WO2016021164A1

WO2016021164A1 - 有機発光デバイスの製造方法、その製造システム、およびその製造装置

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Publication number: WO2016021164A1
Application number: PCT/JP2015/003865
Authority: WO
Inventors: 裕隆南野; 西村　征起; 聖史小松; 吉田　完
Original assignee: 株式会社Ｊｏｌｅｄ; 住友化学株式会社
Priority date: 2014-08-04
Filing date: 2015-07-31
Publication date: 2016-02-11
Also published as: US10158099B2; JP6446680B2; US20170229680A1; CN106576411B; CN106576411A; JPWO2016021164A1

Abstract

　外光が遮光され、５００ｎｍ以上の波長成分から成る光を照射する照明装置が配置された環境下に設置され、有機発光材料を含むインクを吐出するインク吐出部を有する製造装置本体と、前記インクが収容されたタンクと前記インク吐出部との間のインク搬送路の少なくとも一部を形成する透光性のチューブと、を有する製造装置を用いた有機発光デバイスの製造方法である。当該有機発光デバイスの製造方法において、透光性のチューブに対して照射される光の照度Ｅ（ルクス）と光が照射される時間の長さＴ（時間）との積算照度ＥＴが、ＥＴ≧α×１７５００（ルクス×時間）（定数α≧１）の関係を満たすとき、インク搬送路内のインクを取り出す。

Description

有機発光デバイスの製造方法、その製造システム、およびその製造装置

　本発明は、有機発光デバイスの製造方法、その製造システム、およびその製造装置に関し、特に、製造時における材料の品質管理に関する。

　近年、有機発光材料を用いた発光層を有する有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）パネルや有機ＥＬ照明等の有機発光デバイスの開発が盛んに行われている。

　湿式法（ウェットプロセス）の場合、有機発光材料と溶媒とを含有するインク（溶液）を用いて発光層が形成されるが、インクは光により劣化することが従来知られている。そこで、発光材料の吸収極大波長より短波な光（５００ｎｍ以下）を遮光した環境で、発光層を含む有機層を湿式法により形成する方法が特許文献１に開示されている。

特開２００４－５５３３３号公報

　しかしながら、特許文献１のように発光材料の吸収極大波長より短波な光を遮光した環境にてインクを使用した場合であっても、インクの劣化を完全に防止することはできない。特に、容器内に密閉された状態でインクが保管されている状態と比較して、インクの容器が製造装置にセットされてインクが製造装置内に充填された状態でのインクの劣化が大きいという問題がある。これは、インクが収容されたタンクから製造装置へとインクを搬送するためのチューブに、透光性を有する樹脂材料から成るチューブが使用されており、当該チューブ内に存在するインクに光が照射されるとインクの劣化が発生するためである。

　そのような劣化したインクが有機発光デバイスの製造に用いられると不良品の発生に繋がるため、有機発光デバイスの製造方法においては、インクの品質が適正に管理されることが重要である。

　ここで、上記チューブとして遮光性の材料から成るチューブを用いることが考えられる。しかし、インク搬送用のチューブとしての使用に適した柔軟性や耐溶媒性、不純物含有率の低さといった性質と遮光性とを兼ね備えた材料を、現在市場で一般的に入手できる遮光性の材料の中から採用するのは、事実上困難である。

　本発明は、上記問題に鑑み、発光材料の吸収極大波長より短波な光を遮光した環境で透光性の材料から成るチューブをインク搬送用のチューブに用いた場合において、インクの品質が適正に管理された有機発光デバイスの製造方法、そのような製造方法が実行される有機発光デバイスの製造システムおよび製造装置を提供することを目的とする。

　本発明の一態様に係る有機発光デバイスの製造方法は、外光が遮光され、５００ｎｍ以上の波長成分から成る光を照射する照明装置が配置された環境下に設置され、有機発光材料を含むインクを吐出するインク吐出部を有する製造装置本体と、前記インクが収容されたタンクと前記インク吐出部との間のインク搬送路の少なくとも一部を形成する透光性のチューブと、を有する製造装置を用いた有機発光デバイスの製造方法であって、前記透光性のチューブに対して照射される前記光の照度Ｅ（ルクス）と前記光が照射される時間の長さＴ（時間）との積で与えられる積算照度ＥＴが、ＥＴ≧α×１７５００（ルクス×時間）（定数α≧１）の関係を満たすとき、前記インク搬送路内の前記インクを取り出すことを特徴とする。

　本発明の一態様に係る有機発光デバイスの製造方法によると、光によるインクの劣化を積算照度ＥＴにより管理することができる。そして、インク劣化の許容最大値である積算照度ＥＴの値がα×１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕（定数α≧１）以上となった場合に、インク搬送路内のインクを取り出す。これにより、劣化が許容範囲を超えたインクが有機発光デバイスの製造に使用されないため、有機発光デバイスの品質を良好に維持することができる。

（ａ）は、Ｒの発光色用のインクの光吸収スペクトルの一例を示す図である。（ｂ）は、Ｇの発光色用のインクの光吸収スペクトルの一例を示す図である。（ｃ）は、黄色灯の光の発光分布を示す図である。本発明の実施形態１に係る有機発光デバイスの製造装置の構成を模式的に示す外観斜視図である。実施形態１に係る有機発光デバイスの製造装置の機能ブロック図である。照度と照射時間を変えて行った発光効率試験および寿命試験の結果を示す図である。（ａ）は、図４の発光効率試験の結果をグラフ上にプロットした図である。（ｂ）は、図４の寿命試験の結果をグラフ上にプロットした図である。実施形態１に係る有機発光デバイスの製造方法におけるインク品質管理制御の処理内容を示すフローチャートである。実施形態２に係る有機発光デバイスの製造方法におけるインク品質管理制御の処理内容を示すフローチャートである。変形例１に係る有機発光デバイスの製造システムの構成を模式的に示す外観斜視図であって、遮光部材が開放位置に位置している状態を示す斜視図である。変形例１に係る有機発光デバイスの製造システムの構成を模式的に示す外観斜視図であって、遮光部材が遮光位置に位置している状態を示す斜視図である。変形例１に係る有機デバイスの製造方法における遮光部材制御の処理内容を示すフローチャートである。変形例２に係る有機デバイスの製造方法における遮光部材制御の処理内容を示すフローチャートである。変形例６に係る有機デバイスの製造システムの概略構成を模式的に示す側面図である。変形例９に係る有機デバイスの製造方法における照度制御の処理内容を示すフローチャートである。

　≪本発明の一態様の概要≫
　本発明の一態様に係る有機発光デバイスの製造方法は、外光が遮光され、５００ｎｍ以上の波長成分から成る光を照射する照明装置が配置された環境下に設置され、有機発光材料を含むインクを吐出するインク吐出部を有する製造装置本体と、前記インクが収容されたタンクと前記インク吐出部との間のインク搬送路の少なくとも一部を形成する透光性のチューブと、を有する製造装置を用いた有機発光デバイスの製造方法であって、前記透光性のチューブに対して照射される前記光の照度Ｅ（ルクス）と前記光が照射される時間の長さＴ（時間）との積で与えられる積算照度ＥＴが、ＥＴ≧α×１７５００（ルクス×時間）（定数α≧１）の関係を満たすとき、前記インク搬送路内の前記インクを取り出すことを特徴とする。

　本発明の一態様に係る有機発光デバイスの製造方法によると、光によるインクの劣化を積算照度ＥＴにより管理することができる。そして、インク劣化の許容最大値である積算照度ＥＴの値がα×１７５００以上となった場合に、インク搬送路内のインクを取り出す。これにより、劣化が許容範囲を超えたインクが有機発光デバイスの製造に使用されないため、有機発光デバイスの品質を良好に維持することができる。

　また、α＝１であってもよい。

　これは即ち、α≧１であるので、α＝１のときの積算照度ＥＴの値がインク劣化の許容最大値として最も厳しい値（α≧１において最も劣化を許容しない値）であり、その最も厳しい値である１７５００以上となった場合に、インク搬送路内のインクを取り出すこととなる。これにより、劣化が許容範囲を超えたインクが有機発光デバイスの製造に使用される事態を最も確実に防ぐことができ、有機発光デバイスの品質を良好に維持することができる。

　また、前記インク搬送路全体の容積をＣｗとし、前記透光性のチューブの容積をＣｔとした場合に、α＝Ｃｗ／Ｃｔであってもよい。

　インク搬送路内に収容されているインクが透光性チューブ内に存在していない時に照射された光は、インクには照射されないため、インク劣化に影響を与えない。このような光までも積算照度にカウントされると、実際には許容範囲を超えていないにもかかわらず、インクの劣化程度が許容範囲を超えたと判断されて取り出され、無駄に廃棄されてしまう虞がある。しかし、上記の方法によると、インクが透光性チューブ内に存在している時に照射された光のみを積算した値に相当する、より現実的な積算照度ＥＴの値を用いてインクの劣化を管理することができる。従って、まだ劣化の程度が許容範囲内のインクを取り出して無駄に廃棄したり、古いインクを取り出して新しいインクと交換する頻度が必要以上に高くなったりといった事態を回避して、コスト削減および生産性向上に資することができる。

　また、前記製造装置本体は、有機発光デバイスを製造する製造モードとメンテナンスが行われるメンテナンスモードとで選択的に駆動されてもよい。

　そして、前記製造装置本体が前記メンテナンスモードで駆動されているときには、前記照明装置と前記透光性のチューブとの間に遮光部材を配置してもよい。

　これにより、メンテナンス作業を行うために照明装置を点灯しなくてはならない場合であっても、照明装置からの光が遮光部材により遮光され、透光性チューブに照射される光が低減されるため、インク劣化を抑制することができる。

　また、前記製造装置本体が前記製造モードで駆動されているときには、前記照明装置と前記透光性のチューブとの間以外の位置に前記遮光部材を配置してもよい。

　これにより、製造モードのときに、製造に伴って透光性チューブが移動する場合に、透光性チューブと遮光部材とがぶつかったりする危険性を低減することができる。

　また、前記照明装置は、前記５００ｎｍ以上の波長成分から成る光を第１の光とし、６５０ｎｍ以上の波長成分から成る光を第２の光とする場合、前記第１の光と前記第２の光とを選択的に照射可能であって、前記製造装置本体が前記製造モードで駆動されているときには、前記第１の光を照射せずに前記第２の光を照射し、前記製造装置本体が前記メンテナンスモードで駆動されているときには、前記第２の光を照射せずに前記第１の光を照射してもよい。

　これにより、メンテナンス作業時には、インクの劣化を引き起こしにくい波長成分から成る第２の光が照射されるので、インク劣化を抑制することができる。

　また、前記照明装置は、第１の明るさレベルと前記第１の明るさレベルよりも明るい第２の明るさレベルとを含む複数の明るさレベルで選択的に点灯可能であって、α×１７５００よりも小さい所定の値をＤとした場合、前記積算照度ＥＴが、ＥＴ＜Ｄ（ルクス×時間）の関係を満たすときに、前記第２の明るさレベルで点灯し、前記積算照度ＥＴが、Ｄ≦ＥＴ＜α×１７５００（ルクス×時間）の関係を満たすときに、前記第１の明るさレベルで点灯してもよい。

　これにより、積算照度ＥＴの値が許容最大値までまだ余裕がある場合には、照明装置を最も明るい明るさで点灯させて、ユーザの利便性を優先させることができる。積算照度ＥＴの値が許容最大値に近づいてきた場合には、照明装置の明るさを低下させることによりインク劣化の速度を遅くすることができる。

　また、本発明の別の一態様に係る有機発光デバイスの製造システムは、外光が遮光された環境下に設置され、５００ｎｍ以上の波長成分から成る光を照射する照明装置と、有機発光材料を含むインクを吐出するインク吐出部を有する製造装置本体と、前記インクが収容されたタンクと前記インク吐出部との間のインク搬送路の少なくとも一部を形成する透光性のチューブを有するインク供給ユニットと、前記透光性のチューブに照射される前記光の照度を検出する照度センサと、ユーザに対する情報を表示する表示部と、前記透光性のチューブに照射される前記光の照度Ｅ（ルクス）と前記光が照射される時間の長さＴ（時間）との積である積算照度ＥＴが、ＥＴ≧α×１７５００（ルクス×時間）（定数α≧１）の関係を満たすときに、前記インク搬送路内の前記インクの取り出しを促す情報を前記表示部に表示させる制御部と、を有することを特徴とする。

