JP2002214071A - 非球面レンズの評価装置及び評価方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】被測定物に大きな変更を加えること無く、治具
の位置、姿勢精度の影響を受けずにレンズの面間の偏心
などの評価を可能とするための非球面レンズの評価装置
を提供すること。 【解決手段】被測定物の基準面を当接させる基準面と、
被測定物を突き当てて位置決めする第１および第２の位
置決め手段と、被測定物を保持する保持手段を備え、被
測定物を基準面に直交する軸周りに１８０度回転させた
２通りの姿勢で保持可能な治具と、被測定物表面の形状
を座標の点列データとして出力する形状測定手段と、第
１および第２の位置決め手段と、被測定物の第１および
第２のレンズ面の形状測定結果より、被測定物のレンズ
面間の偏心およびレンズ厚さを求める演算手段を備える
ようにしたこと。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、非球面レンズの偏心測
定に関し、レーザプリンタ等の光書き込み系に用いる走
査レンズ等の評価に応用して有効なものである。

【０００２】

【従来の技術】光源からの光束を光偏向器で偏向させ、
偏向光束を走査結像レンズにより被走査面上に光スポッ
トとして集光させ、等速的に走査する光走査装置はレー
ザプリンタやデジタル複写機等に関連して広く知られて
いる。このような光走査装置で用いられる走査結像レン
ズは、性能を向上させるために非球面、特に長手方向と
短手方向の断面形状が異なるトーリック面形状が用いら
れる。また非球面を用いるため、その製造法にはプラス
チック材料による成形加工が用いられる。

【０００３】レンズ面に非球面形状を採用した場合、レ
ンズの評価項目の１つとして偏心がある。非球面は球面
と違ってレンズ面固有の座標軸（以下光軸）を持つの
で、レンズ第１面と第２面の光軸の相対的位置関係にず
れが生じる場合がある。これを偏心と呼び、光学的には
集光時のビーム形状の劣化の原因となる。また、生産工
程においては成形時の鏡面駒の成形型への組付け精度評
価や、成形行程に依存するレンズ面形状誤差の偏心への
影響の評価と、偏心を考慮した鏡面駒の形状補正などに
用いられる。

【０００４】非球面レンズの評価法として、触針式形状
測定装置に代表される形状測定装置でレンズ面形状を評
価する形状評価は広く知られており、これを用いた測定
時のレンズ保持用治具を基準とした偏心の評価の方法と
して、例えば特開２０００−４６５４３号公報に記載さ
れたものがある。これは、被測定物に３つの球面を取り
付けることによりレンズの第１面と第２面の相対的偏心
を評価するものであるが、全ての被測定物に３つ以上の
高精度の球面を固定しなくてはならないものであり、ま
た、球面とレンズ面の相対的位置関係を高精度に合わせ
て固定しなくてはならないという問題があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、被測
定物に大きな変更を加えること無く、治具の位置、姿勢
精度の影響を受けずにレンズの面間の偏心などの評価を
可能とするための非球面レンズの評価装置を提供するこ
とをその課題とする。

