KR200469867Y1 - 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치 - Google Patents

반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치 Download PDF

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Abstract

반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치가 개시된다.
개시되는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 설치된 가스관을 따라 유동되는 가스의 누출을 감지하는 가스 누출 감지 센서; 상기 가스 누출 감지 센서에서 상기 가스관에서의 가스 누출이 감지되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브에 대한 닫힘 명령 신호를 발생시키는 제어 부재; 및 상기 제어 부재에서 발생된 상기 닫힘 명령 신호가 전달되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 닫히도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드를 조작할 수 있는 매뉴얼 밸브 조작 유닛;을 포함하고, 상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛은 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드를 조작 가능하도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드에 결합되는 밸브 헤드 브래킷 부재와, 상기 밸브 헤드 브래킷 부재를 구동시키기 위한 구동력을 제공하는 구동 부재와, 상기 구동 부재에서 제공되는 구동력을 상기 밸브 헤드 브래킷 부재로 전달하는 동력 전달 부재를 포함하며, 상기 동력 전달 부재는 상기 밸브 헤드 브래킷 부재의 회전축에 연결되는 피니언 기어와, 상기 피니언 기어와 맞물리는 랙 기어를 포함하고, 상기 구동 부재는 외부에서 공급되는 공압(air pressure)에 의해 상기 랙 기어를 피스톤이 밀거나 당겨줄 수 있도록 하는 피스톤 타입 에어 실린더를 포함하는 것을 특징으로 한다.
개시되는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 의하면, 매뉴얼 밸브를 자동 밸브로 교체하기 위하여 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 가동을 중지시킬 필요없이 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 가동을 지속하면서도, 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 적용된 가스관에서 가스 누출이 발생된 경우 그러한 가스 누출이 신속하게 자동적으로 차단되도록 하여 2차 사고의 위험을 줄일 수 있고, 작업자의 누출 현장에의 접근이 요하지 아니하여 안전하며, 가스 누출이 발생된 해당 밸브에 대하여만 선택적인 제어가 가능하고, 가스 누출 발생 시 원격에서 제어가 가능하므로 누출 차단 작업 시간이 단축될 수 있는 장점이 있다.

Description

반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치{Controlling and monitoring apparatus of manual valve for semiconductor and display manufacturing facilities}
본 고안은 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 관한 것이다.
반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브는 반도체 및/또는 디스플레이 제조 설비에 적용되어, 작업자 등에 의한 수동에 의해 개폐 조작이 이루어지는 밸브를 말한다.
이러한 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브는 반도체 및/또는 디스플레이 제조 설비에 적용되는 각종 가스가 유동되는 가스관에 설치되어, 상기 가스관을 개폐시킬 수 있다.
그러나, 종래의 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브에 의하면, 그 매뉴얼 밸브가 적용된 가스관에서 가스 누출이 발생된 경우, 해당 매뉴얼 밸브에 작업자가 직접 접근하여 조작해 주어야 하는데, 반도체 및 디스플레이 제조 설비에서는 수많은 가스관이 집적된 형태로 설치되고 있어서, 해당 매뉴얼 밸브에 작업자가 접근하기가 어려워 가스 누출에 대응한 신속한 조치가 불가능하고, 그에 따라 2차 사고의 위험도 증가되는 원인이 되고 있으며, 작업자가 직접 접근하여야 하는 관계로 작업자가 상해를 입을 수 있는 위험이 있었다.
또한, 이미 매뉴얼 밸브가 적용된 상태인 반도체 및 디스플레이 제조 설비에서 해당 매뉴얼 밸브를 자동 밸브로 교체하고자 하는 경우, 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 가동을 중지시켜야 하므로, 반도체 및 디스플레이 제조에 막대한 지장이 초래될 수 있었다.
