WO2016143485A1 - 遊動環型メカニカルシール - Google Patents

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WO2016143485A1
WO2016143485A1 PCT/JP2016/054866 JP2016054866W WO2016143485A1 WO 2016143485 A1 WO2016143485 A1 WO 2016143485A1 JP 2016054866 W JP2016054866 W JP 2016054866W WO 2016143485 A1 WO2016143485 A1 WO 2016143485A1
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ring
seal
diamond film
rotating ring
rotating
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PCT/JP2016/054866
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優司 佐藤
崇伺 西
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日本ピラー工業株式会社
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    • F16J15/3436—Pressing means
    • F16J15/3452—Pressing means the pressing force resulting from the action of a spring

Definitions

  • the present invention relates to an idle ring type mechanical seal. More specifically, the present invention relates to a floating ring type mechanical seal in which a floating ring is held under pressure between a rotating ring provided on a rotating shaft and a stationary ring provided on a seal case.
  • the floating ring type mechanical seal includes a rotating ring 102 provided on the rotating shaft 101, a stationary ring 104 provided on the seal case 103, and a floating ring 105.
  • the stationary ring 104 is provided in the seal case 103 so as to be movable in the axial direction (left-right direction in FIG. 5) and biased in the direction toward the rotating ring 102.
  • the stationary ring 104 is urged in a direction toward the rotating ring 102 by a spring 108 disposed in a recess 107 formed in a spring retainer 106 attached to the seal case 103.
  • reference numeral 109 denotes a pump casing
  • reference numerals 110 and 111 denote supply and discharge paths for the flushing liquid F formed in the seal case 103, respectively.
  • Reference numeral 112 denotes a drain formed on the seal case 103.
  • the idle ring 105 is sandwiched and held between the stationary ring 104 and the rotating ring 102 in a state where relative rotation with respect to the stationary ring 104 is prevented.
  • the outer peripheral region of the relative rotational sliding contact portion is caused by the relative rotational sliding contact action of the seal surfaces 102 a and 105 a that are the contact surfaces of the rotary ring 102 and the floating ring 105.
  • the sealed fluid region A and the non-sealed fluid region (atmospheric region) B which is the inner peripheral side region are shield-sealed.
  • a floating ring 105 that exhibits a sealing function by a relative rotational sliding contact with the rotating ring 102 is held between the rotating ring 102 and the stationary ring 104 and held in a shaft. Since both ends in the direction have a substantially symmetrical shape, the influence of the fluid pressure in the sealed fluid region can be received in a balanced manner in the axial direction. That is, the pressure strain generated in the idle ring 105 is substantially the same at both ends, and is not greatly distorted with respect to the axis.
  • the idle ring 105 is not inclined with respect to the seal surface 102a of the rotating ring 102, the parallelism of both the seal surfaces 102a and 105a is ensured, and a good sealing function can be exhibited.
  • the mechanical seal described in Patent Document 3 is not a mechanical seal provided with an idler ring, but air toward the sliding surface of the rotating ring and stationary ring on the outer peripheral surface of the sleeve fixed to the outer periphery of the rotating shaft. A groove for generating a flow is formed, and the sliding surface is cooled by this air flow.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and effectively prevents or prevents thermal distortion generated in the rotating ring due to a temperature difference between the sealing surface of the rotating ring and other portions, particularly the back surface.
  • An object of the present invention is to provide a floating ring type mechanical seal that can be suppressed and expands the application or use range of the mechanical seal.
  • a floating ring type mechanical seal (hereinafter also simply referred to as a “mechanical seal”) according to a first aspect of the present invention includes a rotary ring provided on a rotary shaft, a seal case that is axially movable, and A floating ring type mechanical seal in which a floating ring is clamped and held in a state where relative rotation with respect to the stationary ring is prevented between a stationary ring provided in a state of being biased in a rotating ring direction.
  • the rotating ring is made of a SiC sintered body or cemented carbide, A diamond film is formed on a seal surface that slides with the idle ring in the rotating ring, and A diamond film that is continuous with the diamond film on the sealing surface is formed on the outer peripheral surface of the rotating ring and on the back surface that is the surface opposite to the sealing surface in the rotating ring.
  • a diamond film that is continuous with the diamond film on the seal surface is formed on the outer peripheral surface of the rotary ring and on the back surface that is the surface opposite to the seal surface in the rotary ring.
  • the diamond film has a large thermal conductivity of 1000 to 2000 W / m ⁇ k. For this reason, the frictional heat generated on the seal surface, which is the sliding surface of the rotating ring, is quickly transmitted to the diamond film formed on the back surface of the rotating ring via the diamond film formed on the outer peripheral surface of the rotating ring. Can do.
  • the temperature difference between the sealing surface and the back surface of the rotating ring can be relaxed, and thermal strain caused by the temperature difference can be prevented or suppressed from occurring in the rotating ring.
  • the parallelism between the sealing surface of the rotating ring and the sealing surface of the idle ring can be maintained, and stable sliding characteristics can be exhibited over a long period even under high load conditions.
  • a mechanical seal according to a second aspect of the present invention includes a rotary ring provided on a rotary shaft and a stationary ring provided in a seal case so as to be axially movable and biased in the rotary ring direction.
  • the floating ring is a floating ring type mechanical seal that is held under pressure in a state in which relative rotation with respect to the stationary ring is prevented
  • the rotating ring is made of a SiC sintered body or cemented carbide
  • a diamond film is formed on a seal surface that slides with the idle ring in the rotating ring
  • a diamond film that is continuous with the diamond film on the sealing surface is formed on the inner peripheral surface of the rotating ring and on the back surface that is the surface opposite to the sealing surface in the rotating ring.
  • a diamond film that is continuous with the diamond film of the seal surface on the inner peripheral surface of the rotary ring and the back surface that is the surface opposite to the seal surface in the rotary ring.
  • the diamond film has a large thermal conductivity of 1000 to 2000 W / m ⁇ k. For this reason, the frictional heat generated on the seal surface that is the sliding surface of the rotating ring is quickly transmitted to the diamond film formed on the back surface of the rotating ring via the diamond film formed on the inner peripheral surface of the rotating ring. be able to.
  • the temperature difference between the sealing surface and the back surface of the rotating ring can be relaxed, and thermal strain caused by the temperature difference can be prevented or suppressed from occurring in the rotating ring.
  • the parallelism between the sealing surface of the rotating ring and the sealing surface of the idle ring can be maintained, and stable sliding characteristics can be exhibited over a long period even under high load conditions.
  • a mechanical seal according to a third aspect of the present invention includes a rotary ring provided on a rotary shaft, and a stationary ring provided in a seal case that is axially movable and biased in the rotary ring direction.
