WO2016067820A1 - 荷電粒子ビーム照射装置 - Google Patents

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WO2016067820A1
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coil
charged particle
particle beam
scanning electromagnet
scanning
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PCT/JP2015/077711
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English (en)
French (fr)
Inventor
卓司 古川
茂貴 高山
矢澤 孝
芳治 金井
耕輔 佐藤
朝文 折笠
圭 小柳
Original Assignee
国立研究開発法人 放射線医学総合研究所
株式会社 東芝
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    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61NELECTROTHERAPY; MAGNETOTHERAPY; RADIATION THERAPY; ULTRASOUND THERAPY
    • A61N5/00Radiation therapy
    • A61N5/10X-ray therapy; Gamma-ray therapy; Particle-irradiation therapy

Definitions

  • Embodiments of the present invention relate to a charged particle beam irradiation apparatus.
  • a charged particle beam irradiation apparatus that irradiates a charged particle beam such as a heavy particle beam to an affected part of a patient such as cancer is known.
  • This charged particle beam irradiation apparatus is an apparatus that accelerates a charged particle beam generated by a beam generation apparatus using a beam accelerator, and irradiates an affected area with a beam irradiation apparatus in a treatment room via a beam transport apparatus.
  • This beam irradiation apparatus is an apparatus which irradiates according to the three-dimensional shape of the affected part which is an irradiation target.
  • two sets of scanning magnets for example, a set of horizontal scanning magnets and a set of vertical scanning magnets are arranged in series to scan a charged particle beam in two orthogonal directions.
  • irradiation field it is desirable to ensure a wide irradiation area (irradiation field) in order to irradiate various parts and cancer parts of different sizes.
  • a method of extending the axial length is a method of greatly separating the position of two sets of scanning electromagnets arranged in series from the position of a patient irradiated with a charged particle beam.
  • This embodiment provides a charged particle beam irradiation apparatus capable of suppressing an increase in size and ensuring a sufficient irradiation field.
  • the charged particle beam irradiation apparatus includes a first scanning electromagnet unit that deflects the charged particle beam in a second direction substantially orthogonal to the first direction in which the charged particle beam is incident, the first direction, and the first direction
  • a second scanning electromagnet unit that deflects the charged particle beam in a third direction substantially orthogonal to the second direction, wherein the first and second scanning electromagnet units are parallel to the first direction. Be placed.
  • FIGS. 3A to 3C are diagrams illustrating the vertical scanning electromagnet of the first embodiment.
  • FIGS. 4A to 4C are diagrams illustrating the horizontal scanning electromagnet of the first embodiment.
  • FIGS. 5A to 5C are diagrams illustrating a scanning electromagnet according to a modification of the first embodiment.
  • the figure explaining the vertical scanning electromagnet of 3rd Embodiment The figure which shows the scanning electromagnet used for the charged particle beam irradiation apparatus of 4th Embodiment.
  • the figure explaining the vertical scanning electromagnet of 4th Embodiment The figure explaining the horizontal scanning electromagnet of 4th Embodiment.
  • the figure explaining the vertical scanning electromagnet of 5th Embodiment The figure explaining the horizontal scanning electromagnet of 5th Embodiment.
  • the figure explaining the vertical scanning electromagnet of 6th Embodiment The figure explaining the horizontal scanning electromagnet of 6th Embodiment.
  • the figure explaining the vertical scanning electromagnet of 7th Embodiment The figure explaining the horizontal scanning electromagnet of 7th Embodiment.
  • FIG. 1 shows a charged particle beam irradiation apparatus according to the first embodiment.
  • the charged particle beam irradiation apparatus 1 of this embodiment is an irradiation apparatus that uses charged particles, for example, negative pions, protons, helium ions, carbon ions, neon ions, silicon ions, or argon ions as a particle beam source for therapeutic irradiation. 1.
  • the charged particle beam irradiation apparatus 1 includes a beam generation apparatus 10, a beam acceleration apparatus 20, a beam transport apparatus 30, a beam irradiation apparatus 40, and an irradiation control apparatus 60. Irradiate the particle beam 104.
  • the beam generator 10 generates a charged particle beam.
  • the beam accelerator 20 is a device that accelerates the charged particle beam 104 to a predetermined energy.
  • a front-stage accelerator and a rear-stage accelerator there is a case where it is configured by a front-stage accelerator and a rear-stage accelerator.
  • a linear accelerator is used as the front stage accelerator and a synchroton is used as the rear stage accelerator.
  • Components include vacuum vessel (pipe), high-frequency acceleration cavity, beam deflection device (dipolar electromagnet), beam focusing / divergence device (quadrupole electromagnet), beam trajectory correction device (steering electromagnet), incidence device, emission device, and There are control devices. Since the configuration of the beam accelerator 20 can be arbitrary, it will not be described in detail here. A cyclotron or the like may be selected as the accelerator.
  • the beam transport device 30 is a device for transporting the accelerated charged particle beam 104 to the irradiation object, that is, to the affected part 90 of the patient in the irradiation treatment room.
  • the components include a vacuum vessel (pipe), a beam deflecting device (dipole electromagnet), a beam focusing / diverging device (quadrupole electromagnet), a beam trajectory correcting device (steering electromagnet), and a control device.
  • the beam irradiation device 40 is provided on the charged particle beam exit side of the beam transport device 30, and the charged particle beam 104 c having a specific energy that has passed through the beam transport device 30 correctly enters the set irradiation point 902 of the affected area 90 of the patient. Thus, the trajectory of the charged particle beam 104c is adjusted. Moreover, the irradiation position and irradiation dose of the charged particle beam 104c in the affected part 90 are monitored.
  • the beam irradiation apparatus 40 includes a scanning electromagnet 401, a scanning electromagnet power supply 402, a position monitor 403, a dosimeter 404, and a dosimeter circuit 405.
  • the scanning electromagnet 401 is controlled by an excitation current, and a pair of vertical scanning electromagnets 401a that adjust the vertical trajectory of the charged particle beam 104c and a pair of horizontal scanning electromagnets 401b that adjust the horizontal trajectory of the charged particle beam 104c. And having.
  • the scanning electromagnet power source 402 includes electromagnet power sources 402a and 402b.
  • the electromagnet power source 402a supplies an excitation current necessary for scanning the charged particle beam 104c to the scanning electromagnet 401a.
  • the electromagnet power source 402b supplies an excitation current necessary for scanning the charged particle beam 104c to the scanning electromagnet 401b.
  • the pair of vertical scanning electromagnets 401a and the pair of horizontal scanning electromagnets 401b will be described in detail later.
  • the position monitor 403 outputs a signal serving as an index of the position of the charged particle beam 104c that has passed through the position monitor 403, that is, the incident position of the charged particle beam in the affected area 90 of the patient, and transmits the signal to the irradiation control device 60.
  • a signal serving as an index of the position of the charged particle beam 104c that has passed through the position monitor 403, that is, the incident position of the charged particle beam in the affected area 90 of the patient, and transmits the signal to the irradiation control device 60.
  • an ionization chamber type or the like can be used as the position monitor 403, an ionization chamber type or the like can be used.
  • the dosimeter 404 outputs an electrical signal corresponding to the intensity or dose of the charged particle beam 104c that has passed through the dosimeter, that is, the intensity or dose of the charged particle beam irradiated to the affected area 90 of the patient.
  • an ionization chamber type or the like can be used as the dosimeter 404.
  • the dosimeter circuit 405 receives the electrical signal output from the dosimeter 404, and when the received electrical signal reaches a preset integrated output value, the dose at the irradiation point 902 set in the affected area 90 of the patient has expired. Is transmitted to the irradiation control device 60.
  • the irradiation control device 60 is configured to be able to record irradiation pattern data indicating how to perform treatment irradiation of the patient, and performs overall control of the charged particle beam irradiation device 1 with reference to the irradiation pattern data.
  • the irradiation pattern data is created based on the optimum irradiation information created in the treatment plan performed prior to the treatment irradiation.
  • the irradiation pattern data includes a horizontal relative position and a vertical relative position as viewed from a reference position serving as a position index of the irradiation point 902 set for each irradiation slice 901 virtually divided from the affected area 90 of the patient, and irradiation.
  • a position index of the slice 901 that is, an in-vivo range that is an index of the depth of the body, a beam stop width that is an index of the beam stop width in the body, a beam intensity to be irradiated to each irradiation point 902, and a set dose
  • Information necessary for controlling the operation of the generator 10, the beam accelerator 20, the beam transport device 30, and the beam irradiation device 40 is stored.
  • the beam stop width is caused by a difference in the range of the body based on the energy width of the charged particle beam.
  • the content of irradiation pattern data can be changed suitably.
  • the irradiation control device 60 includes a beam focusing control unit 601, an energy selection control unit 602, and a scanning control unit 603.
  • the scanning control unit 603 controls the output of the scanning electromagnet power source 402 and adjusts the excitation current applied to the scanning electromagnet 401 so that the charged particle beam 104c is incident on the predetermined irradiation point 902.
  • the pair of vertical scanning electromagnets 401a and the pair of horizontal scanning electromagnets 401b are arranged in parallel with the traveling of the charged particle beam 104c. That is, the pair of vertical scanning electromagnets 401a are arranged in the vertical direction, and the pair of horizontal scanning electromagnets 401b are arranged at the same position as the position where the pair of vertical scanning electromagnets 401a are arranged and in the horizontal direction.
  • the pair of vertical scanning electromagnets 401a and the pair of horizontal scanning electromagnets 401b are arranged so as to simultaneously perform scanning in two orthogonal directions, that is, the vertical direction and the horizontal direction.
  • FIGS. 3 (a) to 3 (c) Details of the pair of vertical scanning electromagnets 401a will be described with reference to FIGS. 3 (a) to 3 (c).
  • 3A shows a top view of the pair of vertical scanning electromagnets 401a
  • FIG. 3B shows a side view of the pair of vertical scanning electromagnets 401a
  • FIG. 3C shows FIG. 3B.
  • a cross-sectional view taken along a cutting plane AA is shown.
  • the pair of vertical scanning electromagnets 401a includes a hollow structure 401a3, a coil part 401a1 provided on the upper surface of the structure 401a3, a coil part 401a2 provided on the lower surface of the structure 401a3, It has.
  • a material that does not generate eddy current for example, a nonmagnetic metal, FRP (Fiber-Reinforced Plastic), or the like is used.
  • Coil unit 401a1 includes a saddle coil 401a1 1 shape provided above the surface of the structure 401A3, a coil 401a1 2 disposed outside of the coil 401a1 1, a coil disposed outside of the coil 401a1 2 401a1 In addition, each coil 401a1 1 , 401a1 2 , 401a1 3 is covered with an insulating material.
  • Coil coil portion 401A2 is that the coil 401A2 1 saddle shape provided below the surface of the structure 401A3, a coil 401A2 2 disposed outside of the coil 402A1 1, provided on the outside of the coil 401A2 2 and 401A2 3, and a, each coil 401a2 1, 401a2 2, 401a2 3 is covered with an insulating material.
  • a magnetic field is generated in the vertical direction by passing an exciting current through each of the coils 401a1 1 to 401a1 3 and 401a2 1 to 401a2 3 .
  • FIGS. 3A to 3C three coils are provided on the upper side and the lower side, respectively, but one, two, or four or more coils may be provided.
  • reference numeral 104c denotes a charged particle beam.
  • FIGS. 4 (a) to 4 (c) Details of the pair of horizontal scanning electromagnets 401b will be described with reference to FIGS. 4 (a) to 4 (c).
  • 4A shows a top view of the pair of horizontal scanning electromagnets 401b
  • FIG. 4B shows a side view of the pair of horizontal scanning electromagnets 401b
  • FIG. 4C shows FIG. 4B.
  • a cross-sectional view taken along a cutting plane AA is shown.
  • the pair of horizontal scanning electromagnets 401b includes a hollow structure 401b3 provided outside the pair of vertical scanning electromagnets 401a, and a coil part 401b1 provided on one side surface of the pair of side surfaces of the structure 401b3. And a coil portion 401b2 provided on the other side surface of the structure 401b3. Similar to the structure 401a3, the structure 401b3 is made of a material that does not generate eddy current, such as a non-magnetic metal, FRP (Fiber-Reinforced Plastic), or the like. At this time, the horizontal scanning electromagnet 401b may be provided inside the vertical scanning electromagnet 401a.
  • Coil unit 40 IbI includes a one saddle coil shape 40 IbI 1 provided on the side surface of the structure 401A3, a coil 40 IbI 2 disposed outside of the coil 40 IbI 1, a coil disposed outside of the coil 40 IbI 2 40 IbI
  • the coils 401b1 1 , 401b1 2 , and 401b1 3 are covered with an insulating material.
  • Coil unit 401B2 is the other coil provided saddle shape on the side surface 401B2 1 of the structure 401A3, a coil 401B2 2 disposed outside of the coil 401B2 1, a coil disposed outside of the coil 401B2 2 401B2
  • the coils 401b2 1 , 401b2 2 , and 401b2 3 are covered with an insulating material.
  • a magnetic field is generated in the horizontal direction by applying an exciting current to each of the coils 401b1 1 to 401b1 3 and 401b2 1 to 401b2 3 .
  • FIGS. 4A to 4C three coils are provided on each of the pair of side surfaces, but one, two, or four or more coils may be provided.
