WO2014084469A1

WO2014084469A1 - 마이크로 드릴비트 세척장치

Info

Publication number: WO2014084469A1
Application number: PCT/KR2013/005619
Authority: WO
Inventors: 국연호; 박상록; 이상민; 채승수; 김영형
Original assignee: 주식회사 인스턴
Priority date: 2012-11-30
Filing date: 2013-06-26
Publication date: 2014-06-05
Also published as: CN104918718A; KR101285629B1

Abstract

본 발명은 드릴비트에 묻어 있는 이물질을 보다 깨끗하게 제거할 수 있을 뿐만 아니라 자동으로 비트의 세척이 이루어질 수 있게 한 마이크로 드릴비트 세척장치에 관한 것으로서, 상세하게는 컨베이어와 트랜스퍼 및 피더를 이용하여 드릴비트를 자동으로 공급 및 배출할 수 있고, 고압으로 세척수를 분사하여 이물질 세척 효율을 높였으며, 고압 건조 공기를 공급하여 세척수를 건조시켜 수분에 의해 드릴 비트가 손상되는 것을 방지할 수 있게 한 마이크로 드릴비트 세척장치에 관한 것이다.

Description

마이크로 드릴비트 세척장치

본 발명은 마이크로 드릴비트 세척장치에 관한 것으로서, 상세하게는 드릴비트에 묻어 있는 이물질을 보다 깨끗하게 제거할 수 있을 뿐만 아니라 자동으로 비트의 세척이 이루어질 수 있게 한 마이크로 드릴비트 세척장치에 관한 것이다.

보다 상세하게 본 발명은 이송 컨베이어와 트랜스퍼 및 피더를 이용하여 드릴비트를 자동으로 공급 및 배출할 수 있고, 고압으로 세척수를 분사하여 이물질 세척 효율을 높였으며, 고압 건조 공기를 공급하여 세척수를 건조시켜 수분에 의해 드릴 비트가 손상되는 것을 방지할 수 있게 한 마이크로 드릴비트 세척장치에 관한 것이다.

전기, 전자 제품이 소형화되면서 이를 구성하는 다양한 회로들 역시 박판화, 소형화되고 있다. 이러한 대부분의 전자제품에 사용되는 인쇄회로기판(printed circuit board)은 마이크로 칩을 비롯하여 다양한 회로 부품이 설치되어 있으며, 이러한 전자부품을 설치하기 위해 많은 양의 구멍이 형성되어 있다.

이러한 회로기판에 형성된 구멍은 아주 작은 지름을 갖는 것으로, 극소구경의 마이크로 드릴비트에 의해 천공된다. 이러한 마이크로 드릴비트는 통상적으로 자루부, 드릴날부로 이루어지고, 링이 설치되어 있으며, 내마모성 및 강도가 우수한 텅스텐 카바이드 등과 같은 재질로 만들어진다.

그러나 마이크로 드릴비트는 약 0.1 ~ 3mm 정도의 작은 직경을 갖는 것으로 고강도, 내마모성을 갖는 재질로 만든다 하더라도 조금만 마모되게 되면 오차의 범위를 벗어나 그 수명을 다하게 되므로 드릴비트의 교체가 빈번하게 이루어질 수밖에 없다. 따라서 수시로 드릴비트를 교체하게 되고, 마모 등에 의해 교체된 마이크로 드릴비트를 대부분 폐기시키도록 하여 고가의 소재로 이루어지는 마이크로 드릴비트의 낭비와 부품의 비용이 증가 되었고, 이러한 비용의 증가는 PCB기판의 공급 가격을 증가시키는 요인으로 작용하여 가격 경쟁력 향상에 큰 걸림돌이 되어왔다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 상기한 PCB기판의 홀 가공에 의해 마모된 마이크로 드릴비트를 연마장치를 통해 재연마하여 재사용할 수 있도록 하는 장치 및 방법이 사용되고 있다.

이렇게 재가공된 드릴비트 또는 한번 사용한 드릴비트에는 이물질이 묻어 있고, 이물질이 묻어 있는 드릴비트를 사용할 경우 천공이 잘 이루어지지 않을 뿐만 아니라 천공의 정밀도가 떨어지는 문제가 있다. 이에 따라 드릴비트에 묻어 있는 이물질을 제거하기 위한 다양한 방법이 사용되고 있다.