  • the floating ring is a floating ring type mechanical seal that is held under pressure in a state in which relative rotation with respect to the stationary ring is prevented
  • the rotating ring is made of a SiC sintered body or cemented carbide
  • a diamond film is formed on a seal surface that slides with the idle ring in the rotating ring
  • a diamond film continuous with the diamond film on the seal surface is formed on the inner peripheral surface of the rotating ring and the outer peripheral surface of the rotating ring.
  • a diamond film continuous with the diamond film on the seal surface is formed on the inner peripheral surface of the rotating ring and the outer peripheral surface of the rotating ring.
  • the diamond film has a large thermal conductivity of 1000 to 2000 W / m ⁇ k. For this reason, the frictional heat generated on the seal surface which is the sliding surface of the rotating ring is promptly passed through the diamond film formed on the inner and outer peripheral surfaces of the rotating ring, and the inner and outer peripheral sides of the rotating ring. Can tell. Thereby, the temperature difference between each of the sealing surface of the rotating ring, the outer peripheral surface, and the inner peripheral surface can be relaxed, and thermal strain caused by the temperature difference can be prevented or suppressed from occurring in the rotating ring. As a result, the parallelism between the sealing surface of the rotating ring and the sealing surface of the idle ring can be maintained, and stable sliding characteristics can be exhibited over a long period even under high load conditions.
  • a heat transfer ring is provided on the outer periphery of the diamond film formed on the outer peripheral surface.
  • the frictional heat generated on the sealing surface of the rotating ring can be transmitted to the back surface of the rotating ring via the heat transfer ring, and between the sealing surface and the back surface of the rotating ring. The temperature difference can be reduced more effectively. Further, the diamond film can be protected from mechanical vibration transmitted to the mechanical seal by the heat transfer ring.
  • the thermal conductivity of the diamond film can be 1000 to 2000 W / m ⁇ k.
  • the mechanical seal of the present invention it is possible to effectively prevent or suppress thermal distortion generated in the rotating ring due to a temperature difference between the sealing surface of the rotating ring and other portions, particularly the back surface.
  • FIG. 1 is a longitudinal sectional explanatory view of a mechanical seal M according to the first embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is an enlarged explanatory view of a main part of the mechanical seal M shown in FIG. 2 to 4 exaggerate the film thickness of the diamond film for easy understanding.
  • the mechanical seal M according to the present embodiment is a shaft sealing means such as a BFP (boiler feed pump) for supplying water to a boiler of a thermal power plant, for example, where the pressure of the fluid to be sealed is high and large pressure fluctuations may occur depending on the operating conditions. It is a floating ring type mechanical seal suitably used as the above.
  • BFP blower feed pump
  • the mechanical seal M is provided in the seal case 2 attached to the pump casing 1, the sleeve 4 fixed to the outer periphery of the rotary shaft 3 that penetrates the pump casing 1 and protrudes from the pump casing 1, and the sleeve 4.
  • the stationary ring 6 provided opposite to the rotating ring 5, the spring 7 disposed between the seal case 2 and the stationary ring 6, and between the rotating ring 5 and the stationary ring 6
  • a set plate that connects the floating ring 8 held between the seal, the seal case 2 and the sleeve 4 when the mechanical seal M is attached to the device, and arranges the rotating ring 5, the stationary ring 6 and the floating ring 8 at predetermined positions. 9 and.
  • the mechanical seal M includes a sealed fluid region (region communicating with the in-machine region of the BFP) A, which is an outer peripheral side region of the relative rotational sliding contact portion, by a relative rotational sliding contact action between the rotating ring 5 and the idle ring 8; It is a cartridge type mechanical seal configured to cut off and seal an unsealed fluid region (atmospheric region which is a BFP outside region) B which is an inner peripheral side region of the relative rotational sliding contact portion.
  • the left side of FIGS. 1 and 2 is referred to as the outboard side or the rear side
  • the right side is referred to as the inboard side or the front side. *
  • the seal case 2 is attached to the end of the pump casing 1 in a state of concentrically surrounding the rotating shaft portion 3a protruding from the pump casing 1.
  • the seal case 2 has a cylindrical shape, and includes a main body portion 21, a wall portion 22, and a spring retainer 23.
  • the main body 21 is a cylindrical member, and one end thereof abuts on the pump casing 1 and engages with the pump casing 1.
  • the wall portion 22 is an annular member integrally formed with the main body portion 21 on the inner periphery of the other end portion of the main body portion 21 (an end portion opposite to the end portion on the side engaged with the pump casing 1). .
  • the spring retainer 23 is attached to the inner surface side of the wall portion 22.
  • the spring retainer 23 includes an annular spring holding portion 23a attached to the wall portion 22, and a cylindrical stationary ring holding portion 23b protruding from the spring holding portion 23a toward the inside of the machine.
  • a supply path 24 and a discharge path 25 for the flushing liquid (water) F are formed in the pump casing 1.
  • a drain 26 is formed in the seal case 2.
  • the sleeve 4 includes a cylindrical main body portion 41 inserted through the rotary shaft portion 3a, an annular first holding portion 42 formed at a distal end portion (an inner end portion) of the main body portion 41, and a first holding portion. And a cylindrical second holding portion 43 that protrudes outward from the outer peripheral portion of the portion 42.
  • the sleeve 4 is fixed to the outer periphery of the rotary shaft 3 in a state where the sleeve 4 is positioned in the seal case 2 except for a base end portion (rear end portion; a portion located outside the machine) of the main body 41.
  • the stopper ring 10 inserted through the rotary shaft 3 is fixed to the base end portion of the main body 41 protruding from the seal case 2 to the outside of the machine by a plurality of first set screws 11a, and the stopper ring 10 Is fixed to the rotating shaft 3 by a plurality of second set screws 11b, whereby the sleeve 4 is detachably fixed to the rotating shaft 3.
  • An O-ring groove 12 is formed on the inner periphery of the first holding portion 42, and a seal (secondary) is provided between the rotating shaft 3 and the sleeve 4 by the O-ring 13 disposed in the O-ring groove 12. Is sealed).
  • a pumping ring 14 for circulating with the flushing liquid is attached to the front end of the sleeve 4 with a cap bolt 15.
  • the rotating ring 5 rotates through a plurality of O-rings 16 and 17 in a state where it can be displaced or deformed in the axial direction (the direction of the axis of the rotating shaft 3) and the radial direction within the elastic deformation range of the O-rings 16 and 17. It is held on the shaft 3.
  • transformation of the rotating ring 5 is permitted between the inner peripheral surface of the rotating ring 5 and the outer peripheral surface of the main-body part 41 of the sleeve 4 facing this.
  • An annular gap 18 is formed.