　本発明の別の一態様に係る有機発光デバイスの製造システムによっても、インク劣化の許容最大値である積算照度ＥＴの値がα×１７５００以上となった場合に、インク搬送路内のインクを取り出すことを促す情報が表示部に表示される。そして、当該表示された情報を見たユーザがインク搬送路内のインクを取り出すことにより、劣化が許容範囲を超えたインクが有機発光デバイスの製造に使用されないため、有機発光デバイスの品質を良好に維持することができる。

　また、α＝１であってもよい。

　これは即ち、積算照度ＥＴの値が、インク劣化の許容最大値として最も厳しい値である１７５００以上となった場合に、インク搬送路内のインクを取り出すこととなる。これにより、劣化が許容範囲を超えたインクが有機発光デバイスの製造に使用される事態を最も確実に防ぐことができ、有機発光デバイスの品質を良好に維持することができる。

　これにより、インクが透光性チューブ内に存在している時に照射された光のみを積算した値に相当する、より現実的な積算照度ＥＴの値を用いてインクの劣化を管理することができる。従って、まだ劣化の程度が許容範囲内のインクを取り出して無駄に廃棄したり、古いインクを取り出して新しいインクと交換する頻度が必要以上に高くなったりといった事態を回避して、コスト削減および生産性向上に資することができる。

　そして、前記製造装置本体が前記メンテナンスモードで駆動されているときには、前記照明装置と前記透光性のチューブとの間に遮光部材を有してもよい。

　これにより、メンテナンス作業を行うために照明装置を点灯しなくてはならない場合であっても、遮光部材により透光性チューブに照射される光を低減することができ、インクの劣化を抑制することができる。

　また、前記遮光部材が前記透光性のチューブと前記照明装置との間に介在する遮光位置と、前記遮光部材が前記透光性のチューブと前記照明装置との間に介在しない開放位置との間で、前記遮光部材を移動可能に保持する遮光部材保持部を有し、前記制御部は、前記製造装置本体が前記メンテナンスモードで駆動されているときには、前記遮光部材保持部に前記遮光部材を前記遮光位置で保持させ、前記製造装置本体が前記製造モードで駆動されているときには、前記遮光部材保持部に前記遮光部材を前記開放位置で保持させてもよい。

　これにより、メンテナンスモードのときには、遮光部材を遮光位置で保持するため、照明装置からの光が透光性チューブに照射されるのを防いで、インクの劣化を抑制することができる。製造モードのときには、有機発光デバイスの製造の際に透光性チューブが移動する場合であっても、遮光部材が開放位置で保持されているため、透光性チューブと遮光部材とが干渉しない。

　また、前記照明装置は、前記５００ｎｍ以上の波長成分から成る光を第１の光とし、６５０ｎｍ以上の波長成分から成る光を第２の光とする場合、前記第１の光を発する第１光源と前記第２の光を発する第２光源とを有し、前記第１光源と前記第２光源とを選択的に点灯可能に構成されており、前記制御部は、前記製造装置本体が前記製造モードで駆動されているときには、前記照明装置に前記第１光源を点灯させずに前記第２光源を点灯させ、前記製造装置本体が前記メンテナンスモードで駆動されているときには、前記照明装置に前記第２光源を点灯させずに前記第１光源を点灯させてもよい。

　これにより、メンテナンスモードのときには、インクの劣化を引き起こしにくい波長成分から成る第２の光が照射されるので、メンテナンス作業の際にインクに光が照射されることによるインク劣化を抑制することができる。

　また、前記照明装置は、第１の明るさレベルと前記第１の明るさレベルよりも明るい第２の明るさレベルとを含む複数の明るさレベルで選択的に点灯可能であって、α×１７５００よりも小さい所定の値をＤとした場合、前記制御部は、前記積算照度ＥＴが、ＥＴ＜Ｄ（ルクス×時間）の関係を満たすときに、前記照明装置を前記第２の明るさレベルで点灯させ、前記積算照度ＥＴが、Ｄ≦ＥＴ＜α×１７５００（ルクス×時間）の関係を満たすときに、前記照明装置を前記第１の明るさレベルで点灯させてもよい。

　また、本発明のさらに別の一態様に係る有機発光デバイスの製造装置は、外光が遮光されて５００ｎｍ以上の波長成分から成る光を照射する照明装置が配置された環境下に設置され、有機発光材料を含むインクを吐出するインク吐出部を有する製造装置本体と、前記インクが収容されたタンクと前記インク吐出部との間のインク搬送路の少なくとも一部を形成する透光性のチューブを有するインク供給ユニットと、前記透光性のチューブに照射される前記光の照度を検出する照度センサと、ユーザに対する情報を表示する表示部と、前記透光性のチューブに照射される前記光の照度Ｅ（ルクス）と前記光が照射される時間の長さＴ（時間）との積である積算照度ＥＴが、ＥＴ≧α×１７５００（ルクス×時間）（定数α≧１）の関係を満たすときに、前記インク搬送路内の前記インクの取り出しを促す情報を前記表示部に表示させる制御部と、を有することを特徴とする。

　本発明のさらに別の一態様に係る有機発光デバイスの製造装置によっても、インク劣化の許容最大値である積算照度ＥＴの値がα×１７５００以上となった場合に、インク搬送路内のインクを取り出す。これにより、劣化が許容範囲を超えたインクが有機発光デバイスの製造に使用されないため、有機発光デバイスの品質を良好に維持することができる。

　また、α＝１であってもよい。

　また、有機発光デバイスを製造する製造モードとメンテナンスが行われるメンテナンスモードとで選択的に駆動され、前記メンテナンスモードで駆動されているときには、前記照明装置と前記透光性のチューブとの間に遮光部材を有してもよい。

　これにより、メンテナンス作業を行うために照明装置を点灯しなくてはならない場合であっても、透光性チューブに照射される光を低減して、インク劣化を抑制することができる。

　また、本発明のさらに別の一態様に係る有機発光デバイスの製造装置は、有機発光材料を含むインクが内部を搬送されるチューブを有し、前記インクを用いて形成された発光層を有する有機発光デバイスを製造する製造装置であって、前記チューブは、遮光性を有することを特徴とする。

　これにより、製造装置内に充填されたインクの光による劣化を抑制することができる。

　また、前記チューブは、透光性の材料から形成された第１層と、前記第１層の外側を覆い遮光性の材料から形成された第２層とを有してもよい。

　これにより、インクと直接接触する第１層に、耐溶媒性が高く不純物含有率の低い材料を用いることができるとともに、第２層によりインクに照射される光を遮光して、光によるインクの劣化を抑制することができる。

　また、前記第１層は、フッ素樹脂から形成されていてもよい。

　これにより、フッ素樹脂という耐溶媒性が高く不純物含有率が低い材料を第１層に用いることができるため、インクの溶媒によりチューブが劣化しにくく、また、不純物によりインクが受ける悪影響を低減することができる。

　以下、本発明の実施形態および変形例について具体例を示し、構成および作用・効果を説明する。

　なお、以下の説明で用いる実施形態および変形例は、本発明の一態様に係る構成および作用・効果を分かりやすく説明するために用いる例示であって、本発明は、その本質的部分以外に何ら以下の実施形態および変形例に限定を受けるものではない。

　＜本発明を実施するための形態に至った経緯＞
　有機発光デバイスの製造に用いられる有機発光材料を含んだインクには、光により劣化するものがあることが従来知られている。そのため、このようなインクを用いる場合には、外光が遮光された環境下に製造装置を設置して、照明を消して暗くした環境で有機発光デバイスの製造が行われる。しかしながら、製造装置のメンテナンス時やトラブルに対処する時などには、作業員が作業するために、照明を点灯する必要がある。

　ここで、インクには特定の波長の光を吸収する性質があり、その波長を有する光が照射されることにより、劣化が起こることが知られている。例えば、図１（ａ）は、Ｒ（赤）用のインクの光吸収スペクトルの一例であり、図１（ｂ）は、Ｇ（緑）用のインクの光吸収スペクトルの一例である。図１（ａ），（ｂ）に示す吸収スペクトルでは、Ｒ，Ｇともに、５００ｎｍ以下の波長の光に対する吸収が大きく、特に、２８０～４５０ｎｍの範囲の吸収が大きい。

　そこで、メンテナンス時やトラブル対処時に点灯させる照明に、通常の白色蛍光灯に代えて黄色灯を用いることが従来から行われている。黄色灯の光は、図１（ｃ）にその発光分布を示すように、５００ｎｍ以上の波長成分から成り、５００ｎｍ未満の波長成分から成る光を含まない。

　しかしながら、黄色光のみが照射される環境下であっても、インクの劣化を完全に防止することができず、劣化が発生するという問題があった。これは、図１（ａ），（ｂ）に示す吸収スペクトルにおいても観察されるように、５００ｎｍ以上の波長領域に小さいながら吸収スペクトルのピークが存在するためである。

　インクジェット法を用いてインクが塗布され発光層が形成される有機発光デバイスの製造装置においては、タンク内に収容されたインクをインクジェットヘッドへと搬送するためのチューブを有する。インクジェットヘッドが大型の基板の端から端まで移動するのに伴いチューブも移動しなくてはならないため、チューブの材料には、柔軟性が求められる。また、耐溶媒性や不純物の少なさ等の性質も求められる。これらの性質を満たす材料としてＰＦＡ（四フッ化エチレンとパーフルオロアルコキシエチレンとの共重合体），ＥＴＦＥ（テトラフルオロエチレンとエチレンの共重合体），ＴＨＶ（テトラフルオロエチレン、ヘキサフルオロプロピレン、ビニリデンフロライドの３種類のモノマーからなる熱可塑性フッ素樹脂），ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン、ＰｏｌｙＶｉｎｙｌｉｄｅｎｅ　ＤｉＦｌｕｏｒｉｄｅ）等のフッ素樹脂があるが、これらの樹脂は透光性を有するため、チューブの外側から照射された黄色光がチューブを透過してチューブ内のインクに到達し、インクの劣化を引き起こすと考えられる。

　しかしながら、これらの樹脂材料から成るチューブの代わりに遮光性の高い金属管を用いると、金属管は柔軟性が十分でないためインクジェットヘッドの動きに金属管が追随できないという問題がある。また、遮光性を有する樹脂やゴム（例えば、塩化ビニル樹脂，ポリスチレン，ブチルゴム，ウレタン等）を用いた場合、柔軟性が十分でなかったり、望ましくない不純物を含有していたりといった問題がある。

　以上の理由から、本願の発明者らは、フッ素樹脂等の透光性を有する材料から成るチューブを用いつつ、有機発光デバイスの不良品発生を抑制することができるようにインクの品質が管理された有機発光デバイスの製造方法を発明するに至った。

　≪実施形態１≫
　〔１．有機発光デバイスの製造装置の概略構成〕
　本発明の一態様である実施形態１に係る有機発光デバイスの製造装置の概略構成について、図２および図３を用い説明する。なお、Ｒ，Ｇ，Ｂ各発光色についてそれぞれ同種の構成要素を備える場合には、符号の後にＲ，Ｇ，Ｂの何れかを付して発光色を表す。また、特に発光色により区別する必要が無い場合には、Ｒ，Ｇ，Ｂを付けずに符号を用いる。

　図２は、実施形態１に係る有機発光デバイスの製造装置１００（以下、単に「製造装置１００」という。）の概略構成を示す外観斜視図である。図３は、製造装置１００の機能ブロック図である。図２および図３に示すように、製造装置１００は、主な構成要素として、制御ユニット１０，作業テーブル２０，インク吐出部３０，インク供給ユニット４０，照度センサ５０，観察ユニット６０を有する。なお、製造装置１００からインク供給ユニット４０を除いた部分を製造装置本体１０１とする。また、観察ユニット６０については製造装置１００に必須ではなく、製造装置１００とは別ユニットとしてもよい。