드릴비트 세척 방법 중 하나로 초음파 진동자를 이용한 방법과, 나노 파우더를 이용한 방법이 있다. 그러나 이러한 방법으로는 드릴비트의 세척이 충분히 이루어지지 못하는 문제가 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 개발된 것으로써, 드릴비트에 묻어 있는 이물질을 보다 깨끗하게 제거할 수 있을 뿐만 아니라 자동으로 드릴비트의 세척이 이루어질 수 있게 한 마이크로 드릴비트 세척장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

보다 상세하게는 이송 컨베이어와 트랜스퍼 및 피더를 이용하여 드릴비트를 자동으로 공급 및 배출할 수 있고, 고압으로 세척수를 분사하여 이물질 세척 효율을 높였으며, 고압 건조 공기를 공급하여 세척수를 건조시켜 수분에 의해 드릴비트가 손상되는 것을 방지할 수 있게 한 마이크로 드릴비트 세척장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

이러한 본 발명의 목적은 드릴비트가 보관된 트레이를 이송하는 두 개의 이송 컨베이어와 상기 이송 컨베이어를 통해 공급되는 트레이를 이동시켜 하기 트랜스퍼에서 드릴비트를 순차적으로 잡을 수 있도록 이동시키는 피더와 상기 피더에 의해 이송된 트레이로부터 순차적으로 드릴비트를 잡아 하기 비트캡쳐로 이동시키거나 비트캡쳐로부터 분리된 드릴비트를 이송 컨베이어 측으로 이동시키는 두 개의 트랜스퍼와 상기 트랜스퍼의 하단에 설치되고 복수의 드릴비트가 탈착 가능하게 끼워지는 복수의 비트캡쳐와 상기 비트캡쳐에 끼워져 고정된 드릴비트에 고압의 세척수를 분사하여 드릴비트를 세척하는 세척기 및 상기 이송 컨베이어, 상기 피더, 상기 트랜스퍼, 상기 비트캡쳐 및 상기 세척기의 구동을 제어하는 제어수단을 포함하는 마이크로 드릴비트 세척장치를 제공하는 것을 특징으로 한다.

이러한 본 발명에 따른 비트 세척장치를 구성하는 이송 컨베이어는 구동수단의 구동에 의해 회전하는 벨트와 상기 벨트의 저면을 지지하여 벨트가 아래로 쳐지는 것을 방지하는 가이드를 포함하여 구성할 수 있다.

또한, 상기 피더는 구동수단의 구동에 의해 회전하는 풀리에 의해 회동하는 벨트와 가이드레일에 의해 수평으로 이동가능하게 지지되고, 상기 벨트의 회전에 의해 수평으로 이동하는 승강실린더와 수평으로 이동하는 상기 승강실린더의 로드에 설치되어 승강하는 트레이거치대 및 상기 트레이거치대에 거치된 상태로 이동하는 트레이를 감지하여 상기 구동수단의 구동을 제어하여 트레이가 일정한 간격으로 이동되게 하는 센서로 이루어질 수 있다.

상기 트랜스퍼는 기둥에 의해 지지되는 가이드레일과 구동수단의 구동에 의해 상기 가이드레일을 따라 수평으로 이동하는 수평이동부재와 상기 수평이동부재의 상부에 설치된 수평실린더 및 상기 수평실린더의 로드 단부에 설치되고 유압에 의해 작동하여 상기 비트캡쳐를 승강시키는 수직실린더를 포함한다.

또한, 상기 비트캡쳐는 상기 트랜스퍼에 의해 수평 및 수직으로 이동하는 상부블록과 상기 상부블록에 고정된 가이드축에 의해 수직으로 승강 가능하게 설치된 캡쳐블록과 일측 단부는 상기 상부블록에 고정되고 타측 단부는 상기 캡쳐블록에 형성된 각각의 비트캡쳐홀에 끼워진 다수의 푸싱핀(43)과 상기 캡쳐블록(42)이 상기 상부블록에 대하여 탄성적으로 지지되게 하는 스프링을 포함하여 구성될 수 있다.

또한, 세척기는 드릴비트에 고압의 세척수를 분사하는 세척수분사노즐과 세척수로 세척된 드릴비트의 수분을 건조하기 위해 고압의 건조 공기를 분사하는 공기분사노즐로 이루어질 수 있다.