  • the rotating ring 5 is made of a SiC sintered body, and this sintered body can be obtained, for example, by room temperature sintering or reaction sintering of SiC.
  • the obtained SiC sintered body has a thermal conductivity of 70 to 120 W / mK.
  • the rotating ring 5 may be made of cemented carbide (WC).
  • the stationary ring 6 is held in the seal case 2 via an O-ring 19 and a drive pin 20 so as to be movable in the axial direction but not relatively rotatable. More specifically, the stationary ring 6 is held by the seal case 2 by loosely fitting the base end portion of the stationary ring 6 to the stationary ring holding portion 23 a of the spring retainer 23 via the O-ring 19. The stationary ring 6 is held by the seal case 2 so as to be movable in the axial direction while being sealed (secondary seal) with the O-ring 19 between the stationary ring 6.
  • the stationary ring 6 has a plurality of drive pins 20 projecting from the base end of the stationary ring 6, and each drive pin 11 is inserted into a plurality of engagement recesses 31 formed in the spring holding portion 23 a of the spring retainer 23. By engaging, relative rotation with respect to the seal case 2 is prevented while allowing movement in the axial direction within a predetermined range.
  • the stationary ring 6 can be made of a hard metal such as stainless steel.
  • the spring 7 is held by a plurality of engaging recesses 32 formed at equal intervals along the circumferential direction in the spring holding portion 23b of the spring retainer 23.
  • the spring 7 is in contact with the back surface (rear end surface) of the stationary ring 6 and presses and urges the stationary ring 6 in the direction of the rotating ring.
  • the idle ring 8 includes an annular main body 81, and a pressing portion 82 and a seal portion 83, which are formed integrally with front and rear end portions on the inner peripheral side of the main body 81 and have substantially the same annular shape. .
  • the pressing surface 82 a that is the end surface of the pressing portion 82 contacts the pressing surface 6 a that is the front end surface (rear end surface) of the stationary ring 6, and the sealing surface 83 a that is the end surface of the sealing portion 83 is the rotating ring 5.
  • the rotating ring 5 and the stationary ring 6 are held under pressure by the urging force of the spring 7 while being in contact with the seal surface 5 a that is the front end surface (rear end surface) of the rotating ring 5.
  • the idle ring 8 is formed by engaging a plurality of drive pins 33 projecting at equal intervals along the circumferential direction at the front end of the stationary ring 6 with the engagement holes 34 formed in the main body 81. 6 is held in a relatively non-rotatable state with relative displacement within a predetermined range in the axial direction and radial direction.
  • An O-ring 35 that seals (secondary seal) between the stationary ring 6 and the floating ring 8 is disposed between the opposing end surfaces in the axial direction of the stationary ring 6 and the main body 81 of the floating ring 8.
  • a plurality of through holes 36 are formed in the main body 81 of the idle ring 8 at equal intervals along the circumferential direction.
  • the idle ring 8 can be made of a material softer than the material constituting the rotating ring 5, such as carbon.
  • a diamond film d1 is formed on the seal surface 5a that slides with the floating ring 8 in the rotary ring 5, and the diamond film of the seal surface 5a is formed on the outer peripheral surface 5b and the back surface 5c of the rotary ring 5.
  • a diamond film d2 and a diamond film d3 continuous with d1 are formed. Therefore, not only the wear resistance of the seal surface 5a is improved, but also the diamond films d1 and d2 have a large thermal conductivity of 1000 to 2000 W / m ⁇ k.
  • the frictional heat generated on the seal surface 5a is transferred from the diamond film d1 on the seal surface 5a to the diamond film d3 formed on the back surface 5c of the rotating ring 5 via the diamond film d2 formed on the outer peripheral surface 5b.
  • I can tell you.
  • the temperature difference between the seal surface 5a and the back surface 5c of the rotating ring 5 can be relaxed, and thermal strain caused by the temperature difference can be prevented or suppressed from occurring in the rotating ring 5.
  • the frictional heat generated on the seal surface 5a of the rotating ring 5 is promptly transmitted to the back surface 5c of the rotating ring 5 through the diamond film having a high thermal conductivity, so that the heat balance (seal surface of the rotating ring 5) It is possible to prevent or suppress the collapse of the heat balance between the 5a side portion and the back surface 5c side portion.
  • a sliding characteristic can be exhibited.
  • the diamond film can be manufactured using a general manufacturing technique such as a microwave CVD method or a hot filament CVD method.
  • the thickness of the diamond film is not particularly limited in the present invention, but is usually 3 to 20 ⁇ m, preferably 3 to 10 ⁇ m. From the viewpoint that the frictional heat generated on the seal surface 5a of the rotating ring 5 is moved to the diamond film d2 on the outer peripheral surface 5b before moving to the SiC sintered body that is the base material of the rotating ring 5, the thickness is 3 ⁇ m or more. It is desirable that it is.
  • the thicker the diamond film the larger the surface roughness of the film, making it difficult to use as a sealing surface for mechanical seals, which are precision mechanical parts.
  • the residual stress of the diamond film is minimized.
  • the thickness is desirably 10 ⁇ m or less.
  • the diamond film d1 and the diamond films d2 and d3 may have the same thickness, but may have different thicknesses. From the viewpoint of quickly moving the frictional heat generated on the seal surface 5a of the rotating ring 5 to the diamond film d2 on the outer peripheral surface 5b, the film thickness of the diamond film d2 on the outer peripheral surface 5b is the film of the diamond film d1 on the seal surface 5a. It is desirable that the thickness is greater than or equal to.
  • a heat transfer ring 37 is provided on the outer periphery of the diamond film d2 formed on the outer peripheral surface 5b of the rotating ring 5.
  • the heat transfer ring 37 is made of, for example, a metal such as titanium or SUS403, and is shrink fitted on the outer periphery of the diamond film d2.
  • the thermal conductivities of titanium and SUS403 are 17.4 W / m ⁇ k and 24.9 to 25.7 W / m ⁇ k, respectively, which are small compared to diamond and SiC.
  • FIG. 3 is an enlarged explanatory view of a main part of the mechanical seal according to the second embodiment of the present invention.
  • the mechanical seal according to the second embodiment and the third embodiment to be described later is different from the mechanical seal M according to the first embodiment only in the configuration of the rotating ring, and the configuration of other stationary rings, idle rings, etc. It is common. Therefore, common components are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted for simplicity.
  • a diamond film d1 is formed on the seal surface 5a that slides with the floating ring 8 in the rotary ring 5, and the diamond of the seal surface 5a is formed on the inner peripheral surface 5d and the back surface 5c of the rotary ring 5.
