WO2015152255A1

WO2015152255A1 - 支持装置及び検査方法

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Publication number: WO2015152255A1
Application number: PCT/JP2015/060156
Authority: WO
Inventors: 忠夫伊佐見
Original assignee: 株式会社ニコン
Priority date: 2014-03-31
Filing date: 2015-03-31
Publication date: 2015-10-08
Also published as: EP3128331A1; JP2018138932A; JPWO2015152255A1; US20170274382A1; EP3128331A4

Abstract

　支持装置（１）は、柱状の第１部材（１２）と、第１部材の外面（１２２ｃ）の少なくとも一部と対向可能な内面（１３ｂ）を備え、且つ、内面によって規定される筒内に第１部材の少なくとも一部が挿入されている筒状の第２部材（１３）とを備え、第１及び第２部材の状態は、第１状態から第２状態へと遷移可能であり、第１状態は、第２部材の内面の少なくとも一部（１３ｂ－１）と外面とは異なる第１部材の一方側の端面（１２２ａ）とによって囲まれる所定空間（ＳＰ１）が確保されている状態を含み、第２状態は、第１状態における第１及び第２部材の位置を基準として、第１部材に対して第２部材が他方側に向かって相対的に移動している状態を含む。

Description

支持装置及び検査方法

　本発明は、例えば、バイオチップ等の支持対象物を支持可能な支持装置及びこのような支持装置を用いた検査方法の技術分野に関する。

　この種の支持装置として、例えば、分子診断に用いられるウェルプレートが知られている。例えば、特許文献１には、ウェルプレートとして機能するバイオリアクションデバイスチップが開示されている。特許文献１に開示されているバイオリアクションデバイスチップでは、各ウェルの底面に、ＤＮＡチップが形成されている。この場合、分注装置により、分子診断を行う対象物たる試料（例えば、体液）が、各ウェル内に注入される。その後、スキャナ等の測定装置により、試料に対するＤＮＡチップの反応が光学的に検出される。その後、測定装置による測定結果が解析されることで、試料の分子診断が行われる。

特開２０１３－１８１９７６号公報

　しかしながら、試料に対するＤＮＡチップの反応を高精度に検出するためには、測定装置（特に、測定装置が備える、対物レンズ等の観察系）とＤＮＡチップとをできる限り接近させることが好ましい。しかしながら、上述したウェルプレートでは、ＤＮＡチップがウェルの底面に形成されているがゆえに、ＤＮＡチップに対する測定装置の接近がウェルを構成する側壁によって阻害されかねないという技術的問題点が生ずる。

　一方で、測定装置とＤＮＡチップとをできる限り接近させるための一つの方法として、ＤＮＡチップをウェル以外の構造物（例えば、柱状の構造物）上に形成する方法が想定される。しかしながら、ＤＮＡチップがウェル以外の構造物上に単に形成されるだけでは、ＤＮＡチップと反応させるために注入される試料をウェルによって保持することができなくなってしまう。従って、ＤＮＡチップと反応させるために注入される試料を保持するためには、ＤＮＡチップは、ウェルの如き構造物内に形成されることが好ましい。

　尚、このような技術的問題点は、ウェルの底面にＤＮＡチップが形成されている場合のみならず、任意の保持対象物（例えば、試料）を空間内に保持しつつ、当該空間を形成する所定面（例えば、ＤＮＡチップの形成面）に任意の接近対象物（例えば、測定装置）を接近させることが望まれる場合にも同様に生じ得る。

　本発明は、任意の保持対象物を空間内に保持しつつ、当該空間を形成する所定面に任意の接近対象物を接近させることが可能な支持装置及びこのような支持装置を用いた検査方法を提供することを課題とする。

　上記課題を解決する支持装置は、柱状の第１部材と、前記第１部材の外面の少なくとも一部と対向可能な内面を備え、且つ、前記内面によって規定される筒内に前記第１部材の少なくとも一部が挿入されている筒状の第２部材とを備えており、前記第１及び第２部材の状態は、第１状態から第２状態へと遷移可能であり、前記第１状態は、前記第２部材の前記内面の少なくとも一部と前記外面とは異なる前記第１部材の一方側の端面とによって囲まれる所定空間が確保されている状態を含み、前記第２状態は、前記第１状態における前記第１及び第２部材の位置を基準として、前記第１部材に対して前記第２部材が前記一方側とは逆の他方側に向かって相対的に移動している状態を含む。

　上記課題を解決する検査方法は、柱状の第１部材と、前記第１部材の外面の少なくとも一部に対向可能な内面を備え、且つ、前記内面によって規定される筒内に前記第１部材の少なくとも一部が挿入されている筒状の第２部材とを備える支持装置を用いた検査方法であって、前記第２部材の前記内面の少なくとも一部と前記外面とは異なる前記第１部材の一方側の端面とによって囲まれる所定空間が確保されている状態で、前記所定空間に検査対象試料を注入し、前記検査対象試料が注入されている間の前記第１及び第２部材の位置を基準として、前記第１部材に対して前記第２部材が前記一方側とは逆の他方側に向かって相対的に移動するように、前記第１及び第２部材の少なくとも一方を移動させ、前記第１及び第２部材の少なくとも一方を移動させた後に、前記第１部材の一方側の端面に測定装置を近づける。

　本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための形態から明らかにされる。

＋Ｚ側から観察される第１実施形態の支持装置を示す平面図である。＋Ｙ側から観察される第１実施形態の支持装置を示す側面図である。支持装置のＩ－Ｉ’断面図である＋Ｚ側から観察される第１柱状部材の平面図、第１柱状部材のＩＶ－ＩＶ’断面図、＋Ｙ側から観察される第１柱状部材の側面図、及び、第１柱状部材のＩＶ－ＩＶ’断面図のうち溶着部材付近を拡大した断面図である。＋Ｚ側から観察される第２柱状部材の平面図、第２柱状部材のＶ－Ｖ’断面図、＋Ｙ側から観察される第２柱状部材の側面図、及び、－Ｚ側から観察される第１柱状部材の平面図である。＋Ｚ側から観察される筒状部材の平面図、筒状部材のＶＩ－ＶＩ’断面図、＋Ｙ側から観察される筒状部材の側面図、及び、筒状部材のＶＩ－ＶＩ’断面図のうち内面付近を拡大した断面図である４つの突起部と４つの穴部とが嵌合している初期での、第１柱状部材、第２柱状部材及び筒状部材のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。第１実施形態の支持装置を製造する各工程が実行されている際の支持装置のＸＺ平面に平行な断面を示す断面図である。第１実施形態の支持装置を使用する際の支持装置のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。バイオチップを支持する第１実施形態の支持装置を使用する際の支持装置のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。第２実施形態の支持装置が備える第１柱状部材、第２柱状部材及び筒状部材のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。第３実施形態の支持装置が備える第１柱状部材、第２柱状部材及び筒状部材のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。第４実施形態の支持装置が備える第１柱状部材、第２柱状部材及び筒状部材のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。＋Ｚ側から観察した第５実施形態の支持装置が備える第１柱状部材の平面図、第１柱状部材のＸＩＶ－ＸＩＶ’断面図、並びに、第５実施形態の支持装置５が備える第１柱状部材、第２柱状部材及び筒状部材のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。第６実施形態の支持装置が備える第１柱状部材、第２柱状部材及び筒状部材のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。第７実施形態の支持装置が備える第１柱状部材、第２柱状部材及び筒状部材のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。＋Ｚ側から観察した第８実施形態の支持装置が備える筒状部材の平面図、及び、筒状部材のＸＶＩＩ－ＸＶＩＩ’断面図である。＋Ｚ側から観察される第９実施形態の支持装置を示す平面図及びＸＶＩＩＩ－ＸＶＩＩＩ’断面図である。柱状部材が備える第１柱状部材及び第２柱状部材のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。＋Ｚ側から観察される可動部材の平面図、可動部材のＸＸ（１）－ＸＸ（１）’断面図、可動部材のＸＸ（２）－ＸＸ（２）’断面図、及び、突起部が形成される第１面の拡大図である。＋Ｚ側から観察されるゴム膜の平面図、柱状部材に固定されるゴム膜を柱状部材と共に示す、ＸＺ平面に沿った断面図、柱状部材に固定されるゴム膜を柱状部材と共に示す、＋Ｚ側から観察される平面図である。初期状態での支持装置のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図、及び、最終状態での支持装置のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。本実施形態の検査装置の構成の一例を示す模式図である。本実施形態の測定装置の構成の一例を示す模式図である。検査装置が行う検査動作（主として、試料を分注してからバイオチップの反応を測定するまでの動作）の流れの一例を示すフローチャートである。

　以下、図面を参照しながら、本発明の支持装置及び検査方法の実施形態について説明する。但し、本発明が以下に説明する実施形態に限定されることはない。

　以下の説明では、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸から定義されるＸＹＺ直交座標系を用いて、支持装置を構成する各種構成要素の位置関係について説明する。尚、以下の説明では、説明の便宜上、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の夫々が水平方向（つまり、水平面内の所定方向）であり、Ｚ軸方向が鉛直方向（つまり、水平面に直交する方向であり、実質的には上下方向）であるものとする。

　（１）第１実施形態の支持装置１
　図１から図９を参照しながら、第１実施形態の支持装置１について説明を進める。以下では、説明の便宜上、第１実施形態の支持装置１の構成、第１実施形態の支持装置１の製造方法、及び、第１実施形態の支持装置１の使用方法について順に説明する。

　（１－１）第１実施形態の支持装置１の構成
　初めに、図１から図６を参照しながら、第１実施形態の支持装置１の構成について説明を進める。以下では、説明の便宜上、支持装置１の全体構成、支持装置１を構成する各種部材（主として、後述する柱状部材１２及び筒状部材１３）の構成、及び、支持装置１を構成する各種部材の間の相対的な位置関係について順に説明する。

　（１－１－１）第１実施形態の支持装置１の全体構成
　図１から図３を参照しながら、第１実施形態の支持装置１の全体構成について説明する。図１は、＋Ｚ側から観察される第１実施形態の支持装置１を示す平面図である。図２は、＋Ｙ側から観察される第１実施形態の支持装置１を示す側面図である。図３は、図１に示す支持装置１のＩ－Ｉ’断面図である。

　図１から図３に示すように、支持装置１は、基礎部材１１を備えている。基礎部材１１は、樹脂材料から構成されている。基礎部材１１は、透光性を有する材料から構成されている。基礎部材１１は、熱可塑性を有する材料から構成されている。このような材料（樹脂材料）の一例として、ＰＭＭＡ（Ｐｏｌｙ　Ｍｅｔｈｙｌ　Ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ：ポリメタクリル酸メチル樹脂）等のアクリル樹脂が例示される。

　基礎部材１１は、平面視多角形の板状部材である。基礎部材１１は、第１面１１１と、第２面１１２と、第３面１１３と、第４面１１４と、第５面１１５と、第６面１１６とを備えている。

　第１面１１１は、ＸＺ平面に平行な面である。第１面１１１の形状は、長方形である。尚、第１面１１１は、必要に応じて、第１側面１１１と称される場合がある。

　第２面１１２は、ＸＺ平面に平行な面である。第２面１１２は、第１面１１１に平行な面である。第２面１１２は、第１面１１１よりも＋Ｙ側に位置する面である。第２面１１２の形状は、長方形である。第２面１１２の形状は、第１面１１１の形状と同じである。尚、第２面１１２は、必要に応じて、第２側面１１２と称される場合がある。

　第３面１１３は、ＹＺ平面に平行な面である。第３面１１３は、第１面１１１の外縁（特に、＋Ｘ側に位置する、Ｚ軸に平行な外縁）と第２面１１２の外縁（特に、＋Ｘ側に位置する、Ｚ軸に平行な外縁）とを連結する面である。第３面１１３の形状は、長方形である。尚、第３面１１３は、必要に応じて、第３側面１１３と称される場合がある。

　第４面１１４は、ＹＺ平面に平行な面である。第４面１１４は、第３面１１３と平行な面である。第４面１１４は、第３面１１３よりも－Ｘ側に位置する面である。第４面１１３は、第１面１１１の外縁（特に、－Ｘ側に位置する、Ｚ軸に平行な外縁）と第２面１１２の外縁（特に、－Ｘ側に位置する、Ｚ軸に平行な外縁）とを連結する面である。第４面１１４の形状は、長方形である。第４面１１４の形状は、第３面１１３の形状と同じである。尚、第４面１１４は、必要に応じて、第４側面１１４と称される場合がある。

　第５面１１５は、ＸＹ平面に平行な面である。第５面１１５は、第１面１１１、第２面１１２、第３面１１３及び第４面１１４の外縁（特に、＋Ｚ側に位置する、ＺＹ平面に平行な外縁）を連結する面である。第５面１１５は、第１面１１１、第２面１１２、第３面１１３及び第４面１１４の夫々に垂直な面である。第５面１１５の形状は、長方形である。第５面１１５は、ラップ加工が施されている面である。尚、第５面１１５は、必要に応じて、上面１１５と称される場合がある。

　第５面１１５は、上方面１１５ａと下方面１１５ｂとを含んでいる。

　上方面１１５ａは、第５面１１５の外縁付近に位置する面である。上方面１１５ａは、下方面１１５ｂよりも＋Ｚ側に位置する面である。上方面１１５ａは、その高さ（例えば、第６面１１６を基準位置とする高さ）が下方面１１５ｂの高さよりも大きい面である。上方面１１５ａは、後述する柱状部材１２が形成されていない面である。

　下方面１１５ｂは、ＸＹ平面上において上方面１１５ａによって取り囲まれている面である。下方面１１５ｂは、上方面１１５ａよりも－Ｚ側に位置する面である。下方面１１５ｂは、その高さ（例えば、第６面１１６を基準位置とする高さ）が上方面１１５ａの高さよりも小さい面である。下方面１１５ｂは、後述する柱状部材１２が形成される面である。尚、図２に示す支持装置１の側面図において、説明の便宜上、下方面１１５ｂ及び当該下方面１１５ｂ上に形成される柱状部材１２の夫々が点線によって示されている。

　第６面１１６は、ＸＹ平面に平行な面である。第６面１１６は、第５面に平行な面である。第６面１１６は、第５面１１５よりも－Ｚ側に位置する面である。第６面１１６は、第１面１１１、第２面１１２、第３面１１３及び第４面１１４の外縁（特に、－Ｚ側に位置する、ＸＹ平面に平行な外縁）を連結する面である。第６面１１６は、第１面１１１、第２面１１２、第３面１１３及び第４面１１４の夫々に垂直な面である。第６面１１６の形状は、長方形である。第６面１１６は、ラップ加工が施されている面である。尚、第６面１１６は、必要に応じて、下面１１６と称される場合がある。

　第６面１１６には、穴部１１６ａが形成されている（図３参照）。穴部１１６ａは、第６面１１６から＋Ｚ側に向かって延びる穴である。穴部１１６ａは、第６面１１６から第５面１１５に向かって基礎部材１１を貫通する貫通穴でなくてもよい。穴部１１６ａは、主として基礎部材１１の軽量化を図るために又は基礎部材１１の製造コストを削減するために形成されている。

　基礎部材１１には、第１貫通穴部１１７ａ及び第２貫通穴部１１７ｂが更に形成されている。第１貫通穴部１１７ａ及び第２貫通穴部１１７ｂの夫々は、第５面１１５の上方面１１５ａから第６面１１６に向かって基礎部材１１を貫通する穴である。従って、上方面１１５ａ及び第６面１１６の夫々には、第１貫通穴部１１７ａ及び第２貫通穴部１１７ｂの夫々の開口が形成されている。尚、図２に示す支持装置１の側面図において、説明の便宜上、上方面１１５ａから第６面１１６に向けて基礎部材１１を貫通する第１貫通穴部１１７ａ及び第２貫通穴部１１７ｂの夫々が点線によって示されている。第１貫通穴部１１７ａ及び第２貫通穴部１１７ｂは、第１貫通穴部１１７ａの中心と第２貫通穴部１１７ｂの中心とを結ぶ線とがＸ軸に平行になるように形成されている。ＸＹ平面上における第１貫通穴部１１７ａの外縁の形状は、ＸＹ平面上における第２貫通穴部１１７ｂの外縁の形状とは異なる。図１に示す例では、第１貫通穴部１１７ａの外縁の形状が円形となっている一方で、第２貫通穴部１１７ｂの外縁の形状がＸ軸に沿って長軸が延伸する楕円形となっている。

　第１貫通穴部１１７ａ及び第２貫通穴部１１７ｂは、主として、後述する分注装置ＤＰ及び測定装置ＭＳ（図２３参照）内での支持装置１の位置合わせのために用いられる。例えば、分注装置ＤＰ又は測定装置ＭＳのステージに形成された位置決めピンが第１貫通穴部１１７ａ及び第２貫通穴部１１７ｂに挿入されることで、第１貫通穴部１１７ａ及び第２貫通穴部１１７ｂは支持装置１の位置合わせのために用いられる。

　基礎部材１１には、溝部１１８ａ及び１１８ｂが更に形成されている。溝部１１８ａは、第１面１１１に形成されている。溝部１１８ｂは、第２面１１２に形成されている。溝部１１８ａ及び１１８ｂは、対称となる位置に形成されている。溝部１１８ａ及び１１８ｂの夫々は、夫々がＸ軸に沿って延びると共にＹ軸に沿って並ぶ複数の溝（例えば、底部が断面Ｖ字状に形成されている溝）を含んでいる。溝部１１８ａ及び１１８ｂの夫々のＸ軸に沿った長さは、第１面１１１及び第２面１１２の少なくとも一方のＸ軸に沿った長さの１／２以上である。

　溝部１１８ａ及び１１８ｂは、主として、後述する分注装置ＤＰから測定装置ＭＳへと支持装置１を運搬する搬送装置ＡＭ（図２３参照）が支持装置１を保持するための領域として用いられる。

　支持装置１は、更に、複数の柱状部材１２を備えている。各柱状部材１２は、Ｚ軸に沿って延びる柱状の形状を有している。ＸＹ平面上における各柱状部材１２の外縁の形状は、円形である。複数の柱状部材１２は、基礎部材１１のうちの下方面１１５ｂ上に形成されている。複数の柱状部材１２は、マトリクス状に形成されている。図１から図３に示す例では、２４個の柱状部材１２が、４行×６列のマトリクス状に形成されている。

　各柱状部材１２は、樹脂材料から構成されている。各柱状部材１２は、透光性を有する材料から構成されている。各柱状部材１２は、熱可塑性を有する材料から構成されている。各柱状部材１２は、基礎部材１１を構成する材料と同一の材料から構成されている。各柱状部材１２は、各柱状部材１２の直立性（例えば、Ｚ軸に交わる方向に沿った柱状部材１２が歪みにくさを表す特性）を相対的に高めることが可能な材料から構成されている。このような材料の一例として、上述したＰＭＭＡ等のアクリル樹脂が例示される。

　各柱状部材１２は、第１柱状部材１２１と第２柱状部材１２２とを含んでいる。

　第１柱状部材１２１は、基礎部材１１の下方面１１５ｂに形成されている。第１柱状部材１２１は、下方面１１５ｂから＋Ｚ側に向かって延びる柱状の部材である。ＸＹ平面上における第１柱状部材１２１の外縁の形状は、円形である。第１柱状部材１２１は、基礎部材１１と一体化されている。第１柱状部材１２１は、基礎部材１１と一体成型されている。第１柱部材１２１の内部には、Ｚ軸に沿って延びる穴部１２１ｌが形成されている。穴部１２１ｌは、基礎部材１１の第６面１１６に開口を形成している。穴部１２１ｌは、主として、第１柱部材１１の軽量化のために形成される。

　尚、第１柱状部材１２１の構成については、後に詳述するため（図４参照）、ここでの詳細な説明を省略する。

　第２柱状部材１２２は、第１柱状部材１２１上に形成されている。第２柱状部材１２２は、第１柱状部材１２１から＋Ｚ側に向かって延びる柱状の部材である。ＸＹ平面上における第２柱状部材１２２の外縁の形状は、円形である。第２柱状部材１２２は、溶着（例えば、超音波溶着）によって第１柱状部材１２１に固着されている。第２柱状部材１２２は、所望の支持対象物を支持する部材である。所望の支持対象物の一例として、分子診断に用いられるバイオチップ１４が例示される。

　尚、第２柱状部材１２２の構成については、後に詳述するため（図５参照）、ここでの詳細な説明を省略する。

　支持装置１は、更に、複数の筒状部材１３を備えている。各筒状部材１３は、Ｚ軸に沿って延びる筒状の部材である。ＸＹ平面上における筒状部材１３の内側方向及び外側方向の夫々の外縁の形状は、円形である。つまり、ＸＹ平面上における筒状部材１３の形状は、リング形状である。各筒状部材１３は、各筒状部材１３に対応する一の柱状部材１２とセットで用いられる。このため、支持装置１は、２４個の筒状部材１３を備えている。各筒状部材１３は、各筒状部材１３に対応する一の柱状部材１２の少なくとも一部が各筒状部材１３の内部の空洞に収容又は挿入されるように、各筒状部材１３に対応する一の柱状部材１２に嵌め込まれる。尚、図２に示す支持装置１の側面図において、説明の便宜上、柱状部材１２に嵌め込まれている筒状部材１３が点線によって示されている。

　各筒状部材１３は、樹脂材料から構成されている。各筒状部材１３は、弾性を有する材料から構成されている。各筒状部材１３は、各柱状部材１２を構成する材料よりも高い弾性を有する材料から構成されている。各筒状部材１３は、各柱状部材１２を構成する材料よりもひずみが生じやすい又は撓みやすい材料から構成されている。各筒状部材１３は、各柱状部材１２を構成する材料とは異なる材料から構成されている。このような材料の一例として、ＬＤＰＥ（Ｌｏｗ　Ｄｅｎｓｉｔｙ　ＰｏｌｙＥｔｈｙｌｅｎｅ：低密度ポリエチレン）等が例示される。

　尚、筒状部材１３の構成については、後に詳述するため（図６参照）、ここでの詳細な説明を省略する。

　尚、図１から図３を用いて説明した支持装置１は一例である。従って、支持装置１の一部の構成が適宜改変されてもよい。以下、支持装置１の一部の構成の改変の例について説明する。

　基礎部材１１は、アクリル樹脂以外の樹脂から構成されていてもよい。例えば、基礎部材１１は、ＰＣ（ＰｏｌｙＣａｒｂｏｎａｔｅ：ポリカーボネート）から構成されていてもよい。基礎部材１１は、ＣＯＣ（Ｃｙｃｌｏｏｌｅｆｉｎ　Ｃｏｐｏｌｙｍｅｒ：環状オレフィンコポリマー）から構成されていてもよい。基礎部材１１は、ＰＳ（ＰｏｌｙＳｔｙｒｅｎｅ：ポリスチレン）から構成されていてもよい。基礎部材１１は、樹脂以外の材料から構成されていてもよい。基礎部材１１は、透光性を有していない材料から構成されていてもよい。基礎部材１１は、熱可塑性を有していない材料から構成されていてもよい。基礎部材１１は、平面視多角形の板状部材でなくてもよい。

　第１面１１１の少なくとも一部は、ＸＺ平面に対して傾斜している（言い換えれば、交わる、以下同じ）面であってもよい。第１面１１１の少なくとも一部は、曲面であってもよい。第１面１１１の形状は、長方形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や円形や楕円形）であってもよい。

