WO2014076836A1 - 部品実装機および実装検査機 - Google Patents

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WO2014076836A1
WO2014076836A1 PCT/JP2012/079938 JP2012079938W WO2014076836A1 WO 2014076836 A1 WO2014076836 A1 WO 2014076836A1 JP 2012079938 W JP2012079938 W JP 2012079938W WO 2014076836 A1 WO2014076836 A1 WO 2014076836A1
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WO
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component
suction
mounting
image
sharpness
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Application number
PCT/JP2012/079938
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English (en)
French (fr)
Inventor
勇介 山蔭
武洋 井土
朋治 吉野
Original Assignee
富士機械製造株式会社
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Publication date
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Priority to PCT/JP2012/079938 priority patent/WO2014076836A1/ja
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
    • H05K13/081—Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines
    • H05K13/0812—Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines the monitoring devices being integrated in the mounting machine, e.g. for monitoring components, leads, component placement

Definitions

  • the present invention relates to a component mounter and a mounting inspection machine including a component detection device that detects a state of a component from an image obtained by imaging the component.
  • the component recognition performance has been improved by improving the resolution of the component recognition camera.
  • the improvement of the resolution of the component recognition camera enables the component detection apparatus to recognize a scratch on a component that has not been recognized up to now and a foreign matter adhering to the component.
  • the component detection device can determine that component adsorption or mounting is abnormal due to minute scratches on the component or minute foreign matter adhering to the component even if component adsorption or mounting is performed normally. Sex has arisen.
  • the invention described in Patent Document 1 captures an image of the suction component with an image quality corresponding to the type of the suction component, out of the first image quality focused on the suction component or the second image quality out of focus from the suction component.
  • the suction state of the suction component is recognized based on the obtained image.
  • the first type component having no glossy part is imaged with the first image quality, and the component recognition is performed based on the high resolution image.
  • the second type component having a glossy portion that is easily reflected is imaged with the second image quality, and it is easy to recognize the component by suppressing reflection unevenness.
  • the imaging unit includes an optical path length changing member that changes the optical path length from the imaging position to the focal position, and a drive mechanism that drives the optical path length changing member. Then, the first image quality and the second image quality are switched by arranging or retracting the optical path length changing member on the optical path by the drive mechanism.
  • This invention is made in view of such a situation, and makes it a subject to provide the component mounting machine and mounting inspection machine which can change the resolution of an image easily according to the kind of components.
  • the component mounter according to claim 1 is a component mounter including a suction component detection device that detects a holding state of the suction component from an image captured by picking up the suction component sucked by the suction nozzle,
  • the suction component detection device includes a sharpness changing unit that changes the sharpness of the image according to the type of the suction component.
  • the component mounter according to claim 2 is the component mounter according to claim 1, wherein the component mounter moves to a predetermined position on the substrate positioned by sucking the component to each of the plurality of suction nozzles and mounting the suction component.
  • the component recognition camera of the suction component detection device includes a mounting head, and simultaneously images a plurality of suction components sucked by the plurality of suction nozzles, and the sharpness changing unit captures the plurality of suction components. The sharpness is changed for each suction component in the captured image.
  • the component mounter according to claim 3 is the component mounter according to claim 1 or 2, wherein the suction component detection device changes a brightness value of a pixel according to the type of the suction component.
  • the component mounter according to claim 4 is the component mounter according to claim 3, wherein the suction component detection device includes a strobe light source that illuminates the suction component, and the component recognition camera of the suction component detection device. Illuminates the suction component with the strobe light source and images the suction component.
  • the mounting inspection machine includes a mounting component detection device that images a mounting component mounted on a substrate and detects a mounting state of the mounting component from the captured image.
  • the mounted component detection apparatus includes a sharpness changing unit that changes the sharpness of the image according to the type of the mounted component.
  • the mounting inspection machine is the mounting inspection machine according to claim 5, wherein the component recognition camera of the mounting component detection apparatus images a plurality of mounting components simultaneously, and the sharpness changing unit The sharpness is changed for each mounted component in an image obtained by imaging a plurality of mounted components.
  • the mounting inspection machine according to claim 7 is the mounting inspection machine according to claim 5 or 6, wherein the mounting component detection device changes a luminance value of a pixel in accordance with a type of the mounting component.
  • the mounting inspection machine is the mounting inspection machine according to claim 7, wherein the mounting component detection device includes a strobe light source that illuminates the mounting component, and the component recognition camera of the mounting component detection device. Illuminates the mounting component with the strobe light source and images the mounting component.
  • the suction component detection device has the sharpness changing unit that changes the sharpness of the image according to the type of the suction component. Therefore, the suction component detection apparatus can control the sharpness of the image in accordance with the type of suction component, and can detect the holding state of the suction component with a necessary resolution for each suction component. Therefore, it is possible to easily reduce the influence of disturbance (for example, scratches on the suction component or foreign matter adhering to the suction component) by image processing, and the recognition accuracy of the suction component can be improved.
  • disturbance for example, scratches on the suction component or foreign matter adhering to the suction component
  • the component recognition camera of the suction component detection device simultaneously images the plurality of suction components sucked by the plurality of suction nozzles, and the sharpness changing unit includes the plurality of suction components.
  • the sharpness is changed for each suction component in the image obtained by capturing the component. Therefore, a plurality of sucking parts can be picked up at the same time by one image pickup, and the holding state of the plurality of sucking parts can be detected with an optimum resolution for each sucking part.
  • the suction component detection device has the luminance value changing unit that changes the luminance value of the pixel according to the type of the suction component. Therefore, when the captured image does not have the necessary brightness, the brightness of the image can be ensured by increasing the luminance value of the pixel. Therefore, it is possible to reduce the imaging time of the component recognition camera while ensuring the brightness of an image necessary for image processing, and it is possible to shorten the tact time required for mounting the components by reducing the imaging time.
  • the component recognition camera illuminates the suction component with the strobe light source and images the suction component. Therefore, when imaging a suction component using a strobe light source, the brightness of the image can be changed without changing the flash time. Further, since the flash time is not extended, the maximum light amount of the strobe light source can be suppressed, and the light source cost can be reduced. Since the flash time is not changed, it is possible to suppress an increase in the current of the strobe light source by extending the flash time.
  • the mounted component detection device has the same sharpness changing unit as the suction component detection device according to the first aspect. Therefore, an effect similar to the effect described above in claim 1 can be obtained.
  • the mounted component detection apparatus has the same sharpness changing unit as the suction component detection apparatus according to the second aspect. Therefore, the same effect as described above can be obtained in the second aspect.
  • the mounting component detection device has the same luminance value changing unit as the suction component detection device according to the third aspect. Therefore, the same effect as described above can be obtained in the third aspect.
  • the component recognition camera images the mounted component in the same manner as the component recognition camera described in claim 4. Therefore, the same effect as described above can be obtained in the fourth aspect.
  • FIG. 5B It is a perspective view which shows an example of a component mounting machine. It is a block diagram which shows an example of an adsorption
  • FIG. 1 is a perspective view showing an example of a component mounting machine.
  • the transport direction of the substrate PW1 is the horizontal direction (arrow X direction)
  • the direction orthogonal to the horizontal direction (arrow X direction) in the horizontal plane is the vertical direction (arrow Y direction).
  • the normal direction of a horizontal surface be a height direction (arrow Z direction).
  • the component mounter 1 includes a substrate transfer device 3, a component supply device 4, a component transfer device 5, a suction component detection device 6 m, and a control device 7, which are assembled on a base 8.
  • the base 8 is mounted so as to be movable in the vertical direction (arrow Y direction) with respect to the system base 2.
  • the substrate transfer device 3 carries the substrate PW1 into and out of the mounting position.
  • the board transfer device 3 is disposed in the vicinity of the center in the vertical direction (arrow Y direction) of the component mounting machine 1, and is a so-called double conveyor type in which the first transfer device 31 and the second transfer device 32 are arranged in parallel. It is a transport device.
  • the first transport device 31 includes a pair of guide rails arranged side by side in parallel with the lateral direction (arrow X direction) on the base 8, and a pair of guide rails guided by the pair of guide rails to place and transport the substrate PW1. And a conveyor belt.
  • the first transport device 31 is provided with a clamp device (not shown) that pushes up and positions the substrate PW1 transported to the mounting position from the base 8 side.
  • the second transfer device 32 has the same configuration as the first transfer device 31.
  • the component supply device 4 is provided at the front portion (left side of the drawing in the figure) of the component mounting machine 1 in the vertical direction (arrow Y direction), and a plurality of cassette-type feeders 41 can be attached to and detached from the feeder holder. It is attached.
  • the feeder 41 includes a feeder main body 42, a supply reel 43 that is rotatably and detachably mounted on the feeder main body 42, and a component supply unit 44 that is provided on the tip side of the feeder main body 42 (near the center of the component mounting machine 1). And.
  • the supply reel 43 is a medium for supplying the parts P1 to P8, and is wound with a carrier tape (not shown) holding a predetermined number of parts P1 to P8 at regular intervals. The leading end of the carrier tape is pulled out to the component supply unit 44, and different components P1 to P8 are supplied for each carrier tape.
  • the feeder 41 can supply relatively small components such as chip components, for example.
  • the component transfer device 5 sucks the components P1 to P8 from the component supply device 4 and mounts the components P1 to P8 on the substrate PW1 positioned at the mounting position.
  • the component transfer device 5 is a so-called XY robot type transfer device that can move in the horizontal direction (arrow X direction) and the vertical direction (arrow Y direction).