  • a diamond film d4 continuous with the film d1 and a diamond film d3 continuous with the diamond film d4 are respectively formed. For this reason, not only the wear resistance of the seal surface 5a is improved, but also the frictional heat generated on the seal surface 5a which is the sliding surface of the rotating ring 5 is promptly transmitted from the diamond film d1 of the seal surface 5a to the inner peripheral surface 5d.
  • the gasket 38 is disposed in contact with the back surface 5c of the rotary ring 5, more specifically, the diamond film d3 formed on the back surface 5c.
  • the gasket 38 is made of a material having a hardness Hs of 40 to 90. Examples of such materials include expanded graphite and heat-resistant silicone rubber.
  • FIG. 4 is an enlarged explanatory view of a main part of the mechanical seal according to the third embodiment of the present invention.
  • diamond films d1, d2, and d4 are formed on the seal surface 5a, the outer peripheral surface 5b, and the inner peripheral surface 5d of the rotating ring 5, respectively.
  • the diamond films d1, d2, and d4 are formed continuously with each other.
  • the frictional heat generated on the seal surface 5a which is the sliding surface of the rotating ring 5 is quickly rotated via the diamond films d4 and d2 formed on the inner and outer peripheral surfaces 5d and 5b of the rotating ring 5. This can be transmitted to the inner peripheral side and the outer peripheral side of the ring 5, and the temperature difference between the seal surface 5 a, the outer peripheral surface and the inner peripheral surface of the rotating ring 5 can be more effectively reduced.
  • a heat transfer ring 37 is provided on the outer periphery of the diamond film d2 formed on the outer peripheral surface 5b of the rotating ring 5.
  • heat transfer ring 37 By heat fitting the heat transfer ring 37 on the outer periphery of the diamond film d2, heat transferred from the diamond film d1 is transmitted to the back surface 5c of the rotating ring 5 through the heat transfer ring 37 in addition to the diamond film d2.
  • the temperature difference between the seal surface 5a and the back surface 5c of the rotary ring 5 can be reduced more effectively.
  • the diamond film d2 is brittle, the diamond film d2 can be protected from mechanical vibration transmitted to the mechanical seal M by providing the heat transfer ring 37 on the outer periphery of the diamond film d2.
  • the gasket 38 is disposed in contact with the back surface 5c of the rotating ring 5, more specifically, the diamond film d3 formed on the back surface 5c.

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Abstract

　回転軸に設けられた回転環と、シールケースに軸線方向移動可能に且つ前記回転環方向に付勢された状態で設けられた静止環との間に、遊動環が、前記静止環に対する相対回転が阻止された状態で挟圧保持されている遊動環型メカニカルシール。前記回転環は、ＳｉＣの焼結体又は超硬合金で作製されている。前記回転環における前記遊動環と摺動するシール面に、ダイヤモンド膜が形成されておいる。前記回転環の外周面、及び、前記回転環における前記シール面と反対側の面である背面に、前記シール面のダイヤモンド膜と連続するダイヤモンド膜が形成されている。

Description

遊動環型メカニカルシール
　本発明は遊動環型メカニカルシールに関する。さらに詳しくは、回転軸に設けられた回転環と、シールケースに設けられた静止環との間に遊動環を挟圧保持させた遊動環型メカニカルシールに関する。
