WO2014157702A1 - 高分子複合圧電体 - Google Patents
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- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/09—Forming piezoelectric or electrostrictive materials
- H10N30/092—Forming composite materials
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/852—Composite materials, e.g. having 1-3 or 2-2 type connectivity
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K2201/00—Specific properties of additives
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R17/00—Piezoelectric transducers; Electrostrictive transducers
Definitions
- the present invention relates to a polymer composite piezoelectric material used for an electroacoustic conversion film used for a speaker, a microphone, or the like.
- a flexible display using a flexible substrate such as a plastic such as an organic EL display
- a sound generation device that reproduces sound together with an image, such as a television receiver
- a speaker that is an acoustic device for generating sound is required.
- a conventional speaker shape a so-called cone-shaped funnel shape, a spherical dome shape, or the like is common.
- these speakers are incorporated in the flexible display described above, the lightness and flexibility that are the advantages of the flexible display may be impaired.
- a speaker is externally attached, carrying and the like are troublesome, and it is difficult to install the speaker on a curved wall, which may impair the beauty.
- the piezoelectric film is a uniaxially stretched film of polyvinylidene fluoride (PVDF) that is polarized at a high voltage, and has a property of expanding and contracting in response to an applied voltage.
- PVDF polyvinylidene fluoride
- a flexible display with an integrated speaker made of piezoelectric film and rectangular in plan view is gripped in a loosely bent state like a newspaper or magazine for portable use, and the screen display is switched between portrait and landscape.
- the image display surface can be curved not only in the vertical direction but also in the horizontal direction.
- a piezoelectric film made of uniaxially stretched PVDF has in-plane anisotropy in its piezoelectric characteristics, so that the sound quality varies greatly depending on the direction of bending even with the same curvature.
- Non-Patent Document 1 describes the flexibility of PVDF and the high piezoelectric properties of PZT ceramics by using a polymer composite piezoelectric material obtained by mixing PDF powder of PZT ceramic, which is a piezoelectric material, with PVDF by solvent casting or hot kneading.
- a compatible polymer composite piezoelectric material is disclosed.
- Non-Patent Document 2 discloses that in the polymer composite piezoelectric material described in Non-Patent Document 1, flexibility is maintained by adding fluororubber to PVDF. ing.
- PZT lead zirconate titanate particles are used as the piezoelectric particles of the polymer composite piezoelectric material.
- PZT is a piezoelectric material having a good piezoelectric property and having a composition represented by the general formula Pb (Zr x Ti 1-x ) O 3 .
- PZT particles are usually produced by mixing lead oxide powder, zirconium oxide powder and titanium oxide powder as raw materials and firing them (PZT ceramics (piezoelectric ceramics)). Further, in order to obtain high piezoelectric characteristics, the PZT particles are usually finally fired at about 1100 to 1200 ° C. for 3 to 5 hours to form a sintered body.
- a ferroelectric material having a perovskite structure such as PZT can obtain high piezoelectric characteristics by setting the composition to a phase transition boundary (MPB (morphotropic phase boundary)) composition.
- MPB phase transition boundary
- the MPB composition of PZT is a composition in which x in the above general formula is around 0.52 (that is, Pb (Zr 0.52 Ti 0.48 ) O 3 ).
- the composition ratio of Zr and Ti of the obtained particles is almost the same as the composition of the raw material powder (so-called charged composition). Therefore, PZT particles having an MPB composition can be prepared by charging the sintered raw material powder so that the zirconium oxide powder and the titanium oxide powder have a molar ratio of 0.52: 0.48.
- An object of the present invention is to solve such problems of the prior art, and is a polymer composite piezoelectric material in which piezoelectric particles are dispersed in a polymer matrix, and PZT particles are used as the piezoelectric particles.
- Another object of the present invention is to provide a polymer composite piezoelectric body that exhibits higher piezoelectric characteristics.
- the polymer composite piezoelectric material of the present invention is a polymer composite piezoelectric material obtained by dispersing piezoelectric particles in a matrix made of a polymer material, and the piezoelectric particles are The main component is lead zirconate titanate represented by the general formula Pb (Zr x Ti 1-x ) O 3 , and tetragonal crystals and rhombohedral crystals are contained in one piezoelectric particle.
- Pb (Zr x Ti 1-x ) O 3 lead zirconate titanate represented by the general formula Pb (Zr x Ti 1-x ) O 3
- tetragonal crystals and rhombohedral crystals are contained in one piezoelectric particle.
- a polymer composite piezoelectric material characterized by being mixed.
- x in the general formula is 0.3 to 0.7 in one piezoelectric particle.
- regions having different x are mixed.
- the average of x in the general formula of all the piezoelectric particles is 0.52 ⁇ 0.10.
- the piezoelectric particles are preferably polycrystalline.
- x in the general formula of the primary particles constituting the polycrystal is 0.3 to 0.7, and one piezoelectric particle It is preferable that primary particles having different x from each other are mixed therein.
- x in the general formula is an area where the average of all the piezoelectric particles +0.1 or more, It is preferable that an average region of ⁇ 0.1 or less of the piezoelectric particles is mixed.
- the median diameter (D 50 ) of the piezoelectric particles measured by the laser scattering particle size measuring apparatus is preferably 2 to 5 ⁇ m. Further, it is preferable that the piezoelectric particles having a particle diameter of 10 ⁇ m or more in the particle diameter of the piezoelectric particles measured by the laser scattering particle size measuring apparatus is 5 to 30 vol% of the total piezoelectric particles. In addition, in the particle diameter of the piezoelectric particles measured by the laser scattering particle size measuring device, the piezoelectric particles having a particle diameter of 1 ⁇ m or less are preferably 10 vol% or less of the total piezoelectric particles. Further, the polymer matrix is preferably made of a polymer material having viscoelasticity at room temperature.
- Such a polymer composite piezoelectric material of the present invention can provide higher piezoelectric properties than a conventional polymer composite piezoelectric material using sintered PZT particles. Moreover, according to the polymer composite piezoelectric material of the present invention, the manufacturing process of the PZT particles can be greatly simplified, so that the cost of the polymer composite piezoelectric material can be reduced.
- (A) And (B) is a figure which shows notionally an example of the electroacoustic conversion film using the polymer composite piezoelectric material of this invention.
- (A) is a graph showing the composition of the piezoelectric particles used in the polymer composite piezoelectric material of the present invention
- (B) is a graph showing the composition of the PZT sintered body.
- (A) to (D) are XRD patterns in the embodiment of the present invention. It is a graph which shows the relationship between the ratio of the particle
- FIG. 1 conceptually shows an example of the polymer composite piezoelectric material of the present invention.
- a polymer composite piezoelectric body 10 (hereinafter also referred to as a composite piezoelectric body 10) of the present invention has a configuration in which piezoelectric particles 14 are dispersed in a matrix 12 made of a polymer material. .
- the piezoelectric particles 14 are dispersed in the matrix 12 with regularity.
- the present invention is not limited to this. That is, in the composite piezoelectric material 10 of the present invention, the piezoelectric particles 14 in the matrix 12 are preferably dispersed uniformly even if dispersed uniformly in the matrix 12 as long as they are dispersed uniformly. May be.
- the piezoelectric particles 14 are PZT (lead zirconate titanate) particles (particles mainly composed of PZT).
- PZT is represented by the general formula Pb (Zr x Ti 1-x ) O 3 (hereinafter, this general formula Pb (Zr x Ti 1-x ) O 3 is represented by the general formula [I ].
- x ⁇ 1.
- x is an element ratio (molar ratio) between zircon and titanium, that is, Zr / (Zr + Ti).
- the piezoelectric particles 14 are a mixture of tetragonal crystals and rhombohedral crystals.
- the composite piezoelectric body 10 of the present invention uses such piezoelectric body particles 14, so that it has better piezoelectricity than a polymer composite piezoelectric body using a pulverized PZT sintered body as piezoelectric body particles. Has characteristics.
- a PZT sintered body produced through a firing process for about 1 to 10 hours at a high temperature of about 1100 to 1200 ° C. is pulverized. Something is used. In the case of ordinary piezoelectric ceramics, denseness is very important in order to obtain high piezoelectric characteristics. Therefore, in the production of piezoelectric ceramics, a dense sintered body is obtained by performing heat treatment at a high temperature of 1000 ° C. or higher.
- the composite piezoelectric body 10 of the present invention uses PZT particles in which tetragonal crystals and rhombohedral crystals are mixed in one particle as the piezoelectric particles 14. Therefore, in the composite piezoelectric body 10 of the present invention, a phase transition boundary between a tetragonal crystal and a rhombohedral crystal exists in the piezoelectric particles 14.
- the phase transition boundary is very flexible with respect to the electric field and greatly contributes to the improvement of the piezoelectric characteristics. That is, the piezoelectric particles 14 have a phase transition boundary in the particles, thereby exhibiting very high piezoelectric characteristics.
- the composite piezoelectric body 10 of the present invention uses such piezoelectric body particles 14, compared to a polymer composite piezoelectric body using a conventional PZT sintered body as piezoelectric body particles, Has good piezoelectric properties.
- Such a piezoelectric particle 14 in which tetragonal crystals and rhombohedral crystals are mixed in one piezoelectric particle 14 can be realized by mixing regions having different compositions in the PZT particles.
- the piezoelectric particles (PZT particles) 14 are generally contained in one particle when energy dispersive X-ray analysis (hereinafter also referred to as EDX) is performed.
- EDX energy dispersive X-ray analysis
- x in the general formula [I] is 0.3 to 0.7 in one piezoelectric particle 14. PZTs having different ranges and different x are mixed.
- PZT is a solid solution of lead zirconate (PbZrO 3 ) and lead titanate (PbTiO 3 ).
- a region containing a large amount of lead zirconate (a region where x is 0.52 or more, hereinafter also referred to as a region containing a large amount of Zr) is tetragonal and a region containing a large amount of lead titanate (x is 0.52).
- x is 0.52 or more
- x a region containing a large amount of Zr
- x is 0.52
- Less than the region is rhombohedral.
- a region having a large amount of Zr and a region having a large amount of Ti are mixed in one piezoelectric particle 14 made of PZT, so that a region having a tetragonal crystal and a rhombohedron are present in one piezoelectric particle 14.
- a region that is a crystal can be mixed.
- the composition of Zr and Ti is varied in one piezoelectric particle 14 to discontinuously adjoin the Zr-rich region and the Ti-rich region.
- a phase transition boundary can be introduced by mixing a tetragonal region and a rhombohedral region.
- the piezoelectric particles 14 of the composite piezoelectric material 10 of the present invention have composition variations in individual particles and composition variations among the particles, but the overall composition of the piezoelectric particles 14 was seen.
- x in the general formula [I] is preferably 0.52 ⁇ 0.10. That is, in the composite piezoelectric material 10 of the present invention, it is preferable that the average x of all the piezoelectric particles 14 is 0.52 ⁇ 0.10.
- x in the general formula [I] when looking at the overall composition of the piezoelectric particles 14, x in the general formula [I] is more preferably 0.52 ⁇ 0.05.
- X is preferably 0.52.
- x is 0.52 ⁇ 0.10, so that the entire composition of the piezoelectric particles 14 is changed to the phase transition boundary.
- high piezoelectric characteristics can be obtained.
- the piezoelectric particles 14 used in the composite piezoelectric body 10 of the present invention are preferably mixed with a lead oxide powder, a zirconium oxide powder and a titanium oxide powder at a temperature of about 700 to 800 ° C. for 3 to 3, as will be described later. It is produced by baking for 6 hours. In the production of the piezoelectric particles 14 by such firing, there is a case where some evaporation of Pb occurs.
- the composition ratio of the entire obtained piezoelectric particles 14 is the same as that of each powder mixed first. It almost agrees with the quantity. That is, the composition ratio of Zr and Ti of the entire piezoelectric particle 14 substantially matches the so-called charged composition. Therefore, by setting a preparation composition for producing the piezoelectric particles 14 according to the composition of the target piezoelectric particles 14 as a whole, the composition of the entire piezoelectric particles 14 can be made the target composition.
- x in the general formula [I] is an average x (piezoelectric) of all the piezoelectric particles 14 in one particle. It is preferable that a region having a composition of +0.1 or more and a region having a composition of ⁇ 0.1 or less coexist with the composition of the whole body particle 14). By having such a configuration, it is possible to increase the compositional variation in the particles of the piezoelectric particles 14 and to mix the region with a large amount of Zr and the region with a large amount of Ti. By combining tetragonal crystals and rhombohedral crystals in the piezoelectric particles 14, the composite piezoelectric material 10 having higher piezoelectric characteristics can be obtained.
- the piezoelectric particles 14 can be used in various forms. That is, in the present invention, the piezoelectric particles 14 may be, for example, a polycrystal, a single crystal, or a so-called core-shell structure having a central portion and an outer portion. Above all, the piezoelectric particles 14 are preferably polycrystalline because they can be produced with high productivity and low cost by firing.
- the piezoelectric particles 14 are polycrystalline, when the primary particles constituting the polycrystalline body are analyzed by EDX, the primary particles have an x of 0.3 to 0 in the general formula [I]. Preferably it has a composition that is .7. Further, when the piezoelectric particles 14 are polycrystalline, it is preferable that primary particles having a composition with different x are mixed in one piezoelectric particle 14. This makes it possible to mix a region with a large amount of Zr and a region with a large amount of Ti in one piezoelectric particle 14 in a more reliable and preferable manner, so that a tetragonal crystal and a rhombohedral crystal can be mixed. A composite piezoelectric body 10 having high characteristics can be obtained.
- the particle diameter of such piezoelectric particles 14 may be appropriately selected according to the size and application of the composite piezoelectric body 10.
- the particle diameter of the piezoelectric particles 14 is preferably 1 to 30 ⁇ m as measured by a laser scattering particle size measuring apparatus.
- the piezoelectric particles 14 preferably have a median diameter (D 50 ) of 2 to 5 ⁇ m in the particle diameter measured with a laser scattering particle size measuring apparatus.
- D 50 median diameter
- the piezoelectric particles 14 By setting the median diameter of the piezoelectric particles 14 to 2 to 5 ⁇ m, a manufacturing method suitable for mass production, such as a solvent coating method using a paint in which the matrix 12 is dissolved in the solvent and the piezoelectric particles 14 are dispersed, is used. Even if it is used, a preferable result can be obtained in that a uniform and dense composite piezoelectric body 10 can be produced.
- the piezoelectric particles 14 preferably contain 5 to 30 vol% of particles having a particle size of 10 ⁇ m or more as measured by a laser scattering particle size measuring apparatus.
- the piezoelectric particles 14 preferably contain 5 vol% or more of particles having a size of 10 ⁇ m or more in the piezoelectric particles 14, the transmission efficiency of vibration energy inside the composite piezoelectric material 10 can be increased, and higher piezoelectric characteristics can be obtained.
