WO2015037390A1 - センサモジュール - Google Patents
センサモジュール Download PDFInfo
- Publication number
- WO2015037390A1 WO2015037390A1 PCT/JP2014/071423 JP2014071423W WO2015037390A1 WO 2015037390 A1 WO2015037390 A1 WO 2015037390A1 JP 2014071423 W JP2014071423 W JP 2014071423W WO 2015037390 A1 WO2015037390 A1 WO 2015037390A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- signal processing
- processing circuit
- substrate
- sensor module
- sensor
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 43
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 13
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 11
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 11
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/0271—Housings; Attachments or accessories for photometers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/0219—Electrical interface; User interface
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/04—Casings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0203—Containers; Encapsulations, e.g. encapsulation of photodiodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/19—Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/191—Disposition
- H01L2924/19101—Disposition of discrete passive components
- H01L2924/19105—Disposition of discrete passive components in a side-by-side arrangement on a common die mounting substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/19—Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/191—Disposition
- H01L2924/19101—Disposition of discrete passive components
- H01L2924/19106—Disposition of discrete passive components in a mirrored arrangement on two different side of a common die mounting substrate
Definitions
- the present invention relates to a sensor module, and more particularly to a sensor module that processes and outputs an electrical signal from a sensor.
- a configuration has been proposed in which a circuit board on which sensor elements are arranged and other circuit boards are arranged in multiple layers, and the sensor module is cubic (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2001-8068 (Patent) Reference 1)).
- a configuration is proposed in which the signal processing IC and the semiconductor IC are fixed on the same surface of the flexible substrate, and the signal processing IC and the semiconductor IC overlap with each other in a state where the flexible substrate is bent (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2005-210409 (Patent Document 2)).
- the present invention has been made in view of the above problems, and a main object thereof is to provide a sensor module that can be reduced in size and height.
- the sensor module includes a substrate, a sensor element, an analog signal processing circuit, a digital signal processing circuit, and an external terminal.
- the substrate has a first surface and a second surface opposite to the first surface.
- the sensor element is mounted on the first surface of the substrate.
- the analog signal processing circuit is mounted on the second surface of the substrate.
- the digital signal processing circuit is mounted on the analog signal processing circuit.
- the external terminal is provided on the second surface of the substrate and is electrically connected to the substrate.
- the sensor module further includes a cap member.
- the cap member is provided on the first surface of the substrate and is disposed so as to surround the sensor element.
- the external terminal is disposed on the second surface side where the cap member is coupled to the first surface.
- the sensor module preferably further includes a sealing resin for sealing the analog signal processing circuit and the digital signal processing circuit. The end of the external terminal is exposed on the surface of the sealing resin.
- a sensor module that is reduced in size and height can be realized.
- FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a sensor module 1 according to the present embodiment.
- the sensor module of this embodiment is based on sensor output such as Home Energy Management System (HEMS), Building Energy Management System (BEMS), Factory Energy Management System (FEMS), etc. It can be applied to an energy management system that performs control such as switching the power supply on and off in For example, when the sensor module includes an infrared sensor element that can detect a person's traffic, use of the sensor module in an air conditioning or lighting system can reduce wasteful power consumption. Alternatively, the sensor module can be used for an electric device (TV, video player, etc.) in which the Wake-Up function operates when the passage of a person is detected.
- HEMS Home Energy Management System
- BEMS Building Energy Management System
- FEMS Factory Energy Management System
- a sensor module 1 mainly includes a substrate 10, a sensor element 12, a chip component 16, an analog signal processing circuit 22, and a digital signal processing circuit (MCU; Micro-Controller Unit) 26. I have.
- the substrate 10 has a flat plate shape and has a first surface 10a and a second surface 10b.
- the first surface 10 a is one main surface of the substrate 10.
- the second surface 10b is the other main surface of the substrate 10 opposite to the first surface 10a.
- a wiring pattern (not shown) is provided on the first surface 10 a and the second surface 10 b of the substrate 10.
- a via electrode (not shown) extending in the thickness direction of the substrate 10 is provided inside the substrate 10.
- the wiring pattern provided on the first surface 10a of the substrate 10 and the wiring pattern provided on the second surface 10b are electrically connected via via electrodes.