  • the component transfer device 5 includes a component supply device 4 in the vertical direction (arrow Y direction) of the component mounter 1 from the rear portion (right side in the right direction in the drawing) to the front portion (left direction in the drawing in the drawing). It is arranged over the top.
  • the component transfer device 5 includes a head drive mechanism 51 and a component mounting head 52.
  • the head driving mechanism 51 can drive the component mounting head 52 in the horizontal direction (arrow X direction) and the vertical direction (arrow Y direction).
  • the component mounting head 52 includes a plurality of suction nozzles 53 (eight in this embodiment, which are suction nozzles 531 to 538), and the components P1 to P8 are provided at the tip portions of the suction nozzles 531 to 538, respectively. And the components P1 to P8 are mounted on the substrate PW1 positioned at the mounting position. It should be noted that the substrate PW1 can be alternately carried in and out by the first carrier device 31 and the second carrier device 32, and the components P1 to P8 can be alternately mounted by the component transfer device 5.
  • the component mounting head 52 is a rotary head in which the suction nozzles 531 to 538 are rotatably held on a circumference concentric with the axis.
  • the part P1 sucked and held by the suction nozzle 531 is referred to as a suction part P1m.
  • the component mounting head 52 may be a line type component mounting head in which a plurality of suction nozzles 53 are arranged in a row.
  • the imaging reference portion 5M is provided on the outer peripheral side of the component mounting head 52.
  • the imaging reference unit 5M is a reflecting member that reflects light emitted from a strobe light source 6Sm, which will be described later, and a plurality of (for example, four) imaging reference units 5M are arranged in the horizontal direction (arrow X direction) and the vertical direction (arrow Y direction). ) At a predetermined interval.
  • the reflecting portion of the imaging reference portion 5M is provided on the outer peripheral side of the component mounting head 52 and above the height direction (arrow Z direction) as compared with the suction components P1m to P8m. Thereby, when the component mounting head 52 moves on the board PW1, it is prevented that other components already mounted and the imaging reference unit 5M interfere with each other.
  • a suction component detection device 6m is provided on the base 8 between the component supply device 4 and the substrate transport device 3.
  • the suction component detection device 6m simultaneously images the imaging reference unit 5M and the suction components P1m to P8m, and detects the holding states of the suction components P1m to P8m from the captured images.
  • the suction component detection device 6m can determine whether or not the suction components P1m to P8m are appropriate, detects the positions of the suction components P1m to P8m with respect to the imaging reference unit 5M, and performs positional deviation and angular deviation with respect to the suction nozzles 531 to 538. Can be detected.
  • the detection results of the positional deviation and the angular deviation can be used when correcting the mounting positions of the suction components P1m to P8m. Details of the suction component detection device 6m will be described later.
  • the component mounter 1 can be controlled by the control device 7 disposed on the upper front side of the cover.
  • the control device 7 has a CPU and a memory (not shown), and can drive the component mounter 1 by executing a component mounting program stored in the memory. That is, the control device 7 drives the substrate transport device 3, the component supply device 4, the component transfer device 5, and the suction component detection device 6m based on the component mounting program, and mounts the components P1 to P8 on the substrate PW1. .
  • the head drive mechanism 51 is driven, and the component mounting head 52 moves to the component supply device 4.
  • the suction nozzles 531 to 538 suck the parts P1 to P8, respectively.
  • the head driving mechanism 51 is driven and the component mounting head 52 moves.
  • the component mounting head 52 reaches the suction component detection device 6m, the imaging reference unit 5M and the suction components P1m to P8m are simultaneously imaged by the suction component detection device 6m. Thereafter, the component mounting head 52 moves onto the substrate PW1 positioned at a predetermined position.
  • the movement position of the component mounting head 52 is corrected based on the positional deviation and the angular deviation detected by the suction component detection device 6m. Then, the component mounting head 52 mounts the components P1 to P8 on the substrate PW1, and finally returns to the component supply device 4.
  • the component mounter 1 can mount a plurality of components on the board PW1 by repeating this series of operations. The time required for this series of operations is referred to as a tact time.
  • FIG. 2 is a configuration diagram schematically illustrating an example of the suction component detection device 6m.
  • the suction component detection device 6m includes a component recognition camera 6Cm, a strobe light source 6Sm, and an image processing device 6Pm.
  • the image processing device 6Pm can also be provided in the control device 7. Further, in the figure, only the suction nozzles 531 and 538 are described, and the description of the suction nozzles 532 to 537 is omitted.
  • Part recognition camera 6Cm The component recognition camera 6Cm is provided on the base 8 side (the arrow Z1 direction side shown in FIG. 2) of the component mounter 1 shown in FIG.
  • the component recognition camera 6Cm for example, a known CCD camera or CMOS camera can be used.
  • the component recognition camera 6Cm has an image sensor and a lens.
  • the imaging device is a charge coupled device (CCD)
  • the imaging device is a complementary metal oxide semiconductor (CMOS).
  • the imaging element of the component recognition camera 6Cm is a two-dimensional image sensor, and has a plurality of light receiving elements arranged in a planar shape. Thereby, the component recognition camera 6Cm has a two-dimensional field of view. Therefore, the component recognition camera 6Cm can capture the imaging reference unit 5M and the suction components P1m to P8m suctioned and held by the rotating suction nozzles 531 to 538, respectively, from the same field of view.
  • the suction parts P1m to P8m can be imaged simultaneously.
  • a linear sensor can be used as the image sensor.
  • the imaging reference unit 5M and the suction components P1m to P8m can be imaged one-dimensionally.
  • the strobe light source 6Sm illuminates the imaging reference unit 5M and the suction components P1m to P8m during imaging.
  • a known light emitting diode (LED) or xenon lamp can be used as the strobe light source 6Sm.
  • the wavelength of the light to irradiate is not limited.
  • an imaging start signal is output from the control device 7 to the component recognition camera 6Cm and the strobe light source 6Sm.
  • the strobe light source 6Sm illuminates the imaging reference unit 5M and the suction components P1m to P8m during the exposure time of the component recognition camera 6Cm.
  • the component recognition camera 6Cm simultaneously moves the imaging reference unit 5M and the suction components P1m to P8m while the component mounting head 52 moves in the vertical direction (arrow Y1 direction) without stopping on the suction component detection device 6m. Take an image.
  • FIG. 3 is a block diagram illustrating an example of a control block of the suction component detection device 6m.
  • FIG. 4 is a flowchart illustrating an example of a control flow of the suction component detection device 6m.
  • the image processing device 6Pm has a component type discriminating unit 61m that discriminates the types of the suction components P1m to P8m, a sharpness changing unit 62m that changes the sharpness of an image, A luminance value changing unit 63m that changes the luminance value and a holding state detecting unit 64m that detects the holding states of the suction components P1m to P8m are provided.
  • the image processing device 6Pm executes the image processing program according to the flowchart shown in FIG. First, the types of the suction parts P1m to P8m are determined (step S1). Then, the sharpness of the image is changed according to the types of the suction parts P1m to P8m (step S2), and the luminance value of the pixel is changed (step S3). In addition, after the process of step S3, the process of step S2 can also be performed and only the process of step S2 can be performed.
  • step S4 it is determined whether or not the image processing of all the suction parts P1m to P8m has been completed. If image processing has not been completed for all the suction components P1m to P8m (in the case of No), the process returns to step S1 and the above-described processing is repeated. When the image processing of all the suction parts P1m to P8m is completed (in the case of Yes), the process proceeds to step S5, and the holding state of the suction parts P1m to P8m is detected (step S5). And this routine is once complete
  • steps S1 and S4 are performed by the component type determination unit 61m, and the processing of step S2 is performed by the sharpness changing unit 62m. Further, the luminance value changing unit 63m performs the process of step S3, and the holding state detecting unit 64m performs the process of step S5.
  • each control block of the image processing device 6Pm will be described in detail.
  • FIG. 5A is a schematic diagram illustrating an example of an image in which eight suction components P1m to P8m are captured, and is an overall view of the image.
  • FIG. 5B is a partially enlarged view in which a target area A1m for image processing is enlarged.
  • the field of view of the component recognition camera 6Cm is indicated by a region VF1
  • the imaging reference unit 5M and the suction components P1m to P8m are simultaneously imaged in the same field of view (region VF1).
  • the suction nozzles 531 to 538 and the image processing target areas A1m to A8m are also shown by broken lines.
  • the component type discriminating unit 61m sets target areas A1m to A8m that are targets of image processing in the area VF1.
  • the target areas A1m to A8m are defined in advance according to the arrangement of the suction nozzles 531 to 538 and the size of the suction parts P1m to P8m.
  • the memory of the control device 7 stores the types of suction components P1m to P8m that are sucked and held by the suction nozzles 531 to 538 for each mounting sequence.
  • the component type determination unit 61m inquires of the control device 7 about a component that is attracted to the suction nozzle 531 during a predetermined mounting sequence. In this case, it is the component P1, and the component type determination unit 61m can acquire the type of the suction component (suction component P1m) in the target area A1m. The same applies to the target areas A2m to A8m, and the component type discriminating unit 61m can acquire the types of the suction components P2m to P8m from the control device 7.
  • the sharpness changing unit 62m changes the sharpness for each of the suction components P1m to P8m in an image in which a plurality (eight in this embodiment) of suction components P1m to P8m are captured. Note that the sharpness changing unit 62m can change the sharpness of the image in accordance with the type of the suction component P1m, for example, in an image obtained by imaging one suction component P1m.
  • FIG. 6A is a diagram showing an example of a change in brightness in the direction of arrow B1 shown in FIG. 5B, and shows a case where there is no disturbance.
