WO2014168175A1 - はんだ回路基板の製造方法、はんだ回路基板及び電子部品の実装方法 - Google Patents

はんだ回路基板の製造方法、はんだ回路基板及び電子部品の実装方法 Download PDF

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丈和 堺
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昭和電工株式会社
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    • H05K3/3489—Composition of fluxes; Methods of application thereof; Other methods of activating the contact surfaces

Definitions

  • the present invention relates to a solder circuit board manufacturing method, a solder circuit board, and an electronic component mounting method.
  • This circuit pattern is formed on a plastic substrate, a ceramic substrate, or an insulating substrate coated with plastic or the like.
  • the following method is known as a method of joining the lead terminal of an electronic component to a predetermined part of a circuit pattern when manufacturing such an electronic circuit.
  • a solder layer is previously formed on the surface of the conductive circuit electrode on the substrate, and a solder paste or flux is printed on a predetermined portion on the solder layer.
  • a method is known in which an electronic component is placed on a solder layer while repositioning the lead terminal and the solder paste and reflowed to perform solder bonding.
  • mounting by a flip chip bonder is also known in which a solder layer formed on a solder substrate and a gold stud bump formed on a bare chip side are heated while being superposed and pressed to melt the solder for mounting.
  • FC Flip Chip
  • a plating method, a hot air leveler (HAL) method, or a solder powder paste is applied to a substrate to form a circuit pattern (hereinafter referred to as a solder circuit) using a solder film.
  • a method of reprinting the paste and reflowing the paste has been used.
  • the plating method since it is difficult to increase the thickness of the solder layer, the bonding strength of the electronic component to the circuit pattern is weakened, and the electronic component may be peeled off the substrate.
  • Patent Document 1 discloses that adhesiveness is selectively applied to the exposed portion of the metal circuit on the printed wiring board.
  • a method of forming a solder circuit by forming a pressure-sensitive adhesive portion and attaching a solder powder to the pressure-sensitive adhesive portion and then heating the printed wiring board to melt the solder powder is disclosed.
  • solder layer When manufacturing a solder circuit board on which the above solder circuit is formed, it is not necessary to form a solder layer on the entire metal circuit surface. In other words, the solder layer may be formed only on the portion of the metal circuit where the electronic component is joined. If the solder layer is formed on the surface of the metal circuit other than that portion, the solder alloy that is the material of the solder layer is wasted. become. Further, since the solder alloy moves to a portion where the width of the metal circuit is wide due to the influence of the surface tension at the time of melting, the thickness of the solder layer at that portion increases.
  • a circuit pattern 2 made of metal is formed on the surface of the substrate 1.
  • the surface of the circuit pattern 2 excluding the joint portion 3 with the electronic component is covered with a solder resist 4.
  • adhesiveness is provided to the surface of the circuit pattern 2 of the junction location 3, and the adhesion part 5 is formed.
  • the solder powder 6 is adhered to the adhesive portion 5.
  • a solder layer 7 is formed as shown in FIG. 1 (e), and a solder circuit board 8 is manufactured.
  • the solder circuit 11 formed by the solder layer 7 is pressed on the solder layer 7 while being aligned with the electrode portion 10 of the electronic component 9 while being heated with a flip chip bonder. Dissolve. Then, as shown in FIG. 1G, a mounting substrate 12 is manufactured in which the electronic component 9 is bonded to the solder circuit 13 after the solder circuit substrate 8 is melted.
  • the protrusion provided on the electrode portion 10 is called a stud bump, and is provided to stabilize the bonding with the solder layer 7.
  • the solder resist 4 pattern shown in FIG. It is necessary to make it. However, there is a limit to the miniaturization of the solder resist pattern that is generally used.
  • a resin for fixing the electronic component 9 is usually filled between the electronic component 9 and the solder resist 4 shown in FIG. 1 (g).
  • the electrode portion 10 of the electronic component 9 is reduced. Inevitably, it was difficult to get enough space.
  • a fine pitch is used when a bare chip is used as an electronic component, it is necessary to form electrode portions in two or more rows due to the influence of stud bumps formed on the bare chip.
  • the electrode part of the electronic component has become smaller and the distance between the electronic component and the substrate has become increasingly difficult.
  • a resin that can withstand the melting temperature of the solder is used for the solder resist as well as the photolithographic technique can be applied with high accuracy.
  • the melting temperature of solder usually exceeds 200 ° C., but the types of resins that can withstand such temperatures are limited, and among these limited types of resins, resins that can be used for fine patterning by photolithography technology There were few.
  • the present invention relates to the following.
  • a resist forming step for partially covering the surface of the conductive circuit electrode on the printed wiring board with a resist, and applying adhesive to the portion of the surface of the conductive circuit electrode that is not covered with the resist An adhesive portion forming step to be formed, a solder attaching step for attaching solder powder to the adhesive portion, a resist removing step for removing the resist, and a first heating step for melting the solder powder by heating the printed wiring board And a method of manufacturing a solder circuit board.
  • a resist forming step for partially covering the surface of the conductive circuit electrode on the printed wiring board with a resist, and applying adhesive to the portion of the surface of the conductive circuit electrode not covered with the resist An adhesive part forming step to be formed, a resist removing process for removing the resist, a solder attaching step for attaching solder powder to the adhesive part, and a first heating step for heating the printed wiring board to melt the solder powder And a method of manufacturing a solder circuit board.
  • solder circuit board manufacturing method (5) The solder according to any one of (1) to (4), wherein the resist is an alkali developing type, and the resist is removed using an alkaline liquid in the resist removing step. A method of manufacturing a circuit board. (6) The solder powder is Sn—Pb solder powder, the heating temperature in the first heating step is in the range of 200 ° C. to 350 ° C., and the heating temperature in the second heating step is 100 ° C. to 180 ° C. 6.
  • the method for producing a solder circuit board according to any one of the above items (2) to (5), wherein (7)
  • the solder powder is Sn—Ag solder powder
  • the heating temperature in the first heating step is in the range of 250 ° C. to 350 ° C.
  • the heating temperature in the second heating step is 100 ° C. to 180 ° C. 6.
  • the conductive circuit electrode is made of a copper alloy, and in the adhesion part forming step, the copper alloy, a benzotriazole derivative, a naphthotriazole derivative, an imidazole derivative, a benzimidazole derivative, a mercaptobenzothiazole derivative.
  • An electronic component mounting method comprising: an electronic component joining step.
  • the resist is removed after the solder powder is attached to the adhesive portion, or the solder powder is attached to the adhesive portion after the resist is removed, and then the solder powder is melted. . Therefore, there is no resist on the substrate when the solder is melted, and there is no need to use a heat resistant resist. Therefore, the range of selection of the resist can be expanded, and for example, the resist most suitable for the fine pitch can be selected. Thereby, a solder circuit with a fine pitch can be formed. Further, since no solder resist is present in the mounting part of the electronic component, the stud bump of the electronic component can be lowered.
  • FIG. 7 is a view showing a conventional method for manufacturing a solder circuit board, in which (a) to (g) are cross-sectional views.
  • BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a figure which shows the manufacturing method of the solder circuit board which is 1st embodiment of this invention, Comprising: (a)-(h) is sectional drawing.
  • FIG. 9 is a view showing a conventional method for manufacturing a solder circuit board, in which (a) to (c) are cross-sectional views.
  • FIG. 1 is a diagram showing a method for manufacturing a solder circuit board according to an embodiment of the present invention, wherein (a) to (c) are cross-sectional views.
  • a method for manufacturing a solder circuit board according to the present embodiment includes a resist forming step of partially covering a surface of a conductive circuit electrode on a printed wiring board with a resist, and a conductive circuit.
  • the manufacturing method of the present embodiment includes a second heating step for increasing the adhesion of the solder powder to the adhesive portion immediately after the solder attaching step.
  • the manufacturing method of the present embodiment includes an electronic component joining step for joining the electrode portion of the electronic component and the solder circuit of the solder circuit board after the first heating step.
  • a wiring board or the like can be used.
  • a plastic substrate, a plastic film substrate, a glass cloth substrate, a paper substrate epoxy resin substrate, a substrate in which a metal plate is laminated on a ceramic substrate, or an insulating substrate in which a metal base material is coated with plastic or ceramics can be cited. It is done.
  • examples of the conductive substance include copper or a copper alloy, but the conductive substance is not limited thereto, and any substance can be used as long as it can impart tackiness with a tackifier compound described later.
  • examples of such a conductive material include materials containing, for example, Ni, Sn, Ni—Al, solder alloys, etc. in addition to copper.
  • the surface 25 a of the circuit pattern 25 excluding the junction 26 of the electronic component of the printed wiring board 24 is covered with a resist 27.
  • the resist 27 used in the manufacturing method of the present embodiment is a resist having a property that can sufficiently protect a portion of the surface 25a of the circuit pattern 25 that is not imparted with adhesiveness in the adhesive portion forming step described later, and A resist that does not alter the tackifier compound is used.
