WO2016017299A1 - 回路基板の実装構造、それを用いたセンサ - Google Patents

回路基板の実装構造、それを用いたセンサ Download PDF

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circuit module
sensor
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翼 渡辺
河野 務
浩昭 星加
余語 孝之
崇裕 三木
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日立オートモティブシステムズ株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a circuit board mounting structure and a sensor using the same.
  • Patent Document 1 JP 2012-163504 (Patent Document 1) as background art in this technical field.
  • a sensing element for measuring physical quantities such as temperature and humidity is provided on a circuit board on which an electronic circuit is formed, the electronic driving circuit is arranged in a housing, and the sensing element is sucked into the intake air.
  • the air flow rate measuring device having a structure exposed to the air, at least one insulating layer is provided between the circuit board and the glass or resin coat layer, and a conductor wiring for connecting the sensing element and the electronic drive circuit is provided. It is disposed under the insulating layer ”.
  • An object of the present invention is to provide a circuit board structure capable of reducing distortion of a circuit board in insert molding of the circuit board.
  • the insert molded structure according to the present invention includes a printed board on which a semiconductor component is mounted, and is an insert molded article in which a region on which the semiconductor component is not mounted is covered with a first resin.
  • the second resin having an elastic modulus smaller than the elastic modulus of the material of the printed circuit board is disposed outside the region where the main surface of the printed circuit board and the first resin overlap.
  • distortion and cracking of the circuit board can be suppressed when insert molding is used.
  • Insert molding is a method of fixing a circuit board by placing the circuit board in a mold and flowing resin around the circuit board to form a resin housing.
  • the circuit board and the housing can be joined simultaneously with the solidification of the resin, and the joining process can be simplified.
  • the housing resin comes into contact with the semiconductor component on the circuit board, a load due to the shrinkage of the resin is likely to be applied to the semiconductor component or a joint between the semiconductor component and the circuit board.
  • the substrate since the resin is dammed by pressing the mold against the substrate, the substrate may be deformed by the stress from the mold, and the substrate may be distorted or cracked.
  • an intake air amount sensor mounted on an internal combustion engine of an automobile will be described as an example of insert molding using a substrate.
  • the intake air amount sensor is a flow rate sensor that measures the flow rate of gas (air), and is installed for use in intake air amount control by an electronically controlled fuel injection device mounted on an internal combustion engine.
  • a sensor chip having a thin diaphragm is used for the intake air amount sensor, and the measurement data of the sensor chip is collected and corrected by the control chip and output to the outside.
  • FIG. 1 shows a circuit module on which a semiconductor chip having a control circuit or the like is mounted
  • FIG. 2 shows a mounting configuration of the circuit module obtained by cutting the semiconductor chip in FIG.
  • the circuit module includes, for example, a first semiconductor chip 3 having a diaphragm 2 and a second semiconductor chip 4 having a control circuit on a printed board 1 made of a material in which glass fibers and a resin are laminated.
  • the printed circuit board 1 and the first semiconductor chip 3 are assembled with a first adhesive 5, and the printed circuit board 1 and the second semiconductor chip 4 are assembled with a second adhesive 6.
  • a conductor wiring 8 and a wiring pad 9 for the conductor wiring are formed, and the first semiconductor chip 3 and the second semiconductor chip 4 are connected via the wire 7, the conductor wiring 8, and the wiring pad 9.
  • the second semiconductor chip 4 is connected to the conductor wiring 8 through the wire 7.
  • a potting 10 is installed to protect the wire 7.
  • thermosetting resin such as an epoxy resin or a polyurethane resin, or a thermoplastic resin such as polyimide or an acrylic resin
  • a filler such as glass or mica can be mixed in the resin. it can.
  • circuit module mounting structure For the circuit module mounting structure described above, a manufacturing method for joining the circuit module and the housing while the area where the semiconductor component is mounted is exposed will be described.
  • FIG. 3 shows a mold structure for molding a circuit module while exposing a region where semiconductor components are mounted.
  • the circuit module mounted on the mold provided with the upper mold 11 and the lower mold 12 and the connector lead 13 are inserted, and the cavity portion 14 is formed by holding the circuit module with the clamp portion 15 of the mold. Resin 16 is filled.
