WO2015003433A1 - 基板清洗装置 - Google Patents

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WO2015003433A1
WO2015003433A1 PCT/CN2013/085214 CN2013085214W WO2015003433A1 WO 2015003433 A1 WO2015003433 A1 WO 2015003433A1 CN 2013085214 W CN2013085214 W CN 2013085214W WO 2015003433 A1 WO2015003433 A1 WO 2015003433A1
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push rod
transmission
substrate
gear
substrate cleaning
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PCT/CN2013/085214
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English (en)
French (fr)
Inventor
马青青
侯智
吴代吾
杨子衡
张洪波
王百强
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BOE Technology Group Co Ltd
Hefei BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
BOE Technology Group Co Ltd
Hefei BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
    • B08B3/024—Cleaning by means of spray elements moving over the surface to be cleaned
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
    • B08B3/022—Cleaning travelling work

Definitions

  • Embodiments of the invention relate to a substrate cleaning apparatus. Background technique
  • Cleaning is a very important part of the production process of the substrate used for flat panel displays. Whether it is before the substrate I3 ⁇ 4 or after the substrate production process is completed, the cleaning effect will directly affect the product quality of the substrate.
  • Embodiments of the present invention provide a substrate cleaning apparatus capable of improving the cleaning effect on a substrate surface under a small influence on a moving speed of a substrate.
  • An aspect of the invention provides a substrate cleaning apparatus, comprising: a housing having a cleaning chamber therein; a plurality of shower pipes pivotally mounted to the housing and arranged side by side along the moving direction of the substrate, each liquid port, One end of each of the spray pipes has a transmission gear fixed coaxially therewith; a drive system connected to the drive wheel to drive the spray pipe to rotate reciprocally with the frequency through the transmission gear, wherein a part of the spray The reciprocating direction of the shower pipe is opposite to the reciprocating direction of the other portion of the sprinkler pipe.
  • the liquid is continuously injected into the shower pipe through the external conveying pipe, and the liquid in the shower pipe is sprayed toward the surface of the substrate through the liquid discharging port. Since each spray pipe rotates reciprocally axially with the same frequency, the axial reciprocal rotation of the spray pipe drives the liquid continuously ejected from the spray port to reciprocate, so that the liquid is ejected from the spray port.
  • the angle between the direction and the substrate changes regularly, thereby ensuring that more liquid can be directly injected into the channel, groove or slit of the substrate surface, thereby improving the channel, groove or narrowness of the substrate surface.
  • the cleaning effect of residual impurities in the seam is provided by the embodiment of the present invention.
  • the reciprocating direction of the two parts of the spray pipe is opposite, the reciprocating direction of the liquid continuously discharged from the spray ports on the two parts of the spray pipe is reversed, so that the liquid on the two parts of the spray pipe opposite to the spray direction is sprayed.
  • the direction in which the liquid ports are ejected is opposite, and the pushing effect and the obstructing effect of the liquid in the opposite direction of the ejection against the substrate cancel each other, and the influence of the impact of the liquid on the running speed of the substrate on the transporting device is reduced. Therefore, the substrate cleaning apparatus provided by the present invention can improve the cleaning effect on the surface of the substrate on the premise that the influence on the moving speed of the substrate is small.
  • FIG. 1 is a schematic view showing a winding direction of a conveyor belt in a first type of transmission mechanism of a substrate cleaning apparatus according to Embodiment 1 of the present invention
  • FIG. 2 is a schematic diagram of a mechanism of a shower pipe in a substrate cleaning device according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 3 is another winding of a conveyor belt in a first type of transmission mechanism of a substrate cleaning device according to Embodiment 1 of the present invention
  • FIG. 4 is a schematic structural view of a second transmission mechanism in a substrate cleaning apparatus according to Embodiment 2 of the present invention.
  • FIG. 5 is a schematic structural view of a third transmission mechanism of a substrate cleaning apparatus according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 6 is a schematic diagram showing driving principles of another driving system in a substrate cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • Fig. 7 is a schematic view showing the structure of a fourth type of transmission mechanism of the substrate cleaning apparatus according to the fourth embodiment of the present invention. detailed description
  • a first embodiment of the present invention provides a substrate cleaning apparatus including: a housing having a cleaning chamber therein; pivotally mounted on the housing and distributed along the moving direction a of the substrate 1 a plurality of spray pipes 2, each of which has a plurality of liquid discharge ports 21 for guiding the liquid in the spray pipe 2 to the cleaned surface of the substrate 1, and one end of each of the spray pipes 2 has a coaxial
  • the fixed transmission gear 3; the drive system 3 drives the spray pipe 2 to rotate the drive system 4 at the same frequency, wherein the reciprocal rotation direction of a part of the spray pipe 2 is opposite to the reciprocal rotation direction of the other part of the spray pipe 2.
  • the driving system 4 drives a part of the transmission gear 3 to reciprocally rotate counterclockwise in a counterclockwise manner and a clockwise manner, and drives a spray fixed coaxially with each of the transmission gears 3 of the partial transmission gears 3.
  • the pipe 2 is also axially reciprocally rotated counterclockwise and then clockwise; at the same time, the drive system 4 also drives another part of the transmission gear 3 to rotate axially in a clockwise, backward counterclockwise manner to drive another portion of the spray.
  • the pipe 2 is axially reciprocally rotated in a clockwise, backward counterclockwise manner.
  • the frequency of the axial reciprocating rotation of the two transmission gears 3 is the same.
