WO2015105102A1 - センサ装置 - Google Patents

センサ装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2015105102A1
WO2015105102A1 PCT/JP2015/050162 JP2015050162W WO2015105102A1 WO 2015105102 A1 WO2015105102 A1 WO 2015105102A1 JP 2015050162 W JP2015050162 W JP 2015050162W WO 2015105102 A1 WO2015105102 A1 WO 2015105102A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
gas
passage
sensor device
sensor
main body
Prior art date
Application number
PCT/JP2015/050162
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
西川佳弘
Original Assignee
株式会社テイエルブイ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社テイエルブイ filed Critical 株式会社テイエルブイ
Priority to JP2015508344A priority Critical patent/JP5727117B1/ja
Publication of WO2015105102A1 publication Critical patent/WO2015105102A1/ja

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/0092Pressure sensor associated with other sensors, e.g. for measuring acceleration or temperature
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K13/00Thermometers specially adapted for specific purposes
    • G01K13/02Thermometers specially adapted for specific purposes for measuring temperature of moving fluids or granular materials capable of flow
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K13/00Thermometers specially adapted for specific purposes
    • G01K13/02Thermometers specially adapted for specific purposes for measuring temperature of moving fluids or granular materials capable of flow
    • G01K13/024Thermometers specially adapted for specific purposes for measuring temperature of moving fluids or granular materials capable of flow of moving gases
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/06Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0681Protection against excessive heat