　例えば火力発電所のボイラーに給水をするＢＦＰ（ボイラー　フィード　ポンプ）のように高圧・高温条件下で使用される軸封手段として、従来、種々の遊動環型メカニカルシールが提案されている（例えば、特許文献１～２参照）。
　かかる遊動環型メカニカルシールは、図５に示されるように、回転軸１０１に設けられた回転環１０２と、シールケース１０３に設けられた静止環１０４と、遊動環１０５とを備えている。静止環１０４は、軸線方向（図５において左右方向）移動可能に、且つ、回転環１０２に向かう方向に付勢された状態でシールケース１０３に設けられている。静止環１０４は、シールケース１０３に取り付けられたスプリングリテーナ１０６に形成された凹所１０７内に配設されるスプリング１０８により、回転環１０２に向かう方向に付勢されている。なお、図５において、符号１０９はポンプケーシングを示し、符号１１０及び１１１は、それぞれシールケース１０３に形成されたフラッシング液Ｆの給路及び排路を示す。また、符号１１２は、同じくシールケース１０３に形成されたドレンを示す。
　遊動環１０５は、静止環１０４に対する相対回転が阻止された状態で、当該静止環１０４と、回転環１０２との間に挟圧保持されている。そして、図５に示される遊動環型メカニカルシールでは、回転環１０２と遊動環１０５との接触面であるシール面１０２ａ，１０５ａの相対回転摺接作用により、当該相対回転摺接部分の外周側領域である被密封流体領域Ａと、その内周側領域である非密封流体領域（大気領域）Ｂとを遮蔽シールするように構成されている。
　このような遊動環型メカニカルシールでは、回転環１０２との相対回転摺接作用によりシール機能を発揮する遊動環１０５が、回転環１０２と静止環１０４との間に挟圧保持されており且つ軸方向両端部がほぼ対称形状を呈することから、被密封流体領域の流体圧力による影響を軸線方向においてバランスよく受けることができる。すなわち、遊動環１０５に生じる圧力歪は両端部でほぼ同一であり、軸線に対して大きく歪むことがない。したがって、ＰＶ値（ＭＰａ／ｍ／ｓ。シール面の回転速度Ｖ（ｍ／ｓ）と、シール面間の接触圧Ｐ（ＭＰａ）との積）が大きい高負荷条件下においても、遊動環１０５のシール面１０５ａが回転環１０２のシール面１０２ａに対して傾くことがなく、両シール面１０２ａ，１０５ａの平行性が確保され、良好なシール機能を発揮することができる。
　しかし、例えばＰＶ＝２０ＭＰａ／ｍ／ｓ以上の厳しい負荷条件下でポンプを運転する場合、回転環１０２のシール面１０２ａに大きな摩擦熱が発生する。このような状態でポンプを運転すると、回転環１０２のシール面１０２ａと当該回転環１０２の他の部分、特に前記シール面１０２ａから離れている背面（シール面１０２ａと反対側の面）１０２ｂとの間で温度差が生じ、この温度差に起因して前記回転環１０２に熱歪が発生する虞がある。回転環１０２に熱歪が発生すると、当該回転環１０２のシール面１０２ａと、遊動環１０５のシール面１０５ａとの平行性を保つことができなくなり、その結果、シール機能が低下する虞がある。
　これに対し、特許文献３記載のメカニカルシールは、遊動環を備えたメカニカルシールではないが、回転軸の外周に固定されたスリーブの外周面に回転環と静止環との摺動面に向かう空気流を発生させる溝を形成し、この空気流により摺動面を冷却している。　
特開２００５－２４９１３１号公報 特開２００９－１５６２９４号公報 特開２０１２－２５１６１７号公報
　特許文献３記載の冷却機構を遊動環型メカニカルシールに適用すると、摺動面についてある程度の冷却効果は期待でき、結果として摺動面と背面との温度差を少しは緩和できるものの、スリーブの外周面に所定方向の流体流れを生じさせる溝加工を施すのは容易ではない。
　本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、回転環のシール面と他の部位、特に背面との温度差に起因して当該回転環に生じる熱歪を効果的に防止又は抑制することができ、メカニカルシールの適用又は使用範囲を拡大する遊動環型メカニカルシールを提供することを目的としている。
（１）本発明の第１の観点に係る遊動環型メカニカルシール（以下、単に「メカニカルシール」ともいう）は、回転軸に設けられた回転環と、シールケースに軸線方向移動可能に且つ前記回転環方向に付勢された状態で設けられた静止環との間に、遊動環が、前記静止環に対する相対回転が阻止された状態で挟圧保持されている遊動環型メカニカルシールであって、
　前記回転環は、ＳｉＣの焼結体又は超硬合金で作製されており、
　前記回転環における前記遊動環と摺動するシール面に、ダイヤモンド膜が形成されており、且つ、
　前記回転環の外周面、及び、前記回転環における前記シール面と反対側の面である背面に、前記シール面のダイヤモンド膜と連続するダイヤモンド膜が形成されている。
　本発明の第１の観点に係るメカニカルシールでは、回転環の外周面、及び、当該回転環における前記シール面と反対側の面である背面に、前記シール面のダイヤモンド膜と連続するダイヤモンド膜がされている。ダイヤモンド膜は１０００～２０００Ｗ／ｍ・ｋという大きな熱伝導率を有している。このため、回転環の摺動面であるシール面で発生した摩擦熱を速やかに当該回転環の外周面に形成されたダイヤモンド膜を経由して回転環の背面に形成されたダイヤモンド膜に伝えることができる。これにより、回転環のシール面と背面との間の温度差を緩和し、前記温度差に起因する熱歪が回転環に生じるのを防止又は抑制することができる。その結果、回転環のシール面と、遊動環のシール面との平行性を保つことができ、高負荷条件下においても長期に亘り安定した摺動特性を発揮させることができる。　
（２）本発明の第２の観点に係るメカニカルシールは、回転軸に設けられた回転環と、シールケースに軸線方向移動可能に且つ前記回転環方向に付勢された状態で設けられた静止環との間に、遊動環が、前記静止環に対する相対回転が阻止された状態で挟圧保持されている遊動環型メカニカルシールであって、
　前記回転環は、ＳｉＣの焼結体又は超硬合金で作製されており、
　前記回転環における前記遊動環と摺動するシール面に、ダイヤモンド膜が形成されており、且つ、
　前記回転環の内周面、及び、前記回転環における前記シール面と反対側の面である背面に、前記シール面のダイヤモンド膜と連続するダイヤモンド膜が形成されている。
　本発明の第２の観点に係るメカニカルシールでは、回転環の内周面、及び、当該回転環における前記シール面と反対側の面である背面に、前記シール面のダイヤモンド膜と連続するダイヤモンド膜がされている。ダイヤモンド膜は１０００～２０００Ｗ／ｍ・ｋという大きな熱伝導率を有している。このため、回転環の摺動面であるシール面で発生した摩擦熱を速やかに当該回転環の内周面に形成されたダイヤモンド膜を経由して回転環の背面に形成されたダイヤモンド膜に伝えることができる。これにより、回転環のシール面と背面との間の温度差を緩和し、前記温度差に起因する熱歪が回転環に生じるのを防止又は抑制することができる。その結果、回転環のシール面と、遊動環のシール面との平行性を保つことができ、高負荷条件下においても長期に亘り安定した摺動特性を発揮させることができる。