  • the shower pipe 2 communicates with an external transfer pipe (not shown), and the external transfer pipe continuously injects the cleaning liquid into the shower pipe 2.
  • the liquid in the shower pipe 2 is sprayed through the liquid discharge port 21 toward the surface of the substrate 1 placed below.
  • Each of the spray pipes 2 is driven to continuously eject from the liquid discharge port 21 while reciprocatingly rotating at the same frequency.
  • the liquid reciprocates to make a regular change in the angle between the discharge direction of the liquid from the liquid discharge port 21 and the substrate 1, thereby ensuring that more liquid can be directly injected into the channel, the groove or the slit of the surface of the substrate 1.
  • the cleaning effect on the residual impurities in the grooves, grooves or slits on the surface of the substrate 1 is improved.
  • the reciprocating rotation directions of the two-part spray pipe 2 are opposite, the reciprocating swing directions of the liquid continuously discharged from the liquid discharge port 21 on the two-part spray pipe 2 are reversed, so that the two parts of the spray pipe 2 having opposite rotation directions are opposite.
  • the liquid is ejected from the liquid ejecting port 21 in the opposite direction, and the liquid in the opposite direction of the ejecting action cancels the pushing effect and the obstructing effect of the substrate 1, thereby reducing the influence of the impact of the liquid on the running speed of the substrate 1 on the transporting device.
  • the substrate cleaning apparatus provided in this embodiment can improve the cleaning effect on the surface of the substrate on the premise that the influence on the moving speed of the substrate is small.
  • the number of the two-part spray pipes 2 having the opposite directions of reciprocal rotation is the same; for example, the number of the liquid discharge ports 21 of the two portions of the spray pipes 2 is the same, and are arranged opposite to each other or staggered from each other.
  • the pushing effect and the obstructing effect on the movement of the substrate 1 can be completely offset, to a greater extent.
  • the effect of the impact of the liquid on the speed of operation of the substrate 1 on the transport equipment is reduced.
  • Fig. 3 shows a substrate cleaning apparatus according to a variant of the first embodiment of the invention, which differs from the embodiment shown in Fig. 1 in that the arrangement of the drive system 4 is slightly different.
  • the driving system 4 of the substrate cleaning apparatus includes: a driving motor 41; a driving mechanism 42 for driving a plurality of transmission gears 3 to reciprocately rotate, and a power input end and driving of the transmission mechanism 42
  • the output shaft of the motor 41 is drivingly connected.
  • the drive motor 41 serves as a power output device, and the output shaft of the drive motor 41 transmits power to the transmission gears 3 through the transmission mechanism 42, and the transmission gears 42 drive the transmission gears 3 to achieve axial reciprocating motion.
  • the transmission mechanism 42 includes: a driving wheel 421 fixed coaxially with an output shaft of the driving motor 41; a connecting rod 422 whose end is hinged to the driving wheel 421; and a hinged end of the connecting rod 422
  • the transition gear 423, the driving wheel 421, the connecting rod 422, and the transition gear 423 form a four-bar linkage mechanism; a conveyor belt 424 coupled to the plurality of transmission gears 3, the transition gear 423; at least one tensioning pulley for tensioning the conveyor belt 424 425.
  • Both ends of the link 422 are rotatably connected to a pin (not shown) perpendicular to the link 422, respectively.
  • the pin of the connecting rod 422 is fixed to the driving wheel 421, and the pin of the other end is fixed at the transition.
  • the link 422 is hinged between the driving wheel 421 and the transition gear 423 such that the driving wheel 421, the connecting rod 422 and the transition gear 423 form a four-bar linkage.
  • the driving motor 41 can drive the transition gear 423 to reciprocally rotate in an axial direction within a certain angle range, thereby driving the conveying belt 424 connected to the transition gear 423 to reciprocate, and the conveying belt 424 reciprocates while driving the connected
  • the transmission gear 3 rotates in the axial direction.
  • a spray pipe 2 axially fixed to each of the transmission gears 3 reciprocally rotates with the transmission gear 3, thereby driving the liquid continuously ejected from the liquid discharge port 21 of the spray pipe 2 to reciprocate and swing, so that the liquid is discharged from the liquid discharge port.
  • the angle between the direction of ejection 21 and the substrate 1 placed underneath changes regularly, which improves the cleaning effect of the substrate cleaning device on the surface of the substrate, and reduces the influence of the liquid on the running speed of the substrate.
  • the reciprocating direction of rotation of each of the transmission gears 3 is adjusted to change the reciprocating direction of the spray duct 2.
  • the plurality of transmission gears 3 form a plurality of gear sets 31 adjacent in sequence, and the conveyor belts 424 on the transmission gears 3 of any two adjacent gear sets 31 are wound in opposite directions.
  • the driving motor 41 drives the conveying belt 424 to reciprocate by the four-bar linkage mechanism formed by the driving wheel 421, the connecting rod 422 and the conveying belt 424, and the conveying belt 424 reciprocates to drive the transmission gear 3 to reciprocate in the axial direction.
  • the conveying belt 424 moves in one direction, the conveying belt 424 rotates in the opposite direction to the opposite transmission gear 3, and the rotation direction of the spraying duct 2 driven by the oppositely rotating transmission gear 3 is also reversed, thereby making the rotation direction opposite.
  • the liquid in the two-part spray pipe 2 is ejected from the liquid discharge port 21 in the opposite direction, and the liquid in the opposite direction of the discharge direction cancels the pushing effect and the hindrance effect of the substrate 1 to reduce the impact of the liquid on the substrate 1 during transportation.
