WO2015016116A1

WO2015016116A1 - 撮像モジュール及び電子機器並びに撮像モジュールの製造方法

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Publication number: WO2015016116A1
Application number: PCT/JP2014/069502
Authority: WO
Inventors: 幸裕金子; 山河　賢治; 善幸 ▲高▼瀬; 達也藤浪; 飛世　学
Original assignee: 富士フイルム株式会社
Priority date: 2013-08-01
Filing date: 2014-07-24
Publication date: 2015-02-05
Also published as: JP5914763B2; JPWO2015016116A1; US20160142635A1; US9674443B2

Abstract

撮像素子ユニットとレンズユニットとの相対位置を比較的容易に精度よく調整可能とする撮像モジュール及び電子機器並びに撮像モジュールの製造方法を提供する。撮像モジュール１は、外部接続部が設けられた回路を有する撮像素子ユニット３と、レンズ群１０と、第１像振れ補正駆動部３０ｘ及び第２像振れ補正駆動部３０ｙ並びにフォーカス駆動部３０ｚと、導電性接合材により撮像素子ユニットの回路に電気的に接続された接続部４１とを有するレンズユニット２と、第１像振れ補正駆動部及び第２像振れ補正駆動部並びにフォーカス駆動部のうち少なくとも一つの駆動部と撮像素子ユニットの回路とを接続する配線群を含み、撮像素子ユニットとレンズユニットと間に跨るフレキシブル配線部１２とを備える。

Description

撮像モジュール及び電子機器並びに撮像モジュールの製造方法

　本発明は、撮像モジュール及び電子機器並びに撮像モジュールの製造方法に関する。

　携帯電話機等の携帯用電子機器に搭載されている撮像モジュールとして、オートフォーカス機能や像振れ補正機能を備える撮像モジュールが知られている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。

　特許文献１に記載された撮像モジュールは、像振れ補正機能を備えた撮像モジュールであって、レンズ群及び撮像素子が一体化されてなるユニットと、レンズ群及び撮像素子のユニットを揺動させるレンズ駆動装置とを備え、レンズ及び撮像素子のユニットを揺動させることによって像振れを防止するように構成されている。レンズ駆動装置は、撮像素子に接続されているフレキシブル基板に設けられた端子部にフレキシブル基板を介して接続され、両フレキシブル基板を介して電力等を供給され、動作される。

　特許文献２に記載された撮像モジュールは、オートフォーカス機能及び像振れ補正機能を備える撮像モジュールであって、撮像素子を有する撮像素子ユニットと、レンズ群及びレンズ群を変位させるレンズ駆動装置を有し、撮像素子ユニットに接着固定されたレンズユニットとを備え、レンズ駆動装置によりレンズ群の位置を調整することによってフォーカスを調整し、また像振れを防止するように構成されている。レンズ駆動装置は、撮像素子ユニットの基板に設けられた端子部にフレキシブル基板を介して接続され、撮像素子ユニットの基板及びフレキシブル基板を介して電力等を供給され、動作される。

　そして、特許文献２に記載された撮像モジュールの製造方法では、撮像素子とレンズ群との相対位置姿勢精度を高めるべく、撮像素子ユニットとレンズユニットとを互いに接着固定した後に、フレキシブル基板を撮像素子ユニットの基板に設けられた端子部に接続している。それにより、フレキシブル基板の曲げに対する反力等の外力が撮像素子ユニット及びレンズユニットに作用して撮像素子とレンズ群との相対位置姿勢精度が低下することを抑制している。

　また、撮像素子ユニットとレンズユニットとの相対位置姿勢を調整し、両ユニットを固定する方法として、撮像素子ユニット又はレンズユニットをレンズ群の光軸方向に関して異なる位置に配置し、各位置にて測定用チャートを撮像して得られる複数の画像から両ユニットの相対位置姿勢の調整量を算出し、算出された調整量に応じてレンズユニットと撮像素子ユニットとの相対位置姿勢を調整し、調整された状態で両ユニットを接着固定する方法も知られている（特許文献３参照）。

特開２０１２－３７６８９号公報特開２０１３－８８５２５号公報特開２０１０－２１９８５号公報

　撮像素子の画素数の増加に伴い、撮像素子ユニットとレンズユニットとの相対位置姿勢の調整には、より高い精度が求められている。

　特許文献３に記載された方法のように、測定用チャートを撮像して得られる複数の画像に基づいて撮像素子ユニットとレンズユニットとの相対位置を調整する場合において、フォーカス調整や像振れ補正のために移動されるレンズ群を所定の位置に配置しておくことによって、調整により得られる撮像素子ユニットとレンズユニットとの相対位置姿勢精度を高めることが可能となるが、調整の際に、レンズ群を移動させるレンズ駆動装置を動作させておく必要がある。

　しかし、特許文献２に記載された撮像モジュールの製造方法では、撮像素子ユニットとレンズユニットとの相対位置姿勢の調整及び接着固定が済んだ後に、レンズユニットのレンズ駆動装置に接続されたフレキシブル基板が撮像素子ユニットの基板に設けられた端子部に接続される。そのため、撮像素子ユニットとレンズユニットとの相対位置姿勢の調整の際に、撮像素子ユニットの基板及びフレキシブル基板を介してレンズ駆動装置を動作させることができない。