  • a resist applicable to fine patterning using a photolithography technique can be used even if it does not have heat resistance at the melting temperature of the solder powder. As a result, it is possible to form a fine pattern joint portion 26 on the substrate 24 with a fine pitch.
  • a resist 27 that does not alter the tackifier compound that is reacted on the surface 25a of the circuit pattern 25. Since the tackifying compound exemplified later has alkali resistance, it is preferable to use an alkali development type material, that is, a resist made of an alkali-soluble resin, as the resist 27. Examples of such resists include PVA photoresists, polyoxyalkylene photoresists, and polyether ester photoresists. Examples of the developer for the resist 27 include tetramethylammonium hydroxide (TMAH), tetrabutylammonium hydroxide (TBAH), and an ammonium salt.
  • TMAH tetramethylammonium hydroxide
  • TBAH tetrabutylammonium hydroxide
  • the adhesive portion 28 is formed by imparting adhesiveness to the surface 25a of the circuit pattern 25 of the joint portion (portion not covered with the resist 27) 26 of the electronic component. To do. Specifically, as described below, the adhesive portion 28 can be formed by reacting the tackifier compound on the surface 25a of the circuit pattern 25 at the joint portion 26.
  • a tackifier compound that is highly reactive with respect to the conductive substance forming the circuit pattern 25.
  • preferred tackifying compounds include, for example, benzotriazole derivatives, naphthotriazole derivatives, imidazole derivatives, benzimidazole derivatives, mercaptobenzothiazole derivatives, and benzothiazole thio fatty acids. It is done. These tackifier compounds are particularly reactive to copper, but can also impart tackiness to other conductive materials.
  • the benzotriazole derivative suitably used in the production method of the present embodiment is represented by the general formula (1).
  • R1 to R4 in the general formula (1) are independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 16 carbon atoms, an alkoxy group, F, Br, Cl, I, a cyano group, an amino group, or an OH group.
  • the benzotriazole derivative represented by the general formula (1) becomes more tacky as the number of carbon atoms of R1 to R4 increases. Therefore, R1 to R4 preferably have 5 to 16 carbon atoms.
  • the naphthotriazole derivative suitably used in the production method of the present embodiment is represented by the general formula (2).
  • R5 to R10 in the general formula (2) are independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 16 carbon atoms, preferably an alkyl group having 5 to 16 carbon atoms, an alkoxy group, F, Br, Cl, I, cyano. A group, an amino group or an OH group.
  • the imidazole derivative suitably used in the production method of the present embodiment is represented by the general formula (3).
  • R11 and R12 in the general formula (3) are independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 16 carbon atoms, an alkoxy group, F, Br, Cl, I, a cyano group, an amino group, or an OH group.
  • the benzimidazole derivative suitably used in the production method of the present embodiment is represented by the general formula (4).
  • R13 to R17 in the general formula (4) are independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 16 carbon atoms, an alkoxy group, F, Br, Cl, I, a cyano group, an amino group, or an OH group.
  • the adhesiveness increases as the number of carbon atoms of R11 to R17 increases. Therefore, the carbon number of R11 to R17 is preferably 5 to 16.
  • the mercaptobenzothiazole derivative suitably used in the production method of the present embodiment is represented by the general formula (5).
  • R18 to R21 in the general formula (5) are independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 16 carbon atoms, preferably an alkyl group having 5 to 16 carbon atoms, an alkoxy group, F, Br, Cl, I, cyano. A group, an amino group or an OH group.
  • the benzothiazole thio fatty acid derivative suitably used in the production method of the present embodiment is represented by the general formula (6).
  • R22 to R26 in the general formula (6) are independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 16 carbon atoms, preferably 1 or 2 carbon atoms, an alkoxy group, F, Br, Cl, I, cyano. A group, an amino group or an OH group.
  • the above tackifying compound is preferably dissolved in water or acidic water, and preferably reacted in a state adjusted to slightly acidic pH of about 3-4.
  • a substance used for adjusting the pH of such a tackifier compound solution if the conductive substance is a metal, for example, an inorganic acid such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, phosphoric acid, or formic acid, acetic acid, propionic acid, Organic acids such as malic acid, oxalic acid, malonic acid, succinic acid and tartaric acid can be mentioned.
  • the concentration of the tackifying compound may be set as appropriate depending on the solubility and use conditions, and is not strictly limited. It is preferable to be within the range of 20% by mass. When the concentration is set within this range, the tackifier compound becomes easy to handle. On the other hand, if the concentration is lower than this range, the generation of the adhesive portion 28 becomes insufficient, such being undesirable.
  • the printed wiring board 23 shown in FIG. 2B is dipped in the tackifier compound solution, or the tackifier compound solution is injected onto the surface 25a of the circuit pattern 25 at the joint 26.
  • the tackifier compound solution is injected onto the surface 25a of the circuit pattern 25 at the joint 26.
  • a suitable temperature for reacting the tackifier compound is not particularly limited because it varies depending on the concentration of the tackifier compound, the type of the conductive substance, and the like.
  • the temperature at which the tackifying compound is reacted is preferably slightly higher than room temperature, and is preferably in the range of 30 ° C to 60 ° C. Thereby, the production
  • the immersion time for reacting the tackifier compound is not particularly limited, but it is preferable to adjust other conditions so as to be in the range of about 5 seconds to 5 minutes from the viewpoint of work efficiency.
  • copper ions having a concentration of about 100 to 1000 ppm coexist in the tackifying compound solution from the viewpoint that the production efficiency such as the production rate and production amount of the adhesive portion 28 is further increased.
  • the adhesive part 28 is washed with water and dried.
  • the resist 27 is finely patterned so as to correspond to the fine pitch in the resist forming process, as shown in FIG.
  • a printed wiring board 29 in which the adhesive portion 28 is formed on the surface 25a of the pattern 25 is obtained.
  • solder adhesion process Next, the solder powder 30 is adhered to the adhesive portion 28 by a method such as sprinkling the solder powder on the printed wiring board 29. Thereafter, when excess solder powder is removed, a printed wiring board 31 shown in FIG. 2D is obtained.
  • solder powder 30 used in the manufacturing method of the present embodiment for example, Sn—Pb, Sn—Ag, Sn—Pb—Ag, Sn—Pb—Bi, Sn—Pb—Bi—Ag, Sn—P—P Examples thereof include powders made of Pb—Cd solder alloys. Further, from the viewpoint of eliminating Pb in recent industrial waste, the solder powder 30 may be Sn—In, Sn—Bi, In—Ag, In—Bi, Sn—Zn, Sn, which does not contain Pb.
  • the metal composition of the solder powder 30 is 96.5 Sn / 3.5 Ag, 62 Sn / 36 Pb, mainly eutectic solder (hereinafter referred to as 63 Sn / 37 Pb) with 63 mass% Sn and 37 mass% Pb.
  • the average particle size of the solder powder 30 in the manufacturing method of the present embodiment may be set as appropriate based on the standard defined by the Japanese Industrial Standard (JIS).
  • JIS Japanese Industrial Standard
  • standards such as 63 to 22 ⁇ m, 45 to 22 ⁇ m, and 38 to 22 ⁇ m are determined by sieving.
  • the second heating step is a step for increasing the holding power of the solder powder 30 to the adhesive portion 28. Therefore, by performing the second heating step, it is difficult for the solder powder 30 to be detached from the adhesive portion 28 in each step after the second heating step.
  • the temperature in the second heating step is preferably 100 ° C. to 180 ° C.
  • the temperature range is preferable. By setting it as the said temperature range, the adhesive force of the adhesion part 28 can be made higher.
  • copper is used as the conductive material, and naphthotriazole derivatives, benzotriazole derivatives, imidazole derivatives, benzimidazole derivatives, mercaptobenzothiazole derivatives, benzothiazole thio fatty acids, etc.
  • the heating temperature of the printed wiring board 31 in this step is in the range of 100 to 180 ° C. and the heating time is in the range of 30 to 120 seconds. Under this condition, the adhesive force of the adhesive portion 28 is further increased.
  • the resist 27 of the printed wiring board 31 is peeled off.
  • the type of the stripping solution for the resist 27 is not particularly limited as long as it does not dissolve and alter the solder powder 30 and the adhesive portion 28.
  • a stripping solution that does not alter the property-imparting compound is used. Examples of such stripping solutions include alkaline stripping solutions such as tetramethylammonium hydroxide (TMAH), aqueous sodium hydroxide, tetrabutylammonium hydroxide (TBAH), and ammonium salts.
  • the resist when the resist is of an alkali developing type, it is preferable to remove the resist using an alkaline liquid in the resist removing step.
  • the resist is preferably an alkali developing type. Therefore, the resist can be easily removed by using an alkaline solution. Moreover, when an alkaline liquid is used, it is possible to prevent the solder powder from falling off in the adhesive layer having alkali resistance.
  • a printed wiring board 32 from which the resist 27 has been peeled is obtained.
  • the fine pitched adhesive part 28 having a fine pitch is formed, so that the solder powder 30 is formed on the printed wiring board 32 at a fine pitch.