  • the effect of running speed on the device is ejected from the liquid discharge port 21 in the opposite direction, and the liquid in the opposite direction of the discharge direction cancels the pushing effect and the hindrance effect of the substrate 1 to reduce the impact of the liquid on the substrate 1 during transportation.
  • each of the gear sets 31 described above includes at least one drive gear 3.
  • each of the above gear sets 31 includes a transmission gear 3, and the conveyor belts 424 on any two adjacent transmission gears 3 are wound in opposite directions.
  • each of the above gear sets 31 includes two transmission gears 3, and the transmission belts 424 on the two transmission gears 3 of the same gear set 31 are wound in the same direction, and any two adjacent gear sets.
  • the transfer belt 424 on the drive gear 3 of 31 is wound in the opposite direction.
  • FIG. 4 is a structural diagram showing a second type of transmission mechanism in a substrate cleaning device according to Embodiment 2 of the present invention; Intention.
  • FIG. 5 is a schematic structural diagram of a third type of transmission mechanism in a substrate cleaning apparatus according to Embodiment 3 of the present invention.
  • FIG. 7 is a schematic structural diagram of a fourth type of transmission mechanism in a substrate cleaning apparatus according to Embodiment 4 of the present invention.
  • the plurality of drive gears 3 form a plurality of gear sets 32 each having two intermeshing drive gears.
  • the transmission mechanism 42 includes: a driving wheel 421 forming a crank slider mechanism, a link 422, a slide rail 426, and a push rod 427, and a connection
  • the push rod 427 and one of the gear sets 32, the linear motion of the push rod 427, is converted into a shifting mechanism of the circumferential movement of the transmission gear 3.
  • the driving wheel 421 is coaxially fixed with the output shaft of the driving motor 41; one end of the connecting rod 422 is hinged to the driving wheel 421, and the other end is hinged to one end of the push rod 427;
  • the sliding rail 426 is fixed relative to the housing and moves along the substrate 1.
  • the direction a extends; the push rod 427 is slidably fitted to the slide rail 426.
  • the two ends of the connecting rod 422 are respectively rotatably connected to a pin perpendicular to the connecting rod 422.
  • the pin of one end of the connecting rod 422 is fixed on the driving wheel 421, and the pin of the other end of the connecting rod 422 is fixed at one end of the push rod 427.
  • the link 422 is hinged between the driving wheel 421 and the push rod 427. Since the push rod 427 is slidably disposed in the sliding rail 426, the driving wheel 421, the connecting rod 422 and the transition gear 423 form a crank slider mechanism.
  • the drive motor 41 drives the push rod 427 to reciprocate linearly in the slide rail 426 by the crank slider mechanism.
  • the push rod 427 drives the one of the gear sets 32 to reciprocally rotate by the shifting mechanism, because the same gear set 32
  • the transmission gear 321 and the transmission gear 322 mesh with each other, so the transmission gear 321 and the transmission gear 322 reciprocally rotate in the opposite direction of the same frequency, thereby converting the linear motion of the push rod 427 into the circumferential movement of the transmission gear 321.
  • the reciprocating directions of the spray pipes 2 connected to the transmission gears 321 and the transmission gears 322 of any one of the gear sets 32 are opposite, so that the number of the two-part spray pipes 2 having the opposite directions of reciprocal rotation is the same, and is reduced to a greater extent.
  • Fig. 6 is a schematic view showing the driving principle of another driving system in the substrate cleaning apparatus, for example, which can be used to replace the driving system in the substrate cleaning apparatus of the embodiment shown in Figs. 4 and 5.
  • the transmission mechanism 42 for driving the plurality of transmission gears 3 to reciprocally rotate includes a cam 5 forming a cam linkage mechanism, a slide rail 426 and a push rod 427, and a connecting push rod 427 and one of each of the gear sets 32.
  • the gear 321 and the switching mechanism cam 5 for converting the linear motion of the push rod 427 into the circumferential movement of the transmission gear 3 are mounted on the output shaft of the drive motor 41; the slide rail 426 is relatively fixed to the housing and extends along the moving direction a of the substrate 1.
  • the push rod 427 slides with the slide rail 426, and the push rod 427 One end is fitted to the cam 5.
  • the output shaft of the driving motor 41 is mounted with a cam 5 having a guiding groove 51.
  • the push rod 427 is slidably disposed in the sliding rail 426, and one end is fitted into the guiding groove 51 of the cam 5 by a roller, so that the cam 5 and the push rod 427 are engaged.
  • the slide rail 426 forms a cam linkage mechanism.
  • the driving motor 41 drives the push rod 427 to reciprocate linearly in the sliding rail 426 by the cam link mechanism.
  • the push rod 427 drives the one of the gear sets 32 to reciprocally rotate by the shifting mechanism, and the transmission gear 321 drives the meshing gear 321 to mesh with the driving gear 321 .
  • the other transmission gear 322 is axially reciprocally rotated, and the reciprocating rotation directions of the transmission gear 321 and the transmission gear 322 are reversed, thereby converting the linear motion of the push rod 427 into the circumferential movement of the plurality of transmission gears 3.
  • the conversion mechanism of the substrate cleaning apparatus of the second embodiment includes: a sliding groove 428 disposed on the push rod 427 perpendicular to the substrate; a transmission gear 321 fixed at the end of the gear set 32 and extending into the other end Slider 429 of chute 428. Since one end of the slide bar 429 is fixed to one of the gears 32 in the gear set 32, the direction of movement of the slide bar 429 must coincide with the direction of rotation of the drive gear 321, and the other end of the slide bar 429 extends into the chute 428.