  • reference numeral 104c denotes a charged particle beam.
  • FIGS. 5A to 5C it is preferable to provide a yoke 401c outside the horizontal scanning electromagnet 401b.
  • 5A shows a top view of the scanning electromagnet 401 with the yoke 401c removed
  • FIG. 5B shows a side view of the scanning electromagnet 401 with the yoke 401c removed
  • FIG. 5C shows FIG. A cross-sectional view cut along a cutting plane AA shown in b) is shown.
  • reference numeral 104c denotes a charged particle beam.
  • the following description for operation is based on an example in which treatment irradiation is performed using a so-called spot scanning irradiation method.
  • the spot scanning irradiation method is an irradiation method that has already been established in the accelerator-driven particle beam irradiation technique and has been confirmed to have a high therapeutic effect.
  • the affected part of the patient is virtually divided into three-dimensional lattice points, that is, the irradiation slice and the irradiation point set in the irradiation slice, and the depth direction of the affected part (the direction of the charged particle beam axis),
  • the charged particle beam is scanned in each direction of the cross-section direction of the affected part (direction intersecting with the charged particle beam axis).
  • the irradiation of the charged particle beam is temporarily stopped at the timing when the dose expiration signal indicating that the dose irradiated to one irradiation point has reached the set dose for the irradiation point is generated. Thereafter, the charged particle beam is scanned to the next irradiation point or irradiation slice to resume irradiation. By repeating this operation, irradiation of the entire affected area is performed.
  • each device is adjusted according to the set irradiation spot.
  • the slice plane is changed by changing the energy of the beam. As the energy increases, the beam reaches the deeper side (in the case of FIG. 1, the slice plane 901a), and as the energy decreases, the beam moves to the shallower side (in the case of FIG. 1, the slice plane 901c).
  • the beam energy is changed by reducing the energy of the beam accelerated by the beam accelerator 20, or the beam accelerated by the beam accelerator 20 is subjected to an appropriate filter by the beam transport device 30 or the beam irradiation device 40. You may go on.
  • the excitation amount of the electromagnet constituting the beam transport device 30 is also adjusted. Thereby, the required intensity
  • the exciting current of the scanning electromagnet 401 in the beam irradiation apparatus 40 is adjusted, and the charged particle beam having a predetermined energy is set to be correctly incident on the irradiation point (for example, the irradiation point 902a).
  • the charged particle beam 104 is emitted from the beam generation device 10 under the control of the irradiation control device 60.
  • the charged particle beam 104 emitted from the beam generator 10 is guided by the beam transport device 30 after being accelerated by the beam accelerator 20.
  • the charged particle beam 104 is stably guided to the beam irradiation device 40 by, for example, entering a magnetic field formed by a beam deflection device (not shown) and deflecting the trajectory according to the momentum.
  • the charged particle beam 104c is incident on the magnetic field formed by the scanning electromagnet 401 and the trajectories in the horizontal direction and the vertical direction are adjusted, and the irradiation point on each slice plane (in the example of the irradiation slice 901a, set) Proceeding toward the irradiated point 902a), treatment irradiation of the irradiated point 902a is performed.
  • the irradiation controller 60 monitors whether or not the charged particle beam 104c whose trajectory is adjusted based on the output signal of the position monitor 403 is correctly incident on the irradiation point 902a.
  • the irradiation of the charged particle beam to the irradiation point 902a is continuously performed until a dose expiration signal is output from the dosimeter circuit 405.
  • a dose expiration signal is output and input to the irradiation control device 60
  • the process proceeds to irradiation of the next irradiation point (for example, the irradiation point 902b). That is, the irradiation pattern data is referred to by the irradiation control device 60, the excitation current of the scanning electromagnet 401 is adjusted so that the charged particle beam is incident on the next irradiation point 902b, and the dose expiration signal is input to the irradiation control device 60 again. Until the irradiation point 902b is irradiated with the charged particle beam. By sequentially repeating such operations, irradiation is performed on all irradiation points 902 set in the irradiation slice 901a.
  • the process proceeds to irradiation of the next irradiation slice 901b. That is, the irradiation pattern data is referred to by the irradiation controller 60, and the beam accelerator 20 is adjusted so that the charged particle beam stops at the position of the irradiation slice 901b, and each irradiation point (not shown) of this irradiation slice 901b.
  • the beam irradiation device 40 is adjusted so that the charged particle beam is incident on the beam. Such an operation is sequentially repeated to shift to irradiation of the shallowest irradiation slice 901c.
  • the present inventor uses a pair of vertical scanning electromagnets 401a and a pair of horizontal scanning electromagnets 401b arranged in parallel as the beam irradiation device 40, so that the charged particle beam irradiation device becomes longer in the traveling direction of the charged particle beam. This can be suppressed and an increase in aperture can be minimized. As a result, it is possible to provide a charged particle beam irradiation apparatus capable of suppressing an increase in size and ensuring a sufficient irradiation field.
  • FIG. 6 is a view showing a scanning electromagnet 401A used in the charged particle beam irradiation apparatus of the second embodiment.
  • the charged particle beam irradiation apparatus of the second embodiment has a configuration in which the scanning electromagnet 401 is replaced with a scanning electromagnet 401A shown in FIG. 6 in the charged particle beam irradiation apparatus 1 of the first embodiment shown in FIG. .
  • This scanning electromagnet 401A has a configuration in which the scanning electromagnet 401 shown in FIG. 2 is arranged in three stages in series with respect to the progress of the charged particle beam 104c. That is, the scanning electromagnet 401A includes a pair of vertical scanning electromagnets 401a 1 and a pair of horizontal scanning electromagnets 401b 1 arranged in parallel with the traveling of the charged particle beam 104c, and downstream of these scanning electromagnets 401a 1 and 401b 1 .
  • the aperture of the subsequent scanning electromagnet is larger than the aperture of the upstream scanning electromagnet. That is, the apertures of the pair of vertical scanning electromagnets 401a 2 and the pair of horizontal scanning electromagnets 401b 2 are larger than the apertures of the pair of vertical scanning electromagnets 401a 1 and the pair of horizontal scanning electromagnets 401b 1 , and the pair of vertical scanning electromagnets 401a 3 and diameter of the pair of horizontal scanning electromagnet 401b 3 is greater than the diameter of the pair of vertical scanning magnet 401a 2 and a pair of horizontal scanning magnet 401b 2.
  • the scanning electromagnet shown in FIG. 2 is arranged in a plurality of stages in series, and the aperture of the subsequent scanning electromagnet is configured to be larger than the aperture of the preceding scanning electromagnet, so that the charged particle beam irradiation is performed as in the first embodiment. It is possible to suppress the apparatus from becoming longer in the traveling direction of the charged particle beam, and to suppress an increase in the aperture to the minimum necessary. As a result, it is possible to provide a charged particle beam irradiation apparatus capable of suppressing an increase in size and ensuring a sufficient irradiation field.
  • FIG. 7 is a view showing a scanning electromagnet 401B used in the charged particle beam irradiation apparatus of the third embodiment.
  • the charged particle beam irradiation apparatus of the third embodiment has a configuration in which the scanning electromagnet 401 is replaced with the scanning electromagnet 401B shown in FIG. 7 in the charged particle beam irradiation apparatus 1 of the first embodiment shown in FIG. .
  • the scanning electromagnet 401B includes a pair of vertical scanning electromagnets 401a and a pair of horizontal scanning electromagnets 401b arranged in parallel.
  • the pair of vertical scanning electromagnets 401a and the pair of horizontal scanning electromagnets 401b have a shape in which the diameter increases from the incident side to the emission side of the charged particle beam 104c.
  • the shape in which the aperture is widened corresponds to the deflection of the beam and is the same as that of the musical instrument wrapper, but the aperture is linear as it goes from the incident side to the exit side of the charged particle beam 104c.
  • the shape which increases continuously may be sufficient.
  • FIG. 8 shows the upper coil portion 401a1 of the vertical scanning electromagnet 401a in the third embodiment.
  • the vertical scanning electromagnet 401a includes a structure 401a3 having a hollow shape whose diameter increases from the incident side to the emission side of the charged particle beam 104c.
  • the upper coil portion 401a1 is provided on the upper surface of the structure 403a3.
  • Upper coil portion 401a1 includes a coil 401a1 1 provided on the upper side of the surface of the structure 403A3, a coil 401a1 2 disposed outside of the coil 401a1 1, a coil disposed outside of the coil 401a1 2 401a1 3 is provided.
  • the vertical scanning electromagnet 401a has a lower coil portion (not shown) provided on the lower surface of the structure 401a3. Prepared. Similarly to the upper coil portion 401a1, the lower coil portion also has a plurality of coils, and these coils are provided on the lower surface of the structure. In FIG. 8, three coils are provided on each of the pair of side surfaces, but one, two, or four or more coils may be provided.
  • the coil portion of the horizontal scanning electromagnet is provided outside or inside the vertical scanning electromagnet 401a.
  • the third embodiment configured as described above can prevent the charged particle beam irradiation apparatus from becoming longer in the traveling direction of the charged particle beam, and the increase in the aperture is minimized. Can be suppressed. As a result, it is possible to provide a charged particle beam irradiation apparatus capable of suppressing an increase in size and ensuring a sufficient irradiation field.
  • FIG. 9 is a view showing a scanning electromagnet 401C used in the charged particle beam irradiation apparatus of the fourth embodiment.
  • the charged particle beam irradiation apparatus of the fourth embodiment has a configuration in which the scanning electromagnet 401 is replaced with a scanning electromagnet 401C shown in FIG. 9 in the charged particle beam irradiation apparatus 1 of the first embodiment shown in FIG. .
  • the scanning electromagnet 401C includes a first scanning magnet unit 401C 1, and a second scanning magnet unit 401C 2 disposed downstream of the first scanning magnet unit 401C 1, a.
  • the first scanning magnet unit 401C 1 includes the disposed in parallel with the first charged particle beam 104c incident on the scanning electromagnet unit 401C 1, a pair of vertical scanning magnet 410a 1 and a pair of horizontal scanning magnet 410b 1
  • the aperture is substantially constant from the entrance side to the exit side or increases linearly. That is, in the first scanning magnet unit 401C 1, has a structure in which diameter changes as the rate of change toward the exit side from the entrance side is a constant value of substantially zero as or positive.
  • the change rate of the aperture means the ratio ⁇ D / ⁇ z when the aperture increases by ⁇ D when the distance ⁇ z moves from the entrance side to the exit side.
  • Second scanning electromagnet portion 401C 2 is arranged in parallel, a pair of with a vertical scanning magnet 410a 2 and a pair of horizontal scanning magnets 410b 2, first scanning magnet unit as bore diameter toward the exit side from the entrance side 401C 1 It is configured to increase linearly at a different rate of change.
  • the diameter of the entrance side of the aperture of the first output side of the scanning electromagnet portion 401C 1 and the second scanning electromagnet portion 401C2 is substantially equal.
  • Structure 410A3 includes a first portion 410A3 1, a second portion 410A3 2 to connect to this first part 410A3 1.
  • the first coil portion 410a1 has a construction formed integrally coil vertical scanning magnet 410a 1 and a vertical scanning magnet 410a 2.
  • the first coil unit 410A1 the coil where the coil 410A1 1 provided on the upper side of the surface of the structure 410A3, a coil 410A1 2 disposed outside of the coil 410A1 1, provided on the outside of the coil 410A1 2 and 410a1 3, is equipped with a.
  • the coils 410a1 1 , 410a1 2 , and 410a1 3 are each covered with an insulating material.
  • a magnetic field is generated in the vertical direction by applying an exciting current to each of the coils 410a1 1 , 410a1 2 , 410a1 3 using the electromagnet power source 402a shown in FIG.
  • three coils are provided on the upper surface of the structure, but one, two, or four or more coils may be provided.
  • the first portion 410A3 as shown in FIG. 3 (a), 3 (b ), similarly to the structure 401a3 of the first embodiment shown in 3 (c), has a hollow shape.
  • the second portion 410a3 are caliber has a tube shape increases linearly brought toward its exit side from the incident side. Diameter of the first portion 410A3 1 of the exit-side substantially equal to the diameter of the second portion 410A3 2 on the incident side.
  • the coils 410a1 1 , 410a1 2 , 410a1 3 are formed across the first part 410a3 1 and the second part 410a3 2 .
  • the second coil portion which is a respective pair of vertical scanning magnet 410a 1 and a vertical scanning magnet 410a 2 (not shown), FIG. 3 (a), 3 (b ), the first embodiment shown in 3 (c) Like the embodiment is provided on the first portion 410A3 1 and a second portion 410A3 2 of the lower surface. Similarly to the first coil portion 410a1 shown in FIG. 10, this second coil portion is also composed of three coils. Similar to the first embodiment shown in FIGS. 3A, 3B, and 3C, the coils of the second coil portion are the coils 410a1 1 , 410a1 2 , and 410a1 3 of the first coil portion 410a1.
  • the horizontal scanning magnet 410b 1 and the horizontal scanning magnet 410b 2 in the fourth embodiment as shown in FIG. 11, the structure 410B3, the first coil portion 410b1 provided on one side of the structure 410B3 And a second coil portion (not shown) provided on the other side surface.
  • Structure 410b3 is provided on the outside of the vertical scanning magnet 410a 1 and a vertical scanning magnet 410a 2, it includes a first portion 410B1 1, a second portion 410B1 2 to connect to this first part 410B1 1.