【０００６】

【課題解決のために講じた手段】上記課題解決のために
講じた手段は、被測定物の基準面を当接させる基準面
と、被測定物を突き当てて位置決めする第１および第２
の位置決め手段と、被測定物を保持する保持手段を備
え、被測定物を基準面に直交する軸周りに１８０度回転
させた２通りの姿勢で保持可能な治具と、被測定物表面
の形状を座標の点列データとして出力する形状測定手段
と、第１および第２の位置決め手段と、被測定物の第１
および第２のレンズ面の形状測定結果より、被測定物の
レンズ面間の偏心およびレンズ厚さを求める演算手段を
備えるようにしたことである。また、前記形状測定手段
を、触針を被測定物表面を倣いつつ走査させ、触針の動
作軌跡を座標の点列データとして出力する触針式形状測
定装置とした。また、前記演算手段が、形状測定装置に
よる第１および第２の位置決め手段の形状測定結果より
それぞれの基準座標を求め、第１および第２の治具座標
系から測定座標系への座標変換行列を求める治具座標系
推定手段と、形状測定装置による被測定物の第１および
第２のレンズ面の形状測定結果より、各レンズ面の形状
から求まる第１および第２のレンズ面座標系への座標変
換行列を求めるレンズ面座標系推定手段と、以上の座標
変換行列より一方のレンズ面座標系からもう一方のレン
ズ面座標系への座標変換行列を求める面間座標変換行列
算出手段とよりなるようにした。また、前記の第１およ
び第２の位置決め手段として曲率半径が同一の円筒形状
を用いるようにした。また、前記第１および第２の位置
決め手段として曲率半径同一の球面形状を用いるように
した。また、曲率半径同一の球面形状をした前記第１お
よび第２の位置決め手段が、治具の基準面に突き当てた
後、接着等により固定されるようにした。また、前記被
測定物保持手段として、被測定物の基準面を治具の基準
面に一定の圧力で押し付けて保持させる加圧保持手段を
用いるようにした。また、前記被測定物保持手段とし
て、治具の基準面に設けられた孔より空気を吸引するこ
とにより被測定物の基準面を吸着させる吸着保持手段を
用いるようにした。また、前記被測定物が２つのレンズ
面を持ち、そのうち少なくとも一方のレンズ面が非球面
であり、側面に設けられた光軸に平行な平面の第１の基
準面と、光軸に直交した平面の第２の基準面と、第１の
受け面に隣接して第１の基準面と第２の基準面のどちら
とも平行でない第３の基準面と、第２の基準面とは光軸
を挟んで反対側に設置された第４の基準面を備えるよう
にした。また、第１および第２の位置決め手段の形状を
測定する位置決め手段形状測定行程と、被測定物の基準
面を治具の基準面に当接させ、被測定物を第１の位置決
め手段と２個所で接触するように突き当て、第２の位置
決め手段と１個所で接触するように突き当てて被測定物
が位置決めされた状態で保持手段によって保持し、被測
定物の第１のレンズ面の形状を測定する第１のレンズ面
測定行程と、被測定物を基準面に直交する軸周りに１８
０度回転させ、被測定物の基準面を治具の基準面に当接
させ、被測定物を第２の位置決め手段と２個所で接触す
るように突き当て、第１の位置決め手段と１個所で接触
するように突き当てて被測定物が位置決めされた状態で
保持手段によって保持し、第２のレンズ面の形状を測定
する第２のレンズ面測定行程と、以上の測定結果より、
第１のレンズ面と第２のレンズ面の相対的偏心およびレ
ンズ厚さを求める演算行程より非球面レンズを評価する
ようにした。また、前記演算行程が、第１および第２の
位置決め手段の形状測定結果より、それぞれの基準座標
を求め、それぞれの基準座標を原点とする第１および第
２の治具座標系から測定座標系への座標変換行列を求め
る、治具座標系導出行程と、第１および第２の形状測定
行程における形状測定結果より、設計形状との差を最小
とする取付誤差を求め、測定座標系からそれぞれのレン
ズ面設計時の座標系であるレンズ面座標系への座標変換
行列を求めるレンズ面座標系導出行程と、以上の座標変
換行列から一方のレンズ面座標系からもう一方のレンズ
面座標系への座標変換行列を求めるレンズ面間座標変換
行列導出行程とよりなるようにした。

