より外側からの冷却ガスにて冷却する方式の溶射を行うととともに、
　・　溶射される軸状ワークの表面の温度を非接触式温度計により計測し、当該温度の計測値に応じて溶射ガンの位置を逸らすことにより溶射中の軸状ワークの温度を一定に保つ
　といった特徴を有すると好ましい。
　図１０に例示する溶射装置４０においても、上記のとおり溶射を行う溶射ガン４７と、軸状ワークの表面の温度を計測する非接触式温度計４８とが併設されており、上記の手法によって溶射中の軸状ワーク１の温度をコントロールしている。
　このような溶射装置を有するトルクセンサ製造設備によれば、溶射中の軸状ワークの表面を好ましい温度域に保てることから、軸状ワークの表面に金属ガラス皮膜を適切に形成することができる。

　上記製造設備には、さらに、
　・　ショットブラストを行った後に上記被覆部を除去するクリーニング装置として、ワイヤブラシロールを流体圧シリンダーにて軸状ワークの側面に押し付ける構造を有し、流体圧シリンダーの動作部とワイヤブラシローラとの間に、押付け圧の設定用スプリングを含むものが設けられていると好ましい。
　図１２に、そのようなクリーニング装置の一例を示している。図中、符号８９がワイヤブラシローラであり、符号８７が押付け圧の設定用スプリングである。
　トルクセンサ製造設備がこのようなクリーニング装置を有すると、ショットブラストを行って用済みとなった上記被覆部を除去しシャフトの表面を清掃するという作業をも、同設備が自動的に実施できる。そのため、トルクセンサシャフトの製造に関する作業員の作業負担が一層軽減されることになる。
　なお、軸状ワークの側面に押し付けるワイヤブラシローラの押付け圧は、上記スプリングの選定によって適切に設定できる。したがって、当該押付け圧が強すぎたり弱すぎたりすることを防止できる。

　発明によるトルクセンサの製造方法は、
　・　軸状ワークの側面に、金属ガラス皮膜を含む磁歪部を所定の模様に形成することによりトルクセンサ用シャフトを製造する方法であって、
　・　上記いずれかに記載した製造設備を使用し、上記各作業装置において、搬送パレット上の上記軸状ワークを回転させながら、その軸状ワークに対して予熱、溶射、マスキングおよびショットブラストを行うことを特徴とする。
　この方法によれば、上述の設備を用いて円滑にトルクセンサ用シャフトを製造することができる。

　発明の製造設備および製造方法によれば、トルクセンサ用シャフトの製造に必要な溶射とその前後の処理を、定められた手順および条件に沿って適切に行うことができる。そのため、品質のすぐれたトルクセンサ用シャフトを円滑に量産することが可能になる。

実施例であるシャフト製造設備の全体配置を示す平面図である。軸状ワーク１用の搬送パレットＡと搬送装置Ｂとを示す図で、図２（ａ）は正面図、同（ｂ）は側面図、同（ｃ）は、搬送パレットＡと搬送装置Ｂとに設けたマグネットカップリングにおける磁極の配置図である。中空の軸状ワーク１と、搬送パレットＡ上でそれを取り付けるホルダー２Ｂ、およびそれらに被せられる筒状カバー３を示す正面図である。図３（ａ）は中空の軸状ワーク１を、同（ｂ）は筒状カバー３を、同（ｃ）はホルダー２Ｂを、同（ｄ）は上部ホルダー２Ｕを示し、同（ｅ）はそれらの取り付け状態を示している。中実の軸状ワーク１と、搬送パレットＡ上でそれを取り付けるホルダー２、およびそれらに被せられる筒状カバー３を示す正面図である。図４（ａ）は中実の軸状ワーク１を、同（ｂ）は筒状カバー３を、同（ｃ）はホルダー２を示し、同（ｄ）はそれらの取り付け状態を示している。搬送パレットＡへの軸状ワーク１の着脱装置１０を示す側面図である。予熱装置２０を示す側面図である。ショットブラスト装置３０・７０を示す側面図である。溶射装置４０を示す側面図である。溶射装置４０のうち溶射ガン４７を示す詳細図である。溶射装置４０を示す平面図である。マスキング装置６０を示す側面図である。クリーニング装置８０を示す側面図である。他の実施例であるシャフト製造設備の全体配置を示す平面図である。トルクセンサの一般的な構造を示す縦断面図である。