- the sensor element 12 is an infrared sensor element that detects infrared rays, for example, and is mounted on the first surface 10 a of the substrate 10.
- the sensor element 12 is flip-chip mounted on the first surface 10 a via a plurality of bumps 14.
- the sensor element 12 is electrically connected to a wiring pattern provided on the first surface 10 a of the substrate 10.
- the chip component 16 is a passive component such as a resistor, a capacitor, or an inductor.
- the chip component 16 is mounted on the first surface 10 a of the substrate 10.
- the chip component 16 is electrically connected to a wiring pattern provided on the first surface 10 a of the substrate 10.
- the analog signal processing circuit 22 is mounted on the second surface 10 b of the substrate 10.
- the digital signal processing circuit 26 is mounted on the analog signal processing circuit 22.
- the analog signal processing circuit 22 is electrically connected to a wiring pattern provided on the second surface 10 b of the substrate 10 by a bonding wire 24.
- the digital signal processing circuit 26 is electrically connected to a wiring pattern provided on the second surface 10 b of the substrate 10 by a bonding wire 28.
- the analog signal processing circuit 22 and the digital signal processing circuit 26 are sealed with a sealing resin 40.
- An external terminal 30 made of a pin terminal is also provided on the second surface 10b of the substrate 10.
- a first end of the external terminal 30 is electrically connected to a wiring pattern provided on the second surface 10 b of the substrate 10.
- the second end of the external terminal 30 is exposed on the surface 42 of the sealing resin 40.
- the external terminal 30 extends from the second surface 10 b of the substrate 10 to the surface 42 of the sealing resin 40 along the thickness direction of the substrate 10.
- the external terminal 30 has a T-shaped cross-sectional shape.
- the external terminal 30 has a shape with an enlarged diameter at the first end.
- a cap member 18 is provided on the first surface 10 a of the substrate 10.
- the cap member 18 is provided so as to surround the sensor element 12 and the chip component 16, and is connected to the first surface 10 a of the substrate 10.
- the cap member 18 includes a side wall portion that rises from the first surface 10 a of the substrate 10 and a plate-like canopy portion that extends along the first surface 10 a of the substrate 10.
- a through hole 19 is provided in the canopy portion of the cap member 18 so as to penetrate the canopy portion in the thickness direction.
- the through hole 19 is located above the sensor element 12. Since the through hole 19 is provided in a part of the cap member 18, a part of the sensor element 12 is exposed to the outside.
- the sensor element 12 detects infrared rays that pass through the through hole 19 and reach the sensor element 12.
- the external terminal 30 is disposed on the second surface 10b side where the cap member 18 is coupled to the first surface 10a of the substrate 10.
- the external terminal 30 is also disposed on the second surface 10b side where the chip component 16 is mounted on the first surface 10a.
- Sensor element 12 outputs a detection signal when detecting infrared rays.
- the analog signal processing circuit 22 processes the detection signal output from the sensor element 12.
- the digital signal processing circuit 26 converts the analog signal output from the analog signal processing circuit 22 into a digital signal. This digital signal is output to the outside of the sensor module 1 via the external terminal 30.
- FIG. 2 is a schematic diagram showing a configuration in which the sensor module 1 is connected to the wireless communication module 60.
- the wireless communication module 60 includes a high-frequency circuit unit 62 and an antenna 64.
- the digital signal processing circuit 26 of the sensor module 1 is electrically connected to the high frequency circuit unit 62 of the wireless communication module 60.
- the digital signal processing circuit 26 is also electrically connected to the power source 50 and receives power supply from the power source 50. The power supplied from the power source 50 is supplied to each component constituting the sensor module 1 and the wireless communication module 60 via the digital signal processing circuit 26.
- the output signal of the sensor module 1 can be transmitted to the outside by the wireless communication module 60.
- the sensor element 12 is mounted on the first surface 10a of the substrate 10, and the analog signal processing circuit 22 is mounted on the second surface 10b.
- a digital signal processing circuit 26 is mounted on the analog signal processing circuit 22.
- External terminals 30 are provided on the second surface 10 b side of the substrate 10.