【０００７】

【作用】上記構成により、治具に依存する取付誤差や、
レンズの受け面に依存する取付誤差に依存せずにレンズ
面間の偏心とレンズ厚さを評価することができる。これ
により成形行程における非対称な形状誤差によるレンズ
面のティルト偏心を評価でき、鏡面駒等の修正による改
善が行える。また、金型への金駒の組付け精度の確認も
でき、より確実な生産管理を行うことが可能となる。ま
た、形状測定手段が触針式形状測定装置である場合、数
百ｍｍの長さで、非球面量の大きい走査結像レンズの形
状を高精度で測定可能であり、これにより求まる取付誤
差の精度も高いので、形状誤差と偏心、レンズ厚さの同
時評価が可能である。また、形状測定手段の測定結果か
ら、形状誤差、偏心、レンズ厚さを求めるための手段
を、汎用のコンピュータ内にソフトウエアとして提供す
ることにより演算部分が自動化されるので、操作者の負
担を減らして簡単に評価を行うことができる。また、円
柱形状の位置決めピンは、安価に同一形状の部品を揃え
易く、治具座標系原点を円柱の中心にすることにより精
度良く治具座標系原点の特定が行え、またこれ自体が回
転対称なので第１の形状測定行程と第２の形状測定行程
の相対回転角が正確に１８０［ｄｅｇ］であることを保
証できるので、偏心の評価を精度良く行える。また、位
置決めピンの場合、治具の作成時に位置決めピンが基準
面に対して正確に垂直に立っていないと相対回転角が１
８０［ｄｅｇ］であることを保証できなかったが、球面
部品を用いることにより、治具の組み立てに高い精度を
要求しなくてもより高精度に、かつ、くり返し再現性良
くこれを保証することができる。また球面部品を基準面
に突き当てた後、接着することにより治具座標系原点と
治具の基準面の距離が簡単に高精度に保証されるため、
第１の形状測定行程における被測定物と球面との接触位
置と第２の形状測定行程における接触位置が高精度に同
一の位置となり、被測定物の突き当て面の面精度が悪い
場合や、平面でない場合でも精度が保証できる。また、
プランジャー等の加圧保持手段を用いれば、安価な構成
で常に一定の圧力でレンズを保持できるので、操作者に
依存しないで繰り返し再現性良く、レンズの評価を行う
ことができる。また吸着保持手段を用いれば、レンズに
余分な応力をかけること無く、測定時にレンズが歪んで
しまうことを防ぎ、繰り返し再現性良く形状測定を行う
ことができるから、レンズの評価精度が向上される。ま
た、被測定物には専用の突き当て用基準面が無くとも、
繰り返し再現性良く保持できれば良いが、専用の突き当
て用基準面を設けることにより、形状測定行程における
繰り返し精度を保証しやすくなる。また、位置決め手段
の形状を測定し、被測定物を１８０度回転させて２つの
レンズ面を測定することにより、形状に加えて偏心、レ
ンズ厚さを評価できる。

【０００８】

【実施例】まず本発明の実施例１について説明する。被
測定物のレンズは第１面、第２面共に非球面とし、全て
の形状測定はレンズ中心軸近傍のｙ＝ｙ0 なる平面内で
２次元の測定、評価を行う。図１に治具の構成を示す。
被測定物保持用の治具は基準面２と円筒形状の第１の位
置決めピン３ａ、第２の位置決めピン３ｂ、被測定物を
治具の基準面２に押し付けるプランジャー４から構成さ
れている。なお、被測定物には特別な基準面を設ける必
要はなく、繰り返し再現性よく保持できればよいもので
あるが、専用の基準面を被測定物に設けるようにすれ
ば、より高い繰り返し保持精度が保証される。専用の基
準面を備えた被測定物としては、例えば、被測定物の側
面に設けられた光軸に平行な平面に第１の基準面を、光
軸に直交した平面に第２の基準面を、第２の基準面に隣
接した位置に第１の基準面と第２の基準面のどちらとも
平行でない第３の基準面を、第２の基準面とは光軸を挟
んで反対側に第４の基準面を設けたものが考えられる。

【０００９】また本実施例では被測定物を保持する手段
としてプランジャーを用い、一定の圧力で被測定物を治
具の基準面に保持するようにしたが、例えば治具の基準
面に孔を設け、この孔を通じて空気により被測定物を吸
引し被測定物の基準面と治具の基準面同士を吸着させる
構成としてもよい。この構成によれば、レンズに余分な
応力をかけることなくレンズが歪むこともない。