Definitions

  • This application relates to a sensor device that detects the pressure of a high-temperature gas.
  • a sensor device that detects the pressure of a fluid (gas) handled in various plants, manufacturing apparatuses, and the like is known.
  • This sensor device has a measuring rod formed with a ventilation path through which a gas to be detected flows, and a pressure sensor attached to the measuring rod and detecting the pressure of the gas flowing into the ventilation path.
  • the end of the measuring rod is disposed at the gas circulation location, so that the gas flows into the air passage and the gas pressure is detected by the pressure sensor.
  • the operating temperature is set for the pressure sensor, and when the gas to be detected becomes a high temperature, a pressure sensor having a high operating temperature must be used. Therefore, there has been a problem that the cost of the sensor device is increased.
  • the technology disclosed in the present application has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a sensor device that can suppress the cost as much as possible even if the detection target is a high-temperature gas.
  • the sensor device of the present application includes a main body in which a gas passage into which a gas to be detected flows is formed, a pressure sensor that is provided in the main body and communicates with the gas passage, and detects a gas pressure in the gas passage; It is assumed that it has.
  • the gas passage has a spiral passage from the gas inflow end to the communication point of the pressure sensor.
  • the contact area of the gas in the main body can be increased as compared with, for example, a straight passage. Therefore, heat transfer between the gas and the main body can be promoted. Therefore, even if the gas is hot near the inflow end in the gas passage, the gas can be made lower in temperature at the communication part of the pressure sensor than near the inflow end. Then, even if the detection target is a high-temperature gas, a pressure sensor having a use temperature set lower than that temperature can be used, so that the cost of the sensor device can be suppressed.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a schematic configuration of a sensor device according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a plan view showing the sensor device according to the embodiment as viewed from above.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a main part of the sensor device according to the embodiment.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a main part of the sensor device according to the embodiment.
  • the sensor device 1 of the present embodiment is attached to a pipe through which a high-temperature gas (hereinafter, described as steam) flows in a plant or the like, and detects two of the gas temperature and pressure.
  • a high-temperature gas hereinafter, described as steam
  • the temperature of the steam flowing in the pipe is about 500 ° C.
  • the sensor device 1 includes a main body 10, a temperature sensor 20 (thermocouple), a pressure sensor 30, and an attachment member 40.
  • the main body 10 has a rod-shaped part 11 and a head part 12.
  • the rod-shaped part 11 is formed in a cylindrical shape extending in the vertical direction (the direction indicated by the arrow in FIG. 1), and constitutes a cylindrical part according to the claims of the present application.
  • One end of the rod-like portion 11 constitutes a steam inflow end 11a, and the head 12 is integrally formed at the other end.
  • the head 12 is formed in a hexagonal shape in plan view.
  • the gas passage 13 has a spiral passage 14 formed in the rod-shaped portion 11 and a lateral passage 16 formed in the head portion 12.
  • One end of the spiral passage 14 opens to the inflow end 11 a of the rod-shaped portion 11, and the other end communicates with the lateral passage 16.
  • the head 12 is provided with a temperature sensor 20 and a pressure sensor 30.
  • the temperature sensor 20 has a sheath tube 21 containing a resistance temperature detector or a thermocouple for detecting the temperature of the steam.
  • the sheath tube 21 is inserted into the rod-like portion 11 of the main body 10.
  • the pressure sensor 30 is provided in the head 12 in a state of communicating with the lateral passage 16 of the gas passage 13 and detects the pressure of the vapor in the lateral passage 16 (that is, in the gas passage 13). That is, in the gas passage 13, the spiral passage 14 is formed from the inflow end to the communication location of the pressure sensor 30.
  • signals related to the detected temperature and pressure are sent to an external device through the electric wires 22 and 31.
  • the rod-shaped part 11 of the main body 10 is provided with an attachment member 40 for attaching the sensor device 1 to the pipe.
  • the sensor device 1 is fixed to the pipe by the mounting member 40 in a state where the inflow end 11a side (the measurement target side shown in FIG. 1) of the rod-like portion 11 is inserted into the pipe. At that time, the sensor device 1 is fixed in a state where the rod-like portion 11 extends in the vertical direction.