- substrate 10 can be shortened according to a thin integrated circuit. Therefore, the sensor module 1 having a small size and a low profile and having an analog signal processing function and a digital signal processing function can be realized.
- the mechanical strength of the sensor module 1 can be increased. .
- the analog signal processing circuit 22 and the digital signal processing circuit 26 are sealed with the sealing resin 40, the analog signal processing circuit 22 and the digital signal processing circuit 26 can be protected, and the reliability of the sensor module 1 can be protected. Can be improved. Since the external terminal 30 penetrates the sealing resin 40 and the second end portion of the external terminal 30 is exposed on the surface 42 of the sealing resin 40, power supply from the outside to the sensor module 1, And the output of the signal from the sensor module 1 to the outside can be facilitated.
- sensor module 10 substrate, 10a first surface, 10b second surface, 12 sensor elements, 14 bumps, 16 chip parts, 18 cap members, 19 through holes, 22 analog signal processing circuits, 24, 28 bonding wires, 26 digital signal processing circuit, 30 external terminal, 40 sealing resin, 42 surface, 50 power supply, 60 wireless communication module, 62 high frequency circuit section, 64 antenna.
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
小型化および低背化の可能なセンサモジュールを提供する。センサモジュール(1)は、第1の面(10a)および第1の面(10a)と反対側の第2の面(10b)を有する基板(10)と、第1の面(10a)に搭載されたセンサ素子(12)と、第2の面(10b)に搭載されたアナログ信号処理回路(22)と、アナログ信号処理回路(22)に搭載されたデジタル信号処理回路(26)と、第2の面(10b)に設けられ、基板(10)と電気的に接続された外部端子(30)とを備えている。
Description
本発明は、センサモジュールに関し、特に、センサからの電気信号を処理し出力するセンサモジュールに関する。
センサモジュールに関し、従来、センサ素子が配置された回路基板および他の回路基板を多層的に配置し、センサモジュールを立方体化した構成が提案されている(たとえば、特開2001-8068号公報(特許文献1)参照)。また、フレキシブル基板の同一面上に信号処理ICおよび半導体ICが固定され、信号処理ICと半導体ICとは、フレキシブル基板が折り曲げられた状態において背面が重なっている構成が提案されている(たとえば、特開2005-210409号公報(特許文献2)参照)。また、パッケージに凹所を設け、加速度センサチップおよび記憶素子チップを凹所内に収納し、凹所内に収納した加速度センサチップおよび記憶素子チップに対して集積回路チップを積み重ねるように配置した構成が提案されている(たとえば、特開2003-344439号公報(特許文献3)参照)。
特許文献1に記載のセンサモジュールでは、多層的に配置された2つの回路基板の各々の一方主面と他方主面との両方に電子部品が実装されているため、低背化が困難であるという問題がある。
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その主たる目的は、小型化および低背化の可能なセンサモジュールを提供することである。
本発明に係るセンサモジュールは、基板と、センサ素子と、アナログ信号処理回路と、デジタル信号処理回路と、外部端子とを備えている。基板は、第1の面および第1の面と反対側の第2の面を有している。センサ素子は、基板の第1の面に搭載されている。アナログ信号処理回路は、基板の第2の面に搭載されている。デジタル信号処理回路は、アナログ信号処理回路に搭載されている。外部端子は、基板の第2の面に設けられており、基板と電気的に接続されている。
上記センサモジュールにおいて好ましくは、キャップ部材をさらに備えている。キャップ部材は、基板の第1の面に設けられており、センサ素子を囲って配置されている。外部端子は、キャップ部材が第1の面に連結される位置の第2の面側に配置されている。
上記センサモジュールにおいて好ましくは、アナログ信号処理回路およびデジタル信号処理回路を封止する封止樹脂をさらに備えている。外部端子の端部は、封止樹脂の表面に露出している。