　第２面１１２の少なくとも一部は、ＸＺ平面に対して傾斜している面であってもよい。第２面１１２の少なくとも一部は、曲面であってもよい。第２面１１２の少なくとも一部は、第１面１１１に対して傾斜している面であってもよい。第２面１１２の形状は、長方形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や円形や楕円形）であってもよい。第２面１１２の形状は、第１面１１１の形状とは異なる形状であってもよい。

　第３面１１３の少なくとも一部は、ＹＺ平面に対して傾斜している面であってもよい。第３面１１３の少なくとも一部は、曲面であってもよい。第３面１１３の形状は、長方形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や円形や楕円形）であってもよい。

　第４面１１３の少なくとも一部は、ＹＺ平面に対して傾斜している面であってもよい。第４面１１４の少なくとも一部は、曲面であってもよい。第４面１１４の少なくとも一部は、第３面１１３に対して傾斜している面であってもよい。第４面１１４の形状は、長方形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や円形や楕円形）であってもよい。第４面１１４の形状は、第３面１１３の形状とは異なる形状であってもよい。

　第５面１１５の少なくとも一部は、ＸＹ平面に対して傾斜している面であってもよい。第５面１１５の少なくとも一部は、曲面であってもよい。第５面１１５の少なくとも一部は、第１面１１１、第２面１１２、第３面１１３及び第４面１１４の少なくとも一つに対して任意の角度で傾斜している面であってもよい。第５面１１５の形状は、長方形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や円形や楕円形）であってもよい。第５面１１５は、ラップ加工が施されていない面であってもよい。

　第５面１１５は、上方面１１５ａ及び下方面１１５ｂのうちの少なくとも一方を備えていなくてもよい。この場合、第５面１１５の少なくとも一部に柱状部材１２が形成されていればよい。上方面１１５ａは、第５面１１５の外縁付近とは異なる位置に位置する面であってもよい。上方面１１５ａの少なくとも一部は、柱状部材１２が形成されている面であってもよい。下方面１１５ｂの少なくとも一部は、ＸＹ平面上において上方面１１５ａによって取り囲まれていない面であってもよい。下方面１１５ｂの少なくとも一部は、柱状部材１２が形成されていない面であってもよい。

　第６面１１６の少なくとも一部は、ＸＹ平面に対して傾斜している面であってもよい。第６面１１６の少なくとも一部は、曲面であってもよい。第６面１１６の少なくとも一部は、第５面１１５に対して傾斜している面であってもよい。第６面１１６の少なくとも一部は、第１面１１１、第２面１１２、第３面１１３及び第４面１１４の少なくとも一つに対して任意の角度で傾斜している面であってもよい。第６面１１６の形状は、長方形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や円形や楕円形）であってもよい。第６面１１６は、ラップ加工が施されていない面であってもよい。

　第６面１１６には、穴部１１６ａが形成されていなくてもよい。穴部１１６ａは、第６面１１６から＋Ｚ側に向かって延びる穴でなくてもよい。穴部１１６ａは、第６面１１６から任意の方向に向かって延びる穴であってもよい。穴部１１６ａは、第６面１１６から第５面１１５に向かって基礎部材１１を貫通する貫通穴であってもよい。

　基礎部材１１には、第１貫通穴部１１７ａ及び第２貫通穴１１７ｂが形成されていなくてもよい。この場合、支持装置１の位置合わせのために、第１貫通穴部１１７ａ及び第２貫通穴１１７ｂを用いない他の方法が採用されることが好ましい。

　第１貫通穴部１１７ａ及び第２貫通穴１１７ｂの少なくとも一方は、基礎部材１１の任意の箇所に形成されていてもよい。第１貫通穴部１１７ａ及び第２貫通穴１１７ｂの少なくとも一方は、第５面１１５の上方面１１５ａから第６面１１６に向かって基礎部材１１を貫通する穴でなくてもよい。第１貫通穴部１１７ａ及び第２貫通穴１１７ｂの少なくとも一方は、上方面１１５ａ（或いは、基礎部材１１のその他の面）に開口が形成される穴部、凹部又は窪み部であってもよい。第１貫通穴部１１７ａ及び第２貫通穴１１７ｂの少なくとも一方は、第６面１１６（或いは、基礎部材１１のその他の面）に開口が形成される穴部、凹部又は窪み部であってもよい。

　第１貫通穴部１１７ａ及び第２貫通穴部１１７ｂは、第１貫通穴部１１７ａの中心と第２貫通穴部１１７ｂの中心とを結ぶ線とがＸ軸に交わるように形成されていてもよい。ＸＹ平面上における第１貫通穴部１１７ａの外縁の形状は、円形とは異なる任意の形状（例えば、任意の多角形や楕円形）であってもよい。ＸＹ平面上における第２貫通穴部１１７ｂの外縁の形状は、Ｘ軸に沿って長軸が延伸する楕円形とは異なる任意の形状（例えば、任意の多角形や円形）であってもよい。

　基礎部材１１には、溝部１１８ａ及び１１８ｂのうちの少なくとも一方が形成されていなくてもよい。溝部１１８ａは、第１面１１１とは異なる基礎部材１１のその他の面に形成されていてもよい。溝部１１８ｂは、第２面１１２とは異なる基礎部材１１のその他の面に形成されていてもよい。溝部１１８ａ及び１１８ｂは、対称となる位置に形成されていなくてもよい。溝部１１８ａ及び１１８ｂのうちの少なくとも一方のＸ軸に沿った長さは、第１面１１１及び第２面１１２の少なくとも一方のＸ軸に沿った長さの１／２未満であってもよい。

　支持装置１は、２４個未満（例えば、６個）の柱状部材１２を備えていてもよい。支持装置１は、２５個以上（例えば、９６個又は３８４個）の柱状部材１２を備えていてもよい。支持装置１は、単一の柱状部材１２を備えていてもよい。一又は複数の柱状部材１２は、下方面１１５ｂとは異なる基礎部材１１のその他の面に形成されていてもよい。一又は複数の柱状部材１２は、任意の面から任意の方向に向かって延びる柱状の部材であってもよい。複数の柱状部材１２は、マトリクス状の分布態様とは異なる任意の分布態様で分布するように形成されていてもよい。ＸＹ平面上における柱状部材１２の外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や楕円形）であってもよい。

　各柱状部材１２は、ＰＭＭＡ等のアクリル樹脂以外の樹脂から構成されていてもよい。例えば、各柱状部材１２は、上述したＰＣから構成されていてもよい。各柱状部材１２は、上述したＣＯＣから構成されていてもよい。各柱状部材１２は、上述したＰＳから構成されていてもよい。各柱状部材１２は、ＰＰＥ（ｍｏｄｉｆｉｅｄ　ＰｏｌｙＰｈｅｎｙｌｅｎｅＥｔｈｅｒ：変性ポリフェニレンエーテル）から構成されていてもよい。各柱状部材１２は、樹脂以外の材料から構成されていてもよい。各柱状部材１２は、透光性を有していない材料から構成されていてもよい。各柱状部材１２は、熱可塑性を有していない材料から構成されていてもよい。各柱状部材１２は、基礎部材１１を構成する材料とは異なる材料から構成されていてもよい。

　柱状部材１２は、第１柱状部材１２１及び第２柱状部材１２２の少なくとも一方を含んでいなくてもよい。第１柱状部材１２１及び第２柱状部材１２２が一体化されていてもよい。第１柱状部材１２１及び第２柱状部材１２２が一体成型されていてもよい。

　第１柱状部材１２１は、下方面１１５ｂとは異なる基礎部材１１のその他の面に形成されていてもよい。第１柱状部材１２１は、任意の面から任意の方向に向かって延びる柱状の部材であってもよい。ＸＹ平面上における第１柱状部材１２１の外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や楕円形）であってもよい。第１柱状部材１２１は、基礎部材１１と一体化されていなくてもよい。第１柱状部材１２１は、基礎部材１１とは別個に成型されていてもよい。第１柱部材１２１の内部には、穴部１２１ｌが形成されてなくてもよい。第１柱部材１２１の内部には、Ｚ軸に沿った方向とは異なる方向に沿って延びる穴部１２１ｌが形成されていてもよい。穴部１２１ｌは、開口を形成していなくてもよい。穴部１２１ｌは、第６面１１６とは異なる基礎部材１１のその他の面に開口を形成していてもよい。

　第２柱状部材１２２は、第１柱状部材１２１から任意の方向に向かって延びる柱状の部材であってもよい。ＸＹ平面上における第２柱状部材１２２の外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や楕円形）であってもよい。第２柱状部材１２２は、溶着（例えば、超音波溶着）とは異なる方法によって第１柱状部材１２１に固着されていてもよい。

　支持装置１は、２４個未満（例えば、６個）の筒状部材１３を備えていてもよい。支持装置１は、２５個以上（例えば、９６個又は３８４個）の筒状部材１３を備えていてもよい。支持装置１は、単一の筒状部材１３を備えていてもよい。一又は複数の筒状部材１３は、任意の方向に向かって延びる筒状の部材であってもよい。ＸＹ平面上における筒状部材１３の内側方向及び外側方向のうちの少なくとも一方の外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や楕円形）であってもよい。

　各筒状部材１３は、ＬＤＰＥ以外の樹脂から構成されていてもよい。例えば、各筒状部材１３は、ＰＴＦＥ（ＰｏｌｙＴｅｔｒａＦｌｕｏｒｏＥｔｈｙｌｅｎｅ：ポリテトラフルオロエチレン：４フッ化エチレン樹脂）から構成されていてもよい。各筒状部材１３は、弾性を有していない材料から構成されていてもよい。各筒状部材１３は、各柱状部材１２を構成する材料よりも高い弾性を有する材料から構成されていなくてもよい。各筒状部材１３は、各柱状部材１２を構成する材料よりもひずみが生じやすい又は撓みやすい材料から構成されていなくてもよい。各筒状部材１３は、各柱状部材１２を構成する材料と同一の材料から構成されていてもよい。

　（１－１－２）第１柱状部材１２１の構成
　続いて、図４（ａ）から図４（ｄ）を参照しながら、第１実施形態の支持装置１が備える第１柱状部材１２１について更に説明する。図４（ａ）は、＋Ｚ側から観察される第１柱状部材１２１の平面図である。図４（ｂ）は、図４（ａ）に示す第１柱状部材１２１のＩＶ－ＩＶ’断面図である。図４（ｃ）は、＋Ｙ側から観察される第１柱状部材１２１の側面図である。図４（ｄ）は、図４（ａ）に示す第１柱状部材１２１のＩＶ－ＩＶ’断面図のうち溶着部材１２１ｂ付近を拡大した断面図である。

　図４（ａ）から図４（ｃ）に示すように、第１柱状部材１２１は、第１上面１２１ａと、溶着部材１２１ｂと、第１外面１２１ｃと、第２上面１２１ｄと、第２外面１２１ｅと、第３外面１２１ｆと、第４外面１２１ｇと、第１下面１２１ｈと、第１内面１２１ｉと、第２下面１２１ｊと、第２内面１２１ｋとを備えている。

　第１上面１２１ａは、ＸＹ平面に平行な面である。第１上面１２１ａは、第１柱状部材１２１を構成する面のうち最も＋Ｚ側に位置する面である。第１上面１２１ａは、＋Ｚ側を向いている面である。ＸＹ平面上における第１上面１２１ａの外縁の形状は、正方形である。

　溶着部材１２１ｂは、第１上面１２１ａに形成されている。溶着部材１２１ｂは、第１上面１２１ａと一体化されている部材である。溶着部材１２１ｂは、第１上面１２１ａ上でリング形状を構成する分布態様で分布する。ＸＺ平面上における溶着部材１２１ｂの外縁の形状は、三角形である（図４（ｄ）参照）。リング形状の分布態様で分布する溶着部材１２１ｂの中心（つまり、ＸＹ平面上におけるリング形状の中心）は、ＸＹ平面上における第１上面１２１ａの中心（つまり、円形の中心）と一致する。溶着部材１２１ｂは、第１柱状部材１２１と第２柱状部材１２２とが固着される際に、超音波が照射されることで溶融する。その結果、溶着部材１２１ｂが接着剤として作用することで、第１柱状部材１２１と第２柱状部材１２２とが固着される。

　第１外面１２１ｃは、第１上面１２１ａの外縁から－Ｚ側に向かって延びる面である。第１外面１２１ｃは、Ｚ軸に平行な第１柱状部材１２１の中心線（具体的には、ＸＹ平面上における第１上面１２１ａの中心を通る、Ｚ軸に平行な線）から離れる方向を向いている。尚、以下では、説明の便宜上、Ｚ軸に平行な第１柱状部材１２１の中心線から離れる方向を“外側方向”と称し、且つ、Ｚ軸に平行な第１柱状部材１２１の中心線に近づく方向を“内側方向”と称する。第１外面１２１ｃは、Ｚ軸に対して傾斜している面である。第１外面１２１ｃは、－Ｚ側に向かうにつれてＸＹ平面上における第１外面１２１ｃの径が大きくなるように、Ｚ軸に対して傾斜している。第１外面１２１ｃは、－Ｚ側に向かうにつれて外側方向に向かって広がるように、Ｚ軸に対して傾斜している。第１外面１２１ｃの形状は、テーパ形状である。ＸＹ平面上における第１外面１２１ｃの外縁の形状は、正方形である。ＸＹ平面上における第１外面１２１ｃの中心（つまり、正方形の中心）は、ＸＹ平面上における第１上面１２１ａの中心と一致する。

　第２上面１２１ｄは、第１外面１２１ｃの－Ｚ側の外縁から外側方向に向かって延びる面である。第２上面１２１ｄは、＋Ｚ側を向いている面である。第２上面１２１ｄは、ＸＹ平面に平行な面である。ＸＹ平面上における第２上面１２１ｄの内側方向の外縁の形状は、正方形である。ＸＹ平面上における第２上面１２１ｄの外側方向の夫々の外縁の形状は、円形である。ＸＹ平面上における第２上面１２１ｄの中心（つまり、円形の中心）は、ＸＹ平面上における第１上面１２１ａの中心と一致する。

　第２外面１２１ｅは、第２上面１２１ｃの外側方向の外縁から－Ｚ側に向かって延びる面である。第２外面１２１ｅは、外側方向を向いている面である。第２外面１２１ｅは、Ｚ軸に平行な面である。ＸＹ平面上における第２外面１２１ｅの外縁の形状は、円形である。ＸＹ平面上における第２外面１２１ｅの中心（つまり、円形の中心）は、ＸＹ平面上における第１上面１２１ａの中心と一致する。

　第３外面１２１ｆは、第２外面１２１ｅの－Ｚ側の外縁から－Ｚ側に向かって延びる面である。第３外面１２１ｆは、外側方向を向いている面である。第３外面１２１ｆは、Ｚ軸に対して傾斜している面である。第３外面１２１ｆは、－Ｚ側に向かうにつれてＸＹ平面上における第３外面１２１ｆの径が大きくなるように、Ｚ軸に対して傾斜している。第３外面１２１ｆは、－Ｚ側に向かうにつれて外側方向に向かって広がるように、Ｚ軸に対して傾斜している。第３外面１２１ｆの形状は、テーパ形状である。ＸＹ平面上における第３外面１２１ｆの径は、ＸＹ平面上における第２外面１２１ｅの径以上となる。ＸＹ平面上における第３外面１２１ｆの外縁の形状は、円形である。ＸＹ平面上における第３外面１２１ｆの中心（つまり、円形の中心）は、ＸＹ平面上における第１上面１２１ａの中心と一致する。

　第４外面１２１ｇは、第３外面１２１ｆの－Ｚ側の外縁から－Ｚ側に向かって延びる面である。第４外面１２１ｇは、基礎部材１１の第５面１１５（特に、その下方面１１５ｂ）から＋Ｚ側に向かって延びる面である。第４外面１２１ｇは、外側方向を向いている面である。第４外面１２１ｇは、Ｚ軸に平行な面である。ＸＹ平面上における第４外面１２１ｇの外縁の形状は、円形である。ＸＹ平面上における第４外面１２１ｇの中心（つまり、円形の中心）は、ＸＹ平面上における第１上面１２１ａの中心と一致する。

　第１下面１２１ｈは、ＸＹ平面に平行な面である。第１下面１２１ｈは、－Ｚ側を向いている面である。第１下面１２１ｈは、第１上面１２１ａよりも－Ｚ側に位置する面である。ＸＹ平面上における第１下面１２１ｈの外縁の形状は、円形である。ＸＹ平面上における第１下面１２１ｈの中心（つまり、円形の中心）は、ＸＹ平面上における第１上面１２１ａの中心と一致する。

　第１内面１２１ｉは、第１下面１２１ｈの外縁から－Ｚ側に向かって延びる面である。第１内面１２１ｉは、内側方向を向いている面である。第１内面１２１ｉは、Ｚ軸に対して傾斜している面である。第１内面１２１ｉは、－Ｚ側に向かうにつれてＸＹ平面上における第１内面１２１ｉの径が大きくなるように、Ｚ軸に対して傾斜している。第１内面１２１ｉは、－Ｚ側に向かうにつれて外側方向に向かって広がるように、Ｚ軸に対して傾斜している。第１内面１２１ｉの形状は、テーパ形状である。ＸＹ平面上における第１内面１２１ｉの外縁の形状は、円形である。ＸＹ平面上における第１内面１２１ｉの中心（つまり、円形の中心）は、ＸＹ平面上における第１下面１２１ｈの中心と一致する。

　第２下面１２１ｊは、第１内面１２１ｉの－Ｚ側の外縁から外側方向に向かって延びる面である。第２下面１２１ｊは、－Ｚ側を向いている面である。第２下面１２１ｊは、ＸＹ平面に平行な面である。ＸＹ平面上における第２下面１２１ｊの内側方向及び外側方向の外縁の形状は、円形である。ＸＹ平面上における第２下面１２１ｊの中心（つまり、円形の中心）は、ＸＹ平面上における第１下面１２１ｈの中心と一致する。

　第２内面１２１ｋは、第２下面１２１ｊの外側方向の外縁から－Ｚ側に向かって延びる面である。第２内面１２１ｋは、基礎部材１１の第６面１１６から＋Ｚ側に向かって延びる面である。第２内面１２１ｋは、内側方向を向いている面である。第２内面１２１ｋは、Ｚ軸に対して傾斜している面である。第２内面１２１ｋは、－Ｚ側に向かうにつれてＸＹ平面上における第２内面１２１ｋの径が大きくなるように、Ｚ軸に対して傾斜している。第２内面１２１ｋは、－Ｚ側に向かうにつれて外側方向に向かって広がるように、Ｚ軸に対して傾斜している。第２外面１２１ｋの形状は、テーパ形状である。ＸＹ平面上における第２内面１２１ｋの外縁の形状は、円形である。ＸＹ平面上における第２内面１２１ｋの中心（つまり、円形の中心）は、ＸＹ平面上における第１下面１２１ｈの中心と一致する。

　第１柱状部材１２１には、第１下面１２１ｈと、第１内面１２１ｉと、第２下面１２１ｊと、第２内面１２１ｋとによって囲まれる穴部１２１ｌが形成されている。

　尚、図４（ａ）から図４（ｄ）を用いて説明した第１柱状部材１２１は一例である。従って、第１柱状部材１２１の一部の構成が適宜改変されてもよい。以下、第１柱状部材１２１の一部の構成の改変の例について説明する。

　第１柱状部材１２１は、第１上面１２１ａ、溶着部材１２１ｂ、第１外面１２１ｃ、第２上面１２１ｄ、第２外面１２１ｅ、第３外面１２１ｆ、第４外面１２１ｇ、第１下面１２１ｈ、第１内面１２１ｉ、第２下面１２１ｊ及び第２内面１２１ｋのうちの少なくとも一つを備えていなくてもよい。

　第１上面１２１ａの少なくとも一部は、ＸＹ平面に対して傾斜している面であってもよい。第１上面１２１ａの少なくとも一部は、曲面であってもよい。第１上面１２１ａは、第１柱状部材１２１を構成する面のうち最も＋Ｚ側に位置する面でなくてもよい。ＸＹ平面上における第１上面１２１ａの外縁の形状は、正方形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や円形や楕円形）であってもよい。

　溶着部材１２１ｂは、第１上面１２１ａと一体化されていない部材であってもよい。溶着部材１２１ｂは、第１上面１２１ａと別個に形成される部材であってもよい。溶着部材１２１ｂは、第１上面１２１ａ上でリング形状とは異なる分布態様で分布してもよい。ＸＺ平面上における溶着部材１２１ｂの形状は、三角形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や円形や楕円形）であってもよい。溶着部材１２１ｂの中心は、ＸＹ平面上における第１上面１２１ａの中心と一致していなくてもよい。

　第１外面１２１ｃの少なくとも一部は、Ｚ軸に平行な面であってもよい。第１外面１２１ｃの少なくとも一部は、曲面であってもよい。第１外面１２１ｃの少なくとも一部は、テーパ形状でなくてもよい。ＸＹ平面上における第１外面１２１ｃの形状は、正方形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や円形や楕円形）であってもよい。ＸＹ平面上における第１外面１２１ｃの中心は、ＸＹ平面上における第１上面１２１ａの中心と一致していなくてもよい。

　第２上面１２１ｄの少なくとも一部は、ＸＹ平面に対して傾斜している面であってもよい。第２上面１２１ｄの少なくとも一部は、曲面であってもよい。ＸＹ平面上における第２上面１２１ｄの内側方向の外縁の形状は、正方形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や円形や楕円形）であってもよい。ＸＹ平面上における第２上面１２１ｄの外側方向の外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や楕円形）であってもよい。ＸＹ平面上における第２上面１２１ｄの中心は、ＸＹ平面上における第１上面１２１ａの中心と一致していなくてもよい。

　第２外面１２１ｅの少なくとも一部は、Ｚ軸に対して傾斜している面であってもよい。第２外面１２１ｅの少なくとも一部は、曲面であってもよい。ＸＹ平面上における第２外面１２１ｅの外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や楕円形）であってもよい。ＸＹ平面上における第２外面１２１ｅの中心は、ＸＹ平面上における第１上面１２１ａの中心と一致していなくてもよい。

　第３外面１２１ｆの少なくとも一部は、Ｚ軸に平行な面であってもよい。第３外面１２１ｆの少なくとも一部は、曲面であってもよい。第３外面１２１ｆの少なくとも一部の形状は、テーパ形状でなくてもよい。ＸＹ平面上における第３外面１２１ｆの少なくとも一部の径は、ＸＹ平面上における第２外面１２１ｅの少なくとも一部の径未満となってもよい。ＸＹ平面上における第３外面１２１ｆの外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形）であってもよい。ＸＹ平面上における第３外面１２１ｆの中心は、ＸＹ平面上における第１上面１２１ａの中心と一致していなくてもよい。

　第４外面１２１ｇの少なくとも一部は、Ｚ軸に対して傾斜している面であってもよい。第４外面１２１ｇの少なくとも一部は、曲面であってもよい。ＸＹ平面上における第４外面１２１ｇの外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や楕円形）であってもよい。ＸＹ平面上における第４外面１２１ｇの中心は、ＸＹ平面上における第１上面１２１ａの中心と一致していなくてもよい。

　第１下面１２１ｈの少なくとも一部は、ＸＹ平面に対して傾斜している面であってもよい。第１下面１２１ｈの少なくとも一部は、曲面であってもよい。ＸＹ平面上における第１下面１２１ｈの外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や楕円形）であってもよい。ＸＹ平面上における第１下面１２１ｈの中心は、ＸＹ平面上における第１上面１２１ａの中心と一致していなくてもよい。

