WO2014137121A1 - 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치 - Google Patents

반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치 Download PDF

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manual valve
semiconductor
display manufacturing
valve
manufacturing equipment
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김태화
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박광호
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    • F16K31/163—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid with a mechanism, other than pulling-or pushing-rod, between fluid motor and closure member the fluid acting on a piston
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    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor

Definitions

  • the present invention relates to a control and monitoring device for manual valves for semiconductor and display manufacturing facilities.
  • Manual valves for semiconductor and display manufacturing equipment refer to valves which are applied to semiconductor and / or display manufacturing equipment and are opened and closed by manual operation by an operator or the like.
  • Such a manual valve for semiconductor and display manufacturing equipment may be installed in a gas pipe through which various gases applied to the semiconductor and / or display manufacturing equipment flow, thereby opening and closing the gas pipe.
  • the present invention provides a manual valve for semiconductor and display manufacturing equipment so that gas leakage can be prevented when a gas leak occurs in a gas pipe to which a manual valve for semiconductor and display manufacturing equipment is operated without stopping operation of the semiconductor and display manufacturing equipment. It is an object of the present invention to provide a control and monitoring device for a manual valve for semiconductor and display manufacturing equipment that can be quickly and safely operated.
  • a control and monitoring apparatus for a manual valve for a semiconductor and display manufacturing facility includes a gas leak detection sensor for detecting a leak of gas flowing along a gas pipe in which a manual valve for a semiconductor and display manufacturing facility is installed; A control member configured to generate a close command signal to the manual valve for the semiconductor and display manufacturing facility when the gas leak detection sensor detects a gas leak in the gas pipe; And a manual valve operation unit operable to operate a head of the manual valve for the semiconductor and display manufacturing equipment so that the manual valve for the semiconductor and the display manufacturing equipment is closed when the closing command signal generated by the control member is transmitted. and,
  • the manual valve operation unit includes a valve head bracket member coupled to a head of the manual valve for semiconductor and display manufacturing equipment so as to operate the head of the manual valve for semiconductor and display manufacturing equipment, and for driving the valve head bracket member.
  • the power transmission member includes a pinion gear connected to the rotation shaft of the valve head bracket member, and a rack gear meshing with the pinion gear,
  • the drive member is characterized in that it comprises a piston-type air cylinder that allows the piston to push or pull the rack gear by air pressure supplied from the outside.
  • a control and monitoring apparatus for a manual valve for a semiconductor and display manufacturing facility includes a gas leak detection sensor for detecting a leak of gas flowing along a gas pipe in which a manual valve for a semiconductor and display manufacturing facility is installed; A control member configured to generate a close command signal to the manual valve for the semiconductor and display manufacturing facility when the gas leak detection sensor detects a gas leak in the gas pipe; And a manual valve operation unit operable to operate a head of the manual valve for the semiconductor and display manufacturing equipment so that the manual valve for the semiconductor and the display manufacturing equipment is closed when the closing command signal generated by the control member is transmitted.
  • the manual valve operation unit includes a valve head bracket member coupled to a head of the manual valve for semiconductor and display manufacturing equipment so as to operate the head of the manual valve for semiconductor and display manufacturing equipment, and for driving the valve head bracket member.
  • the power transmission member includes a power transmission shaft connected to the rotation shaft of the valve head bracket member,
  • the drive member is characterized in that it comprises a rotary type air cylinder to rotate the power transmission shaft by the pneumatic pressure supplied from the outside.
  • a semiconductor and display manufacturing facility may not need to be shut down. While continuing to operate, if a gas leak occurs in a gas line with manual valves for semiconductor and display manufacturing equipment, the gas leak can be automatically shut off quickly, reducing the risk of secondary accidents, It is safe because it does not require access, and it is possible to selectively control only the corresponding valve in which the gas leak is generated, and to control remotely when a gas leak occurs, the leakage blocking work time can be shortened.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram showing a control and monitoring device of a manual valve for semiconductor and display manufacturing equipment according to a first embodiment of the present invention.
  • Figure 2 is a perspective view showing an exploded view of a manual valve operation unit applied to the control and monitoring device for a manual valve for semiconductor and display manufacturing equipment according to a first embodiment of the present invention.
  • Figure 3 is a perspective view showing a combined state of the manual valve operation unit applied to the control and monitoring device of the manual valve for semiconductor and display manufacturing equipment according to the first embodiment of the present invention.
