WO2014184845A1 - 基板収納容器を梱包するための梱包構造 - Google Patents

基板収納容器を梱包するための梱包構造 Download PDF

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WO2014184845A1
WO2014184845A1 PCT/JP2013/063295 JP2013063295W WO2014184845A1 WO 2014184845 A1 WO2014184845 A1 WO 2014184845A1 JP 2013063295 W JP2013063295 W JP 2013063295W WO 2014184845 A1 WO2014184845 A1 WO 2014184845A1
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cushion material
storage container
substrate storage
rigid body
plate
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PCT/JP2013/063295
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雄大 金森
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ミライアル株式会社
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    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67369—Closed carriers characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions
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Definitions

  • the present invention relates to a packing structure for packing a substrate storage container for storing a substrate such as a semiconductor wafer.
  • a substrate storage container including a container main body and a lid is conventionally known.
  • a cushioning material made of a resin foam or a cushioning material formed of a plastic sheet is placed in the packaging box. And these hold
  • the present invention provides a packing structure for packing a substrate storage container that can suppress as much as possible shock and vibration from being transmitted to a plurality of substrates stored in the substrate storage container during transportation of the substrate storage container. For the purpose.
  • the present invention is a packing structure for packing a substrate storage container for storing and transporting a substrate made of a semiconductor wafer, and is placed on the upper portion of the substrate storage container in the packing box
  • An upper cushioning material and a lower cushioning material on which the substrate storage container is placed, and the upper cushioning material and the lower cushioning material are arranged in the packing box so as to sandwich the substrate storage container in the vertical direction
  • the first rigidity is slidable with respect to the lower surface of A first cushion material that abuts the lower surface of the substrate, and the upper cushioning material and the lower cushioning material directly place the substrate storage container storing the semiconductor wafer on the upper cushioning material or the lower cushioning material.
  • the position and posture of the substrate storage container in a direction perpendicular to the vertical direction in the packaging box having a hardness capable of retaining the shape of the upper cushioning material and the lower cushioning material itself without plastic deformation.
  • the upper surface of the first rigid body is wider than the lower end surface of the lower cushioning material, and the first rigid body is in surface contact with the upper surface of the first cushion material over the entire lower surface of the first rigid body.
  • the shape of the first rigid body itself can be held as possible.
  • the first cushion material is elastic and deforms when the substrate storage container storing the semiconductor wafer is directly placed on the first cushion material, and removes the placed substrate storage container.
  • a packing structure for packing a substrate storage container which has an elastic flexibility to restore the original shape.
  • the first cushion material is formed by laminating a plurality of plate-like first cushion materials each having a flat upper surface and a lower surface in the vertical direction, and the lower plate-like first cushion adjacent to the lamination direction.
  • the upper surface of the material and the lower surface of the upper plate-shaped first cushion material are in slidable surface contact and are disposed in the packaging box, and each has a flat upper surface and a lower surface and has a plate shape.
  • a second rigid body wherein the upper surface of the second rigid body is slidably in contact with the lower surface of the lowermost plate-like first cushion material, and the second rigid body comprises: It is preferable that the entire upper surface of the second rigid body has a hardness capable of maintaining the shape of the second rigid body itself so as to be able to come into surface contact with the lower surface of the lowermost plate-like first cushion material.
  • the second cushion material is disposed in the packaging box and has an upper surface and a lower surface, and the upper surface of the second cushion material is slidable with respect to the lower surface of the second rigid body.
  • a second cushion material that contacts the lower surface of the second rigid body is provided, and the second cushion material is elastic when the substrate storage container storing the semiconductor wafer is placed directly on the second cushion material. It is preferable to have elastic flexibility that restores the original shape when the deformed and placed substrate storage container is removed.
  • the second cushion material is formed by laminating a plurality of plate-like second cushion materials each having an upper surface and a lower surface in the vertical direction, and the second cushion material of the lower plate-like second cushion material adjacent to the lamination direction.
  • the upper surface and the lower surface of the upper plate-shaped second cushion material each have a flat shape, and the upper surface of the lower plate-shaped second cushion material and the upper plate-shaped second cushion material adjacent to each other in the stacking direction. It is preferable that the lower surface of the material is in slidable surface contact.
  • the upper surface of the second cushion member has an upper protrusion protruding upward, and the upper protrusion is slidable with respect to the lower surface of the second rigid body. It is preferable to abut on the lower surface.
  • the lower surface of the second cushion material has a lower protruding portion that protrudes downward, and the lower protruding portion abuts against the inner surface of the packing box so as to be slidable with respect to the inner surface of the packing box. Is preferred.
  • the side surface of the second cushion material in a direction orthogonal to the vertical direction is always in contact with the inner surface of the packaging box.
  • the side surface of the first cushion material in the direction orthogonal to the vertical direction is always in contact with the inner surface of the packaging box.
  • an upper cushion material placed on top of the upper cushioning material in the packing box is provided, and the upper cushion material directly places the substrate storage container storing the semiconductor wafer on the upper cushion material. Then, it is elastically deformed, and it is preferable to have elastic flexibility to restore the original shape when the placed substrate storage container is removed.
  • a packing structure for packing a substrate storage container which can suppress as much as possible the transmission of impact and vibration to a plurality of substrates stored in the substrate storage container during transportation of the substrate storage container. Can be provided.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 3.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 3.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view taken along the line DD in FIG. 8.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view showing a packing structure 1 for packing a substrate storage container according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the packing box 10 of the packing structure 1 for packing the substrate storage container according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a plan view showing the packing box 10 of the packing structure 1 for packing the substrate storage container according to the first embodiment of the present invention.
  • 4 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.
  • FIG. 5 is a sectional view taken along line BB in FIG.
  • FIG. 6 is an exploded perspective view showing the substrate storage container 2 packed by the packing structure 1 for packing the substrate storage container according to the first embodiment of the present invention.
  • a direction (lower left direction in FIG. 1) from the back plate 14 to the front plate 13 of the packaging box 10 described later is defined as the front direction D11, and the opposite direction is defined as the rear direction D12. These are defined as the front-rear direction D1.
  • a direction (upward direction in FIG. 1) from the bottom plate 16 described later to the top plate 15 is defined as an upper direction D21, the opposite direction is defined as a lower direction D22, and these are defined as an up and down direction D2.
  • a direction (upper left direction in FIG. 1) from the second side plate 12 described later to the first side plate 11 is defined as the left direction D31, the opposite direction is defined as the right direction D32, and these are defined as the left-right direction D3.
  • the substrate storage container 2 packed by the packing structure 1 for packing the substrate storage container has a container main body 202 and a lid 203.
  • the container body 202 has a cylindrical wall part 220 in which a container body opening 221 is formed at one end and the other end is closed.
  • a substrate storage space 227 is formed in the container main body 202.
  • the substrate storage space 227 is formed so as to be surrounded by the wall 220.
  • a substrate support plate-like portion 205 and a rear retainer (not shown) are disposed in a portion of the wall portion 220 that forms the substrate storage space 227.
  • a plurality of substrates W can be stored in the substrate storage space 227.
  • the substrate support plate-like portion 205 is provided on the wall portion 220 so as to form a pair in the substrate storage space 227.
  • the substrate support plate-like portion 205 is configured so that, when the container main body opening 221 is not closed by the lid 203, the adjacent substrates W are separated from each other at a predetermined interval and are arranged in parallel. The part can be supported.
  • the rear retainer (not shown) can support the rear portions of the edges of the plurality of substrates W when the container main body opening 221 is closed by the lid 203.
  • the lid 203 is detachable from the container main body opening 221 and can close the container main body opening 221.
  • the lid 203 is provided with a front retainer (not shown).
  • a front retainer (not shown) is provided in a portion of the lid 203 that faces the substrate storage space 227 when the container main body opening 221 is closed by the lid 203.
  • the front retainer (not shown) is arranged to make a pair with the rear retainer (not shown).
  • the front retainer (not shown) can support the front portions of the edges of the plurality of substrates W when the container main body opening 221 is closed by the lid 203.
  • a front retainer (not shown) supports adjacent substrates by supporting a plurality of substrates W in cooperation with a rear retainer (not shown) when the container body opening 221 is closed by the lid 203.
  • a plurality of substrates W are held in a state where the Ws are separated from each other at a predetermined interval and are arranged in parallel.
  • the substrate W (see FIG. 6) stored in the substrate storage container 2 is a disk-shaped silicon wafer, glass wafer, sapphire wafer, or the like, and is a thin one used in the industry.
  • the substrate W in this embodiment is a silicon wafer having a diameter of 300 mm to 450 mm.
  • the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 includes a packing box 10, an upper cushioning material 20, an upper cushioning material 30, a lower cushioning material 40, and a first rigid body. 50, a first cushion material 60, a second rigid body 70, and a second cushion material 80.
  • the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 packs the substrate storage container 2 for storing and transporting the substrate W made of a semiconductor wafer.
  • the packaging box 10 is constituted by a so-called plastic cardboard box (pradan), and includes a first side plate 11, a second side plate 12, a front plate 13, a back plate 14, A top plate 15 and a bottom plate 16 are provided.
  • the first side plate 11 and the second side plate 12 have a parallel positional relationship.
  • the front plate 13 and the back plate 14 have a parallel positional relationship.
  • the top plate 15 and the bottom plate 16 have a parallel positional relationship.
  • the first side plate 11, the second side plate 12, the front plate 13, and the back plate 14 each have a rectangular shape.
  • the first side plate 11, the second side plate 12, the front plate 13, and the back plate 14 constitute a rectangular columnar cylindrical body 110 having openings at the upper end and the lower end.
  • the top plate 15 includes a front plate 151 having a rectangular shape, a rear plate 152, a left plate 153, and a right plate 154 (see FIG. 2).
  • the front plate 151 is integrally connected to the upper side of the front plate 13.
  • the rear plate 152 is integrally connected to the upper side of the back plate 14.
  • the left plate 153 is integrally connected to the upper side of the first side plate 11.
  • the right part plate 154 is integrally connected to the upper side of the second side plate 12.