　第１内面１２１ｉの少なくとも一部は、Ｚ軸に平行な面であってもよい。第１内面１２１ｉの少なくとも一部は、曲面であってもよい。第１内面１２１ｉの少なくとも一部の形状は、テーパ形状でなくてもよい。ＸＹ平面上における第１内面１２１ｉの外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や楕円形）であってもよい。ＸＹ平面上における第１内面１２１ｉの中心は、ＸＹ平面上における第１下面１２１ｈの中心と一致していなくてもよい。

　第２下面１２１ｊの少なくとも一部は、ＸＹ平面に対して傾斜している面であってもよい。第２下面１２１ｊの少なくとも一部は、曲面であってもよい。ＸＹ平面上における第２下面１２１ｊの内径は、ＸＹ平面上における第１内面１２１ｉの少なくとも一部の径未満となってもよい。ＸＹ平面上における第２下面１２１ｊの外径は、ＸＹ平面上における第１内面１２１ｉの少なくとも一部の径以下となってもよい。ＸＹ平面上における第２下面１２１ｊの内側方向及び外側方向の外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形）であってもよい。ＸＹ平面上における第２下面１２１ｊの中心は、ＸＹ平面上における第１下面１２１ｈの中心と一致していなくてもよい。

　第２内面１２１ｋの少なくとも一部は、Ｚ軸に平行な面であってもよい。第２内面１２１ｋの少なくとも一部は、曲面であってもよい。第２外面１２１ｋの少なくとも一部の形状は、テーパ形状でなくてもよい。ＸＹ平面上における第２内面１２１ｋの外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や楕円形）であってもよい。ＸＹ平面上における第２内面１２１ｋの中心は、ＸＹ平面上における第１下面１２１ｈの中心と一致していなくてもよい。

　（１－１－３）第２柱状部材１２２の構成
　続いて、図５（ａ）から図５（ｄ）を参照しながら、第１実施形態の支持装置１が備える第２柱状部材１２２について更に説明する。図５（ａ）は、＋Ｚ側から観察される第２柱状部材１２２の平面図である。図５（ｂ）は、図５（ａ）に示す第２柱状部材１２２のＶ－Ｖ’断面図である。図５（ｃ）は、＋Ｙ側から観察される第２柱状部材１２２の側面図である。図５（ｄ）は、－Ｚ側から観察される第１柱状部材１２１の平面図である。

　図５（ａ）から図５（ｄ）に示すように、第２柱状部材１２２は、第１上面１２２ａと、第２上面１２２ｂと、第１外面１２２ｃと、４つの穴部１２２ｄと、第１下面１２２ｅと、第１内面１２２ｆと、第２下面１２２ｇとを備えている。

　第１上面１２２ａは、第２柱状部材１２２を構成する面のうち最も＋Ｚ側に位置する面である。第１上面１２２ａは、＋Ｚ側を向いている面である。第１上面１２２ａは、ＸＹ平面に平行な面である。ＸＹ平面上における第１上面１２２ａの外縁の形状は、正方形である。

　第２上面１２２ｂは、第１上面１２２ａの周囲に配置される面である。第２上面１２２ｂは、ＸＹ平面に対して傾斜している面である。第２上面１２２ｂは、第１上面１２２ａに対して傾斜している面である。第２上面１２２ｂは、Ｚ軸に平行な第２柱状部材１２２の中心線（つまり、ＸＹ平面上における第１上面１２２ａの中心を通る、Ｚ軸に平行な線）から離れる方向を向いている。尚、以下では、説明の便宜上、Ｚ軸に平行な第２柱状部材１２２の中心線から離れる方向を“外側方向”と称し、且つ、Ｚ軸に平行な第２柱状部材１２２の中心線に近づく方向を“内側方向”と称する。第２上面１２２ｂは、＋Ｚ側を向いており且つ外側方向を向いている面である。ＸＹ平面上における第２上面１２２ｂの内側方向の外縁の形状は、正方形である。ＸＹ平面上における第２上面１２２ｂの外側方向の外縁の形状は、円形である。

　第１外面１２２ｃは、第２上面１２２ｂの外側方向の外縁から－Ｚ側に向かって延びる面である。第１外面１２２ｃは、外側方向を向いている面である。第１外面１２２ｃは、Ｚ軸に平行な面である。ＸＹ平面上における第１外面１２２ｃの外縁の形状は、円形である。ＸＹ平面上における第１外面１２２ｃの中心（つまり、円形の中心）は、ＸＹ平面上における第１上面１２２ａの中心と一致する。

　４つの穴部１２２ｄの夫々は、第１外面１２２ｃに形成される穴である。４つの穴部１２２ｄは、同一のＸＹ平面上に位置するように形成されている。４つの穴部１２２ｄは、ＸＹ平面上における第１外面１２２ｃの外縁に相当する円周上に等間隔で並ぶように形成されている。４つの穴部１２２ｄの夫々は、第１外面１２２ｃから内側方向に向かって窪んでいる穴である。４つの穴部１２２ｄの夫々は、第２柱状部材１２２を貫通していない。４つの穴部１２２ｄは、後述する筒状部材１３が備える４つの突起部１３ｅと夫々嵌合可能である。

　第１下面１２２ｅは、第１外面１２２ｃの－Ｚ側の外縁から内側方向に向かって延びる面である。第１下面１２２ｅは、－Ｚ側を向いている面である。第１下面１２２ｅは、ＸＹ平面に平行な面である。ＸＹ平面上における第１下面１２２ｅの外側方向の外縁の形状は、円形である。ＸＹ平面上における第１下面１２２ｅの内側方向の外縁の形状は、正方形である。ＸＹ平面上における第１下面１２２ｅの中心（つまり、円形又は正方形の中心）は、ＸＹ平面上における第１上面１２２ａの中心と一致する。

　第１内面１２２ｆは、第１下面１２２ｅの内側方向の外縁から＋Ｚ側に向かって延びる面である。第１内面１２２ｆは、内側方向を向いている面である。第１内面１２２ｆは、Ｚ軸に対して傾斜している面である。第１内面１２２ｆは、－Ｚ側に向かうにつれてＸＹ平面上における第１内面１２２ｆの径が大きくなるように、Ｚ軸に対して傾斜している。第１内面１２２ｆは、－Ｚ側に向かうにつれて外側方向に向かって広がるように、Ｚ軸に対して傾斜している。第１内面１２２ｆの形状は、テーパ形状である。ＸＹ平面上における第１内面１２２ｆの外縁の形状は、正方形である。ＸＹ平面上における第１内面１２２ｆの中心（つまり、円形の中心）は、ＸＹ平面上における第１上面１２２ａの中心と一致する。

　第２下面１２２ｇは、第１内面１２２ｆの＋Ｚ側の外縁から内側方向に向かって延びる面である。第２下面１２２ｇは、－Ｚ側を向いている面である。第２下面１２２ｇは、ＸＹ平面に平行な面である。ＸＹ平面上における第２下面１２２ｇの外縁の形状は、正方形である。ＸＹ平面上における第２下面１２２ｇの中心（つまり、円形の中心）は、ＸＹ平面上における第１上面１２２ａの中心と一致する。

　尚、図５（ａ）から図５（ｂ）を用いて説明した第２柱状部材１２２は一例である。従って、第２柱状部材１２２の一部の構成が適宜改変されてもよい。以下、第２柱状部材１２２の一部の構成の改変の例について説明する。

　第２柱状部材１２２は、第１上面１２２ａ、第２上面１２２ｂ、第１外面１２２ｃ、４つの穴部１２２ｄ、第１下面１２２ｅ、第１内面１２２ｆ、第２下面１２２ｇの内の少なくとも一つを備えていなくてもよい。

　第１上面１２２ａの少なくとも一部は、ＸＹ平面に対して傾斜している面であってもよい。第１上面１２２ａの少なくとも一部は、曲面であってもよい。第１上面１２２ａは、第２柱状部材１２２を構成する面のうち最も＋Ｚ側に位置する面でなくてもよい。第１上面１２２ａは、＋Ｚ側とは異なる方向を向いている面であってもよい。ＸＹ平面上における第１上面１２２ａの外縁の形状は、正方形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や円形や楕円形）であってもよい。

　第２上面１２２ｂの少なくとも一部は、ＸＹ平面に平行な面であってもよい。第２上面１２２ｂの少なくとも一部は、第１上面１２２ａに平行な面であってもよい。第２上面１２２ｂは、外側方向とは異なる方向を向いている面であってもよい。ＸＹ平面上における第２上面１２２ｂの内側方向の外縁の形状は、正方形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や円形や楕円形）であってもよい。ＸＹ平面上における第２上面１２２ｂの外側方向の外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や楕円形）であってもよい。

　第１外面１２２ｃの少なくとも一部は、Ｚ軸に対して傾斜している面であってもよい。第１外面１２２ｃの少なくとも一部は、曲面であってもよい。ＸＹ平面上における第１外面１２２ｃの外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や楕円形）であってもよい。ＸＹ平面上における第１外面１２２ｃの中心は、ＸＹ平面上における第１上面１２２ａの中心と一致していなくてもよい。

　４つの穴部１２２ｄのうちの少なくとも一つは、他の穴部１２２ｄが位置するＸＹ平面とは異なる他のＸＹ平面上に位置するように形成されていてもよい。４つの穴部１２２ｄは、ＸＹ平面上における第１外面１２２ｃの外縁に相当する円周上に異なる又は任意の間隔で並ぶように形成されていてもよい。４つの穴部１２２ｄのうちの少なくとも一つは、第２柱状部材１２２を貫通していてもよい。第２柱状部材１２２は、３つ以下の又は５つ以上の穴部１２２ｄを備えていてもよい。

　第２柱状部材１２２は、４つの穴部１２２ｄに加えて又は代えて、４つの又は任意の数の突起部を備えていてもよい。この場合、後述する筒状部材１３は、４つの突起部１３ｅに加えて又は代えて、第２柱状部材１２２が備える突起部と嵌合可能な４つの又は任意の数の穴部を備えていてもよい。

　第１下面１２２ｅの少なくとも一部は、ＸＹ平面に対して傾斜している面であってもよい。ＸＹ平面上における第１下面１２２ｅの外径は、ＸＹ平面上における第１外面１２２ｃの少なくとも一部の径と異なっていてもよい。ＸＹ平面上における第１下面１２２ｅの内径は、ＸＹ平面上における第１外面１２２ｃの少なくとも一部の径以上であってもよい。ＸＹ平面上における第１下面１２２ｅの外側方向の外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形）であってもよい。ＸＹ平面上における第１下面１２２ｅの内側方向の外縁の形状は、正方形とは異なる形状（例えば、任意の円形又は多角形）であってもよい。ＸＹ平面上における第１下面１２２ｅの中心は、ＸＹ平面上における第１上面１２２ａの中心と一致していなくてもよい。

　第１内面１２２ｆの少なくとも一部は、Ｚ軸に平行な面であってもよい。第１内面１２２ｆの少なくとも一部は、曲面であってもよい。第１内面１２２ｆの少なくとも一部の形状は、テーパ形状でなくてもよい。ＸＹ平面上における第１内面１２２ｆの外縁の形状は、正方形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や円形や楕円形）であってもよい。ＸＹ平面上における第１内面１２２ｆの中心は、ＸＹ平面上における第１上面１２２ａの中心と一致していなくてもよい。

　第２下面１２２ｇの少なくとも一部は、ＸＹ平面に対して傾斜している面であってもよい。第２下面１２２ｇの少なくとも一部は、曲面であってもよい。ＸＹ平面上における第２下面１２２ｇの形状は、正方形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や円形や楕円形）であってもよい。ＸＹ平面上における第２下面１２２ｇの中心は、ＸＹ平面上における第１上面１２２ａの中心と一致していなくてもよい。

　（１－１－４）筒状部材１３の構成
　続いて、図６（ａ）から図６（ｄ）を参照しながら、第１実施形態の支持装置１が備える筒状部材１３について更に説明する。図６（ａ）は、＋Ｚ側から観察される筒状部材１３の平面図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）に示す筒状部材１３のＶＩ－ＶＩ’断面図である。図６（ｃ）は、＋Ｙ側から観察される筒状部材１２２の側面図である。図６（ｄ）は、図６（ａ）に示す筒状部材１３のＶＩ－ＶＩ’断面図のうち第１内面１３ｂ付近を拡大した断面図である。

　図６（ａ）から図６（ｄ）に示すように、筒状部材１３は、第１上面１３ａと、第１内面１３ｂと、第１外面１３ｃと、第１下面１３ｄと、４つの突起部１３ｅとを備えている。

　第１上面１３ａは、筒状部材１３を構成する面のうち最も＋Ｚ側に位置する面である。第１上面１３ａは、＋Ｚ側を向いている面である。第１上面１３ａは、ＸＹ平面に平行な面である。ＸＹ平面上における第１上面１３ａの内側方向及び外側方向の外縁の形状は、円形である。尚、以下では、説明の便宜上、Ｚ軸に平行な筒状部材１３の中心線（つまり、ＸＹ平面上における第１上面１３ａの中心を通る、Ｚ軸に平行な線）から離れる方向を“外側方向”と称し、且つ、Ｚ軸に平行な筒状部材１３の中心線に近づく方向を“内側方向”と称する。

　第１内面１３ｂは、第１上面１３ａの内側方向の外縁から－Ｚ側に向かって延びる面である。第１内面１３ｂは、内側方向を向いている面である。ＸＹ平面上における第１内面１３ｂの形状は、円形である。

　第１内面１３ｂは、第１内面部分１３ｂ－１と、第２内面部分１３ｂ－２とを含んでいる。

　第１内面部分１３ｂ－１は、第１上面１３ａの外側方向の外縁から－Ｚ側に向かって延びる面である。第１内面部分１３ｂ－１は、Ｚ軸に対して傾斜している面である。第１内面部分１３ｂ－１は、－Ｚ側に向かうにつれてＸＹ平面上における第１内面部分１３ｂ－１の径が小さくなるように、Ｚ軸に対して傾斜している。第１内面部分１３ｂ－１は、－Ｚ側に向かうにつれて内側方向に向かって縮むように、Ｚ軸に対して傾斜している。第１内面部分１３ｂ－１の形状は、テーパ形状である。

　第２内面部分１３ｂ－２は、第１内面部分１３ｂ－１の－Ｚ側の外縁から－Ｚ側に向かって延びる面である。第２内面部分１３ｂ－２は、Ｚ軸に平行な面である。

　第１外面１３ｃは、第１上面１３ａの外側方向の外縁から－Ｚ側に向かって延びる面である。第１外面１３ｃは、外側方向を向いている面である。第１外面１３ｃは、Ｚ軸に平行な面である。ＸＹ平面上における第１外面１３ｃの外縁の形状は、円形である。

　第１下面１３ｄは、筒状部材１３を構成する面のうち最も－Ｚ側に位置する面である。第１下面１３ｄは、第１内面１３ｂの－Ｚ側の外縁から外側方向に向かって伸びる面である。第１下面１３ｄは、第１外面１３ｃの外縁－Ｚ側の外縁から内側方向に向かって伸びる面である。第１下面１３ｄは、－Ｚ側を向いている面である。第１下面１３ｄは、ＸＹ平面に平行な面である。ＸＹ平面上における第１下面１３ｄの外側方向及び内側方向の外縁の形状は、円形である。

　４つの突起部１３ｅの夫々は、第１内面１３ｂに形成される突起である。４つの突起部１３ｅの夫々は、第２内面部分１３ｂ－２に形成される突起である。４つの突起部１３ｅの夫々は、第１内面１３ｂから内側方向に向かって突き出ている突起である。４つの突起部１３ｅは、同一のＸＹ平面上に位置するように形成されている。４つの突起部１３ｅは、ＸＹ平面上における第１内面１３ｂの外縁に相当する円周上に等間隔で並ぶように形成されている。４つの突起部１３ｅの夫々は、第２柱状部材１２２が備える４つの穴部１２２ｄと夫々嵌合可能である。

　筒状部材１３が柱状部材１２に嵌め込まれる際には、柱状部材１２への筒状部材１３の嵌め込みの程度（言い換えれば、筒状部材１３への柱状部材１２の挿入の程度）に応じたあるタイミングで、４つの突起部１３ｅと４つの穴部１２２ｄと嵌合することになる。その結果、４つの突起部１３ｅ及び４つの穴部１２２ｄとの間の嵌合により、柱状部材１２と筒状部材１３との間の位置関係が固定される。

　尚、図６（ａ）から図６（ｄ）を用いて説明した筒状部材１３は一例である。従って、筒状部材１３の一部の構成が適宜改変されてもよい。以下、筒状部材１３の一部の構成の改変の例について説明する。

　筒状部材１３は、第１上面１３ａ、第１内面１３ｂ、第１外面１３ｃ、第１下面１３ｄ及び４つの突起部１３ｅのうちの少なくとも一つを備えていなくてもよい。

　第１上面１３ａは、筒状部材１３を構成する面のうち最も＋Ｚ側に位置する面でなくてもよい。第１上面１３ａは、＋Ｚ側とは異なる方向を向いている面であってもよい。第１上面１３ａの少なくとも一部は、ＸＹ平面に対して傾斜している面であってもよい。第１上面１３ａの少なくとも一部は、曲面であってもよい。ＸＹ平面上における第１上面１３ａの内側方向及び外側方向の少なくとも一方の外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や楕円形）であってもよい。

　ＸＹ平面上における第１内面１３ｂの外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形）であってもよい。第１内面１３ｂは、第１内面部分１３ｂ－１及び第２内面部分１３ｂ－２の少なくとも一方を含んでいなくてもよい。第１内面部分１３ｂ－１の少なくとも一部は、Ｚ軸に平行な面であってもよい。第１内面部分１３ｂ－１の少なくとも一部は、曲面であってもよい。第１内面部分１３ｂ－１の少なくとも一部の形状は、テーパ形状でなくてもよい。第２内面部分１３ｂ－２の少なくとも一部は、Ｚ軸に対して傾斜している面であってもよい。第２内面部分１３ｂ－２の少なくとも一部は、曲面であってもよい。

　第１外面１３ｃの少なくとも一部は、Ｚ軸に対して傾斜している面であってもよい。第１外面１３ｃの少なくとも一部は、曲面であってもよい。ＸＹ平面上における第１外面１３ｃの外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や楕円形）であってもよい。

　第１下面１３ｄは、筒状部材１３を構成する面のうち最も－Ｚ側に位置する面でなくてもよい。第１下面１３ｄの少なくとも一部は、ＸＹ平面に対して傾斜している面であってもよい。第１下面１３ｄの少なくとも一部は、曲面であってもよい。ＸＹ平面上における第１下面１３ｄの内側方向及び外側方向の少なくとも一方の外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や楕円形）であってもよい。

　４つの突起部１３ｅのうちの少なくとも一つは、第１内面部分１３ｂ－１に形成される突起であってもよい。４つの突起部１３ｅのうちの少なくとも一つは、他の突起部１３ｅが位置するＸＹ平面とは異なる他のＸＹ平面上に位置するように形成されていてもよい。４つの突起部１３ｅは、ＸＹ平面上における第１内面１３ｂの外縁に相当する円周上に異なる又は任意の間隔で並ぶように形成されていてもよい。筒状部材１３は、３つ以下の又は５つ以上の突起部１３ｅを備えていてもよい。

　（１－１－５）柱状部材１２と筒状部材１３との間の相対的な位置関係に関する構成
　続いて、図７を参照しながら、第１実施形態の支持装置１を構成する第１柱状部材１２１と第２柱状部材１２２と筒状部材１３との間の相対的な位置関係に関する構成について説明する。図７は、４つの突起部１３ｅと４つの穴部１２２ｄとが嵌合している状態（以降、このような状態を適宜“初期状態”と称する）での、第１柱状部材１２１、第２柱状部材１２２及び筒状部材１３のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。

　図７に示すように、第２柱状部材１２２の第１外面１２２ｃは、第１柱状部材１２１の第２外面１２１ｅよりも外側方向に位置している。ＸＹ平面上における第１外面１２２ｃの径は、ＸＹ平面上における第２外面１２１ｅの径よりも大きい。ＸＹ平面上における第１外面１２２ｃと第２外面１２１ｅとの間の距離は、ＸＹ平面上における各突起部１３ｅの大きさ（つまり、第２内面部分１３ｂ－２から突起部１３ｅの頂部までの距離）よりも大きい。

　第２柱状部材１２２の第１下面１２２ｅは、第１柱状部材１２１の第２上面１２１ｄよりも＋Ｚ側に位置している。第１下面１２２ｅと第２上面１２１ｄとは接触していない。

　第２柱状部材１２２の第１内面１２２ｆは、第１柱状部材１２１と第２柱状部材１２２とが固着される際に第１柱状部材１２１の第１外面１２１ｃの少なくとも一部と嵌合可能（或いは、接触可能又は対向可能）な面である。第１内面１２２ｆのＺ軸に対する傾斜角度は、第１外面１２１ｃのＺ軸に対する傾斜角度と同一である。ＸＹ平面上における第１内面１２２ｆの外縁の形状は、ＸＹ平面上における第１外面１２１ｃの外縁の形状と同一である。第１内面１２２ｆと第１外面１２１ｃとが嵌合した際の嵌合面内の各位置において、ＸＹ平面上における第１内面１２２ｆの径は、ＸＹ平面上における第１外面１２１ｃの径と同一（但し、嵌合可能な程度のマージン又は嵌合精度に起因する誤差が考慮されてもよい）である。

　第２柱状部材１２２の第２下面１２２ｇは、第１柱状部材１２１と第２柱状部材１２２とが固着される際に第１柱状部材１２１の第１上面１２１ａと嵌合可能（或いは、接触可能又は対向可能）な面である。ＸＹ平面上における第２下面１２２ｇの外縁の形状は、ＸＹ平面上における第１上面１２１ａの外縁の形状と同一である。ＸＹ平面上における第２下面１２２ｇの径は、ＸＹ平面上における第１上面１２１ａの径と同一（但し、嵌合可能な程度のマージン又は嵌合精度に起因する誤差が考慮されてもよい）である。

　筒状部材１３の第１内面１３ｂは、筒状部材１３が柱状部材１２に嵌め込まれる際に第２柱状部材１２２の第１外面１２２ｃと嵌合可能（或いは、接触可能又は対向可能）な面である。つまり、筒状部材１３が柱状部材１２に嵌め込まれる際には、第１内面１３ｂの少なくとも一部が第１外面１２２ｃの少なくとも一部に嵌合しながら、第１内面１３ｂによって規定される筒内部に第２柱状部材１２２が嵌め込まれていく。このとき、第１内面１３ｂと第１外面１２２ｃとの間には、第１内面１３ｂ及び第１外面１２２ｃの周方向（つまり、Ｚ軸周りに沿った方向）の全体に渡って第１内面１３ｂと第１外面１２２ｃとが嵌合している嵌合面が少なくとも一つ確保される。

　ここで、上述したように、筒状部材１３は弾性を有する材料から構成されている。第１内面１３ｂが第１外面１２２ｃに嵌合しながら第１内面１３ｂによって規定される筒内部に第２柱状部材１２２が嵌め込まれる場合には、第１内面１３ｂには、第２柱状部材１２２から外側方向に向かって作用する応力が加わる。第１内面１３ｂは、このような第２柱状部材１２２から加わる応力と筒状部材１３が有する弾性とによりその径を拡大するように伸びることができる面である。その結果、第１内面１３ｂがその径を拡大するように伸びることができない面である場合と比較して、第１内面１３ｂと第１外面１２２ｃとは相対的に強く密着し合う。