본 발명은 드릴비트에 고압의 물을 분사하여 세척한 후 고압의 건조공기를 공급하여 건조시킴으로써 더욱 깨끗하게 드릴비트를 세척할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 컨베이어, 피더 및 트랜스퍼로 이루어진 자동 공급/배출 장치를 구비하여 드릴비트의 공급 및 배출이 자동으로 이루어질 수 있게 함으로써 미세한 드릴비트를 보다 쉽고 빠르게 세척할 수 있는 효과가 있다.

1: 컨베이어

11: 벨트 12: 가이드

2: 피더

20: 구동수단 21: 벨트 21v: 풀리

22: 승강실린더 22r: 가이드레일

23: 트레이거치대

24: 센서

3: 트랜스퍼 3m: 구동수단 3v: 벨트

30: 기둥 31: 가이드레일 32: 수평이동부재

33: 수평실린더 34: 수직실린더

4: 비트캡쳐

41: 상부블록 42: 캡쳐블록 43: 푸싱핀

44: 가이드축 45: 스프링

5: 세척기

51: 세척수분사노즐 52: 공기분사노즐

53: 배수관

6: 제어수단

도 1은 본 발명에 따른 마이크로드릴 비트의 세척장치의 일예의 사시도

도 2는 도 1에 도시한 마이크로드릴 비트의 세척장치를 다른 방향에서 도시한 사시도

도 3은 도 1에 도시한 마이크로드릴 비트의 세척장치를 또 다른 방향에서 도시한 사시도

도 4는 본 발명에 따른 마이크로드릴 비트의 세척장치의 평면도

도 5는 본 발명에 따른 마이크로드릴 비트의 세척장치의 정면도

도 6은 본 발명에 따른 마이크로드릴 비트의 세척장치를 구성하는 컨베이어의 사시도

도 7은 본 발명에 따른 마이크로드릴 비트의 세척장치를 구성하는 피더의 사시도

도 8은 본 발명에 따른 마이크로드릴 비트의 세척장치를 구성하는 트랜스퍼의 사시도

도 9는 본 발명에 따른 마이크로드릴 비트의 세척장치를 구성하는 비트캡쳐의 사시도

도 10은 본 발명에 따른 마이크로드릴 비트의 세척장치를 구성하는 세석기의 사시도

도 11은 도 10에 도시한 세척기에서 커버를 분해한 상태에서 도시한 사사도

이하, 본 발명에 따른 마이크로드릴 비트 세척장치를 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.

본 발명은 마이크로 드릴비트를 보다 쉽고 빠를 뿐만 아니라 깨끗하게 세척할 수 있게 하기 위한 것으로서, 도 1 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 드릴비트(100)가 저장된 트레이(200)를 이송하는 두 개의 컨베이어(1)와, 이송된 트레이로부터 드릴비트(100)를 꺼내어 공급하는 피더(2)와, 피더에 의해 공급되는 드릴비트를 잡는 비트캡쳐(4)와, 드릴비트를 세척하는 세척기(5)를 포함하여 구성된다.

상기 컨베이어(1)는 도 6에 도시한 바와 같이, 구동수단(10)의 구동에 의해 회전하는 벨트(11)와; 상기 벨트의 저면을 지지하여 벨트가 아래로 쳐지는 것을 방지하는 가이드(12)를 포함하고 있다. 이렇게 벨트(11)의 하부에 가이드(12)를 설치하여 벨트가 쳐지는 것을 방지함으로써 다수의 드릴비트(100)가 저장된 트레이가 수평으로 이동할 수 있게 하였다.

또한 도시한 바와 같이 컨베이어(1)는 2개가 한 쌍을 이루고 있어 일측으로는 세척할 드릴비트가 담긴 트레이(200)가 이송되고 다른 쪽으로는 세척도어 배출되는 드릴비트가 담긴 트레이가 이송된다.

상기 컨베이어(1)를 통해 공급되는 트레이에는 전술한 바와 같이 많은 양의 드릴비트가 담겨져 있고 이 드릴비트가 한 번에 세척 과정을 수행할 수 없다. 즉, 순차적으로 드릴비트가 세척기(5)에 공급되어 순차적으로 세척이 이루어지는 것이다. 이렇게 순차적으로 드릴비트(100)를 세척기(5)에 공급할 수 있게 하기 위해 상기한 피더(2)를 구비하고 있다.