　本発明の目的は、撮像素子ユニットとレンズユニットとの相対位置姿勢を従来と比較して容易に精度よく調整可能とすることにある。

（１）　撮像素子及び外部接続部が設けられた回路を有する撮像素子ユニットと、レンズ群と、レンズ群の少なくとも一部のレンズを該レンズ群の光軸に交差する面内における第１方向に撮像素子に対して移動させる第１像振れ補正駆動部及び第１方向と交差する第２方向に撮像素子に対して移動させる第２像振れ補正駆動部と、レンズ群の少なくとも一部のレンズを該レンズ群の光軸方向に撮像素子に対して移動させるフォーカス駆動部と、接続部とを有し、撮像素子ユニットに固定されたレンズユニットと、第１像振れ補正駆動部及び第２像振れ補正駆動部並びにフォーカス駆動部のうち少なくとも一つの駆動部と回路とを接続部を介して電気的に接続する配線群を含み、撮像素子ユニットとレンズユニットとの間に跨るフレキシブル配線部と、を備え、回路は、回路とフレキシブル配線部とを接合する導電性接合材により、フレキシブル配線部と電気的に接続される撮像モジュール。
（２）　（１）に記載の撮像モジュールの製造方法であって、測定チャートに直交するＺ軸上にセットされた上記レンズユニット及び上記撮像素子ユニット並びにこの測定チャートのいずれかを複数の測定位置に移動させ、上記フレキシブル配線部に含まれる配線群によって上記回路に接続されている上記駆動部を、上記外部接続部を通じて動作させた状態で、上記測定位置の各々において、上記レンズユニットによって結像される測定チャート像を上記撮像素子により撮像し、得られた複数の画像に基づいて、Ｚ軸上での上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対位置及びＺ軸に直交するＸ軸及びＹ軸回りの上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対姿勢の調整量を算出し、算出した調整量に基づいて上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対位置姿勢を調整して、上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとを固定し、上記撮像素子ユニットの上記接続部を上記回路に接続する撮像モジュールの製造方法。
（３）　（１）に記載の撮像モジュールの製造方法であって、測定チャートに直交するＺ軸上にセットされた上記レンズユニット及び上記撮像素子ユニット並びにこの測定チャートのいずれかを複数の測定位置に移動させ、上記フレキシブル配線部に含まれる配線群が接続されている上記駆動部を、この配線群を通じて動作させた状態で、上記測定位置の各々において、上記レンズユニットによって結像される測定チャート像を上記撮像素子により撮像し、得られた複数の画像に基づいて、Ｚ軸上での上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対位置及びＺ軸に直交するＸ軸及びＹ軸回りの上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対姿勢の調整量を算出し、算出した調整量に基づいて上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対位置姿勢を調整して、上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとを固定し、上記フレキシブル配線部及び上記撮像素子ユニットの上記接続部を上記回路に接続する撮像モジュールの製造方法。

　本発明によれば、撮像素子ユニットとレンズユニットとの相対位置姿勢を従来と比較して容易に精度よく調整することができる。

本発明の実施形態を説明するための、撮像モジュールの一例の外観斜視図である。図１の撮像モジュールの断面図である。図１の撮像モジュールの機能ブロック図である。図１の撮像モジュールの製造方法の一例の概略図である。撮像モジュール１の製造工程のフローチャートである。図１の撮像モジュールの製造方法の他の例の概略図である。本発明の実施形態を説明するための、撮像モジュールの他の例の模式図である。本発明の実施形態を説明するための、撮像モジュールの他の例の模式図である。

　以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。

＜撮像モジュールの構成＞
　図１は、本発明の実施形態を説明するための撮像モジュールの一例の外観を示し、図２は、図１の撮像モジュールの断面を示す。

　撮像モジュール１は、レンズユニット２と、レンズユニット２が固定される撮像素子ユニット３と、を備える。

　レンズユニット２は、レンズ群１０と、レンズ駆動装置１１と、フレキシブル基板１２とを有する。

　レンズ群１０は、筒状のレンズバレル１３に収容され、レンズバレル１３によって一体に支持されている。なお、レンズ群１０は、図示の例ではレンズ１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，及び１０Ｄの４枚のレンズによって構成されているが、レンズの枚数は４枚に限られない。

　レンズ駆動装置１１は、レンズ群１０を支持するレンズバレル１３をレンズ光軸Ａｚに沿って移動させてフォーカス調整を行う。また、レンズ駆動装置１１は、レンズバレル１３を、レンズ光軸Ａｚに直交する面内において互いに直交するＡｘ軸及びＡｙ軸に沿って移動させて像振れ補正を行う。なお、レンズ群１０のうち一部のレンズを移動させることによってフォーカス調整や像振れ補正を行うように構成してもよい。

　レンズ群１０及びレンズバレル１３並びにレンズ駆動装置１１は筐体１４に収容されており、レンズバレル１３と筐体１４との間で筐体１４の底部に開いた開口は底部ブロック１５によって塞がれている。

　フレキシブル基板１２は、レンズ駆動装置１１を動作させるための信号（電力を含む）を伝送する複数の配線を含んで構成されており、収容領域Ａ１と、導出領域（フレキシブル配線部）Ａ２とを有する。

　収容領域Ａ１は、レンズユニット２の筐体１４内に収容されており、円形孔４０にレンズバレル１３を挿通させてレンズバレル１３の外周を取り囲んで配置され、底部ブロック１５に固定されている。フレキシブル基板１２に含まれる複数の配線は、収容領域Ａ１の適宜な箇所において、同じくレンズバレル１３の外周に配置されているレンズ駆動装置１１にそれぞれ接続部を介して電気的に接続されている。

　収容領域Ａ１には第１接続部４１が設けられており、第１接続部４１には、フレキシブル基板１２に含まれる複数の配線のうち一部の配線群の端末が設けられている。

　導出領域Ａ２は、筐体１４の外に導出され、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との間に跨って配置されており、フレキシブルに構成されている。導出領域Ａ２の先端部には第２接続部４２が設けられており、第２接続部４２には、フレキシブル基板１２に含まれる複数の配線のうち、第１接続部４１にルーティングされる配線群を除くその余の配線群の端末が設けられている。第２接続部４２にルーティングされる配線群は、導出領域Ａ２によってフレキシブルに配線される。

　撮像素子ユニット３は、撮像素子２０と、外部接続部２１が設けられた回路とを有する。

　撮像素子２０は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサやＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide Semiconductor）イメージセンサなどの撮像素子であり、例えば３００万～１０００万画素の比較的高画素数の撮像素子である。

　撮像素子２０は、素子固定基板２２に実装されており、カバーガラス２３によって覆われている。カバーガラス２３は、カバーホルダ２４に支持されて素子固定基板２２に配置されている。

　撮像素子ユニット３に設けられる回路は、撮像素子２０やレンズ駆動装置１１を動作させるための回路であり、素子固定基板２２及び素子固定基板２２から延設されたフレキシブル基板２５に設けられている。外部接続部２１は、撮像素子ユニット３の回路を外部機器の回路に接続するためのものであって、図示の例では、フレキシブル基板２５の先端部に設けられている。

　そして、素子固定基板２２には、レンズユニット２のフレキシブル基板１２の第１接続部４１と接続される接続部２６が設けられており、フレキシブル基板２５には、フレキシブル基板１２の第２接続部４２と接続される接続部２７が設けられている。第１接続部４１は、例えばロウや導電性ペーストなどの導電性接合材によって接続部２６に接続される。

　レンズユニット２のレンズ駆動装置１１は、第１接続部４１と接続部２６とが接続され、また、第２接続部４２と接続部２７とが接続されることにより、フレキシブル基板１２に含まれる複数の配線を介して撮像素子ユニット３の回路に電気的に接続される。

　レンズユニット２は、レンズ群１０の結像面が撮像素子２０の受像面に一致した状態で撮像素子ユニット３に組み付けられ、その状態で固定される。レンズユニット２と撮像素子ユニット３との固定は、例えばレンズユニット２の筐体１４又は底部ブロック１５と、撮像素子ユニット３の素子固定基板２２又はカバーホルダ２４とを接着することによって行われる。

