WO2016167093A1 - 光デバイスパッケージ - Google Patents

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light
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    • G02F1/133331—Cover glasses

Definitions

  • the present invention relates to an optical device package formed by hermetically sealing an optical device.
  • the present invention is a light comprising a light non-transmission part made of a light non-transmission material and having an opening and an optical window part made of a light transmission material and closing the opening. It relates to device packages.
  • an optical device package in which an optical device is hermetically sealed is known as a technique for suppressing the influence of humidity or the like on the optical device.
  • an optical device package including a lid portion made of a light non-transparent material and having an opening formed therein and a light window portion made of a light transmissive material and closing the opening. (See Patent Document 1).
  • FIG. 10 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of an optical device package 200 according to the prior art.
  • An optical device package 200 shown in FIG. 10 includes an optical device 101, a housing 102 that houses the optical device 101, and a lid 103 that fits the housing 102.
  • the lid portion 103 has a metal frame (light non-transmissive portion) 105 in which an opening 104 is formed, and an optical window portion 106 that closes the opening 104.
  • the optical window 106 is, for example, a single glass or a glass non-transparent material such as a metal layer formed at and around the edge of the glass.
  • the optical device package 200 is obtained by housing the optical device 101 in the housing 102 in a state filled with an inert gas (not shown) and hermetically sealing the optical device 101 with the housing 102 and the lid portion 103.
  • JP 9-148469 A (published on June 6, 1997)”
  • the foreign matter 107 may enter the housing 102 before the lid 102 covers the housing 102.
  • a method of observing the inside of the housing 102 immediately before the housing 102 is covered and detecting and removing the foreign matter 107 that has entered the housing 102 can be considered.
  • the back side 108 of the metal frame 105 is likely to be a blind spot during observation, and it is difficult to detect and remove the foreign substance 107 (that is, the foreign substance 107a) in this blind spot.
  • the foreign matter 107 that has entered the housing 102 adheres to or floats on the light receiving portion of the optical device 101 disposed on the upper surface of the optical device 101.
  • the optical device 101 is an optical switching device
  • crosstalk occurs due to light being refracted by the foreign matter 107, and this crosstalk causes malfunction of the optical device 101 in the optical device package 200.
  • the optical device 101 is a solid-state imaging device
  • there is a problem that the amount of received light is significantly reduced due to light being reflected or refracted by the foreign matter 107.
  • the present invention has been made in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide an optical device that is caused by foreign matter adhering to the light receiving portion of the optical device or floating of foreign matter on the light receiving portion.
  • An object of the present invention is to provide an optical device package that can suppress malfunction or reduction in the amount of received light.
  • an optical device package of the present invention includes an optical device, a housing that houses the optical device, a light non-transmissive portion that is formed of a light non-transmissive material and has an opening, and a light A lid portion made of a transparent material and having an optical window portion that closes the opening, and the light non-transmissive portion has at least one projecting portion projecting to the optical device side. It is characterized by.
  • the protrusion prevents the foreign matter that enters the housing and remains on the side of the optical device from moving toward the light receiving portion of the optical device disposed on the upper surface of the optical device. it can. As a result, it is possible to prevent foreign matter from adhering to the light receiving portion of the optical device or from floating on the light receiving portion, so that it is possible to suppress malfunction of the optical device or reduction in the amount of received light. .
  • the present invention it is possible to suppress the malfunction of the optical device or the decrease in the amount of received light caused by foreign matter adhering to the light receiving portion of the optical device or floating of foreign matter on the light receiving portion.
  • FIG. 3 is an exploded perspective view of the optical device package according to Embodiment 1 of the present invention, and a perspective view showing a surface on the optical device side in the light non-transmissive portion.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the optical device package shown in FIG. (A)-(d) is sectional drawing of the optical device package which concerns on the 1st modification of Embodiment 1 of this invention, respectively.
  • (A) And (b) is a top view which shows the surface by the side of the optical device in the light non-transmissive part based on the 2nd modification of Embodiment 1 of this invention, respectively. It is a disassembled perspective view of the optical device package which concerns on Embodiment 2 of this invention.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the optical device package shown in FIG. (A)-(d) is sectional drawing of the optical device package which concerns on the 1st modification of Embodiment 1 of this invention, respectively.
  • (A) And (b)
  • FIG. 6 is a cross-sectional view of the optical device package shown in FIG. (A)-(c) is sectional drawing of the optical device package which concerns on the modification of Embodiment 2 of this invention, respectively. It is sectional drawing which shows another example of the structure by which a protrusion part extends to the side wall side of a housing. It is sectional drawing which shows another example of the structure by which a protrusion part extends to the side wall side of a housing. It is sectional drawing which shows schematic structure of the optical device package which concerns on a prior art.
  • the optical device package according to each embodiment described below is an optical device package in which an LCOS (Liquid Crystal On On Silicon) element is hermetically sealed, and is hereinafter referred to as an “LCOS package”.
  • LCOS Liquid Crystal On On Silicon
  • members having the same functions as those described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view of an LCOS (Liquid Crystal On Silicon) package 201 according to the first embodiment of the present invention.
  • 2 is a cross-sectional view taken along line AA of the LCOS package 201 shown in FIG.
  • FIG. 1 also shows a perspective view of the lid 3 provided in the LCOS package 201 as viewed from the back side.
  • LCOS Liquid Crystal On Silicon
  • An LCOS package (optical device package) 201 shown in FIGS. 1 and 2 includes an optical device unit 1, a housing 2, and a lid 3.
  • the optical device unit 1 has an LCOS element (optical device) 11 and a heater 12.
  • the LCOS element 11 includes a silicon substrate portion 11a and a liquid crystal portion 11b.
  • the silicon substrate portion 11a is obtained by forming a drive circuit for driving the LCOS element 11 on a silicon substrate.
  • the liquid crystal unit 11b is a light receiving portion of the LCOS element 11 provided on the upper surface of the LCOS element 11, and includes a transparent electrode, an alignment film, and the like in addition to the liquid crystal.
  • the temperature of the LCOS element 11 needs to be precisely managed, and the heater 12 is responsible for controlling this temperature.
  • the heater 12 can be omitted.
  • the housing 2 accommodates the LCOS element 11 and has a ceramic substrate 21 and a sealing frame body 22.