  • Figure 4 is a perspective view showing an exploded view of a manual valve operation unit applied to the control and monitoring device of the manual valve for semiconductor and display manufacturing equipment according to a second embodiment of the present invention.
  • Figure 5 is a perspective view showing a combined state of the manual valve operation unit applied to the control and monitoring device of the manual valve for semiconductor and display manufacturing equipment according to a second embodiment of the present invention.
  • Figure 6 is a perspective view showing an exploded view of a manual valve operation unit applied to the control and monitoring device for a manual valve for semiconductor and display manufacturing equipment according to a third embodiment of the present invention.
  • Figure 7 is a perspective view showing a combined state of the manual valve operation unit applied to the control and monitoring device of the manual valve for semiconductor and display manufacturing equipment according to a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram illustrating a control and monitoring apparatus for a manual valve for a semiconductor and display manufacturing facility according to a first embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a manual valve for a semiconductor and display manufacturing facility according to a first embodiment of the present invention
  • 3 is a perspective view showing an exploded view of a manual valve operation unit applied to a control and monitoring device of FIG. 3
  • FIG. 3 is a manual applied to a control and monitoring device for a manual valve for semiconductor and display manufacturing equipment according to a first embodiment of the present invention.
  • the apparatus 100 for controlling and monitoring a manual valve for semiconductor and display manufacturing equipment includes a gas leak detection sensor 110, a control member 120, and a manual valve. It is applied to the semiconductor and display manufacturing equipment which includes the operation unit 130, and can manufacture a display, such as a semiconductor and / or an LCD.
  • the manual valve 20 for the semiconductor and display manufacturing equipment typically has a valve body connected to the gas pipe 10, and a head 25 that opens and closes the valve body while being rotated by being connected to an upper portion of the valve body.
  • the gas leak detection sensor 110 detects a leak of gas flowing along the gas pipe 10 in which the manual valve 20 for semiconductor and display manufacturing equipment is installed.
  • the control member 120 generates a close command signal for the manual valve 20 for the semiconductor and display manufacturing equipment when the gas leak from the gas pipe 10 is detected by the gas leak detection sensor 110. .
  • the manual valve operation unit 130 is a manual valve for the semiconductor and display manufacturing equipment so that the manual valve 20 for the semiconductor and display manufacturing equipment is closed when the closing command signal generated by the control member 120 is transmitted.
  • the head 25 of 20 can be operated.
  • the control member 120 opens command for the manual valve 20 for the semiconductor and display manufacturing equipment. It is a matter of course that the signal can be generated, and thus the manual valve operation unit 130 can open the manual valve 20 for the semiconductor and display manufacturing equipment according to the open command signal.
  • the manual valve operation unit 130 includes a valve head bracket member 135, a drive member, and a power transmission member 140.
  • the valve head bracket member 135 operates the head 25 of the manual valve 20 for semiconductor and display manufacturing equipment, here the head 25 of the manual valve 20 for semiconductor and display manufacturing equipment so as to be rotatable. To be combined.
  • the valve head bracket member 135 of the head 25 of the manual valve 20 for semiconductor and display manufacturing equipment may be coupled to the head 25 of the manual valve 20 for semiconductor and display manufacturing equipment.
  • the head 25 of the manual valve 20 for semiconductor and display manufacturing equipment may be inserted into the hole having a hole formed in a shape corresponding to the shape.
  • the driving member is to provide a driving force for driving the valve head bracket member 135.
  • the power transmission member 140 transmits the driving force provided from the driving member to the valve head bracket member 135.
  • the manual valve operation unit 130 may further include a unit operation detection sensor 150 and a unit operation indication lamp.
  • the unit operation indicator lamp may be installed around the unit operation detection sensor 150.
  • the unit operation detection sensor 150 is a hall sensor or the like, and detects whether the valve head bracket member 135 has closed the head 25 of the manual valve 20 for semiconductor and display manufacturing equipment. It is.
  • the unit operation indicator lamp detects whether the valve head bracket member 135 has closed the head 25 of the manual valve 20 for semiconductor and display manufacturing equipment by the unit operation detecting sensor 150. In accordance with this, the preset signal is displayed.
  • the unit operation indicator lamp when the valve head bracket member 135 is detected to close the head 25 of the manual valve 20 for the semiconductor and display manufacturing equipment, the unit operation indicator lamp is illuminated in red, and the valve head When the bracket member 135 is detected to open the head 25 of the manual valve 20 for the semiconductor and display manufacturing equipment, the unit operation indicator lamp may be configured to emit green light.