  • the front plate 151 and the rear plate 152 are in a positional relationship (horizontal positional relationship) orthogonal to the front plate 13 and the back plate 14, and the upper end opening of the cylindrical body 110 is partially blocked.
  • the left part board 153 and the right part board 154 are made into the positional relationship (horizontal positional relationship) orthogonal to the 1st side plate 11 and the 2nd side plate 12 from the top, and upper end opening of the cylindrical body 110 is carried out. The whole is blocked. Since the bottom plate 16 has the same configuration as the top plate 15, description thereof is omitted.
  • the upper cushion material 20 is elastically deformed when the substrate storage container 2 storing the substrate W is directly placed on the upper cushion material 20, and is elastically restored to the original shape when the placed substrate storage container 2 is removed. It is comprised with the material which has a softness
  • the upper cushion material 20 has a rectangular plate shape, which is formed by the inner surface of the cylindrical body 110 in the cross section of the cylindrical body 110 cut by a plane parallel to the left-right direction D3 and the front-rear direction D1. Matches the enclosed rectangle.
  • the upper cushion material 20 is disposed at the top in the packaging box 10 with the rectangular upper surface 21 and lower surface 22 parallel to the left-right direction D3 and the front-rear direction D1, and is placed on the upper cushioning material 30.
  • the entire surface of the side surface 23 of the upper cushion material 20 having a positional relationship parallel to the vertical direction D2 is always in contact with the inner surface of the cylindrical body 110.
  • the side surface 23 of the upper cushion material 20 is not bonded to the inner surface of the cylindrical body 110 and is slidable with respect to the inner surface of the cylindrical body 110.
  • the upper cushioning material 30 has a hardness capable of maintaining the shape of the upper cushioning material 30 without plastic deformation even when the substrate storage container 2 storing the substrate W is directly placed on the upper cushioning material 30. Yes. Specifically, the upper cushioning material 30 can hold the position and posture of the substrate storage container 2 in the direction orthogonal to the vertical direction D2 in the packaging box 10 and acts on the packaging box 10 to act on the upper cushioning material 30. It is comprised with the material which has a softness
  • the upper cushioning material 30 has a substantially rectangular parallelepiped shape.
  • the upper surface 31 of the upper cushioning material 30 is a flat surface.
  • Three convex portions 331 are provided on the front and rear side surfaces 33 of the upper cushioning material 30, and four rectangular parallelepiped convex portions 341 are provided on the left and right side surfaces 34 of the upper cushioning material 30.
  • the lower portion 32 of the upper cushioning material 30 has a recess 321.
  • the recess 321 has substantially the same shape as the lid 203 of the substrate storage container 2, and the lid 203 is engaged with the recess 321.
  • the upper cushioning material 30 has the upper surface 31 parallel to the left-right direction D3 and the front-rear direction D1 so that the upper surface 31 of the upper cushioning material 30 comes into surface contact with the lower surface 22 of the upper cushion material 20. It is mounted on the upper part of the substrate storage container 2 inside.
  • the lower surface 22 of the upper cushion material 20 is not bonded to the upper surface 31 of the upper cushioning material 30, and the lower surface 22 of the upper cushion material 20 is slidable with respect to the upper surface 31 of the upper cushioning material 30.
  • the tip surfaces of the convex portions 331 and 341 of the upper cushioning material 30 are always in contact with the inner surface of the cylindrical body 110 in the packaging box 10.
  • the tip surfaces of the convex portions 331 and 341 are not bonded to the inner surface of the cylindrical body 110, and can slide on the inner surface of the cylindrical body 110.
  • the lower cushioning material 40 has a hardness capable of holding the shape of the lower cushioning material 40 itself without plastic deformation even when the substrate storage container 2 storing the substrate W is directly placed on the lower cushioning material 40. Yes. Specifically, the lower cushioning material 40 can hold the position and posture of the substrate storage container 2 in the direction orthogonal to the vertical direction D2 in the packaging box 10 and acts on the packaging box 10 to act on the lower cushioning material 40. It is comprised with the material which has a softness
  • the lower cushioning material 40 has a substantially rectangular parallelepiped shape.
  • the upper portion 41 of the lower cushioning material 40 has a recess 411.
  • the concave portion 411 includes a lower portion of the substrate storage container 2 when the lid 203 of the substrate storage container 2 is disposed on the upper side (the back portion of the wall 220 with respect to the container main body opening 221 in the substrate storage container 2). It has substantially the same shape, and the lower portion engages with the recess 411. That is, the substrate storage container 2 is placed on the lower cushioning material 40, and the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40 are arranged in the packaging box 10 so as to sandwich the substrate storage container 2 in the vertical direction D2.
  • Three convex portions 431 are provided on the front and rear side surfaces 43 of the lower cushioning material 40, and four rectangular parallelepiped convex portions 441 are provided on the left and right side surfaces 44 of the lower cushioning material 40. .
  • a total of nine lower convex portions 421 are provided on the lower surface 42 of the lower cushioning material 40 in three rows in the left-right direction D3 and three rows in the front-rear direction D1.
  • the lower cushioning material 40 has a positional relationship parallel to the left-right direction D3 and the front-rear direction D1, so that the tip surface of the lower convex portion 421 of the lower cushioning material 40 comes into surface contact with the upper surface 51 of the first rigid body 50.
  • the packing box 10 it is arranged below the substrate storage container 2.
  • the tip surface of the lower convex portion 421 as the lower end surface of the lower cushioning member 40 is not bonded to the upper surface 51 of the first rigid body 50 and slides with respect to the upper surface 51 of the first rigid body 50. Is possible.
  • the front end surfaces of the convex portions 431 and 441 of the lower cushioning member 40 are always in contact with the inner surface of the cylindrical body 110 in the packaging box 10.
  • the tip surfaces of the convex portions 431 and 441 are not bonded to the inner surface of the cylindrical body 110 and can slide with respect to the inner surface of the cylindrical body 110.
  • the first rigid body 50 has a hardness capable of maintaining the shape of the first rigid body 50 itself so that the entire lower surface 52 of the first rigid body 50 can come into surface contact with the upper surface 62 of the first cushion material 60. It is made of a material, and in this embodiment, it is made of a cardboard plate or a plastic plate. In other words, the first rigid body 50 does not need to absorb vibrations and shocks by itself, and is made of a relatively hard material that can maintain its own shape. Therefore, the first rigid body 50 is harder than any of the upper cushion material 20, the upper cushioning material 30, the lower cushioning material 40, the first cushion material 60, and the second cushion material 80.
  • the first rigid body 50 has a rectangular plate shape, and this rectangular shape is a cylindrical body 110 in a cross section of the cylindrical body 110 cut by a plane parallel to the left-right direction D3 and the front-rear direction D1. It coincides with the rectangular shape surrounded by the inner surface.
  • the first rigid body 50 has a flat upper surface 51 and a lower surface 52, respectively, and the upper surface 51 and the lower surface 52 are parallel to the left-right direction D3 and the front-rear direction D1, and the lower cushioning material 40 is placed in the packaging box 10. It is arranged below.
  • the entire side surface 53 of the first rigid body 50 having a positional relationship parallel to the vertical direction D2 is always in contact with the inner surface of the cylindrical body 110.
  • the side surface 53 of the first rigid body 50 is not bonded to the inner surface of the cylindrical body 110 and is slidable with respect to the inner surface of the cylindrical body 110.
  • the area of the upper surface 51 of the first rigid body 50 is larger than the total area of the front end surfaces of the lower convex portions 421 as the lower end surface of the lower cushioning material 40, and the front end surfaces of all the lower convex portions 421 are The upper surface 51 of the rigid body 50 is in contact with the surface.
  • the first cushion material 60 is elastically deformed when the substrate storage container 2 storing the substrate W is directly placed on the first cushion material 60, and is restored to its original shape when the placed substrate storage container 2 is removed. It has elastic flexibility.
  • the first cushion material 60 is composed of the same sponge as the upper cushion material 20.
  • the first cushion material 60 is formed by laminating five rectangular plate-shaped first cushion materials 61 each having a flat upper surface 62 and a lower surface 63, each of which is made of sponge, in the vertical direction D2. ing.
  • the plate-like first cushion material 61 is disposed below the first rigid body 50 in the packaging box 10 with the upper surface 62 and the lower surface 63 being parallel to the left-right direction D3 and the front-rear direction D1, respectively.
  • the entire surface of the side surface 64 of the plate-like first cushion material 61 having a positional relationship parallel to the vertical direction D2 is always in contact with the inner surface of the cylindrical body 110.
  • the upper surface 62 of the lower plate-shaped first cushion material 61 adjacent to the vertical direction D2 as the stacking direction and the lower surface 63 of the upper plate-shaped first cushion material 61 are in surface contact with each other.
  • the upper surface 62 of the lower plate-shaped first cushion material adjacent to the stacking direction and the lower surface 63 of the upper plate-shaped first cushion material are not bonded to each other and are slidable with each other.
  • the upper surface 62 of the uppermost plate-like first cushion material 61 is not bonded to the lower surface 52 of the first rigid body 50, is in surface contact, and is slidable. Accordingly, the upper surface 62 of the first cushion member 60 is in surface contact with the lower surface 52 of the first rigid body 50 so as to be slidable with respect to the lower surface 52 of the first rigid body 50.
  • the second rigid body 70 can hold the shape of the second rigid body 70 itself so that the entire upper surface 71 of the second rigid body 70 can come into surface contact with the lower surface 63 of the lowermost plate-like first cushion material 61.
  • the first rigid body 50 is made of the same cardboard plate or plastic plate.
  • the second rigid body 70 has a rectangular plate shape, and the rectangular shape of the cylindrical body 110 in a cross section of the cylindrical body 110 cut by a plane parallel to the left-right direction D3 and the front-rear direction D1. Matches the rectangular shape surrounded by the inner surface.
  • the second rigid body 70 has a flat upper surface 71 and a lower surface 72, respectively, and the upper surface 71 and the lower surface 72 are parallel to the left-right direction D3 and the front-rear direction D1, and are the lowermost plate-like in the packing box 10. It is arranged below the first cushion material 61.
  • the entire surface of the side surface 73 of the second rigid body 70 having a positional relationship parallel to the vertical direction D2 is always in contact with the inner surface of the cylindrical body 110.
  • the side surface 73 of the second rigid body 70 is not bonded to the inner surface of the cylindrical body 110 and can slide on the inner surface of the cylindrical body 110.
  • the upper surface 71 of the second rigid body 70 is not bonded to the lower surface 63 of the lowermost plate-like first cushion material, and slidably contacts the surface.
  • the area of the lower surface 72 of the second rigid body 70 is larger than the area of the contact surface of the upper projecting portion 814 of the upper surface 811 of the second cushion member 80 to be described later with the lower surface 72 of the second rigid body 70. . All the contact surfaces are not bonded to the lower surface 72 of the second rigid body 70 and are in surface contact with each other so as to be slidable.
  • the second cushion material 80 is elastically deformed when the substrate storage container 2 storing the substrate W is directly placed on the second cushion material 80, and is restored to its original shape when the placed substrate storage container 2 is removed. It has elastic flexibility.
  • the second cushion material 80 is composed of the same sponge as the first cushion material 60.
  • the second cushion material 80 is configured by laminating a plurality of plate-like second cushion materials 81, 82, 83 having upper surfaces 811, 821, 831 and lower surfaces 812, 822, 832, respectively, in the vertical direction D2. Yes.
  • the upper surfaces 821 and 831 of the lower plate-shaped second cushion materials 82 and 83 adjacent to the vertical direction D2 as the stacking direction and the lower surfaces 812 and 822 of the upper plate-shaped second cushion materials 81 and 82 are flat.
  • the upper surfaces 821 and 831 of the lower plate-shaped second cushion materials 82 and 83 adjacent to each other in the stacking direction and the lower surfaces 812 and 822 of the upper plate-shaped second cushion materials are not bonded to each other and can slide. Is in surface contact.
  • the second cushion material 80 includes an upper plate-shaped second cushion material 81, a plate-shaped second cushion material 82, and a lower plate-shaped second cushion material 83, each formed of a sponge. .
  • the upper plate-shaped second cushion material 81 has a rectangular plate shape having an upper surface 811 having a large number of upper protrusions 814 and a flat lower surface 812.
  • the upper protrusion 814 protrudes upward.
  • the upper protruding portion 814 is not bonded to the lower surface 72 of the second rigid body 70, and abuts on the lower surface 72 of the second rigid body 70 so as to be slidable.
  • the upper plate-like second cushion material 81 is disposed below the second rigid body 70 in the packaging box 10 with the lower surface 812 positioned parallel to the left-right direction D3 and the front-rear direction D1.
  • the entire surface of the side surface 813 of the upper plate-like second cushion material 81 having a positional relationship parallel to the vertical direction D2 is always in contact with the inner surface of the cylindrical body 110.
  • the plate-like second cushion material 82 has a rectangular plate shape having a flat upper surface 821 and a lower surface 822.
  • the upper surface 821 of the plate-shaped second cushion material 82 is not bonded to the lower surface 812 of the upper plate-shaped second cushion material 81 and is slidably contacted with the lower surface 812 of the upper plate-shaped second cushion material 81. Touch.
  • the plate-like second cushion material 82 is disposed below the upper plate-like second cushion material 81 in the packaging box 10 with the upper surface 821 and the lower surface 822 being in a positional relationship parallel to the left-right direction D3 and the front-rear direction D1, respectively. .
  • the entire side surface 823 of the plate-like second cushion material 82 having a positional relationship parallel to the vertical direction D2 is always in contact with the inner surface of the cylindrical body 110.
  • the lower plate-shaped second cushion material 83 has a rectangular plate shape having a flat upper surface 831 and a lower surface 832 having a number of lower protrusions 834.
  • the upper surface 831 of the lower plate-shaped second cushion material 83 is not bonded to the lower surface 822 of the plate-shaped second cushion material 82 and is slidably contacted with the lower surface 822 of the plate-shaped second cushion material 82.
  • the lower protrusion 834 protrudes downward.
  • the lower protruding portion 834 is not bonded to the inner surface of the bottom plate 16 of the packaging box 10, and slidably contacts the inner surface of the bottom plate 16 of the packaging box 10.
  • the lower plate-like second cushion material 83 is disposed below the plate-like second cushion material 82 in the packaging box 10 with the upper surface 831 being parallel to the left-right direction D3 and the front-rear direction D1.
  • the entire surface of the side surface 833 of the lower plate-shaped second cushion material 83 having a positional relationship parallel to the vertical direction D2 is always in contact with the inner surface of the cylindrical body 110.
  • the packing structure 1 for packing the substrate storage container 2 includes the upper cushioning material 30 placed on the upper part of the substrate storage container 2 in the packing box 10 and the substrate storage container 2.
  • the packaging structure 1 for packaging the substrate storage container 2 is a first rigid body 50 that is disposed in the packaging box 10 and has a flat upper surface 51 and a lower surface 52, and has a plate shape.
  • the upper surface 62 of the first cushion material 60 is in contact with the lower surface 52 of the first rigid body 50 so as to be slidable with respect to the lower surface 52 of the first rigid body 50.
  • Cushion material 60 is a first rigid body 50 that is disposed in the packaging box 10 and has a flat upper surface 51 and a lower surface 52, and has a plate shape.
  • the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40 are not plastically deformed even when the substrate storage container 2 in which the substrate W is accommodated is directly placed on the upper cushioning material 30 or the lower cushioning material 40. It has a hardness that can hold the shape of the material 40 itself, can hold the position and orientation of the substrate storage container 2 in the direction perpendicular to the vertical direction D2 in the packaging box 10, and acts on the packaging box 10. Thus, it has the flexibility to absorb at least part of the impact transmitted to the substrate storage container 2 via the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40.
  • the upper surface 51 of the first rigid body 50 is wider than the lower end surface of the lower cushioning material 40, and the first rigid body 50 is formed on the entire lower surface 52 of the first rigid body 50 with respect to the first cushion material 60.
  • the first rigid body 50 itself has a hardness capable of maintaining the shape of the first rigid body 50 so as to be able to come into surface contact with the upper surface 62.
  • the first cushion material 60 is elastically deformed when the substrate storage container 2 storing the substrate W is directly placed on the first cushion material 60, and when the placed substrate storage container 2 is removed, the original shape is obtained. It has elastic flexibility to restore.
  • the upper surface 51 of the first rigid body 50 is wider than the lower end surface of the lower convex portion 421 of the lower cushioning material 40, and only a part of the upper surface 51 of the first rigid body 50 is the lower cushioning material 40. Even in the configuration in which the lower end surface of the lower convex portion 421 is in contact with the entire lower end surface, it is possible to make surface contact with the upper surface 62 of the first cushion material 60 on the wide surface of the lower surface 52 of the first rigid body 50. For this reason, the lower cushioning material 40 can be supported by the entire upper surface 62 of the first cushion material 60 via the first rigid body 50.
  • the impact can be distributed over the entire upper surface 51 and lower surface 52 of the first rigid body 50, and the impact and vibration applied to the packaging box 10 can be absorbed by the first cushion material 60 having a large area. Further, it is possible to suppress the shock and vibration transmitted to the lower cushioning material 40 as much as possible.
  • the first cushion material 60 includes a first cushion material 60 in which the upper surface 62 of the first cushion material 60 comes into surface contact with the lower surface 52 of the first rigid body 50 so as to be slidable with respect to the lower surface 52 of the first rigid body 50. For this reason, when the upper surface 62 of the first cushion material 60 slides with respect to the lower surface 52 of the first rigid body 50, vibrations of a predetermined frequency applied to the packaging box 10 can be absorbed, and the substrate is stored. In the container 2, it can suppress as much as possible that the board
  • the first cushion material 60 is formed by laminating a plurality of plate-like first cushion materials 61 each having a flat upper surface 62 and a lower surface 63 in the vertical direction D2, and is a lower plate shape adjacent in the laminating direction.
  • the upper surface 62 of the first cushion material 61 and the lower surface 63 of the upper plate-like first cushion material 61 are in slidable surface contact. Therefore, a predetermined frequency applied to the packaging box 10 by sliding the upper surface 62 of the lower plate-shaped first cushion material 61 adjacent to the stacking direction and the lower surface 63 of the upper plate-shaped first cushion material 61. Can be effectively absorbed.
  • the plurality of plate-like first cushion materials 61 can be used repeatedly. When any one of the plurality of plate-like first cushion materials 61 is damaged or the like, only the damaged plate-like first cushion material 61 can be replaced.
  • the 2nd rigid body 70 which is arrange
  • the upper surface 71 of the 2nd rigid body 70 is plate shape of the lowest layer.
  • a second rigid body 70 slidably in contact with the lower surface 63 of the first cushion material 61 is provided, and the second rigid body 70 is the lowermost plate-like first layer on the entire upper surface 71 of the second rigid body 70. 1
  • the strength of the bottom plate 16 divided and configured in the same manner as the top plate 15 can be supplemented, and the impact toward the upward direction D21 in the figure can be dispersed, and the cushioning effect of the cushioning material can be enhanced.
  • the second cushion material 80 is disposed in the packaging box 10 and has an upper surface 811 and a lower surface 832, and the upper surface 811 of the second cushion material 80 is in relation to the lower surface 72 of the second rigid body 70. And a second cushion member 80 that comes into contact with the lower surface 72 of the second rigid body 70 so as to be slidable.
  • the second cushion member 80 is configured to connect the substrate storage container 2 in which the substrate W is stored to the second cushion member 80. When it is directly placed on 80, it is elastically deformed, and when the placed substrate storage container 2 is removed, it has elastic flexibility to restore its original shape.
  • the second cushion material 80 is configured by laminating a plurality of plate-like second cushion materials 81, 82, 83 having upper surfaces 811, 821, 831 and lower surfaces 812, 822, 832 in the vertical direction D2, respectively.
  • the upper surfaces of the lower plate-shaped second cushion materials 82 and 83 adjacent to the stacking direction and the lower surfaces 812 and 822 of the upper plate-shaped second cushion materials 81 and 82 have flat shapes, respectively.
  • the upper surfaces 821 and 831 of the adjacent lower plate-like second cushion materials 82 and 83 and the lower surfaces 812 and 822 of the upper plate-like second cushion materials 81 and 82 are in slidable surface contact.
  • the upper surfaces 821 and 831 of the lower plate-like second cushion materials 82 and 83 adjacent in the stacking direction and the lower surfaces 812 and 822 of the upper plate-like second cushion materials 81 and 82 slide,
  • the vibration of the predetermined frequency added to the packaging box 10 can be effectively absorbed.
  • the plurality of plate-like second cushion materials 81, 82, 83 can be used repeatedly. When any of the plurality of plate-like second cushion materials 81, 82, 83 is damaged or the like, only the plate-like second cushion material that is damaged or the like can be replaced.
  • the upper surface 811 of the second cushion member 80 has an upper protrusion 814 that protrudes upward, and the upper protrusion 814 is slidable with respect to the lower surface 72 of the second rigid body 70. It contacts the lower surface 72 of the rigid body 70. By sliding the upper projecting portion 814 relative to the lower surface 72 of the second rigid body 70, it is possible to effectively absorb vibration of a predetermined frequency applied to the packaging box 10. Further, the upper projecting portion 814 is partially crushed by the lower surface 72 of the second rigid body 70, so that the impact applied to the packaging box 10 can be effectively absorbed.
  • the lower surface 832 of the second cushion material 80 has a lower protrusion 834 that protrudes downward, and the lower protrusion 834 is slidable with respect to the inner surface of the bottom plate 16 of the packaging box 10. It contacts the inner surface of the bottom plate 16.
  • the lower protrusion 834 slides with respect to the inner surface of the bottom plate 16 of the packaging box 10
  • vibration of a predetermined frequency applied to the packaging box 10 can be effectively absorbed.
  • the lower protrusion 834 abuts against the inner surface of the bottom plate 16 of the packaging box 10 and is partially crushed, so that the impact applied to the packaging box 10 can be effectively absorbed.
  • the side surfaces 813, 823, and 833 of the second cushion material 80 in the direction orthogonal to the vertical direction D2 are always in contact with the inner surface of the packaging box 10. For this reason, when the side surfaces 813, 823, and 833 of the second cushion material 80 slide on the inner surface of the packaging box 10, vibrations of a predetermined frequency applied to the packaging box 10 can be effectively absorbed.
  • the side surface 64 of the first cushion material 60 in the direction orthogonal to the vertical direction D2 is always in contact with the inner surface of the packaging box 10. For this reason, when the side surface 64 of the 1st cushion material 60 slides on the inner surface of the packaging box 10, the vibration of the predetermined frequency added to the packaging box 10 can be absorbed effectively.
  • an upper cushion material 20 placed on the upper surface 31 of the upper cushioning material 30 is provided in the packing box 10, and the upper cushion material 20 directly places the substrate storage container 2 storing the substrate W on the upper cushion material 20.
  • the substrate storage container 2 When placed, it is elastically deformed, and when the placed substrate storage container 2 is removed, it has elastic flexibility to restore its original shape. For this reason, the impact and vibration of the predetermined frequency which are added to the upper part of the packaging box 10 can be absorbed.
  • FIG. 7 is an exploded perspective view showing a packing structure 1A for packing the substrate storage container 2 according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a plan view showing the packing box 10 of the packing structure 1A for packing the substrate storage container according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view taken along the line DD in FIG.
  • the second cushion material 80 is configured in such a manner that three plate-like second cushion materials 82 each having a flat upper surface 821 and a lower surface 822 are stacked in the vertical direction D2. Different from one embodiment. Moreover, it differs from the first embodiment in that the upper cushion material 20 is not provided. Since the configuration other than this is the same as that of the first embodiment, the same members are illustrated by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • the upper surface 821 of the uppermost plate-like second cushion material 82 among the three plate-like second cushion materials 82 is not bonded to the lower surface 72 of the second rigid body 70 and can slide. In contact with the lower surface 72 of the second rigid body 70.
  • the upper surface 821 of the intermediate plate-like second cushion material 82 is not bonded to the lower surface 822 of the uppermost plate-like second cushion material 82.
  • the lower surface 822 of the uppermost plate-like second cushion material 82 is slidably contacted.
  • the lower surface 822 of the intermediate plate-like second cushion material 82 is not bonded to the upper surface 821 of the lowermost plate-like second cushion material 82.
  • the lowermost plate-like second cushion material 82 comes into contact with the upper surface 821 so as to be slidable.
  • the lower surface 822 of the lowermost plate-like second cushion material 82 of the three plate-like second cushion materials 82 is not bonded to the inner surface of the bottom plate 16 of the packaging box 10 and is slidable. It contacts the inner surface of the bottom plate 16 of the packaging box 10.
  • Each plate-like second cushion material 82 is disposed below the second rigid body 70 in the packaging box 10 with the upper surface 821 and the lower surface 822 being in a positional relationship parallel to the left-right direction D3 and the front-rear direction D1.
  • the entire side surface 823 of the plate-like second cushion material 82 having a positional relationship parallel to the vertical direction D2 is always in contact with the inner surface of the cylindrical body 110.
  • the second cushion material 80 is configured by laminating three plate-like second cushion materials 82 each having a flat upper surface 821 and a lower surface 822 in the vertical direction D2. For this reason, the upper surface 821 of the uppermost plate-like second cushion material 82 can slide with respect to the lower surface 72 of the second rigid body 70 in a wider area, and vibration with a predetermined frequency applied to the packaging box 10. Can be effectively absorbed. Further, the lower surface 822 of the lowermost plate-like second cushion material 82 having a larger area can slide with respect to the inner surface of the bottom plate 16 of the packaging box 10, and vibration with a predetermined frequency applied to the lower portion of the packaging box 10. Can be effectively absorbed. That is, in this embodiment, vibration of a predetermined frequency applied to the packing box 10 can be absorbed more effectively than the packing structure 1 according to the first embodiment.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be modified within the technical scope described in the claims.
  • the material of the upper cushion material 20, the first cushion material 60, the second cushion material 80, the upper cushioning material 30, the lower cushioning material 40, the first rigid body 50, and the second rigid body 70 is the present embodiment. It is not limited to each material of form.
  • the first rigid body 50 and the second rigid body 70 may be formed of a plywood board or a stone board.
  • the packaging box 10 is a so-called plastic cardboard box (pradan), but is not limited to this.
  • it may be made of paper cardboard or an aluminum frame.
  • the upper cushion material 20, the first rigid body 50, the second rigid body 70, the first cushion material 60, and the side surfaces 23, 53 of the second cushion material 80 having a positional relationship parallel to the vertical direction D2, 73, 64, 813, 823, and 833, and the entire top surfaces of the convex portions 331, 341, 431, and 441 of the upper cushioning material 30 and the lower cushioning material 40 are always in contact with the inner surface of the cylindrical body 110.
  • a part of the side surface may always be in contact with the inner surface of the cylindrical body 110, and a part of the side surface may be slidable on the inner surface of the cylindrical body 110.
  • the entire side surface and the front end surface may not be in contact with the inner surface of the cylindrical body 110 at all.
  • the first cushion material 60 is configured by laminating a plurality of rectangular plate-shaped first cushion materials 61 each having a flat upper surface 62 and a lower surface 63, which are made of sponge, in the vertical direction D2. It is not limited to this.
  • the number of plate-like first cushion materials 61 is not limited to the number in the present embodiment.
  • the second cushion material 80 is configured by laminating a plurality of rectangular plate-shaped second cushion materials 81, 82, and 83 each formed of a sponge in the vertical direction D2, but this is not limitative.
  • the number of the plate-like second cushion members 82 is not limited to the number in the present embodiment.
  • the substrate storage container is not limited to the shape of the present embodiment.

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Abstract

　基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１は、梱包箱１０と、上部緩衝材３０と、下部緩衝材４０と、第１の剛性体５０と、第１のクッション材６０と、を備える。第１の剛性体５０は、梱包箱１０内に配置され、それぞれ平坦な上面５１及び下面５２を有し板状を有する第１の剛性体５０であって、第１の剛性体５０の上面５１が下部緩衝材４０の下端面に当接する。第１のクッション材６０は、梱包箱１０内に配置され、上面５１及び下面５２を有する第１のクッション材６０であって、第１のクッション材６０の上面６２が、第１の剛性体５０の下面５２に対して摺動可能に第１の剛性体５０の下面５２に面当接する。

Description

基板収納容器を梱包するための梱包構造
　本発明は、半導体ウェーハ等の基板を収納する基板収納容器を梱包するための梱包構造体に関する。
　半導体ウェーハ等の基板を収納する容器としては、容器本体と蓋体とを備える基板収納容器が、従来より知られている。このような基板収納容器が梱包箱内に梱包されて輸送される際には、梱包箱内に樹脂発泡体による緩衝材や、プラスチックシートにて形成された緩衝材が配置される。そして、これらが梱包箱内において基板収納容器を保持し、梱包箱外部からの基板収納容器への衝撃や振動の伝達を低減する（特許文献１参照）。
特開２０１０－１３２３３１号公報
　しかし、従来の緩衝材を用いた梱包構造よりも、更に、基板収納容器への衝撃や振動の伝達を低減する梱包構造が要求されている。
　本発明は、基板収納容器の運搬時に、基板収納容器に収納された複数の基板に、衝撃や振動が伝達されることを極力抑制できる、基板収納容器を梱包するための梱包構造体を提供することを目的とする。
　本発明は、半導体ウェーハからなる基板を収納して輸送するための基板収納容器を梱包するための梱包構造体であって、梱包箱と、前記梱包箱内において前記基板収納容器の上部に載置される上部緩衝材と、前記基板収納容器が載置される下部緩衝材であって、前記上部緩衝材と下部緩衝材とで上下方向において前記基板収納容器を挟むように前記梱包箱内に配置された下部緩衝材と、前記梱包箱内に配置され、それぞれ平坦な上面及び下面を有し板状を有する第１の剛性体であって、前記第１の剛性体の上面が前記下部緩衝材の下端面に当接する第１の剛性体と、前記梱包箱内に配置され、上面及び下面を有する第１のクッション材であって、前記第１のクッション材の上面が前記第１の剛性体の下面に対して摺動可能に前記第１の剛性体の下面に面当接する第１のクッション材と、を備え、前記上部緩衝材及び下部緩衝材は、前記半導体ウェーハが収納された前記基板収納容器を前記上部緩衝材又は下部緩衝材に直接載置しても塑性変形せずに前記上部緩衝材及び下部緩衝材自体の形状を保持可能な硬さを有して、前記梱包箱内で上下方向に直交する方向における前記基板収納容器の位置及び姿勢を保持可能であり、且つ、前記梱包箱に作用して前記上部緩衝材及び下部緩衝材を介して前記基板収納容器に伝達される衝撃の少なくとも一部を吸収可能な柔軟性を有し、前記第１の剛性体の上面は、前記下部緩衝材の下端面よりも広く、前記第１の剛性体は、前記第１の剛性体の下面全体で前記第１のクッション材の上面に面当接可能に前記第１の剛性体自体の形状を保持できる硬さを有し、前記第１のクッション材は、前記半導体ウェーハが収納された前記基板収納容器を前記第１のクッション材に直接載置すると弾性変形し、載置した前記基板収納容器を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有する、基板収納容器を梱包するための梱包構造体に関する。
　また、前記第１のクッション材は、それぞれ平坦な上面及び下面を有する複数の板状第１クッション材が上下方向に積層されて構成され、積層方向に隣接する下側の前記板状第１クッション材の上面と上側の前記板状第１クッション材の下面とは、摺動可能に面当接し、前記梱包箱内に配置され、それぞれ平坦な上面及び下面を有し板状を有する第２の剛性体であって、第２の剛性体の上面が最下層の前記板状第１クッション材の下面に摺動可能に面当接する第２の剛性体を備え、前記第２の剛性体は、前記第２の剛性体の上面全体で前記最下層の板状第１クッション材の下面に面当接可能に前記第２の剛性体自体の形状を保持できる硬さを有することが好ましい。
　また、前記梱包箱内に配置され、上面と下面とを有する第２のクッション材であって、第２のクッション材の上面は、前記第２の剛性体の下面に対して摺動可能に前記第２の剛性体の下面に当接する第２のクッション材を備え、前記第２のクッション材は、前記半導体ウェーハが収納された前記基板収納容器を前記第２のクッション材に直接載置すると弾性変形し、載置した前記基板収納容器を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有することが好ましい。
　また、前記第２のクッション材は、それぞれ上面及び下面を有する複数の板状第２クッション材が上下方向に積層されて構成され、積層方向に隣接する下側の前記板状第２クッション材の上面と上側の前記板状第２クッション材の下面とは、それぞれ平坦な形状を有し、積層方向に隣接する下側の前記板状第２クッション材の上面と上側の前記板状第２クッション材の下面とは、摺動可能に面当接することが好ましい。
　また、前記第２のクッション材の上面は、上方へ突出する上突出部を有し、前記上突出部は、前記第２の剛性体の下面に対して摺動可能に前記第２の剛性体の下面に当接することが好ましい。
　また、前記第２のクッション材の下面は、下方へ突出する下突出部を有し、前記下突出部は、前記梱包箱の内面に対して摺動可能に前記梱包箱の内面に当接することが好ましい。
　また、上下方向に直交する方向における前記第２のクッション材の側面は、前記梱包箱の内面に常時当接していることが好ましい。
　また、上下方向に直交する方向における前記第１のクッション材の側面は、前記梱包箱の内面に常時当接していることが好ましい。
　また、前記梱包箱内において前記上部緩衝材の上部に載置される上部クッション材を備え、前記上部クッション材は、前記半導体ウェーハが収納された前記基板収納容器を前記上部クッション材に直接載置すると弾性変形し、載置した前記基板収納容器を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有することが好ましい。
　本発明によれば、基板収納容器の運搬時に、基板収納容器に収納された複数の基板に、衝撃や振動が伝達されることを極力抑制できる、基板収納容器を梱包するための梱包構造体を提供することができる。
本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１の梱包箱１０を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１の梱包箱１０を示す平面図である。 図３のＡ－Ａ線に沿った断面図である。 図３のＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１によって梱包される基板収納容器２を示す分解斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１Ａを示す分解斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１Ａの梱包箱１０を示す平面図である。 図８のＣ－Ｃ線に沿った断面図である。 図８のＤ－Ｄ線に沿った断面図である。
　以下、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１の梱包箱１０を示す斜視図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１の梱包箱１０を示す平面図である。図４は、図３のＡ－Ａ線に沿った断面図である。図５は、図３のＢ－Ｂ線に沿った断面図である。図６は、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１によって梱包される基板収納容器２を示す分解斜視図である。
　ここで、説明の便宜上、後述の梱包箱１０の背板１４から前板１３へ向かう方向（図１における左下方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の底板１６から天板１５へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側板１２から第１側板１１へと向かう方向（図１における左上方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。
　図６に示すように、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１により梱包される基板収納容器２は、容器本体２０２と、蓋体２０３とを有している。
　容器本体２０２は、一端部に容器本体開口部２２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２２０を有する。容器本体２０２内には基板収納空間２２７が形成されている。基板収納空間２２７は、壁部２２０により取り囲まれて形成されている。壁部２２０の部分であって基板収納空間２２７を形成している部分には、基板支持板状部２０５及びリアリテーナ（図示せず）が配置されている。基板収納空間２２７には、複数の基板Ｗを収納可能である。
　基板支持板状部２０５は、基板収納空間２２７内において対をなすように壁部２２０に設けられている。基板支持板状部２０５は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されていないときに、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。リアリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
　蓋体２０３は、容器本体開口部２２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２２１を閉塞可能である。蓋体２０３には、フロントリテーナ（図示せず）が設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３の部分であって蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに基板収納空間２２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、リアリテーナ（図示せず）と対をなすように配置されている。
　フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体２０３によって容器本体開口部２２１が閉塞されているときに、リアリテーナ（図示せず）と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。
　基板収納容器２に収納される基板Ｗ（図６参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍ～４５０ｍｍのシリコンウェーハである。
　図１に示すように、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１は、梱包箱１０と、上部クッション材２０と、上部緩衝材３０と、下部緩衝材４０と、第１の剛性体５０と、第１のクッション材６０と、第２の剛性体７０と、第２のクッション材８０とを備えている。基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１は、半導体ウェーハからなる基板Ｗを収納して輸送するため基板収納容器２を梱包する。