　このように第１内面１３ｂがその径を拡大するように伸びることで第１内面１３ｂと第１外面１２２ｃとが相対的に強く密着することを考慮すれば、筒状部材１３が柱状部材１２に嵌め込まれていない時点では、ＸＹ平面上における内面１３ｃの径は、ＸＹ平面上における第１外面１２２ｃの径以下である。ＸＹ平面上における第１内面１２２ｆの外縁の形状は、ＸＹ平面上における第１外面１２１ｃの外縁の形状と同一又は相似である。

　初期状態では、筒状部材１３の第１内面部分１３ｂ－１は、第２柱状部材１２２の第１外面１２２ｃに対向（或いは、接触）していない。初期状態では、筒状部材１３の第２内面部分１３ｂ－２は、第１外面１２２ｃの少なくとも一部に嵌合（或いは、接触又は対向）している。初期状態では、第１内面部分１３ｂ－１と第２内面部分１３ｂ－２との間の境界線は、第２上面１２２ｂと第１外面１２２ｃとの間の境界線と一致している。

　初期状態では、第２柱状部材１２２の第１上面１２２ａから筒状部材１３の第１上面１３ａまでの距離Ｄ（但し、第１上面１２２ａから＋Ｚ側に向かう方向を正の方向と定義する）は、所定距離Ｄ１以上となる。所定距離Ｄ１は、第２柱状部材１２２の第１上面１２２ａ及び第２上面１２２ｂと筒状部材１３の第１内面部分１３ｂ－１とによって囲まれる空間ＳＰ１を確保することができる距離である。所定距離Ｄ１は、第２柱状部材１２２の第１上面１２２ａ及び第２上面１２２ｂと筒状部材１３の第１内面部分１３ｂ－１とによって囲まれる空間ＳＰ１の容積（体積）を所定量以上とすることができる距離である。このため、筒状部材１３の第１内面１３ｂ及び第１外面１３ｃの夫々のＺ軸に沿った長さは、第１上面１２２ａから第１上面１３ａまでの距離を所定距離Ｄ１以上とすることが可能な長さである。

　尚、図７を用いて説明した初期状態は一例である。従って、図７に示す初期状態とは異なる状態が、初期状態として採用されてもよい。以下、初期状態の改変の例について説明する。

　第２柱状部材１２２の第１外面１２２ｃの少なくとも一部は、第１柱状部材１２１の第２外面１２１ｅの少なくとも一部よりも内側方向に位置していてもよい。第１外面１２２ｃの少なくとも一部と第２外面１２１ｅの少なくとも一部とがＺ軸に沿って並んでいてもよい。ＸＹ平面上における第１外面１２２ｃの少なくとも一部の径は、ＸＹ平面上における第２外面１２１ｅの少なくとも一部の径以下であってもよい。Ｘ軸に沿った第１外面１２２ｃの少なくとも一部と第２外面１２１ｅの少なくとも一部との間の距離は、Ｘ軸に沿った各突起部１３ｅの大きさ以下であってもよい。

　第２柱状部材１２２の第１下面１２２ｅの少なくとも一部は、第１柱状部材１２１の第２上面１２１ｄの少なくとも一部と接触していてもよい。

　第２柱状部材１２２の第１内面１２２ｆの少なくとも一部は、第１柱状部材１２１の第１外面１２１ｃの少なくとも一部と嵌合（或いは、接触又は対向）していなくてもよい。第１内面１２２ｆの少なくとも一部のＺ軸に対する傾斜角度が、第１外面１２１ｃの少なくとも一部のＺ軸に対する傾斜角度と異なっていてもよい。ＸＹ平面上における第１内面１２２ｆの少なくとも一部の外縁の形状は、ＸＹ平面上における第１外面１２１ｃの少なくとも一部の外縁の形状と異なっていてもよい。

　第２柱状部材１２２の第２下面１２２ｇの少なくとも一部は、第１柱状部材１２１の第１上面１２１ａの少なくとも一部と嵌合（或いは、接触又は対向）していなくてもよい。ＸＹ平面上における第２下面１２２ｇの少なくとも一部の外縁の形状は、ＸＹ平面上における第１上面１２１ａの少なくとも一部の外縁の形状と異なっていてもよい。

　第２柱状部材１２２から加わる応力の有無に関わらず、第１内面１３ｂは、その径を拡大するように伸びることができない面であってもよい。第２柱状部材１２２から加わる応力の有無に関わらず、第１内面１３ｂの径が維持されるような剛性を筒状部材１３が有していてもよい。筒状部材１３が柱状部材１２に嵌め込まれていない時点では、ＸＹ平面上における内面１３ｃの少なくとも一部の径は、ＸＹ平面上における第１外面１２２ｃの少なくとも一部の径以上であってもよい。ＸＹ平面上における第１内面１２２ｆの少なくとも一部の外縁の形状は、ＸＹ平面上における第１外面１２１ｃの少なくとも一部の外縁の形状と同一又は相似でなくてもよい。

　初期状態において、筒状部材１３の第１内面部分１３ｂ－１の少なくとも一部は、第２柱状部材１２２の外面１２２ｃの少なくとも一部に嵌合（或いは、接触又は対向）していてもよい。初期状態において、筒状部材１３の第２内面部分１３ｂ－２の少なくとも一部は、外面１２２ｃに嵌合（或いは、接触又は対向）していなくてもよい。初期状態において、第１内面部分１３ｂ－１と第２内面部分１３ｂ－２との間の境界線の少なくとも一部は、第２上面１２２ｂと第１外面１２２ｃとの間の境界線と一致していなくてもよい。

　（１－２）第１実施形態の支持装置１の製造方法
　続いて、図８（ａ）から図８（ｄ）を参照しながら、第１実施形態の支持装置１の製造方法について説明する。図８（ａ）から図８（ｄ）は、夫々、第１実施形態の支持装置１を製造する各工程が実行されている際の支持装置１のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。

　支持装置１を製造するに当たって、２４個の第１柱状部材１２１と一体化されている基礎部材１１と、２４個の第２柱状部材１２２と、２４個の筒状部材１３とが、夫々別個に製造される。基礎部材１１、各第２柱状部材１２２及び各筒状部材１３の夫々は、例えば射出成型法によって製造される。但し、基礎部材１１、各第２柱状部材１２２及び各筒状部材１３の夫々は、例えば射出成型法とは異なる任意の製造方法によって製造されてもよい。

　尚、第１実施形態では、第１柱状部材１２１と第２柱状部材１２２とが夫々別個に製造される。ここで、第１実施形態では、相対的に径の小さい第２外面１２１ｅがＺ軸に沿って相対的に径の大きい第３外面１２１ｆ及び第４外面１２１ｇと第１外面１２２ｃとによって挟まれている。このため、仮に、第１柱状部材１２１と第２柱状部材１２２とが一体化されている柱状部材１２が製造されるとすると、金型の構造によっては、柱状部材１２の金型からの取り出しが困難になる可能性がある。しかるに、第１柱状部材１２１と第２柱状部材１２２とが夫々別個に製造されると、相対的に径の小さい第２外面１２１ｅがＺ軸に沿って相対的に径の大きい２つの面によって挟み込まれることがない。従って、第１柱状部材１２１と第２柱状部材１２２との金型からの取り出しが困難になる可能性が相対的に小さくなる。つまり、柱状部材１２が比較的容易に製造可能になる。

　続いて、２４個の第１柱状部材１２１と一体化されている基礎部材１１と、２４個の第２柱状部材１２２と、２４個の筒状部材１３とが組み合わせられることで、支持装置１が製造される。尚、図８（ａ）から図８（ｄ）では、図面の簡略化のために、１個の第１柱状部材１２１と１個の第２柱状部材１２２と１個の筒状部材１３との組み合わせに着目して説明を進める。

　具体的には、図８（ａ）に示すように、第１柱状部材１２１に、第２柱状部材１２２が積み重ねられる。このとき、第１柱状部材１２１の第１上面１２１ａと第２柱状部材１２２の第２下面１２２ｇとが嵌合（或いは、接触又は対向）するように、第１柱状部材１２１に第２柱状部材１２２が積み重ねられる。第１柱状部材１２１の第１外面１２１ｃと第２柱状部材１２２の第１内面１２２ｆとが嵌合（或いは、接触又は対向）するように、第１柱状部材１２１に第２柱状部材１２２が積み重ねられる。このとき、ＸＹ平面上における第１上面１２１ａ及び第２下面１２２ｇ並びに第１外面１２１ｃ及び第１内面１２２ｆの夫々の外縁の形状が正方形であることは上述したとおりである。このため、第１柱状部材１２１に第２柱状部材１２２が積み重ねられる際に、第１柱状部材１２１に対する第２柱状部材１２２のＺ軸周りの回転が抑制される。更に、第１柱状部材１２１に第２柱状部材１２２が積み重ねられた後においても、第１柱状部材１２１に対する第２柱状部材１２２のＺ軸周りの回転が抑制される。

　その後、図８（ｂ）に示すように、第１上面１２１ａ上に形成されている溶着部材１２１ｂに向けて超音波が照射される。超音波の照射により、溶着部材１２１ｂが溶融する。溶融した溶着部材１２１ｂは、第１上面１２１ａと第２下面１２２ｇとを固着するための接着剤として作用する。従って、第１上面１２１ａと第２下面１２２ｇとが固着される。その結果、第１柱状部材１２１と第２柱状部材１２２とが固着される。

　溶着部材１２１ｂが第１柱状部材１２１と第２柱状部材１２２とを固着するための接着剤として用いられることを考慮すれば、溶着部材１２１ｂは、第１上面１２１ａに加えて又は代えて、第２下面１２２ｇ、第１外面１２１ｃ及び第１内面１２２ｆの少なくとも一つに形成されていてもよい。

　その後、図８（ｃ）に示すように、筒状部材１３が柱状部材１２に嵌め込まれていく。図８（ｃ）に示す例では、筒状部材１３は、＋Ｚ側から－Ｚ側に向かって移動するように柱状部材１２に徐々に嵌め込まれていく。筒状部材１３は、＋Ｚ側から不図示の工具を用いて－Ｚ側に向かって押し込まれることで、柱状部材１２に徐々に嵌め込まれていく。言い換えれば、柱状部材１２は、筒状部材１３が押し込まれることで、実質的には、－Ｚ側から＋Ｚ側に向かって筒状部材１３の筒内部に挿入されていく。その結果、第１内面１３ｂの少なくとも一部（例えば、第２内面部分１３ｂ－２の少なくとも一部）が第１外面１２２ｃの少なくとも一部に嵌合（或いは、接触又は対向）しながら、第１内面１３ｂに規定される筒内部に第２柱状部材１２２が徐々に嵌め込まれていく。ここで、上述したように、筒状部材１３が弾性を有する材料から構成されている。このため、第１内面１３ｂと外面１２２ｃとが嵌合している嵌合面において第１内面１３ｂの径が拡大するように第１内面１３ｂが（更には、第１外面１３ｃ）が外側方向に向かって拡大しながら、筒状部材１３が柱状部材１２に嵌め込まれていく。

　その後、図８（ｄ）に示すように、筒状部材１３は、筒状部材１３の４つの突起部１３ｅと第２柱状部材１２２の４つの穴部１２２ｄとが同一のＸＹ平面上に位置することになるまで、－Ｚ側に向かって移動する。４つの突起部１３ｅと４つの穴部１２２ｄとが同一のＸＹ平面上に位置するようになるまで筒状部材１３が移動すると、４つの突起部１３ｅと４つの穴部１２２ｄとが夫々嵌合する。４つの突起部１３ｅ及び４つの穴部１２２ｄとの間の嵌合により、柱状部材１２と筒状部材１３との間の位置関係が固定される。その結果、支持装置１が完成する。

　「柱状部材１２と筒状部材１３との間の位置関係の固定」は、柱状部材１２に対する筒状部材１３の相対的に移動が、４つの突起部１３ｅと４つの穴部１２２ｄとが夫々嵌合してない場合と比較して抑制される状態を意味している。例えば、「柱状部材１２と筒状部材１３との間の位置関係の固定」は、第２柱状部材１２２（或いは、柱状部材１２）に対する筒状部材１３のＺ軸周りの回転の抑制を意味していてもよい。「柱状部材１２と筒状部材１３との間の位置関係の固定」は、第２柱状部材１２２（或いは、柱状部材１２）に対する筒状部材１３のＺ軸に沿った移動の抑制を意味していてもよい。

　柱状部材１２と筒状部材１３との間の位置関係は、４つの突起部１３ｅと４つの穴部１２２ｄとの嵌合に加えて又は代えて、第２柱状部材１２２の第１外面１２２ｃと筒状部材１３の第１内面１３ｂとの間の摩擦力によって固定されてもよい。上述したように第１内面１３ｂと第１外面１２２ｃとは相対的に強く密着し合っていることを考慮すれば、第２柱状部材１２２の第１外面１２２ｃと筒状部材１３の第１内面１３ｂとの間の摩擦力によって柱状部材１２と筒状部材１３との間の位置関係が相応に固定可能である。

　（１－４）第１実施形態の支持装置１の使用方法
　続いて、図９（ａ）から図９（ｅ）を参照しながら、第１実施形態の支持装置１の使用方法について説明する。図９（ａ）から図９（ｅ）は、夫々、第１実施形態の支持装置１を使用する際の支持装置１のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。

　図９（ａ）に示すように、初期状態では、第１上面１２２ａ及び第２上面１２２ｂと第１内面部分１３ｂ－１とによって囲まれる空間ＳＰ１（特に、所定量以上の容積を有する空間ＳＰ１）が確保される。空間ＳＰ１には、任意の保持対象物が保持可能である。例えば、空間ＳＰ１に対して保持対象物の一例である所望の液体が分注される場合には、当該空間ＳＰ１において所望の液体が保持される。

　つまり、初期状態では、第１内面１３ｂの少なくとも一部（例えば、第１外面１２２ｃに対向していない第１内面部分１３ｂ－１の少なくとも一部）と第１上面１２２ａ及び第２上面１２２ｂとが、任意の保持対象物を保持可能なウェル（或いは、容器又は桶）を構成している。従って、初期状態では、支持装置１は、いわゆるウェルプレートとして機能することができる。

　ここで、筒状部材１３が弾性を有する材料から構成されているがゆえに第１内面１３ｂと第１外面１２２ｃとは相対的に強く密着し合っているのは上述したとおりである。空間ＳＰ１は、このような第１内面１３ｂと第１外面１２２ｃとの密着面（つまり、嵌合面）よりも＋Ｚ側において確保される。このため、第１内面１３ｂと第１外面１２２ｃとは相対的に強く密着し合っていない場合と比較して、空間ＳＰ１に保持されている保持対象物（特に、液体）は、第１内面１３ｂと第１外面１２２ｃとの間の隙間から漏れ出しにくくなる。つまり、第１実施形態では、空間ＳＰ１の水密性が相応に又は好適に確保されている。従って、空間ＳＰ１に対して保持対象物の一例である所望の液体が注入される場合であっても、空間ＳＰ１は、所望の液体を好適に保持可能である。

　このような初期状態の支持装置１を基準として、図９（ｂ）に示すように、支持装置１が備える各筒状部材１３は、－Ｚ側に向かって移動可能である。例えば、各筒状部材１３は、治具１５によって－Ｚ側に向かって押し下げられることで、－Ｚ側に向かって移動可能である。

　治具１５は、底部１５ａと筒部１５ｂとを備えている。底部１５ａは、平面視板状の又は円盤状の部材である。筒部１５ｂは、一端（図９（ｂ）に示す例では、＋Ｚ側の端部）が底部１５ａに取り付けられている筒状の部材である。筒部１５ｂは、他端（図９（ｂ）に示す例では、－Ｚ側の端部）が筒状部材１３の第１上面１３ａに接触可能な部材である。ＸＹ平面上における筒部１５ｂの内径は、筒状部材１３の第１上面１３ａの内径と同一である。治具１５には、底部１５ａと筒部１５ｂとによって囲まれる空間ＳＰ１５が確保されている。

　各筒状部材１３が－Ｚ側に向かって移動すると、筒状部材１３の各突起部１３ｅと第２柱状部材１２２の各穴部１２２ｄとの間の嵌合が外れる。各突起部１３ｅと各穴部１２２ｄとの間の嵌合が外れると、図９（ｂ）に示すように、各突起部１３ｅは、第２柱状部材１２２の第１外面１２２ｃから受ける応力によって、外側方向に向かって押し出される。その結果、筒状部材１３が歪む。例えば、図９（ｂ）に示すように、第１外面１２２ｃに対向していない第１内面１３ｂの一部が内側方向に向かって傾くように筒状部材１３が歪む。一方で、第１内面１３ｂのうち初期状態で第１外面１２２ｃに対向していない第１内面部分１３ｂ－１の形状がテーパ形状であることは上述したとおりである。従って、各突起部１３ｅと各穴部１２２ｄとの間の嵌合が外れることで筒状部材１３が歪む場合であっても、内側方向に向かって傾いた第１内面１３ｂと第１外面１２２ｃとが過度に密着し合うことはない。言い換えれば、内側方向に向かって傾いた第１内面１３ｂと第１外面１２２ｃとの間の摩擦力が過度に強くなってしまうことはない。その結果、第１内面部分１３ｂ－１の形状がテーパ形状でない場合と比較して、各突起部１３ｅと各穴部１２２ｄとの間の嵌合が外れることで筒状部材１３が歪む場合であっても、筒状部材１３は－Ｚ側に向かって相対的にスムーズに移動可能である。

　その後、筒状部材１３が－Ｚ側に向かって更に移動すると、図９（ｃ）に示すように、各突起部１３ｅは、ある時点で、第２柱状部材１２２の第１下面１２２ｅよりも－Ｚ側に位置することになる。言い換えれば、各突起部１３ｅがＸＹ平面に沿って対向する面が、第２柱状部材１２２の第１外面１２２ｃから第１柱状部材１２１の第２外面１２１ｅへと変わる。ここで、第２外面１２１ｅは第１外面１２２ｃよりも内側方向に位置しており且つＸＹ平面に沿った第１外面１２２ｃと第２外面１２１ｅとの間の距離がＸＹ平面に沿った各突起部１３ｅの大きさよりも大きいことは上述したとおりである。従って、各突起部１３ｅがＸ軸に沿って対向する面が第２外面１２１ｅである場合には、各突起部１３ｅが第２外面１２１ｅと接触することはない。その結果、各突起部１３ｅが第１外面１２２ｃと接触している場合と比較して、筒状部材１３と第２柱状部材１２２との間の摩擦力が小さくなる。つまり、－Ｚ側に向かう筒状部材１３の移動を妨げる摩擦力が小さくなる。このため、筒状部材１３は－Ｚ側に向かって相対的にスムーズに移動可能である。

　その後、筒状部材１３が－Ｚ側に向かって更に移動すると、図９（ｄ）に示すように、各突起部１３ｅは、テーパ形状となっている第３外面１２１ｆに徐々に接触していく。その結果、各突起部１３ｅが第３外面１２１ｆと接触していない場合と比較して、－Ｚ側に向かう筒状部材１３の移動を妨げる摩擦力が徐々に大きくなる。従って、筒状部材１３の－Ｚ側に向かう移動が徐々に抑制される。このため、第３外面１２１ｆは、筒状部材１３の－Ｚ側に向かう移動を抑制する抑制部として作用し得る。

　筒状部材１３が－Ｚ側に向かって更に移動すると、図９（ｅ）に示すように、各突起部１３ｅは、第４外面１２１ｇに接触する。その結果、各突起部１３ｅが第４外面１２１ｇと接触していない場合（例えば、第３外面１２１ｆと接触している場合）と比較して、－Ｚ側に向かう筒状部材１３の移動を妨げる摩擦力がより一層大きくなる。従って、筒状部材１３の－Ｚ側に向かう移動がより一層抑制される。場合によっては、各突起部１３ｅと第４外面１２１ｇとの間の摩擦力により、筒状部材１３が－Ｚ側に向かって移動することが困難になり得る。このため、第４外面１２１ｇは、筒状部材１３の－Ｚ側に向かう移動を抑制する抑制部又は筒状部材１３の－Ｚ側に向かう移動を停止する停止部として作用し得る。

　突起部１３ｅが第４外面１２１ｇに接触することで筒状部材１３の－Ｚ側に向かう移動が停止している状態を、“最終状態”と称する。最終状態では、第２柱状部材１２２の第１上面１２２ａは、筒状部材１３の第１上面１３ａよりも＋Ｚ側に位置する。最終状態では、第１上面１２２ａから第１上面１３ａまでの距離Ｄは所定距離Ｄ２以下となる。このため、筒状部材１３の第１内面１３ｂ及び第１外面１３ｃのＺ軸に沿った長さは、最終状態での第１上面１２２ａから第１上面１３ａまでの距離Ｄを所定距離Ｄ２以下とすることが可能な長さである。また、第３外面１２１ｆ及び第４外面１２１ｇは、最終状態での第１上面１２２ａから第１上面１３ａまでの距離Ｄを所定距離Ｄ２以下とすることが可能な位置に形成される。尚、第１上面１２２ａから＋Ｚ側に向かう方向を正の方向と定義しているため、図９（ｅ）に示す例では、第１上面１２２ａから第１上面１３ａまでの距離Ｄは負の距離となっている。

　最終状態となるまで筒状部材１３が移動した場合であっても、治具１５に空間ＳＰ１５が確保されているがゆえに、治具１５の底部１５ａが第２柱状部材１２２の第１上面１２２ａに接触することはない。或いは、治具１５の底部１５ａが第１上面１２２ａに支持されている支持対象物に接触することはない。このため、第１上面１２２ａ（或いは、支持対象物）が好適に保護される。

　最終状態となるまで筒状部材１３が移動すると、第１上面１２２ａは、第１上面１３ａよりも＋Ｚ側に位置する。つまり、第１上面１２２ａは、筒状部材１３から露出している。第１上面１２２ａは、筒状部材１３の筒内部から露出している。従って、第１上面１２２ａ（或いは、第１上面１２２ａによって支持される支持対象物）に接近するべき任意の接近対象物は、筒状部材１３に接触することなく、第１上面１２２ａに接近することができる。つまり、第１上面１２２ａ（或いは、支持対象物）に対する接近対象物の接近が筒状部材１３によって阻害されることが殆ど又は全くなくなる。

　ここで、図１０（ａ）から図１０（ｃ）を参照しながら、支持装置１がバイオチップ１４を支持する場合の当該支持装置１の使用方法の具体例について説明する。図１０（ａ）から図１０（ｃ）は、夫々、バイオチップ１４を支持する第１実施形態の支持装置１を使用する際の支持装置１のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。

　図１０（ａ）に示すように、支持装置１がバイオチップ１４を支持する場合には、第２柱状部材１２２の第１上面１２２ａ中の少なくとも一部の領域である支持領域１２２ａ－１がバイオチップ１４を支持する。図１０（ａ）は、第１上面１２２ａ全体が支持領域１２２ａ－１となる例を示している。バイオチップ１４は、熱硬化樹脂等の接着剤を用いて、支持領域１２２ａ－１に貼り付けられてもよい。バイオチップ１４が貼り付けられる時点では、支持装置１は初期状態にある。但し、バイオチップ１４が貼り付けられる時点では、支持装置１は筒状部材１３が柱状部材１２に嵌め込まれていない状態にあってもよい。この場合、バイオチップ１４が貼り付けられた後に、筒状部材１３が柱状部材１２に嵌め込まれてもよい。