  • FIG. 6B is a diagram showing an example of a change in brightness in the direction of arrow B1 shown in FIG. 5B, and is a diagram showing a case where a disturbance is added.
  • FIG. 6C is a diagram illustrating an example of a change in brightness in the direction of arrow B1 illustrated in FIG. 5B, and illustrates a case where the influence of disturbance is reduced.
  • the suction component P1m Since the suction component P1m is illuminated by the strobe light source 6Sm at the time of imaging, the brightness of the suction component P1m is higher than the portion other than the suction component P1m. Therefore, as shown in FIG. 6A, the position B11 where the brightness changes suddenly can be determined as the contour (boundary) of the suction component P1m. Note that the tip portion of the suction nozzle 531 is coated with a black low-reflection material so that the illumination by the strobe light source 6Sm is not reflected, and the brightness is reduced.
  • the illumination of the strobe light source 6Sm is reflected by the foreign object, and the brightness of the portion where the foreign object has adhered increases. Therefore, as shown in FIG. 6B, the brightness distribution may be irregular, and the position B12 may be erroneously recognized as the contour of the suction component P1m. In this case, the difference ⁇ B1 between the position B11 and the position B12 is a recognition error.
  • the sharpness changing unit 62m changes the sharpness of the image for each of the suction parts P1m to P8m. By increasing the sharpness, the outlines (edges) of the suction parts P1m to P8m are enhanced. On the other hand, when the sharpness is lowered, the contours (edges) of the suction parts P1m to P8m are blurred, resulting in a soft image quality.
  • the method for changing the sharpness of the image is not particularly limited. For example, filter processing (averaging processing) can be used.
  • FIG. 7 is a schematic diagram showing a part of the image data.
  • the figure shows a state in which the brightness of the central image data GC1 protrudes and is higher than the other image data among the nine adjacent image data.
  • the brightness of the central image data GC1 is lower than that before the averaging, and the brightness of the adjacent image data is higher than that before the averaging. Therefore, the brightness difference is reduced, and the contour in the image data GC1 is blurred.
  • the sharpness changing unit 62m reduces the sharpness of the image in the target area A1m, the brightness of the part to which the foreign matter is attached decreases, and the brightness of the adjacent image data increases. Therefore, the brightness difference of the part to which the foreign substance has adhered becomes small, and the position B13 indicating the outline of the suction component P1m approaches the position B11. Therefore, the difference ⁇ B2 between the position B11 and the position B13 is smaller than ⁇ B1, the recognition error is reduced, and the influence of disturbance can be reduced.
  • the brightness of the image data may be simply added and averaged, but the image data may be weighted differently and averaged.
  • various digital filters such as a low-pass filter and a band-pass filter can be used.
  • the sharpness of the image can be changed by changing the hue difference of the image data.
  • the sharpness changing unit 62m changes the sharpness of the image in the target areas A1m to A8m according to the types of the suction parts P1m to P8m. For example, when it is necessary to perform component recognition at a high resolution such as a small component, it is better not to perform filter processing. On the other hand, if there is no problem in component recognition even if the resolution is reduced compared to a small component such as a large component, it is preferable to perform a filter process. In addition, when the image quality captured by disturbance is greatly different, it is preferable to perform filter processing.
  • the filter processing can be arbitrarily selected according to the types of the suction components P1m to P8m, the filter processing can be performed according to the necessary resolution of the suction components P1m to P8m.
  • the filter process can be performed for each of the target areas A1m to A8m of the image processing, the holding state of the plurality of suction components P1m to P8m can be detected with the optimum resolution for each of the suction components P1m to P8m.
  • FIG. 8 is a diagram illustrating an example of a change in sharpness and a change in luminance value.
  • the presence / absence of filter processing is described for each of the suction components P1m to P8m.
  • the presence / absence of the filtering process is stored in advance in the memory of the control device 7 together with the types of suction parts P1m to P8m, and the sharpness changing unit 62m performs the filtering process together with the types of suction parts P1m to P8m from the part type determination unit 61m. The presence or absence can be acquired.
  • the suction component detection device 6m includes a sharpness changing unit 62m that changes the sharpness of the image according to the types of the suction components P1m to P8m. Therefore, the suction component detection device 6m can control the sharpness of the image according to the types of the suction components P1m to P8m, and detects the holding state of the suction components P1m to P8m with the necessary resolution for each suction component P1m to P8m. can do. Therefore, the influence of disturbance (for example, scratches on the suction parts P1m to P8m and foreign matters attached to the suction parts P1m to P8m) can be easily reduced by image processing, and the recognition accuracy of the suction parts P1m to P8m is improved. be able to.
  • a sharpness changing unit 62m that changes the sharpness of the image according to the types of the suction components P1m to P8m. Therefore, the suction component detection device 6m can control the sharpness of the image according to the types of the suction components P1m
  • the component recognition camera 6Cm simultaneously images the suction components P1m to P8m sucked by the suction nozzles 531 to 538, and the sharpness changing unit 62 captures images of the suction components P1m to P8m.
  • the sharpness is changed for each of the suction parts P1m to P8m. Therefore, a plurality of suction parts P1m to P8m can be picked up at the same time, and the holding state of the plurality of suction parts P1m to P8m can be detected with an optimum resolution for each of the suction parts P1m to P8m.
  • the image processing requires a predetermined brightness, and the imaging time of the component recognition camera 6Cm is set so that the required brightness can be obtained.
  • the suction components P1m to P8m there is a case where the image is darker than the necessary brightness, and it is necessary to extend the imaging time of the component recognition camera 6Cm.
  • the brightness may be different depending on the suction parts P1m to P8m, and it is necessary to pick up images in multiple times. As a result, the tact time increases.
  • the suction components P1m to P8m are illuminated by the strobe light source 6Sm and the suction components P1m to P8m are imaged, it is difficult to change the brightness of the image with the imaging time of the component recognition camera 6Cm. Therefore, the brightness of the image is changed by changing the flashing time of the strobe light source 6Sm.
  • the imaging time is shortened, the strobe light source 6Sm requires a higher amount of light, and the strobe light source 6Sm requires a large capacity current. Therefore, extending the flash time of the strobe light source 6Sm is not easy and has a limit.
  • the luminance value changing unit 63m changes the luminance value of the pixel according to the type of the suction parts P1m to P8m.
  • the method for changing the luminance value of the pixel is not particularly limited.
  • the luminance value of the pixel can be changed by multiplying the luminance value of the pixel by a coefficient.
  • the luminance value changing unit 63m multiplies the luminance value of the pixel in the target area A1m by a coefficient (for example, 2.0) greater than 1. If the luminance value of the pixel before the coefficient is multiplied by 100, the luminance value of the pixel in the target area A1m is 200, and the brightness of the image in the target area A1m is twice that before the change.
  • FIG. 8 shows an example of a coefficient by which the luminance value of the pixel is multiplied for each of the suction parts P1m to P8m.
  • the coefficient to be multiplied by the brightness value is stored in advance in the memory of the control device 7 together with the types of the suction parts P1m to P8m, and the brightness value changing unit 63m receives the brightness value together with the types of the suction parts P1m to P8m from the part type determination unit 61m.
  • a coefficient to be multiplied can be obtained.
  • the sharpness of the image can be changed and the luminance value of the pixel can be changed.
  • the sharpness changing unit 62m decreases the sharpness of the image.
  • the sharpness changing unit 62m can reduce the influence of disturbance by reducing the sharpness of the image.
  • the suction component detection device 6m includes a brightness value changing unit 63m that changes the brightness value of the pixel in accordance with the type of the suction components P1m to P8m. Therefore, when the captured image does not have the necessary brightness, the brightness of the image can be ensured by increasing the luminance value of the pixel. Accordingly, it is possible to reduce the imaging time of the component recognition camera 6Cm while ensuring the brightness of an image necessary for image processing, and to shorten the tact time required for mounting the components P1 to P8 by reducing the imaging time. be able to.
  • the component recognition camera 6Cm illuminates the suction components P1m to P8m with the strobe light source 6Sm, and images the suction components P1m to P8m. Therefore, when imaging the suction components P1m to P8m using the strobe light source 6Sm, the brightness of the image can be changed without changing the flash time. Further, since the flash time is not extended, the maximum light amount of the strobe light source 6Sm can be suppressed, and the light source cost can be reduced. Since the flash time is not changed, an increase in the current of the strobe light source 6Sm due to the extension of the flash time can be suppressed.
  • the holding state detection unit 64m detects the holding state of the suction components P1m to P8m. Examples of the holding state include suitability of the suction parts P1m to P8m, good and bad of the suction state of the suction parts P1m to P8m, and the like.
  • the normal holding positions of the suction components P1m to P8m with respect to the imaging reference unit 5M are stored in advance.
  • the holding state detection unit 64m matches the imaging reference unit 5M stored in the memory of the control device 7 with the imaging reference unit 5M captured by the component recognition camera 6Cm. Then, the holding state detection unit 64m compares the normal holding position stored in the memory of the control device 7 with the holding position imaged by the component recognition camera 6Cm for each of the suction components P1m to P8m, The adequacy of the suction parts P1m to P8m is determined, and the positional deviation and angular deviation of the suction parts P1m to P8m are calculated. Based on the calculation results of the positional deviation and the angular deviation, the mounting positions of the suction components P1m to P8m are corrected.
  • the mounting inspection machine 100 is provided at the subsequent stage of the component mounting machine 1, and the presence / absence of components P1 to P8 (hereinafter referred to as mounting components P1i to P8i) mounted on the substrate PW1 by the component mounting machine 1, and the mounting components P1i to P8i.
