WO2014156579A1 - セラミック分離膜構造体、およびその製造方法 - Google Patents

セラミック分離膜構造体、およびその製造方法 Download PDF

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ceramic
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zeolite
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哲哉 内川
谷島　健二
直子 犬飼
真紀子 市川
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日本碍子株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a ceramic separation membrane structure having a zeolite separation membrane on a ceramic porous body, and a method for producing the same.
  • Ceramic filters have been used to selectively recover only specific components from a multi-component mixture (mixed fluid). Ceramic filters are superior to organic polymer filters in terms of mechanical strength, durability, corrosion resistance, etc., so they can be used in a wide range of fields such as water treatment, exhaust gas treatment, and pharmaceutical and food fields. It is preferably applied to the removal of suspended substances, bacteria, dust and the like in gas.
  • a filter in which a zeolite membrane is formed on a ceramic porous body is known.
  • a zeolite membrane is formed on a ceramic porous body by hydrothermal synthesis, even if a good zeolite membrane can be formed on many cells, defects in some cells may affect the quality of the product.
  • hydrothermal synthesis is repeatedly performed to repair defects, the film thickness of portions other than the defects becomes thick, and the amount of permeation decreases.
  • Patent Document 1 Regarding the repair of the film, Patent Document 1 and Non-Patent Documents 1 to 3 are known.
  • the repair material covering the membrane surface prevents the permeation of the separated substance, and the permeation amount is greatly reduced. Further, since the heat treatment after coating is as high as 500 ° C., there is a high possibility that a defect such as a crack is newly generated in this step depending on the film.
  • An object of the present invention is to provide a ceramic separation membrane structure having improved separation performance without deteriorating permeation performance, and a method for producing the same.
  • the present inventors have found that the above problem can be solved by using organic-inorganic hybrid silica as a repair material. That is, according to the present invention, the following ceramic separation membrane structure and the manufacturing method thereof are provided.
  • a ceramic separation membrane structure including a ceramic porous body, a zeolite separation membrane disposed on the ceramic porous body, and a repair portion formed by a repair material of organic-inorganic hybrid silica.
  • the ceramic separation membrane structure of the present invention uses the organic-inorganic hybrid silica as a repair material, so that the separation performance is improved without deteriorating the permeation performance.
  • the method for producing a ceramic separation membrane structure according to the present invention is simple because the sol containing the organic / inorganic hybrid silica is dried on the membrane by a flow-down method and then heated at 350 ° C. or lower in a reducing atmosphere. Convenient.
  • FIG. 1 It is a figure which shows one Embodiment of the monolith type separation membrane structure which concerns on this invention. It is a schematic diagram which shows the process which made the seed crystal adhere on the ceramic porous body. It is a schematic diagram which shows the process in which the zeolite separation membrane was formed. It is a schematic diagram which shows the process in which the repair part was formed. It is a schematic diagram which shows the state which pours the seeding slurry of a particle adhesion process, or the state which pours the repair material of a repair process. It is a schematic diagram which shows one Embodiment of the membrane formation process which forms a zeolite separation membrane on a porous body by hydrothermal synthesis.
  • FIG. 6 is a schematic view showing a cross section parallel to the cell extending direction of the ceramic separation membrane structure according to another embodiment in which the monolith type separation membrane structure is mounted on the housing. It is a schematic diagram which shows the whole testing apparatus which performs a pervaporation test.
  • FIG. 1 shows an embodiment of a ceramic separation membrane structure 1 according to the present invention.
  • 2A to 2C show a process of forming the zeolite separation membrane 33 and the repair portion 34 on the ceramic porous body 9.
  • FIG. 2A shows a process in which a seed crystal 36 is attached on the ceramic porous body 9.
  • FIG. 2B shows a process in which the zeolite separation membrane 33 is formed.
  • FIG. 2C shows a process in which the repair portion 34 is formed.
  • the ceramic separation membrane structure 1 (also simply referred to as a separation membrane structure) of the present invention includes a ceramic porous body 9 (also simply referred to as a porous body) and a zeolite separation membrane 33 disposed on the ceramic porous body 9. (Simply referred to as a separation membrane) and a repair portion 34 formed of a repair material of organic-inorganic hybrid silica.
  • Organic-inorganic hybrid silica is a combination of an organic component and an inorganic component containing silicon. The two components may be blended or chemically bonded (regardless of the presence, degree, and mode of bonding), and the domain size is 1 ⁇ m or less.
  • the separation performance can be improved without deteriorating the permeation performance. Since organic-inorganic hybrid silica has high durability against hot water and alkali, it can be applied to repair of a membrane used for dehydration in an environment that cannot be used due to deterioration with silica or the like.
  • the porous body 9 has a porous partition wall 3 in which a large number of pores are formed, and the partition wall 3 forms a cell 4 serving as a fluid flow path.
  • a separation membrane 33 and a repair portion 34 are formed on the inner wall surface 4 s of the cell 4.
  • the ceramic porous body 9 refers to the base material 30, but when a plurality of layers having different average particle diameters are provided on the base material 30, the porous body includes the layers. 9.
  • the separation membrane 33 When the separation membrane 33 is formed on the inner wall surface 4s of the cell 4, a seed crystal 36 is attached as shown in FIG. 2A. As shown in FIG. 2B, the separation membrane 33 is formed by hydrothermal synthesis. However, the seed crystal 36 does not adhere to the base material 30 or is detached after adhering, thereby causing uncoated defects. In addition, crack defects occur in the film in the process of burning off the structure-directing agent of zeolite. Therefore, after the separation membrane 33 is formed, the repair portion 34 is formed. That is, as shown in FIG. 2C, the zeolite separation membrane 33 is arranged on the ceramic porous body 9, and the defect of the zeolite separation membrane 33 is repaired by the repair portion 34.
  • the zeolite separation membrane 33 before repair contains a structure directing agent, and the repaired part 34 can be formed before or after removing the structure directing agent.
  • the repaired part 34 can be formed before or after removing the structure directing agent.
  • the ratio of the repair portion 34 to the zeolite separation membrane 33 is preferably 1% or less by mass ratio.
  • the mass ratio here is a mass ratio obtained by quantitative analysis by X-ray diffraction.
  • X-ray diffraction of the reference material is performed to create a calibration curve.
  • X-ray diffraction of the zeolite separation membrane 33 after repair is performed, and the mass ratio of the repair portion 34 is quantified by comparing the value of the calibration curve with the value of the calibration curve of the reference material.
  • required as mentioned above is 1% or less, the performance of the zeolite separation membrane 33 can fully be exhibited.
  • the base material 30, the separation membrane 33, the repair portion 34, and the like will be described in detail.