【００１０】被測定物１の測定の前に、まず被測定物を
取り付けない状態で第１および第２の位置決めピンの形
状を測定する。次に図２の如く被測定物１の基準面を治
具の基準面２に当接させ、被測定物をｚ軸正方向から負
方向に向けて第１の位置決めピン３ａ、第２の位置決め
ピン３ｂに突き当て、ｘ軸負方向に向けて第１の位置決
めピン３ａに突き当てて、最後にプランジャーで基準面
に押し当てて保持する。この状態で、触針プローブをｚ
軸正方向から接近させ、被測定物の第１のレンズ面に接
触させ、走査することで形状を測定する。

【００１１】次に図３に示すように被測定物１をｙ軸周
りに１８０度回転させた後、被測定物の基準面を治具基
準面２に当接させ、ｚ軸負方向から正方向に向けて第１
の位置決めピン３ａと第２の位置決めピン３ｂに突き当
て、ｘ軸正方向に向けて第２の位置決めピン３ｂに突き
当てて位置決めし、この状態にてプランジャー４で再度
保持し、第２のレンズ面の形状を測定する。以上の全て
の測定行程は測定機がもつ同一の座標系での座標の点列
データとして保存される。

【００１２】以下にデータ処理の方法を示す。第１およ
び第２のレンズ面の形状測定結果より取付誤差を求め
る。これはレンズ面形状から推定される設計座標系Σ
_Ｌｉから測定装置の座標系Σ_０への座標変換行列で示さ
れる。これは座標系原点の並進変換（ｐ_ｘ，ｐ_ｚ）、回
転角Θの回転変換からなる同次変換行列で表される（第
１のレンズ面と第２のレンズ面のシフト偏心ｐ_ｘ、ティ
ルト偏心θ、およびレンズの厚さｐ_ｚ）。以下に座標変
換行列を示す。

【００１３】これを求める方法としては、座標変換後の
測定座標と設計形状の差の二乗和を最小にするようにｐ
_Ｘ，ｐ_ｚ，θを最適化することにより求める。求まった
座標変換行列をそれぞれ^Ｌ１Ａ_０（第１のレンズ面設計
座標系から測定装置の座標系への座標変換行列）、^Ｌ２
Ａ_０（第２のレンズ面設計座標系から測定装置の座標系
への座標変換行列）とする。

【００１４】また、第１および第２の位置決めピンの形
状測定結果から、位置決めピンの中心座標を求める。こ
こで、第１の位置決めピンの中心を原点として、測定座
標系と平行な座標系を第１の治具座標系Σ_Ｊ１とする
と、測定座標系から第１の治具座表系への座標変換行列
は、測定座標系から見た第１の位置決めピンの中心座標
が（ｘ_ｊ１，ｚ_ｊ１）であり、回転角Θ＝０であるので
以下のように表される。 同様に第２の位置決めピンの中心を原点として測定座標
系と平行な座標系を第２の治具座標系Σ_Ｊ２とすると測
定座標系から第２の治具座標系への変換行列は以下のよ
うになる。 ここでレンズ自体の基準となるレンズ座表系Σ_Ｌを第１
の形状測定工程での第１の第１の治具座標系Σ_Ｊ１と同
じとする。以上の座標系の関係を図２に示す。

【００１５】第１の形状測定工程で測定した第１のレン
ズ面の設計時の座標系である第１のレンズ面座標系Σ
_Ｌ１について考える。これは形状測定データに対して取
付誤差補正を行う事によって、第１のレンズ面座標系表
示の測定座標原点位置であるシフト誤差（ｘ_Ｌ１，ｚ
_Ｌ１）、座標系の傾きであるティルト誤差Θ_Ｌ１を求め
ることができるので、第１のレンズ座標系Σ_Ｌ１から測
定座標系Σ_Ｏへの座標変換行列は以下のようになる。 したがって、第１のレンズ面座標系からレンズ座標系へ
の座標変換行列は以下のようになる。これは^Ｌ１Ａ_０と
^０Ａ_Ｊ１との積で以下のようになる。