  • the mounting states of the mounting components P1i to P8i such as the suitability of the mounting components P1i to P8i, and the polarity abnormality of the mounting components P1i to P8i, are detected. As a result, the mounting accuracy of the mounting components P1i to P8i can be increased.
  • the suction component detection device 6m can be used in the mounting inspection machine 100 as the mounting component detection device 6i.
  • FIG. 9 is a configuration diagram schematically illustrating an example of the mounted component detection apparatus 6i.
  • the mounting inspection machine 100 includes a mounting component detection device 6i having an internal mechanism similar to that of the suction component detection device 6m.
  • the mounted component detection device 6i is described by replacing the code number suffix “m” of the internal mechanism corresponding to the suction component detection device 6m with “i”, and a duplicate description is omitted.
  • the mounting inspection machine 100 includes a substrate transfer device 101.
  • the substrate transfer device 101 is a transfer device such as a conveyor belt, for example, and can transfer the substrate PW1 in the arrow X direction.
  • the mounting components P4i to P8i are not shown, and in the following description, the mounting components P1i to P3i will be described.
  • a positioning reference portion FM1 called a fiducial mark is provided on the outer edge of the substrate PW1.
  • the positioning reference portion FM1 is a reflecting member that reflects light emitted from the strobe light source 6Si, and a plurality of (for example, four) positioning reference portions FM1 are arranged in the horizontal direction (arrow X direction) and the vertical direction (arrow Y direction). They are arranged at a predetermined interval.
  • the mounted component detection device 6i can determine whether the mounted components P1i to P3i are appropriate, and can detect the positions of the mounted components P1i to P3i with respect to the positioning reference portion FM1.
  • the mounting component detection device 6i individually images the positioning reference portion FM1 and the mounting components P1i to P3i with the component recognition camera 6Ci, and detects the mounting states of the mounting components P1i to P3i from the captured images.
  • the mounted component detection apparatus 6i images the positioning reference portion FM1 and the mounted components P1i to P3i at the same time, and mounts the mounted components P1i to P3i from the captured images. The state can also be detected.
  • FIG. 10 is a schematic diagram illustrating an example of an image in which three mounting components P1i to P3i are captured.
  • the mounted component detection device 6i includes a sharpness changing unit 62i that changes the sharpness of an image according to the type of the mounted components P1i to P3i. Therefore, the mounting component detection device 6i can control the sharpness of the image according to the type of the mounting components P1i to P3i, and detects the mounting state of the mounting components P1i to P3i with a resolution required for each of the mounting components P1i to P3i. can do. Therefore, the influence of disturbance (for example, scratches on the mounting components P1i to P3i and foreign matters attached to the mounting components P1i to P3i) can be easily reduced by image processing, and the recognition accuracy of the mounting components P1i to P3i is improved. be able to.
  • disturbance for example, scratches on the mounting components P1i to P3i and foreign matters attached to the mounting components P1i to P3i
  • the component recognition camera 6Ci of the mounted component detection apparatus 6i simultaneously captures a plurality of mounted components P1i to P3i, and the sharpness changing unit 62i displays the mounted components P1i to P3i in an image obtained by capturing the plurality of mounted components P1i to P3i.
  • the sharpness can be changed for each P3i.
  • a plurality of mounting components P1i to P3i can be simultaneously imaged with one imaging, and the mounting state of the plurality of mounting components P1i to P3i can be detected with an optimal resolution for each of the mounting components P1i to P3i. .
  • the mounted component detection device 6i includes a luminance value changing unit 63i that changes the luminance value of the pixel in accordance with the type of the mounted components P1i to P3i.
  • the brightness value changing unit 63i can ensure the brightness of the image by increasing the brightness value of the pixel when the captured image does not have the necessary brightness. Therefore, it is possible to reduce the imaging time of the component recognition camera 6Ci while ensuring the brightness of an image necessary for image processing, and it is possible to reduce the inspection time of the substrate PW1 by reducing the imaging time.
  • the mounting component detection device 6i includes a strobe light source 6Si that illuminates the mounting components P1i to P3i.
  • the component recognition camera 6Ci of the mounting component detection device 6i illuminates the mounting components P1i to P3i with the strobe light source 6Si.
  • the mounted components P1i to P3i can also be imaged.
  • the brightness of the image can be changed without changing the flash time.
  • the maximum light amount of the strobe light source 6Si can be suppressed, and the light source cost can be reduced. Since the flash time is not changed, an increase in the current of the strobe light source 6Si due to the extension of the flash time can be suppressed.
  • the present invention is not limited to the embodiments described above and shown in the drawings, and can be implemented with appropriate modifications within a range not departing from the gist.