  • the resist removal step may be performed after the adhesive portion forming step, and then the solder attaching step may be performed. Even with such a manufacturing method, the printed wiring board 32 is obtained. Moreover, in the manufacturing method of this embodiment, you may provide the process of apply
  • solder powder 30 of the printed wiring board 32 is melted to obtain the solder circuit board 34 in which the solder layer 33 is formed on the surface 25a of the circuit pattern 25 at the joint location 26 as shown in FIG.
  • the solder layer 33 constitutes a solder circuit later.
  • the heating temperature and heating time for melting the solder powder 30 may be set as appropriate in consideration of the alloy composition and particle size of the solder powder 30.
  • the heating temperature is 210 to 230 ° C., preferably 210 to 230 ° C.
  • the heating time is 220 ° C. and the heating time is 30 to 60 seconds, preferably 30 to 40 seconds.
  • the heating temperature is 200 to 350 ° C., preferably 200 to 250 ° C.
  • the heating time is 30 to 60 seconds, preferably 30 to 40. Preferably it is seconds.
  • the heating temperature is 250 to 350 ° C., preferably 220 to 270 ° C.
  • the heating time is 30 to 60 seconds, preferably 30 to 40. Preferably it is seconds. Under such conditions, the solder powder 30 is melted satisfactorily. Further, in this step, the solder layer 33 having an appropriate solder thickness is formed without substantially spreading from the adhesive portion 28 due to the surface tension of the solder powder 30 and the adhesive force of the adhesive portion 28.
  • the heating temperature when other alloy solder powder 30 is used is preferably +20 to + 50 ° C. with respect to the melting point of the solder alloy, and preferably +20 to + 30 ° C. with respect to the melting point of the alloy.
  • the heating temperature may be set in the range of 200 ° C. to 350 ° C., and the heating time may be set in the same range as described above.
  • surface mounting technology SMT
  • SMT surface mounting technology
  • a solder paste is applied to the joint portion 26 of the surface 25a of the circuit pattern 25 by a screen printing method.
  • an electronic component 35 such as a chip component or QFP is placed on a solder paste (not shown) and soldered together by a reflow heat source.
  • a reflow heat source in such a reflow process, a hot air furnace, an infrared furnace, a vapor condensation soldering device, a light beam soldering device, or the like can be used.
  • the conditions may be set as appropriate in consideration of the metal composition.
  • the preheating temperature is 130 to 180 ° C., preferably 130 to 150 ° C.
  • the preheating time is 60 to 120 seconds, preferably 60 to 90 seconds.
  • the reflow temperature is 210 to 230 ° C., preferably 210 to 220 ° C., and the reflow time is 30 to 60 seconds, preferably 30 to 40 seconds.
  • the reflow temperature in the solder powder 30 and solder paste of other alloys is +20 to + 50 ° C. with respect to the melting point of the alloy to be used, preferably +20 to + 30 ° C. with respect to the melting point of the alloy.
  • the preheat time and reflow time may be in the same range as described above.
  • the above reflow process may be performed in any atmosphere of nitrogen or air.
  • the oxygen concentration is 5% by volume or less, preferably 0.5% by volume or less, so that the solder paste is wetted onto the solder layer 33 more than when reflowing in the atmosphere. It is possible to improve the performance and suppress the generation of solder balls, and perform stable treatment.
  • the surface mounting is completed by cooling the solder circuit board 34.
  • Such joining of electronic components by SMT may be performed on both sides of the printed wiring board 24.
  • the resist removal step is performed between the adhesive portion forming step and the first heating step, so that the surface 25a of the circuit pattern 25 is joined.
  • the resist 27 can be removed before the solder powder 30 applied to the location 26 is melted.
  • the resist 27 applicable to the photolithography technique for performing fine patterning can be used even if the resist does not have heat resistance with respect to the melting temperature of the solder.
  • the resist 27 can be patterned with a fine pattern of 20 ⁇ m level.
  • the portion of the surface 25a of the circuit pattern 25 of the printed wiring board 23 that is not covered with the resist, that is, the joint portion 26 of the electronic component is made fine pitch, and the adhesive portion 28 and the solder particles 30 that are sequentially formed at the joint portion 26 are formed.
  • the pattern is also fine pitched.
  • the amount of solder used can be minimized. In this way, when the first heating process is completed, the solder circuit board 34 on which the fine pattern solder layer 33 corresponding to the fine pitch is formed is obtained.
  • solder circuit board 17 of FIG. 3A is usually formed, and as shown in FIG. 3B, solder bumps 15 formed so as to cover the circuit pattern.
  • pressure is applied while heating with a flip chip bonder.
  • the distance between the electrodes 16 is narrow, so that the solder may contact the adjacent electrodes 16 as shown in FIG.
  • the mounting substrate 22 having the solder circuit 20 shown in FIG. 3C can be obtained, but a part of the mounting substrate 22 like the electrode 21 may be bridged.
  • a resist layer (not shown) is formed on every other electrode surface of the circuit pattern 40 on the substrate 39, so that a solder layer is formed every other electrode.
  • a solder circuit board 42 shown in FIG. 4A can be produced. If the electrode 41 on which the solder layer of the solder circuit board 42 is formed and the electrode portion 44 of the electronic component 43 are pressed while being heated using a flip chip bonder as shown in FIG. 4B, FIG. As shown in FIG. 3, the mounting substrate 46 in which the solder is melted and connected to the solder circuit 45 without the occurrence of a bridge is obtained.
  • a printed wiring board (hereinafter simply referred to as “printed wiring board”) was prepared using copper as the conductive material.
  • the line width of the circuit pattern of the printed wiring board made of a conductive material was 25 ⁇ m, and the interval between the narrowest circuit patterns was 25 ⁇ m.
  • a substrate was prepared by attaching a photoresist (model number: H-7034, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) to this printed wiring board. After the printed wiring board was exposed to ultraviolet rays using a photomask, the printed wiring board was patterned using alkaline development, for example, 1% aqueous sodium carbonate solution. The region not covered with the resist on the surface of the conductive circuit electrode was 25 ⁇ 80 ⁇ m in size every other electrode.
  • a 2% by mass aqueous solution of an imidazole compound in which the alkyl group of R12 in the general formula (3) is C 11 H 23 and R11 is a hydrogen atom, the pH of which is adjusted to about 4 with acetic acid is used.
  • This imidazole compound aqueous solution was heated to 40 ° C., and the printed wiring board pretreated with the hydrochloric acid aqueous solution was immersed for 3 minutes, and then an adhesive portion was formed in the opening region of the resist.
  • the printed wiring board was washed with water and dried.
  • the printed wiring board was sprinkled with solder powder having an average particle size of about 10 ⁇ m and an alloy composition of 63Sn / 37Pb, and lightly brushed to selectively adhere to the adhesive part.
  • the printed wiring board was heated at 120 ° C. for 10 minutes, and then the photoresist formed on the surface of the printed wiring board was peeled off using an alkaline peeling liquid 3% sodium hydroxide aqueous solution.
  • the printed wiring board was placed in an oven at 240 ° C. to melt the solder powder.
  • a solder circuit board having an eutectic solder layer of about 10 ⁇ m formed on the solder powder adhering portion of the circuit pattern made of copper was obtained.
  • the printed circuit board on which the solder bumps were formed was placed on a flip chip bonder and heated to 160 ° C.
  • the bare chip was mounted while being heated to 230 ° C. so that the electrode of the chip in which the stud bump (diameter 50 ⁇ m ⁇ height 80 ⁇ m) was formed on the bare chip electrode (pitch: 100 ⁇ m) was aligned with the electrode of the printed circuit board.
  • Example 2 A bare chip was mounted on the printed circuit board in the same process and conditions as in Example 1 except that the printed wiring board was not heated (second heating process) after the solder powder was adhered.
  • Example 1 (Evaluation in Example 1, Example 2 and Comparative Example) In the solder circuit board on which the bare chip was mounted by the above process, as shown in Table 1, it was possible to form minute bumps having substantially the same bump height in Example 1, Example 2, and Comparative Example.
  • Example 1 by performing the second heating step, the solder powder was prevented from falling off in the photoresist peeling step, so that the bump height could be secured.
  • flip chip mounting the mounting substrates of Examples 1 and 2 in which the photoresist was formed on the printed wiring board were good, but the mounting of the comparative example in which the photoresist was not formed on the printed wiring board. Generation of bridges was observed on the substrate.
  • Example 1 and Example 2 described above since the photoresist is removed after the solder powder is adhered to the adhesive portion, and then the solder powder is melted, there is no resist on the substrate when the solder is melted, and heat resistance There is no need to use a resist. Therefore, according to the present invention, as can be seen from the evaluation results shown in Table 1, it was confirmed that a fine solder circuit with a fine pitch can be formed and the stud bumps of the electronic component can be lowered.