（３）本発明の第３の観点に係るメカニカルシールは、回転軸に設けられた回転環と、シールケースに軸線方向移動可能に且つ前記回転環方向に付勢された状態で設けられた静止環との間に、遊動環が、前記静止環に対する相対回転が阻止された状態で挟圧保持されている遊動環型メカニカルシールであって、
　前記回転環は、ＳｉＣの焼結体又は超硬合金で作製されており、
　前記回転環における前記遊動環と摺動するシール面に、ダイヤモンド膜が形成されており、且つ、
　前記回転環の内周面、及び、前記回転環の外周面に、前記シール面のダイヤモンド膜と連続するダイヤモンド膜が形成されている。
　本発明の第３の観点に係るメカニカルシールでは、回転環の内周面、及び、当該回転環の外周面に、前記シール面のダイヤモンド膜と連続するダイヤモンド膜がされている。ダイヤモンド膜は１０００～２０００Ｗ／ｍ・ｋという大きな熱伝導率を有している。このため、回転環の摺動面であるシール面で発生した摩擦熱を速やかに当該回転環の内周面及び外周面に形成されたダイヤモンド膜を経由して回転環の内周側及び外周側に伝えることができる。これにより、回転環のシール面と外周面と内周面の各々の間の温度差を緩和し、前記温度差に起因する熱歪が回転環に生じるのを防止又は抑制することができる。その結果、回転環のシール面と、遊動環のシール面との平行性を保つことができ、高負荷条件下においても長期に亘り安定した摺動特性を発揮させることができる。
（４）前記（１）又は（３）のメカニカルシールにおいて、前記外周面に形成されたダイヤモンド膜の外周に伝熱リングが設けられていることが好ましい。この場合、外周面のダイヤモンド膜に加え、伝熱リングを経由して回転環のシール面で発生した摩擦熱を当該回転環の背面に伝えることができ、回転環のシール面と背面との間の温度差をより効果的に緩和することができる。また、伝熱リングによって、メカニカルシールに伝わる機械振動からダイヤモンド膜を保護することもできる。
（５）前記（１）～（４）のメカニカルシールにおいて、前記ダイヤモンド膜の熱伝導率を１０００～２０００Ｗ／ｍ・ｋとすることができる。
　本発明のメカニカルシールによれば、回転環のシール面と他の部位、特に背面との温度差に起因して当該回転環に生じる熱歪を効果的に防止又は抑制することができる。
本発明のメカニカルシールの第１実施形態の縦断面説明図である。 図１に示されるメカニカルシールの要部拡大説明図である。 本発明のメカニカルシールの第２実施形態の要部拡大説明図である。 本発明のメカニカルシールの第３実施形態の要部拡大説明図である。 従来のメカニカルシールの一例の縦断面説明図である。
　以下、添付図面を参照しつつ、本発明のメカニカルシールの実施の形態を詳細に説明する。
　〔第１実施形態〕
　図１は、本発明の第１実施形態に係るメカニカルシールＭの縦断面説明図であり、図２は、図１に示されるメカニカルシールＭの要部拡大説明図である。なお、図２～４においては、分かりやすくするために、ダイヤモンド膜の膜厚を誇張して描いている。
　本実施形態に係るメカニカルシールＭは、シールすべき流体の圧力が高く且つ運転状況により大きな圧力変動が生じ得る、例えば火力発電所のボイラーに給水をするＢＦＰ（ボイラー　フィード　ポンプ）等の軸封手段として好適に使用される遊動環型メカニカルシールである。
　メカニカルシールＭは、ポンプケーシング１に取り付けられたシールケース２と、ポンプケーシング１を貫通して当該ポンプケーシング１から突出する回転軸３の外周に固定されたスリーブ４と、スリーブ４に設けられた回転環５と、回転環５に対向して設けられた静止環６と、シールケース２と静止環６との間に配設されたスプリング７と、回転環５と静止環６との間に挟圧保持された遊動環８と、メカニカルシールＭを機器に取り付けるときにシールケース２とスリーブ４とを連結し、回転環５、静止環６及び遊動環８を所定の位置に配置するセットプレート９とを備えている。メカニカルシールＭは、回転環５と遊動環８との相対回転摺接作用により、当該相対回転摺接部分の外周側領域である被密封流体領域（ＢＦＰの機内領域に連通する領域）Ａと、前記相対回転摺接部分の内周側領域である非密封流体領域（ＢＦＰの機外領域である大気領域）Ｂとを遮断シールするように構成されたカートリッジ型のメカニカルシールである。なお、以下の説明において、図１～２の左側を機外側又は後側といい、右側を機内側又は前側という。　
　シールケース２は、ポンプケーシング１から突出する回転軸部分３ａを同心状に取り囲んだ状態で当該ポンプケーシング１の端部に取り付けられている。シールケース２は、円筒体形状を呈しており、本体部２１、壁部２２及びスプリングリテーナ２３を備えている。本体部２１は、円筒状の部材であり、その一端部がポンプケーシング１に当接して当該ポンプケーシング１と係合する。壁部２２は、本体部２１の他端部（ポンプケーシング１と係合する側の端部と反対側の端部）の内周に当該本体部２１と一体形成された円環状の部材である。スプリングリテーナ２３は、壁部２２の内面側に取り付けられている。スプリングリテーナ２３は、壁部２２に取り付けられた円環状のスプリング保持部２３ａと、当該スプリング保持部２３ａから機内側に突出する円筒状の静止環保持部２３ｂとで構成されている。ポンプケーシング１には、フラッシング液（水）Ｆの給路２４及び排路２５が形成されている。また、シールケース２にはドレン２６が形成されている。
　スリーブ４は、前記回転軸部分３ａに挿通される円筒状の本体部４１と、本体部４１の先端部（機内側端部）に形成された円環状の第１保持部４２と、第１保持部４２の外周部から機外側に突出する円筒状の第２保持部４３とで構成されている。スリーブ４は、本体部４１の基端部分（後端部分。機外側に位置する部分）を除き、シールケース２内に位置させた状態で、回転軸３の外周に固定されている。より詳細には、シールケース２から機外側に突出する本体部４１の基端部分に、回転軸３に挿通させたストッパーリング１０を複数の第１セットスクリュー１１ａにより固定するとともに、当該ストッパーリング１０を複数の第２セットスクリュー１１ｂにより回転軸３に固定することによって、スリーブ４が回転軸３に着脱自在に固定されている。第１保持部４２の内周にはＯリング溝１２が形成されており、このＯリング溝１２内に配設されたＯリング１３により、回転軸３とスリーブ４との間がシール（二次シール）されている。なお、スリーブ４の先端部には、フラッシング液と循環するためのポンピングリング１４がキャップボルト１５により取り付けられている。
　回転環５は、複数のＯリング１６、１７を介して、当該Ｏリング１６、１７の弾性変形範囲において軸線方向（回転軸３の軸線の方向）及び径方向に変位ないし変形可能な状態で回転軸３に保持されている。なお、回転環５の内周面とこれと対向するスリーブ４の本体部４１の外周面との間には、図２に示されるように、回転環５の径方向の変位ないし変形を許容する環状の隙間１８が形成されている。回転環５は、ＳｉＣの焼結体で作製されており、この焼結体は、例えばＳｉＣの常温焼結又は反応焼結により得ることができる。得られるＳｉＣの焼結体の熱伝導率は、７０～１２０Ｗ／ｍＫである。また、回転環５は超硬合金（ＷＣ）で作製してもよい。