  • the processing in the image processing apparatuses 6Pm and 6Pi can be performed in the image processing in the component recognition cameras 6Cm and 6Ci.
  • a component recognition camera can be provided in the component mounting head 52. Then, the suction component picked up by the suction nozzle 53 is imaged by the camera, and the suction component detection device 6m can detect the holding state of the suction component from the captured image.
  • Component mounter 52: Component mounting head, 53, 531-538: suction nozzle, 6m: suction component detection device, 6i: mounting component detection device, 62m, 62i: Sharpness change unit, 63m, 63i: luminance value changing unit, 6Cm, 6Ci: camera for component recognition, 6Sm, 6Si: Strobe light source, 100: Mounting inspection machine

Landscapes

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Abstract

　部品の種類に応じて、画像の解像度を容易に変更可能な部品実装機および実装検査機を提供する。本発明の部品実装機（１）は、吸着ノズル（５３）に吸着された吸着部品を撮像して撮像された画像から吸着部品の保持状態を検出する吸着部品検出装置（６ｍ）を備える部品実装機（１）であって、吸着部品検出装置（６ｍ）は、吸着部品の種類に応じて画像のシャープネスを変更するシャープネス変更部（６２ｍ）を有する。また、本発明の実装検査機（１００）は、基板に実装された実装部品を撮像して撮像された画像から実装部品の実装状態を検出する実装部品検出装置（６ｉ）を備える実装検査機（１００）であって、実装部品検出装置（６ｉ）は、実装部品の種類に応じて画像のシャープネスを変更するシャープネス変更部（６２ｉ）を有する。

Description

部品実装機および実装検査機
　本発明は、部品を撮像して撮像された画像から部品の状態を検出する部品検出装置を備える部品実装機および実装検査機に関する。
　近年、部品実装機や実装検査機では、部品認識用カメラの解像度の向上によって、部品の認識性能が向上している。しかしながら、部品認識用カメラの解像度の向上によって、部品検出装置は、これまで認識できなかった部品のキズや部品に付着する異物までも認識できるようになる。その結果、部品検出装置は、部品の吸着や実装が正常に行われていても、部品の微小のキズや部品に付着する微小の異物によって、部品の吸着や実装が異常であると判断する可能性が生じている。
　このような部品認識用カメラの解像度の向上による弊害を解決しようとする発明の一例として、特許文献１に記載の発明が挙げられる。特許文献１に記載の発明は、吸着部品に焦点が合った第１画質または吸着部品から焦点がずれた第２画質のうち、吸着部品の種類に応じた画質で吸着部品を撮像し、撮像された画像に基づいて吸着部品の吸着状態を認識する。例えば、光沢部分をもたない第１種部品を第１画質で撮像して、高解像度の画像に基づいて部品認識を行う。一方、反射し易い光沢部分を有する第２種部品は、第２画質で撮像して、反射ムラを抑えて部品認識を行い易くしている。
　また、特許文献１に記載の発明では、撮像ユニットは、撮像位置から焦点位置までの光路長を変更する光路長変更部材と、光路長変更部材を駆動する駆動機構とを備えている。そして、駆動機構によって、光路長変更部材を光路上に配設または光路上から退避させることにより、第１画質および第２画質を切り替えている。
特開２００５－１２７８３６号公報
　しかしながら、特許文献１に記載の発明では、光路長変更部材を移動させることにより、第１画質および第２画質を切り替えるので、撮像対象の吸着部品が変わる毎に光路長変更部材を移動させる必要があり、制御が複雑になり装置が大型化する。
　また、特許文献１に記載の発明では、光路長変更部材を移動させることにより、第１画質および第２画質を切り替えるので、画像の一部の解像度を変更することは容易ではない。例えば、複数の吸着部品を同時に撮像する場合は、吸着部品に合わせて、複数の光路長変更部材をそれぞれ移動させる必要があり、制御が複雑になり装置が大型化する。なお、上述したことは、基板に実装された実装部品の実装状態を検出する実装検査機についても同様に言える。
　本発明は、このような事情に鑑みて為されたものであり、部品の種類に応じて、画像の解像度を容易に変更可能な部品実装機および実装検査機を提供することを課題とする。
　請求項１に記載の部品実装機は、吸着ノズルに吸着された吸着部品を撮像して撮像された画像から前記吸着部品の保持状態を検出する吸着部品検出装置を備える部品実装機であって、前記吸着部品検出装置は、前記吸着部品の種類に応じて前記画像のシャープネスを変更するシャープネス変更部を有することを特徴とする。
　請求項２に記載の部品実装機は、請求項１に記載の部品実装機において、複数の吸着ノズルにそれぞれ部品を吸着して位置決めされた基板の所定位置に移動して吸着部品を装着する部品装着ヘッドを備え、前記吸着部品検出装置の部品認識用カメラは、前記複数の吸着ノズルにそれぞれ吸着された複数の吸着部品を同時に撮像し、前記シャープネス変更部は、前記複数の吸着部品が撮像された画像において吸着部品毎に前記シャープネスを変更する。
　請求項３に記載の部品実装機は、請求項１または２に記載の部品実装機において、前記吸着部品検出装置は、前記吸着部品の種類に応じて画素の輝度値を変更する輝度値変更部を有する。
　請求項４に記載の部品実装機は、請求項３に記載の部品実装機において、前記吸着部品検出装置は、前記吸着部品を照明するストロボ光源を備え、前記吸着部品検出装置の部品認識用カメラは、前記ストロボ光源によって前記吸着部品を照明して、前記吸着部品を撮像する。
　請求項５に記載の実装検査機は、基板に実装された実装部品を撮像して撮像された画像から前記実装部品の実装状態を検出する実装部品検出装置を備える実装検査機であって、前記実装部品検出装置は、前記実装部品の種類に応じて前記画像のシャープネスを変更するシャープネス変更部を有することを特徴とする。
　請求項６に記載の実装検査機は、請求項５に記載の実装検査機において、前記実装部品検出装置の部品認識用カメラは、複数の実装部品を同時に撮像し、前記シャープネス変更部は、前記複数の実装部品が撮像された画像において実装部品毎に前記シャープネスを変更する。
　請求項７に記載の実装検査機は、請求項５または６に記載の実装検査機において、前記実装部品検出装置は、前記実装部品の種類に応じて画素の輝度値を変更する輝度値変更部を有する。
　請求項８に記載の実装検査機は、請求項７に記載の実装検査機において、前記実装部品検出装置は、前記実装部品を照明するストロボ光源を備え、前記実装部品検出装置の部品認識用カメラは、前記ストロボ光源によって前記実装部品を照明して、前記実装部品を撮像する。
　請求項１に記載の部品実装機によれば、吸着部品検出装置は、吸着部品の種類に応じて画像のシャープネスを変更するシャープネス変更部を有する。そのため、吸着部品検出装置は、吸着部品の種類に合わせて画像のシャープネスを制御することができ、吸着部品毎に必要な解像度で吸着部品の保持状態を検出することができる。したがって、画像処理によって外乱（例えば、吸着部品のキズや吸着部品に付着する異物など）による影響を容易に低減させることができ、吸着部品の認識精度を向上させることができる。
　請求項２に記載の部品実装機によれば、吸着部品検出装置の部品認識用カメラは、複数の吸着ノズルにそれぞれ吸着された複数の吸着部品を同時に撮像し、シャープネス変更部は、複数の吸着部品が撮像された画像において吸着部品毎にシャープネスを変更する。そのため、１度の撮像で複数の吸着部品を同時に撮像することができ、複数の吸着部品の保持状態を吸着部品毎に最適な解像度で検出することができる。
　請求項３に記載の部品実装機によれば、吸着部品検出装置は、吸着部品の種類に応じて画素の輝度値を変更する輝度値変更部を有する。そのため、撮像された画像に必要な明るさがない場合に、画素の輝度値を上げて画像の明るさを確保することができる。したがって、画像処理において必要な画像の明るさを確保しつつ、部品認識用カメラの撮像時間を低減させることができ、撮像時間の低減により、部品の実装に要するタクトタイムを短縮することができる。
　請求項４に記載の部品実装機によれば、部品認識用カメラは、ストロボ光源によって吸着部品を照明して、吸着部品を撮像する。そのため、ストロボ光源を用いて吸着部品を撮像する場合に、閃光時間を変更しないで画像の明るさを変更することができる。また、閃光時間を延長しないので、ストロボ光源の最大光量を抑制することができ、光源コストの低減を図ることができる。なお、閃光時間を変更しないので、閃光時間を延長することによるストロボ光源の電流増加を抑制することもできる。
　請求項５に記載の実装検査機によれば、実装部品検出装置は、請求項１に記載の吸着部品検出装置と同様のシャープネス変更部を有する。そのため、請求項１において既述の効果と同様の効果を得ることができる。
　請求項６に記載の実装検査機によれば、実装部品検出装置は、請求項２に記載の吸着部品検出装置と同様のシャープネス変更部を有する。そのため、請求項２において既述の効果と同様の効果を得ることができる。
　請求項７に記載の実装検査機によれば、実装部品検出装置は、請求項３に記載の吸着部品検出装置と同様の輝度値変更部を有する。そのため、請求項３において既述の効果と同様の効果を得ることができる。
　請求項８に記載の実装検査機によれば、部品認識用カメラは、請求項４に記載の部品認識用カメラと同様の方法で、実装部品を撮像する。そのため、請求項４において既述の効果と同様の効果を得ることができる。
部品実装機の一例を示す斜視図である。 吸着部品検出装置の一例を模式的に示す構成図である。 吸着部品検出装置の制御ブロックの一例を示すブロック図である。 吸着部品検出装置の制御フローの一例を示すフローチャートである。 ８つの吸着部品が撮像された画像の一例を示す模式図であり、画像の全体図である。 画像処理の対象領域Ａ１ｍを拡大した一部拡大図である。 図５Ｂに示す矢印Ｂ１方向の明度の変化の一例を示す図であり、外乱がない場合を示す図である。 図５Ｂに示す矢印Ｂ１方向の明度の変化の一例を示す図であり、外乱が付加された場合を示す図である。 図５Ｂに示す矢印Ｂ１方向の明度の変化の一例を示す図であり、外乱による影響を低減させた場合を示す図である。 画像データの一部を示す模式図である。 シャープネスの変更および輝度値の変更の一例を示す図である。 実装部品検出装置の一例を模式的に示す構成図である。 ３つの実装部品が撮像された画像の一例を示す模式図である。
　以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。各図は概念図であり、細部構造の寸法まで規定するものではない。
　＜部品実装機＞
　図１は、部品実装機の一例を示す斜視図である。同図では、基板ＰＷ１の搬送方向を横方向（矢印Ｘ方向）とし、水平面内で横方向（矢印Ｘ方向）に直交する方向を縦方向（矢印Ｙ方向）とする。また、水平面の法線方向を高さ方向（矢印Ｚ方向）とする。部品実装機１は、基板搬送装置３、部品供給装置４、部品移載装置５、吸着部品検出装置６ｍおよび制御装置７を有しており、これらは基台８に組み付けられている。なお、基台８は、システムベース２に対して縦方向（矢印Ｙ方向）に移動可能に装架されている。
　基板搬送装置３は、基板ＰＷ１を実装位置に搬入し、搬出する。基板搬送装置３は、部品実装機１の縦方向（矢印Ｙ方向）の中央付近に配設されており、第１搬送装置３１および第２搬送装置３２が並設された、いわゆるダブルコンベアタイプの搬送装置である。第１搬送装置３１は、基台８上に横方向（矢印Ｘ方向）と平行に並設される一対のガイドレールと、一対のガイドレールに案内され基板ＰＷ１を載置して搬送する一対のコンベアベルトと、を有している。また、第１搬送装置３１には、実装位置まで搬送された基板ＰＷ１を基台８側から押し上げて位置決めする図示しないクランプ装置が設けられている。第２搬送装置３２は、第１搬送装置３１と同様の構成を有している。
　部品供給装置４は、部品実装機１の縦方向（矢印Ｙ方向）の前部（同図の紙面左方向側）に設けられており、カセット式の複数のフィーダ４１がフィーダホルダに着脱可能に取り付けられている。フィーダ４１は、フィーダ本体４２と、フィーダ本体４２に回転可能かつ着脱可能に装着された供給リール４３と、フィーダ本体４２の先端側（部品実装機１の中央寄り）に設けられた部品供給部４４と、を備えている。供給リール４３は部品Ｐ１～Ｐ８を供給する媒体であり、所定個数の部品Ｐ１～Ｐ８を一定の間隔で保持した図示しないキャリアテープが巻回されている。キャリアテープの先端が部品供給部４４まで引き出されて、キャリアテープごとに異なる部品Ｐ１～Ｐ８が供給される。フィーダ４１は、例えば、チップ部品などの比較的小型の部品を供給することができる。