　＜制御ユニット＞
　制御ユニット１０は、主な構成要素として、制御部１１，記憶部１２（ＨＤＤ等の大容量記憶手段を含む），表示部（ディスプレイ）１３，入力部１４，タイマ１５を有する。

　制御部１１は、様々な制御処理を実行するＣＰＵである。制御ユニット１０は、具体的にはパーソナルコンピューター（ＰＣ）を用いることができる。

　記憶部１２は、各種制御プログラム等が格納されたＲＯＭ（Ｒｅａｄ　Ｏｎｌｙ　Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭから読み出され、制御処理に利用される各種制御パラメータ値のデータを一時的に記憶するＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｍｏｒｙ）等の揮発性のメインメモリ、積算照度ＥＴの情報等を記憶するＥＥＰＲＯＭ（Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｌｙ　Ｅｒａｓａｂｌｅ　Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ　Ｒｅａｄ－Ｏｎｌｙ　Ｍｅｍｏｒｙ）等の不揮発性のサブメモリなどから構成されている。記憶部１２は、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ　Ｄｉｓｋ　Ｄｒｉｖｅ）等の大容量記憶手段を含んでもよい。

　記憶部１２には、制御ユニット１０に接続された作業テーブル２０，インク吐出部３０，インク供給ユニット４０，観察ユニット６０を駆動するための制御プログラム等が格納されている。製造装置１００の駆動時には、制御部１１が入力部１４を通じてユーザや管理者により入力された指示と、記憶部１２に格納された各制御プログラムに基づいて所定の制御を行う。

　表示部１３は、製造装置１００のオペレーションに関する各種情報を表示するための表示装置であって、具体的には、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等のディスプレイ装置を用いることができる。

　入力部１４は、制御部１１に各種の制御の実行や変更を指示する情報をユーザや管理者が入力するための装置であって、具体的には、キーボードやマウスである。

　タイマ１５は、時間を計測するためのものであって、制御部１１の機能の一部としてもよい。

　＜作業テーブル＞
　図２に示すように、作業テーブル２０はいわゆるガントリー式の作業テーブルであり、基台２１と、基台２１上面の四隅に立設されたスタンド２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄと、基台２１の中央に塗布対象基板を載置するためのステージＳＴと、塗布直前にインクを吐出させることにより吐出特性を安定化させるために用いるインクパン（皿状容器）ＩＰとを備える。

　スタンド２２ａ，２２ｂには基台２１の長手方向（Ｘ軸方向）に沿ってガイドシャフト２３ａが軸支されている。スタンド２２ｃ，２２ｄには基台２１の長手方向（Ｘ軸方向）に沿ってガイドシャフト２３ｂが、ガイドシャフト２３ａと平行に軸支されている。ガイドシャフト２３ａ，２３ｂには、リニアモータ２４ａ，２４ｂがそれぞれ挿通されている。リニアモータ２４ａ，２４ｂ上には、ステージＳＴを跨ぐようにガントリー部２５が掛け渡されて搭載されている。リニアモータ２４ａ，２４ｂが同方向に等速で駆動されると、ガントリー部２５がガイドシャフト２３ａ，２３ｂの長手方向（Ｘ軸方向）にスライドする。

　ガントリー部２５には、Ｌ字型の台座からなる移動体（キャリッジ）２０が配設されている。移動体２６にはサーボモータ（移動体モータ）２６ａが配設され、各モータの軸の先端に不図示のギヤが配されている。ギヤはガントリー部２５の長手方向（Ｙ軸方向）に沿って形成されたガイド溝２５ａに嵌合される。ガイド溝２５ａの内部にはそれぞれ長手方向（Ｙ軸方向）に沿って微細なラックが形成されている。ギヤはラックと噛合しているので、サーボモータ２６ａが駆動すると、移動体２６はいわゆるピニオンラック機構によって、Ｙ軸方向に沿って往復自在に精密に移動する。

　移動体２６にはインク吐出部３０が装着されており、インク吐出部３０の塗布対象基板に対する走査は、次の２つの動きを組み合わせることにより行うことができる。１つは、移動体２６をガントリー部２５に対して固定した状態でガントリー部２５をガイドシャフト２３ａ，２３ｂの長手方向に沿って移動させる動きである。もう１つは、ガントリー部２５を停止させた状態で移動体２６をガントリー部２５の長手方向（Ｙ軸方向）に沿って移動させる動きである。なお、インク吐出部３０の主走査方向は行方向（Ｘ軸方向）であり、副走査方向は列方向（Ｙ軸方向）である。

　なお、リニアモータ２４ａ，２４ｂ、およびサーボモータ２６ａはそれぞれ直接駆動を制御するためのモータ制御部２７に接続され、モータ制御部２７は、制御ユニット１０の制御部１１に接続されている。製造装置１００の駆動時には、制御プログラムを読み込んだ制御部１１により、モータ制御部２７を介してリニアモータ２４ａ，２４ｂ、サーボモータ２６ａの各駆動が制御される。

　＜インク吐出部＞
　インク吐出部３０は、公知のピエゾ方式が採用された複数のノズルが列状に配置されたインクジェットヘッド３１を有する。複数のインクジェットヘッド３１を１組として１つのホルダ３２により保持されている。ホルダ３２により保持された１組のインクジェットヘッド３１は、アーム３３を介して移動体２６に固定されている。本実施形態においては、Ｒ，Ｇ，Ｂそれぞれ１本ずつのインクジェットヘッド３１が３本１組で１つのホルダ３２により保持され、４組のインクジェットヘッド３１がそれぞれアーム３３を介して移動体２６に固定されている。Ｒ，Ｇ，Ｂ各色のインクジェットヘッド３１は、それぞれの組に１本ずつ配されているが、同じ色のインクジェットヘッド３１はひとまとめに各色用の吐出制御部３４に接続されており、それぞれの色ごとにインクの吐出が制御されている。吐出制御部３４は、例えば、マイコンである。

　＜インク供給ユニット＞
　図２に示すように、インク供給ユニット４０は、Ｒ，Ｇ，Ｂそれぞれについてのインク供給ユニット４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂにより構成されている。それぞれのインク供給ユニットは、インクの発光色が異なる以外は、基本的な構成は同じであるので、ここでは代表してインク供給ユニット４０Ｒについてその構成を以下に説明する。

　インク供給ユニット４０Ｒは、インクを内部に収容する容器として供給タンク４１Ｒ，ＩＮタンク４２Ｒ，ＯＵＴタンク４３Ｒ，および分配タンク４４Ｒを有する。分配タンク４４Ｒは、移動体２６に取着されており、アーム３３内部を介してインク吐出部３０Ｒと接続されている。

　供給タンク４１ＲとＩＮタンク４２Ｒとは、チューブ４５ａＲにより接続されている。ＩＮタンク４２ＲとＯＵＴタンク４３Ｒとは、チューブ４５ｂＲにより接続されている。ＩＮタンク４２Ｒと分配タンク４４Ｒとは、チューブ４５ｃＲにより接続されている。ＯＵＴタンク４３Ｒと分配タンク４４Ｒとは、チューブ４５ｄＲにより接続されている。

　チューブ４５ａＲ，４５ｂＲ，４５ｃＲ，４５ｄＲは、フッ素樹脂から成る。チューブ４５ａＲには、その途中に供給ポンプ４６ａＲおよびフィルタ４７が接続されている。チューブ４５ｂＲには、その途中にＩ／Ｏポンプ４６ｂＲが接続されている。

　ＩＮタンク４２Ｒには圧力センサ４８ａＲが接続されており、ＩＮタンク４２Ｒ内のインクの圧力を検出する。ＯＵＴタンク４３Ｒには、圧力センサ４８ｂＲが接続されており、ＯＵＴタンク４３Ｒ内のインクの圧力を検出する。

　圧力センサ４８ａＲ，圧力センサ４８ｂＲ，Ｉ／Ｏポンプ４６ｂＲは、インク供給制御部４９Ｒにそれぞれ接続されている。インク供給制御部４９Ｒは、例えば、マイコンから成る。インク供給制御部４９Ｒは、圧力センサ４８ａＲにより検出されたＩＮタンク４２Ｒ内部のインク圧力と、圧力センサ４８ｂＲにより検出されたＯＵＴタンク４３Ｒ内部のインク圧力に基づいてＩ／Ｏポンプ４６ｂＲを駆動制御し、ＯＵＴタンク４３ＲからＩＮタンク４２Ｒへとチューブ４５ｂＲを介してインクを搬送させ、ＩＮタンク４２Ｒ内のインクとＯＵＴタンク４３Ｒ内のインクとの間に圧力差を生じさせる。この圧力差により、インクはＩＮタンク４２Ｒからチューブ４５ｃＲを通って分配タンク４４Ｒへと流れ出、分配タンク４４Ｒからチューブ４５ｄＲを通ってＯＵＴタンク４３Ｒへと戻って来る。そして、このようにして、ＩＮタンク４２Ｒ、ＯＵＴタンク４３Ｒ、分配タンク４４Ｒおよび、チューブ４５ｂＲ，４５ｃＲ，４５ｄＲによりインク搬送路４５０Ｒが形成されており、インク搬送路４５０Ｒ中をインクは常時循環している。

　有機発光デバイス製造時には、分配タンク４４Ｒから一部のインクがインク吐出部３０のインクジェットヘッド３１からインクが吐出され消費されるので、その消費分は、供給ポンプ４６ａＲにより供給タンク４１Ｒからチューブ４５ａＲを通ってＩＮタンク４２Ｒへと供給される。その際に、新しく供給されるインクは、フィルタ４７Ｒによりゴミ等の不純物が取り除かれる。

　メンテナンスが行われている時など有機発光デバイスが製造されていない待機時にも、インクの固着を防ぐ目的で、インクはインク搬送路４５０Ｒ内を循環している。この場合、インクジェットヘッド３１のノズルからはインクが吐出されないので、そのまま長時間放置するとインクが感想固化してノズル詰まりが発生する虞がある。そこで、ノズル詰まりを防止するために、待機時においては、インクの循環に加えてノズルの吐出口でインクをメニスカス振動させている。

　＜照度センサ＞
　照度センサ５０は、受光した光を電気に変換する光電変換素子であり、本実施形態においては、ＳＭＤタイプのフォトダイオードが用いられている。本実施形態に係る製造装置１００では、照度センサ５０は、ガントリー部２５の長手方向（Ｙ軸方向）におけるチューブ４５（４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄ）が配置されている側の端部に取り付けられている。照度センサ５０が配置される位置については上記の位置に限られないが、照度センサ５０は、透光性のチューブであるチューブ４５に照射される光の照度を測定するために、チューブ４５の近傍に配置されるのがよい。ただし、有機発光デバイスの製造時にインク吐出部３０が移動されるのに伴いチューブ４５ｃ，４５ｄも移動するので、チューブ４５ｃ，４５ｄと衝突したり、チューブ４５ｃ，４５ｄが上から覆いかぶさって受光が妨げられたりしないような位置に照度センサ５０を配置することが必要である。

　＜観察ユニット＞
　観察ユニット６０は、機能的には図３に示すように、カメラ制御部６１と、リニアモータ６２ａ，６２ｂと、サーボモータ６３と、カメラ６４とを備える。カメラ６４は公知のＣＣＤカメラであり、インクジェットヘッド３１の不良ノズルの検査を行うためのものである。

　リニアモータ６２ａ，６２ｂはそれぞれガイドシャフト２３ａ，２３ｂに挿通されている。リニアモータ６２ａ，６２ｂ上には、ステージＳＴを跨ぐようにガントリー部６５が掛け渡されて搭載されている。ガントリー部６５には、ガイド溝６５ａが形成されている。

　リニアモータ６２ａ，６２ｂは、基本的な構成はリニアモータ２４ａ，２４ｂと同じであり、サーボモータ６３は、基本的な構成はサーボモータ２６ａと同じである。ガントリー部６５およびガイド溝６５ａは、基本的な構成はそれぞれガントリー部２５およびガイド溝２５ａと同じである。