  • the circuit module wiring pads 9 and connector leads 13 are connected via wires 17. Further, in order to protect the circuit chamber 18 that is a space including the wires 17, an upper cover 19 and a lower cover 20 are joined to the upper and lower sides, respectively.
  • a sensor module capable of joining the circuit module and the housing with the semiconductor components on the circuit module exposed and outputting a detection signal from the circuit module to the outside is completed.
  • the upper mold 11 and the lower mold 12 are used to suppress the area where the circuit module member 21 is installed in the clamp portion 15, and the cavity portion 14 is filled with the resin 17 to form the housing. At the same time as forming, the circuit module and the housing are joined.
  • the elastic modulus of the member 21 and the elastic modulus of the printed circuit board 1 are desirably compared at a temperature of 25 ° C. (room temperature).
  • the elastic modulus can be compared between the elastic coefficient of the member 21 and the elastic coefficient of the base material constituting the printed circuit board 1.
  • the hardness referred to here can be compared by, for example, any of Vickers hardness at room temperature, micro Vickers hardness, Brinell hardness, or Rockwell hardness.
  • the member 21 can be made of a thermosetting resin such as an epoxy resin or a phenol resin, or a thermoplastic resin such as polycarbonate or polyethylene terephthalate, and the resin can be filled with glass or mica. Materials can also be mixed.
  • a thermosetting resin such as an epoxy resin or a phenol resin
  • a thermoplastic resin such as polycarbonate or polyethylene terephthalate
  • Example 2 Next, the case where the wiring protection resist is arranged on the wiring in the printed circuit board 1 of the first embodiment will be described.
  • the wiring 8 embedded in the printed circuit board 1 in FIG. 1 is formed on the substrate, and a wiring protection resist 23 is disposed to protect the wiring 8.
  • the member 21 described above can also be applied to the configuration of the circuit board shown in FIG. In this case, it is possible to use the same material as the wiring protection resist 23 as long as the member 21 satisfies the condition that the elastic coefficient is lower than that of the circuit board. In this embodiment, since the member 21 can be installed at the same time as the installation process of the wiring protection resist 23, the process can be simplified.
  • FIG. 8 shows a mounting configuration of the circuit module according to the third embodiment.
  • a significant difference from the first and second embodiments is that a member 24 corresponding to the member 21 in the first and second embodiments is also added to the region of the joint 27 shown in FIGS.
  • the third semiconductor chip 25 is connected to the wiring pad 9 through the outer leads 26 led out from the third semiconductor chip 25.
  • insert molding is performed in order to join the circuit module and the housing with the region where the semiconductor component of the circuit module is mounted exposed.
  • a member 24 is installed on the main surface of the circuit board 1 in an area where the circuit board 1 and the mold clamp portion 15 overlap and an area including the circuit board / resin joint 27.
  • the thermal stress generated after molding due to the difference in the linear expansion coefficient between the circuit board 1 and the resin 16 can be alleviated by the installation of the member 21 to the joint portion 27, so that the distortion of the circuit board and the prevention of separation of the joint portion are possible. It is.
  • Example 4 This embodiment is an embodiment in which the present invention is applied to a circuit board in which the conductor wiring 22 is also arranged in the clamp portion 15 and the joint portion 27.
  • not only the wiring protection resist 23 is provided in the region other than the wiring pad 9 of the conductor wiring 22 and the region 28 where the conductor wiring is exposed.
  • the conductor wiring 22 is also arranged in the portion 27.
  • a member 24 is also disposed on the conductor wiring 22 disposed at the clamp portion 15 and the joint portion 27.
  • insert molding is performed to join the circuit module and the housing while exposing the region 28 where the semiconductor components of the circuit module are mounted.
  • the procedure for insert molding using a mold is the same as in Examples 1 to 3.
  • the member 24 is arranged in a wide range as in the third embodiment, it is not necessary to arrange the member 24 with high accuracy in the region where the mold contacts, and the arrangement of the member 24 is the first and second embodiments. It is easier than Therefore, it is possible to improve yield deterioration.
  • the thermal stress generated after molding due to the difference in linear expansion coefficient between the printed circuit board 1 and the resin 16 can be relaxed, and the distortion of the circuit board can be reduced and the separation of the joint portion can be prevented.
  • the above is an example of a component in which an intake air amount sensor is insert-molded.
  • the present invention is not limited to this, and can be used for any component in which a circuit board, particularly a printed board, is insert-molded. .