본 고안은 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 가동이 중지없이 지속되면서도, 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 적용된 가스관에서 가스 누출이 발생된 경우 그러한 가스 누출이 차단될 수 있도록 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 조작이 신속하고 안전하게 이루어질 수 있는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 고안의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 설치된 가스관을 따라 유동되는 가스의 누출을 감지하는 가스 누출 감지 센서; 상기 가스 누출 감지 센서에서 상기 가스관에서의 가스 누출이 감지되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브에 대한 닫힘 명령 신호를 발생시키는 제어 부재; 및 상기 제어 부재에서 발생된 상기 닫힘 명령 신호가 전달되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 닫히도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드를 조작할 수 있는 매뉴얼 밸브 조작 유닛;을 포함하고,
상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛은 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드를 조작 가능하도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드에 결합되는 밸브 헤드 브래킷 부재와, 상기 밸브 헤드 브래킷 부재를 구동시키기 위한 구동력을 제공하는 구동 부재와, 상기 구동 부재에서 제공되는 구동력을 상기 밸브 헤드 브래킷 부재로 전달하는 동력 전달 부재를 포함하며,
상기 동력 전달 부재는 상기 밸브 헤드 브래킷 부재의 회전축에 연결되는 피니언 기어와, 상기 피니언 기어와 맞물리는 랙 기어를 포함하고,
상기 구동 부재는 외부에서 공급되는 공압(air pressure)에 의해 상기 랙 기어를 피스톤이 밀거나 당겨줄 수 있도록 하는 피스톤 타입 에어 실린더를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 고안의 다른 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 설치된 가스관을 따라 유동되는 가스의 누출을 감지하는 가스 누출 감지 센서; 상기 가스 누출 감지 센서에서 상기 가스관에서의 가스 누출이 감지되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브에 대한 닫힘 명령 신호를 발생시키는 제어 부재; 및 상기 제어 부재에서 발생된 상기 닫힘 명령 신호가 전달되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 닫히도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드를 조작할 수 있는 매뉴얼 밸브 조작 유닛;을 포함하고,
상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛은 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드를 조작 가능하도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드에 결합되는 밸브 헤드 브래킷 부재와, 상기 밸브 헤드 브래킷 부재를 구동시키기 위한 구동력을 제공하는 구동 부재와, 상기 구동 부재에서 제공되는 구동력을 상기 밸브 헤드 브래킷 부재로 전달하는 동력 전달 부재를 포함하며,
상기 동력 전달 부재는 상기 밸브 헤드 브래킷 부재의 회전축에 연결되는 동력 전달축을 포함하고,
상기 구동 부재는 외부에서 공급되는 공압에 의해 상기 동력 전달축을 회전시킬 수 있도록 하는 회전 타입 에어 실린더를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 고안의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 의하면, 매뉴얼 밸브를 자동 밸브로 교체하기 위하여 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 가동을 중지시킬 필요없이 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 가동을 지속하면서도, 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 적용된 가스관에서 가스 누출이 발생된 경우 그러한 가스 누출이 신속하게 자동적으로 차단되도록 하여 2차 사고의 위험을 줄일 수 있고, 작업자의 누출 현장에의 접근이 요하지 아니하여 안전하며, 가스 누출이 발생된 해당 밸브에 대하여만 선택적인 제어가 가능하고, 가스 누출 발생 시 원격에서 제어가 가능하므로 누출 차단 작업 시간이 단축될 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 고안의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치를 보이는 개념도.
도 2는 본 고안의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 분해된 모습을 보이는 사시도.
도 3은 본 고안의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 결합된 모습을 보이는 사시도.
도 4는 본 고안의 제 2 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 분해된 모습을 보이는 사시도.
도 5는 본 고안의 제 2 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 결합된 모습을 보이는 사시도.
도 6은 본 고안의 제 3 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 분해된 모습을 보이는 사시도.
도 7은 본 고안의 제 3 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 결합된 모습을 보이는 사시도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 고안의 실시예들에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 대하여 설명한다.
도 1은 본 고안의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치를 보이는 개념도이고, 도 2는 본 고안의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 분해된 모습을 보이는 사시도이고, 도 3은 본 고안의 제 1 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 결합된 모습을 보이는 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치(100)는 가스 누출 감지 센서(110)와, 제어 부재(120)와, 매뉴얼 밸브 조작 유닛(130)을 포함하고, 반도체 및/또는 엘씨디 등의 디스플레이 제조를 할 수 있는 반도체 및 디스플레이 제조 설비에 적용되는 것이다.
