JP5899382B2 - 撮像モジュール、及びこれを備えた電子機器、並びに撮像モジュールの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、撮像モジュール、及びこれを備えた電子機器、並びに撮像モジュールの製造方法に関する。

撮影機能を有する携帯電話機等の携帯用電子機器には、小型で薄型の撮像モジュールが搭載されている。この撮像モジュールは、撮影用のレンズが組み込まれたレンズユニットが、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサやＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide Semiconductor）イメージセンサ等の撮像素子が組み込まれた撮像素子モジュールに固定された構造を有する（特許文献１，２参照）。近年、撮像モジュールに使用される撮像素子は、１００万〜２００万画素程度の低画素の撮像素子に代わり、３００万〜１０００万画素、或いはそれ以上の高画素数を有する撮像素子が広く使用されるようになっている。

レンズユニットと撮像素子ユニットとの位置合わせと双方の固定を自動的に行う技術が特許文献３，４に記載されている。この技術では、レンズユニットと撮像素子ユニットとを初期位置にセットした後、レンズユニットを光軸方向に移動させながら撮像素子に測定用チャートを撮像させ、得られた撮像画像から目標位置に合致させる調整量を求める。得られた調整量に応じてレンズユニットと撮像素子ユニットとの位置調整を行い、双方を目標位置に合わせた状態で接着し、固定している。

特許第５０６２５３７号公報 特開２０１２−３７６８４号公報 特開２０１０−２１９８５号公報 特開２０１０−８８０８８号公報

特許文献３、４のレンズユニットでは、制御部がレンズユニットと撮像素子とを位置合わせする際、レンズユニットと撮像素子ユニットとは分離状態にある。この分離状態でレンズユニットをフォーカス調整する際、制御部は、レンズユニットの外周面に設けた電気接点にプローブピンを接触させて、フォーカス調整用の駆動部に駆動信号を入力している。

近年の撮像モジュールでは、画素ピッチの小さい撮像素子が使用されるようになっており、レンズユニットのサイズも撮像素子のサイズに合わせて、数ｍｍ程度に小さくなっている。そのため、調整用端子の個々の端子面積を大きくすることが困難になり、調整時に電気的に接続されるプローブとの位置合わせを高精度で行う必要が生じ、撮像素子ユニットの製造装置の高コスト化や製造工程の煩雑化を招いている。

本発明は、小型化したレンズユニットを使用する場合であっても、簡単かつ確実にプロービングができ、レンズユニットと撮像素子ユニットとを相互に高精度で固定できる撮像モジュール、及びこれを備えた電子機器、並びに撮像モジュールの製造方法を提供することを目的とする。

本発明は下記構成からなる。
（１） レンズ群を有するレンズユニットと、上記レンズユニットに固定され、撮像素子を有する撮像素子ユニットと、を具備する撮像モジュールであって、
上記レンズユニットは、
上記レンズ群を構成する複数のレンズのうち少なくとも一部のレンズを、上記撮像素子に対して上記レンズ群の光軸方向に変位させるフォーカス駆動部と、
上記フォーカス駆動部を収容する筐体と、
上記撮像素子ユニットと電気的に接続される第１の接続部と、
上記フォーカス駆動部と上記第１の接続部とを電気的に接続する第１の配線部と、
上記第１の配線部が接続された上記フォーカス駆動部に電気的に接続される第２の配線部と、
を備え、
上記第２の配線部は、上記筐体の内部から外部に延設され、上記第２の配線部の配線は、上記延設された第２の配線部の端部における端面まで延設されている撮像モジュール。（２） 上記撮像モジュールを備えた電子機器。
（３） レンズ群を有するレンズユニットと、上記レンズユニットに固定され、撮像素子を有する撮像素子ユニットと、を具備する撮像モジュールの製造方法であって、
上記レンズユニットは、
上記レンズ群を構成する複数のレンズのうち少なくとも一部のレンズを、上記撮像素子に対して変位させるフォーカス駆動部と、
上記フォーカス駆動部を収容する筐体と、
上記撮像素子ユニットと電気的に接続する第１の接続部と、
上記フォーカス駆動部と上記第１の接続部とを電気的に接続する第１の配線部と、
上記第１の配線部が接続された上記フォーカス駆動部に電気的に接続される第２の配線部と、を備え、
上記撮像モジュールの製造方法は、
上記レンズユニット及び上記撮像素子ユニットを準備する工程と、
測定チャートに直交する軸上に、上記レンズユニットと、上記撮像素子ユニットと、をセットする工程と、
上記測定チャート、上記レンズユニット、上記撮像素子ユニットの少なくともいずれかを１つを、上記軸上の複数の撮像位置に順次に移動して、上記第２の配線部を使用して上記フォーカス駆動部を駆動した状態で、上記撮像素子により上記レンズユニットによって結像される測定チャートを撮像することにより撮像画像を取得する工程と、
各撮像位置で取得された上記撮像画像を用いて、上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの位置と姿勢を調整する調整量を算出する工程と、
上記算出した調整量に応じて、上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとを相対移動させる工程と、
相対移動された上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとを固定する工程と、
上記第２の配線部の配線を含む一部を切断する工程と、
を含む撮像モジュールの製造方法。

本発明によれば、小型化したレンズユニットを使用する場合であっても、簡単かつ確実にプロービングが行え、レンズユニットと撮像素子ユニットとを相互に高精度で固定できる。

本発明の実施形態を説明するための図で、撮像モジュールの外観斜視図である。 図１のＡ−Ｏ−Ｂ断面図である。 フレキシブル基板の端部の模式的な拡大図である。 切断前のフレキシブル基板を示す平面図である。 レンズユニットと撮像素子ユニットとの概略的な配線図である。 レンズユニットと撮像素子ユニットとの固定前の状態を示す斜視図である。 レンズユニットと撮像素子ユニットとの固定後の状態を示す斜視図である。 撮像モジュール製造装置の構成を示す概略図である。 撮像モジュール製造装置によるレンズユニットと撮像素子ユニットの保持状態を示す説明図である。 撮像モジュール製造装置による撮像モジュールの製造工程を示すフローチャートである。 基板切断部の概略構成と撮像モジュールとを示す概略構成図である。 図１２Ａ〜図１２Ｃはフレキシブル基板の切断工程を段階的に示す工程説明図である。 撮像モジュールの変形例を示す平面図である。 ３方向にユニット接続部を設けたフレキシブル基板の一部を示す一部平面図である。 図１５Ａ及び図１５Ｂはフレキシブル基板の開口部の変形例を示すフレキシブル基板の一部を示す一部平面図である。 図１６Ａ〜図１６Ｅは第１の配線と第２の配線の接続形態例を示すレンズユニットの概略構成図である。 図１７Ａ及び図１７Ｂは素子固定基板の変形例を示す撮像モジュールの概略平面図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
＜撮像モジュールの構成＞
図１は本発明の実施形態を説明するための図で、撮像モジュールの外観斜視図である。図２は図１のＡ−Ｏ−Ｂ断面図である。以下の各図の説明においては、重複する同一の部材に対しては共通の符号を付与することで、その部材の説明を省略又は簡単化する。

図１に示すように、撮像モジュール１００は、レンズユニット１１と、レンズユニット１１に固定される撮像素子ユニット１３とを有する。レンズユニット１１は、撮像素子ユニット１３が有する撮像素子に被写体像を結像させる。撮像素子ユニット１３は、撮像した画像信号を出力する。

レンズユニット１１は、図２に示すように、レンズ群１５（図示例では、レンズ１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄからなるレンズ群であるがこれに限らない）と、レンズ１５を支持するレンズバレル１７と、レンズ駆動装置１９と、フレキシブル基板（FPC：Flexible printed circuits）２１と、筐体２３と、底部ブロック２５と、を有する。筐体２３は、レンズ駆動装置１９を内部に収容してレンズユニット１１の外側を覆う。底部ブロック２５は、筐体２３内の底部に配置され、レンズバレル１７の外周部を塞ぐ。

撮像素子ユニット１３は、撮像素子２７と、撮像素子２７が実装される素子固定基板３１と、カバーガラス３３と、カバーホルダ３５とを有する。素子固定基板３１は、外部機器と電気的に接続する外部接続部２９を有する。カバーホルダ３５は、カバーガラス３３を保持して素子固定基板３１に固定する。

撮像素子２７は、ＣＣＤイメージセンサ又はＣＭＯＳイメージセンサ等から構成される。撮像素子２７は、３００万〜１０００万、或いはそれ以上の画素を有し、その画素ピッチは、例えば、１μｍ以下である。ここで、画素ピッチとは、撮像素子２７が有する画素に含まれる光電変換領域の中心間距離のうち、最も小さい距離のことをいう。

図１に示すように、素子固定基板３１は、長方形状の基板であって、基板長手方向の両端のうち、一端側に撮像素子２７（図２参照）が実装され、他端側の先端部に外部接続部２９が配置されている。

素子固定基板３１は、撮像素子２７を支持する支持部と、撮像素子ユニット１３の外部と電気的に接続する外部接続部２９と、支持部と外部接続部２９とを電気的及び物理的に接続する素子配線部とを一枚の基板上に備える。

レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３とは、別々のユニットとして形成され、レンズユニット１１を通じて撮像素子２７により撮像した撮像画像を用いて、相互の位置と姿勢が調整される。即ち、レンズユニット１１による被写体の結像面を、撮像素子ユニット１３の撮像素子２７の撮像面に一致させた状態に調整される。その調整された状態でレンズユニット１１と撮像素子ユニット１３とを接着し、固定することで撮像モジュールの製品が出来上がる。

レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３には、双方が固定された状態で相互に電気的に接続されるユニット接続部（第１の接続部）３７Ａ，３７Ｂがそれぞれ設けられている。ユニット接続部３７Ａは複数の櫛歯状の端子からなり、ユニット接続部３７Ｂは、ユニット接続部３７Ａの各端子に対応して配置された複数の電極パッドである。ユニット接続部３７Ａ，３７Ｂは、お互いに当接し合うこと、又は半田付けされること等により電気的に接続される。

レンズ駆動装置１９は、レンズ群１５が支持されたレンズバレル１７を、撮像素子２７に対し、レンズ光軸Ａｘに沿って移動させてフォーカス調整を行うフォーカス駆動部を有する。また、レンズ駆動装置１９は、撮像素子２７に対し、レンズ光軸Ａｘの垂直方向に移動させる、又はレンズ光軸Ａｘに直交する面から傾動させる、手振れ補正等の像振れ補正駆動を行う２つの像振れ補正駆動部を有し、必要に応じて駆動する。

レンズ駆動装置１９は、レンズ群１５のうち、少なくとも一部のレンズを変位させることにより、フォーカス調整及び像振れ補正を行ってもよい。

フレキシブル基板２１は、詳細は後述するが、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３との位置合わせ（光軸調整）と、撮像素子ユニット１３を含めた外部機器等の、外部と電気的に接続するために使用される配線基板であって、筐体２３内の底部ブロック２５に支持される。柔軟なフレキシブル基板２１を用いることで、配線の取り回しや、接続端子のレイアウトの自由度を向上できる。

フレキシブル基板２１は、ユニット接続部３７Ａとレンズ駆動装置１９とを電気的に接続する複数の配線を含むレンズ駆動用配線（第１の配線部）を有する。レンズ駆動用配線は、主に撮像モジュールが製品となった後に使用される配線である。また、フレキシブル基板２１は、後述する調整用端子部とレンズ駆動装置１９とを電気的に接続する複数の配線を含む調整用配線（第２の配線部）を有する。ただし、図１及び図２に示すフレキシブル基板２１は、その一部が切断されることで、調整用端子部が除去されている。この調整用配線は、レンズ駆動用配線に接続された、レンズ駆動装置１９のフォーカス駆動部と像振れ補正駆動部の全て、又は、少なくともフォーカス駆動部と導通される配線である。また、調整用配線は、レンズ駆動用配線における少なくともフォーカス駆動部と導通される一部の配線や、ユニット接続部３７Ａの少なくともフォーカス駆動部と導通される接続部に電気的に接続される。レンズ駆動装置１９は、フレキシブル基板２１によって、ユニット接続部３７Ａと接続されるレンズ駆動用配線と、レンズユニット１１を単独で調整する調整用配線との２系統の配線に接続されている。

図１及び図２に示すフレキシブル基板２１は、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３との固定後に、フレキシブル基板２１の不要となる一部分が切断されている。図１に示すフレキシブル基板２１においては、フレキシブル基板２１の２つの端部３９，３９が不要部分を切断した切断部である。

図３にフレキシブル基板２１の端部３９の模式的な拡大図を示す。フレキシブル基板２１の端部３９の端面には、調整用配線を含む一部の配線が切断された切断配線部４０が含まれる。この端部３９には絶縁処理が施される。切断配線部４０は、少なくとも第２の配線部の配線の端面が絶縁材料で覆われている。これにより、切断された各配線の短絡が防止されている。

図２に示すレンズ駆動装置１９は、フレキシブル基板２１のユニット接続部３７Ａを通じて、フォーカス駆動及び手振れ補正用の像振れ補正駆動を行う駆動信号が入出力される。また、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３とが固定される前で、ユニット接続部３７Ａ，３７Ｂがお互いに電気的に接続されない状態においては、切断前のフレキシブル基板２１に備わる図示しない調整用端子部と、調整用端子部に電気的に接続される調整用配線により、レンズ駆動装置１９に駆動信号が入出力される。これにより、調整用配線を通じたレンズ駆動装置１９の駆動が行える。上記駆動信号には、フォーカス駆動部及び像振れ補正駆動部を駆動する駆動電力、及び、センサからの出力信号が含まれる。

レンズ駆動装置１９への調整用の駆動信号を入出力する調整用端子部は、図１に示すレンズユニット１１の筐体２３の側面ではなく、レンズユニット１１の筐体２３の内部から外部に延出されるフレキシブル基板２１の一部に配置される。そのため、レンズを多軸制御するために、レンズ駆動に多数の調整用端子を必要とするレンズユニットであっても、個々の端子面積が小さくならず、広い端子面積のままで確実なプロービングが可能となる。

フレキシブル基板２１の２つの端部３９は、レンズユニット１１の筐体２３の外部接続部２９を臨む方向の側面２３ａから、レンズユニット１１の筐体２３の外部に延出された状態で配置されている。換言すれば、フレキシブル基板２１の延出部分は、素子固定基板３１の支持部から外部接続部２９に接続される素子配線部が延出される方向に、筐体２３から延出されている。

上記構成により、フレキシブル基板２１の延出部分は、フレキシブル基板２１の延出部分をレンズ群の光軸方向に投影した場合のフレキシブル基板２１の延出部分に対する投影領域が、撮像素子ユニット１３をレンズ群の光軸方向に投影した場合の撮像素子ユニット１３の投影領域内になる位置に配置される。これにより、フレキシブル基板２１の延出部分が、素子固定基板３１の基板面外に飛び出すことがなく、外部部材との干渉が避けられる。

ユニット接続部３７Ａ，３７Ｂは、側面２３ａに隣接する他の側面２３ｂに沿って配置されている。つまり、ユニット接続部３７Ａ，３７Ｂは、切断されたフレキシブル基板２１の端部３９が配置されるレンズユニット１１の側面２３ａとは異なる側面２３ｂに配置される。フレキシブル基板２１の延出部分と、ユニット接続部３７Ａとが筐体２３の異なる側面に配置されることで、フレキシブル基板２１の構成を簡単化できる。

素子固定基板３１の撮像素子２７が実装される側と同じ側の基板面上には、突起部３０が配置されている。突起部３０は、筐体２３の基板延出側の側面２３ａから距離Ｗの隙間を空けて配置されている。

突起部３０は、後述するフレキシブル基板２１の延出部分の切断時に、基板面を素子固定基板３１上に支持する台座として利用される。上記の距離Ｗの隙間がフレキシブル基板２１の切断代となる。突起部３０の頂面は、撮像素子２７の撮像面に対して平行な平坦面を有する。突起部３０は、台座専用の部材であってもよいが、例えば、素子固定基板３１に実装されるＩＣ等の電子部品を利用し、この電子部品の外面を電磁気シールド材や保護材料等の部材で被覆したものであってもよい。

レンズユニット１１の筐体２３は、レンズ駆動装置１９を内部に収容して、素子固定基板３１上のカバーガラス３３及びカバーホルダ３５を覆って配置される。素子固定基板３１の外部接続部２９を臨む筐体２３の側面２３ａには、開口３８が形成されている。図１に示すように、フレキシブル基板２１の端部３９は、筐体２３の側面２３ａの開口３８から外側に向けて突出しており、素子固定基板３１の長手方向に沿って、筐体２３の開口３８から突起部３０までの間に配置されている。

図１及び図２において、フレキシブル基板２１の端部３９は、筐体２３の外部に延出している。このような構成に代わり、端部３９の端面と筐体２３の側面２３ａとが一致していてもよく、あるいは、端部３９が筐体２３の内部にあってもよい。フレキシブル基板２１の端部３９は、レンズ光軸Ａｘの垂直面上で、レンズユニット１１と、素子固定基板３１を含む撮像素子ユニット１３とをレンズ光軸Ａｘ方向に投影したユニット配置領域内に存在する。

図４に切断前のフレキシブル基板２１の平面図を示す。図１，図２に示すフレキシブル基板２１は、図４に示す切断線Ｃ１で切断した後の状態のものである。
フレキシブル基板２１は、レンズユニット１１の筐体２３の内部に支持される側の支持領域Ａ１と、筐体２３の外部に延出される側の延出領域Ａ２とを有する。

フレキシブル基板２１は、支持領域Ａ１に一対のユニット接続部３７Ａ、３７Ａを有し、折り線Ｂ１，Ｂ２で直角に折り曲げられる。折り線Ｂ１，Ｂ２で折り曲げられることで、図１に示すように、ユニット接続部３７Ａ，３７Ａは、素子固定基板３１側のユニット接続部３７Ｂに対し、垂下して対向配置される。

フレキシブル基板２１の支持領域Ａ１には、開口部２１ａが形成されている。開口部２１ａは、円形孔部２１ａ−１と、円形孔部２１ａ−１から延出領域Ａ２の延出方向に沿って延設された矩形孔部２１ａ−２とを有する。

円形孔部２１ａ−１は、レンズバレル１７を挿入する孔である。矩形孔部２１ａ−２は、フレキシブル基板２１の支持領域Ａ１から延出領域Ａ２にはみ出し、筐体２３の外部となる位置まで延びている。

フレキシブル基板２１が矩形孔部２１ａ−２を有することで、支持領域Ａ１と延出領域Ａ２との境界部分に、２本の分断配線部２２ａ，２２ｂが形成される。分断配線部２２ａのフレキシブル基板２１の延出方向に直交する方向の幅Ｗａ１と、分断配線部２２ｂの幅Ｗａ２は、等しい。即ち、フレキシブル基板２１は、レンズ光軸Ａｘを面上に沿って含みフレキシブル基板２１が筐体２３から延出する方向に平行な面である中心面を挟んで、対称に二つに分断された分断配線部２２ａ，２２ｂを有する。即ち、フレキシブル基板は、レンズ光軸Ａｘに直交し、かつ、フレキシブル基板２１が筐体２３から延出する方向に並行な直線に対して、対称に分断された分断配線部２２ａ,２２ｂを有する。図示例の分断配線部２２ａ，２２ｂは２本であるが、更に多数本に分断されていてもよい。