- the volume fraction of the piezoelectric particles 14 in the composite piezoelectric body 10 needs to be increased to some extent.
- the piezoelectric particles 14 preferably have a ratio of particles having a particle diameter of 1 ⁇ m or less in a particle diameter measured by a laser scattering particle size measuring apparatus of 10 vol% or less of all particles.
- Such a piezoelectric particle 14 can be produced by firing as an example. Specifically, a raw material powder is prepared by mixing a lead oxide powder, a zirconium oxide powder and a titanium oxide powder in an amount ratio corresponding to the overall composition of the target piezoelectric particles 14. As described above, the entire composition of the piezoelectric particles 14 substantially matches the composition (prepared composition) of the raw material powder.
- this raw material powder is put in a crucible or the like and fired at about 700 to 800 ° C. for 3 to 6 hours.
- the firing at this temperature long-distance diffusion of atoms is not sufficiently performed, and the solid phase reaction of PZT is not completed (PZT does not become a sintered body).
- the piezoelectric particles 14 (PZT particles) obtained by this firing are polycrystalline, and a region containing a large amount of Zr and a region containing a large amount of Ti are mixed in one particle. Accordingly, it is possible to obtain the piezoelectric particles 14 in which tetragonal crystals and rhombohedral crystals are mixed in one particle.
- the produced piezoelectric particles 14 are crushed as necessary.
- the crushing may be performed by a known method. However, if the piezoelectric particles 14 are crushed too much, the piezoelectric particles 14 having a particle size of 10 ⁇ m or more of 5 to 30 vol% as described above cannot be obtained.
- the piezoelectric particles 14 As a preferable crushing method, there is exemplified a method of crushing the piezoelectric particles 14 by placing the piezoelectric particles 14 on a sieve (mesh) and applying pressure from above to pass the sieve. What is necessary is just to select the mesh size in this case suitably according to the target particle diameter. According to the study by the present inventor, the mesh size is preferably about 28 to 38 ⁇ m in that the piezoelectric particles 14 with 5 to 30 vol% of particles having a particle size of 10 ⁇ m or more can be suitably obtained.
- the crushing may be performed with a ball mill.
- the crushing is performed with the ball mill, as the crushing is performed, the number of piezoelectric particles 14 having a particle diameter exceeding 10 ⁇ m is reduced, and at the same time, the particle diameter is 1 ⁇ m or less. Powder increases. Therefore, when crushing with a ball mill, it is preferable to set the time to about 0.5 hours or less.
- this method of manufacturing the piezoelectric particles 14 is performed at a high temperature of 1000 ° C. or higher, which is necessary in the manufacturing method of PZT sintered bodies conventionally used in polymer composite piezoelectric bodies.
- the manufacturing process of the piezoelectric particles 14 can be greatly simplified, and a high performance and low cost composite piezoelectric body 10 can be obtained.
- the matrix (polymer matrix) 12 can use various polymer materials used in known polymer composite piezoelectric materials. Specific examples include polyvinylidene fluoride (PVDF), cyanoethylated pullulan, and nylon.
- the matrix 12 made of a polymer material having viscoelasticity at room temperature is particularly preferably used.
- “normal temperature” refers to a temperature range of about 0 to 50 ° C.
- the composite piezoelectric body 10 of the present invention is provided with, for example, electrode layers 18 on both sides as conceptually shown in FIG. 2A, or, as shown conceptually in FIG.
- a protective layer 20 is provided on the surface of the layer 18 to form an electroacoustic conversion film, which is suitably used for a flexible speaker such as a speaker for a flexible display.
- a forming material of the electrode layer copper, aluminum, gold
- polyethylene terephthalate (PET), polypropylene (PP), polystyrene (PS), polycarbonate (PC), polyphenylene sulfite (PPS), polymethyl methacrylate (PMMA), polyetherimide ( PEI), polyimide (PI), polyethylene naphthalate (PEN), triacetyl cellulose (TAC), and cyclic olefin resin are preferably used.
- PET polyethylene terephthalate
- PP polypropylene
- PS polystyrene
- PC polycarbonate
- PPS polyphenylene sulfite
- PMMA polymethyl methacrylate
- PEI polyetherimide
- PI polyimide
- PEN polyethylene naphthalate
- TAC triacetyl cellulose
- cyclic olefin resin are preferably used.
- the protective layer 20 is very thin and handling property is bad, you may use the protective layer 20 with a separator as needed.
- the composite piezoelectric body 10 used for a flexible speaker has the following requirements.
- (I) Flexibility For example, when gripping in a loosely bent state like a newspaper or a magazine for portable use, it is constantly subject to a relatively slow and large bending deformation of several Hz or less from the outside. become. At this time, if the polymer composite piezoelectric material is hard, a large bending stress is generated, and a crack is generated at the interface between the polymer matrix and the piezoelectric particles, which may eventually lead to destruction. Accordingly, the polymer composite piezoelectric body is required to have an appropriate softness. Further, if the strain energy can be diffused to the outside as heat, the stress can be relaxed.
- the loss tangent of the polymer composite piezoelectric material is appropriately large.
- (Ii) Sound quality The speaker vibrates the piezoelectric particles at an audio band frequency of 20 Hz to 20 kHz, and the vibration plate (polymer composite piezoelectric material) vibrates as a whole by the vibration energy, so that sound is reproduced.
- the polymer composite piezoelectric body is required to have an appropriate hardness.
- the frequency characteristic of the speaker is smooth, the amount of change in the sound quality when the lowest resonance frequency f 0 with the change in the curvature is changed becomes small. Therefore, the loss tangent of the polymer composite piezoelectric material is required to be moderately large.
- the composite piezoelectric body 10 used for a flexible speaker is required to be hard for vibrations of 20 Hz to 20 kHz and to be soft for vibrations of several Hz or less. Further, the loss tangent of the composite piezoelectric body 10 is required to be appropriately large with respect to vibrations of all frequencies of 20 kHz or less.
- polymer solids have a viscoelastic relaxation mechanism, and as the temperature increases or the frequency decreases, large-scale molecular motion decreases (relaxes) the storage elastic modulus (Young's modulus) or maximizes the loss elastic modulus (absorption). As observed. Among them, the relaxation caused by the micro Brownian motion of the molecular chain in the amorphous region is called main dispersion, and a very large relaxation phenomenon is observed. The temperature at which this main dispersion occurs is the glass transition point (Tg), and the viscoelastic relaxation mechanism appears most remarkably.
- Tg glass transition point
- the matrix 12 is hard to vibrate at 20 Hz to 20 kHz and is several Hz.
- a composite piezoelectric body 10 that behaves softly with respect to the following slow vibration is realized.
- a polymer material having a glass transition temperature at a frequency of 1 Hz at room temperature is preferably used for the matrix 12 of the composite piezoelectric body 10 in terms of suitably exhibiting this behavior.
- a polymer material having viscoelasticity at room temperature Various known materials can be used as the polymer material having viscoelasticity at room temperature.
- a polymer material having a maximum value of loss tangent Tan ⁇ at a frequency of 1 Hz in a dynamic viscoelasticity test at room temperature is 0.5 or more.
- the polymer material preferably has a storage elastic modulus (E ′) at a frequency of 1 Hz by dynamic viscoelasticity measurement of 100 MPa or more at 0 ° C. and 10 MPa or less at 50 ° C.
- E ′ storage elastic modulus
- the polymer material has a relative dielectric constant of 10 or more at 25 ° C.
- the polymer material preferably has a relative dielectric constant of 10 or less at 25 ° C.
- Polymer materials satisfying such conditions include cyanoethylated polyvinyl alcohol (cyanoethylated PVA), polyvinyl acetate, polyvinylidene chloride core acrylonitrile, polystyrene-vinyl polyisoprene block copolymer, polyvinyl methyl ketone, and polybutyl. Examples include methacrylate.
- cyanoethylated polyvinyl alcohol cyanoethylated PVA
- polyvinyl acetate polyvinylidene chloride core acrylonitrile
- polystyrene-vinyl polyisoprene block copolymer polyvinyl methyl ketone
- polybutyl examples include methacrylate.
- commercially available products such as Hibler 5127 (manufactured by Kuraray Co., Ltd.) can also be suitably used.
- these polymeric materials may use only 1 type, and may use multiple types together (mixed).
- the matrix 12 using such a polymer material having viscoelasticity at room temperature may use a plurality of polymer materials in combination as necessary. That is, other dielectric polymer materials may be added to the matrix 12 as needed in addition to viscoelastic materials such as cyanoethylated PVA for the purpose of adjusting dielectric properties and mechanical properties.
- dielectric polymer materials examples include polyvinylidene fluoride, vinylidene fluoride-tetrafluoroethylene copolymer, vinylidene fluoride-trifluoroethylene copolymer, and polyvinylidene fluoride-trifluoroethylene copolymer.
- Fluorine polymers such as polyvinylidene fluoride-tetrafluoroethylene copolymer, vinylidene cyanide-vinyl acetate copolymer, cyanoethyl cellulose, cyanoethyl hydroxy saccharose, cyanoethyl hydroxy cellulose, cyanoethyl hydroxy pullulan, cyanoethyl methacrylate, cyanoethyl acrylate, cyanoethyl Hydroxyethyl cellulose, cyanoethyl amylose, cyanoethyl hydroxypropyl cellulose, cyanoethyl dihydroxypropyl cellulose, Synthesis of polymers having cyano group or cyanoethyl group such as anoethylhydroxypropyl amylose, cyanoethyl polyacrylamide, cyanoethyl polyacrylate, cyanoethyl pullulan, cyanoethyl polyhydroxym
- thermoplastic resins such as vinyl chloride resin, polyethylene, polystyrene, methacrylic resin, polybutene, isobutylene, phenol resin, urea resin are used for the purpose of adjusting the glass transition point (Tg).
- Thermosetting resins such as melamine resin, alkyd resin, mica, etc. may be added.
- a tackifier such as rosin ester, rosin, terpene, terpene phenol, petroleum resin and the like may be added.
- the amount of addition of a polymer other than a viscoelastic material such as cyanoethylated PVA is 30% by weight or less in the ratio of the matrix 12.
- the characteristics of the polymer material to be added can be expressed without impairing the viscoelastic relaxation mechanism in the matrix 12, so that the dielectric constant is increased, the heat resistance is improved, the adhesion with the piezoelectric particles 14 and the electrode layer is improved, and the like. In this respect, preferable results can be obtained.
- the amount ratio between the matrix 12 and the piezoelectric particles 14 is determined by the size (size in the surface direction) and thickness of the composite piezoelectric body 10, the use of the composite piezoelectric body 10, and the composite piezoelectric body 10. What is necessary is just to set suitably according to the characteristic etc. which are requested
- the volume fraction of the piezoelectric particles 14 in the composite piezoelectric body 10 is preferably 30 to 70%, particularly preferably 50% or more, and therefore 50 to 50%. 70% is more preferable.
- the thickness of the composite piezoelectric body 10 of the present invention is the size of the composite piezoelectric body 10 in the plane direction, the use of the composite piezoelectric body 10, the characteristics required for the composite piezoelectric body 10, and the matrix forming the composite piezoelectric body 10. 12 and the material of the piezoelectric particles 14 may be set as appropriate.
- the thickness of the composite piezoelectric body 10 is preferably 10 to 200 ⁇ m, and particularly preferably 15 to 100 ⁇ m.
- the composite piezoelectric body 10 can be manufactured by the same method as a known polymer composite piezoelectric body. That is, the polymer material that becomes the matrix 12 is dissolved in an organic solvent, and the piezoelectric particles 14 are added to the solution and diffused, and the piezoelectric particles 14 are dispersed in the polymer material and the organic solvent. A paint is prepared.
- the organic solvent is not particularly limited, and various organic solvents such as dimethylformamide (DMF), methyl ethyl ketone, and cyclohexanone can be used.
- the coating material is cast (applied) on a sheet-like material, and the organic solvent is evaporated and dried to obtain the composite piezoelectric body 10.
- the sheet-like material the above-described electrode layer 18 or a laminate of the electrode layer 18 and the protective layer 20 may be used.
- the coating casting method is not particularly limited, and all known methods (coating apparatuses) such as a slide coater and a doctor knife can be used.
- the composite piezoelectric body 10 is preferably subjected to polarization processing (polling).
- polarization processing A known method can be used for the polarization treatment of the composite piezoelectric body 10.
- the following method is illustrated as a preferable method of polarization treatment. That is, the composite piezoelectric body 10 is placed on a conductive sheet (or an electrode layer 18 is provided on one surface of the composite piezoelectric body 10), and a corona electrode extending in one direction such as a wire shape is used.
- a DC power source is connected to the conductive sheet and the corona electrode.
- a DC voltage of several kV, for example, 6 kV is applied between the conductive sheet and the corona electrode from the DC power source in a state where the composite piezoelectric body 10 is heated and held at a temperature of, for example, 100 ° C. Apply to cause corona discharge. From this state, the corona electrode is moved (scanned) in the direction orthogonal to the extending direction along the upper surface of the composite piezoelectric body 10 while maintaining a predetermined interval, and the composite piezoelectric body 10 is polarized.
- the composite piezoelectric body 10 is provided with the electrode layer 18 (or the protective layer 20) on both sides, and various kinds of pickups such as speakers, microphones, and pickups used for musical instruments such as guitars.
- an acoustic device acoustic equipment
- it is used as an electroacoustic conversion film that generates (reproduces) sound by vibration according to an electric signal and converts vibration due to sound into an electric signal.
- the median diameter (D 50 ) was 4.2 ⁇ m
- the ratio of particles of 1 ⁇ m or less (V ⁇ 1 ⁇ m ) was 5.9 vol%
- the ratio of particles of 10 ⁇ m or more (V > 10 ⁇ m ) was 22.0 vol%.
- the raw material particles were placed on a sieve having a mesh size of 30 ⁇ m, and by applying pressure from above, the particles were passed through the sieve and crushed to produce piezoelectric particles 14.
- the particle size distribution and specific surface area were measured in the same manner as described above.
- the median diameter (D 50 ) is 3.4 ⁇ m
- the ratio of particles of 1 ⁇ m or less (V ⁇ 1 ⁇ m ) is 7.0 vol%
- the ratio of particles of 10 ⁇ m or more is 13.3 vol%
- the specific surface area was 0.496 m 2 / g.
- the composition is about 10 locations per particle, and the composition is a scanning transmission electron microscope (HD-2300 manufactured by Hitachi High-Technologies) and an energy dispersive X-ray (EDX) analyzer. It measured using (Noran System Six300 by Thermo Electron).
- EDX energy dispersive X-ray
- FIG. 3A shows the composition of one arbitrarily selected particle. Note that the horizontal axis is an arbitrarily set number of measurement points.
- the composite piezoelectric body 10 is scanned by the corona electrode.
- the polarization treatment of the piezoelectric body 10 was performed.