　発明の一実施例としてトルクセンサ用シャフトの製造設備を図１に示す。この設備は、後述する着脱装置１０と予熱装置２０、ショットブラスト装置３０、溶射装置４０、マスキング装置６０、ショットブラスト装置７０、クリーニング装置８０等の作業装置を、図示のとおり配置したものである。トルクセンサ用シャフトとするための中空または中実の軸状ワーク１（図３・図４参照）を上記各作業装置に順次搬送して、各軸状ワーク１に各作業装置による処理を施す。そうすることによって、金属ガラス皮膜を含む磁歪部を各軸状ワーク１上に形成し、トルク検出特性にすぐれたシャフトを製造する。

　図１の製造設備では、軸状ワーク１の搬送を、図２（ａ）・（ｂ）に示す搬送パレットＡおよび搬送装置Ｂを使用して行う。搬送パレットＡは、フレームＡ１内に軸状ワーク１用の支持部材Ａ２を回転可能に設けるとともに、それへの回転力の伝動機構Ａ３等を設けたものである。搬送装置Ｂは、上記各作業装置ごとにその下部に付設したもので、モータＢ１と伝動機構Ｂ２とに連結された搬送用ローラＢ３により、上記搬送パレットＡを長手方向へ搬送できるよう構成している。搬送パレットＡの搬送を案内する目的で、搬送装置Ｂには、搬送経路の片側にガイドローラＢ４を設けるとともに、エアシリンダＢ５に連結された押し当てローラＢ６を搬送経路の他の側に設けている。双方のローラＢ４・Ｂ６により搬送パレットＡをはさみ付けて、その位置が左右へずれることを防止している。
　軸状ワーク１を回転させる手段として、搬送装置ＢにはモータＢ７を設け、その駆動軸の上端にマグネットカップリングＭＣの駆動側継手Ｂ８を取り付けている。そして搬送パレットＡの上記伝動機構Ｂ２の下端部分に、マグネットカップリングＭＣの被駆動側継手Ａ４を取り付けている。これらにより、搬送パレットＡが所定の位置まで搬送されて停止したとき、搬送装置ＢのモータＢ７の駆動力によって搬送パレットＡの支持部材Ａ２を回転させることができる。こうした支持部材Ａ２上に軸状ワーク１を取り付けると、軸状ワーク１は支持部材Ａ２とともに各作業装置において回転させ得るため、その一部領域の全周に磁歪部を形成するための作業（予熱・溶射・マスキング・ショットブラスト・クリーニング）を円滑に実施することができる。

　搬送装置Ｂと搬送パレットＡにおけるマグネットカップリングＭＣの駆動側継手Ｂ８と被駆動側継手Ａ４との各対向面には、図２（ｃ）のとおり区分して磁極を配置している。すなわち、上記各継手Ｂ８・Ａ４の双方とも中央部に同極（図示の例ではＮ極）を置き、その周囲にＮ極とＳ極とを交互に配置する。このような磁極配置を有する継手Ｂ８・Ａ４を使用すると、スラスト方向の引張りが軽減されるため、搬送時の抵抗を抑えることができる。
　また、搬送装置Ｂにおける上記搬送用ローラＢ３として、両端を除く中ほどの部分を細くしたものを使用している。搬送パレットＡの移動時に、上記の継手Ａ４と搬送用ローラＢ３とが接近すると磁力による無用な引張り力が作用するため、搬送用ローラＢ３について中ほどの部分を細くし、その間隔を広くとるものである。

　図１の製造設備には、上記した搬送装置Ｂのほか、搬送装置Ｂによる搬送経路と直角の方向に搬送パレットＡを移動させる横行装置Ｃ１・Ｃ２をも配置している。そのような横行装置Ｃ１・Ｃ２を、図示のとおり一連の搬送装置Ｂによる連続した搬送経路の端部に配置したことにより、この製造設備では、搬送パレットＡを矩形状の周回経路に沿って各作業装置間に搬送することができる。

　軸状ワーク１は、図３（ａ）・図４（ａ）のとおり長さ方向の中央部に磁歪部形成用部分１ａを有するものである。一般的には炭素鋼製であるが、チタンやステンレス鋼のものを軸状ワーク１とすることもある。また、軸状ワーク１は図３（ａ）のように中空であっても、図４（ａ）のように中実であってもよい。搬送パレットＡ（図２参照）の支持部材Ａ２上には、そのような軸状ワーク１を通常１２個、図３（ｅ）または図４（ｄ）の状態で取り付ける。