  • the linear motion is converted into the circumferential motion of the transmission gear 321.
  • the difference between the third embodiment and the second embodiment is the conversion mechanism of the substrate cleaning device.
  • the conversion mechanism of the substrate cleaning device of the third embodiment includes: a side disposed on the side of the push rod 427 facing the transmission gear 3 , and each A rack 6 of one of the gear sets 32 is engaged with the rack gear 6.
  • the rack 6 meshing with the transmission gear 321 constitutes a switching mechanism, and the push rod 427 drives the transmission gear 321 of each gear set 32 that meshes with the rack 6 to reciprocally rotate in the axial direction, thereby converting the linear motion of the push rod 427. It is the circumferential movement of the plurality of transmission gears 3.
  • the plurality of transmission gears 3 form a plurality of gear sets 32 each having two intermeshing transmission gears; as shown in FIG. 7, the gears 321 and the gears 322 of the gear set 32 mesh with each other.
  • the transmission mechanism 42 includes a driving wheel 421, a connecting rod 422 and a push rod 427, and a connecting push rod 427 and one of the gear sets 32, converting the linear motion of the push rod 427 into the circumferential direction of the transmission gear 3.
  • the driving wheel 421 is coaxially fixed with the output shaft of the driving motor 41; one end of the connecting rod 422 is hinged to the driving wheel 421, and the other end is hinged to one end of the push rod 427.
  • the switching mechanism in this embodiment includes: a circular hole having a push rod 427; a driving gear 321 having one end fixed to the gear set 32, and the other end inserted into the circular hole of the push rod 427 and rotatingly engaged with the circular hole 429.
  • the two ends of the connecting rod 422 are respectively rotatably connected to a pin perpendicular to the connecting rod 422.
  • the pin of one end of the connecting rod 422 is fixed on the driving wheel 421, and the pin of the other end of the connecting rod 422 is fixed at one end of the push rod 427.
  • the link 422 is hinged between the driving wheel 421 and the push rod 427; the fixed sliding rod 429 of the transmission gear 321 is inserted into the circular hole of the push rod 427 to constitute a switching mechanism.
  • the driving motor 41 reciprocates the push rod 427 through the driving wheel 421 and the connecting rod 422, and the push rod 427 drives the one of the gear sets 32 to reciprocally rotate by the sliding rod 429 while reciprocating, due to the same toothed gear