本発明によると、小型化および低背化されたセンサモジュールを実現することができる。
以下、図面に基づいてこの発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において、同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。
図1は、本実施の形態に係るセンサモジュール1の縦断面図である。本実施の形態のセンサモジュールは、Home Energy Management System(HEMS)、Building Energy Management System(BEMS)、Factory Energy Management System(FEMS)などの、センサの出力に基づいて電気機器、照明設備、空調機器などにおける電源のON-OFF切り替えなどの制御を行なう、エネルギー監理システムに適用可能である。たとえばセンサモジュールが人の通行を検知できる赤外線センサ素子を備えている場合には、空調または照明システムに当該センサモジュールを用いることにより、無駄な電力消費を削減できる。または、人の通行を検知したときにWake-Up機能が動作する電気機器(TV、映像プレーヤーなど)に当該センサモジュールを用いることができる。
図1を参照して、センサモジュール1は、基板10と、センサ素子12と、チップ部品16と、アナログ信号処理回路22と、デジタル信号処理回路(MCU;Micro-Controller Unit)26とを主に備えている。
基板10は、平板状の形状を有しており、第1の面10aおよび第2の面10bを有している。第1の面10aは、基板10の一方の主表面である。第2の面10bは、第1の面10aと反対側の基板10の他方の主表面である。基板10の第1の面10aおよび第2の面10bには、図示されていない配線パターンが設けられている。基板10の内部には、基板10の厚み方向に延びる、図示されていないビア電極が設けられている。基板10の第1の面10aに設けられた配線パターンと、第2の面10bに設けられた配線パターンとは、ビア電極を介して電気的に接続されている。
センサ素子12は、たとえば赤外線を検知する赤外線センサ素子であって、基板10の第1の面10aに搭載されている。センサ素子12は、複数個のバンプ14を介して、第1の面10a上にフリップチップ実装されている。センサ素子12は、基板10の第1の面10aに設けられた配線パターンと電気的に接続されている。チップ部品16は、抵抗、コンデンサまたはインダクタなどの受動部品である。チップ部品16は、基板10の第1の面10aに搭載されている。チップ部品16は、基板10の第1の面10aに設けられた配線パターンと電気的に接続されている。
アナログ信号処理回路22は、基板10の第2の面10bに搭載されている。デジタル信号処理回路26は、アナログ信号処理回路22上に搭載されている。アナログ信号処理回路22は、ボンディングワイヤ24により、基板10の第2の面10bに設けられた配線パターンと電気的に接続されている。デジタル信号処理回路26は、ボンディングワイヤ28により、基板10の第2の面10bに設けられた配線パターンと電気的に接続されている。アナログ信号処理回路22とデジタル信号処理回路26とは、封止樹脂40で封止されている。
基板10の第2の面10bにはまた、ピン端子からなる外部端子30が設けられている。外部端子30の第1の端部は、基板10の第2の面10bに設けられた配線パターンと電気的に接続されている。外部端子30の第2の端部は、封止樹脂40の表面42に露出している。外部端子30は、基板10の厚み方向に沿って、基板10の第2の面10bから封止樹脂40の表面42にまで延在している。外部端子30は、T字状の断面形状を有している。外部端子30は、第1の端部において、径が拡大した形状を有している。
基板10の第1の面10aには、キャップ部材18が設けられている。キャップ部材18は、センサ素子12とチップ部品16とを囲うように設けられており、基板10の第1の面10aに連結されている。キャップ部材18は、基板10の第1の面10aから立ち上がる側壁部と、基板10の第1の面10aに沿って延びる板状の天蓋部とを有している。キャップ部材18の天蓋部には、天蓋部を厚み方向に貫通する貫通孔19が設けられている。貫通孔19は、センサ素子12の上方に位置している。キャップ部材18の一部に貫通孔19が設けられているために、センサ素子12の一部が外部に露出している。センサ素子12は、貫通孔19を通過してセンサ素子12にまで到達する赤外線を検知する。
外部端子30は、キャップ部材18が基板10の第1の面10aに連結される位置の第2の面10b側に配置されている。外部端子30はまた、チップ部品16が第1の面10aに搭載される位置の第2の面10b側に配置されている。
センサ素子12は、赤外線を検知すると、検知信号を出力する。アナログ信号処理回路22は、センサ素子12から出力された検知信号を処理する。デジタル信号処理回路26は、アナログ信号処理回路22から出力されるアナログ信号をデジタル信号に変換する。このデジタル信号は、外部端子30を経由して、センサモジュール1の外部に出力される。
図2は、センサモジュール1が無線通信モジュール60に接続されている構成を示す概略図である。無線通信モジュール60は、図2に示すように、高周波回路部62とアンテナ64とを含んで構成されている。センサモジュール1のデジタル信号処理回路26は、無線通信モジュール60の高周波回路部62と電気的に接続されている。デジタル信号処理回路26はまた、電源50と電気的に接続されており、電源50から電力の供給を受ける。電源50から供給された電力は、デジタル信号処理回路26を経由して、センサモジュール1を構成している各部品、および無線通信モジュール60に供給される。