　その後、図１０（ｂ）に示すように、第２柱状部材１２２の第１上面１２２ａ及び第２上面１２２ｂと筒状部材１３の第１内面１３ｂとによって確保される空間ＳＰ１に対して、保持対象物の一例である液状の試料（つまり、分子診断の対象となる試料）ＬＱが分注される。試料ＬＱが分注される時点では、支持装置１は初期状態にある。従って、支持装置１は、バイオチップ１４と反応させるために分注される試料ＬＱを、空間ＳＰ１を利用して好適に保持することができる。その結果、試料ＬＱに対するバイオチップ１４の反応が促進される。

　その後、図１０（ｃ）に示すように、試料ＬＱに対するバイオチップ１４の反応が、測定装置ＭＳによって光学的に検出される。具体的には、測定装置ＭＳが備える対物レンズＬＳ（図２４参照）が、バイオチップ１４と対物レンズＬＳのレンズ面との間の距離が観察可能距離以下となるまでバイオチップ１４に接近する。ここで、筒状部材１４は、試料ＬＱが分注されてから（或いは、試料ＬＱに対してバイオチップ１４が反応してから）対物レンズＬＳがバイオチップ１４に接近するまでの間の任意の時点で、－Ｚ側に移動する。その結果、試料ＬＱが分注されてから（或いは、試料ＬＱに対してバイオチップ１４が反応してから）対物レンズＬＳがバイオチップ１４に接近するまでの間の任意の時点で、支持装置１が初期状態から最終状態に遷移する。このため、対物レンズＬＳは、筒状部材１３に接触することなく、バイオチップ１４に接近することができる。つまり、バイオチップ１４に対する対物レンズＬＳの接近が筒状部材１３によって阻害されることが殆ど又は全くなくなる。

　バイオチップ１４と対物レンズＬＳのレンズ面との間の距離が観察可能距離以下となるまでバイオチップ１４に接近することを考慮すれば、最終状態における第１上面１２２ａから第１上面１３ａまでの距離Ｄを規定する「所定距離Ｄ２」には、観察可能距離以下の任意の値が設定されてもよい。

　加えて、測定装置ＭＳは、バイオチップ１４の反応を検出するために、バイオチップ１４に対して照明光を照射している。この照明光の少なくとも一部は、バイオチップ１４の上面、第１上面１２２ａ及び第２上面１２２ｂの少なくとも一つで反射し得る。この反射光は、測定装置ＭＳによるバイオチップ１４の反応の検出の際にノイズとして作用し得る。従って、反射光は、可能な限り対物レンズＬＳに入射しないことが好ましい。第１実施形態では、第２上面１２２ｂが外側方向を向いている。従って、仮に照明光が第２上面１２２ｂで反射したとしても、当該第２上面１２２ｂからの反射光は、外側方向に向かって伝搬する。その結果、第２上面１２２ｂが外側方向を向いていない場合と比較して、第２上面１２２ｂからの反射光は対物レンズＬＳに入射しにくくなる。加えて、最終状態では、第２柱状部材１２２の第１上面１２２ａが筒状部材１３の第１上面１３ａよりも＋Ｚ側に位置している。従って、バイオチップ１４の上面、第１上面１２２ａ及び第２上面１２２ｂの少なくとも一つからの反射光が、筒状部材１３の第１内面１３ｂにおいて反射されることで対物レンズＬＳに入射してしまう事態が相対的に生じにくくなる。このように反射光が対物レンズＬＳに対して入射しにくくなるため、測定装置ＭＳによるバイオチップ１４の反応の検出の際のノイズが低減される。

　このように、第１実施形態の支持装置１は、任意の保持対象物（例えば、試料ＬＱ）を空間ＳＰ１内に保持しつつ、支持装置１が支持する支持対象物（例えば、バイオチップ１４）に任意の接近対象物（例えば、対物レンズＬＳ）を接近させることができる。

　尚、図９（ａ）から図９（ｅ）及び図１０（ａ）から図１０（ｃ）を用いて説明した支持装置１の使用方法は一例である。従って、支持装置１の使用方法の一部が適宜改変されてもよい。以下、支持装置１の使用方法の改変の例について説明する。

　上述した説明では、空間ＳＰ１の水密は、第１内面１３ｂと第１外面１２２ｃとの密着によって確保されている。しかしながら、空間ＳＰ１の水密は、第１内面１３ｂと第１外面１２２ｃとの密着に加えて又は代えて、穴部１２２ｄと突起部１３ｅとの密着によって確保されてもよい。穴部１２２ｄと突起部１３ｅとの密着によって空間ＳＰ１の水密が確保される場合には、穴部１２２ｄは、ＸＹ平面上における第１外面１２２ｃの外縁に相当する円周上に連続的に形成されていてもよい。穴部１２２ｄと突起部１３ｅとの密着によって空間ＳＰ１の水密が確保される場合には、突起部１３ｅは、ＸＹ平面上における第１内面１３ｂの外縁に相当する円周上に連続的に形成されていてもよい。穴部１２２ｄと突起部１３ｅとの密着によって空間ＳＰ１の水密が確保される場合には、第１内面１３ｂと第１外面１２２ｃとが相対的に強固に密着していなくてもよい。穴部１２２ｄと突起部１３ｅとの密着によって空間ＳＰ１の水密が確保される場合には、第１内面１３ｂと第１外面１２２ｃと嵌合又は接触していなくてもよい。

　治具１５に確保される空間ＳＰ１５は、主として筒状部材１３を最も－Ｚ側まで押し下げた時点で治具１５の底部１５ａを第１上面１２２ａ（或いは、第１上面１２２ａが支持する、バイオチップ１４等の支持対象物）に接触させないことを目的に確保されている。しかしながら、筒状部材１３を最も－Ｚ側まで押し下げた時点で治具１５の底部１５ａが第１上面１２２ａ（或いは、支持対象物）に接触しない場合には、空間ＳＰ１５が確保されていなくてもよい。この場合、例えば、治具１５は、筒部１５ｂを備えていなくてもよい。つまり、治具１５は、筒状部材１３を－Ｚ側に向かって押し下げることが可能であって且つ筒状部材１３を最も－Ｚ側まで押し下げた時点で第１上面１２２ａ（或いは、支持対象物）に接触しない限りは、どのような構造を有していてもよい。

　筒状部材１３の－Ｚ側に向かう移動は、突起部１３ｅが第４外面１２１ｇに接触することで停止されることに加えて又は代えて、突起部１３ｅが第３外面１２１ｆに接触することで停止されてもよい。この場合、突起部１３ｅが第３外面１２１ｆに接触することで筒状部材１３の－Ｚ側に向かう移動が停止している状態が、“最終状態”となっていてもよい。更に、この場合、第３外面１２１ｆは、筒状部材１３の－Ｚ側に向かう移動を停止する停止部として作用し得る。

　最終状態となるまで筒状部材１３が移動した場合であっても、第１上面１２２ａは、第１上面１３ａよりも－Ｚ側に位置していてもよい。第１上面１２２ａは、筒状部材１３から露出していなくてもよい。この場合であっても、第１上面１２２ａから第１上面１３ａまでの距離Ｄは所定距離Ｄ２以下となっている。従って、第１上面１２２ａ（或いは、第１上面１２２ａによって支持される支持対象物）に接近するべき任意の接近対象物は、筒状部材１３に接触することなく、第１上面１２２ａに接近することができる。

　支持装置１が備える各筒状部材１３が－Ｚ側に向かって移動可能であることに加えて又は代えて、支持装置１が備える各柱状部材１２が＋Ｚ側に向かって移動可能であってもよい。各柱状部材１２が＋Ｚ側に向かって移動する場合であっても、支持装置１の状態は、初期状態から最終状態へと遷移する。各柱状部材１２が＋Ｚ側に向かって移動する場合には、第１柱状部材１２１は、基礎部材１１と一体化されていなくてもよい又は一体成型されていなくてもよい。各柱状部材１２が＋Ｚ側に向かって移動する場合には、筒状部材１３は、基礎部材１１と一体化されていてもよい又は一体成型されていてもよい。

　（２）第２実施形態の支持装置２
　続いて、図１１（ａ）から図１１（ｄ）を参照しながら、第２実施形態の支持装置２について説明する。図１１（ａ）から図１１（ｄ）は、第２実施形態の支持装置２が備える第１柱状部材１２１、第２柱状部材２２２及び筒状部材２３のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。尚、第２実施形態の支持装置２は、第１実施形態の支持装置１と比較して、主として第２柱状部材２２２及び筒状部材２３の構成が異なる。以下では、第１実施形態の支持装置１の構成とは異なる構成に着目して説明を進める。また、第１実施形態の支持装置１が備える各種部材と同一の部材については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。

　図１１（ａ）に示すように、第２実施形態の支持装置２は、第１実施形態の第２柱状部材１２２に代えて、第２柱状部材２２２を備えている。第２柱状部材２２２は、第２柱状部材１２２と同様に、第１上面１２２ａと、第２上面１２２ｂと、第１外面１２２ｃと、４つの穴部１２２ｄと、第１下面１２２ｅと、第２下面１２２ｇとを備えている。

　第２実施形態では特に、第２柱状部材２２２は、第１内面１２２ｆに代えて、第１内面２２２ｆ－１と、第３下面２２２ｆ－２と、第２内面２２２ｆ－３とを備えている。

　第１内面２２２ｆ－１は、第１下面１２２ｅの内側方向の外縁から＋Ｚ側に向かって延びる面である。第１内面２２２ｆ－１は、内側方向を向いている面である。第１内面２２２ｆ－１は、Ｚ軸に平行な面である。ＸＹ平面上における第１内面２２２ｆ－１の外縁の形状は、円形である。ＸＹ平面上における第１内面２２２ｆ－１の中心（つまり、円形の中心）は、ＸＹ平面上における第１上面１２２ａの中心と一致する。

　第３下面２２２ｆ－２は、第１内面２２２ｆ－１の＋Ｚ側の外縁から内側方向に向かって延びる面である。第３下面２２２ｆ－２は、－Ｚ側を向いている面である。第３下面２２２ｆ－２は、ＸＹ平面に平行な面である。ＸＹ平面上における第３下面２２２ｆ－２の外側方向の外縁の形状は、円形である。ＸＹ平面上における第３下面２２２ｆ－２の内側方向の外縁の形状は、正方形である。ＸＹ平面上における第３下面２２２ｆ－２の中心（つまり、円形又は正方形の中心）は、ＸＹ平面上における第１上面１２２ａの中心と一致する。

　第２内面２２２ｆ－３は、第３下面２２２ｆ－２の内側方向の外縁から＋Ｚ側に向かって延びる面である。第２内面２２２ｆ－３は、内側方向を向いている面である。第２内面２２２ｆ－３は、Ｚ軸に対して傾斜している面である。第２内面２２２ｆ－３は、－Ｚ側に向かうにつれてＸＹ平面上における第２内面２２２ｆ－３の径が大きくなるように、Ｚ軸に対して傾斜している。第２内面２２２ｆ－３の形状は、テーパ形状である。ＸＹ平面上における第２内面２２２ｆ－３の外縁の形状は、正方形である。ＸＹ平面上における第２内面２２２ｆ－３の中心（つまり、円形の中心）は、ＸＹ平面上における第１上面１２２ａの中心と一致する。

　更に、第２実施形態では、４つの穴部１２２ｄの夫々は、第２上面１２２ｂよりも第１下面１２２ｅに近い位置に形成されている。４つの穴部１２２ｄの夫々は、Ｚ軸に沿った４つの穴部１２２ｄから第１下面１２２ｅまでの間の距離がＺ軸に沿った４つの穴部１２２ｄから第２上面１２２ｂまでの間の距離よりも小さくなる位置に形成されている。

　４つの穴部１２２ｄの夫々は、ＸＹ平面に沿って第１内面２２２ｆ－１に対向する第１外面１２２ｃの一部の領域に形成されている。４つの穴部１２２ｄの夫々は、第３下面２２２ｆ－２よりも－Ｚ側に位置する第１外面１２２ｃの一部の領域に形成されている。

　続いて、図１１（ｂ）に示すように、第２実施形態の支持装置２は、第１実施形態の筒状部材１３に代えて、筒状部材２３を備えている。筒状部材２３は、筒状部材１３と同様に、第１上面１３ａと、第１内面１３ｂと、第１外面１３ｃと、第１下面１３ｄと、４つの突起部１３ｅとを備えている。

　第２実施形態では特に、第２部材２３は、第１部分２３－１と、第２部分２３－２とを含んでいる。

　第１部分２３－１は、４つの突起部１３ｅが形成されている領域を含む第２部材２３の一部である。第２部分２３－２は、４つの突起部１３ｅが形成されている領域を含んでいない第２部材２３の他の一部である。第１部分２３－１は、第２部分２３－２よりも－Ｚ側に位置する第２部材２３の一部である。第２部分２３－２は、第１部分２３－１よりも＋Ｚ側に位置する第２部材２３の他の一部である。尚、第１部分２３－１及び第２部分２３－２の区分は、４つの突起部１３ｅが形成されている領域の包含の有無及びＺ軸に沿った相対的な位置関係から導かれる相対的な区分であれば足りる。

　第１部分２３－１の少なくとも一部の厚さ（つまり、Ｚ軸に直交する方向に沿った長さ）は、第２部分２３－２の厚さ（つまり、Ｚ軸に直交する方向に沿った長さ）よりも薄い。図１１（ｂ）では、第１部分２３－１の第１外面１３ｃに窪み部２３ｃ－１が形成されることで、第１部分２３－１の厚さが、第２部分２３－２の厚さよりも薄くなっている。窪み部２３ｃ－１は、第１外面１３ｃから内側方向に向かって窪んだ窪み（或いは、穴又は凹部）である。

　尚、第２実施形態の支持装置２は、第１実施形態の支持装置１と同様に第１柱状部材１２１を備えている。

　続いて、図１１（ｃ）は、第２実施形態の支持装置２の初期状態を示している。第２実施形態では、第２柱状部材２２２の第２内面２２２ｆ－３は、第１柱状部材１２１と第２柱状部材２２２とが固着される際に第１柱状部材１２１の第１外面１２１ｃの少なくとも一部と嵌合可能（或いは、接触可能又は対向可能）な面である。第２内面２２２ｆ－３のＺ軸に対する傾斜角度は、第１外面１２１ｃのＺ軸に対する傾斜角度と同一である。ＸＹ平面上における第２内面２２２ｆ－３の外縁の形状は、ＸＹ平面上における第１外面１２１ｃの外縁の形状と同一である。第２内面２２２ｆ－３と第１外面１２１ｃとが嵌合した際の嵌合面内の各位置において、ＸＹ平面上における第２内面２２２ｆ－３の径は、ＸＹ平面上における第１外面１２１ｃの径と同一（但し、嵌合可能な程度のマージン又は嵌合精度に起因する誤差が考慮されてもよい）である。

　初期状態では、第２柱状部材２２２の第１内面２２２ｆ－１は、第１柱状部材１２１の第１外面１２１ｃに接触（或いは、嵌合）していない。但し、第２柱状部材２２２の第１内面２２２ｆ－１は、ＸＹ平面に沿って第１外面１２１ｃに対向している。初期状態では、第１内面２２２ｆ－１と第１外面１２１ｃとの間には、空間ＳＰ２が確保されている。初期状態では、第１内面２２２ｆ－１と第１外面１２１ｃと第３下面２２２ｆ－２との間には、空間ＳＰ２が確保されている。初期状態では、第１外面１２１ｃの内側方向に空間ＳＰ２が確保されている。

　第２実施形態においても、このような初期状態の支持装置２を基準として、支持装置２が備える各筒状部材２３は、－Ｚ側に向かって移動可能である。各筒状部材１３が－Ｚ側に向かって移動すると、筒状部材１３の各突起部１３ｅと第２柱状部材１２２の各穴部１２２ｄとの間の嵌合が外れる。

　各突起部１３ｅと各穴部１２２ｄとの間の嵌合が外れると、第２柱状部材２２２の第１外面１２２ｃの少なくとも一部は、各突起部１３ｅから受ける応力によって、内側方向に向かって押し出される。ここで、各突起部１３ｅから応力を受ける第１外面１２１ｃの少なくとも一部の内側方向には、空間ＳＰ２が確保されている。このため、図１１（ｄ）に示すように、各突起部１３ｅによって押し出されている第１外面１２１ｃの少なくとも一部を含む第２柱状部材２２２の少なくとも一部は、内側方向に向かって撓む。例えば、第１外面１２２ｃと第１下面１２２ｅと第１内面２２２ｆ－１とによって囲まれる第２柱状部材２２２の少なくとも一部は、当該第２柱状部材２２２の少なくとも一部が空間ＳＰ２に侵入するように、内側方向に向かって撓む。その結果、第２柱状部材２２２の少なくとも一部が内側方向に向かって撓んでいない場合と比較して、各突起部１３ｅ又は第１内面１３ｂと第１外面１２２ｃとの間の摩擦力が小さくなる。つまり、－Ｚ側に向かう筒状部材２３の移動を妨げる摩擦力が小さくなる。このため、筒状部材２３は－Ｚ側に向かって相対的にスムーズに移動可能である。

　加えて、各突起部１３ｅと各穴部１２２ｄとの間の嵌合が外れると、各突起部１３ｅは、第１外面１２２ｃから受ける応力によって、外側方向に向かって押し出される。その結果、４つの突起部１３ｅが形成されている領域を含む第１部分２３－１は、第１外面１２２ｃから受ける応力によって、外側方向に向かって押し出される。ここで、第１部分２３－１の第１外面１３ｃに窪み部２３ｃ－１が形成されている（つまり、第１部分２３－１が相対的に薄い）がゆえに、図１１（ｄ）に示すように、第１部分２３－１の少なくとも一部は、外側方向に向かって撓む。その結果、第１部分２３－１の少なくとも一部が外側方向に向かって撓んでいない場合と比較して、各突起部１３ｅ又は第１内面１３ｂと第１外面１２２ｃとの間の摩擦力が小さくなる。つまり、－Ｚ側に向かう筒状部材２３の移動を妨げる摩擦力が小さくなる。このため、筒状部材２３は－Ｚ側に向かって相対的にスムーズに移動可能である。

　このように、第２実施形態の支持装置２は、上述した第１実施形態の支持装置１が享受することができる各種効果を享受しつつ、筒状部材２３を－Ｚ側に向かってより一層スムーズに移動させることができる。

　尚、図１１（ａ）から図１１（ｄ）を用いて説明した第２柱状部材２２２及び筒状部材２３は一例である。従って、第２柱状部材２２２及び筒状部材２３の一部の構成が適宜改変されてもよい。以下、第２柱状部材２２２及び筒状部材２３の一部の構成の改変の例について説明する。

　第１内面２２２ｆ－１の少なくとも一部は、Ｚ軸に対して傾斜している面であってもよい。第１内面２２２ｆ－１の少なくとも一部は、曲面であってもよい。ＸＹ平面上における第１内面２２２ｆ－１の外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形）であってもよい。ＸＹ平面上における第１内面２２２ｆ－１の中心は、ＸＹ平面上における第１上面１２２ａの中心と一致していなくてもよい。

　第３下面２２２ｆ－２の少なくとも一部は、ＸＹ平面に対して傾斜している面であってもよい。第３下面２２２ｆ－２の少なくとも一部は、曲面であってもよい。ＸＹ平面上における第３下面２２２ｆ－２の外側方向の外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や楕円形）であってもよい。ＸＹ平面上における第３下面２２２ｆ－２の内側方向の外縁の形状は、正方形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や円形や楕円形）であってもよい。ＸＹ平面上における第３下面２２２ｆ－２の中心は、ＸＹ平面上における第１上面１２２ａの中心と一致していなくてもよい。

　第２内面２２２ｆ－３の少なくとも一部は、Ｚ軸に平行な面であってもよい。第２内面２２２ｆ－３の少なくとも一部は、曲面であってもよい。第２内面２２２ｆ－３の少なくとも一部の形状は、テーパ形状でなくてもよい。ＸＹ平面上における第２内面２２２ｆ－３の外縁の形状は、正方形とは異なる形状（例えば、任意の円形又は多角形）であってもよい。ＸＹ平面上における第２内面２２２ｆ－３の中心は、ＸＹ平面上における第１上面１２２ａの中心と一致していなくてもよい。

　４つの穴部１２２ｄのうちの少なくとも一つは、第１下面１２２ｅよりも第２上面１２２ｂに近い位置に形成されていてもよい。４つの穴部１２２ｄのうちの少なくとも一つは、Ｚ軸に沿った当該少なくとも一つの穴部１２２ｄから第１下面１２２ｅまでの間の距離がＺ軸に沿った当該少なくとも一つの穴部１２２ｄから第２上面１２２ｂまでの間の距離以上となる位置に形成されていてもよい。

　４つの穴部１２２ｄのうちの少なくとも一つは、ＸＹ平面に沿って第１内面２２２ｆ－１に対向していない第１外面１２２ｃの他の一部の領域に形成されていてもよい。４つの穴部１２２ｄのうちの少なくとも一つは、第３下面２２２ｆ－２よりも＋Ｚ側に位置する第１外面１２２ｃの他の一部の領域に形成されていてもよい。

　第２部材２３は、第１部分２３－１及び第２部分２３－２の少なくとも一方を含んでいなくてもよい。第１部分２３－１の厚さは、第２部分２３－２の厚さ以上であってもよい。第１部分２３－１の第１外面１３ｃに窪み部２３ｃ－１が形成されていなくてもよい。

　第２柱状部材２２２の第２内面２２２ｆ－３の少なくとも一部は、第１柱状部材１２１と第２柱状部材２２２とが固着される際に第１柱状部材１２１の第１外面１２１ｃと嵌合（或いは、接触又は対向）していなくてもよい。第２内面２２２ｆ－３の少なくとも一部のＺ軸に対する傾斜角度は、第１外面１２１ｃのＺ軸に対する傾斜角度と異なっていてもよい。ＸＹ平面上における第２内面２２２ｆ－３の少なくとも一部の外縁の形状は、ＸＹ平面上における第１外面１２１ｃの外縁の形状と異なっていてもよい。

　第２柱状部材２２２の第１内面２２２ｆ－１の少なくとも一部は、第１柱状部材１２１の第１外面１２１ｃに接触（或いは、嵌合）していてもよい。初期状態において、第１内面２２２ｆ－１と第１外面１２１ｃとの間に空間ＳＰ２が確保されていなくてもよい。

　（３）第３実施形態の支持装置３
　続いて、図１２（ａ）から図１２（ｄ）を参照しながら、第３実施形態の支持装置３について説明する。図１２（ａ）から図１２（ｄ）は、第３実施形態の支持装置３が備える第１柱状部材３２１、第２柱状部材１２１及び筒状部材１３のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。尚、第３実施形態の支持装置３は、第１実施形態の支持装置１と比較して、主として第１柱状部材３２１の構成が異なる。以下では、第１実施形態の支持装置１の構成とは異なる構成に着目して説明を進める。また、第１実施形態の支持装置１から第２実施形態の支持装置２が備える各種部材と同一の部材については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。

　図１２（ａ）に示すように、第３実施形態の支持装置３は、第１実施形態の第１柱状部材１２１に代えて、第１柱状部材３２１を備えている。第１柱状部材３２１は、第１柱状部材１２１と同様に、第１上面１２１ａと、溶着部材１２１ｂと、第１外面１２１ｃと、第２上面１２１ｄと、第２外面１２１ｅと、第１下面１２１ｈと、第１内面１２１ｉと、第２下面１２１ｊと、第２内面１２１ｋとを備えている。