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Abstract

回路基板が、回路基板上に搭載された半導体部品が露出された状態でハウジングと一体的にインサートモールド成形されるモジュールにおいて、モールド樹脂を堰き止めるための金型による回路基板への加圧によって生じる回路基板の歪みを低減する。 回路基板が、回路基板上に搭載された半導体部品が露出された状態でハウジングと一体的にインサートモールド成形されるモジュールにおいて、回路基板上の金型押え部の投影領域に、回路基板よりも小さい弾性率を有する材料を設置することにより、回路基板の歪みを低減する。

Description

回路基板の実装構造、それを用いたセンサ
本発明は、回路基板の実装構造、それを用いたセンサに関する。 
 本技術分野の背景技術として、特開2012-163504号公報(特許文献1)がある。この公報には、「電子回路が形成された回路基板上に温度、湿度等の物理量を計測するセンシング素子が設けられ、前記電子駆動回路を筐体の中に配置し、前記センシング素子を吸入空気に晒す構造を有する空気流量測定装置において、前記回路基板とガラスまたは樹脂コート層との間に少なくとも1層以上の絶縁層を設け、前記センシング素子と前記電子駆動回路との接続を行う導体配線を前記絶縁層の下に配置する。」と記載されている。
特開2012-163504号公報
 本発明は、回路基板のインサートモールド成形において、回路基板の歪みを低減できる回路基板構造を提供することを目的とする。
 本発明のインサートモールド成形された構造物は、半導体部品が実装されたプリント基板を含み、プリント基板上の半導体部品が搭載されていない領域が第一の樹脂で覆われたインサートモールド成形品であり、プリント基板の主面と第一の樹脂とが重なる領域の外側に、プリント基板の材料の弾性率よりも、小さい弾性率を有する第二の樹脂が設置されている。
 本発明によれば、インサートモールド成形を用いる場合において、回路基板の歪みや割れを抑制することができる。
本発明の実施例1の回路モジュールの実装構成を示す図である。 本発明の実施例1の回路モジュールについて、図1のA―A線で切断した断面図である。 本発明の実施例1の回路モジュールにハウジングを形成し回路モジュールを固定するための金型構造を示す断面図である。 本発明の実施例1の回路モジュールにハウジングを形成した回路基板の実装構造を示す断面図である。 本発明の実施例2の回路モジュールの実装構成を示す図である。 本発明の実施例2の回路モジュールについて、図5のA―A線で切断した断面図である。 本発明の実施例2の回路モジュールにハウジングを形成し回路モジュールを固定するための金型構造を示す断面図である。 本発明の実施例3の回路モジュールの実装構成を示す図である。 本発明の実施例3の回路モジュールについて、図8のA―A線で切断した断面図である。 本発明の実施例3の回路モジュールにハウジングを形成し回路モジュールを固定するための金型構造を示す断面図である。 本発明の実施例3の回路モジュールにハウジングを形成した回路基板の実装構造を示す断面図である。 本発明の実施例4の回路モジュールの実装構成を示す図である。 本発明の実施例4の回路モジュールについて、図12のA―A線で切断した断面図である。 本発明の実施例4の回路モジュールにハウジングを形成し回路モジュールを固定するための金型構造を示す断面図である。 本発明の実施例4の回路モジュールにハウジングを形成した回路基板の実装構造を示す断面図である。
 現在、自動車などの内燃機関にはセンサ、エンジンコントロールユニット、電子制御スロットルなどの電子回路を含むモジュールが搭載されている。これらのモジュールには半導体部品が搭載された回路基板が用いられており、その回路基板はハウジング内部に収められている。従来は半導体部品が搭載された回路基板を、樹脂製のハウジングに接着剤で接合し固定していた。しかしこの方法では、接着剤の塗布工程や硬化工程が必要となり、モジュール製造工程におけるスループットが低下してしまう。そのため、その他の方法としてインサートモールド成形という方法がある。
 インサートモールド成形は、回路基板を金型内に配置し、回路基板の周りに樹脂を流して樹脂製のハウジングを形成することで回路基板を固定する方法である。このインサートモールド成形の方法では、回路基板に直接溶融した樹脂を接触させるため、樹脂の固化と同時に回路基板とハウジングを接合することができ、接合工程の簡略化が可能である。ここで、回路基板上の半導体部品にハウジング樹脂が接触すると、半導体部品や半導体部品と回路基板との接合部に樹脂の収縮による負荷が加わりやすくなる。そのため、半導体部品の搭載領域を金型で囲い、この搭載領域およびその周辺の基板が樹脂で覆われないようにして、樹脂を流し込んでハウジングを形成する必要がある。しかし、この方法では基板に金型を押し付けて樹脂を堰き止めるため、金型からの応力により基板が変形し、基板に歪みや割れが生じる恐れがあった。