  • the power transmission member 140 includes a pinion gear 141 connected to the rotation shaft of the valve head bracket member 135 and a rack gear 142 meshing with the pinion gear 141.
  • the drive member includes a piston type air cylinder 145 which allows the piston to push or pull the rack gear 142 by air pressure supplied from the outside.
  • Reference numeral 131 denotes a fixing bracket for fixing the rack gear 142 and the like.
  • control and monitoring device 100 of the manual valve for the semiconductor and display manufacturing equipment will be described.
  • the control member 120 operates the manual valve.
  • the unit 130 transmits a close command signal for the manual valve 20 for the semiconductor and display manufacturing equipment.
  • the manual valve operation unit 130 is operated to close the manual valve 20 for the semiconductor and display manufacturing equipment to block the gas leak in the gas pipe 10.
  • the unit operation detection sensor 150 detects the operation of the manual valve operation unit 130 as described above, so that the unit operation indication lamp causes the manual valve operation unit 130 to actuate the valve head bracket.
  • the member 135 is rotated to indicate that the head 25 of the manual valve 20 for semiconductor and display manufacturing equipment is closed.
  • the semiconductor and display manufacturing equipment can be continuously operated without the need to shut down the semiconductor and display manufacturing equipment in order to replace the manual valve 20 for the semiconductor and display manufacturing equipment with the automatic valve. If a gas leak occurs in the gas pipe 10 to which the manual valve 20 for semiconductor and display manufacturing equipment is applied, such a gas leak can be automatically and automatically shut off to reduce the risk of secondary accidents, It is safe because it does not require access, and the selective control is possible only for the valve in which gas leakage occurs, and remote control in case of gas leakage can shorten the leakage blocking work time.
  • the transmitted torque is large and accurate control may be possible.
  • Figure 4 is a perspective view showing an exploded view of the manual valve operation unit applied to the control and monitoring apparatus of the manual valve for semiconductor and display manufacturing equipment according to a second embodiment of the present invention
  • Figure 5 is a second embodiment of the present invention
  • the power transmission member includes a power transmission shaft connected to the rotation shaft of the valve head bracket member 235, and the drive member transmits the power by pneumatically supplied from the outside. And a rotational type air cylinder 245 for allowing the shaft to rotate.
  • the power transmission shaft may be a rotation shaft of the rotation type air cylinder 245, in which case the rotation shaft of the rotation type air cylinder 245 is directly connected to the valve head bracket member 235.
  • the manual valve operation unit 230 can be manufactured compactly, so that the application The space constraints on can be reduced.
  • Reference numeral 232 is a cylinder fixing member connected to the fixing bracket 231 to fix the rotation type air cylinder 245.
  • FIG. 6 is a perspective view showing an exploded view of a manual valve operating unit applied to a control and monitoring apparatus for a manual valve for semiconductor and display manufacturing equipment according to a third embodiment of the present invention
  • FIG. 7 is a third embodiment of the present invention.
  • the power transmission member includes a power transmission shaft connected to the rotation shaft of the valve head bracket member 335, and the drive member is driven by the electric energy supplied from the outside. And an electric motor 345 to rotate the transmission shaft.
  • the power transmission shaft may be a rotation shaft of the electric motor 345, in which case the rotation shaft of the electric motor 345 is directly connected to the valve head bracket member 335.
  • the electric motor 345 which is a driving member, and the valve head bracket member 335 can be directly connected, the manual valve operation unit 330 can be manufactured compactly, so that the space for the application Constraints can be reduced, constraints on rotation can be reduced, and a separate tube for pneumatic supply or the like is not required.
  • Reference numeral 332 is a cylinder fixing member which is connected to the fixing bracket 331 to fix the electric motor 345, and reference numeral 351 is connected to the unit operation detection sensor 350 of the manual valve operation unit 330.
  • a sensor bar that detects activity.
  • the operation of the manual valve for semiconductor and display manufacturing equipment can be made quickly and safely so that such gas leakage can be blocked, the industrial availability is high.