  • the sealing frame body 22 is a frame body provided on the ceramic substrate 21 so as to surround the LCOS element 11 and is made of light non-transmissive ceramic, metal, or the like.
  • the lid 3 is provided above the LCOS element 11 and is a lid suitable for the housing 2.
  • the lid 3 has a metal frame (light non-transmissive portion) 31 and a glass substrate (optical window portion) 32.
  • the metal frame 31 is made of a non-permeable metal material, and an opening 33 is formed above the LCOS element 11. Then, the glass substrate 32 closes the opening 33. Thereby, light from the outside of the LCOS package 201 is transmitted through the glass substrate 32 and guided to the liquid crystal unit 11 b of the LCOS element 11.
  • sealing frame body 22 and the metal frame 31 are joined together by a joining layer 41 made of solder or solder. Further, the edge and the vicinity thereof on the surface of the glass substrate 32 on the LCOS element 11 side are metallized, and this metallized portion is the metallized layer 42. Further, the metal frame 31 and the metallized layer 42 are joined by a joining layer 43 made of solder.
  • the metal frame 31 has a protrusion 34 formed thereon.
  • the protrusion 34 protrudes toward the LCOS element 11 on the surface of the metal frame 31 on the LCOS element 11 side.
  • the distance between the silicon substrate portion 11a and the metal frame 31 can be reduced by the protruding portion 34.
  • foreign matter that enters the housing 2 and remains on the side of the LCOS element 11 is prevented from moving toward the liquid crystal part 11b (light receiving part) of the LCOS element 11 disposed on the upper surface of the LCOS element 11. be able to.
  • foreign matter can be prevented from adhering to the liquid crystal portion 11b of the LCOS element 11 or from floating on the liquid crystal portion 11b, so that malfunction of the LCOS element 11 can be suppressed.
  • the protrusion 34 and the LCOS element 11 are separated from each other. Since the protrusion 34 and the LCOS element 11 are separated from each other, it is possible to prevent the protrusion 34 from coming into contact with the LCOS element 11 or pressing the LCOS element 11. Therefore, it is possible to prevent the LCOS element 11 from being damaged or malfunctioning due to the contact or pressure of the protrusion 34.
  • the foreign matter having a size larger than the area corresponding to one pixel in the optical device is directly caused by the malfunction of the optical device or the decrease in the amount of received light. It is easy to cause.
  • the separation distance between the protrusion 34 and the optical device having the pixel structure is preferably less than the pixel size of the optical device.
  • the separation distance is preferably less than 10 ⁇ m.
  • 3A to 3D are cross-sectional views of LCOS packages 202 to 205 according to a first modification of the LCOS package 201, respectively.
  • 3A is different from the LCOS package 201 in that the protrusion 34 and the sealing frame (side wall of the housing) 22 are separated from each other.
  • Other configurations of the LCOS package 202 are the same as the configurations of the LCOS package 201.
  • protruding portion 34 and the sealing frame body 22 are separated from each other, a margin for manufacturing tolerance of the protruding portion 34 can be ensured between the protruding portion 34 and the sealing frame body 22. In addition, foreign matter can be captured between the protruding portion 34 and the sealing frame body 22.
  • the LCOS package 203 shown in FIG. 3B is different from the LCOS package 201 in the following points. Other configurations of the LCOS package 203 are the same as those of the LCOS package 201.
  • the LCOS package 203 is provided with a protrusion 35 having a function similar to that of the protrusion 34 as a separate member from the metal frame 31 instead of the protrusion 34.
  • the material of the protrusion part 35 is low outgas, and should just be a thing suitable for a general airtight sealing package, A metal, an epoxy resin, or an acrylic resin etc. are mentioned. Thereby, compared with the case where the metal frame 31 which has the protrusion part 34 is integrally molded, processing cost can be suppressed and the freedom degree of the shape of a protrusion part can be raised.
  • the protruding portion 35 extends from directly above the LCOS element 11 to the side of the LCOS element 11. As a result, the distance from the side of the LCOS element 11 to the liquid crystal part 11b can be increased, so that the foreign substance directly causing the malfunction of the LCOS element 11 is directed toward the liquid crystal part 11b. Can be effectively suppressed.
  • FIGS. 8 and 9 can be considered in addition to the example of FIG.
  • FIG. 8 shows an LCOS package 210 in which the protruding portion 35 is shortened with respect to the LCOS package 203 (the tip of the protruding portion 35 is positioned immediately above the LCOS element 11).
  • FIG. 9 shows an LCOS package 211 in which protrusions 35 are formed in a step shape with respect to the LCOS package 203. Both the LCOS packages 210 and 211 can capture foreign substances in their respective gaps 37.
  • the LCOS package 204 shown in FIG. 3C is different from the LCOS package 203 in the following points. Other configurations of the LCOS package 204 are the same as those of the LCOS package 203.
  • the LCOS package 204 is provided with a plurality of protrusions 35.
  • the protrusion 35 a provided closest to the LCOS element 11 extends toward the upper surface of the LCOS element 11.
  • the protrusion 35 c provided on the side farthest from the LCOS element 11 extends toward the side of the LCOS element 11.
  • the protrusions 35 b provided between the protrusions 35 a and 35 c extend toward the upper surface and the side of the LCOS element 11.
  • the plurality of protrusions 35 it is possible to more reliably prevent foreign matters from adhering to the liquid crystal portion 11b of the LCOS element 11 or foreign matters from floating on the liquid crystal portion 11b. That is, it is difficult to freely control how the foreign object moves, but by providing a plurality of protrusions 35, it is possible to capture and hold the foreign object between the two protrusions 35. It becomes. As a result, it is possible to suppress the foreign matter from moving to above the liquid crystal part 11b.
  • the LCOS package 205 shown in FIG. 3D is different from the LCOS package 204 in the following points. Other configurations of the LCOS package 205 are the same as those of the LCOS package 204.
  • grooves 36a to 36c corresponding to the protruding portions 35a to 35c are formed on the metal frame 31 in a one-to-one relationship. Projections 35a to 35c are fitted into the grooves 36a to 36c, respectively.
  • the height of the protruding portions 35a to 35c is set according to the depth of fitting the protruding portions 35a to 35c into the grooves 36a to 36c. Can be adjusted. As a result, a margin for manufacturing tolerances of the protrusions 35a to 35c can be ensured between the protrusions 35a to 35c and the LCOS element 11.