　図３は、撮像モジュール１の機能ブロックを示す。

　レンズユニット２のレンズ駆動装置１１は、Ａｚ軸（光軸）に直交する面内において互いに直交するＡｘ軸及びＡｙ軸のうちレンズバレル１３をＡｘ軸方向（第１方向）に移動させるＡｘ方向アクチュエータ（第１像振れ補正駆動部）３０ｘと、レンズバレル１３をＡｙ軸方向（第２方向）に移動させるＡｙ方向アクチュエータ（第２像振れ補正駆動部）３０ｙと、レンズバレル１３をＡｚ軸方向（光軸方向）に移動させるＡｚ方向アクチュエータ（フォーカス駆動部）と、Ａｘ軸方向に関してレンズバレル１３の位置を検出する位置センサ３１ｘと、Ａｙ軸方向に関してレンズバレル１３の位置を検出する位置センサ３１ｙと、Ａｚ軸方向に関してレンズバレル１３の位置を検出する位置センサ３１ｚと、付勢部材３５とを含んで構成されている。

　付勢部材３５は、Ａｘ軸方向、Ａｙ軸方向、及びＡｚ軸方向の各軸方向に関してレンズバレル１３を所定の位置に保持するものであり、例えばバネ等が用いられる。Ａｘ軸方向及びＡｙ軸方向に関するレンズバレル１３の所定の位置としては、レンズ光軸Ａｚが撮像素子２０の受像面の中心位置を通る原点位置を例示することができ、Ａｚ軸方向に関するレンズバレル１３の所定の位置についてはフォーカスの∞端やＮＥＡＲ端に対応する位置を例示することができる。

　撮像素子ユニット３の回路には、撮像モジュール１に作用するＡｘ軸回りの角速度を検出する角速度センサ３２ｘと、撮像モジュール１に作用するＡｙ軸回りの角速度を検出する角速度センサ３２ｙと、アクチュエータ３０ｘ，３０ｙ，及び３０ｚを駆動する制御ＩＣ(Integrated Circuit)３４とが設けられている。

　制御ＩＣ３４は、位置センサ３１ｚから出力される位置信号及び撮像素子２０から出力される画像信号に基づき、フォーカス調整のためのレンズバレル１３のＡｚ軸方向の移動量を算出し、また、角速度センサ３２ｘ又は３２ｙから出力される角速度信号及び位置センサ３１ｘ又は３１ｙから出力される位置信号から像振れ補正のためのレンズバレル１３のＡｘ軸方向及びＡｙ軸方向の移動量を算出し、算出した各方向への移動量に基づいてアクチュエータ３０ｘ，３０ｙ，及び３０ｚを制御する。

　そして、角速度センサ３２ｘ，及び３２ｙ、並びに制御ＩＣ３４の動作電力は、撮像素子ユニット３の外部接続部２１に接続される外部機器から供給され、アクチュエータ３０ｘ，３０ｙ，及び３０ｚや位置センサ３１ｘ，３１ｙ，及び３１ｚの動作電力は制御ＩＣ３４から供給される。

　以上の構成において、アクチュエータ３０ｘ，３０ｙ，及び３０ｚに動作電力を供給する配線群や位置センサ３１ｘ，３１ｙ，及び３１ｚに動作電力を供給する配線群や位置センサ３１ｘ，３１ｙ，及び３１ｚの位置信号を伝送する配線群はフレキシブル基板１２によって配線されている。また、フレキシブル基板１２には、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との間に跨る他の配線（例えばアース線）も含まれる場合もある。なお、図３において、動作電力を伝送する配線は太い実線で、位置信号や角速度信号を伝送する配線は細い実線で示している。

　アクチュエータ３０ｘ，３０ｙ，及び３０ｚとして、図示の例ではボイスコイルモータ（ＶＣＭ）が用いられており、一つのＶＣＭにつき典型的には２本の配線を要する。また、位置センサ３１ｘ，３１ｙ，及び３１ｚとして、図示の例ではホール素子が用いられており、一つのホール素子につき典型的には４本の配線を要する。したがって、フレキシブル基板１２には多数の配線が含まれることとなる。なお、アクチュエータはＶＣＭに限られるものではなく、また、位置センサはホール素子に限られるものでもない。

　フレキシブル基板１２に含まれる多数の配線のうち、アクチュエータ３０ｘ，３０ｙ，及び３０ｚの少なくとも一つのアクチュエータに接続されている配線群を含む一部の配線群Ｗ１は導出領域Ａ２の第２接続部４２にルーティングされており、その余の配線群Ｗ２は収容領域Ａ１の第１接続部４１にルーティングされている。図示の例では、Ａｙ軸方向にレンズバレル１３を移動させるＡｙ方向アクチュエータ３０ｙに電気的に接続されている配線群及びＡｙ軸方向に関してレンズバレル１３の位置を検出する位置センサ３１ｙに電気的に接続されている配線群が導出領域Ａ２の第２接続部４２にルーティングされている。

　なお、配線群Ｗ１と配線群Ｗ２との振り分け方は上記の例に限定されるものではない。配線群Ｗ１は、アクチュエータ３０ｘ，３０ｙ，及び３０ｚのいずれか二つのアクチュエータに電気的に接続されている配線群を含んでいてもよく、二つのアクチュエータに対応する位置センサに電気的に接続されている配線群をさらに含んでいてもよい。また、配線群Ｗ１は、アクチュエータ３０ｘ，３０ｙ，及び３０ｚの全てのアクチュエータに電気的に接続されている配線群を含んでいてもよく、配線群Ｗ２となる一つ以上の配線（例えばアース線）が存在する限りにおいて、位置センサ３１ｘ，３１ｙ，及び３１ｚの全ての位置センサに電気的に接続されている配線群をさらに含んでいてもよい。

＜撮像モジュールの製造方法＞
　図４は、撮像モジュール１の製造方法の一例の概略を示す。

　撮像モジュール１は、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢が調整され、調整後にレンズユニット２と撮像素子ユニット３とが固定されて製造される。

　レンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢の調整には、測定チャート５０が用いられる。測定チャート５０の表面には複数のチャート画像ＣＨ１，ＣＨ２，ＣＨ３，ＣＨ４，及びＣＨ５が印刷されている。チャート画像ＣＨ１，ＣＨ２，ＣＨ３，ＣＨ４，及びＣＨ５は、黒色線が一定間隔で配列された、いわゆるラダー状のチャートパターンであって、同一の画像とされている。

　レンズユニット２は、測定チャート５０の中心を通り測定チャート５０に直交するＺ軸にレンズ光軸Ａｚが一致した状態にセットされる。撮像素子ユニット３は、保持部材５１によって、撮像素子２０の受像面の中心位置がＺ軸上に配置された状態にセットされる。