  • the 322 will reciprocate together in the opposite direction of the frequency to convert the linear motion of the push rod 427 into the circumferential motion of the transmission gear 321.
  • a plurality of nozzles 7 are arranged on each of the spray pipes 2 to form a liquid discharge port 21; the liquid discharge ports 21 on the adjacent spray pipes 2 may be opposite or offset from each other. Settings.
  • the nozzles 7 may be disposed on the spray pipe 2 by screwing or welding or other connection, and each of the nozzles 7 forms a liquid discharge port 21. It is within the spirit and scope of the invention. Therefore, it is intended that the present invention cover the modifications and modifications of the invention as claimed.

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Abstract

一种基板清洗装置，包括内部具有清洗室的壳体；枢装于壳体、且沿基板（1）移动方向并排分布的多个喷淋管道（2），每一个喷淋管道（2）具有将喷淋管道（2）内的液体导向基板（1）被清洁面的若干个喷液口（21），每一个喷淋管道（2）的一端具有与其同轴固定的传动齿轮（3）；与传动齿轮（3）连接并通过传动齿轮（3）驱动喷淋管道（2）同频率往复转动的驱动系统（4）,其中一部分喷淋管道（2）的往复转动方向与另一部分喷淋管道（2）的往复转动方向相反。该基板清洗装置能够保证在对基板移动速度影响较小的前提下，提高对基板表面的清洁效果。

Description

基板清洗装置 技术领域
本发明的实施例涉及一种基板清洗装置。 背景技术
清洗是平板显示器所用基板的生产过程中非常重要的一个环节， 无论是 在基板 I¾ 之前， 还是在基板生产工艺完成之后， 清洗效果的好坏都会直接 影响基板的产品质量。
现有的基板清洗装置大多采用固定的喷淋管道， 喷淋管道上具有朝向基 板的喷嘴， 在对基板进行清洁时， 喷嘴将喷淋管道内的液体沿垂直于基板的 方向喷向基板表面， 来实现对基板被清洁面的清洗。 但是这种清洗方式， 能 够直接喷进基板表面的沟道、 凹槽或窄缝内的液体较少， 对基板的沟道、 凹 槽或窄缝内残留杂质的清洁效果较差， 从而影响了基板整体的清洁效果。 发明内容
本发明的实施例提供了一种基板清洗装置， 其能够在对基板移动速度影 响较小的前提下， 提高对基板表面的清洁效果。
本发明的一个方面提供了一种基板清洗装置， 包括： 内部具有清洗室的 壳体； 枢装于所述壳体、 且沿基板移动方向并排分布的多个喷淋管道， 每一 液口， 每一个所述喷淋管道的一端具有与其同轴固定的传动齿轮； 与所述传 动此轮连接以通过所述传动齿轮驱动所述喷淋管道同频率往复转动的驱动系 统， 其中一部分所述喷淋管道的往复转动方向与另一部分所述喷淋管道的往 复转动方向相反。
采用本发明实施例提供的基板清洗装置对基板被清洁面进行清洗时， 通 过外部的输送管道将液体持续注入到喷淋管道内， 喷淋管道内的液体通过喷 液口喷向基板表面。 由于各喷淋管道同频率轴向往复转动， 而喷淋管道的轴 向往复转动会带动喷液口持续喷出的液体往复摆动， 使得液体从喷液口喷出 的方向与基板之间的角度发生规律性变化， 从而保证了有更多的液体能够直 接喷进基板表面的沟道、 凹槽或窄缝内， 提高对基板表面的沟道、 凹槽或窄 缝内残留杂质的清洗效果。
另外， 由于两部分喷淋管道往复转动方向相反， 使得两部分喷淋管道上 喷液口持续喷出的液体的往复摆动方向相反， 从而使得转动方向相反的两部 分喷淋管道上的液体从喷液口喷出的方向相反， 喷出方向相反的液体对基板 移动时的推动效果和阻碍效果相互抵消， 减小了液体的沖击对基板在运输设 备上运行速度的影响。 因此， 本发明提供的基板清洗装置能够在对基板移动 速度影响较小的前提下， 提高对基板表面的清洁效果。 附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案， 下面将对实施例的附图作 筒单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本发明的一些实施例， 而非对本发明的限制。
图 1为本发明的实施例一提供的基板清洗装置的第一种传动机构中传送 皮带的一种绕向示意图；
图 2为本发明的实施例提供的基板清洗装置中喷淋管道的机构示意图； 图 3为本发明的实施例一提供的基板清洗装置的第一种传动机构中的传 送皮带的另一种绕向示意图；
图 4为本发明的实施例二提供的基板清洗装置中第二种传动机构的结构 示意图；
图 5为本发明的实施例三提供的基板清洗装置的第三种传动机构的结构 示意图；
图 6为本发明的实施例提供的基板清洗装置中另一种驱动系统的驱动原 理示意图；