  • the first portion 410A3 1 as shown in FIG. 3 (a), 3 (b ), similarly to the structure 401a3 of the first embodiment shown in 3 (c), has a hollow shape.
  • the second portion 410a3 are caliber has a tube shape increases linearly brought toward its exit side from the incident side. Diameter of the first portion 410A3 1 of the exit-side substantially equal to the diameter of the second portion 410A3 2 on the incident side.
  • the horizontal scanning electromagnets 410b 1 and 410b 2 may be provided inside the vertical scanning electromagnets 410a 1 and 410a 2 .
  • the first coil unit 410B1 includes a coil 410B1 1 provided on one side of the structure 410B3, a coil 410B1 2 disposed outside of the coil 410B1 1, a coil disposed outside of the coil 410B1 2 410B1 3 is provided.
  • the coils 410b1 1 , 410b1 2 , 410b1 3 are formed across the first part 410b3 1 and the second part 410b3 2 .
  • the coils 410b1 1 , 410b1 2 , and 410b1 3 are each covered with an insulating material.
  • a magnetic field is generated in the horizontal direction by applying an exciting current to each of the coils 410b1 1 , 410b1 2 , 410b1 3 using the electromagnet power source 402b shown in FIG.
  • three coils are provided on each side surface of the structure, but one, two, or four or more coils may be provided.
  • the second coil portion (not shown) that forms a pair of the horizontal scanning electromagnet 410b 1 and the horizontal scanning electromagnet 410b 2 is the same as in the first embodiment shown in FIGS. 4 (a), 4 (b), and 4 (c). is provided on the first part 410B3 1 and the second part 410B3 2 on the other side.
  • This second coil portion is also composed of three coils, like the first coil portion 410b1 shown in FIG. As in the first embodiment shown in FIGS. 4A, 4B, and 4C, the coils of the second coil portion are the coils 410b1 1 , 410b1 2 , and 410b1 3 of the first coil portion 410b1.
  • the scanning electromagnet 401C includes a pair of vertical scanning electromagnets 410a 1 and a pair of horizontal scanning electromagnets 410b 1 arranged in parallel to the charged particle beam 104c, and these scanning electromagnets.
  • the charged particle beam irradiation device can be prevented from becoming longer in the traveling direction of the charged particle beam, and The increase in aperture can be minimized. As a result, it is possible to provide a charged particle beam irradiation apparatus capable of suppressing an increase in size and ensuring a sufficient irradiation field.
  • the scanning electromagnet 401C includes a first scanning magnet unit 401C 1, and a second scanning magnet unit 401C 2 disposed downstream of the first scanning magnet unit 401C 1, 2-stage structure composed of However, it may have a structure of three or more stages.
  • the third scanning electromagnet has a structure in which the diameter increases linearly at a different rate of change from the preceding scanning electromagnet as it goes from the incident side to the exit side. Further, such a three-stage structure can be applied to fifth to eighth embodiments described later.
  • a charged particle beam irradiation apparatus will be described with reference to FIGS.
  • the charged particle beam irradiation apparatus according to the fifth embodiment is similar to the charged particle beam irradiation apparatus 1 according to the fifth embodiment in that the coils of the vertical scanning electromagnets 410a 1 and 410a 2 shown in FIG. 9 correspond to the respective vertical scanning electromagnets.
  • the horizontal scanning electromagnets 410b 1 and 410b 2 are provided in correspondence with the horizontal scanning electromagnets.
  • FIG. 12 is a diagram illustrating the first coil portions 411a1 1 and 411a1 2 provided on the upper surface of the structure 410a3 of the vertical scanning electromagnets 410a 1 and 410a 2 of the fifth embodiment.
  • the first coil portion 411A1 1 is provided on the first portion 410A3 1 of the upper surface, the coil 411A1 11, a coil 411A1 12 disposed outside of the coil 411A1 11, provided on the outside of the coil 411A1 12 includes a coil 411A1 13, was.
  • the first coil portion 411A1 2 is provided on the second portion 410A3 2 of the upper surface, the coil 411A1 21, a coil 411A1 22 provided outside of the coil 411A1 21, provided on the outside of the coil 411A1 22 Coil 411a1 23 . That is, the first coil portions 411a1 1 and 411a1 2 of the fifth embodiment have a configuration in which the first coil portion 410a1 shown in FIG. 10 is divided into two. In FIG. 12, three coils are provided on the upper surface of the structure, but one, two, or four or more coils may be provided.
  • a second coil portion (not shown) paired with each of the first coil portions 411a1 1 and 411a1 2 is a first coil shown in FIGS. 3 (a), 3 (b), and 3 (c), respectively. Similar to the embodiment is provided on the first portion 410A3 1 and a second portion 410A3 2 of the lower surface. Similarly to the first coil portions 411a1 1 and 411a1 2 shown in FIG. 12, each of the second coil portions includes three coils.
  • each coil of the second coil portion formed on the second portion 410A3 2 of the lower surface, and a second portion of the same size as the first coil portion 411A1 each coil 411A1 21 of 2, 411A1 22, 411A1 23 410a3 to two of the central axis, is formed at a position of each coil 411a1 21, 411a1 22, 411a1 23 symmetrical of the first coil portion 411a 2.
  • FIG. 13 is a diagram illustrating first coil portions 411b1 1 and 411b1 2 provided on one side surface of the structure 410b3 of each of the horizontal scanning electromagnets 410b 1 and 410b 2 of the fifth embodiment.
  • the first coil portion 411b1 1 is provided on one side surface of the first portion 410B3 1, a coil 411b1 11, a coil 411b1 12 disposed outside of the coil 411b1 11, provided on the outside of the coil 411b1 12 Coil 411b1 13 .
  • the first coil portion 411b1 2 is provided on one side surface of the second portion 410b 2, a coil 411b1 21, a coil 411b1 22 provided outside of the coil 411b1 21, provided on the outside of the coil 411b1 22 Coil 411b1 23 . That is, the first coil portions 411b1 1 and 411b1 2 of the fifth embodiment have a configuration in which the first coil portion 410b1 shown in FIG. 11 is divided into two. In FIG. 13, three coils are provided on each side of the structure, but one, two, or four or more coils may be provided.
  • each of the second coil portions is composed of three coils.
  • the intensity of the excitation current of the pair of vertical scanning electromagnets 410a 1 and 410a 2 and also the pair of horizontal scanning electromagnets 410b. 1 and the intensity of the excitation current of the pair of horizontal scanning electromagnets 410b 2 can be changed.
  • the strength of the magnetic field formed by the pair of vertical scanning electromagnets 410a 2 and the pair of horizontal scanning electromagnets 410b 2 whose diameters increase linearly from the incident side toward the emission side is adjusted as compared with the fourth embodiment. be able to.
  • a first electromagnet power source that supplies an excitation current to the pair of vertical scanning electromagnets 410a 1 and a second electromagnet power source that supplies an excitation current to the pair of vertical scanning electromagnets 410a 2 . It is preferable to prepare a third electromagnet power source for supplying an exciting current to the horizontal scanning electromagnet 410b 1 and a fourth electromagnet power source for supplying an exciting current to the pair of horizontal scanning electromagnets 410b 2 .
  • the fifth embodiment can suppress the charged particle beam irradiation apparatus from becoming longer in the traveling direction of the charged particle beam, and can suppress an increase in aperture to the minimum necessary. .
  • a charged particle beam irradiation apparatus capable of suppressing an increase in size and ensuring a sufficient irradiation field.
  • a charged particle beam irradiation apparatus according to a sixth embodiment will be described with reference to FIGS.
  • the charged particle beam irradiation apparatus according to the sixth embodiment is the same as the charged particle beam irradiation apparatus 1 according to the fifth embodiment except that the number of windings of the coils constituting the pair of vertical scanning electromagnets 410a 2 and the pair of horizontal scanning electromagnets 410b 2 is set.
  • the number of windings of the coil constituting the pair of vertical scanning electromagnets 410a 1 and the pair of horizontal scanning electromagnets 410b 1 is larger.
  • FIG. 14 is a diagram illustrating the first coil portions 411a1 1 and 411a1 2 provided on the upper surface of the structure 410a3 of the vertical scanning electromagnets 410a 1 and 410a 2 of the sixth embodiment.
  • the first coil portion 411A1 1 is provided on the first portion 410A3 1 of the upper surface, the coil 411A1 11, a coil 411A1 12 disposed outside of the coil 411A1 11, provided on the outside of the coil 411A1 12 includes a coil 411A1 13, was.
  • the first coil portion 411A1 2 is provided on the second portion 410A3 2 of the upper surface, the coil 411A1 21, a coil 411A1 22 provided outside of the coil 411A1 21, provided on the outside of the coil 411A1 22 A coil 411a1 23 , a coil 411a1 24 provided outside the coil 411a1 23 , and a coil 411a1 25 provided outside the coil 411a1 24 .
  • the first coil portion 411A1 1 is the three coils in the first portion 410A3 1 of the upper surface was provided, one may be provided two, or four or more. Further, the first coil portion 411A1 2 Although 5 of the coil to the second portion 410A3 2 of the upper surface was provided number, may be provided a number of coils than the first coil portion 411A1 1.
  • a second coil portion (not shown) paired with each of the first coil portions 411a1 1 and 411a1 2 is a first embodiment shown in FIGS. 3 (a), 3 (b) and 3 (c), respectively. Similarly, it provided on the first portion 410A3 1 and a second portion 410A3 2 of the lower surface and the. Similarly to the first coil portion 411a1 1 and the first coil portion 411a1 2 shown in FIG. 14, the second coil portion is also composed of three and five coils, respectively.
  • FIG. 15 is a diagram illustrating first coil portions 411b1 1 and 411b1 2 provided on one side surface of the structure 410b3 of each of the horizontal scanning electromagnets 410b 1 and 410b 2 of the sixth embodiment.
  • the first coil portion 411b1 1 is provided on one side surface of the first portion 410B3 1, a coil 411b1 11, a coil 411b1 12 disposed outside of the coil 411b1 11, provided on the outside of the coil 411b1 12 Coil 411b1 13 .
  • the first coil portion 411b1 2 is provided on one side surface of the second part 410B3 2, a coil 411b1 21, a coil 411b1 22 provided outside of the coil 411b1 21, provided on the outside of the coil 411b1 22
  • the first coil portion 411b1 1 has been provided three on one side of the first part 410B3 1, 1 piece may be provided two, or four or more. Further, the first coil portion 411b1 2 but five coils was provided on one side surface of the second part 410B3 2, it may be provided a number of coils than the first coil portion 411b1 1.
  • the second coil portions (not shown) that are paired with the first coil portions 411b1 1 and 411b1 2 are respectively shown in FIGS. 4 (a), 4 (b), and 4 (c). Similar to the embodiment is provided on the first part 410B3 1 and the second part 410B3 2 on the other side. Each also the second coil portion, respectively in the same manner as the first coil portion 411b1 1 and the first coil portion 411b1 2 shown in FIG. 15, composed of three and five coils.
  • each coil of the second coil portion formed on the second part 410B3 2 of the other side, the first coil portion 411b1 2 each coil of 411b1 21, 411b1 22, 411b1 23 , 411b1 24, 411b1 25 the same size relative in and second portions 410B3 2 of the central axis, are formed in the first coil portion each coil 411b1 21 of 411b 2, 411b1 22, 411b1 23 , 411b1 24, 411b1 of 25 and symmetrical position.
  • the sixth embodiment can suppress the charged particle beam irradiation apparatus from becoming longer in the traveling direction of the charged particle beam, and can suppress an increase in aperture to the minimum necessary. .
  • a charged particle beam irradiation apparatus capable of suppressing an increase in size and ensuring a sufficient irradiation field.
  • a charged particle beam irradiation apparatus according to a seventh embodiment will be described with reference to FIGS.
  • the charged particle beam irradiation apparatus according to the seventh embodiment is the same as the charged particle beam irradiation apparatus 1 according to the fourth embodiment except that the number of windings of the coils constituting the pair of vertical scanning electromagnets 410a 2 and the pair of horizontal scanning electromagnets 410b 2 is reduced.
  • the number of windings of the coil constituting the pair of vertical scanning electromagnets 410a 1 and the pair of horizontal scanning electromagnets 410b 1 is larger.
  • FIG. 16 is a diagram illustrating first coil portions 411a1 1 and 411a1 2 provided on the upper surface of the structure 410a3 of the vertical scanning electromagnets 410a 1 and 410a 2 of the seventh embodiment.
  • the first coil portion 411A1 2 is provided on the second portion 410A3 2 of the upper surface, the coil 411A1 1, a coil 411A1 2 disposed outside of the coil 411A1 1, provided on the outside of the coil 411A1 2 a coil 411A1 3 was provided with a coil 411A1 4 disposed outside of the coil 411A1 3, a coil 411A1 5 disposed outside of the coil 411A1 4, a.
  • the coil 411A1 3, coil 411A1 4, and the coil 411A1 5 extends into the first portion 410A3 1 of the upper surface, constituting a first coil portion 411A1 1.
  • the first coil portion 411A1 1 is the three coils were provided, one may be provided two, or four or more.
  • the first coil portion 411A1 2 is five coils was provided, may be provided a number of coils than the first coil portion 411A1 1.