　部品移載装置５は、部品供給装置４から部品Ｐ１～Ｐ８を吸着して、実装位置で位置決めされた基板ＰＷ１上に部品Ｐ１～Ｐ８を実装する。部品移載装置５は、横方向（矢印Ｘ方向）および縦方向（矢印Ｙ方向）に移動可能ないわゆるＸＹロボットタイプの移載装置である。部品移載装置５は、部品実装機１の縦方向（矢印Ｙ方向）の後部（同図の紙面右方向奥側）から前部（同図の紙面左方向手前側）の部品供給装置４の上方にかけて配設されている。部品移載装置５は、ヘッド駆動機構５１および部品装着ヘッド５２を有している。
　ヘッド駆動機構５１は、部品装着ヘッド５２を横方向（矢印Ｘ方向）および縦方向（矢印Ｙ方向）に駆動することができる。部品装着ヘッド５２は、複数の吸着ノズル５３（本実施形態では、８本であり、吸着ノズル５３１～５３８とする）を有しており、吸着ノズル５３１～５３８の先端部でそれぞれ部品Ｐ１～Ｐ８を吸着して、実装位置で位置決めされた基板ＰＷ１上に部品Ｐ１～Ｐ８を実装する。なお、第１搬送装置３１および第２搬送装置３２で交互に基板ＰＷ１を搬入および搬出して、部品移載装置５で交互に部品Ｐ１～Ｐ８の実装を行うことができる。
　部品装着ヘッド５２は、吸着ノズル５３１～５３８が軸線と同心の円周上において回動可能に保持されているロータリヘッドである。吸着ノズル５３１に吸着保持される部品Ｐ１を吸着部品Ｐ１ｍとする。吸着ノズル５３２～５３８についても同様であり、吸着ノズル５３２～５３８にそれぞれ吸着保持される部品Ｐ２～Ｐ８を吸着部品Ｐ２ｍ～Ｐ８ｍとする。なお、部品装着ヘッド５２は、複数の吸着ノズル５３が一列に配設されるライン型の部品装着ヘッドを用いることもできる。
　部品装着ヘッド５２の外周側には、撮像基準部５Ｍが設けられている。撮像基準部５Ｍは、後述するストロボ光源６Ｓｍから照射された光を反射する反射部材であり、複数（例えば４つ）の撮像基準部５Ｍが横方向（矢印Ｘ方向）および縦方向（矢印Ｙ方向）に所定間隔離間して配置されている。撮像基準部５Ｍの反射部は、部品装着ヘッド５２の外周側、かつ、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍと比べて高さ方向（矢印Ｚ方向）の上方に設けられている。これにより、部品装着ヘッド５２が基板ＰＷ１上を移動する際に、既に実装されている他の部品と撮像基準部５Ｍとが干渉することを防止している。
　部品供給装置４と基板搬送装置３の間の基台８上には、吸着部品検出装置６ｍが設けられている。吸着部品検出装置６ｍは、撮像基準部５Ｍと吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍとを同時に撮像して、撮像された画像から吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの保持状態を検出する。吸着部品検出装置６ｍは、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの適否を判断することができ、撮像基準部５Ｍに対する吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの位置を検出して、吸着ノズル５３１～５３８に対する位置ずれ及び角度ずれを検出することができる。位置ずれ及び角度ずれの検出結果は、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの実装位置を補正する際に用いることができる。吸着部品検出装置６ｍの詳細は後述する。
　部品実装機１は、カバー前側上部に配設される制御装置７によって制御することができる。制御装置７は、図示しないＣＰＵおよびメモリを有しており、メモリに記憶されている部品装着プログラムを実行することによって、部品実装機１を駆動することができる。つまり、制御装置７は、部品装着プログラムに基づいて、基板搬送装置３、部品供給装置４、部品移載装置５および吸着部品検出装置６ｍを駆動して、基板ＰＷ１に部品Ｐ１～Ｐ８を実装する。
　まず、ヘッド駆動機構５１が駆動して、部品装着ヘッド５２が部品供給装置４に移動する。そして、吸着ノズル５３１～５３８が部品Ｐ１～Ｐ８をそれぞれ吸着する。すべての吸着ノズル５３１～５３８に部品Ｐ１～Ｐ８が吸着されると、ヘッド駆動機構５１が駆動して部品装着ヘッド５２が移動する。部品装着ヘッド５２が吸着部品検出装置６ｍ上に到達すると、吸着部品検出装置６ｍによって撮像基準部５Ｍと吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍとが同時に撮像される。その後、部品装着ヘッド５２は、所定位置に位置決めされた基板ＰＷ１上に移動する。このとき、部品装着ヘッド５２は、吸着部品検出装置６ｍによって検出された位置ずれ及び角度ずれに基づいて、移動位置が補正される。そして、部品装着ヘッド５２は、基板ＰＷ１に部品Ｐ１～Ｐ８を実装し、最後に部品供給装置４に戻る。部品実装機１は、この一連の動作を繰り返すことにより、基板ＰＷ１に複数の部品を実装することができる。なお、この一連の動作に要する時間をタクトタイムという。
　＜吸着部品検出装置＞
　吸着部品検出装置６ｍは、吸着ノズル５３１～５３８に吸着された吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍを撮像して撮像された画像から吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの保持状態を検出する。図２は、吸着部品検出装置６ｍの一例を模式的に示す構成図である。吸着部品検出装置６ｍは、部品認識用カメラ６Ｃｍ、ストロボ光源６Ｓｍおよび画像処理装置６Ｐｍを備えている。なお、画像処理装置６Ｐｍは、制御装置７に設けることもできる。また、同図では、吸着ノズル５３１、５３８のみが記載され、吸着ノズル５３２～５３７の記載が省略されている。
　（部品認識用カメラ６Ｃｍ）
　部品認識用カメラ６Ｃｍは、図１に示す部品実装機１の基台８側（図２に示す矢印Ｚ１方向側）に設けられている。部品認識用カメラ６Ｃｍは、例えば、公知のＣＣＤカメラやＣＭＯＳカメラを用いることができる。部品認識用カメラ６Ｃｍは、撮像素子およびレンズを有している。部品認識用カメラ６ＣｍがＣＣＤカメラの場合は、撮像素子は電荷結合素子（ＣＣＤ）であり、ＣＭＯＳカメラの場合は、撮像素子は相補性金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）である。
　部品認識用カメラ６Ｃｍの撮像素子は、二次元イメージセンサであり、平面状に配置された複数の受光素子を有している。これにより、部品認識用カメラ６Ｃｍは、二次元的な視野をもつ。したがって、部品認識用カメラ６Ｃｍは、撮像基準部５Ｍと、回動する吸着ノズル５３１～５３８にそれぞれ吸着保持される吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍと、を同一視野で捉えることができ、撮像基準部５Ｍと吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍとを同時に撮像することができる。なお、複数の吸着ノズル５３が一列に配設されるライン型の部品装着ヘッドを用いる場合は、撮像素子としてリニアセンサを用いることができる。リニアセンサを用いると、撮像基準部５Ｍと吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍとを一次元的に撮像することができる。
　（ストロボ光源６Ｓｍ）
　ストロボ光源６Ｓｍは、撮像時に撮像基準部５Ｍおよび吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍを照明する。ストロボ光源６Ｓｍは、例えば、公知の発光ダイオード（ＬＥＤ）やキセノンランプを用いることができる。照射する光の波長は限定されない。
　図２に示すように、部品装着ヘッド５２が吸着部品検出装置６ｍ上に到達すると、制御装置７から部品認識用カメラ６Ｃｍおよびストロボ光源６Ｓｍに撮像開始信号が出力される。撮像開始信号が出力されると、ストロボ光源６Ｓｍは、部品認識用カメラ６Ｃｍの露光時間の間、撮像基準部５Ｍおよび吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍを照明する。このとき、部品装着ヘッド５２が吸着部品検出装置６ｍ上で停止することなく縦方向（矢印Ｙ１方向）に移動しながら、部品認識用カメラ６Ｃｍは、撮像基準部５Ｍおよび吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍを同時に撮像する。
　（画像処理装置６Ｐｍ）
　画像処理装置６Ｐｍは、図示しないＣＰＵおよびメモリを有しており、メモリに記憶されている画像処理プログラムを実行することによって、部品認識用カメラ６Ｃｍで撮像された画像を画像処理して、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの保持状態を検出することができる。図３は、吸着部品検出装置６ｍの制御ブロックの一例を示すブロック図である。図４は、吸着部品検出装置６ｍの制御フローの一例を示すフローチャートである。
　図３に示すように、画像処理装置６Ｐｍは、制御ブロックとして捉えると、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの種類を判別する部品種判別部６１ｍと、画像のシャープネスを変更するシャープネス変更部６２ｍと、画素の輝度値を変更する輝度値変更部６３ｍと、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの保持状態を検出する保持状態検出部６４ｍと、を有している。
　画像処理装置６Ｐｍは、図４に示すフローチャートに従って画像処理プログラムを実行する。まず、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの種類を判別する（ステップＳ１）。そして、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの種類に応じて画像のシャープネスを変更し（ステップＳ２）、画素の輝度値を変更する（ステップＳ３）。なお、ステップＳ３の処理の後に、ステップＳ２の処理を行うこともでき、ステップＳ２の処理のみを行うこともできる。
　次に、すべての吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの画像処理が完了したか否かを判断する（ステップＳ４）。すべての吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの画像処理が完了していない場合（Ｎｏの場合）は、ステップＳ１に戻り、上述の処理を繰り返す。すべての吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの画像処理が完了した場合（Ｙｅｓの場合）は、ステップＳ５に進み、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの保持状態を検出する（ステップＳ５）。そして、一旦、本ルーチンを終了する。
　ステップＳ１、Ｓ４の処理および判断は、部品種判別部６１ｍが行い、ステップＳ２の処理は、シャープネス変更部６２ｍが行う。また、ステップＳ３の処理は、輝度値変更部６３ｍが行い、ステップＳ５の処理は、保持状態検出部６４ｍが行う。以下、画像処理装置６Ｐｍの各制御ブロックについて、詳細に説明する。
　（部品種判別部６１ｍ）
　部品種判別部６１ｍは、撮像された吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの種類を判別する。図５Ａは、８つの吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍが撮像された画像の一例を示す模式図であり、画像の全体図である。図５Ｂは、画像処理の対象領域Ａ１ｍを拡大した一部拡大図である。図５Ａでは、部品認識用カメラ６Ｃｍの視野を領域ＶＦ１で示しており、撮像基準部５Ｍおよび吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍが同一視野（領域ＶＦ１）で同時に撮像されている。なお、同図では、吸着ノズル５３１～５３８および画像処理の対象領域Ａ１ｍ～Ａ８ｍを破線で併記している。
　部品種判別部６１ｍは、領域ＶＦ１のうち、画像処理の対象である対象領域Ａ１ｍ～Ａ８ｍを設定する。対象領域Ａ１ｍ～Ａ８ｍは、吸着ノズル５３１～５３８の配置および吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの大きさに合わせて予め規定されている。また、制御装置７のメモリには、実装シーケンス毎に吸着ノズル５３１～５３８に吸着保持される吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの種類が記憶されている。