图 7为本发明的实施例四提供的基板清洗装置的第四种传动机构的结构 示意图。 具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图， 对本发明实施例中的技术方案进行 清楚、 完整地描述， 显然， 所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例， 而 不是全部的实施例。 基于本发明中的实施例， 本领域普通技术人员在没有做 出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例， 都属于本发明保护的范围。
除非另作定义， 此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领 域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的 "第一"、 "第 二" 以及类似的词语并不表示任何顺序、 数量或者重要性， 而只是用来区分 不同的组成部分。 同样， "一个" 、 "一" 或者 "该" 等类似词语也不表示 数量限制， 而是表示存在至少一个。 "包括" 或者 "包含" 等类似的词语意 指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及 其等同， 而不排除其他元件或者物件。 "连接" 或者 "相连" 等类似的词语 并非限定于物理的或者机械的连接， 而是可以包括电性的连接， 不管是直接 的还是间接的。 "上" 、 "下" 、 "左" 、 "右" 等仅用于表示相对位置关 系， 当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
请参考图 1、 图 2所示， 本发明的实施例一提供了一种基板清洗装置， 其包括： 内部具有清洗室的壳体； 枢装于壳体、 且沿基板 1移动方向 a并排 分布的多个喷淋管道 2, 每一个喷淋管道 2具有将喷淋管道 2内的液体导向 基板 1被清洁面的若干个喷液口 21 ,且每一个喷淋管道 2的一端具有与其同 轴固定的传动齿轮 3; 通过传动齿轮 3驱动喷淋管道 2同频率往复转动的驱 动系统 4, 其中一部分喷淋管道 2的往复转动方向与另一部分喷淋管道 2的 往复转动方向相反。
驱动系统 4开启后， 驱动系统 4驱动一部分传动齿轮 3按照先逆时针、 后顺时针的方式轴向往复转动， 并带动与该部分传动齿轮 3中的每一个传动 齿轮 3同轴固定的喷淋管道 2也按照先逆时针、 后顺时针的方式轴向往复转 动； 同时， 驱动系统 4还驱动另一部分传动齿轮 3按照先顺时针、 后逆时针 的方式轴向往复转动， 带动另一部分喷淋管道 2按照先顺时针、 后逆时针的 方式轴向往复转动。 这两部分传动齿轮 3轴向往复转动的频率均相同。
采用本实施例提供的基板清洗装置对基板 1表面进行清洗时， 喷淋管道 2 与外部的输送管道（未示出 )连通， 外部的输送管道将清洗液体持续注入 到喷淋管道 2内。喷淋管道 2内的液体通过喷液口 21喷向下方放置的基板 1 表面。各喷淋管道 2同频率轴向往复转动的同时带动从喷液口 21持续喷出的 液体往复摆动，使得液体从喷液口 21的喷出方向与基板 1之间的角度发生规 律性变化， 从而保证了更多的液体能够直接喷进基板 1表面的沟道、 凹槽或 窄缝内， 提高对基板 1表面的沟道、 凹槽或窄缝内残留杂质的清洗效果。
另外， 由于两部分喷淋管道 2往复转动方向相反， 使得两部分喷淋管道 2上喷液口 21持续喷出的液体的往复摆动方向相反，从而使得转动方向相反 的两部分喷淋管道 2上的液体从喷液口 21喷出的方向相反，喷出方向相反的 液体对基板 1的推动效果和阻碍效果相互抵消， 减小了液体的沖击对基板 1 在运输设备上运行速度的影响。
因此， 本实施例提供的基板清洗装置能够在对基板移动速度影响较小的 前提下， 提高对基板表面的清洁效果。
例如， 往复转动方向相反的两部分喷淋管道 2的数量相同； 例如， 两部 分喷淋管道 2的喷液口 21的数量相同， 彼此相对或彼此错开布置。
这样，在任一时刻， 两部分喷淋管道 2上的喷液口 21喷出的液体作用在 基板 1后，对基板 1的移动所产生的推动效果和阻碍效果正好能够全部抵消， 更大程度地减小了液体的沖击对基板 1在运输设备上运行速度的影响。
图 3示出了本发明实施例一的一种变体提供的一种基板清洗装置， 其与 图 1所示的实施例的区别在于驱动系统 4的布置略有不同。
请参考图 1、 3, 例如， 本发明实施例提供的基板清洗装置的驱动系统 4 包括： 驱动电机 41 ; 驱动多个传动齿轮 3往复转动的传动机构 42,传动机构 42的动力输入端与驱动电机 41的输出轴传动连接。
驱动电机 41作为动力输出设备，驱动电机 41的输出轴通过传动机构 42 将动力传输给各传动齿轮 3 ,通过传动机构 42带动各传动齿轮 3实现轴向往 复运动。
请参考图 1、 图 3, 例如， 传动机构 42包括： 与驱动电机 41的输出轴同 轴固定的主动轮 421;—端与主动轮 421铰接的连杆 422; 与连杆 422另一端 铰接的过渡齿轮 423,主动轮 421、连杆 422以及过渡齿轮 423形成四连杆机 构； 与多个传动齿轮 3、过渡齿轮 423连接的传送皮带 424; 至少一个用于张 紧传送皮带 424的张紧轮 425。
连杆 422的两端分别转动地连接一个与连杆 422垂直的销轴（图中未示 出） 。 连杆 422—端的销轴固定在主动轮 421上， 另一端的销轴固定在过渡 齿轮 423上， 从而将连杆 422铰接在主动轮 421和过渡齿轮 423之间， 使得 主动轮 421、 连杆 422以及过渡齿轮 423形成一个四连杆机构。 驱动电机 41 通过该四连杆机构可以带动过渡齿轮 423在一定角度范围内轴向往复转动， 从而带动与过渡齿轮 423连接的传送皮带 424往复运动， 传送皮带 424往复 运动的同时带动与其连接的各传动齿轮 3轴向往复转动。 每一个传动齿轮 3 轴向固定的一个喷淋管道 2随该传动齿轮 3—起往复转动， 从而带动从喷淋 管道 2的喷液口 21持续喷出的液体往复摆动， 使得液体从喷液口 21喷出的 方向与下方放置的基板 1之间的角度发生规律性变化， 提高了基板清洗装置 对基板表面的清洁效果， 且减小了液体对基板运行速度的影响。 调整各传动齿轮 3的往复转动方向， 以改变喷淋管道 2的往复转动方向。