センサモジュール1のデジタル信号処理回路26を無線通信モジュール60に接続することにより、センサモジュール1の出力信号を、無線通信モジュール60によって外部に送信することが可能とされている。
以上説明した本実施の形態のセンサモジュール1によれば、基板10の第1の面10aにセンサ素子12が搭載されており、第2の面10bにアナログ信号処理回路22が搭載されており、アナログ信号処理回路22上にデジタル信号処理回路26が搭載されている。基板10の第2の面10b側に、外部端子30が設けられている。これにより、センサモジュール1の構成部品に合わせて、センサモジュールを小型化および低背化することができる。たとえば、デジタル信号処理回路26として小型で薄く研削された集積回路が使用され、センサ素子12が圧電膜などの機能性薄膜からなるセンサ素子で構成されている場合には、これら構成部品に合わせて基板10を小型化するとともに、基板10の厚み方向における外部端子30の長さ寸法を薄い集積回路に合わせて短くすることができる。したがって、小型かつ低背で、アナログ信号処理機能とデジタル信号処理機能とを有しているセンサモジュール1を実現することができる。
基板10の第1の面10aにキャップ部材18が連結されている位置の第2の面10b側に、外部端子30が配置されているために、センサモジュール1の機械的強度を高めることができる。
アナログ信号処理回路22とデジタル信号処理回路26とが封止樹脂40で封止されていることにより、アナログ信号処理回路22およびデジタル信号処理回路26を保護することができ、センサモジュール1の信頼性を向上することができる。外部端子30が封止樹脂40を貫通しており、外部端子30の第2の端部が封止樹脂40の表面42に露出しているために、センサモジュール1への外部からの電力供給、およびセンサモジュール1から外部への信号の出力を、容易にすることができる。
以上のように本発明の実施の形態について説明を行なったが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。この発明の範囲は上記した説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 センサモジュール、10 基板、10a 第1の面、10b 第2の面、12 センサ素子、14 バンプ、16 チップ部品、18 キャップ部材、19 貫通孔、22 アナログ信号処理回路、24,28 ボンディングワイヤ、26 デジタル信号処理回路、30 外部端子、40 封止樹脂、42 表面、50 電源、60 無線通信モジュール、62 高周波回路部、64 アンテナ。
Claims (3)
- 第1の面および前記第1の面と反対側の第2の面を有する基板と、
前記第1の面に搭載されたセンサ素子と、
前記第2の面に搭載されたアナログ信号処理回路と、
前記アナログ信号処理回路に搭載されたデジタル信号処理回路と、
前記第2の面に設けられ、前記基板と電気的に接続された外部端子とを備える、センサモジュール。 - 前記第1の面に設けられ、前記センサ素子を囲って配置されたキャップ部材をさらに備え、
前記外部端子は、前記キャップ部材が前記第1の面に連結される位置の前記第2の面側に配置されている、請求項1に記載のセンサモジュール。 - 前記アナログ信号処理回路および前記デジタル信号処理回路を封止する封止樹脂をさらに備え、
前記外部端子の端部は、前記封止樹脂の表面に露出している、請求項1または2に記載のセンサモジュール。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013-187311 | 2013-09-10 | ||
JP2013187311 | 2013-09-10 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2015037390A1 true WO2015037390A1 (ja) | 2015-03-19 |
Family
ID=52665509
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2014/071423 WO2015037390A1 (ja) | 2013-09-10 | 2014-08-14 | センサモジュール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
WO (1) | WO2015037390A1 (ja) |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3003706U (ja) * | 1994-04-28 | 1994-11-01 | 日本セラミック株式会社 | 焦電型赤外線検出器 |
JPH07190856A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 焦電型赤外線センサ |
JPH07326779A (ja) * | 1994-05-30 | 1995-12-12 | Matsushita Electric Works Ltd | センサーモジュール |
JPH08122445A (ja) * | 1994-10-28 | 1996-05-17 | Matsushita Electric Works Ltd | 人体検知センサーモジュール |
JPH09184756A (ja) * | 1995-12-29 | 1997-07-15 | Hokuriku Electric Ind Co Ltd | 焦電型赤外線検出器とその製造方法 |
JP2001008068A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-01-12 | Keihin Art Work:Kk | 投影面積を小さくし立体化したセンサモジュール |
JP2002131446A (ja) * | 2000-10-20 | 2002-05-09 | Seiko Precision Inc | センサモジュール |