  • FIGS. 4A and 4B are plan views each showing a surface of the metal frame 31 on the LCOS element 11 side according to a second modification of the present embodiment.
  • the combination of the metal frame 31 and the protruding portion 35 will be described, but the same applies to the combination of the metal frame 31 and the protruding portion 34.
  • 4A and 4B are provided with protrusions 35a to 35c (see FIGS. 3C and 3D).
  • each of the protrusions 35a to 35c is provided in a frame shape and continuously so as to surround the opening 33 of the metal frame 31. For this reason, it can suppress that a foreign material moves toward the liquid crystal part 11b over the perimeter of the LCOS element 11.
  • FIG. 4B each of the protrusions 35a to 35c is provided in a frame shape and intermittently so as to surround the opening 33 of the metal frame 31. According to the configuration of the metal frame 31 shown in FIG. 4B, when the protrusions 35a to 35c and the metal frame 31 are made of different materials, the stress generated in the metal frame 31 can be suppressed.
  • the optical device housed in the optical device package according to the present invention may be an optical device that receives light or outputs light, and may be, for example, a MEMS (Micro Electro Mechanical System) mirror. Good. Further, this optical device may be a solid-state imaging device.
  • the configuration of the optical device package according to the present invention relates to a decrease in the amount of light received in the optical device instead of the effect related to the malfunction of the optical device. You can enjoy the effect.
  • the metallized layer 42 is formed on the glass substrate 32, but the metallized layer 42 may be omitted.
  • a light non-transmissive material such as a metal layer may be formed on the edge of the glass and in the vicinity thereof.
  • the separation distance between the LCOS element 11 and the protrusion 34 is smaller, the effect of suppressing the movement of the foreign matter is increased, while the possibility that the protrusion 34 contacts and / or presses the LCOS element 11 increases.
  • the protruding portion 35 is about 100 ⁇ m, a certain degree of the suppression effect can be expected. The same applies to the protruding portion 35.
  • the form in which the protrusions 34 are provided is clearly distinguished from the form in which the protrusions 35 are provided in order to simplify the description. Both forms can be applied.
  • FIG. 5 is an exploded perspective view of the LCOS package 206 according to the second embodiment of the present invention. 6 is a cross-sectional view of the LCOS package 206 shown in FIG.
  • the LCOS package 206 shown in FIGS. 5 and 6 is different from the LCOS package 201 in that the lid 5 is provided instead of the lid 3.
  • Other configurations of the LCOS package 206 are the same as those of the LCOS package 201.
  • the lid 5 is provided above the LCOS element 11 and is a lid suitable for the housing 2.
  • the lid 5 has a metal frame (light non-transmissive part) 51, a glass substrate (optical window part) 52, and a protruding part (light non-transmissive part) 55.
  • the metal frame 51 is made of a light-impermeable metal material, and an opening 53 is formed above the LCOS element 11. Then, the glass substrate 52 closes the opening 53. Thereby, light from the outside of the LCOS package 206 is transmitted through the glass substrate 52 and guided to the liquid crystal unit 11 b of the LCOS element 11.
  • sealing frame body 22 and the metal frame 51 are bonded together by a bonding layer 61 made of solder or solder. Further, the edge and the vicinity thereof on the surface of the glass substrate 52 opposite to the LCOS element 11 are metallized, and this metallized portion is the metallized layer 62. Furthermore, the metal frame 51 and the metallized layer 62 are joined together by a joining layer 63 made of solder.
  • the materials of the metal frame 51 and the glass substrate 52 are the same as those of the metal frame 31 and the glass substrate 32, respectively.
  • the metal frame 51 is provided with a protrusion 55 as a separate member from the metal frame 51.
  • the protruding portion 55 protrudes from the surface of the metal frame 51 on the LCOS element 11 side to the LCOS element 11 side.
  • the protrusion 55 can obtain the same effect of suppressing the movement of foreign matter as the protrusions 34 and 35.
  • the glass substrate 52 is bonded to the surface of the metal frame 51 facing the LCOS element 11 (that is, the LCOS element 11 side). Thereby, since the edge of the glass substrate 52 is not exposed to the outside of the LCOS package 206, damage from the outside of the LCOS package 206 to the glass substrate 52 can be reduced.
  • Modification of Embodiment 2 7A to 7C are cross-sectional views of LCOS packages 207 to 209 according to modifications of the LCOS package 206, respectively.
  • the LCOS packages 207 to 209 shown in FIGS. 7A to 7C are different from the LCOS package 206 in the following points. Other configurations of the LCOS packages 207 to 209 are the same as the configuration of the LCOS package 206.
  • the protrusions 55 of the LCOS package 206 shown in FIG. 6 are provided with diagonal lines in the cross section of FIG. 6, but the protrusions 55 of the LCOS packages 207 to 209 are respectively shown in FIGS. Is provided in an L shape in the cross section.
  • the distance between the glass substrate 52 and the protruding portion 55 is smaller than the LCOS package 207 shown in FIG.
  • the LCOS package 209 shown in FIG. 7C has a smaller distance between the sealing frame body 22 and the tip of the protruding portion 55 than the LCOS package 208 shown in FIG. 7B. Yes.
  • An optical device package of the present invention includes an optical device, a housing for housing the optical device, a light non-transmissive portion made of a light non-transmissive material and having an opening formed therein, and a light transmissive material for closing the opening.
  • a lid portion having an optical window portion, and the light non-transmissive portion has at least one projecting portion projecting toward the optical device.
  • the protrusion prevents the foreign matter that enters the housing and remains on the side of the optical device from moving toward the light receiving portion of the optical device disposed on the upper surface of the optical device. it can. As a result, it is possible to prevent foreign matter from adhering to the light receiving portion of the optical device or from floating on the light receiving portion, so that it is possible to suppress malfunction of the optical device or reduction in the amount of received light. .
  • the optical device package of the present invention at least one of the protrusions and the optical device are separated from each other.
  • the protruding portion and the optical device are separated from each other, it is possible to prevent the protruding portion from contacting the optical device or pressing the optical device. Therefore, it is possible to prevent the optical device from being damaged, malfunctioning, or reducing the amount of received light due to the contact or compression of the protrusion.
  • the separation distance between the at least one protrusion and the optical device is less than the pixel size of the optical device.
  • At least one of the protrusions and the side wall of the housing are separated from each other.