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Abstract

반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치가 개시된다. 개시되는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치를 구성하는 구동 부재는 외부에서 공급되는 공압(air pressure)에 의해 랙 기어를 피스톤이 밀거나 당겨줄 수 있도록 하는 피스톤 타입 에어 실린더를 포함하는 것을 특징으로 한다. 개시되는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 의하면, 가스 누출이 신속하게 자동적으로 차단되도록 하여 2차 사고의 위험을 줄일 수 있고, 작업자의 누출 현장에의 접근이 요하지 아니하여 안전한 장점이 있다.

Description

반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치
본 고안은 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 관한 것이다.
반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브는 반도체 및/또는 디스플레이 제조 설비에 적용되어, 작업자 등에 의한 수동에 의해 개폐 조작이 이루어지는 밸브를 말한다.
이러한 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브는 반도체 및/또는 디스플레이 제조 설비에 적용되는 각종 가스가 유동되는 가스관에 설치되어, 상기 가스관을 개폐시킬 수 있다.
그러나, 종래의 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브에 의하면, 그 매뉴얼 밸브가 적용된 가스관에서 가스 누출이 발생된 경우, 해당 매뉴얼 밸브에 작업자가 직접 접근하여 조작해 주어야 하는데, 반도체 및 디스플레이 제조 설비에서는 수많은 가스관이 집적된 형태로 설치되고 있어서, 해당 매뉴얼 밸브에 작업자가 접근하기가 어려워 가스 누출에 대응한 신속한 조치가 불가능하고, 그에 따라 2차 사고의 위험도 증가되는 원인이 되고 있으며, 작업자가 직접 접근하여야 하는 관계로 작업자가 상해를 입을 수 있는 위험이 있었다.
또한, 이미 매뉴얼 밸브가 적용된 상태인 반도체 및 디스플레이 제조 설비에서 해당 매뉴얼 밸브를 자동 밸브로 교체하고자 하는 경우, 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 가동을 중지시켜야 하므로, 반도체 및 디스플레이 제조에 막대한 지장이 초래될 수 있었다.
본 고안은 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 가동이 중지없이 지속되면서도, 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 적용된 가스관에서 가스 누출이 발생된 경우 그러한 가스 누출이 차단될 수 있도록 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 조작이 신속하고 안전하게 이루어질 수 있는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 고안의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 설치된 가스관을 따라 유동되는 가스의 누출을 감지하는 가스 누출 감지 센서; 상기 가스 누출 감지 센서에서 상기 가스관에서의 가스 누출이 감지되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브에 대한 닫힘 명령 신호를 발생시키는 제어 부재; 및 상기 제어 부재에서 발생된 상기 닫힘 명령 신호가 전달되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 닫히도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드를 조작할 수 있는 매뉴얼 밸브 조작 유닛;을 포함하고,
상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛은 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드를 조작 가능하도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드에 결합되는 밸브 헤드 브래킷 부재와, 상기 밸브 헤드 브래킷 부재를 구동시키기 위한 구동력을 제공하는 구동 부재와, 상기 구동 부재에서 제공되는 구동력을 상기 밸브 헤드 브래킷 부재로 전달하는 동력 전달 부재를 포함하며,
상기 동력 전달 부재는 상기 밸브 헤드 브래킷 부재의 회전축에 연결되는 피니언 기어와, 상기 피니언 기어와 맞물리는 랙 기어를 포함하고,
상기 구동 부재는 외부에서 공급되는 공압(air pressure)에 의해 상기 랙 기어를 피스톤이 밀거나 당겨줄 수 있도록 하는 피스톤 타입 에어 실린더를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 고안의 다른 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 설치된 가스관을 따라 유동되는 가스의 누출을 감지하는 가스 누출 감지 센서; 상기 가스 누출 감지 센서에서 상기 가스관에서의 가스 누출이 감지되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브에 대한 닫힘 명령 신호를 발생시키는 제어 부재; 및 상기 제어 부재에서 발생된 상기 닫힘 명령 신호가 전달되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 닫히도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드를 조작할 수 있는 매뉴얼 밸브 조작 유닛;을 포함하고,
상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛은 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드를 조작 가능하도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드에 결합되는 밸브 헤드 브래킷 부재와, 상기 밸브 헤드 브래킷 부재를 구동시키기 위한 구동력을 제공하는 구동 부재와, 상기 구동 부재에서 제공되는 구동력을 상기 밸브 헤드 브래킷 부재로 전달하는 동력 전달 부재를 포함하며,
상기 동력 전달 부재는 상기 밸브 헤드 브래킷 부재의 회전축에 연결되는 동력 전달축을 포함하고,
상기 구동 부재는 외부에서 공급되는 공압에 의해 상기 동력 전달축을 회전시킬 수 있도록 하는 회전 타입 에어 실린더를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 고안의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 의하면, 매뉴얼 밸브를 자동 밸브로 교체하기 위하여 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 가동을 중지시킬 필요없이 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 가동을 지속하면서도, 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 적용된 가스관에서 가스 누출이 발생된 경우 그러한 가스 누출이 신속하게 자동적으로 차단되도록 하여 2차 사고의 위험을 줄일 수 있고, 작업자의 누출 현장에의 접근이 요하지 아니하여 안전하며, 가스 누출이 발생된 해당 밸브에 대하여만 선택적인 제어가 가능하고, 가스 누출 발생 시 원격에서 제어가 가능하므로 누출 차단 작업 시간이 단축될 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 고안의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치를 보이는 개념도.