　第３実施形態の第１柱状部材３２１は、第３外面１２１ｆと、第４外面１２１ｇとを備えていない。このため、第３実施形態では、第２外面１２１ｅは、基礎部材１１の第５面１１５（特に、その下方面１１５ｂ）から＋Ｚ側に向かって延びる面である。

　尚、第３実施形態の支持装置３は、第１実施形態の支持装置１と同様に第２柱状部材１２２及び筒状部材１３を備えている。

　続いて、図１２（ｂ）は、第３実施形態の支持装置３の初期状態を示している。尚、第３実施形態の支持装置３の初期状態は、第１柱状部材３２１が第３外面１２１ｆ及び第４外面１２１ｇを備えていないと言う点を除いて、第１実施形態の支持装置１の初期状態と同一である。このため、第３実施形態の支持装置３の初期状態の説明は省略する。

　第３実施形態においても、このような初期状態の支持装置３を基準として、支持装置３が備える各筒状部材１３は、－Ｚ側に向かって移動可能である。各筒状部材１３が－Ｚ側に向かって移動すると、筒状部材１３の各突起部１３ｅと第２柱状部材１２２の各穴部１２２ｄとの間の嵌合が外れる。その後、筒状部材１３が－Ｚ側に向かって更に移動すると、図１２（ｃ）に示すように、各突起部１３ｅは、ある時点で、第２柱状部材１２２の第１下面１２２ｅよりも－Ｚ側に位置することになる。このため、第１実施形態と同様に、－Ｚ側に向かう筒状部材１３の移動を妨げる摩擦力が小さくなる。このため、筒状部材１３は－Ｚ側に向かって相対的にスムーズに移動可能である。

　第３実施形態では、第１柱状部材３２１が第３外面１２１ｆ及び第４外面１２１ｇを備えていない。このため、図１２（ｄ）に示すように、筒状部材１３が－Ｚ側に向かって更に移動したとしても、各突起部１３ｅ及び第１内面１３ｂが第１柱状部材３２１に接触することはない。つまり、第３実施形態では、各突起部１３ｅが第１下面１２２ｅよりも－Ｚ側に移動した後は、筒状部材１３は－Ｚ側に向かってより一層スムーズに移動可能である。

　尚、図１２（ｄ）に示す例では、筒状部材１３の－Ｚ側に向かう移動は、筒状部材１３の第１下面１３ｄが基礎部材１１の下方面１１５ｂに突き当たることで停止されている。しかしながら、筒状部材１３の－Ｚ側に向かう移動は、その他の方法で停止されてもよい。

　このように、第３実施形態の支持装置３は、上述した第１実施形態の支持装置１が享受することができる各種効果を享受しつつ、筒状部材２３を－Ｚ側に向かってより一層スムーズに移動させることができる。

　（４）第４実施形態の支持装置４
　続いて、図１３（ａ）から図１３（ｃ）を参照しながら、第４実施形態の支持装置４について説明する。図１３（ａ）から図１３（ｃ）は、第４実施形態の支持装置４が備える第１柱状部材３２１、第２柱状部材４２２及び筒状部材４３のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。尚、第４実施形態の支持装置４は、第１実施形態の支持装置１と比較して、主として第１柱状部材３２１、第２柱状部材４２２及び筒状部材４３の構成が異なる。以下では、第１実施形態の支持装置１の構成とは異なる構成に着目して説明を進める。また、第１実施形態の支持装置１から第３実施形態の支持装置３が備える各種部材と同一の部材については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。

　図１３（ａ）に示すように、第４実施形態の支持装置４は、第１実施形態の第２柱状部材１２２に代えて、第２柱状部材４２２を備えている。第２柱状部材４２２は、第２柱状部材１２２と同様に、第１上面１２２ａと、第２上面１２２ｂと、第１外面１２２ｃと、第１下面１２２ｅと、第１内面１２２ｆと、第２下面１２２ｇとを備えている。第４実施形態では特に、第２柱状部材４２２は、４つの穴部１２２ｄを備えていない。

　続いて、図１３（ｂ）に示すように、第４実施形態の支持装置４は、第１実施形態の筒状部材１３に代えて、筒状部材４３を備えている。筒状部材４３は、筒状部材１３と同様に、第１上面１３ａと、第１内面１３ｂと、第１外面１３ｃと、第１下面１３ｄとを備えている。

　第４実施形態では特に、筒状部材４３は、４つの突起部１３ｅを備えていない。筒状部材４３は、第２内面４３ｆと、第２上面４３ｇとを備えている。

　第２内面４３ｆは、第１下面１３ｄの内側方向の外縁から－Ｚ側に向かって延びる面である。第２内面４３ｆは、第１内面１３ｂよりも内側方向に位置する面である。第２内面４３ｆは、内側方向を向いている面である。第２内面４３ｆは、Ｚ軸に平行な面である。ＸＹ平面上における第２内面４３ｆの外縁の形状は、円形である。ＸＹ平面上における第２内面４３ｆの中心（つまり、円形の中心）は、ＸＹ平面上における第１上面１３ａの中心と一致する。

　第２上面４３ｇは、第２内面４３ｆの＋Ｚ側の外縁から外側方向に向かって延びる面である。第２上面４３ｇは、第１内面１３ｂ（特に、第２内面部分１３ｂ－２）の－Ｚ側の外縁から内側方向に向かって延びる面である。第２上面４３ｇは、＋Ｚ側を向いている面である。第２上面４３ｇは、ＸＹ平面に平行な面である。ＸＹ平面上における第２上面４３ｇの内側方向及び外側方向の外縁の形状は、円形である。ＸＹ平面上における第２上面４３ｇの中心（つまり、円形の中心）は、ＸＹ平面上における第１上面１３ａの中心と一致する。

　尚、第４実施形態の支持装置４は、第３実施形態の支持装置３と同様に第１柱状部材３２１を備えている。

　続いて、図１３（ｃ）は、第４実施形態の支持装置４の初期状態を示している。第４実施形態では、筒状部材４３の第２内面４３ｆの少なくとも一部は、第１柱状部材３２１の第２外面１２１ｅの少なくとも一部に嵌合可能（或いは、接触可能又は対向可能）な面である。ＸＹ平面上における第２内面４３ｆの外縁の形状は、ＸＹ平面上における第２外面１２１ｅの外縁の形状と同一である。第２内面４３ｆと第２外面１２１ｅとが嵌合した際の嵌合面内の各位置において、ＸＹ平面上における第２内面４３ｆの径は、ＸＹ平面上における第２外面１２１ｅの径と同一（但し、嵌合可能な程度のマージン又は嵌合精度に起因する誤差を考慮してもよい）である。

　第４実施形態では、初期状態における柱状部材４２と筒状部材４３との間の位置関係は、第２柱状部材４２２の第１外面１２２ｃと筒状部材４３の第１内面１３ｂとの間の摩擦力及び筒状部材４３の第２内面４３ｆと第１柱状部材３２１の第２外面１２１ｅとの間の摩擦力の少なくとも一方によって固定されている。

　尚、初期状態では、筒状部材４３の第２上面４３ｇは、第２柱状部材４２２の第１下面１２２ｅに接触していてもよいし、接触していなくてもよい。

　第４実施形態においても、このような初期状態の支持装置４を基準として、支持装置４が備える各筒状部材４３は、－Ｚ側に向かって移動可能である。従って、第４実施形態の支持装置４は、上述した第１実施形態の支持装置１が享受することができる各種効果を享受することができる。

　尚、図１３（ａ）から図１３（ｃ）を用いて説明した第２柱状部材４２２及び筒状部材４３は一例である。従って、第２柱状部材４２２及び筒状部材４３の一部の構成が適宜改変されてもよい。以下、第２柱状部材４２２及び筒状部材４３の一部の構成の改変の例について説明する。

　第２柱状部材４２２は、第２内面４３ｆ及び第２上面４３ｇの少なくとも一方を備えていなくてもよい。

　第２内面４３ｆの少なくとも一部は、Ｚ軸に対して傾斜している面であってもよい。第２内面４３ｆの少なくとも一部は、曲面であってもよい。第２内面４３ｆの少なくとも一部は、第１内面１３ｂよりも外側方向に位置する面であってもよい。ＸＹ平面上における第２内面４３ｆの少なくとも一部の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や楕円形）であってもよい。ＸＹ平面上における第２内面４３ｆの中心は、ＸＹ平面上における第１上面１３ａの中心と一致していなくてもよい。

　第２上面４３ｇの少なくとも一部は、ＸＹ平面に対して傾斜している面であってもよい。ＸＹ平面上における第２上面４３ｇの内側方向及び外側方向の少なくとも一方の外縁の形状は、円形とは異なる形状（例えば、任意の多角形や楕円形）であってもよい。ＸＹ平面上における第２上面４３ｇの中心は、ＸＹ平面上における第１上面１３ａの中心と一致していなくてもよい。

　筒状部材４３の第２内面４３ｆは、第１柱状部材３２１の第２外面１２１ｅに嵌合（或いは、接触又は対向）していなくてもよい。ＸＹ平面上における第２内面４３ｆの少なくとも一部の形状は、ＸＹ平面上における第２外面１２１ｅの少なくとも一部の形状と同一異なっていてもよい。

　（５）第５実施形態の支持装置５
　続いて、図１４（ａ）から図１４（ｄ）を参照しながら、第５実施形態の支持装置５について説明する。図１４（ａ）は、＋Ｚ側から観察した第５実施形態の支持装置５が備える第１柱状部材５２１の平面図である。図１４（ｂ）は、図１４（ａ）に示す第１柱状部材５２１のＸＩＶ－ＸＩＶ’断面図である。図１４（ｃ）から図１４（ｄ）は、第５実施形態の支持装置５が備える第１柱状部材５２１、第２柱状部材４２２及び筒状部材４３のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。尚、第５実施形態の支持装置５は、第４実施形態の支持装置４と比較して、主として第１柱状部材５２１の構成が異なる。以下では、第４実施形態の支持装置４の構成とは異なる構成に着目して説明を進める。また、第１実施形態の支持装置１から第４実施形態の支持装置４が備える各種部材と同一の部材については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。

　図１４（ａ）及び図１４（ｂ）に示すように、第５実施形態の支持装置５は、第４実施形態の第１柱状部材３２１に代えて、第１柱状部材５２１を備えている。第１柱状部材５２１は、第１柱状部材３２１と同様に、第１上面１２１ａと、溶着部材１２１ｂと、第１外面１２１ｃと、第２上面１２１ｄと、第２外面１２１ｅと、第１下面１２１ｈと、第１内面１２１ｉと、第２下面１２１ｊと、第２内面１２１ｋとを備えている。

　第５実施形態では特に、第１柱状部材５２１は、２つの突起部５２１ｍを備えている。２つの突起部５２１ｍの夫々は、第２外面１２１ｅに形成される突起である。２つの突起部５２１ｍの夫々は、第２外面１２１ｅから外側方向に向かって突き出ている突起である。２つの突起部５２１ｍは、同一のＸＹ平面上に位置するように形成されている。２つの突起部５２１ｍは、ＸＹ平面上における第２外面１２１ｅの外縁に相当する円周上に等間隔で並ぶように形成されている。

　尚、第５実施形態の支持装置５は、第４実施形態の支持装置４と同様に第２柱状部材４２２及び筒状部材４３を備えている。

　続いて、図１４（ｃ）は、第５実施形態の支持装置５の初期状態を示している。第５実施形態では、２つの突起部５２１ｍの夫々は、筒状部材４３の第１下面１３ｄに接触可能な部材である。２つの突起部５２１ｍの夫々は、－Ｚ側から第１下面１３ｄを支持可能な部材である。その結果、２つの突起部５２１ｍは、初期状態における柱状部材５２と筒状部材４３との間の位置関係を固定可能である。

　２つの突起部５２１ｍが初期状態における柱状部材５２と筒状部材４３との間の位置関係を固定可能である場合には、柱状部材５２と筒状部材４３との間の位置関係は、第２柱状部材４２２の第１外面１２２ｃと筒状部材４３の第１内面１３ｂとの間の摩擦力によって固定されていなくてもよい。この場合、第１外面１２２ｃと第１内面１３ｂとは、嵌合（或いは、接触又は対向）していなくてもよい。或いは、柱状部材５２と筒状部材４３との間の位置関係は、筒状部材４３の第２内面４３ｆと第１柱状部材３２１の第２外面１２１ｅとの間の摩擦力によって固定されていなくてもよい。この場合、第２内面４３ｆと第２外面１２１ｅとは、嵌合（或いは、接触又は対向）していなくてもよい。

　第５実施形態においても、このような初期状態の支持装置５を基準として、支持装置５が備える各筒状部材４３は、－Ｚ側に向かって移動可能である。初期状態にある各筒状部材４３が－Ｚ側に向かって移動すると、図１４（ｄ）に示すように、筒状部材４３の第１下面１３ｄは、２つの突起部５２１ｍを乗り越えて－Ｚ側に向かって移動する。

　このとき、２つの突起部５２１ｍの夫々の外側方向の端面は、筒状部材１３の第１内面１３ｂに接触しない。その結果、２つの突起部５２１ｍの夫々の外側方向の端面が第１内面１３ｂに接触する場合と比較して、筒状部材２３は－Ｚ側に向かって相対的にスムーズに移動可能である。但し、２つの突起部５２１ｍのうちの少なくとも一方の外側方向の端面は、第１内面１３ｂに接触していてもよい。

　このように、第５実施形態の支持装置５は、上述した第４実施形態の支持装置４が享受することができる各種効果を享受することができる。

　尚、図１４（ａ）から図１４（ｄ）を用いて説明した第１柱状部材５２１は一例である。従って、第１柱状部材５２１の一部の構成が適宜改変されてもよい。以下、第１柱状部材５２１の一部の構成の改変の例について説明する。

　２つの突起部５２１ｍの一方は、他方の突起部５２１ｍが位置するＸＹ平面とは異なる他のＸＹ平面上に位置するように形成されていてもよい。２つの突起部５２１ｍは、ＸＹ平面上における第２外面１２１ｅの外縁に相当する円周上に異なる又は任意の間隔で並ぶように形成されていてもよい。第１柱状部材５２１は、１つの又は３つ以上の突起部５２１ｍを備えていてもよい。

　筒状部材１３の第１下面１３ｄが２つの突起部５２１ｍを乗り越えて－Ｚ側に向かって移動している場合において、２つの突起部５２１ｍの夫々の外側方向の端面は、筒状部材１３の内面１３ｂに接触していてもよい。

　（６）第６実施形態の支持装置６
　続いて、図１５（ａ）から図１５（ｄ）を参照しながら、第６実施形態の支持装置６について説明する。図１５（ａ）から図１５（ｄ）は、第６実施形態の支持装置６が備える第１柱状部材１２１、第２柱状部材６２２及び筒状部材６３のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。尚、第６実施形態の支持装置６は、第１実施形態の支持装置１と比較して、主として第２柱状部材６２２及び筒状部材６３の構成が異なる。以下では、第１実施形態の支持装置１の構成とは異なる構成に着目して説明を進める。また、第１実施形態の支持装置１から第５実施形態の支持装置５が備える各種部材と同一の部材については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。

　図１５（ａ）に示すように、第６実施形態の支持装置６は、第１実施形態の第２柱状部材１２２に代えて、第２柱状部材６２２を備えている。第２柱状部材６２２は、第２柱状部材１２２と同様に、第１上面１２２ａと、第２上面１２２ｂと、第１下面１２２ｅと、第２下面１２２ｇとを備えている。

　第６実施形態では特に、第２柱状部材６２２は、４つの穴部１２２ｄを備えていない。更に、第２柱状部材６２２は、第２柱状部材１２２が備える第１外面１２２ｃに代えて、第１外面６２２ｃを備えている。第１外面６２２ｃは、－Ｚ側に向かうにつれて第１外面６２２ｃの径が小さくなるようにＺ軸に対して傾斜している面であると言う点で、Ｚ軸に対して傾斜している面でなくてもよい第１外面１２２ｃとは異なる。第１外面６２２ｃのその他の特徴は、第１外面１２２ｃのその他の特徴と同一であってよい。

　続いて、図１５（ｂ）に示すように、第６実施形態の支持装置６は、第１実施形態の筒状部材１３に代えて、筒状部材６３を備えている。筒状部材６３は、筒状部材１３と同様に、第１上面１３ａと、第１下面１３ｄとを備えている。

　第６実施形態では特に、筒状部材６３は、４つの突起部１３ｅを備えていない。更に、筒状部材６３は、筒状部材１３が備える第１内面１３ｂ及び第１外面１３ｃに代えて、第１内面６３ｂ及び第１外面６３ｃを備えている。第１内面６３ｂは、－Ｚ側に向かうにつれて第１内面６３ｂの径が小さくなるようにＺ軸に対して傾斜している面であると言う点で、Ｚ軸に対して傾斜している面でなくてもよい第１内面１３ｂとは異なる。第１内面６３ｂのその他の特徴は、第１内面１３ｂのその他の特徴と同一であってよい。第１外面６３ｃは、－Ｚ側に向かうにつれて第１外面６３ｃの径が小さくなるようにＺ軸に対して傾斜している面であると言う点で、Ｚ軸に対して傾斜している面でなくてもよい第１外面１３ｃとは異なる。第１外面６３ｃのその他の特徴は、第１外面１３ｃのその他の特徴と同一であってよい。

　尚、第６実施形態の支持装置６は、第１実施形態の支持装置１と同様に第１柱状部材１２１を備えている。

　続いて、図１５（ｃ）は、第６実施形態の支持装置６の初期状態を示している。第６実施形態では、筒状部材６３の第１内面６３ｂは、筒状部材６３が柱状部材６２に嵌め込まれる際に第２柱状部材６２２の第１外面６２２ｃと嵌合可能（或いは、接触可能又は対向可能）な面である。このため、第１内面６３ｂのＺ軸に対する傾斜角度は、第１外面６２２ｃのＺ軸に対する傾斜角度と同一である。尚、第１内面６３ｂと第１外面６２２ｃとの嵌合の態様は、第１内面１３ｂと第１外面１２２ｃとの嵌合の態様と同様であるため、その詳細な説明を省略する。但し、第６実施形態では、初期状態における柱状部材６２と筒状部材６３との間の位置関係は、第１外面６２２ｃと第１内面６３ｂとの間の摩擦力によって固定される。

　第６実施形態においても、初期状態では、第２柱状部材６２２の第１上面１２２ａから筒状部材６３の第１上面１３ａまでの距離Ｄは、所定距離Ｄ１以上となる。従って、ＸＹ平面上における第１外面６２２ｃ及び第１内面６３ｂの径や第１外面６２２ｃ及び第１内面６３ｂのＺ軸に対する傾斜角度は、初期状態での距離Ｄが所定距離Ｄ１以上となるように、適切に設計される。つまり、ＸＹ平面上における第１外面６２２ｃ及び第１内面６３ｂの径や第１外面６２２ｃ及び第１内面６３ｂのＺ軸に対する傾斜角度は、図１５（ｃ）に示す状態で筒状部材６３と柱状部材６２とが嵌合するように、適切に設計される。

　第６実施形態においても、このような初期状態の支持装置６を基準として、各筒状部材６３は、－Ｚ側に向かって移動可能である。ここで、上述したように、第６実施形態では、第１外面６２２ｃ及び第１内面６３ｂの夫々は、－Ｚ側に向かうにつれて径が小さくなるようにＺ軸に対して傾斜している。このため、図１５（ｄ）に示すように、初期状態の支持装置６を基準として各筒状部材６３が－Ｚ側に向かって移動すると、第１外面６２２ｃと第１内面６３ｂとの嵌合が外れる。つまり、初期状態の支持装置６を基準として各筒状部材６３が－Ｚ側に向かって移動すると、第１外面６２２ｃと第１内面６３ｂとが接触しなくなる。従って、第１外面６２２ｃと第１内面６３ｂとの間の摩擦力が小さくなる又はゼロになる。つまり、－Ｚ側に向かう筒状部材６３の移動を妨げる摩擦力が小さくなる又はゼロになる。このため、筒状部材６３は－Ｚ側に向かって相対的にスムーズに移動可能である。

　このように、第６実施形態の支持装置６は、上述した第１実施形態の支持装置１が享受することができる各種効果を享受しつつ、筒状部材６３を－Ｚ側に向かってより一層スムーズに移動させることができる。

　（７）第７実施形態の支持装置７
　続いて、図１６（ａ）から図１６（ｃ）を参照しながら、第７実施形態の支持装置７について説明する。図１６（ａ）から図１６（ｃ）は、第７実施形態の支持装置７が備える第１柱状部材１２１、第２柱状部材６２２及び筒状部材７３のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。尚、第７実施形態の支持装置７は、第６実施形態の支持装置６と比較して、主として筒状部材７３の構成が異なる。以下では、第６実施形態の支持装置６の構成とは異なる構成に着目して説明を進める。また、第１実施形態の支持装置１から第６実施形態の支持装置６が備える各種部材と同一の部材については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。

　図１６（ａ）に示すように、第７実施形態の支持装置７は、第６実施形態の筒状部材６３に代えて、筒状部材７３を備えている。筒状部材７３は、第１筒状部材７３－１と、第２筒状部材７３－２とを備えている。第１筒状部材７３－１は、第１上面１３ａ－１と、第１内面６３ｂ－１と、第１外面６３ｃ－１と、第１下面１３ｄ－１とを備えている。第２筒状部材７３－２は、第１上面１３ａ－２と、第１内面６３ｂ－２と、第１外面６３ｃ－２と、第１下面１３ｄ－２とを備えている。第１上面１３ａ－１及び第１上面１３ａ－２の特徴は、第６実施形態の第１上面１３ａの特徴と同一である。第１内面６３ｂ－１及び第１内面６３ｂ－２の特徴は、第６実施形態の第１内面６３ｂの特徴と同一である。第１外面６３ｃ－１及び第１外面６３ｃ－２の特徴は、第６実施形態の第１外面６３ｃの特徴と同一である。第１下面１３ｄ－１及び第１下面１３ｄ－２の特徴は、第６実施形態の第１下面１３ｄの特徴と同一である。

　図１６（ａ）は、支持装置７が初期状態にある場合の筒状部材７３を示している。初期状態において、第１筒状部材７３－１の第１内面６３ｂ－１は、第２筒状部材７３－２の第１外面６３ｃ－２に嵌合可能である。このため、第１内面６３ｂ－１のＺ軸に対する傾斜角度は、第１外面６３ｃ－２のＺ軸に対する傾斜角度と同一である。第１内面６３ｂ－１と第１外面６３ｃ－２とが嵌合している場合には、第１筒状部材７３－１の第１上面１３ａ－１は、第２筒状部材７３－２の第１上面１３ａ－２よりも＋Ｚ側に位置する。第１内面６３ｂ－１と第１外面６３ｃ－２とが嵌合している場合には、第１筒状部材７３－１の第１下面１３ｄ－１は、第２筒状部材７３－２の第１下面１３ｄ－２よりも＋Ｚ側に位置する。従って、ＸＹ平面上における第１内面６３ｂ－１及び第１外面６３ｃ－２の径や第１内面６３ｂ－１及び第１外面６３ｃ－２のＺ軸に対する傾斜角度は、図１６（ａ）に示す状態を実現するように、適切に設計される。つまり、ＸＹ平面上における第１内面６３ｂ－１及び第１外面６３ｃ－２の径や第１内面６３ｂ－１及び第１外面６３ｃ－２のＺ軸に対する傾斜角度は、図１６（ａ）に示す状態で第１内面６３ｂ－１と第１外面６３ｃ－２とが嵌合するように、適切に設計される。