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Abstract

はんだ回路基板の製造方法であって、プリント配線板上の導電性回路電極表面をレジストにより部分的に覆うレジスト形成工程と、前記導電性回路電極表面のうちレジストに覆われていない部分に粘着性を付与して粘着部を形成する粘着部形成工程と、前記粘着部にはんだ粉末を付着させるはんだ付着工程と、前記レジストを除去するレジスト除去工程と、前記プリント配線板を加熱してはんだ粉末を溶融させる第１の加熱工程と、を順次行うことを特徴とする。

Description

はんだ回路基板の製造方法、はんだ回路基板及び電子部品の実装方法
　本発明は、はんだ回路基板の製造方法、はんだ回路基板及び電子部品の実装方法に関する。本願は、２０１３年４月９日に、日本に出願された特願２０１３－０８１２０８に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
　近年、回路パターン上に、ＩＣ素子、半導体チップ等の電子部品をはんだ接合した電子回路が実用化されている。この回路パターンは、プラスチック基板、セラミック基板、あるいはプラスチック等をコートした絶縁性基板上に形成される。
　このような電子回路を製造する際に、電子部品のリード端子を、回路パターンの所定の部分に接合させる方法としては、以下の方法が知られている。例えば、基板上の導電性回路電極の表面に、予めはんだ層を形成しておき、そのはんだ層上の所定の部分にはんだペーストまたはフラックスを印刷する。その後、リード端子とはんだペーストの位置合わせをしながら電子部品をはんだ層上に載置して、リフローさせることによりはんだ接合を行う方法が知られている。また、はんだ基板上に形成されたはんだ層とベアチップ側に形成された金のスタッドバンプを重ね合わせ加圧しながら加熱し、はんだを溶融させて実装するフリップチップボンダーによる実装も知られている。
　最近では、電子製品の小型化に伴い、ファインピッチ化された基板上に、例えば１５０μｍピッチ以下のＦＣ（Ｆｌｉｐ　Ｃｈｉｐ）等のファインピッチの電子部品が搭載されている。そのため、基板上にファインピッチの精細な回路パターンが形成されたはんだ回路基板が望まれている。
　上記の電子部品の接合方法では、はんだ膜による回路パターン（以降では、はんだ回路と記載する）を形成するために、メッキ法、ホットエアーレベラ（ＨＡＬ）法、あるいは、はんだ粉末のペーストを基板上に印刷して、そのペーストをリフローする方法等が用いられてきた。しかしながら、メッキ法では、はんだ層を厚くするのが困難であるため、電子部品の回路パターンへの接合強度が弱まり、電子部品が基板から剥がれてしまう虞があった。また、ＨＡＬ法、はんだペーストの印刷及びリフローを行う方法では、ファインピッチの回路パターンの形成が困難であった。
　そこで、はんだ層の厚みを確保し、かつファインピッチ化に対応するはんだ回路を形成する方法として、例えば特許文献１には、プリント配線板上の金属回路露出部に、選択的に粘着性を付与した粘着部を形成し、その粘着部にはんだ粉末を付着させた後、プリント配線板を加熱し、はんだ粉末を溶融させてはんだ回路を形成する方法が開示されている。
　上記のようなはんだ回路が形成されたはんだ回路基板を製造する際は、金属回路表面全体にはんだ層を形成する必要はない。即ち、はんだ層を形成するのは、金属回路の表面において電子部品を接合する部分のみでよく、その部分以外の金属回路の表面にはんだ層を形成すると、はんだ層の材料であるはんだ合金が無駄になる。
　また、はんだ合金は溶融時に表面張力の影響で金属回路の幅が広い部分に移動するため、その部分のはんだ層厚が大きくなる。これにより、はんだ回路基板のはんだ層厚にばらつきが生ずると、はんだ層の形成工程後に行う電子部品の接合工程において、電子部品のリード端子と回路パターンとの接合強度にばらつきが生じる等の悪影響がある。
　このため、特許文献１に記載のはんだ回路形成方法を用いてはんだ回路基板を製造する際には、金属回路電極の表面のうち電子部品を接合する箇所以外の部分をソルダーレジストで覆うことが多い。
　具体的には、先ず、図１（ａ）に示すように、基板１の表面に金属からなる回路パターン２を形成する。次に、図１（ｂ）に示すように、電子部品との接合箇所３を除く回路パターン２の表面をソルダーレジスト４で覆う。その後、図１（ｃ）に示すように、接合箇所３の回路パターン２の表面に粘着性を付与して粘着部５を形成する。続いて、図１（ｄ）に示すように、粘着部５にはんだ粉末６を付着させる。このはんだ粉末６を溶融させることにより、図１（ｅ）に示すようにはんだ層７を形成し、はんだ回路基板８を製造する。
　その後、図１（ｆ）に示すように、はんだ層７の上に、電子部品９の電極部１０との位置を合わせてフリップチップボンダーで加熱しながら加圧し、はんだ層７によるはんだ回路１１を溶解させる。そして図１（ｇ）に示すように、電子部品９がはんだ回路基板８の溶解後のはんだ回路１３に接合された実装基板１２を製造する。なお、電極部分１０に設けられた突起部はスタッドバンプと呼ばれ、はんだ層７との接合を安定化させるために設けられている。
特開平７－７２４４号公報
　しかしながら、特許文献１に記載のはんだ回路形成方法を用いてはんだ回路基板を製造する際に、はんだ回路のパターンを微細化するためには、図１（ｂ）に示すソルダーレジスト４のパターンも微細化する必要がある。しかし、一般に使用されるソルダーレジストのパターンの微細化には限界があった。
　また、通常図１（ｇ）に示す電子部品９とソルダーレジスト４の間に、電子部品９を固定するための樹脂を充てんするが、ファインピッチになると、電子部品９の電極部１０を小さくせざるを得ず、十分な間隔が取れにくい状態であった。
　特に、電子部品としてベアチップを用いる際にファインピッチになると、ベアチップに形成するスタッドバンプの影響により電極部を２列以上に形成する必要がある。しかし、電子部品の電極部はますます小さくなり、電子部品と基板との間隔はますます取れにくい状態となっていた。
　即ち、図１（ｂ），（ｅ）、に示す工程を実施するために、ソルダーレジストには、精度よくフォトリソグラフィー技術を適用できると同時に、はんだの溶融温度に耐えられる樹脂を用いる。はんだの溶融温度は通常、２００℃を超えるが、そのような温度に耐える樹脂の種類は限られており、その限られた種類の樹脂の中でフォトリソグラフィー技術による微細なパターニングに適用可能な樹脂は少なかった。
　本発明は、上記問題点を解決し、はんだ層やはんだバンプを必要な微細部分のみ形成できる技術によるはんだ回路基板の製造方法、はんだ回路基板及び電子部品の実装方法を提供することを課題とする。
　本発明者は、上記課題を解決すべく鋭意努力検討した結果、本発明に到達した。即ち、本発明は下記に関する。
（１）プリント配線板上の導電性回路電極表面をレジストにより部分的に覆うレジスト形成工程と、前記導電性回路電極表面のうちレジストに覆われていない部分に粘着性を付与して粘着部を形成する粘着部形成工程と、前記粘着部にはんだ粉末を付着させるはんだ付着工程と、前記レジストを除去するレジスト除去工程と、前記プリント配線板を加熱してはんだ粉末を溶融させる第１の加熱工程と、を順次行うことを特徴とするはんだ回路基板の製造方法。
（２）プリント配線板上の導電性回路電極表面をレジストにより部分的に覆うレジスト形成工程と、前記導電性回路電極表面のうちレジストに覆われていない部分に粘着性を付与して粘着部を形成する粘着部形成工程と、前記レジストを除去するレジスト除去工程と、前記粘着部にはんだ粉末を付着させるはんだ付着工程と、前記プリント配線板を加熱してはんだ粉末を溶融させる第１の加熱工程と、を順次行うことを特徴とするはんだ回路基板の製造方法。
（３）前記はんだ付着工程の直後に、第２の加熱工程を設けることを特徴とする前項（１）または（２）に記載のはんだ回路基板の製造方法。
（４）前記レジスト除去工程と前記第１の加熱工程との間に、前記はんだ粉末にフラックスを塗布する工程を設けることを特徴とする前項（１）～（３）の何れか１項に記載のはんだ回路基板の製造方法。
（５）前記レジストがアルカリ現像型であり、前記レジスト除去工程において、アルカリ性液を用いて前記レジストを除去することを特徴とする前項（１）～（４）の何れか１項に記載のはんだ回路基板の製造方法。
