WO2015058476A1 - 有机发光二极管装置以及其制造方法 - Google Patents

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    • H10K77/111—Flexible substrates

Definitions

  • the invention relates to a light emitting diode, in particular to an organic light emitting diode.
  • the present invention also relates to a method of fabricating such an organic light emitting diode. Background technique
  • Flexible organic light-emitting diodes are widely used in many electroluminescent devices because flexible organic light-emitting diode devices not only have wide viewing angles of ordinary organic light-emitting diode devices (OLEDs).
  • OLEDs organic light-emitting diode devices
  • the advantages of high brightness, etc., and the substrate is a polymer material with good flexibility, and the substrate of a common organic light emitting diode device is usually selected as a glass substrate.
  • the glass can bend when its thickness drops to 50-200 ⁇ , but it has a certain distance to achieve flexibility of any bending, and the thin glass is easily broken in the application, which increases the difficulty of preparation.
  • the flexible substrate makes the flexible organic light emitting diode device thinner and more impact resistant than the conventional organic light emitting diode device.
  • flexible light-emitting diode devices are expected to be produced in a roll-to-roll manner, thereby greatly reducing manufacturing costs.
  • flexible substrates are more suitable for the performance requirements of flexible displays than glass substrate
  • the present invention proposes an organic light emitting diode device.
  • the OLED substrate and the package substrate of the OLED device can be sealed to prevent moisture and oxygen plexus from entering the sealing region to extend the life of the flexible OLED device.
  • the present invention also relates to a method of fabricating such an organic light emitting diode device.
  • an organic light emitting diode device including The LED substrate is provided on the inner surface thereof with an organic light emitting diode, a package substrate facing the inner surface of the light emitting diode substrate, and the organic light emitting diode substrate and the package substrate are sealed by metal soldering therebetween The two types are connected together to seal the organic light emitting diode between the organic light emitting diode substrate and the package substrate.
  • the organic light emitting diode device of the present invention uses a metal solder to hermetically connect the organic light emitting diode substrate and the package substrate.
  • the metal solder joint has a strong ability to block moisture and oxygen, thereby preventing moisture and oxygen from entering the sealed area from the outer portion, thereby avoiding damage to the organic light emitting diode and thereby prolonging the life of the flexible organic light emitting diode device.
  • the "inner surface" of the organic light emitting diode substrate refers to the surface facing the package substrate in the assembled state.
  • the light emitting diode substrate is a flexible substrate.
  • the organic light emitting diode substrate is a polymer substrate.
  • the flexible substrate enables machine development: the photodiode device is thinner, more impact resistant, and more in line with the performance requirements of flexible displays.
  • the melting point of the metal solder is lower than the melting point of the organic light emitting diode substrate and the melting point of the package substrate.
  • the metal solder is one or more of tin, tin-bismuth alloy, and lead-bismuth alloy. This metal solder has a lower melting point than the polymer substrate, so that the metal solder can be easily melted for soldering without damaging the polymer substrate.
  • the protective layer is provided on the faces of the OLED substrate and the package substrate facing each other, and the metal solder is disposed on the layer of the Shanghai Stock Exchange. on.
  • an insulating layer is disposed between the protective layer of the organic light emitting diode substrate and the metal solder.
  • the insulating layer prevents the metal solder from being connected to the metal wire and leakage occurs, and the insulating layer protects the metal wire from being damaged.
  • the material of the insulating layer is one of silicon or silicon dioxide. This inorganic insulating layer is not damaged during the process of soldering the metal solder, but helps to improve the finished product.
  • a method of manufacturing an organic light emitting diode device comprising the steps of: providing an organic light emitting diode substrate having an organic light emitting diode disposed on an inner surface thereof; a package substrate having an assembly plane facing an inner surface of the organic light emitting diode substrate; a metal solder disposed on one or both of an inner surface of the organic light emitting diode substrate and an assembly plane of the package substrate; assembling the organic light emitting diode substrate and the package substrate Together, and bonding the metal solder to the organic light emitting diode substrate and the package substrate; melting the metal solder to the molten metal After the solder is cooled, the OLED substrate is sealed and fixedly connected to the package substrate.
  • the laser is used to melt the metal solder.
  • This melting method can effectively reduce the welding cost of the organic light emitting diode device, and the welding efficiency is also high.