【００１６】次に第２のレンズ面形状測定行程での座標
系を考える。図４に各座標系を示す。ここで、２つの位
置決めピンは第１の位置決めピンと同一の形状をしてい
るので、被測定物は治具の基準面に平行な平面内で正確
に１８０［ｄｅｇ］回転し、レンズ座標系原点と第２の
治具座標系原点の相対座標はまったく同一となる。よっ
て、レンズ座標系Σ_Ｌから第２の治具座標系Σ_Ｊ２への
座標変換行列^ＬＡ_Ｊ２は、ｙ軸周りに１８０［ｄｅｇ］
回転させるものである。これを以下に示す。

【００１７】したがって、Σ_Ｌ１からΣ_Ｌ２への座標変
換行列^Ｌ１Ａ_Ｊ２は以下のようになる。 これにより第１のレンズ面と第２のレンズ面のシフト偏
心ｐ_ｘ、ティルト偏心Θ、およびレンズの厚さｐ_ｚが得
られる。なお、ここで示したデータ処理は、汎用のコン
ピュータ等のソフトウエアとして実現することができ
る。

【００１８】被測定物であるレンズの一方のレンズ面が
球面の場合は、レンズ座標系から一方のレンズ面座標系
への変換行列^ＬＡ_Ｌ１の代わりにレンズ座標系での球面
の中心位置を示すベクトル^ＬＰ_Ｌ１＝［ｐ_Ｘ ｐ_Ｚ
１］^Ｔを求め、もう一方のレンズ面の座標系表示へと変
換することにより、シフト偏心の評価が行える。

【００１９】同様に一方のレンズ面が平面の場合には、
平面の法線ベクトルを求め、このベクトルをもう一方の
レンズ面座標系表示に変換する事によりｚ座標軸の相対
的傾きが求まるので、これによりティルト偏心の評価が
行える。

【００２０】また治具は位置決めピンの代わりに同一の
曲率半径の高精度な球面を基準面に当接させた後接着さ
せたもの（以下位置決め球面）を用いてもよい。これに
よれば治具の組み立てに高い精度を要求することなく位
置決めが高精度に行える。また、形状測定はすべて触針
をｘ、ｙ軸方向に走査し、面として３次元座標の点列デ
ータとして取得するようにしてもよい。また、取付誤差
は、ｘ、ｙ、ｚ方向の３自由度の並進ｐｘ、ｐｙ、ｐ
ｚ、ｘ、ｙ、ｚ軸周りの３自由度の回転角φ、θ、ψを
最適化し、４×４の同次変換行列を求めるようにしても
よい。また、位置決め球面の中心位置も３次元での座標
として求めるようにしてもよい。以上のことにより前記
実施例と同様に座標変換式を解くことで、第１のレンズ
面と第２のレンズ面のシフト偏心ｐ_ｘ，ｐ_ｙ、各座標軸
の傾きを示す３×３回転変換行列、レンズの厚さｐ_ｚを
評価することができる。