  • the protruding portion and the side wall of the housing are separated from each other, a margin for manufacturing tolerance of the protruding portion can be ensured between the protruding portion and the side wall of the housing. Moreover, according to said structure, it becomes possible to capture a foreign material between a protrusion part and the side wall of a housing.
  • the optical device package of the present invention extends so that at least a part of the at least one projecting portion approaches the side wall of the housing as it approaches the tip of the projecting portion.
  • the foreign matter can be captured on the side wall side of the housing in the protruding portion.
  • At least one of the protrusions extends to the side of the optical device.
  • the light non-transmissive portion has a plurality of the protruding portions.
  • At least one of the protrusions is a member that is attached to the light non-transmission part and is separate from the light non-transmission part.
  • the processing cost can be reduced and the degree of freedom of the shape of the protruding portion can be increased as compared with the case where the light non-transmitting portion having the protruding portion is integrally formed.
  • At least one of the protruding portions is a member separate from the light non-transmissive portion, which is fitted in a groove formed in the light non-transmissive portion.
  • the height of the protruding portion can be adjusted according to the depth of fitting the protruding portion into the groove formed in the light non-transmitting portion. Therefore, it is possible to ensure a margin for manufacturing tolerances of the protruding portion between the protruding portion and the optical device.
  • the optical window portion is bonded to a surface of the light non-transmissive portion facing the optical device.
  • the present invention can be used for an optical device package in which an optical device is hermetically sealed.
  • the present invention is a light comprising a light non-transmission part made of a light non-transmission material and having an opening and an optical window part made of a light transmission material and closing the opening.
  • Optical Device Unit 2 Housing 3 Lid 5 Lid 11 LCOS Element (Optical Device) 22 Sealing frame (side wall of housing) 31 Metal frame (light non-transmission part) 32 Glass substrate (optical window) 33 Openings 34 and 35 Protruding part (light non-transmitting part) 35a to 35c Projection (light non-transmission part) 51 Metal frame (light non-transmissive part) 52 Glass substrate (optical window) 53 Opening 55 Protruding part (light non-transmitting part) 201 to 211 LCOS package (optical device package)

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Abstract

光デバイスの受光部分に異物が付着する、もしくはこの受光部分上を異物が浮遊することに起因する、光デバイスの誤動作または受光量の低下を抑制する。金属フレーム（３１）は、ＬＣＯＳ素子（１１）の側に突出する突出部（３４）を少なくとも１つ有している。

Description

光デバイスパッケージ
　本発明は、光デバイスを気密封止してなる光デバイスパッケージに関するものである。特に、本発明は、光非透過性材料からなり、開口が形成されている光非透過部と、光透過性材料からなり、上記開口を塞ぐ光学窓部と、を有する蓋部を備えた光デバイスパッケージに関するものである。