　保持部材５１は、Ｚ軸方向に移動可能に構成されており、また、撮像素子２０の受像面の中心位置を回転中心にしてＸ軸及びＹ軸回りに回転可能に構成されている。したがって、撮像素子２０の受像面の中心位置とＺ軸との位置関係は、撮像素子ユニット３の回転にかかわらず一定に保たれる。保持部材５１のＸ軸及びＹ軸回りの回転並びにＺ軸方向の移動により、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢が調整される。

　撮像素子ユニット３の外部接続部２１には、コネクタケーブル５２が接続される。コネクタケーブル５２は、撮像素子ユニット３の撮像素子２０を動作させるための信号及び撮像素子２０から出力される画像信号を伝送する配線群、フレキシブルに配線される配線群Ｗ１が接続されているレンズユニット２のＡｙ方向アクチュエータ３０ｙ及び位置センサ３１ｙを動作させるための信号を伝送する配線群を含んで構成されている。

　以上の構成において、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢を調整するための保持部材５１の回転及び移動を許容すべく、調整の際には、配線群Ｗ１をフレキシブルに配線するフレキシブル基板１２の導出領域Ａ２に設けられた第２接続部４２のみが撮像素子ユニット３の接続部２７（図１参照）に接続される。一方、配線群Ｗ２を配線するフレキシブル基板１２の収容領域Ａ１に設けられた第１接続部４１は、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との固定が済んだ後に、撮像素子ユニット３の接続部２６に接続される。

　そして、レンズユニット２及び撮像素子ユニット３並びに測定チャート５０は、Ａｙ方向アクチュエータ３０ｙによるレンズバレル１３の移動方向であるＡｙ軸方向を鉛直とした状態にセットされている。

　図５は、撮像モジュール１の製造工程のフローを示す。

　まず、フレキシブル基板１２の導出領域Ａ２に設けられた第２接続部４２を撮像素子ユニット３の接続部２７に接続して導出領域Ａ２に含まれる配線群Ｗ１を撮像素子ユニット３の回路に接続する（ステップＳ１）。

　次いで、撮像素子ユニット３のＺ軸上における位置に関して離散的に設定された複数の測定位置に撮像素子ユニット３を移動させ、各測定位置にて測定チャート５０を撮像し、複数の画像を取得する（ステップＳ２）。

　次いで、取得された複数の画像から、レンズユニット２のレンズ群１０の近似結像面を算出する（ステップＳ３）。近似結像面の算出は、特開２０１０－２１９８５号公報に記載された方法を用いることができ、撮像素子ユニット３の撮像素子２０の受像面において測定チャート５０のチャート画像ＣＨ１，ＣＨ２，ＣＨ３，ＣＨ４，及びＣＨ５の各々の像が形成される画素領域毎に、各測定位置での合焦度合いを評価する。合焦度合いの評価には、例えばコントラスト伝達関数（ＣＴＦ：Contrast Transfer Function）を用いることができ、各画素領域に対応する画像領域のＣＴＦ値が高いほどに、合焦度合いが高いものとみなすことができる。そして、画素領域毎に、複数の画像から得られる複数の合焦度合いに基づいて、合焦度合いが最大となるＺ軸上の座標値を合焦座標値として算出する。そして、撮像素子２０の受像面をＸＹ座標平面に投影したときの各画素領域のＸＹ座標値と、その画素領域の合焦座標値（Ｚ軸上の座標値）との組み合わせで表されるＸＹＺ座標系の点群から近似平面を算出し、この近似平面を近似結像面とする。

　次いで、近似結像面とＺ軸との交点である結像面座標値Ｆと、ＸＹ座標平面に対する近似結像面のＸ軸回りの傾き角θＸ及びＹ軸回りの傾き角θＹとを算出する（ステップＳ４）。すなわち、Ｚ軸上でのレンズユニットと撮像素子ユニットとの相対位置の調整量、及びＺ軸に直交するＸ軸及びＹ軸回りのレンズユニットと撮像素子ユニットとの相対姿勢の調整量を算出する。算出された結像面座標値Ｆ及び傾き角θＸ，及びθＹに基づいて、撮像素子ユニット３をＺ軸方向に移動させ、またＸ軸回り及びＹ軸回りに回転させて、撮像素子２０の受像面を近似結像面に一致させる（ステップＳ５）。

　そして、相対位置が調整されたレンズユニット２と撮像素子ユニット３とを固定し（ステップＳ６）、フレキシブル基板１２の収容領域Ａ１に設けられた第１接続部４１を撮像素子ユニット３の接続部２６に接続して収容領域Ａ１によってリジッドに配線される配線群Ｗ２を撮像素子ユニット３の回路に接続する（ステップＳ７）。

　なお、本例では撮像素子ユニット３を移動させて複数の画像を取得しているが、測定チャート５０又はレンズユニット２のＺ軸上における位置に関して複数の測定位置を設定し、測定チャート５０又はレンズユニット２を各測定位置に移動させて複数の画像を取得するようにしてもよい。

　以上の工程において、近似結像面を算出するための複数の画像を取得する際に、レンズユニット２のＡｙ方向アクチュエータ３０ｙ及び位置センサ３１ｙを動作させるための信号を、コネクタケーブル５２を介して撮像素子ユニット３の外部接続部２１に入力し、Ａｙ方向アクチュエータ３０ｙ及び位置センサ３１ｙを動作させる。すなわち、外部接続部を通じてアクチュエータ３０ｙ及び位置センサ３１ｙを動作させた状態で、近似結像面を算出するための複数の画像が取得される。

　Ａｙ方向アクチュエータ３０ｙ及び位置センサ３１ｙを動作させるための信号としては、Ａｙ軸方向に関するレンズバレル１３の位置を撮像素子ユニット３の制御ＩＣ３４に対して指示する制御信号、撮像素子ユニット３の制御ＩＣ３４の動作電力が含まれる。制御ＩＣ３４は、外部接続部２１に入力された上記制御信号、及び位置センサ３１ｙから出力される位置信号に基づいてレンズバレル１３のＡｙ軸方向の移動量を算出し、算出した移動量に基づいてアクチュエータ３０ｘを制御する。

　制御ＩＣ３４から出力されるアクチュエータ３０ｙ及び位置センサ３１ｙの動作電力、位置センサ３１ｙから出力される位置信号は、フレキシブル基板１２の導出領域Ａ２に含まれる配線群Ｗ１により伝送される。