  • a second coil portion (not shown) paired with each of the first coil portions 411a1 1 and 411a1 2 is a first embodiment shown in FIGS. 3 (a), 3 (b) and 3 (c), respectively. Similarly, it provided on the first portion 410A3 1 and a second portion 410A3 2 of the lower surface and the. Similarly to the first coil portion 411a1 1 and the first coil portion 411a1 2 shown in FIG. 16, the second coil portion is also composed of three and five coils, respectively.
  • FIG. 17 is a diagram illustrating first coil portions 411b1 1 and 411b1 2 provided on one side surface of the structure 410b3 of the horizontal scanning electromagnets 410b 1 and 410b 2 of the sixth embodiment.
  • the first coil portion 411b1 2 is provided on the second portion 410b3 on one side of the 2, the coil 411b1 11, a coil 411b1 12 disposed outside of the coil 411b1 11, provided on the outside of the coil 411b1 12 and a coil 411b1 13, includes a coil 411b1 14 disposed outside of the coil 411b1 13, a coil 411b1 15 disposed outside of the coil 411b1 14, a.
  • the coil 411b1 13, coil 411b1 14, and the coil 411A1 15 extends into the first part 410B3 1 of the upper surface, constituting a first coil portion 411b1 1.
  • the first coil portion 411b1 1 is the three coils were provided, one may be provided two, or four or more.
  • the first coil portion 411b1 2 is five coils was provided, may be provided a number of coils than the first coil portion 411b1 1.
  • a second coil portion (not shown) that is paired with each of the first coil portions 411b1 1 and 411b1 2 is respectively shown in FIGS. 4 (a), 4 (b), and 4 (c). Similarly, it provided on the first part 410B3 1 and the second part 410B3 2 of the other side with. Each also the second coil portion, respectively in the same manner as the first coil portion 411b1 1 and the first coil portion 411b1 2 shown in FIG. 16, composed of three and five coils.
  • each coil of the second coil portion formed on the second part 410B3 2 of the lower surface a first coils 411b1 1 of the coil portion 411b1 2, 411b1 2, 411b1 3 , 411b1 4, 411b1 5, for the same size a and the second portion 410A3 2 of the central axis, it is formed on each coil 411b1 1 of the first coil portion 411b1 2, 411b1 2, 411b1 3 , 411b1 4, 411b1 of 5 and symmetrical position.
  • the pair of vertical scanning electromagnets 410 a 1 and the pair of vertical scanning electromagnets 410 a 1 are changed.
  • the pair of vertical scanning electromagnets 410 a 1 and the pair of vertical scanning electromagnets 410 a 1 are changed.
  • the pair of vertical scanning electromagnets 410 a 1 and the pair of vertical scanning electromagnets 410 a 1 are changed.
  • it is possible to stronger than the magnetic field is a magnetic field formed by the pair of vertical scanning magnet 410a 2 by a pair of vertical scanning magnet 410a 1. That is, it is possible to supply the exciting current using the same magnet power supply to the pair of vertical scanning magnet 410a 1 and a pair of vertical scanning magnet 410a 2.
  • the seventh embodiment can suppress the charged particle beam irradiation apparatus from becoming longer in the traveling direction of the charged particle beam, and can suppress an increase in aperture to the minimum necessary. .
  • a charged particle beam irradiation apparatus capable of suppressing an increase in size and ensuring a sufficient irradiation field.
  • FIG. 18 is a view showing a scanning electromagnet 401D used in the charged particle beam irradiation apparatus of the eighth embodiment.
  • the charged particle beam irradiation apparatus of the eighth embodiment has a configuration in which the scanning electromagnet 401 is replaced with a scanning electromagnet 401D shown in FIG. 9 in the charged particle beam irradiation apparatus 1 of the first embodiment shown in FIG. .
  • the scanning electromagnet 401D of the eighth embodiment has a configuration in which the yoke 401c is provided outside the horizontal scanning electromagnets 410b 1 and 410b 2 in the scanning electromagnet of any of the fourth to seventh embodiments.
  • the yoke 401c is provided outside the vertical scanning electromagnet.
  • FIG. 18 is a cross-sectional view when the yoke 420 is provided outside the horizontal scanning electromagnets 410b 1 and 410b 2 of the fourth embodiment.
  • the yoke 420 has a shape in which the inner diameter is in line with the outer shapes of the horizontal scanning electromagnets 410b 1 and 410b 2 . That is, the diameter of the portion corresponding to the horizontal scanning magnet 410b 1 is a structure that increases or linear substantially constant rate of change caliber of the portion corresponding to the horizontal scanning magnets 410b2 differ from the horizontal scanning magnet 410b 1 Increases linearly. Further, the outer diameter of the yoke 420 is substantially constant. For this reason, the thickness of the yoke 420 is thinner on the emission side from which the charged particles 104c are emitted compared to the incident side.
  • FIG. 19 and 20 show a top view and a cross-sectional view of the scanning electromagnet 401D of the present embodiment.
  • FIG. 19 is a top view in which a part of the yoke 420 is cut.
  • the yoke 420 has substantially the same length in the longitudinal direction as the coil portion 410a1 of the vertical scanning electromagnet.
  • reference numeral 104c denotes a charged particle beam.
  • the yoke 420 is divided into at least two. Generally, it is divided into two in the Y direction or the X direction. In FIG. 20, it is divided into two in the Y direction as indicated by arrows.
  • the inner peripheral surface of the yoke 420 and the coil assembly are made easy.
  • the inner peripheral surface of the yoke 420 is in contact with or close to the outer peripheral surface of the coil portion 410a1, and is composed of a magnetic material such as iron, thereby increasing the strength of the magnetic field and reducing the leakage magnetic field. .
  • the yoke 420 Since the scanning electromagnet 401D of this embodiment is driven by alternating current, the yoke 420 has a structure in which a plurality of thin iron plates such as electromagnetic steel plates are laminated in the longitudinal direction and bonded with resin. Thereby, the error magnetic field due to the heat generation and eddy current of the yoke 420 can be reduced.
  • the inner peripheral surface of the yoke 420 is in contact with or close to the outer peripheral surface of the coil portion 410a1 as described above.
  • the outer peripheral surface of the yoke 420 has a constant outer diameter.
  • the eighth embodiment can suppress the charged particle beam irradiation apparatus from becoming longer in the traveling direction of the charged particle beam, and can suppress an increase in aperture to the minimum necessary. As a result, it is possible to provide a charged particle beam irradiation apparatus capable of suppressing an increase in size and ensuring a sufficient irradiation field. Furthermore, by providing the yoke 420, it is possible to suppress leakage of the magnetic field to the outside.