フレキシブル基板２１に分断配線部２２ａ，２２ｂを形成することにより、フレキシブル基板２１の切断距離を短くできる。また、円形孔部２１ａ−１内に挿入されるレンズ群１５を避けて配線を配置できる。また、詳細を後述する撮像モジュール製造装置で、レンズユニット１１のレンズ光軸を撮像素子の撮像面法線に対し、平行移動や傾斜させる調整を行う際、レンズ群１５がフレキシブル基板２１から受ける抵抗を低減できる。

フレキシブル基板２１は、延出領域Ａ２の支持領域Ａ１とは反対の先端側に、複数の調整用端子５９を配置した調整用端子部（第２の接続部）６３を有する。調整用端子部６３は、フレキシブル基板２１の配線の一部の導通部を露出することにより形成された複数の調整用端子５９を有する。調整用端子部６３の各調整用端子５９には、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３とを固定する際、詳細を後述するプローブピンが当接する。レンズ駆動装置１９には、調整用端子５９からプローブピンを通じて、フォーカス駆動部及び各像振れ補正駆動部を駆動する駆動信号が入力される。

複数の調整用端子５９は、複数列上に等間隔で配列されている。各調整用端子５９は、列毎に調整用端子５９の配置ピッチの１／２ピッチだけずらして配置され、列の並び方向に隣接する調整用端子５９が互い違いに配置されている。この調整用端子５９の配置パターンにより、スペース効率を一層高めることが可能となる。

上記構成の撮像モジュール１００において、図２に示すレンズ駆動装置１９が、撮像素子２７に対し、レンズバレル１７をレンズ光軸Ａｘに沿って移動させることにより、フォーカシング動作が行われる。また、レンズ駆動装置１９が、撮像素子２７に対し、レンズバレル１７をレンズ光軸Ａｘに直交する方向に移動させることや、レンズ光軸Ａｘに直交する面から傾動させることにより、手振れ補正等の像振れ補正動作が行われる。

また、撮像モジュール１００は、フォーカシング動作と像振れ補正動作との双方を同時に実施すること、又は、いずれか一方のみを選択的に実施することができ、必要に応じて任意のタイミングで各動作を実施可能な構成となっている。

本撮像モジュール１００の調整用端子部６３は、フレキシブル基板２１に形成される。そのため、小型化したレンズユニットを使用する場合であっても、各調整用端子５９をフレキシブル基板２１上の広い端子面積で設置でき、確実なプロービングが行える。

更に、本撮像モジュール１００は、画素ピッチが１μｍ以下の撮像素子２７を用いている。画素ピッチが狭い撮像素子は、画素サイズが小さいために受光感度が低下するので、Ｆナンバーの小さいレンズと組み合わせる必要がある。そうすると、レンズの焦点深度が浅くなり、画面周辺の一方向だけ解像力が低下する現象が生じやすくなって、レンズの組み付けには高い精度が要求される。特に撮像素子の画素ピッチが１μｍ以下である場合は、レンズの調整が難しく、製造工程の工数が増大する不利がある。しかし、本構成の撮像モジュール１００は、調整用端子部６３の端子面積を大きく確保できるため、安定したプロービングを実現でき、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３とを高精度で位置合わせできる。

次に、レンズユニット１１が有するレンズ駆動装置１９の詳細と、レンズ駆動装置１９の配線について、詳細に説明する。
図５にレンズユニット１１と撮像素子ユニット１３との概略的な配線図を示す。なお、図５に示すフレキシブル基板２１は切断前の状態を示している。図５に示す配線の態様は一例であって、これに限定されることはない。レンズ駆動装置１９は、フォーカス調整を行うフォーカス駆動装置１９Ａと、像振れ補正を行う像振れ補正駆動装置１９Ｂとを有する。フォーカス駆動装置１９Ａと像振れ補正駆動装置１９Ｂは、レンズ駆動の駆動部としてボイスコイルモータ（ＶＣＭ）を使用し、レンズ位置を検出するセンサとしてホール素子を使用している。なお、ＶＣＭやホール素子は一例であって、これに限らず他のデバイスであってもよい。

フォーカス駆動装置１９Ａは、レンズバレル１７をレンズ光軸Ａｘに沿って駆動するフォーカス駆動部であるＡｘ方向ＶＣＭ４１と、Ａｘ方向のレンズ位置を検出するＡｘ方向ホール素子４３とを有する。

像振れ補正駆動装置１９Ｂは、レンズ光軸Ａｘに垂直な水平方向Ｘ（第１の方向）に沿って駆動する第１の像振れ補正駆動部であるＸ方向ＶＣＭ４５と、Ｘ方向の位置を検出するＸ方向ホール素子４７とを有する。また、像振れ補正駆動装置１９Ｂは、レンズ光軸Ａｘ及びＸ方向に垂直なＹ方向（第２の方向）に沿って移動する第２の像振れ補正駆動部であるＹ方向ＶＣＭ４９と、Ｙ方向の位置を検出するＹ方向ホール素子５１とを有する。なお、像振れ補正駆動装置１９Ｂは、レンズを傾動させる駆動機構とすることもできる。その場合の駆動機構は周知の駆動機構が利用でき、ここではその説明を省略する。

レンズユニット１１は、レンズ駆動装置１９とレンズユニット１１側のユニット接続部３７Ａとを電気的に接続する前述のレンズ駆動用配線である第１の配線部ＥＷ１と、レンズ駆動装置１９に電気的に接続される前述の調整用配線である第２の配線部ＥＷ２とを有する。これら第１の配線部ＥＷ１と第２の配線部ＥＷ２は、フレキシブル基板２１に形成されている。

フレキシブル基板２１の配線パターンは、第１の配線部ＥＷ１が、主にレンズ駆動装置１９の配線とユニット接続部３７Ａとを接続し、第２の配線部ＥＷ２が、主にレンズ駆動装置１９の配線と調整用端子部６３の各調整用端子５９とを接続するパターンとなっている。

第１の配線部ＥＷ１は、駆動部（Ａｘ方向ＶＣＭ４１、Ｘ方向ＶＣＭ４５、Ｙ方向ＶＣＭ４９）、センサ（Ａｘ方向ホール素子４３、Ｘ方向ホール素子４７、Ｙ方向ホール素子５１）の各々と導通される複数の配線を含む。

第２の配線部ＥＷ２は、第１の配線部ＥＷ１に接続された駆動部（Ａｘ方向ＶＣＭ４１、Ｘ方向ＶＣＭ４５、Ｙ方向ＶＣＭ４９）、センサ（Ａｘ方向ホール素子４３、Ｘ方向ホール素子４７、Ｙ方向ホール素子５１）の各々のデバイスと導通される配線を含む。したがって、第２の配線部ＥＷ２は、上記の駆動部、センサ、配線、及びこれらに接続されるユニット接続部３７Ａに電気的に接続されている。

第２の配線部ＥＷ２の配線が、第１の配線部ＥＷ１の配線に接続されることで、上記した各駆動部を第１の配線部ＥＷ１を通じて駆動すること、及び、上記した各センサから第１の配線部ＥＷ１を通じて検出信号を取得することを、第２の配線部ＥＷ２を通じて同様に行うことができる。

なお、上記構成では、駆動部１つについて２つの接点（コイルとの接点Ａ，Ｂ）を設け、センサ１つについて４つの接点（ブリッジ回路との接点Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ）を設けているが、これは一例であって、駆動部やセンサの種類によって接点個数は異なる。また、レンズを多軸制御する場合は、駆動部やセンサの種類によらず、必要となる接点数や配線数が増大するため、調整用端子５９の配置面積が特に広く必要になる。

撮像素子ユニット１３は、撮像素子２７と、Ｘ方向の角速度を検出するＸ方向ジャイロセンサ５３と、Ｙ方向の角速度を検出するＹ方向ジャイロセンサ５４と、制御／給電用ＩＣ５５とを有する。制御／給電用ＩＣ５５は、撮像モジュールの製造後に、Ｘ方向ジャイロセンサ５３及びＹ方向ジャイロセンサ５４が検出した各方向の角速度に応じて像振れ補正駆動装置１９Ｂを駆動する。また、撮像素子２７を制御して撮像信号を出力させ、更に系全体を給電制御する。

レンズユニット１１の第１の配線部ＥＷ１は、ユニット接続部３７Ａ，３７Ｂを介して制御／給電用ＩＣ５５に接続されている。撮像素子２７、Ｘ方向ジャイロセンサ５３及びＹ方向ジャイロセンサ５４は、制御／給電用ＩＣ５５に接続され、制御／給電用ＩＣ５５は外部接続部２９に接続されている。

図示例では、第２の配線部ＥＷ２が、像振れ補正駆動装置１９ＢのＸ方向ＶＣＭ４５、Ｘ方向ホール素子４７、Ｙ方向ＶＣＭ４９及びＹ方向ホール素子５１に接続されているが、Ｘ方向及びＹ方向のいずれかの方向、或いはＸ及びＹ両方向への駆動が必要ない場合、その不要となる駆動方向に対応するＶＣＭとホール素子への配線を省略してもよい。

前述の図３に示すフレキシブル基板２１の端部３９には、第２の配線部ＥＷ２の配線が端面まで延設されている。そのため、フレキシブル基板２１の切断された端部３９で形成される切断配線部４０の配線は、フォーカス駆動装置１９Ａ、像振れ補正駆動装置１９Ｂ、フォーカス駆動装置１９Ａに接続された第１の配線部ＥＷ１、像振れ補正駆動装置１９Ｂに接続された第１の配線部ＥＷ１、又はユニット接続部３７Ａの少なくともいずれかに電気的に接続された配線を含んでいる。