（６）前記はんだ粉末がＳｎ－Ｐｂ系はんだ粉末であり、第１の加熱工程における加熱温度が２００℃～３５０℃の範囲内であり、第２の加熱工程における加熱温度が１００℃～１８０℃の範囲内であることを特徴とする前項（２）～（５）の何れか１項に記載のはんだ回路基板の製造方法。
（７）前記はんだ粉末がＳｎ－Ａｇ系はんだ粉末であり、第１の加熱工程における加熱温度が２５０℃～３５０℃の範囲内であり、第２の加熱工程における加熱温度が１００℃～１８０℃の範囲内であることを特徴とする前項（２）～（５）の何れか１項に記載のはんだ回路基板の製造方法。
（８）前記導電性回路電極が銅合金からなり、前記粘着部形成工程において、前記銅合金と、ベンゾトリアゾール系誘導体、ナフトトリアゾール系誘導体、イミダゾール系誘導体、ベンゾイミダゾール系誘導体、メルカプトベンゾチアゾール系誘導体、ベンゾチアゾールチオ脂肪酸系誘導体との反応により、前記レジストに覆われていない部分に粘着性を付与することを特徴とする前項（１）～（７）の何れか１項に記載のはんだ回路基板の製造方法。
（９）前項（１）～（８）の何れか１項に記載のはんだ回路基板の製造方法を用いて作製したはんだ回路基板。
（１０）前項（９）に記載のはんだ回路基板に、電子部品を載置する電子部品載置工程と、前記はんだ粉末をリフローして前記電子部品の電極部分と前記はんだ回路基板とを接合する電子部品接合工程と、を含むことを特徴とする電子部品の実装方法。
　本発明の実施形態の一態様によれば、はんだ粉末を粘着部に付着させた後にレジストを除去し、又は、レジストを除去した後にはんだ粉末を粘着部に付着させ、その後にはんだ粉末を溶融させる。そのため、はんだ溶融時には基板上にレジストが存在せず、耐熱性のレジストを使用する必要がない。従って、レジストの選択の幅を広げることができ、例えばファインピッチに最適なレジストを選択できる。これにより、ファインピッチ化したはんだ回路を形成できる。また、電子部品の実装部分にソルダーレジストが存在しないため、電子部品のスタッドバンプを低くできる。
従来のはんだ回路基板の製造方法を示す図であって、（ａ）～（ｇ）は断面図である。 本発明の第一実施形態であるはんだ回路基板の製造方法を示す図であって、（ａ）～（ｈ）は断面図である。 従来のはんだ回路基板の製造方法を示す図であって、（ａ）～（ｃ）は断面図である。 本発明の実施形態であるはんだ回路基板の製造方法を示す図であって、（ａ）～（ｃ）は断面図である。
　以下、本発明の実施形態であるはんだ回路基板の製造方法について、図２を参照して説明する。なお、以下の説明で用いる図面は模式的なものであり、長さ、幅、および厚みの比率等は実際のものと同一とは限らない。
　本実施形態のはんだ回路基板の製造方法（以降では、単に「製造方法」と記載する）は、プリント配線板上の導電性回路電極表面をレジストにより部分的に覆うレジスト形成工程と、導電性回路電極表面のうちレジストに覆われていない部分に粘着性を付与して粘着部を形成する粘着部形成工程と、粘着部にはんだ粉末を付着させるはんだ付着工程と、レジストを除去するレジスト除去工程と、プリント配線板を加熱してはんだ粉末を溶融する第１の加熱工程と、を少なくとも備えている。また、本実施形態の製造方法においては、はんだ付着工程の直後に、粘着部へのはんだ粉末の付着力を高めるための第２の加熱工程を備えている。さらに、本実施形態の製造方法においては、第１の加熱工程の後に、電子部品の電極部分とはんだ回路基板のはんだ回路とを接合する電子部品接合工程を備えている。以下、各工程について順次説明する。
　予め、図２（ａ）に示すようなプリント配線板２３を用意する。プリント配線板２３としては、基板２４上に、金属等の導電性物質を用いて回路パターン（導電性回路電極）２５を形成した片面プリント配線板、両面プリント配線板、多層プリント配線板あるいはフレキシブルプリント配線板等を用いることができる。具体的には、プラスチック基板、プラスチックフィルム基板、ガラス布基板、紙基質エポキシ樹脂基板、セラミックス基板等に金属板を積層した基板、あるいは、金属基材にプラスチックまたはセラミックス等を被覆した絶縁基板が挙げられる。また、導電性物質としては、例えば銅あるいは銅合金が挙げられるが、これらに限定されず、後述する粘着性付与化合物により粘着性を付与できる物質であればよい。このような導電性物質には、銅の他に、例えばＮｉ、Ｓｎ、Ｎｉ－Ａｌ、はんだ合金等を含む物質がある。
［レジスト形成工程］
　先ず、図２（ｂ）に示すように、プリント配線板２４の電子部品の接合箇所２６を除く回路パターン２５の表面２５ａをレジスト２７で覆う。後述するように、はんだ粉末を溶融させる前にレジスト２７を除去するため、レジスト２７にははんだの溶融温度に対して耐熱性を有するソルダーレジストを用いる必要はない。本実施形態の製造方法で用いるレジスト２７には、後に説明する粘着部形成工程において、回路パターン２５の表面２５ａのうち粘着性を付与しない部分を充分に保護できる性質を持ったレジストであり、かつ、粘着性付与化合物を変質させないレジストを用いる。即ち、レジスト２７には、はんだ粉末の溶融温度での耐熱性を有していなくとも、フォトリソグラフィー技術を用いた微細なパターニングに適用可能なレジストを用いることができる。これにより、基板２４上にファインピッチ化された微細なパターンの接合箇所２６を形成できる。
　また、本実施形態の製造方法においては、回路パターン２５の表面２５ａで反応させる粘着性付与化合物を変質させないレジスト２７を用いることが好ましい。後に例示する粘着性付与化合物は耐アルカリ性を有するため、レジスト２７としては、アルカリ現像型の材質、即ちアルカリ可溶性樹脂からなるレジストを用いることが好ましい。このようなレジストとしては、例えばＰＶＡ系フォトレジスト、ポリオキシアルキレン系フォトレジスト、ポリエーテルエステル系フォトレジスト等が挙げられる。また、レジスト２７の現像液としては、例えばテトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）、水酸化テトラブチルアンモニウム（ＴＢＡＨ）、アンモニウム塩等が挙げられる。
［粘着部形成工程］
　次に、図２（ｃ）に示すように、電子部品の接合箇所（レジスト２７に覆われていない部分）２６の回路パターン２５の表面２５ａに粘着性を付与することにより、粘着部２８を形成する。具体的には、次に説明するように、接合箇所２６の回路パターン２５の表面２５ａにおいて粘着性付与化合物を反応させることにより、粘着部２８を形成できる。
　本実施形態の製造方法においては、回路パターン２５をなす導電性物質に対して反応性の強い粘着性付与化合物を用いることが好ましい。導電性物質に銅を用いる場合は、好ましい粘着性付与化合物として、例えばベンゾトリアゾール系誘導体、ナフトトリアゾール系誘導体、イミダゾール系誘導体、ベンゾイミダゾール系誘導体、メルカプトベンゾチアゾール系誘導体及びベンゾチアゾールチオ脂肪酸等が挙げられる。これらの粘着性付与化合物は、特に銅に対する反応性が強いが、他の導電性物質にも粘着性を付与することができる。
　本実施形態の製造方法において好適に用いられるベンゾトリアゾール系誘導体は、一般式（１）で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
　但し、一般式（１）のＲ１～Ｒ４は、独立に水素原子、炭素数が１～１６のアルキル基、アルコキシ基、Ｆ、Ｂｒ、Ｃｌ、Ｉ、シアノ基、アミノ基またはＯＨ基である。
　一般式（１）で表されるベンゾトリアゾール系誘導体は、一般に、Ｒ１～Ｒ４の炭素数が多くなる程、粘着性が強くなる。そのため、Ｒ１～Ｒ４の炭素数は５～１６であることが好ましい。
　本実施形態の製造方法において好適に用いられるナフトトリアゾール系誘導体は、一般式（２）で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002
　但し、一般式（２）のＲ５～Ｒ１０は、独立に水素原子、炭素数が１～１６、好ましくは、炭素数が５～１６のアルキル基、アルコキシ基、Ｆ、Ｂｒ、Ｃｌ、Ｉ、シアノ基、アミノ基またはＯＨ基である。
　本実施形態の製造方法において好適に用いられるイミダゾール系誘導体は、一般式（３）で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