　軸状ワーク１が中実である場合、支持部材Ａ２には図４（ｃ）に示すホルダー２をボルト等で固定し、軸状ワーク１は、下端側をそのホルダー２内に挿入することにより支持させている。ホルダー２は脚部２ａの先に中空部分２ｂを有し、その中空部分２ｂに、軸状ワーク１の下端側を相対回転しないよう密に挿入することができる。ホルダー２には、側壁の４箇所に長円状の開口２ｃを形成して、上記中空部分２ｂを外部に通じさせている。
　支持部材Ａ２上のホルダー２にはさらに、図４（ｂ）に示す筒状カバー３を取り付けている。筒状カバー３は、溶射等の作業が軸状ワーク１の磁歪部形成用部分１ａにのみ行われるように軸状ワーク１の両端側を覆う治具である。筒状カバー３の穴３ｃからホルダー２のネジ穴２ｄに留めネジを差し入れることにより、筒状カバー３をホルダー２に固定する。筒状カバー３についても、側壁の４箇所に、内外に貫通する長円状の開口３ｂを形成している。
　ホルダー２に対し軸状ワーク１が相対回転してしまうことを避けるために、図４（ｃ）のとおりホルダー２の側部にネジ穴２ｅを貫通させ、また図４（ｂ）のとおり筒状カバー３の対応箇所（ネジ穴２ｅに重なる外側位置）に貫通孔３ｅを形成している。筒状カバー３の貫通孔３ｅからホルダー２のネジ穴２ｅ内に留めネジ（図示省略）を嵌め入れ、その先端をホルダー２の内側へ突出させることによって、軸状ワーク１の回り留めとするのである。

　一方、軸状ワーク１の上端側にも、上記ホルダー２と同一（対称）形状・同一寸法・同一材質（炭素鋼）のホルダー２を下端側と対称に取り付け、そのホルダー２にも、上記筒状カバー３と同一（対称）形状・同一寸法・同一材質（炭素鋼）の筒状カバー３を被せている。搬送パレットＡ上において軸状ワーク１の上端側は支持する必要がないので、ハンドリング等のためには上端側にホルダー２は不要であるが、下端側と同じホルダー２および筒状カバー３を取り付けることにより、下端側と熱的な条件を等しくしたのである。つまり、ホルダー２および筒状カバー３を含む軸状ワーク１の熱容量を上端側と下端側とで同じにし、もって磁歪部形成用部分１ａを適切に予熱・溶射できるようにしている。
　また、上下双方のホルダー２と筒状カバー３が上記のとおり側壁に開口２ｃ・３ｂを有することも、軸状ワーク１に対する予熱を適切に行ううえで有利である。それらの開口２ｃ・３ｂを通じて磁歪部形成用部分１ａの外側（上寄り・下寄りの各部位）をも加熱することにより、当該部分１ａの全体を均一に予熱できるからである。

　軸状ワーク１が中空である場合は、支持部材Ａ２には図３（ｃ）に示す棒状の下部ホルダー２Ｂをボルト等で固定し、軸状ワーク１は、全長をそのホルダー２Ｂ上に被せることにより支持させている。ホルダー２は先端部付近にスプライン２Ｂｈを有し、軸状ワーク１のスプライン１ｃと結合して当該ワーク１の回り止めの機能をなす。
　支持部材Ａ２上のホルダー２Ｂには、図３（ｂ）に示す筒状カバー３をも取り付けている。筒状カバー３は、図４（ｂ）のものと同様の目的で使用する治具であり、穴３ｃからホルダー２のネジ穴２Ｂｄに留めネジを差し入れることにより、ホルダー２Ｂに固定される。また、図３（ｂ）の筒状カバー３についても、側壁の４箇所に、内外に貫通する開口３ｂを形成している。