请继续参考图 1、 图 3 , 例如， 多个传动齿轮 3形成依次相邻的若干个齿 轮组 31 , 任意相邻的两个齿轮组 31中的传动齿轮 3上的传送皮带 424绕向 相反。
驱动电机 41通过主动轮 421、连杆 422以及传送皮带 424形成的四连杆 机构驱动传送皮带 424往复运动， 传送皮带 424往复运动的同时带动传动齿 轮 3轴向往复转动。 在传送皮带 424沿一个方向运动时， 传送皮带 424绕向 相反的传动齿轮 3的转动方向相反， 转动方向相反的传动齿轮 3带动的喷淋 管道 2的转动方向也相反， 从而使得转动方向相反的两部分喷淋管道 2中的 液体从喷液口 21喷出的方向相反，喷出方向相反的液体对基板 1的推动效果 和阻碍效果相互抵消， 减小了液体的沖击对基板 1在运输设备上运行速度的 影响。
请继续参考图 1、 图 3 , 例如， 上述每一个齿轮组 31包括至少一个传动 齿轮 3。
更具体地， 如图 1中所示， 上述每一个齿轮组 31包括一个传动齿轮 3, 任意相邻的两个传动齿轮 3上的传送皮带 424绕向相反。 如图 3中所示， 上 述每一个齿轮组 31包括两个传动齿轮 3, 同一个齿轮组 31中的两个传动齿 轮 3上的传送皮带 424的绕向相同，任意相邻的两个齿轮组 31的传动齿轮 3 上的传送皮带 424绕向相反。
图 4为本发明实施例二提供的基板清洗装置中第二种传动机构的结构示 意图。 图 5为本发明实施例三提供的基板清洗装置中第三种传动机构的结构 示意图。 图 7为本发明实施例四提供的基板清洗装置中第四种传动机构的结 构示意图。 请参考图 4、 5和 7, 多个传动齿轮 3形成若干个分别具有两个相 互啮合的传动齿轮的齿轮组 32。
如图 4、 5所示， 齿轮组 32中的齿轮 321和齿轮 322相互啮合； 传动机 构 42包括：形成曲柄滑块机构的主动轮 421、连杆 422、滑轨 426和推杆 427, 以及连接推杆 427与每一个齿轮组 32中的一个传动齿轮 3、将推杆 427的直 线运动转换为传动齿轮 3的周向运动的转换机构。主动轮 421与驱动电机 41 的输出轴同轴固定；连杆 422的一端与主动轮 421铰接，而另一端与推杆 427 的一端铰接； 滑轨 426与壳体相对固定、 且沿基板 1移动方向 a延伸； 推杆 427滑动装配于滑轨 426。
连杆 422的两端分别转动地连接一个与连杆 422垂直的销轴， 连杆 422 一端的销轴固定在主动轮 421上， 连杆 422另一端的销轴固定在推杆 427的 一端， 从而将连杆 422铰接在主动轮 421和推杆 427之间， 由于推杆 427滑 设于滑轨 426内， 从而使得主动轮 421、 连杆 422以及过渡齿轮 423形成一 个曲柄滑块机构。驱动电机 41通过该曲柄滑块机构驱动推杆 427在滑轨 426 内沿直线往复运动，推杆 427通过转换机构带动齿轮组 32中的一个传动齿轮 321轴向往复转动， 由于同一齿轮组 32中的传动齿轮 321和传动齿轮 322相 互啮合， 所以传动齿轮 321和传动齿轮 322—起同频率反方向往复转动， 从 而将推杆 427的直线运动转换为传动齿轮 321的周向运动。 任意一个齿轮组 32中的传动齿轮 321和传动齿轮 322分别连接的喷淋管道 2的往复转动方向 相反， 从而使得往复转动方向相反的两部分喷淋管道 2的数量相同， 更大程 度地减小了液体的沖击对基板 1在运输设备上运行速度的影响。
图 6为基板清洗装置中另一种驱动系统的驱动原理示意图， 例如可用于 替换如图 4以及图 5所示实施例的基板清洗装置中的驱动系统。
请参考图 6,驱动多个传动齿轮 3往复转动的传动机构 42包括形成凸轮 连杆机构的凸轮 5、滑轨 426和推杆 427, 以及连接推杆 427和每一个齿轮组 32中的一个传动齿轮 321、 将推杆 427的直线运动转换为传动齿轮 3的周向 运动的转换机构凸轮 5安装于驱动电机 41的输出轴；滑轨 426与壳体相对固 定、且沿基板 1移动方向 a延伸；推杆 427与滑轨 426配合滑动，且推杆 427 的一端配合安装于凸轮 5。
驱动电机 41的输出轴安装一个具有导向槽 51的凸轮 5, 推杆 427滑设 于滑轨 426内、且一端通过一滚轮配合安装于凸轮 5的导向槽 51内，使得凸 轮 5、 推杆 427和滑轨 426形成一个凸轮连杆机构。 驱动电机 41通过凸轮连 杆机构驱动推杆 427在滑轨 426内沿直线往复运动， 推杆 427通过转换机构 带动齿轮组 32中的一个传动齿轮 321轴向往复转动，同时传动齿轮 321带动 与其啮合的另一传动齿轮 322轴向往复转动，且传动齿轮 321和传动齿轮 322 的往复转动方向相反， 从而将推杆 427的直线运动转换为多个传动齿轮 3的 周向运动。
再请参考图 4, 实施例二的基板清洗装置的转换机构包括： 推杆 427上 设置的垂直于基板的滑槽 428;—端固定于齿轮组 32中的一个传动齿轮 321 , 另一端伸入滑槽 428的滑杆 429。 由于滑杆 429的一端固定于齿轮组 32中的 一个传动齿轮 321 , 使得滑杆 429的运动方向必须与传动齿轮 321的转动方 向一致， 而且滑杆 429的另一端伸入滑槽 428内， 因此在推杆 427带动滑杆 429沿推杆 427的运动方向往复运动的同时，滑杆 429在推杆 427的滑槽 428 内还会相对于推杆 427上、 下往复运动， 从而将推杆 427的直线运动转换为 传动齿轮 321的周向运动。
请参考图 5 , 实施例三与实施例二的区别在于基板清洗装置的转换机构， 该实施例三的基板清洗装置的转换机构包括： 设置于推杆 427朝向传动齿轮 3的一侧、 与每一个齿轮组 32中的一个传动齿轮 321啮合的齿条 6。 传动齿 轮 321啮合的齿条 6构成一个转换机构， 推杆 427通过齿条 6带动每一个齿 轮组 32中与齿条 6啮合的传动齿轮 321轴向往复转动，从而将推杆 427的直 线运动转换为多个传动齿轮 3的周向运动。