  • the metal solder is one or more of tin, tin antimony alloy and lead alloy. These solder materials are readily available commercially and are inexpensive, resulting in lower production costs for OLED devices.
  • a protective layer is disposed on the faces of the organic light emitting diode substrate and the package substrate facing each other, and the metal solder is disposed on the protective layer.
  • a protective layer is disposed on a surface of the light emitting diode substrate and the package substrate facing each other, and the protective layer is disposed on the surface of the organic light emitting diode substrate
  • An insulating layer is disposed on the protective layer of the package substrate, and a metal material is disposed corresponding to the insulating layer.
  • the strip formed by the metal tantalum has a width that is less than the width of the strip formed by the insulating layer.
  • the organic light emitting diode device of the present invention uses a metal solder to hermetically connect the organic light emitting diode substrate and the package substrate.
  • the metal solder joint has a strong ability to block water vapor and oxygen, thereby preventing moisture and oxygen from entering the sealed area from the outside and damaging the organic light emitting diode, thereby extending the life of the flexible organic light emitting diode device.
  • the metal solder is one or more of tin, tin-bismuth alloy and lead-bismuth alloy.
  • the metal solder has a melting point lower than that of the polymer substrate, and can easily melt the metal solder for soldering without damaging the polymer substrate, and these solder materials are easily commercially available and inexpensive, so that the light is emitted.
  • the production cost of the diode device is also low.
  • FIG. 1 is a schematic view of an organic light emitting diode device according to the present invention
  • FIG. 2 is a schematic view of a machine light emitting diode substrate according to the present invention.
  • FIG 3 is a schematic view of a package substrate in accordance with the present invention.
  • Fig. 1 schematically shows the structure of an organic light emitting diode device 10 (hereinafter referred to as device 10) according to the present invention.
  • the device 0 includes a flexible light-emitting diode substrate 11 which is provided as a polymer substrate, and an organic light-emitting diode 3 is disposed on the inner surface 30 of the substrate 11.
  • the device 10 also includes a package substrate 12 disposed facing the inner surface of the substrate II.
  • the substrate 11 and the package substrate 12 are solder-sealed together by the metal solder 20 disposed therebetween, thereby sealingly encapsulating the organic light-emitting diode 13 between the substrate 11 and the package substrate i2 to form the structure shown in FIG. .
  • a protective layer for example, a Bark layer well known to those skilled in the art
  • the metal solder 20 is disposed between the protective layer 14 and the protective layer 15, and the organic light emitting diode 13 is disposed above the protective layer 14.
  • Metal wires may also be generally disposed in the protective layer 4 of the substrate U.
  • the metal solder 20 is disposed above the insulating layer 16, and the organic light emitting diode 13 is disposed on the insulating layer 16.
  • the material of the insulating layer 16 is one of silicon or silicon dioxide.
  • the melting point of the metal solder 20 should be lower than the melting point of the flexible light-emitting diode substrate 11 and lower than the melting point of the package substrate 12.
  • the metal solder 20 is one or more of tin, tin-bismuth alloy, and lead-bismuth alloy.
  • the melting point of these metal solders 20 is lower than the melting point of the polymer substrate ii, for example, the melting point of tin is 232 V, the melting point of the tin-bismuth alloy is i38 ° C, the melting point of the lead-bismuth alloy is 120 ⁇ , and the melting point of the polymer substrate 11 is high.
  • the package substrate 12 can be made of the same material as the polymer substrate 11.
  • a flexible organic light emitting diode substrate 11 is provided.
  • An organic light emitting diode 13 is disposed on the inner surface 30 of the substrate 11, as shown in FIG.
  • a package substrate 12 having an assembly plane 31 facing the inner surface 30 of the organic light emitting diode substrate 11 is provided, as shown in FIG.
  • a protective layer 14 is further provided on the inner surface 30 of the substrate i1, and a protective layer 15 is also provided on the mounting plane 31 of the package substrate 12.
  • a specific distance from the edge of the substrate 11 on the layer 14 of the substrate 11 is, for example, 5 mm.
  • a coil of metal solder strip 24 is disposed on the protective layer 15 of the package substrate 12 in a manner corresponding to the strip 23 of the insulating layer.
  • the width of the metal solder strip 24 is smaller than the width of the insulating layer strip 23.