상기 피더(2)는 트레이를 상기 트랜스퍼의 하단에 설치된 비트캡쳐(4)가 드릴비트를 잡기 용이한 위치로 점차적으로 이동시키기 위한 수단으로 도 7에 도시한 바와 같이, 구동수단(20)의 구동에 의해 회전하는 풀리(21v)에 의해 회동하는 벨트(21); 가이드레일(22r)에 의해 수평으로 이동가능하게 지지되고, 상기 벨트의 회전에 의해 수평으로 이동하는 승강실린더(22); 수평으로 이동하는 상기 승강실린더의 로드에 설치되어 승강하는 트레이거치대(23); 및 상기 트레이거치대에 거치된 상태로 이동하는 트레이를 감지하여 상기 구동수단의 구동을 제어하여 트레이가 일정한 간격으로 이동되게 하는 센서(24)를 포함하고 있다.

이렇게 구성된 피더(2)는 구동수단(20)의 구동에 의해 풀리(21v)를 회전시켜 벨트를 구동시키고 벨트(21)의 구동에 의해 트레이거치대(23)가 설정된 거리만큼씩 트랜스퍼(3)측으로 이동하게 된다.

즉, 트레이의 내부에 복수의 열로 세워진 드릴비트 중 첫 번째 열에 세워진 드릴비트를 비트캡쳐(4)에서 모두 잡아 이동시키면 다음 열이 트랜스퍼 아래로 이동하여 트랜스퍼(3) 하단의 비트캡쳐(4)가 집기 용이한 위치로 이동하는 것이다.

또한, 상기 컨베이어(1)는 벨트에 의해 트레이를 이동시킴으로 벨트 상에 트레이가 놓인 상태가 되면 트랜스퍼(3) 하단의 비트캡쳐(4)가 드릴비트(100)를 집을 때 벨트의 출렁거림에 의해 드릴비트와 집게의 정렬이 흐트러져 드릴비트의 날이 손상될 수 있으므로 트랜스퍼(3)가 드릴비트를 집어 올릴 때에는 트레이가 고정된 상태를 유지하는 것이 비람직하다. 이에 따라 상기 피더(2)에는 승강실린더(22)를 구비하여 트레이거치대(23)가 벨트로부터 띄워져 벨트로부터 이격된 상태가 되게 하였다.

즉, 컨베이어에 의해 이송된 트레이는 피더(2)의 트레이거치대(23)에 올린 상태가 되고, 이 상태에서 상기 승강실린더(22)를 작동시켜 트레이거치대(23)가 상승한 상태에서 구동수단(20)을 구동시켜 트레이거치대(23)를 수평 방향으로 이동시켜 트랜스퍼 사부의 비트캡쳐(4)와 드릴비트가 정렬되게 한다.

상기 피더(2)에 의해 공급된 드릴비트(100)를 세척기(5)로 이동시키는 수단으로 상기 트랜스퍼(3)를 구비하고 있다. 물론, 드릴비트를 잡는 수단은 상기한 바와 같이 비트캡쳐(4)이고 이 비트캡쳐(4)를 상기 트랜스퍼(3)가 세척기(5)측으로 이동시키는 것이다.

상기 트랜스퍼(3)는 기둥(30)에 의해 지지되는 가이드레일(31)과; 구동수단의 구동에 의해 상기 가이드레일을 따라 수평으로 이동하는 수평이동부재(32)와; 상기 수평이동부재의 상부에 설치된 수평실린더(33); 및 상기 수평실린더(33)의 로드 단부에 설치되고 유압에 의해 작동하여 상기 비트캡쳐(4)를 승강시키는 수직실린더(34)를 포함한다.

즉, 수평이동부재(32)가 가이드레일을 따라 수평으로 이동하여 비트캡쳐(4)가 컨베이어와 세척기 사이를 오가게 하고, 수직실린더(34)는 비트캡쳐(4)를 상하로 승강시킨다.

상기 수평실린더(33)는 서로 마주한 보고 설치된 두 개의 트랜스퍼(3)에 설치된 두 비트캡쳐(4)가 서로 마주치지 않도록 수평이로 이동시키는 수단이다.