上記構成のレンズユニット１１と撮像素子ユニット１３は、フレキシブル基板２１の切断前の状態で、フレキシブル基板２１の第２の配線部ＥＷ２を用いて光軸合わせが行われる。そして、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３とが固定された状態で、フレキシブル基板２１の一部が切断される。

図６にレンズユニット１１と撮像素子ユニット１３との固定前の状態を示す斜視図、図７にレンズユニット１１と撮像素子ユニット１３との固定後の状態を示す斜視図を示す。

図６に示すように、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３は、レンズユニット１１の筐体２３から延出されるフレキシブル基板２１と、撮像素子ユニット１３の素子固定基板３１とが、レンズ光軸Ａｘの方向に互いに重なり合う向きで固定される。つまり、フレキシブル基板２１が延出される延出方向は、素子固定基板３１の撮像素子２７の実装領域から外部接続部２９を臨む方向、即ち、撮像素子２７の中心部から外部接続部２９を臨む方向と同方向である。したがって、フレキシブル基板２１は、その一部を切断する際に、周囲の他の部品と干渉することがない。

レンズユニット１１には、撮像素子ユニット１３に固定される際の調整時において、フレキシブル基板２１の調整用端子部６３から、フォーカシング動作のためのフォーカス駆動信号と、像振れ補正駆動機構を駆動するための駆動信号が入力される。このため、レンズユニット１１は、ユニット接続部３７Ａとユニット接続部３７Ｂとが電気的に接続されていない状態でも、前述したレンズユニット１１のレンズ駆動装置１９（図２参照）を駆動できる。

これらレンズユニット１１と撮像素子ユニット１３とを固定する際、第２の配線部ＥＷ２を使用して、レンズ駆動装置１９が駆動された状態で撮像が行われる。得られた撮像画像から、レンズユニット１１による光学結像面が算定されて、撮像素子２７の撮像面をレンズユニット１１による被写体像の光学結像面に一致するように位置合わせが行われる。そして、図７に示すように、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３とを位置合わせした状態で、接着剤により固定される。

レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３とを固定した後、フレキシブル基板２１は、切断線Ｃ１でカットされ、フレキシブル基板２１の調整用端子部６３を含む不要な延出部分が除去される。これにより、図１に示す撮像モジュール１００が完成する。この一連の工程は、以下に説明する撮像モジュール製造装置により実施される。

＜撮像モジュール製造装置の構成＞
上記の撮像モジュール１００を製造する撮像モジュール製造装置の構成を説明する。ここで示す撮像モジュール製造装置は、概略的には以下の工程を順次に実施するものである。

（１） レンズ群を有するレンズユニット１１と、レンズユニット１１に固定され、画素ピッチが１μｍ以下の撮像素子２７を有する撮像素子ユニット１３と、を具備する撮像モジュールに対し、レンズ群を構成する複数のレンズのうち少なくとも一部のレンズを、撮像素子２７に対して変位させるフォーカス駆動部と、フォーカス駆動部を収容する筐体２３と、撮像素子ユニット１３と電気的に接続するユニット接続部３７Ａと、フォーカス駆動部とユニット接続部３７Ａとを電気的に接続する第１の配線部と、第１の配線部が接続されたフォーカス駆動部に電気的に接続される第２の配線部と、を備えるレンズユニット１１、及び撮像素子ユニット１３を準備し、測定チャートに直交する軸上に、レンズユニット１１と、レンズユニット１１によって結像されるチャート像を撮像素子２７により撮像する撮像素子ユニット１３と、をセットする工程。
（２）測定チャート、レンズユニット１１及び撮像素子ユニット１３の少なくともいずれか１つを複数の撮像位置に順次に移動して、各撮像位置において第２の配線部を使用してレンズを駆動した状態で撮像を行うことにより撮像画像を取得する工程。
（３）各撮像位置で取得された前記撮像画像を用いて、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３との位置と姿勢を調整する調整量を算出する工程。
（４）算出した調整量に応じて、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３とを相対移動させて固定する工程。
（５）第２の配線部の配線を含む一部を切断する工程。

図８は撮像モジュール製造装置の構成を示す概略図である。撮像モジュール製造装置２００は、レンズユニット１１に対する撮像素子ユニット１３の位置を調整し、調整後に撮像素子ユニット１３とレンズユニット１１とを固定する。

撮像モジュール製造装置２００は、例えば、チャートユニット７１と、コリメータユニット７３と、レンズ位置決めプレート７５と、レンズ保持機構７７と、素子移動機構７９と、接着剤供給部８１と、紫外線ランプ８３と、図示しない詳細を後述する基板切断部と、これらを制御する制御部８５から構成されている。これらは、ベース８６に立設された共通の支柱８７に設置されている。

チャートユニット７１は、箱状の筐体７１ａと、筐体７１ａの内部に嵌合されて固定される測定チャート８９と、筐体７１ａの内部に組み込まれて測定チャート８９を背面から平行光で照明する光源９１とから構成されている。測定チャート８９は、例えば、光拡散性を有するプラスチック板で形成されている。

コリメータユニット７３は、測定チャート８９の中心８９ａに直交するＹ軸上において、チャートユニット７１に対面するように配置されている。コリメータユニット７３は、支柱８７に固定されたブラケット７３ａと、コリメータレンズ７３ｂから構成されている。コリメータレンズ７３ｂは、チャートユニット７１から放射された光を集光するとともに、レンズユニット１０に対する測定チャート８９の虚像位置を任意の距離（たとえば、無遠限の位置、又は、レンズユニット１０の規定する撮影に適した標準的な被写体距離）に配置する機能を有する。

レンズ位置決めプレート７５は、例えば金属によって剛性を有するように形成されており、コリメータユニット７３により集光された光を通過させる開口７５ａが設けられている。

図９は撮像モジュール製造装置２００によるレンズユニットと撮像素子ユニットの保持状態を示す説明図である。図９に示すように、レンズ位置決めプレート７５のレンズ保持機構７７に対向する面には、開口７５ａの周囲に３個の当接ピン９３Ａ，９３Ｂ，９３Ｃが設けられている。

３個の当接ピン９３Ａ，９３Ｂ，９３Ｃのうち、対角線上に配置された２個の当接ピン９３Ａ，９３Ｃの先端には、当接ピンよりも小径の挿入ピン９３Ａ１，９３Ｃ１が設けられている。当接ピン９３Ａ，９３Ｂ，９３Ｃは、図１に示すレンズユニット１１の位置決め面９５Ａ，９５Ｂ，９５Ｃを受け、挿入ピン９３Ａ１，９３Ｃ１は、位置決め穴９５Ａ１，９５Ｃ１に挿入されてレンズユニット１１を位置決めする。

レンズ保持機構７７は、図９に示すＺ軸上でチャートユニット７１に前面が向くようにレンズユニット１１を保持する保持プレート９７と、この保持プレート９７をＹ軸方向に移動させる第１スライドステージ９９とから構成されている。

レンズユニット１１のフレキシブル基板２１に設けられた調整用端子５９に接触する複数のプローブピン１１１を備えたプローブユニット１１３が、第１スライドステージ９９に、保持プレート９７に対面した状態で、取り付けられている。このプローブユニット１１３は、フレキシブル基板２１の調整用端子５９が設けられた表面とは反対側の裏面を保持プレート９７に当接させ、かつ、表面に設けられた調整用端子５９にプローブピン１１１を接触させることにより、前述したレンズ駆動装置１９（図５参照）と電気的に接続する。

第１スライドステージ９９は、電動式の精密ステージであって、図示しないモータの回転によってボールネジを回転させ、このボールネジに噛合されたステージ部９９ａを垂直に移動させる。

素子移動機構７９は、チャックハンド１１５と、２軸回転ステージ１１９と、第２スライドステージ１２３とから構成されている。チャックハンド１１５は、Ｚ軸上でチャートユニット７１に撮像面２７ａが向くように撮像素子ユニット１３を保持する。２軸回転ステージ１１９は、チャックハンド１１５が取り付けられた略クランク状のブラケット１１７を保持し、Ｚ軸に直交する２軸（Ｘ軸、Ｙ軸）の回りで、撮像素子ユニット１３の傾きを調整する。第２スライドステージ１２３は、２軸回転ステージ１１９が取り付けられたブラケット１２１を保持して、ブラケット１２１をＺ軸方向に移動させる。

チャックハンド１１５は、略クランク状に屈曲された一対の挟持部材１１５ａと、これらの挟持部材１１５ａをＺ軸に直交するＸ軸方向で移動させるアクチュエータ１１５ｂとから構成されている。挟持部材１１５ａは、撮像素子ユニット１３の外枠１２５を挟み込み、撮像素子ユニット１３を保持する。また、チャックハンド１１５は、レンズ中心であるレンズ光軸Ａｘと撮像面２７ａの中心位置とが略一致するように、挟持部材１１５ａに挟持された撮像素子ユニット１３を位置決めする。

２軸回転ステージ１１９は、電動式の２軸ゴニオステージであって、図示しない２つのモータの回転により、撮像面２７ａの中心位置を回転中心にして、撮像素子ユニット１３をＸ軸の回りのθｘ方向と、Ｚ軸及びＸ軸に直交するＹ軸の回りのθｙ方向に傾ける。これにより、撮像素子ユニット１３を各方向に傾けた際に、撮像面２７ａの中心位置とＺ軸との位置関係がずれることがない。

第２スライドステージ１２３は、測定位置を変更する測定位置移動機構としても機能し、２軸回転ステージ１１９を介して撮像素子ユニット１３をＺ軸方向に移動させる。なお、第２スライドステージ１２３は、第１スライドステージ９９とサイズ等が異なる以外は同様の構成を有するので、詳細な説明は省略する。