Abstract

 大型化を抑制することができるとともに、十分な照射野を確保することのできる荷電粒子ビーム照射装置を提供する。本実施形態による荷電粒子ビーム照射装置は、荷電粒子ビームが入射する第1方向に実質的に直交する第2方向に前記前記荷電粒子ビームを偏向する第1走査電磁石部と、前記第1方向および前記第2方向に実質的に直交する第3方向に前記荷電粒子ビームを偏向する第2走査電磁石部と、を備え、前記第1および第2走査電磁石部は、前記第1方向に対して並列に配置される。

Description

荷電粒子ビーム照射装置
 本発明の実施形態は、荷電粒子ビーム照射装置に関する。
 癌などの患者の患部に重粒子線等の荷電粒子ビームを照射する荷電粒子ビーム照射装置が知られている。この荷電粒子ビーム照射装置は、ビーム発生装置で生成された荷電粒子ビームをビーム加速装置で加速し、ビーム輸送装置を経て治療室内のビーム照射装置によって患部に照射する装置である。このビーム照射装置は照射目標である患部の立体形状に合わせて照射する装置である。このビーム照射装置においては、2組の走査電磁石、例えば一組みの水平方向走査電磁石および一組の垂直方向走査電磁石を直列に配置することにより、荷電粒子ビームを直交する2方向に走査する。
 様々な部位および大きさの異なる癌部に照射するため、照射可能な領域(照射野)は広く確保することが望ましい。照射野を広くする方式は大きく分けて二通りある。1つは、直列配置された2組の走査電磁石の位置と、荷電粒子ビームが照射される患者の位置とを大きく離す方式、もう1つは2組の走査電磁石の出力する磁場強度を上げるか、または軸長を延長する方式である。
 広い照射野を確保するために、直列に配置された2組の走査電磁石と患者の位置とを大きく離した場合、荷電粒子ビーム照射装置の設置に必要な空間が大きくなってしまい、これらの装置を収納する建屋等が大きくなる。
 一方、走査電磁石が出力する磁場強度を上げるか軸長を延長した場合、ビーム進行方向下流の走査電磁石による磁場発生効率が低下し、十分な照射野を確保することができなくなってしまう。
特開2010-125012号公報
 本実施形態は、大型化を抑制することができるとともに、十分な照射野を確保することのできる荷電粒子ビーム照射装置を提供する。
 本実施形態による荷電粒子ビーム照射装置は、荷電粒子ビームが入射する第1方向に実質的に直交する第2方向に前記荷電粒子ビームを偏向する第1走査電磁石部と、前記第1方向および前記第2方向に実質的に直交する第3方向に前記荷電粒子ビームを偏向する第2走査電磁石部と、を備え、前記第1および第2走査電磁石部は、前記第1方向に対して並列に配置される。
第1実施形態による荷電粒子ビーム照射装置を示す図。 第1実施形態に用いられる走査電磁石を説明する図。 図3(a)乃至3(c)は、第1実施形態の垂直走査電磁石を説明する図。 図4(a)乃至4(c)は、第1実施形態の水平走査電磁石を説明する図。 図5(a)乃至5(c)は、第1実施形態の変形例による走査電磁石を説明する図。 第2実施形態の荷電粒子ビーム照射装置に用いられる走査電磁石を示す図。 第3実施形態の荷電粒子ビーム照射装置に用いられる走査電磁石を示す図。 第3実施形態の垂直走査電磁石を説明する図。 第4実施形態の荷電粒子ビーム照射装置に用いられる走査電磁石を示す図。 第4実施形態の垂直走査電磁石を説明する図。 第4実施形態の水平走査電磁石を説明する図。 第5実施形態の垂直走査電磁石を説明する図。 第5実施形態の水平走査電磁石を説明する図。 第6実施形態の垂直走査電磁石を説明する図。 第6実施形態の水平走査電磁石を説明する図。 第7実施形態の垂直走査電磁石を説明する図。 第7実施形態の水平走査電磁石を説明する図。 第8実施形態の荷電粒子ビーム照射装置に用いられる走査電磁石を示す図。 第8実施形態の荷電粒子ビーム照射装置に用いられる走査電磁石の上面図。 第8実施形態の荷電粒子ビーム照射装置に用いられる走査電磁石の断面図。
 実施形態による荷電粒子ビーム照射装置について図面を参照して説明する。
(第1実施形態)
 第1実施形態による荷電粒子ビーム照射装置を図1に示す。本実施形態の荷電粒子ビーム照射装置1は、荷電粒子、例えば、負パイ中間子、陽子、ヘリウムイオン、炭素イオン、ネオンイオン、シリコンイオン、またはアルゴンイオンを治療照射用の粒子ビーム源とする照射装置1である。
 荷電粒子ビーム照射装置1は、図1に示すように、ビーム発生装置10、ビーム加速装置20、ビーム輸送装置30、ビーム照射装置40、および照射制御装置60を備え、例えば患者の患部90に荷電粒子ビーム104を照射する。
 ビーム発生装置10は、荷電粒子ビームを発生する。
 ビーム加速装置20は、荷電粒子ビーム104を所定のエネルギーに加速する装置である。この構成の一例として、前段加速装置と後段加速装置とで構成されることがある。例えば、前段加速装置として直線加速器、後段加速装置としてシンクロトンで構成される例がある。構成要素としては、真空容器(配管)、高周波加速空洞、ビーム偏向装置(二極電磁石)、ビーム集束・発散装置(四極電磁石)、ビーム軌道補正装置(ステアリング電磁石)、入射装置、出射装置、および制御装置などがある。ビーム加速装置20の構成は任意とすることができるので、ここでは、詳述しない。加速器としてサイクロトロン等を選択しても構わない。
 ビーム輸送装置30は、加速された荷電粒子ビーム104を被照射物へと、すなわち照射治療室内の患者の患部90へ輸送する装置である。その構成要素としては、真空容器(配管)、ビーム偏向装置(二極電磁石)、ビーム集束・発散装置(四極電磁石)、ビーム軌道補正装置(ステアリング電磁石)、および制御装置などである。
 ビーム照射装置40は、ビーム輸送装置30の荷電粒子ビーム出口側に設けられ、ビーム輸送装置30を通過した特定エネルギーの荷電粒子ビーム104cが患者の患部90の設定された照射点902に正しく入射するように、荷電粒子ビーム104cの軌道を調節する。また、患部90における荷電粒子ビーム104cの照射位置および照射線量を監視する。このビーム照射装置40は、走査電磁石401、走査電磁石電源402、位置モニタ403、線量計404および線量計回路405を有する。
 走査電磁石401は、励磁電流の制御を受け、荷電粒子ビーム104cの垂直方向の軌道調節を行う一対の垂直走査電磁石401aと、荷電粒子ビーム104cの水平方向の軌道調節を行う一対の水平走査電磁石401bと、を有する。走査電磁石電源402は電磁石電源402a、402bを有している。電磁石電源402aは、走査電磁石401aに対して荷電粒子ビーム104cの走査に必要な励磁電流を供給する。電磁石電源402bは、走査電磁石401bに対して荷電粒子ビーム104cの走査に必要な励磁電流を供給する。一対の垂直走査電磁石401aおよび一対の水平走査電磁石401bについては、後で詳細に説明する。
 位置モニタ403は、これを通過した荷電粒子ビーム104cの位置すなわち患者の患部90における荷電粒子ビームの入射位置の指標となる信号を出力し、照射制御装置60に送信する。なお、位置モニタ403としては、電離箱式などを用いることができる。
 線量計404は、これを通過した荷電粒子ビーム104cの強度或いは線量すなわち患者の患部90に照射された荷電粒子ビームの強度ないし線量に応じた電気信号を出力する。なお、線量計404としては、電離箱式などを用いることができる。
 線量計回路405は、線量計404から出力される電気信号を受信し、受け取った電気信号が予め設定された積算出力値に到達したとき、患者の患部90に設定された照射点902の線量満了を示す線量満了信号を照射制御装置60に送信する。
 照射制御装置60は、患者の治療照射をどのように行うかを示す照射パターンデータを記録可能に構成され、この照射パターンデータを参照して荷電粒子ビーム照射装置1の全体制御を行う。なお、照射パターンデータは、治療照射の事前に行われる治療計画にて作成される最適照射情報を元にして作成される。
 この照射パターンデータには、患者の患部90を仮想的に切り分けた照射スライス901ごとに設定された照射点902の位置指標となる基準位置からみた水平方向の相対位置および垂直方向の相対位置、照射スライス901の位置指標すなわち体内深度の指標となる体内飛程、体内におけるビーム停止幅の指標となるビーム停止幅、各照射点902に照射すべきビーム強度および設定線量から構成されるもので、ビーム発生装置10、ビーム加速装置20、ビーム輸送装置30、およびビーム照射装置40の一部あるいはすべての動作制御に必要な情報が収められる。なお、ビーム停止幅は、荷電粒子ビームのエネルギー幅に基づく体内飛程の差により生ずるものである。また、照射パターンデータの内容は適宜変更できる。
 照射制御装置60は、ビーム集束制御部601、エネルギー選択制御部602および走査制御部603を有する。
 走査制御部603は、所定の照射点902に対し荷電粒子ビーム104cが入射するよう、走査電磁石電源402の出力を制御し、走査電磁石401に印加する励磁電流を調節する。
 (垂直走査電磁石および水平走査電磁石)
 次に、垂直走査電磁石および水平走査電磁石について詳細に説明する。一対の垂直走査電磁石401aおよび一対の水平走査電磁石401bは、図2に示すように、荷電粒子ビーム104cの進行に対して並列に配置されている。すなわち一対の垂直走査電磁石401aは垂直方向に配置され、一対の水平走査電磁石401bは、一対の垂直走査電磁石401aが配置された位置と同じ位置でかつ水平方向に配置される。そして、一対の垂直走査電磁石401aおよび一対の水平走査電磁石401bは、直交する2方向、すなわち垂直方向および水平方向の走査を同時に行うように配置されている。
 一対の垂直走査電磁石401aの詳細について図3(a)乃至3(c)を参照して説明する。図3(a)は一対の垂直走査電磁石401aの上面図を示し、図3(b)は一対の垂直走査電磁石401aの側面図を示し、図3(c)は、図3(b)に示す切断面A-Aで切断した断面図を示す。
 一対の垂直走査電磁石401aは、中空形状の構造体401a3と、この構造体401a3の上側の表面に設けられたコイル部401a1と、構造体401a3の下側の表面に設けられたコイル部401a2と、を備えている。構造体401a3は、渦電流が生じない材料、例えば、非磁性金属、FRP(Fiber-Reinforced Plastic)等が用いられる。
 コイル部401a1は、構造体401a3の上側の表面に設けられサドル形状のコイル401a1と、このコイル401a1の外側に設けられたコイル401a1と、このコイル401a1の外側に設けられたコイル401a1と、を備えている、なお、各コイル401a1、401a1、401a1は絶縁材で被覆されている。
 コイル部401a2は、構造体401a3の下側の表面に設けられサドル形状のコイル401a2と、このコイル402a1の外側に設けられたコイル401a2と、このコイル401a2の外側に設けられたコイル401a2と、を備えている、なお、各コイル401a2、401a2、401a2は絶縁材で被覆されている。各コイル401a1~401a1、401a2~401a2に励磁電流を流すことにより、垂直方向に磁場を発生する。なお、図3(a)乃至3(c)では、コイルは上側および下側にそれぞれ3個設けられていたが、それぞれ1個、2個、または4個以上設けてもよい。なお、図3(c)において、符号104cは荷電粒子ビームを示す。
 一対の水平走査電磁石401bの詳細について図4(a)乃至4(c)を参照して説明する。図4(a)は一対の水平走査電磁石401bの上面図を示し、図4(b)は一対の水平走査電磁石401bの側面図を示し、図4(c)は、図4(b)に示す切断面A-Aで切断した断面図を示す。
 一対の水平走査電磁石401bは、一対の垂直走査電磁石401aの外側に設けられた中空形状の構造体401b3と、この構造体401b3の一対の側面のうちの一方の側面に設けられたコイル部401b1と、構造体401b3の他方の側面に設けられたコイル部401b2と、を備えている。構造体401b3は、構造体401a3と同様に渦電流が生じない材料、例えば、非磁性金属、FRP(Fiber-Reinforced Plastic)等が用いられる。また、この時水平走査電磁石401bは垂直走査電磁石401aの内側に設けても良い。
 コイル部401b1は、構造体401a3の一方の側面に設けられサドル形状のコイル401b1と、このコイル401b1の外側に設けられたコイル401b1と、このコイル401b1の外側に設けられたコイル401b1と、を備えている、なお、各コイル401b1、401b1、401b1は絶縁材で被覆されている。
 コイル部401b2は、構造体401a3の他方の側面に設けられサドル形状のコイル401b2と、このコイル401b2の外側に設けられたコイル401b2と、このコイル401b2の外側に設けられたコイル401b2と、を備えている、なお、各コイル401b2、401b2、401b2は絶縁材で被覆されている。各コイル401b1~401b1、401b2~401b2に励磁電流を流すことにより、水平方向に磁場を発生する。なお、図4(a)乃至4(c)では、コイルは一対の側面にそれぞれ3個設けられていたが、1個、2個、または4個以上設けてもよい。なお、図4(c)において、符号104cは荷電粒子ビームを示す。
 なお、本実施形態においては、図5(a)乃至5(c)に示すように、水平走査電磁石401bの外側にヨーク401cを設けることが好ましい。図5(a)は走査電磁石401からヨーク401cを除いた上面図を示し、図5(b)は走査電磁石401からヨーク401cを除いた側面図を示し、図5(c)は、図5(b)に示す切断面A-Aで切断した断面図を示す。このように、ヨーク401cを設けることにより、外部に磁場が漏れるのを抑制することができる。なお、図5(c)において、符号104cは荷電粒子ビームを示す。
 (荷電粒子ビーム照射装置1の動作)
 次に、荷電粒子ビーム照射装置1の動作を説明する。
 以下の動作用説明は、いわゆるスポットスキャニング照射法を用いて治療照射を行う例に基づくものである。スポットスキャニング照射法は、すでに加速器駆動型の粒子線照射技術にあっては確立されており、治療効果が高いことが確認されている照射方法である。
 このスポットスキャニング照射法は、患者の患部を仮想的に3次元格子点、すなわち、照射スライスおよびその照射スライスに設定される照射点に切り分け、患部の深さ方向(荷電粒子ビーム軸の方向)、患部の断面方向(荷電粒子ビーム軸と交わる方向)の各方向に荷電粒子ビームを走査する方法である。
 1つの照射点に照射された線量がその照射点に対する設定線量に到達したことを示す線量満了信号が生成されたタイミングで荷電粒子ビームの照射を一旦停止させる。その後、荷電粒子ビームを次の照射点ないし照射スライスへと走査して照射を再開する。この操作を繰り返すことにより患部全域の照射が行われる。