　従来、光デバイスに対する湿度等の影響を抑制するための技術として、光デバイスを気密封止してなる光デバイスパッケージが知られている。特に、光非透過性材料からなり、開口が形成されている光非透過部と、光透過性材料からなり、上記開口を塞ぐ光学窓部と、を有する蓋部を備えた光デバイスパッケージが知られている（特許文献１参照）。
　図１０は、従来技術に係る光デバイスパッケージ２００の概略構成を示す断面図である。図１０に示す光デバイスパッケージ２００は、光デバイス１０１、光デバイス１０１を収納するハウジング１０２、およびハウジング１０２に適合する蓋部１０３を備えている。蓋部１０３は、開口１０４が形成されている金属フレーム（光非透過部）１０５、およびこの開口１０４を塞ぐ光学窓部１０６を有している。光学窓部１０６は例えば、ガラス単体、もしくは、ガラスの縁およびその近傍に金属層等の光非透過性材料を形成したものである。
　また、光デバイスパッケージ２００は、不活性ガス（図示しない）を充填した状態で光デバイス１０１をハウジング１０２に収納して、ハウジング１０２および蓋部１０３によって光デバイス１０１を気密封止したものである。
日本国公開特許公報「特開平９－１４８４６９号公報（１９９７年６月６日公開）」
　図１０に示す光デバイスパッケージ２００では、蓋部１０３によってハウジング１０２に蓋をする前に、ハウジング１０２内に異物１０７が入り込む虞がある。
　従来、ハウジング１０２内に異物１０７が入り込むことを避けるため、クリーンルームにて光デバイスパッケージ２００を製造する等の手法が採られてきた。しかしながら、このような手法を用いたとしても、ハウジング１０２内に異物１０７が入り込むことを完全に防ぐことは難しい。
　また、ハウジング１０２に蓋をする直前に、ハウジング１０２内を観察して、ハウジング１０２内に入り込んだ異物１０７を検出および除去するという手法も考えられる。しかしながら、この手法においては、観察に際して金属フレーム１０５の裏側１０８等が死角となりやすく、この死角にある異物１０７（すなわち、異物１０７ａ）を検出および除去することは難しい。
　この結果、図１０に示す光デバイスパッケージ２００では、ハウジング１０２内に入り込んだ異物１０７が、光デバイス１０１の上面に配置された光デバイス１０１の受光部分に付着する、もしくはこの受光部分上を浮遊する虞がある。そしてこれにより、光デバイス１０１が光スイッチングデバイスである場合、異物１０７にて光が屈折されることでクロストークが発生し、このクロストークによって、光デバイスパッケージ２００では、光デバイス１０１の誤動作が生じるという問題が発生する。また、光デバイス１０１が固体撮像素子である場合、異物１０７にて光が反射または屈折されることで受光量が著しく低下するという問題が発生する。
　本発明は、上記の課題に鑑みて為されたものであり、その目的は、光デバイスの受光部分に異物が付着する、もしくはこの受光部分上を異物が浮遊することに起因する、光デバイスの誤動作または受光量の低下を抑制することを可能とする光デバイスパッケージを提供することにある。
　上記の課題を解決するために、本発明の光デバイスパッケージは、光デバイスと、上記光デバイスを収納するハウジングと、光非透過性材料からなり開口が形成されている光非透過部と、光透過性材料からなり上記開口を塞ぐ光学窓部とを有する蓋部と、を備えており、上記光非透過部は、上記光デバイスの側に突出する突出部を少なくとも１つ有していることを特徴としている。
　上記の構成によれば、ハウジング内に入り込み光デバイスの側方に残留した異物が、光デバイスの上面に配置された光デバイスの受光部分に向けて移動することを、突出部により抑制することができる。これにより、光デバイスの受光部分に異物が付着する、もしくはこの受光部分上を異物が浮遊することを防止することができるので、光デバイスの誤動作または受光量の低下を抑制することが可能となる。
　本発明によれば、光デバイスの受光部分に異物が付着する、もしくはこの受光部分上を異物が浮遊することに起因する、光デバイスの誤動作または受光量の低下を抑制することが可能となる。
本発明の実施の形態１に係る光デバイスパッケージの分解斜視図、および光非透過部における光デバイス側の面を示す斜視図である。 図１に示す光デバイスパッケージのＡ－Ａ線矢視断面図である。 （ａ）～（ｄ）はそれぞれ、本発明の実施の形態１の第１変形例に係る光デバイスパッケージの断面図である。 （ａ）および（ｂ）はそれぞれ、本発明の実施の形態１の第２変形例に係る、光非透過部における光デバイス側の面を示す平面図である。 本発明の実施の形態２に係る光デバイスパッケージの分解斜視図である。 図５に示す光デバイスパッケージのＢ－Ｂ線矢視断面図である。 （ａ）～（ｃ）はそれぞれ、本発明の実施の形態２の変形例に係る光デバイスパッケージの断面図である。 突出部がハウジングの側壁側に延びる構成の別の例を示す断面図である。 突出部がハウジングの側壁側に延びる構成のさらに別の例を示す断面図である。 従来技術に係る光デバイスパッケージの概略構成を示す断面図である。
　本発明を実施するための形態について、以下に説明する。なお、以下に説明する各実施の形態に係る光デバイスパッケージは、ＬＣＯＳ（Liquid Crystal On Silicon）素子を気密封止してなる光デバイスパッケージなので、以下ではこれを「ＬＣＯＳパッケージ」という。また、以下、先に説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。
　〔実施の形態１〕
　図１は、本発明の第１の実施の形態に係るＬＣＯＳ（Liquid Crystal On Silicon）パッケージ２０１の分解斜視図である。また、図２は、図１に示すＬＣＯＳパッケージ２０１のＡ－Ａ線矢視断面図である。なお、図１には、ＬＣＯＳパッケージ２０１が備える蓋部３を裏面側から見た斜視図を併せて示している。
　図１および図２に示すＬＣＯＳパッケージ（光デバイスパッケージ）２０１は、光デバイスユニット１、ハウジング２、および蓋部３を備えている。
　光デバイスユニット１は、ＬＣＯＳ素子（光デバイス）１１およびヒーター１２を有している。また、ＬＣＯＳ素子１１は、シリコン基板部１１ａおよび液晶部１１ｂを有している。シリコン基板部１１ａは、ＬＣＯＳ素子１１を駆動するための駆動回路をシリコン基板に形成したものである。液晶部１１ｂは、ＬＣＯＳ素子１１の上面に設けられたＬＣＯＳ素子１１の受光部分であり、液晶に加え、透明電極、配向膜等を有している。また、ＬＣＯＳ素子１１は、その温度が精緻に管理される必要があり、この温度の制御をヒーター１２が担っている。なお、ＬＣＯＳ素子１１のかわりに固体撮像素子を用いる場合、ヒーター１２を省略することができる。
　ハウジング２は、ＬＣＯＳ素子１１を収納するものであり、セラミック基板２１および封止枠体２２を有している。封止枠体２２は、ＬＣＯＳ素子１１を囲むようにセラミック基板２１上に設けられた枠体であり、光非透過性のセラミック、金属等からなる。