　ガントリー部６５には、Ｌ字型の台座からなる移動体（キャリッジ）６６が配設されている。移動体６６にはサーボモータ（移動体モータ）６３が配設されている。移動体６６は、Ｙ軸方向の幅が異なる以外は、基本的な構成は移動体２６と同じである。移動体６６には、カメラ６４が取着されており、リニアモータ６２ａ，６２ｂおよびサーボモータ６３をカメラ制御部６１により駆動制御して、カメラ６４をステージＳＴ上の所望の位置に移動させることができる。

　不良ノズルの検査は、検査用の撥水基板へインクジェットヘッド３１からインクを吐出し、基板上に着弾したインク液滴をカメラで撮影することにより行われる。不良ノズルの検査は、有機発光デバイスを所定枚数（例えば１００枚）製造するごとに行われる。

　カメラ制御部６１は制御部１１に接続され、所定のタイミングで撮影を行うように制御部１１がカメラ制御部６１に指示する。

　なお、観察ユニット６０については、製造装置本体１０１に含まれるとしてもよいし、製造装置本体１０１とは別部材であるとしてもよい。

　＜照明装置＞
　照明装置１は、５００ｎｍ以上の波長成分から成る光を発する照明装置であり、具体的には、例えば、黄色光を出射する蛍光灯である。

　なお、照明装置１は、製造装置１００には含まれない。

　〔２．積算照度とデバイス劣化〕
　インクが光によって劣化することは従来から知られており、インクの劣化を抑制するために５００ｎｍ以上の波長成分から成る光（黄色光など）が照射される環境下で有機発光デバイスの製造を行う方法も従来から採用されている。それでもインクの劣化は発生するのであるが、それでは、どれくらいの量の上記光が照射されるとインクの劣化が使用に適さなくなるのであろうか。

　本願発明者らは、照明の明るさと照射時間を変えて有機発光デバイスがどの程度劣化するのかについて実験を行った。実験は、照度と照射時間の組み合わせがそれぞれ異なる５種類の試験体（実施例１，実施例２，実施例３，比較例１，比較例２）について、発光効率とＬＴ７５の２つの項目について評価を行った。なお、ＬＴ７５とは、寿命試験の１つであり、有機発光デバイスに連続的に電圧を印加して発光させ、初期の輝度を１００とした場合に輝度が７５％になるまでの時間で寿命を評価する方法である。

　試験体の作成は、以下のようにして行われた。チューブ４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄのうち、少なくともチューブ４５ｃ，４５ｄと同じ材料（本実施形態においては、フッ素樹脂）から成る透光性のチューブ内にインクを収容し、５００ｎｍ以上の波長成分から成る光を所定の照度で所定時間チューブの外側から照射した。その際、インクはチューブ内を循環せず、静止した状態で光が照射された。照射後のインクを製造装置１００にセットして、インク吐出部３０から当該インクを基板上に塗布して有機発光デバイスを作成した。作成した有機発光デバイスを用い、発光効率およびＬＴ７５について評価を行った。発光効率の評価は、１０〔ｍＡ／ｃｍ²〕の電流を印加して行った。ＬＴ７５の評価は、初期輝度が８０００ｃｄ／ｍ²となる一定の電流を印加してデバイスを連続的に発光させ、初期輝度の７５％の輝度（６０００ｃｄ／ｍ²）となるまでの時間を計測した。

　５種類の試験体それぞれの照度Ｅ〔ｌｕｘ〕，照射時間Ｔ〔ｈｒｓ〕および、積算照度ＥＴ〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕，発光効率〔ｃｄ／Ａ〕，ＬＴ７５〔ｈｒｓ〕の結果を図４に示す。

　実施例１は、照度Ｅ＝１０〔ｌｕｘ〕で照射時間３００〔ｈｒｓ〕（積算照度ＥＴ＝３０００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕）のインクを用いて作成した試験体である。実施例１の発光効率は３７．９〔ｃｄ／Ａ〕であり、ＬＴ７５は２４．１〔ｈｒｓ〕であった。

　実施例２は、照度Ｅ＝５０〔ｌｕｘ〕で照射時間２５０〔ｈｒｓ〕（積算照度ＥＴ＝１２５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕）のインクを用いて作成した試験体である。実施例２の発光効率は３６．８〔ｃｄ／Ａ〕であり、ＬＴ７５は２３．５〔ｈｒｓ〕であった。

　実施例３は、照度Ｅ＝１００〔ｌｕｘ〕で照射時間１５０〔ｈｒｓ〕（積算照度ＥＴ＝１５０００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕）のインクを用いて作成した試験体である。実施例３の発光効率は３６．５〔ｃｄ／Ａ〕であり、ＬＴ７５は２３．３〔ｈｒｓ〕であった。

　比較例１は、照度Ｅ＝２５０〔ｌｕｘ〕で照射時間１５０〔ｈｒｓ〕（積算照度ＥＴ＝３７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕）のインクを用いて作成した試験体である。比較例１の発光効率は２８．４〔ｃｄ／Ａ〕であり、ＬＴ７５は７．４〔ｈｒｓ〕であった。

　比較例２は、照度Ｅ＝７００〔ｌｕｘ〕で照射時間１５０〔ｈｒｓ〕（積算照度ＥＴ＝１０５０００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕）のインクを用いて作成した試験体である。比較例２の発光効率は２０．４〔ｃｄ／Ａ〕であり、ＬＴ７５は２．２〔ｈｒｓ〕であった。

　図５（ａ）は、上記５種類の試験体の発光効率と積算照度とをグラフ上にプロットした図である。図５（ｂ）は、上記５種類の試験体のＬＴ７５と積算照度とをグラフ上にプロットした図である。図５（ａ），（ｂ）において、実線の曲線は、プロットされた点をつなぐ近似曲線である。

　＜積算照度と発光効率＞
　図４および図５（ａ）に示すように、実施例１，実施例２，実施例３（積算照度ＥＴ＝３０００～１５０００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕）では、発光効率に大きな違いは見られなかった。しかし、比較例１（積算照度３７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕）では発光効率が大きく低下し、比較例２ではさらに低下した。また、図５（ａ）において、近似曲線の変曲点は、実施例３と変形例１との間に存在し、これらの間に発光効率が急激に低下するポイントがあることが示された。

　図５（ａ）における近似曲線のＹ軸との交点、即ち、積算照度ＥＴ＝０〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕の場合に想定される発光効率の値（３８．２〔ｃｄ／Ａ〕）を発光効率の初期値とした場合、発光効率が初期値から１０％低下する積算照度ＥＴは、およそ１８０００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕である。従って、積算照度ＥＴ≦１８０００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕であれば、発光効率に関しては、インクの劣化がデバイスの品質に問題が無い程度であると考えられる。

　＜積算照度とＬＴ７５＞
　図４および図５（ｂ）に示すように、実施例１，実施例２，実施例３（積算照度ＥＴ＝３０００～１５０００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕）では、ＬＴ７５の値に大きな違いは見られなかった。しかし、比較例１（積算照度３７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕）ではＬＴ７５の値が大きく低下し、比較例２ではさらに低下した。また、発光効率の場合と同様に、近似曲線の変曲点は、実施例３と変形例１との間に存在し、これらの間に発光効率が急激に低下するポイントがあることが示された。

　図５（ｂ）における近似曲線のＹ軸との交点、即ち、積算照度ＥＴ＝０〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕の場合に想定されるＬＴ７５の値（２４．２〔ｃｄ／Ａ〕）をＬＴ７５の初期値とした場合、ＬＴ７５が初期値から２０％低下する積算照度ＥＴは、およそ１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕である。従って、積算照度ＥＴ≦１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕であれば、ＬＴ７５に関しては、インクの劣化がデバイスの品質に問題が無い程度であると考えられる。

　〔３．有機発光デバイスの製造方法〕
　以上の結果から、積算照度ＥＴを用いてインクの品質管理を行うことにより、有機発光デバイスの不良品発生を抑制することができることがわかった。

　本実施形態に係る有機発光デバイスの製造方法においては、照度センサ５０により検出された照度Ｅを積算し、その積算照度ＥＴが所定の値以上になると、インクの劣化が許容範囲を超えたと判断する。そして、ユーザや管理者がインク搬送路内の古いインクを取り出し、新しいインクと交換する。具体的には、表示部１３にインクの取出しを促すメッセージ（インク交換警告）を表示させる。そして、当該メッセージを見たユーザや管理者が、インク搬送路４５０内に収容された古いインクを取り出して、新しいインクと交換する。

　ここで、インクの「交換」とは、インク搬送路４５０内に収容された古いインクを取り出して、新しいインクをインク搬送路４５０に充填することを意味する。また、上記「古いインク」とは、インク交換の際にインク搬送路４５０内に収容されており、劣化の程度が許容範囲を超えたと判断されたインクを意味し、「新しいインク」とは、それまで供給タンク４１内に収容されていたインクを意味する。（上記「新しいインク」とは、上記古いインクと同じバッチの供給タンク４１の場合もあれば、別の新しいバッチの供給タンク４１である場合もある。即ち、同一バッチの未使用インクを新たに充填する場合と、バッチ交換を行う場合とがある。）以下、各実施形態および各変形例においても同様である。

　このような製造方法を採用することにより、劣化したインクが有機発光デバイスの製造に用いられないため、不良品の発生を抑制し、有機発光デバイスの品質を良好に維持することができる。

　以下、本実施形態に係る有機発光デバイスの製造方法について、図６に基づいてより詳細に説明する。

　上記積算照度と発光効率との関係においては、積算照度ＥＴ≦１８０００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕が、インク劣化の許容範囲であった。また、上記積算照度とＬＴ７５の関係においては、積算照度ＥＴ≦１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕が、インク劣化の許容範囲であった。従って、両方を満たす範囲として、本実施形態においては、積算照度ＥＴ≦１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕をインク劣化の許容範囲とする。

　図６は、実施形態１に係る有機発光デバイスの製造方法における制御部１１によるインク品質管理制御の処理内容を示すフローチャートである。

　なお、製造装置１００全体を制御する不図示のメインルーチンが別途有り、製造装置１００の電源が投入されてメインルーチンが実行されると、所定のタイミングで当該インク品質管理制御のサブルーチンがコールされ、実行される。

　まず、製造装置１００の電源が投入されて、当該インク品質管理制御のフローが開始されると、記憶部１２に記憶されている積算照度ＥＴの値をリセットして（ステップＳ１）、タイマをスタートさせる（ステップＳ２）。初回使用の場合は、積算照度ＥＴは記憶部１２に記憶されていないので、ステップＳ１は省略される。

　次に、照度センサ５０により検出された照度Ｅを取得し（ステップＳ３）、タイマにより計測された時間Δｔを取得する（ステップＳ４）。

　その後、タイマをストップしてリセットし、リスタートする（ステップＳ５）。

　続いて、積算照度Ｅ×Δｔを算出する（ステップＳ６）。ここで、照度センサ５０は、光電素子の電流値を微小な時間Δｔ（例えば、１００〔ｍｓｅｃ〕）間隔でサンプリングして瞬間的な照度を検出している。従って、Δｔを照度センサ５０のサンプリング間隔と同じにすることにより、照度センサ５０が検出する照度の情報を全て積算に利用することができ、より正確な積算照度を得ることができる。

　なお、ここでは、光電素子の電流値をサンプリングする時間間隔を１００〔ｍｓｅｃ〕としたが、これに限られず、１００〔ｍｓｅｃ〕よりも短い時間間隔（例えば、数〔ｍｓｅｃ〕～数十〔ｍｓｅｃ〕）でもよいし、長い時間間隔（例えば、数百〔ｍｓｅｃ〕～数千〔ｍｓｅｃ〕）でもよい。

　次に、記憶部１２に記憶されている前回までの積算照度Ｅ×Δｔの累積値にステップＳ６で算出された積算照度Ｅ×Δｔを加算して積算照度ＥＴを算出し、算出した積算照度ＥＴを記憶部１２に記憶させる（ステップＳ７）。なお、当該インク品質管理制御のフローがスタートして最初にステップＳ７に到達した場合には、前回までの積算照度Ｅ×Δｔの累積値が存在しない。従って、この場合は、ステップＳ６で算出された積算照度Ｅ×Δｔが積算照度ＥＴとして記憶部１２に記憶される。

　続いて、積算照度ＥＴが１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕以上であるかどうかを判定する（ステップＳ８）。