　尚、第７実施形態の支持装置７は、第６実施形態の支持装置６と同様に第１柱状部材１２１及び第２柱状部材６２２を備えている。

　続いて、図１６（ｂ）は、第７実施形態の支持装置７の初期状態を示している。第７実施形態では、第２筒状部材７３－２の第１内面６３ｂ－２は、筒状部材７３が柱状部材６２に嵌め込まれる際に第２柱状部材６２２の第１外面６２２ｃと嵌合可能（或いは、接触可能又は対向可能）な面である。尚、第７実施形態における第１内面６３ｂ－２と第１外面６２２ｃとの嵌合の態様は、第６実施形態における第１内面６３ｂと第１外面６２２ｃとの嵌合の態様と同様であるため、その詳細な説明を省略する。

　初期状態では、第２柱状部材６２２の第１上面１２２ａから第１筒状部材７３－１の第１上面１３ａ－１までの距離Ｄは、所定距離Ｄ１以上となる。従って、ＸＹ平面上における第１外面６２２ｃ及び第１内面６３ｂ－２の径や第１外面６２２ｃ及び第１内面６３ｂ－２のＺ軸に対する傾斜角度は、初期状態での距離Ｄが所定距離Ｄ１以上となるように、適切に設計される。つまり、ＸＹ平面上における第１外面６２２ｃ及び第１内面６３ｂ－２の径や第１外面６２２ｃ及び第１内面６３ｂ－２のＺ軸に対する傾斜角度は、図１６（ｂ）に示す状態で筒状部材７３と柱状部材６２とが嵌合するように、適切に設計される。更には、ＸＹ平面上における第１内面６３ｂ－１及び第１外面６３ｃ－２の径や第１内面６３ｂ－１及び第１外面６３ｃ－２のＺ軸に対する傾斜角度もまた、図１６（ｂ）に示す状態で筒状部材７３と柱状部材６２とが嵌合するように、適切に設計される。

　第７実施形態においても、このような初期状態の支持装置７を基準として、各筒状部材７３は、－Ｚ側に向かって移動可能である。第７実施形態では特に、筒状部材７３を構成する第１筒状部材７３－１及び第２筒状部材７３－２の夫々が、－Ｚ側に向かって移動可能である。以下、第１筒状部材７３－１及び第２筒状部材７３－２の夫々の移動について順に説明する。

　まず、第１筒状部材７３－１の移動について説明する。上述したように、第７実施形態では、第１内面６３ｂ－１及び第１外面６３ｃ－２の夫々は、－Ｚ側に向かうにつれて径が小さくなるようにＺ軸に対して傾斜している。このため、図１６（ｃ）に示すように、初期状態の支持装置７を基準として第１筒状部材７３－１が－Ｚ側に向かって移動すると、第１内面６３ｂ－１と第１外面６３ｃ－２との嵌合が外れる。つまり、初期状態の支持装置７を基準として第１筒状部材７３－１が－Ｚ側に向かって移動すると、第１内面６３ｂ－１と第１外面６３ｃ－２とが接触しなくなる。従って、第１内面６３ｂ－１と第１外面６３ｃ－２との間の摩擦力が小さくなる又はゼロになる。つまり、－Ｚ側に向かう第１筒状部材７３－１の移動を妨げる摩擦力が小さくなる又はゼロになる。このため、第１筒状部材７３－１は－Ｚ側に向かって相対的にスムーズに移動可能である。

　続いて、第２筒状部材７３－２の移動について説明する。上述したように、第７実施形態では、第１外面６２２ｃ及び第１内面６３ｂ－２の夫々は、－Ｚ側に向かうにつれて径が小さくなるようにＺ軸に対して傾斜している。このため、図１６（ｃ）に示すように、初期状態の支持装置７を基準として第２筒状部材７３－２が－Ｚ側に向かって移動すると、第１外面６２２ｃと第１内面６３ｂ－２との嵌合が外れる。つまり、初期状態の支持装置７を基準として第２筒状部材７３－２が－Ｚ側に向かって移動すると、第１外面６２２ｃと第１内面６３ｂ－２とが接触しなくなる。従って、第１外面６２２ｃと第１内面６３ｂ－２との間の摩擦力が小さくなる又はゼロになる。つまり、－Ｚ側に向かう第２筒状部材７３－２の移動を妨げる摩擦力が小さくなる又はゼロになる。このため、第２筒状部材７３－２は－Ｚ側に向かって相対的にスムーズに移動可能である。

　このように、第７実施形態の支持装置７は、上述した第１実施形態の支持装置１が享受することができる各種効果を享受しつつ、筒状部材７３を－Ｚ側に向かってより一層スムーズに移動させることができる。

　加えて、第７実施形態の支持装置７では、最終状態における筒状部材７３のＺ軸に沿った長さ（いわゆる高さであり、下方面１１５ｂから第１上面１３ａ－１又は第１上面１３ａ－２までの距離）が相対的に小さくなる。具体的には、第７実施形態の支持装置７では、単一の部材から構成される筒状部材６３を備える第６実施形態の支持装置６と比較して、図１５（ｄ）と図１６（ｃ）とを比較して分かるように最終状態における筒状部材７３のＺ軸方向の長さが小さくなる。従って、仮に第１柱状部材１２１のＺ軸に沿った長さ（いわゆる高さであり、例えば下方面１１５ｂから第１上面１２１ａまでの距離）が相対的に小さくなったとしても、第１上面１２２ａが筒状部材７３から露出可能である。具体的には、第６実施形態の支持装置６と比較して第１柱状部材１２１のＺ軸に沿った長さを小さくしても、最終状態において第１上面１２２ａが筒状部材７３から露出可能である。このため、支持装置７の小型化を図ることができる。

　尚、上述の説明では、筒状部材７３は、２つの部材（つまり、第１筒状部材７３－１及び第２筒状部材７３－２）から構成されている。しかしながら、筒状部材７３は、３つ以上の部材から構成されていてもよい。３つ以上の部材から構成される筒状部材７３においても、筒状部材７３を構成する３つ以上の部材は、２つの部材から筒状部材７３が構成されている場合と同様の態様で組み合わせられる。

　（８）第８実施形態の支持装置８
　続いて、図１７（ａ）から図１７（ｂ）を参照しながら、第８実施形態の支持装置８について説明する。図１７（ａ）は、＋Ｚ側から観察した第８実施形態の支持装置８が備える筒状部材１３の平面図である。図１７（ｂ）は、図１７（ａ）に示す筒状部材１３のＸＶＩＩ－ＸＶＩＩ’断面図である。尚、第８実施形態の支持装置８は、第１実施形態の支持装置１と比較して、主として筒状部材１３の構成が異なる。以下では、第１実施形態の支持装置１の構成とは異なる構成に着目して説明を進める。また、第１実施形態の支持装置１から第７実施形態の支持装置７が備える各種部材と同一の部材については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。

　第８実施形態では、支持装置８が備える複数（図１７（ａ）に示す例では、２４個）の筒状部材１３が一体化又は連結されている。例えば、図１７（ａ）及び図１７（ｂ）に示すように、２４個の連結部材１３は、連結部材８３１及び８３２を介して連結されている。連結部材８３１は、Ｘ軸に沿って隣接する２つの筒状部材１３の外面１３ｃを連結する部材である。連結部材８３２は、Ｙ軸に沿って隣接する２つの筒状部材１３の外面１３ｃを連結する部材である。

　このような第８実施形態の支持装置８は、上述した第１実施形態の支持装置１が享受することができる各種効果を享受することができる。更に、第８実施形態では、２４個の筒状部材１３が連結されているため、支持装置８が備える全ての筒状部材１３が同一の治具１５によってまとめて押し下げられることで、全ての筒状部材１３がまとめて移動可能である。更には、複数の筒状部材１３をまとめて一体成型することで、複数の筒状部材１３がまとめて製造可能である。

　（９）第９実施形態の支持装置９
　続いて、図１８（ａ）から図１８（ｂ）を参照しながら、第９実施形態の支持装置９について説明する。図１８（ａ）は、＋Ｚ側から観察される第９実施形態の支持装置９を示す平面図である。図１８（ｂ）は、図１８（ａ）に示す支持装置９のＸＶＩＩＩ－ＸＶＩＩＩ’断面図である。尚、第１実施形態の支持装置１から第８実施形態の支持装置８が備える各種部材と同一の部材については、同一の参照符号を付することでその詳細な説明を省略する。

　図１８（ａ）及び図１８（ｂ）に示すように、支持装置９は、基礎部材９１を備える。基礎部材９１は、基礎部材１１と同様に、第１面１１１と、第２面１１２と、第３面１１３と、第４面１１４と、第５面１１５と、第６面１１６とを備える。第５面１１５は、上方面１１５ａと下方面１１５ｂとを備える。基礎部材９１には、第１貫通穴部１１７ａ及び第２貫通穴部１１７ｂが形成されている。基礎部材９１には、溝部１１８ａ及び１１８ｂが形成されている。

　第９実施形態では、基礎部材９１は、更に第７面１１９－１を備える。第７面１１９－１は、ＹＺ平面に平行な面である。第７面１１９－１は、下方面１１５ｂの－Ｘ側の外縁から＋Ｚ側に向かって延びる面である。第７面１１９－１は、上方面１１５ａの外縁から－Ｚ側に向かって延びる面である。第７面１１９－１は、＋Ｘ側を向いている面である。第７面１１９－１には、第１穴部１１９ａ－１及び第２穴部１１９ｂ－１が形成されている。第１穴部１１９ａ－１及び第２穴部１１９ｂ－１は、Ｚ軸に沿って並ぶように形成されている。第１穴部１１９ａ－１は、第２穴部１１９ｂ－１よりも＋Ｚ側に位置している。第１穴部１１９ａ－１及び第２穴部１１９ｂ－１は、後述する可動部材９３が備える突起部９３２ｂ－１が嵌合可能な穴である。

　基礎部材９１は、更に第８面１１９－２を備える。第８面１１９－２は、ＹＺ平面に平行な面である。第８面１１９－２は、下方面１１５ｂの＋Ｘ側の外縁から＋Ｚ側に向かって延びる面である。第８面１１９－２は、上方面１１５ａの外縁から－Ｚ側に向かって延びる面である。第８面１１９－２は、－Ｘ側を向いている面である。第８面１１９－２には、第１穴部１１９ａ－２及び第２穴部１１９ｂ－２が形成されている。第１穴部１１９ａ－２は、第１穴部１１９ａ－１と同一のＸＹ平面上に位置する。第２穴部１１９ｂ－２は、第２穴部１１９ｂ－１と同一のＸＹ平面上に位置する。第１穴部１１９ａ－２及び第２穴部１１９ｂ－２は、Ｚ軸に沿って並ぶように形成されている。第１穴部１１９ａ－２は、第２穴部１１９ｂ－２よりも＋Ｚ側に位置している。第１穴部１１９ａ－２及び第２穴部１１９ｂ－２は、後述する可動部材９３が備える突起部９３２ｂ－２が嵌合可能な穴である。

　尚、基礎部材９１のその他の特徴は、基礎部材１１等のその他の特徴と同一であってもよい。

　支持装置９は更に、複数の柱状部材９２を備えている。柱状部材９２は、例えばバイオチップ１４等の支持対象物を支持する部材である。

　ここで、図１９を参照しながら、柱状部材９２について説明する。図１９は、柱状部材９２が備える第１柱状部材９２１及び第２柱状部材９２２のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。尚、以下に説明する特徴以外の柱状部材９２の特徴については、上述した柱状部材１２等の特徴と同一であってもよい。

　図１９に示すように、柱状部材９２は、第１柱状部材９２１と、第２柱状部材９２２とを備える。

　第１柱状部材９２１は、第１上面９２１ａと、溶着部材９２１ｂと、第１外面９２１ｃとを備えている。尚、以下に説明する特徴以外の第１上面９２１ａ、溶着部材９２１ｂ及び第１外面９２１ｃの特徴については、上述した第１上面１２１ａ、溶着部材１２１ｂ及び第１外面１２１ｃ等の特徴と同一であってもよい。

　第１上面９２１ａは、ＸＹ平面に平行な面である。第１上面９２１ａは、第１柱状部材９２１を構成する面のうち最も＋Ｚ側に位置する面である。第１上面９２１ａは、＋Ｚ側を向いている面である。ＸＹ平面上における第１上面９２１ａの外縁の形状は、正方形である。

　溶着部材９２１ｂは、第１上面９２１ａ上に形成されている。溶着部材９２１ｂは、第１上面９２１ａと一体化されている部材である。溶着部材９２１ｂは、第１柱状部材９２１と第２柱状部材９２２とが固着される際に、超音波が照射されることで溶融する。その結果、溶着部材９２１ｂが接着剤として作用することで、第１柱状部材９２１と第２柱状部材９２２とが固着される。

　第１外面９２１ｃは、第１上面９２１ａの外縁から－Ｚ側に向かって延びる面である。第１外面９２１ｃは、下方面１１５ｂから＋Ｚ側に向かって延びる面である。第１外面９２１ｃは、外側方向を向いている。第１外面１２１ｃは、Ｚ軸に平行な面である。ＸＹ平面上における第１外面９２１ｃの外縁の形状は、正方形である。

　第２柱状部材９２２は、第１上面９２２ａと、第１外面９２２ｂと、第１下面９２２ｃとを備えている。尚、以下に説明する特徴以外の第１上面９２２ａ、第１外面９２２ｂ及び第１下面９２２ｃの特徴については、上述した第１上面１２２ａ、第１外面１２２ｃ及び第２下面１２２ｇ等の特徴と同一であってもよい。

　第１上面９２２ａは、第２柱状部材９２２を構成する面のうち最も＋Ｚ側に位置する面である。第１上面９２２ａは、＋Ｚ側を向いている面である。第１上面９２２ａは、ＸＹ平面に平行な面である。ＸＹ平面上における第１上面９２２ａの外縁の形状は、正方形である。

　第１外面９２２ｂは、第１上面９２２ａの外側方向の外縁から－Ｚ側に向かって延びる面である。第１外面９２２ｂは、外側方向を向いている面である。第１外面９２２ｂは、Ｚ軸に平行な面である。ＸＹ平面上における第１外面９２２ｂの外縁の形状は、正方形である。

　第１下面９２２ｃは、第１外面９２２ｂの－Ｚ側の外縁から内側方向に向かって延びる面である。第１下面９２２ｃは、－Ｚ側を向いている面である。第１下面９２２ｃは、ＸＹ平面に平行な面である。ＸＹ平面上における第１下面９２２ｃの外縁の形状は、正方形である。

　第２柱状部材９２２の第１下面９２２ｃは、第１柱状部材９２１と第２柱状部材９２２とが固着される際に第１柱状部材９２１の第１上面９２１ａと嵌合可能（或いは、接触可能又は対向可能）な面である。ＸＹ平面上における第１下面９２２ｃの外縁の形状は、ＸＹ平面上における第１上面９２１ａの外縁の形状と同一である。ＸＹ平面上における第１下面９２２ｃの径は、ＸＹ平面上における第１上面９２１ａの径と同一（但し、嵌合可能な程度のマージン又は嵌合精度に起因する誤差を考慮してもよい）である。

　再び図１８（ａ）及び図１８（ｂ）において、支持装置９は更に、可動部材９３を備えている。可動部材９３は、Ｚ軸に沿って移動可能な部材である。可動部材９３は、Ｚ軸に沿って移動することで、可動部材９３の表面を覆っている後述のゴム膜９４の少なくとも一部をＺ軸に沿って移動させることが可能な部材である。可動部材９３は、Ｚ軸に沿って移動することで、可動部材９３の表面を覆っている後述のゴム膜９４の少なくとも一部をＺ軸に沿って突き出すことが可能な部材である。可動部材９３は、Ｚ軸に沿って移動することで、複数の柱状部材９２の間に分布するゴム膜９４をＺ軸に沿って移動させることが可能な部材である。

　ここで、図２０（ａ）から図２０（ｄ）を参照しながら、可動部材９３について説明する。図２０（ａ）は、＋Ｚ側から観察される可動部材９３の平面図である。図２０（ｂ）は、図２０（ａ）に示す可動部材９３のＸＸ（１）－ＸＸ（１）’断面図である。図２０（ｃ）は、図２０（ａ）に示す可動部材９３のＸＸ（２）－ＸＸ（２）’断面図である。図２０（ｄ）は、突起部９３２ａ－１が形成される第１面９３２ａ－１の拡大図である。尚、以下に説明する特徴以外の柱状部材９２の特徴については、上述した柱状部材１２等の特徴と同一であってもよい。

　図２０（ａ）から図２０（ｃ）に示すように、可動部材９３は、側壁部材９３１と、支持部材９３２とを備える。

　側壁部材９３１は、各柱状部材９２の周囲に分布可能な部材である。側壁部材９３１は、Ｚ軸周りに沿って各柱状部材９２を取り囲むことが可能な部材である。側壁部材９３１は、Ｚ軸周りに沿って各柱状部材９２を取り囲むことができるように、Ｚ軸周りに沿って延びる面である。側壁部材９３１は、支持部材９３２から＋Ｚ側に向かって板状に延びる部材である。側壁部材９３１は、各柱状部材９２を取り囲む壁となることができるように、＋Ｚ側に向かって延びる部材である。側壁部材９３１は、第２柱状部材９２２の第１上面９２２ａと共に所定の空間を形成可能な部材である。側壁部材９３１は、第２柱状部材９２２の第１上面９２２ａを底部とする所定の空間を形成可能な部材である。図２０（ａ）に示す例では、側壁部材９３１は、２４個の柱状部材９２を取り囲むように、ＸＹ平面上において格子状に、グリッド状に又は碁盤目状に分布する壁又は板から構成される部材である。尚、側壁部材９３１は、各柱状部材を取り囲むことが可能であると言う点で、筒状部材と称されてもよい。従って、以下に説明する特徴以外の側壁部材９３１（或いは、可動部材９３）の特徴は、上述した筒状部材１２２等の特徴と同一であってもよい。

　側壁部材９３１は、第１内面９３１ａと、第１上面９３１ｂとを備えている。

　第１内面９３１ａは、Ｚ軸周りに沿って各柱状部材９２を取り囲む面である。第１内面９３１ａは、Ｚ軸周りに沿って延びる面である。第１内面９３１ａは、Ｚ軸に平行な面である。第１内面９３１ａは、支持部材９３２から＋Ｚ側に向かって延びる面である。

　第１上面９３１ｂは、同一の壁又は板を構成する隣り合う２つの第１内面９３１ａを連結する面である。第１上面９３１ｂは、＋Ｚ側を向いている面である。第１上面９３１ｂは、＋Ｚ側に膨らむ形状を有する曲面である。第１上面９３１ｂは、丸め処理が施された面である。但し、第１上面９３１ｂは、任意の形状を有する面であってもよい。

　支持部材９３２は、側壁部材９３１を－Ｚ側から支持する部材である。支持部材９３２は、第１面９３２ａ－１と第２面９３２ａ－２とを備えている。第１面９３２ａ－１は、支持部材９３２を構成する面のうち最も－Ｘ側に位置する面である。第１面９３２ａ－１は、Ｚ軸に平行な面である。第１面９３２ａ－１は、－Ｘ側を向いている面である。第２面９３２ａ－２は、支持部材９３２を構成する面のうち最も＋Ｘ側に位置する面である。第２面９３２ａ－２は、Ｚ軸に平行な面である。第２面９３２ａ－２は、＋Ｘ側を向いている面である。

　第１面９３２ａ－１には、突起部９３２ｂ－１が形成されている。突起部９３２ｂ－１は、第１面９３２ａ－１から－Ｘ側方向に向かって突き出ている突起である。突起部９３２ｂ－１は、基礎部材９１が備える第１穴部１１９ａ－１及び第２穴部１１９ｂ－１の夫々と嵌合可能である。

　第１面９３２ａ－１のうち突起部９３２ｂ－１が形成される部分は、板ばね構造を有している。具体的には、図２０（ｄ）に示すように、第１面９３２ａ－１のうち突起部９３２ｂ－１が形成される部分は、Ｙ軸に沿って、Ｚ軸に沿って延伸するスリット９３２ｃ－１に挟まれている。その結果、第１面９３２ａ－１のうち突起部９３２ｂ－１が形成される部分は、板ばねの如き弾性を有する。従って、突起部９３２ｂ－１が第１穴部１１９ａ－１及び第２穴部１１９ｂ－１の夫々と嵌合されやすくなる。更に、突起部９３２ｂ－１と第１穴部１１９ａ－１及び第２穴部１１９ｂ－１の夫々との嵌合が相対的に外れやすくなる。

　第２面９３２ａ－２には、突起部９３２ｂ－２が形成されている。突起部９３２ｂ－２は、第２面９３２ａ－２から＋Ｘ側方向に向かって突き出ている突起である。突起部９３２ｂ－２は、基礎部材９１が備える第１穴部１１９ａ－２及び第２穴部１１９ｂ－２の夫々と嵌合可能である。尚、第２面９３２ａ－２のうち突起部９３２ｂ－２が形成される部分もまた、板ばね構造を有している。

　再び図１８（ａ）及び図１８（ｂ）において、支持装置９は更に、ゴム膜９４を備えている。ゴム膜９４は、弾性を有する材料から構成されている。ゴム膜９４は、液体を透過しない性質を有する材料から構成されている。ゴム膜９４は、ゴム材料から構成されている。このような材料（ゴム材料）の一例として、ポリイソプレン合成ゴムやラテックス等が例示される。

　ゴム膜９４は、可動部材９３よりも＋Ｚ側に配置されている。ゴム膜９４は、可動部材９３を覆うように配置されている。ゴム膜９４は、可動部材９３を構成する側壁部材９３１を覆うように配置されている。ゴム膜９４は、柱状部材９２（更には、柱状部材９２が支持するバイオチップ１４等の支持対象物）を覆わないように配置されている。ゴム膜９４は、柱状部材９２（更には、柱状部材９２が支持するバイオチップ１４等の支持対象物）がゴム膜９４から露出するように配置されている。ゴム膜９４の外側方向の端部は、上方面１１５ａに形成される不図示の膜固定部に固定されている。

　ここで、図２１（ａ）から図２１（ｃ）を参照しながら、ゴム膜９４について説明する。図２１（ａ）は、＋Ｚ側から観察されるゴム膜９４の平面図である。図２１（ｂ）は、柱状部材９２に固定されるゴム膜９４を柱状部材９２と共に示す、ＸＺ平面に沿った断面図である。図２１（ｂ）は、柱状部材９２に固定されるゴム膜９４を柱状部材９２と共に示す、＋Ｚ側から観察される平面図である。

　図２１（ａ）に示すように、ゴム膜９４は、平面視長方形の形状を有している。ゴム膜９４には、柱状部材９２をゴム膜９４から露出させるための開口９４１が形成されている。ゴム膜９４に形成されている開口９４１の数は、柱状部材９２の数と同一である。開口９４１の形状は、平面視正方形の形状である。

　開口９４１の端部９４１ａは、柱状部材９２に固定される。具体的には、図２１（ｂ）及び図２１（ｃ）に示すように、開口９４１の端部９４１ａは、第１柱状部材９２１と第２柱状部材９２２とが固着される際に、第１柱状部材９２１の第１上面９２１ａと第２柱状部材９２２の第１下面９２２ｃとの間に挟み込まれる。開口９４１の端部９４１ａが挟み込まれたまま第１柱状部材９２１と第２柱状部材９２２とが固着されることで、開口９４１の端部９４１ａが柱状部材９２に固定される。