- the polarization treatment was performed by reciprocating the corona electrode twice at a scanning speed of 5 mm / sec while keeping the distance between the corona electrode and the composite piezoelectric body 10 at 3 mm.
- the composite piezoelectric body 10 was heated to 90 ° C. during the polarization treatment.
- the crystal structure of the piezoelectric particles 14 is an XRD pattern around 44 ° by X-ray diffraction (XRD) using an X-ray diffractometer (Rint Ultima III manufactured by Rigaku). Shown in (A). As shown in FIG. 4A, a rhombohedral peak (Tetra. 002) near a tetragonal peak near 43.5 ° and a tetragonal peak (Tetra. 200) near 45 ° ( Rhomb. 200) was observed.
- tetragonal crystals and rhombohedral crystals are mixed in one piezoelectric particle 14 corresponding to the composition variation of the Zr / Ti ratio in one particle obtained by the composition analysis by EDX. I was able to confirm. Further, from the XRD pattern around 44 °, the half width (200) serving as a standard for crystallinity was found to be 0.27.
- Example 2 Prior to crushing raw material particles with a sieve, piezoelectric particles 14 were produced in the same manner as in Example 1 except that crushing was performed for 0.5 hour using a ball mill. That is, in this example, crushing is performed for 0.5 hour with a ball mill, and then crushing with a sieve. The particle size distribution and specific surface area of the obtained piezoelectric particles 14 were measured in the same manner as in Example 1. As a result, the median diameter (D 50 ) is 3.0 ⁇ m, the ratio of particles of 1 ⁇ m or less (V ⁇ 1 ⁇ m ) is 9.2 vol%, the ratio of particles of 10 ⁇ m or more (V > 10 ⁇ m ) is 7.6 vol%, and the specific surface area.
- Example 2 was 0.511 m 2 / g. Further, in the same manner as in Example 1, the composition of five arbitrarily selected piezoelectric particles 14 was measured by EDX at about 10 locations per particle. As a result, in each of the particles, a region where x in the general formula [I] was 0.3 to 0.7 and different from each other was mixed.
- FIG. 4B shows an XRD pattern around 44 ° measured in the same manner as in Example 1 for the piezoelectric particles 14 before and after polarization.
- a rhombohedral peak between a tetragonal peak near 43.5 ° (Tetra. 002) and a tetragonal peak near 45 ° (Tetra. 200) ( Rhomb. 200) was observed, and it was confirmed that tetragonal crystals and rhombohedral crystals were mixed in one piezoelectric particle 14 corresponding to the measurement result of the composition analysis by EDX.
- the half width (200) serving as a standard for crystallinity was found to be 0.28.
- Example 2 Further, in the same manner as in Example 1, an aluminum electrode was formed, and the piezoelectric characteristics of the composite piezoelectric body 10 were measured. As a result, the piezoelectric characteristic d 33 of the composite piezoelectric material was 83 pC / N. The above results are also shown in the table below.
- Example 3 Prior to crushing raw material particles with a sieve, piezoelectric particles 14 were produced in the same manner as in Example 1 except that crushing was performed for 1 hour using a ball mill. That is, in this example, crushing is performed for 1 hour with a ball mill, and then crushing with a sieve. The particle size distribution and specific surface area of the obtained piezoelectric particles 14 were measured in the same manner as in Example 1. As a result, the median diameter (D 50 ) is 2.3 ⁇ m, the proportion of particles of 1 ⁇ m or less (V ⁇ 1 ⁇ m ) is 11.2 vol%, the proportion of particles of 10 ⁇ m or more (V > 10 ⁇ m ) is 0.0 vol%, and the specific surface area.
- Example 2 the composition of five arbitrarily selected piezoelectric particles 14 was measured by EDX at about 10 locations per particle. As a result, in each of the particles, a region where x in the general formula [I] was 0.3 to 0.7 and different from each other was mixed.
- FIG. 4C shows an XRD pattern around 44 ° measured in the same manner as in Example 1 for the piezoelectric particles 14 before and after polarization.
- a rhombohedral peak (Tetra. 002) near a tetragonal peak near 43.5 ° and a tetragonal peak (Tetra. 200) near 45 ° ( Rhomb. 200) was observed, and it was confirmed that tetragonal crystals and rhombohedral crystals were mixed in one piezoelectric particle 14 corresponding to the measurement result of the composition analysis by EDX.
- the half width (200) serving as a standard for crystallinity was 0.29.
- Example 2 Further, in the same manner as in Example 1, an aluminum electrode was formed, and the piezoelectric characteristics of the composite piezoelectric body 10 were measured. As a result, the piezoelectric characteristic d 33 of the composite piezoelectric body 10 was 72 pC / N. The above results are also shown in the table below.
- Example 2 The same raw material powder as in Example 1 was pulverized by a ball mill for 12 hours. Subsequently, it was molded into a cylindrical shape having a diameter of 25 mm and a thickness of 5 mm by uniaxial pressure molding of 100 MPa. This molded product was fired at 1100 ° C. for 3 hours to obtain a dense sintered body. This sintered body was wet pulverized for 48 hours by a ball mill to obtain a powder having an average particle diameter of about 1 ⁇ m. This powder was again fired at 1000 ° C. Further, crushing with a sieve was performed in the same manner as in Example 1 to prepare PZT particles (PZT sintered particles).
- the particle size distribution and specific surface area of the produced PZT particles were measured in the same manner as in Example 1.
- the median diameter (D 50 ) was 7.8 ⁇ m
- the ratio of particles of 1 ⁇ m or less (V ⁇ 1 ⁇ m ) was 3.7 vol%
- the ratio of particles of 10 ⁇ m or more (V > 10 ⁇ m ) was 36.2 vol%
- the specific surface area. was 0.310 m 2 / g.
- the composition of five arbitrarily selected piezoelectric particles 14 was measured at about 10 locations per particle.
- x in the general formula [I] was around 0.52 at all measurement positions.
- FIG. 3B shows the composition of one arbitrarily selected particle. Note that the horizontal axis is an arbitrarily set number of measurement points.
- FIG. 4D shows an XRD pattern around 44 ° measured in the same manner as in Example 1 for the PZT particles before and after polarization.
- FIG. 4 (D) in the XRD pattern of this PZT particle, only a tetragonal peak near 43.5 ° (Tetra.002) and a tetragonal peak near 45 ° (Tetra.200) are present.
- a rhombohedral peak (Rhomb. 200) was not observed. This confirmed that the PZT particles were a tetragonal single phase.
- the half width (200) serving as a standard for crystallinity was found to be 0.24. Therefore, it can be said that the PZT particles have higher crystallinity than the piezoelectric particles 14 of Examples 1 to 3.