  • the attachment member 40 is comprised so that adjustment of the insertion length of the rod-shaped part 11 is possible. In the sensor device 1 thus fixed, the inflow end 11 a of the rod-like portion 11 is exposed to the steam in the pipe, and the steam in the pipe flows into the spiral passage 14 and flows to the lateral passage 16.
  • a spiral groove 15 (spiral groove) extending in the vertical direction (axial direction of the rod-shaped portion 11) is formed on the inner peripheral surface of the rod-shaped portion 11.
  • the spiral groove 15 is formed over the entire length of the rod-shaped portion 11. That is, on the inner peripheral surface of the rod-shaped portion 11, valley portions 15a and peak portions 15b are alternately formed in the vertical direction (the axial direction of the rod-shaped portion 11).
  • tube 21 of the temperature sensor 20 is inserted over the formation range of the spiral groove 15 (refer FIG. 1).
  • the sheath tube 21 is formed in an elongated cylindrical shape, and the outer peripheral surface 21 a is in contact with the peak portion 15 b formed in the rod-shaped portion 11.
  • the spiral passage 14 described above is formed by a part of the outer peripheral surface 21 a of the sheath tube 21 and the spiral groove 15 of the rod-shaped portion 11. That is, the sheath tube 21 of the temperature sensor 20 constitutes an insertion body that is inserted into the rod-shaped portion 11 and forms the spiral passage 14 between the spiral groove 15.
  • the spiral passage 14 of the present embodiment has a descending portion 14b that slopes downward in the middle.
  • the spiral passage 14 is connected to the communication portion of the pressure sensor 30 (that is, the lateral passage 16) and the upward portion 14a (passage indicated by a broken line in FIG. 3) and the communication portion of the pressure sensor 30. It has alternately the downward part 14b (passage shown with a dashed-two dotted line in FIG. 3) which inclines below as it goes. That is, in the rod-shaped part 11, the spiral groove 15 is formed so that the above-mentioned ascending part 14a and descending part 14b are alternately formed.
  • the spiral passage 14 is formed in the gas passage 13, for example, the contact area of the steam in the rod-like portion 11 is increased as compared with the linear passage. Can do. Therefore, heat transfer between the steam and the rod-shaped portion 11 (main body 10) can be promoted. Therefore, even if the steam is high in the vicinity of the inflow end 11 a in the gas passage 13, it can be lowered in the vicinity of the pressure sensor 30. That is, in the gas passage 13, the temperature of the steam gradually decreases with the heat exchange with the main body 10, and the amount of decrease in the temperature of the steam can be increased by increasing the contact area between the steam and the main body 10.
  • the pressure sensor 30 having a use temperature set lower than that temperature can be used, so that there is no need to use a high-pressure sensor, and the cost of the sensor device 1 is reduced. Can be suppressed.
  • the spiral passage 14 is formed by inserting the columnar insert (sheath tube 21) into the cylindrical rod-like portion 11 having the spiral groove 15 formed on the inner peripheral surface. Since it is formed, the spiral passage 14 can be easily formed inside the main body 10. Therefore, the cost of the sensor device 1 can be further reduced.
  • the sheath tube 21 is used as an insertion body to be inserted into the rod-shaped portion 11, but it is sufficient that the insertion body when the temperature sensor is not used is a columnar shape.
  • the sensor device 1 of the above embodiment not only the pressure sensor 30 but also the temperature sensor 20 is provided, so that one sensor device 1 can detect two of the steam pressure and temperature.
  • the sheath tube 21 of the temperature sensor 20 is used as the insert inserted into the rod-like portion 11, the number of parts can be reduced and the apparatus can be made compact.
  • the descending portion 14b is formed in the middle of the spiral passage 14, it is generated by vapor condensation in the spiral passage 14 or the lateral passage 16 as shown in FIG.
  • the drain water thus collected can be stored in a continuous part from the descending part 14b to the ascending part 14a.
  • the steam may be condensed by the heat exchange with the main body 10 to become drain water, but the drain water can be stored in the middle of the spiral passage 14.
  • the drain water which is a liquid in the middle of the spiral passage 14, it is possible to suppress the high temperature in the vicinity of the inflow end 11 a from being transmitted to the pressure sensor 30 through the gas passage 13.
  • liquid drain water
  • vapor gas
  • the pressure sensor 30 with a low operating temperature can be used, and therefore the cost of the sensor device 1 can be further reduced.
  • a plurality of the descending portions 14b are provided.
  • the present application is not limited to this, and only one descending portion 14b may be provided, or the descending portion 14b is not provided. May be.
  • the technology disclosed in the present application is useful for a sensor device including a pressure sensor that detects a high-temperature gas pressure.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)