상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)는 통상 가스관(10)에 연결된 밸브 몸체와, 상기 밸브 몸체의 상부에 연결되어 회전되면서 상기 밸브 몸체를 개폐시킬 수 있는 헤드(25)를 가진다.
상기 가스 누출 감지 센서(110)는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)가 설치된 가스관(10)을 따라 유동되는 가스의 누출을 감지하는 것이다.
상기 제어 부재(120)는 상기 가스 누출 감지 센서(110)에서 상기 가스관(10)에서의 가스 누출이 감지되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)에 대한 닫힘 명령 신호를 발생시키는 것이다.
상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛(130)은 상기 제어 부재(120)에서 발생된 상기 닫힘 명령 신호가 전달되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)가 닫히도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)를 조작할 수 있는 것이다.
여기서, 상기 가스 누출 감지 센서(110)에서 상기 가스관(10)에서의 가스 누출이 차단된 것으로 감지되면, 상기 제어 부재(120)는 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)에 대한 열림 명령 신호를 발생시킬 수 있고, 그에 따라 상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛(130)이 상기 열림 명령 신호에 따라 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)를 열 수 있음은 물론이다.
상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛(130)은 밸브 헤드 브래킷 부재(135)와, 구동 부재와, 동력 전달 부재(140)를 포함한다.
상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)는 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)를 조작, 여기서는 회전 가능하도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)에 결합되는 것이다.
상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)는 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)에 결합될 수 있도록, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)의 형상에 대응되는 형상으로 이루어진 홀을 하부에 가져, 상기 홀에 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)가 삽입될 수 있다.
상기 구동 부재는 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)를 구동시키기 위한 구동력을 제공하는 것이다.
상기 동력 전달 부재(140)는 상기 구동 부재에서 제공되는 구동력을 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)로 전달하는 것이다.
또한, 상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛(130)은 유닛 작동 감지 센서(150)와, 유닛 작동 표시 램프를 더 포함할 수 있다. 상기 유닛 작동 표시 램프는 상기 유닛 작동 감지 센서(150) 주변에 설치될 수 있다.
상기 유닛 작동 감지 센서(150)는 홀 센서(hall sensor) 등으로서, 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)가 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)를 닫았는지 여부를 감지하는 것이다.
상기 유닛 작동 표시 램프는 상기 유닛 작동 감지 센서(150)에서 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)가 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)를 닫았는지 여부를 감지한 감지값에 따라, 미리 설정된 신호를 표시하는 것이다.
예를 들어, 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)가 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)를 닫은 것으로 감지되면, 상기 유닛 작동 표시 램프는 적색으로 발광되고, 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)가 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)를 연 것으로 감지되면, 상기 유닛 작동 표시 램프는 녹색으로 발광되도록 구성될 수 있다.
본 실시예에서는, 상기 동력 전달 부재(140)는 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)의 회전축에 연결되는 피니언 기어(141)와, 상기 피니언 기어(141)와 맞물리는 랙 기어(142)를 포함하고, 상기 구동 부재는 외부에서 공급되는 공압(air pressure)에 의해 상기 랙 기어(142)를 피스톤이 밀거나 당겨줄 수 있도록 하는 피스톤 타입 에어 실린더(145)를 포함한다.
도면 번호 131은 상기 랙 기어(142) 등을 고정시키기 위한 고정 브래킷이다.
이하에서는 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치(100)의 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 상기 가스 누출 감지 센서(110)에서 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)가 적용된 상기 가스관(10)에서 가스 누출이 있는 것으로 감지되면, 상기 제어 부재(120)는 상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛(130)에 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)에 대한 닫힘 명령 신호를 전달한다.
그러면, 상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛(130)이 작동되어, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)를 닫아 상기 가스관(10)에서의 가스 누출을 차단한다.