  • the material of the substrate 30 is preferably a porous ceramic. More preferably, the aggregate particles are alumina (Al 2 O 3 ), titania (TiO 2 ), mullite (Al 2 O 3 .SiO 2 ), cerven and cordierite (Mg 2 Al 4 Si 5 O 18 ), etc. is there. Among these, it is more preferable to use alumina having a controlled particle size (aggregate particles), alumina capable of forming a stable clay and high corrosion resistance.
  • the base material 30 has a cylindrical outer shape and has an outer peripheral surface 6.
  • the overall shape and size of the base material 30 are not particularly limited as long as the separation function is not hindered.
  • the overall shape include a cylindrical shape, a quadrangular prism shape (a cylindrical shape with a cross section orthogonal to the central axis (longitudinal direction)), a triangular prism shape (a cylindrical shape with a cross section orthogonal to the central axis). Is mentioned.
  • a columnar shape that is easy to be extruded, has little firing deformation, and is easy to seal with the housing is preferable.
  • a cylindrical shape having a diameter of 30 to 220 mm in the cross section perpendicular to the central axis and a length of 150 to 2000 mm in the central axis direction is preferable. That is, as an embodiment of the base material 30, as shown in FIG. 1, a monolith type (monolith shape) can be mentioned.
  • the “monolith type” refers to a shape or a honeycomb shape in which a plurality of cells are formed from a first end surface to a second end surface in the longitudinal direction.
  • the base material 30 may be a hollow cylinder.
  • the substrate 30 of the embodiment shown in FIG. 1 is a cell 4 that is a fluid flow path, which is partitioned by a porous partition wall 3 from one first end face 2a in the longitudinal direction to the other second end face 2b. Have a plurality.
  • the base material 30 has 30 to 2500 cells 4 penetrating to both ends in the longitudinal direction and parallel to the longitudinal direction.
  • Examples of the cross-sectional shape of the cell 4 of the base material 30 include a circle, an ellipse, a polygon, and the like. A square, a triangle, etc. can be mentioned.
  • the direction in which the cells 4 extend is the same as the central axis direction (longitudinal direction) when the substrate 30 is cylindrical.
  • the diameter of the cell 4 is preferably 1 to 5 mm.
  • the thickness is preferably 1 to 5 mm.
  • a plurality of layers with different average particle diameters can be provided on the substrate 30.
  • an intermediate layer and a surface layer having a small average particle diameter can be laminated on the substrate 30.
  • seal portions 1 s are disposed on both end faces 2 and 2 of the base material 30.
  • the seal portion 1 s When the seal portion 1 s is disposed in this way, a part of the mixture directly flows into the inside of the base material 30 from the end surface 2 of the base material 30 without passing through the separation membrane 33, and passes through the separation membrane 33. Mixing with gas or the like can be prevented from being discharged from the outer peripheral surface 6.
  • the seal portion 1s include a glass seal and a metal seal.
  • the separation membrane 33 is formed with a plurality of pores, and the average pore diameter thereof is smaller than that of the porous body 9 (including the base material 30, the intermediate layer, and the surface layer, if they are provided). These are arranged on the wall surface (inner wall surface 4s) in the cell 4. Alternatively, the separation membrane 33 may be disposed on the outer peripheral surface of the hollow cylindrical base material 30.
  • the average pore diameter of the separation membrane 33 can be appropriately determined depending on the required filtration performance or separation performance (particle diameter of the substance to be removed). For example, in the case of a ceramic filter used for microfiltration or ultrafiltration, 0.01 to 1.0 ⁇ m is preferable. In this case, the average pore diameter of the separation membrane 33 is a value measured by an air flow method described in ASTM F316.
  • zeolite separation membrane 33 zeolite having a crystal structure such as LTA, MFI, MOR, FER, FAU, DDR, CHA, and BEA can be used.
  • the separation membrane 33 is a DDR type zeolite, it can be used as a gas separation membrane used for selectively separating carbon dioxide and a dehydration membrane for selectively separating water.
  • the repair portion 34 is formed of a repair material of organic-inorganic hybrid silica in a defective portion 37 where the surface of the ceramic porous body 9 that is not covered with the zeolite separation membrane 33 is exposed.
  • the organic-inorganic hybrid silica may be either one in which an organic component and an inorganic component are chemically bonded, or one in which an organic component and an inorganic component are in a mixed state.
  • a silane coupling agent or an alkoxysilane hydrolyzed / dehydrated and condensed can be used.
  • an organic-inorganic hybrid silica for example, a bistriethoxysilyl compound having a structural formula (C 2 H 5 O) 3 SiC n H 2n Si (C 2 H 5 O) 3 (n ⁇ 1) is hydrolyzed.
  • -A condensed product can be used as an organic-inorganic hybrid silica. This is a substance in which an organic component and an inorganic component containing silicon are chemically bonded.
  • the zeolite separation membrane 33 used in the present invention can be synthesized by a conventionally known method.
  • a raw material solution such as a silica source, an alumina source, a structure directing agent, an alkali source, and water is prepared, and the raw material solution prepared with the porous body 9 in the pressure vessel 65 ( After the sol 67) is put, these are put into a drier 68 and subjected to heat treatment (hydrothermal synthesis) at 100 to 200 ° C. for 1 to 240 hours, whereby the zeolite separation membrane 33 is manufactured.
  • FIG. 3 shows an embodiment of seeding by the flow-down method.
  • the porous body 9 on which the zeolite separation membrane 33 is formed is washed with water or with hot water of 80 to 100 ° C., taken out, and dried at 80 to 100 ° C. Then, the porous body 9 is placed in an electric furnace and heated in the atmosphere at 400 to 800 ° C. for 1 to 200 hours, whereby the structure-directing agent in the pores of the zeolite separation membrane 33 is removed by combustion. Thus, the zeolite separation membrane 33 can be formed.
  • silica source examples include colloidal silica, tetraethoxysilane, water glass, silicon alkoxide, fumed silica, and precipitated silica.
  • the structure directing agent is used to form the pore structure of zeolite.
  • organic compounds such as tetraethylammonium hydroxide, tetraethylammonium bromide, 1-adamantanamine, tetrapropylammonium hydroxide, tetrapropylammonium bromide, and tetramethylammonium hydroxide can be mentioned.
  • alkali source examples include alkali metals such as sodium hydroxide, lithium hydroxide, and potassium hydroxide, alkaline earth metals such as magnesium hydroxide and calcium hydroxide, and quaternary ammonium hydroxide.
  • the method for producing the zeolite separation membrane 33 can be applied to zeolite having a crystal structure such as LTA, MFI, MOR, FER, FAU, DDR, CHA, and BEA.
  • the repair portion 34 is formed as shown in FIG. 2C.
  • a repair process for forming a repair portion in the defective portion 37 of the ceramic porous body will be described.
  • a sol (repair material) is prepared by dispersing organic-inorganic hybrid silica obtained by hydrolysis or dehydration condensation of a silane coupling agent or alkoxysilane in a solvent such as alcohol.