도 2는 본 고안의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 분해된 모습을 보이는 사시도.
도 3은 본 고안의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 결합된 모습을 보이는 사시도.
도 4는 본 고안의 제 2 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 분해된 모습을 보이는 사시도.
도 5는 본 고안의 제 2 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 결합된 모습을 보이는 사시도.
도 6은 본 고안의 제 3 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 분해된 모습을 보이는 사시도.
도 7은 본 고안의 제 3 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 결합된 모습을 보이는 사시도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 고안의 실시예들에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 대하여 설명한다.
도 1은 본 고안의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치를 보이는 개념도이고, 도 2는 본 고안의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 분해된 모습을 보이는 사시도이고, 도 3은 본 고안의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 결합된 모습을 보이는 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치(100)는 가스 누출 감지 센서(110)와, 제어 부재(120)와, 매뉴얼 밸브 조작 유닛(130)을 포함하고, 반도체 및/또는 엘씨디 등의 디스플레이 제조를 할 수 있는 반도체 및 디스플레이 제조 설비에 적용되는 것이다.
상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)는 통상 가스관(10)에 연결된 밸브 몸체와, 상기 밸브 몸체의 상부에 연결되어 회전되면서 상기 밸브 몸체를 개폐시킬 수 있는 헤드(25)를 가진다.
상기 가스 누출 감지 센서(110)는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)가 설치된 가스관(10)을 따라 유동되는 가스의 누출을 감지하는 것이다.
상기 제어 부재(120)는 상기 가스 누출 감지 센서(110)에서 상기 가스관(10)에서의 가스 누출이 감지되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)에 대한 닫힘 명령 신호를 발생시키는 것이다.
상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛(130)은 상기 제어 부재(120)에서 발생된 상기 닫힘 명령 신호가 전달되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)가 닫히도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)를 조작할 수 있는 것이다.
여기서, 상기 가스 누출 감지 센서(110)에서 상기 가스관(10)에서의 가스 누출이 차단된 것으로 감지되면, 상기 제어 부재(120)는 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)에 대한 열림 명령 신호를 발생시킬 수 있고, 그에 따라 상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛(130)이 상기 열림 명령 신호에 따라 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)를 열 수 있음은 물론이다.
상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛(130)은 밸브 헤드 브래킷 부재(135)와, 구동 부재와, 동력 전달 부재(140)를 포함한다.
상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)는 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)를 조작, 여기서는 회전 가능하도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)에 결합되는 것이다.
상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)는 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)에 결합될 수 있도록, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)의 형상에 대응되는 형상으로 이루어진 홀을 하부에 가져, 상기 홀에 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)가 삽입될 수 있다.
상기 구동 부재는 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)를 구동시키기 위한 구동력을 제공하는 것이다.
상기 동력 전달 부재(140)는 상기 구동 부재에서 제공되는 구동력을 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)로 전달하는 것이다.
또한, 상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛(130)은 유닛 작동 감지 센서(150)와, 유닛 작동 표시 램프를 더 포함할 수 있다. 상기 유닛 작동 표시 램프는 상기 유닛 작동 감지 센서(150) 주변에 설치될 수 있다.
상기 유닛 작동 감지 센서(150)는 홀 센서(hall sensor) 등으로서, 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)가 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)를 닫았는지 여부를 감지하는 것이다.
상기 유닛 작동 표시 램프는 상기 유닛 작동 감지 센서(150)에서 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)가 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)를 닫았는지 여부를 감지한 감지값에 따라, 미리 설정된 신호를 표시하는 것이다.