Abstract

 検出対象が高温ガスであっても、コストを抑えたセンサ装置を提供すること。センサ装置1は、検出対象の蒸気が流入するガス通路13が内部に形成された本体10と、ガス通路13に連通して本体10に設けられ、ガス通路13内の蒸気圧を検出する圧力センサ30とを備える。ガス通路13は、蒸気の流入端から圧力センサ30の連通箇所までにおいて螺旋通路14を有している。

Description

センサ装置
 本願は、高温ガスの圧力を検出するセンサ装置に関する。
 例えば特許文献1に開示されているように、各種プラントや製造装置等で扱われる流体(ガス)の圧力を検出するセンサ装置が知られている。このセンサ装置は、検出対象のガスが流入する通気路が形成された計測ロッドと、該計測ロッドに取り付けられ、通気路に流入したガスの圧力を検出する圧力センサとを有している。このセンサ装置では、計測ロッドの端部がガスの流通箇所に配置されることにより、ガスが通気路に流入してそのガス圧が圧力センサによって検出される。
特開2012-121070号公報
 ところで、一般に圧力センサには使用温度が設定されており、検出対象のガスが高温のものになると、使用温度の高い圧力センサを用いなければならない。そのため、センサ装置のコストが高くなるという問題があった。
 本願に開示の技術は、このような事情に鑑みなされたもので、その目的は、検出対象が高温のガスであっても、できるだけコストを抑えたセンサ装置を提供することにある。
 本願のセンサ装置は、検出対象のガスが流入するガス通路が内部に形成された本体と、上記ガス通路に連通して上記本体に設けられ、上記ガス通路内のガス圧を検出する圧力センサとを備えているものを前提としている。そして、上記ガス通路は、上記ガスの流入端から上記圧力センサの連通箇所までにおいて螺旋状の通路を有している。
 本願のセンサ装置によれば、ガス通路において螺旋状の通路が形成されているため、例えば直線状の通路と比べて本体におけるガスの接触面積を増大させることができる。そのため、ガスと本体との熱伝達を促進させることができる。したがって、ガス通路において流入端付近では高温のガスであっても圧力センサの連通箇所では流入端付近よりも低い温度のガスにすることができる。そうすると、検出対象が高温のガスであっても、その温度よりも低く設定された使用温度の圧力センサを用いることができるので、センサ装置のコストを抑えることが可能になる。
図1は、実施形態に係るセンサ装置の概略構成を示す断面図である。 図2は、実施形態に係るセンサ装置を上側から視て示す平面図である。 図3は、実施形態に係るセンサ装置の要部を示す断面図である。 図4は、実施形態に係るセンサ装置の要部を示す断面図である。
 以下、本願の実施形態について図面を参照しながら説明する。
 本実施形態のセンサ装置1は、プラント等において高温のガス(以下、蒸気として説明する。)が流れる配管に取り付けられて、ガスの温度および圧力の2つを検出するものである。なお、配管内を流れる蒸気の温度は約500℃である。
図1および図2に示すように、センサ装置1は、本体10と、温度センサ20(熱電対)と、圧力センサ30と、取付部材40とを備えている。
 本体10の内部には、検出対象の蒸気が流入するガス通路13が形成されている。具体的に、本体10は、棒状部11と頭部12を有する。棒状部11は、上下方向(図1において矢印に示す方向)に延びる円筒状に形成されており、本願の請求項に係る筒状部を構成している。棒状部11は、一端が蒸気の流入端11aを構成し、他端に頭部12が一体形成されている。頭部12は、平面視六角形に形成されている。ガス通路13は、棒状部11において形成される螺旋通路14と、頭部12において形成される横通路16とを有する。螺旋通路14は、一端が棒状部11の流入端11aに開口しており、他端が横通路16に連通している。
 頭部12には、温度センサ20および圧力センサ30が設けられている。温度センサ20は、蒸気の温度を検出する測温抵抗体または熱電対を内蔵したシース管21を有している。シース管21は、本体10の棒状部11に挿入されている。圧力センサ30は、ガス通路13の横通路16に連通する状態で頭部12に設けられ、横通路16内(即ち、ガス通路13内)の蒸気の圧力を検出するものである。つまり、ガス通路13では螺旋通路14が流入端から圧力センサ30の連通箇所までにおいて形成されている。温度センサ20および圧力センサ30では、それぞれ検出された温度および圧力に関する信号が電線22,31を通じて外部機器へ送られる。
 本体10の棒状部11には、センサ装置1を配管に取り付けるための取付部材40が設けられている。センサ装置1は、棒状部11の流入端11a側(図1に示す測定対象側)が配管内に挿入された状態で取付部材40によって配管に固定される。その際、センサ装置1は棒状部11が上下方向に延びる状態で固定される。なお、取付部材40は棒状部11の挿入長さを調節可能に構成されている。こうして固定されたセンサ装置1では、棒状部11の流入端11aが配管内の蒸気に曝された状態となり、配管内の蒸気が螺旋通路14に流入して横通路16まで流通する。