　但し、一般式（３）のＲ１１、Ｒ１２は、独立に水素原子、炭素数が１～１６のアルキル基、アルコキシ基、Ｆ、Ｂｒ、Ｃｌ、Ｉ、シアノ基、アミノ基またはＯＨ基である。
　本実施形態の製造方法において好適に用いられるベンゾイミダゾール系誘導体は、一般式（４）で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
　但し、一般式（４）のＲ１３～Ｒ１７は、独立に水素原子、炭素数が１～１６のアルキル基、アルコキシ基、Ｆ、Ｂｒ、Ｃｌ、Ｉ、シアノ基、アミノ基またはＯＨ基である。
　一般式（３）及び一般式（４）で表されるイミダゾール系誘導体及びベンゾイミダゾール系誘導体についても、Ｒ１１～Ｒ１７の炭素数が多くなる程、粘着性が強くなる。そのため、Ｒ１１～Ｒ１７の炭素数は５～１６であることが好ましい。
　本実施形態の製造方法において好適に用いられるメルカプトベンゾチアゾール系誘導体は、一般式（５）で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005
　但し、一般式（５）のＲ１８～Ｒ２１は、独立に水素原子、炭素数が１～１６、好ましくは、炭素数が５～１６のアルキル基、アルコキシ基、Ｆ、Ｂｒ、Ｃｌ、Ｉ、シアノ基、アミノ基またはＯＨ基である。
　本実施形態の製造方法において好適に用いられるベンゾチアゾールチオ脂肪酸系誘導体は、一般式（６）で表される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000006
　但し、一般式（６）のＲ２２～Ｒ２６は、独立に水素原子、炭素数が１～１６、好ましくは、炭素数が１または２のアルキル基、アルコキシ基、Ｆ、Ｂｒ、Ｃｌ、Ｉ、シアノ基、アミノ基またはＯＨ基である。
　上記の粘着性付与化合物は水または酸性水に溶解させ、好ましくはｐＨ３～４程度の微酸性に調整した状態で反応させることが好ましい。このような粘着性付与化合物溶液のｐＨの調整に用いる物質としては、導電性物質が金属であれば、例えば塩酸、硫酸、硝酸、リン酸等の無機酸、あるいは、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、リンゴ酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、酒石酸等の有機酸が挙げられる。
　粘着性付与化合物を溶解させる際に、粘着性付与化合物の濃度は、溶解性、使用状況に応じて適宜設定すればよく、厳密に限定されるものではないが、全体として０．０５質量％～２０質量％の範囲内とすることが好ましい。この範囲内の濃度に設定すると、粘着性付与化合物を扱い易くなる。一方、この範囲より低濃度にすると、粘着部２８の生成が不十分となるので好ましくない。
　次に、粘着性付与化合物溶液に図２（ｂ）に示すプリント配線板２３を浸漬させる、あるいは、接合箇所２６の回路パターン２５の表面２５ａに粘着性付与化合物溶液を注液する。これにより、図２（ｃ）に示すように接合箇所２６の回路パターン２５の表面２５ａに粘着性が付与され、粘着部２８が形成される。
　粘着性付与化合物を反応させる際の好適な温度は、粘着性付与化合物の濃度、導電性物質の種類などにより変わるため、特に限定されない。しかし、粘着性付与化合物を反応させる際の温度は、室温よりは若干高くする方が好ましく、３０℃～６０℃の範囲とすることが好ましい。これにより、粘着部２８の生成速度、生成量が適切になる。
　また、粘着性付与化合物を反応させる際の浸漬時間は、特に限定されないが、作業効率の点から５秒～５分程度の範囲になるように、他の条件を調整することが好ましい。
　なお、粘着部２８の生成速度、生成量等の生成効率がより高まる点から、粘着性付与化合物溶液中に濃度１００～１０００ｐｐｍ程度の銅イオンを共存させることが好ましい。
　続いて、粘着部２８を水洗し、乾燥させる。本実施形態の製造方法では、レジスト形成工程でファインピッチに対応するようにレジスト２７が微細にパターニングされているため、図２（ｃ）に示すように、ファインピッチ化された接合箇所２６の回路パターン２５の表面２５ａに粘着部２８が形成されたプリント配線板２９が得られる。
［はんだ付着工程］
　次に、プリント配線板２９にはんだ粉末をふりかける等の方法により、はんだ粉末３０を粘着部２８に付着させる。その後、余分なはんだ粉末を除去すると、図２（ｄ）に示すプリント配線板３１が得られる。
　本実施形態の製造方法において用いるはんだ粉末３０としては、例えばＳｎ－Ｐｂ系、Ｓｎ－Ａｇ系、Ｓｎ－Ｐｂ－Ａｇ系、Ｓｎ－Ｐｂ－Ｂｉ系、Ｓｎ－Ｐｂ－Ｂｉ－Ａｇ系、Ｓｎ－Ｐｂ－Ｃｄ系のはんだ合金からなる粉末が挙げられる。また、最近の産業廃棄物におけるＰｂ排除の点から、はんだ粉末３０としては、Ｐｂを含まないＳｎ－Ｉｎ系、Ｓｎ－Ｂｉ系、Ｉｎ－Ａｇ系、Ｉｎ－Ｂｉ系、Ｓｎ－Ｚｎ系、Ｓｎ－Ａｇ系、Ｓｎ－Ｃｕ系、Ｓｎ－Ｓｂ系、Ｓｎ－Ａｕ系、Ｓｎ－Ｂｉ－Ａｇ－Ｃｕ系、Ｓｎ－Ｇｅ系、Ｓｎ－Ｂｉ－Ｃｕ系、Ｓｎ－Ｃｕ－Ｓｂ－Ａｇ系、Ｓｎ－Ａｇ－Ｚｎ系、Ｓｎ－Ｃｕ－Ａｇ系、Ｓｎ－Ｂｉ－Ｓｂ系、Ｓｎ－Ｂｉ－Ｓｂ－Ｚｎ系、Ｓｎ－Ｂｉ－Ｃｕ－Ｚｎ系、Ｓｎ－Ａｇ－Ｓｂ系、Ｓｎ－Ａｇ－Ｓｂ－Ｚｎ系、Ｓｎ－Ａｇ－Ｃｕ－Ｚｎ系、Ｓｎ－Ｚｎ－Ｂｉ系のはんだ合金からなる粉末を用いることが好ましい。
　はんだ粉末３０の金属組成としては、Ｓｎが６３質量％、Ｐｂが３７質量％の共晶はんだ（以下では、６３Ｓｎ／３７Ｐｂと記載する）を中心として、９６．５Ｓｎ／３．５Ａｇ、６２Ｓｎ／３６Ｐｂ／２Ａｇ、６２．６Ｓｎ／３７Ｐｂ／０．４Ａｇ、６０Ｓｎ／４０Ｐｂ、５０Ｓｎ／５０Ｐｂ、３０Ｓｎ／７０Ｐｂ、２５Ｓｎ／７５Ｐｂ、１０Ｓｎ／８８Ｐｂ／２Ａｇ、４６Ｓｎ／８Ｂｉ／４６Ｐｂ、５７Ｓｎ／３Ｂｉ／４０Ｐｂ、４２Ｓｎ／４２Ｐｂ／１４Ｂｉ／２Ａｇ、４５Ｓｎ／４０Ｐｂ／１５Ｂｉ、５０Ｓｎ／３２Ｐｂ／１８Ｃｄ、４８Ｓｎ／５２Ｉｎ、４３Ｓｎ／５７Ｂｉ、９７Ｉｎ／３Ａｇ、５８Ｓｎ／４２Ｉｎ、９５Ｉｎ／５Ｂｉ、６０Ｓｎ／４０Ｂｉ、９１Ｓｎ／９Ｚｎ、９６．５Ｓｎ／３．５Ａｇ、９９．３Ｓｎ／０．７Ｃｕ、９５Ｓｎ／５Ｓｂ、２０Ｓｎ／８０Ａｕ、９０Ｓｎ／１０Ａｇ、９０Ｓｎ／７．５Ｂｉ／２Ａｇ／０．５Ｃｕ、９７Ｓｎ／３Ｃｕ、９９Ｓｎ／１Ｇｅ、９２Ｓｎ／７．５Ｂｉ／０．５Ｃｕ、９７Ｓｎ／２Ｃｕ／０．８Ｓｂ／０．２Ａｇ、９５．５Ｓｎ／３．５Ａｇ／１Ｚｎ、９５．５Ｓｎ／４Ｃｕ／０．５Ａｇ、５２Ｓｎ／４５Ｂｉ／３Ｓｂ、５１Ｓｎ／４５Ｂｉ／３Ｓｂ／１Ｚｎ、８５Ｓｎ／１０Ｂｉ／５Ｓｂ、８４Ｓｎ／１０Ｂｉ／５Ｓｂ／１Ｚｎ、８８．２Ｓｎ／１０Ｂｉ／０．８Ｃｕ／１Ｚｎ、８９Ｓｎ／４Ａｇ／７Ｓｂ、８８Ｓｎ／４Ａｇ／７Ｓｂ／１Ｚｎ、９８Ｓｎ／１Ａｇ／１Ｓｂ、９７Ｓｎ／１Ａｇ／１Ｓｂ／１Ｚｎ、９１．２Ｓｎ／２Ａｇ／０．８Ｃｕ／６Ｚｎ、８９Ｓｎ／８Ｚｎ／３Ｂｉ、８６Ｓｎ／８Ｚｎ／６Ｂｉ、８９．１Ｓｎ／２Ａｇ／０．９Ｃｕ／８Ｚｎ等が挙げられる。また、はんだ粉末３０は、異なる金属組成のはんだ粉末を２種類以上混合したものであってもよい。
　本実施形態の製造方法におけるはんだ粉末３０の平均粒径は、日本工業規格（ＪＩＳ）で定められている規格をふまえて適宜設定すればよい。なお、ＪＩＳでは一般に、はんだ粉末の粒径に関して、ふるい分けにより６３～２２μｍ、４５～２２μｍ及び３８～２２μｍ等の規格が定められている。
［第２の加熱工程］
　本実施形態の製造方法では、図２（ｄ）に示す付着工程の直後に第２の加熱工程を設けるのが好ましい。第２の加熱工程は、粘着部２８へのはんだ粉末３０の保持力を高めるための工程である。従って、第２の加熱工程を行うことにより、第２の加熱工程以降の各工程において、はんだ粉末３０が粘着部２８から脱離し難くなる。
第２の加熱工程の温度は、１００℃～１８０℃であることが好ましい。特に、はんだ粉末がＳｎ－Ｐｂ系はんだ粉末またはＳｎ－Ａｇ系はんだ粉末の際に当該温度範囲であることが好ましい。当該温度範囲とすることで、粘着部２８の付着力をより高くすることができる。
また上述のように、導電性物質として銅を用いるとともに、粘着性付与化合物としてナフトトリアゾール系誘導体、ベンゾトリアゾール系誘導体、イミダゾール系誘導体、ベンゾイミダゾール系誘導体、メルカプトベンゾチアゾール系誘導体及びベンゾチアゾールチオ脂肪酸等を用いる場合は、本工程におけるプリント配線板３１の加熱温度を１００～１８０℃の範囲内とし、加熱時間を３０～１２０秒の範囲内とすることが好ましい。この条件により、粘着部２８の付着力がより高められる。