　積算照度ＥＴが１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕以上である場合、制御部１１は、インクの劣化が許容範囲を超えたとして、インク交換警報、即ち、古いインクの取り出しをユーザまたは管理者に促すメッセージを表示部１３に表示させ（ステップＳ８：ＹＥＳ，ステップＳ９）る。

　そして、タイマをストップしてリセットした後（ステップＳ１０）、当該インク品質管理制御のフローを終了する。

　ステップＳ８において、積算照度ＥＴが１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕以上でない場合、即ち、１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕未満である場合、ステップＳ３に戻って再び照度Ｅを取得する（ステップＳ８：ＮＯ，ステップＳ３）。以下、ステップＳ８において積算照度ＥＴが１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕以上であると判定されるまで、ステップＳ３からステップＳ８を繰り返す。

　なお、上記のフローにおける積算照度ＥＴは、次の式１で表すことができる。

　〔４．実施形態１のまとめ〕
　以上説明したように、本実施形態に係る有機発光デバイスの製造方法によると、５００ｎｍ以下の波長成分から成る光が照射される環境下において、積算照度ＥＴ≧１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕の場合に、インク交換警報が表示部１３に表示される。これにより、インク劣化が許容範囲を超えた場合に、ユーザや管理者は速やかにインク交換を行うことができる。従って、劣化程度が許容範囲を超えたインクが有機発光デバイスの製造に用いられる事態を防止することができるため、有機発光デバイスの不良品発生を抑制することができる。

　また、照明装置１が複数設置されている場合、または照明装置１が複数の光源を有し、点灯させる光源の数を変えることができる場合に、複数の照明装置１または照明装置１が有する複数の光源を全部点灯させる場合と、そのうちのいくつかのみを点灯させる場合とで照度が異なってくる。このような場合においても、微小時間Δｔにおける照度Ｅを積算することにより、積算照度ＥＴを正確に算出することができる。

　なお、有機発光デバイスの製造装置１００に照明装置１を加えた有機発光デバイスの製造システムとして、本実施形態のインク品質管理制御を行う製造方法を実行することもできる。

　≪実施形態２≫
　実施形態１においては、積算照度ＥＴ≧１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕の場合に、インク交換警報が表示される場合について説明した。しかし、これに限られない。

　実施形態１で説明した積算照度と発光効率およびＬＴ７５との関係を調べる実験においては、チューブ内において循環せず静止した状態で光が照射されたインクが実験に用いられた。しかしながら、実際の製造装置１００においては、インクはインク搬送路４５０内を常時循環している。従って、実際の製造装置１００においては、インクの品質を積算照度ＥＴの値１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕で管理することは、あまり現実的ではない可能性が考えられる。

　実施形態２では、製造装置１００において、より現実的なインク品質管理を行う製造方法について説明する。なお、説明の重複を避けるため、実施形態１と同じ構成要素については、同符号を付して、その説明を省略する。

　実施形態１で説明したように、インクはインク搬送路４５０内を常時循環している。また、チューブ４５ｂ，４５ｃ，４５ｄは透光性の樹脂材料から形成されているが、ＩＮタンク４２、ＯＵＴタンク４３、分配タンク４４は金属等の遮光性の部材から形成されている。従って、インクがチューブ４５ｂ，４５ｃ，４５ｄ内に存在している時に光が照射されるとインクは光により劣化されるが、インクがＩＮタンク４２、ＯＵＴタンク４３、分配タンク４４内に存在している時に光が照射されてもインクは光の影響を受けない。

　ここで、インク搬送路４５０全体の容積をＣｗ、透光性のチューブ４５ｂ，４５ｃ，４５ｄの容積（それぞれのチューブの容積の和）をＣｔとすると、インクがインク搬送路４５０内において、４５ｂ，４５ｃ，４５ｄ内に存在している確率Ｐは、Ｐ＝Ｃｔ／Ｃｗで表される。

　従って、実際に製造装置１００においてインク搬送路４５０内を循環しているインクが照明装置１からの光を受ける時間は、Ｐ×Ｔ＝Ｃｔ／Ｃｗ×Ｔである。そこで、インクの品質管理に用いるより現実的な積算照度の値としては、１７５００にＰの逆数を乗じた値となり、ＥＴ≧１７５００×Ｃｗ／Ｃｔの場合に、インク交換警報を表示させる制御を行うのがより現実的である。

　図７は、実施形態２に係る有機発光デバイスの製造方法における制御部１１によるインク品質管理制御の処理内容を示すフローチャートである。

　本実施形態に係るインク品質管理制御のフローも、実施形態１と同様に、製造装置１００全体を制御する不図示のメインルーチンが実行されると、所定のタイミングで当該インク品質管理制御のサブルーチンがコールされ、実行される。

　図７のフローチャートにおいて、ステップＳ１１からステップＳ１７までは、図６に示す実施形態１に係るインク品質管理制御のフローチャートにおけるステップＳ１からステップＳ７と同じであるので、ここでは説明を省略する。

　ステップＳ１７で積算照度ＥＴを算出してその値を記憶部１２に記憶させた後、積算照度ＥＴが１７５００×Ｃｗ／Ｃｔ〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕以上であるかどうかを判定する（ステップＳ１８）。

　積算照度ＥＴが１７５００×Ｃｗ／Ｃｔ〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕以上である場合、制御部１１は、インクの劣化が許容範囲を超えたとして、インク交換警報、即ち、古いインクの取り出しをユーザまたは管理者に促すメッセージを表示部１３に表示させ（ステップＳ１８：ＹＥＳ，ステップＳ１９）る。

　そして、タイマをストップしてリセットした後（ステップＳ２０）、当該インク品質管理制御のフローを終了する。

　ステップＳ１８において、積算照度ＥＴが１７５００×Ｃｗ／Ｃｔ〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕以上でない場合、即ち、１７５００×Ｃｗ／Ｃｔ〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕未満である場合、ステップＳ１３に戻って再び照度Ｅを取得する（ステップＳ１８：ＮＯ，ステップＳ１３）。以下、ステップＳ１８において積算照度ＥＴが１７５００×Ｃｗ／Ｃｔ〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕以上であると判定されるまで、ステップＳ１３からステップＳ１８を繰り返す。

　〔実施形態２のまとめ〕
　以上説明したように、本実施形態に係る有機発光デバイスの製造方法によると、５００ｎｍ以下の波長成分から成る光が照射される環境下において、積算照度ＥＴ≧１７５００×Ｃｗ／Ｃｔ〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕の場合に、インク交換警報が表示部１３に表示される。これにより、実施形態１と同様に、劣化程度が許容範囲を超えたインクが有機発光デバイスの製造に用いられる事態を防止して、有機発光デバイスの不良品発生を抑制することができる。

　また、本実施形態に係る有機発光デバイスの製造方法によると、照明装置１が点灯されている総時間ではなく、インク搬送路４５０内を循環しているインクが透光性チューブ内に存在していて実際に照明装置１からの光の影響を受ける時間のみを積算照度ＥＴに反映させることができる。従って、より現実に即したインクの品質管理を行うことができ、実際には劣化が許容範囲を超えていないにもかかわらず、取り出されて廃棄されるインクの無駄を抑制してコスト抑制に資することができる。加えて、インク交換の頻度を低減して、作業効率の向上も図ることができる。

　なお、製造装置１００に照明装置１を加えた製造システムとして、本実施形態のインク品質管理制御を行う製造方法を実行することもできる。

　また、インク交換警告が表示部に表示される条件（図６のステップＳ８及び図７のステップＳ１８）を、定数αを用いて積算照度ＥＴ≧α×１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕と表すと、実施形態１はα＝１の場合であり、実施形態２はα＝Ｃｗ／Ｃｔの場合である。ここで、Ｃｗ／Ｃｔ＞１であるので、α≧１である。

　≪変形例≫
　以上、本発明を実施形態１および２に基づいて説明してきたが、本発明が上述の実施形態に限定されないのは勿論であり、以下のような変形例を実施することが出来る。なお、説明の重複を避けるため、実施形態１および２と同じ構成要素については、同符号を付して、その説明を省略する。

　（変形例１）
　上記実施形態１および２に係る有機発光デバイスの製造方法では、照明装置１とチューブ４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄとの間には、何ら遮光するものが存在しない環境下で製造装置１００が使用される場合について説明した。しかし、これに限られず、遮光部材を配置してもよい。

　製造装置１００が設置されている現場（工場など）において、製造装置１００が稼働中（有機発光デバイスの製造中）の時は、基本的には作業者（ユーザ、管理者）は当該現場には立ち入らず、照明装置１は消灯している。照明装置１を点灯させるシチュエーションとしては、次のような場合が考えられる。

　１つ目は、製造装置１００のメンテナンスを行う場合である。メンテナンス作業には、インクジェットヘッドの不良ノズルの検査や、インクジェットヘッドの拭き取り、インクの交換、製造装置の保守点検および修理などの作業が含まれる。これらのメンテナンス作業において、リニアモータ２４ａ，２４ｂの動作確認を行う場合以外は、基本的にはインク吐出部３０は静止している。そして、メンテナンス時においても、インクの固着を防止するためにインクはインク搬送路４５０内を循環しており、製造装置１００の電源はＯＦＦにされない。このように製造動作は行われずに待機モードで製造装置１００が駆動される状態を「メンテナンスモード」とする。

　２つ目は、製造装置１００が稼働中であっても、何らかの目的で作業者が現場に立ち入る必要がある場合である。このような場合としては、例えば、現場の空きスペースに備品のストック等を保管しており、この備品を出し入れする必要が生じた場合や、作業者が現場に何らかの忘れ物をし、それを取りに戻る場合などが考えられる。製造装置１００が有機発光デバイスを製造している状態を「製造モード」とする。

　ここで、遮光部材を配置する場合、考慮しなければならないことがある。製造装置１００が、メンテナンスモードのときには、インク吐出部３０は基本的には、静止しているが、製造モードのときには、インク吐出部３０がステージＳＴ上をＸ軸方向に沿って移動する。これに伴いチューブ４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄもＸ軸方向に移動される。そのため、遮光部材は、チューブ４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄの移動を妨げないようにする必要がある。また、照明装置１を点灯させるときは、製造装置１００に対してユーザが何かしらの作業を行う必要があるときであるので、チューブ４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄには極力光が照射されないようにしたいが、それ以外の部分はユーザが作業しやすいようになるべく遮光されないようにする必要がある。本変形例では、これらの点を考慮した上で、遮光部材を備えた製造システムとしての構成について以下に説明する。

　変形例１に係る有機発光デバイスの製造システム１０００の構成について、図８および図９を用い説明する。

　図８および図９に示すように、本変形例に係る有機発光デバイスの製造システム１０００は、製造装置１００および遮光ユニット７０を有する。

　遮光ユニット７０は、遮光部材保持部７１および遮光部材７２から構成されている。

　遮光部材保持部７１は、ガイドレール７１ａと、遮光部材７２の一部を保持した状態でガイドレール７１ａに沿って移動可能に設置された移動体７１ｂとから成る。

　ガイドレール７１ａは、長尺の金属材料から成り、照明装置１よりも高い位置に配置され、製造装置本体１０１とインク供給ユニット４０のタンク群（供給タンク４１，ＩＮタンク４２，ＯＵＴタンク４３）との間の位置にＸ軸と略平行に設けられている。

　移動体７１ｂは、内部に不図示のモータを有し、不図示のケーブルにより制御部１１と接続されており、制御部１１からの制御を受けてモータが駆動され、ガイドレール７１ａに沿って移動する。本変形例においては、移動体７１ｂは、一対の移動体部分７１ｂ１および７１ｂ２から成り、それぞれ上記モータを有している。なお、図８においては、移動体部分７１ｂ２は、図面の範囲の外側に位置しており、図示されていない。

　遮光部材７２は、遮光性を有する布状または板状の部材である。本変形例においては、遮光部材７２は、具体的には遮光カーテンであり、移動体部分７１ｂ１に保持された遮光部材部分７２ａと、移動体部分７１ｂ２に保持された遮光部材部分７２ｂとから成る。