　上述した通り、レンズバレル１３は、付勢部材３５によって、Ａｘ軸方向、Ａｙ軸方向、及びＡｚ軸方向の各軸方向に関して所定の位置に保持されるが、重力の影響によって鉛直下方に偏倚する傾向にある。Ａｙ軸方向を鉛直としてレンズユニット２が配置されている図示の例では、レンズバレル１３は、Ａｙ軸方向に関して所定の位置からずれる傾向にある。他方、Ａｙ軸方向に直交するＡｘ軸方向及びＡｚ軸方向はいずれも水平となり、レンズバレル１３は、Ａｘ軸方向及びＡｚ軸方向に関しては所定の位置に保持される。

　そこで、Ａｙ方向アクチュエータ３０ｙ及び位置センサ３１ｙを動作させて、レンズバレル１３を所定の位置に配置し、その状態で近似結像面を算出するための複数の画像を取得することにより、撮像素子２０の受像面における上記画素領域毎の合焦度合いを適正に評価することが可能となる。それにより、近似結像面を精度よく算出することができ、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢の調整の精度を高めることができる。

　そして、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢の調整の際に動作されるアクチュエータに接続された配線群を含む一部の配線群Ｗ１のみをフレキシブル基板１２の導出領域Ａ２によってフレキシブルに配線することにより、全ての配線を導出領域Ａ２によってフレキシブルに配線する場合に比べて、導出領域Ａ２の幅を狭めることができる。撮像素子ユニット３をＸ軸回り及びＹ軸回りに回転させて撮像素子２０の受像面を近似結像面に一致させる際に、フレキシブル基板１２は、その剛性に起因して、捻りや曲げに伴う反力をレンズユニット２及び撮像素子ユニット３に作用させるが、導出領域Ａ２の幅が狭められることによって導出領域Ａ２においてフレキシブル基板１２の剛性を小さくできる。それにより、フレキシブル基板１２の反力を軽減することができる。撮像素子２０の受像面を近似結像面に一致させる際の撮像素子ユニット３のＸ軸回り及びＹ軸回りの回転は典型的には±０．０５°以内の極僅かな回転であり、フレキシブル基板１２の反力が軽減されることにより、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢の調整の精度を高め、且つ、調整に要する時間も短縮することができる。

　なお、本撮像モジュール１では、Ａｙ方向アクチュエータ３０ｙ及び位置センサ３１ｙに接続される配線群がフレキシブル基板１２の導出領域Ａ２によってフレキシブルに配線されているが、フレキシブル基板１２の反力を軽減する観点では、位置センサ３１ｙに接続される配線群をフレキシブル基板１２の収容領域Ａ１の第１接続部４１にルーティングし、Ａｙ方向アクチュエータ３０ｙに接続される配線群のみをフレキシブル基板１２の導出領域Ａ２によってフレキシブルに配線するようにしてもよい。それによれば、導出領域Ａ２の幅を狭め、フレキシブル基板１２の反力を一層軽減することができる。この場合に、レンズバレル１３の位置制御は開ループ制御となる。一方で、Ａｙ方向アクチュエータ３０ｙ及び位置センサ３１ｙに接続される配線群がフレキシブル基板１２の導出領域Ａ２によってフレキシブルに配線し、位置センサ３１ｙを併せて動作させてレンズバレル１３の位置を閉ループ制御することにより、レンズバレル１３を所定の位置に精度よく配置することができる。

　フレキシブル基板１２の反力を軽減することは、撮像素子ユニット３の撮像素子２０の画素ピッチが小さくなる程に有用となり、画素ピッチが１μｍ以下である場合に特に有用である。画素ピッチが小さくなる、つまりは画素サイズが小さくなると、許容錯乱円が小さくなり、一画素あたりに入る光が減るため、開放Ｆ値が小さい明るいレンズが用いられる。そして、Ｆ値が小さくなると焦点深度が浅くなるので、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢の厳密な調整が必要とされ、画素ピッチが１μｍ以下となると、厳密な調整の必要性が特に顕著になる。

　なお、以上の説明では、Ａｙ軸方向を鉛直としたが、Ａｘ軸方向又はＡｚ軸方向を鉛直としてもよい。Ａｘ軸方向を鉛直とする場合には、レンズバレル１３をＡｘ軸方向に移動させるＡｘ方向アクチュエータ３０ｘに接続されている配線群をフレキシブル基板１２の導出領域Ａ２によってフレキシブルに配線すればよく、また、Ａｚ軸方向を鉛直とする場合には、レンズバレル１３をＡｚ軸方向に移動させるＡｚ方向アクチュエータ３０ｚに接続されている配線群をフレキシブル基板１２の導出領域Ａ２によってフレキシブルに配線すればよい。

　また、本撮像モジュール１では、Ａｘ軸方向、Ａｙ軸方向、及びＡｚ軸方向が互いに直交しているため、二軸方向を水平とし、一軸方向を鉛直とすることができ、鉛直とした軸方向にレンズバレル１３を移動させる一つのアクチュエータに接続される配線群をフレキシブル基板１２の導出領域Ａ２によってフレキシブルに配線すれば足りる。これに対して、一軸方向のみ水平となる場合には、他の二軸方向にレンズバレル１３を移動させる二つのアクチュエータに接続される配線群をフレキシブル基板１２の導出領域Ａ２によってフレキシブルに配線すればよい。フレキシブル基板１２の反力を軽減する観点では、Ａｘ軸方向、Ａｙ軸方向、及びＡｚ軸方向が互いに直交していることが好ましく、一軸方向を鉛直として、水平となる二軸方向に対応する二つのアクチュエータに接続される配線群を収容領域Ａ１の第１接続部４１にルーティングすることができ、それにより、導出領域Ａ２の幅を狭め、フレキシブル基板１２の反力を一層軽減することができる。

　図６は、撮像モジュール１の製造方法の他の例の概略を示す。

　図６に示す例では、フレキシブル基板１２の導出領域Ａ２に設けられた第２接続部４２にコネクタケーブル５３が接続され、Ａｙ方向アクチュエータ３０ｙ及び位置センサ３１ｙを動作させるための信号がコネクタケーブル５３を介してレンズユニット２に直接入力される。

　Ａｙ方向アクチュエータ３０ｙ及び位置センサ３１ｙを動作させるための信号をレンズユニット２に直接入力する方法としては、例えばレンズユニット２の筐体１４の側面に端子群を設け、端子群にプローブを接触させて信号を入力することも考えられるが、プローブの接触に伴って、レンズユニット２の変形や位置ずれが懸念される。これに対して、本例ではフレキシブル基板１２の導出領域Ａ２が介在することにより、レンズユニット２の変形や位置ずれが抑制される。また、撮像モジュール１では、導出領域Ａ２の幅が狭められることによって導出領域Ａ２においてフレキシブル基板１２の剛性を小さくできるので、導出領域Ａ２を介して外力が伝わることを防ぐことができる。