［レジスト除去工程］
　次に、プリント配線板３１のレジスト２７を剥離する。レジスト２７の剥離液の種類は、はんだ粉末３０と粘着部２８を溶解及び変質させないものであれば、特に限定されない。また、上述のように、ナフトトリアゾール系誘導体、ベンゾトリアゾール系誘導体、イミダゾール系誘導体、ベンゾイミダゾール系誘導体、メルカプトベンゾチアゾール系誘導体及びベンゾチアゾールチオ脂肪酸等を粘着性付与化合物として用いる場合は、これらの粘着性付与化合物を変質させない剥離液を用いる。このような剥離液としては、例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）、水酸化ナトリウム水溶液、水酸化テトラブチルアンモニウム（ＴＢＡＨ）、アンモニウム塩等のアルカリ性剥離液が挙げられる。
　またレジストがアルカリ現像型である場合、レジスト除去工程において、アルカリ性液を用いてレジストを除去することが好ましい。前述のように、レジストはアルカリ現像型が好ましい。したがって、アルカリ性液を用いることでレジストの除去を容易に行うことができる。またアルカリ性液を用いると、耐アルカリ性を有する粘着層において、はんだ粉末の脱落を抑制することができる。
　本工程により、図２（ｅ）に示すように、レジスト２７を剥離したプリント配線板３２を得る。レジスト形成工程及び粘着部形成工程において、ファインピッチ化された微細なパターンの粘着部２８が形成されるため、プリント配線板３２には、はんだ粉末３０がファインピッチで形成される。
　なお、本実施形態の製造方法では、粘着部形成工程の後にレジスト除去工程を行い、その後にはんだ付着工程を行ってもよい。このような製造方法でもプリント配線板３２が得られる。
　また、本実施形態の製造方法では、レジスト除去工程と次に説明する第１の加熱工程との間に、はんだ粉末３０にフラックスを塗布する工程を設けてもよい。この工程により、第１の加熱工程におけるはんだ粉末３０の溶融性を高めることができる。はんだ粉末３０に塗布するフラックスとしては、ロジン等を用いることができる。
［第１の加熱工程］
　次に、プリント配線板３２のはんだ粉末３０を溶融させて、図２（ｆ）に示すように接合箇所２６の回路パターン２５の表面２５ａにはんだ層３３を形成したはんだ回路基板３４を得る。はんだ層３３は、後にはんだ回路を構成するものである。
　はんだ粉末３０を溶融させる際の加熱温度及び加熱時間は、はんだ粉末３０の合金組成及び粒径を勘案して適宜設定すればよい。例えば、はんだ粉末３０として９１Ｓｎ／９Ｚｎ、８９Ｓｎ／８Ｚｎ／３Ｂｉ、８６Ｓｎ／８Ｚｎ／６Ｂｉ等のＳｎ－Ｚｎ系のはんだ合金からなる粉末を用いる場合、加熱温度を２１０～２３０℃、好ましくは、２１０～２２０℃、加熱時間を３０～６０秒、好ましくは、３０～４０秒とすることが好ましい。また、はんだ粉末３０としてＳｎ－Ｐｂ系のはんだ合金からなる粉末を用いる場合、加熱温度を２００～３５０℃、好ましくは、２００～２５０℃、加熱時間を３０～６０秒、好ましくは、３０～４０秒とすることが好ましい。また、はんだ粉末３０としてＳｎ－Ａｇ系のはんだ合金からなる粉末を用いる場合、加熱温度を２５０～３５０℃、好ましくは、２２０～２７０℃、加熱時間を３０～６０秒、好ましくは、３０～４０秒とすることが好ましい。
このような条件により、はんだ粉末３０が良好に溶融される。また、本工程でははんだ粉末３０の表面張力と粘着部２８の付着力により、粘着部２８からほとんど拡がることなく、適度なはんだ厚のはんだ層３３が形成される。
他の合金系のはんだ粉末３０を用いた場合の加熱温度は、はんだ合金の融点に対して＋２０～＋５０℃、好ましくは、合金の融点に対して＋２０～＋３０℃とすることが好ましい。通常は、加熱温度を２００℃～３５０℃の範囲内とし、加熱時間を上記と同様の範囲に設定すればよい。
［電子部品接合工程］
　次に、電子部品３５としてファインピッチのベアチップを実装する場合はフリップチップボンダー等を用いて、図２（g）に示すように、はんだ層３３とベアチップの電極上に形成されたバンプ３６との位置を合わせ、加熱しながら加圧する。この工程により、図２（h）に示すように、はんだが溶融しはんだ回路３７に接続された実装基板３８を得る。
　図２（ｇ）及び図２（h）に示す電子部品３５として抵抗器、コンデンサ、トランス、インダクタンス、フィルタ、発振子・振動子等を用いて電子部品３５とはんだ回路基板３４とを接合する方法としては、例えば表面実装技術（ＳＭＴ）を用いることができる。ＳＭＴでは、先ず、はんだペーストをスクリーン印刷法により回路パターン２５の表面２５ａの接合箇所２６に塗布する。次いで、チップ部品やＱＦＰなどの電子部品３５を不図示のはんだペースト上に載置し、リフロー熱源により一括してはんだ接合を行う。このようなリフロープロセスにおけるリフロー熱源には、熱風炉、赤外線炉、蒸気凝縮はんだ付け装置、光ビームはんだ付け装置等を用いることができる。
　上記のリフローのプロセスの条件は、はんだ粉末３０及びはんだペーストの金属組成により異なるため、その金属組成を勘案して適宜設定すればよい。例えば、はんだ粉末３０及びはんだペーストとして９１Ｓｎ／９Ｚｎ、８９Ｓｎ／８Ｚｎ／３Ｂｉ、８６Ｓｎ／８Ｚｎ／６Ｂｉ等のＳｎ－Ｚｎ系のはんだ合金を用いる場合は、プレヒートとリフローの２段工程を行うことが好ましい。このような２段工程における各工程の条件は、プレヒート温度を１３０～１８０℃、好ましくは、１３０～１５０℃、プレヒート時間を６０～１２０秒、好ましくは、６０～９０秒とすることが好ましい。また、リフロー温度を２１０～２３０℃、好ましくは、２１０～２２０℃、リフロー時間を３０～６０秒、好ましくは、３０～４０秒とすることが好ましい。なお、他の合金系のはんだ粉末３０及びはんだペーストにおけるリフロー温度は、用いる合金の融点に対して＋２０～＋５０℃、好ましくは、合金の融点に対して＋２０～＋３０℃とし、他のプレヒート温度、プレヒート時間、リフロー時間は上記と同様の範囲とすればよい。
　上記のリフロープロセスは窒素中、大気中のいずれの雰囲気で行ってもよい。窒素中でのリフローを行う場合は、酸素濃度を５体積％以下、好ましくは０．５体積％以下とすることで、大気中でのリフローを行う場合よりもはんだ層３３へのはんだペーストの濡れ性を向上させ、かつ、はんだボールの発生を抑えて、安定した処理を行うことができる。
　リフロープロセス後に、はんだ回路基板３４を冷却することで表面実装が完了する。このようなＳＭＴによる電子部品の接合は、プリント配線板２４の両面に対して行ってもよい。
　上記説明したように、本実施形態のはんだ回路基板の製造方法によれば、粘着部形成工程と第１の加熱工程との間に、レジスト除去工程を行うため、回路パターン２５の表面２５ａの接合箇所２６に塗布したはんだ粉末３０を溶融させる前にレジスト２７を除去できる。これにより、レジスト形成工程において、はんだの溶融温度に対して耐熱性を有していなくとも、微細なパターニングを行うフォトリソグラフィー技術に適用可能なレジスト２７を用いることができる。そして、２０μｍレベルの微細なパターンでレジスト２７をパターニングできる。その結果、プリント配線板２３の回路パターン２５の表面２５ａのレジストに覆われない部分、即ち電子部品の接合箇所２６がファインピッチ化され、接合箇所２６に順次形成する粘着部２８とはんだ粒子３０のパターンもファインピッチ化される。同時に、はんだの使用量も最小限に抑えられる。このようにして、第１の加熱工程完了時には、ファインピッチに対応する微細なパターンのはんだ層３３が形成されたはんだ回路基板３４が得られる。
　次に、電極間に電極部を有するファインピッチ化されたベアチップの接合工程について説明する。２列の電極が形成されたベアチップでは、通常は、図３（a）のはんだ回路基板１７を形成し、図３（ｂ）に示すように、回路パターンを覆うように形成されたはんだバンプ１５の上に電子部品１８の電極部分に形成されたスタッドバンプ１９との位置を合わせつつ、フリップチップボンダーで加熱しながら加圧する。加熱・加圧条件及び、位置ずれにもよるが、電極１６の間隔が狭いことから、図３（ｂ）に示すように、はんだが隣接する電極１６に接する場合がある。この時はんだを完全に溶融すると、図３（ｃ）に示すはんだ回路２０を有する実装基板２２を得られるが、一部で電極２１のようにブリッジすることがある。