  • the metal solder powder may be preliminarily formed on the protective layer 15 by powder metallurgy. It is also possible to use a certain viscosity of the organic solvent, such as an alcohol, to adjust the metal solder powder into a paste, and then apply the paste to the protective layer 15":, after the organic solvent is dispersed, it will be in the protective layer.
  • a metal solder strip is formed on 15. It is also possible to form the metal solder into a strip shape similar to a conductive tape and then adhere it to the protective layer 15 of the package substrate 12 to form a metal solder strip.
  • the mounting plane 31 of the package substrate 12 is disposed opposite the inner surface 30 of the light emitting diode substrate 11, and the metal solder strip 24 is attached to the insulating layer strip 23. After the metal solder is melted by the laser, the OLED substrate U is sealed and fixedly connected to the package substrate 12, and the LED 13 is hermetically sealed.
  • the metal solder strip is formed on the package substrate 2 in the embodiment, it is understood that the metal solder strip may be formed on the insulating layer strip 23 of the organic light emitting diode substrate 11, or A metal solder strip is formed on both the package substrate 12 and the insulating layer strip 23.

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Abstract

一种有机发光二极管装置（10）以及其制造方法。该有机发光二极管装置（10）包括，有机发光二极管基板（11），在其内表面（30）上设置有有机发光二极管（13），封装基板（12），其朝向有机发光二极管基板（11）的内表面（30）正对设置，有机发光二极管基板（11）和封装基板（12）通过在两者之间的金属焊料（20）焊接而密封式连接在一起从而将有机发光二极管（13）密封式封装在有机发光二极管基板（11）和封装基板（12）之间。这种有机发光二极管装置（10）的有机发光二极管基板（11）和封装基板（12）能够密封连接而阻止水汽、氧气从外部进入密封区域内，从而延长柔性有机发光二极管装置的寿命。

Description

有机发光二极管装置以及其制造方法 技术领域
本发明涉及一种发光二极管， 特别是一种有机发光二极管。 本发明还涉及这 种有机发光二极管的制造方法。 背景技术