２軸回転ステージ１１９には、撮像素子ユニット１３の素子固定基板３１の先端に設けた外部接続部２９と接続されるコネクタケーブル１２７が取り付けられている。このコネクタケーブル１２７は撮像素子２７に入力する駆動信号と、撮像素子２７から出力される撮像信号とを入出力する。

接着剤供給部８１は、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３との位置調整が終了した、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３との隙間に紫外線硬化型接着剤を供給する。紫外線ランプ８３は、隙間に供給された紫外線硬化型接着剤に紫外線を照射することで、接着剤を硬化させる。なお、接着剤としては、紫外線硬化型接着剤の他、瞬間接着剤、熱硬化接着剤、自然硬化接着剤等も利用可能である。

なお、上記構成の撮像モジュール製造装置２００は、レンズユニット１１を固定して、撮像素子ユニットを移動させているが、撮像素子ユニットを固定してレンズユニット１１を移動させる構成としてもよい。即ち、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３との位置及び姿勢の調整のための移動は、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３との相対移動であればよい。

上記説明した各部は制御部８５に接続されている。制御部８５は、例えば、ＣＰＵやＲＯＭ、ＲＡＭ等を備えたマイクロコンピュータであり、ＲＯＭに記憶されている制御プログラムに基づいて各部を制御している。

＜撮像モジュール製造装置による製造工程＞
次に、撮像モジュールの製造工程について、図１０のフローチャートに沿って簡単に説明する。
まず、レンズ位置決めプレート７５の固定用ピン９３Ａ，９３Ｂをレンズユニット１１の位置決め位置決め穴９５Ａ，９５Ｂに挿入して、レンズユニット１１をレンズ位置決めプレート７５に対して規定の位置に保持させる（Ｓ１）。このとき、プローブユニット１１３は、レンズユニット１１の調整用端子部６３にプローブピン１１１を接触させる。

そして、チャックハンド１１５の挟持部材１１５ａによって撮像素子ユニット１３の外枠１２５を挟み、撮像素子ユニット１３を保持する（Ｓ２）。

レンズユニット１１及び撮像素子ユニット１３の保持完了後、制御部は、レンズユニット１１による合焦点を近似的に求めた近似結像面を算出する（Ｓ３）。近似結像面とは、レンズユニット１１による合焦位置を、三次元座標系で一平面として表したものである。

近似結像面は、概略的には、次のようにして求める。まず、レンズユニット１１を光軸方向（Ｚ軸方向）に沿った複数の撮像位置に移動させ、各撮像位置で測定チャート８９を撮像する。これにより得られる各撮像位置の撮像画像から、最も合焦度合いが高い撮像位置（Ｚ座標）を、撮像画像の複数の画面内位置（Ｘ−Ｙ面内位置）に対してそれぞれ求める。そして、各画面内位置に対する最も合焦度合いが高いＺ座標をＸ−Ｙ面でプロットしたときの、ＸＹＺ軸の三次元座標系で一平面として表される近似面を算出する。この近似面が近似結像面であり、例えば、ａＸ＋ｂＹ＋ｃＺ＋ｄ＝０の式（ａ〜ｄは任意の定数）で表される。

この近似結像面の算出方法についての詳細は、例えば、特開２０１０−２１９８５号公報に記載されているので、必要に応じて参照されたい。

次に、制御部は、撮像素子ユニット１３を保持するチャックハンド１１５を駆動して、
撮像素子の撮像面を、上記の通り求めた近似結像面に一致させる（Ｓ４）。即ち、制御部は、撮像素子ユニット１３をチャックハンド１１５に保持しながら、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向の位置、及びθｘ、θｙの回転角度を変更して、撮像素子ユニット１３の位置及び姿勢を調整する。

上記のように、制御部がレンズユニット１１と撮像素子ユニット１３とを位置合わせした後、制御部は、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３との間に紫外線硬化型接着剤を供給し（Ｓ５）、紫外線ランプを点灯させる（Ｓ６）。レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３は、紫外線硬化型接着剤が硬化することで、調整された位置及び姿勢で固定される。

固定されたレンズユニット１１と撮像素子ユニット１３とを撮像モジュール製造装置２００から取り外すことで（Ｓ７）、撮像モジュールが完成する。

レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３は、紫外線硬化型接着剤により固定できるが、紫外線硬化型接着剤による硬化を、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３との仮固定として利用してもよい。例えば、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３とを仮固定した状態で撮像モジュール製造装置２００から取り出し、清浄処理等の所望の工程を行った後にレンズユニット１１と撮像素子ユニット１３とを、熱硬化型接着剤等によって完全に固定することにより、撮像モジュール１００を製造してもよい。

撮像モジュール製造装置２００においては、レンズユニット１１が、レンズ光軸Ａｘを鉛直方向にしてセットされる。Ｘ方向ＶＣＭ４５、Ｙ方向ＶＣＭ４９は、水平面内にセットされる。そのため、Ｘ方向ＶＣＭ４５とＹ方向ＶＣＭ４９は重力の影響を殆ど受けないが、Ａｘ方向ＶＣＭ４１は重力の影響を受けて、レンズ群１５が鉛直方向に沈下する。そこで、制御部８５は、少なくともＡｘ方向ＶＣＭ４１を駆動して、沈下するレンズ群１５を鉛直方向に持ち上げた状態にしてフォーカス調整を行う。

僅かなセット位置の誤差により、Ｘ方向ＶＣＭ４５とＹ方向ＶＣＭ４９が水平方向から傾斜して重力の影響を受けた場合、その影響をなくすために、制御部８５が、Ｘ方向ＶＣＭ４５とＹ方向ＶＣＭ４９の双方を駆動させてもよい。その場合、より高精度な光軸調整が行える。

また、Ｘ方向ＶＣＭ４５、Ｙ方向ＶＣＭ４９を非駆動状態とし、Ａｘ方向ＶＣＭ４１のみ駆動する場合は、第２の配線部ＥＷ２を、少なくとも駆動が必要なＶＣＭだけの配線に制限することができる。つまり、前述した第２の配線部ＥＷ２の配線数を必要最小限に減らし、撮像モジュール１００の構成を簡略化できる。

撮像モジュール製造装置２００が、レンズユニット１１のレンズ光軸Ａｘを水平方向にしてセットする場合、Ａｘ方向ＶＣＭ４１は重力の影響を殆ど受けない。しかし、Ｘ方向ＶＣＭ４５の移動方向が鉛直方向と一致している場合、Ｘ方向ＶＣＭ４５は重力の影響を受け、レンズ群１５が鉛直方向に沈下する。また、Ｙ方向ＶＣＭ４９の移動方向が鉛直方向と一致している場合、Ｙ方向ＶＣＭ４９は重力の影響を受け、レンズ群１５が鉛直方向に沈下する。また、Ｘ方向ＶＣＭ４５、Ｙ方向ＶＣＭ４９の移動方向が、鉛直方向、水平方向以外の場合、Ｘ方向ＶＣＭ４５及びＹ方向ＶＣＭ４９は共に重力の影響を受け、レンズ群１５が鉛直方向に沈下する。

そのため、制御部８５は、重力の影響を受けるＶＣＭ全てに対して駆動して、沈下するレンズ群１５を鉛直方向に持ち上げる。その場合、重力の影響をキャンセルして高精度な光軸調整が行える。また、駆動する必要のないＶＣＭに対応する配線を設ける必要はないので、第２の配線部ＥＷ２の配線数を必要最小限に減らし、撮像モジュールの構成を簡略化できる。

特に上記の場合では、撮像モジュール製造装置２００は、レンズユニット１１及び撮像素子ユニット１３を、製品にされた撮像モジュールの使用者が撮影するときの姿勢と同じ姿勢で支持することになる。つまり、レンズユニット１１のレンズ光軸ＡｘがＺ軸と平行となり、Ｘ方向ＶＣＭによる駆動方向が水平方向と平行となる。その場合には、Ａｘ方向ＶＣＭとＸ方向ＶＣＭは重力の影響を受けず、Ｙ方向ＶＣＭだけが重力の影響を受ける。したがって、調整時における各駆動部によるレンズの移動は、製品使用時に受ける重力の影響と同じだけの影響を受けることになり、より精度の高い調整が可能となる。

なお、上記の撮像モジュール製造装置とその製造方法は一例であって、他の装置、他の製造方法でレンズユニット１１と撮像素子ユニット１３とを固定してもよい。

＜フレキシブル基板の切断工程＞
次に、フレキシブル基板２１の切断工程について説明する。フレキシブル基板２１の切断は、鋏等を用いて切断する場合、配線を押し潰して短絡させる虞がある。そこで、フレキシブル基板２１は、切断時に配線が短絡することがない超音波カッターにより切断される。

制御部８５は、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３が接着剤により固着された状態となった後、図示しない基板切断部を、図８に示す撮像モジュール製造装置２００のＺ軸に直交する側方から、保持プレート９７とレンズ位置決めプレート７５との間に挿入する。

図１１は基板切断部の概略構成と撮像モジュールとを示す概略構成図である。基板切断部１６１は、ヘッド部１６３と、ヘッド部１６３を支持する図示しない保持部材とを備える。保持部材は、図８に示す支柱８７に固定され、ヘッド部１６３は、保持プレート９７とレンズ位置決めプレート７５との間の切断加工位置とＺ軸から離れた待避位置との間を進退自在に設けられている。

ヘッド部１６３は、保持部材に接続されるプレート１６５と、フレキシブル基板２１に接近又は離反する方向にスライド自在なステージ１６７と、フレキシブル基板２１に当接する押さえ部材１６９を有する押さえ機構１７１と、超音波カッター１７３とを有する。押さえ機構１７１と超音波カッター１７３はステージ１６７に固定されている。超音波カッター１７３は、制御部８５の指示により駆動される発振回路１７５に接続されている。押さえ部材１６９に対面する位置に配置される素子固定基板３１の突起部３０は、ＩＣ等の電子部品１８５が用いられる。この電子部品１８５の外面は、電磁気シールド材で被覆されている。