　中空の軸状ワーク１に関しては、上端側に、上記の下部ホルダー２Ｂとは基部の形状が略同一（対称）で寸法・材質（炭素鋼）も同一の上部ホルダー２Ｕを取り付けて図３（ｅ）のようにホルダー２Ｂと結合させ、そのホルダー２Ｕにも、上記筒状カバー３と同一（対称）形状・同一寸法・同一材質（炭素鋼）の筒状カバー３を取り付けている。ホルダー２Ｂとホルダー２Ｕとを結合させた全体のホルダー形状が上下に対称となるようにし、かつ、筒状カバー３も上下対称に配置することによって、上端側・下端側とで熱的な条件を等しくし、もって磁歪部形成用部分１ａを適切に予熱・溶射できるようにしたのである。また、上下双方の筒状カバー３の側壁に開口３ｂを形成している点も、図４の例と同様、軸状ワーク１の予熱を均一に行うことを可能にする。

　図１の製造設備内に設置した複数の作業装置のうち、端部に設けた着脱装置１０は、図５のように構成している。着脱装置１０は、搬送パレットＡに対して軸状ワーク１を取り付けたり取り外したりするもので、昇降用モータ１１によって昇降ロッド１２を昇降させるようにし、当該昇降ロッド１２の先に、図３（ｅ）・図４（ｄ）において上側に設けるホルダー２・２Ｕ用のチャック１３を装備している。筒状カバー３と軸状ワーク１とを取り付けた当該ホルダー２の円盤２Ｕｆを、そのチャック１３で保持し、上下に移動させることにより、下方のホルダー２に対して着脱することができる。

　着脱装置１０の隣（下流側）に配置した予熱装置２０は図６の構成を有している。すなわち、支持フレーム２１上に昇降用モータ２３を取り付け、それによって昇降ロッド２４を昇降させる。昇降ロッド２４の先にはガスバーナ２５を設けているため、それによって搬送パレットＡ上の軸状ワーク１を予熱することができる。搬送パレットＡは、マグネットカップリングＭＣを介し搬送装置Ｂから駆動力を受けるため、軸状ワーク１は回転しながら均一に予熱を受けることができる。
　予熱装置２０の上記支持フレーム２１は車輪２２を設けて台車状にし、それによってバーナ２５を前後（軸状ワーク１の配列方向）に移動できるようにしている。そのためには図１０（後述の溶射装置４０）におけるサーボモータ４４および連結棒４３と同様のモータおよび連結棒（いずれも図示せず）を使用して、支持フレーム２１を移動させ得るようにした。そうすることにより、軸状ワーク１に対するガスバーナ２５の位置を微調整し、またはバーナ２５を隣接の軸状ワーク１へ移動させる（バーナ２５の数が軸状ワーク１の数より少ない場合）ことができる。

　ショットブラスト装置３０および同７０は、図７のように構成した作業装置である。すなわち、支持フレーム３１上に昇降用モータ３３を取り付け、そのモータ３３によって昇降ロッド３４を昇降させる。昇降ロッド３４の先にブラストガン３５を設け、それによって軸状ワーク１の磁歪部形成用部分１ａにショットブラストをかける。
　図１において予熱装置２０の下流隣接位置に配置したショットブラスト装置３０は、溶射に先立って軸状ワーク１の磁歪部形成用部分１ａに微細な凹凸を形成する目的で使用する。また、マスキング装置６０よりも下流側に設けたショットブラスト装置７０は、溶射後の金属ガラス皮膜上に縞模様等にマスキングされた磁歪部形成用部分１ａに向けてショットブラストを行い、マスキングされない部分の金属ガラス皮膜を除去する目的で使用する。
　これらショットブラスト装置３０・７０も、上記予熱装置２０および後述の溶射装置４０と同様に、車輪３２やモータ、連結棒等の作用で軸状ワーク１の配列方向に移動することができる。

　ショットブラスト装置３０の下流側隣接位置に配置した溶射装置４０は、図８～図１０に示す構成を有している。まず、図８のとおり、支持フレーム４１上に昇降・横行用アクチュエータ４５を取り付けて、昇降ロッド４６を昇降させるとともに前後（軸状ワーク１の配列方向）に横行できるようにし、昇降ロッド４６の先に溶射ガン４７を設けている。溶射ガン４７による溶射の際、軸状ワーク１を回転させるとともに上記アクチュエータ４５で溶射ガン４７を昇降・横行させることにより、軸状ワーク１の磁歪部形成用部分１ａに、同部分１ａの温度コントロールをしながら溶射皮膜を均一に形成する。支持フレーム４１には車輪４２を取り付けているので、図１０に示すサーボモータ４４と連結棒４３等によって溶射ガン４７を軸状ワーク１の配列方向に移動することができる。図１０のとおり軸状ワーク１の数（１２）に比べて溶射ガン４７の数（４）は少ないが、上記のとおり溶射ガン４７が移動可能であることにより、すべての軸状ワーク１に順次に溶射を実施でき、また溶射ガン４７の位置を微調整することができる。