　蓋部３は、ＬＣＯＳ素子１１の上方に設けられており、ハウジング２に適合する蓋部である。蓋部３は、金属フレーム（光非透過部）３１およびガラス基板（光学窓部）３２を有している。
　金属フレーム３１は、非透過性の金属材料からなり、ＬＣＯＳ素子１１の上方に開口３３が形成されている。そして、ガラス基板３２は開口３３を塞ぐ。これにより、ＬＣＯＳパッケージ２０１外部からの光は、ガラス基板３２を透過して、ＬＣＯＳ素子１１の液晶部１１ｂに導かれる。
　なお、封止枠体２２と金属フレーム３１とは、ハンダまたはロウからなる接合層４１によって接合されている。また、ガラス基板３２におけるＬＣＯＳ素子１１側の面における縁およびその近傍はメタライズされており、このメタライズされている部分がメタライズ層４２である。さらに、金属フレーム３１とメタライズ層４２とは、ハンダからなる接合層４３によって接合されている。
　ここで、金属フレーム３１には、突出部３４が形成されている。突出部３４は、金属フレーム３１におけるＬＣＯＳ素子１１側の面において、ＬＣＯＳ素子１１の側に突出している。
　突出部３４により、シリコン基板部１１ａと金属フレーム３１との間隔を小さくことができる。そしてこれにより、ハウジング２内に入り込みＬＣＯＳ素子１１の側方に残留した異物が、ＬＣＯＳ素子１１の上面に配置されたＬＣＯＳ素子１１の液晶部１１ｂ（受光部分）に向けて移動することを抑制することができる。これにより、ＬＣＯＳ素子１１の液晶部１１ｂに異物が付着する、もしくはこの液晶部１１ｂ上を異物が浮遊することを防止することができるので、ＬＣＯＳ素子１１の誤動作を抑制することが可能となる。
　また、突出部３４と、ＬＣＯＳ素子１１とが離間されている。突出部３４とＬＣＯＳ素子１１とが離間されているため、突出部３４がＬＣＯＳ素子１１と接触したり、ＬＣＯＳ素子１１を圧迫したりすることを防ぐことができる。従って、突出部３４の接触または圧迫によって、ＬＣＯＳ素子１１が損傷したり誤動作したりすることを防ぐことができる。
　ところで、ＬＣＯＳ素子１１をはじめとする、画素構造を有する光デバイスでは総じて、この光デバイスにおける１画素に相当する面積以上のサイズを有する異物は、この光デバイスの誤動作または受光量の低下の直接的な原因となりやすい。
　この場合、突出部３４と、上記画素構造を有する光デバイスとの離間距離は、この光デバイスの画素サイズ未満であることが好ましい。例えば、この光デバイスの１ピクセルが１０μｍ角である場合、１０μｍ×１０μｍ以上のサイズの異物が上記原因となり得るので、この場合、上記離間距離は１０μｍ未満であることが好ましい。
　これにより、上記画素構造を有する光デバイスの誤動作または受光量の低下の直接的な原因となる異物が、この光デバイスの受光部分に向けて移動することを効果的に抑制することができる。
　（実施の形態１の第１変形例）
　図３の（ａ）～（ｄ）はそれぞれ、ＬＣＯＳパッケージ２０１の第１変形例に係るＬＣＯＳパッケージ２０２～２０５の断面図である。
　図３の（ａ）に示すＬＣＯＳパッケージ２０２は、突出部３４と、封止枠体（ハウジングの側壁）２２とが離間されている点が、ＬＣＯＳパッケージ２０１と異なっている。ＬＣＯＳパッケージ２０２のその他の構成は、ＬＣＯＳパッケージ２０１の構成と同様である。
　突出部３４と封止枠体２２とが離間されているため、突出部３４と封止枠体２２との間において、突出部３４の製造公差に対するマージンを確保することができる。また、突出部３４と封止枠体２２との間にて、異物を捕捉することが可能となる。
　図３の（ｂ）に示すＬＣＯＳパッケージ２０３は、下記の点が、ＬＣＯＳパッケージ２０１と異なっている。ＬＣＯＳパッケージ２０３のその他の構成は、ＬＣＯＳパッケージ２０１の構成と同様である。
　ＬＣＯＳパッケージ２０３には、突出部３４の替わりに、突出部３４と同様の機能を有する突出部３５が、金属フレーム３１と別部材として設けられている。なお、突出部３５の材質は、低アウトガスであり、一般的な気密封止パッケージに適したものであればよく、金属、エポキシ樹脂、またはアクリル樹脂等が挙げられる。これにより、突出部３４を有する金属フレーム３１を一体成形する場合と比べて、加工コストを抑え、突出部の形状の自由度を上げることができる。
　また、ＬＣＯＳパッケージ２０３において、突出部３５は、ＬＣＯＳ素子１１の直上から、ＬＣＯＳ素子１１の側方にまで延びている。これにより、異物がＬＣＯＳ素子１１の側方から液晶部１１ｂ上に到達するまでの距離を長くとることができるため、ＬＣＯＳ素子１１の誤動作の直接的な原因となる異物が、液晶部１１ｂに向けて移動することを効果的に抑制することができる。
　さらに、突出部３５は、その一部または全部が、突出部３５の先端に近づく程封止枠体２２に近づくように延びており、これにより、突出部３５における封止枠体２２側にて、異物を捕捉することが可能となる。この構成については、図３の（ｂ）の例の他、図８および９の例も考えられる。図８は、ＬＣＯＳパッケージ２０３に対して、突出部３５を短くした（突出部３５の先端がＬＣＯＳ素子１１の直上に位置する）ＬＣＯＳパッケージ２１０である。図９は、ＬＣＯＳパッケージ２０３に対して、突出部３５を段型に形成したＬＣＯＳパッケージ２１１である。ＬＣＯＳパッケージ２１０および２１１共に、それら各々の隙間３７にて、異物を捕捉することができる。
　図３の（ｃ）に示すＬＣＯＳパッケージ２０４は、下記の点が、ＬＣＯＳパッケージ２０３と異なっている。ＬＣＯＳパッケージ２０４のその他の構成は、ＬＣＯＳパッケージ２０３の構成と同様である。
　ＬＣＯＳパッケージ２０４には、突出部３５が複数設けられている。突出部３５のうち、最もＬＣＯＳ素子１１側に設けられた突出部３５ａは、ＬＣＯＳ素子１１の上面に向けて延びている。突出部３５のうち、最もＬＣＯＳ素子１１から遠い側に設けられた突出部３５ｃは、ＬＣＯＳ素子１１の側方に向けて延びている。突出部３５のうち、突出部３５ａと突出部３５ｃとの間に設けられた突出部３５ｂは、ＬＣＯＳ素子１１の上面および側方に向けて延びている。
　複数の突出部３５を設けることにより、ＬＣＯＳ素子１１の液晶部１１ｂに異物が付着する、もしくはこの液晶部１１ｂ上を異物が浮遊することを、より確実に防止することができる。すなわち、異物がどのように移動するかを自在に制御することは困難であるが、複数の突出部３５を設けることにより、異物を２つの突出部３５間にて捕捉して留まらせることが可能となる。結果として異物が液晶部１１ｂの上方にまで移動することを抑制することができる。
　図３の（ｄ）に示すＬＣＯＳパッケージ２０５は、下記の点が、ＬＣＯＳパッケージ２０４と異なっている。ＬＣＯＳパッケージ２０５のその他の構成は、ＬＣＯＳパッケージ２０４の構成と同様である。
　ＬＣＯＳパッケージ２０５は、金属フレーム３１に、突出部３５ａ～３５ｃと１対１に対応する溝３６ａ～３６ｃが形成されている。溝３６ａ～３６ｃには、それぞれ、突出部３５ａ～３５ｃが嵌め込まれる。