押さえ機構１７１は、押さえ部材１７６と、押さえ部材１７６を収容する保持部１７７と、押さえ部材１７６を弾性付勢するバネ１７９とを有する。押さえ部材１６９は、素子固定基板３１に向けて出没自在に保持部１７７に支持されている。

超音波カッター１７３は、カッター刃１８１と、カッター刃１８１が装着される超音波振動子を有するカッターホルダ１８３と、発振回路１７５とを備える。カッター刃１８１は、超音波振動子に発振回路１７５からの発振出力が供給されると超音波振動し、このカッター刃１８１に接触する部材を切断する。カッターホルダ１８３は、図示しないスライダ上に配置され、カッター刃１８１をフレキシブル基板２１の延出方向に直交する幅方向へ移動自在に支持している。

上記構成の基板切断部１６１によりフレキシブル基板２１を切断する手順は、次の通りである。
制御部８５は、レンズユニット１１の筐体２３から延出されるフレキシブル基板２１と対面する位置に、基板切断部１６１のヘッド部１６３を移動する。ヘッド部１６３の押さえ部材１６９は、突起部３０との間でフレキシブル基板２１を挟み込むことができるように、素子固定基板３１の突起部３０に対向する位置にセットされる。カッター刃１８１は、レンズユニット１１の筐体２３の側面２３ａから、素子固定基板３１上の突起部３０のレンズユニット１１側端部までの距離Ｗの範囲内に配置される。

このとき、素子固定基板３１を含むレンズユニット１１及び撮像素子ユニット１３は、保持プレート９７（図８参照）に保持された状態になっている。

制御部８５は、ステージ１６７を駆動して、押さえ部材１６９フレキシブル基板２１に当接する位置まで移動させる。すると、押さえ部材１６９は、素子固定基板３１の突起部３０との間にフレキシブル基板２１を挟み、バネ１７９によってフレキシブル基板２１を突起部３０側に弾性付勢する。このとき、突起部３０の頂面が平坦面を有することで、フレキシブル基板２１を、歪ませることなく平坦な状態に保持できる。

次に、制御部８５は、押さえ部材１６９によりフレキシブル基板２１を突起部３０との間に固定した状態で、発振回路１７５を駆動してカッター刃１８１を超音波振動させる。また、制御部８５は、ステージ１６７を駆動して、カッター刃１８１をフレキシブル基板２１に向けて移動させる。

ステージ１６７がフレキシブル基板２１に向けて移動すると、カッター刃１８１はフレキシブル基板２１を切断する。そして、カッターホルダ１８３がフレキシブル基板２１の幅方向（図１１の紙面垂直方向）に移動することで、２箇所の端部３９，３９（図１参照）が切断される。この切断時には、押さえ部材１６９は、バネ１７９を縮退させながらフレキシブル基板２１を押圧し続ける。

図１２Ａ〜Ｃはフレキシブル基板２１の切断工程を段階的に示す工程説明図である。図１２Ａに示すフレキシブル基板２１は、図１２Ｂに示すように、超音波カッター１７３で切断線Ｃ１の位置で切断される。フレキシブル基板２１は、素子固定基板３１の延出側先端までの長さＬの範囲が切断除去領域となる。フレキシブル基板２１の切断後は、図１２Ｃに示すように、フレキシブル基板２１の切断した端部３９を絶縁処理する。端部３９の絶縁処理は、樹脂材料等の絶縁材料１８７を端部３９に塗布することで行われる。端部３９を絶縁処理することで、切断面に露出した配線を覆い、短絡や漏れ電流が生じることを防止する。また、撮像モジュールを電子機器に組み込んだ際に、誤作動の発生を防止できる。

この絶縁処理としては、フレキシブル基板２１の超音波切断後に絶縁材料１８７をディスペンサーにより塗布する、又はスプレー塗布する等の塗布方法が挙げられる。これ以外にも、図１１に示すカッター刃１８１に絶縁材料を予め塗布しておき、超音波切断時にカッター刃１８１に付着した絶縁材料を端部３９に付着させる方法であってもよい。

以上説明したように、上記構成の撮像モジュール製造装置２００、及び基板切断部１６１を用いて製造される撮像モジュール１００は、調整用端子部６３がレンズユニット１１から延出されたフレキシブル基板２１に設けてある。そのため、小型化したレンズユニット１１を使用する場合であっても、調整用端子部の各端子の端子面積が小さくならず、簡単かつ確実にプロービングができる。これにより、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３とを相互に高精度で固定できる。

また、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３とを位置調整する際に、各撮像位置の合焦座標値の取得、近似結像面の算定、近似結像面に基づく調整値の算出、フォーカス調整及びアオリ調整、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３との固定の全工程が自動で行われるので、一定レベル以上の画質を有する量産形の撮像モジュール１００を短時間で大量に製造することができる。また、レンズユニット１１と撮像素子ユニット１３とを固定する際に使用され、固定後に不要となる調整用端子部６３を、固定後にフレキシブル基板２１から切断するため、撮像モジュール１００の完成品を、無駄のない簡単な構成にできる。

なお、上記の撮像モジュール製造装置とその製造方法は一例であって、他の装置、他の製造方法でレンズユニット１１と撮像素子ユニット１３とを固定し、フレキシブル基板２１の一部を切断することでもよい。

＜撮像モジュールの変形例＞
次に、上記した撮像モジュールの変形例を説明する。
図１３は撮像モジュールの変形例を示す平面図である。本変形例の撮像モジュール１１０のフレキシブル基板２２は、前述同様にレンズユニット１１の筐体２３の外部に延出される延出部分を有する。このフレキシブル基板２１の延出部分は、筐体２３の素子固定基板３２の外部接続部２９と突起部３０が配置される側の側面２３ａから延出されている。

また、フレキシブル基板２１Ａの延出部分は、筐体２３からの延出方向に対して直交する方向にも更に延出され、この直交する方向に延出された領域に調整用端子部６３が配置されている。この構成により、素子固定基板３２の長手方向サイズが短い場合でも、フレキシブル基板２１Ａを筐体２３からの延出方向の側方に延長して、調整用端子部６３の配置スペースを広く確保できる。

また、筐体２３からの延出方向の側方に延長した先に調整用端子部６３が配置されることで、撮像モジュール製造装置のプローブユニット１１３（図８参照）の配置自由度が高められ、Ｚ軸に垂直な面内に配置される場合よりも広いスペースで調整用端子部６３が配置可能となる。そのため、調整用端子５９の端子数が増大しても、調整用端子５９の各端子面積を必要十分な大きさで確保できる。

この場合の素子固定基板３２は、突起部３０に外部接続部２９が隣接して配置され、外部接続部２９は延長用フレキシブル基板１９１に接続されている。延長用フレキシブル基板１９１の先端には、実配線接続部１９３が設けられている。実配線接続部１９３は、素子固定基板の外部接続部２９と同様の構成であってもよく、ダイボンドされる接続用パッドを有するフィルム基板面であってもよい。

本構成の撮像モジュール１１０においては、フレキシブル基板２２を切断する位置を、前述と同じ切断線Ｃ１としてもよいが、フレキシブル基板２２が素子固定基板３２の基板面から外れる境界線となる素子固定基板３２の外側面１９５に沿った切断線Ｃ２としてもよい。つまり、一部を切断した後のフレキシブル基板２２は、素子固定基板３２とレンズ光軸Ａｘの方向（素子固定基板３２の基板面法線方向）に重なり合う領域内に配置されていれば、周囲と干渉することがなく、撮像モジュール１１０の小型化が図れる。

フレキシブル基板の構成としては、更に各種の変形例を挙げることができる。
図１４は３方向にユニット接続部３７Ａを設けたフレキシブル基板の一部を示す一部平面図である。この場合のフレキシブル基板２１Ｂは、折り曲げ線Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３で直角に折り曲げられる。そして、各ユニット接続部３７Ａ，３７Ａ，３７Ａが、素子固定基板側に対応して設けられた３箇所のユニット接続部（図示略）に対し、それぞれ垂下して対向配置される。

この構成によれば、レンズユニットにユニット接続部３７Ａが増設されるため、レンズユニットの高機能化に伴って接続端子数が増大する場合にも容易に対応できる。その際、個々の接続端子を小型化させずに済み、ユニット接続部３７Ａと電気的に接続される相手側との位置合わせ精度を高める必要がない。

図１５Ａ及び図１５Ｂは、フレキシブル基板の開口部の変形例を示すフレキシブル基板の一部を示す一部平面図である。図１５Ａに示すフレキシブル基板２１Ｃは、開口部２１ａが、円形孔部２１ａ−１と、円形孔部２１ａ−１から離間して形成される矩形孔部２１ａ−２とにより構成される。この場合、フレキシブル基板２１Ｃの切断時には、レンズバレル１７（図２参照）が挿入される円形孔部２１ａ−１の内周に引張力が作用するが、円形孔部２１ａ−１が単独で形成されるため、円形孔部２１ａ−１の変形が抑えられる。その結果、フレキシブル基板２１Ｃを、切断線Ｃに沿って正確に切断できる。

図１５Ｂに示すフレキシブル基板２１Ｄには、矩形孔部を設けずに、円形孔部２１ａ−１のみが形成されている。この場合も、フレキシブル基板２１Ｄの切断時にフレキシブル基板２１Ｄの切断位置がずれることを防止できる。

また、レンズユニット１１において、レンズ駆動装置１９と、ユニット接続部３７Ａと、フレキシブル基板２１とを互いに電気的に接続する形態は、上記したレンズ駆動装置１９とユニット接続部３７Ａとを接続する第１の配線の途中から、レンズ駆動装置１９と調整用端子部を有するフレキシブル基板２１とを接続する第２の配線を分岐させる形態に限らない。