　溶射ガン４７は、図９に示す構造の粉末式フレーム溶射ガンであって、火炎を急速冷却することにより、シャフトの表面に金属ガラス（アモルファス合金）皮膜を形成できるものである。
　図示のように溶射ガン４７は、ガン本体４７ａの前部に、外部冷却装置とも言える二重管の筒状体４７ｃ等を取り付けたものである。溶射ガン４７には、溶射する材料粉末を搬送ガス（たとえば窒素）とともに供給する管と、燃料（アセチレンまたはエチレン）および酸素の各供給管、ならびに内部冷却ガス（たとえば窒素）の供給管とが接続されている。溶射ガン４７の前端にはノズル４７ｂがあり、それより火炎と溶射粉末材料とを噴射する。上記の内部冷却ガスは、ノズル４７ｂの周囲に接する位置から吹き出してノズル４７ｂの冷却と火炎の温度調節をする。図示の筒状体４７ｃは、溶射ガン４７が噴射する火炎Ｆの前半部分（ノズル４７ｂに近い部分。材料粉末の溶融領域）において火炎Ｆと外気とを隔てるとともに、二重管の先端部より火炎Ｆの後半部分に冷却ガス（たとえば窒素）Ｇを吹き出して火炎Ｆを冷却する。
　この溶射ガン４７は、皮膜とする合金と同一成分の材料粒子を火炎Ｆとともにノズル４７ｂから噴射し、当該材料粒子を火炎Ｆによって溶融させたうえ上記冷却ガスＧで冷却することにより、軸状ワーク１の表面に金属ガラス皮膜を形成することができる。火炎Ｆの速度は３０～４０ｍ／ｓ程度とし、火炎Ｆの温度は中心部付近が１０００～１２００℃となるようにする（材料粒子に応じてそれぞれ調整する）。火炎Ｆは、筒状体４７ｃとそれより噴出される冷却ガスＧに囲まれて基材（軸状ワーク１）に達するため、金属ガラス皮膜中に酸化物の介在する量を抑制できる。
　溶射装置４０によって軸状ワーク１の磁歪部形成用部分１ａには、たとえば、Fe-Co-Si-B-Nb系（たとえば(Fe1-xCox)72B20Si4Nb4）の金属ガラス皮膜を形成するとよい。この成分系は、アモルファス形成能が高くてアモルファス化させやすいうえ、磁気特性にすぐれ、また機械的特性においては塑性変形しがたい、といった点で好ましい。

　溶射装置４０には、図１０のとおり、溶射ガン４７のそれぞれと近い位置に非接触式温度計４８を配置し、溶射される軸状ワーク１（磁歪部形成用部分１ａ）の表面の温度を計測している。当該温度の計測値に応じ、溶射ガン４７の位置を前記アクチュエータ４５により上下および横方向に逸らす等して、溶射中の軸状ワーク１（磁歪部形成用部分１ａ）の温度を一定に保ち、もって皮膜の性状や軸状ワーク１との密着度合いを良好にするのである。

　溶射によって金属ガラス皮膜を形成された軸状ワーク１は、図１の溶射装置４０から隣接の冷却装置５１へ搬送され、そこで所定時間だけ空冷された後、横行装置Ｃ１によって搬送パレットＡごと向かい側の入側テーブル５２へ横行搬送され、さらにマスキング装置６０へ搬送される。マスキング装置６０は、軸状ワーク１における金属ガラス皮膜上に、磁歪部としての螺旋状の縞模様と同じ模様のゴム状皮膜を形成する装置である。そうしたゴム状皮膜を被覆部として形成したうえで、後続のショットブラスト装置７０で金属ガラス皮膜にショットブラストを行うことにより、被覆されていない部分の金属ガラス皮膜を除去し、金属ガラス皮膜を上記縞模様の磁歪部とする。