　次に、撮像モジュールの他の例を説明する。

　図７に示す撮像モジュール１０１において、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との間に跨る複数の配線を含んで構成されるフレキシブル基板１１２は、レンズユニット２の筐体１４内に収容される収容領域Ａ１と、筐体１４の外に導出される導出領域Ａ２－１，及びＡ２－２とを有している。

　レンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢の調整の際に動作されるアクチュエータに接続された配線群を含む一部の配線群Ｗ１は、複数の配線組Ｗａ，及びＷｂに振り分けられ、一方の配線組Ｗａは導出領域Ａ２－１によって、他方の配線組Ｗｂは導出領域Ａ２－２によって、互いに分離されてフレキシブルに配線される。

　配線群Ｗ１の複数の配線組への振り分け方は任意であり、例えばレンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢の調整の際にＡｙ方向アクチュエータ３０ｙ及び位置センサ３１ｙが動作され、Ａｙ方向アクチュエータ３０ｙ及び位置センサ３１ｙに接続された配線群が配線群Ｗ１に含まれるものとして、Ａｙ方向アクチュエータ３０ｙ及び位置センサ３１ｙの動作電力を伝送する配線群を一組とし、位置センサ３１ｙの位置信号を伝送する配線群を一組とすることができる。すなわち、配線群を通じてアクチュエータ３０ｙを動作させた状態で、近似結像面を算出するための複数の画像が取得される。また、アクチュエータ３０ｙの動作電力を伝送する配線群を一組とし、位置センサ３１ｙの動作電力及び位置信号を伝送する配線群を一組としてもよい。また、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢の調整の際にＡｘ方向アクチュエータ３０ｘ及び位置センサ３１ｘ並びにＡｙ方向アクチュエータ３０ｙ及び位置センサ３１ｙが動作され、Ａｘ方向アクチュエータ３０ｘ及び位置センサ３１ｘ並びにＡｙ方向アクチュエータ３０ｙ及び位置センサ３１ｙに接続された配線群が配線群Ｗ１に含まれるものとして、Ａｘ方向アクチュエータ３０ｘ及び位置センサ３１ｘに接続される配線群を一組とし、Ａｙ方向アクチュエータ３０ｙ及び位置センサ３１ｙに接続される配線群を一組としてもよい。また、三組以上の配線組に振り分けてもよく、その場合には、組数に対応した数の導出領域をフレキシブル基板１２に設ければよい。

　図４及び図５に示した撮像モジュールの製造方法において、撮像素子ユニット３をＸ軸回り及びＹ軸回りに回転させて撮像素子２０の受像面を近似結像面に一致させる際に、フレキシブル基板１１２は、その剛性に起因して、捻りや曲げに伴う反力をレンズユニット２及び撮像素子ユニット３に作用させるが、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢の調整の際に動作されるアクチュエータに接続された配線群を含む一部の配線群Ｗ１を導出領域Ａ２－１，及びＡ２－２に適宜振り分けることにより、導出領域Ａ２－１，及びＡ２－２の各々の幅を狭め、導出領域Ａ２－１，及びＡ２－２の剛性を小さくすることができ、フレキシブル基板１１２の反力を一層軽減することができる。

　さらに、本撮像モジュール１０１では、導出領域Ａ２－１，及びＡ２－２が互いに並行してＡｙ軸方向に延在している。従って、導出領域Ａ２－１，又はＡ２－２上に配置される配線組Ｗａ及びＷｂは、互いに並行してＡｙ軸方向に延在している。また、導出領域Ａ２－１は、レンズ光軸Ａｚ及びＡｙ軸を面上に沿って含む中心面ＣによってＡｘ軸方向に分割された２つの領域の一方に設けられている。また、導出領域Ａ２－２は、中心面ＣによってＡｘ軸方向に分割された２つの領域の他方に設けられている。従って、配線組は、中心面Ｃを挟んで両側に設けられている。より具体的には、配線組Ｗａ及びＷｂは、中心面Ｃを挟んで対称に設けられている。図４及び図５に示した撮像モジュールの製造方法において、撮像素子ユニット３の一方の回転軸（Ｘ軸又はＹ軸）を中心面Ｃの面内に配置することにより、導出領域Ａ２－１，及びＡ２－２の捻りや曲げに伴う反力は、中心面Ｃの面内に配置された回転軸を挟んで略均等に配分されてレンズユニット２及び撮像素子ユニット３に作用する。それにより、レンズユニット２と撮像素子ユニット３との相対位置姿勢の調整が容易となる。反力を略均等に配分する観点から、導出領域Ａ２－１，及びＡ２－２が中心面Ｃを挟んで対称に設けられていることも好ましい。

　また、本撮像モジュール１０１では、導出領域Ａ２－１，Ａ２－２が、撮像素子ユニット３の外部接続部２１を臨むＡｙ軸方向に向けられた筐体１４の一側面から導出され、同一方向に導出されている。このように、導出領域Ａ２－１，Ａ２－２を同一方向に筐体１４から導出するようにすれば、導出領域Ａ２－１，Ａ２－２を互いに異なる方向に導出する場合や外部接続部２１を臨む方向とは異なる方向に導出する場合に比べて、撮像モジュールを小型化することができる。

　また、図８に示すように、配線組Ｗａ，及びＷｂ毎に異なるフレキシブル基板２１２－１，及び２１２－２を用いて、配線組Ｗａ，及びＷｂを互いに分離してフレキシブルに配線するようにしてもよい。

　以上説明した撮像モジュールは、図示しない基板等の支持部材に支持され、デジタルカメラや車載用カメラ等の電子機器の筐体内に配置され、撮像装置として供される。撮像モジュールの組み込み対象としては、上記の他、例えば、ＰＣ（Personal Computer）内蔵型又は外付け型のＰＣ用カメラ、カメラ付きインターフォン、或いは、撮影機能を有する携帯端末装置、腕時計型端末装置、眼鏡型端末装置等の電子機器を挙げることができる。携帯端末装置としては、例えば、携帯電話機やスマートフォン、ＰＤＡ(Personal Digital Assistants)、携帯型ゲーム機等が挙げられる。

　本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、実施形態の各構成を相互に組み合わせることや、明細書の記載、並びに周知の技術に基づいて、当業者が変更、又は応用することも本発明の予定するところであり、保護を求める範囲に含まれる。