  • the sol as the repair material is attached to the defect portion 37 by a flow-down method in which the sol as a repair material flows down along the surface of the zeolite separation membrane 33 (by its own weight). Specifically, a large amount of liquid is caused to flow parallel to the surface of the zeolite separation membrane by pouring sol into the hole of the porous body 9 having a cylindrical hole (cell 23). In this way, the sol flows on the surface of the zeolite separation membrane 33 by passing the sol through the cell 23.
  • the repair material is attached to the defective portion 37, it is preferable to perform heat treatment at a heat treatment temperature lower than the mold firing temperature of the zeolite separation membrane 33. Specifically, it is naturally dried and heated at 350 ° C. or lower, more preferably 300 to 350 ° C. in a reducing atmosphere.
  • a sol in which organic-inorganic hybrid silica is dispersed in a solvent such as ethanol is applied to the membrane by a flow-down method, which is naturally dried and then heated at 350 ° C. or lower in a reducing atmosphere. Therefore, the apparatus is simple and the procedure is simple. Furthermore, the membrane repaired with the organic-inorganic hybrid silica does not deteriorate the water permeation performance because the defective portion is selectively repaired. Moreover, organic / inorganic hybrid silica has high chemical resistance and can be treated at a lower temperature than the general zeolite mold firing temperature (structure-directing agent firing temperature) in the repair process, so the performance of the zeolite separation membrane does not deteriorate. And workability is good.
  • the separation membrane structure 1 is placed in a cylindrical housing 51 having a fluid inlet 52 and a fluid outlet 53. It is preferable that the processed fluid F1 that is stored and introduced from the fluid inlet 52 of the housing 51 is separated by the separation membrane structure 1, and the separated processed fluid (processed fluid F2) is discharged from the fluid outlet 53.
  • the gaps between the separation membrane structure 1 and the housing 51 are formed at both ends of the separation membrane structure 1 with the sealing materials 54 and 54. It is preferable to close with.
  • the seal material 54 is not particularly limited, and examples thereof include an O-ring.
  • the sealing materials 54 and 54 can prevent the treated fluid F1 and the treated fluid F2 from being mixed.
  • FIG. 5B shows another embodiment in which the separation membrane structure 1 is mounted on the housing 51.
  • the separation membrane structure 1 is accommodated in a cylindrical housing 51 having a fluid inlet 52 and fluid outlets 53 and 58.
  • the separation target fluid F1 introduced from the fluid inlet 52 of the housing 51 is separated by the separation membrane structure 1, and the separated treatment target fluid (treated fluid F2) is discharged from the fluid outlet 53 and the rest ( The fluid F3) can be discharged from the fluid outlet 58. Since the fluid F3 can be discharged from the fluid outlet 58, the flow rate of the fluid F1 to be processed can be increased, and the permeation flow rate of the processed fluid F2 can be increased.
  • a monolithic base material 30 was produced, and a separation membrane 33 was formed in the cell 4. First, production of the base material 30 will be described.
  • Base material A clay was prepared by adding water, a dispersant, and a thickener to alumina particles (aggregate particles) having an average particle diameter of 50 ⁇ m, and mixing and kneading. The obtained kneaded material was extruded to form a honeycomb-shaped unfired base material 30.
  • the substrate 30 (porous body 9) had a cylindrical outer shape, an outer diameter of 30 mm, a cell diameter of 2.2 mm, 61 cells, and a length of 160 mm.
  • DDR Membrane A DDR membrane was formed as the separation membrane 33 on the inner wall surface 4 s of the cell 4 of the porous body 9.
  • the seed crystal dispersion prepared in (2-1) is diluted with ethanol, adjusted to a DDR concentration of 0.3 mass% (solid content concentration in the slurry 64), stirred with a stirrer at 300 rpm, and used for seeding A slurry liquid (slurry 64) was obtained.
  • a porous porous body 9 was fixed to the lower end of the wide-mouth funnel 62, and 160 ml of seeding slurry liquid was poured from the upper portion of the porous body 9 and passed through the cell (see FIG. 3).
  • the porous body 9 in which the slurry 64 was flowed down was air-dried in the cell for 10 minutes under the conditions of room temperature and wind speed of 3 to 6 m / s. Under the flow of the slurry 64, ventilation drying was repeated twice to obtain a sample. After drying, the microstructure was observed with an electron microscope. It was confirmed that DDR particles adhered to the surface of the porous body 9.
  • FIG. 6 is a schematic diagram showing an entire test apparatus for performing a pervaporation test.
  • the SUS module 75 has a structure in which the separation membrane structure 1 in which the zeolite separation membrane 33 is formed is mounted in a cylindrical outer container made of SUS.
  • the internal space of the SUS module 75 is partitioned into a raw material side space 76 and a permeate side space 77 by the zeolite separation membrane 33.
  • a supply liquid introduction port 73 and a supply liquid discharge port 74 are formed so as to communicate with the raw material side space 76.
  • a permeate vapor recovery port 80 for discharging permeate vapor to the outside is formed at the upper end portion of the permeate side space 77.
  • a raw material (feed solution) of 90% by mass of acetic acid placed in the raw material tank 71 was heated to 90 ° C.
  • the raw material was circulated. The flow rate of the raw material was confirmed with a flow meter 79.
  • the support side (permeation side space 77) of the zeolite separation membrane 33 is reduced to 100 torr by a vacuum pump 83, so that the zeolite separation membrane 33 is permeated and the permeated vapor discharged from the permeated vapor recovery port 80 is liquid N 2 trap. Collected at 81.
  • the degree of vacuum in the transmission side space 77 was controlled by a pressure controller 82.
  • the mass of the obtained liquid was weighed with an electronic balance, and the composition of the liquid was analyzed by neutralization titration.
  • the amount of permeate and the acetic acid concentration were measured by the above pervaporation method test, and water flux and flux acetate were calculated.
  • the BTESM used in the examples is a substance in a state in which two components of an organic component and an inorganic component containing silicon are chemically bonded, and another organic inorganic material in which the organic component and two components of the inorganic component containing silicon are chemically bonded.
  • the same effect can be expected with hybrid silica.
  • the method for producing a ceramic separation membrane structure of the present invention can be used for repairing a ceramic separation membrane structure in which a zeolite separation membrane is formed on the inner wall surface of a cell.
  • the ceramic separation membrane structure of the present invention can be used for separation of mixed gas and mixed liquid.
  • 1 separation membrane structure, 1s: seal part, 2, 2a, 2b: end face, 3: partition, 4: cell, 4s: inner wall surface, 6: outer peripheral surface, 9: porous body, 30: base material, 33 : Separation membrane, 34: zeolite repair part, 36: seed crystal, 37: defective part, 51: housing, 52: fluid inlet, 53, 58: fluid outlet, 54: sealing material, 62: wide mouth funnel, 63: cock, 64: Slurry, 65: Pressure vessel, 67: Sol, 68: Dryer, 71: Raw material tank, 72: Supply pump, 73: Supply liquid inlet, 74: Supply liquid outlet, 75: SUS module, 76: feed-side space, 77: transmission-side space, 79: flow meter, 80: permeate vapor recovery port, 81: liquid N 2 trap, 82: pressure controller 83: vacuum pump.