　マスキング装置６０の構成は図１１のとおりである。軸状ワーク１の磁歪部形成用部分１ａに被覆部を塗布形成する目的で、図示のように３個の転写ロール（インクカキアゲロール６１・グラビア版ロール６２・転写ロール６３）を配備している。被覆部とするゴム（または他の樹脂類）は、まずインクカキアゲロール６１の周面上に提供され、それが、磁歪部とする縞模様に対応する模様を周面上の凹部として刻印されたグラビア版ロール６２に移される。同ロール６２の周面に付いたゴムのうち、スクレーパ（図示省略）により掻き落とされて上記凹部内に残ったもののみが、転写ロール６３の各周面を経て軸状ワーク１の磁歪部形成用部分１ａに転写される。

　図１のように、マスキング装置６０の下流側には、冷却装置５３をはさんでショットブラスト装置７０を配置している。ショットブラスト装置７０の構成は前記ショットブラスト装置３０と同様であり、図７に示したとおりである。この装置７０では、マスキング装置６０で被覆部を形成された軸状ワーク１の磁歪部形成用部分１ａに向けてショットブラストを行い、被覆部のない部分の金属ガラス皮膜を除去する。ゴムで被覆された部分は、ショットブラストの効果が及ばないため、上記の縞模様に金属ガラス皮膜が残るわけである。

　マスキング装置６０・ショットブラスト装置７０のさらに下流側には、図１２に示すクリーニング装置８０を配置している。クリーニング装置８０は、ショットブラストされた後の磁歪部形成用部分１ａから上記被覆部のゴムを除去し同部分１ａの表面を清掃するための装置である。
　クリーニング装置８０は、図１２のとおり支持フレーム８１上に昇降用モータ８３を取り付け、そのモータ３３によって昇降ロッド８４を昇降させる構造のもので、昇降ロッド８４の先に、軸状ワーク１の磁歪部形成用部分１ａに押し付けるワイヤブラシローラ８９等を取り付けている。ワイヤブラシローラ８９は、エアモータ８８の出力軸に装着されていて回転駆動される。そのエアモータ８８を支えるフレーム８５は、押し付け用のエアシリンダ８６の動作端に、押付け圧の設定用スプリング８７を介して取り付けている。そのため、ワイヤブラシローラ８９はエアシリンダ８６にて軸状ワーク１に押し付けられ、その押付け圧はスプリング８７のバネ係数によって定まることとなる。軸状ワーク１の金属ガラス皮膜上のゴム被覆部は、ショットブラストによっては消失しがたいが、ワイヤブラシローラ８９にて擦られると比較的簡単に除去される。
　なお、このクリーニング装置８０も、車輪８２や、図１０の溶射装置４０におけるモータ４４や連結棒４５と同様のモータ、連結棒等の作用で、ワイヤブラシローラ８９等を軸状ワーク１の配列方向に移動することができる。

　図１の製造設備は、上記クリーニング装置８０の下流側に出側テーブル５４を設けるとともに、それより着脱装置１０にかけて横行装置Ｃ２を配置している。これらにより、上記クリーニングを行って磁歪部の形成を終えた複数の軸状ワーク（トルクセンサシャフト）１を、搬送パレットＡとともに着脱装置１０上に戻し、そこで回収することができる。
　着脱装置１０から同じ着脱装置１０へ戻る上記の周回経路においては、１台または少数台の搬送パレットＡを各作業装置へ順送りするのもよい。しかし、周回経路上に同時に８台近い搬送パレットＡが１２個の軸状ワーク１とともに存在し、いずれの作業装置上でもつねに搬送パレットＡが何らかの処理を受けている、といった態様で使用すると、トルクセンサシャフトの生産速度を最も高めることができる。

　図１３に、上記とは異なる形態の製造設備を示す。この設備は、上記と同様のトルクセンサシャフトを製造するものだが、図１のものよりもコンパクトに構成し、生産能力を低めにして設備コストを下げたものである。

　図１の設備と同様、図１３のこの設備も、トルクセンサシャフトとする軸状ワークを複数個ずつ搬送パレットＡに取り付け、そうした搬送パレットＡを搬送装置Ｂにより各作業装置のもとへ搬送する。搬送装置Ｂは各作業装置に付設しており、マグネットカップリング（図示省略）を介して搬送パレットＡに回転駆動力を伝えるので、搬送パレットＡ上の軸状ワーク１は回転しながら各作業装置で溶射等の処理を受ける。また、搬送装置Ｂに横行装置Ｃ１・Ｃ２を併設しているので、それらによる周回軌道に沿って搬送パレットＡを移動させる。そのような点では、図１３の製造設備は図１の設備と同様である。