柔性有机发光二极管装置 (flexible organic light-emitting diodes, FOLED)在许 多场致发光装置中的应用越来越广泛， 这是由于柔性有机发光二极管装置不但具 备普通有机发光二极管装置 (OLED)的宽视角、高亮度等优点， 而旦其基板是具有 良好柔韧性的聚合物材料， 而普通有机发光二极管装置的衬底通常选择为玻璃衬 底。 玻璃在其厚度下降到 50~200 μπ 时能够弯曲， 但是要达到任意弯折的柔性 有一定距离， 同时薄玻璃在应用中很容易破裂， 增加了制备的难度。 而柔性基板 使得柔性有机发光二极管装置比普通有机发光二极管装置更轻薄、 更耐冲击。 另 夕卜， 柔性有 发光二极管装置有望采用卷对卷方式生产， 从而大幅地降低制造成 本。 此外， 相对于玻璃衬底来说， 柔韧性基板在应用上更符合柔性显示器的性能 需求。
但是， 柔性有机发光二极管装置的聚合物衬底的水氧阻隔能力和在高温下的 稳定性都不好， 柔性有机发:光二极管装置的常用封装方法： " UV胶-卜千燥剂 "及 "无机薄膜"均不能有效阻隔水或空气， 使得在柔性有机发光二极管装置内的有 机功能层容易因为与从周围环境中漏入的氧气和湿气发生作用而受损， ^而减小 柔性有机发光二极管装置的寿命。 发明内容
针对现有技术中所存在的上述技术问题， 本发明提出了一种有机发光二极管 装置。 这种有机发光二极管装置的有机发光二极管基板和封装基板能够密封连接 而阻止水汽、 氧气丛外部进入密封区域 从而延长柔性有机发光二极管装置的 寿命。 本发明还涉及这种有机发光二极管装置的制造方法。
1 ) 根据本发明的第一方面， 提出了一种有机发光二极管装置， 包括， 有机 发光二极管基板， 在其内表面上设置有有机发光二极管， 封装基板， 其朝向有 发光二极管基板的内表面正对设置， 有机发光二极管基板和封装基板通过在两者 之间的金属焊料焊接而密封式连接在一起从而将有机发光二极管密封式封装在 有机发光二极管基板和封装基板之间。
本发明的有机发光二极管装置使用金属焊料将有机发光二极管基板和封装 基板密封式连接在一起。 金属焊料焊接连接具有很强的阻止水汽和氧气的能力， 从而能阻止水汽、 氧气从夕卜部进入密封区域内， 避免了损坏有机发光二极管， 进 而延长柔性有机发光二极管装置的寿命。在本申请中，有机发光二极管基板的"内 表面"是指在装配状态中， 朝向封装基板的表面。
2)在本发明的第 1 )项的一个实施方式中，有 发光二极管基板为柔性基板。 在一个优选的实施方案中， 有机发光二极管基板为聚合物基板。 柔性基板使得有 机发:光二极管装置更轻薄、 更耐冲击， 并且更符合柔性显示器的性能需求。
3 ) 在本发明的第 υ 项或第 2) 项的一个实施方式中， 金属焊料的熔点低于 有机发光二极管基板的熔点并旦所述封装基板的熔点。 在一个具体的实施例中， 金属焊料为锡、 锡铋合金和铅铋合金中的一种或多种。 这种金属焊料的熔点低于 聚合物基板，从而能够方便地将金属焊料熔化实施焊接，而不会损坏聚合物基板。
4) 在本发明的第 1 ) 项到第 3 ) 项中任一个的实施方式中， 在有机发光二极 管基板和封装基板的朝向彼此的面上均设置有保护层， 金属焊料设置在保沪层 上。 在一个优选的实施 ^中， 在有机发光二极管基板的保护层和金属焊料之间设 置有绝缘层。 这样， 即使在有机发光二极管基板的保护层内具有金属导线， 绝缘 层会防止金属焊料与金属导线发生连接而出现漏电现象， 此外绝缘层也会保护金 属导线防止其被破坏。在一个实施例中，绝缘层的材料为硅或二氧化硅中的一种。 这种无机绝缘层不会在实施焊接金属焊料过程中被损坏， 而有助于提高成品
Ύ.。
5 ) 根据本发明的第二方面， 提出了一种制造根据上文所述的有机发光二极 管装置的方法， 包括以下步骤： 提供有机发光二极管基板， 在其内表面上设置有 有机发光二极管； 提供封装基板， 其具有朝向有机发光二极管基板的內表面的装 配平面； 在有机发光二极管基板的内表面和封装基板的装配平面中一个或两者上 设置金属焊料； 将有机发光二极管基板和封装基板装配在一起， 并且使金属焊料 与有机发光二极管基板和封装基板相贴合； 将金属焊料熔化， 待所述熔化的金属 焊料冷却后， 有机发光二极管基板与封装基板密封固定式连接在一起。
6)在本发明的第 5 )项的 ·个实施方式中， 使用激光来熔化金属焊料。 这种 熔化方式能有效降低有机发光二极管装置的焊接成本， 并且焊接效率也较高。
7) 在本发明的第 5 ) 项或第 6) 项的一个实施方式中， 金属焊料为锡、 锡铋 合金和铅秘合金中的一种或多种。 这些焊接材料是易于商购得到的， 并且价格低 廉， 使得有机发光二极管装置的生产成本也较低。
8) 在本发明的第 5 ) 项到第 7) 项的一个实施方式中， 在有机发光二极管基 板和封装基板的朝向彼此的面上均设置有保护层， 金属焊料设置在保护层上。