　静止環６は、シールケース２にＯリング１９及びドライブピン２０を介して軸線方向移動可能に且つ相対回転不能に保持されている。より詳細には、静止環６は、その基端部分をスプリングリテーナ２３の静止環保持部２３ａにＯリング１９を介して遊嵌させることにより、シールケース２に保持されている。静止環６は、シールケース２との間をＯリング１９によりシール（二次シール）された状態で当該シールケース２に軸線方向移動可能に保持されている。また、静止環６は、その基端部に軸線と平行な複数のドライブピン２０を突設し、各ドライブピン１１をスプリングリテーナ２３のスプリング保持部２３ａに形成された複数の係合凹部３１に係合させることにより、所定範囲内での軸線方向の移動が許容された状態でシールケース２に対する相対回転が阻止されている。静止環６は、例えばステンレスなどの硬質の金属で作製することができる。
　スプリング７は、スプリングリテーナ２３のスプリング保持部２３ｂに周方向に沿って等間隔で形成された複数の係合凹部３２に保持されている。スプリング７は静止環６の背面（後端面）に当接しており、当該静止環６を回転環方向に押圧付勢している。
　遊動環８は、円環状の本体部８１と、当該本体部８１の内周側の前後端部に一体形成されたほぼ同一の円環状を呈する押圧部８２及びシール部８３とで構成されている。遊動環８は、押圧部８２の端面である押圧面８２ａが静止環６の先端面（後端面）である押圧面６ａに接触するとともに、シール部８３の端面であるシール面８３ａが回転環５の先端面（後端面）であるシール面５ａに接触する状態で、スプリング７による付勢力によって、回転環５と静止環６との間に挟圧保持されている。
　遊動環８は、静止環６の前端部に周方向に沿って等間隔で突設された複数のドライブピン３３を本体部８１に形成された係合孔３４に係合させることにより、静止環６に、軸線方向及び径方向に所定範囲での相対変位が許容された状態で、相対回転不能に保持されている。静止環６と、遊動環８の本体部８１との軸線方向における対向端面間には、当該静止環６及び遊動環８間をシール（二次シール）するＯリング３５が配設されている。遊動環８の本体部８１には、周方向に沿って等間隔で複数の貫通孔３６が形成されている。遊動環８は、回転環５を構成する材料よりも軟質の材料、例えばカーボンで作製することができる。
　本実施形態では、回転環５における前記遊動環８と摺動するシール面５ａにダイヤモンド膜ｄ１が形成されるとともに、当該回転環５の外周面５ｂ及び背面５ｃに、前記シール面５ａのダイヤモンド膜ｄ１と連続するダイヤモンド膜ｄ２及びダイヤモンド膜ｄ３がそれぞれ形成されている。このため、シール面５ａの耐摩耗性が向上するだけでなく、ダイヤモンド膜ｄ１、ｄ２は１０００～２０００Ｗ／ｍ・ｋという大きな熱伝導率を有していることから、回転環５の摺動面であるシール面５ａで発生した摩擦熱を、シール面５ａのダイヤモンド膜ｄ１から速やかに外周面５ｂに形成されたダイヤモンド膜ｄ２を経由して回転環５の背面５ｃに形成されたダイヤモンド膜ｄ３に伝えることができる。これにより、回転環５のシール面５ａと背面５ｃとの温度差を緩和し、前記温度差に起因する熱歪が回転環５に生じるのを防止又は抑制することができる。換言すれば、熱伝導率が大きいダイヤモンド膜を介して回転環５のシール面５ａで発生した摩擦熱を速やかに当該回転環５の背面５ｃに伝えることにより、回転環５の熱バランス（シール面５ａ側部分と背面５ｃ側部分との間の熱バランス）が崩れるのを防止又は抑制することができる。その結果、回転環５のシール面５ａと、遊動環８のシール面８ａとの平行性を保つことができ、例えばＰＶ＝２０ＭＰａ／ｍ／ｓ以上の高負荷条件下においても長期に亘り安定した摺動特性を発揮させることができる。
　ダイヤモンド膜は、例えばマイクロ波ＣＶＤ法、熱フィラメントＣＶＤ法等の一般的な製造技術を用いて作製することができる。また、ダイヤモンド膜の厚さは、本発明において特に限定されるものではないが、通常、３～２０μｍ、好ましくは３～１０μｍである。回転環５のシール面５ａで発生した摩擦熱が当該回転環５の母材であるＳｉＣ焼結体に移動する前に外周面５ｂのダイヤモンド膜ｄ２に移動させるという観点からは、３μｍ以上の厚さであることが望ましい。また、ダイヤモンド膜が厚くなる程膜の表面粗度も大きくなり、精密な機械部品であるメカニカルシールのシール面として使用するのが困難になるのに加えて、ダイヤモンド膜の残留応力を極力小さくするという観点からは、１０μｍ以下であることが望ましい。
　ダイヤモンド膜ｄ１とダイヤモンド膜ｄ２、ｄ３とは同じ厚さであってもよいが、互いに異なる厚さであってもよい。回転環５のシール面５ａで発生した摩擦熱を速やかに外周面５ｂのダイヤモンド膜ｄ２に移動させるという観点からは、外周面５ｂのダイヤモンド膜ｄ２の膜厚がシール面５ａのダイヤモンド膜ｄ１の膜厚以上であることが望ましい。
　本実施形態では、回転環５の外周面５ｂに形成されたダイヤモンド膜ｄ２のさらに外周に伝熱リング３７が設けられている。この伝熱リング３７は、例えばチタン、ＳＵＳ４０３等の金属で作製されており、前記ダイヤモンド膜ｄ２の外周に焼嵌めされている。チタン及びＳＵＳ４０３の熱伝導率は、それぞれ１７．４Ｗ／ｍ・ｋ及び２４．９～２５．７Ｗ／ｍ・ｋであり、ダイヤモンドやＳｉＣに比べて小さいが、このような伝熱リング３７をダイヤモンド膜ｄ２の外周に焼嵌めすることにより、ダイヤモンド膜ｄ１から伝わってくる熱を、ダイヤモンド膜ｄ２に加えて当該伝熱リング３７及びスリーブ４の第１保持部４２を経由して回転環５の背面５ｃに伝えることができ、回転環５のシール面５ａと背面５ｃとの温度差をより効果的に緩和することができる。また、ダイヤモンド膜ｄ２は脆性であるが、伝熱リング３７をダイヤモンド膜ｄ２の外周に設けることで、メカニカルシールＭに伝わる機械振動から当該ダイヤモンド膜ｄ２を保護することができる。
　〔第２実施形態〕
　図３は、本発明の第２実施形態に係るメカニカルシールの要部拡大説明図である。第２実施形態及び後述する第３実施形態に係るメカニカルシールと、第１実施形態に係るメカニカルシールＭとは、回転環の構成が異なるだけであり、他の静止環や遊動環等の構成は共通している。したがって、共通する構成要素には同一の参照符号を付し、簡単のため、それらについての説明は省略する。
　本実施形態では、回転環５における前記遊動環８と摺動するシール面５ａにダイヤモンド膜ｄ１が形成されるとともに、当該回転環５の内周面５ｄ及び背面５ｃに、前記シール面５ａのダイヤモンド膜ｄ１と連続するダイヤモンド膜ｄ４及びダイヤモンド膜ｄ４と連続するダイヤモンド膜ｄ３がそれぞれ形成されている。このため、シール面５ａの耐摩耗性が向上するだけでなく、回転環５の摺動面であるシール面５ａで発生した摩擦熱を、シール面５ａのダイヤモンド膜ｄ１から速やかに内周面５ｄに形成されたダイヤモンド膜ｄ４を経由して回転環５の背面５ｃに形成されたダイヤモンド膜ｄ３に伝えることができる。これにより、回転環５のシール面５ａと背面５ｃとの温度差を緩和し、前記温度差に起因する熱歪が回転環５に生じるのを防止又は抑制することができる。換言すれば、熱伝導率が大きいダイヤモンド膜を介して回転環５のシール面５ａで発生した摩擦熱を速やかに当該回転環５の背面５ｃに伝えることにより、回転環５の熱バランスが崩れるのを防止又は抑制することができる。その結果、回転環５のシール面５ａと、遊動環８のシール面８ａとの平行性を保つことができ、高負荷条件下においても長期に亘り安定した摺動特性を発揮させることができる。