　以上説明したとおり、本明細書には下記の事項が開示されている。

（１）　撮像素子及び外部接続部が設けられた回路を有する撮像素子ユニットと、レンズ群と、上記レンズ群の少なくとも一部のレンズをこのレンズ群の光軸に交差する面内における第１方向に上記撮像素子に対して移動させる第１像振れ補正駆動部及び上記第１方向と交差する第２方向に上記撮像素子に対して移動させる第２像振れ補正駆動部と、上記レンズ群の少なくとも一部のレンズをこのレンズ群の光軸方向に上記撮像素子に対して移動させるフォーカス駆動部と、接続部とを有し、上記撮像素子ユニットに固定されたレンズユニットと、上記第１像振れ補正駆動部及び上記第２像振れ補正駆動部並びに上記フォーカス駆動部のうち少なくとも一つの駆動部と上記回路とを接続する配線群を含み、上記撮像素子ユニットと上記レンズユニットとの間に跨るフレキシブル配線部と、を備え、上記回路は、上記回路と上記フレキシブル配線部とを接合する導電性接合材により、上記フレキシブル配線部と電気的に接続される撮像モジュール。
（２）　（１）記載の撮像モジュールであって、上記レンズユニットは、上記第１像振れ補正駆動部及び上記第２像振れ補正駆動部並びに上記フォーカス駆動部によって移動される上記レンズの位置を検出するセンサを有し、上記接続部は上記センサと電気的に接続されている撮像モジュール。
（３）　（１）又は（２）記載の撮像モジュールであって、上記第１方向及び上記第２方向と、上記光軸方向とが直交しており、上記接続部は、上記第１像振れ補正駆動部及び上記第２像振れ補正駆動部並びに上記フォーカス駆動部のうち少なくとも一つの駆動部と電気的に接続されている撮像モジュール。
（４）　（３）記載の撮像モジュールであって、上記第１方向と上記第２方向とが直交しており、上記接続部は、上記第１像振れ補正駆動部及び上記第２像振れ補正駆動部並びに上記フォーカス駆動部のうち二つの駆動部と電気的に接続されている撮像モジュール。
（５）　（１）から（４）のいずれか一つに記載の撮像モジュールであって、上記フレキシブル配線部に含まれる配線群は、複数の配線組に分けられ、配線組毎に互いに分離されて配線されている撮像モジュール。
（６）　（５）記載の撮像モジュールであって、上記配線組は、互いに並行して延在し、且つ上記レンズ群の光軸を面上に沿って含みこの配線組の延在方向と平行な中心面を挟んで両側に設けられている撮像モジュール。
（７）　（５）又は（６）記載の撮像モジュールであって、上記配線組は、互いに並行して延在し、且つ上記レンズ群の光軸を面上に沿って含みこの配線組の延在方向と平行な中心面を挟んで対称に設けられている撮像モジュール。
（８）　（１）から（７）のいずれか一つに記載の撮像モジュールであって、上記レンズユニットは、上記駆動部を収容する筐体を備え、上記フレキシブル配線部に含まれる配線群は、上記外部接続部に向けて上記筐体から導出されている撮像モジュール。
（９）　（１）から（８）のいずれか一つに記載の撮像モジュールであって、上記撮像素子の画素ピッチは１μｍ以下である撮像モジュール。
（１０）　（１）から（９）のいずれか一つに記載の撮像モジュールを搭載した電子機器。
（１１）　（１）から（９）のいずれか一つに記載の撮像モジュールの製造方法であって、
　測定チャートに直交するＺ軸上にセットされた上記レンズユニット及び上記撮像素子ユニット並びにこの測定チャートのいずれかを複数の測定位置に移動させ、上記フレキシブル配線部に含まれる配線群によって上記回路に接続されている上記駆動部を、上記外部接続部を通じて動作させた状態で、上記測定位置の各々において、上記レンズユニットによって結像される測定チャート像を上記撮像素子により撮像し、得られた複数の画像に基づいて、Ｚ軸上での上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対位置及びＺ軸に直交するＸ軸及びＹ軸回りの上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対姿勢の調整量を算出し、算出した調整量に基づいて上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対位置姿勢を調整して、上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとを固定し、上記撮像素子ユニットの上記接続部を上記回路に接続する撮像モジュールの製造方法。
（１２）　（１）から（９）のいずれか一つに記載の撮像モジュールの製造方法であって、測定チャートに直交するＺ軸上にセットされた上記レンズユニット及び上記撮像素子ユニット並びにこの測定チャートのいずれかを複数の測定位置に移動させ、上記フレキシブル配線部に含まれる配線群が接続されている上記駆動部を、この配線群を通じて動作させた状態で、上記測定位置の各々において、上記レンズユニットによって結像される測定チャート像を上記撮像素子により撮像し、得られた複数の画像に基づいて、Ｚ軸上での上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対位置及びＺ軸に直交するＸ軸及びＹ軸回りの上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対姿勢の調整量を算出し、算出した調整量に基づいて上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの相対位置姿勢を調整して、上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとを固定し、上記フレキシブル配線部及び上記撮像素子ユニットの上記接続部を上記回路に接続する撮像モジュールの製造方法。
（１３）　（１１）又は（１２）記載の撮像モジュールの製造方法であって、上記フレキシブル配線部に含まれる配線群が接続されているいずれか一つの上記駆動部によって移動される上記レンズの移動方向を鉛直として上記レンズユニット及び上記撮像素子ユニット並びに上記測定チャートをセットする撮像モジュールの製造方法。
（１４）　（１１）から（１３）のいずれか一つに記載の撮像モジュールの製造方法であって、上記フレキシブル配線部に含まれる配線群は、複数の配線組に分けられ、配線組毎に互いに分離されて配線されており、上記配線組は、互いに並行して延在し、且つ上記レンズ群の光軸を面上に沿って含みこの配線組の延在方向と平行な中心面を挟んで両側に設けられており、Ｘ軸方向又はＹ軸方向のいずれか一方は、上記中心面の面内方向である撮像モジュールの製造方法。
（１５）　（１１）から（１３）のいずれか一つに記載の撮像モジュールの製造方法であって、上記フレキシブル配線部に含まれる配線群は、複数の配線組に分けられ、配線組毎に互いに分離されて配線されており、上記配線組は、互いに並行して延在し、且つ上記レンズ群の光軸を面上に沿って含みこの配線組の延在方向と平行な中心面を挟んで対称に設けられており、Ｘ軸方向又はＹ軸方向のいずれか一方は、上記中心面の面内方向である撮像モジュールの製造方法。

１撮像モジュール
２レンズユニット
３撮像素子ユニット
１０レンズ群
１１レンズ駆動部
１２フレキシブル基板
１４筐体
２０撮像素子
２１外部接続部
２２素子固定基板
３０ｘＡｘ方向アクチュエータ（第１像振れ補正駆動部）
３０ｙＡｙ方向アクチュエータ（第２像振れ補正駆動部）
３０ｚＡｚ方向アクチュエータ（フォーカス駆動部）
３１ｘ，３１ｙ，３１ｚ位置センサ
３２ｘ，３２ｙ角速度センサ（回路）
３４制御ＩＣ（回路）
５０測定チャート
５１保持部材
５２コネクタケーブル
Ｗ１フレキシブルに配線される配線群
Ｗ２リジッドに配線される配線群
Ｗａ，Ｗｂ配線組
Ｃ中心面