请参考图 7, 实施例四中， 多个传动齿轮 3形成若干个分别具有两个相 互啮合的传动齿轮的齿轮组 32; 如图 7所示， 齿轮组 32中的齿轮 321和齿 轮 322相互啮合； 传动机构 42包括主动轮 421、 连杆 422和推杆 427, 以及 连接推杆 427与每一个齿轮组 32中的一个传动齿轮 3、将推杆 427的直线运 动转换为传动齿轮 3的周向运动的转换机构。主动轮 421与驱动电机 41的输 出轴同轴固定； 连杆 422的一端与主动轮 421铰接， 另一端与推杆 427的一 端铰接。 该实施例中的转换机构包括： 推杆 427具有的圓孔； 一端固定于齿轮组 32中的一个传动齿轮 321 , 另一端插入推杆 427的圓孔中、 且与圓孔转动配 合的滑杆 429。
连杆 422的两端分别转动地连接一个与连杆 422垂直的销轴， 连杆 422 一端的销轴固定在主动轮 421上， 连杆 422另一端的销轴固定在推杆 427的 一端， 从而将连杆 422铰接在主动轮 421和推杆 427之间； 传动齿轮 321固 定的滑杆 429插入推杆 427的圓孔中构成一个转换机构。驱动电机 41通过主 动轮 421和连杆 422推动推杆 427往复运动， 推杆 427在往复运动的同时通 过滑杆 429带动齿轮组 32中的一个传动齿轮 321轴向往复转动，由于同一齿 动齿轮 322会一起同频率反方向往复转动， 从而将推杆 427的直线运动转换 为传动齿轮 321的周向运动。
请参考图 2, 对于本发明的实施例， 每一个喷淋管道 2上间隔设置若干 个喷嘴 7,形成喷液口 21;相邻喷淋管道 2上的喷液口 21可以彼此相对或相 错开设置。 喷嘴 7可以通过螺纹连接或焊接或其它连接方式设置在喷淋管道 2上， 每一个喷嘴 7形成一个喷液口 21。 脱离本发明的精神和范围。 这样， 倘若本发明的这些修改和变型属于本发明 权利要求及其等同技术的范围之内， 则本发明也意图包含这些改动和变型在 内。

Claims

权利要求书
1、 一种基板清洗装置， 包括：
内部具有清洗室的壳体；
枢装于所述壳体、 且沿基板移动方向并排分布的多个喷淋管道， 每一个 所述喷淋管道具有将所述喷淋管道内的液体导向基板被清洁面的若干个喷液 口， 每一个所述喷淋管道的一端具有与其同轴固定的传动齿轮；
与所述传动齿轮连接由此通过所述传动齿轮驱动所述喷淋管道同频率往 复转动的驱动系统， 其中一部分所述喷淋管道的往复转动方向与另一部分所 述喷淋管道的往复转动方向相反。
2、 根据权利要求 1所述的基板清洗装置， 其中， 所述驱动系统包括： 安装于所述壳体的驱动电机；
驱动多个所述传动齿轮轴向往复转动的传动机构， 所述传动机构的动力 输入端与所述驱动电机的输出轴传动连接。
3、 根据权利要求 2所述的基板清洗装置， 其中， 所述传动机构包括： 与所述驱动电机的输出轴同轴固定的主动轮；
一端与所述主动轮铰接的连杆；
与所述连杆另一端铰接的过渡齿轮， 所述主动轮、 连杆以及过渡齿轮形 成四连 4干机构；
与多个所述传动齿轮、 过渡齿轮连接的传送皮带；
至少一个用于张紧所述传送皮带的张紧轮。
4、根据权利要求 3所述的基板清洗装置， 其中， 多个所述传动齿轮形成 依次相邻的若干个齿轮组， 任意相邻的两个所述齿轮组的所述传动齿轮上的 传送皮带绕向相反。
5、根据权利要求 4所述的基板清洗装置， 其中，每一个所述齿轮组包括 至少一个所述传动齿轮。
6、根据权利要求 2所述的基板清洗装置， 其中， 多个所述传动齿轮形成
7、 根据权利要求 6所述的基板清洗装置， 其中， 所述传动机构包括： 形成曲柄滑块机构的主动轮、 连杆、 滑轨和推杆， 以及 连接所述推杆和每一个所述齿轮组中的一个传动齿轮、 将所述推杆的直 线运动转换为所述传动齿轮的周向运动的转换机构； 其中，
所述主动轮与所述驱动电机的输出轴同轴固定；
所述连杆的一端与所述主动轮铰接， 另一端与所述推杆的一端铰接； 所述滑轨与所述壳体相对固定、 且沿基板移动方向延伸；
所述推杆滑动装配于所述滑轨。
8、 根据权利要求 6所述的基板清洗装置， 其中， 所述传动机构包括： 形成凸轮连杆机构的凸轮、 滑轨和推杆， 以及
连接所述推杆和每一个所述齿轮组中的一个传动齿轮、 将所述推杆的直 线运动转换为所述传动齿轮的周向运动的转换机构； 其中，
所述凸轮安装于所述驱动电机的输出轴；
所述滑轨与所述壳体相对固定、 且沿基板移动方向延伸；
所述推杆与所述滑轨配合滑动，且所述推杆的一端配合安装于所述凸轮。
9、根据权利要求 7或 8所述的基板清洗装置，其中，所述转换机构包括： 所述推杆上设置的垂直于基板的滑槽；
一端固定于所述齿轮组中的一个所述传动齿轮， 另一端伸入所述滑槽的 滑杆。
10、 根据权利要求 7或 8所述的基板清洗装置， 其中， 所述转换机构包 括：
设置于所述推杆朝向所述传动齿轮的一侧、 与每一个所述齿轮组中的一 个所述传动齿轮啮合的齿条。
11、 根据权利要求 6所述的基板清洗装置， 其中， 所述传动机构包括： 主动轮、 连杆和推杆， 以及
连接推杆与每一个齿轮组中的一个传动齿轮、 将推杆的直线运动转换为 传动齿轮的周向运动的转换机构， 其中，
主动轮与驱动电机的输出轴同轴固定；
连杆的一端与主动轮铰接， 另一端与推杆的一端铰接。
12、 根据权利要求 11所述的基板清洗装置， 其中， 所述转换机构包括: 所述推杆上设置的圓孔；
一端固定于齿轮组中的一个传动齿轮， 另一端插入所述推杆的圓孔中、 且与圓孔转动配合的滑杆。
13、 根据权利要求 1-12任一所述的基板清洗装置， 其中， 每一个所述喷 淋管道上间隔设置若干个喷嘴， 形成所述喷液口。
14、 根据权利要求 1-13所述的基板清洗装置， 其中， 往复转动方向相反 的两部分所述喷淋管道的数量相同。
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