　溝３６ａ～３６ｃに、それぞれ、突出部３５ａ～３５ｃが嵌め込まれる構造とすることによって、溝３６ａ～３６ｃに突出部３５ａ～３５ｃを嵌め込む深さに応じて、突出部３５ａ～３５ｃの高さを調整することができる。これにより、突出部３５ａ～３５ｃとＬＣＯＳ素子１１との間において、突出部３５ａ～３５ｃの製造公差に対するマージンを確保することができる。
　（実施の形態１の第２変形例）
　図４の（ａ）および（ｂ）はそれぞれ、本実施の形態の第２変形例に係る、金属フレーム３１におけるＬＣＯＳ素子１１側の面を示す平面図である。ここでは、金属フレーム３１および突出部３５の組み合わせについて説明を行うが、金属フレーム３１および突出部３４の組み合わせについても同様である。
　図４の（ａ）および（ｂ）のそれぞれに示す金属フレーム３１には、突出部３５ａ～３５ｃ（図３の（ｃ）および（ｄ）参照）が設けられている。
　図４の（ａ）に示す金属フレーム３１において、突出部３５ａ～３５ｃの各々は、金属フレーム３１の開口３３を囲むように、枠状かつ連続的に設けられている。このため、ＬＣＯＳ素子１１の全周に亘って、異物が液晶部１１ｂに向けて移動することを抑制することができる。一方、図４の（ｂ）に示す金属フレーム３１において、突出部３５ａ～３５ｃの各々は、金属フレーム３１の開口３３を囲むように、枠状かつ断続的に設けられている。図４の（ｂ）に示す金属フレーム３１の構成によれば、突出部３５ａ～３５ｃと金属フレーム３１とが異なる材料であった場合、金属フレーム３１に生じる応力を抑制することができる。
　（付記事項）
　本実施の形態では、ＬＣＯＳ素子を収納した光デバイスパッケージ（ＬＣＯＳパッケージ）について説明したが、本発明は、これに限定されない。すなわち、本発明に係る光デバイスパッケージに収納される光デバイスは、光が入力される、又は、光を出力する光デバイスであればよく、例えば、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）ミラーであってもよい。また、この光デバイスは、固体撮像素子であってもよく、この場合、本発明に係る光デバイスパッケージの構成により、光デバイスの誤動作に係る効果に替えて、光デバイスにおける受光量の低下に係る効果を享受することができる。
　また、上述したとおり、ガラス基板３２にはメタライズ層４２が形成されているが、このメタライズ層４２は省略されてもよい。換言すれば、光学窓部がガラス（光透過性材料）単体でさえあれば、このガラスの縁およびその近傍に金属層等の光非透過性材料を形成したものであってもよい。
　また、ＬＣＯＳ素子１１と突出部３４との離間距離が小さい程、異物の移動の抑制効果が高まる一方、突出部３４がＬＣＯＳ素子１１を接触および／または圧迫する虞が高まる。突出部３４がＬＣＯＳ素子１１を接触または圧迫する虞をできるだけ低減したい場合、ＬＣＯＳ素子１１と突出部３４との離間距離を１００μｍ程度としても、ある程度の上記抑制効果が見込める。突出部３５についても同様である。
　さらに、ＬＣＯＳパッケージ２０１～２０５では、説明を簡潔にするために、突出部３４を設ける形態と突出部３５を設ける形態とを明確に区別したが、実際は、ＬＣＯＳパッケージ２０１～２０５の全てにおいてこれらの両形態を適用することが可能である。
　〔実施の形態２〕
　図５は、本発明の第２の実施の形態に係るＬＣＯＳパッケージ２０６の分解斜視図である。また、図６は、図５に示すＬＣＯＳパッケージ２０６のＢ－Ｂ線矢視断面図である。
　図５および図６に示すＬＣＯＳパッケージ２０６は、蓋部３の替わりに蓋部５を備えている点が、ＬＣＯＳパッケージ２０１と異なっている。ＬＣＯＳパッケージ２０６のその他の構成は、ＬＣＯＳパッケージ２０１の構成と同様である。
　蓋部５は、ＬＣＯＳ素子１１の上方に設けられており、ハウジング２に適合する蓋部である。蓋部５は、金属フレーム（光非透過部）５１、ガラス基板（光学窓部）５２、および突出部（光非透過部）５５を有している。
　金属フレーム５１は、光非透過性の金属材料からなり、ＬＣＯＳ素子１１の上方に開口５３が形成されている。そして、ガラス基板５２は開口５３を塞ぐ。これにより、ＬＣＯＳパッケージ２０６外部からの光は、ガラス基板５２を透過して、ＬＣＯＳ素子１１の液晶部１１ｂに導かれる。
　なお、封止枠体２２と金属フレーム５１とは、ハンダまたはロウからなる接合層６１によって接合されている。また、ガラス基板５２におけるＬＣＯＳ素子１１と反対側の面における縁およびその近傍はメタライズされており、このメタライズされている部分がメタライズ層６２である。さらに、金属フレーム５１とメタライズ層６２とは、ハンダからなる接合層６３によって接合されている。
　金属フレーム５１およびガラス基板５２の材質は、それぞれ、金属フレーム３１およびガラス基板３２の材質と同じである。
　金属フレーム５１は、突出部５５が、金属フレーム５１と別部材として設けられている。突出部５５は、金属フレーム５１におけるＬＣＯＳ素子１１側の面から、ＬＣＯＳ素子１１の側に突出している。突出部５５によっても、突出部３４および３５と同様の、異物の移動の抑制効果を得ることができる。
　ＬＣＯＳパッケージ２０６において、ガラス基板５２は、金属フレーム５１におけるＬＣＯＳ素子１１と対向する面（すなわち、ＬＣＯＳ素子１１側）に接合されている。これにより、ガラス基板５２の縁がＬＣＯＳパッケージ２０６の外部に露出しないので、ガラス基板５２に対するＬＣＯＳパッケージ２０６の外部からのダメージを低減することができる。
　（実施の形態２の変形例）
　図７の（ａ）～（ｃ）はそれぞれ、ＬＣＯＳパッケージ２０６の変形例に係るＬＣＯＳパッケージ２０７～２０９の断面図である。
　図７の（ａ）～（ｃ）にそれぞれ示すＬＣＯＳパッケージ２０７～２０９は、下記の点が、ＬＣＯＳパッケージ２０６と異なっている。ＬＣＯＳパッケージ２０７～２０９のその他の構成は、ＬＣＯＳパッケージ２０６の構成と同様である。
　図６に示すＬＣＯＳパッケージ２０６の突出部５５は、図６の断面において斜線状に設けられていたが、ＬＣＯＳパッケージ２０７～２０９の突出部５５は、それぞれ、図７の（ａ）～（ｃ）の断面においてＬ字形に設けられている。
　図７の（ｂ）に示すＬＣＯＳパッケージ２０８は、図７の（ａ）に示すＬＣＯＳパッケージ２０７と比較して、ガラス基板５２と突出部５５との間隔が小さくなっている。また、図７の（ｃ）に示すＬＣＯＳパッケージ２０９は、図７の（ｂ）に示すＬＣＯＳパッケージ２０８と比較して、封止枠体２２と突出部５５の先端との離間距離が小さくなっている。
　〔まとめ〕
　本発明は、以下のように解釈することもできる。
　本発明の光デバイスパッケージは、光デバイスと、上記光デバイスを収納するハウジングと、光非透過性材料からなり開口が形成されている光非透過部と、光透過性材料からなり上記開口を塞ぐ光学窓部とを有する蓋部と、を備えており、上記光非透過部は、上記光デバイスの側に突出する突出部を少なくとも１つ有している。