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Abstract

　透過性能を低下させずに分離性能を向上させたセラミック分離膜構造体、およびその製造方法を提供する。セラミック分離膜構造体は、セラミック多孔質体９と、セラミック多孔質体９上に配置したゼオライト分離膜３３と、有機無機ハイブリッドシリカの補修材によって形成された補修部３４と、を含む。有機無機ハイブリッドシリカとは、有機成分とシリコンを含む無機成分とが組み合わされたものである。

Description

セラミック分離膜構造体、およびその製造方法
　本発明は、セラミック多孔質体上にゼオライト分離膜を有するセラミック分離膜構造体、およびその製造方法に関する。
　近年、多成分の混合物（混合流体）から特定の成分のみを選択的に回収するために、セラミック製のフィルタが用いられている。セラミック製のフィルタは、有機高分子製のフィルタと比較して、機械的強度、耐久性、耐食性等に優れるため、水処理や排ガス処理、あるいは医薬や食品分野等の広範な分野において、液体やガス中の懸濁物質、細菌、粉塵等の除去に、好ましく適用される。
　このようなフィルタとして、セラミック多孔質上にゼオライト膜を成膜したものが知られている。セラミック多孔質体に水熱合成にてゼオライト膜を成膜する場合、多くのセルに良好なゼオライト膜が成膜できても、一部のセルに欠陥があることにより、製品としての良否に影響していた。欠陥の補修のため繰り返し水熱合成を行うと、欠陥以外の部分の膜厚が厚くなり、透過量が低下する。
　膜の補修に関して、特許文献１、非特許文献１～３が知られている。
特開２００４－２１４０８９号公報
Ｙ．Ｓ．Ｙａｎ，　Ｍ．Ｅ．Ｄａｖｉｓ，　Ｇ．Ｒ．Ｇｒａｖａｌａｓ，　Ｊ．Ｍｅｍｂｒ．　Ｓｃｉ．　１９９７，　１２３，　９５． Ｍ．Ｎｏｍｕｒａ，　Ｔ．Ｙａｍａｇｕｃｈｉ，　Ｓ．Ｎａｋａｏ，　Ｉｎｄ．Ｅｎｇ．　Ｃｈｅｍ．　Ｒｅｓ．　１９９７，　３６，　４２１７ Ｂ．Ｚｈａｎｇ，　Ｃ．Ｗａｎｇ，　Ｌ，Ｌａｎｇ，　Ｒ．Ｃｕｉ，　Ｘ．Ｌｉｕ，　Ａｄｖ．Ｆｕｎｃｔ．Ｍａｔｅｒ．　２００８，　１８，　３４３４－３４４３
　特許文献１、非特許文献２，３で膜欠陥の補修材として用いているシリカは、熱水やアルカリに弱いため、シリカで補修した膜は用途が限定される。そのため高水濃度の脱水等に用いることができないという問題がある。また補修方法に関して、特許文献１の加圧充填、非特許文献２のＣＶＤ法、非特許文献３のＣＬＤ法は、装置が大掛かりで操作が複雑という問題もある。
　非特許文献１の方法は、膜面を被覆した補修材が分離物質の透過を妨げ透過量が大幅に低下する。また、コーティング後の熱処理が５００℃と高いため、膜によってはこの工程で新たにクラックなどの欠陥が発生する可能性が高い。
　本発明の課題は、透過性能を低下させずに分離性能を向上させたセラミック分離膜構造体、およびその製造方法を提供することにある。
　本発明者らは、有機無機ハイブリッドシリカを補修材として用いることにより、上記課題を解決しうることを見出した。すなわち、本発明によれば、以下のセラミック分離膜構造体、およびその製造方法が提供される。
［１］　セラミック多孔質体と、前記セラミック多孔質体上に配置したゼオライト分離膜と、有機無機ハイブリッドシリカの補修材によって形成された補修部と、を含むセラミック分離膜構造体。
［２］　前記有機無機ハイブリッドシリカが、シランカップリング剤、又はアルコキシシランを加水分解・脱水縮合させたものである前記［１］に記載のセラミック分離膜構造体。
［３］　前記有機無機ハイブリッドシリカが、構造式（Ｃ２Ｈ５Ｏ）３ＳｉＣｎＨ２ｎＳｉ（Ｃ２Ｈ５Ｏ）３（ｎ≧１）のビストリエトキシシリル化合物を加水分解・縮合させたものである前記［１］または［２］に記載のセラミック分離膜構造体。
［４］　前記ゼオライト分離膜のゼオライトがＤＤＲ型である前記［１］～［３］のいずれかに記載のセラミック分離膜構造体。
［５］　前記セラミック多孔質体の形状がモノリス形状である前記［１］～［４］のいずれかに記載のセラミック分離膜構造体。
［６］　前記［１］～［５］のいずれかに記載のセラミック分離膜構造体の製造方法であって、前記補修部を形成する補修工程において、前記補修材をゼオライト分離膜の表面に沿って流下させる流下法にて付着させるセラミック分離膜構造体の製造方法。
［７］　前記補修工程において、前記補修材を付着させた後に、ゼオライト膜の鋳型焼成温度よりも低温の熱処理温度で熱処理する前記［６］に記載のセラミック分離膜構造体の製造方法。
［８］　前記熱処理温度が３５０℃以下である前記［７］に記載のセラミック分離膜構造体の製造方法。
　本発明のセラミック分離膜構造体は、有機無機ハイブリッドシリカを補修材として用いることにより、透過性能が低下せずに分離性能が向上している。
　本発明のセラミック分離膜構造体の製造方法は、有機無機ハイブリッドシリカを含むゾルを流下法で膜にかけて自然乾燥させたのち還元雰囲気で３５０℃以下で加熱するのみのため、装置が単純で手順も簡便である。
本発明に係るモノリス型分離膜構造体の一実施形態を示す図である。 セラミック多孔質体上に、種結晶を付着させた工程を示す模式図である。 ゼオライト分離膜を形成した工程を示す模式図である。 補修部を形成した工程を示す模式図である。 粒子付着工程の種付けスラリーを流し込む状態、または補修工程の補修材を流し込む状態を示す模式図である。 水熱合成により、多孔質体上にゼオライト分離膜を形成する膜形成工程の一実施形態を示す模式図である。 モノリス型分離膜構造体をハウジングに装着した実施形態を示し、セラミック分離膜構造体のセルの延びる方向に平行な断面を示す模式図である。 モノリス型分離膜構造体をハウジングに装着した他の実施形態を示し、セラミック分離膜構造体のセルの延びる方向に平行な断面を示す模式図である。 パーベーパレーション試験を行う試験装置全体を示す模式図である。
　以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態について説明する。本発明は、以下の実施形態に限定されるものではなく、発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、変更、修正、改良を加え得るものである。