- Example 2 Further, in the same manner as in Example 1, an aluminum electrode was formed, and the piezoelectric characteristics of the polymer composite piezoelectric material were measured. As a result, the piezoelectric characteristic d 33 of the polymer composite piezoelectric material was 67 pC / N. The above results are also shown in the table below.
- each of the composite piezoelectric bodies 10 of the present invention using the piezoelectric particles 14 in which tetragonal crystals and rhombohedral crystals are mixed in one particle is a tetragonal single phase PZT as the piezoelectric particles. It can be seen that it has high piezoelectric properties in relation to lower crystallinity than the conventional (comparative) polymer composite piezoelectric material using a sintered body. Further, as shown in FIGS. 4A to 4C, the piezoelectric particles 14 of the composite piezoelectric material 10 of the present invention all have a tetragonal peak around 43.5 ° before and after the polarization treatment.
- FIG. 5 is a plot of the relationship between the ratio of particles having a particle diameter of 10 ⁇ m or more (V > 10 ⁇ m ) and the piezoelectric characteristics (d 33 ). From this figure, it can be seen that when the piezoelectric particles 14 contain 5 vol% or more of particles having a particle diameter of 10 ⁇ m or more, high piezoelectric characteristics of 80 pC / N or more can be obtained. From the above results, the effects of the present invention are clear.
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Abstract
高分子マトリクス中に圧電体粒子を分散してなる高分子複合圧電体であって、高い圧電特性を有する高分子複合圧電体を提供する。圧電体粒子がジルコン酸チタン酸鉛であり、かつ、１つの圧電体粒子の中に、正方晶と菱面体晶とが混在することにより、この課題を解決する。
Description
本発明は、スピーカやマイクロフォン等に利用される電気音響変換フィルムなどに用いられる高分子複合圧電体に関する。
有機ＥＬディスプレイなど、プラスチック等の可撓性基板を用いたフレキシブルディスプレイの開発が進められている。
このようなフレキシブルディスプレイを、テレビジョン受像機等のように画像と共に音声を再生する画像表示装置兼音声発生装置として使用する場合、音声を発生するための音響装置であるスピーカが必要である。
ここで、従来のスピーカ形状としては、漏斗状のいわゆるコーン型や、球面状のドーム型等が一般的である。しかしながら、これらのスピーカを上述のフレキシブルディスプレイに内蔵しようとすると、フレキシブルディスプレイの長所である軽量性や可撓性を損なう虞れがある。また、スピーカを外付けにした場合、持ち運び等が面倒であり、曲面状の壁に設置することが難しくなり美観を損ねる虞れもある。
このようなフレキシブルディスプレイを、テレビジョン受像機等のように画像と共に音声を再生する画像表示装置兼音声発生装置として使用する場合、音声を発生するための音響装置であるスピーカが必要である。
ここで、従来のスピーカ形状としては、漏斗状のいわゆるコーン型や、球面状のドーム型等が一般的である。しかしながら、これらのスピーカを上述のフレキシブルディスプレイに内蔵しようとすると、フレキシブルディスプレイの長所である軽量性や可撓性を損なう虞れがある。また、スピーカを外付けにした場合、持ち運び等が面倒であり、曲面状の壁に設置することが難しくなり美観を損ねる虞れもある。
このような中、軽量性や可撓性を損なうことなくフレキシブルディスプレイに一体化可能なスピーカとして、シート状で可撓性を有する圧電フィルムを採用することが、例えば、特許文献１に開示されている。
圧電フィルムとは、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ：Poly VinyliDene Fluoride）の一軸延伸フィルムを高電圧で分極処理したもので、印加電圧に応答して伸縮する性質を有している。
圧電フィルムとは、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ：Poly VinyliDene Fluoride）の一軸延伸フィルムを高電圧で分極処理したもので、印加電圧に応答して伸縮する性質を有している。
ここで、圧電フィルムからなるスピーカを一体化した、平面視形状が長方形のフレキシブルディスプレイを、携帯用として新聞や雑誌のように書類感覚で緩く撓めた状態で把持し、画面表示を縦横切り替えて使用する場合、画像表示面は縦方向のみならず横方向にも湾曲できることが好ましい。
ところが、一軸延伸されたＰＶＤＦからなる圧電フィルムは、その圧電特性に面内異方性があるため、同じ曲率でも曲げる方向によって音質が大きく異なってしまう。
ところが、一軸延伸されたＰＶＤＦからなる圧電フィルムは、その圧電特性に面内異方性があるため、同じ曲率でも曲げる方向によって音質が大きく異なってしまう。
これに対して、圧電特性に面内異方性がない、シート状で可撓性を有する圧電材料としては、高分子マトリックス中に圧電体粒子を分散させた高分子複合圧電体が挙げられる。
例えば、非特許文献１には、圧電体であるＰＺＴセラミックスの粉末を溶媒流延または熱間混練によりＰＶＤＦと混合させた高分子複合圧電体によって、ＰＶＤＦのしなやかさとＰＺＴセラミックスの高い圧電特性とを両立した高分子複合圧電体が開示されている。
例えば、非特許文献１には、圧電体であるＰＺＴセラミックスの粉末を溶媒流延または熱間混練によりＰＶＤＦと混合させた高分子複合圧電体によって、ＰＶＤＦのしなやかさとＰＺＴセラミックスの高い圧電特性とを両立した高分子複合圧電体が開示されている。
ここで、このような高分子複合圧電体では、圧電特性、すなわち伝達効率を高めるためには、マトリックスに対する圧電体粒子の割合を増やすのが好ましい。しかしながら、高分子複烏合圧電体においては、マトリックスに対する圧電体粒子の量が多くなると、硬く、かつ、脆くなるという問題が有る。
この問題を解決する方法として、非特許文献２には、非特許文献１に記載される高分子複合圧電体において、ＰＶＤＦにフッ素ゴムを添加することで、可撓性を維持させることが開示されている。
この問題を解決する方法として、非特許文献２には、非特許文献１に記載される高分子複合圧電体において、ＰＶＤＦにフッ素ゴムを添加することで、可撓性を維持させることが開示されている。
北山豊樹、昭和４６年電子情報通信学会総合全国大会講演論文集、３６６（１９７１）
白井誠一、野村博昭、大賀寿郎、山田武、大口信樹、電子情報通信学会技術研究報告、２４、１５（１９８０）
非特許文献１および非特許文献２にも示されるように、高分子複合圧電体の圧電体粒子としては、ＰＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛）粒子が利用されている。
ＰＺＴは、一般式Ｐｂ（ＺｒxＴｉ1-x）Ｏ3で示される組成を有する、良好な圧電特性を有する圧電材料である。
ＰＺＴは、一般式Ｐｂ（ＺｒxＴｉ1-x）Ｏ3で示される組成を有する、良好な圧電特性を有する圧電材料である。
このようなＰＺＴ粒子は、通常、原料となる酸化鉛粉末、酸化ジルコニウム粉末および酸化チタン粉末とを混合して、焼成することで作製される（ＰＺＴセラミックス（圧電セラミックス））。また、ＰＺＴ粒子は、高い圧電特性を得るために、通常、最終的に１１００～１２００℃程度で３～５時間焼成され、焼結体とされる。
また、ＰＺＴのようなペロブスカイト構造をとる強誘電体では、組成を相転移境界（ＭＰＢ（モルフォトロピック相境界））組成とすることで、高い圧電特性が得られることが知られている。ＰＺＴのＭＰＢ組成は、前述の一般式のｘが０．５２（すなわち、Ｐｂ（Ｚｒ0.52Ｔｉ0.48）Ｏ3）付近の組成である。
焼成によるセラミックス粒子の製造では、得られる粒子のＺｒとＴｉとの組成比は、原料粉の組成（いわゆる仕込み組成）と、ほぼ一致する。従って、ＭＰＢ組成のＰＺＴ粒子は、焼結体の原料粉末において、酸化ジルコニウム粉末と酸化チタン粉末とが０．５２：０．４８のモル比になるように仕込むことで、作製できる。
焼成によるセラミックス粒子の製造では、得られる粒子のＺｒとＴｉとの組成比は、原料粉の組成（いわゆる仕込み組成）と、ほぼ一致する。従って、ＭＰＢ組成のＰＺＴ粒子は、焼結体の原料粉末において、酸化ジルコニウム粉末と酸化チタン粉末とが０．５２：０．４８のモル比になるように仕込むことで、作製できる。
焼結されたＭＰＢ組成のＰＺＴ粒子を用いることにより、良好な圧電特性を有する高分子複合圧電体を得ることができる。
しかしながら、近年の高分子複合圧電体の圧電特性に対する要求は、ますます、厳しくなっており、より高い圧電特性を有する高分子複合圧電体の出現が望まれている。
しかしながら、近年の高分子複合圧電体の圧電特性に対する要求は、ますます、厳しくなっており、より高い圧電特性を有する高分子複合圧電体の出現が望まれている。
本発明の目的は、このような従来技術の問題点を解決することにあり、高分子マトリックスに圧電体粒子を分散してなる高分子複合圧電体であって、圧電体粒子としてＰＺＴ粒子を用い、より高い圧電特性を発現する高分子複合圧電体を提供することにある。
このような問題を解決するために、本発明の高分子複合圧電体は、高分子材料からなるマトリックス中に、圧電体粒子を分散してなる高分子複合圧電体であって、圧電体粒子が、一般式Ｐｂ（ＺｒxＴｉ1-x）Ｏ3で示されるジルコン酸チタン酸鉛を主成分とするものであり、かつ、１つの圧電体粒子の中に、正方晶と菱面体晶とが混在していることを特徴とする高分子複合圧電体を提供する。
このような本発明の高分子複合圧電体において、エネルギ分散型Ｘ線分析によって測定した圧電体粒子の組成において、１つの圧電体粒子の中に、一般式のｘが０．３～０．７で、かつ、このｘが互いに異なる領域が混在しているのが好ましい。
また、全ての圧電体粒子の一般式のｘの平均が０．５２±０．１０であるのが好ましい。
また、圧電体粒子が多結晶体であるのが好ましい。
また、エネルギ分散型Ｘ線分析によって測定した圧電体粒子の組成において、多結晶体を構成する一次粒子の一般式のｘが０．３～０．７であり、かつ、１つの圧電体粒子の中に、このｘが互いに異なる一次粒子が混在しているのが好ましい。
また、エネルギ分散型Ｘ線分析によって測定した圧電体粒子の組成において、１つの圧電体粒子の中に、一般式のｘが、全ての圧電体粒子の平均＋０．１以上の領域と、全ての圧電体粒子の平均－０．１以下の領域とが混在しているのが好ましい。
また、レーザ散乱粒度測定装置で計測した圧電体粒子の粒子径において、メジアン径（Ｄ50）が２～５μｍであるのが好ましい。
また、レーザ散乱粒度測定装置で計測した圧電体粒子の粒子径において、粒子径が１０μｍ以上の圧電体粒子が、全圧電体粒子の５～３０ｖｏｌ％であるのが好ましい。
また、レーザ散乱粒度測定装置で計測した圧電体粒子の粒子径において、粒子径が１μｍ以下の圧電体粒子が、全圧電体粒子の１０ｖｏｌ％以下であるのが好ましい。
さらに、高分子マトリクスが、常温で粘弾性を有する高分子材料からなるものであるのが好ましい。
また、全ての圧電体粒子の一般式のｘの平均が０．５２±０．１０であるのが好ましい。
また、圧電体粒子が多結晶体であるのが好ましい。
また、エネルギ分散型Ｘ線分析によって測定した圧電体粒子の組成において、多結晶体を構成する一次粒子の一般式のｘが０．３～０．７であり、かつ、１つの圧電体粒子の中に、このｘが互いに異なる一次粒子が混在しているのが好ましい。
また、エネルギ分散型Ｘ線分析によって測定した圧電体粒子の組成において、１つの圧電体粒子の中に、一般式のｘが、全ての圧電体粒子の平均＋０．１以上の領域と、全ての圧電体粒子の平均－０．１以下の領域とが混在しているのが好ましい。
また、レーザ散乱粒度測定装置で計測した圧電体粒子の粒子径において、メジアン径（Ｄ50）が２～５μｍであるのが好ましい。
また、レーザ散乱粒度測定装置で計測した圧電体粒子の粒子径において、粒子径が１０μｍ以上の圧電体粒子が、全圧電体粒子の５～３０ｖｏｌ％であるのが好ましい。
また、レーザ散乱粒度測定装置で計測した圧電体粒子の粒子径において、粒子径が１μｍ以下の圧電体粒子が、全圧電体粒子の１０ｖｏｌ％以下であるのが好ましい。
さらに、高分子マトリクスが、常温で粘弾性を有する高分子材料からなるものであるのが好ましい。
このような本発明の高分子複合圧電体は、従来の焼結したＰＺＴ粒子を用いる高分子複合圧電体に比して、より高い圧電特性が得られる。
また、本発明の高分子複合圧電体によれば、ＰＺＴ粒子の製造工程を大幅に簡略化できるので、高分子複合圧電体のコストを低減できる。
また、本発明の高分子複合圧電体によれば、ＰＺＴ粒子の製造工程を大幅に簡略化できるので、高分子複合圧電体のコストを低減できる。
以下、本発明の高分子複合圧電体について、添付の図面に示される好適実施例を基に、詳細に説明する。
図１に、本発明の高分子複合圧電体の一例を概念的に示す。
図１に示すように、本発明の高分子複合圧電体１０（以下、複合圧電体１０とも言う）は、高分子材料からなるマトリックス１２中に、圧電体粒子１４を分散してなる構成を有する。
図１に示すように、本発明の高分子複合圧電体１０（以下、複合圧電体１０とも言う）は、高分子材料からなるマトリックス１２中に、圧電体粒子１４を分散してなる構成を有する。
なお、図１には、圧電体粒子１４が、マトリックス１２中に規則性を持って分散されているが、本発明は、これに限定はされない。
すなわち、本発明の複合圧電体１０において、マトリックス１２中の圧電体粒子１４は、好ましくは均一に分散されていれば、マトリックス１２中に規則的に分散されていても、不規則に分散されていてもよい。
すなわち、本発明の複合圧電体１０において、マトリックス１２中の圧電体粒子１４は、好ましくは均一に分散されていれば、マトリックス１２中に規則的に分散されていても、不規則に分散されていてもよい。