 例えば、ターゲットとしてスライス面901a~901cのそれぞれに照射スポット(図ではスライス面901a上の照射点902)があるとする。まず始めに設定照射スポットに応じて各機器の調整が行われる。スライス面の変更は、ビームのエネルギーを変えることでなされる。エネルギーが高いほど深い側(図1の場合は、スライス面901a)にビームが届き、エネルギーが低いほど浅い側(図1の場合は、スライス面901c)に移動する。ビームのエネルギー変更はビーム加速装置20で加速するビームのエネルギーを低減させることで行う方法や、ビーム加速装置20で加速したビームに対しビーム輸送装置30またはビーム照射装置40で適当なフィルターを掛けることで行ってもよい。
 荷電粒子ビームのエネルギー選択に応じて、ビーム輸送装置30を構成する電磁石の励磁量も調節される。これにより、患者の患部90に到達する荷電粒子ビームの必要な強度が確保される。
 そして、ビーム照射装置40における走査電磁石401の励磁電流が調節され、所定のエネルギーの荷電粒子ビームが照射点(たとえば照射点902a)に正しく入射するよう設定される。
 以上のようにして、各構成装置が調節された後、照射制御装置60の制御を受けて、ビーム発生装置10から荷電粒子ビーム104が射出される。
 ビーム発生装置10から射出された荷電粒子ビーム104は、ビーム加速装置20による加速を受けた後、ビーム輸送装置30に案内される。このビーム輸送装置30では、荷電粒子ビーム104は例えばビーム偏向装置(図示せず)により形成される磁場に入射して運動量に応じて軌道を偏向することによって安定的にビーム照射装置40に案内される。ビーム照射装置40では、荷電粒子ビーム104cが走査電磁石401により形成される磁場に入射して水平方向および垂直方向の軌道が調節され、各スライス面上の照射点(照射スライス901aの例では、設定された照射点902a)に向かって進み、照射点902aの治療照射が行われる。
 このとき、照射制御装置60により、位置モニタ403の出力信号に基づいて軌道調節された荷電粒子ビーム104cが照射点902aに正しく入射しているか否かが監視される。
 この照射点902aに対する荷電粒子ビームの照射は、線量計回路405から線量満了信号が出力されるまで継続して行われる。線量満了信号が出力され照射制御装置60に入力されたときは、次の照射点(例えば照射点902b)の照射に移行する。すなわち、照射制御装置60により照射パターンデータが参照され、次の照射点902bに荷電粒子ビームが入射するように走査電磁石401の励磁電流が調節され、再び照射制御装置60に線量満了信号が入力されるまで、照射点902bに対し荷電粒子ビームの照射が継続して行われる。このような操作が順次繰り返されることで、照射スライス901aに設定された全ての照射点902に対する照射が行われる。
 照射スライス901aの照射が完了したときは、次の照射スライス901bの照射に移行する。すなわち、照射制御装置60により照射パターンデータが参照され、照射スライス901bの位置で荷電粒子ビームが停止するようにビーム加速装置20の調節が行われ、この照射スライス901bの各照射点(図示省略)に荷電粒子ビームが入射するようにビーム照射装置40の調節が行われる。このような操作が順次繰り返されていき、最浅の照射スライス901cの照射へと移行する。
 次に、本実施形態の荷電粒子ビーム照射装置1の作用を説明する。
 様々な部位および大きさの異なる癌部に照射するため、照射野は広く確保することが望ましい。照射野を大きくする方式は大きく分けて二通りある。1つは、直列配置された2組の走査電磁石の位置と、荷電粒子ビームが照射される患者の位置とを大きく離す方式、もう1つは2組の走査電磁石の出力する磁場強度を上げるか、または軸長を延長する方式である。
 広い照射野を確保するために、直列に配置された2組の走査電磁石と患者の位置とを大きく離した場合、荷電粒子ビーム照射装置の設置に必要な空間が大きくなってしまい、これらの装置を収納する建屋等が大きくなる。一方、走査電磁石が出力する磁場強度を上げるか軸長を延長した場合、ビーム進行方向下流の走査電磁石による磁場発生効率が低下し、十分な照射野を確保することができなくなってしまう。
 そこで本発明者は、ビーム照射装置40として、並列に配置された一対の垂直走査電磁石401aおよび一対の水平走査電磁石401bを用いることにより、荷電粒子ビーム照射装置が荷電粒子ビームの進行方向に長くなることを抑制することができるとともに、口径の増加を必要最小限に抑えることができる。これにより、大型化を抑制することが可能になるとともに、十分な照射野を確保することのできる荷電粒子ビーム照射装置を提供することができる。
(第2実施形態)
 第2実施形態による荷電粒子ビーム照射装置について図6を参照して説明する。図6は第2実施形態の荷電粒子ビーム照射装置に用いられる走査電磁石401Aを示す図である。この第2実施形態の荷電粒子ビーム照射装置は、図1に示す第1実施形態の荷電粒子ビーム照射装置1において、走査電磁石401を図6に示す走査電磁石401Aに置き換えた構成を有している。
 この走査電磁石401Aは、図2に示す走査電磁石401を3段、荷電粒子ビーム104cの進行に対して直列に配置した構成を有している。すなわち、走査電磁石401Aは、荷電粒子ビーム104cの進行に対して並列に配置された一対の垂直走査電磁石401aおよび一対の水平走査電磁石401bと、これらの走査電磁石401aおよび401bの後段に設けられかつ並列に配置された一対の垂直走査電磁石401aおよび一対の水平走査電磁石401bと、これらの走査電磁石401aおよび401bの後段に設けられかつ並列に配置された一対の垂直走査電磁石401aおよび一対の水平走査電磁石401bと、を備えている。
 そして、後段の走査電磁石の口径は前段の走査電磁石の口径よりも大きい。すなわち、 一対の垂直走査電磁石401aおよび一対の水平走査電磁石401bの口径は、一対の垂直走査電磁石401aおよび一対の水平走査電磁石401bの口径よりも大きく、一対の垂直走査電磁石401aおよび一対の水平走査電磁石401bの口径は、一対の垂直走査電磁石401aおよび一対の水平走査電磁石401bの口径よりも大きい。
 図2に示す走査電磁石を複数段直列に配置し、かつ後段の走査電磁石の口径は前段の走査電磁石の口径よりも大きいように構成することにより、第1実施形態と同様に、荷電粒子ビーム照射装置が荷電粒子ビームの進行方向に長くなることを抑制することができるとともに、口径の増加を必要最小限に抑えることができる。これにより、大型化を抑制することが可能になるとともに、十分な照射野を確保することのできる荷電粒子ビーム照射装置を提供することができる。
(第3実施形態)
 第3実施形態による荷電粒子ビーム照射装置について図7を参照して説明する。図7は第3実施形態の荷電粒子ビーム照射装置に用いられる走査電磁石401Bを示す図である。この第3実施形態の荷電粒子ビーム照射装置は、図1に示す第1実施形態の荷電粒子ビーム照射装置1において、走査電磁石401を図7に示す走査電磁石401Bに置き換えた構成を有している。
 この走査電磁石401Bは、並列に配置された一対の垂直走査電磁石401aおよび一対の水平走査電磁石401bを備えている。一対の垂直走査電磁石401aおよび一対の水平走査電磁石401bは、荷電粒子ビーム104cの入射側から出射側に向かうにつれて口径が広がる形状を有している。なお、図7では、口径の広がる形状はビームの偏向に応じた形状であって楽器のラッパのそれと同じとなっているが、口径は、荷電粒子ビーム104cの入射側から出射側に向かうにつれて線形的に増加する形状であってもよい。
 この第3実施形態における垂直走査電磁石401aの上側のコイル部401a1を図8に示す。この垂直走査電磁石401aは、荷電粒子ビーム104cの入射側から出射側に向かうにつれて口径が増加する中空形状を有する構造体401a3を備えている。上側のコイル部401a1は、構造体403a3の上側の表面に設けられている。
 上側のコイル部401a1は、構造体403a3の上側の表面に設けられたコイル401a1と、このコイル401a1の外側に設けられたコイル401a1と、このコイル401a1の外側に設けられたコイル401a1とを備えている。
 なお、図3(a)乃至図3(c)に示した場合と同様に、垂直走査電磁石401aは、構造体401a3の下側の表面に設けられた下側のコイル部(図示せず)を備えており。この下側のコイル部も上側のコイル部401a1と同様に、複数のコイルを有し、これらのコイルは構造体の下側の表面に設けられる。なお、図8では、コイルは一対の側面にそれぞれ3個設けられていたが、1個、2個、または4個以上設けてもよい。
 そして、図4(a)乃至4(c)に示した場合と同様に、垂直走査電磁石401aの外側または内側に、水平走査電磁石のコイル部が設けられる。
 このように構成された第3実施形態も第1実施形態と同様に、荷電粒子ビーム照射装置が荷電粒子ビームの進行方向に長くなることを抑制することができるとともに、口径の増加を必要最小限に抑えることができる。これにより、大型化を抑制することが可能になるとともに、十分な照射野を確保することのできる荷電粒子ビーム照射装置を提供することができる。
(第4実施形態)
 第4実施形態による荷電粒子ビーム照射装置について図9を参照して説明する。図9は第4実施形態の荷電粒子ビーム照射装置に用いられる走査電磁石401Cを示す図である。この第4実施形態の荷電粒子ビーム照射装置は、図1に示す第1実施形態の荷電粒子ビーム照射装置1において、走査電磁石401を図9に示す走査電磁石401Cに置き換えた構成を有している。
 この走査電磁石401Cは、第1走査電磁石部401Cと、この第1走査電磁石部401Cの後段に設けられた第2走査電磁石部401Cと、を備えている。第1走査電磁石部401Cは、この第1走査電磁石部401Cに入射する荷電粒子ビーム104cに対して並列に配置された、一対の垂直走査電磁石410aおよび一対の水平走査電磁石410bを備え、口径が入射側から出射側まで実質的に一定であるかまたは線形に増大する構造である。すなわち、第1走査電磁石部401Cにおいては、口径が入射側から出射側に向かうにつれて変化率が実質的に0であるかまたは正の一定値であるように変化する構造を有している。ここで、口径の変化率とは、入射側から出射側に向かって距離Δz移動したときに口径がΔD増大する場合に、比ΔD/Δzを意味する。
 第2走査電磁石部401Cは、並列に配置された、一対の垂直走査電磁石410aおよび一対の水平走査電磁石410bを備え、口径が入射側から出射側に向かうにつれて第1走査電磁石部401Cと異なる変化率で線形に増大するように構成されている。なお、第1走査電磁石部401Cの出射側の口径と第2走査電磁石部401C2の入射側の口径は実質的に等しい。
 この第4実施形態における垂直走査電磁石410aおよび垂直走査電磁石410aに関する構造体410a3およびこの構造体410a3の上側の表面に設けられた第1コイル部410a1の一具体例を図10に示す。構造体410a3は、第1部分410a3と、この第1部分410a3に接続する第2部分410a3とを備えている。第1コイル部410a1は、垂直走査電磁石410aおよび垂直走査電磁石410aを一体のコイルで形成した構成を有している。
 この第1コイル部410a1は、構造体410a3の上側の表面に設けられたコイル410a1と、このコイル410a1の外側に設けられたコイル410a1と、このコイル410a1の外側に設けられたコイル410a1と、を備えている。なお、第1実施形態と同様に、各コイル410a1、410a1、410a1は、それぞれ絶縁材で被覆されている。各コイル410a1、410a1、410a1に、図1に示す電磁石電源402aを用いて励磁電流を流すことにより、垂直方向に磁場を発生する。なお、図10では、コイルは構造体の上側の表面に3個設けられていたが、1個、2個、または4個以上設けてもよい。
 第1部分410a3は、図3(a)、3(b)、3(c)に示す第1実施形態における構造体401a3と同様に、中空形状を有している。第2部分410a3は、口径が入射側から出射側に向かうに連れて線形に増加するチューブ形状を有している。第1部分410a3の出射側の口径は第2部分410a3の入射側の口径と実質的に等しい。コイル410a1、410a1、410a1は、第1部分410a3および第2部分410a3に渡って形成される。
 なお、垂直走査電磁石410aおよび垂直走査電磁石410aのそれぞれの対となる第2コイル部(図示せず)は、図3(a)、3(b)、3(c)に示す第1実施形態と同様に、第1部分410a3および第2部分410a3の下側の表面に設けられる。この第2コイル部も、図10に示す第1コイル部410a1と同様に、3つのコイルから構成される。図3(a)、3(b)、3(c)に示す第1実施形態と同様に、第2コイル部の各コイルは、第1コイル部410a1の各コイル410a1、410a1、410a1と同じサイズでかつ第1部分410a3および第2部分410a3の中心軸に対して、第1コイル部410a1の各コイル410a1、410a1、410a1と対称の位置に形成される。
 また、第4実施形態における水平走査電磁石410bおよび水平走査電磁石410bは、図11に示すように、構造体410b3と、この構造体410b3の一方の側面に設けられた第1コイル部410b1と、他方の側面に設けられた第2コイル部(図示せず)と、を有している。
 構造体410b3は、垂直走査電磁石410aおよび垂直走査電磁石410aの外側に設けられ、第1部分410b1と、この第1部分410b1に接続する第2部分410b1とを備えている。第1部分410a3は、図3(a)、3(b)、3(c)に示す第1実施形態における構造体401a3と同様に、中空形状を有している。第2部分410a3は、口径が入射側から出射側に向かうに連れて線形に増加するチューブ形状を有している。第1部分410a3の出射側の口径は第2部分410a3の入射側の口径と実質的に等しい。なお、水平走査電磁石410b、410bは、垂直走査電磁石410a、410aの内側に設けてもよい。
 第1コイル部410b1は、構造体410b3の一方の側面に設けられたコイル410b1と、このコイル410b1の外側に設けられたコイル410b1と、このコイル410b1の外側に設けられたコイル410b1と、を備えている。コイル410b1、410b1、410b1は、第1部分410b3および第2部分410b3に渡って形成される。なお、第1実施形態と同様に、各コイル410b1、410b1、410b1は、それぞれ絶縁材で被覆されている。各コイル410b1、410b1、410b1に、図1に示す電磁石電源402bを用いて励磁電流を流すことにより、水平方向に磁場を発生する。なお、図11では、コイルは構造体の一方の側面にそれぞれ3個設けられていたが、1個、2個、または4個以上設けてもよい。
 水平走査電磁石410bおよび水平走査電磁石410bの対となる第2コイル部(図示せず)は、図4(a)、4(b)、4(c)に示す第1実施形態と同様に、第1部分410b3および第2部分410b3の他方の側面に設けられる。この第2コイル部も、図11に示す第1コイル部410b1と同様に、3つのコイルから構成される。図4(a)、4(b)、4(c)に示す第1実施形態と同様に、第2コイル部の各コイルは、第1コイル部410b1の各コイル410b1、410b1、410b1と実質的に同じサイズでかつ第1部分410b3および第2部分410b3の中心軸に対して、第1コイル部410b1の各コイル410b1、410b1、410b1と対称の位置に形成される。
 図9に示す第4実施形態のように、走査電磁石401Cは、荷電粒子ビーム104cに対して並列に配置された一対の垂直走査電磁石410aおよび一対の水平走査電磁石410bと、これらの走査電磁石410aおよび410bの後段に設けられかつ並列に配置された一対の垂直走査電磁石410aおよび一対の水平走査電磁石410bと、を備え、これらの走査電磁石410aおよび410bは口径が入射側から出射側に向かうにつれて線形に増大するように構成されているので、第1実施形態と同様に、荷電粒子ビーム照射装置が荷電粒子ビームの進行方向に長くなることを抑制することができるとともに、口径の増加を必要最小限に抑えることができる。これにより、大型化を抑制することが可能になるとともに、十分な照射野を確保することのできる荷電粒子ビーム照射装置を提供することができる。