　なお、遮光部材７２が板状の部材から構成される場合には、縦型ブラインドのように、搖動可能に保持された複数の板状部材が互いに少しずつずれて重なり合うような構成とするとよい。このような構成とすることにより、チューブ４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄの移動を許容しつつ、これらのチューブに対する光の照射を抑制することができる。板状部材の材料としては、木材，金属，セラミック，遮光性の樹脂等を用いることができる。また、透光性の樹脂等から成る板状部材の表面に遮光性の塗料を塗布する方法や、遮光性の布や紙等を貼付する方法により遮光性を実現してもよい。

　図８は、遮光部材７２が、照明装置１とチューブ４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄとの間に介在していない状態、即ち、遮光部材７２により照明装置１からの光が遮光されない状態の製造システム１０００を示している。このように照明装置１からチューブ４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄへの光が遮光されない遮光部材７２の位置を「開放位置」とする。

　図９は、遮光部材７２が、照明装置１とチューブ４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄとの間に介在している状態、即ち、遮光部材７２により照明装置１からの光が遮光されている状態の製造システム１０００を示している。このように照明装置１からチューブ４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄへの光が遮光される遮光部材７２の位置を「遮光位置」とする。本変形例においては、遮光部材７２が遮光位置に位置しているとき、チューブ４５ｃ，４５ｄの分配タンク４４に接続されている端部の近傍部分は、遮光部材部分７２ａと遮光部材部分７２ｂとにより挟まれている。しかし、遮光部材部分７２ａおよび７２ｂは変形可能な布製のカーテンであるため、当該端部近傍部分を損傷することがない。

　本変形例に係る製造システム１０００において実行される製造方法におけるインク品質管理制御について、その詳細を以下に説明する。

　図１０は、変形例１に係る有機発光デバイスの製造システム１０００にて実行される製造方法における制御部１１による遮光部材制御の処理内容を示すフローチャートである。

　本変形例に係る遮光部材制御のフローも、実施形態１および２のインク品質管理制御のサブルーチンと同様に、製造装置１００全体を制御する不図示のメインルーチンの所定のタイミングで当該遮光部材制御のサブルーチンがコールされ、実行される。

　まず、製造装置１００の電源が投入されて、当該遮光部材制御のフローが開始されると、製造装置１００の駆動モードを判別する、即ち、製造装置１００がメンテナンスモードで駆動されているのか、製造モードで駆動されているのかを判別する（ステップＳ３１）。なお、ここで、メンテナンスモードまたは製造モードで駆動されているのは、実際には製造装置１００全体であるが、製造装置本体１０１がメンテナンスモードで駆動されているのか、製造モードで駆動されているのかを判別すれば足りる。従って、製造装置１００の駆動モードを、製造装置本体１０１の駆動モードとして表してもよい。

　メンテナンスモードの場合は、インク吐出部３０は静止しているので、分配タンク４４に接続されたチューブ４５ｃ，４５ｄも静止している。よって、遮光部材７２が遮光位置に位置していても、チューブ４５ｃ，４５ｄと遮光部材７２とがぶつかる虞がない。従って、製造装置１００がメンテナンスモードで駆動されていると判別された場合、遮光部材７２を遮光位置に位置させる（ステップＳ２１：メンテナンスモード，ステップＳ２２）。言い換えると、制御部１１は、遮光部材７２が遮光位置に位置した状態で保持される位置に移動体部分７１ｂ１および７１ｂ２（移動体７１ｂ）をそれぞれ移動させる。遮光部材７２が既に遮光位置に位置している場合には、移動体７１ｂはそのままである。

　そしてその後、照明装置１が点灯しているかどうかを判別する（ステップＳ２４）。

　製造モードのときは、インク吐出部３０は移動している。よって、遮光部材７２が遮光位置に位置していると、チューブ４５ｃ，４５ｄと遮光部材７２とがぶつかって、チューブ４５ｃ，４５ｄが分配タンク４４から外れたり、インク吐出部３０の移動が妨げられたりする虞がある。従って、ステップＳ２１において、製造装置１００が製造モードで駆動されていると判別された場合、遮光部材７２を開放位置に位置させる（ステップＳ２１：製造モード，ステップＳ２３）。言い換えると、制御部１１は、遮光部材７２が開放位置に位置した状態で保持される位置に移動体部分７１ｂ１および７１ｂ２（移動体７１ｂ）をそれぞれ移動させる。遮光部材７２が既に開放位置に位置している場合には、移動体７１ｂはそのままである。

　ステップＳ２４で、照明装置１が点灯されていると判別されなかった場合、即ち、照明装置１が消灯していると判別された場合は、当該点灯装置点灯の判別を繰り返す（ステップＳ２４：ＮＯ，ステップＳ２４）。

　ステップＳ２４で、照明装置１が点灯されていると判別された場合、続いて製造装置１００の駆動モードを判別する（ステップＳ２４：ＹＥＳ，ステップＳ２５）。

　駆動モードがメンテナンスモードであると判別された場合、遮光部材７２を遮光位置に位置させる（ステップＳ２５：メンテナンスモード，ステップＳ２６）。

　そしてその後、照明装置１が消灯しているかどうかを判別する（ステップＳ２９）。

　ステップＳ２５で駆動モードが製造モードであると判別された場合、遮光部材７２を開放位置に位置させる（ステップＳ２５：製造モード，ステップＳ２７）。この場合、照明装置１が点灯されていて遮光部材７２が開放位置に位置しているため、照明装置１からの光がチューブ４５（４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄ）に照射されることになる。しかしながら、インク吐出部３０の移動が妨げられたり、チューブ４５ｃ，４５ｄが分配タンク４４から外れたりすると、不良品が発生したり有機発光デバイスの製造が中断したりすることになる。従って、製造モードの場合には、光の遮光よりもそのような問題の発生回避を優先させる。この場合においても、照度センサ５０により照度を検出し、図６または図７に示すインク品質管理制御を行っているので、劣化の程度が許容範囲を超えたインクが使用されることはない。

　そしてステップＳ２７の後、照明装置１が消灯しているかどうかを判別する（ステップＳ２９）。

　ステップＳ２８において、照明装置１が消灯していると判別されなかった場合、即ち、照明装置１が点灯していると判別された場合、ステップＳ２５に戻って、製造装置１００の駆動モードの判別を行う（ステップＳ２８：ＮＯ，ステップＳ２５）。以下、ステップＳ２８において照明装置１が消灯していると判別されるまで、ステップＳ２５からステップＳ２８を繰り返す。

　ステップＳ２８において、照明装置１が消灯していると判別された場合、遮光部材７２を開放位置に位置させて（ステップＳ２９８：ＹＥＳ，ステップＳ２９）、リターンする。

　本変形例に係る有機発光デバイスの製造システムによると、必要最小限の場合にのみ照明装置１からの光がチューブ４５に照射されるので、インクの劣化をさらに起こりにくくすることができ、積算照度ＥＴが許容最大値に達するまでの時間をより長くすることができる。これにより、劣化によるインク交換の頻度を低減して、コスト低減および作業性向上に資することができる。

　なお、変形例１に係る製造システム１０００では、照明装置１については、製造システム１０００に含まれてもよいし、含まれなくてもよい。

　（変形例２）
　上記変形例１においては、製造装置１００が製造モードで駆動されているときに照明装置１が点灯された場合、遮光部材７２は開放位置に位置しているため、チューブ４５に照明装置１からの光が照射される。

　そこで、変形例２では、実施形態１，２および変形例１における照明装置１の光（「第１の光」とする。）よりも長い波長成分から成る光（「第２の光」とする。）を発する光源を照明装置がさらに有し、何れか一方の光源を選択的に点灯可能な構成について説明する。ここでは、第１の光を発する光源を第１光源、第２の光を発する光源を第２光源とする。

　なお、本変形例に係る製造システムには照明装置が含まれ、製造装置本体１０１の制御部１１（図３参照）と照明装置とが接続されている。そして、制御部１１は、照明装置に対して、第１光源または第２光源を選択的に点灯させる制御を行う。

　また、本変形例においては、第２の光は、６５０ｎｍ以上の波長成分から成る光であり、具体的には、例えば、赤色光であるが、これに限られず、第２の光は、例えば、６２０ｎｍ以上の波長成分から成る光であってもよいし、赤外光であってもよい。

　図１１は、変形例２に係る有機発光デバイスの製造システムにて実行される製造方法における制御部１１による遮光部材制御の処理内容を示すフローチャートである。なお、変形例２に係る有機発光デバイスの製造システムは、照明装置が含まれ、照明装置は第１光源と第２光源とを選択的に点灯可能に備えていており、照明装置と接続された制御部１１が照明装置の点灯制御を行う点が異なっている以外は、変形例１に係る製造システム１０００と同じである。また、基本的な外観構成は、図８および図９に示す製造システム１０００と同じである。従って、本変形例に係る照明装置についても変形例１に係る照明装置と同じ符号１を付して以下に説明する。

　本変形例に係る遮光部材制御のフローも、実施形態１，２のインク品質管理制御のサブルーチンおよび変形例１の遮光部材制御のサブルーチンと同様に、製造装置１００全体を制御する不図示のメインルーチンの所定のタイミングで当該遮光部材制御のサブルーチンがコールされ、実行される。

　ステップＳ３１からステップＳ３３は、図１０に示す変形例１に係る遮光部材制御のフローにおけるステップＳ２１からステップＳ２３と同じであるので、ここでは説明を省略する。

　ステップＳ３２またはステップＳ３３に続いて、照明スイッチがＯＮになったかどうかの判別を行う（ステップＳ３４）。ここで、照明スイッチとは、壁などに設置され、照明装置を点灯または消灯させるためにユーザが操作するスイッチであって、所謂壁スイッチである。なお、照明スイッチは、壁スイッチに限られず、リモコンなどであってもよい。

　照明スイッチがＯＮになったと判別されない場合、即ち、照明スイッチがＯＦＦである場合、当該照明スイッチがＯＮになったかどうかの判別を繰り返す（ステップＳ３４：ＮＯ，ステップＳ３４）。

　照明スイッチがＯＮになったと判別された場合、次に、製造装置１００の駆動モードを判別する（ステップＳ３４：ＹＥＳ，ステップＳ３５）。

　製造装置１００の駆動モードがメンテナンスモードである場合、遮光部材７２を遮光位置に位置させ、制御部１１は照明装置１に第１光源を点灯させる（ステップＳ３５：メンテナンスモード，ステップＳ３６）。

　製造装置１００の駆動モードが製造モードである場合、遮光部材７２を開放位置に位置させ、制御部１１は照明装置１に第２光源を点灯させる（ステップＳ３５：製造モード，ステップＳ３７）。

　ステップＳ３６またはステップＳ３７に続いて、照明スイッチがＯＦＦになったかどうかの判別を行う（ステップＳ３８）。

　照明スイッチがＯＦＦになっていない場合、即ち照明装置が点灯している場合、ステップＳ３５に戻って、製造装置１００の駆動モードの判別を行う（ステップＳ３８：ＮＯ，ステップＳ３５）。以下、ステップＳ３８において照明スイッチがＯＦＦになったと判別されるまで、ステップＳ３５からステップＳ３８を繰り返す。このような制御方法を採用することにより、照明装置を点灯させたまま製造装置１００の駆動モードを変更する場合にも、適切に対応することができる。

　ステップＳ３８において、照明スイッチがＯＦＦになったと判別された場合、遮光部材７２を開放位置に位置させ、照明装置１を消灯する（ステップＳ３８：ＹＥＳ，ステップＳ３９）。ステップＳ３６からステップＳ３８、ステップＳ３９への流れに従った場合、第１光源が点灯されており、第２光源は点灯されていないため、ステップＳ３９では第１光源を消灯する。ステップＳ３７からステップＳ３８、ステップＳ３９への流れに従った場合、第２光源が点灯されており、第１光源は点灯されていないため、ステップＳ３９では第２光源を消灯する。そして最後にリターンする。