　これに対し、本実施形態の製造方法では、基板３９上の回路パターン４０の電極表面に１つおきにレジスト層（図示略）を形成することで、電極の１つおきにはんだ層を形成した図４（a）に示すはんだ回路基板４２を作製することができる。このはんだ回路基板４２のはんだ層を形成した電極４１と電子部品４３の電極部４４を、図４（ｂ）に示すようにフリップチップボンダー用いて加熱しながら加圧すれば、図４（c）に示すようにはんだが溶融してはんだ回路４５に接続された、ブリッジの発生がない実装基板４６が得られる。
　以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
　以下、実施例により本発明を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
（実施例１）
　導電性物質に銅を用いてプリント配線板（以降では、単に「プリント配線板」と記載する）を作製した。導電性物質からなるプリント配線板の回路パターンの線幅は２５μｍで最も狭い回路パターンの間隔は２５μｍとした。このプリント配線板にフォトレジスト（型番：Ｈ－７０３４、日立化成株式会社製）を貼り付けた基板を準備した。フォトマスクを用いてプリント配線板を紫外線露光した後、アルカリ性現像たとえば１％炭酸ナトリウム水溶液を用いてプリント配線板をパターニングした。導電性回路電極表面でレジストに覆われていない領域は、１電極おきにサイズを２５×８０μｍとした。
　粘着性付与化合物溶液として、一般式（３）のＲ１２のアルキル基がＣ１１Ｈ２３、Ｒ１１が水素原子であるイミダゾール系化合物の２質量％水溶液を、酢酸によりｐＨを約４に調整したものを用いた。このイミダゾール系化合物水溶液を４０℃に加温し、塩酸水溶液により前処理したプリント配線板を３分間浸漬した後、レジストの開口領域に粘着部を形成した。
　次いで、プリント配線板を水洗した後、乾燥させた。このプリント配線板に平均粒径が約１０μｍ、合金組成６３Ｓｎ／３７Ｐｂのはんだ粉末をふりかけ、軽くブラッシングして粘着部に選択的に付着させた。その後、プリント配線板を１２０℃で１０分間加熱後、プリント配線板表面に形成されたフォトレジストは、アルカリ性剥離液３％水酸化ナトリウム水溶液を用いて剥離した。プリント配線板のはんだ粉末配置部分に重合ロジンを塗布した後、プリント配線板を、２４０℃のオーブンに入れ、はんだ粉末を溶融させた。続いて、銅からなる回路パターンのはんだ粉末付着部分に、約１０μｍの共晶はんだ層を形成したはんだ回路基板を得た。
　次に、はんだバンプを形成したプリント基板をフリップチップボンダーに設置して１６０℃に加熱した。ベアチップの電極（ピッチ：１００μｍ）にスタッドバンプ（直径５０μｍ×高さ８０μｍ）を形成したチップの電極をプリント基板の電極に合わせるようにベアチップを２３０℃に加熱しながら、実装した。
（実施例２）
　はんだ粉末付着後のプリント配線基板の加熱（第２加熱工程）を行わなかったこと以外は、実施例１と同様の工程および条件でプリント基板にベアチップを実装した。
（比較例）
　プリント配線板としてフォトレジストを貼り付けていない基板を使用し、回路パターンをレジストで覆わずに粘着性を付与し、ハンダ粉末を付着させた。他は実施例１と同様の工程及び条件によってプリント基板にベアチップを実装した。
（実施例１、実施例２及び比較例における評価）
　上記の工程によりベアチップを実装したはんだ回路基板において、表１に示すように、実施例１、実施例２及び比較例で同程度のバンプ高さを有する微小バンプを形成できた。実施例１は、第二加熱工程を行うことにより、フォトレジストの剥離工程ではんだ粉末の脱落を抑制したため、バンプ高さを確保できた。またフリップチップ実装においては、プリント配線板上にフォトレジストを形成した実施例１及び実施例２の実装基板は良好であったが、プリント配線板上にフォトレジストを形成しなかった比較例の実装基板にはブリッジの発生が認められた。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
　上記説明した実施例１及び実施例２では、はんだ粉末を粘着部に付着させた後にフォトレジストを除去し、その後にはんだ粉末を溶融させるので、はんだ溶融時には基板上にレジストが存在せず、耐熱性のレジストを使用する必要がない。従って、本発明によれば、表１に示す評価結果からもわかるようにファインピッチ化した良好なはんだ回路を形成でき、電子部品のスタッドバンプを低くできることを確認した。
２，２５，４０…回路パターン（導電性回路電極）、３，２６…接合箇所（レジストに覆われていない部分）、４，２７…レジスト、５，２８…粘着部、６，３０…はんだ粉末、８，１２，２３，２９，３１，３２，３４，３８…プリント配線板、２５ａ…表面、１７，３４…はんだ回路基板

Claims (10)

  1. 　プリント配線板上の導電性回路電極表面をレジストにより部分的に覆うレジスト形成工程と、
    　前記導電性回路電極表面のうちレジストに覆われていない部分に粘着性を付与して粘着部を形成する粘着部形成工程と、
    　前記粘着部にはんだ粉末を付着させるはんだ付着工程と、
    　前記レジストを除去するレジスト除去工程と、
    　前記プリント配線板を加熱してはんだ粉末を溶融させる第１の加熱工程と、
    　を順次行うことを特徴とするはんだ回路基板の製造方法。
  2. 　プリント配線板上の導電性回路電極表面をレジストにより部分的に覆うレジスト形成工程と、
    　前記導電性回路電極表面のうちレジストに覆われていない部分に粘着性を付与して粘着部を形成する粘着部形成工程と、
    　前記レジストを除去するレジスト除去工程と、
    　前記粘着部にはんだ粉末を付着させるはんだ付着工程と、
    　前記プリント配線板を加熱してはんだ粉末を溶融させる第１の加熱工程と、
    　を順次行うことを特徴とするはんだ回路基板の製造方法。
  3. 　前記はんだ付着工程の直後に、 第２の加熱工程を設けることを特徴とする請求項１または２に記載のはんだ回路基板の製造方法。
  4. 　前記レジスト除去工程と前記第１の加熱工程との間に、
    　前記はんだ粉末にフラックスを塗布する工程を設けることを特徴とする請求項１または２に記載のはんだ回路基板の製造方法。
  5. 　前記レジストがアルカリ現像型であり、
    　前記レジスト除去工程において、
    　アルカリ性液を用いて前記レジストを除去することを特徴とする請求項１または２に記載のはんだ回路基板の製造方法。
  6. 　前記はんだ粉末がＳｎ－Ｐｂ系はんだ粉末であり、
    　第１の加熱工程における加熱温度が２００℃～３５０℃の範囲内であり、
    　第２の加熱工程における加熱温度が１００℃～１８０℃の範囲内であることを特徴とする請求項３に記載のはんだ回路基板の製造方法。
  7. 　前記はんだ粉末がＳｎ－Ａｇ系はんだ粉末であり、
    　第１の加熱工程における加熱温度が２５０℃～３５０℃の範囲内であり、
    　第２の加熱工程における加熱温度が１００℃～１８０℃の範囲内であることを特徴とする請求項３に記載のはんだ回路基板の製造方法。
  8. 　前記導電性回路電極が銅合金からなり、
    　前記粘着部形成工程において、
    　前記銅合金と、ベンゾトリアゾール系誘導体、ナフトトリアゾール系誘導体、イミダゾール系誘導体、ベンゾイミダゾール系誘導体、メルカプトベンゾチアゾール系誘導体、ベンゾチアゾールチオ脂肪酸系誘導体との反応により、前記レジストに覆われていない部分に粘着性を付与することを特徴とする請求項１または２に記載のはんだ回路基板の製造方法。
  9. 　請求項１または２に記載のはんだ回路基板の製造方法を用いて作製したはんだ回路基板。
  10. 　請求項９に記載のはんだ回路基板に、電子部品を載置する電子部品載置工程と、
    　前記はんだ粉末をリフローして前記電子部品の電極部分と前記はんだ回路基板とを接合する電子部品接合工程と、
    　を含むことを特徴とする電子部品の実装方法。
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