 次に、ガス通路13の螺旋通路14についてさらに詳しく説明する。図3にも示すように、棒状部11の内周面には上下方向(棒状部11の軸方向)に延びる螺旋溝15(螺旋状の溝)が形成されている。螺旋溝15は、棒状部11の全長に亘って形成されている。つまり、棒状部11の内周面では上下方向(棒状部11の軸方向)に谷部15aと山部15bとが交互に形成されている。
 そして、棒状部11では、温度センサ20のシース管21が螺旋溝15の形成範囲に亘って挿入されている(図1参照)。シース管21は、細長い円柱状に形成されており、その外周面21aが棒状部11に形成された山部15bに接している。こうしてシース管21が棒状部11に挿入されることにより、シース管21の外周面21aの一部と棒状部11の螺旋溝15とによって上述した螺旋通路14が形成される。つまり、温度センサ20のシース管21は、棒状部11に挿入されて螺旋溝15との間で螺旋通路14を形成する内挿体を構成している。
 さらに、本実施形態の螺旋通路14は、途中に下方へ傾斜する下り部14bを有している。具体的に、螺旋通路14は、圧力センサ30の連通箇所(即ち、横通路16)へ向かうに従って上方へ傾斜する上り部14a(図3において破線で示す通路)と、圧力センサ30の連通箇所へ向かうに従って下方へ傾斜する下り部14b(図3において二点鎖線で示す通路)とを交互に有している。つまり、棒状部11では上述した上り部14aと下り部14bとが交互に形成されるように螺旋溝15が形成されている。
 以上のように、上記実施形態のセンサ装置1によれば、ガス通路13において螺旋通路14を形成しているので、例えば直線状の通路と比べて棒状部11における蒸気の接触面積を増大させることができる。そのため、蒸気と棒状部11(本体10)との熱伝達を促進させることができる。したがって、ガス通路13において蒸気が流入端11a付近では高温であっても圧力センサ30の付近では低い温度にすることができる。つまり、ガス通路13において蒸気は本体10と熱交換して徐々に温度が低下するところ、蒸気と本体10との接触面積を増大させたことによって蒸気の温度低下量を増大させることができる。そうすると、検出対象が高温の蒸気であっても、その温度よりも低く設定された使用温度の圧力センサ30を用いることができるため、高温対応の圧力センサを用いる必要がなくなり、センサ装置1のコストを抑えることが可能になる。
 また、上記実施形態のセンサ装置1によれば、内周面に螺旋溝15を形成した円筒状の棒状部11に円柱状の内挿体(シース管21)を挿入することによって螺旋通路14を形成するようにしたため、容易に本体10の内部に螺旋通路14を形成することが可能になる。したがって、センサ装置1のコストを一層抑えることができる。なお、上記実施形態では、棒状部11に挿入する内挿体としてシース管21を用いているが、温度センサを用いない場合の内挿体は円柱状であれば足りる。
 また、上記実施形態のセンサ装置1によれば、圧力センサ30だけでなく温度センサ20も備えるようにしたため、1台のセンサ装置1で蒸気の圧力および温度の2つを検出することができる。しかも、棒状部11に挿入する内挿体として温度センサ20のシース管21を用いるようにしたため、部品点数の削減および装置のコンパクト化を図ることができる。
 さらに、上記実施形態のセンサ装置1によれば、螺旋通路14の途中に下り部14bを形成しているため、図4に示すように、螺旋通路14内または横通路16内における蒸気凝縮により発生したドレン水を下り部14bから上り部14aへと連続する部分に溜めることができる。螺旋通路14において蒸気は本体10との熱交換によって凝縮してドレン水になる場合があるが、そのドレン水を螺旋通路14の途中に貯留させることができる。こうして螺旋通路14の途中に液体であるドレン水を介在させることにより、流入端11a付近の高温がガス通路13を通じて圧力センサ30に伝達されるのを抑制することができる。つまり、一般に液体(ドレン水)は気体(蒸気)よりも熱伝達率が低いところ、ガス通路13の一部に液体を介在させることによってガス通路13における熱伝達を阻害することが可能になる。これによっても、使用温度が低い圧力センサ30を用いることができ、このため、センサ装置1のコストをより一層抑えることができる。
 なお、上記の実施形態の螺旋通路14では、下り部14bを複数設けているが、本願はこれに限らず、下り部14bを1つだけ設けるようにしてもよいし、下り部14bを設けなくてもよい。
 本願に開示の技術は、高温のガス圧を検出する圧力センサを備えたセンサ装置について有用である。
1   センサ装置
10  本体
13  ガス通路
14  螺旋通路(螺旋状の通路)
30  圧力センサ