　部品種判別部６１ｍは、例えば、所定の実装シーケンス時に吸着ノズル５３１に吸着される部品を制御装置７に照会する。この場合は、部品Ｐ１であり、部品種判別部６１ｍは、対象領域Ａ１ｍにおける吸着部品の種類（吸着部品Ｐ１ｍ）を取得することができる。対象領域Ａ２ｍ～Ａ８ｍについても同様であり、部品種判別部６１ｍは、制御装置７から吸着部品Ｐ２ｍ～Ｐ８ｍの種類を取得することができる。
　（シャープネス変更部６２ｍ）
　シャープネス変更部６２ｍは、複数（本実施形態では、８つ）の吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍが撮像された画像において、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍ毎にシャープネスを変更する。なお、シャープネス変更部６２ｍは、例えば、１つの吸着部品Ｐ１ｍが撮像された画像において、吸着部品Ｐ１ｍの種類に応じて画像のシャープネスを変更することもできる。
　図６Ａは、図５Ｂに示す矢印Ｂ１方向の明度の変化の一例を示す図であり、外乱がない場合を示す図である。図６Ｂは、図５Ｂに示す矢印Ｂ１方向の明度の変化の一例を示す図であり、外乱が付加された場合を示す図である。図６Ｃは、図５Ｂに示す矢印Ｂ１方向の明度の変化の一例を示す図であり、外乱による影響を低減させた場合を示す図である。これらの図は、図５Ｂに示す矢印Ｂ１の始点Ｂ１Ｓから終点Ｂ１Ｅまでの明度の変化を示している。
　ストロボ光源６Ｓｍによって、撮像時に吸着部品Ｐ１ｍが照明されるので、吸着部品Ｐ１ｍは、吸着部品Ｐ１ｍ以外の部分と比べて明度が高くなる。よって、図６Ａに示すように、明度が急変する位置Ｂ１１を吸着部品Ｐ１ｍの輪郭（境界）と判断することができる。なお、吸着ノズル５３１の先端部は、ストロボ光源６Ｓｍによる照明が反射しないように黒色の低反射材が塗布されており、明度が低減されている。
　次に、吸着部品Ｐ１ｍに異物が付着した場合を考える。吸着部品Ｐ１ｍに異物が付着すると、異物においてストロボ光源６Ｓｍの照明が反射し、異物が付着した部分の明度が高くなる。よって、図６Ｂに示すように、明度の分布が不規則になり、位置Ｂ１２を吸着部品Ｐ１ｍの輪郭と誤認識する可能性がある。この場合、位置Ｂ１１と位置Ｂ１２との差ΔＢ１が認識誤差となる。なお、異物の付着以外にも、吸着部品Ｐ１ｍのキズや吸着ノズル５３１の先端部の低反射材の剥がれ等によっても、異物の付着と同様に吸着部品Ｐ１ｍの輪郭を誤認識する可能性がある。本明細書では、これらを含む吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍを誤認識させる要因を外乱という。
　シャープネス変更部６２ｍは、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍ毎に画像のシャープネスを変更する。シャープネスを高めることにより、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの輪郭（エッジ）が強調される。逆に、シャープネスを低下させると、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの輪郭（エッジ）がぼやけて、ソフトな画質になる。画像のシャープネスを変更する方法は、特に限定されないが、例えば、フィルタ処理（平均化処理）を用いることができる。
　図７は、画像データの一部を示す模式図である。同図は、隣接する９つの画像データのうち、他の画像データと比べて、中央の画像データＧＣ１の明度が突出して高い状態を示している。この場合において、９つの画像データの明度を平均化すると、中央の画像データＧＣ１の明度は、平均化前と比べて低下し、隣接する画像データの明度は、平均化前と比べて高くなる。そのため、明度差が小さくなり、画像データＧＣ１における輪郭がぼやける。
　図６Ｃに示すように、シャープネス変更部６２ｍによって、対象領域Ａ１ｍにおける画像のシャープネスを低下させると、異物が付着した部分の明度が低下し、隣接する画像データの明度が高くなる。そのため、異物が付着した部分の明度差が小さくなり、吸着部品Ｐ１ｍの輪郭を示す位置Ｂ１３は、位置Ｂ１１に近づく。したがって、位置Ｂ１１と位置Ｂ１３との差ΔＢ２は、ΔＢ１と比べて小さくなり、認識誤差が低減され、外乱による影響を低減することができる。
　なお、フィルタ処理（平均化処理）は、画像データの明度を単純に加算して平均しても良いが、画像データ毎に異なる重み付けをして平均化することもできる。明度の平均化以外にも、ローパスフィルタやバンドパスフィルタ等の種々のデジタルフィルタを用いることができる。また、画像データの色相差を変更することによって、画像のシャープネスを変更することもできる。
　シャープネス変更部６２ｍは、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの種類に応じて、対象領域Ａ１ｍ～Ａ８ｍにおける画像のシャープネスを変更する。例えば、小型部品など高解像度で部品認識を行う必要がある場合は、フィルタ処理を行わない方が良い。一方、大型部品など小型部品と比べて解像度が低下しても部品認識において差し支えがない場合は、フィルタ処理を行うと好適である。また、外乱によって撮像された画質が大きく異なる場合は、フィルタ処理を行うと良い。
　フィルタ処理は、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの種類に応じて任意に選択することができるので、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの必要な解像度に合わせてフィルタ処理を行うことができる。また、画像処理の対象領域Ａ１ｍ～Ａ８ｍ毎にフィルタ処理を行うことができるので、複数の吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの保持状態を吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍ毎に最適な解像度で検出することができる。
　図８は、シャープネスの変更および輝度値の変更の一例を示す図である。同図には、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍ毎にフィルタ処理の有無が記載されている。フィルタ処理が「有」の場合は、既述のフィルタ処理が必要であることを示し、フィルタ処理が「無」の場合は、既述のフィルタ処理が不要であることを示している。なお、フィルタ処理の有無は、予め吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの種類と共に制御装置７のメモリに記憶されており、シャープネス変更部６２ｍは、部品種判別部６１ｍから吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの種類と共にフィルタ処理の有無を取得することができる。
　本実施形態では、吸着部品検出装置６ｍは、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの種類に応じて画像のシャープネスを変更するシャープネス変更部６２ｍを有する。そのため、吸着部品検出装置６ｍは、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの種類に合わせて画像のシャープネスを制御することができ、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍ毎に必要な解像度で吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの保持状態を検出することができる。したがって、画像処理によって外乱（例えば、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍのキズや吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍに付着する異物など）による影響を容易に低減させることができ、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの認識精度を向上させることができる。
　また、本実施形態では、部品認識用カメラ６Ｃｍは、吸着ノズル５３１～５３８にそれぞれ吸着された吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍを同時に撮像し、シャープネス変更部６２は、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍが撮像された画像において吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍ毎にシャープネスを変更する。そのため、１度の撮像で複数の吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍを同時に撮像することができ、複数の吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの保持状態を吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍ毎に最適な解像度で検出することができる。
　（輝度値変更部６３ｍ）
　画像処理には、所定の明るさが必要であり、必要な明るさが得られるように部品認識用カメラ６Ｃｍの撮像時間が設定される。しかしながら、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍによっては、必要な明るさと比べて暗く撮像される場合があり、部品認識用カメラ６Ｃｍの撮像時間を延長する必要がある。また、１度の撮像で複数の吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍを同時に撮像するときに、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍによって明るさが異なる場合があり、複数回に分けて撮像する必要が生じる。その結果、タクトタイムが増加する。
　また、ストロボ光源６Ｓｍによって吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍを照明して、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍを撮像する場合は、部品認識用カメラ６Ｃｍの撮像時間で画像の明るさを変更することが困難である。そのため、ストロボ光源６Ｓｍの閃光時間を変更して、画像の明るさを変更することになる。しかしながら、撮像時間の短縮化に伴い、ストロボ光源６Ｓｍは、より高い光量が必要となり、ストロボ光源６Ｓｍは、大容量電流を必要とする。よって、ストロボ光源６Ｓｍの閃光時間を延長することは、容易ではなく限界がある。
　そこで、輝度値変更部６３ｍは、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの種類に応じて画素の輝度値を変更する。画素の輝度値を変更する方法は、特に限定されないが、例えば、画素の輝度値に係数を乗じて、画素の輝度値を変更することができる。例えば、吸着部品Ｐ１ｍが必要な明るさと比べて暗く撮像されたとする。この場合、輝度値変更部６３ｍは、対象領域Ａ１ｍにおける画素の輝度値に１より大きい係数（例えば２．０）を乗じる。係数を乗じる前の画素の輝度値を１００とすると、対象領域Ａ１ｍにおける画素の輝度値は２００になり、対象領域Ａ１ｍにおける画像の明るさは、変更前と比べて２倍になる。
　図８には、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍ毎に画素の輝度値に乗じる係数の一例が記載されている。輝度値に乗じる係数は、予め吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの種類と共に制御装置７のメモリに記憶されており、輝度値変更部６３ｍは、部品種判別部６１ｍから吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの種類と共に輝度値に乗じる係数を取得することができる。
　なお、対象領域Ａ１ｍ～Ａ８ｍにおいて、画像のシャープネスを変更すると共に、画素の輝度値を変更することもできる。画素の輝度値を増加させた場合、シャープネス変更部６２ｍは、画像のシャープネスを低下させると好適である。画像の輝度値を増加させると、外乱による影響が顕著になる。よって、シャープネス変更部６２ｍは、画像のシャープネスを低下させることにより、外乱による影響を低減させることができる。
　本実施形態では、吸着部品検出装置６ｍは、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの種類に応じて画素の輝度値を変更する輝度値変更部６３ｍを有する。そのため、撮像された画像に必要な明るさがない場合に、画素の輝度値を上げて画像の明るさを確保することができる。したがって、画像処理において必要な画像の明るさを確保しつつ、部品認識用カメラ６Ｃｍの撮像時間を低減させることができ、撮像時間の低減により、部品Ｐ１～Ｐ８の実装に要するタクトタイムを短縮することができる。