本発明の複合圧電体１０において、圧電体粒子１４はＰＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛）の粒子（ＰＺＴを主成分とする粒子）である。
周知のように、ＰＺＴは、一般式Ｐｂ（ＺｒxＴｉ1-x）Ｏ3で示されるものである（以下、この一般式Ｐｂ（ＺｒxＴｉ1-x）Ｏ3を、一般式［Ｉ］とも言う）。
なお、この一般式［Ｉ］において、ｘ＜１である。また、この一般式［Ｉ］において、ｘは、ジルコンとチタンとの元素比（モル比）であり、すなわち、Ｚｒ／（Ｚｒ＋Ｔｉ）である。
周知のように、ＰＺＴは、一般式Ｐｂ（ＺｒxＴｉ1-x）Ｏ3で示されるものである（以下、この一般式Ｐｂ（ＺｒxＴｉ1-x）Ｏ3を、一般式［Ｉ］とも言う）。
なお、この一般式［Ｉ］において、ｘ＜１である。また、この一般式［Ｉ］において、ｘは、ジルコンとチタンとの元素比（モル比）であり、すなわち、Ｚｒ／（Ｚｒ＋Ｔｉ）である。
ここで、本発明の複合圧電体１０において、圧電体粒子１４は、１つの粒子の中に、正方晶(Tetragonal)と菱面体晶(Rhombohedral)とが混在している。
本発明の複合圧電体１０は、このような圧電体粒子１４を用いることにより、従来のＰＺＴ焼結体を粉砕したものを圧電体粒子として用いる高分子複合圧電体に比して、良好な圧電特性を有する。
本発明の複合圧電体１０は、このような圧電体粒子１４を用いることにより、従来のＰＺＴ焼結体を粉砕したものを圧電体粒子として用いる高分子複合圧電体に比して、良好な圧電特性を有する。
前述のように、ＰＺＴを圧電体粒子として用いる従来の高分子複合圧電体では、１１００～１２００℃程度の高温で１～１０時間程度の焼成工程を経て作製された、ＰＺＴ焼結体を粉砕したものを用いている。通常の圧電セラミックスの場合は、高い圧電特性を得るためには緻密さが非常に重要である。そのため、圧電セラミックスの作製では、１０００℃以上の高温での熱処理を行うことで、緻密な焼結体を得ている。この緻密化プロセスには必ず原子の長距離拡散が伴うため、焼成前は粒子間で組成が不均一であっても、緻密な焼結体になった段階では、ほぼ均一な組成を有するＰＺＴ焼結体となっている。
このため、後に実施例でも示すが、組成が一般式［Ｉ］のｘが０．５２（すなわち、Ｐｂ（Ｚｒ0.52Ｔｉ0.48）Ｏ3）である、相転移境界（ＭＰＢ モルフォトロピック相境界）組成からなるＰＺＴ焼結体は、正方晶と菱面体晶が混在するという予想に反し、正方晶単相になることが報告されている（K.Kakegawa,J.Mohri,T.Takahashi,H.Yamamura and S.Shirasaki: Solid State Commun.24,769(1977)）。
従って、このようなＰＺＴ焼結体を粉砕して得られる粉も、正方晶単相になる。
このため、後に実施例でも示すが、組成が一般式［Ｉ］のｘが０．５２（すなわち、Ｐｂ（Ｚｒ0.52Ｔｉ0.48）Ｏ3）である、相転移境界（ＭＰＢ モルフォトロピック相境界）組成からなるＰＺＴ焼結体は、正方晶と菱面体晶が混在するという予想に反し、正方晶単相になることが報告されている（K.Kakegawa,J.Mohri,T.Takahashi,H.Yamamura and S.Shirasaki: Solid State Commun.24,769(1977)）。
従って、このようなＰＺＴ焼結体を粉砕して得られる粉も、正方晶単相になる。
これに対して、本発明の複合圧電体１０は、圧電体粒子１４として、１つの粒子の中に、正方晶と菱面体晶とが混在しているＰＺＴ粒子を用いる。
そのため、本発明の複合圧電体１０は、圧電体粒子１４の中に正方晶と菱面体晶との相転移境界が存在する。相転移境界は、電界に対して非常に柔軟であり、圧電特性の向上に大きく寄与する。すなわち、圧電体粒子１４が、粒子内に相転移境界を有することにより、非常に高い圧電特性を発現する。
後に実施例でも示すが、本発明の複合圧電体１０は、このような圧電体粒子１４を用いることにより、従来のＰＺＴ焼結体を圧電体粒子として用いる高分子複合圧電体に比して、良好な圧電特性を有する。
そのため、本発明の複合圧電体１０は、圧電体粒子１４の中に正方晶と菱面体晶との相転移境界が存在する。相転移境界は、電界に対して非常に柔軟であり、圧電特性の向上に大きく寄与する。すなわち、圧電体粒子１４が、粒子内に相転移境界を有することにより、非常に高い圧電特性を発現する。
後に実施例でも示すが、本発明の複合圧電体１０は、このような圧電体粒子１４を用いることにより、従来のＰＺＴ焼結体を圧電体粒子として用いる高分子複合圧電体に比して、良好な圧電特性を有する。
このような、１つの圧電体粒子１４の中に、正方晶と菱面体晶とが混在する圧電体粒子１４は、ＰＺＴ粒子内に異なる組成を有する領域を混在させることで、実現できる。
具体的には、本発明の複合圧電体１０において、圧電体粒子（ＰＺＴ粒子）１４は、エネルギ分散型Ｘ線分析（以下、ＥＤＸとも言う）を行った際に、１つの粒子内に、一般式［Ｉ］（Ｐｂ（ＺｒxＴｉ1-x）Ｏ3）のｘが０．３～０．７で、かつ、このｘが互いに異なる組成の領域が混在する。言い換えれば、本発明の複合圧電体１０において、圧電体粒子１４は、ＥＤＸで分析した際に、１つの圧電体粒子１４内に、一般式［Ｉ］のｘが０．３～０．７の範囲で、かつ、ｘが互いに異なるＰＺＴが混在している。
具体的には、本発明の複合圧電体１０において、圧電体粒子（ＰＺＴ粒子）１４は、エネルギ分散型Ｘ線分析（以下、ＥＤＸとも言う）を行った際に、１つの粒子内に、一般式［Ｉ］（Ｐｂ（ＺｒxＴｉ1-x）Ｏ3）のｘが０．３～０．７で、かつ、このｘが互いに異なる組成の領域が混在する。言い換えれば、本発明の複合圧電体１０において、圧電体粒子１４は、ＥＤＸで分析した際に、１つの圧電体粒子１４内に、一般式［Ｉ］のｘが０．３～０．７の範囲で、かつ、ｘが互いに異なるＰＺＴが混在している。
周知のように、ＰＺＴは、ジルコン酸鉛（ＰｂＺｒＯ3）とチタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ3）との固溶体である。ここで、ＰＺＴにおいては、ジルコン酸鉛が多い領域（ｘが０．５２以上の領域 以下、Ｚｒが多い領域とも言う）は、正方晶になり、チタン酸鉛が多い領域（ｘが０．５２未満の領域 以下、Ｔｉが多い領域とも言う）は、菱面体晶になる。
従って、ＰＺＴからなる１つの圧電体粒子１４の中に、Ｚｒが多い領域と、Ｔｉが多い領域とが混在することにより、１つの圧電体粒子１４の中に、正方晶である領域と菱面体晶である領域とを混在させることができる。
言い換えれば、１つの圧電体粒子１４内において、ＺｒとＴｉとの組成をバラつかせて、Ｚｒが多い領域とＴｉが多い領域とを不連続に隣接させることにより、１つの圧電体粒子１４の中に、正方晶である領域と菱面体晶である領域とを混在させて、相転移境界を導入できる。
従って、ＰＺＴからなる１つの圧電体粒子１４の中に、Ｚｒが多い領域と、Ｔｉが多い領域とが混在することにより、１つの圧電体粒子１４の中に、正方晶である領域と菱面体晶である領域とを混在させることができる。
言い換えれば、１つの圧電体粒子１４内において、ＺｒとＴｉとの組成をバラつかせて、Ｚｒが多い領域とＴｉが多い領域とを不連続に隣接させることにより、１つの圧電体粒子１４の中に、正方晶である領域と菱面体晶である領域とを混在させて、相転移境界を導入できる。
本発明の複合圧電体１０の圧電体粒子１４は、個々の粒子内に組成のバラツキを有し、かつ、各粒子間でも組成のバラツキを有するが、圧電体粒子１４の全体の組成を見た際には、前記一般式［Ｉ］におけるｘが０．５２±０．１０であるのが好ましい。すなわち、本発明の複合圧電体１０においては、全ての圧電体粒子１４のｘを平均すると、０．５２±０．１０となるのが好ましい。
特に、本発明の複合圧電体１０においては、圧電体粒子１４の全体の組成を見た際に、一般式［Ｉ］におけるｘが０．５２±０．０５であるのが、より好ましく、中でも、ｘが０．５２であるのが好ましい。
特に、本発明の複合圧電体１０においては、圧電体粒子１４の全体の組成を見た際に、一般式［Ｉ］におけるｘが０．５２±０．０５であるのが、より好ましく、中でも、ｘが０．５２であるのが好ましい。
本発明の複合圧電体１０においては、圧電体粒子１４の全体の組成を見た際に、ｘが０．５２±０．１０であることにより、圧電体粒子１４の全体の組成を相転移境界の組成に近づけることができ、高い圧電特性を得ることができる。
なお、本発明の複合圧電体１０に用いる圧電体粒子１４は、好ましくは、後述するように、酸化鉛粉末、酸化ジルコニウム粉末および酸化チタン粉末とを混合して、７００～８００℃程度で３～６時間、焼成することで作製する。
このような焼成による圧電体粒子１４の製造では、若干のＰｂの蒸発が生じる場合は有るが、ＺｒとＴｉに関しては、得られる圧電体粒子１４全体の組成比は、最初に混合した各粉末の量と、ほぼ一致する。すなわち、圧電体粒子１４全体のＺｒおよびＴｉの組成比は、いわゆる仕込み組成に、ほぼ一致する。
従って、目的とする圧電体粒子１４全体の組成に応じて、圧電体粒子１４を作製するための仕込み組成を設定することにより、圧電体粒子１４全体の組成を、目的とする組成にできる。
このような焼成による圧電体粒子１４の製造では、若干のＰｂの蒸発が生じる場合は有るが、ＺｒとＴｉに関しては、得られる圧電体粒子１４全体の組成比は、最初に混合した各粉末の量と、ほぼ一致する。すなわち、圧電体粒子１４全体のＺｒおよびＴｉの組成比は、いわゆる仕込み組成に、ほぼ一致する。
従って、目的とする圧電体粒子１４全体の組成に応じて、圧電体粒子１４を作製するための仕込み組成を設定することにより、圧電体粒子１４全体の組成を、目的とする組成にできる。
本発明の複合圧電体１０において、圧電体粒子１４は、ＥＤＸで分析した際に、１つの粒子の中に、一般式［Ｉ］のｘが、全ての圧電体粒子１４の平均のｘ（圧電体粒子１４全体の組成）に対して，＋０．１以上の組成の領域と、－０．１以下の組成の領域とが、混在するのが好ましい。
このような構成を有することにより、圧電体粒子１４の粒子内における組成のバラツキを大きくして、Ｚｒが多い領域とＴｉが多い領域とを混在させることができ、より確実かつ好適に、１つの圧電体粒子１４の中に、正方晶と菱面体晶とを混在させて、より圧電特性の高い複合圧電体１０を得ることができる。
このような構成を有することにより、圧電体粒子１４の粒子内における組成のバラツキを大きくして、Ｚｒが多い領域とＴｉが多い領域とを混在させることができ、より確実かつ好適に、１つの圧電体粒子１４の中に、正方晶と菱面体晶とを混在させて、より圧電特性の高い複合圧電体１０を得ることができる。
本発明の複合圧電体１０において、圧電体粒子１４は、各種の形態の物が利用可能である。すなわち、本発明において、圧電体粒子１４は、例えば、多結晶体でもよく、単結晶体でもよく、中心部と外郭部とを有するいわゆるコアシェル構造でもよい。
中でも、焼成によって、高い生産性で、かつ、安価に作製できるので、圧電体粒子１４は、多結晶体であるのが好ましい。
中でも、焼成によって、高い生産性で、かつ、安価に作製できるので、圧電体粒子１４は、多結晶体であるのが好ましい。
また、圧電体粒子１４が多結晶体である場合には、多結晶体を構成する一次粒子をＥＤＸで分析した際に、一次粒子は、前記一般式［Ｉ］のｘが０．３～０．７である組成を有するのが好ましい。また、圧電体粒子１４が多結晶体である場合には、１つの圧電体粒子１４の中に、互いにｘが異なる組成の一次粒子が混在しているのが好ましい。
これにより、より確実かつ好適に、１つの圧電体粒子１４の中に、Ｚｒが多い領域とＴｉが多い領域とを混在させて、正方晶と菱面体晶とを混在させることができ、より圧電特性の高い複合圧電体１０を得ることができる。
これにより、より確実かつ好適に、１つの圧電体粒子１４の中に、Ｚｒが多い領域とＴｉが多い領域とを混在させて、正方晶と菱面体晶とを混在させることができ、より圧電特性の高い複合圧電体１０を得ることができる。
このような圧電体粒子１４の粒子径は、複合圧電体１０のサイズや用途に応じて、適宜、選択すれば良い。
ここで、本発明者の検討によれば、圧電体粒子１４の粒子径は、レーザ散乱粒度測定装置で測定した粒子径が１～３０μｍであるのが好ましい。
圧電体粒子１４の粒径を上記範囲とすることにより、高い圧電特性とフレキシビリティとを両立できる等の点で好ましい結果を得ることができる。
ここで、本発明者の検討によれば、圧電体粒子１４の粒子径は、レーザ散乱粒度測定装置で測定した粒子径が１～３０μｍであるのが好ましい。
圧電体粒子１４の粒径を上記範囲とすることにより、高い圧電特性とフレキシビリティとを両立できる等の点で好ましい結果を得ることができる。
また、本発明の複合圧電体１０において、圧電体粒子１４は、レーザ散乱粒度測定装置で測定した粒子径において、メジアン径（Ｄ50）が２～５μｍであるのが好ましい。
圧電体粒子１４のメジアン径を２～５μｍとすることにより、溶媒にマトリックス１２を溶解し、さらに圧電体粒子１４を分散してなる塗料を用いる溶媒塗布法などの、量産に適した製造法を用いても、均一かつ緻密な複合圧電体１０を作製できる等の点で好ましい結果を得ることができる。
圧電体粒子１４のメジアン径を２～５μｍとすることにより、溶媒にマトリックス１２を溶解し、さらに圧電体粒子１４を分散してなる塗料を用いる溶媒塗布法などの、量産に適した製造法を用いても、均一かつ緻密な複合圧電体１０を作製できる等の点で好ましい結果を得ることができる。
また、圧電体粒子１４は、レーザ散乱粒度測定装置で測定した粒子径において、粒子径が１０μｍ以上の粒子が、全粒子の５～３０ｖｏｌ％、含まれるのが好ましい。
圧電体粒子１４の中に、１０μｍ以上の粒子が５ｖｏｌ％以上、含まれることにより、複合圧電体１０の内部における振動エネルギの伝達効率を高くして、より高い圧電特性を得ることができる。
一方、複合圧電体１０において、高い圧電特性を得るためには、複合圧電体１０における圧電体粒子１４の体積分率を、ある程度、高くする必要が有る。１０μｍ以上の粒子の量を３０ｖｏｌ％以下とすることにより、大きな粒子の間に小さい粒子を充填して、複合圧電体１０における圧電体粒子１４の体積分率を高くできる。
ただし、小さい粒子といっても、いわゆるサイズ効果によって、圧電性が発現しなくなる程に小さい粒子は好ましくない。具体的には、圧電体粒子１４は、レーザ散乱粒度測定装置で測定した粒子径において、粒子径が１μｍ以下の粒子が含まれる割合が、全粒子の１０ｖｏｌ％以下であるのが好ましい。
圧電体粒子１４の中に、１０μｍ以上の粒子が５ｖｏｌ％以上、含まれることにより、複合圧電体１０の内部における振動エネルギの伝達効率を高くして、より高い圧電特性を得ることができる。
一方、複合圧電体１０において、高い圧電特性を得るためには、複合圧電体１０における圧電体粒子１４の体積分率を、ある程度、高くする必要が有る。１０μｍ以上の粒子の量を３０ｖｏｌ％以下とすることにより、大きな粒子の間に小さい粒子を充填して、複合圧電体１０における圧電体粒子１４の体積分率を高くできる。
ただし、小さい粒子といっても、いわゆるサイズ効果によって、圧電性が発現しなくなる程に小さい粒子は好ましくない。具体的には、圧電体粒子１４は、レーザ散乱粒度測定装置で測定した粒子径において、粒子径が１μｍ以下の粒子が含まれる割合が、全粒子の１０ｖｏｌ％以下であるのが好ましい。
このような圧電体粒子１４は、一例として、焼成によって作製できる。
具体的には、目的とする圧電体粒子１４の全体の組成に応じた量比で、酸化鉛粉末、酸化ジルコニウム粉末および酸化チタン粉末とを混合して原料粉を調製する。なお、圧電体粒子１４の全体の組成は、この原料粉の組成（仕込み組成）に、ほぼ一致するのは、前述の通りである。