 (実施例1)
 以下の実施例は、基板を用いたインサートモールド成形の例として、自動車の内燃機関に搭載される吸入空気量センサを例に挙げて説明する。吸入空気量センサとは気体(空気)の流量を測定する流量センサであり、内燃機関に搭載されている電子制御燃料噴射装置による吸入空気量制御に利用するために設置されている。吸入空気量センサには薄肉のダイヤフラムを有するセンサチップが用いられており、センサチップでの計測データを、制御チップで収集・補正し、外部に出力する仕組みとなっている。
 以下、図面を参照しながら説明する。
 図1は、制御回路等を有する半導体チップを搭載した回路モジュールを示し、図2は、図1の半導体チップをA―A線で切断した回路モジュールの実装構成を示す。
 図2において回路モジュールは、例えば、ガラス繊維と樹脂が積層された材料からなるプリント基板1上にダイヤフラム2を有する第一半導体チップ3と制御回路を有する第二半導体チップ4が搭載されている。プリント基板1と第一半導体チップ3は第一接着剤5、プリント基板1と第二半導体チップ4は第二接着剤6によってそれぞれ組み付けられている。プリント基板1には内部に導体配線8と導体配線の配線パッド9が形成されており、第一半導体チップ3と第二半導体チップ4はワイヤ7と導体配線8、配線パッド9を介して接続され、第二半導体チップ4はワイヤ7を介して導体配線8に接続されている。ワイヤ7を保護するために、ポッティング10が設置されている。
 上述したプリント基板1と第一半導体チップ3を接着している第一接着剤5や、プリント基板1と第二半導体チップ4を接着している第二接着剤6、ワイヤ7を保護するためのポッティング9は、例えば、エポキシ樹脂やポリウレタン樹脂などの熱硬化性樹脂、ポリイミドやアクリル樹脂などの熱可塑性樹脂を使用することができるとともに、樹脂中にガラスやマイカなどの充填材を混入させることもできる。
 以上の回路モジュールの実装構造を対象として、半導体部品が搭載された領域を露出させたまま、回路モジュールとハウジングを接合するための製造方法を説明する。
 図3は、半導体部品が搭載された領域を露出させたままで回路モジュールをモールドするための金型構造を示す。上金型11、下金型12を設けた金型に実装した回路モジュールとコネクタリード13を入れ、空洞部14を、金型のクランプ部15で回路モジュールを抑えて形成し、空洞部14に樹脂16を充填する。
 次に図4に示すように、回路モジュールの配線パッド9とコネクタリード13を、ワイヤ17を介して接続する。さらにワイヤ17を含む空間である回路室18を保護するために、上下それぞれに上カバー19、下カバー20を接合する。以上の工程により、回路モジュール上の半導体部品を露出させたまま、回路モジュールとハウジングを接合し、回路モジュールからの検出信号を外部に出力することが可能なセンサモジュールが完成する。
 ここで、従来のインサートモールド成形の問題点と、本実施例の特徴について説明する。回路モジュールをインサートモールドする際には、樹脂16が半導体部品の方まで流れ出ないように金型のクランプ部15でプリント基板1を抑える必要がある。この時にクランプ部15の負荷が過大であると、プリント基板1に歪みが生じてしまう。また、プリント基板1の厚さが製造上でばらついて増加した場合には、さらにその歪みが増加する恐れがある。従来は、クランプ部15の位置には何も配置されておらず、金型はプリント基板1に直接接触した状態でモールド樹脂が流し込まれていた。本実施例では、図3及び図4に示されているように、プリント基板1上の金型クランプ部15に、プリント基板1の平均的な弾性係数よりも弾性係数が小さい部材21が追加されている。図3に示されるように、上金型11と下金型12を用いてクランプ部15で回路モジュールの部材21が設置された領域を抑えて、空洞部14に樹脂17を充填してハウジングを形成すると同時に、回路モジュールとハウジングを接合する。
 ここで言う弾性係数とは、弾性体内の応力とひずみが互いに比例するというフックの法則を、「応力σがひずみεに比例する」という形に表したとき、即ちσ=Eεにおける比例定数Eをいう。  
 例えば、部材21の弾性係数と、プリント基板1の弾性係数の比較は、温度25℃(室温)で比較することが望ましい。また、弾性係数の比較は、部材21の弾性係数と、プリント基板1を構成する基材の弾性係数の間で行なうことができる。 