　また、本実施形態では、部品認識用カメラ６Ｃｍは、ストロボ光源６Ｓｍによって吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍを照明して、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍを撮像する。そのため、ストロボ光源６Ｓｍを用いて吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍを撮像する場合に、閃光時間を変更しないで画像の明るさを変更することができる。また、閃光時間を延長しないので、ストロボ光源６Ｓｍの最大光量を抑制することができ、光源コストの低減を図ることができる。なお、閃光時間を変更しないので、閃光時間を延長することによるストロボ光源６Ｓｍの電流増加を抑制することもできる。
　（保持状態検出部６４ｍ）
　保持状態検出部６４ｍは、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの保持状態を検出する。保持状態には、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの適否および吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの吸着状態の良否等が挙げられる。制御装置７のメモリには、予め撮像基準部５Ｍに対する各吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの正規の保持位置が記憶されている。
　保持状態検出部６４ｍは、制御装置７のメモリに記憶されている撮像基準部５Ｍと、部品認識用カメラ６Ｃｍによって撮像された撮像基準部５Ｍとを一致させる。そして、保持状態検出部６４ｍは、各吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍについて、制御装置７のメモリに記憶されている正規の保持位置と、部品認識用カメラ６Ｃｍによって撮像された保持位置とを比較して、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの適否を判断し、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの位置ずれ及び角度ずれを算出する。位置ずれ及び角度ずれの算出結果に基づいて、吸着部品Ｐ１ｍ～Ｐ８ｍの実装位置が補正される。
　＜実装検査機および実装部品検出装置＞
　実装検査機１００は、部品実装機１の後段に設けられ、部品実装機１によって基板ＰＷ１に実装された部品Ｐ１～Ｐ８（以下、実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ８ｉという。）の有無、実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ８ｉの適否、実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ８ｉの実装位置、実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ８ｉの極性異常など実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ８ｉの実装状態を検出する。これにより、実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ８ｉの実装精度を高めることができる。
　吸着部品検出装置６ｍは、実装部品検出装置６ｉとして実装検査機１００に用いることができる。図９は、実装部品検出装置６ｉの一例を模式的に示す構成図である。実装検査機１００は、吸着部品検出装置６ｍと同様の内部機構を有する実装部品検出装置６ｉを備えている。実装部品検出装置６ｉは、吸着部品検出装置６ｍに対応する内部機構の符号番号末尾「ｍ」を「ｉ」に置き換えて記載し、重複する説明を省略する。
　実装検査機１００は、基板搬送装置１０１を備えている。基板搬送装置１０１は、例えば、コンベアベルト等の搬送装置であり、基板ＰＷ１を矢印Ｘ方向に搬送することができる。なお、同図では、実装部品Ｐ４ｉ～Ｐ８ｉは、記載が省略されており、以下の説明では、実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉについて説明する。
　基板ＰＷ１の外縁には、フィデューシャルマークと呼ばれる位置決め基準部ＦＭ１が設けられている。位置決め基準部ＦＭ１は、ストロボ光源６Ｓｉから照射された光を反射する反射部材であり、複数（例えば４つ）の位置決め基準部ＦＭ１が横方向（矢印Ｘ方向）および縦方向（矢印Ｙ方向）に所定間隔離間して配置されている。実装部品検出装置６ｉは、実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉの適否を判断することができ、位置決め基準部ＦＭ１に対する実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉの位置を検出することができる。
　実装部品検出装置６ｉは、位置決め基準部ＦＭ１および実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉを部品認識用カメラ６Ｃｉで個別に撮像して、撮像された画像から実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉの実装状態を検出する。なお、部品認識用カメラ６Ｃｉのカメラ視野が広い場合、実装部品検出装置６ｉは、位置決め基準部ＦＭ１と実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉとを同時に撮像して、撮像された画像から実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉの実装状態を検出することもできる。図１０は、３つの実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉが撮像された画像の一例を示す模式図である。
　実装部品検出装置６ｉは、実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉの種類に応じて画像のシャープネスを変更するシャープネス変更部６２ｉを有する。そのため、実装部品検出装置６ｉは、実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉの種類に合わせて画像のシャープネスを制御することができ、実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉ毎に必要な解像度で実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉの実装状態を検出することができる。したがって、画像処理によって外乱（例えば、実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉのキズや実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉに付着する異物など）による影響を容易に低減させることができ、実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉの認識精度を向上させることができる。
　また、実装部品検出装置６ｉの部品認識用カメラ６Ｃｉは、複数の実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉを同時に撮像し、シャープネス変更部６２ｉは、複数の実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉが撮像された画像において実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉ毎にシャープネスを変更することもできる。この場合、１度の撮像で複数の実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉを同時に撮像することができ、複数の実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉの実装状態を実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉ毎に最適な解像度で検出することができる。
　さらに、実装部品検出装置６ｉは、実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉの種類に応じて画素の輝度値を変更する輝度値変更部６３ｉを有すると好適である。輝度値変更部６３ｉは、撮像された画像に必要な明るさがない場合に、画素の輝度値を上げて画像の明るさを確保することができる。したがって、画像処理において必要な画像の明るさを確保しつつ、部品認識用カメラ６Ｃｉの撮像時間を低減させることができ、撮像時間の低減により、基板ＰＷ１の検査時間を短縮することができる。
　また、実装部品検出装置６ｉは、実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉを照明するストロボ光源６Ｓｉを備え、実装部品検出装置６ｉの部品認識用カメラ６Ｃｉは、ストロボ光源６Ｓｉによって実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉを照明して、実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉを撮像することもできる。ストロボ光源６Ｓｉを用いて実装部品Ｐ１ｉ～Ｐ３ｉを撮像する場合に、閃光時間を変更しないで画像の明るさを変更することができる。また、閃光時間を延長しないので、ストロボ光源６Ｓｉの最大光量を抑制することができ、光源コストの低減を図ることができる。なお、閃光時間を変更しないので、閃光時間を延長することによるストロボ光源６Ｓｉの電流増加を抑制することもできる。
　＜その他＞
　本発明は上記し且つ図面に示した実施形態のみに限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施することができる。例えば、画像処理装置６Ｐｍ、６Ｐｉにおける処理は、部品認識用カメラ６Ｃｍ、６Ｃｉ内の画像処理において行うこともできる。
　また、部品認識用カメラ６Ｃｍの代わりに、部品装着ヘッド５２に部品認識用のカメラを設けることもできる。そして、当該カメラにより、吸着ノズル５３に吸着された吸着部品を撮像して、吸着部品検出装置６ｍは、撮像された画像から吸着部品の保持状態を検出することもできる。
１：部品実装機、
５２：部品装着ヘッド、
５３、５３１～５３８：吸着ノズル、
６ｍ：吸着部品検出装置、
６ｉ：実装部品検出装置、
６２ｍ、６２ｉ：シャープネス変更部、
６３ｍ、６３ｉ：輝度値変更部、
６Ｃｍ、６Ｃｉ：部品認識用カメラ、
６Ｓｍ、６Ｓｉ：ストロボ光源、
１００：実装検査機

Claims (8)

  1. 　吸着ノズルに吸着された吸着部品を撮像して撮像された画像から前記吸着部品の保持状態を検出する吸着部品検出装置を備える部品実装機であって、
    　前記吸着部品検出装置は、前記吸着部品の種類に応じて前記画像のシャープネスを変更するシャープネス変更部を有することを特徴とする部品実装機。
  2. 　複数の吸着ノズルにそれぞれ部品を吸着して位置決めされた基板の所定位置に移動して吸着部品を装着する部品装着ヘッドを備え、
    　前記吸着部品検出装置の部品認識用カメラは、前記複数の吸着ノズルにそれぞれ吸着された複数の吸着部品を同時に撮像し、
    　前記シャープネス変更部は、前記複数の吸着部品が撮像された画像において吸着部品毎に前記シャープネスを変更する請求項１に記載の部品実装機。
  3. 　前記吸着部品検出装置は、前記吸着部品の種類に応じて画素の輝度値を変更する輝度値変更部を有する請求項１または２に記載の部品実装機。
  4. 　前記吸着部品検出装置は、前記吸着部品を照明するストロボ光源を備え、
    　前記吸着部品検出装置の部品認識用カメラは、前記ストロボ光源によって前記吸着部品を照明して、前記吸着部品を撮像する請求項３に記載の部品実装機。
  5. 　基板に実装された実装部品を撮像して撮像された画像から前記実装部品の実装状態を検出する実装部品検出装置を備える実装検査機であって、
    　前記実装部品検出装置は、前記実装部品の種類に応じて前記画像のシャープネスを変更するシャープネス変更部を有することを特徴とする実装検査機。
  6. 　前記実装部品検出装置の部品認識用カメラは、複数の実装部品を同時に撮像し、
    　前記シャープネス変更部は、前記複数の実装部品が撮像された画像において実装部品毎に前記シャープネスを変更する請求項５に記載の実装検査機。
  7. 　前記実装部品検出装置は、前記実装部品の種類に応じて画素の輝度値を変更する輝度値変更部を有する請求項５または６に記載の実装検査機。
  8. 　前記実装部品検出装置は、前記実装部品を照明するストロボ光源を備え、
    　前記実装部品検出装置の部品認識用カメラは、前記ストロボ光源によって前記実装部品を照明して、前記実装部品を撮像する請求項７に記載の実装検査機。
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