具体的には、目的とする圧電体粒子１４の全体の組成に応じた量比で、酸化鉛粉末、酸化ジルコニウム粉末および酸化チタン粉末とを混合して原料粉を調製する。なお、圧電体粒子１４の全体の組成は、この原料粉の組成（仕込み組成）に、ほぼ一致するのは、前述の通りである。
次いで、この原料粉を坩堝等に入れて、７００～８００℃程度で、３～６時間、焼成する。
この温度の焼成では、原子の長距離拡散は十分に行われず、ＰＺＴの固相反応は、終了していない（ＰＺＴは焼結体にはならない）。そのため、この焼成で得られた圧電体粒子１４（ＰＺＴ粒子）は、多結晶体で、かつ、１つの粒子内に、Ｚｒが多い領域とＴｉが多い領域とが混在する。これにより、１つの粒子内に、正方晶と菱面体晶とが混在する圧電体粒子１４を得ることができる。
この温度の焼成では、原子の長距離拡散は十分に行われず、ＰＺＴの固相反応は、終了していない（ＰＺＴは焼結体にはならない）。そのため、この焼成で得られた圧電体粒子１４（ＰＺＴ粒子）は、多結晶体で、かつ、１つの粒子内に、Ｚｒが多い領域とＴｉが多い領域とが混在する。これにより、１つの粒子内に、正方晶と菱面体晶とが混在する圧電体粒子１４を得ることができる。
焼成を終了したら、必要に応じて、作製した圧電体粒子１４を解砕する。
解砕は、公知の方法で行えばよい。しかしながら、圧電体粒子１４を解砕し過ぎると、前述のような、１０μｍ以上の粒子が５～３０ｖｏｌ％の圧電体粒子１４が得られない。
解砕は、公知の方法で行えばよい。しかしながら、圧電体粒子１４を解砕し過ぎると、前述のような、１０μｍ以上の粒子が５～３０ｖｏｌ％の圧電体粒子１４が得られない。
好ましい解砕方法として、圧電体粒子１４を篩（メッシュ）の上に載せ、上部から圧力を掛けて篩を通過させることにより、圧電体粒子１４を解砕する方法が例示される。
この際におけるメッシュサイズは、目的とする粒子径に応じて、適宜、選択すればよい。本発明者の検討によれば、１０μｍ以上の粒子が５～３０ｖｏｌ％の圧電体粒子１４が好適に得られる等の点で、メッシュサイズは、２８～３８μｍ程度が好ましい。
この際におけるメッシュサイズは、目的とする粒子径に応じて、適宜、選択すればよい。本発明者の検討によれば、１０μｍ以上の粒子が５～３０ｖｏｌ％の圧電体粒子１４が好適に得られる等の点で、メッシュサイズは、２８～３８μｍ程度が好ましい。
また、解砕をボールミルで行ってもよいが、ボールミルで解砕を行うと、解砕を行うにしたがって、粒子径が１０μｍを超える圧電体粒子１４が減少すると同時に、粒子径が１μｍ以下の微細粉が増加する。従って、ボールミルで解砕を行う場合には、０．５時間以下程度の短時間にするのが好ましい。
以上の説明より明らかなように、この圧電体粒子１４の製造方法は、従来から高分子複合圧電体で用いられているＰＺＴ焼結体の製造方法で必要な、１０００℃以上の高温での焼成や、手間と時間がかかる強固に焼結したＰＺＴ焼結体の解砕工程（粉砕工程）が不要である。すなわち、本発明の複合圧電体１０によれば、圧電体粒子の１４の製造工程を大幅に簡略化でき、高性能で、しかも、低コストな複合圧電体１０を得られる。
以上の説明より明らかなように、この圧電体粒子１４の製造方法は、従来から高分子複合圧電体で用いられているＰＺＴ焼結体の製造方法で必要な、１０００℃以上の高温での焼成や、手間と時間がかかる強固に焼結したＰＺＴ焼結体の解砕工程（粉砕工程）が不要である。すなわち、本発明の複合圧電体１０によれば、圧電体粒子の１４の製造工程を大幅に簡略化でき、高性能で、しかも、低コストな複合圧電体１０を得られる。
本発明の複合圧電体１０において、マトリックス（高分子マトリックス）１２は、公知の高分子複合圧電体に利用されている高分子材料が、各種、利用可能である。
具体的には、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、シアノエチル化プルラン、ナイロン等が例示される。
具体的には、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、シアノエチル化プルラン、ナイロン等が例示される。
中でも、本発明の複合圧電体１０において、マトリックス１２は、常温で粘弾性を有する高分子材料からなるマトリックス１２は、特に、好適に利用される。なお、本明細書において、「常温」とは、０～５０℃程度の温度域を指す。
本発明の複合圧電体１０は、例えば、図２（Ａ）に概念的に示すように、両面に電極層１８を設け、あるいは、図２（Ｂ）に概念的に示すように、さらに、電極層１８の表面に保護層２０を設けて、電気音響変換フィルムとされて、フレキシブルディスプレイ用のスピーカなど、フレキシブル性を有するスピーカ等に好適に用いられる。
なお、電極層１８の形成材料としては、銅、アルミニウム、金、銀、白金、および、酸化インジウムスズ等が例示される。また、保護層２０の形成材料としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリフェニレンサルファイト（ＰＰＳ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、および、環状オレフィン系樹脂が好適に利用される。また、保護層２０が非常に薄く、取り扱い性が悪い場合には、必要に応じて、セパレータ付きの保護層２０を用いてもよい。
なお、電極層１８の形成材料としては、銅、アルミニウム、金、銀、白金、および、酸化インジウムスズ等が例示される。また、保護層２０の形成材料としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリフェニレンサルファイト（ＰＰＳ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）、および、環状オレフィン系樹脂が好適に利用される。また、保護層２０が非常に薄く、取り扱い性が悪い場合には、必要に応じて、セパレータ付きの保護層２０を用いてもよい。
ここで、フレキシブル性を有するスピーカに用いられる複合圧電体１０は、次の要件を具備したものであるのが好ましい。
（ｉ） 可撓性
例えば、携帯用として新聞や雑誌のように書類感覚で緩く撓めた状態で把持する場合、絶えず外部から、数Hz以下の比較的ゆっくりとした、大きな曲げ変形を受けることになる。この時、高分子複合圧電体が硬いと、その分大きな曲げ応力が発生し、高分子マトリックスと圧電体粒子との界面で亀裂が発生し、やがて破壊に繋がる恐れがある。従って、高分子複合圧電体には適度な柔らかさが求められる。また、歪みエネルギーを熱として外部へ拡散できれば応力を緩和することができる。従って、高分子複合圧電体の損失正接が適度に大きいことが求められる。
（ii） 音質
スピーカは、２０Ｈｚ～２０ｋＨｚのオーディオ帯域の周波数で圧電体粒子を振動させ、その振動エネルギーによって振動板（高分子複合圧電体）全体が一体となって振動することで音が再生される。従って、振動エネルギーの伝達効率を高めるために高分子複合圧電体には適度な硬さが求められる。また、スピーカの周波数特性が平滑であれば、曲率の変化に伴い最低共振周波数ｆ０が変化した際の音質の変化量も小さくなる。従って、高分子複合圧電体の損失正接は適度に大きいことが求められる。
（ｉ） 可撓性
例えば、携帯用として新聞や雑誌のように書類感覚で緩く撓めた状態で把持する場合、絶えず外部から、数Hz以下の比較的ゆっくりとした、大きな曲げ変形を受けることになる。この時、高分子複合圧電体が硬いと、その分大きな曲げ応力が発生し、高分子マトリックスと圧電体粒子との界面で亀裂が発生し、やがて破壊に繋がる恐れがある。従って、高分子複合圧電体には適度な柔らかさが求められる。また、歪みエネルギーを熱として外部へ拡散できれば応力を緩和することができる。従って、高分子複合圧電体の損失正接が適度に大きいことが求められる。
（ii） 音質
スピーカは、２０Ｈｚ～２０ｋＨｚのオーディオ帯域の周波数で圧電体粒子を振動させ、その振動エネルギーによって振動板（高分子複合圧電体）全体が一体となって振動することで音が再生される。従って、振動エネルギーの伝達効率を高めるために高分子複合圧電体には適度な硬さが求められる。また、スピーカの周波数特性が平滑であれば、曲率の変化に伴い最低共振周波数ｆ０が変化した際の音質の変化量も小さくなる。従って、高分子複合圧電体の損失正接は適度に大きいことが求められる。
以上をまとめると、フレキシブル性を有するスピーカに用いる複合圧電体１０は、２０Ｈｚ～２０ｋＨｚの振動に対しては硬く、数Ｈｚ以下の振動に対しては柔らかく振る舞うことが求められる。また、複合圧電体１０の損失正接は、２０ｋＨｚ以下の全ての周波数の振動に対して、適度に大きいことが求められる。
一般に、高分子固体は粘弾性緩和機構を有しており、温度上昇あるいは周波数の低下と共に大きなスケールの分子運動が貯蔵弾性率（ヤング率）の低下（緩和）あるいは損失弾性率の極大（吸収）として観測される。その中でも、非晶質領域の分子鎖のミクロブラウン運動によって引き起こされる緩和は、主分散と呼ばれ、非常に大きな緩和現象が見られる。この主分散が起きる温度がガラス転移点（Ｔｇ）であり、最も粘弾性緩和機構が顕著に現れる。
複合圧電体１０において、ガラス転移点が常温にある高分子材料、言い換えると、常温で粘弾性を有する高分子材料をマトリックス１２に用いることで、２０Ｈｚ～２０ｋＨｚの振動に対しては硬く、数Ｈｚ以下の遅い振動に対しては柔らかく振舞う複合圧電体１０が実現する。特に、この振舞いが好適に発現する等の点で、周波数１Ｈｚでのガラス転移温度が常温にある高分子材料を、複合圧電体１０のマトリックス１２に用いるのが好ましい。
複合圧電体１０において、ガラス転移点が常温にある高分子材料、言い換えると、常温で粘弾性を有する高分子材料をマトリックス１２に用いることで、２０Ｈｚ～２０ｋＨｚの振動に対しては硬く、数Ｈｚ以下の遅い振動に対しては柔らかく振舞う複合圧電体１０が実現する。特に、この振舞いが好適に発現する等の点で、周波数１Ｈｚでのガラス転移温度が常温にある高分子材料を、複合圧電体１０のマトリックス１２に用いるのが好ましい。
常温で粘弾性を有する高分子材料としては、公知の各種のものが利用可能である。好ましくは、常温において、動的粘弾性試験による周波数１Ｈｚにおける損失正接Ｔａｎδの極大値が、０．５以上有る高分子材料を用いる。
これにより、複合圧電体１０が外力によってゆっくりと曲げられた際に、最大曲げモーメント部におけるマトリックス１２／圧電体粒子１４界面の応力集中が緩和され、高い可撓性が期待できる。
これにより、複合圧電体１０が外力によってゆっくりと曲げられた際に、最大曲げモーメント部におけるマトリックス１２／圧電体粒子１４界面の応力集中が緩和され、高い可撓性が期待できる。
また、高分子材料は、動的粘弾性測定による周波数１Ｈｚでの貯蔵弾性率（Ｅ’）が、０℃において１００ＭＰａ以上、５０℃において１０ＭＰａ以下であることが好ましい。
これにより、複合圧電体１０が外力によってゆっくりと曲げられた際に発生する曲げモーメントが低減できると同時に、２０Ｈｚ～２０ｋＨｚの音響振動に対しては硬く振る舞うことができる。
これにより、複合圧電体１０が外力によってゆっくりと曲げられた際に発生する曲げモーメントが低減できると同時に、２０Ｈｚ～２０ｋＨｚの音響振動に対しては硬く振る舞うことができる。
また、高分子材料は、比誘電率が２５℃において１０以上であると、より好適である。これにより、高分子複合圧電体に電圧を印加した際に、マトリックス１２中の圧電体粒子１４にはより高い電界が掛かるため、大きな変形量が期待できる。
しかしながら、その反面、良好な耐湿性の確保等を考慮する場合には、高分子材料は、比誘電率が２５℃において１０以下であるのも、好適である。
しかしながら、その反面、良好な耐湿性の確保等を考慮する場合には、高分子材料は、比誘電率が２５℃において１０以下であるのも、好適である。
このような条件を満たす高分子材料としては、シアノエチル化ポリビニルアルコール（シアノエチル化ＰＶＡ）、ポリ酢酸ビニル、ポリビニリデンクロライドコアクリロニトリル、ポリスチレン－ビニルポリイソプレンブロック共重合体、ポリビニルメチルケトン、および、ポリブチルメタクリレート等が例示される。また、これらの高分子材料としては、ハイブラー５１２７（クラレ社製）などの市販品も、好適に利用可能である。
なお、これらの高分子材料は、１種のみを用いてもよく、複数種を併用（混合）して用いてもよい。
なお、これらの高分子材料は、１種のみを用いてもよく、複数種を併用（混合）して用いてもよい。
このような常温で粘弾性を有する高分子材料を用いるマトリックス１２は、必要に応じて、複数の高分子材料を併用してもよい。
すなわち、マトリックス１２には、誘電特性や機械特性の調整等を目的として、シアノエチル化ＰＶＡ等の粘弾性材料に加え、必要に応じて、その他の誘電性高分子材料を添加しても良い。
すなわち、マトリックス１２には、誘電特性や機械特性の調整等を目的として、シアノエチル化ＰＶＡ等の粘弾性材料に加え、必要に応じて、その他の誘電性高分子材料を添加しても良い。
添加可能な誘電性高分子材料としては、一例として、ポリフッ化ビニリデン、フッ化ビニリデン－テトラフルオロエチレン共重合体、フッ化ビニリデン－トリフルオロエチレン共重合体、ポリフッ化ビニリデン－トリフルオロエチレン共重合体およびポリフッ化ビニリデン－テトラフルオロエチレン共重合体等のフッ素系高分子、シアン化ビニリデン－酢酸ビニル共重合体、シアノエチルセルロース、シアノエチルヒドロキシサッカロース、シアノエチルヒドロキシセルロース、シアノエチルヒドロキシプルラン、シアノエチルメタクリレート、シアノエチルアクリレート、シアノエチルヒドロキシエチルセルロース、シアノエチルアミロース、シアノエチルヒドロキシプロピルセルロース、シアノエチルジヒドロキシプロピルセルロース、シアノエチルヒドロキシプロピルアミロース、シアノエチルポリアクリルアミド、シアノエチルポリアクリレート、シアノエチルプルラン、シアノエチルポリヒドロキシメチレン、シアノエチルグリシドールプルラン、シアノエチルサッカロースおよびシアノエチルソルビトール等のシアノ基あるいはシアノエチル基を有するポリマー、ニトリルゴムやクロロプレンゴム等の合成ゴム等が例示される。
中でも、シアノエチル基を有する高分子材料は、好適に利用される。
なお、複合圧電体１０のマトリックス１２において、シアノエチル化ＰＶＡ等の常温で粘弾性を有する材料に加えて添加される誘電性ポリマーは、１種に限定はされず、複数種を添加してもよい。
また、誘電性高分子材料以外にも、ガラス転移点（Ｔｇ）を調節する目的で、塩化ビニル樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン、メタクリル樹脂、ポリブテン、イソブチレン、等の熱可塑性樹脂や、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、アルキド樹脂、マイカ、等の熱硬化性樹脂を添加しても良い。
さらに、粘着性を向上する目的で、ロジンエステル、ロジン、テルペン、テルペンフェノール、石油樹脂、等の粘着付与剤を添加しても良い。
中でも、シアノエチル基を有する高分子材料は、好適に利用される。
なお、複合圧電体１０のマトリックス１２において、シアノエチル化ＰＶＡ等の常温で粘弾性を有する材料に加えて添加される誘電性ポリマーは、１種に限定はされず、複数種を添加してもよい。
また、誘電性高分子材料以外にも、ガラス転移点（Ｔｇ）を調節する目的で、塩化ビニル樹脂、ポリエチレン、ポリスチレン、メタクリル樹脂、ポリブテン、イソブチレン、等の熱可塑性樹脂や、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、アルキド樹脂、マイカ、等の熱硬化性樹脂を添加しても良い。