예를 들어, 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)가 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)를 닫은 것으로 감지되면, 상기 유닛 작동 표시 램프는 적색으로 발광되고, 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)가 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)를 연 것으로 감지되면, 상기 유닛 작동 표시 램프는 녹색으로 발광되도록 구성될 수 있다.
본 실시예에서는, 상기 동력 전달 부재(140)는 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)의 회전축에 연결되는 피니언 기어(141)와, 상기 피니언 기어(141)와 맞물리는 랙 기어(142)를 포함하고, 상기 구동 부재는 외부에서 공급되는 공압(air pressure)에 의해 상기 랙 기어(142)를 피스톤이 밀거나 당겨줄 수 있도록 하는 피스톤 타입 에어 실린더(145)를 포함한다.
도면 번호 131은 상기 랙 기어(142) 등을 고정시키기 위한 고정 브래킷이다.
이하에서는 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치(100)의 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 상기 가스 누출 감지 센서(110)에서 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)가 적용된 상기 가스관(10)에서 가스 누출이 있는 것으로 감지되면, 상기 제어 부재(120)는 상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛(130)에 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)에 대한 닫힘 명령 신호를 전달한다.
그러면, 상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛(130)이 작동되어, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)를 닫아 상기 가스관(10)에서의 가스 누출을 차단한다.
상세히, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)에 대한 닫힘 명령 신호가 전달되면, 상기 피스톤 타입 에어 실린더(145)에 외부에서 공압이 공급되고, 그에 따라 상기 피스톤 타입 에어 실린더(145)의 피스톤이 실린더 몸체로부터 연장되면서 상기 랙 기어(142)를 밀어 준다. 그러면, 상기 랙 기어(142)와 맞물린 상기 피니언 기어(141)가 회전되고, 그에 따라 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)가 회전되면서 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)를 닫아주게 된다.
이 때, 상기 유닛 작동 감지 센서(150)가 상기와 같은 상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛(130)의 작동을 감지하고, 그에 따라 상기 유닛 작동 표시 램프가 상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛(130)이 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)가 회전되면서 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)를 닫았음을 표시한다.
상기와 같이 구성됨으로써, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)를 자동 밸브로 교체하기 위하여 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 가동을 중지시킬 필요없이 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 가동을 지속하면서도, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)가 적용된 가스관(10)에서 가스 누출이 발생된 경우 그러한 가스 누출이 신속하게 자동적으로 차단되도록 하여 2차 사고의 위험을 줄일 수 있고, 작업자의 누출 현장에의 접근이 요하지 아니하여 안전하며, 가스 누출이 발생된 해당 밸브에 대하여만 선택적인 제어가 가능하고, 가스 누출 발생 시 원격에서 제어가 가능하므로 누출 차단 작업 시간이 단축될 수 있다.
또한, 본 실시예에서는, 상기 동력 전달 부재(140)로, 상기 랙 기어(142)와 상기 피니언 기어(141)가 적용됨에 따라, 전달되는 토크가 커서 정확한 제어가 가능할 수 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 고안의 다른 실시예들에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 고안의 제 1 실시예에 기재된 설명과 중복되는 설명은 그에 갈음하고 여기서는 생략하기로 한다.
도 4는 본 고안의 제 2 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 분해된 모습을 보이는 사시도이고, 도 5는 본 고안의 제 2 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 결합된 모습을 보이는 사시도이다.
도 4 및 도 5를 함께 참조하면, 본 실시예에서는, 동력 전달 부재가 밸브 헤드 브래킷 부재(235)의 회전축에 연결되는 동력 전달축을 포함하고, 구동 부재는 외부에서 공급되는 공압에 의해 상기 동력 전달축을 회전시킬 수 있도록 하는 회전 타입 에어 실린더(245)를 포함한다.
상기 동력 전달축은 상기 회전 타입 에어 실린더(245)의 회전축일 수 있고, 이 경우 상기 회전 타입 에어 실린더(245)의 회전축이 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(235)에 직접 연결된다.
상기와 같이 구성되면, 구동 부재인 상기 회전 타입 에어 실린더(245)와 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(235)가 직접 연결될 수 있으므로, 매뉴얼 밸브 조작 유닛(230)이 컴팩트하게 제조될 수 있으므로, 그 적용에 대한 공간 제약이 감소될 수 있다.
도면 번호 232는 고정 브래킷(231)에 연결되어, 상기 회전 타입 에어 실린더(245)를 고정하는 실린더 고정 부재이다.