　上記の構成によれば、ハウジング内に入り込み光デバイスの側方に残留した異物が、光デバイスの上面に配置された光デバイスの受光部分に向けて移動することを、突出部により抑制することができる。これにより、光デバイスの受光部分に異物が付着する、もしくはこの受光部分上を異物が浮遊することを防止することができるので、光デバイスの誤動作または受光量の低下を抑制することが可能となる。
　また、本発明の光デバイスパッケージは、少なくとも１つの上記突出部と、上記光デバイスとが離間されている。
　上記の構成によれば、突出部と光デバイスとが離間されているため、突出部が光デバイスと接触したり、光デバイスを圧迫したりすることを防ぐことができる。従って、突出部の接触または圧迫によって、光デバイスが損傷したり誤動作または受光量の低下を生じたりすることを防ぐことができる。
　ところで、光デバイスが画素構造を有するものである場合、１画素に相当する面積以上のサイズを有する異物は、誤動作または受光量の低下の直接的な原因となりやすい。
　この場合、上記少なくとも１つの突出部と、上記光デバイスとの離間距離は、上記光デバイスの画素サイズ未満である。
　上記の構成によれば、光デバイスの誤動作または受光量の低下の直接的な原因となる異物が、光デバイスの受光部分に向けて移動することを効果的に抑制することができる。
　また、本発明の光デバイスパッケージは、少なくとも１つの上記突出部と、上記ハウジングの側壁とが離間されている。
　上記の構成によれば、突出部とハウジングの側壁とが離間されているため、突出部とハウジングの側壁との間において、突出部の製造公差に対するマージンを確保することができる。また、上記の構成によれば、突出部とハウジングの側壁との間にて、異物を捕捉することが可能となる。
　また、本発明の光デバイスパッケージは、上記少なくとも１つの突出部の少なくとも一部が、この突出部の先端に近づく程上記ハウジングの側壁に近づくように延びている。
　上記の構成によれば、突出部におけるハウジングの側壁側にて、異物を捕捉することが可能となる。
　また、本発明の光デバイスパッケージにおいて、少なくとも１つの上記突出部は、上記光デバイスの側方にまで延びている。
　また、本発明の光デバイスパッケージにおいて、上記光非透過部は、上記突出部を複数有している。
　上記の構成によれば、光デバイスの受光部分に異物が付着する、もしくはこの受光部分上を異物が浮遊することを、より確実に防止することができる。
　また、本発明の光デバイスパッケージにおいて、少なくとも１つの上記突出部は、上記光非透過部に取り付けられた、上記光非透過部とは別体の部材である。
　上記の構成によれば、突出部を有する光非透過部を一体成形する場合と比べて、加工コストを抑え、突出部の形状の自由度を上げることができる。
　また、本発明の光デバイスパッケージにおいて、少なくとも１つの上記突出部は、上記光非透過部に形成された溝に嵌め込まれた、上記光非透過部とは別体の部材である。
　上記の構成によれば、光非透過部に形成された溝に突出部を嵌め込む深さに応じて、突出部の高さを調整することができる。これにより、突出部と光デバイスとの間において、突出部の製造公差に対するマージンを確保することができる。
　また、本発明の光デバイスパッケージにおいて、上記光学窓部は、上記光非透過部における上記光デバイスと対向する面に接合されている。
　上記の構成によれば、光学窓部の縁が光デバイスパッケージの外部に露出しないので、光学窓部に対する光デバイスパッケージの外部からのダメージを低減することができる。
　本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
　本発明は、光デバイスを気密封止してなる光デバイスパッケージに利用することができる。特に、本発明は、光非透過性材料からなり、開口が形成されている光非透過部と、光透過性材料からなり、上記開口を塞ぐ光学窓部と、を有する蓋部を備えた光デバイスパッケージに利用することができる。
１　光デバイスユニット
２　ハウジング
３　蓋部
５　蓋部
１１　ＬＣＯＳ素子（光デバイス）
２２　封止枠体（ハウジングの側壁）
３１　金属フレーム（光非透過部）
３２　ガラス基板（光学窓部）
３３　開口
３４および３５　突出部（光非透過部）
３５ａ～３５ｃ　突出部（光非透過部）
５１　金属フレーム（光非透過部）
５２　ガラス基板（光学窓部）
５３　開口
５５　突出部（光非透過部）
２０１～２１１　ＬＣＯＳパッケージ（光デバイスパッケージ）

Claims (10)

  1. 　光デバイスと、
    　上記光デバイスを収納するハウジングと、
    　光非透過性材料からなり開口が形成されている光非透過部と、光透過性材料からなり上記開口を塞ぐ光学窓部とを有する蓋部と、を備えており、
    　上記光非透過部は、上記光デバイスの側に突出する突出部を少なくとも１つ有していることを特徴とする光デバイスパッケージ。
  2. 　少なくとも１つの上記突出部と、上記光デバイスとが離間されていることを特徴とする請求項１に記載の光デバイスパッケージ。
  3. 　上記光デバイスは、画素構造を有するものであり、
    　上記少なくとも１つの突出部と、上記光デバイスとの離間距離は、上記光デバイスの画素サイズ未満であることを特徴とする請求項２に記載の光デバイスパッケージ。
  4. 　少なくとも１つの上記突出部と、上記ハウジングの側壁とが離間されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の光デバイスパッケージ。
  5. 　上記少なくとも１つの突出部の少なくとも一部が、この突出部の先端に近づく程上記ハウジングの側壁に近づくように延びていることを特徴とする請求項４に記載の光デバイスパッケージ。
  6. 　少なくとも１つの上記突出部は、上記光デバイスの側方にまで延びていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の光デバイスパッケージ。
  7. 　上記光非透過部は、上記突出部を複数有していることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の光デバイスパッケージ。
  8. 　少なくとも１つの上記突出部は、上記光非透過部に取り付けられた、上記光非透過部とは別体の部材であることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の光デバイスパッケージ。
  9. 　少なくとも１つの上記突出部は、上記光非透過部に形成された溝に嵌め込まれた、上記光非透過部とは別体の部材であることを特徴とする請求項８に記載の光デバイスパッケージ。
  10. 　上記光学窓部は、上記光非透過部における上記光デバイスと対向する面に接合されていることを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の光デバイスパッケージ。
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