상세히, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)에 대한 닫힘 명령 신호가 전달되면, 상기 피스톤 타입 에어 실린더(145)에 외부에서 공압이 공급되고, 그에 따라 상기 피스톤 타입 에어 실린더(145)의 피스톤이 실린더 몸체로부터 연장되면서 상기 랙 기어(142)를 밀어 준다. 그러면, 상기 랙 기어(142)와 맞물린 상기 피니언 기어(141)가 회전되고, 그에 따라 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)가 회전되면서 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)를 닫아주게 된다.
이 때, 상기 유닛 작동 감지 센서(150)가 상기와 같은 상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛(130)의 작동을 감지하고, 그에 따라 상기 유닛 작동 표시 램프가 상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛(130)이 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(135)가 회전되면서 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)의 헤드(25)를 닫았음을 표시한다.
상기와 같이 구성됨으로써, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)를 자동 밸브로 교체하기 위하여 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 가동을 중지시킬 필요없이 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 가동을 지속하면서도, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브(20)가 적용된 가스관(10)에서 가스 누출이 발생된 경우 그러한 가스 누출이 신속하게 자동적으로 차단되도록 하여 2차 사고의 위험을 줄일 수 있고, 작업자의 누출 현장에의 접근이 요하지 아니하여 안전하며, 가스 누출이 발생된 해당 밸브에 대하여만 선택적인 제어가 가능하고, 가스 누출 발생 시 원격에서 제어가 가능하므로 누출 차단 작업 시간이 단축될 수 있다.
또한, 본 실시예에서는, 상기 동력 전달 부재(140)로, 상기 랙 기어(142)와 상기 피니언 기어(141)가 적용됨에 따라, 전달되는 토크가 커서 정확한 제어가 가능할 수 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 고안의 다른 실시예들에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 고안의 제 1 실시예에 기재된 설명과 중복되는 설명은 그에 갈음하고 여기서는 생략하기로 한다.
도 4는 본 고안의 제 2 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 분해된 모습을 보이는 사시도이고, 도 5는 본 고안의 제 2 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 결합된 모습을 보이는 사시도이다.
도 4 및 도 5를 함께 참조하면, 본 실시예에서는, 동력 전달 부재가 밸브 헤드 브래킷 부재(235)의 회전축에 연결되는 동력 전달축을 포함하고, 구동 부재는 외부에서 공급되는 공압에 의해 상기 동력 전달축을 회전시킬 수 있도록 하는 회전 타입 에어 실린더(245)를 포함한다.
상기 동력 전달축은 상기 회전 타입 에어 실린더(245)의 회전축일 수 있고, 이 경우 상기 회전 타입 에어 실린더(245)의 회전축이 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(235)에 직접 연결된다.
상기와 같이 구성되면, 구동 부재인 상기 회전 타입 에어 실린더(245)와 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(235)가 직접 연결될 수 있으므로, 매뉴얼 밸브 조작 유닛(230)이 컴팩트하게 제조될 수 있으므로, 그 적용에 대한 공간 제약이 감소될 수 있다.
도면 번호 232는 고정 브래킷(231)에 연결되어, 상기 회전 타입 에어 실린더(245)를 고정하는 실린더 고정 부재이다.
도 6은 본 고안의 제 3 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 분해된 모습을 보이는 사시도이고, 도 7은 본 고안의 제 3 실시예에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 적용되는 매뉴얼 밸브 조작 유닛의 결합된 모습을 보이는 사시도이다.
도 6 및 도 7을 함께 참조하면, 본 실시예에서는, 동력 전달 부재가 밸브 헤드 브래킷 부재(335)의 회전축에 연결되는 동력 전달축을 포함하고, 구동 부재는 외부에서 공급되는 전기 에너지에 의해 상기 동력 전달축을 회전시킬 수 있도록 하는 전기 모터(345)를 포함한다.
상기 동력 전달축은 상기 전기 모터(345)의 회전축일 수 있고, 이 경우 상기 전기 모터(345)의 회전축이 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(335)에 직접 연결된다.
