WO2015033589A1 - Capteur de débit et dispositif de capteur de débit - Google Patents

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河野　務
裕樹 中土
翼 渡辺
徳安　昇
忍 田代
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日立オートモティブシステムズ株式会社
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Abstract

L'invention porte sur un capteur de débit qui permet de supprimer une variation dans l'air interne d'un renfoncement sur la surface arrière d'une membrane soutenant une unité de détection de débit. Le capteur de débit selon la présente invention comprend : une grille de connexion ; une puce à semi-conducteurs qui présente une surface principale, une surface arrière et une surface latérale périphérique, une membrane formée sur la surface principale, un renfoncement formé dans le côté surface arrière de la membrane, une unité de détection de débit formée sur la membrane, et qui est montée sur une surface de la grille de connexion ; une résine qui laisse l'unité de détection de débit exposée et qui recouvre au moins une partie de la surface principale ou de la surface latérale périphérique de la puce à semi-conducteurs. La grille de connexion comprend un passage de ventilation, qui possède une extrémité qui communique avec le renfoncement de la puce à semi-conducteurs, et une autre extrémité, qui est disposée sur l'extérieur de la surface latérale périphérique de la puce à semi-conducteurs. L'autre extrémité du passage de ventilation de la grille de connexion communique avec une ouverture de ventilation située dans la résine sur l'extérieur de la surface latérale périphérique de la puce à semi-conducteurs, ou est située sur l'extérieur de la résine.
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