さらに、粘着性を向上する目的で、ロジンエステル、ロジン、テルペン、テルペンフェノール、石油樹脂、等の粘着付与剤を添加しても良い。
複合圧電体１０のマトリックス１２において、シアノエチル化ＰＶＡ等の粘弾性材料以外のポリマーを添加する際の添加量には、特に限定は無いが、マトリックス１２に占める割合で３０重量％以下とするのが好ましい。
これにより、マトリックス１２における粘弾性緩和機構を損なうことなく、添加する高分子材料の特性を発現できるため、高誘電率化、耐熱性の向上、圧電体粒子１４や電極層との密着性向上等の点で好ましい結果を得ることができる。
これにより、マトリックス１２における粘弾性緩和機構を損なうことなく、添加する高分子材料の特性を発現できるため、高誘電率化、耐熱性の向上、圧電体粒子１４や電極層との密着性向上等の点で好ましい結果を得ることができる。
本発明の複合圧電体１０において、マトリックス１２と圧電体粒子１４との量比は、複合圧電体１０のサイズ（面方向の大きさ）や厚さ、複合圧電体１０の用途、複合圧電体１０に要求される特性等に応じて、適宜、設定すればよい。
ここで、本発明者の検討によれば、複合圧電体１０中における圧電体粒子１４の体積分率は、３０～７０％が好ましく、特に、５０％以上とするのが好ましく、従って、５０～７０％とするのが、より好ましい。
マトリックス１２と圧電体粒子１４との量比を上記範囲とすることにより、高い圧電特性とフレキシビリティとを両立できる等の点で好ましい結果を得ることができる。
なお、本発明の複合圧電体１０の厚さは、複合圧電体１０の面方向のサイズ、複合圧電体１０の用途、複合圧電体に１０に要求される特性、複合圧電体１０を形成するマトリックス１２および圧電体粒子１４の材料等に応じて、適宜、設定すればよい。
ここで、本発明者の検討によれば、複合圧電体１０の厚さは１０～２００μｍ、特に、１５～１００μｍが好ましい。
複合圧電体１０の厚さを、上記範囲とすることにより、剛性の確保と適度な柔軟性との両立等の点で好ましい結果を得ることができる。
ここで、本発明者の検討によれば、複合圧電体１０中における圧電体粒子１４の体積分率は、３０～７０％が好ましく、特に、５０％以上とするのが好ましく、従って、５０～７０％とするのが、より好ましい。
マトリックス１２と圧電体粒子１４との量比を上記範囲とすることにより、高い圧電特性とフレキシビリティとを両立できる等の点で好ましい結果を得ることができる。
なお、本発明の複合圧電体１０の厚さは、複合圧電体１０の面方向のサイズ、複合圧電体１０の用途、複合圧電体に１０に要求される特性、複合圧電体１０を形成するマトリックス１２および圧電体粒子１４の材料等に応じて、適宜、設定すればよい。
ここで、本発明者の検討によれば、複合圧電体１０の厚さは１０～２００μｍ、特に、１５～１００μｍが好ましい。
複合圧電体１０の厚さを、上記範囲とすることにより、剛性の確保と適度な柔軟性との両立等の点で好ましい結果を得ることができる。
複合圧電体１０は、公知の高分子複合圧電体と同様の方法で作製できる。
すなわち、有機溶媒に、マトリックス１２となる高分子材料を溶解し、さらに、この溶液に圧電体粒子１４を添加して、拡散し、高分子材料および有機溶媒に、圧電体粒子１４を分散してなる塗料を調製する。
有機溶媒には、特に限定はなく、ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等の各種の有機溶媒が利用可能である。
すなわち、有機溶媒に、マトリックス１２となる高分子材料を溶解し、さらに、この溶液に圧電体粒子１４を添加して、拡散し、高分子材料および有機溶媒に、圧電体粒子１４を分散してなる塗料を調製する。
有機溶媒には、特に限定はなく、ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等の各種の有機溶媒が利用可能である。
このようにして塗料を調製したら、塗料をシート状物にキャスティング（塗布）して、有機溶媒を蒸発して乾燥して、複合圧電体１０とする。ここで、このシート状物としては、前述の電極層１８や、電極層１８と保護層２０との積層体を用いてもよい。
この塗料のキャスティング方法には、特に、限定はなく、スライドコータやドクターナイフ等の公知の方法（塗布装置）が、全て、利用可能である。
この塗料のキャスティング方法には、特に、限定はなく、スライドコータやドクターナイフ等の公知の方法（塗布装置）が、全て、利用可能である。
このようにして複合圧電体１０を作製したら、好ましくは、複合圧電体１０の分極処理（ポーリング）を行う。複合圧電体１０の分極処理は、公知の方法が利用可能である。
また、分極処理の前に、複合圧電体１０の表面を加熱ローラ等を用いて平滑化する、カレンダー処理を施してもよい。このカレンダー処理を施すことで、後述する熱圧着工程がスムーズに行える。
また、分極処理の前に、複合圧電体１０の表面を加熱ローラ等を用いて平滑化する、カレンダー処理を施してもよい。このカレンダー処理を施すことで、後述する熱圧着工程がスムーズに行える。
好ましい分極処理の方法として、以下の方法が例示される。
すなわち、複合圧電体１０を導電性を有するシートの上に載置し（あるいは、複合圧電体１０の一面に電極層１８を設け）し、ワイヤー状などの一方向に延在するコロナ電極を用い、導電性シートとコロナ電極とに直流電源を接続する。
その上で、複合圧電体１０を、加熱手段によって、例えば、温度１００℃に加熱保持した状態で、直流電源から導電性シートとコロナ電極との間に、数ｋＶ、例えば、６ｋＶの直流電圧を印加してコロナ放電を生じさせる。
この状態から、所定の間隔を維持して、複合圧電体１０の上面に沿って、延在方向と直交する方向にコロナ電極を移動（走査）して、複合圧電体１０の分極処理を行う。
すなわち、複合圧電体１０を導電性を有するシートの上に載置し（あるいは、複合圧電体１０の一面に電極層１８を設け）し、ワイヤー状などの一方向に延在するコロナ電極を用い、導電性シートとコロナ電極とに直流電源を接続する。
その上で、複合圧電体１０を、加熱手段によって、例えば、温度１００℃に加熱保持した状態で、直流電源から導電性シートとコロナ電極との間に、数ｋＶ、例えば、６ｋＶの直流電圧を印加してコロナ放電を生じさせる。
この状態から、所定の間隔を維持して、複合圧電体１０の上面に沿って、延在方向と直交する方向にコロナ電極を移動（走査）して、複合圧電体１０の分極処理を行う。
このような複合圧電体１０は、例えば、前述のように、両面に電極層１８（あるいはさらに保護層２０）を設けられ、スピーカ、マイクロフォン、および、ギター等の楽器に用いられるピックアップなどの各種の音響デバイス（音響機器）において、電気信号に応じた振動による音の発生（再生）や、音による振動を電気信号に変換する、電気音響変換フィルムとして利用される。
以上、本発明の高分子複合圧電体について詳細に説明したが、本発明は上述の例に限定はされず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変更を行ってもよいのは、もちろんである。
以下、本発明の具体的な実施例を挙げ、本発明の高分子複合圧電体について、より詳細に説明する。
［実施例１］
出発原料として、主成分となるＰｂの酸化物、Ｚｒの酸化物およびＴｉ酸化物の粉末をボールミルで１２時間、湿式混合した。このとき、各酸化物の量は、Ｐｂ＝１モルに対し、Ｚｒ＝０．５２モル、Ｔｉ＝０．４８モルとした。
この原料混合粉を、坩堝に投入して、８００℃で５時間、焼成を行い、ＰＺＴ粒子（以下、原料粒子とも言う）を作製した。
作製した原料粒子の粒度分布を、レーザー散乱粒度測定装置（日機装社製 Microtrac MT3300）を用いて測定した。その結果、メジアン径（Ｄ50）は４．２μｍ、１μｍ以下の粒子の割合（Ｖ<1μm）は５．９ｖｏｌ％、１０μｍ以上の粒子の割合（Ｖ>10μm）は２２．０ｖｏｌ％であった。
また、比表面積計（マウンテック社製 Macsorb HM Model-1201）を用いたＢＥＴ（Brunauer-Emmett-Teller）法によって、原料粒子の比表面積を測定したところ、０．４１０ｍ2／ｇであった。
さらに、Ｘ線ディフラクトメーター（Rigaku製 Rint Ultima III）を用いたＸ線回折法（ＸＲＤ）による４４°付近のＸＲＤパターンから、結晶性の目安となる半値幅（２００）を求めたところ、０．２７であった。
出発原料として、主成分となるＰｂの酸化物、Ｚｒの酸化物およびＴｉ酸化物の粉末をボールミルで１２時間、湿式混合した。このとき、各酸化物の量は、Ｐｂ＝１モルに対し、Ｚｒ＝０．５２モル、Ｔｉ＝０．４８モルとした。
この原料混合粉を、坩堝に投入して、８００℃で５時間、焼成を行い、ＰＺＴ粒子（以下、原料粒子とも言う）を作製した。
作製した原料粒子の粒度分布を、レーザー散乱粒度測定装置（日機装社製 Microtrac MT3300）を用いて測定した。その結果、メジアン径（Ｄ50）は４．２μｍ、１μｍ以下の粒子の割合（Ｖ<1μm）は５．９ｖｏｌ％、１０μｍ以上の粒子の割合（Ｖ>10μm）は２２．０ｖｏｌ％であった。
また、比表面積計（マウンテック社製 Macsorb HM Model-1201）を用いたＢＥＴ（Brunauer-Emmett-Teller）法によって、原料粒子の比表面積を測定したところ、０．４１０ｍ2／ｇであった。
さらに、Ｘ線ディフラクトメーター（Rigaku製 Rint Ultima III）を用いたＸ線回折法（ＸＲＤ）による４４°付近のＸＲＤパターンから、結晶性の目安となる半値幅（２００）を求めたところ、０．２７であった。
原料粒子をメッシュサイズが３０μｍの篩に乗せて、上から圧力を掛けることで、篩を通過させて解砕して、圧電体粒子１４を作製した。
この圧電体粒子１４について、先と同様にして粒度分布および比表面積を測定した。その結果、メジアン径（Ｄ50）は３．４μｍ、１μｍ以下の粒子の割合（Ｖ<1μm）は７．０ｖｏｌ％、１０μｍ以上の粒子の割合（Ｖ>10μm）は１３．３ｖｏｌ％、比表面積は０．４９６ｍ2／ｇであった。
また、任意に選択した５個の圧電体粒子１４について、１つの粒子につき約１０箇所で、組成を走査透過電子顕微鏡（日立ハイテクノロジーズ製 ＨＤ－２３００）とエネルギー分散型Ｘ線（ＥＤＸ）分析装置（Thermo Electron製 Noran System Ｓｉｘ３００）を用いて測定した。その結果、いずれの粒子も、一般式［Ｉ］のｘが０．３～０．７で、かつ、このｘが互いに異なる領域が混在していた。
図３（Ａ）に、任意に選択した１つの粒子の組成を示す。なお、横軸は、任意に設定した測定箇所の番号である。
この圧電体粒子１４について、先と同様にして粒度分布および比表面積を測定した。その結果、メジアン径（Ｄ50）は３．４μｍ、１μｍ以下の粒子の割合（Ｖ<1μm）は７．０ｖｏｌ％、１０μｍ以上の粒子の割合（Ｖ>10μm）は１３．３ｖｏｌ％、比表面積は０．４９６ｍ2／ｇであった。
また、任意に選択した５個の圧電体粒子１４について、１つの粒子につき約１０箇所で、組成を走査透過電子顕微鏡（日立ハイテクノロジーズ製 ＨＤ－２３００）とエネルギー分散型Ｘ線（ＥＤＸ）分析装置（Thermo Electron製 Noran System Ｓｉｘ３００）を用いて測定した。その結果、いずれの粒子も、一般式［Ｉ］のｘが０．３～０．７で、かつ、このｘが互いに異なる領域が混在していた。
図３（Ａ）に、任意に選択した１つの粒子の組成を示す。なお、横軸は、任意に設定した測定箇所の番号である。
作製した圧電体粒子を３００質量部、シアノエチル化ポリビニルアルコール（信越化学工業製ＣＲ－Ｖ）を３０質量部、および、ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）を７０質量部を混合して、プロペラミキサー（回転数２０００ ｒｐｍ）で混練して、複合圧電体１０を作製するための塗料を調製した。
スライドコータを用いて、この塗料を、厚さ３００μｍのアルミニウム板の上に塗布した。塗布厚は、乾燥塗膜の膜厚が４０μｍとなるようにした。
次いで、１２０℃のホットプレート上で１時間、加熱することで、ＤＭＦを蒸発させて塗料を乾燥し、アルミニウム板の上に、厚さ４０μｍの複合圧電体１０を作製した。
スライドコータを用いて、この塗料を、厚さ３００μｍのアルミニウム板の上に塗布した。塗布厚は、乾燥塗膜の膜厚が４０μｍとなるようにした。
次いで、１２０℃のホットプレート上で１時間、加熱することで、ＤＭＦを蒸発させて塗料を乾燥し、アルミニウム板の上に、厚さ４０μｍの複合圧電体１０を作製した。
ワイヤー状のコロナ電極とアルミニウム板とに直流電源を接続し、コロナ電極とアルミニウム板との間に６ｋＶの直流電圧を印加させつつ、コロナ電極によって複合圧電体１０の上を走査することにより、複合圧電体１０の分極処理を行った。
なお、分極処理は、コロナ電極を複合圧電体１０との間隔を３ｍｍに保ち、５ｍｍ／ｓｅｃの走査速度で、コロナ電極を２往復することで行った。また、分極処理中は、複合圧電体１０を９０℃に加熱した。
なお、分極処理は、コロナ電極を複合圧電体１０との間隔を３ｍｍに保ち、５ｍｍ／ｓｅｃの走査速度で、コロナ電極を２往復することで行った。また、分極処理中は、複合圧電体１０を９０℃に加熱した。
分極前後の複合圧電体１０について、圧電体粒子１４の結晶構造をＸ線ディフラクトメーター（Rigaku製 Rint Ultima III）を用いたＸ線回折法（ＸＲＤ）による４４°付近のＸＲＤパターンを、図４（Ａ）に示す。
図４（Ａ）に示すように、４３．５°付近の正方晶のピーク（Tetra.002）と４５°付近の正方晶のピーク（Tetra.200）との間の、菱面体晶のピーク（Rhomb.200）が認められた。従って、先のＥＤＸによる組成分析によって得られた１つの粒子内のＺｒ／Ｔｉ比の組成バラツキに対応して、１つの圧電体粒子１４の中に正方晶と菱面体晶とが混在していることが確認できた。
また、この４４°付近のＸＲＤパターンから、結晶性の目安となる半値幅（２００）を求めたところ、０．２７であった。
図４（Ａ）に示すように、４３．５°付近の正方晶のピーク（Tetra.002）と４５°付近の正方晶のピーク（Tetra.200）との間の、菱面体晶のピーク（Rhomb.200）が認められた。従って、先のＥＤＸによる組成分析によって得られた１つの粒子内のＺｒ／Ｔｉ比の組成バラツキに対応して、１つの圧電体粒子１４の中に正方晶と菱面体晶とが混在していることが確認できた。
また、この４４°付近のＸＲＤパターンから、結晶性の目安となる半値幅（２００）を求めたところ、０．２７であった。
分極処理を行った複合圧電体１０の表面に、真空蒸着によって、直径１５ｍｍ、厚さ０．５μｍのアルミニウム電極を形成した。
さらに、複合圧電体１０の圧電特性（圧電定数）d33を、d33メーター（PIEZO TEST社製 PM-300）を用いて測定した。圧電特性d33の測定は、周波数１１０Ｈｚ、クランピングフォース１０Ｎ、ダイナミックフォース０．２５Ｎの条件で行った。
その結果、複合圧電体１０の圧電特性d33は、９０ｐＣ／Ｎであった。
以上の結果を、下記表に示す。
さらに、複合圧電体１０の圧電特性（圧電定数）d33を、d33メーター（PIEZO TEST社製 PM-300）を用いて測定した。圧電特性d33の測定は、周波数１１０Ｈｚ、クランピングフォース１０Ｎ、ダイナミックフォース０．２５Ｎの条件で行った。
その結果、複合圧電体１０の圧電特性d33は、９０ｐＣ／Ｎであった。
以上の結果を、下記表に示す。
［実施例２］
篩による原料粒子の解砕に先立ち、ボールミルを用いて０．５時間の解砕を行った以外は、実施例１と同様にして圧電体粒子１４を作製した。すなわち、本例では、ボールミルでの０．５時間の解砕を行い、その後、篩による解砕を行っている。