9) 在本发明的第 5 ) 项到第 7) 项的一个实施方式中， 在有 发光二极管基 板和封装基板的朝向彼此的面上均设置有保护层， 在有机发光二极管基板的保沪 层上设置绝缘层， 在封装基板的保护层上对应于绝缘层设置金属悍料。 在一个优 选的实施例中， 金属悍料形成的条带的宽度小于绝缘层形成的条带的宽度。
与现有技术相比， 本发明的优点在于， 本发明的有机发光二极管装置使用金 属焊料将有机发光二极管基板和封装基板密封式连接在一起。 金属焊料焊接连接 具有很强的阻止水汽和氧气的能力， 从而能阻止水汽、 氧气从外部进入密封区域 内损坏有机发光二极管， 进而延长柔性有机发光二极管装置的寿命。 另外， 金属 焊料为锡、 锡铋合金和铅铋合金中的一种或多种。 这种金属焊料的熔点低于聚合 物基板， 丛而能够方便地将金属焊料熔化实施焊接， 而不会损坏聚合物基板， 并 且这些焊接材料是易于商购得到的， 并且价格低廉， 使得有 发光二极管装置的 生产成本也较低。 附图说明
在下文中将基干实施倒并参考爾图来对本发明进行更详细的描述。 其中- 图 1是根据本发明的有机发光二极管装置的示意图；
图 2是根据本发明的机发光二极管基板的示意图；
图 3是根据本发明的封装基板的示意图。
在 图中，相同的部件使 ^相同的附图标记。附图并未按照实际的比例绘制。 具体实施方式
下面将结合 ϋ图对本发明做进一步说明。 图 1示意性地显示了根据本发明的有机发光二极管装置 10 (以下称之为装置 10) 的结构。 装置】 0包括有柔性机发光二极管基板 11 , 飼如为聚合物基板， 在 基板 11的内表面 30上设置有有机发光二极管】3。 装置 10还包括正对朝向基板 I I 的内表面而设置的封装基板 12。 基板 11和封装基板 12通过设置在其之间的 金属焊料 20而焊接密封式连接在一起， 从而将有机发光二极管 13密封封装在基 板 11和封装基板 i2之间的， 形成图 1所示的结构。
通常， 在基板 1和封装基板 12的相对表面上均设置有保护层 （例如， 本领 域的技术人员熟知的 Bark层） ， 如图 i中的 14、 15， 在这种情况下， 金属焊料 20则设置在保护层 14和保护层 15之间， 而有机发光二极管 13则设置在保护层 14上方。
在基板 U的保护层 4内通常还可设置有金属导线 （未示出） 。 为了避免金 属悍料 20与金属导线连接而发生漏电， 需要在保护层 14上再设置绝缘层】 6, 而 金属焊料 20则设置在绝缘层 16上方， 有机发光二极管 13则设置在绝缘层 16的 上方， 如图 〗 所示。 在一个实施例中， 绝缘层 16的材料为硅或二氧化硅中的一 种。
金属焊料 20的熔点应当低于柔性机发光二极管基板 1 1的熔点， 并且低于封 装基板 12的熔点。 例如， 金属焊料 20为锡、 锡铋合金和铅铋合金中的一种或多 种。 这些金属焊料 20的熔点均低于聚合物基板 i i的熔点， 例如锡的熔点为 232 V , 锡铋合金的熔点为 i38°C , 铅铋合金的熔点为 120Ό , 而聚合物基板 11的熔 点高于 250°C , 封装基板 12可以使 ]¾与聚合物基板 11一样的 料。 这样， 即使 将金属悍料 20熔化以进行焊接，也不会损坏聚合物基板 11和封装基板 12。另外， 为了提高焊接效率，可使用激:光（未示出）来熔化金属悍料 20„激光的温度很高， 能够瞬间熔化金属焊料 20, 大大提高焊接效率。 当然， 本领域的技术人员也可以 根据实际情况使用其他的加热方式来熔化金属焊料 20。
下面来描述制造上文所述的有机发光二极管装置 10的方法。
提供柔性有机发光二极管基板 11。在基板 11的内表面 30上设置有有机发光 二极管 13， 如图 2所示。 提供封装基板 12, 其具有朝向有机发光二极管基板 11 的内表面 30的装配平面 31， 如图 3所示。 在基板 i l的内表面 30上还设置有保 护层 14， 在封装基板 12的装配平面 31上也设置有保护层 15。
接着， 在基板 11的保沪层 14上以距离基板 11的边缘特定距离， ^如 5mm 处设置一圈绝缘层条带 23 , 例如硅或二氧化硅层条带。 在封装基板 12的保护层 15上以对应于绝缘层条带 23的方式设置一圈金属焊料条带 24。 为了在焊接过程 中， 避免金属焊料侵入基板 1 1的未设置绝缘层条带 23的部分， 金属焊料条带 24 的宽度要小于绝缘层条带 23的宽度。 为了在保护层 15上设置金属焊料条带 24, 可将金属焊料粉体以粉末冶金的方式在保护层 15 上预形成金属焊料烧结物。 也 可以使用具有一定粘性的有机溶齐^ 例如醇类将金属焊料粉体调成膏状物， 然后 将膏状物涂覆在保护层 15」:， 待有机溶剂散去， 就会在保护层 15上形成金属焊 料条带。 还可以将金属焊料制成类似导电胶带样的条带状， 然后将其粘附在封装 基板 12的保护层 15上而形成金属焊料条带。