 以上では、部材21とプリント基板1の弾性係数の比較について説明したが、その基本理念は、プリント基板1よりも硬さが柔らかい部材21を使用する点にある。ここでいう硬さは、例えば、室温でのビッカース硬さ、マイクロビッカース硬さ、ブリネル硬さ、あるいは、ロックウェル硬さのいずれかで比較することができる。
 この部材21には例えば上述の条件を満たしていれば、エポキシ樹脂やフェノール樹脂などの熱硬化性樹脂、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレートなどの熱可塑性樹脂を使用できるとともに、樹脂中にガラスやマイカなどの充填材を混入させることもできる。
 これにより、インサートモールド成形する際に、部材21により金型が回路基板に与える負荷を低減し、プリント基板1に発生する歪みを低減することが可能となる。
 (実施例2)
 次に、実施例1のプリント基板1において、配線の上に配線保護レジストを配置した場合について説明する。
 図5は、図1においてプリント基板1内に埋め込まれていた配線8が基板上に形成されており、これを保護するために配線保護レジスト23が配置されている。
上述の部材21は、図5に示す回路基板の構成においても適用が可能である。この場合、部材21が回路基板よりも弾性係数が低いという条件を満たしていれば、配線保護レジスト23と同一な材料を使用することも可能である。この実施例においては、配線保護レジスト23の設置工程で部材21の設置も同時にできるため、工程簡略化が可能となる。
 (実施例3)
 実施の形態3の回路モジュールの実装構成を図8に示す。実施例1、2と大きく異なる点は、図8~11に示されている接合部27の領域にも、実施例1、2における部材21に相当する部材24が追加されている点である。
 図8において、第三半導体チップ25は、第三半導体チップ25から導出されたアウターリード26を介して配線パッド9と接続されている。この実装構造を対象として、回路モジュールの半導体部品が搭載された領域を露出させたまま、回路モジュールとハウジングを接合するためにインサートモールド成形を行う。回路基板1の主面に、回路基板1と金型クランプ部15が重なる領域と回路基板と樹脂の接合部27を含めた領域に部材24が設置されている。
 この実施例によれば、金型が接触する領域に高精度で配置する必要がなく、部材24の配置が実施例1、2に比べて容易である。したがって、歩留まりの悪化を改善することができる。さらに、回路基板1と樹脂16の線膨張係数差によってモールド後に生じる熱応力を、接合部27への部材21の設置により緩和することができ、回路基板の歪み低減と接合部の分離防止が可能である。
 (実施例4)
 本実施例は、クランプ部15と接合部27にも導体配線22が配置されている回路基板について本発明を適用した実施例である。
 実施例2、3と同様に導体配線22の配線パッド9以外の領域と、導体配線が露出する領域28に配線保護レジスト23が設置されているだけでなく、本実施例ではクランプ部15と接合部27にも導体配線22が配置されている。また、このクランプ部15と接合部27に配置された導体配線22の上にも部材24が配置されている。
 このような実装構造を対象として、回路モジュールの半導体部品が搭載された領域28を露出させたまま、回路モジュールとハウジングを接合するためにインサートモールド成形を行う。金型を用いたインサートモールド成形の手順については実施例1~3と同様である。この実施例によれば、実施例3と同様に広範囲に部材24を配置しているため、金型が接触する領域に高精度で配置する必要がなく、部材24の配置が実施例1、2に比べて容易である。したがって、歩留まりの悪化を改善することができる。またプリント基板1と樹脂16の線膨張係数差によってモールド後に生じる熱応力を緩和することができ、回路基板の歪み低減と接合部の分離防止が可能である。
 以上は、吸入空気量センサをインサートモールド成形した部品の例を示したが、本発明はこれだけに限定されるものではなく、回路基板、中でもプリント基板をインサートモールドした任意の部品に用いることができる。
 以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
 1…プリント基板、2…ダイヤフラム、3…第一半導体チップ、4…第二半導体チップ、5…第一接着剤、6…第二接着剤、7…ワイヤ、8…導体配線、9…配線パッド、10…ポッティング、11…上金型、12…下金型、13…コネクタリード、14…空洞部、15…クランプ部、16…樹脂、17…ワイヤ、18…回路室、19…上カバー、20…下カバー、21…部材、22…導体配線、23…配線保護レジスト、24…部材、25…第三半導体チップ、26…アウターリード、27…接合部、28…導体配線が露出する領域