【００２１】

【効果】請求項１の構成によれば、治具に依存する取付
誤差や、レンズの受け面に依存する取付誤差に依存せず
に、レンズ面間の偏心とレンズ厚さを評価することがで
きる。これにより成形行程における非対称な形状誤差に
よるレンズ面のティルト偏心を評価でき、鏡面駒等の修
正による改善が行える。また、金型への金駒の組付け精
度の確認もでき、より確実な生産管理を行うことが可能
となり、産業上非常に有効である。請求項２の構成によ
れば、数百ｍｍの長さで、非球面量の大きい走査結像レ
ンズの形状を高精度で測定可能であり、ここから求まる
取付誤差の精度も高いので、形状誤差と偏心、レンズ厚
さの同時評価が可能である。請求項３の構成によれば、
形状測定手段の測定結果から、形状誤差、偏心、レンズ
厚さを求めるための手段を、汎用のコンピュータ内にソ
フトウエアとして提供することにより、演算部分を自動
化できるので、操作者の負担を減らして簡単に評価を行
うことができる。請求項４の構成によれば、円柱形状の
位置決めピンを用いているので安価に同一形状の部品を
揃え易い。また、治具座標系原点を円柱の中心にするこ
とにより精度良く治具座標系原点の特定が行え、またこ
れ自体が回転対称なので第１の形状測定行程と第２の測
定行程の相対回転角が正確に１８０［ｄｅｇ］であるこ
とを保証できるので、偏心の評価を精度良く行える。請
求項５の構成によれば、位置決めピンの場合、治具の作
成時に位置決めピンが基準面に対して正確に垂直に立っ
ていないと、相対回転角が正確に１８０［ｄｅｇ］であ
ることを保証できなかったが、球面部品を用いることに
より、治具の組み立てに高い精度を要求しなくてもより
高精度に、かつ、くり返し再現性良く、これを保証する
ことができるため、治具の製造コストを下げることがで
きる。請求項６の構成によれば、球面部品を基準面に突
き当てた後、接着することにより、治具座標系原点と治
具の基準面の距離が簡単に高精度に保証されるため、第
１の形状測定行程における被測定物と球面との接触位置
と第２の形状測定行程における接触位置が高精度に同一
の位置となり、被測定物の突き当て面の面精度が悪い場
合や、平面でない場合も精度が保証されるので、より高
精度な偏心評価を行うことができる。請求項７の構成に
よれば、安価な構成で常に一定の圧力でレンズを保持で
きるので、操作者に依存しないで繰り返し再現性良く、
レンズの評価を行うことができる。請求項８の構成によ
れば、レンズに余分な応力をかけること無く、測定時に
レンズが歪んでしまうことを防ぎ、繰り返し再現性良く
形状測定を行うことができるから、レンズの評価精度が
向上する。請求項９の構成によれば、専用の突き当て用
基準面を設けたので、形状測定行程における繰り返し精
度を保証しやすくなる。請求項１０の構成によれば、位
置決め手段の形状を測定し、被測定物を１８０度回転さ
せて２つのレンズ面を測定するようにしたので、形状に
加えて偏心、レンズ厚さを評価できる。請求項１１の構
成により測定データを処理すれば、簡潔な演算にて偏心
とレンズ厚さの評価が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】は本発明の概略構成図である。