（１）セラミック分離膜構造体
　図１に、本発明に係るセラミック分離膜構造体１の一実施形態を示す。図２Ａ～図２Ｃに、セラミック多孔質体９上に、ゼオライト分離膜３３と補修部３４を形成する工程を示す。図２Ａは、セラミック多孔質体９上に、種結晶３６を付着させた工程を示す。図２Ｂは、ゼオライト分離膜３３を形成した工程を示す。図２Ｃは、補修部３４を形成した工程を示す。
　本発明のセラミック分離膜構造体１（単に、分離膜構造体ともいう）は、セラミック多孔質体９（単に、多孔質体ともいう）と、セラミック多孔質体９上に配置したゼオライト分離膜３３（単に、分離膜ともいう）と、有機無機ハイブリッドシリカの補修材によって形成された補修部３４と、を含む。有機無機ハイブリッドシリカとは、有機成分とシリコンを含む無機成分とが組み合わされたものである。この２成分がブレンドされた状態でも化学結合した状態でもよく（結合の有無、度合、態様は問わない）、ドメインサイズが１μｍ以下のものである。
　セラミック分離膜構造体１が、有機無機ハイブリッドシリカの補修材によって形成された補修部３４を含むことにより、透過性能を低下させずに分離性能を向上させることができる。有機無機ハイブリッドシリカは、熱水、アルカリに対する耐久性が高いため、シリカなどでは劣化して使用できないような環境下での脱水に用いる膜の補修に適用することができる。
　図１に示すように、多孔質体９は、多数の細孔が形成された多孔質からなる隔壁３を有し、その隔壁３によって、流体の流路となるセル４が形成されている。セル４の内壁面４ｓに分離膜３３および補修部３４が形成されている。
　本明細書では、セラミック多孔質体９とは、基材３０をいうが、基材３０の上に平均粒径を変えた複数の層を設けた場合は、その層も含んで、多孔質体９という。
　セル４の内壁面４ｓに分離膜３３を形成する場合、図２Ａに示すように、種結晶３６を付着させる。図２Ｂに示すように、水熱合成によって分離膜３３を成膜するが、種結晶３６が基材３０に付着しない、もしくは付着したあと脱離することにより未被覆欠陥が生じる。また、ゼオライトの構造規定剤を燃焼除去する工程で膜にクラック欠陥が生じる。そこで分離膜３３の成膜後に、補修部３４を形成する。すなわち、図２Ｃに示すように、セラミック多孔質体９上にゼオライト分離膜３３が配置されており、ゼオライト分離膜３３の欠陥が、補修部３４によって補修されている。
　補修前のゼオライト分離膜３３は、構造規定剤を含んでおり、構造規定剤を除去する前、または除去後に補修部３４を形成することができる。ゼオライトの構造規定剤を除去後に補修する場合は、構造規定剤を燃焼除去する工程で生じたクラック欠陥を補修することもできる。
　ゼオライト分離膜３３に対する補修部３４の割合は、質量比で１％以下であることが好ましい。ここでいう質量比とは、Ｘ線回折による定量分析で求めた質量比である。ゼオライト分離膜３３、補修部３４となるゼオライトの粉末を一定の質量割合で混合（例えば、分離膜：補修部＝９：１）したものを予め調整して基準物質とする。そして、その基準物質のＸ線回折を行い、検量線を作成する。その後、補修後のゼオライト分離膜３３のＸ線回折を行い、その検量線の値と基準物質の検量線の値とを比較することにより補修部３４の質量比を定量する。以上のようにして求められる補修部３４の割合が１％以下であることにより、ゼオライト分離膜３３の性能を十分に発揮させることができる。以下、基材３０、分離膜３３、補修部３４等について詳しく説明する。
（基材）
　基材３０の材質は、多孔質セラミックであることが好ましい。より好ましくは、骨材粒子が、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、チタニア（ＴｉＯ２）、ムライト（Ａｌ２Ｏ３・ＳｉＯ２）、セルベン及びコージェライト（Ｍｇ２Ａｌ４Ｓｉ５Ｏ１８）等である。これらの中でも、粒径が制御された原料（骨材粒子）を入手し易く、安定な坏土を形成でき、かつ、耐食性が高いアルミナが更に好ましい。
　基材３０は、その外形は円柱形であり、外周面６を有しているが、基材３０の全体的な形状やサイズについては、その分離機能を阻害しない限りにおいて特に制限はない。全体的な形状としては、例えば、円柱状、四角柱状（中心軸（長手方向）に直交する断面が四角形の筒状）、三角柱状（中心軸に直交する断面が三角形の筒状）等の形状が挙げられる。中でも、押出成形がし易く、焼成変形が少なく、ハウジングとのシールが容易な円柱状が好ましい。精密濾過や限外濾過に用いる場合には、中心軸に直交する断面における直径が３０～２２０ｍｍ、中心軸方向における長さが１５０～２０００ｍｍの円柱状とすることが好ましい。すなわち、基材３０の一実施形態としては、図１に示すように、モノリス型（モノリス形状）が挙げられる。「モノリス型」とは、長手方向の第一の端面から第二の端面まで複数のセルが形成された形状あるいはハニカム状を言う。あるいは、基材３０は、中空の円筒状のものであってもよい。
　図１に示す実施形態の基材３０は、長手方向の一方の第一の端面２ａから他方の第二の端面２ｂまで多孔質の隔壁３によって区画形成された、流体の流路となるセル４を複数個有する。基材３０は長手方向の両端側に貫通し、長手方向と平行なセル４を、３０～２５００個有している。
　基材３０のセル４の断面形状（セル４の延びる方向に直交する断面における形状）としては、例えば、円形、楕円形、多角形等を挙げることができ、多角形としては四角形、五角形、六角形、三角形等を挙げることができる。尚、セル４の延びる方向は、基材３０が円柱状の場合には、中心軸方向（長手方向）と同じである。
　基材３０のセル４の断面形状が円形の場合、セル４の直径は、１～５ｍｍであることが好ましい。１ｍｍ以上とすることにより、膜面積を十分に確保することができる。５ｍｍ以下とすることにより、強度を十分なものとすることができる。
　基材３０の上に平均粒径を変えた複数の層を設けることもできる。具体的には、基材３０の上に、平均粒径の小さい中間層、表面層を積層することもできる。中間層、表面層を設けた場合は、これらも含めて多孔質体９という。