Claims (6)

  1.  半導体部品が実装されたプリント基板を含み、該プリント基板上の前記半導体部品が搭載されていない領域が第一の樹脂で覆われたインサートモールド品において、
     前記プリント基板の主面と前記第一の樹脂とが重なる領域の外側に、前記プリント基板の材料の弾性率よりも、小さい弾性率を有する第二の樹脂が設置されていることを特徴とするインサートモールド品構造。
  2.  請求項1記載のインサートモールド品構造であって、プリント基板に流量センシング用半導体を露出した状態で設置したことを特徴とするセンサ構造。
  3.  請求項1、2記載のセンサ構造であって、前記プリント基板に設置される前記第二の樹脂が、前記第一の樹脂と接していることを特徴とするセンサ構造。
  4.  請求項1、2記載のセンサ構造であって、前記プリント基板に設置される前記第二の樹脂は前記プリント基板上に形成された導体配線上に設置される材料と同一であることを特徴とするセンサ構造。
  5.  請求項1、2記載のセンサ構造であって、前記プリント基板に設置される前記第二の樹脂が前記第一の樹脂とプリント基板とが重なる領域に設置されていることを特徴とするセンサ構造。
  6. 請求項1記載のインサートモールド品構造を有するセンサ。
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US15/316,981 US10031006B2 (en) 2014-07-30 2015-06-15 Sensor including a printed circuit board with semiconductor parts having a first and second resin
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017056572A1 (ja) * 2015-09-30 2017-04-06 日立オートモティブシステムズ株式会社 樹脂成形体およびセンサ装置
JP2017150929A (ja) * 2016-02-24 2017-08-31 日立オートモティブシステムズ株式会社 物理量検出装置
WO2018088141A1 (ja) * 2016-11-14 2018-05-17 日立オートモティブシステムズ株式会社 半導体モジュール
JP2019158444A (ja) * 2018-03-09 2019-09-19 オムロン株式会社 電子装置およびその製造方法

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10264664B1 (en) 2015-06-04 2019-04-16 Vlt, Inc. Method of electrically interconnecting circuit assemblies
US10903734B1 (en) 2016-04-05 2021-01-26 Vicor Corporation Delivering power to semiconductor loads
US11336167B1 (en) 2016-04-05 2022-05-17 Vicor Corporation Delivering power to semiconductor loads
US10158357B1 (en) 2016-04-05 2018-12-18 Vlt, Inc. Method and apparatus for delivering power to semiconductors
US10785871B1 (en) * 2018-12-12 2020-09-22 Vlt, Inc. Panel molded electronic assemblies with integral terminals
JP6915160B2 (ja) * 2018-05-22 2021-08-04 日立Astemo株式会社 物理量検出装置
DE102020211142B4 (de) * 2020-09-03 2022-08-18 Vitesco Technologies GmbH Gassensor für ein Fahrzeug
CN112802776B (zh) * 2020-12-31 2023-10-20 苏州首肯机械有限公司 伺服半导体封装压机智能化压力控制系统及控制方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001012987A (ja) * 1999-06-30 2001-01-19 Hitachi Ltd 熱式空気流量センサ
JP2007033411A (ja) * 2005-07-29 2007-02-08 Denso Corp センサ装置の製造方法及びセンサ装置
JP2010169460A (ja) * 2009-01-21 2010-08-05 Denso Corp 流量式センサ