 なお、第4実施形態では、走査電磁石401Cは、第1走査電磁石部401Cと、この第1走査電磁石部401Cの後段に設けられた第2走査電磁石部401Cと、からなる2段構造を有していたが、3段以上の構造を有していてもよい。例えば、第1走査電磁石部401Cと、この第1走査電磁石部401Cの後段に設けられた第2走査電磁石部401Cと、この第2走査電磁石部401Cの後段に設けられた第3走査電磁石と、からなる3段構造を有し、第3走査電磁石においては、入射側から出射側に向かうにつれて口径が前段の走査電磁石と異なる変化率で線形に増大する構造を有している。また、このような3段以上の構造は、後述する第5乃至第8実施形態においても適用することができる。
(第5実施形態)
 第5実施形態による荷電粒子ビーム照射装置について図12および図13を参照して説明する。この第5実施形態の荷電粒子ビーム照射装置は、第5実施形態の荷電粒子ビーム照射装置1において、図9に示す垂直走査電磁石410a、410aのコイルをそれぞれの垂直走査電磁石に対応して設け、水平走査電磁石410b、410bのコイルをそれぞれの水平走査電磁石に対応して設けた構成を有している。
 図12は、第5実施形態の垂直走査電磁石410a、410aそれぞれの、構造体410a3の上側の表面に設けられた第1コイル部411a1、411a1を示す図である。第1コイル部411a1は、第1部分410a3の上側の表面に設けられ、コイル411a111と、このコイル411a111の外側に設けられたコイル411a112と、このコイル411a112の外側に設けられたコイル411a113と、を備えている。第1コイル部411a1は、第2部分410a3の上側の表面に設けられ、コイル411a121と、このコイル411a121の外側に設けられたコイル411a122と、このコイル411a122の外側に設けられたコイル411a123と、を備えている。すなわち、第5実施形態の第1コイル部411a1、411a1は、図10に示す第1コイル部410a1を2つに分割した構成を有している。図12では、コイルは構造体の上側の表面にそれぞれ3個設けられていたが、1個、2個、または4個以上設けてもよい。
 なお、これらの第1コイル部411a1、411a1のそれぞれと対になる第2コイル部(図示せず)はそれぞれ、図3(a)、3(b)、3(c)に示す第1実施形態と同様に、第1部分410a3および第2部分410a3の下側の表面に設けられる。この第2コイル部もそれぞれ、図12に示す第1コイル部411a1、411a1と同様に、3つのコイルから構成される。図3(a)、3(b)、3(c)に示す第1実施形態と同様に、第1部分410a3の下側の表面に形成された第2コイル部の各コイルは、第1コイル部411a1の各コイル411a111、411a112、411a113と同じサイズでかつ第1部分410a3の中心軸に対して、第1コイル部411a1の各コイル411a111、411a112、411a113と対称の位置に形成される。また、第2部分410a3の下側の表面に形成された第2コイル部の各コイルは、第1コイル部411a1の各コイル411a121、411a122、411a123と同じサイズでかつ第2部分410a3の中心軸に対して、第1コイル部411aの各コイル411a121、411a122、411a123と対称の位置に形成される。
 図13は、第5実施形態の水平走査電磁石410b、410bそれぞれの、構造体410b3の一方の側面に設けられた第1コイル部411b1、411b1を示す図である。第1コイル部411b1は、第1部分410b3の一方の側面に設けられ、コイル411b111と、このコイル411b111の外側に設けられたコイル411b112と、このコイル411b112の外側に設けられたコイル411b113と、を備えている。第1コイル部411b1は、第2部分410bの一方の側面に設けられ、コイル411b121と、このコイル411b121の外側に設けられたコイル411b122と、このコイル411b122の外側に設けられたコイル411b123と、を備えている。すなわち、第5実施形態の第1コイル部411b1、411b1は、図11に示す第1コイル部410b1を2つに分割した構成を有している。図13では、コイルは構造体の一方の側面にそれぞれ3個設けられていたが、1個、2個、または4個以上設けてもよい。
 なお、これらの第1コイル部411b1、411b1のそれぞれと対になる第2コイル部(図示せず)はそれぞれ、図4(a)、4(b)、4(c)に示す第1実施形態と同様に、第1部分410b3および第2部分410b3の他方の側面に設けられる。この第2コイル部もそれぞれ、図13に示す第1コイル部411b1、411b1と同様に、3つのコイルから構成される。図4(a)、4(b)、4(c)に示す第1実施形態と同様に、第1部分410b3の他方の側面に形成された第2コイル部の各コイルは、第1コイル部411b1の各コイル411b111、411b112、411b113と同じサイズでかつ第1部分410b3の中心軸に対して、第1コイル部411b1の各コイル411b111、411b112、411b113と対称の位置に形成される。また、第2部分410b3の他方の側面に形成された第2コイル部の各コイルは、第1コイル部411b1の各コイル411b121、411b122、411b123と同じサイズでかつ第2部分410b3の中心軸に対して、第1コイル部411bの各コイル411b121、411b122、411b123と対称の位置に形成される。
 このように構成された第5実施形態においては、一対の垂直走査電磁石410aと、一対の垂直走査電磁石410aの励磁電流の強さを変えることが可能となるとともに、一対の水平走査電磁石410bと、一対の水平走査電磁石410bの励磁電流の強さを変えることが可能となる。これにより、口径が入射側から出射側に向かって線形に増大する一対の垂直走査電磁石410aおよび一対の水平走査電磁石410bによって形成される磁場の強さを第4実施形態に比べて調整することができる。なお、この場合、一対の垂直走査電磁石410aに励磁電流を供給する第1電磁石電源と、一対の垂直走査電磁石410aに励磁電流を供給する第2電磁石電源を用意することが好ましく、一対の水平走査電磁石410bに励磁電流を供給する第3電磁石電源と、一対の水平走査電磁石410bに励磁電流を供給する第4電磁石電源を用意することが好ましい。
 この第5実施形態も第4実施形態と同様に、荷電粒子ビーム照射装置が荷電粒子ビームの進行方向に長くなることを抑制することができるとともに、口径の増加を必要最小限に抑えることができる。これにより、大型化を抑制することが可能になるとともに、十分な照射野を確保することのできる荷電粒子ビーム照射装置を提供することができる。
(第6実施形態)
 第6実施形態による荷電粒子ビーム照射装置について図14および図15を参照して説明する。この第6実施形態の荷電粒子ビーム照射装置は、第5実施形態の荷電粒子ビーム照射装置1において、一対の垂直走査電磁石410aおよび一対の水平走査電磁石410bの構成するコイルの巻き線数を、一対の垂直走査電磁石410aおよび一対の水平走査電磁石410bの構成するコイルの巻き線数よりも多くした構造を有している。
 図14は、第6実施形態の垂直走査電磁石410a、410aそれぞれの、構造体410a3の上側の表面に設けられた第1コイル部411a1、411a1を示す図である。第1コイル部411a1は、第1部分410a3の上側の表面に設けられ、コイル411a111と、このコイル411a111の外側に設けられたコイル411a112と、このコイル411a112の外側に設けられたコイル411a113と、を備えている。第1コイル部411a1は、第2部分410a3の上側の表面に設けられ、コイル411a121と、このコイル411a121の外側に設けられたコイル411a122と、このコイル411a122の外側に設けられたコイル411a123と、このコイル411a123の外側に設けられたコイル411a124と、このコイル411a124の外側に設けられたコイル411a125と、を備えている。図14では、第1コイル部411a1は第1部分410a3の上側の表面に3個のコイルが設けられていたが、1個、2個、または4個以上設けてもよい。また、第1コイル部411a1は第2部分410a3の上側の表面に5のコイルが個設けられていたが、第1コイル部411a1よりも多くのコイルを設ければよい。
 これらの第1コイル部411a1、411a1のそれぞれと対になる第2コイル部(図示せず)はそれぞれ、図3(a)、3(b)、3(c)に示す第1実施形態と同様に、第1部分410a3および第2部分410a3の下側の表面に設けられる。この第2コイル部もそれぞれ、図14に示す第1コイル部411a1および第1コイル部411a1と同様にそれぞれ、3つおよび5つのコイルから構成される。図3(a)、3(b)、3(c)に示す第1実施形態と同様に、第1部分410a3の下側の表面に形成された第2コイル部の各コイルは、第1コイル部411a1の各コイル411a111、411a112、411a113と同じサイズでかつ第1部分410a3の中心軸に対して、第1コイル部411a1の各コイル411a111、411a112、411a113と対称の位置に形成される。また、第2部分410a3の下側の表面に形成された第2コイル部の各コイルは、第1コイル部411a1の各コイル411a121、411a122、411a123、411a124、411a125と、同じサイズでかつ第2部分410a3の中心軸に対して、第1コイル部411aの各コイル411a121、411a122、411a123、411a124、411a125と対称の位置に形成される。
 図15は、第6実施形態の水平走査電磁石410b、410bそれぞれの、構造体410b3の一方の側面に設けられた第1コイル部411b1、411b1を示す図である。第1コイル部411b1は、第1部分410b3の一方の側面に設けられ、コイル411b111と、このコイル411b111の外側に設けられたコイル411b112と、このコイル411b112の外側に設けられたコイル411b113と、を備えている。第1コイル部411b1は、第2部分410b3の一方の側面に設けられ、コイル411b121と、このコイル411b121の外側に設けられたコイル411b122と、このコイル411b122の外側に設けられたコイル411b123と、このコイル411b123の外側に設けられたコイル411b124と、このコイル411b124の外側に設けられたコイル411b124と、を備えている。図15では、第1コイル部411b1は第1部分410b3の一方の側面に3個設けられていたが、1個、2個、または4個以上設けてもよい。また、第1コイル部411b1は第2部分410b3の一方の側面に5個のコイルが設けられていたが、第1コイル部411b1よりも多くのコイルを設ければよい。
 なお、これらの第1コイル部411b1、411b1のそれぞれと対になる第2コイル部(図示せず)はそれぞれ、図4(a)、4(b)、4(c)に示す第1実施形態と同様に、第1部分410b3および第2部分410b3の他方の側面に設けられる。この第2コイル部もそれぞれ、図15に示す第1コイル部411b1および第1コイル部411b1と同様にそれぞれ、3つおよび5つのコイルから構成される。図3(a)、3(b)、3(c)に示す第1実施形態と同様に、第1部分410a3の他方の側面に形成された第2コイル部の各コイルは、第1コイル部411b1の各コイル411b111、411b112、411b113と同じサイズでかつ第1部分410b3の中心軸に対して、第1コイル部411b1の各コイル411b111、411b112、411b113と対称の位置に形成される。また、第2部分410b3の他方の側面に形成された第2コイル部の各コイルは、第1コイル部411b1の各コイル411b121、411b122、411b123、411b124、411b125と同じサイズでかつ第2部分410b3の中心軸に対して、第1コイル部411bの各コイル411b121、411b122、411b123、411b124、411b125と対称の位置に形成される。
 このように構成された第6実施形態においては、一対の垂直走査電磁石410aと、一対の垂直走査電磁石410aでは、コイルの巻き線数を変えたので、一対の垂直走査電磁石410aと一対の垂直走査電磁石410aに同じ励磁電流を流しても、一対の垂直走査電磁石410aによって形成される磁場を一対の垂直走査電磁石410aによって形成される磁場よりも強くすることができる。すなわち、一対の垂直走査電磁石410aと一対の垂直走査電磁石410aに対して同じ電磁石電源を用いて励磁電流を供給することができる。
 また、一対の水平走査電磁石410bと、一対の水平走査電磁石410bでは、コイルの巻き線数を変えたので、一対の水平走査電磁石410bと一対の水平走査電磁石410bに同じ励磁電流を流しても、一対の水平走査電磁石410bによって形成される磁場を一対の水平走査電磁石410bによって形成される磁場よりも強くすることができる。すなわち、一対の水平走査電磁石410bと一対の水平走査電磁石410bに対して同じ電磁石電源を用いて励磁電流を供給することができる。
 この第6実施形態も第5実施形態と同様に、荷電粒子ビーム照射装置が荷電粒子ビームの進行方向に長くなることを抑制することができるとともに、口径の増加を必要最小限に抑えることができる。これにより、大型化を抑制することが可能になるとともに、十分な照射野を確保することのできる荷電粒子ビーム照射装置を提供することができる。
(第7実施形態)
 第7実施形態による荷電粒子ビーム照射装置について図16および図17を参照して説明する。この第7実施形態の荷電粒子ビーム照射装置は、第4実施形態の荷電粒子ビーム照射装置1において、一対の垂直走査電磁石410aおよび一対の水平走査電磁石410bの構成するコイルの巻き線数を、一対の垂直走査電磁石410aおよび一対の水平走査電磁石410bの構成するコイルの巻き線数よりも多くした構造を有している。
 図16は、第7実施形態の垂直走査電磁石410a、410aそれぞれの、構造体410a3の上側の表面に設けられた第1コイル部411a1、411a1を示す図である。第1コイル部411a1は、第2部分410a3の上側の表面に設けられ、コイル411a1と、このコイル411a1の外側に設けられたコイル411a1と、このコイル411a1の外側に設けられたコイル411a1と、このコイル411a1の外側に設けられたコイル411a1と、このコイル411a1の外側に設けられたコイル411a1と、を備えている。なお、コイル411a1、コイル411a1、およびコイル411a1は、第1部分410a3の上側の表面に延在し、第1コイル部411a1を構成する。図16では、第1コイル部411a1は3個のコイルが設けられていたが、1個、2個、または4個以上設けてもよい。また、第1コイル部411a1は5個のコイルが設けられていたが、第1コイル部411a1よりも多くのコイルを設ければよい。