상기 비트캡쳐(4)는 실제로 드립비트를 잡아 세척기(5)로 이동시키는 수단으로, 하나의 비트캡쳐(4)에 의해 다수의 드릴비트가 잡힐 수 있어 한 번에 많은 양의 드릴비트를 세척할 수 있다.

상기 비트캡쳐(4)는 상기 트랜스퍼에 의해 수평 및 수직으로 이동하는 상부블록(41)과 ; 상기 상부블록에 고정된 가이드축(44)에 의해 수직으로 승강 가능하게 설치된 캡쳐블록(42)과 ; 일측 단부는 상기 상부블록에 고정되고 타측 단부는 상기 캐쳐블록(42)에 형성된 각각의 비트캡쳐홀에 끼워진 다수의 푸싱핀(43)과 ; 상기 캡쳐블록(42)이 상기 상부블록(41)에 대하여 탄성적으로 지지되게 하는 스프링(45)을 포함하여 구성된다.

상기 상부블록(41)은 도 9에 도시한 바와 같이, 트랜스퍼(3)의 수직실린더(34) 로드에 고정되어 있고, 저면의 중앙에는 다수의 푸싱핀(43)이 설치되고, 양단에는 가이드축(44)이 설치되어 있다. 상기 가이드축(44)과 푸싱핀(43)은 캡쳐블록(42)을 관통하여 끼워져 있어, 상부블록(41)에 대하여 캡쳐블록(42)이 승강하여 둘 사이의 거리가 조절될 수 있다. 즉, 상기 가이드축(44)의 외부에 설치된 스프링(45)이 상부블록(41)에 대하여 캡쳐블록(42)이 승강될 수 있도록 탄성적으로 고정되어 있어 캡쳐블록(42)의 저면이 고정된 상태에서 상부블록(41)이 내려오면 푸싱핀(43)이 캡쳐블록(42)의 구멍에 끼워진 드릴비트를 밀어내게 되는 것이다. 즉, 드릴비트의 세척이 종료되어 배출용 트레이로 비트캡쳐(4)가 이동한 상태에서 수직실린더(34)가 작동하여 상부블록(41)이 아래로 이동하면 캡쳐블록(42)도 아래로 이동하여 그 저면이 트레이의 상면에 접한 상태가 되고, 이 상태에서 수직실린더의 로드가 더욱 신장하면 상부블록(41)이 더욱 하강하여 상부블록의 저면에 형성된 푸싱핀(43)이 캡쳐블록(42)의 구멍에 끼워진 드릴비트를 밀어내어 캡쳐블록(42)으로부터 분리되는 것이다.

이렇게 배출용 트레이에 세척된 드릴비트가 채워지면 배출용 컨베이어의 작동에 의해 트레이가 이동하여 세척장치로부터 배출되는 것이다.

상기 비트캡쳐(4)에 의해 잡힌 상태로 이동된 드릴비트를 세척하기 위한 수단으로 상기 세척기(5)가 구비되어 있다.

상기 세척기(5)는 도 11에 도시한 바와 같이, 드릴비트에 고압의 세척수를 분사하는 세척수분사노즐(51)과 ; 세척수로 세척된 드릴비트의 수분을 건조하기 위해 고압의 건조 공기를 분사하는 공기분사노즐(52)을 포함하고 있다.

상기 세척수분사노즐(51)을 통해 분사되는 세척수가 각각의 세척수분사노즐(51)에 동시에 공급될 수 있도록 세척수분사노즐(51)은 메니폴더(51m)를 통해 물공급관(51a)과 연결되어 있고, 상기 공기분사노즐(52)을 통해 분사되는 공기가 각각의 공기분사노즐(52)에 동시에 공급될 수 있도록 공기분사노즐(52)은 메니폴더(52m)를 통해 공기공급관(52a)에 연결되어 있다.

또한, 상기 세척기(5)의 하부에는 드릴비트를 세척한 후 배출되는 세척수를 배출하기 위한 배수관(53)이 더 설치되어 있어 배출되는 오수를 어느 한곳에 모아 버릴 수 있게 하였다.