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08236560A (ja) * 1995-03-01 1996-09-13 Hitachi Ltd 半導体集積回路装置およびその製造方法
JP4017480B2 (ja) * 2002-09-24 2007-12-05 Towa株式会社 樹脂封止金型
JP2006211468A (ja) * 2005-01-31 2006-08-10 Sanyo Electric Co Ltd 半導体センサ
JP4548199B2 (ja) * 2005-04-22 2010-09-22 株式会社デンソー 電子回路装置の製造方法
JP4674529B2 (ja) * 2005-11-07 2011-04-20 株式会社デンソー 湿度センサ装置及びその製造方法
JP4882732B2 (ja) * 2006-12-22 2012-02-22 株式会社デンソー 半導体装置
ITMI20072099A1 (it) * 2007-10-30 2009-04-30 St Microelectronics Srl Metodo di fabbricazione di un dispositivo elettronico comprendente dispositivi mems incapsulati per stampaggio
JP5068150B2 (ja) * 2007-11-30 2012-11-07 ジヤトコ株式会社 電気的解析の可能な制御基板ユニット
JP5208099B2 (ja) * 2009-12-11 2013-06-12 日立オートモティブシステムズ株式会社 流量センサとその製造方法、及び流量センサモジュール
JP5563917B2 (ja) * 2010-07-22 2014-07-30 セミコンダクター・コンポーネンツ・インダストリーズ・リミテッド・ライアビリティ・カンパニー 回路装置及びその製造方法
WO2012049742A1 (ja) * 2010-10-13 2012-04-19 日立オートモティブシステムズ株式会社 流量センサおよびその製造方法並びに流量センサモジュールおよびその製造方法
JP5645693B2 (ja) 2011-02-09 2014-12-24 日立オートモティブシステムズ株式会社 空気流量測定装置
JP5526065B2 (ja) * 2011-03-25 2014-06-18 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式センサおよびその製造方法
WO2013008273A1 (ja) * 2011-07-13 2013-01-17 日立オートモティブシステムズ株式会社 流量計
JP2013188997A (ja) * 2012-03-15 2013-09-26 Toyota Motor Corp 樹脂封止部品の製造方法
JP5965706B2 (ja) * 2012-04-12 2016-08-10 日立オートモティブシステムズ株式会社 流量センサの製造方法
JP5675716B2 (ja) * 2012-06-29 2015-02-25 日立オートモティブシステムズ株式会社 熱式空気流量センサ
JP6018903B2 (ja) * 2012-12-17 2016-11-02 日立オートモティブシステムズ株式会社 物理量センサ
JP5949667B2 (ja) * 2013-06-03 2016-07-13 株式会社デンソー モールドパッケージおよびその製造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001012987A (ja) * 1999-06-30 2001-01-19 Hitachi Ltd 熱式空気流量センサ
JP2007033411A (ja) * 2005-07-29 2007-02-08 Denso Corp センサ装置の製造方法及びセンサ装置
JP2010169460A (ja) * 2009-01-21 2010-08-05 Denso Corp 流量式センサ

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP3176543A4 *

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017056572A1 (ja) * 2015-09-30 2017-04-06 日立オートモティブシステムズ株式会社 樹脂成形体およびセンサ装置
JPWO2017056572A1 (ja) * 2015-09-30 2018-02-08 日立オートモティブシステムズ株式会社 樹脂成形体およびセンサ装置
US10217684B2 (en) 2015-09-30 2019-02-26 Hitachi Automotive Systems, Ltd. Resin molding and sensor device
JP2017150929A (ja) * 2016-02-24 2017-08-31 日立オートモティブシステムズ株式会社 物理量検出装置
WO2018088141A1 (ja) * 2016-11-14 2018-05-17 日立オートモティブシステムズ株式会社 半導体モジュール
JP2018081959A (ja) * 2016-11-14 2018-05-24 日立オートモティブシステムズ株式会社 半導体モジュール
US10644423B2 (en) 2016-11-14 2020-05-05 Hitachi Automotive Systems, Ltd. Semiconductor module
JP2019158444A (ja) * 2018-03-09 2019-09-19 オムロン株式会社 電子装置およびその製造方法

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Publication number Publication date
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