　続いて、図２２（ａ）及び図２２（ｂ）を参照しながら、このような第９実施形態の支持装置９の使用方法について説明する。図２２（ａ）は、初期状態での支持装置９のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。図２２（ｂ）は、最終状態での支持装置９のＸＺ平面に沿った断面を示す断面図である。尚、図２２（ａ）及び図２２（ｂ）では、支持装置９がバイオチップ１４を支持する場合の当該支持装置９の使用方法の具体例について説明する。

　図２２（ａ）に示すように、第９実施形態では、初期状態は、可動部材９３２の突起部９３２ｂ－１が基礎部材９１の第１穴部１１９ａ－１に嵌合しており、且つ、可動部材９３２の突起部９３２ｂ－２が基礎部材９１の第１穴部１１９ａ－２に嵌合している状態を示す。

　第９実施形態においても、第１実施形態等と同様に、初期状態では、第２柱状部材９２２の第１上面９２２ａから側壁部材９３１の第１上面９３１ｂ（或いは、ゴム膜９４の頂部）までの距離Ｄは、所定距離Ｄ１以上となる。その結果、各柱状部材９２の周囲に位置する側壁部材９３１を覆うゴム膜９４と第１上面９２２ａとによって囲まれる空間ＳＰ９が確保される。逆に言えば、側壁部材９３１の高さ（つまり、Ｚ軸に沿った長さであり、支持部材９３２の上面から側壁部材９３１の第１上面９３１ｂまでの距離）は、初期状態での距離Ｄが所定距離Ｄ１以上となるように適切に設計される。

　このように、第９実施形態においても、初期状態では、各柱状部材９２の周囲に位置する側壁部材９３１を覆うゴム膜９４と第１上面９２２ａとによって囲まれる空間ＳＰ９が確保される。空間ＳＰ９には、任意の保持対象物が保持可能である。例えば、空間ＳＰ９に対して保持対象物の一例である液状の試料ＬＱが分注される場合には、当該空間ＳＰ９において試料ＬＱが保持される。つまり、初期状態では、各柱状部材９２の周囲に位置する側壁部材９３１を覆うゴム膜９４と第１上面９２２ａとが、試料ＬＱを保持可能なウェル（或いは、容器又は桶）を構成している。従って、初期状態では、支持装置９は、いわゆるウェルプレートとして機能することができる。その結果、試料ＬＱに対するバイオチップ１４の反応が促がされる。

　ここで、ゴム膜９４が水を透過しない性質を有する材料から構成されているのは上述したとおりである。加えて、ゴム膜９４の開口９４１の端部９４１ａは、第１上面９２２ａよりも－Ｚ側において柱状部材９２に固定されている。このため、空間ＳＰ９に保持されている試料ＬＱは、ゴム膜９４そのものを介して、ゴム膜９４の開口９４１を介して又はゴム膜９４と柱状部材９２との接合面を介して漏れ出すことは殆どない。つまり、第９実施形態では、空間ＳＰ９の水密性が好適に確保されている。

　初期状態では、側壁部材９３１の第１上面９３１ｂがゴム膜９４を＋Ｚ側に押し出しているとも言える。この場合であっても、第１上面９３１ｂが曲面であるがゆえに、ゴム膜９４の破れが好適に抑制される。従って、ゴム膜９４の破れが抑制されていると言う点においても、空間ＳＰ９の水密性が好適に確保されていると言える。

　このような初期状態の支持装置９を基準として、可動部材９３は、－Ｚ側に向かって移動可能である。例えば、不図示の治具によって支持部材９３２が－Ｚ側に向かって引き下げられてもよい。この場合、当該支持部材９３２から延びる側壁部材９３１もまた－Ｚ側に向かって引き下げられる。その結果、可動部材９３が－Ｚ側に向かって移動する。

　可動部材９３が－Ｚ側に向かって移動すると、突起部９３２ｂ－１と第１穴部１１９ａ－１との嵌合及び突起部９３２ｂ－２と第１穴部１１９ａ－２の嵌合が外れる。その後、可動部材９３が－Ｚ側に向かって移動すると、図２２（ｂ）に示すように、ある時点で、突起部９３２ｂ－１と第２穴部１１９ｂ－１とが嵌合し且つ突起部９３２ｂ－２と第２穴部１１９ｂ－２とが嵌合する。第９実施形態では、突起部９３２ｂ－１と第２穴部１１９ｂ－１とが嵌合し且つ突起部９３２ｂ－２と第２穴部１１９ｂ－２とが嵌合する状態を、最終状態と定義する。

　最終状態では、第２柱状部材９２２の第１上面９２２ａから側壁部材９３１の第１上面９３１ｂ（或いは、ゴム膜９４の頂部）までの距離Ｄは、所定距離Ｄ２以下となる。逆に言えば、側壁部材９３１の高さ（つまり、Ｚ軸に沿った長さであり、支持部材９３２の上面から側壁部材９３１の第１上面９３１ｂまでの距離）は、最終状態での距離Ｄが所定距離Ｄ２以下となるように適切に設計される。

　最終状態となるまで可動部材９３が移動すると、第１上面９２２ａは、側壁部材９３１又はゴム膜９４から露出している。言い換えれば、第１上面９２２ａ又はバイオチップ１４に対する対物レンズＬＳの接近が、側壁部材９３１又はゴム膜９４によって阻害されることが殆ど又は全くなくなる。

　このように、第９実施形態の支持装置９は、第１実施形態の支持装置１が享受することができる各種効果の少なくとも一部を好適に又は相応に享受することができる。

　尚、図１８から図２２を用いて説明した柱状部材９２、可動部材９３及びゴム膜９４は一例である。従って、柱状部材９２、可動部材９３及びゴム膜９４の一部の構成が適宜改変されてもよい。以下、柱状部材９２、可動部材９３及びゴム膜９４の一部の構成の改変の例について説明する。

　第９実施形態では、基礎部材９１は、第７面１１９－１及び第８面１１９－２の少なくとも一方を備えていなくてもよい。

　第７面１１９－１の少なくとも一部は、ＹＺ平面に対して傾斜している面であってもよい。第７面１１９－１の少なくとも一部は、曲面であってもよい。第７面１１９－１には、第１穴部１１９ａ－１及び第２穴部１１９ｂ－１のうちの少なくとも一方が形成されていなくてもよい。第１穴部１１９ａ－１及び第２穴部１１９ｂ－１は、Ｚ軸に沿って並ばないように形成されていてもよい。

　第８面１１９－２の少なくとも一部は、ＹＺ平面に対して傾斜している面であってもよい。第８面１１９－２の少なくとも一部は、曲面であってもよい。第８面１１９－２には、第１穴部１１９ａ－２及び第２穴部１１９ｂ－２のうちの少なくとも一方が形成されていなくてもよい。第１穴部１１９ａ－２及び第２穴部１１９ｂ－２は、Ｚ軸に沿って並ばないように形成されていてもよい。

　可動部材９３の第１面９３２ａ－１には、突起部９３２ｂ－１が形成されていなくてもよい。可動部材９３の第２面９３２ａ－２には、突起部９３２ｂ－２が形成されていなくてもよい。第１面９３２ａ－１のうち突起部９３２ｂ－１が形成される部分は、板ばね構造を有していなくてもよい。第２面９３２ａ－２のうち突起部９３２ｂ－２が形成される部分は、板ばね構造を有していなくてもよい。

　支持装置９は、ゴム膜９４に加えて又は代えて、保持対象物を保持可能な任意の膜を備えていてもよい。支持装置９は、ゴム膜９４に加えて又は代えて、保持対象物を保持する空間の水密を確保可能な任意の膜を備えていてもよい。ゴム膜９４は、弾性を有する材料とは異なる材料から構成されていてもよい。ゴム膜９４は、ゴム材料とは異なる材料から構成されていてもよい。

　ゴム膜９４は、平面視長方形の形状とは異なる形状（例えば、平面視において任意の多角形や円形や楕円形）を有していてもよい。ゴム膜９４に形成される開口９４１の形状は、平面視正方形の形状とは異なる形状（例えば、平面視において任意の多角形や円形や楕円形）であってもよい。開口９４１の端部９４１ａは、柱状部材９２とは異なる部材に固定されていてもよい。開口９４１の端部９４１ａは、第１柱状部材９２１の第１上面９２１ａと第２柱状部材９２２の第１下面９２２ｃとの間に挟み込まれることで固定されることに加えて又は代えて、第１柱状部材９２１の任意の面に形成される不図示の膜固定部に固定されていてもよい。開口９４１の端部９４１ａは、第１柱状部材９２１の第１上面９２１ａと第２柱状部材９２２の第１下面９２２ｃとの間に挟み込まれることで固定されることに加えて又は代えて、第２柱状部材９２２の任意の面に形成される不図示の膜固定部に固定されていてもよい。

　側壁部材９３１は、各柱状部材を取り囲むことが可能であると言う点で、筒状部材と称されてもよいことは上述した通りである。そうすると、筒状部材１３を備える上述した第１実施形態の支持装置１においても、第９実施形態の支持装置９と同様に、ゴム膜９４が筒状部材１３を覆うように構成されてもよい。つまり、第１実施形態の支持装置１において、筒状部材１３が側壁部材９３１として取り扱われてもよい。第２実施形態の支持装置２から第８実施形態の支持装置８においても同様である。

　（１０）検査装置ＳＣ
　続いて、図２３から図２５を参照しながら、上述した第１実施形態の支持装置１を用いて分子診断を行う検査装置ＳＣについて説明する。尚、検査装置ＳＣは、第１実施形態の支持装置１に加えて又は代えて、第２実施形態の支持装置２から第９実施形態の支持装置９の内の少なくとも一つを用いて分子診断を行ってもよい。

　（１０－１）検査装置ＳＣの構成
　初めに、図２３から図２４を参照しながら、本実施形態の検査装置ＳＣの構成について説明する。図２３は、本実施形態の検査装置ＳＣの構成の一例を示す模式図である。図２４は、本実施形態の測定装置ＭＳの構成の一例を示す模式図である。

　図２３に示すように、検査装置ＳＣは、分注装置ＤＰと、測定装置ＭＳと、搬送装置ＡＭとを備えている。

　分注装置ＤＰは、バイオチップ１４を支持している初期状態の支持装置１の各空間ＳＰ１に対して試料ＬＱを分注する分注処理を行う。分注装置ＤＰは、更に、試料ＬＱとバイオチップ１４との反応を促進させる反応処理を行ってもよい。分注装置ＤＰは、更に、試料ＬＱとバイオチップ１４とが反応した後に、支持装置１を洗浄及び乾燥する洗浄乾燥処理を行ってもよい。

　搬送装置ＡＭは、分注装置ＤＰから測定装置ＭＳへと支持装置１（典型的には、洗浄乾燥処理が施された支持装置１）を搬送する。

　測定装置ＭＳは、試料ＬＱに対するバイオチップ１４の反応を光学的に測定（言い換えれば、検出又は計測）する測定処理を行う。測定処理を行うために、図２４に示すように、測定装置ＭＳは、例えば、ステージＳＴと対物レンズＬＳとを備えている。この場合、分注装置ＤＰから搬送されてきた支持装置１は、ステージＳＴに搭載される。ステージＳＴに支持装置１が搭載された後、対物レンズＬＳは、バイオチップ１４と対物レンズＬＳのレンズ面との間の距離が観察可能距離以下となるまでバイオチップ１４に接近する。その後、ステージＳＴは対物レンズＬＳの光軸に対して垂直な面（例えば、図２４中の矢印の方向）に沿って移動する。ステージＳＴの移動と並行して、対物レンズＬＳを介してバイオチップ１４の状態が測定される。測定結果は、画像情報として、測定装置ＭＳか不図示の制御装置に対して出力される。

　（１０－２）検査装置ＳＣによる検査動作
　続いて、図２５を参照しながら、検査装置ＳＣが行う検査動作（主として、試料を分注してからバイオチップ１４の反応を測定するまでの動作）について説明する。図２５は、検査装置ＳＣが行う検査動作（主として、試料ＬＱを分注してからバイオチップ１４の反応を測定するまでの動作）の流れの一例を示すフローチャートである。

　図２５に示すように、まず、分注装置ＤＰは、バイオチップ１４を支持している初期状態の支持装置１の各空間ＳＰ１に対して試料ＬＱを分注する分注処理を行う（ステップＳ１）。分注処理が行われる時点では支持装置１が初期状態にあるため、支持装置１は、空間ＳＰ１を利用して試料ＬＱを好適に保持することができる。このため、試料ＬＱに対するバイオチップ１４の反応が促進される。

　その後、分注装置ＤＰは、試料ＬＱとバイオチップ１４との反応をより一層促進させる反応処理を行ってもよい。例えば、分注装置ＤＰは、試料ＬＱが分注された支持装置１を振動又は撹拌させる反応処理を行ってもよい。

　試料ＬＱとバイオチップ１４とが十分に又は相応に反応するために要する時間が経過した後、分注装置ＤＰは、上述した治具１５を用いて、支持装置１が備える筒状部材１３を－Ｚ側に向かって押し下げる（ステップＳ２）。その結果、支持装置１の状態は、初期状態から最終状態へと遷移する。

　その後、分注装置ＤＰは、支持装置１を洗浄及び乾燥する洗浄乾燥処理を行う（ステップＳ３）。ここで、支持装置１が最終状態にあるがゆえに、洗浄乾燥処理が行われる時点でバイオチップ１４が露出している。従って、分注装置ＤＰは、バイオチップ１４を好適に洗浄し且つ乾燥することができる。

　その後、搬送装置ＡＭは、分注装置ＤＰから測定装置ＭＳへと支持装置１（典型的には、洗浄乾燥処理が施された支持装置１）を搬送する。

　その後、測定装置ＭＳは、試料ＬＱに対するバイオチップ１４の反応を光学的に測定（言い換えれば、検出又は計測）する測定処理を行う（ステップＳ４）。測定処理が行われる時点では支持装置１が最終状態にあるため、バイオチップ１４に対する対物レンズＬＳの接近が筒状部材１３によって阻害されることが殆ど又は全くなくなる。従って、測定装置ＭＳは、好適に測定処理を行うことができる。

　尚、筒状部材１３を押し下げるステップＳ２の処理は、洗浄乾燥処理が行われた後に行われてもよい。或いは、筒状部材１３を押し下げる処理は、試料ＬＱとバイオチップ１４とが十分に又は相応に反応してから測定装置ＭＳによる測定処理が行われるまでの間の期間中の任意の時点に行われてもよい。

　本発明は、上述した実施例に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う支持装置及び検査方法もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。

　１　支持装置
　１１　基礎部材
　１２　柱状部材
　１２１　第１柱状部材
　１２２　第２柱状部材
　１３　筒状部材

Claims

　柱状の第１部材と、
　前記第１部材の外面の少なくとも一部と対向可能な内面を備え、且つ、前記内面によって規定される筒内に前記第１部材の少なくとも一部が挿入されている筒状の第２部材と
　を備えており、
　前記第１及び第２部材の状態は、第１状態から第２状態へと遷移可能であり、
　前記第１状態は、前記第２部材の前記内面の少なくとも一部と前記外面とは異なる前記第１部材の一方側の端面とによって囲まれる所定空間が確保されている状態を含み、
　前記第２状態は、前記第１状態における前記第１及び第２部材の位置を基準として、前記第１部材に対して前記第２部材が前記一方側とは逆の他方側に向かって相対的に移動している状態を含む
　ことを特徴とする支持装置。
　前記第１状態は、前記第１部材の前記一方側の端面から前記第２部材の前記一方側の端面までの距離が第１距離となる状態を含み、
　前記第２状態は、前記第１部材の前記一方側の端面から前記第２部材の前記一方側の端面までの距離が前記第１距離よりも短い第２距離となる状態を含む
　ことを特徴とする請求項１に記載の支持装置。
　前記第１状態は、前記第２部材の前記一方側の端面が前記第１部材の前記一方側の端面よりも前記一方側に位置している状態を含み、
　前記第２状態は、前記第２部材の前記一方側の端面が前記第２部材の前記一方側の端面よりも前記他方側に位置している状態を含む
　ことを特徴とする請求項１又は２に記載の支持装置。
　前記第１部材の前記外面の少なくとも一部と、前記第２部材の前記内面の少なくとも一部とは、前記第１及び第２部材の周方向に渡って嵌合可能であり、
　前記第１状態は、前記第１部材の外面の少なくとも一部と前記第２部材の前記内面の少なくとも一部との間の嵌合面よりも前記一方側において前記所定空間が確保されている状態を含む
　ことを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の支持装置。
　前記第２部材は、前記第１部材の前記外面の少なくとも一部から受ける応力によって伸びることが可能な弾性を有しており、
　前記第２部材が有する弾性に起因して前記第２部材の前記内面の少なくとも一部が前記第１部材の前記外面の少なくとも一部に密着している
　ことを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の支持装置。
　前記第２部材は、前記所定空間の水密性を確保可能な水密膜によって覆われている
　ことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の支持装置。
　前記水密膜には、前記第１部材の前記一方側の端面を露出させることが可能な開口が形成されており、
　前記開口を規定する前記水密膜の端部は、前記第１部材の前記一方側の端面よりも前記他方側において前記第１部材に固着されている
　ことを特徴とする請求項６に記載の支持装置。
　前記第１及び第２部材の少なくとも一方は、前記第１及び第２部材の状態が前記第１状態となるように前記第１及び第２部材を固定する第１固定部を備える
　ことを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の支持装置。
　前記第１固定部は、前記第１部材の前記外面及び前記第２部材の前記内面のうちの少なくとも一方に形成された第１穴部と前記第１部材の前記外面及び前記第２部材の前記内面のうちの少なくとも他方に形成され且つ前記第１穴部に嵌合可能な第１突起部とを含む
　ことを特徴とする請求項８に記載の支持装置。
　前記第１部材の外面は、前記第１穴部又は前記第１突起部が形成される第１外面部分と、前記第１外面部分よりも前記他方側に位置し且つ前記第１外面部分よりも径が小さい第２外面部分とを含む
　ことを特徴とする請求項９に記載の支持装置。
　前記第１穴部又は前記第１突起部は、前記第１部材の前記一方側の端面よりも前記第１部材の前記第２外面部分に近い位置に形成されている
　ことを特徴とする請求項１０に記載の支持装置。
　前記第２部材は、前記第１穴部又は前記第１突起部が形成される第１部分と、前記第１部分とは異なる第２部分とを含み、
　前記第１部分の少なくとも一部の厚さは、前記第２部分の厚さよりも薄い
　ことを特徴とする請求項９から１１のいずれか一項に記載の支持装置。
　前記第２部材の前記内面は、少なくとも前記第１突起部よりも前記一方側において、前記一方側に向かうにつれて前記第２部材の前記内面の径が広がる第１テーパ形状面を含む
　ことを特徴とする請求項９から１２のいずれか一項に記載の支持装置。
　前記第１固定部は、前記第１部材の前記外面に形成され且つ前記第１状態にある前記第２部材の前記他方側の端面を前記他方側から支持可能な第２突起部を含む
　ことを特徴とする請求項８から１３のいずれか一項に記載の支持部
　前記第１及び第２部材の少なくとも一方は、前記第１及び第２部材の状態が前記第２状態となるように前記第１及び第２部材を固定する第２固定部を備える
　ことを特徴とする請求項１から１４のいずれか一項に記載の支持装置。
　前記第１部材の前記外面は、前記他方側に向かうにつれて前記第１部材の前記外面の径が広がる第２テーパ形状面を含み、
　前記第２固定部は、前記第２テーパ形状面を含む
　ことを特徴とする請求項１５に記載の支持装置。
　前記第１部材は、前記第２部材の前記内面の少なくとも一部から受ける応力によって前記第１部材の前記外面の少なくとも一部の径が小さくなるように撓むことが可能な弾性を有している
　ことを特徴とする請求項１から１６のいずれか一項に記載の支持装置。
　前記第１部材の前記外面の少なくとも一部の内側に空隙が形成されている
　ことを特徴とする請求項１から１７のいずれか一項に記載の支持装置。
　前記第１部材の前記外面は、前記他方側に向かうにつれて前記第１部材の前記外面の径が小さくなる第３テーパ形状面を含み、
　前記第２部材の前記内面は、前記他方側に向かうにつれて前記第２部材の前記内面の径が小さくなる第４テーパ形状面を含む
　ことを特徴とする請求項１から１８のいずれか一項に記載の支持装置。
　前記第２部材として、（ｉ）前記第１部材の外面の少なくとも一部に対向可能な前記内面を備える一の前記第２部材と、（ｉｉ）前記一の第２部材の外面の少なくとも一部に対向可能な前記内面を備える他の前記第２部材とを備え、
　前記一の第２部材の前記外面は、前記他方側に向かうにつれて前記一の第２部材の前記外面の径が小さくなる第５テーパ形状面を含み、
　前記第１状態は、前記一の第２部材の前記内面の少なくとも一部と前記第１部材の前記外面の少なくとも一部とが嵌合しており、且つ、前記一の第２部材の前記外面の少なくとも一部と前記他の第２部材の前記内面の少なくとも一部とが嵌合している状態を含み、
　前記第２状態は、前記第１状態における前記第１部材並びに前記一の第２部材及び前記他の第２部材の位置を基準として、前記第１部材に対して前記一の第２部材及び前記他の第２部材の双方が前記他方側に向かって相対的に移動している状態を含む
　ことを特徴とする請求項１９のいずれか一項に記載の支持装置。
　前記第２部材は、少なくとも前記他方側に向かって移動可能である
　ことを特徴とする請求項１から２０のいずれか一項に記載の支持装置。
　複数の前記第１部材と、当該複数の第１部材の前記外面に夫々対向可能な前記内面を備える複数の前記第２部材とを備えている
　ことを特徴とする請求項１から２１のいずれか一項に記載の支持装置。
　前記複数の第２部材が一体化されている
　ことを特徴とする請求項２２に記載の支持装置。
　前記第１部材の前記一方側の端面は、第１面と、前記第１面の周囲に位置し且つ前記第１面の法線から離れる方向を向くように前記第１面に対して傾斜している第２面とを含む
　ことを特徴とする請求項１から２３のいずれか一項に記載の支持装置。
　前記第１部材の前記一方側の端面は、バイオチップを支持可能な支持領域を含む
　ことを特徴とする請求項１から２４のいずれか一項に記載の支持装置。
　柱状の第１部材と、前記第１部材の外面の少なくとも一部に対向可能な内面を備え、且つ、前記内面によって規定される筒内に前記第１部材の少なくとも一部が挿入されている筒状の第２部材とを備える支持装置を用いた検査方法であって、
　前記第２部材の前記内面の少なくとも一部と前記外面とは異なる前記第１部材の一方側の端面とによって囲まれる所定空間が確保されている状態で、前記所定空間に検査対象試料を注入し、
　前記検査対象試料が注入されている間の前記第１及び第２部材の位置を基準として、前記第１部材に対して前記第２部材が前記一方側とは逆の他方側に向かって相対的に移動するように、前記第１及び第２部材の少なくとも一方を移動させ、
　前記第１及び第２部材の少なくとも一方を移動させた後に、前記第１部材の一方側の端面に測定装置を近づける
　ことを特徴とする検査方法。