【図２】は第１形状測定時の概略構成図である。

【図３】は第２形状測定時の概略構成図である。

【図４】は第２形状測定時の他の概略構成図である。

【符号の説明】

１・・・・・・・被測定物 ２・・・・・・・基準面 ３ａ，ｂ・・・・第１の位置決めピン、第２の位置決め
ピン ４・・・・・・・プランジャー

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被測定物の基準面を当接させる基準面と、
   被測定物を突き当てて位置決めする第１および第２の位
   置決め手段と、被測定物を保持する保持手段を備え、被
   測定物を基準面に直交する軸周りに１８０度回転させた
   ２通りの姿勢で保持可能な治具と、 被測定物表面の形状を座標の点列データとして出力する
   形状測定手段と、第１および第２の位置決め手段と、被
   測定物の第１および第２のレンズ面の形状測定結果よ
   り、被測定物のレンズ面間の偏心およびレンズ厚さを求
   める演算手段よりなる非球面レンズの評価装置。
2. 【請求項２】前記形状測定手段が、触針を被測定物表面
   を倣いつつ走査させ、触針の動作軌跡を座標の点列デー
   タとして出力する触針式形状測定装置であることを特徴
   とする請求項１の非球面レンズの評価装置。
3. 【請求項３】前記演算手段が、形状測定装置による第１
   および第２の位置決め手段の形状測定結果よりそれぞれ
   の基準座標を求め、 第１および第２の治具座標系から測定座標系への座標変
   換行列を求める治具座標系推定手段と、形状測定装置に
   よる被測定物の第１および第２のレンズ面の形状測定結
   果より、各レンズ面の形状から求まる第１および第２の
   レンズ面座標系への座標変換行列を求めるレンズ面座標
   系推定手段と、 以上の座標変換行列より一方のレンズ面座標系からもう
   一方のレンズ面座標系への座標変換行列を求める面間座
   標変換行列算出手段とよりなることを特徴とする請求項
   １および請求項２の非球面レンズの評価装置。
4. 【請求項４】前記の第１および第２の位置決め手段が曲
   率半径が同一の円筒形状をしていることを特徴とする請
   求項１乃至請求項３の非球面レンズの評価装置。
5. 【請求項５】前記第１および第２の位置決め手段が曲率
   半径同一の球面形状をしていることを特徴とする請求項
   １乃至請求項３の非球面レンズの評価装置。
6. 【請求項６】前記第１および第２の位置決め手段が曲率
   半径同一の球面形状をしており、治具の基準面に突き当
   てた後、接着等により固定されていることを特徴とする
   請求項１乃至請求項３の非球面レンズの評価装置。
7. 【請求項７】前記被測定物保持手段が、被測定物の基準
   面を治具の基準面に一定の圧力で押し付けて保持させる
   加圧保持手段であることを特徴とする請求項１乃至請求
   項６の非球面レンズの評価装置。
8. 【請求項８】前記被測定物保持手段が、治具の基準面に
   設けられた孔より空気を吸引することにより被測定物の
   基準面を吸着させる吸着保持手段であることを特徴とす
   る請求項１乃至請求項６の非球面レンズの評価装置。
9. 【請求項９】前記被測定物が２つのレンズ面を持ち、そ
   のうち少なくとも一方のレンズ面が非球面であり、側面
   に設けられた光軸に平行な平面の第１の基準面と、光軸
   に直交した平面の第２の基準面と、第２の基準面に隣接
   して第１の基準面と第２の基準面のどちらとも平行でな
   い第３の基準面と、第２の基準面とは光軸を挟んで反対
   側に設置された第４の基準面を備えることを特徴とする
   請求項１から７記載の非球面レンズの評価装置。
10. 【請求項１０】第１および第２の位置決め手段の形状を
    測定する位置決め手段形状測定行程と、 被測定物の基準面を治具の基準面に当接させ、被測定物
    を第１の位置決め手段と２個所で接触するように突き当
    て、第２の位置決め手段と１個所で接触するように突き
    当てて被測定物が位置決めされた状態で保持手段によっ
    て保持し、被測定物の第１のレンズ面の形状を測定する
    第１のレンズ面測定行程と、 被測定物を基準面に直交する軸周りに１８０度回転さ
    せ、被測定物の基準面を治具の基準面に当接させ、被測
    定物を第２の位置決め手段と２個所で接触するように突
    き当て、第１の位置決め手段と１個所で接触するように
    突き当てて被測定物が位置決めされた状態で保持手段に
    よって保持し、第２のレンズ面の形状を測定する第２の
    レンズ面測定行程と、 以上の測定工程による測定結果より、第１のレンズ面と
    第２のレンズ面の相対的偏心およびレンズ厚さを求める
    演算行程とからなる非球面レンズの評価方法。
11. 【請求項１１】前記演算行程が、第１および第２の位置
    決め手段の形状測定結果よりそれぞれの基準座標を求
    め、それぞれの基準座標を原点とする第１および第２の
    治具座標系から測定座標系への座標変換行列を求める、
    治具座標系導出行程と、 第１および第２の形状測定行程における形状測定結果よ
    り、設計形状との差を最小とする取付誤差を求め、測定
    座標系からそれぞれのレンズ面設計時の座標系であるレ
    ンズ面座標系への座標変換行列を求めるレンズ面座標系
    導出行程と、以上の座標変換行列から、一方のレンズ面
    座標系からもう一方のレンズ面座標系への座標変換行列
    を求めるレンズ面間座標変換行列導出行程とよりなるこ
    とを特徴とする請求項１０の非球面レンズの評価方法。