図１６Ａ〜Ｅに、第１の配線と第２の配線の接続形態例を示すレンズユニットの概略構成図を示す。図１６Ａは、上記した第１の配線部ＥＷ１の途中から第２の配線部ＥＷ２を分岐させて設けた接続形態を示す。第１の配線部ＥＷ１は、第２の配線部ＥＷ２と兼用される共通配線ＷＥｃを少なくとも一部に有する。この場合、配線の共通化によって配線部材を節約できる。

図１６Ｂは、レンズ駆動装置１９のブロックをフレキシブル基板２１にダイボンド接続した接続形態を示す。第１の配線部ＥＷ１は図１６Ａと同様であり、第２の配線部ＥＷ２はダイボンド接続部を含んで構成される。この場合、第２の配線部ＥＷ２を簡単にフレキシブル基板２１に電気的に接続できる。

図１６Ｃは、フレキシブル基板２１への第２の配線部ＥＷ２を、ユニット接続部３７Ａを介して第１の配線部ＥＷ１を延長して設けた接続形態を示す。この場合、第１の配線部ＥＷ１と第２の配線部ＥＷ２は、共にユニット接続部３７Ａと接続されている。即ち、一系統の配線の中間部分にユニット接続部３７Ａを設けた構成となっている。

図１６Ｄは、第１の配線部ＥＷ１と第２の配線部ＥＷ２を、レンズ駆動装置１９から互いに独立した配線で接続した接続形態を示す。この場合、第２の配線部ＥＷ２を第１の配線部ＥＷ１とは関係なく、異なる方向に配線することができる。このため、配線のレイアウトが容易となり、設計自由度を向上できる。

図１６Ｅは、レンズ駆動装置１９のブロックを実装する基板ＰＢに、ユニット接続部３７Ａとフレキシブル基板２１とを電気的に接続する複数の配線ライン（図示例では２系統）を予め設けておき、レンズ駆動装置１９が、いずれかの配線ラインと選択的に接続される接続形態を示す。この場合、基板ＰＢに形成される第１の配線ラインＥＬ１は、レンズ駆動装置１９のユニット接続部３７Ａと電気的に接続する配線に接続部１９７Ａで接続され、第１の配線部ＥＷ１として機能する。第２の配線ラインＥＬ２は、レンズ駆動装置１９のフレキシブル基板２１と電気的に接続する配線に接続部１９７Ｂで接続され、第２の配線部ＥＷ２として機能する。

この構成によれば、レンズ駆動装置１９に電気的に接続される第１の配線部ＥＷ１と第２の配線部ＥＷ２とを個別に形成でき、接続部１９７Ａ，１９７Ｂで半田接続する等の簡単な工程により各配線を形成できる。なお、基板ＰＢは、フレキシブル基板２１を共通に用いて構成されていてもよい。その場合、部品点数を削減できる。

上記したフレキシブル基板２１は、いずれも、レンズユニット１１の筐体２３から素子固定基板３１の外部接続部２９を臨む方向に延設される構成であるが、これに限らない。

図１７Ａ及び図１７Ｂは、素子固定基板の変形例を示す撮像モジュールの概略平面図である。図１７Ａに示すように、素子固定基板は、撮像素子を支持する支持部２０１と、撮像素子ユニットの外部と電気的に接続される外部接続部２９と、支持部２０１と外部接続部２９とを電気的及び物理的に接続する素子配線部２０３とを有する。この場合、支持部２０１から素子配線部２０３が延出される方向に向けて筐体２３からフレキシブル基板を延設する。即ち、図中矢印Ｐ１で示す方向にフレキシブル基板を延出すればよい。

また、図１７Ｂに示すように、素子固定基板は、撮像素子を支持する支持部２０１と、撮像素子ユニットの外部と電気的に接続される外部接続部２９Ａ，２９Ｂと、支持部２０１と外部接続部２９Ａとを電気的及び物理的に接続する素子配線部２０３Ａと、支持部２０１と外部接続部２９Ｂとを電気的及び物理的に接続する素子配線部２０３Ｂとを有する。この場合、支持部２０１に対して素子配線部２０３Ａが接続される方向Ｐ２と、支持部２０１から素子配線部２０３Ｂが延出される方向Ｐ３のうち、少なくともいずれかの方向にフレキシブル基板を延設すればよい。

以上説明した撮像モジュールは、図示しない基板等の支持部材に支持され、デジタルカメラや車載用カメラ等の電子機器の筐体内に配置されて、撮像装置として供される。撮像モジュールの組み込み対象としては、上記の他、例えば、ＰＣ（Personal Computer）内蔵型又は外付け型のＰＣ用カメラ、カメラ付きインターフォン、或いは、撮影機能を有する携帯端末装置等の電子機器を挙げることができる。携帯端末装置としては、例えば、携帯電話機やスマートフォン、ＰＤＡ(Personal Digital Assistants)、携帯型ゲーム機、腕時計型端末、頭部に装着されて眼鏡のレンズ部にディスプレイを有する眼鏡型端末等が挙げられる。

本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、実施形態の各構成を相互に組み合わせることや、明細書の記載、並びに周知の技術に基づいて、当業者が変更、応用することも本発明の予定するところであり、保護を求める範囲に含まれる。
例えば、上記した第２の配線部は、フレキシブル基板２１で形成する以外にも、導線の外側を絶縁層で被覆したケーブルや、他の切断可能な配線基板で形成してもよい。

本明細書には次の事項が開示されている。
（１） レンズ群を有するレンズユニットと、上記レンズユニットに固定され、撮像素子を有する撮像素子ユニットと、を具備する撮像モジュールであって、
上記レンズユニットは、
上記レンズ群を構成する複数のレンズのうち少なくとも一部のレンズを、上記撮像素子に対して上記レンズ群の光軸方向に変位させるフォーカス駆動部と、
上記フォーカス駆動部を収容する筐体と、
上記撮像素子ユニットと電気的に接続する第１の接続部と、
上記フォーカス駆動部と上記第１の接続部とを電気的に接続する第１の配線部と、
上記第１の配線部が接続された上記フォーカス駆動部に電気的に接続される第２の配線部と、
を備え、
上記第２の配線部は、上記筐体の内部から外部に延設され、上記第２の配線部の配線は、上記延設された第２の配線部の端部における端面まで延設されている撮像モジュール。（２） （１）に記載の撮像モジュールであって、
上記レンズ群を構成する複数のレンズのうち少なくとも一部のレンズを、上記レンズ群の光軸方向に垂直な面内における第１の方向に駆動する第１の像振れ補正駆動部と、
上記レンズ群の光軸方向に垂直な面内における上記第１の方向に対して直交する第２の方向に上記レンズを駆動する第２の像振れ補正駆動部と、
を備える撮像モジュール。
（３） （１）又は（２）に記載の撮像モジュールであって、
上記第２の配線部は、フレキシブル基板を含んで構成されている撮像モジュール。
（４） （１）乃至（３）のいずれか一つに記載の撮像モジュールであって、
上記第２の配線部は、上記筐体に形成された開口から上記筐体の外部に延出されている撮像モジュール。
（５） （１）乃至（４）のいずれか一つに記載の撮像モジュールであって、
上記第２の配線部は、上記第２の配線部を上記レンズ群の光軸方向に投影した場合の上記第２の配線部に対する投影領域が、上記撮像素子ユニットを上記光軸方向に投影した場合の上記撮像素子ユニットの投影領域内になる位置に配置される撮像モジュール。
（６） （１）乃至（５）のいずれか一つに記載の撮像モジュールであって、
上記第２の配線部の延設された端部における、少なくとも上記第２の配線部の配線の端面は、絶縁材料で覆われている撮像モジュール。
（７） （１）乃至（６）のいずれか一つに記載の撮像モジュールであって、
上記撮像素子ユニットは、
上記撮像素子を支持する支持部と、上記撮像素子ユニットの外部と電気的に接続する外部接続部と、上記支持部と上記外部接続部とを接続する素子配線部とを備え、
上記第２の配線部の延出される方向は、上記支持部から上記素子配線部が延出される方向である撮像モジュール。
（８） （７）に記載の撮像モジュールであって、
上記撮像素子ユニットは、上記支持部が上記撮像素子を支持する側と同じ側に配置された突起部を有し、
上記第２の配線部の延設された端部は、上記筐体と上記突起部との間に配置されている撮像モジュール。
（９） （８）に記載の撮像モジュールであって、
上記突起部の頂面は、上記撮像素子の撮像面に対して平行な平坦面を有する撮像モジュール。
（１０） （８）又は（９）に記載の撮像モジュールであって、
上記突起部は、上記支持部又は上記素子配線部に実装される電子部品を用いて形成されている撮像モジュール。
（１１） （８）乃至（１０）のいずれか一つに記載の撮像モジュールであって、
上記筐体と上記突起部との間に隙間を有する撮像モジュール。
（１２） （１）乃至（１１）のいずれか一つに記載の撮像モジュールであって、
上記第２の配線部は、上記筐体の側面のうち、上記第１の接続部が配置される側面とは異なる側面から延出されている撮像モジュール。
（１３） （１）乃至（１２）のいずれか一つに記載の撮像モジュールであって、
上記第２の配線部は、上記レンズ群の光軸を面上に沿って含み上記第２の配線部が上記筐体から延出する方向に平行な中心面を挟んで、少なくとも二つに分断された複数の分断配線部を有する撮像モジュール。
（１４） （１）乃至（１３）のいずれか一つに記載の撮像モジュールであって、
上記撮像素子の画素ピッチが、１μｍ以下である撮像モジュール。
（１５） （１）乃至（１３）のいずれか一つに記載の撮像モジュールを備えた電子機器。
（１６） レンズ群を有するレンズユニットと、上記レンズユニットに固定され、撮像素子を有する撮像素子ユニットと、を具備する撮像モジュールの製造方法であって、
上記レンズユニットは、
上記レンズ群を構成する複数のレンズのうち少なくとも一部のレンズを、上記撮像素子に対して変位させるフォーカス駆動部と、
上記フォーカス駆動部を収容する筐体と、
上記撮像素子ユニットと電気的に接続する第１の接続部と、
上記フォーカス駆動部と上記第１の接続部とを電気的に接続する第１の配線部と、
上記第１の配線部が接続された上記フォーカス駆動部に電気的に接続される第２の配線部と、を備え、
上記撮像モジュールの製造方法は、
上記レンズユニット及び上記撮像素子ユニットを準備する工程と、
測定チャートに直交する軸上に、上記レンズユニットと、上記撮像素子ユニットと、をセットする工程と、
上記測定チャート、上記レンズユニット、上記撮像素子ユニットの少なくともいずれか１つを、上記軸上の複数の撮像位置に順次に移動して、上記第２の配線部を使用して上記フォーカス駆動部を駆動した状態で、上記撮像素子により上記レンズユニットによって結像される測定チャートを撮像することにより撮像画像を取得する工程と、
各撮像位置で取得された上記撮像画像を用いて、上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとの位置と姿勢を調整する調整量を算出する工程と、
算出された上記調整量に応じて、上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとを相対移動させる工程と、
相対移動された上記レンズユニットと上記撮像素子ユニットとを固定する工程と、
上記第２の配線部の配線を含む一部を切断する工程と、
を含む撮像モジュールの製造方法。
（１７） （１６）に記載の撮像モジュールの製造方法であって、
超音波カッターを用いて上記第２の配線部を切断する撮像モジュールの製造方法。
（１８） （１６）又は（１７）に記載の撮像モジュールの製造方法であって、
上記第２の配線部を切断した後に、上記第２の配線部の切断面を絶縁処理する工程を更に含む撮像モジュールの製造方法。
（１９） （１６）乃至（１８）のいずれか１つに記載の撮像モジュールの製造方法であって、上記撮像素子の画素ピッチが１μｍ以下である撮像モジュールの製造方法。