Claims

　撮像素子及び外部接続部が設けられた回路を有する撮像素子ユニットと、
　レンズ群と、前記レンズ群の少なくとも一部のレンズを該レンズ群の光軸に交差する面内における第１方向に前記撮像素子に対して移動させる第１像振れ補正駆動部及び前記第１方向と交差する第２方向に前記撮像素子に対して移動させる第２像振れ補正駆動部と、前記レンズ群の少なくとも一部のレンズを該レンズ群の光軸方向に前記撮像素子に対して移動させるフォーカス駆動部と、接続部とを有し、前記撮像素子ユニットに固定されたレンズユニットと、
　前記第１像振れ補正駆動部及び前記第２像振れ補正駆動部並びに前記フォーカス駆動部のうち少なくとも一つの駆動部と前記回路とを前記接続部を介して電気的に接続する配線群を含み、前記撮像素子ユニットと前記レンズユニットとの間に跨るフレキシブル配線部と、
　を備え、
前記回路は、前記回路と前記フレキシブル配線部とを接合する導電性接合材により、前記フレキシブル配線部と電気的に接続される撮像モジュール。
　請求項１記載の撮像モジュールであって、
　前記レンズユニットは、前記第１像振れ補正駆動部及び前記第２像振れ補正駆動部並びに前記フォーカス駆動部によって移動される前記レンズの位置を検出するセンサを有し、
　前記接続部は前記センサと電気的に接続されている撮像モジュール。
　請求項１又は２記載の撮像モジュールであって、
　前記第１方向及び前記第２方向と、前記光軸方向とが直交しており、
　前記接続部は、前記第１像振れ補正駆動部及び前記第２像振れ補正駆動部並びに前記フォーカス駆動部のうち少なくとも一つの駆動部と電気的に接続されている撮像モジュール。
　請求項３記載の撮像モジュールであって、
　前記第１方向と前記第２方向とが直交しており、
　前記接続部は、前記第１像振れ補正駆動部及び前記第２像振れ補正駆動部並びに前記フォーカス駆動部のうち二つの駆動部と電気的に接続されている撮像モジュール。
　請求項１から４のいずれか一項記載の撮像モジュールであって、
　前記フレキシブル配線部に含まれる配線群は、複数の配線組に分けられ、配線組毎に互いに分離されて配線されている撮像モジュール。
　請求項５記載の撮像モジュールであって、
　前記配線組は、互いに並行して延在し、且つ前記レンズ群の光軸を面上に沿って含み該配線組の延在方向と平行な中心面を挟んで両側に設けられている撮像モジュール。
　請求項５又は６記載の撮像モジュールであって、
　前記配線組は、互いに並行して延在し、且つ前記レンズ群の光軸を面上に沿って含み該配線組の延在方向と平行な中心面を挟んで対称に設けられている撮像モジュール。
　請求項１から７のいずれか一項記載の撮像モジュールであって、
　前記レンズユニットは、前記駆動部を収容する筐体を備え、
　前記フレキシブル配線部に含まれる配線群は、前記外部接続部に向けて前記筐体から導出されている撮像モジュール。
　請求項１から８のいずれか一項記載の撮像モジュールであって、
　前記撮像素子の画素ピッチは１μｍ以下である撮像モジュール。
　請求項１から９のいずれか一項記載の撮像モジュールを搭載した電子機器。
　請求項１から９のいずれか一項記載の撮像モジュールの製造方法であって、
　測定チャートに直交するＺ軸上にセットされた前記レンズユニット及び前記撮像素子ユニット並びに該測定チャートのいずれかを複数の測定位置に移動させ、
　前記フレキシブル配線部に含まれる配線群によって前記回路に接続されている前記駆動部を、前記外部接続部を通じて動作させた状態で、前記測定位置の各々において、前記レンズユニットによって結像される測定チャート像を前記撮像素子により撮像し、
　得られた複数の画像に基づいて、Ｚ軸上での前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとの相対位置及びＺ軸に直交するＸ軸及びＹ軸回りの前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとの相対姿勢の調整量を算出し、
　算出した調整量に基づいて前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとの相対位置姿勢を調整して、前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとを固定し、前記撮像素子ユニットの前記接続部を前記回路に接続する撮像モジュールの製造方法。
　請求項１から９のいずれか一項記載の撮像モジュールの製造方法であって、
　測定チャートに直交するＺ軸上にセットされた前記レンズユニット及び前記撮像素子ユニット並びに該測定チャートのいずれかを複数の測定位置に移動させ、
　前記フレキシブル配線部に含まれる配線群が接続されている前記駆動部を、該配線群を通じて動作させた状態で、前記測定位置の各々において、前記レンズユニットによって結像される測定チャート像を前記撮像素子により撮像し、
　得られた複数の画像に基づいて、Ｚ軸上での前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとの相対位置及びＺ軸に直交するＸ軸及びＹ軸回りの前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとの相対姿勢の調整量を算出し、
　算出した調整量に基づいて前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとの相対位置姿勢を調整して、前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとを固定し、前記フレキシブル配線部及び前記撮像素子ユニットの前記接続部を前記回路に接続する撮像モジュールの製造方法。
　請求項１１又は１２記載の撮像モジュールの製造方法であって、
　前記フレキシブル配線部に含まれる配線群が接続されているいずれか一つの前記駆動部によって移動される前記レンズの移動方向を鉛直として前記レンズユニット及び前記撮像素子ユニット並びに前記測定チャートをセットする撮像モジュールの製造方法。
　請求項１１から１３のいずれか一項記載の撮像モジュールの製造方法であって、
　前記フレキシブル配線部に含まれる配線群は、複数の配線組に分けられ、配線組毎に互いに分離されて配線されており、
　前記配線組は、互いに並行して延在し、且つ前記レンズ群の光軸を面上に沿って含み該配線組の延在方向と平行な中心面を挟んで両側に設けられており、
　Ｘ軸方向又はＹ軸方向のいずれか一方は、前記中心面の面内方向である撮像モジュールの製造方法。
　請求項１１から１３のいずれか一項記載の撮像モジュールの製造方法であって、
　前記フレキシブル配線部に含まれる配線群は、複数の配線組に分けられ、配線組毎に互いに分離されて配線されており、
　前記配線組は、互いに並行して延在し、且つ前記レンズ群の光軸を面上に沿って含み該配線組の延在方向と平行な中心面を挟んで対称に設けられており、
　Ｘ軸方向又はＹ軸方向のいずれか一方は、前記中心面の面内方向である撮像モジュールの製造方法。