JP2007155628A - 測定装置および光学素子の評価方法 - Google Patents
測定装置および光学素子の評価方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007155628A JP2007155628A JP2005354243A JP2005354243A JP2007155628A JP 2007155628 A JP2007155628 A JP 2007155628A JP 2005354243 A JP2005354243 A JP 2005354243A JP 2005354243 A JP2005354243 A JP 2005354243A JP 2007155628 A JP2007155628 A JP 2007155628A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- measuring
- optical element
- spheres
- jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
【解決手段】3つの球4を有する測定用の治具2に、非球面レンズ1のレンズ第1面7およびレンズ第2面8の外周部に形成された円筒基準形状9を三次元形状測定用のプローブによって測定するための基準形状測定空間3を設ける。まず、非球面レンズ1のレンズ第1面7およびレンズ第2面8の表面形状を測定し、治具2の3つの球4を基準とした座標の点列データを得る。次いで、非球面レンズ1の円筒基準形状9を測定し、3つの球4を基準とした座標の点群データを得て、円筒基準形状9とレンズ第1面7およびレンズ第2面8の相対位置を求める。
【選択図】図1
Description
2 治具
3 基準形状測定空間
4 球
5 第1のプレート
6 第2のプレート
7 レンズ第1面
8 レンズ第2面
9 円筒基準形状
10 球状凸形状
11 取り付け面
12、13 プローブ
Claims (8)
- 基準形状部および少なくとも1つの光学面を有する光学素子を測定するための測定用の治具において、
3つの球と、前記光学素子の前記光学面に対応する開口部と、前記開口部に前記光学素子を保持する保持部と、前記保持部に保持された前記光学素子の前記基準形状部を前記光学面の光軸に垂直な方向から測定するための空所と、を有することを特徴とする治具。 - 基準形状部および少なくとも1つの光学面を有する光学素子を測定する測定装置において、
3つの球と、前記光学素子の前記光学面に対応する開口部と、前記開口部に前記光学素子を保持する保持部と、前記保持部に保持された前記光学素子の前記基準形状部を測定するための空所と、を有する治具と、
前記3つの球および前記光学面を測定する第1の形状測定系と、
前記3つの球および前記基準形状部を測定する第2の形状測定系と、を備えたことを特徴とする測定装置。 - 前記光学素子が非球面レンズであることを特徴とする請求項2記載の測定装置。
- 前記光学素子がトーリックレンズであることを特徴とする請求項2記載の測定装置。
- 前記光学素子がミラーであることを特徴とする請求項2記載の測定装置。
- 前記光学素子がプリズムであることを特徴とする請求項2記載の測定装置。
- 前記第1の形状測定系による前記光学面の測定データと、前記第2の形状測定系による前記基準形状部の測定データとを、前記3つの球から定義される座標系に変換する計算部を有することを特徴とする請求項2ないし6いずれか1項記載の測定装置。
- 基準形状部および少なくとも1つの光学面を有する光学素子を、3つの球と、前記光学面に対応する開口部と、前記開口部に前記光学素子を保持する保持部と、前記保持部に保持された前記光学素子の前記基準形状部を測定するための空所と、を有する治具に配置する工程と、
前記治具の3つの球および前記光学素子の前記光学面をそれぞれ測定する工程と、
前記治具の3つの球および前記光学素子の前記基準形状部をそれぞれ測定する工程と、
前記光学面の測定データと、前記基準形状部の測定データとを、前記3つの球の測定データから定義される座標系に変換する工程と、を有することを特徴とする光学素子の評価方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005354243A JP4324159B2 (ja) | 2005-12-08 | 2005-12-08 | 光学素子の測定方法および治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005354243A JP4324159B2 (ja) | 2005-12-08 | 2005-12-08 | 光学素子の測定方法および治具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007155628A true JP2007155628A (ja) | 2007-06-21 |
JP4324159B2 JP4324159B2 (ja) | 2009-09-02 |
Family
ID=38240189
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005354243A Expired - Fee Related JP4324159B2 (ja) | 2005-12-08 | 2005-12-08 | 光学素子の測定方法および治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4324159B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009002771A (ja) * | 2007-06-21 | 2009-01-08 | Nsk Ltd | 物品の形状測定方法及び測定装置 |
JP2012093236A (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-17 | Nikon Corp | 載置台、形状測定装置、及び形状測定方法 |
KR101826288B1 (ko) * | 2011-09-22 | 2018-02-08 | 대우조선해양 주식회사 | 벨마우스 모형 측정용 지그 및 이를 이용한 벨마우스 모형의 모사방법 |
-
2005
- 2005-12-08 JP JP2005354243A patent/JP4324159B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009002771A (ja) * | 2007-06-21 | 2009-01-08 | Nsk Ltd | 物品の形状測定方法及び測定装置 |
JP2012093236A (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-17 | Nikon Corp | 載置台、形状測定装置、及び形状測定方法 |
KR101826288B1 (ko) * | 2011-09-22 | 2018-02-08 | 대우조선해양 주식회사 | 벨마우스 모형 측정용 지그 및 이를 이용한 벨마우스 모형의 모사방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4324159B2 (ja) | 2009-09-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5960379A (en) | Method of and apparatus for measuring shape | |
US7440089B2 (en) | Method of measuring decentering of lens | |
WO2011040136A1 (ja) | レンズの組立方法、レンズの組立体、及びレンズ組立体を備えた撮像装置 | |
US20070050089A1 (en) | Method for detecting the position and orientation of holes using robotic vision system | |
JP4823755B2 (ja) | レンズシステム組立方法および間隔設定冶具 | |
JP2007163405A (ja) | 多軸力ロードセル | |
JP4049272B2 (ja) | 光学式3次元測定機の検査マスタ用基準部材 | |
JP4324159B2 (ja) | 光学素子の測定方法および治具 | |
EP2851648A1 (en) | Shape measurement method and shape measurement apparatus | |
JP4986530B2 (ja) | 形状測定方法及び測定用治具 | |
CN103968787A (zh) | 用于对结构的元件的位置进行测量的测量方法和系统 | |
CN108469241B (zh) | 一种舱段装配精度的确定方法、装置及存储介质 | |
JP2006078398A (ja) | 表裏面の偏心及び傾きの測定方法及びその装置 | |
JP4053156B2 (ja) | 光学素子の面間の位置関係を測定する装置に用いる光学素子を保持する保持具 | |
JP2002250621A (ja) | 光学素子及びその型の形状測定方法及び装置 | |
JP3352507B2 (ja) | 形状測定装置 | |
US20050235506A1 (en) | Method for profilometer position registration | |
JP2006133059A (ja) | 干渉測定装置 | |
CN114166252B (zh) | 一种工业机器人集成系统综合定位精度测试方法 | |
KR102028699B1 (ko) | 렌즈의 3차원 형상 측정 방법 및 이를 위한 시스템 | |
JP2002214071A (ja) | 非球面レンズの評価装置及び評価方法 | |
JPH11281306A (ja) | 座標測定機の校正値検出方法及びこの校正値を用いた形状データ校正方法 | |
JP2008241838A (ja) | 複合レンズおよびその製造方法 | |
TW200532165A (en) | A method for the examination of a curved surface in fiber optics and the device thereof | |
CN110057266B (zh) | 一种应用于空间网状天线花盘零件检验用量规 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071105 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080507 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080707 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090224 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090424 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090526 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090605 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4324159 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120612 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120612 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130612 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |