WO2014175110A1 - 電荷電圧変換回路 - Google Patents

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WO2014175110A1
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恭章 中村
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株式会社島津製作所
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    • H03F3/04—Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements with semiconductor devices only
    • H03F3/08—Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements with semiconductor devices only controlled by light
    • H03F3/087—Amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements with semiconductor devices only controlled by light with IC amplifier blocks
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    • H03F2203/00—Indexing scheme relating to amplifiers with only discharge tubes or only semiconductor devices as amplifying elements covered by H03F3/00
    • H03F2203/45—Indexing scheme relating to differential amplifiers
    • H03F2203/45514—Indexing scheme relating to differential amplifiers the FBC comprising one or more switched capacitors, and being coupled between the LC and the IC

Definitions

  • the present invention relates to a charge-voltage conversion circuit having a power storage unit and an analog switch connected to the power storage unit.
  • Photodetectors such as photodiode detectors and photomultiplier tubes include a photoelectric conversion unit that converts light into electric charges and a charge-voltage conversion circuit that converts the electric charges into voltage signals.
  • FIG. 1 shows a general configuration of a conventionally used charge-voltage conversion circuit (Patent Documents 1 and 2).
  • a charge-voltage conversion circuit 100 shown in FIG. 1 is in parallel with a capacitor 103 that accumulates charges output from the photoelectric conversion unit 101, an amplifier circuit 102 that generates and amplifies a voltage signal corresponding to the amount of accumulated charges, and the capacitor 103. It has an analog switch 104 connected.
  • the charge output from the photoelectric conversion unit 101 is accumulated (integrated) in the capacitor 103 while the analog switch 104 is in the OFF state, and a signal corresponding to the amount of charge accumulated (integrated) for a predetermined time is output from the amplifier circuit 102.
  • the analog switch 104 is turned on to discharge (reset) the charge accumulated in the capacitor 103, and the analog switch 104 is turned off to start the next charge accumulation.
  • a photodetector having a photoelectric conversion unit 101 configured to include a plurality of light receiving elements, such as a photodiode array detector
  • the charge output from the light receiving elements is accumulated in the capacitor 103 and then stored in the capacitor 103.
  • a series of operations of discharging the accumulated electric charge is repeated for each light receiving element.
  • the charge accumulation time is determined in advance according to the purpose of use and cannot be changed, in order to realize high-speed reading in such a photodetector, the charge can be discharged and accumulated again. It is important to increase the speed of a series of operations (hereinafter referred to as “reset operation”) at the time of resetting.
  • Discharging the charge accumulated in the capacitor 103 requires time corresponding to the on-resistance of the analog switch 104. Therefore, it is conceivable to connect a plurality of analog switches in parallel and simultaneously turn them on / off to reduce the on-resistance during discharging and to shorten the time required for the reset operation.
  • the charge injection is a phenomenon in which charges accumulated in the stray capacitance of the analog switch 104 are injected into the circuit side when the analog switch 104 is switched from ON to OFF.
  • the charge injected from the analog switch 104 in the charge-voltage conversion circuit is accumulated in the capacitor 103. Therefore, in the above-described configuration, although the time required for discharge can be shortened, the charge injection amount increases. As a result, there is a problem that a minute signal cannot be detected or an error at the time of detection increases, which may not be suitable for practical use. Such a problem occurs not only in the integration circuit but also in a clamp circuit and a sample-and-hold circuit having a power storage unit such as a capacitor and an analog switch connected to the power storage unit, as in the integration circuit.
  • the problem to be solved by the present invention is to speed up the operation while suppressing the amount of charge injection in a charge-voltage conversion circuit having a power storage unit such as a capacitor and an analog switch connected to the power storage unit.
  • a charge-voltage conversion circuit includes: a) a power storage unit that stores the input charge; b) a plurality of analog switches connected to the power storage unit and arranged in parallel; c) A switch control unit that turns off the analog switches at different timings when the plurality of analog switches are turned off.
  • the switch control unit is preferably turned on at the same time when the plurality of analog switches are turned on, but the requirement is not essential and may be turned on at different timings.
  • analog switches connected to the power storage unit are arranged in parallel.
  • the analog switch is turned on to reduce the on-resistance when discharging the charge accumulated in the power storage unit such as a capacitor, The electric charge accumulated in the power storage unit can be discharged at high speed.
  • the plurality of analog switches are turned off at different timings. Therefore, until the last time the analog switch is turned off, the charge injection that occurs when the analog switch is turned off is discharged by the analog switch in the on state.
  • the power storage unit includes a floating diffusion such as a CMOS image sensor having a function of accumulating charges.
  • the analog switch connected to the power storage unit is arranged in parallel, so that the operation can be speeded up.
  • the switch control unit since the switch control unit turns off the plurality of analog switches at different timings, the amount of charge injection generated after discharging the electric charge accumulated in the power storage unit is limited to only that generated by the analog switch that was turned off last. be able to.
  • the operation can be speeded up while suppressing the charge injection amount.
  • the figure explaining the structure of the conventional charge voltage conversion circuit The figure which shows the structure of the integration circuit which is one Example of the charge voltage conversion circuit which concerns on this invention.
  • the figure which shows the structure of the clamp circuit which is another Example of the charge voltage conversion circuit which concerns on this invention.
  • FIG. 2 shows a configuration of an integration circuit 10 that is a charge-voltage conversion circuit of this embodiment.
  • the integration circuit 10 is common to the conventional charge-voltage conversion circuit 100 (FIG. 1) in that it has an amplification circuit 12 and a capacitor 13, but a plurality of analog switches connected in parallel to the capacitor 13. 14a and 14b, which are different from the charge voltage conversion circuit 100 in that they are turned off by the switch control unit 15 at different timings.
  • the analog switches 14a and 14b have the charge injection amount and on-resistance shown in FIG. In comparison with the analog switch 14b, the analog switch 14a has a small charge injection amount and a large on-resistance.
  • the reset operation of the integration circuit 10 of this embodiment will be described.
  • the analog switches 14a and 14b are turned on to discharge (reset) the charges accumulated in the capacitor 13, the analog switches 14a and 14b are turned off, and the charge is accumulated in the capacitor 13 again. It is an operation to start.
  • illustration of the switch control part 15 is abbreviate
  • the analog switches 14a and 14b are simultaneously turned on to discharge the charge accumulated in the capacitor at a high speed.
  • the analog switch 14b analog switch having a large charge injection amount
  • the charge injection amount (Cb) of the analog switch 14b is injected into the circuit and accumulated in the capacitor.
  • the analog switch 14a analog switch with a small charge injection amount
  • the charge injection amount (Ca) of the analog switch 14a is injected into the capacitor, but the amount is minimized.
  • the accumulated charge amount at the time when the discharge is completed is set to 0 for convenience.
  • FIG. 6 shows the amount of charge stored in the capacitor 103 and the ON / OFF state of the analog switch 104 when the reset operation in the conventional integration circuit shown in FIG. 1 is performed.
  • the charge injection amount of the analog switch 104 is set to the same value (Ca) as that of the analog switch 14a of the present embodiment.
  • the integration circuit (FIG. 5) of the present embodiment can complete the reset operation at a higher speed than the conventional integration circuit (FIG. 6).
  • a plurality of analog switches 14a and 14b are connected in parallel and simultaneously turned on / off to reduce the on-resistance during discharging, and the time required for the reset operation is shortened to the same extent as in this embodiment. It is possible. However, in this case, since the analog switches 14a and 14b are simultaneously turned off after the discharge is completed, the charge injection amounts (Ca + Cb) of both the analog switches 14a and 14b are injected into the capacitor at this time. That is, although the time required for discharging can be shortened, the amount of charge injection increases. As a result, there arises a problem that detection of a minute signal becomes impossible or an error in detection becomes large. On the other hand, in this embodiment, since the switch control unit 15 turns off the analog switch 14a having the smallest charge injection amount at the end, the operation speed is increased and the charge injection amount injected into the capacitor is minimized. Can do.
  • the switch control unit 15 first turns on the analog switches 14a and 14b at the same time, then turns off the analog switch 14b having a large charge injection amount, and finally turns off the analog switch 14a having a small charge injection amount.
  • the timing at which the switch control unit 15 turns on / off the analog switches 14a and 14b is not limited to this. For example, even if the analog switches 14a and 14b are turned on at different timings or the analog switch 14b is turned off last, the reset operation can be speeded up while suppressing the charge injection amount as compared with the conventional method.
  • the two analog switches 14a and 14b are used.
  • the number of analog switches is naturally not limited to two.
  • the integration circuit has been described as an example, but the same effect can be obtained in a clamp circuit or a sample and hold circuit having a power storage unit such as a capacitor and an analog switch connected to the power storage unit. it can.
  • FIG. 7 A configuration example in the case of the clamp circuit 20 is shown in FIG. 7, and a configuration example in the case of the sample and hold circuit 30 is shown in FIG.
  • the 7 includes a capacitor 23 (power storage unit) and analog switches 24a and 24b for switching ON / OFF of the output of the electric charge accumulated in the capacitor 23. Similar to the integration circuit described above, in the clamp circuit 20 as well, by simultaneously turning on these two analog switches, electric charges can be output at a higher speed than the conventional clamp circuit having only one analog switch. . Further, by turning off the analog switches in descending order of the charge injection amount, the charge injection amount flowing into the capacitor 23 can be reduced.
  • the sample and hold circuit 30 in FIG. 8 includes a capacitor 33 (power storage unit) and analog switches 34 a and 34 b for switching ON / OFF of charge accumulation in the capacitor 33.
  • the sample and hold circuit 30 is different from the integration circuit and the clamp circuit described above in that the analog switches 34a and 34b are used to switch ON / OFF of charge accumulation in the capacitor.
  • the analog switches 34a and 34b are simultaneously turned ON, so that charges can be accumulated in the capacitor at a higher speed than in the conventional sample and hold circuit having only one analog switch. Then, the amount of charge injection flowing into the capacitor 33 can be reduced by sequentially turning off the analog switches having the largest charge injection amount.
  • the clamp circuit and the sample-and-hold circuit can also be configured such that three or more analog switches are connected in parallel and are turned ON / OFF by the switch control unit.
  • the power storage unit is not limited to the capacitor shown in the above-described example, and may be a floating diffusion such as a CMOS image sensor having a function of accumulating charges.
  • the above-described charge-voltage conversion circuit can be suitably used in a photodetector such as a photodiode detector (including a photodiode array detector) or a photomultiplier tube.

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Abstract

　入力される電荷を蓄積する蓄電部１３と、前記蓄電部に蓄積された電荷を放電するための、互いに並列に配置された複数のアナログスイッチ１４a、１４bと、前記複数のアナログスイッチ１４a、１４bをＯＦＦにする際、異なるタイミングでＯＦＦにするスイッチ制御部１５とを備えることを特徴とする電荷電圧変換回路１０を提供する。前記スイッチ制御部１５は、複数のアナログスイッチ１４a、１４bを同時にＯＮにし、チャージインジェクション量が最も小さいアナログスイッチ１４aを最後にＯＦＦにすることが望ましい。　

Description

電荷電圧変換回路
　本発明は、蓄電部と、該蓄電部に接続されたアナログスイッチを有する電荷電圧変換回路に関する。
　フォトダイオード検出器や光電子増倍管などの光検出器は、光を電荷に変換する光電変換部と、その電荷を電圧信号に変換する電荷電圧変換回路を備えている。従来用いられている電荷電圧変換回路の一般的な構成を図１に示す（特許文献１、２）。
　図１に示す電荷電圧変換回路１００は、光電変換部１０１から出力された電荷を蓄積するコンデンサ１０３、蓄積された電荷量に対応する電圧信号を生成・増幅する増幅回路１０２、コンデンサ１０３に並列に接続されたアナログスイッチ１０４を有している。光電変換部１０１から出力された電荷はアナログスイッチ１０４がＯＦＦ状態の間、コンデンサ１０３に蓄積（積分）され、所定の時間蓄積（積分）された電荷量に対応する信号が増幅回路１０２から出力される。信号が取り出された後は、アナログスイッチ１０４がＯＮにされることによりコンデンサ１０３に蓄積された電荷が放電（リセット）され、さらにアナログスイッチ１０４がＯＦＦにされて次の電荷蓄積が開始される。
特開2012-169712号公報 特開2008-294807号公報
　フォトダイオードアレイ検出器のように、複数の受光素子を含んで構成される光電変換部１０１を備えた光検出器では、受光素子から出力された電荷をコンデンサ１０３に蓄積した後、該コンデンサ１０３に蓄積された電荷を放電するという一連の動作が、受光素子毎に繰り返し行われる。ここで、電荷蓄積時間は使用目的に応じて予め定まっているため変更できないとすれば、このような光検出器において高速読み出しを実現するためには、電荷を放電して、再度蓄積可能な状態にする（リセットする）際の一連の動作（以下、「リセット動作」という。）を高速化することが重要となる。
　コンデンサ１０３に蓄積された電荷の放電には、アナログスイッチ１０４が有するオン抵抗に応じた時間を要する。そこで、複数のアナログスイッチを並列に接続し、それらを同時にＯＮ／ＯＦＦすることで放電時のオン抵抗を低下させ、リセット動作に係る時間を短縮することが考えられる。
　電荷電圧変換回路のリセット時には、アナログスイッチ１０４のオン抵抗だけでなく、チャージインジェクションも影響する。チャージインジェクションとは、アナログスイッチ１０４をＯＮからＯＦＦに切り替える際に、アナログスイッチ１０４の浮遊容量に蓄積されていた電荷が、回路側に注入される現象である。電荷電圧変換回路においてアナログスイッチ１０４から注入された電荷は、コンデンサ１０３に蓄積される。そのため、上述の構成では、放電に要する時間は短縮できるものの、チャージインジェクション量が増加してしまう。その結果、微小信号の検出が不可能になったり、検出時の誤差が大きくなったりしてしまうという問題が生じ、実用に適さない場合がある。こうした問題は、積分回路に限らず、積分回路と同様に、コンデンサ等の蓄電部と該蓄電部に接続されたアナログスイッチを有するクランプ回路やサンプルアンドホールド回路においても生じる。
　本発明が解決しようとする課題は、コンデンサ等の蓄電部と、該蓄電部に接続されたアナログスイッチを有する電荷電圧変換回路において、チャージインジェクション量を抑えつつ動作を高速化することである。
　上記課題を解決するために成された本発明に係る電荷電圧変換回路は、
　a) 入力される電荷を蓄積する蓄電部と、
　b) 前記蓄電部に接続され、並列に配置された複数のアナログスイッチと、
　c) 前記複数のアナログスイッチをＯＦＦ状態にする際、互いに異なるタイミングでＯＦＦにするスイッチ制御部と
を備えることを特徴とする。
　なお、前記スイッチ制御部は、前記複数のアナログスイッチをＯＮ状態にする際に、同時にＯＮにすることが望ましいが、その要件は必須ではなく、異なるタイミングでＯＮにしても構わない。
　本発明に係る電荷電圧変換回路では、蓄電部に接続されるアナログスイッチを、並列に配置している。これにより、例えば、積分回路の場合では、１つのアナログスイッチを用いる場合に比べて、アナログスイッチをＯＮ状態にしてコンデンサ等の蓄電部に蓄積された電荷を放電させる際のオン抵抗を減少させ、蓄電部に蓄積された電荷を高速で放電することができる。
　そして、本発明に係る電荷電圧変換回路では、複数のアナログスイッチを異なるタイミングでＯＦＦ状態にする。そのため、最後にアナログスイッチがＯＦＦにされるまでの間は、アナログスイッチをＯＦＦにした時に生じるチャージインジェクションが、ＯＮ状態にあるアナログスイッチにより放電される。従って、蓄電部に入力するチャージインジェクションの量を、最後にＯＦＦにしたアナログスイッチによって生じるもののみに抑えることができる。このように、本発明に係る電荷電圧変換回路では、チャージインジェクション量を抑えつつ動作を高速化することができる。
　なお、上記蓄電部には、コンデンサ以外に、電荷を蓄積する機能を有するＣＭＯＳイメージセンサ等のフローティングディフュージョンなども含まれる。
　前記スイッチ制御部は、チャージインジェクション量が最も小さいアナログスイッチを最後にＯＦＦにすることが望ましい。
　本発明に係る電荷電圧変換回路では、蓄電部に接続されるアナログスイッチを並列に配置しているため、動作を高速化することができる。また、スイッチ制御部が複数のアナログスイッチを異なるタイミングでＯＦＦにするため、蓄電部に蓄積された電荷を放電させた後に生じるチャージインジェクション量を、最後にＯＦＦにしたアナログスイッチによって生じるもののみに抑えることができる。このように、本発明に係る電荷電圧変換回路では、チャージインジェクション量を抑えつつ動作を高速化することができる。
従来の電荷電圧変換回路の構成を説明する図。 本発明に係る電荷電圧変換回路の一実施例である積分回路の構成を示す図。 本実施例の積分回路において用いるアナログスイッチのチャージインジェクション量及びオン抵抗を示す表。 本実施例の積分回路におけるリセット動作手順を説明する図。 本実施例の積分回路におけるリセット動作中の蓄積電荷量の変化及びアナログスイッチの状態を説明する図。 従来の積分回路におけるリセット動作中の蓄積電荷量の変化及びアナログスイッチの状態を説明する図。 本発明に係る電荷電圧変換回路の別の実施例であるクランプ回路の構成を示す図。 本発明に係る電荷電圧変換回路のさらに別の実施例であるサンプルアンドホールド回路の構成を示す図。
　本発明に係る電荷電圧変換回路の一実施例について、以下、図面を参照して説明する。図２に、本実施例の電荷電圧変換回路である積分回路１０の構成を示す。この積分回路１０は、増幅回路１２、コンデンサ１３を有している点で、従来の電荷電圧変換回路１００（図１）と共通しているが、コンデンサ１３に並列に接続された複数のアナログスイッチ１４a、１４bを有し、これらがスイッチ制御部１５により異なるタイミングでＯＦＦにされる点で電荷電圧変換回路１００と異なる。
　アナログスイッチ１４a、１４bは、図３に示すチャージインジェクション量及びオン抵抗を有する。アナログスイッチ１４bとの比較において、アナログスイッチ１４aのチャージインジェクション量は小さく、オン抵抗は大きい。
　本実施例の積分回路１０のリセット動作について説明する。リセット動作は、前述のとおり、アナログスイッチ１４a、１４bをＯＮにしてコンデンサ１３に蓄積された電荷を放電（リセット）し、アナログスイッチ１４a、１４bをＯＦＦにして、再度のコンデンサ１３への電荷蓄積を開始する動作である。
　本実施例の積分回路１０では、図４に示す順序で、スイッチ制御部がアナログスイッチ１４a、１４bのＯＮ、ＯＦＦを制御する。即ち、リセット動作開始時点（t=t0）でアナログスイッチ１４a、１４bを同時にＯＮにし、続いて、後述する時間経過時点（t=t1）でアナログスイッチ１４bのみをＯＦＦにする。さらに、t1から後述する時間経過時点（t=t2）でアナログスイッチ１４aもＯＦＦにする。これにより、リセット動作を完了する。なお、図を簡略化するため、図４以降ではスイッチ制御部１５の図示を省略している。
　上記各時点（t=t0, t1, t2）における、コンデンサ内の蓄積電荷量、及びアナログスイッチ１４a、１４bのＯＮ／ＯＦＦの状態を図５に示す。
　まず、t=t0の時点において、アナログスイッチ１４a、１４bを同時にＯＮにし、コンデンサに蓄積されている電荷を高速で放電させる。放電が完了した時点（t=t1）で、アナログスイッチ１４b（チャージインジェクション量が大きいアナログスイッチ）のみをＯＦＦにする。このとき、アナログスイッチ１４bのチャージインジェクション量（Cb）が回路に注入され、コンデンサに蓄積される。この時点（t=t1）で注入されたチャージインジェクション量（Cb）は、ＯＮの状態にあるアナログスイッチ１４aを通じて放電される。この放電が完了した時点（t=t2）で、アナログスイッチ１４a（チャージインジェクション量が小さいアナログスイッチ）をＯＦＦにする。このとき、アナログスイッチ１４aのチャージインジェクション量（Ca）がコンデンサに注入されるが、その量は最小限に抑えられる。
　なお、上記の放電が完了した時点（t=t1, t2）は、コンデンサに蓄積されている電荷量が実質的に０になった時点、つまり、次の電荷蓄積を開始して信号を取得する際に支障がない程度まで放電が行われた時点を意味する。図５及び図６では、理解を容易にするために、便宜上、放電が完了した時点での蓄積電荷量を０としている。
　比較のために、図１に示した従来の積分回路におけるリセット動作を行った場合の、コンデンサ１０３内の蓄積電荷量、及びアナログスイッチ１０４のＯＮ／ＯＦＦの状態を図６に示す。ここでは、アナログスイッチ１０４のチャージインジェクション量を本実施例のアナログスイッチ１４aと同じ値（Ca）とした。
　図５と図６の比較から明らかなとおり、本実施例の積分回路（図５）では、従来の積分回路（図６）に比べ、高速でリセット動作を完了することができる。
　前述のとおり、複数のアナログスイッチ１４a、１４bを並列に接続し、それらを同時にＯＮ／ＯＦＦすることで放電時のオン抵抗を低下させ、リセット動作に係る時間を本実施例と同程度に短縮することが考えられる。しかし、この場合には、放電完了後にアナログスイッチ１４a、１４bを同時にＯＦＦにするため、この時点でアナログスイッチ１４a、１４bの両方のチャージインジェクション量（Ca+Cb）がコンデンサに注入されてしまう。つまり、放電に要する時間を短縮できるものの、チャージインジェクション量が増加してしまう。その結果、微小信号の検出が不可能になったり、検出時の誤差が大きくなったりしてしまうという問題が生じる。一方、本実施例では、スイッチ制御部１５が、チャージインジェクション量が最も小さいアナログスイッチ１４aを最後にＯＦＦにするため、動作を高速化しつつ、コンデンサに注入されるチャージインジェクション量を最小限に抑えることができる。
　上記実施例は一例であって、本発明の趣旨に沿って適宜に変更することができる。
　上記実施例では、好ましい態様として、スイッチ制御部１５が、まずアナログスイッチ１４a、１４bを同時にＯＮにし、続いてチャージインジェクション量が大きいアナログスイッチ１４bをＯＦＦにし、最後にチャージインジェクション量が小さいアナログスイッチ１４aをＯＦＦにしたが、スイッチ制御部１５がアナログスイッチ１４a、１４bをＯＮ／ＯＦＦするタイミングはこれに限定されない。例えば、アナログスイッチ１４a、１４bを異なるタイミングでＯＮにしたり、アナログスイッチ１４bを最後にＯＦＦにしたりしても、従来の方法よりもチャージインジェクション量を抑えつつリセット動作を高速化することができる。
　上記実施例では、２つのアナログスイッチ１４a、１４bを用いる構成としたが、当然、アナログスイッチの数は２つに限定されない。３つ以上のアナログスイッチを用いる場合にも、上記実施例と同様に、複数のアナログスイッチを同時にＯＮにし、放電完了後、まずチャージインジェクション量が大きいアナログスイッチのグループをＯＦＦにし、最後にチャージインジェクション量が最も小さいアナログスイッチをＯＦＦにすることが望ましい。
　上記実施例では、積分回路を一例に挙げて説明したが、コンデンサ等の蓄電部と、該蓄電部に接続されたアナログスイッチを有するクランプ回路やサンプルアンドホールド回路においても同様の効果を得ることができる。
　クランプ回路２０の場合の構成例を図７に、サンプルアンドホールド回路３０の場合の構成例を図８に、それぞれ示す。
　図７のクランプ回路２０は、コンデンサ２３（蓄電部）と、該コンデンサ２３に蓄積した電荷の出力のＯＮ／ＯＦＦを切り替えるためのアナログスイッチ２４a、２４bを有している。上述した積分回路と同様に、このクランプ回路２０においても、これら２つのアナログスイッチを同時にＯＮにすることにより、１つのアナログスイッチのみを有する従来のクランプ回路よりも高速で電荷を出力させることができる。また、チャージインジェクション量が大きいアナログスイッチから順にＯＦＦにすることにより、コンデンサ２３に流れ込むチャージインジェクション量を低減することができる。
　図８のサンプルアンドホールド回路３０は、コンデンサ３３（蓄電部）と、該コンデンサ３３への電荷の蓄積のＯＮ／ＯＦＦを切り替えるためのアナログスイッチ３４a、３４bを有している。このサンプルアンドホールド回路３０は、アナログスイッチ３４a、３４bが、コンデンサへの電荷の蓄積のＯＮ／ＯＦＦを切り替えるために用いられる、という点において、上述した積分回路やクランプ回路と異なる。サンプルアンドホールド回路３０では、アナログスイッチ３４a、３４bを同時にＯＮにすることにより、１つのアナログスイッチのみを有する従来のサンプルアンドホールド回路よりも高速でコンデンサに電荷を蓄積させることができる。そして、チャージインジェクション量が大きいアナログスイッチから順にＯＦＦにすることにより、コンデンサ３３に流れ込むチャージインジェクション量を低減することができる。
　なお、クランプ回路及びサンプルアンドホールド回路においても、３つ以上のアナログスイッチを並列に接続して、それらをスイッチ制御部によりＯＮ／ＯＦＦさせるように構成することができる。
　その他、上記蓄電部は、上述した例で示したコンデンサに限らず、電荷を蓄積する機能を有するＣＭＯＳイメージセンサ等のフローティングディフュージョンなどとしてもよい。
　さらに、上述の電荷電圧変換回路は、フォトダイオード検出器（フォトダイオードアレイ検出器を含む）や光電子増倍管などの光検出器において好適に用いることができる。
１０、１００…積分回路
１０１…光電変換部
１２、１０２…増幅回路
１３、２３、３３、１０３…コンデンサ
１４a、１４b、２４a、２４b、３４a、３４b、１０４…アナログスイッチ
１５…スイッチ制御部
２０…クランプ回路
３０…サンプルアンドホールド回路

Claims (7)

  1. 　a) 入力される電荷を蓄積する蓄電部と、
    　b) 前記蓄電部に接続され、並列に配置された複数のアナログスイッチと、
    　c) 前記複数のアナログスイッチをＯＦＦにする際、互いに異なるタイミングでＯＦＦにするスイッチ制御部と
    を備えることを特徴とする電荷電圧変換回路。
  2. 　前記スイッチ制御部が、前記複数のアナログスイッチを同時にＯＮにすることを特徴とする請求項１に記載の電荷電圧変換回路。
  3. 　前記スイッチ制御部が、前記複数のアナログスイッチのうち、チャージインジェクション量が最も小さいアナログスイッチを最後にＯＦＦにすることを特徴とする請求項１又は２に記載の電荷電圧変換回路。
  4. 　積分回路の一部であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の電荷電圧変換回路。
  5. 　クランプ回路の一部であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の電荷電圧変換回路。
  6. 　サンプルアンドホールド回路の一部であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の電荷電圧変換回路。
  7. 　請求項１から６のいずれかに記載の電荷電圧変換回路を備えた光検出器。
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