得られた圧電体粒子１４の粒度分布および比表面積を、実施例１と同様に測定した。その結果、メジアン径（Ｄ50）は３．０μｍ、１μｍ以下の粒子の割合（Ｖ<1μm）は９．２ｖｏｌ％、１０μｍ以上の粒子の割合（Ｖ>10μm）は７．６ｖｏｌ％、比表面積は０．５１１ｍ2／ｇであった。
また、実施例１と同様に、任意に選択した５個の圧電体粒子１４について、１つの粒子につき約１０箇所で組成をＥＤＸによって測定した。その結果、いずれの粒子も、一般式［Ｉ］のｘが０．３～０．７で、かつ、このｘが互いに異なる領域が混在していた。
篩による原料粒子の解砕に先立ち、ボールミルを用いて０．５時間の解砕を行った以外は、実施例１と同様にして圧電体粒子１４を作製した。すなわち、本例では、ボールミルでの０．５時間の解砕を行い、その後、篩による解砕を行っている。
得られた圧電体粒子１４の粒度分布および比表面積を、実施例１と同様に測定した。その結果、メジアン径（Ｄ50）は３．０μｍ、１μｍ以下の粒子の割合（Ｖ<1μm）は９．２ｖｏｌ％、１０μｍ以上の粒子の割合（Ｖ>10μm）は７．６ｖｏｌ％、比表面積は０．５１１ｍ2／ｇであった。
また、実施例１と同様に、任意に選択した５個の圧電体粒子１４について、１つの粒子につき約１０箇所で組成をＥＤＸによって測定した。その結果、いずれの粒子も、一般式［Ｉ］のｘが０．３～０．７で、かつ、このｘが互いに異なる領域が混在していた。
次いで、実施例１と同様にして、アルミニウム板上に複合圧電体１０を形成して、分極処理を行った。
分極前後の圧電体粒子１４について、実施例１と同様に測定した４４°付近のＸＲＤパターンを、図４（Ｂ）に示す。
図４（Ｂ）に示すように、４３．５°付近の正方晶のピーク（Tetra.002）と４５°付近の正方晶のピーク（Tetra.200）との間の、菱面体晶のピーク（Rhomb.200）が認められ、ＥＤＸによる組成分析の測定結果に対応して、１つの圧電体粒子１４の中に正方晶と菱面体晶とが混在していることが確認できた。
また、この４４°付近のＸＲＤパターンから、結晶性の目安となる半値幅（２００）を求めたところ、０．２８であった。
分極前後の圧電体粒子１４について、実施例１と同様に測定した４４°付近のＸＲＤパターンを、図４（Ｂ）に示す。
図４（Ｂ）に示すように、４３．５°付近の正方晶のピーク（Tetra.002）と４５°付近の正方晶のピーク（Tetra.200）との間の、菱面体晶のピーク（Rhomb.200）が認められ、ＥＤＸによる組成分析の測定結果に対応して、１つの圧電体粒子１４の中に正方晶と菱面体晶とが混在していることが確認できた。
また、この４４°付近のＸＲＤパターンから、結晶性の目安となる半値幅（２００）を求めたところ、０．２８であった。
さらに、実施例１と同様にして、アルミニウム電極を形成して、複合圧電体１０の圧電特性を測定した。
その結果、複合圧電体の圧電特性d33は、８３ｐＣ／Ｎであった。
以上の結果を、下記表に併記する。
その結果、複合圧電体の圧電特性d33は、８３ｐＣ／Ｎであった。
以上の結果を、下記表に併記する。
［実施例３］
篩による原料粒子の解砕に先立ち、ボールミルを用いて１時間の解砕を行った以外は、実施例１と同様にして圧電体粒子１４を作製した。すなわち、本例では、ボールミルでの１時間の解砕を行い、その後、篩による解砕を行っている。
得られた圧電体粒子１４の粒度分布および比表面積を、実施例１と同様に測定した。その結果、メジアン径（Ｄ50）は２．３μｍ、１μｍ以下の粒子の割合（Ｖ<1μm）は１１．２ｖｏｌ％、１０μｍ以上の粒子の割合（Ｖ>10μm）は０．０ｖｏｌ％、比表面積は０．６１４ｍ2／ｇであった。
また、実施例１と同様に、任意に選択した５個の圧電体粒子１４について、１つの粒子につき約１０箇所で組成をＥＤＸによって測定した。その結果、いずれの粒子も、一般式［Ｉ］のｘが０．３～０．７で、かつ、このｘが互いに異なる領域が混在していた。
篩による原料粒子の解砕に先立ち、ボールミルを用いて１時間の解砕を行った以外は、実施例１と同様にして圧電体粒子１４を作製した。すなわち、本例では、ボールミルでの１時間の解砕を行い、その後、篩による解砕を行っている。
得られた圧電体粒子１４の粒度分布および比表面積を、実施例１と同様に測定した。その結果、メジアン径（Ｄ50）は２．３μｍ、１μｍ以下の粒子の割合（Ｖ<1μm）は１１．２ｖｏｌ％、１０μｍ以上の粒子の割合（Ｖ>10μm）は０．０ｖｏｌ％、比表面積は０．６１４ｍ2／ｇであった。
また、実施例１と同様に、任意に選択した５個の圧電体粒子１４について、１つの粒子につき約１０箇所で組成をＥＤＸによって測定した。その結果、いずれの粒子も、一般式［Ｉ］のｘが０．３～０．７で、かつ、このｘが互いに異なる領域が混在していた。
次いで、実施例１と同様にして、アルミニウム板上に複合圧電体１０を形成して、分極処理を行った。
分極前後の圧電体粒子１４について、実施例１と同様に測定した４４°付近のＸＲＤパターンを、図４（Ｃ）に示す。
図４（Ｃ）に示すように、４３．５°付近の正方晶のピーク（Tetra.002）と４５°付近の正方晶のピーク（Tetra.200）との間の、菱面体晶のピーク（Rhomb.200）が認められ、ＥＤＸによる組成分析の測定結果に対応して、１つの圧電体粒子１４の中に正方晶と菱面体晶とが混在していることが確認できた。
また、この４４°付近のＸＲＤパターンから、結晶性の目安となる半値幅（２００）を求めたところ、０．２９であった。
分極前後の圧電体粒子１４について、実施例１と同様に測定した４４°付近のＸＲＤパターンを、図４（Ｃ）に示す。
図４（Ｃ）に示すように、４３．５°付近の正方晶のピーク（Tetra.002）と４５°付近の正方晶のピーク（Tetra.200）との間の、菱面体晶のピーク（Rhomb.200）が認められ、ＥＤＸによる組成分析の測定結果に対応して、１つの圧電体粒子１４の中に正方晶と菱面体晶とが混在していることが確認できた。
また、この４４°付近のＸＲＤパターンから、結晶性の目安となる半値幅（２００）を求めたところ、０．２９であった。
さらに、実施例１と同様にして、アルミニウム電極を形成して、複合圧電体１０の圧電特性を測定した。
その結果、複合圧電体１０の圧電特性d33は、７２ｐＣ／Ｎであった。
以上の結果を、下記表に併記する。
その結果、複合圧電体１０の圧電特性d33は、７２ｐＣ／Ｎであった。
以上の結果を、下記表に併記する。
［比較例］
実施例１と同様の原料粉末をボールミルによって１２時間、解砕した。
次いで、１００ＭＰａの一軸加圧成型によって直径２５ｍｍ、厚さ５ｍｍの円筒状に成型した。この成型品を１１００℃で３時間、焼成することで、緻密な焼結体を得た。
この焼結体をボールミルによって４８時間、湿式粉砕し、平均粒径１μｍ程度の粉末を得た。この粉末を、再度、１０００℃で焼成した。
さらに、実施例１と同様に篩による解砕を行って、ＰＺＴ粒子（ＰＺＴの焼結体粒子）を作製した。
作製したＰＺＴ粒子の粒度分布および比表面積を、実施例１と同様に測定した。その結果、メジアン径（Ｄ50）は７．８μｍ、１μｍ以下の粒子の割合（Ｖ<1μm）は３．７ｖｏｌ％、１０μｍ以上の粒子の割合（Ｖ>10μm）は３６．２ｖｏｌ％、比表面積は０．３１０ｍ2／ｇであった。
また、実施例１と同様に、任意に選択した５個の圧電体粒子１４について、１つの粒子につき約１０箇所で組成を測定した。その結果、いずれの粒子も、全ての測定位置で一般式［Ｉ］のｘが０．５２近傍であった。
図３（Ｂ）に、任意に選択した１つの粒子の組成を示す。なお、横軸は、任意に設定した測定箇所の番号である。
実施例１と同様の原料粉末をボールミルによって１２時間、解砕した。
次いで、１００ＭＰａの一軸加圧成型によって直径２５ｍｍ、厚さ５ｍｍの円筒状に成型した。この成型品を１１００℃で３時間、焼成することで、緻密な焼結体を得た。
この焼結体をボールミルによって４８時間、湿式粉砕し、平均粒径１μｍ程度の粉末を得た。この粉末を、再度、１０００℃で焼成した。
さらに、実施例１と同様に篩による解砕を行って、ＰＺＴ粒子（ＰＺＴの焼結体粒子）を作製した。
作製したＰＺＴ粒子の粒度分布および比表面積を、実施例１と同様に測定した。その結果、メジアン径（Ｄ50）は７．８μｍ、１μｍ以下の粒子の割合（Ｖ<1μm）は３．７ｖｏｌ％、１０μｍ以上の粒子の割合（Ｖ>10μm）は３６．２ｖｏｌ％、比表面積は０．３１０ｍ2／ｇであった。
また、実施例１と同様に、任意に選択した５個の圧電体粒子１４について、１つの粒子につき約１０箇所で組成を測定した。その結果、いずれの粒子も、全ての測定位置で一般式［Ｉ］のｘが０．５２近傍であった。
図３（Ｂ）に、任意に選択した１つの粒子の組成を示す。なお、横軸は、任意に設定した測定箇所の番号である。
次いで、実施例１と同様にして、アルミニウム板上に、このＰＺＴ粒子を用いる高分子複合圧電体を形成して、分極処理を行った。
分極前後のＰＺＴ粒子について、実施例１と同様に測定した４４°付近のＸＲＤパターンを、図４（Ｄ）に示す。
図４（Ｄ）に示すように、このＰＺＴ粒子のＸＲＤパターンには、４３．５°付近の正方晶のピーク（Tetra.002）と４５°付近の正方晶のピーク（Tetra.200）のみが認められ、菱面体晶のピーク（Rhomb.200）は、認められなかった。これにより、このＰＺＴ粒子は正方晶の単相であることが確認された。
また、この４４°付近のＸＲＤパターンから、結晶性の目安となる半値幅（２００）を求めたところ、０．２４であった。従って、このＰＺＴ粒子は、実施例１～３の圧電体粒子１４に比べて高い結晶性を有していると言える。
分極前後のＰＺＴ粒子について、実施例１と同様に測定した４４°付近のＸＲＤパターンを、図４（Ｄ）に示す。
図４（Ｄ）に示すように、このＰＺＴ粒子のＸＲＤパターンには、４３．５°付近の正方晶のピーク（Tetra.002）と４５°付近の正方晶のピーク（Tetra.200）のみが認められ、菱面体晶のピーク（Rhomb.200）は、認められなかった。これにより、このＰＺＴ粒子は正方晶の単相であることが確認された。
また、この４４°付近のＸＲＤパターンから、結晶性の目安となる半値幅（２００）を求めたところ、０．２４であった。従って、このＰＺＴ粒子は、実施例１～３の圧電体粒子１４に比べて高い結晶性を有していると言える。
さらに、実施例１と同様にして、アルミニウム電極を形成して、高分子複合圧電体の圧電特性を測定した。
その結果、高分子複合圧電体の圧電特性d33は、６７ｐＣ／Ｎであった。
以上の結果を、下記表に併記する。
その結果、高分子複合圧電体の圧電特性d33は、６７ｐＣ／Ｎであった。
以上の結果を、下記表に併記する。
以上のように、１つの粒子の中に正方晶と菱面体晶とが混在する圧電体粒子１４を用いた本発明の複合圧電体１０は、いずれも、圧電体粒子として正方晶単相のＰＺＴ焼結体を用いる従来（比較例）の高分子複合圧電体より低い結晶性にも関わらす、高い圧電特性を有していることが分かる。
また、図４（Ａ）～図４（Ｃ）に示すように、本発明の複合圧電体１０の圧電体粒子１４は、いずれも、分極処理の前後で４３．５°付近の正方晶のピーク（Tetra.002）と４５°付近の正方晶のピーク（Tetra.200）の高さが逆転している。このことは、正方晶ＰＺＴにおける９０°ドメインモーションが生じ易いことを示している。９０°ドメインモーションが発生し易い材料は、高い圧電特性を有することが知られており、この点からも、本発明の複合圧電体１０が高い圧電特性を有することが分かる。
一方、実施例１～３の違いは、原料粉末の解砕方法の違いであるが、表１を見ると、結晶性には殆ど差が無いことが分かる。また、解砕時に発生した粒子径１μｍ以下の粒子の割合にも殆ど差が無いことも分かる。このことから、実施例１～３における圧電特性の違いは、粒子径が１０μｍ以上の粒子の割合に起因すると考えられる。
そこで、粒子径が１０μｍ以上の粒子の割合（Ｖ>10μm）と圧電特性（ｄ33）との関係をプロットしたのが図５である。この図から、圧電体粒子１４が粒子径１０μｍ以上の粒子を５ｖｏｌ％以上含むことにより、８０ｐＣ／Ｎ以上の高い圧電特性が得られることが分かる。
以上の結果より、本発明の効果は明らかである。
また、図４（Ａ）～図４（Ｃ）に示すように、本発明の複合圧電体１０の圧電体粒子１４は、いずれも、分極処理の前後で４３．５°付近の正方晶のピーク（Tetra.002）と４５°付近の正方晶のピーク（Tetra.200）の高さが逆転している。このことは、正方晶ＰＺＴにおける９０°ドメインモーションが生じ易いことを示している。９０°ドメインモーションが発生し易い材料は、高い圧電特性を有することが知られており、この点からも、本発明の複合圧電体１０が高い圧電特性を有することが分かる。
一方、実施例１～３の違いは、原料粉末の解砕方法の違いであるが、表１を見ると、結晶性には殆ど差が無いことが分かる。また、解砕時に発生した粒子径１μｍ以下の粒子の割合にも殆ど差が無いことも分かる。このことから、実施例１～３における圧電特性の違いは、粒子径が１０μｍ以上の粒子の割合に起因すると考えられる。
そこで、粒子径が１０μｍ以上の粒子の割合（Ｖ>10μm）と圧電特性（ｄ33）との関係をプロットしたのが図５である。この図から、圧電体粒子１４が粒子径１０μｍ以上の粒子を５ｖｏｌ％以上含むことにより、８０ｐＣ／Ｎ以上の高い圧電特性が得られることが分かる。
以上の結果より、本発明の効果は明らかである。
１０ （高分子）複合圧電体
１２ マトリックス
１４ 圧電体粒子
１８ 電極層
２０ 保護層
１２ マトリックス
１４ 圧電体粒子
１８ 電極層
２０ 保護層
Claims (10)
- 高分子材料からなるマトリックス中に、圧電体粒子を分散してなる高分子複合圧電体であって、
前記圧電体粒子が、一般式Ｐｂ（ＺｒxＴｉ1-x）Ｏ3で示されるジルコン酸チタン酸鉛を主成分とするものであり、かつ、１つの前記圧電体粒子の中に、正方晶と菱面体晶とが混在していることを特徴とする高分子複合圧電体。 - エネルギ分散型Ｘ線分析によって測定した前記圧電体粒子の組成において、１つの前記圧電体粒子の中に、前記一般式のｘが０．３～０．７で、かつ、このｘが互いに異なる領域が混在している請求項１に記載の高分子複合圧電体。
- 全ての前記圧電体粒子の前記一般式のｘの平均が０．５２±０．１０である請求項１または２に記載の高分子複合圧電体。
- 前記圧電体粒子が多結晶体である請求項１～３のいずれか１項に記載の高分子複合圧電体。
- エネルギ分散型Ｘ線分析によって測定した前記圧電体粒子の組成において、前記多結晶体を構成する一次粒子の前記一般式のｘが０．３～０．７であり、かつ、１つの前記圧電体粒子の中に、このｘが互いに異なる一次粒子が混在している請求項４に記載の高分子複合圧電体。
- エネルギ分散型Ｘ線分析によって測定した前記圧電体粒子の組成において、１つの前記圧電体粒子の中に、前記一般式のｘが、全ての圧電体粒子の平均＋０．１以上の領域と、全ての圧電体粒子の平均－０．１以下の領域とが混在している請求項１～５のいずれか１項に記載の高分子複合圧電体。
- レーザ散乱粒度測定装置で計測した前記圧電体粒子の粒子径において、メジアン径（Ｄ50）が２～５μｍである請求項１～６のいずれか１項に記載の高分子複合圧電体。
- レーザ散乱粒度測定装置で計測した前記圧電体粒子の粒子径において、粒子径が１０μｍ以上の圧電体粒子が、全圧電体粒子の５～３０ｖｏｌ％である請求項１～７のいずれか１項に記載の高分子複合圧電体。
- レーザ散乱粒度測定装置で計測した前記圧電体粒子の粒子径において、粒子径が１μｍ以下の圧電体粒子が、全圧電体粒子の１０ｖｏｌ％以下である請求項１～８のいずれか１項に記載の高分子複合圧電体。
- 前記高分子マトリクスが、常温で粘弾性を有する高分子材料からなるものである請求項１～９のいずれか１項に記載の高分子複合圧電体。
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