　図１３の製造設備では、作業装置を、数を少なくして以下のように配置している。すなわち、着脱装置１１０から始まる図示右回りの経路に、ショットブラスト装置１２０、溶射装置１３０、冷却装置１４１・１４２、マスキング装置１５０、冷却装置１４３・１４４・１４５をこの順に配置した。そして、搬送パレットＡは、着脱装置１１０からの右回りの経路を１周させたのち、着脱装置１１０から再度ショットブラスト装置１２０へ送ったうえ、着脱装置１１０に戻し、そこで軸状ワーク１を回収することとしている。

　着脱装置１１０は、手作業によって軸状ワークを搬送パレットＡ上に取り付け、または取り外すためのものである。
　ショットブラスト装置１２０は、溶射に先立って凹凸を形成すべく軸状ワーク１にショットブラストを行い、溶射装置１３０およびマスキング装置１５０での溶射およびマスキングの終了後（すなわち周回経路を１周したのち）に、磁歪部形成のために再度ショットブラストを行い、さらに、被覆部のゴムを除去するクリーニングをも行うという、１台で３つの作業を兼務させる装置である。そのため、前掲の図７および図１２に示す各構成に準じて、ブラストガンとブラシローラとの双方を昇降等可能な状態に装備している。

　溶射装置１３０には、軸状ワークに対する溶射に加えて事前の予熱をも行わせることとしている。溶射については前述の溶射装置４０（図８～１０）と同様に行うが、予熱は、図９の溶射ガン４７から火炎Ｆのみを出す（材料粉末を噴出させない）ことにより行う。
　マスキング装置１５０は、前述のマスキング装置６０（図１１）をそのまま同様に使用する。
　冷却装置１４１～１４５も、前記と同様のものを前記と同様に使用して軸状ワークを空気冷却させる。

　以上のように構成し使用する図１３の製造設備では、トルクセンサシャフトの量産能力は図１のものよりも低いが、設備コストについて有利であるうえ、設備長さが短くて占有面積が小さいという利点がある。生産能力を高める必要がある場合には、ショットブラスト装置１２０や溶射装置１３０を専用のものにし、それにともなって必要となる他の作業装置を、図１３中の冷却装置１４１～１４５のいずれかの場所等に設置するとよい。

　１　軸状ワーク（シャフト）
　１ａ　磁歪部形成用部分
　２・２Ｂ・２Ｕ　ホルダー
　３　筒状カバー
　１０・１１０　着脱装置
　２０　予熱装置
　２５　バーナー
　３０・７０・１２０　ショットブラスト装置
　３５　ブラストガン
　４０・１３０　溶射装置
　４７　溶射ガン
　４８　非接触式温度計
　６０・１５０　マスキング装置
　８０　クリーニング装置
　８７　スプリング
　８９　ブラシローラ
　Ａ　搬送パレット
　Ｂ　搬送装置
　Ｃ（Ｃ１・Ｃ２）　横行装置
　ＭＣ（Ａ４・Ｂ８）　マグネットカップリング