상기와 같이 구성되면, 구동 부재인 상기 전기 모터(345)와 상기 밸브 헤드 브래킷 부재(335)가 직접 연결될 수 있으므로, 매뉴얼 밸브 조작 유닛(330)이 컴팩트하게 제조될 수 있으므로, 그 적용에 대한 공간 제약이 감소될 수 있고, 회전에 대한 제약이 감소될 수 있으며, 공압 공급을 위한 별도의 관 등이 요구되지 아니한다.
도면 번호 332는 고정 브래킷(331)에 연결되어, 상기 전기 모터(345)를 고정하는 실린더 고정 부재이고, 도면 번호 351은 유닛 작동 감지 센서(350)와 연동하여 상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛(330)의 작동을 감지하는 센서 바아이다.
상기에서 본 고안은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 고안의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 고안의 일 측면에 따른 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치에 의하면, 반도체 및 디스플레이 제조 설비의 가동이 중지없이 지속되면서도, 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 적용된 가스관에서 가스 누출이 발생된 경우 그러한 가스 누출이 차단될 수 있도록 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 조작이 신속하고 안전하게 이루어질 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
110 : 가스 누출 감지 센서 120 : 제어 부재
130 : 매뉴얼 밸브 조작 유닛

Claims (6)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 설치된 가스관을 따라 유동되는 가스의 누출을 감지하는 가스 누출 감지 센서;
    상기 가스 누출 감지 센서에서 상기 가스관에서의 가스 누출이 감지되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브에 대한 닫힘 명령 신호를 발생시키는 제어 부재; 및
    상기 제어 부재에서 발생된 상기 닫힘 명령 신호가 전달되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 닫히도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드를 조작할 수 있는 매뉴얼 밸브 조작 유닛;을 포함하고,
    상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛은
    상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드를 조작 가능하도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드에 결합되는 밸브 헤드 브래킷 부재와,
    상기 밸브 헤드 브래킷 부재를 구동시키기 위한 구동력을 제공하는 구동 부재와,
    상기 구동 부재에서 제공되는 구동력을 상기 밸브 헤드 브래킷 부재로 전달하는 동력 전달 부재를 포함하며,
    상기 동력 전달 부재는
    상기 밸브 헤드 브래킷 부재의 회전축에 연결되는 피니언 기어와,
    상기 피니언 기어와 맞물리는 랙 기어를 포함하고,
    상기 구동 부재는
    외부에서 공급되는 공압(air pressure)에 의해 상기 랙 기어를 피스톤이 밀거나 당겨줄 수 있도록 하는 피스톤 타입 에어 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치.
  5. 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 설치된 가스관을 따라 유동되는 가스의 누출을 감지하는 가스 누출 감지 센서;
    상기 가스 누출 감지 센서에서 상기 가스관에서의 가스 누출이 감지되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브에 대한 닫힘 명령 신호를 발생시키는 제어 부재; 및
    상기 제어 부재에서 발생된 상기 닫힘 명령 신호가 전달되면, 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브가 닫히도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드를 조작할 수 있는 매뉴얼 밸브 조작 유닛;을 포함하고,
    상기 매뉴얼 밸브 조작 유닛은
    상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드를 조작 가능하도록 상기 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 헤드에 결합되는 밸브 헤드 브래킷 부재와,
    상기 밸브 헤드 브래킷 부재를 구동시키기 위한 구동력을 제공하는 구동 부재와,
    상기 구동 부재에서 제공되는 구동력을 상기 밸브 헤드 브래킷 부재로 전달하는 동력 전달 부재를 포함하며,
    상기 동력 전달 부재는
    상기 밸브 헤드 브래킷 부재의 회전축에 연결되는 동력 전달축을 포함하고,
    상기 구동 부재는
    외부에서 공급되는 공압에 의해 상기 동력 전달축을 회전시킬 수 있도록 하는 회전 타입 에어 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 및 디스플레이 제조 설비용 매뉴얼 밸브의 제어 및 모니터링 장치.
  6. 삭제
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