　本変形例の遮光部材制御によると、遮光部材７２を開放位置に位置させたまま照明装置を点灯させなければならないという止むを得ない状況が生じた場合には、第１の光を発する第１光源に代えて、第１の光よりも長い波長成分から成る第２の光（即ち、インクの光吸収ピークが存在しないかほとんど存在しない範囲の波長成分から成る光）を発する第２光源を点灯する。これにより、チューブ４５に照射された光がチューブ４５を介してインクに達してもインクが劣化しにくいため、第１の光を照射する場合と比較してインクの劣化を抑制することができる。それと同時に、製造装置を製造モードで駆動中に何らかの作業を行う必要がある場合に、照明装置を点灯させないで懐中電灯などを使用して作業を行う場合と比較して、ユーザは作業を容易に行うことができる。

　（変形例３）
　上記変形例１および２においては、遮光部材７２として遮光カーテンを用いたが、これに限られない。例えば、床上に設置されたアコーディオン式の衝立や、床上を移動可能な遮光性の板状部材等を利用してもよい。板状部材の材料としては、木材，金属，セメント，セラミック，遮光性の樹脂等を用いることができる。また、透光性の樹脂等から成る板状部材の表面に遮光性の塗料を塗布する方法や、遮光性の布や紙等を貼付する方法により遮光性を実現してもよい。

　（変形例４）
　上記各実施形態および各変形例においては、チューブ４５（４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄ）は、フッ素樹脂から成るとしたが、これに限られない。十分な柔軟性と耐溶媒性が得られ、インクに悪影響を及ぼさない程度に十分に低い不純物含有率を有する材料であれば、他の材料を用いてもよい。

　（変形例５）
　上記各実施形態および各変形例においては、チューブ４５（４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄ）は、全て透光性の樹脂から成るとしたが、これに限られない。これらのうち、チューブ４５ａおよび４５ｂは、それぞれ供給タンク４１とＩＮタンク４２との間、およびＩＮタンク４２とＯＵＴタンク４３との間を接続するものであって、どちらも分配タンク４４に接続されていない。これらのタンクは静止しており、チューブ４５ａ，４５ｂは移動することがないため、チューブ４５ｃ，４５ｄほどの柔軟性は要求されない。

　従って、チューブ４５ａ，４５ｂとして遮光性の材料から成るチューブを用いることができる。遮光性の材料としては、例えば、塩化ビニル樹脂，ポリスチレン，ブチルゴム，ウレタン等の樹脂やゴムを用いることができる。さらには、ＳＵＳ等の金属材料を用いてもよい。

　また、フッ素樹脂から成るチューブの外側に、ビニール等の樹脂や金属薄膜により被覆コーティングを施したものを用いてもよい。

　さらには、フッ素樹脂から成るチューブの外側に、遮光性の樹脂やゴムを積層形成した２層以上の層から成るチューブを用いてもよい。遮光性の樹脂層としては、フッ素樹脂に黒色の顔料やフィラー等を混入したものを用いてもよいし、別の種類の樹脂やゴムを用いてもよい。

　（変形例６）
　変形例１および２においては、遮光部材７２は可動式であったが、これに限られない。固定式の遮光部材を用いてもよい。

　図１２は、変形例６に係る製造システム２０００の概略構成を示す側面図である。製造システム２０００は、主な構成要素として、製造装置１００，照明装置１，および遮光ユニット２０７０を有する。

　図１２に示すように、製造システム２０００における遮光ユニット２０７０は、床に立設された壁状の遮光部材保持部２０７１と、遮光部材保持部２０７１の上端に固定された遮光部材２０７２とから構成されている。遮光ユニット２０７０は、断面逆Ｌ字状であって、遮光部材２０７２は、インク供給ユニット４０の上方を覆う、言わば屋根の役割をしている。遮光部材２０７２が形成される材料としては、木材、金属、セメント、セラミック、布、樹脂などを利用することができ、遮光性を有するものであれば特に限定されない。

　そして、遮光部材２０７２の上方には、照明装置１が配設されている。照明装置１は、遮光部材２０７２の遮光部材保持部２０７１と接続されていない側の端部に対して、製造装置本体１０１とは反対側に配設されている。従って、照明装置１から発せられた光は、遮光部材２０７２により遮光されてインク供給ユニット４０には直接照射されないが、製造装置本体１０１の少なくともインク供給ユニット４０とは反対側の部分には、直接照射される。

　これにより、チューブ４５に照射される光を低減してインク劣化を抑制しつつ、製造装置本体１０１を明るく照らして作業を容易に行うことができる。

　なお、図１２においては、遮光ユニット２０７０および床については、断面で表示している。さらに、図１２では、製造装置１００における制御ユニット１０については図示を省略している。

　また、遮光部材２０７２は、遮光部材保持部２０７１の上端に固定された構成に限られず、インク供給ユニット４０の上方を覆うことができれば、遮光部材保持部２０７１のどの位置に固定されていてもよい。そして、製造装置１００が配置されている部屋の壁を遮光部材保持部２０７１として、壁に遮光部材２０７２が固定されていてもよい。さらには、遮光部材２０７２が、例えば、天井から吊るされていてもよい。また、遮光部材２０７２は、床面に対して略平行な姿勢で保持されている場合に限られず、遮光部材２０７２が床面に対して傾斜した姿勢で遮光部材保持部２０７１に固定されていてもよい。

　（変形例７）
　不良ノズルの検査において、インクジェットヘッド３１から吐出されたインク液滴の着弾の様子を観察ユニット６０により観察する際には、特にＲＧＢの色を区別する必要はないので、赤外線照明と赤外線カメラを用いて観察を行ってもよい。また、通常のＣＣＤカメラを使用する場合であっても、照明に赤色灯を用いてもよい。このように、黄色灯よりもさらに長波長の波長成分から成る光を用いることにより、インクの劣化をより抑制することができる。

　（変形例８）
　上記各実施形態および各変形例においては、積算照度ＥＴが所定の値以上になった場合、インク搬送路４５０内に収容されているインクを交換する構成について説明したが、これに限られない。インク搬送路４５０に収容されているインクに加えてチューブ４５ａ内に収容されているインクも取り出して新しいインクと交換してもよい。また、インク搬送路４５０内に収容されているインクと、チューブ４５ａ内に収容されているインクと、供給タンク４１に収容されているインクを全て新しいインクと交換してもよい。

　（変形例９）
　変形例２では、異なる波長成分から成る光を選択的に照射する制御方法について説明したが、これに限られない。例えば、照明装置が段階的に明るさを調整可能な構成を有し、照明装置から発せられる光の明るさを変える制御を制御部が行ってもよい。ここでは、実施形態１の構成に、本変形例の構成を適用した場合について以下に説明する。

　図１３は、変形例９に係る有機発光デバイスの製造システムを用いて実行される製造方法における制御部１１による照度制御の処理内容を示すフローチャートである。なお、変形例９に係る有機発光デバイスの製造システムは、制御部１１に接続された照明装置が段階的に明るさを調整可能となっている点が異なっている以外は、基本的な構成は、図８および図９に示す変形例１に係る製造システム１０００と同じである。本変形例に係る照明装置についても変形例１に係る照明装置と同じ符号１を付して以下に説明する。

　また、本変形例においては、照明装置はレベル１，レベル２，レベル３の３段階の明るさで点灯可能な構成となっており、その明るさは、レベル１＜レベル２＜レベル３であるとする。

　まず、照明スイッチがＯＮになったかどうかの判別を行う（ステップＳ４１）。ここで、照明スイッチとは、壁などに設置され、照明装置を点灯または消灯させるためにユーザが操作するスイッチであって、所謂壁スイッチである。なお、照明スイッチは、壁スイッチに限られず、リモコンなどであってもよい。

　照明スイッチがＯＮになったと判別されない場合、即ち、照明スイッチがＯＦＦである場合、当該照明スイッチがＯＮになったかどうかの判別を繰り返す（ステップＳ４１：ＮＯ，ステップＳ４１）。

　照明スイッチがＯＮになったと判別された場合、次に、積算照度ＥＴが１５５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕未満であるかどうかを判別する（ステップＳ４１：ＹＥＳ，ステップＳ４２）。

　積算照度ＥＴが１５５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕未満であると判別された場合、制御部１１は、最も明るいレベル３で照明装置１を点灯させる（ステップＳ４２：ＹＥＳ，ステップＳ４３）。この場合、積算照度ＥＴがインク劣化の許容範囲内の最大値である１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕まで、まだ余裕があるので、特に照明装置の明るさを低下させなくてもよい。

　そして次に、照明スイッチがＯＦＦになったかどうかの判別を行う（ステップＳ４４）。

　照明スイッチがＯＦＦになっていない場合、引き続き照明スイッチがＯＦＦになったかどうかの判別を行う（ステップＳ４４：ＮＯ，ステップＳ４４）。

　照明スイッチがＯＦＦになったと判別された場合、制御部１１は、照明装置１を消灯させて（ステップＳ４４：ＹＥＳ，ステップＳ４５）、リターンする。

　ステップＳ４２で、積算照度ＥＴが１５５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕未満であると判別されなかった場合、即ち積算照度ＥＴが１５５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕以上であると判別された場合、次に、積算照度ＥＴが１６５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕未満であるかどうか判別する（ステップＳ４２：ＮＯ，ステップＳ４６）。

　積算照度ＥＴが１６５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕未満である場合、制御部１１は、照明装置１を２番目に明るいレベル２で点灯させる。この場合、積算照度ＥＴは、インク劣化の許容範囲内の最大値である１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕まで、まだ若干余裕があるものの、１５５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕は超えており、最大値に少し近づいてきているので、照明装置の明るさを低下させる制御を行って、インク劣化を抑制する制御を行う。

　ステップＳ４７で照明装置１をレベル２で点灯させた後、ステップＳ４４に移る。ステップＳ４４およびステップＳ４５については、既に説明した通りであるので、ここではその説明を省略する。

　ステップＳ４６で、積算照度ＥＴが１６５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕未満であると判別されなかった場合、即ち積算照度ＥＴが１６５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕以上であると判別された場合、次に、積算照度ＥＴが１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕未満であるかどうか判別する（ステップＳ４６：ＮＯ，ステップＳ４８）。

　積算照度ＥＴが１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕未満である場合、制御部１１は、照明装置１を最も暗いレベル１で点灯させる。この場合、積算照度ＥＴは、インク劣化の許容範囲内の最大値である１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕にずいぶん近づいてきているので、照明装置の明るさをさらに低下させる制御を行って、インク劣化をより一層抑制する制御を行う。

　ステップＳ４９で照明装置１をレベル１で点灯させた後、ステップＳ４４に移る。ステップＳ４４およびステップＳ４５については、既に説明したとおりであるので、ここではその説明を省略する。

　ステップＳ４８で、積算照度ＥＴが１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕未満であると判別されなかった場合、即ち積算照度ＥＴが１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕以上であると判別された場合は、インクの劣化が許容範囲を超えているので、制御部１１は、交換警報、即ち、ユーザに古いインクの取り出しを促すメッセージを表示部１３に表示させて（ステップＳ４８：ＮＯ，ステップＳ５０）、当該照度制御のフローを終了する。

　積算照度ＥＴの値に係らず常に照明装置１の明るさを低下させると、ユーザが暗い環境で作業をしなくてはならず、ユーザの利便性を損なうこととなる。本変形例の制御方法によると、積算照度ＥＴの値が許容最大値である１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕に近づくにつれて段階的に照明装置の明るさを低下させ、透光性のチューブ４５に照射される照明装置１からの光の照度を低下させる。これにより、積算照度ＥＴの値が許容最大値までまだ余裕がある場合には、照明装置を最も明るい明るさで点灯させて、ユーザの利便性を優先させることができる。積算照度ＥＴの値が許容最大値に近づいてきた場合には、照明装置の明るさを低下させることによりインク劣化の速度を遅くすることができる。即ち、積算照度ＥＴの値が許容最大値に達するまでの時間を長くして、インク交換の頻度を低減させることができる。さらには、積算照度ＥＴの値が許容最大値に達する前に使用中のバッチのインクが全て消費される可能性を高めて、インクを最大限有効に使用することができる。

　なお、図１３のフローにおけるステップＳ４２の判定をＥＴ＜α×１５５００であるか否か、ステップＳ４６の判定をＥＴ＜α×１６５００であるか否か、ステップＳ４８の判定をＥＴ＜α×１７５００であるか否かと表すことができる。その場合、上記で説明した本変形例を実施形態１に適用した場合は、α＝１のときに相当し、本変形例を実施形態２に適用した場合は、α＝Ｃｗ／Ｃｔのときに相当する。ここで、Ｃｗ／Ｃｔ＞１であるので、α≧１である。