Claims

　中空または中実の軸状ワークの側面に、金属ガラス皮膜を含む磁歪部を所定の模様に形成することによりトルクセンサ用シャフトを製造する設備であって、
　上記軸状ワークを搬送パレット上に回転可能に取り付け、
　軸状ワークの予熱装置、軸状ワークの側面への金属ガラス皮膜の形成用溶射装置、当該皮膜上に上記模様に対応する被覆部を設けるマスキング装置、および当該被覆部を含む金属ガラス皮膜へ向けてのショットブラスト装置を含む各作業装置に対して、上記の搬送パレットを順次搬送し、
　各作業装置において、搬送パレット上の上記軸状ワークを回転させながら、その軸状ワークに対し予熱、溶射、マスキングおよびショットブラストを行うことを特徴とするトルクセンサ用シャフトの製造設備。
　上記の各軸状ワークが、上記磁歪部の形成用部分を長さ方向の中央部付近に有する中空のものであること、
　上記搬送パレット上の当該ワークについて、全長を、上記搬送パレットにおける棒状ホルダーの外側に被せて回転可能に支持し、両端部に対称形状の筒状カバーをそれぞれ被せることにより上記形成用部分を露出させること、
　および、上記の各筒状カバーが、上記ワークの一部を露出させる開口を有すること
　を特徴とする請求項１に記載したトルクセンサ用シャフトの製造設備。
　上記の各軸状ワークが、上記磁歪部の形成用部分を長さ方向の中央部付近に有する中実のものであること、
　上記搬送パレット上の当該ワークについて、一端側を、上記搬送パレットにおけるスリーブ状ホルダーの内側に挿入して回転可能に支持するとともに筒状カバーで覆い、他端側にも、上記ホルダーと対称形状のスリーブ状ホルダーを取り付けるとともに上記筒状カバーと対称形状の筒状カバーを被せることにより、上記形成用部分を露出させること、
　ならびに、上記の各ホルダーおよび上記の各筒状カバーが、上記ワークの一部を露出させる開口を有すること
　を特徴とする請求項１に記載したトルクセンサ用シャフトの製造設備。
　上記の各作業装置に、上記の搬送パレットを一定の経路に沿って搬送し一定位置に停止させる搬送装置が付設され、
　当該搬送装置に、一定位置に停止させられた搬送パレット上の軸状ワークを回転させるためのモータと、そのモータの駆動力を搬送パレットに伝えるための駆動側マグネットカップリングとが設けられ、
　搬送パレットに、一定位置に停止させられたとき上記駆動側マグネットカップリングから非接触状態で駆動力を受ける被駆動側マグネットカップリングと、当該駆動力を軸状ワークのそれぞれに伝えるための伝動機構とが設けられていることを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載したトルクセンサ用シャフトの製造設備。
　上記搬送パレット上に複数個の軸状ワークを取り付けるものとし、
　上記予熱装置におけるバーナー、溶射装置における溶射ガン、マスキング装置における被覆材塗布用ローラ、およびショットブラスト装置におけるブラストガンのうち一以上が、搬送パレット上に設けられる軸状ワークの数よりも少なく、搬送パレット上の軸状ワークの配列方向に移動可能であることを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載したトルクセンサ用シャフトの製造設備。
　上記予熱装置におけるバーナー、溶射装置における溶射ガン、マスキング装置における被覆材塗布様ローラおよびショットブラスト装置におけるブラストガンのうち一以上が、搬送パレット上の軸状ワークよりも高い位置にある支持手段により支持されていることを特徴とする請求項１～５のいずれかに記載したトルクセンサ用シャフトの製造設備。
　上記搬送装置による搬送経路と直角の方向に上記搬送パレットを横行させることのできる横行装置が、上記搬送装置に併設されていて、それら双方の装置による周回経路に沿って搬送パレットが搬送されることにより上記の各作業装置間に搬送パレットが順次搬送されることを特徴とする請求項４に記載したトルクセンサ用シャフトの製造設備。
　上記溶射装置が、金属粉末を含む火炎を溶射ガンより噴射して金属粉末を溶融させ、当該火炎を、それが軸状ワークの表面に達する前より外側からの冷却ガスにて冷却する方式の溶射を行うととともに、
　溶射される軸状ワークの表面の温度を非接触式温度計により計測し、当該温度の計測値に応じて溶射ガンの位置を逸らすことにより溶射中の軸状ワークの温度を一定に保つ
　ことを特徴とする請求項１～７のいずれかに記載したトルクセンサ用シャフトの製造設備。
　ショットブラストを行った後に上記被覆部を除去するクリーニング装置として、ワイヤブラシローラを流体圧シリンダーによって軸状ワークの側面に押し付ける構造を有し、流体圧シリンダーの動作部とワイヤブラシローラとの間に、押付け圧の設定用スプリングを含むものが設けられていることを特徴とする請求項１～８のいずれかに記載したトルクセンサ用シャフトの製造設備。
　軸状ワークの側面に、金属ガラス皮膜を含む磁歪部を所定の模様に形成することによりトルクセンサ用シャフトを製造する方法であって、
　請求項１～９のいずれかに記載した製造設備を使用し、上記各作業装置において、搬送パレット上の上記軸状ワークを回転させながら、その軸状ワークに対して予熱、溶射、マスキングおよびショットブラストを行うことを特徴とするトルクセンサ用シャフトの製造方法。