도 6은 본 고안의 제 3 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 분해된 모습을 보이는 사시도이고, 도 7은 본 고안의 제 3 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 결합된 모습을 보이는 사시도이다.
도 6 및 도 7을 함께 참조하면, 본 실시예에서는, 동력 전달 부재가 밸브 헤드 브래킷 부재(335)의 회전축에 연결되는 동력 전달축을 포함하고, 구동 부재는 외부에서 공급되는 전기 에너지에 의해 상기 동력 전달축을 회전시킬 수 있도록 하는 전기 모터(345)를 포함한다.
상기 동력 전달축은 상기 전기 모터(345)의 회전축일 수 있고, 이 경우 상기 전기 모터(345)의 회전축이 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(335)에 직접 연결된다.
상기와 같이 구성되면, 구동 부재인 상기 전기 모터(345)와 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(335)가 직접 연결될 수 있으므로, 매뉴얼 밸브 조작 유닛(330)이 컴팩트하게 제조될 수 있으므로, 그 적용에 대한 공간 제약이 감소될 수 있고, 회전에 대한 제약이 감소될 수 있으며, 공압 공급을 위한 별도의 관 등이 요구되지 아니한다.
도면 번호 332는 고정 브래킷(331)에 연결되어, 상기 전기 모터(345)를 고정하는 실린더 고정 부재이고, 도면 번호 351은 유닛 작동 감지 센서(350)와 연동하여 상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛(330)의 작동을 감지하는 센서 바아이다.
상기에서 본 고안은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 고안의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 고안의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 의하면, 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 가동이 중지없이 지속되면서도, 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 적용된 가스관에서 가스 누출이 발생된 경우 그러한 가스 누출이 차단될 수 있도록 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 조작이 신속하고 안전하게 이루어질 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.

Claims (2)

  1. 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 설치된 가스관을 따라 유동되는 가스의 누출을 감지하는 가스 누출 감지 센서;
    상기 가스 누출 감지 센서에서 상기 가스관에서의 가스 누출이 감지되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브에 대한 닫힘 명령 신호를 발생시키는 제어 부재; 및
    상기 제어 부재에서 발생된 상기 닫힘 명령 신호가 전달되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 닫히도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드를 조작할 수 있는 매뉴얼 밸브 조작 유닛;을 포함하고,
    상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛은
    상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드를 조작 가능하도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드에 결합되는 밸브 헤드 브래킷 부재와,
    상기 밸브 헤드 브래킷 부재를 구동시키기 위한 구동력을 제공하는 구동 부재와,
    상기 구동 부재에서 제공되는 구동력을 상기 밸브 헤드 브래킷 부재로 전달하는 동력 전달 부재를 포함하며,
    상기 동력 전달 부재는
    상기 밸브 헤드 브래킷 부재의 회전축에 연결되는 피니언 기어와,
    상기 피니언 기어와 맞물리는 랙 기어를 포함하고,
    상기 구동 부재는
    외부에서 공급되는 공압(air pressure)에 의해 상기 랙 기어를 피스톤이 밀거나 당겨줄 수 있도록 하는 피스톤 타입 에어 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치.
  2. 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 설치된 가스관을 따라 유동되는 가스의 누출을 감지하는 가스 누출 감지 센서;
    상기 가스 누출 감지 센서에서 상기 가스관에서의 가스 누출이 감지되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브에 대한 닫힘 명령 신호를 발생시키는 제어 부재; 및
    상기 제어 부재에서 발생된 상기 닫힘 명령 신호가 전달되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 닫히도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드를 조작할 수 있는 매뉴얼 밸브 조작 유닛;을 포함하고,
    상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛은
    상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드를 조작 가능하도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드에 결합되는 밸브 헤드 브래킷 부재와,
    상기 밸브 헤드 브래킷 부재를 구동시키기 위한 구동력을 제공하는 구동 부재와,
    상기 구동 부재에서 제공되는 구동력을 상기 밸브 헤드 브래킷 부재로 전달하는 동력 전달 부재를 포함하며,
    상기 동력 전달 부재는
    상기 밸브 헤드 브래킷 부재의 회전축에 연결되는 동력 전달축을 포함하고,
    상기 구동 부재는
    외부에서 공급되는 공압에 의해 상기 동력 전달축을 회전시킬 수 있도록 하는 회전 타입 에어 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치.
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