　基材３０の両端面２，２には、シール部１ｓが配設されていることが好ましい。このようにシール部１ｓが配設されていると、混合物の一部が分離膜３３を通過することなく基材３０の端面２から基材３０の内部に直接流入し、分離膜３３を通過したガス等と混ざって外周面６から排出されることを防止することができる。シール部１ｓとしては、例えば、ガラスシールや金属シールを挙げることができる。
（分離膜）
　分離膜３３は、複数の細孔が形成され、その平均細孔径が多孔質体９（基材３０、または、中間層、表面層を設けた場合は、それらも含む。）に比して小さく、セル４内の壁面（内壁面４ｓ）に配置されたものである。あるいは、中空の円筒状の基材３０の外周面に分離膜３３を配置してもよい。
　分離膜３３の平均細孔径は、要求される濾過性能または分離性能（除去すべき物質の粒径）により、適宜決定することができる。例えば、精密濾過や限外濾過に用いるセラミックフィルタの場合であれば、０．０１～１．０μｍが好ましい。この場合、分離膜３３の平均細孔径は、ＡＳＴＭ　Ｆ３１６に記載のエアフロー法により測定した値である。
　ゼオライト分離膜３３としては、ＬＴＡ、ＭＦＩ、ＭＯＲ、ＦＥＲ、ＦＡＵ、ＤＤＲ、ＣＨＡ、ＢＥＡといった結晶構造のゼオライト等を利用することができる。分離膜３３がＤＤＲ型ゼオライトである場合には、特に、二酸化炭素を選択的に分離するために用いられるガス分離膜、及び水を選択的に分離するための脱水膜として利用することができる。
（補修部）
　補修部３４は、セラミック多孔質体９の、ゼオライト分離膜３３に覆われていない表面が露出した欠陥部３７に、有機無機ハイブリッドシリカの補修材によって形成されている。
　有機無機ハイブリッドシリカは、有機成分と無機成分が化学結合したもの、または、有機成分と無機成分が混合状態のもののいずれであってもよい。有機無機ハイブリッドシリカとして、シランカップリング剤、又はアルコキシシランを加水分解・脱水縮合させたものを用いることができる。さらに具体的には、有機無機ハイブリッドシリカとして、例えば、構造式（Ｃ２Ｈ５Ｏ）３ＳｉＣｎＨ２ｎＳｉ（Ｃ２Ｈ５Ｏ）３（ｎ≧１）のビストリエトキシシリル化合物を加水分解・縮合させたものを用いることができる。これは、有機成分とシリコンを含む無機成分とが化学結合した状態の物質である。
（２）製造方法
（２－１）基材
　次に、モノリス型の基材３０を用いた分離膜構造体１の製造方法について説明する。最初に、多孔質体９の原料を成形する。例えば、真空押出成形機を用い、押出成形する。これによりセル４を有するモノリス型の未焼成の基材３０を得る。他にプレス成形、鋳込み成形などがあり、適宜選択できる。次いで、未焼成の基材３０を、例えば、９００～１４５０℃で焼成する。
（２－２）ゼオライト分離膜
　次に、セル４の内壁面４ｓ上にゼオライト分離膜３３を形成する。本発明に用いるゼオライト分離膜３３は従来既知の方法により合成できる。たとえば、図４に示すように、シリカ源、アルミナ源、構造規定剤、アルカリ源、水などの原料溶液（ゾル６７）を作製し、耐圧容器６５内に多孔質体９と調合した原料溶液（ゾル６７）を入れた後、これらを乾燥器６８に入れ、１００～２００℃にて１～２４０時間、加熱処理（水熱合成）を行うことにより、ゼオライト分離膜３３を製造する。
　このときに種結晶３６として予めゼオライトを多孔質体９（基材３０）に塗布しておくことが好ましい（図２Ａ参照）。図３に、流下法による種付けの一実施形態を示す。広口ロート６２の下端に多孔質体９を固着し、コック６３を開けることにより多孔質体９上部から種付けスラリー６４を流し込み、セル４内を通過させて種結晶３６を付着させることができる。
　次に、ゼオライト分離膜３３が形成された多孔質体９を、水洗または、８０～１００℃の温水にて洗浄し、それを取り出して、８０～１００℃にて乾燥する。そして、多孔質体９を電気炉に入れ、大気中で、４００～８００℃、１～２００時間加熱することにより、ゼオライト分離膜３３の細孔内の構造規定剤を燃焼除去する。以上により、ゼオライト分離膜３３を形成することができる。
　シリカ源としては、コロイダルシリカ、テトラエトキシシラン、水ガラス、シリコンアルコキシド、ヒュームドシリカ、沈降シリカ等が挙げられる。
　構造規定剤はゼオライトの細孔構造を形成するために用いられる。特に限定されるものではないが、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムブロミド、１－アダマンタンアミン、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムブロミド、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等の有機化合物が挙げられる。
　アルカリ源としては、水酸化ナトリウム、水酸化リチウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属や、水酸化マグネシウム、水酸化カルシウムなどのアルカリ土類金属や、四級アンモニウムヒドロキサイド等が挙げられる。
　ゼオライト分離膜３３の製造方法は、ＬＴＡ、ＭＦＩ、ＭＯＲ、ＦＥＲ、ＦＡＵ、ＤＤＲ、ＣＨＡ、ＢＥＡといった結晶構造のゼオライトについて適用することができる。
（２－３）補修部
　次に、ゼオライト分離膜３３を補修するために補修部３４を作製する方法を説明する。図２Ｂに示すように、水熱合成によって分離膜３３を成膜した際に、種結晶３６が付着しない、又は付着後脱離して未被覆欠陥が生じている。
　本発明のセラミック分離膜構造体の補修方法は、図２Ｃに示すように、補修部３４を形成する。セラミック多孔質体の欠陥部３７に、補修部を形成する補修工程について説明する。
　まず、シランカップリング剤、又はアルコキシシランの加水分解や脱水縮合等により得られた有機無機ハイブリッドシリカをアルコール等の溶媒に分散させてゾル（補修材）を作製する。補修材であるゾルをゼオライト分離膜３３の表面に沿って（自重にて）流下させる流下法にて欠陥部３７へ付着させる。具体的には、円筒状に穴（セル２３）の開いた多孔質体９のその穴の中にゾルを流し込むことにより、ゼオライト分離膜の表面に対して平行に多量の液を流す。このように、ゾルをセル２３内を通過させることにより、ゾルがゼオライト分離膜３３の表面上を流れる。