　図１及び図２に示すように、梱包箱１０は、いわゆるプラスチック段ボール箱（プラダン）により構成されており、第１側板１１と、第２側板１２と、前板１３と、背板１４と、天板１５と、底板１６とを有する。第１側板１１と第２側板１２とは、平行の位置関係を有する。前板１３と背板１４とは平行の位置関係を有する。天板１５と底板１６とは、平行の位置関係を有する。第１側板１１、第２側板１２、前板１３、及び、背板１４は、それぞれ長方形状を有する。第１側板１１、第２側板１２、前板１３、及び、背板１４により、上端及び下端に開口が形成された四角柱状の筒状体１１０が構成される。
　天板１５は、それぞれ長方形状を有する前部板１５１と、後部板１５２と、左部板１５３と、右部板１５４（図２参照）とを備える。前部板１５１は、前板１３の上辺に一体で接続されている。後部板１５２は、背板１４の上辺に一体で接続されている。左部板１５３は、第１側板１１の上辺に一体で接続されている。右部板１５４は、第２側板１２の上辺に一体で接続されている。
　前部板１５１及び後部板１５２が、前板１３及び背板１４に対して直交する位置関係（水平の位置関係）とされて、筒状体１１０の上端開口が、部分的に塞がれる。そして、その上から左部板１５３及び右部板１５４が、第１側板１１及び第２側板１２に対して直交する位置関係（水平の位置関係）とされて、筒状体１１０の上端開口の全体が塞がれる。底板１６は、天板１５と同様の構成を有するため、説明を省略する。
　上部クッション材２０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を上部クッション材２０に直接載置すると弾性変形し、載置した基板収納容器２を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有する材質により構成されており、本実施形態では、スポンジにより構成されている。上部クッション材２０は、長方形状の板状を有しており、この長方形状は、左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な面で切った筒状体１１０の断面における筒状体１１０の内面により囲まれる長方形状に一致する。上部クッション材２０は、長方形状の上面２１及び下面２２が左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、梱包箱１０内において最上部に配置され、上部緩衝材３０の上部に載置される。上下方向Ｄ２に平行な位置関係を有する上部クッション材２０の側面２３の全面は、筒状体１１０の内面に常時当接している。上部クッション材２０の側面２３は、筒状体１１０の内面には接着等されておらず、筒状体１１０の内面に対して摺動可能である。
　上部緩衝材３０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を上部緩衝材３０に直接載置しても塑性変形せずに上部緩衝材３０自体の形状を保持可能な硬さを有している。具体的には上部緩衝材３０は、梱包箱１０内で上下方向Ｄ２に直交する方向における基板収納容器２の位置及び姿勢を保持可能であり、且つ、梱包箱１０に作用して上部緩衝材３０を介して基板収納容器２に伝達される衝撃の少なくとも一部を吸収可能な柔軟性を有する材質により構成されている。従って、上部緩衝材３０は、所定の衝撃よりも強い衝撃を受けると塑性変形して形状が元に戻らなくなるが、所定の衝撃よりも弱い衝撃については吸収可能であり、このような衝撃では、ほとんど変形しない。上部クッション材２０、第１のクッション材６０、第２のクッション材８０よりも硬いが、第１の剛性体５０、第２の剛性体７０よりも柔らかい。本実施形態では、発泡スチロールにより構成されている。
　上部緩衝材３０は、略直方体形状を有している。上部緩衝材３０の上面３１は、平坦面により構成されている。上部緩衝材３０の前後の側面３３には、凸部３３１が３つずつ設けられており、上部緩衝材３０の左右の側面３４には、直方体形状の凸部３４１が４つずつ設けられている。上部緩衝材３０の下部３２は、凹部３２１を有する。凹部３２１は、基板収納容器２の蓋体２０３と略同一形状を有しており、凹部３２１には、蓋体２０３が係合する。
　上部緩衝材３０は、上面３１が左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、上部クッション材２０の下面２２に対して上部緩衝材３０の上面３１が面当接するように、梱包箱１０内において基板収納容器２の上部に載置される。上部クッション材２０の下面２２は、上部緩衝材３０の上面３１には接着等されておらず、上部クッション材２０の下面２２は、上部緩衝材３０の上面３１に対して摺動可能である。また、上部緩衝材３０の凸部３３１、３４１の先端面は、梱包箱１０内において筒状体１１０の内面に常時当接している。凸部３３１、３４１の先端面は、筒状体１１０の内面には接着等されておらず、筒状体１１０の内面に対して摺動可能である。
　下部緩衝材４０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を下部緩衝材４０に直接載置しても塑性変形せずに下部緩衝材４０自体の形状を保持可能な硬さを有している。具体的には下部緩衝材４０は、梱包箱１０内で上下方向Ｄ２に直交する方向における基板収納容器２の位置及び姿勢を保持可能であり、且つ、梱包箱１０に作用して下部緩衝材４０を介して基板収納容器２に伝達される衝撃の少なくとも一部を吸収可能な柔軟性を有する材質により構成されている。本実施形態では、上部緩衝材３０と同一の発泡スチロールにより構成されている。
　下部緩衝材４０は、略直方体形状を有している。下部緩衝材４０の上部４１は、凹部４１１を有する。凹部４１１は、基板収納容器２の蓋体２０３を上側に配置させたときの基板収納容器２の下側の部分（基板収納容器２において容器本体開口部２２１に対する壁部２２０の奥の部分）と略同一形状を有しており、凹部４１１には、当該下側の部分が係合する。即ち、下部緩衝材４０には、基板収納容器２が載置され、上部緩衝材３０と下部緩衝材４０とで上下方向Ｄ２において基板収納容器２を挟むように梱包箱１０内に配置される。下部緩衝材４０の前後の側面４３には、凸部４３１が３つずつ設けられており、下部緩衝材４０の左右の側面４４には、直方体形状の凸部４４１が４つずつ設けられている。下部緩衝材４０の下面４２には、左右方向Ｄ３に３列、前後方向Ｄ１に３列で計９個の下部凸部４２１が設けられている。
　下部緩衝材４０は、左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、第１の剛性体５０の上面５１に対して下部緩衝材４０の下部凸部４２１の先端面が面当接するように、梱包箱１０内において基板収納容器２の下方に配置される。下部緩衝材４０の下端面としての下部凸部４２１の先端面は、第１の剛性体５０の上面５１には接着等されておらず、第１の剛性体５０の上面５１に対して摺動可能である。下部緩衝材４０の凸部４３１、４４１の先端面は、梱包箱１０内において筒状体１１０の内面に常時当接している。凸部４３１、４４１の先端面は、筒状体１１０の内面には接着等されておらず、筒状体１１０の内面に対して摺動可能である。
　第１の剛性体５０は、第１の剛性体５０の下面５２全体で第１のクッション材６０の上面６２に面当接可能に第１の剛性体５０自体の形状を保持できる硬さを有する材質により構成されており、本実施形態では、ダンボールの板又はプラスチックの板により構成されている。即ち、第１の剛性体５０は、それ自体で振動や衝撃を吸収しなくてもよく、それ自体の形状が維持できる比較的硬い材質により構成される。従って、第１の剛性体５０は、上部クッション材２０、上部緩衝材３０、下部緩衝材４０、第１のクッション材６０、第２のクッション材８０のいずれよりも硬い。第１の剛性体５０は、長方形状の板状を有しており、この長方形状は、左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な面で切った筒状体１１０の断面における、筒状体１１０の内面により囲まれる長方形状に一致する。
　第１の剛性体５０は、それぞれ平坦な上面５１及び下面５２を有し、上面５１及び下面５２が左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、梱包箱１０内において下部緩衝材４０の下方に配置される。上下方向Ｄ２に平行な位置関係を有する第１の剛性体５０の側面５３の全面は、筒状体１１０の内面に常時当接している。第１の剛性体５０の側面５３は、筒状体１１０の内面には接着等されておらず、筒状体１１０の内面に対して摺動可能である。第１の剛性体５０の上面５１の面積は、下部緩衝材４０の下端面としての下部凸部４２１の先端面の合計面積よりも広く、全ての下部凸部４２１の先端面は、第１の剛性体５０の上面５１に面で当接している。
　第１のクッション材６０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を第１のクッション材６０に直接載置すると弾性変形し、載置した基板収納容器２を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有する。本実施形態では、第１のクッション材６０は、上部クッション材２０と同一のスポンジにより構成されている。
　より詳細には、第１のクッション材６０は、それぞれスポンジにより構成され平坦な上面６２及び下面６３を有する５枚の長方形状の板状第１クッション材６１が上下方向Ｄ２に積層されて構成されている。板状第１クッション材６１は、それぞれ上面６２及び下面６３が左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、梱包箱１０内において第１の剛性体５０の下方に配置されている。上下方向Ｄ２に平行な位置関係を有する板状第１クッション材６１の側面６４の全面は、筒状体１１０の内面に常時当接している。
　また、積層方向としての上下方向Ｄ２に隣接する下側の板状第１クッション材６１の上面６２と、上側の板状第１クッション材６１の下面６３とは、それぞれ面当接している。積層方向に隣接する下側の板状第１クッション材の上面６２と、上側の板状第１クッション材の下面６３とは、それぞれ接着等されておらず、互いに摺動可能である。最上層の板状第１クッション材６１の上面６２は、第１の剛性体５０の下面５２に対して接着等されておらず、面当接しており、摺動可能である。従って、第１のクッション材６０の上面６２が第１の剛性体５０の下面５２に対して摺動可能に、第１の剛性体５０の下面５２に面当接する。
　第２の剛性体７０は、第２の剛性体７０の上面７１全体で最下層の板状第１クッション材６１の下面６３に面当接可能に第２の剛性体７０自体の形状を保持できる硬さを有しており、本実施形態では、第１の剛性体５０と同一のダンボールの板又はプラスチックの板により構成されている。第２の剛性体７０は、長方形状の板状を有しており、この長方形状は、左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な面で切った筒状体１１０の断面における筒状体１１０の内面により囲まれる長方形状に一致する。
　第２の剛性体７０は、それぞれ平坦な上面７１及び下面７２を有し、上面７１及び下面７２が左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、梱包箱１０内において最下層の板状第１クッション材６１の下方に配置される。上下方向Ｄ２に平行な位置関係を有する第２の剛性体７０の側面７３の全面は、筒状体１１０の内面に常時当接している。第２の剛性体７０の側面７３は、筒状体１１０の内面には接着等されておらず、筒状体１１０の内面に対して摺動可能である。
　第２の剛性体７０の上面７１は、最下層の板状第１クッション材の下面６３に、接着等されておらず、摺動可能に面当接する。第２の剛性体７０の下面７２の面積は、後述の第２のクッション材８０の上面８１１の上突出部８１４の、第２の剛性体７０の下面７２への当接面の面積よりも広い。全ての当該当接面は、第２の剛性体７０の下面７２に、接着等されておらず、摺動可能に面当接している。
　第２のクッション材８０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を第２のクッション材８０に直接載置すると弾性変形し、載置した基板収納容器２を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有する。本実施形態では、第２のクッション材８０は、第１のクッション材６０と同一のスポンジにより構成されている。
　第２のクッション材８０は、それぞれ上面８１１、８２１、８３１と、下面８１２、８２２、８３２とを有する複数の板状第２クッション材８１、８２、８３が上下方向Ｄ２に積層されて構成されている。積層方向としての上下方向Ｄ２に隣接する下側の板状第２クッション材８２、８３の上面８２１、８３１と上側の板状第２クッション材８１、８２の下面８１２、８２２とは、それぞれ平坦な形状を有する。積層方向に隣接する下側の板状第２クッション材８２、８３の上面８２１、８３１と上側の板状第２クッション材の下面８１２、８２２とは、それぞれ接着等されておらず、摺動可能に面当接している。
　より詳細には、第２のクッション材８０は、それぞれスポンジにより構成された、上側板状第２クッション材８１と、板状第２クッション材８２と、下側板状第２クッション材８３とを有する。
　上側板状第２クッション材８１は、多数の上突出部８１４を有する上面８１１と、平坦な下面８１２とを有する、長方形状の板状を有する。上突出部８１４は上方へ突出する。上突出部８１４は、第２の剛性体７０の下面７２に対して接着等されておらず、摺動可能に第２の剛性体７０の下面７２に当接する。
　上側板状第２クッション材８１は、下面８１２が左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、梱包箱１０内において第２の剛性体７０の下方に配置されている。上下方向Ｄ２に平行な位置関係を有する上側板状第２クッション材８１の側面８１３の全面は、筒状体１１０の内面に常時接触している。
　板状第２クッション材８２は、平坦な上面８２１及び下面８２２を有する長方形状の板状を有する。板状第２クッション材８２の上面８２１は、上側板状第２クッション材８１の下面８１２に対して接着等されておらず、摺動可能に上側板状第２クッション材８１の下面８１２に当接する。
　板状第２クッション材８２は、それぞれ上面８２１及び下面８２２が左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、梱包箱１０内において上側板状第２クッション材８１の下方に配置されている。上下方向Ｄ２に平行な位置関係を有する板状第２クッション材８２の側面８２３の全面は、筒状体１１０の内面に常時接触している。
　下側板状第２クッション材８３は、平坦な上面８３１と、多数の下突出部８３４を有する下面８３２とを有する、長方形状の板状を有する。下側板状第２クッション材８３の上面８３１は、板状第２クッション材８２の下面８２２に対して接着等されておらず、摺動可能に板状第２クッション材８２の下面８２２に当接する。下突出部８３４は下方へ突出する。下突出部８３４は、梱包箱１０の底板１６の内面に対して接着等されておらず、摺動可能に梱包箱１０の底板１６の内面に当接する。
　下側板状第２クッション材８３は、上面８３１が左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、梱包箱１０内において板状第２クッション材８２の下方に配置されている。上下方向Ｄ２に平行な位置関係を有する下側板状第２クッション材８３の側面８３３の全面は、筒状体１１０の内面に常時接触している。
　上記構成の第１実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１によれば、以下のような効果を得ることができる。
　前述のように、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１は、梱包箱１０内において基板収納容器２の上部に載置される上部緩衝材３０と、基板収納容器２が載置される下部緩衝材４０であって、上部緩衝材３０と下部緩衝材４０とで上下方向Ｄ２において基板収納容器２を挟むように梱包箱１０内に配置された下部緩衝材４０とを備える。この構成により、梱包箱１０内において基板収納容器２の姿勢及び位置を所定の姿勢及び位置に安定して保持することができる。
　また、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１は、梱包箱１０内に配置され、それぞれ平坦な上面５１及び下面５２を有し板状を有する第１の剛性体５０であって、第１の剛性体５０の上面５１が下部緩衝材４０の下部凸部４２１の下端面に当接する第１の剛性体５０と、梱包箱１０内に配置され、上面６２及び下面６３を有する第１のクッション材６０であって、第１のクッション材６０の上面６２が第１の剛性体５０の下面５２に対して摺動可能に第１の剛性体５０の下面５２に面当接する第１のクッション材６０と、を備える。
　上部緩衝材３０及び下部緩衝材４０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を上部緩衝材３０又は下部緩衝材４０に直接載置しても塑性変形せずに上部緩衝材３０及び下部緩衝材４０自体の形状を保持可能な硬さを有して、梱包箱１０内で上下方向Ｄ２に直交する方向における基板収納容器２の位置及び姿勢を保持可能であり、且つ、梱包箱１０に作用して上部緩衝材３０及び下部緩衝材４０を介して基板収納容器２に伝達される衝撃の少なくとも一部を吸収可能な柔軟性を有する。
　また、第１の剛性体５０の上面５１は、下部緩衝材４０の下端面よりも広く、第１の剛性体５０は、第１の剛性体５０の下面５２全体で第１のクッション材６０の上面６２に面当接可能に第１の剛性体５０自体の形状を保持できる硬さを有する。また、第１のクッション材６０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を第１のクッション材６０に直接載置すると弾性変形し、載置した基板収納容器２を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有する。
　この構成により、第１の剛性体５０の上面５１は、下部緩衝材４０の下部凸部４２１の下端面よりも広く、第１の剛性体５０の上面５１の一部のみが下部緩衝材４０の下部凸部４２１の下端面の全面に当接する構成であっても、第１の剛性体５０の下面５２の広い面で、第１のクッション材６０の上面６２に面当接することができる。このため、第１の剛性体５０を介して、第１のクッション材６０の上面６２全体で、下部緩衝材４０を支持することができる。この結果、衝撃を第１の剛性体５０の上面５１及び下面５２全体で分散させることができ、広い面積の第１のクッション材６０で、梱包箱１０に加わる衝撃や振動を吸収することができ、下部緩衝材４０に衝撃や振動が伝達されることを、極力抑えることができる。
　また、第１のクッション材６０の上面６２が第１の剛性体５０の下面５２に対して摺動可能に第１の剛性体５０の下面５２に面当接する第１のクッション材６０を備える。このため、第１のクッション材６０の上面６２が第１の剛性体５０の下面５２に対して摺動することにより、梱包箱１０に加わる所定の周波数の振動を吸収することができ、基板収納容器２内において、フロントリテーナ及びリアリテーナに対して、基板Ｗが振動することを極力抑えることができる。この結果、フロントリテーナ及びリアリテーナに対して基板Ｗが擦れて、基板Ｗが削れ、基板収納容器２内において基板Ｗが汚染されることを極力抑えることができる。
　また、第１のクッション材６０は、それぞれ平坦な上面６２及び下面６３を有する複数の板状第１クッション材６１が上下方向Ｄ２に積層されて構成され、積層方向に隣接する下側の板状第１クッション材６１の上面６２と上側の板状第１クッション材６１の下面６３とは、摺動可能に面当接する。このため、積層方向に隣接する下側の板状第１クッション材６１の上面６２と上側の板状第１クッション材６１の下面６３とが摺動することにより、梱包箱１０に加わる所定の周波数の振動を効果的に吸収することができる。また、複数の板状第１クッション材６１を繰り返し使用することができる。そして、複数の板状第１クッション材６１のうちのいずれかが破損等した場合に、当該破損等した板状第１クッション材６１のみを交換することができる。
　また、梱包箱１０内に配置され、それぞれ平坦な上面７１及び下面７２を有し板状を有する第２の剛性体７０であって、第２の剛性体７０の上面７１が最下層の板状第１クッション材６１の下面６３に摺動可能に面当接する第２の剛性体７０を備え、第２の剛性体７０は、第２の剛性体７０の上面７１全体で最下層の板状第１クッション材６１の下面６３に面当接可能に第２の剛性体７０自体の形状を保持できる硬さを有する。このため、天板１５と同様に分割されて構成された底板１６の強度を補い、図中上方向Ｄ２１へ向かう衝撃を分散させ、クッション材の緩衝効果を高めることができる。
　また、梱包箱１０内に配置され、上面８１１と下面８３２とを有する第２のクッション材８０であって、第２のクッション材８０の上面８１１は、第２の剛性体７０の下面７２に対して摺動可能に第２の剛性体７０の下面７２に当接する第２のクッション材８０を備え、第２のクッション材８０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を第２のクッション材８０に直接載置すると弾性変形し、載置した基板収納容器２を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有する。
　このため、第２のクッション材８０の上面８１１が第２の剛性体７０の下面７２に対して摺動することにより、梱包箱１０に加わる所定の周波数の振動を効果的に吸収することができる。更に、第２のクッション材８０において、梱包箱１０に加わる衝撃を効果的に吸収することができる。
　また、第２のクッション材８０は、それぞれ上面８１１、８２１、８３１及び下面８１２、８２２、８３２を有する複数の板状第２クッション材８１、８２、８３が上下方向Ｄ２に積層されて構成され、積層方向に隣接する下側の板状第２クッション材８２、８３の上面と上側の板状第２クッション材８１、８２の下面８１２、８２２とは、それぞれ平坦な形状を有し、積層方向に隣接する下側の板状第２クッション材８２、８３の上面８２１、８３１と上側の板状第２クッション材８１、８２の下面８１２、８２２とは、摺動可能に面当接する。
　このため、積層方向に隣接する下側の板状第２クッション材８２、８３の上面８２１、８３１と上側の板状第２クッション材８１、８２の下面８１２、８２２とが摺動することにより、梱包箱１０に加わる所定の周波数の振動を効果的に吸収することができる。また、複数の板状第２クッション材８１、８２、８３を繰り返し使用することができる。そして、複数の板状第２クッション材８１、８２、８３のうちのいずれかが破損等した場合に、当該破損等した板状第２クッション材のみを交換することができる。
　また、第２のクッション材８０の上面８１１は、上方へ突出する上突出部８１４を有し、上突出部８１４は、第２の剛性体７０の下面７２に対して摺動可能に第２の剛性体７０の下面７２に当接する。上突出部８１４が第２の剛性体７０の下面７２に対して摺動することにより、梱包箱１０に加わる所定の周波数の振動を効果的に吸収することができる。また、上突出部８１４が第２の剛性体７０の下面７２によって部分的に押しつぶされることにより、梱包箱１０に加わる衝撃を、効果的に吸収することができる。
　また、第２のクッション材８０の下面８３２は、下方へ突出する下突出部８３４を有し、下突出部８３４は、梱包箱１０の底板１６の内面に対して摺動可能に梱包箱１０の底板１６の内面に当接する。下突出部８３４が梱包箱１０の底板１６の内面に対して摺動することにより、梱包箱１０に加わる所定の周波数の振動を効果的に吸収することができる。また、下突出部８３４が梱包箱１０の底板１６の内面に当接して部分的に押しつぶされることにより、梱包箱１０に加わる衝撃を、効果的に吸収することができる。
　また、上下方向Ｄ２に直交する方向における第２のクッション材８０の側面８１３、８２３、８３３は、梱包箱１０の内面に常時当接している。このため、第２のクッション材８０の側面８１３、８２３、８３３が梱包箱１０の内面に摺動することにより、梱包箱１０に加わる所定の周波数の振動を効果的に吸収することができる。