１１ レンズユニット
１３ 撮像素子ユニット
１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄ レンズ
１９ レンズ駆動装置
１９Ａ フォーカス駆動装置
１９Ｂ 像振れ補正駆動装置
２１ フレキシブル基板
２２ａ，２２ｂ 分断配線部
２３ 筐体
２３ａ 側面
２７ 撮像素子
２９ 外部接続部
３０ 突起部
３１ 素子固定基板
３７Ａ，３７Ｂ ユニット接続部（第１の接続部）
３８ 開口
３９ 端部
５９ 調整用接続端子
６３ 調整用接続部
１００ 撮像モジュール
１６１ 基板切断部
１７３ 超音波カッター
１８１ カッター刃
１８５ 電子部品
１８７ 絶縁材料
２００ 撮像モジュール製造装置
２０１ 支持部
２０３，２０３Ａ，２０３Ｂ 素子配線部
ＥＷ１ 第１の配線部
ＥＷ２ 第２の配線部

Claims (19)

1. レンズ群を有するレンズユニットと、前記レンズユニットに固定され、撮像素子を有する撮像素子ユニットと、を具備する撮像モジュールであって、
   前記レンズユニットは、
   前記レンズ群を構成する複数のレンズのうち少なくとも一部のレンズを、前記撮像素子に対して前記レンズ群の光軸方向に変位させるフォーカス駆動部と、
   前記フォーカス駆動部を収容する筐体と、
   前記撮像素子ユニットと電気的に接続される第１の接続部と、
   前記フォーカス駆動部と前記第１の接続部とを電気的に接続する第１の配線部と、
   前記第１の配線部が接続された前記フォーカス駆動部に電気的に接続される第２の配線部と、
   を備え、
   前記第２の配線部は、前記筐体の内部から外部に延設され、前記第２の配線部の配線は、前記延設された第２の配線部の端部における端面まで延設されている撮像モジュール。
   
2. 請求項１に記載の撮像モジュールであって、
   前記レンズ群を構成する複数のレンズのうち少なくとも一部のレンズを、前記レンズ群の光軸方向に垂直な面内における第１の方向に駆動する第１の像振れ補正駆動部と、
   前記レンズ群の光軸方向に垂直な面内における前記第１の方向に対して直交する第２の方向に前記レンズを駆動する第２の像振れ補正駆動部と、
   を備える撮像モジュール。
   
3. 請求項１又は請求項２に記載の撮像モジュールであって、
   前記第２の配線部は、フレキシブル基板を含んで構成されている撮像モジュール。
   
4. 請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の撮像モジュールであって、
   前記第２の配線部は、前記筐体に形成された開口から前記筐体の外部に延出されている撮像モジュール。
   
5. 請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の撮像モジュールであって、
   前記第２の配線部は、前記第２の配線部を前記レンズ群の光軸方向に投影した場合の前記第２の配線部に対する投影領域が、前記撮像素子ユニットを前記光軸方向に投影した場合の前記撮像素子ユニットの投影領域内になる位置に配置される撮像モジュール。
   
6. 請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載の撮像モジュールであって、
   前記第２の配線部の延設された端部における、少なくとも前記第２の配線部の配線の端面は、絶縁材料で覆われている撮像モジュール。
   
7. 請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の撮像モジュールであって、
   前記撮像素子ユニットは、
   前記撮像素子を支持する支持部と、前記撮像素子ユニットの外部と電気的に接続する外部接続部と、前記支持部と前記外部接続部とを接続する素子配線部とを備え、
   前記第２の配線部の延出される方向は、前記支持部から前記素子配線部が延出される方向である撮像モジュール。
   
8. 請求項７に記載の撮像モジュールであって、
   前記撮像素子ユニットは、前記支持部が前記撮像素子を支持する側と同じ側に配置された突起部を有し、
   前記第２の配線部の延設された端部は、前記筐体と前記突起部との間に配置されている撮像モジュール。
   
9. 請求項８に記載の撮像モジュールであって、
   前記突起部の頂面は、前記撮像素子の撮像面に対して平行な平坦面を有する撮像モジュール。
   
10. 請求項８又は請求項９に記載の撮像モジュールであって、
    前記突起部は、前記支持部又は前記素子配線部に実装される電子部品を用いて形成されている撮像モジュール。
    
11. 請求項８乃至請求項１０のいずれか一項に記載の撮像モジュールであって、
    前記筐体と前記突起部との間に隙間を有する撮像モジュール。
    
12. 請求項１乃至請求項１１のいずれか一項に記載の撮像モジュールであって、
    前記第２の配線部は、前記筐体の側面のうち、前記第１の接続部が配置される側面とは異なる側面から延出されている撮像モジュール。
    
13. 請求項１乃至請求項１２のいずれか一項に記載の撮像モジュールであって、
    前記第２の配線部は、前記レンズ群の光軸を面上に沿って含み前記第２の配線部が前記筐体から延出する方向に平行な中心面を挟んで、少なくとも二つに分断された複数の分断配線部を有する撮像モジュール。
    
14. 請求項１乃至請求項１３のいずれか一項に記載の撮像モジュールであって、
    前記撮像素子の画素ピッチが、１μｍ以下である撮像モジュール。
    
15. 請求項１乃至請求項１４のいずれか一項に記載の撮像モジュールを備えた電子機器。
    
16. レンズ群を有するレンズユニットと、前記レンズユニットに固定され、撮像素子を有する撮像素子ユニットと、を具備する撮像モジュールの製造方法であって、
    前記レンズユニットは、
    前記レンズ群を構成する複数のレンズのうち少なくとも一部のレンズを、前記撮像素子に対して変位させるフォーカス駆動部と、
    前記フォーカス駆動部を収容する筐体と、
    前記撮像素子ユニットと電気的に接続される第１の接続部と、
    前記フォーカス駆動部と前記第１の接続部とを電気的に接続する第１の配線部と、
    前記第１の配線部が接続された前記フォーカス駆動部に電気的に接続される第２の配線部と、を備え、
    前記撮像モジュールの製造方法は、
    前記レンズユニット及び前記撮像素子ユニットを準備する工程と、
    測定チャートに直交する軸上に、前記レンズユニットと、前記撮像素子ユニットと、をセットする工程と、
    前記測定チャート、前記レンズユニット、前記撮像素子ユニットの少なくともいずれかを１つを、前記軸上の複数の撮像位置に順次に移動して、前記第２の配線部を使用して前記フォーカス駆動部を駆動した状態で、前記撮像素子により前記レンズユニットによって結像される測定チャートを撮像することにより撮像画像を取得する工程と、
    各撮像位置で取得された前記撮像画像を用いて、前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとの位置と姿勢を調整する調整量を算出する工程と、
    算出された上記調整量に応じて、前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとを相対移動させる工程と、
    相対移動された前記レンズユニットと前記撮像素子ユニットとを固定する工程と、
    前記第２の配線部の配線を含む一部を切断する工程と、
    を含む撮像モジュールの製造方法。
    
17. 請求項１６に記載の撮像モジュールの製造方法であって、
    超音波カッターを用いて前記第２の配線部を切断する撮像モジュールの製造方法。
    
18. 請求項１６又は請求項１７に記載の撮像モジュールの製造方法であって、
    前記第２の配線部を切断した後に、前記第２の配線部の切断面を絶縁処理する工程を更に含む撮像モジュールの製造方法。
    
19. 請求項１６乃至請求項１８のいずれか一項に記載の撮像モジュールの製造方法であって、
    前記撮像素子の画素ピッチが、１μｍ以下である撮像モジュールの製造方法。

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