　また、本実施形態では、回転環５の背面５ｃ、より詳細には当該背面５ｃに形成されたダイヤモンド膜ｄ３に当接してガスケット３８が配設されている。ガスケット３８は、硬度Ｈｓが４０～９０の材料で作製されている。かかる材料の例としては、例えば膨張黒鉛、耐熱シリコーンゴム等をあげることができる。比較的やわらかいガスケット３８を回転環５の背面５ｃに配設することにより、当該ガスケット３８と回転環５の背面５ｃに形成されたダイヤモンド膜ｄ３とを密着させることができる。ダイヤモンド膜は、通常、その表面を平坦に形成することが難しいが、比較的やわらかいガスケット３８を用いることで、ダイヤモンド膜の表面の粗さを吸収することができる。
　〔第３実施形態〕
　図４は、本発明の第３実施形態に係るメカニカルシールの要部拡大説明図である。本実施形態では、回転環５のシール面５ａ、外周面５ｂ及び内周面５ｄにそれぞれダイヤモンド膜ｄ１、ｄ２及びｄ４が形成されている。ダイヤモンド膜ｄ１、ｄ２及びｄ４は互いに連続して形成されている。この場合、回転環５の摺動面であるシール面５ａで発生した摩擦熱を速やかに当該回転環５の内周面５ｄ及び外周面５ｂに形成されたダイヤモンド膜ｄ４、ｄ２を経由して回転環５の内周側及び外周側に伝えることができ、回転環５のシール面５ａと外周面と内周面の各々の間の温度差をより効果的に緩和することができる。
　また、本実施形態では、第１実施形態と同様に、回転環５の外周面５ｂに形成されたダイヤモンド膜ｄ２のさらに外周に伝熱リング３７が設けられている。伝熱リング３７をダイヤモンド膜ｄ２の外周に焼嵌めすることにより、ダイヤモンド膜ｄ１から伝わってくる熱を、ダイヤモンド膜ｄ２に加えて当該伝熱リング３７を経由して回転環５の背面５ｃに伝えることができ、回転環５のシール面５ａと背面５ｃとの温度差をより効果的に緩和することができる。また、ダイヤモンド膜ｄ２は脆性であるが、伝熱リング３７をダイヤモンド膜ｄ２の外周に設けることで、メカニカルシールＭに伝わる機械振動から当該ダイヤモンド膜ｄ２を保護することができる。
　また、本実施形態では、第２実施形態と同様に、回転環５の背面５ｃ、より詳細には当該背面５ｃに形成されたダイヤモンド膜ｄ３に当接してガスケット３８が配設されている。かかるガスケット３８を回転環５の背面５ｃに配設することにより、当該ガスケット３８と回転環５の背面５ｃとを密着させることができる。　
　〔その他の変形例〕
　なお、本発明のメカニカルシールは前述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変更が可能である。
　　１　：ポンプケーシング
　　２　：シールケース
　　３　：回転軸
　　４　：スリーブ
　　５　：回転環
　　５ａ：シール面
　　５ｂ：外周面
　　５ｃ：背面
　　５ｄ：内周面
　　６　：静止環
　　６ａ：押圧面
　　７　：スプリング
　　８　：遊動環
　　９　：セットプレート
　１０　：ストッパーリング
　１１ａ：第１セットスクリュー
　１１ｂ：第２セットスクリュー
　１２　：Ｏリング溝
　１３　：Ｏリング
　１４　：ポンピングリング
　１５　：キャップボルト
　１６　：Ｏリング
　１７　：Ｏリング
　１８　：隙間
　１９　：Ｏリング
　２０　：ドライブピン
　２１　：本体部
　２２　：壁部
　２３　：スプリングリテーナ
　２３ａ：静止環保持部
　２３ｂ：スプリング保持部
　２４　：給路
　２５　：排路
　２６　：ドレン
　３１　：係合凹部
　３２　：係合凹部
　３３　：ドライブピン
　３４　：係合孔
　３５　：Ｏリング
　３６　：貫通孔
　３７　：放熱リング
　３８　：ガスケット
　４１　：本体部
　４２　：第１保持部
　４３　：第２保持部
　８１　：本体部
　８２　：押圧部
　８３　：シール部
１０１　：回転軸
１０２　：回転環
１０３　：シールケース
１０４　：静止環
１０５　：遊動環
１０６　：スプリングリテーナ
１０７　：凹所
１０８　：スプリング
　　Ｆ　：フラッシング液
　　Ｍ　：メカニカルシール
　　ｄ１：ダイヤモンド膜
　　ｄ２：ダイヤモンド膜
　　ｄ３：ダイヤモンド膜
　　ｄ４：ダイヤモンド膜

Claims (5)

  1. 　回転軸に設けられた回転環と、シールケースに軸線方向移動可能に且つ前記回転環方向に付勢された状態で設けられた静止環との間に、遊動環が、前記静止環に対する相対回転が阻止された状態で挟圧保持されている遊動環型メカニカルシールであって、
    　前記回転環は、ＳｉＣの焼結体又は超硬合金で作製されており、
    　前記回転環における前記遊動環と摺動するシール面に、ダイヤモンド膜が形成されており、且つ、
    　前記回転環の外周面、及び、前記回転環における前記シール面と反対側の面である背面に、前記シール面のダイヤモンド膜と連続するダイヤモンド膜が形成されている、遊動環型メカニカルシール。
  2. 　回転軸に設けられた回転環と、シールケースに軸線方向移動可能に且つ前記回転環方向に付勢された状態で設けられた静止環との間に、遊動環が、前記静止環に対する相対回転が阻止された状態で挟圧保持されている遊動環型メカニカルシールであって、
    　前記回転環は、ＳｉＣの焼結体又は超硬合金で作製されており、
    　前記回転環における前記遊動環と摺動するシール面に、ダイヤモンド膜が形成されており、且つ、
    　前記回転環の内周面、及び、前記回転環における前記シール面と反対側の面である背面に、前記シール面のダイヤモンド膜と連続するダイヤモンド膜が形成されている、遊動環型メカニカルシール。
  3. 　回転軸に設けられた回転環と、シールケースに軸線方向移動可能に且つ前記回転環方向に付勢された状態で設けられた静止環との間に、遊動環が、前記静止環に対する相対回転が阻止された状態で挟圧保持されている遊動環型メカニカルシールであって、
    　前記回転環は、ＳｉＣの焼結体又は超硬合金で作製されており、
    　前記回転環における前記遊動環と摺動するシール面に、ダイヤモンド膜が形成されており、且つ、
    　前記回転環の内周面、及び、前記回転環の外周面に、前記シール面のダイヤモンド膜と連続するダイヤモンド膜が形成されている、遊動環型メカニカルシール。
  4. 　前記外周面に形成されたダイヤモンド膜の外周に伝熱リングが設けられている、請求項１又は請求項３に記載の遊動環型メカニカルシール。
  5. 　前記ダイヤモンド膜の熱伝導率が１０００～２０００Ｗ／ｍ・ｋである、請求項１～請求項４のいずれか１項に記載の遊動環型メカニカルシール。
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