　また、上下方向Ｄ２に直交する方向における第１のクッション材６０の側面６４は、梱包箱１０の内面に常時当接している。このため、第１のクッション材６０の側面６４が梱包箱１０の内面に摺動することにより、梱包箱１０に加わる所定の周波数の振動を効果的に吸収することができる。
　また、梱包箱１０内において上部緩衝材３０の上面３１に載置される上部クッション材２０を備え、上部クッション材２０は、基板Ｗが収納された基板収納容器２を上部クッション材２０に直接載置すると弾性変形し、載置した基板収納容器２を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有する。このため、梱包箱１０の上部に加わる所定の周波数の衝撃及び振動を吸収することができる。
　以下、本発明の第２実施形態による基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ａについて説明する。図７は、本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ａを示す分解斜視図である。図８は、本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器を梱包するための梱包構造体１Ａの梱包箱１０を示す平面図である。図９は、図８のＣ－Ｃ線に沿った断面図である。図１０は、図８のＤ－Ｄ線に沿った断面図である。
　第２実施形態では、第２のクッション材８０は、それぞれ平坦な上面８２１及び下面８２２を有する３枚の板状第２クッション材８２が上下方向Ｄ２に積層されて構成されている点において、第１実施形態とは異なる。また、上部クッション材２０が設けられていない点において、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
　３枚の板状第２クッション材８２のうちの最上層の板状第２クッション材８２の上面８２１は、第２の剛性体７０の下面７２に対して接着等されておらず、摺動可能に第２の剛性体７０の下面７２に当接する。３枚の板状第２クッション材８２のうちの中間層の板状第２クッション材８２の上面８２１は、最上層の板状第２クッション材８２の下面８２２に対して接着等されておらず、摺動可能に最上層の板状第２クッション材８２の下面８２２に当接する。３枚の板状第２クッション材８２のうちの中間層の板状第２クッション材８２の下面８２２は、最下層の板状第２クッション材８２の上面８２１に対して接着等されておらず、摺動可能に最下層の板状第２クッション材８２の上面８２１に当接する。３枚の板状第２クッション材８２のうちの最下層の板状第２クッション材８２の下面８２２は、梱包箱１０の底板１６の内面に対して接着等されておらず、摺動可能に梱包箱１０の底板１６の内面に当接する。
　各板状第２クッション材８２は、上面８２１及び下面８２２が左右方向Ｄ３及び前後方向Ｄ１に平行な位置関係で、梱包箱１０内において第２の剛性体７０の下方に配置されている。上下方向Ｄ２に平行な位置関係を有する板状第２クッション材８２の側面８２３の全面は、筒状体１１０の内面に常時接触している。
　上記構成の第２実施形態による基板収納容器２を梱包するための梱包構造体１Ａによれば、以下のような効果を得ることができる。
　第２のクッション材８０は、それぞれ平坦な上面８２１及び下面８２２を有する３枚の板状第２クッション材８２が上下方向Ｄ２に積層されて構成されている。このため、より広い面積で最上層の板状第２クッション材８２の上面８２１が第２の剛性体７０の下面７２に対して摺動することができ、梱包箱１０に加わる所定の周波数の振動を効果的に吸収することができる。また、より広い面積で最下層の板状第２クッション材８２の下面８２２が梱包箱１０の底板１６の内面に対して摺動することができ、梱包箱１０の下部に加わる所定の周波数の振動を効果的に吸収することができる。即ち、本実施形態では、梱包箱１０に加わる所定の周波数の振動を、第１実施形態に係る梱包構造体１よりも、効果的に吸収することができる。
　本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。例えば、上部クッション材２０、第１のクッション材６０、第２のクッション材８０、上部緩衝材３０、下部緩衝材４０、第１の剛性体５０、第２の剛性体７０の材質は、本実施形態のそれぞれの材質に限定されない。例えば、第１の剛性体５０、第２の剛性体７０は、ベニヤ板や石の板で構成されてもよい。
　また、梱包箱１０は、いわゆるプラスチックダンボール箱（プラダン）により構成されたが、これに限定されない。例えば、紙製の段ボールやアルミフレームにより構成されてもよい。
　また、上下方向Ｄ２に平行な位置関係を有する上部クッション材２０、第１の剛性体５０、第２の剛性体７０、第１のクッション材６０、第２のクッション材８０の側面２３、５３、７３、６４、８１３、８２３、８３３の全面、及び、上部緩衝材３０、下部緩衝材４０の凸部３３１、３４１、４３１、４４１の先端面の全面は、筒状体１１０の内面に常時当接していたが、これに限定されない。
　例えば、側面の全面ではなく側面の一部が筒状体１１０の内面に常時当接していて、側面の一部が筒状体１１０の内面に摺動可能であってもよい。または、側面及び先端面の全面が、筒状体１１０の内面に全く当接していなくてもよい。
　また、第１のクッション材６０は、それぞれスポンジにより構成され平坦な上面６２及び下面６３を有する複数の長方形状の板状第１クッション材６１が上下方向Ｄ２に積層されて構成されていたが、これに限定されない。例えば、板状第１クッション材６１の枚数は、本実施形態における枚数に限定されない。また、スポンジにより構成され平坦な上面及び下面を有する１枚の厚い第１クッション材により構成されてもよい。
　同様に、第２のクッション材８０は、それぞれスポンジにより構成される複数の長方形状の板状第２クッション材８１、８２、８３が上下方向Ｄ２に積層されて構成されていたが、これに限定されない。例えば、板状第２クッション材８２の枚数は、本実施形態における枚数に限定されない。また、スポンジにより構成され平坦な上面及び下面を有する１枚の厚い第２クッション材により構成されてもよい。
　また、基板収納容器は、本実施形態の形状のものに限定されない。
１　基板収納容器を梱包するための梱包構造体
２　基板収納容器
１０　梱包箱
２０　上部クッション材
３０　上部緩衝材
４０　下部緩衝材
５０　第１の剛性体
５１　上面
５２　下面
６０　第１のクッション材
６１　板状第１クッション材
６２　上面
６３　下面
７０　第２の剛性体
７１　上面
７２　下面
８０　第２のクッション材
８１　上側板状第２クッション材
８２　板状第２クッション材
８３　下側板状第２クッション材
８１４　上突出部
８３４　下突出部
Ｗ　基板

Claims (9)

  1. 　半導体ウェーハからなる基板を収納して輸送するための基板収納容器を梱包するための梱包構造体であって、
    　梱包箱と、
    　前記梱包箱内において前記基板収納容器の上部に載置される上部緩衝材と、
    　前記基板収納容器が載置される下部緩衝材であって、前記上部緩衝材と下部緩衝材とで上下方向において前記基板収納容器を挟むように前記梱包箱内に配置された下部緩衝材と、
    　前記梱包箱内に配置され、それぞれ平坦な上面及び下面を有し板状を有する第１の剛性体であって、前記第１の剛性体の上面が前記下部緩衝材の下端面に当接する第１の剛性体と、
    　前記梱包箱内に配置され、上面及び下面を有する第１のクッション材であって、前記第１のクッション材の上面が前記第１の剛性体の下面に対して摺動可能に前記第１の剛性体の下面に面当接する第１のクッション材と、を備え、
    　前記上部緩衝材及び下部緩衝材は、前記半導体ウェーハが収納された前記基板収納容器を前記上部緩衝材又は下部緩衝材に直接載置しても塑性変形せずに前記上部緩衝材及び下部緩衝材自体の形状を保持可能な硬さを有して、前記梱包箱内で上下方向に直交する方向における前記基板収納容器の位置及び姿勢を保持可能であり、且つ、前記梱包箱に作用して前記上部緩衝材及び下部緩衝材を介して前記基板収納容器に伝達される衝撃の少なくとも一部を吸収可能な柔軟性を有し、
    　前記第１の剛性体の上面は、前記下部緩衝材の下端面よりも広く、
    　前記第１の剛性体は、前記第１の剛性体の下面全体で前記第１のクッション材の上面に面当接可能に前記第１の剛性体自体の形状を保持できる硬さを有し、
    　前記第１のクッション材は、前記半導体ウェーハが収納された前記基板収納容器を前記第１のクッション材に直接載置すると弾性変形し、載置した前記基板収納容器を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有する、基板収納容器を梱包するための梱包構造体。
  2. 　前記第１のクッション材は、それぞれ平坦な上面及び下面を有する複数の板状第１クッション材が上下方向に積層されて構成され、
    　積層方向に隣接する下側の前記板状第１クッション材の上面と上側の前記板状第１クッション材の下面とは、摺動可能に面当接し、
    　前記梱包箱内に配置され、それぞれ平坦な上面及び下面を有し板状を有する第２の剛性体であって、第２の剛性体の上面が最下層の前記板状第１クッション材の下面に摺動可能に面当接する第２の剛性体を備え、
    　前記第２の剛性体は、前記第２の剛性体の上面全体で前記最下層の板状第１クッション材の下面に面当接可能に前記第２の剛性体自体の形状を保持できる硬さを有する請求項１に記載の基板収納容器を梱包するための梱包構造体。
  3. 　前記梱包箱内に配置され、上面と下面とを有する第２のクッション材であって、第２のクッション材の上面は、前記第２の剛性体の下面に対して摺動可能に前記第２の剛性体の下面に当接する第２のクッション材を備え、
    　前記第２のクッション材は、前記半導体ウェーハが収納された前記基板収納容器を前記第２のクッション材に直接載置すると弾性変形し、載置した前記基板収納容器を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有する請求項２に記載の基板収納容器を梱包するための梱包構造体。
  4. 　前記第２のクッション材は、それぞれ上面及び下面を有する複数の板状第２クッション材が上下方向に積層されて構成され、
    　積層方向に隣接する下側の前記板状第２クッション材の上面と上側の前記板状第２クッション材の下面とは、それぞれ平坦な形状を有し、
    　積層方向に隣接する下側の前記板状第２クッション材の上面と上側の前記板状第２クッション材の下面とは、摺動可能に面当接する請求項３に記載の基板収納容器を梱包するための梱包構造体。
  5. 　前記第２のクッション材の上面は、上方へ突出する上突出部を有し、前記上突出部は、前記第２の剛性体の下面に対して摺動可能に前記第２の剛性体の下面に当接する請求項３～請求項４のいずれかに記載の基板収納容器を梱包するための梱包構造体。
  6. 　前記第２のクッション材の下面は、下方へ突出する下突出部を有し、前記下突出部は、前記梱包箱の内面に対して摺動可能に前記梱包箱の内面に当接する請求項３～請求項５のいずれかに記載の基板収納容器を梱包するための梱包構造体。
  7. 　上下方向に直交する方向における前記第２のクッション材の側面は、前記梱包箱の内面に常時当接している請求項３～請求項６のいずれかに記載の基板収納容器を梱包するための梱包構造体。
  8. 　上下方向に直交する方向における前記第１のクッション材の側面は、前記梱包箱の内面に常時当接している請求項１～請求項７のいずれかに記載の基板収納容器を梱包するための梱包構造体。
  9. 　前記梱包箱内において前記上部緩衝材の上部に載置される上部クッション材を備え、
    　前記上部クッション材は、前記半導体ウェーハが収納された前記基板収納容器を前記上部クッション材に直接載置すると弾性変形し、載置した前記基板収納容器を取り除くと、元の形状に復元する弾性的な柔軟性を有する請求項１～請求項８のいずれかに記載の基板収納容器を梱包するための梱包構造体。
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