Claims (4)

  1.  検出対象のガスが流入するガス通路が内部に形成された本体と、上記ガス通路に連通して上記本体に設けられ、上記ガス通路内のガス圧を検出する圧力センサとを備えたセンサ装置であって、
    上記ガス通路は、上記ガスの流入端から上記圧力センサの連通箇所までにおいて螺旋状の通路を有していることを特徴とするセンサ装置。
  2.  請求項1に記載のセンサ装置において、
     上記ガス通路の螺旋状の通路は、上下方向に延びており、上記圧力センサの連通箇所へ向かうに従って下方へ傾斜する下り部を有していることを特徴とするセンサ装置。
  3.  請求項1または2に記載のセンサ装置において、
     上記本体は、内周面に螺旋状の溝が形成された筒状部を有しており、
    円柱状に形成され、上記本体の筒状部に挿入され上記円柱状の外周面と上記螺旋状の溝とによって上記螺旋状の通路を形成する内挿体を備えていることを特徴とするセンサ装置。
  4.  請求項3に記載のセンサ装置において、
     上記ガスの温度を検出する測温抵抗体または熱電対を内蔵したシース管を有する温度センサを備えており、
    上記シース管は、上記内挿体を構成していることを特徴とするセンサ装置。
     
PCT/JP2015/050162 2014-01-08 2015-01-06 センサ装置 WO2015105102A1 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015508344A JP5727117B1 (ja) 2014-01-08 2015-01-06 センサ装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014001396 2014-01-08
JP2014-001396 2014-01-08

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2015105102A1 true WO2015105102A1 (ja) 2015-07-16

Family

ID=53523927

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2015/050162 WO2015105102A1 (ja) 2014-01-08 2015-01-06 センサ装置

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP2015148620A (ja)
WO (1) WO2015105102A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016052710A1 (ja) * 2014-10-03 2016-04-07 株式会社テイエルブイ センサ装置
JP6110047B1 (ja) * 2015-10-16 2017-04-05 株式会社テイエルブイ センサ装置
WO2018198263A1 (ja) 2017-04-27 2018-11-01 株式会社テイエルブイ センサ装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105486449B (zh) * 2016-01-07 2017-11-28 无锡莱顿电子有限公司 耐高温压力传感器

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04282429A (ja) * 1991-03-08 1992-10-07 Copal Electron Co Ltd サージング圧力抑止機構
JP2002201960A (ja) * 2000-12-28 2002-07-19 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 温度・圧力コンビネーション計測器
JP2008527386A (ja) * 2005-01-14 2008-07-24 エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド 流れを規定している構成体を持つ静電容量圧力センサ
JP2010503000A (ja) * 2006-09-15 2010-01-28 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 圧力と温度を組合わせて測定するための差込みセンサ

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04282429A (ja) * 1991-03-08 1992-10-07 Copal Electron Co Ltd サージング圧力抑止機構
JP2002201960A (ja) * 2000-12-28 2002-07-19 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 温度・圧力コンビネーション計測器
JP2008527386A (ja) * 2005-01-14 2008-07-24 エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド 流れを規定している構成体を持つ静電容量圧力センサ
JP2010503000A (ja) * 2006-09-15 2010-01-28 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 圧力と温度を組合わせて測定するための差込みセンサ

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016052710A1 (ja) * 2014-10-03 2016-04-07 株式会社テイエルブイ センサ装置
JP6043024B2 (ja) * 2014-10-03 2016-12-14 株式会社テイエルブイ センサ装置
EP3203203A4 (en) * 2014-10-03 2018-05-23 TLV Co., Ltd. Sensor device
US10012559B2 (en) 2014-10-03 2018-07-03 Tlv Co., Ltd. Sensor device having body, pressure sensor, insert with helically shaped groove and temperature sensor
JP6110047B1 (ja) * 2015-10-16 2017-04-05 株式会社テイエルブイ センサ装置
WO2017065312A1 (ja) * 2015-10-16 2017-04-20 株式会社テイエルブイ センサ装置
WO2018198263A1 (ja) 2017-04-27 2018-11-01 株式会社テイエルブイ センサ装置
US11326959B2 (en) 2017-04-27 2022-05-10 Tlv Co., Ltd. Sensor device

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015148620A (ja) 2015-08-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2015105102A1 (ja) センサ装置
JP6110047B1 (ja) センサ装置
JP6212467B2 (ja) 液面計及び液体原料気化供給装置
US11326959B2 (en) Sensor device
JP5727117B1 (ja) センサ装置
WO2014053325A3 (de) Temperatursensor und durchflussmessgerät
JP4553201B2 (ja) 界面レベルセンサ及び界面レベルセンサを備えた容器
JP6043024B2 (ja) センサ装置
JP6411176B2 (ja) センサ装置
KR101679679B1 (ko) 이중관 연도의 응축수배출장치
JP6403321B2 (ja) センサ装置
JP7158300B2 (ja) センサ装置
JP2015158480A (ja) センサ装置
JP6389102B2 (ja) センサ装置
JP6129597B2 (ja) 水位計及び原子力発電プラント
KR20180070104A (ko) 압력 센서용 어뎁터
JP2019007782A (ja) センサ装置
ITMI20090404A1 (it) Tubo di convogliamento di fumi in apparecchi di scambio termico, in particolare caldaie per la produzione di acqua calda o di vapor d'acqua.
JP2009243933A (ja) 管内ライニングの判定方法
JP2004239633A (ja) 管内温度測定システム
CN102538215A (zh) 电加热器的温控装置

Legal Events

Date Code Title Description
ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2015508344

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 15735114

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 15735114

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1