또한, 상기 세척수분사노즐(51)을 통해 분사되는 세척수가 외부로 비산되는 것을 방지할 수 있도록 커버(50)가 설치되어 있고, 상기 커버(50)에는 드릴비트가 잡힌 비트캡쳐(4)가 통과할 수 있는 정도로 비트통과홀(50h)이 형성되어 있다.

Claims

드릴비트(100)가 보관된 트레이(200)를 이송하는 두 개의 이송 컨베이어(1);

상기 이송이송 컨베이어를 통해 공급되는 트레이를 이동시켜 하기 트랜스퍼에서 드릴비트를 순차적으로 잡을 수 있도록 이동시키는 피더(2);

상기 피더에 의해 이송된 트레이로부터 순차적으로 드릴비트를 잡아 하기 비트캡처로 이동시키거나 상기 비트캡처로부터 분리된 드릴비트를 이송 컨베이어 측으로 이동시키는 두 개의 트랜스퍼(3);

상기 트랜스퍼(3)의 하단에 설치되고 복수의 드릴비트가 끼워져 고정되는 복수의 비트캡쳐(4);

상기 비트캡처에 끼워져 고정된 드릴비트(100)에 고압의 세척수를 분사하여 드릴비트를 세척하는 세척기(5):

및 상기 이송 컨베이어(1), 상기 피더(2), 상기 트랜스퍼(3), 상기 비트캡처(4) 및 상기 세척기(5)의 구동을 제어하는 제어수단(6)을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 드릴비트 세척장치.
제1항에 있어서,

상기 이송 컨베이어(1)는

구동수단(10)의 구동에 의해 회전하는 벨트(11)와;

상기 벨트의 저면을 지지하여 벨트가 아래로 쳐지는 것을 방지하는 가이드(12)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 드릴비트 세척장치.
제1항에 있어서,

상기 피더(2)는

구동수단(20)의 구동에 의해 회전하는 풀리(21v)에 의해 회동하는 벨트(21);

가이드레일(22r)에 의해 수평으로 이동가능하게 지지되고, 상기 벨트의 회전에 의해 수평으로 이동하는 승강실린더(22);

수평으로 이동하는 상기 승강실린더의 로드에 설치되어 승강하는 트레이거치대(23); 및

상기 트레이거치대에 거치된 상태로 이동하는 트레이를 감지하여 상기 구동수단(20)의 구동을 제어하여 트레이가 일정한 간격으로 이동되게 하는 센서(24)로 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로 드릴비트 세척장치.
제1항에 있어서,

상기 트랜스퍼(3)는

기둥(30)에 의해 지지되는 가이드레일(31);

구동수단(3m)의 구동에 의해 상기 가이드레일을 따라 수평으로 이동하는 수평이동부재(32);

상기 수평이동부재(32)의 상부에 설치된 수평실린더(33); 및

상기 수평실린더(33)의 로드 단부에 설치되고 유압에 의해 작동하여 상기 비트캡쳐(4)를 승강시키는 수직실린더(34)를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 드릴비트 세척장치.
제1항에 있어서,

상기 비트캡쳐(4)는

상기 트랜스퍼에 의해 수평 및 수직으로 이동하는 상부블록(41)과 ;

상기 상부블록에 고정된 가이드축(44)에 의해 수직으로 승강 가능하게 설치된 캡쳐블록(42)과 ;

일측 단부는 상기 상부블록에 고정되고 타측 단부는 상기 캡쳐블록(42)에 형성된 각각의 비트캡쳐홀에 끼워진 다수의 푸싱핀(43)과 ;

상기 캡쳐블록(42)이 상기 상부블록(41)에 대하여 탄성적으로 지지되게 하는 스프링(45)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 드릴비트 세척장치.
제1항에 있어서,

상기 세척기(5)는

드릴비트에 고압의 세척수를 분사하는 세척수분사노즐(51)과 ;

세척수로 세척된 드릴비트의 수분을 건조하기 위해 고압의 건조 공기를 분사하는 공기분사노즐(52)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 드릴비트 세척장치.
제6항에 있어서,

상기 세척수분사노즐(51)과 공기분사노즐(52)은 각각 메니폴더(51m, 52m)로 연결되어 하나의 물공급관(51a)과 하나의 공기공급관(52a)을 통해 공급되는 물과 공기가 각각의 노즐에 공급되는 것을 특징으로 하는 마이크로 드릴비트 세척장치.