　補修材を欠陥部３７へ付着させた後に、ゼオライト分離膜３３の鋳型焼成温度よりも低温の熱処理温度で熱処理することが好ましい。具体的には、自然乾燥させ、還元雰囲気で３５０℃以下、より好ましくは、３００～３５０℃で加熱する。
　本発明のセラミック分離膜構造体の製造方法は、有機無機ハイブリッドシリカをエタノール等の溶媒に分散させたゾルを流下法で膜にかけ、それを自然乾燥させたのち還元雰囲気で３５０℃以下で加熱するのみのため、装置が単純で手順も簡便である。さらに有機無機ハイブリッドシリカで補修した膜は、欠陥部分が選択的に補修されるため、水の透過性能が低下しない。また、有機無機ハイブリッドシリカは、耐薬品性能が高く、補修工程において一般的なゼオライトの鋳型焼成温度（構造規定剤焼成温度）より低温処理でよいため、ゼオライト分離膜の性能を低下させることがなく、かつ施工性がよい。
（３）分離方法
　次に、本実施形態の分離膜構造体１を用いて複数種類が混合した流体から一部の成分を分離する方法について説明する。図５Ａに示すように、本実施形態の分離膜構造体１を用いて流体を分離する際には、分離膜構造体１を、流体入口５２及び流体出口５３を有する筒状のハウジング５１内に収納し、ハウジング５１の流体入口５２から流入させた被処理流体Ｆ１を分離膜構造体１で分離し、分離された被処理流体（処理済流体Ｆ２）を流体出口５３から排出することが好ましい。
　分離膜構造体１をハウジング５１に収納する際には、図５Ａに示すように、分離膜構造体１の両端部において、分離膜構造体１とハウジング５１との隙間を、シール材５４，５４で塞ぐことが好ましい。シール材５４としては、特に限定されないが、例えば、Ｏ－リング等が挙げられる。
　流体入口５２からハウジング５１内に流入した被処理流体Ｆ１の全てが分離膜構造体１のセル４内に流入し、セル４内に流入した被処理流体Ｆ１は、分離膜３３を透過して処理済流体Ｆ２となって基材３０内に浸入する。そして、基材３０の外周面６から基材３０外に流出して、流体出口５３から外部（外部空間）に排出される。シール材５４，５４によって、被処理流体Ｆ１と処理済流体Ｆ２とが混ざることを防止することができる。
　図５Ｂに、分離膜構造体１をハウジング５１に装着した他の実施形態を示す。図５Ｂに示すように、分離膜構造体１を、流体入口５２及び流体出口５３，５８を有する筒状のハウジング５１内に収納する。この実施形態では、ハウジング５１の流体入口５２から流入させた被処理流体Ｆ１を分離膜構造体１で分離し、分離された被処理流体（処理済流体Ｆ２）を流体出口５３から排出、残り（流体Ｆ３）を流体出口５８から排出することができる。流体出口５８から流体Ｆ３を排出することができるため、被処理流体Ｆ１の流速を大きく運転することができ、処理済流体Ｆ２の透過流速を大きくすることができる。
　以下、本発明を実施例に基づいてさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
（１）基材（多孔質体）の作製
　モノリス型基材３０を作製し、そのセル４内に分離膜３３を形成した。まず、基材３０の作製について説明する。
（基材）
　平均粒径５０μｍのアルミナ粒子（骨材粒子）に、水、分散剤、及び増粘剤を加えて混合し混練することにより坏土を調製した。得られた坏土を押出成形し、ハニカム形状の未焼成の基材３０を作成した。
　次に、基材３０を９００～１５００℃で焼成した。基材３０（多孔質体９）は、外形が円柱形であり、その外径が３０ｍｍ、セル径が２．２ｍｍ、セル数が６１個、長さが１６０ｍｍであった。
（２）ＤＤＲ膜の形成
　分離膜３３としてＤＤＲ膜を多孔質体９のセル４の内壁面４ｓ上に形成した。
（２－１）種結晶の作製
　Ｍ．　Ｊ．　ｄｅｎ　Ｅｘｔｅｒ，　Ｊ．　Ｃ．　Ｊａｎｓｅｎ，　Ｈ．　ｖａｎ　Ｂｅｋｋｕｍ，　Ｓｔｕｄｉｅｓ　ｉｎ　Ｓｕｒｆａｃｅ　Ｓｃｉｅｎｃｅ　ａｎｄ　Ｃａｔａｌｙｓｉｓ　ｖｏｌ．８４，　Ｅｄ．　ｂｙ　Ｊ．　Ｗｅｉｔｋａｍｐ　ｅｔ　ａｌ．，　Ｅｌｓｅｖｉｅｒ（１９９４）１１５９－１１６６、または特開２００４－０８３３７５号公報に記載のＤＤＲ型ゼオライトを製造する方法を基に、ＤＤＲ型ゼオライト結晶粉末を製造し、これをそのまま、または必要に応じて粉砕して種結晶３６として使用した。合成後または粉砕後の種結晶３６を水に分散させた後、粗い粒子を除去し、種結晶分散液を作製した。
（２－２）種付け（粒子付着工程）
　（２－１）で作製した種結晶分散液をエタノールで希釈し、ＤＤＲ濃度０．３質量％（スラリー６４中の固形分濃度）になるように調整し、スターラーで３００ｒｐｍで攪拌し、種付け用スラリー液（スラリー６４）とした。広口ロート６２の下端に多孔質の多孔質体９を固着し、多孔質体９の上部から１６０ｍｌの種付け用スラリー液を流し込みセル内を通過させた（図３参照）。スラリー６４を流下させた多孔質体９は、室温、風速３～６ｍ／ｓの条件で１０分間、セル内を通風乾燥させた。スラリー６４の流下、通風乾燥を２回繰り返してサンプルを得た。乾燥させた後、電子顕微鏡による微構造観察を行った。ＤＤＲ粒子が多孔質体９の表面に付着していることを確認した。
（２－３）膜化（膜形成工程）
　フッ素樹脂製の１００ｍｌの広口瓶に７．３５ｇのエチレンジアミン（和光純薬工業製）を入れた後、１．１５６ｇの１－アダマンタンアミン（アルドリッチ製）を加え、１－アダマンタンアミンの沈殿が残らないように溶解した。別の容器に９８．０ｇの３０質量％のコロイダルシリカ（商品名：スノーテックスＳ，日産化学製）と１１６．５５ｇのイオン交換水を入れ軽く攪拌した。その後、これをエチレンジアミンと１－アダマンタンアミンを混ぜておいた広口瓶に加えて強く振り混ぜることにより、原料溶液を調製した。原料溶液の各成分のモル比は１－アダマンタンアミン／ＳｉＯ２＝０．０１６、水／ＳｉＯ２＝２１だった。その後、原料溶液を入れた広口瓶をホモジナイザーにセットし、１時間攪拌した。内容積３００ｍｌのフッ素樹脂製内筒付きステンレス製耐圧容器６５内に（２－２）でＤＤＲ粒子を付着させた多孔質体９を配置し、調合した原料溶液（ゾル６７）を入れ、１３８℃にて１５時間、加熱処理（水熱合成）を行った（図４参照）。なお、水熱合成時は、原料のコロイダルシリカとエチレンジアミンによって、アルカリ性であった。