 これらの第1コイル部411a1、411a1のそれぞれと対になる第2コイル部(図示せず)はそれぞれ、図3(a)、3(b)、3(c)に示す第1実施形態と同様に、第1部分410a3および第2部分410a3の下側の表面に設けられる。この第2コイル部もそれぞれ、図16に示す第1コイル部411a1および第1コイル部411a1と同様にそれぞれ、3つおよび5つのコイルから構成される。図3(a)、3(b)、3(c)に示す第1実施形態と同様に、第1部分410a3の下側の表面に形成された第2コイル部の各コイルは、第1コイル部411a1の各コイル411a1、411a1、411a1と同じサイズでかつ第1部分410a3の中心軸に対して、第1コイル部411a1の各コイル411a1、411a1、411a1と対称の位置に形成される。また、第2部分410a3の下側の表面に形成された第2コイル部の各コイルは、第1コイル部411a1の各コイル411a1、411a1、411a1、411a1、411a1と、同じサイズでかつ第2部分410a3の中心軸に対して、第1コイル部411a1の各コイル411a1、411a1、411a1、411a1、411a1と対称の位置に形成される。
 図17は、第6実施形態の水平走査電磁石410b、410bそれぞれの、構造体410b3の一方の側面に設けられた第1コイル部411b1、411b1を示す図である。第1コイル部411b1は、第2部分410b3の一方の側面に設けられ、コイル411b111と、このコイル411b111の外側に設けられたコイル411b112と、このコイル411b112の外側に設けられたコイル411b113と、このコイル411b113の外側に設けられたコイル411b114と、このコイル411b114の外側に設けられたコイル411b115と、を備えている。なお、コイル411b113、コイル411b114、およびコイル411a115は、第1部分410b3の上側の表面に延在し、第1コイル部411b1を構成する。図17では、第1コイル部411b1は3個のコイルが設けられていたが、1個、2個、または4個以上設けてもよい。また、第1コイル部411b1は5個のコイルが設けられていたが、第1コイル部411b1よりも多くのコイルを設ければよい。
 これらの第1コイル部411b1、411b1のそれぞれと対になる第2コイル部(図示せず)はそれぞれ、図4(a)、4(b)、4(c)に示す第1実施形態と同様に、第1部分410b3および第2部分410b3の他方の側面に設けられる。この第2コイル部もそれぞれ、図16に示す第1コイル部411b1および第1コイル部411b1と同様にそれぞれ、3つおよび5つのコイルから構成される。図4(a)、4(b)、4(c)に示す第1実施形態と同様に、第1部分410b3の他方の側面に形成された第2コイル部の各コイルは、第1コイル部411b1の各コイル411b1、411b1、411b1と同じサイズでかつ第1部分410b3の中心軸に対して、第1コイル部411b1の各コイル411b1、411b1、411b1と対称の位置に形成される。また、第2部分410b3の下側の表面に形成された第2コイル部の各コイルは、第1コイル部411b1の各コイル411b1、411b1、411b1、411b1、411b1と、同じサイズでかつ第2部分410a3の中心軸に対して、第1コイル部411b1の各コイル411b1、411b1、411b1、411b1、411b1と対称の位置に形成される。
 このように構成された第7実施形態においては、一対の垂直走査電磁石410aと、一対の垂直走査電磁石410aでは、コイルの巻き線数を変えたので、一対の垂直走査電磁石410aと一対の垂直走査電磁石410aに同じ励磁電流を流しても、一対の垂直走査電磁石410aによって形成される磁場を一対の垂直走査電磁石410aによって形成される磁場よりも強くすることができる。すなわち、一対の垂直走査電磁石410aと一対の垂直走査電磁石410aに対して同じ電磁石電源を用いて励磁電流を供給することができる。
 また、一対の水平走査電磁石410bと、一対の水平走査電磁石410bでは、コイルの巻き線数を変えたので、一対の水平走査電磁石410bと一対の水平走査電磁石410bに同じ励磁電流を流しても、一対の水平走査電磁石410bによって形成される磁場を一対の水平走査電磁石410bによって形成される磁場よりも強くすることができる。すなわち、一対の水平走査電磁石410bと一対の水平走査電磁石410bに対して同じ電磁石電源を用いて励磁電流を供給することができる。
 この第7実施形態も第4実施形態と同様に、荷電粒子ビーム照射装置が荷電粒子ビームの進行方向に長くなることを抑制することができるとともに、口径の増加を必要最小限に抑えることができる。これにより、大型化を抑制することが可能になるとともに、十分な照射野を確保することのできる荷電粒子ビーム照射装置を提供することができる。
(第8実施形態)
 第8実施形態による荷電粒子ビーム照射装置について図18を参照して説明する。図18は第8実施形態の荷電粒子ビーム照射装置に用いられる走査電磁石401Dを示す図である。この第8実施形態の荷電粒子ビーム照射装置は、図1に示す第1実施形態の荷電粒子ビーム照射装置1において、走査電磁石401を図9に示す走査電磁石401Dに置き換えた構成を有している。
 この第8実施形態の走査電磁石401Dは、第4乃至第7実施形態のいずれかの走査電磁石において、水平走査電磁石410b、410bの外側にヨーク401cを設けた構成を有している。なお、水平走査電磁石の口径が垂直走査電磁石の口径よりも小さい場合は、ヨーク401cは垂直走査電磁石の外側に設けられる。図18は、第4実施形態の水平走査電磁石410b、410bの外側にヨーク420を設けた場合の断面図である。
 本実施形態においては、ヨーク420は、内部の口径が、水平走査電磁石410b、410bの外形に沿った形状を有している。すなわち、水平走査電磁石410bに対応する部分の口径は実質的に一定であるかまたは線形に増大する構造であり、水平走査電磁石410b2に対応する部分の口径は水平走査電磁石410bと異なる変化率で線形に増加する。また、ヨーク420の外径は実質的に一定である。このため、荷電粒子104cが出射される出射側では、入射側に比べてヨーク420の肉厚は薄くなっている。
 本実施形態の走査電磁石401Dの上面図および断面図を図19および図20に示す。この図19は、ヨーク420の一部分を切断した上面図である。ヨーク420は、垂直走査電磁石のコイル部410a1と長手方向の長さはほぼ同じ長さを有している。なお、図20において、符号104cは荷電粒子ビームを示す。
 ヨーク420は少なくとも2つ以上に分割される。一般的にはY方向またはX方向に2分割される。図20では、矢印で示すようにY方向に2分割される。ヨーク420の内周面の加工およびコイル組立が容易となる構造をしている。ヨーク420の内周面はコイル部410a1の外周面と接触するか近接する大きさであり、鉄などの磁性体で構成されることで磁場の強度を増大すると共に、漏れ磁場を低減している。
 本実施形態の走査電磁石401Dは交流で駆動するため、ヨーク420は、電磁鋼板などの薄い鉄板を長手方向に複数枚積層し樹脂で接着した構成を有している。これによりヨーク420の発熱や渦電流による誤差磁場を低減することができる。
 また、ヨーク420においては、上記の通りヨーク420の内周面はコイル部410a1の外周面と接触するか近接する大きさである。しかし、ヨーク420の外周面は外径一定としている。このような形状をヨーク420が有することで、口径が小さく磁場強度が強い位置ではヨーク420は肉厚に、口径が大きく磁場強度が弱い位置ではヨーク420は肉薄になり、ヨーク420の磁場強度を高める効果を効率的に得ると共に製作性の良いヨークを得ることができる。
 第8実施形態も第4実施形態と同様に、荷電粒子ビーム照射装置が荷電粒子ビームの進行方向に長くなることを抑制することができるとともに、口径の増加を必要最小限に抑えることができる。これにより、大型化を抑制することが可能になるとともに、十分な照射野を確保することのできる荷電粒子ビーム照射装置を提供することができる。更に、ヨーク420を設けたことにより、外部に磁場が漏れるのを抑制することができる。
 本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

Claims (17)

  1.  荷電粒子ビームが入射する第1方向に実質的に直交する第2方向に前記荷電粒子ビームを偏向する第1走査電磁石部と、
     前記第1方向および前記第2方向に実質的に直交する第3方向に前記荷電粒子ビームを偏向する第2走査電磁石部と、
     を備え、前記第1および第2走査電磁石部は、前記第1方向に対して並列に配置される荷電粒子ビーム照射装置。
  2.  前記第1走査電磁石部は、中空形状の第1構造体と、前記第1構造体の前記第2方向において対向する第1および第2面にそれぞれ設けられた第1および第2コイルと、を備え、
     前記第2走査電磁石部は、前記第1構造体および前記第1コイルならびに前記第2コイルを覆う中空形状の第2構造体と、前記第2構造体の前記第3方向において対向する第3および第4面にそれぞれ設けられた第3および第4コイルと、を備えている請求項1記載の荷電粒子ビーム照射装置。
  3.  前記第1走査電磁石部は、前記第1方向に沿って配列された複数段の第1走査電磁石を有し、
     前記第2走査電磁石部は、前記第1方向に沿って配列され、前記複数段の第1走査電磁石に対応して設けられた複数段の第2走査電磁石を有し、
     各第1走査電磁石は対応する第2走査電磁石と共に前記第1方向に並列に配置され、
     前記第1走査電磁石および前記第2走査電磁石は、前段よりも後段の口径が大きい、請求項1記載の荷電粒子ビーム照射装置。
  4.  各第1走査電磁石は、中空形状の第1構造体と、前記第1構造体の前記第2方向において対向する第1および第2面にそれぞれ設けられた第1および第2コイルと、を備え、
     各第2走査電磁石は、前記第1構造体および前記第1コイルならびに前記第2コイルを覆う中空形状の第2構造体と、前記第2構造体の前記第3方向において対向する第3および第4面にそれぞれ設けられた第3および第4コイルと、を備えている請求項3記載の荷電粒子ビーム照射装置。
  5.  前記第1および第2走査電磁石部は、前記第1方向に沿って前記荷電粒子ビームの入射側から口径が連続的に大きくなるように構成されている請求項1記載の荷電粒子ビーム照射装置。
  6.  前記第1走査電磁石部は、前記第1方向に沿って前記荷電粒子ビームの入射側から口径が連続的に大きくなる中空形状の第1構造体と、前記第1構造体の前記第2方向において対向する第1および第2面にそれぞれ設けられた第1および第2コイルと、を備え、
     前記第2走査電磁石部は、前記第1構造体および前記第1コイルならびに前記第2コイルを覆い、前記第1方向に沿って前記荷電粒子ビームの入射側から口径が連続的に大きくなる中空形状の第2構造体と、前記第2構造体の前記第3方向において対向する第3および第4面にそれぞれ設けられた第3および第4コイルと、を備えている請求項5記載の荷電粒子ビーム照射装置。
  7.  前記第1走査電磁石部および前記第2走査電磁石部の外側に設けられた中空形状のヨークを更に備えた請求項1記載の荷電粒子ビーム照射装置。
  8.  前記第1走査電磁石部は、前記荷電粒子ビームの入射側から出射側まで実質的に一定であるかまたは線形に増大する口径を有する第1走査電磁石と、前記第1走査電磁石の後段に配置され前記荷電粒子ビームの入射側から出射側まで線形に増大する口径を有する第2走査電磁石と、を備え前記第1走査電磁石の出射側の口径と前記第2走査電磁石の入射側の口径が実質的に同じであり、
     前記第2走査電磁石部は、前記荷電粒子ビームの入射側から出射側まで実質的に一定であるかまたは線形に増大する口径を有する第3走査電磁石と、前記第3走査電磁石の後段に配置され前記荷電粒子ビームの入射側から出射側まで線形に増大する口径を有する第4走査電磁石と、を備え前記第3走査電磁石の出射側の口径と前記第4走査電磁石の入射側の口径が実質的に同じである請求項1記載の荷電粒子ビーム照射装置。
  9.  前記第1および第2走査電磁石は、中空形状の第1構造体と、前記第1構造体の前記第2方向において対向する第1および第2面のうちの前記第1面に設けられた第1コイル部と、前記第2面に設けられたおよび第2コイル部と、備え、
     前記第3および第4走査電磁石は、前記第1構造体および前記第1コイル部および第2コイル部を覆う中空形状の第2構造体と、前記第2構造体の前記第3方向において対向する第3および第4面のうちの前記第3面に設けられた第3コイル部と、前記第4面に設けられた第4コイル部と、を備え、
     前記第1構造体は、入射側の口径が出射側の口径と実質的に同一であるかまたは線形に増大する第1部分と、前記第1部分に接続しかつ口径が出射側に向かって線形に増大する第2部分と、を有し、
     前記第2構造体は、入射側の口径が出射側の口径と実質的に同一であるかまたは線形に増大する第3部分と、前記第3部分に接続しかつ口径が出射側に向かって線形に増大する第4部分と、を有している請求項8記載の荷電粒子ビーム照射装置。
  10.  前記第1コイル部は前記第1構造体の前記第1部分および第2部分に渡って設けられた第1コイルを有し、
     前記第2コイル部は前記第1構造体の前記第1部分および第2部分に渡って設けられた第2コイルを有し、
     前記第3コイル部は前記第2構造体の前記第3部分および第4部分に渡って設けられた第3コイルを有し、
     前記第4コイル部は前記第2構造体の前記第3部分および第4部分に渡って設けられた第4コイルを有する請求項9記載の荷電粒子ビーム照射装置。
  11.  前記第1コイルは、前記第2部分に設けられた部分の巻き線数が前記第1部分に設けられた部分の巻き線数よりも多く、
     前記第2コイルは、前記第2部分に設けられた部分の巻き線数が前記第1部分に設けられた部分の巻き線数よりも多く、
     前記第3コイルは、前記第4部分に設けられた部分の巻き線数が前記第3部分に設けられた部分の巻き線数よりも多く、
     前記第4コイルは、前記第4部分に設けられた部分の巻き線数が前記第3部分に設けられた部分の巻き線数よりも多い請求項9記載の荷電粒子ビーム照射装置。
  12.  前記第1コイル部は、前記第1構造体の前記第1部分に設けられた第1コイルと、前記第2部分に設けられた第2コイルと、を有し、
     前記第2コイル部は、前記第1構造体の前記第1部分に設けられた第3コイルと、前記第2部分に設けられた第4コイルと、を有し、
     前記第3コイル部は、前記第2構造体の前記第3部分に設けられた第5コイルと、前記第4部分に設けられた第6コイルと、を有し、
     前記第4コイル部は、前記第2構造体の前記第3部分に設けられた第7コイルと、前記第4部分に設けられた第8コイルと、を有する請求項9記載の荷電粒子ビーム照射装置。
  13.  前記第2コイルは前記第1コイルよりも巻き線数が多く、前記第4コイルは前記第3コイルよりも巻き線数が多く、前記第6コイルは前記第5コイルよりも巻き線数が多く、前記第8コイルは前記第7コイルよりも巻き線数が多い請求項12記載の荷電粒子ビーム照射装置。
  14.  前記第1走査電磁石部および前記第2走査電磁石部の外側に設けられた中空形状のヨークを更に備えた請求項8記載の荷電粒子ビーム照射装置。
  15.  前記ヨークは、前記第1走査電磁石部および前記第2走査電磁石部のうちの口径大きな方の電磁石部の外形に沿って形状の口径を有する請求項14記載の荷電粒子ビーム照射装置。
  16.  前記ヨークは、前記荷電粒子ビームの出射側における厚さが、前記荷電粒子ビームの入射側における厚さよりも薄い請求項14記載の荷電粒子ビーム照射装置。
  17.  前記ヨークは、前記第1方向に沿って鉄板が積層された構造を有している請求項14記載の荷電粒子ビーム照射装置。
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