　また、ステップＳ４２およびステップＳ４６で判別に用いられる値は、それぞれ１５５００、１６５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕に限られず、任意の値を用いてもよい。照明装置の明るさ決定の基準として用いられる積算照度の値をＤとすると、Ｄには、１７５００未満の任意の値を用いることができる。その場合、照明装置が第１の明るさと第１の明るさよりも明るい第２の明るさを少なくとも含む複数段階の明るさで選択的に点灯可能な構成であるとすると、本変形例の制御は、次のように言うことができる。即ち、ＥＴ＜Ｄ〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕の場合には、第２の明るさで照明装置を点灯させ、Ｄ≦ＥＴ＜α×１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕の場合には、第１の明るさで照明装置を点灯させる。ここで、α＝１のときは、実施形態１に本変形例を適用した場合に相当し、α＝Ｃｗ／Ｃｔのときは、実施形態２に本変形例を適用した場合に相当する。

　さらには、照明装置の明るさは、３段階に限られず、２段階でも４段階以上でもよい。照明装置の明るさ決定の基準として用いられる積算照度の値も３種類に限られず、２種類でも、４種類以上でもよい。

　またさらに、変形例２に示したような照明装置が第１の光と第２の光を照射する構成において、第１の光および第２の光共に明るさを段階的に調整可能として、本変形例における照度制御を行ってもよい。

　（変形例１０）
　変形例９に係る有機発光デバイスの製造システムは、遮光ユニット７０を備えた構成であったが、遮光ユニット７０を備えない構成としてもよい。

　（変形例１１）
　劣化の程度が許容範囲を超えたと判断され、インク搬送路４５０から取り出された古いインクは、その後廃棄される場合に限られず、何らかの再生処理を経て再び有機発光デバイスの製造に使用されてもよいし、別の製品の材料として再利用されてもよい。

　（変形例１２）
　上記各実施形態および各変形例においては、積算照度ＥＴ＝α×１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕（定数α≧１）をインク劣化の許容最大値としたが、これに限られない。例えば、不良品発生のリスクをより厳格に回避するために、α×１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕よりも低い値（例えば、α×１５０００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕）をインク劣化の許容最大値としてもよいし、例えば、コスト低減を優先させる場合や目的とする品質レベルによっては、α×１７５００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕よりも高い値（例えば、α×２００００〔ｌｕｘ×ｈｒｓ〕）をインク劣化の許容最大値としてもよい。

　以上、本発明に係る有機発光デバイスの製造方法、製造システム、および製造装置について、各実施形態および各変形例に基づいて説明したが、本発明は、上記の各実施形態および各変形例に限定されるものではない。上記各実施形態および各変形例に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施形態および各変形例における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。

　本発明に係る有機ＥＬデバイスの製造方法等は、例えば、家庭用もしくは公共施設、あるいは、業務用の各種表示装置、テレビジョン装置、携帯型電子機器用ディスプレイ等として用いられる有機ＥＬ素子および有機ＥＬ表示パネルの製造方法等に好適に利用可能である。

　　　１．照明装置
　　１１．制御部
　　１３．表示部
　　４０．インク供給ユニット
　　４５ａ，４５ｂ，４５ｃ，４５ｄ．チューブ（透光性のチューブ）
　　５０．照度センサ
　　７１．遮光部材保持部
　　７２，２０７２．遮光部材
　１００．製造装置
　１０１．製造装置本体
　４５０．インク搬送路
　１０００，２０００．製造システム

Claims

　外光が遮光され、５００ｎｍ以上の波長成分から成る光を照射する照明装置が配置された環境下に設置され、有機発光材料を含むインクを吐出するインク吐出部を有する製造装置本体と、前記インクが収容されたタンクと前記インク吐出部との間のインク搬送路の少なくとも一部を形成する透光性のチューブと、を有する製造装置を用いた有機発光デバイスの製造方法であって、
　前記透光性のチューブに対して照射される前記光の照度Ｅ（ルクス）と前記光が照射される時間の長さＴ（時間）との積で与えられる積算照度ＥＴが、ＥＴ≧α×１７５００（ルクス×時間）（定数α≧１）の関係を満たすとき、前記インク搬送路内の前記インクを取り出す
　有機発光デバイスの製造方法。
　α＝１である
　請求項１に記載の有機発光デバイスの製造方法。
　前記インク搬送路全体の容積をＣｗとし、前記透光性のチューブの容積をＣｔとした場合に、α＝Ｃｗ／Ｃｔである
　請求項１に記載の有機発光デバイスの製造方法。
　前記製造装置本体は、有機発光デバイスを製造する製造モードとメンテナンスが行われるメンテナンスモードとで選択的に駆動される
　請求項１から３の何れか１項に記載の有機発光デバイスの製造方法。
　前記製造装置本体が前記メンテナンスモードで駆動されているときには、前記照明装置と前記透光性のチューブとの間に遮光部材を配置する
　請求項４に記載の有機発光デバイスの製造方法。
　前記製造装置本体が前記製造モードで駆動されているときには、前記照明装置と前記透光性のチューブとの間以外の位置に前記遮光部材を配置する
　請求項５に記載の有機発光デバイスの製造方法。
　前記照明装置は、前記５００ｎｍ以上の波長成分から成る光を第１の光とし、６５０ｎｍ以上の波長成分から成る光を第２の光とする場合、前記第１の光と前記第２の光とを選択的に照射可能であって、前記製造装置本体が前記製造モードで駆動されているときには、前記第１の光を照射せずに前記第２の光を照射し、前記製造装置本体が前記メンテナンスモードで駆動されているときには、前記第２の光を照射せずに前記第１の光を照射する
　請求項４から６の何れか１項に記載の有機発光デバイスの製造方法。
　前記照明装置は、第１の明るさレベルと前記第１の明るさレベルよりも明るい第２の明るさレベルとを含む複数の明るさレベルで選択的に点灯可能であって、α×１７５００よりも小さい所定の値をＤとした場合、前記積算照度ＥＴが、ＥＴ＜Ｄ（ルクス×時間）の関係を満たすときに、前記第２の明るさレベルで点灯し、前記積算照度ＥＴが、Ｄ≦ＥＴ＜α×１７５００（ルクス×時間）の関係を満たすときに、前記第１の明るさレベルで点灯する
　請求項１から７の何れか１項に記載の有機発光デバイスの製造方法。
　外光が遮光された環境下に設置され、
　５００ｎｍ以上の波長成分から成る光を照射する照明装置と、
　有機発光材料を含むインクを吐出するインク吐出部を有する製造装置本体と、
　前記インクが収容されたタンクと前記インク吐出部との間のインク搬送路の少なくとも一部を形成する透光性のチューブを有するインク供給ユニットと、
　前記透光性のチューブに照射される前記光の照度を検出する照度センサと、
　ユーザに対する情報を表示する表示部と、
　前記透光性のチューブに照射される前記光の照度Ｅ（ルクス）と前記光が照射される時間の長さＴ（時間）との積である積算照度ＥＴが、ＥＴ≧α×１７５００（ルクス×時間）（定数α≧１）の関係を満たすときに、前記インク搬送路内の前記インクの取り出しを促す情報を前記表示部に表示させる制御部と、を有する
　有機発光デバイスの製造システム。
　α＝１である
　請求項９に記載の有機発光デバイスの製造システム。
　前記インク搬送路全体の容積をＣｗとし、前記透光性のチューブの容積をＣｔとした場合に、α＝Ｃｗ／Ｃｔである
　請求項９に記載の有機発光デバイスの製造システム。
　前記製造装置本体は、有機発光デバイスを製造する製造モードとメンテナンスが行われるメンテナンスモードとで選択的に駆動される
　請求項９から１１の何れか１項に記載の有機発光デバイスの製造システム。
　前記製造装置本体が前記メンテナンスモードで駆動されているときには、前記照明装置と前記透光性のチューブとの間に遮光部材を有する
　請求項１２に記載の有機発光デバイスの製造システム。
　前記遮光部材が前記透光性のチューブと前記照明装置との間に介在する遮光位置と、前記遮光部材が前記透光性のチューブと前記照明装置との間に介在しない開放位置との間で、前記遮光部材を移動可能に保持する遮光部材保持部を有し、
　前記制御部は、前記製造装置本体が前記メンテナンスモードで駆動されているときには、前記遮光部材保持部に前記遮光部材を前記遮光位置で保持させ、前記製造装置本体が前記製造モードで駆動されているときには、前記遮光部材保持部に前記遮光部材を前記開放位置で保持させる
　請求項１３に記載の有機発光デバイスの製造システム。
　前記照明装置は、前記５００ｎｍ以上の波長成分から成る光を第１の光とし、６５０ｎｍ以上の波長成分から成る光を第２の光とする場合、前記第１の光を発する第１光源と前記第２の光を発する第２光源とを有し、前記第１光源と前記第２光源とを選択的に点灯可能に構成されており、
　前記制御部は、前記製造装置本体が前記製造モードで駆動されているときには、前記照明装置に前記第１光源を点灯させずに前記第２光源を点灯させ、前記製造装置本体が前記メンテナンスモードで駆動されているときには、前記照明装置に前記第２光源を点灯させずに前記第１光源を点灯させる
　請求項１２から１４の何れか１項に記載の有機発光デバイスの製造システム。
　前記照明装置は、第１の明るさレベルと前記第１の明るさレベルよりも明るい第２の明るさレベルとを含む複数の明るさレベルで選択的に点灯可能であって、
　α×１７５００よりも小さい所定の値をＤとした場合、前記制御部は、前記積算照度ＥＴが、ＥＴ＜Ｄ（ルクス×時間）の関係を満たすときに、前記照明装置を前記第２の明るさレベルで点灯させ、前記積算照度ＥＴが、Ｄ≦ＥＴ＜α×１７５００（ルクス×時間）の関係を満たすときに、前記照明装置を前記第１の明るさレベルで点灯させる
　請求項９から１５の何れか１項に記載の有機発光デバイスの製造システム。
　外光が遮光されて５００ｎｍ以上の波長成分から成る光を照射する照明装置が配置された環境下に設置され、
　有機発光材料を含むインクを吐出するインク吐出部を有する製造装置本体と、
　前記インクが収容されたタンクと前記インク吐出部との間のインク搬送路の少なくとも一部を形成する透光性のチューブを有するインク供給ユニットと、
　前記透光性のチューブに照射される前記光の照度を検出する照度センサと、
　ユーザに対する情報を表示する表示部と、
　前記透光性のチューブに照射される前記光の照度Ｅ（ルクス）と前記光が照射される時間の長さＴ（時間）との積である積算照度ＥＴが、ＥＴ≧α×１７５００（ルクス×時間）（定数α≧１）の関係を満たすときに、前記インク搬送路内の前記インクの取り出しを促す情報を前記表示部に表示させる制御部と、を有する
　有機発光デバイスの製造装置。
　α＝１である
　請求項１７に記載の有機発光デバイスの製造装置。
　前記インク搬送路全体の容積をＣｗとし、前記透光性のチューブの容積をＣｔとした場合に、α＝Ｃｗ／Ｃｔである
　請求項１７に記載の有機発光デバイスの製造装置。
　有機発光デバイスを製造する製造モードとメンテナンスが行われるメンテナンスモードとで選択的に駆動され、前記メンテナンスモードで駆動されているときには、前記照明装置と前記透光性のチューブとの間に遮光部材を有する
　請求項１７から１９の何れか１項に記載の有機発光デバイスの製造装置。
　有機発光材料を含むインクが内部を搬送されるチューブを有し、前記インクを用いて形成された発光層を有する有機発光デバイスを製造する製造装置であって、前記チューブは、遮光性を有する
　有機発光デバイスの製造装置。
　前記チューブは、透光性の材料から形成された第１層と、前記第１層の外側を覆い遮光性の材料から形成された第２層とを有する
　請求項２１に記載の有機発光デバイスの製造装置。
　前記第１層は、フッ素樹脂から形成されている
　請求項２２に記載の有機発光デバイスの製造装置。