将封装基板 12的装配平面 31与有 发光二极管基板 11的内表面 30正对设 置， 并且使金属焊料条带 24与绝缘层条带 23贴合。 使用激光融化金属焊料， 待 熔化的金属悍料冷却后， 有机发光二极管基板 U就会与封装基板 12密封固定式 连接在一起， 也就密封式封装了有 发光二极管 13。
虽然， 在实施例中说明是在封装基板 〗2 上形成金属焊料条带， 但是可以理 解地是， 该金属焊料条带也可以形成在有机发光二极管基板 11 的绝缘层条带 23 上， 也可在封装基板 12和绝缘层条带 23两者上均形成金属焊料条带。
虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述， 但在不脱离本发明的范围的 情况下， 可以对其迸行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。 尤其是， 只 要不存在结构冲突， 各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起 来。 本发明并不局限于文中公开的特定实施例， 而是包括落入权利要求的范围 Λ 的所有技术方案。

Claims

权利要求书
】. 一种有机发光二极管装置， 包括，
有机发光二极管基板， 在其内表面上设置有有机发光二极管，
封装基板， 其朝向所述有机发光二极管基板的内表面正对设置，
所述有机发光二极管基板和所述封装基板通过在两者之间的金属焊料焊接 而密封式连接在一起从而将所述有机发光二极管密封式封装在所述有机发光二 极管基板和所述封装基板之间。
2. 根据权利要求 1 所述的有机发光二极管装置， 其中， 所述金属焊料的熔 点低于所述有机发光二极管基板的熔点并且低于所述封装基板的熔点。
3 , 根据权利要求 2所述的有机发：光二极管装置， 其中， 所述金属焊料为锡、 锡铋合金和铅铋合金中的一种或多种。
4, 根据权利要求 2 所述的有机发：光二极管装置， 其中， 在所述有机发光二 极管基板和所述封装基板的朝向彼此的面上均设置有保护层， 所述金属焊料设置 在所述保护层上。
5. 根据权利要求 4所述的有机发光二极管装置， 其中， 在所述有机发光二 极管基板的保护层和所述金属焊料之间设置有绝缘层。
6. 根据权利要求 5 所述的有机发光二极管装置， 其中， 所述绝缘层的材料 为硅或二氧化硅中的一种。
7. 根据权利要求 2所述的有机发光二极管装置， 其中， 所述有机发光二极 管基板为柔性基板。
8 , 根据权利要求 7 所述的有机发光二极管装置， 其中， 所述有机发光二极 管基板为聚合物基板》
9, 一种制造根据权利要求 2 所述的有机发：光二极管装置的方法， 包括以下 提供有机发光二极管基板， 在其内表面上设置有有机发光二极管； 提供封装基板， 其具有朝向所述有机发光二极管基板的内表面的装配平面； 在所述有机发光二极管基板的内表面和所述封装基板的装配平面中一个或 两者上设置金属焊料；
将所述有机发光二极管基板和所述封装基板装配在一起， 并且使所述金属焊 料与所述有机发光二极管基板和所述封装基板相贴合；
将所述金属焊料熔化， 待所述熔化的金属焊料冷却后， 所述有机发光二极管 基板与所述封装基板密封固定式连接在一起。
10. 根据权利要求 9所述的方法， 其中， 所述金属焊料为锡、 锡铋合金和铅 秘合金中的一种或多种。
11 . 根据权利要求 9所述的方法， 其中， 在所述有机发光二极管基板和所述 封装基板的朝向彼此的面上均设置有保护层， 所述金属焊料设置在所述保护层
12. 根据权利要求 9所述的方法， 其中， 在所述有机发光二极管基板和所述 封装基板的朝向彼此的面上均设置有保沪层， 在所述有机发光二极管基板的保沪 层上设置绝缘层， 在所述封装基板的保护层上对应于所述绝缘层设置金属焊料。
13. 根据权利要求 12 所述的方法， 其中， 所述金属焊料形成的条带的宽度 小于所述绝缘层形成的条带的宽度。
】4. 根据权利要求 9所述的方法， 其中， 使用激光来熔化所述金属焊料。
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