（２－４）構造規定剤除去
　膜形成工程で形成された膜を電気炉で大気中４５０℃で５０時間加熱し、細孔内の１－アダマンタンアミンを燃焼除去した。Ｘ線回折により、結晶相を同定し、ＤＤＲ型ゼオライトであることを確認した。また膜化後、多孔質体９がＤＤＲ型ゼオライトで被覆されていることを確認した。
（３）ゼオライト分離膜の補修
　上記のようにして形成されたゼオライト分離膜を、有機無機ハイブリッドシリカを用いて補修した。以下、具体的に説明する。
（３－１）補修材作製
　ＢＴＥＳＭ（ビストリエトキシシリル化合物：構造式（Ｃ２Ｈ５Ｏ）３ＳｉＣｎＨ２ｎＳｉ（Ｃ２Ｈ５Ｏ）３（ｎ≧１）：Ｇｅｌｅｓｔ社製）１７．０１ｇとエタノール４４．２８ｇとを、水温を３℃に保ちながら混合攪拌した（Ａ）。水４．５４ｇに硝酸０．８４ｇを添加した（Ｂ）。ＡにＢを滴下し、６０℃で５時間攪拌した（Ｃ）。Ｃにエタノールを加え、固形分０．１質量％となるよう調整して、補修材を得た（Ｄ）。
（３－２）補修方法
　直径３０ｍｍ、長さ１６０ｍｍのモノリス型のセラミック分離膜構造体１（未補修）のＤＤＲ膜の膜面に、１６０ｃｃのＤを流下法で塗布し、セル内をブロワーで吹き払った。その後、大気中で１時間自然乾燥させた。乾燥させたものを、Ｎ２雰囲気にて３５０℃で２時間焼成し、補修部３４を含むセラミック分離膜構造体１を得た。
（４）性能評価
　作製した膜の酢酸脱水性能を浸透気化法（ＰＶ法）にて評価した。図６は、パーベーパレーション試験を行う試験装置全体を示す模式図である。ＳＵＳ製モジュール７５は、ＳＵＳ製の円筒状の外側容器の中に、ゼオライト分離膜３３が形成された分離膜構造体１が装着された構造である。ＳＵＳ製モジュール７５は、内部空間がゼオライト分離膜３３により原料側空間７６と透過側空間７７とに仕切られている。また、原料側空間７６に連通するように供給液導入口７３と供給液排出口７４とが形成されている。さらに、透過側空間７７の上端部に透過蒸気を外部に排出するための透過蒸気回収口８０が形成されている。
　原料タンク７１内に入れられた、酢酸９０質量％の原料（供給液）を９０℃に加熱した。供給ポンプ７２にてＳＵＳ（ステンレススチール）製モジュール７５の原料側空間７６に、供給液導入口７３より原料を供給し、供給液排出口７４から排出された原料を原料タンク７１に戻すことで、原料を循環させた。原料の流量は流量計７９で確認した。
　真空ポンプ８３にてゼオライト分離膜３３の支持体側（透過側空間７７）を１００ｔｏｒｒに減圧することで、ゼオライト分離膜３３を透過させ、透過蒸気回収口８０から排出される透過蒸気を液体Ｎ２トラップ８１にて回収した。透過側空間７７の真空度は圧力制御器８２により制御した。
　得られた液体の質量は電子天秤にて秤量し、液体の組成は中和滴定にて分析した。
　上記の浸透気化法試験により透過液の量と酢酸濃度を計測し、水Ｆｌｕｘと酢酸Ｆｌｕｘを算出した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
（結果）
　表１に示すように、補修により、水Ｆｌｕｘは低下せず、酢酸Ｆｌｕｘのみが低下した。すなわち、補修により欠陥を透過する酢酸の漏れ量が減少して分離係数が向上し、また水の透過量は変化しなかった。
　なお、実施例に用いたＢＴＥＳＭは、有機成分とシリコンを含む無機成分の２成分が化学結合した状態の物質であり、有機成分とシリコンを含む無機成分の２成分が化学結合した他の有機無機ハイブリッドシリカでも同様の効果が期待できる。
　本発明のセラミック分離膜構造体の製造方法は、セルの内壁面にゼオライト分離膜が成膜されたセラミック分離膜構造体の補修に用いることができる。本発明のセラミック分離膜構造体は、混合ガス、混合液体の分離に用いることができる。
１：分離膜構造体、１ｓ：シール部、２，２ａ，２ｂ：端面、３：隔壁、４：セル、４ｓ：内壁面、６：外周面、９：多孔質体、３０：基材、３３：分離膜、３４：ゼオライト補修部、３６：種結晶、３７：欠陥部、５１：ハウジング、５２：流体入口、５３，５８：流体出口、５４：シール材、６２：広口ロート、６３：コック、６４：スラリー、６５：耐圧容器、６７：ゾル、６８：乾燥器、７１：原料タンク、７２：供給ポンプ、７３：供給液導入口、７４：供給液排出口、７５：ＳＵＳ製モジュール、７６：原料側空間、７７：透過側空間、７９：流量計、８０：透過蒸気回収口、８１：液体Ｎ２トラップ、８２：圧力制御器、８３：真空ポンプ。

Claims (8)

  1. 　セラミック多孔質体と、
    　前記セラミック多孔質体上に配置したゼオライト分離膜と、
    　有機無機ハイブリッドシリカの補修材によって形成された補修部と、
    　を含むセラミック分離膜構造体。
  2. 　前記有機無機ハイブリッドシリカが、シランカップリング剤、又はアルコキシシランを加水分解・脱水縮合させたものである請求項１に記載のセラミック分離膜構造体。
  3. 　前記有機無機ハイブリッドシリカが、構造式（Ｃ２Ｈ５Ｏ）３ＳｉＣｎＨ２ｎＳｉ（Ｃ２Ｈ５Ｏ）３（ｎ≧１）のビストリエトキシシリル化合物を加水分解・縮合させたものである請求項１または２に記載のセラミック分離膜構造体。
  4. 　前記ゼオライト分離膜のゼオライトがＤＤＲ型である請求項１～３のいずれか１項に記載のセラミック分離膜構造体。
  5. 　前記セラミック多孔質体の形状がモノリス形状である請求項１～４のいずれか１項に記載のセラミック分離膜構造体。
  6. 　請求項１～５のいずれか１項に記載のセラミック分離膜構造体の製造方法であって、
    　前記補修部を形成する補修工程において、
    　前記補修材をゼオライト分離膜の表面に沿って流下させる流下法にて付着させるセラミック分離膜構造体の製造方法。
  7. 　前記補修工程において、前記補修材を付着させた後に、ゼオライト膜の鋳型焼成温度よりも低温の熱処理温度で熱処理する請求項６に記載のセラミック分離膜構造体の製造方法。
  8. 　前記熱処理温度が３５０℃以下である請求項７に記載のセラミック分離膜構造体の製造方法。
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