JP2003124236A (ja) * | 2001-10-09 | 2003-04-25 | Mitsui Chemicals Inc | 接着材料およびそれらを用いたスタックパッケージ |
JP2006324563A (ja) * | 2005-05-20 | 2006-11-30 | Nec Electronics Corp | 半導体装置 |
-
2014
- 2014-08-14 WO PCT/JP2014/071423 patent/WO2015037390A1/ja active Application Filing
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07190856A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 焦電型赤外線センサ |
JP3003706U (ja) * | 1994-04-28 | 1994-11-01 | 日本セラミック株式会社 | 焦電型赤外線検出器 |
JPH07326779A (ja) * | 1994-05-30 | 1995-12-12 | Matsushita Electric Works Ltd | センサーモジュール |
JPH08122445A (ja) * | 1994-10-28 | 1996-05-17 | Matsushita Electric Works Ltd | 人体検知センサーモジュール |
JPH09184756A (ja) * | 1995-12-29 | 1997-07-15 | Hokuriku Electric Ind Co Ltd | 焦電型赤外線検出器とその製造方法 |
JP2001008068A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-01-12 | Keihin Art Work:Kk | 投影面積を小さくし立体化したセンサモジュール |
JP2002131446A (ja) * | 2000-10-20 | 2002-05-09 | Seiko Precision Inc | センサモジュール |
JP2003124236A (ja) * | 2001-10-09 | 2003-04-25 | Mitsui Chemicals Inc | 接着材料およびそれらを用いたスタックパッケージ |
JP2006324563A (ja) * | 2005-05-20 | 2006-11-30 | Nec Electronics Corp | 半導体装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7065094B2 (ja) | 指紋感知モジュール及びその方法 | |
JP2020503606A5 (ja) | ||
CN102856396B (zh) | 光传感器装置 | |
JP2008085169A5 (ja) | ||
US20140184263A1 (en) | Sensor system and cover device for a sensor system | |
JP2013546199A5 (ja) | ||
WO2003021667A3 (en) | Package with integrated inductor and/or capacitor | |
WO2007011544A3 (en) | Electronically connecting substrate with electrical device | |
US9970911B2 (en) | Gas sensor package | |
TWI268583B (en) | High-frequency device | |
JP2014530511A5 (ja) | ||
JP2006294974A5 (ja) | ||
WO2009066504A1 (ja) | 部品内蔵モジュール | |
TW200701430A (en) | Semiconductor device and manufacturing method therefor | |
US7967505B2 (en) | Sensor device | |
US9260298B1 (en) | Stacked MEMS microphone packaging method | |
US20110156203A1 (en) | Integrated passive device assembly | |
KR101772490B1 (ko) | 인쇄회로기판 어셈블리 | |
KR102152704B1 (ko) | 가스센서패키지 | |
JP2002246418A5 (ja) | ||
WO2009001554A1 (ja) | 回路装置 | |
CN106325626B (zh) | 触控显示装置及压力触控单元 | |
WO2015037390A1 (ja) | センサモジュール | |
TW200709361A (en) | Package, method of manufacturing the same and use thereof | |
EP1544913A3 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing thereof |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 14843473 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: JP |
|
122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 14843473 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |