JP2022034420A - 位置特定装置、位置特定装置の制御方法、情報処理プログラム、および記録媒体 - Google Patents

Abstract

【課題】検出対象および検出装置の少なくとも一方の移動中であっても、前記検出対象の位置を高精度に特定する。【解決手段】位置特定装置（１０）は、撮像装置（３３）の移動中に撮像した撮像画像（Ｉｍ）から算出した検出ずれ量（Ｑｄ）と、検出時刻（Ｔｄ）における撮像装置（３３）の位置とから、ワーク（４０）の位置（Ｐｗ）を特定する。【選択図】図１

Description

本発明は、検出対象の位置を特定する位置特定装置等に関する。

従来、目標軌道から生成した指令値をサーボ制御系へと制御周期ごとに出力して、前記サーボ制御系を制御する制御装置について、前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮することにより、前記サーボ制御系による制御を高精度化しようとする試みが知られている。

例えば、下掲の特許文献１には、複数軸（複数のサーボモータ）間の応答遅れ時間のばらつきに起因する軌跡ずれを抑制するために、以下の処理を実行する制御装置が開示されている。すなわち、各サーボモータの応答遅れ時間に応じて、各サーボドライバへの指令タイミングを調整する制御装置が開示されている。

特開２０１７－１０２６１６号公報

上述の制御装置を用いて、検出対象および検出装置の少なくとも一方の移動中に、検出位置を前記検出対象の位置（例えば、前記検出対象の中心位置）に完全に一致させることができれば、前記検出対象の位置は、前記検出位置のみによって特定できるはずである。

しかしながら、前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮したとしても、検出対象および検出装置の少なくとも一方の移動中に、前記検出位置と、前記検出対象の位置とを完全に一致させることは困難である。そのため、前検出対象および検出装置の少なくとも一方の移動中に、記検出対象の位置を、前記検出位置のみによって特定することはできない。

本発明の一態様は、検出対象および検出装置の少なくとも一方の移動中であっても、前記検出対象の位置を高精度に特定することを目的とする。

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る位置特定装置は、検出対象の位置を特定する位置特定装置であって、前記検出対象が存在すべき位置として予め設定された予想検出位置を目標位置として含む目標軌道から演算した指令値を、検出装置および前記検出対象の少なくとも一方の位置を制御するサーボ制御系へと出力する指令部と、前記検出装置および前記検出対象の少なくとも一方の移動中の時刻であって、前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮して算出した前記サーボ制御系の目標位置が、前記予想検出位置に一致する時刻である検出時刻における、前記検出装置の検出結果を取得する取得部と、前記検出結果における、基準位置と前記検出対象の位置とのずれ量から、前記基準位置に対応する位置である検出位置と前記検出対象の位置とのずれ量である検出ずれ量を算出する検出ずれ量算出部と、前記検出時刻における前記検出装置の位置から、前記検出位置を算出する検出位置算出部と、前記検出位置を前記検出ずれ量によって補正することにより、前記検出対象の位置を特定する位置特定部とを備えている。

前記の構成によれば、前記位置特定装置は、前記検出結果から、前記検出位置と前記検出対象の位置とのずれ量である前記検出ずれ量を算出する。また、前記位置特定装置は、前記検出時刻における前記検出装置の位置から、前記検出位置を算出する。そして、前記位置特定装置は、前記検出ずれ量と前記検出位置とによって、前記検出対象の位置を特定する。

（位置検出の高精度化）
そのため、前記位置特定装置は、前記検出時刻において、前記検出対象の位置と前記検出位置とが一致しない場合にも、両者のずれ量を用いて、前記検出対象の位置を高精度に特定することができるとの効果を奏する。

（検出結果の高精度化および高速化）
また、前記の構成によれば、前記位置特定装置は、前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮して算出した前記サーボ制御系の目標位置が、前記予想検出位置に一致する時刻である前記検出時刻における前記検出結果から、前記検出ずれ量を算出する。

ここで、前記検出装置が検出を実行するタイミングにおいて、前記検出装置が前記検出対象を検出可能な範囲に前記検出対象が存在しない場合、前記検出結果から前記検出ずれ量を算出することはできない。

そこで、「前記検出装置が検出を実行するタイミングにおいて、前記検出装置が前記検出対象を検出可能な範囲に前記検出対象が存在しない」といった事態を回避するため、前記位置特定装置は、前記検出時刻における前記検出結果を取得する。

例えば、前記サーボ制御系が前記検出装置のみを移動させ、前記検出対象は移動されず、前記検出対象は予め、前記予想検出位置に載置され、または、前記予想検出位置に十分近い位置に載置されている場合、前記位置特定装置は、以下の処理を実行する。すなわち、前記位置特定装置は、前記検出装置の位置を制御する前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮して算出する前記サーボ制御系の目標位置が、前記予想検出位置に一致する時刻を、前記検出時刻とする。

ここで、前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮することによって、「前記サーボ制御系の、時刻ごとの目標位置」は、「前記サーボ制御系の、時刻ごとのフィードバック位置」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなると考えられる。そして、前記検出装置の位置を制御する前記サーボ制御系のフィードバック位置は、前記検出装置の位置とみなすことができる。そのため、「前記サーボ制御系によって移動されている前記検出装置の、時刻ごとの位置」は、「前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮して算出される、前記サーボ制御系の、時刻ごとの目標位置」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。

以上に説明した通り、前記検出時刻において、「前記サーボ制御系によって移動されている前記検出装置の位置」と、前記予想検出位置とは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。そして、前述の通り、前記検出対象は予め、前記予想検出位置に載置され、または、前記予想検出位置に十分近い位置に載置されている。そのため、前記検出時刻において、「前記サーボ制御系によって移動されている前記検出装置の位置」と前記検出対象の位置とは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなる。

その結果、前記位置特定装置は、「前記検出装置が検出を実行するタイミングにおいて、前記検出装置が前記検出対象を検出可能な範囲に、前記検出対象が存在しない」といった事態を回避することができる。

また例えば、前記サーボ制御系が前記検出対象のみを移動させ、前記検出装置は移動されず、前記検出装置は予め、前記予想検出位置に載置され、または、前記予想検出位置に十分近い位置に載置されている場合、前記位置特定装置は、以下の処理を実行する。すなわち、前記位置特定装置は、前記検出対象の位置を制御する前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮して算出する前記サーボ制御系の目標位置が、前記予想検出位置に一致する時刻を、前記検出時刻とする。

前述の通り、前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮することによって、「前記サーボ制御系の、時刻ごとの目標位置」は、「前記サーボ制御系の、時刻ごとのフィードバック位置」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなると考えられる。そして、前記検出対象の位置を制御する前記サーボ制御系のフィードバック位置は、前記検出対象の位置とみなすことができる。そのため、「前記サーボ制御系によって移動されている前記検出対象の、時刻ごとの位置」は、「前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮して算出される、前記サーボ制御系の、時刻ごとの目標位置」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。

以上に説明した通り、前記検出時刻において、「前記サーボ制御系によって移動されている前記検出対象の位置」と、前記予想検出位置とは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。そして、前述の通り、前記検出装置は予め、前記予想検出位置に載置され、または、前記予想検出位置に十分近い位置に載置されている。そのため、前記検出時刻において、「前記サーボ制御系によって移動されている前記検出対象の位置」と前記検出装置の位置とは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなる。

その結果、前記位置特定装置は、「前記検出装置が検出を実行するタイミングにおいて、前記検出装置が前記検出対象を検出可能な範囲に、前記検出対象が存在しない」といった事態を回避することができる。

さらに例えば、第一のサーボ制御系が前記検出装置を移動させ、第二のサーボ制御系が前記検出対象を移動させる場合、前記位置特定装置は、以下の時刻を、前記検出時刻とする。すなわち、前記第一のサーボ制御系および前記第二のサーボ制御系の各々の応答遅れ時間を考慮して算出する前記第一のサーボ制御系および前記第二のサーボ制御系の各々の目標位置が、共に、前記予想検出位置に一致する時刻を、前記検出時刻とする。

前述の通り、前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮することによって、「前記サーボ制御系の、時刻ごとの目標位置」は、「前記サーボ制御系の、時刻ごとのフィードバック位置」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなると考えられる。

そして、前記検出装置の位置を制御する前記第一のサーボ制御系のフィードバック位置は、前記検出装置の位置とみなすことができる。また、前記検出対象の位置を制御する前記第二のサーボ制御系のフィードバック位置は、前記検出対象の位置とみなすことができる。

そのため、「移動中の前記検出装置の、時刻ごとの位置」は、「前記第一のサーボ制御系の応答遅れ時間を考慮して算出される、前記第一のサーボ制御系の、時刻ごとの目標位置」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。また、「移動中の前記検出対象の、時刻ごとの位置」は、「前記第二のサーボ制御系の応答遅れ時間を考慮して算出される、前記第二のサーボ制御系の、時刻ごとの目標位置」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。

以上に説明した通り、前記検出時刻において、「移動中の前記検出装置の位置」と、「移動中の前記検出対象の位置」と、前記予想検出位置とは一致し、または、三者のずれ量は十分に小さくなるはずである。

その結果、前記位置特定装置は、「前記検出装置が検出を実行するタイミングにおいて、前記検出装置が前記検出対象を検出可能な範囲に、前記検出対象が存在しない」といった事態を回避することができる。

前記位置特定装置は、検出装置および前記検出対象の少なくとも一方の移動中の時刻であって、「前記検出対象の位置と、前記検出装置の位置とが一致し、または、両者のずれ量が十分に小さくなる」時刻である前記検出時刻における前記検出結果を取得する。

ここで、前記検出時刻における前記検出装置の位置は、前記検出位置に対応するから、前記検出時刻における前記検出結果において、前記基準位置と前記検出対象の位置とのずれ量は十分に小さくなると考えられる。そして、「前記検出結果において、前記基準位置と前記検出対象の位置とのずれ量は十分に小さい」ことが予め分かっていれば、「前記検出結果において、両者のずれ量は予測不能または大きいと予測される」場合に比べて、前記検出結果への解析を高精度化できる。

そのため、前記位置特定装置は、高精度な解析を実行可能な「前記検出時刻における前記検出結果」を取得し、つまり、「前記検出時刻における前記検出結果」から、前記検出ずれ量を高精度に算出することができる。

また、前記位置特定装置は、前記検出ずれ量を、「前記検出装置が、前記検出対象および前記検出装置の少なくとも一方の移動中に、検出した前記検出結果」から算出する。そのため、前記位置特定装置は、「前記検出対象および前記検出装置の移動を停止させてから前記検出装置に検出を実行させ、前記検出結果を生成させる」場合に比べて、前記検出結果を高速に取得でき、その結果、前記検出ずれ量の算出を高速化できる。

（検出対象の位置特定の高精度化および高速化）
これまでに説明してきた通り、前記位置特定装置は、高精度な解析を実行可能な前記検出結果を高速に取得し、前記検出結果から前記検出ずれ量を高速かつ高精度に算出することができる。そして、前記位置特定装置は、算出した前記検出ずれ量と、前記検出位置とによって、前記検出対象の位置を特定する。

したがって、前記位置特定装置は、前記検出対象の位置を、高速かつ高精度に特定することができるとの効果を奏する。

本発明の一態様に係る位置特定装置は、前記サーボ制御系と制御周期ごとに通信を実行し、前記サーボ制御系によって前記検出装置の位置が制御される場合、前記検出位置算出部は、前記検出時刻における前記検出装置の位置を、前記検出装置の位置を制御する前記サーボ制御系の、前記制御周期ごとのフィードバック位置から、補間計算によって算出してもよい。

前記の構成によれば、前記位置特定装置は、「前記検出時刻における、前記検出装置の位置を制御する前記サーボ制御系のフィードバック位置」を、「前記サーボ制御系の、前記制御周期ごとのフィードバック位置」から、補間計算によって算出する。

例えば、ｎを「０以上の整数」として、前記検出時刻が「ｎ」回目の制御周期と「ｎ＋１」回目の制御周期との間の時刻である場合、前記位置特定装置は、以下のように、「前記検出時刻における、前記サーボ制御系のフィードバック位置」を算出する。すなわち、前記位置特定装置は、前記サーボ制御系の、「『ｎ』回目の制御周期におけるフィードバック位置」と、「『ｎ＋１』回目の制御周期におけるフィードバック位置」とから、「前記検出時刻における、前記サーボ制御系のフィードバック位置」を算出する。

したがって、前記位置特定装置は、前記検出時刻が、前記サーボ制御系との通信周期である前記制御周期の整数倍でない場合であっても、高精度に、「前記検出時刻における、前記サーボ制御系のフィードバック位置」を算出することができるとの効果を奏する。

本発明の一態様に係る位置特定装置は、互いに同期した複数のサーボ制御系の各々に、前記複数のサーボ制御系の各々の応答遅れ時間を考慮した指令値を出力してもよい。

前記の構成によれば、前記位置特定装置は、互いに同期した複数のサーボ制御系の各々に、前記複数のサーボ制御系の各々の応答遅れ時間を考慮した指令値を出力する。

したがって、前記位置特定装置は、前記複数のサーボ制御系を、互いに同期させた状態で制御して、前記ワークの高精度な位置制御を実現できるとの効果を奏する。

本発明の一態様に係る位置特定装置は、前記検出装置の応答遅れ時間を考慮して前記検出時刻を補正した検出指示時刻を、前記検出装置による検出動作を制御する検出制御装置と通信する通信制御装置へと制御周期ごとに送信する制御信号において指定し、前記通信制御装置に、前記検出制御装置への検出指示の出力を、前記検出指示時刻において実行させることによって、前記検出装置に、前記検出時刻において、前記検出対象を検出させてもよい。

前記の構成によれば、前記位置特定装置は、前記検出時刻を「前記検出装置の応答遅れ時間」によって補正した時刻である前記検出指示時刻を算出する。そして、前記位置特定装置は、前記通信制御装置に対して制御周期ごとに出力する前記制御信号において、前記検出指示時刻を指定する。

前記制御信号を受信した前記通信制御装置は、前記検出指示時刻において、前記検出指示を前記検出制御装置へと送信し、前記検出指示を受信した前記検出制御装置は、前記検出装置に、前記検出対象を検出させる。そのため、前記検出装置が、前記検出対象を検出する時刻は、前記検出装置の応答遅れ時間の分だけ前記検出指示時刻から遅れた時刻となり、つまり、前記検出時刻となる。

ここで、前記検出装置の応答遅れ時間を考慮せずに、前記検出装置に検出を実行させようとした場合、前記検出装置が実際に検出を実行する時刻は、前記検出装置に検出の実行を指示した時刻から、前記検出装置の応答遅れ時間の分だけ遅れることになる。

そこで、前記位置特定装置は、前記検出時刻を「前記検出装置の応答遅れ時間」によって補正した時刻である前記検出指示時刻を算出する。そして、前記位置特定装置は、前記検出装置に検出の実行を指示する時刻として前記検出指示時刻を指定する。

したがって、前記位置特定装置は、前記検出装置に検出の実行を指示する時刻として、「前記検出装置の応答遅れ時間」を考慮した前記検出指示時刻を指定することによって、前記検出装置に、前記検出時刻において検出を実行させることができるとの効果を奏する。

また、前記位置特定装置は、前記制御周期ごとに送信する前記制御信号において前記検出指示時刻を指定し、例えば、前記位置特定装置は、前記検出指示時刻を、前記検出指示時刻よりも前の制御周期における前記制御信号において指定する。

したがって、前記位置特定装置は、前記制御信号において前記検出指示時刻を指定することで、前記検出指示時刻が、前記通信制御装置との通信周期である前記制御周期の整数倍でない場合にも、前記検出時刻において前記検出対象を検出できるとの効果を奏する。

本発明の一態様に係る位置特定装置について、前記検出装置は撮像装置であり、前記検出ずれ量算出部は、前記撮像装置が撮像した撮像画像における前記基準位置と、前記撮像画像における前記検出対象とのずれ量から、前記検出ずれ量を算出してもよい。

前記の構成によれば、前記位置特定装置は、前記撮像画像における前記基準位置と前記撮像画像における前記検出対象の位置とのずれ量によって、前記検出ずれ量を算出する。そして、前記位置特定装置は、前記検出位置を前記検出ずれ量によって補正することにより、前記検出対象の位置を特定する。

ここで、撮像画像中の撮像対象（検出対象）の位置等を高速かつ高精度に特定する画像解析技術が知られている。

したがって、前記位置特定装置は、前記撮像画像から高速かつ高精度に算出した前記検出ずれ量と、前記検出位置とによって、前記検出対象の高速かつ高精度な位置特定を実現できるとの効果を奏する。

また、前述の通り、前記検出時刻において、前記検出対象の位置と、前記検出装置の位置とが一致し、または、両者のずれ量が十分に小さくなる。したがって、例えば、前記撮像画像の中心位置を前記基準位置とする場合、前記撮像画像において、前記検出対象は略中央に配置されることになる。

略中央に前記検出対象が配置された撮像画像を用いることにより、略中央に前記検出対象が配置されていない撮像画像を用いる場合に比べて、前記位置特定装置は、前記撮像画像において前記検出対象の位置を特定するための検査領域を小さくすることができる。そのため、前記位置特定装置は、前記撮像画像から前記検出対象を検出するのに必要な画像解析処理の高速化を実現することができる。

また、前記撮像画像において前記検出対象は略中央に配置されるため、前記位置特定装置は、前記検出対象が略中央に配置されていない撮像画像に比べて、前記検出対象の撮像された領域が前記撮像画像の全体に占める割合を大きくすることができる。つまり、前記位置特定装置は、前記検出対象を拡大して撮像した前記撮像画像を生成させたることができる。そのため、前記位置特定装置は、前記検出対象が拡大して撮像された前記撮像画像に対して、高精度な画像解析を行うことができる。

したがって、前記位置特定装置は、前記撮像画像に対する高速かつ高精度な画像解析を実現し、この画像解析の結果を利用することによって、前記検出対象の高速かつ高精度な位置制御を実現できるとの効果を奏する。

本発明の一態様に係る位置特定装置は、複数の前記検出対象の各々の位置を順次特定し、（Ａ）複数の前記検出対象の一つである第一の検出対象が存在すべき位置である第一の予想検出位置と、（Ｂ）前記第一の検出対象の次に位置を特定すべき第二の検出対象が存在すべき位置である第二の予想検出位置との差から、基準変位量を算出し、前記位置特定部によって特定された前記第一の検出対象の位置に、前期基準変位量を加えた位置を、補正後の第二の予想検出位置として、前記第二の検出対象および前記検出装置の少なくとも一方の位置が、前記補正後の第二の予想検出位置に一致すると予想した時刻を、前記第二の検出対象を検出させる前記検出時刻とし、前記検出時刻において、前記検出装置に、前記第二の検出対象に係る前記検出結果を生成させてもよい。

前記の構成によれば、前記位置特定装置は、前記第一の予想検出位置と前記第二の予想検出位置との差から、前記基準変位量を算出し、算出した前期基準変位量を、前記第一の検出対象の位置に加えた位置を、補正後の第二の予想検出位置とする。そして、前記位置特定装置は、前記第二の検出対象および前記検出装置の少なくとも一方の位置が、前記補正後の第二の予想検出位置に一致すると予想した時刻において、前記検出装置に前記第二の検出対象についての前記検出結果を生成させる。

したがって、前記位置特定装置は、複数の前記検出対象の各々の位置を特定するのに際して、直前に特定した前記検出対象の位置を用いることによって、次に位置を特定しようとする前記検出対象が存在する位置を、高精度に予測できるとの効果を奏する。

例えば、前記第一の予想検出位置と前記第二の予想検出位置との差である前記基準変位量に対し、前記第一の検出対象の実際の位置と前記第二の検出対象の実際の位置との差である実変位量が、差分ｄＰだけ小さいとする。同様に、前記第二の予想検出位置と前記第二の検出対象の次に位置を特定すべき第三の検出対象の予想検出位置との差である基準変位量に対し、前記第二の検出対象の実際の位置と前記第三の検出対象の実際の位置との差である実変位量が、差分ｄＰだけ小さいとする。

すると、前記第三の検出対象の実際の位置は、前記第三の検出対象の予想検出位置よりも、差分ｄＰ２つ分、つまり、２ｄＰ小さいことになる。

これに対して、前記第二の検出対象の実際の位置に、前期基準変位量を加えた位置を、補正後の第三の予想検出位置とすると、前記第三の検出対象の実際の位置と、前記補正後の第三の予想検出位置とのずれ量は、差分ｄＰとなる。

つまり、前記第二の検出対象の位置を考慮せずに前記第三の検出対象の予想検出位置を用いるのに比べて、前記第二の検出対象の位置によって補正した前記補正後の第三の予想検出位置を用いることで、前記第三の検出対象の位置の予測精度を向上することができる。

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る制御方法は、検出対象の位置を特定する位置特定装置の制御方法であって、前記検出対象が存在すべき位置として予め設定された予想検出位置を目標位置として含む目標軌道から演算した指令値を、検出装置および前記検出対象の少なくとも一方の位置を制御するサーボ制御系へと出力する指令ステップと、前記検出装置および前記検出対象の少なくとも一方の移動中の時刻であって、前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮して算出した前記サーボ制御系の目標位置が、前記予想検出位置に一致する時刻である検出時刻における、前記検出装置の検出結果を取得する取得ステップと、前記検出結果における、基準位置と前記検出対象の位置とのずれ量から、前記基準位置に対応する位置である検出位置と前記検出対象の位置とのずれ量である検出ずれ量を算出する検出ずれ量算出ステップと、前記検出時刻における前記検出装置の位置から、前記検出位置を算出する検出位置算出ステップと、前記検出位置を前記検出ずれ量によって補正することにより、前記検出対象の位置を特定する位置特定ステップとを含んでいる。

前記の構成によれば、前記制御方法は、前記検出結果から、前記検出位置と前記検出対象の位置とのずれ量である前記検出ずれ量を算出する。また、前記制御方法は、前記検出時刻における前記検出装置の位置から、前記検出位置を算出する。そして、前記制御方法は、前記検出ずれ量と前記検出位置とによって、前記検出対象の位置を特定する。

（位置検出の高精度化）
そのため、前記制御方法は、前記検出時刻において、前記検出対象の位置と前記検出位置とが一致しない場合にも、両者のずれ量を用いて、前記検出対象の位置を高精度に特定することができるとの効果を奏する。

（検出結果の高精度化および高速化）
また、前記の構成によれば、前記制御方法は、前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮して算出した前記サーボ制御系の目標位置が、前記予想検出位置に一致する時刻である前記検出時刻における前記検出結果から、前記検出ずれ量を算出する。

ここで、前記検出装置が検出を実行するタイミングにおいて、前記検出装置が前記検出対象を検出可能な範囲に前記検出対象が存在しない場合、前記検出結果から前記検出ずれ量を算出することはできない。

そこで、「前記検出装置が検出を実行するタイミングにおいて、前記検出装置が前記検出対象を検出可能な範囲に前記検出対象が存在しない」といった事態を回避するため、前記制御方法は、前記検出時刻における前記検出結果を取得する。

例えば、前記サーボ制御系が前記検出装置のみを移動させ、前記検出対象は移動されず、前記検出対象は予め、前記予想検出位置に載置され、または、前記予想検出位置に十分近い位置に載置されている場合、前記制御方法は、以下の処理を実行する。すなわち、前記制御方法は、前記検出装置の位置を制御する前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮して算出する前記サーボ制御系の目標位置が、前記予想検出位置に一致する時刻を、前記検出時刻とする。

ここで、前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮することによって、「前記サーボ制御系の、時刻ごとの目標位置」は、「前記サーボ制御系の、時刻ごとのフィードバック位置」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなると考えられる。そして、前記検出装置の位置を制御する前記サーボ制御系のフィードバック位置は、前記検出装置の位置とみなすことができる。そのため、「前記サーボ制御系によって移動されている前記検出装置の、時刻ごとの位置」は、「前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮して算出される、前記サーボ制御系の、時刻ごとの目標位置」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。

以上に説明した通り、前記検出時刻において、「前記サーボ制御系によって移動されている前記検出装置の位置」と、前記予想検出位置とは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。そして、前述の通り、前記検出対象は予め、前記予想検出位置に載置され、または、前記予想検出位置に十分近い位置に載置されている。そのため、前記検出時刻において、「前記サーボ制御系によって移動されている前記検出装置の位置」と前記検出対象の位置とは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなる。

その結果、前記制御方法は、「前記検出装置が検出を実行するタイミングにおいて、前記検出装置が前記検出対象を検出可能な範囲に、前記検出対象が存在しない」といった事態を回避することができる。

また例えば、前記サーボ制御系が前記検出対象のみを移動させ、前記検出装置は移動されず、前記検出装置は予め、前記予想検出位置に載置され、または、前記予想検出位置に十分近い位置に載置されている場合、前記制御方法は、以下の処理を実行する。すなわち、前記制御方法は、前記検出対象の位置を制御する前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮して算出する前記サーボ制御系の目標位置が、前記予想検出位置に一致する時刻を、前記検出時刻とする。

前述の通り、前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮することによって、「前記サーボ制御系の、時刻ごとの目標位置」は、「前記サーボ制御系の、時刻ごとのフィードバック位置」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなると考えられる。そして、前記検出対象の位置を制御する前記サーボ制御系のフィードバック位置は、前記検出対象の位置とみなすことができる。そのため、「前記サーボ制御系によって移動されている前記検出対象の、時刻ごとの位置」は、「前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮して算出される、前記サーボ制御系の、時刻ごとの目標位置」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。

以上に説明した通り、前記検出時刻において、「前記サーボ制御系によって移動されている前記検出対象の位置」と、前記予想検出位置とは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。そして、前述の通り、前記検出装置は予め、前記予想検出位置に載置され、または、前記予想検出位置に十分近い位置に載置されている。そのため、前記検出時刻において、「前記サーボ制御系によって移動されている前記検出対象の位置」と前記検出装置の位置とは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなる。

その結果、前記制御方法は、「前記検出装置が検出を実行するタイミングにおいて、前記検出装置が前記検出対象を検出可能な範囲に、前記検出対象が存在しない」といった事態を回避することができる。

さらに例えば、第一のサーボ制御系が前記検出装置を移動させ、第二のサーボ制御系が前記検出対象を移動させる場合、前記制御方法は、以下の時刻を、前記検出時刻とする。すなわち、前記第一のサーボ制御系および前記第二のサーボ制御系の各々の応答遅れ時間を考慮して算出する前記第一のサーボ制御系および前記第二のサーボ制御系の各々の目標位置が、共に、前記予想検出位置に一致する時刻を、前記検出時刻とする。

前述の通り、前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮することによって、「前記サーボ制御系の、時刻ごとの目標位置」は、「前記サーボ制御系の、時刻ごとのフィードバック位置」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなると考えられる。

そして、前記検出装置の位置を制御する前記第一のサーボ制御系のフィードバック位置は、前記検出装置の位置とみなすことができる。また、前記検出対象の位置を制御する前記第二のサーボ制御系のフィードバック位置は、前記検出対象の位置とみなすことができる。

そのため、「移動中の前記検出装置の、時刻ごとの位置」は、「前記第一のサーボ制御系の応答遅れ時間を考慮して算出される、前記第一のサーボ制御系の、時刻ごとの目標位置」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。また、「移動中の前記検出対象の、時刻ごとの位置」は、「前記第二のサーボ制御系の応答遅れ時間を考慮して算出される、前記第二のサーボ制御系の、時刻ごとの目標位置」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。

以上に説明した通り、前記検出時刻において、「移動中の前記検出装置の位置」と、「移動中の前記検出対象の位置」と、前記予想検出位置とは一致し、または、三者のずれ量は十分に小さくなるはずである。

その結果、前記制御方法は、「前記検出装置が検出を実行するタイミングにおいて、前記検出装置が前記検出対象を検出可能な範囲に、前記検出対象が存在しない」といった事態を回避することができる。

前記制御方法は、検出装置および前記検出対象の少なくとも一方の移動中の時刻であって、「前記検出対象の位置と、前記検出装置の位置とが一致し、または、両者のずれ量が十分に小さくなる」時刻である前記検出時刻における前記検出結果を取得する。

ここで、前記検出時刻における前記検出装置の位置は、前記検出位置に対応するから、前記検出時刻における前記検出結果において、前記基準位置と前記検出対象の位置とのずれ量は十分に小さくなると考えられる。そして、「前記検出結果において、前記基準位置と前記検出対象の位置とのずれ量は十分に小さい」ことが予め分かっていれば、「前記検出結果において、両者のずれ量は予測不能または大きいと予測される」場合に比べて、前記検出結果への解析を高精度化できる。

そのため、前記制御方法は、高精度な解析を実行可能な「前記検出時刻における前記検出結果」を取得し、つまり、「前記検出時刻における前記検出結果」から、前記検出ずれ量を高精度に算出することができる。

また、前記制御方法は、前記検出ずれ量を、「前記検出装置が、前記検出対象および前記検出装置の少なくとも一方の移動中に、検出した前記検出結果」から算出する。そのため、前記制御方法は、「前記検出対象および前記検出装置の移動を停止させてから前記検出装置に検出を実行させ、前記検出結果を生成させる」場合に比べて、前記検出結果を高速に取得でき、その結果、前記検出ずれ量の算出を高速化できる。

（検出対象の位置特定の高精度化および高速化）
これまでに説明してきた通り、前記制御方法は、高精度な解析を実行可能な前記検出結果を高速に取得し、前記検出結果から前記検出ずれ量を高速かつ高精度に算出することができる。そして、前記制御方法は、算出した前記検出ずれ量と、前記検出位置とによって、前記検出対象の位置を特定する。

したがって、前記制御方法は、前記検出対象の位置を、高速かつ高精度に特定することができるとの効果を奏する。

本発明の一態様によれば、検出対象および検出装置の少なくとも一方の移動中であっても、前記検出対象の位置を高精度に特定することができるとの効果を奏する。

本発明の実施形態１に係る位置特定装置の要部構成を示す図である。 図１の位置特定装置を含む制御システムの全体概要を示す図である。 図２の制御システムの適用例を説明する図である。 図３に示したのと同様の適用例について、図１の位置特定装置が、サーボ制御系を介してワークの位置を制御する運用例を示す図である。 ワークの撮像方法のヴァリエーションを説明する図である。 撮像画像から算出する「画像内での位置ずれ量」を説明する図である。 サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮しない場合のサーボ位置偏差などを説明する図である。 サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮した場合のサーボ位置偏差などを説明する図である。 予想検出位置を「１００」とした場合の動作プロファイルの一例を示す図である。 検出時刻における、フィードバック位置と、サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮した目標位置とのずれを説明する図である。 予想検出位置を「４０」とした場合の動作プロファイルの一例を示す図である。 特定すべきワークの位置についての要求精度の違いによる、撮像画像に対する画像解析に際して必要となる画素分解能について説明する図である。 複数のワークの各々の位置を順次特定する際に、図１の位置特定装置が実行する処理を説明する図である。 図１の位置特定装置が実行する処理の全体概要を説明するフロー図である。 図１４の検出指示時刻決定処理の一例を説明するフロー図である。 図１４の検出ずれ量算出処理および検出位置算出処理の各々の一例を説明するフロー図である。

〔実施形態１〕
以下、本発明の一側面に係る実施の形態（以下、「本実施形態」とも表記する）を、図面に基づいて説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰返さない。本実施形態においては、検出対象であるワーク４０および検出装置である撮像装置３３の少なくとも一方の移動中に検出した検出結果から、ワーク４０の位置Ｐｗを特定する位置特定装置１０を、「検出対象の位置を特定する位置特定装置」の典型例として説明する。

§１．適用例
（制御システムの概要）
本発明の一態様に係る位置特定装置１０についての理解を容易にするため、先ず、本発明が適用される場面の一例について、具体的には、位置特定装置１０を含む制御システム１の概要について、図２を用いて説明する。

図２は、制御システム１の全体概要を示す図である。制御システム１は、マスタとしての位置特定装置１０と、マスタにネットワークを介して接続される１つ以上のスレーブとしてのサーボ制御系２０および検出系３０とを含む、マスタスレーブ制御システムである。位置特定装置１０は、制御システム１において、ネットワークを介したデータ伝送を管理しているという意味で「マスタ」と呼ばれ、一方、「スレーブ」は、マスタによって管理され、例えば、工場内に設置される設備のデータ収集および制御を行う。制御システム１において、マスタとしての位置特定装置１０と、スレーブとしてのサーボ制御系２０および検出系３０とをつなぐネットワークとしては、例えば、ＥｔｈｅｒＣＡＴ（登録商標）を使用することができる。

なお、「マスタ」および「スレーブ」は、ネットワーク上のデータ伝送の制御機能に着目して定義されるものであり、各装置間でどのような情報が送受信されるかについては、特に限定されない。

（位置特定装置）
位置特定装置１０は、マスタとして、サーボ制御系２０および検出系３０等のスレーブが出力する制御結果（例、制御量および検出結果）を示すデータを、制御周期Ｃｃごとに取得する（受信する）。また、位置特定装置１０は、マスタとして、サーボ制御系２０および検出系３０等のスレーブへと、指令値Ｃｍおよび検出指示時刻ａＴｄを含む制御信号Ｃｓ（制御指示）を、制御周期Ｃｃごとに出力する（送信する）。

位置特定装置１０は、例えば、サーボモータ２２などの制御機器を制御するためのユーザプログラムを実行するＰＬＣ（Programmable Logic Controller）等の産業用の位置特定装置である。制御システム１において、位置特定装置１０は、下位コントローラとしてのサーボドライバ２１に対する上位コントローラである。

具体的には、位置特定装置１０は、目標軌道Ｔｔから制御周期Ｃｃごとに生成した指令値Ｃｍを、サーボドライバ２１を含むサーボ制御系２０に対して制御周期Ｃｃごとに出力する。サーボ制御系２０において、指令値Ｃｍを受信したサーボドライバ２１は、制御対象であるサーボモータ２２等の出力である制御量を、指令値Ｃｍに追従するようにフィードバック制御を行う。そして、位置特定装置１０は、サーボ制御系２０（特に、サーボドライバ２１）から、サーボモータ２２の出力（制御量。例えば、トルク、速度、および位置など）に係るデータを制御周期Ｃｃごとに取得する。位置特定装置１０は、サーボ制御系２０から受信した制御量（例、制御周期Ｃｃごとのフィードバック位置Ｐｆ）に基づいてさらにサーボ制御系２０に指令値Ｃｍを生成し、生成した指令値Ｃｍをサーボ制御系２０へと送信することで、サーボ制御系２０を制御する。

ここで、位置特定装置１０は、例えば複数のサーボ制御系２０を制御し、具体的には、以下のように複数のサーボ制御系２０を制御する。すなわち、位置特定装置１０は、複数のサーボ制御系２０の各々について、目標軌道Ｔｔからサーボ制御系２０ごとの指令軌道Ｃｏを生成する。そして、位置特定装置１０は、サーボ制御系２０ごとの指令軌道Ｃｏから生成した「サーボ制御系２０ごとの指令値Ｃｍ」を、複数のサーボ制御系２０の各々に対する制御周期Ｃｃごとに出力して、複数のサーボ制御系２０を協調制御する。位置特定装置１０は、複数のサーボ制御系２０の各々の応答遅れ時間Ｄｓを考慮して「サーボ制御系２０ごとの指令値Ｃｍ」を生成することによって、複数のサーボ制御系２０を、動作結果（制御量）のレベルで同期させる。

図２に示す例では、位置特定装置１０は、目標軌道Ｔｔから、サーボ制御系２０（Ａ）および２０（Ｂ）の各々の指令軌道Ｃｏ（Ａ）およびＣｏ（Ｂ）を生成する。位置特定装置１０は、指令軌道Ｃｏ（Ａ）およびＣｏ（Ｂ）の各々から、サーボ制御系２０（Ａ）および２０（Ｂ）の各々の指令値Ｃｍ（Ａ）およびＣｍ（Ｂ）を生成する。特に、位置特定装置１０は、サーボ制御系２０（Ａ）および２０（Ｂ）の各々の応答遅れ時間Ｄｓ（Ａ）およびＤｓ（Ｂ）を考慮して、指令値Ｃｍ（Ａ）およびＣｍ（Ｂ）を生成する。位置特定装置１０は、指令値Ｃｍ（Ａ）およびＣｍ（Ｂ）を、サーボ制御系２０の制御周期Ｃｃごとに出力することによって、サーボ制御系２０（Ａ）および２０（Ｂ）の各々を協調制御する。

また、制御システム１において、位置特定装置１０は、検出指示時刻ａＴｄを指定した制御信号Ｃｓを、例えば制御周期Ｃｃごとに出力する。また、位置特定装置１０は、検出系３０から、検出系３０の実行した検出動作（例、撮像動作）の結果である検出結果（例、撮像画像Ｉｍ）を、例えば制御周期Ｃｃごとに、取得する（受信する）。

詳細は後述するが、位置特定装置１０は、「検出系３０の応答遅れ時間Ｄｄ」によって検出時刻Ｔｄを補正した時刻である検出指示時刻ａＴｄを、制御信号Ｃｓにおいて指定する。そして、位置特定装置１０は、検出指示時刻ａＴｄを指定した制御信号Ｃｓを検出系３０へと出力することによって、検出時刻Ｔｄにおいて、撮像装置３３（検出装置）に、検出動作（撮像動作）を実行させる。

図２に示す例では、マスタとしての位置特定装置１０に対して、サーボ制御系２０（Ａ）および２０（Ｂ）という２つのサーボ制御系２０と、１つの検出系３０とが、スレーブとして接続されている例が示されている。ただし、位置特定装置１０に接続されるサーボ制御系２０が２つであることは必須ではなく、制御システム１において、マスタとしての位置特定装置１０に接続されるサーボ制御系２０は１つ以上であればよく、例えば、５つであってもよい。

以下の説明においては、サーボ制御系２０について、複数のサーボ制御系２０の各々を区別する必要がある場合には、符号に「（Ａ）」、「（Ｂ）」、「（Ｃ）」、・・・、「（Ｚ）」等の添え字を付して区別する。例えば、「サーボ制御系２０（Ａ）」、「サーボ制御系２０（Ｂ）」、「サーボ制御系２０（Ｃ）」、・・・、「サーボ制御系２０（Ｚ）」と記載して区別する。複数のサーボ制御系２０の各々を特に区別する必要がない場合は単に「サーボ制御系２０」と称する。

また、ワーク４０について、複数のワーク４０の各々を区別する必要がある場合には、符号に「（Ａ）」、「（Ｂ）」、「（Ｃ）」、・・・、「（Ｚ）」等の添え字を付して区別する。例えば、「ワーク４０（Ａ）」、「ワーク４０（Ｂ）」、「ワーク４０（Ｃ）」、・・・、「ワーク４０（Ｚ）」と記載して区別する。複数のワーク４０の各々を特に区別する必要がない場合は単に「ワーク４０」と称する。「ワーク４０の位置Ｐｗ」、「撮像画像Ｉｍ」、「検出時刻Ｔｄ」、「予想検出位置ｐＰｄ」等についても同様である。

（サーボ制御系）
サーボ制御系２０は、位置特定装置１０からの指令値Ｃｍに従って、サーボ制御系２０の出力（例えば、位置）を制御し、具体的には、撮像装置３３およびワーク４０の少なくとも一方の位置を制御するフィードバック制御系である。例えば、図３に示す例ではサーボ制御系２０は、撮像装置３３の位置を制御し、図４に示す例ではサーボ制御系２０は、ワーク４０の位置Ｐｗ（より具体的には、ワーク４０の載置された基板の位置）を制御している。

サーボ制御系２０は、撮像装置３３およびワーク４０の少なくとも一方の位置を変更するアクチュエータ（Actuator）としてのサーボモータ２２と、サーボモータ２２を制御するサーボドライバ２１とを含む。

サーボドライバ２１は、サーボモータ２２の制御装置であり、位置特定装置１０からの制御信号Ｃｓ（具体的には、指令値Ｃｍ）を制御周期Ｃｃごとに受信し、受信した制御信号Ｃｓに従ってサーボモータ２２の駆動を制御する。また、サーボドライバ２１は、サーボモータ２２の軸に接続されている位置センサおよびトルクセンサなどから、位置、速度、トルクといったサーボモータ２２の出力に係る実測値を取得する。サーボドライバ２１は、取得したこれら実測値に係るデータを、制御周期Ｃｃごとに位置特定装置１０に出力する。

サーボモータ２２は、サーボドライバ２１の制御に従って出力（具体的には、撮像装置３３およびワーク４０の少なくとも一方の位置）が制御されるアクチュエータであり、例えば、リニアアクチュエータである。サーボモータ２２は、例えば、手先に撮像装置３３を備えるマニピュレータの軸を駆動することによって、撮像装置３３の位置を変更し、つまり、検出位置Ｐｄを変更する。以下の説明において、サーボモータ２２の出力に係る実測値としての「サーボ制御系２０の出力位置」を、「フィードバック位置Ｐｆ」と称することがある。

例えばサーボ制御系２０が撮像装置３３の位置を制御する場合、サーボモータ２２（Ａ）およびサーボモータ２２（Ｂ）の各々の出力によって、互いに直行するＸ軸、Ｙ軸の各々における、撮像装置３３の位置は決定される。つまり、撮像装置３３の位置（言い換えれば、検出位置Ｐｄ）のＸ軸、Ｙ軸の各々における値は、サーボモータ２２（Ａ）およびサーボモータ２２（Ｂ）の各々の出力によって、決定される。サーボドライバ２１（Ａ）、２１（Ｂ）の各々は、サーボモータ２２（Ａ）、２２（Ｂ）の各々の出力を制御し、つまり、各々の駆動を制御する。

例えばサーボ制御系２０が撮像装置３３の位置を制御する場合、サーボドライバ２１（Ａ）は、サーボモータ２２（Ａ）の出力に係る実測値（制御量）の１つとして、撮像装置３３のＸ軸におけるフィードバック位置Ｐｆ（Ａ）を位置特定装置１０に送信する。同様に、サーボドライバ２１（Ｂ）は、サーボモータ２２（Ｂ）の制御量の１つとして、撮像装置３３のＹ軸におけるフィードバック位置Ｐｆ（Ｂ）を位置特定装置１０に送信する。

（検出系）
検出系３０は、ワーク４０を検出した結果である検出結果を生成し、特に、「ワーク４０の位置Ｐｗと検出位置Ｐｄとのずれ量」を算出するための情報を検出結果として生成し、生成した検出結果を位置特定装置１０へと通知する（送信する）。図２に例示する検出系３０は、検出装置である撮像装置３３と、撮像装置３３による検出動作（例、撮像動作）を制御する撮像制御装置３２と、撮像制御装置３２と通信を実行する通信装置３１とを含んでいる。

撮像装置３３は、撮像制御装置３２から検出トリガ（撮像トリガ）を受信すると、検出動作（撮像動作）を実行し、また、実行した検出動作の結果を、例えば、撮像動作の実行によって生成した撮像画像Ｉｍを、撮像制御装置３２へと出力する（送信する）。

撮像制御装置３２は、検出トリガ（撮像トリガ）を撮像装置３３へと出力する（送信する）ことにより、撮像装置３３に、検出動作（撮像動作）を実行させ、また、撮像装置３３から、検出動作の実行結果である検出結果（例、撮像画像Ｉｍ）を受信する。特に、撮像制御装置３２は、撮像装置３３への検出トリガ（撮像トリガ）の出力を指示する出力指示（検出指示）を通信装置３１から受信すると、撮像装置３３へと、検出トリガを送信する。

撮像制御装置３２は、撮像装置３３から、検出動作の実行結果である検出結果（例、撮像画像Ｉｍ）を受信すると、受信した検出結果を、ネットワークを介して、位置特定装置１０へと出力する（送信する）。例えば、撮像制御装置３２は、撮像装置３３による検出動作の実行結果である検出結果（例、撮像画像Ｉｍ）を、検出時刻Ｔｄ以降の或る制御周期Ｃｃにおいて、ネットワークを介して、位置特定装置１０へと出力する（送信する）。

詳細は後述するが、撮像制御装置３２は、撮像装置３３から、検出動作の実行結果である検出結果（例、撮像画像Ｉｍ）を受信すると、受信した検出結果を解析し、解析結果を、ネットワークを介して、位置特定装置１０へと出力してもよい。例えば、撮像制御装置３２は、撮像装置３３の生成した撮像画像Ｉｍに対して画像解析を実行し、画像解析の結果を、検出時刻Ｔｄ以降の或る制御周期Ｃｃにおいて、ネットワークを介して、位置特定装置１０へと出力してもよい。

具体的には、撮像制御装置３２は、撮像画像Ｉｍに対する画像解析によって、撮像画像Ｉｍにおけるワーク４０の位置Ｐｗ（例、ワーク４０の中心位置）と基準位置Ｒｂとのずれ量である「画像内での位置ずれ」量を算出してもよい。そして、撮像制御装置３２は、算出した「画像内での位置ずれ」量を、ネットワークを介して、位置特定装置１０へと出力してもよい。例えば、撮像制御装置３２は、算出した「画像内での位置ずれ」量を、検出時刻Ｔｄ以降の或る制御周期Ｃｃにおいて位置特定装置１０へと送信してもよい。

通信装置３１は、位置特定装置１０から制御周期Ｃｃごとに制御信号Ｃｓを受信し、受信した制御信号Ｃｓにおいて指定されている検出指示時刻ａＴｄにおいて、出力指示（検出指示）を、撮像制御装置３２へと出力する（送信する）。

検出系３０において、通信装置３１が出力指示を撮像制御装置３２へと送信してから、撮像装置３３が検出動作を実行するまでには所定時間が必要であり、この所定時間を「検出系３０の応答遅れ時間Ｄｄ」とも称する。「検出系３０の応答遅れ時間Ｄｄ」は、「撮像装置３３（検出装置）の応答遅れ時間」とも呼ばれる。

（制御システムの適用例）
図３は、制御システム１の適用例を説明する図である。具体的には、制御システム１を、基板上に載置されている複数のワーク４０の各々の位置Ｐｗを特定するために、撮像装置３３を移動させて、複数のワーク４０の各々について、撮像画像Ｉｍを生成するアプリケーションに適用した例を説明する図である。

制御システム１（特に、位置特定装置１０）は、図３に例示するように、基板上に載置されている複数のワーク４０の各々の頭上を通る軌跡で、撮像装置３３を移動させる。また、位置特定装置１０は、複数のワーク４０の各々の頭上で撮像装置３３に撮像を実行させ、複数のワーク４０の各々についての撮像画像Ｉｍを生成させる。そして、位置特定装置１０は、撮像装置３３に複数のワーク４０の各々についての撮像画像Ｉｍを生成させた時刻における撮像装置３３の位置と、複数のワーク４０の各々についての撮像画像Ｉｍとから、複数のワーク４０の各々の位置Ｐｗを特定する。

例えば、図３において点線矢印で示すように、位置特定装置１０は、撮像装置３３を、先ずワーク４０（Ａ）の頭上に移動させ、次にワーク４０（Ｂ）の頭上に移動させ、さらに順次、ワーク４０（Ｃ）、４０（Ｄ）、４０（Ｅ）の各々の頭上へと移動させる。

また、位置特定装置１０は、ワーク４０（Ａ）から４０（Ｅ）の各々の頭上で撮像装置３３に撮像を実行させ、ワーク４０（Ａ）から４０（Ｅ）の各々についての撮像画像Ｉｍを生成させ、つまり、撮像画像Ｉｍ（Ａ）から撮像画像Ｉｍ（Ｅ）を生成させる。

そして、位置特定装置１０は、「撮像装置３３に撮像画像Ｉｍ（Ａ）を生成させた時刻である検出時刻Ｔｄ（Ａ）における、撮像装置３３の位置」と、撮像画像Ｉｍ（Ａ）とから、ワーク４０（Ａ）の位置Ｐｗ（Ａ）を特定する。位置特定装置１０は、「撮像装置３３に撮像画像Ｉｍ（Ｂ）を生成させた時刻である検出時刻Ｔｄ（Ｂ）における、撮像装置３３の位置」と、撮像画像Ｉｍ（Ｂ）とから、ワーク４０（Ｂ）の位置Ｐｗ（Ｂ）を特定する。位置特定装置１０は、「撮像装置３３に撮像画像Ｉｍ（Ｃ）を生成させた時刻である検出時刻Ｔｄ（Ｃ）における、撮像装置３３の位置」と、撮像画像Ｉｍ（Ｃ）とから、ワーク４０（Ｃ）の位置Ｐｗ（Ｃ）を特定する。位置特定装置１０は、「撮像装置３３に撮像画像Ｉｍ（Ｄ）を生成させた時刻である検出時刻Ｔｄ（Ｄ）における、撮像装置３３の位置」と、撮像画像Ｉｍ（Ｄ）とから、ワーク４０（Ｄ）の位置Ｐｗ（Ｄ）を特定する。位置特定装置１０は、「撮像装置３３に撮像画像Ｉｍ（Ｅ）を生成させた時刻である検出時刻Ｔｄ（Ｅ）における、撮像装置３３の位置」と、撮像画像Ｉｍ（Ｅ）とから、ワーク４０（Ｅ）の位置Ｐｗ（Ｅ）を特定する。

ここで、図３に示す例では、ワーク４０は、１ｍｍ以下の微細電子部品であり、例えば、積層セラミックコンデンサ、水晶振動子、ＩＣチップ、その他各種素子である。部品の微細化と回路の微細化とが進んでいるため、このような電子部品の基板上の位置を特定する作業（位置特定作業、検査作業）には、高精度化が要求されている。また、使用部品点数が増加しているのに合わせて検査箇所も増加しているため、上述の位置特定作業、検査作業を高速化して、位置特定作業、検査作業に要する時間を短縮することも要求されている。すなわち、微細な部品配置、微細な印刷パターンについて、位置検査を高速かつ高精度化に実現したいとの要望がある。

そこで、制御システム１（特に、位置特定装置１０）は、以下の２つの値を用いて、ワーク４０の位置Ｐｗを高精度に特定する。すなわち、位置特定装置１０は、「検出位置Ｐｄ（つまり、検出時刻Ｔｄにおける撮像装置３３の位置）」と、「検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量である検出ずれ量Ｑｄ」とによって、ワーク４０の位置Ｐｗを高精度に特定する。検出位置Ｐｄは、撮像画像Ｉｍにおける基準位置Ｒｂに対応するから、検出ずれ量Ｑｄは、撮像画像Ｉｍにおける「ワーク４０の位置Ｐｗの、基準位置Ｒｂからのずれ量」である「画像内での位置ずれ量」に対応する。

また、制御システム１（特に、位置特定装置１０）は、撮像装置３３の移動を停止させずに、撮像装置３３の移動中に、撮像装置３３にワーク４０を撮像させ、その結果得られた撮像画像Ｉｍから、検出ずれ量Ｑｄを算出する。したがって、制御システム１（特に、位置特定装置１０）は、撮像装置３３の移動を停止させてから撮像画像Ｉｍを生成させる方法に比べて、検出ずれ量Ｑｄを考慮したワーク４０の高精度な位置特定を、高速で実現することができる。

（検出装置を移動させる例について）
図３に例示する制御システム１において、検出装置である撮像装置３３の位置は、サーボ制御系２０によって制御され、つまり、撮像装置３３の位置はサーボ制御系２０の出力によって決定される。すなわち、位置特定装置１０は、サーボドライバ２１へと指令値Ｃｍを送信することによって、サーボドライバ２１に、サーボモータ２２の出力（出力位置）を制御させる。例えば、撮像装置３３の、互いに直行するＸ軸、Ｙ軸上の各々における位置は、サーボ制御系２０（Ａ）、２０（Ｂ）という２つのサーボ制御系２０の各々の出力（出力位置）である。

具体的には、位置特定装置１０から指令値Ｃｍ（Ａ）を受けたサーボドライバ２１（Ａ）は、サーボモータ２２（Ａ）を制御し、サーボモータ２２（Ａ）によって撮像装置３３はＸ軸方向に移動する。また、サーボモータ２２（Ａ）の制御結果（出力）は、サーボドライバ２１（Ａ）へとフィードバックされる。同様に、位置特定装置１０から指令値Ｃｍ（Ｂ）を受けたサーボドライバ２１（Ｂ）は、サーボモータ２２（Ｂ）を制御し、サーボモータ２２（Ｂ）によって撮像装置３３はＹ軸方向に移動する。また、サーボモータ２２（Ｂ）の制御結果は、サーボドライバ２１（Ｂ）にフィードバックされる。

また、図３に例示する制御システム１において、位置特定装置１０は、検出指示時刻ａＴｄを指定した制御信号Ｃｓを検出系３０（特に、通信装置３１）へと送信することによって、検出時刻Ｔｄにおいて撮像装置３３に撮像を実行させる。検出時刻Ｔｄは、撮像装置３３の位置とワーク４０の位置Ｐｗとが一致し、または、両者のずれ量が十分に小さくなる時刻である。検出時刻Ｔｄにおいて撮像装置３３が撮像を実行して生成した撮像画像Ｉｍは、撮像制御装置３２によって、位置特定装置１０へと送信される。撮像制御装置３２は、撮像画像Ｉｍに代えて、撮像画像Ｉｍに対する画像解析によって算出した、『撮像画像Ｉｍにおけるワーク４０の位置Ｐｗと基準位置Ｒｂとのずれ量である「画像内での位置ずれ」量』を、位置特定装置１０へと出力してもよい。

ここで、撮像装置３３がワーク４０を検出する位置である検出位置Ｐｄは、検出時刻Ｔｄにおける撮像装置３３の位置とみなすことができる。そのため、位置特定装置１０は、検出時刻Ｔｄにおける撮像装置３３の位置から、検出位置Ｐｄを算出することができる。

また、検出位置Ｐｄは、つまり、検出時刻Ｔｄにおける撮像装置３３の位置は、撮像装置３３の生成する検出結果である撮像画像Ｉｍにおける基準位置Ｒｂ（例えば、撮像画像Ｉｍの中心位置）に対応する。そのため、位置特定装置１０は、撮像画像Ｉｍにおける基準位置Ｒｂとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量から、基準位置Ｒｂに対応する検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量（検出ずれ量Ｑｄ）を算出することができる。図３に示す例では、撮像画像Ｉｍにおける基準位置Ｒｂは、撮像画像Ｉｍにおける二点鎖線の交差する点として示されている。

そして、位置特定装置１０は、検出時刻Ｔｄにおける撮像装置３３の位置から算出した検出位置Ｐｄと、撮像画像Ｉｍから算出した検出ずれ量Ｑｄとによって、ワーク４０の位置Ｐｗを特定する。

図３に示す例では、位置特定装置１０がサーボ制御系２０を介して撮像装置３３の位置を制御する例を説明したが、位置特定装置１０は、サーボ制御系２０を介して、ワーク４０の位置Ｐｗを制御してもよい。以下、図４を用いて、位置特定装置１０がワーク４０の位置Ｐｗ（より具体的には、ワーク４０の載置された基板の位置）を制御する例について説明する。

（検出対象を移動させる例について）
図４は、図３に示したのと同様の制御システム１の適用例について、位置特定装置１０が、サーボ制御系２０を介して、検出対象であるワーク４０の位置Ｐｗ（より具体的には、ワーク４０の載置された基板の位置）を制御する運用例を示す図である。すなわち、図３においては、ワーク４０の位置Ｐｗは固定され、撮像装置３３が移動したのに対して、図４においては、撮像装置３３の位置は固定され、ワーク４０の位置Ｐｗが移動する。ただし、その他の点においては、位置特定装置１０が実行する処理の内容は、図４に示す例と図３に示す例とでほぼ同様である。

図４に例示する制御システム１において、ワーク４０の位置Ｐｗは、サーボ制御系２０によって制御され、つまり、ワーク４０の位置Ｐｗはサーボ制御系２０の出力によって決定される。すなわち、位置特定装置１０は、サーボドライバ２１へと指令値Ｃｍを送信することによって、サーボドライバ２１に、サーボモータ２２の出力（出力位置）を制御させる。例えば、ワーク４０の位置Ｐｗの、互いに直行するＸ軸、Ｙ軸上の各々における値は、サーボ制御系２０（Ａ）、２０（Ｂ）という２つのサーボ制御系２０の各々の出力（出力位置）である。

具体的には、位置特定装置１０から指令値Ｃｍ（Ａ）を受けたサーボドライバ２１（Ａ）は、サーボモータ２２（Ａ）を制御し、サーボモータ２２（Ａ）によってワーク４０はＸ軸方向に移動する。また、サーボモータ２２（Ａ）の制御結果（出力）は、サーボドライバ２１（Ａ）へとフィードバックされる。同様に、位置特定装置１０から指令値Ｃｍ（Ｂ）を受けたサーボドライバ２１（Ｂ）は、サーボモータ２２（Ｂ）を制御し、サーボモータ２２（Ｂ）によってワーク４０はＹ軸方向に移動する。また、サーボモータ２２（Ｂ）の制御結果は、サーボドライバ２１（Ｂ）にフィードバックされる。

図４に示す例においても、図３に示したのと同様に、位置特定装置１０は、検出指示時刻ａＴｄを指定した制御信号Ｃｓを検出系３０へと送信することによって、検出時刻Ｔｄにおいて撮像装置３３に撮像を実行させる。そして、位置特定装置１０は、撮像装置３３の位置から算出した検出位置Ｐｄと、撮像画像Ｉｍから算出した検出ずれ量Ｑｄとによって、ワーク４０の位置Ｐｗを特定する。図４に示す例においても、図３に示したのと同様に、撮像画像Ｉｍにおける基準位置Ｒｂは、撮像画像Ｉｍにおける二点鎖線の交差する点として示されている。

図３では、位置特定装置１０が、サーボ制御系２０を介して撮像装置３３を制御する運用例を示し、また、図４では、位置特定装置１０が、サーボ制御系２０を介してワーク４０の位置Ｐｗを制御する運用例を示した。ただし、位置特定装置１０が位置を制御するのは撮像装置３３またはワーク４０のどちらか一方である必要はなく、位置特定装置１０は、撮像装置３３およびワーク４０の両方の位置を制御してもよい。

例えば、制御システム１において、撮像装置３３のＸ軸上の位置はサーボ制御系２０（Ａ）の出力によって決定され、ワーク４０の位置ＰｗのＹ軸上の値はサーボ制御系２０（Ｂ）の出力によって決定されてもよい。すなわち、位置特定装置１０は、サーボドライバ２１（Ａ）へと指令値Ｃｍ（Ａ）を送信することによって、サーボドライバ２１（Ａ）に、サーボモータ２２（Ａ）の出力（出力位置）を制御させ、つまり、撮像装置３３の、Ｘ軸上の位置を制御させる。また、位置特定装置１０は、サーボドライバ２１（Ｂ）へと指令値Ｃｍ（Ｂ）を送信することによって、サーボドライバ２１（Ｂ）に、サーボモータ２２（Ｂ）の出力（出力位置）を制御させ、つまり、ワーク４０の位置Ｐｗの、Ｙ軸上の値を制御させる。

具体的には、位置特定装置１０から指令値Ｃｍ（Ａ）を受けたサーボドライバ２１（Ａ）は、サーボモータ２２（Ａ）を制御し、サーボモータ２２（Ａ）によって撮像装置３３はＸ軸方向に移動する。また、サーボモータ２２（Ａ）の制御結果（出力）は、サーボドライバ２１（Ａ）へとフィードバックされる。同様に、位置特定装置１０から指令値Ｃｍ（Ｂ）を受けたサーボドライバ２１（Ｂ）は、サーボモータ２２（Ｂ）を制御し、サーボモータ２２（Ｂ）によってワーク４０はＹ軸方向に移動する。また、サーボモータ２２（Ｂ）の制御結果は、サーボドライバ２１（Ｂ）にフィードバックされる。

位置特定装置１０が撮像装置３３およびワーク４０の両方の位置を制御する場合であっても、位置特定装置１０による「ワーク４０の位置Ｐｗの特定方法」は、図３および図４を用いて説明したのと同様である。すなわち、位置特定装置１０は、検出指示時刻ａＴｄを指定した制御信号Ｃｓを検出系３０へと送信することによって、検出時刻Ｔｄにおいて撮像装置３３に撮像を実行させる。そして、位置特定装置１０は、検出時刻Ｔｄにおける撮像装置３３の位置から算出した検出位置Ｐｄと、撮像画像Ｉｍから算出した検出ずれ量Ｑｄとによって、ワーク４０の位置Ｐｗを特定する。

なお、以下では、位置特定装置１０の実行する処理についての理解を容易にするため、「位置特定装置１０が、サーボ制御系２０を介して撮像装置３３の位置を制御する」例を用いて、位置特定装置１０による「ワーク４０の位置Ｐｗの特定方法」を説明する。ただし、前述の通り、位置特定装置１０は撮像装置３３およびワーク４０の少なくとも一方の位置を制御すればよく、位置特定装置１０にとって撮像装置３３の位置を制御することは必須ではない。

また、撮像画像Ｉｍに対する画像解析を位置特定装置１０が実行することは必須ではない。位置特定装置１０は、撮像画像Ｉｍにおけるワーク４０の位置Ｐｗ（例、ワーク４０の中心位置）と基準位置Ｒｂとのずれ量である「画像内での位置ずれ量」から、ワーク４０の位置Ｐｗと検出位置Ｐｄとのずれ量である検出ずれ量Ｑｄを特定することができればよい。撮像画像Ｉｍに対する画像解析を実行するのは撮像制御装置３２であってもよく、言い換えれば、撮像制御装置３２が、撮像画像Ｉｍに対する画像解析によって、「画像内での位置ずれ」量を算出してもよい。その場合、位置特定装置１０は、撮像制御装置３２から「画像内での位置ずれ量」を取得し、取得した「画像内での位置ずれ量」から、検出ずれ量Ｑｄを特定する（算出する）。

（ワークの撮像方法に係る第一の工夫：無停止での撮像画像の生成）
図５は、ワーク４０の撮像方法のヴァリエーションを説明する図である。図５の（Ａ）は、「基準位置Ｒｂに対応する検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量（検出ずれ量Ｑｄ）を算出する」ための撮像画像Ｉｍを生成させる、従来までの方法を説明する図である。

すなわち、従来は、撮像装置３３の移動を停止させてワーク４０を撮像させ、撮像画像Ｉｍを生成させる方法が一般的であった。具体的には、従来の制御システムは、撮像装置３３の移動速度（サーボ速度Ｖｓ）をいったん「０」にし、撮像装置３３等の振動が収まってから、つまり、待機時間（振動減衰待ち時間）が経過してから、検出トリガを出力して、撮像装置に撮像を実行させていた。そして、従来の制御システムは、撮像装置が生成した撮像画像を用いて、ワーク４０の位置Ｐｗを特定し、ワーク４０が所望の位置にあるかを検査していた。

「撮像装置３３の移動を停止して、撮像画像Ｉｍを生成させる」従来までの方法は、基準位置Ｒｂに対応する検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量（検出ずれ量Ｑｄ）を高精度に検出可能な撮像画像Ｉｍを生成できるとの利点を有する。

ただし、従来の制御システムは、「撮像装置３３の移動を停止させる」、および、「待機時間が経過するまで待つ」という処理の後に、撮像を実行するため、図５の（Ａ）に示すように撮像の実行に要する時間が長くなるという問題がある。

図５の（Ｂ）は、制御システム１（特に、位置特定装置１０）が実行する、「基準位置Ｒｂに対応する検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量（検出ずれ量Ｑｄ）を算出する」ための撮像画像Ｉｍを生成させる方法を説明する図である。位置特定装置１０は、撮像装置３３の移動を停止せずに、つまり、無停止で、撮像画像Ｉｍを生成させる。具体的には、図５の（Ｂ）に示すように、位置特定装置１０は、撮像装置３３の移動速度（サーボ速度Ｖｓ）を「０」にすることなく、撮像装置３３の移動中に、検出トリガを出力して、撮像装置３３に撮像を実行させる。

図５の（Ｂ）に示す、位置特定装置１０の「無停止で撮像画像Ｉｍを生成させる」方法は、図５の（Ａ）に示す、従来の制御システムの「撮像装置３３の移動を停止させてから撮像画像Ｉｍを生成させる」方法に比べて、タクトを上げることができる。

特に、図５に示すように複数のワーク４０の各々の位置Ｐｗを特定するために、複数のワーク４０の各々についての、複数の撮像画像Ｉｍを生成させようとする場合、従来までの方法と、位置特定装置１０が実行する方法との違いは大きくなる。

すなわち、従来までの方法では、撮像画像Ｉｍを生成させようとする都度、撮像装置３３の移動速度をいったん「０」にし、待機時間が経過してから、撮像画像Ｉｍを生成させるため、複数の撮像画像Ｉｍを生成させるには膨大な時間を要した。これに対して、位置特定装置１０は、撮像装置３３の移動を停止させずに、つまり、撮像装置３３の移動中に、複数の撮像画像Ｉｍを順次生成させるため、複数の撮像画像Ｉｍを生成させるのに要する時間を、従来までの方法に比べて大幅に短縮できる。

図５の（Ａ）に示すように、撮像画像Ｉｍを生成させる都度、撮像装置３３の移動を停止して、撮像装置３３の位置を所定の位置に配置してから撮像画像Ｉｍを生成させる場合、撮像画像Ｉｍを生成するのに要する時間は長くなる。ただし、撮像画像Ｉｍの生成時刻における撮像装置３３の位置は固定されており、つまり、検出位置Ｐｄは固定だから、ワーク４０の位置Ｐｗは、予め設定された検出位置Ｐｄと、「ワーク４０の位置Ｐｗの、検出位置Ｐｄからのずれ量」とによって特定できる。そして、「ワーク４０の位置Ｐｗの、検出位置Ｐｄからのずれ量」は、撮像画像Ｉｍにおける「ワーク４０の位置Ｐｗの、基準位置Ｒｂからのずれ量」によって、精緻に算出することができる。

これに対して、図５の（Ｂ）に示すように、撮像装置３３の移動を停止させずに撮像画像Ｉｍを生成させる場合、撮像画像Ｉｍを生成するのに要する時間は、「撮像画像Ｉｍを生成させる都度、撮像装置３３の移動を停止させる」のに比べて短縮することができる。ただし、撮像画像Ｉｍの生成時点における撮像装置３３の位置は固定されておらず、つまり、検出位置Ｐｄは固定されていない。

そのため、ワーク４０の位置Ｐｗは、「時刻ごとに変化する検出位置Ｐｄの、撮像画像Ｉｍの生成時刻（つまり、検出時刻Ｔｄ）における位置」と、「ワーク４０の位置Ｐｗの、検出位置Ｐｄからのずれ量」とを精緻に把握しなければ、算出することができない。つまり、位置特定装置１０は、ワーク４０の位置Ｐｗを特定するために、第一に、検出時刻Ｔｄにおける検出位置Ｐｄを、言い換えれば、「検出時刻Ｔｄにおける、撮像装置３３の位置」を精緻に算出しなければならない。第二に、位置特定装置１０は、「ワーク４０の位置Ｐｗの、検出位置Ｐｄからのずれ量」を、撮像画像Ｉｍにおける「ワーク４０の位置Ｐｗの、基準位置Ｒｂからのずれ量」から精緻に算出しなければならない。

位置特定装置１０は、撮像装置３３の移動を停止させずに、撮像装置３３の移動中に撮像した撮像画像Ｉｍからワーク４０の位置Ｐｗを特定するために、以下の２つの値を精緻に算出する。すなわち、位置特定装置１０は、撮像画像Ｉｍにおける「ワーク４０の位置Ｐｗの、基準位置Ｒｂからのずれ量」と、「検出時刻Ｔｄにおける、撮像装置３３の位置」とを、精緻に算出する。

ここで、撮像装置３３の位置はサーボ制御系２０によって制御されるから、撮像装置３３の位置はサーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆとみなすことができる。それゆえ、「検出時刻Ｔｄにおける、撮像装置３３の位置」は、「検出時刻Ｔｄにおける、サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」とみなすことができる。

また、「ワーク４０の位置Ｐｗの、検出位置Ｐｄからのずれ量」は、撮像画像Ｉｍにおける「ワーク４０の位置Ｐｗの、基準位置Ｒｂからのずれ量」に対応する。以下の説明においては、撮像画像Ｉｍにおける「ワーク４０の位置Ｐｗの、基準位置Ｒｂからのずれ量」は、「画像内での位置ずれ」と略記することがある。

したがって、「ワーク４０の位置Ｐｗは、『ワーク４０の位置Ｐｗの、検出位置Ｐｄからのずれ量』と『検出時刻Ｔｄにおける検出位置Ｐｄ』とによって特定できる」という関係は、以下のように表現することができる。すなわち、｛ワーク４０の位置Ｐｗ ＝ 画像内での位置ずれ ＋ 「検出時刻Ｔｄにおける、サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ（実位置）」｝と表現することができる。

（撮像画像における基準位置とワークの位置とのずれ量について）
図６は、撮像画像Ｉｍから算出する「画像内での位置ずれ量」を説明する図である。前述の通り、位置特定装置１０は、撮像画像Ｉｍから「画像内での位置ずれ量」を算出し、つまり、撮像画像Ｉｍにおける「ワーク４０の位置Ｐｗの、基準位置Ｒｂからのずれ量」する。そして、位置特定装置１０は、「画像内での位置ずれ量」から、基準位置Ｒｂに対応する検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量（検出ずれ量Ｑｄ）を算出する。

図６において、二点鎖線の交差する点は「撮像画像Ｉｍ中の、検出位置Ｐｄに対応する基準位置Ｒｂ（例、撮像画像Ｉｍの中心点）」を示している。また、星印は「ワーク４０の位置Ｐｗ（例、ワーク４０の中心位置）」を示している。

図６の（Ａ）に示すように、撮像装置３３の位置に対してワーク４０の位置Ｐｗ（例、ワーク４０の中心位置）が右側にずれた状態で撮像装置３３が撮像を実行した場合、撮像画像Ｉｍにおいても、ワーク４０の位置Ｐｗは基準位置Ｒｂに対して右側にずれる。

同様に、図６の（Ｂ）に示すように、撮像装置３３の位置に対してワーク４０の位置Ｐｗが左側にずれた状態で撮像装置３３が撮像を実行した場合、撮像画像Ｉｍにおいても、ワーク４０の位置Ｐｗは基準位置Ｒｂに対して左側にずれる。

（検出を実行させるタイミングの調整）
（サーボ制御系の応答遅れ時間の考慮）
ここで、撮像装置３３が撮像を実行するタイミング（つまり、検出時刻Ｔｄ）において、撮像装置３３がワーク４０を撮像可能な範囲にワーク４０が存在しない場合、位置特定装置１０は、撮像画像Ｉｍから「画像内での位置ずれ量」を算出することはできない。

そこで、「検出時刻Ｔｄにおいて、撮像装置３３がワーク４０を撮像可能な範囲にワーク４０が存在しない」といった事態を回避するため、位置特定装置１０は、以下の処理を実行している。すなわち、位置特定装置１０は、撮像装置３３の位置（つまり、検出位置Ｐｄ）とワーク４０の位置Ｐｗとが一致する予想した時刻において、撮像装置３３に撮像を実行させる。

例えば、位置特定装置１０は、「ワーク４０の載置される基板」の設計図などから、「ワーク４０が存在すべき位置（言い換えれば、ワーク４０が載置される位置として、設計図などで予め設定されている位置）」である予想検出位置ｐＰｄを予め取得しておく。そして、位置特定装置１０は、「基板上に実際に載置されたワーク４０の位置Ｐｗを特定し、ワーク４０が上述の設計図通りに載置されているかを確認する」ために、以下の処理を実行する。

すなわち、位置特定装置１０は、サーボ制御系２０を制御して、撮像装置３３が、「予め基板上の予想検出位置ｐＰｄに載置され、または、予想検出位置ｐＰｄに十分近い位置に載置されているはずのワーク４０」の頭上を通るように、撮像装置３３を移動させる。
具体的には、位置特定装置１０は、検出対象であるワーク４０の予想検出位置ｐＰｄを目標位置Ｐｔとする目標軌道Ｔｔに沿って、サーボ制御系２０を制御する。位置特定装置１０がサーボ制御系２０を介して撮像装置３３の位置を制御する場合、目標軌道Ｔｔは、撮像装置３３の移動経路に相当する。

ここで、サーボ制御系２０による撮像装置３３の位置制御について、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮しない場合、図７に例示する大きなサーボ位置偏差（サーボ制御系２０の、目標位置Ｐｔとフィードバック位置Ｐｆとの差）が発生する。

図７は、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮しない場合のサーボ位置偏差（目標位置Ｐｔとフィードバック位置Ｐｆとの差）などを説明する図である。図７の（Ａ）に示すように、サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆは、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮しない、サーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」に対して、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓ分だけ送れる。その結果、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮しない場合、図７の（Ｂ）に示すように、比較的大きなサーボ位置偏差が周期的に発生してしまう。

図８は、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した場合のサーボ位置偏差（目標位置Ｐｔとフィードバック位置Ｐｆとの差）などを説明する図である。図８の（Ａ）において、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した、サーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」は点線で示されている。図８の（Ａ）に示すように、サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆは、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した、サーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」に略一致する。その結果、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した場合、図８の（Ｂ）に示すように、サーボ位置偏差は十分に小さくなる。

そこで、位置特定装置１０は、「撮像装置３３の位置（つまり、検出位置Ｐｄ）とワーク４０の位置Ｐｗとが一致する予想した時刻において、撮像装置３３に撮像を実行させる」ために、以下のように検出時刻Ｔｄを決定する。すなわち、位置特定装置１０は、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮して算出するサーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」が、予想検出位置ｐＰｄに一致する時刻を、検出時刻Ｔｄとする。

図８に例示したように、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮することにより、「サーボ制御系２０の、時刻ごとの目標位置Ｐｔ」と「サーボ制御系２０の、時刻ごとのフィードバック位置Ｐｆ」とは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなる。そして、前述の通り、サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆは、撮像装置３３の位置とみなすことができる。そのため、「撮像装置３３の、時刻ごとの位置」は、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮して算出される、サーボ制御系２０の、時刻ごとの目標位置Ｐｔ」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。

以上に説明した通り、検出時刻Ｔｄにおいて、「撮像装置３３の位置」と、予想検出位置ｐＰｄとは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。そして、前述の通り、ワーク４０は予め、予想検出位置ｐＰｄに載置され、または、予想検出位置ｐＰｄに十分近い位置に載置されている。そのため、検出時刻Ｔｄにおいて、撮像装置３３の位置とワーク４０の位置Ｐｗとは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなる。

その結果、位置特定装置１０は、「検出時刻Ｔｄにおいて、撮像装置３３がワーク４０を撮像可能な範囲にワーク４０が存在しない」といった事態を回避することができる。

特に、位置特定装置１０は、検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとが一致し、または、両者のずれ量が十分に小さくなる時刻である検出時刻Ｔｄにおいて、撮像装置３３に撮像を実行させることによって、以下の撮像画像Ｉｍを生成させることができる。すなわち、位置特定装置１０は、「検出位置Ｐｄに対応する基準位置Ｒｂと撮像されたワーク４０の位置Ｐｗとが一致し、または、両者のずれ量が十分に小さい」撮像画像Ｉｍを生成させることができる。「検出位置Ｐｄに対応する基準位置Ｒｂと撮像されたワーク４０の位置Ｐｗとが一致し、または、両者のずれ量が十分に小さい」撮像画像Ｉｍに対しては、高解像度の画像解析を実行可能であるから、位置特定装置１０は、検出ずれ量Ｑｄを高精度に算出できる。

図９は、予想検出位置ｐＰｄ（言い換えれば、目標位置Ｐｔ）を「１００」とした場合の動作プロファイルの一例を示す図である。具体的には、図９の（Ａ）は、予想検出位置ｐＰｄを「１００」とした場合について、各時刻における、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した、サーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」および「これに対応するサーボ制御系２０の目標速度」を示している。図９の（Ｂ）は、予想検出位置ｐＰｄを「１００」とした場合について、各時刻における、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した、サーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」に対する「サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」のずれ量を示している。

予想検出位置ｐＰｄを「１００」とした場合、各時刻における、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した、サーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」に対する「サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」のずれ量は、以下の範囲に収まっている。「－０．００５ｍｍ（つまり、－５μｍ）」から「＋０．００５ｍｍ（つまり、＋５μｍ）」の範囲に収まっている。

図９の（Ｂ）に示すように、サーボ制御系２０の、各時刻におけるサーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆは、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮したとしても、サーボ制御系２０の、各時刻における目標位置Ｐｔに完全には一致していない。つまり、各時刻における撮像装置３３の位置は、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮したとしても、サーボ制御系２０の目標位置Ｐｔに完全には一致していない。

ここで、前述の通り、検出時刻Ｔｄにおいて、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した、サーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」は、予想検出位置ｐＰｄに一致する。そして、検出時刻Ｔｄにおいて、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した、サーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」と「サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ（つまり、撮像装置３３の位置）」とは一致していない。したがって、検出時刻Ｔｄにおいて、撮像装置３３の位置は、予想検出位置ｐＰｄに完全には一致していない。ただし、前述の通り、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓ」を考慮することで、「サーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」と「サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」との差は十分に小さくなる。つまり、検出時刻Ｔｄにおいて、予想検出位置ｐＰｄと撮像装置３３の位置とのずれ量は十分に小さくなっている。

図１０は、検出時刻Ｔｄにおける、「サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」と、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した、サーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」とのずれを説明する図である。具体的には、図１０には、図９の（Ｂ）と、検出時刻Ｔｄ付近における、図９の（Ｂ）の拡大図とが示されている。拡大図において、検出時刻Ｔｄにおける、「サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」と、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した、サーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」とのずれ（量）は、一点鎖線矢印で示されている。

図１１は、予想検出位置ｐＰｄ（言い換えれば、目標位置Ｐｔ）を「４０」とした場合の動作プロファイルの一例を示す図である。具体的には、図１１の（Ａ）は、予想検出位置ｐＰｄを「４０」とした場合について、各時刻における、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した、サーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」および「これに対応するサーボ制御系２０の目標速度」を示している。図１１の（Ｂ）は、予想検出位置ｐＰｄを「４０」とした場合について、各時刻における、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した、サーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」に対する「サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」のずれ量を示している。

予想検出位置ｐＰｄを「４０」とした場合、各時刻における、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した、サーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」に対する「サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」のずれ量は、以下の範囲に収まっている。「－０．２ｍｍ（つまり、－２００μｍ）」から「＋０．２ｍｍ（つまり、＋２００μｍ）」の範囲に収まっている。

図９の（Ｂ）に示した「予想検出位置ｐＰｄを『１００』とした場合のずれ量」に比べて、図１１の（Ｂ）に示した「予想検出位置ｐＰｄを『４０』とした場合のずれ量」は大きい。すなわち、図９の（Ｂ）に示した「予想検出位置ｐＰｄを『１００』とした場合のずれ量」は、「０．００５ｍｍ」から「＋０．００５ｍｍ」の範囲に収まっていた。これに対して、図１１の（Ｂ）に示した「予想検出位置ｐＰｄを『４０』とした場合のずれ量」は、「－０．２ｍｍ」から「＋０．２ｍｍ」の範囲になっている。

図１１の（Ａ）に示すように、撮像装置３３の移動距離を短くすると、動作プロファイルが三角波となり、フィードバック位置Ｐｆを「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した、サーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」へ追従させるのは、より困難となる。ただし、前述の通り、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓ」を考慮することによって、検出時刻Ｔｄにおける、予想検出位置ｐＰｄと撮像装置３３の位置とのずれ量を小さくすることができる。

（検出系の応答遅れ時間の考慮）
これまでに説明してきたように、位置特定装置１０は、撮像装置３３の位置とワーク４０の位置Ｐｗとが一致し、または、両者のずれ量が十分に小さくなる時刻である検出時刻Ｔｄにおいて、撮像画像Ｉｍを生成させる。

ただし、位置特定装置１０が撮像装置３３への撮像の指示を検出時刻Ｔｄにおいて出力したしても、撮像装置３３は、検出時刻Ｔｄにおいて撮像を行うことはできない。前述の通り、撮像装置３３を含む検出系３０と位置特定装置１０との通信は、制御周期Ｃｃごとに実行されるのであり、また、検出系３０の応答遅れ時間Ｄｄ（例、撮像装置３３の応答遅れ時間Ｄｄ）も存在するからである。そこで、位置特定装置１０は、撮像装置３３が検出時刻Ｔｄにおいて撮像を実行できるように、検出指示時刻ａＴｄを予め検出系３０に出力しておく。

すなわち、位置特定装置１０（特に、図１の検出時刻決定部１１５０）は、先ず、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮したサーボ制御系２０の目標位置Ｐｔが、予想検出位置ｐＰｄに一致する時刻」を、検出時刻Ｔｄとする。例えば、検出時刻決定部１１５０は、「サーボ制御系２０の目標位置Ｐｔと予想検出位置ｐＰｄとが一致する時刻」から、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓが経過した時刻を、検出時刻Ｔｄとする。そして、検出時刻決定部１１５０は、「検出時刻Ｔｄを検出系３０の応答遅れ時間Ｄｄによって補正した時刻」を検出指示時刻ａＴｄとする。例えば、検出時刻決定部１１５０は、「検出時刻Ｔｄから、検出系３０の応答遅れ時間Ｄｄを遡った時刻」を、検出指示時刻ａＴｄとする。そして、位置特定装置１０（特に、図１の指令部１２１０）は、検出指示時刻ａＴｄを、予め検出系３０へと出力しておく。

位置特定装置１０は、「検出時刻Ｔｄを検出系３０の応答遅れ時間Ｄｄによって補正した時刻」である検出指示時刻ａＴｄを予め検出系３０へと出力しておくことによって、撮像装置３３に、検出時刻Ｔｄにおいて撮像を実行させることができる。そして、検出時刻Ｔｄにおいて、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮したサーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」と、予想検出位置ｐＰｄとは一致する。したがって、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮したサーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」と「サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」とが一致するのであれば、以下の関係が成立する。すなわち、検出時刻Ｔｄにおいて、「サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」と予想検出位置ｐＰｄとは一致する。つまり、検出時刻Ｔｄにおいて、撮像装置３３の位置と予想検出位置ｐＰｄとは一致し、言い換えれば、検出時刻Ｔｄにおいて、検出位置Ｐｄと予想検出位置ｐＰｄとは一致する。

（高精度な解析を可能とする検出結果を取得するための工夫についての整理）
これまでに説明してきた内容を整理すれば、以下の通りである。すなわち、位置特定装置１０（特に、図１の検出時刻決定部１１５０）は、先ず、検出時刻Ｔｄを、「目標軌道Ｔｔから算出されるサーボ制御系２０の目標位置Ｐｔが、予想検出位置ｐＰｄに一致する」時刻と、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓとから特定する。

そして、位置特定装置１０（検出時刻決定部１１５０）は、検出時刻Ｔｄを「検出系３０の応答遅れ時間Ｄｄ」によって補正した時刻である検出指示時刻ａＴｄを算出する。位置特定装置１０は、検出指示時刻ａＴｄを予め検出系３０（特に、通信装置３１）に送信しておくことによって、撮像装置３３に、検出時刻Ｔｄにおいて撮像を実行させる。

撮像装置３３は、検出時刻Ｔｄにおいて撮像を実行することにより、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した、サーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」と、予想検出位置ｐＰｄとが一致した撮像画像Ｉｍを生成する。

前述の通り、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した、サーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」と撮像装置３３の位置とは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。そして、撮像装置３３の位置と、検出位置Ｐｄとは同じものとみなすことができる。

そのため、検出時刻Ｔｄにおいて、予想検出位置ｐＰｄと検出位置Ｐｄとは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。そして、ワーク４０は、予め、予想検出位置ｐＰｄに載置され、または、予想検出位置ｐＰｄに十分近い位置に載置されている。

したがって、検出時刻Ｔｄに撮像された撮像画像Ｉｍにおいて、ワーク４０の位置Ｐｗ（例、ワーク４０の中心位置）と基準位置Ｒｂ（例、撮像画像Ｉｍの中心点）とは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。つまり、撮像画像Ｉｍにおいて、ワーク４０は、基準位置Ｒｂの周囲に配置されることになり、例えば、撮像画像Ｉｍの略中央に配置されることになる。

したがって、位置特定装置１０は、ワーク４０が略中央に配置されていない撮像画像Ｉｍに比べて、ワーク４０の撮像された領域が撮像画像Ｉｍの全体に占める割合を大きくでき、つまり、ワーク４０を拡大して撮像させた撮像画像Ｉｍを生成させることができる。そのため、位置特定装置１０は、ワーク４０が拡大して撮像された撮像画像Ｉｍに対して、撮像画像Ｉｍについての画素分解能を向上させた高精度な画像解析を行うことができる。

撮像画像Ｉｍについて、必要な撮像範囲は、ワーク４０のサイズ（ワーク４０の撮影される面の面積）と、想定される「位置ずれ（把持ずれ）の大きさ」とにより決定される。

（要求精度の違いによる検出位置（検出ずれ量）の解析結果への影響の違い）
図１２は、ワーク４０の位置Ｐｗをどれだけ精緻（高精度）に特定するかの違い、つまり、特定すべきワーク４０の位置Ｐｗについての要求精度の違いによる、撮像画像Ｉｍに対する画像解析に際して必要となる画素分解能について説明する図である。図１２の（Ａ）および図１２の（Ｂ）の各々において、二点鎖線の交差する点は「撮像画像Ｉｍ中の、検出位置Ｐｄに対応する基準位置Ｒｂ（例、撮像画像Ｉｍの中心点）」を示している。星印は「ワーク４０の位置Ｐｗ（例、ワーク４０の中心位置）」を示している。また、図１２の（Ａ）および図１２の（Ｂ）の各々に示す例において、「検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量」である検出ずれ量Ｑｄは、「±５μｍ」であるものとする。

以下の説明において、「画素分解能（または要求精度）を上げていく」とは「画素分解能（または要求精度）の値を小さくしていく」ことを指す。ワーク４０の位置Ｐｗを高精度に特定しようとする場合、「検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量」である検出ずれ量Ｑｄを高精度に算出する必要がある。そして、「検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量」である検出ずれ量Ｑｄを高精度に算出しようとする場合、撮像画像Ｉｍに対する画素分解能を上げる必要がある。つまり、要求精度を上げることは、画素分解能を上げることである。以下に詳細を説明する。

例えば、要求精度が「１００μｍ」のような低い値である場合、ワーク４０の位置Ｐｗを特定するのに際して、「±５μｍ」である「検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量」は、問題とはならない。つまり、撮像画像Ｉｍに対する画像解析から、「検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量」である検出ずれ量Ｑｄが「±５μｍ」であると算出できなかったとしても、問題とはならない。そのため、画素分解能は、例えば「１０μｍ」程度であってもよい。

これに対して、要求精度が「１０μｍ」のような高い値である場合、ワーク４０の位置Ｐｗを特定するのに際して、「±５μｍ」である「検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量」を算出することは必須となる。そして、「検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量」である「±５μｍ」を、撮像画像Ｉｍに対する画像解析から算出するためには、画素分解能は「１μｍ」程度とすることが必要となる。

したがって、ワーク４０の位置Ｐｗを高精度に特定するためには、つまり、高い要求精度を満たして、ワーク４０の位置Ｐｗを特定するためには、撮像画像Ｉｍに対する画像解析に際して必要となる画素分解能を上げる必要がある。

ワーク４０の撮像された領域が撮像画像Ｉｍの全体に占める割合が、図１２の（Ａ）に示すような小さな撮像画像Ｉｍよりも、図１２の（Ｂ）に示すような大きな撮像画像Ｉｍの方が、撮像画像Ｉｍ中のワーク４０に対する画素分解能を上げることができる。そのため、撮像画像Ｉｍに撮像されるワーク４０の画像を拡大し、言い換えれば、ワーク４０を拡大した撮像画像Ｉｍを生成し、画素分解能を上げていくと、撮像画像Ｉｍに対する画像解析から検出ずれ量Ｑｄを精緻（高精度）に算出することができる。

つまり、撮像画像Ｉｍに対する画像解析から「検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量」である検出ずれ量Ｑｄを精緻に算出するためには、撮像画像Ｉｍについて可能な画素分解能を上げる必要がある。そして、撮像画像Ｉｍについて可能な画素分解能を上げるためには、ワーク４０の撮像された領域が撮像画像Ｉｍの全体に占める割合を大きくするのが望ましく、例えば、ワーク４０を拡大して撮像した撮像画像Ｉｍが望ましい。

（サーボ目標位置の修正）
図１３は、複数のワーク４０の各々の位置Ｐｗを順次特定する際に、位置特定装置１０が実行する処理を説明する図である。図１３に示す例において、例えば、位置特定装置１０は、１枚の基板上に載置されたワーク４０（Ａ）、４０（Ｂ）、４０（Ｃ）、・・・４０（Ｚ）の各々の位置Ｐｗ（Ａ）、Ｐｗ（Ｂ）、Ｐｗ（Ｃ）、・・・Ｐｗ（Ｚ）を順次特定するものとする。

ここで、ワーク４０（Ａ）、４０（Ｂ）、４０（Ｃ）、・・・４０（Ｚ）が載置された基板の設計図において、ワーク４０（Ａ）、４０（Ｂ）、４０（Ｃ）、・・・４０（Ｚ）の各々について、図１３に例示する以下の２つの情報が予め設定されていたものとする。

第一に、ワーク４０（Ａ）、４０（Ｂ）、４０（Ｃ）、・・・４０（Ｚ）の各々の直径（φ）は、約２００μｍであることが予め設定されていたものとする。

第二に、ワーク４０（Ａ）、４０（Ｂ）、４０（Ｃ）、・・・４０（Ｚ）の各々の予想検出位置ｐＰｄは、互いに５００μｍ離れていることが予め設定されていたものとする。すなわち、ワーク４０（Ａ）の予想検出位置ｐＰｄ（Ａ）とワーク４０（Ｂ）の予想検出位置ｐＰｄ（Ｂ）とは互いに５００μｍ離れていることが、予め設定されている。ワーク４０（Ｂ）の予想検出位置ｐＰｄ（Ｂ）とワーク４０（Ｃ）の予想検出位置ｐＰｄ（Ｃ）とは互いに５００μｍ離れていることが、予め設定されている。ワーク４０（Ｃ）の予想検出位置ｐＰｄ（Ｃ）とワーク４０（Ｄ）の予想検出位置ｐＰｄ（Ｄ）とは互いに５００μｍ離れていることが、予め設定されている。ワーク４０（Ｙ）の予想検出位置ｐＰｄ（Ｙ）とワーク４０（Ｚ）の予想検出位置ｐＰｄ（Ｚ）とは互いに５００μｍ離れていることが、予め設定されている。

（設計図に従って検出時刻を設定する方法）
そこで、位置特定装置１０は、「ワーク４０（Ａ）、４０（Ｂ）、４０（Ｃ）、・・・４０（Ｚ）が載置された基板の設計図」に従って撮像装置３３の位置を制御し、撮像装置３３に撮像を実行させる。例えば、位置特定装置１０は、撮像装置３３の移動中に、５００μｍ移動させる都度、撮像装置３３に撮像を実行させる。

例えば、ワーク４０（Ａ）の予想検出位置ｐＰｄ（Ａ）が５００μｍ、ワーク４０（Ｂ）の予想検出位置ｐＰｄ（Ｂ）が１０００μｍ、ワーク４０（Ｃ）の予想検出位置ｐＰｄ（Ｃ）が１５００μｍであると、位置特定装置１０は、以下の処理を実行する。すなわち、位置特定装置１０は、撮像装置３３が、５００μｍ、１０００μｍ、１５００μｍの各々に到達する予定の時刻である検出時刻Ｔｄ（Ａ）、Ｔｄ（Ｂ）、Ｔｄ（Ｃ）に、撮像装置３３に撮像を実行させる。

（直前の検出対象の位置によって次の検出対象の位置を予測する方法）
ただし、位置特定装置１０は、或るワーク４０（Ｐ）の位置Ｐｗ（Ｐ）を特定すると、特定した位置Ｐｗ（Ｐ）を利用して、或るワーク４０（Ｐ）の次に位置Ｐｗを特定すべき対象であるワーク４０（Ｑ）の存在すべき位置を予測してもよい。

すなわち、ワーク４０（Ｐ）の予想検出位置ｐＰｄ（Ｐ）とワーク４０（Ｑ）の予想検出位置ｐＰｄ（Ｑ）とは互いに５００μｍ離れていることが予め分かっている。そこで、位置特定装置１０は、ワーク４０（Ｑ）の存在すべき位置を、ワーク４０（Ｐ）の位置Ｐｗ（Ｐ）と、予想検出位置ｐＰｄ（Ｐ）と予想検出位置ｐＰｄ（Ｑ）との変位量（基準変位量Ｒｄ（ＰＱ）、すなわち、「５００μｍ」）とから、予測する。

具体的には、位置特定装置１０は、ワーク４０（Ｐ）の位置Ｐｗ（Ｐ）から基準変位量Ｒｄ（ＰＱ）（つまり、５００μｍ）進んだ位置を、ワーク４０（Ｑ）の存在すべき位置（つまり、「ワーク４０（Ｑ）の、補正後の予想検出位置ｐＰｄ’（Ｑ）」）とする。

そして、位置特定装置１０は、撮像装置３３の位置が「補正後の予想検出位置ｐＰｄ’（Ｑ）」に一致する時刻を「補正後の検出時刻Ｔｄ’（Ｑ）」とし、「補正後の検出時刻Ｔｄ’（Ｑ）」において、撮像装置３３に撮像を実行させてもよい。

例えば、ワーク４０（Ｐ）の予想検出位置ｐＰｄ（Ｐ）が「５５００μｍ」であり、実際のワーク４０（Ｐ）の位置Ｐｗ（Ｐ）が「５４９９μｍ」であったとする。その場合、位置特定装置１０は、「ワーク４０（Ｑ）の、補正後の予想検出位置ｐＰｄ’（Ｑ）」を以下のように算出する。すなわち、位置特定装置１０は、位置Ｐｗ（Ｐ）（つまり、「５４９９μｍ」）から基準変位量Ｒｄ（ＰＱ）（つまり、「５００μｍ」）分だけ進んだ位置を、「ワーク４０（Ｑ）の、補正後の予想検出位置ｐＰｄ’（Ｑ）」とする。具体的には、位置特定装置１０は、「５９９９μｍ」を、「ワーク４０（Ｑ）の、補正後の予想検出位置ｐＰｄ’（Ｑ）」とする。

複数のワーク４０の各々の予想検出位置ｐＰｄは互いに５００μｍ離れているとされ、複数のワーク４０の各々の位置Ｐｗが実際には互いに４９９μｍ離れていた場合、１１番目のワーク４０について、予想検出位置ｐＰｄと位置Ｐｗとは１０μｍ離れている。その結果、例えば１１番目のワーク４０の予想検出位置ｐＰｄと撮像装置３３の位置とが一致する検出時刻Ｔｄに、撮像装置３３に撮像を実行させたとしても、撮像画像Ｉｍに１１番目のワーク４０は撮像されていないかもしれない。

「複数のワーク４０の各々の予想検出位置ｐＰｄの差（例、５００μｍ）」を「基準変位量Ｒｄ」と呼び、「複数のワーク４０の各々の実際の位置Ｐｗの差（例、４９９μｍ）」を「実変位量Ａｄ」と呼ぶとすると、両者について以下のことが指摘できる。すなわち、基準変位量Ｒｄと実変位量Ａｄとの差分ｄＰが十分に小さな値（上の例では「１μｍ」）であっても、差分ｄＰが「ｎ」回積み重なると、「ｎ＋１」番目のワーク４０において、予想検出位置ｐＰｄと位置Ｐｗとのずれ量は「ｎ×差分ｄＰ」となり得る。

そこで、差分ｄＰが積み重なって或るワーク４０（例えば、ワーク４０（Ｑ））について予想検出位置ｐＰｄと位置Ｐｗとのずれ量が大きくなってしまうことを避けるため、位置特定装置１０は、以下の処理を実行する。

すなわち、位置特定装置１０は、ワーク４０（Ｐ）の位置Ｐｗ（Ｐ）と、「予想検出位置ｐＰｄ（Ｐ）と予想検出位置ｐＰｄ（Ｑ）との変位量である基準変位量Ｒｄ（ＰＱ）」とによって、ワーク４０（Ｑ）の存在すべき位置を予測する。例えば、位置特定装置１０は、位置Ｐｗ（Ｐ）から「予想検出位置ｐＰｄ（Ｐ）と予想検出位置ｐＰｄ（Ｑ）との変位量である基準変位量Ｒｄ（ＰＱ）」分だけ進んだ位置を、補正後の「ワーク４０（Ｑ）の存在すべき位置」とする。つまり、位置特定装置１０は、位置Ｐｗ（Ｐ）から基準変位量Ｒｄ（ＰＱ）分だけ進んだ位置を、ワーク４０（Ｑ）についての「補正後の予想検出位置ｐＰｄ’（Ｑ）」とする。

§２．構成例
これまでに概要を説明してきた位置特定装置１０について、次に、図１を用いてその詳細を説明していく。

図１は、位置特定装置１０の構成例を示す図である。位置特定装置１０は、機能ブロックとして、例えば、目標軌道Ｔｔを取得する目標軌道取得部１１１０と、目標軌道Ｔｔから時刻ごとの目標位置Ｐｔを生成する位置指令生成部１１２０とを備えている。

また、位置特定装置１０は、機能ブロックとして、例えば、検出ずれ量Ｑｄを算出する検出ずれ量算出部１１６０と、検出位置Ｐｄを算出する検出位置算出部１１７０とを備えている。さらに、位置特定装置１０は、機能ブロックとして、例えば、検出ずれ量Ｑｄと検出位置Ｐｄとからワーク４０の位置Ｐｗを特定する位置特定部１１８０を備えている。

図１に例示する位置特定装置１０はまた、機能ブロックとして、例えば、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを算出する応答遅れ時間算出部１１３０と、検出指示時刻ａＴｄを決定する検出時刻決定部１１５０とを備えている。さらに、位置特定装置１０は、機能ブロックとして、例えば、「時刻ごとの目標位置Ｐｔ」から指令値Ｃｍを生成する指令値生成部１１４０と、サーボ制御系２０等との通信を実行する通信部１２００とを備えている。

位置特定装置１０は、上述の各機能ブロックに加えて、例えば、以下の構成（機能ブロック）を備えてもよい。すなわち、位置特定装置１０は、時刻ごとのサーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆを、時刻ごとのサーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ（特に、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した目標位置Ｐｔ）に一致させるサーボ制御部等を備えてもよい。記載の簡潔性を担保するため、本実施の形態に直接関係のない位置特定装置１０の構成は、説明およびブロック図から省略している。ただし、実施の実情に則して、位置特定装置１０は、これらの省略された構成を備えてもよい。

位置特定装置１０の備える上述の機能ブロックは、例えば、ＣＰＵ（central processing unit）等が、ＲＯＭ（read only memory）、ＮＶＲＡＭ（non-Volatile random access memory）等で実現された記憶装置（記憶部１３００）に記憶されているプログラムを不図示のＲＡＭ（random access memory）等に読み出して実行することで実現できる。以下に先ず、記憶部以外の機能ブロックについて、その詳細を説明する。

（記憶部以外の機能ブロックについて）
目標軌道取得部１１１０は、外部（例えばユーザ）から目標軌道データ（目標軌道Ｔｔ）を受け付け、受け付けた目標軌道Ｔｔを、位置指令生成部１１２０に出力する。目標軌道Ｔｔは、位置特定装置１０が位置Ｐｗを特定すべきワーク４０の予想検出位置ｐＰｄ（つまり、ワーク４０が存在すべき位置）を目標位置Ｐｔとして含み、例えば、予想検出位置ｐＰｄの頭上を経由地点とする撮像装置３３の移動経路を示している。

図３に例示する基板において、点線で示した矢印は、目標軌道Ｔｔの一例である。例えば、位置特定装置１０が基板上に載置されたワーク４０（Ａ）、４０（Ｂ）、４０（Ｃ）、・・・、４０（Ｚ）の各々の位置Ｐｗ（Ａ）、Ｐｗ（Ｂ）、Ｐｗ（Ｃ）、・・・、Ｐｗ（Ｚ）を特定しようとする場合、目標軌道Ｔｔは以下の目標位置Ｐｔを含む。すなわち、目標軌道Ｔｔは、ワーク４０（Ａ）、４０（Ｂ）、４０（Ｃ）、・・・、４０（Ｚ）の各々の予想検出位置ｐＰｄ（Ａ）、ｐＰｄ（Ｂ）、ｐＰｄ（Ｃ）、・・・、ｐＰｄ（Ｚ）を目標位置Ｐｔとして含む。

位置指令生成部１１２０は、目標軌道Ｔｔから、「時刻ごとの目標位置Ｐｔ」を生成し、生成した「時刻ごとの目標位置Ｐｔ」を指令値生成部１１４０に出力する。

指令値生成部１１４０は、位置指令生成部１１２０から「時刻ごとの目標位置Ｐｔ」を取得し、応答遅れ時間算出部１１３０から「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓ」を取得する。指令値生成部１１４０は、「時刻ごとの目標位置Ｐｔ」から、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓ」を考慮して、「サーボ制御系２０に対する制御周期Ｃｃごとの指令値Ｃｍ」を生成する。指令値生成部１１４０は、生成した「サーボ制御系２０に対する制御周期Ｃｃごとの指令値Ｃｍ」を、通信部１２００へと、特に指令部１２１０へと、出力する。

例えば、位置指令生成部１１２０から取得した「時刻ごとの目標位置Ｐｔ」において、時刻Ｔ（ｎ）における予想検出位置ｐＰｄ（ｎ）がＰ（ｎ）であると、指令値生成部１１４０は、以下の指令値Ｃｍを生成する。すなわち、指令値生成部１１４０は、「時刻Ｔ（ｎ）から『サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓ』を遡った時刻」における予想検出位置ｐＰｄ（ｎ）をＰ（ｎ）とする指令値Ｃｍを生成する。

ここで、位置特定装置１０が複数のサーボ制御系２０を制御する場合、指令値生成部１１４０は、複数のサーボ制御系２０の制御結果（制御量）を同期させるために、以下の処理を実行する。すなわち、複数のサーボ制御系２０の各々について、複数のサーボドライバ２１の各々が指令値Ｃｍを受信してから、対応するサーボモータ２２が応答するまでの時間（応答遅れ時間Ｄｓ）は、複数のサーボ制御系２０の各々で異なっている場合がある。そこで、指令値生成部１１４０は、複数のサーボ制御系２０の各々に対する指令値Ｃｍを、複数のサーボ制御系２０の各々の応答遅れ時間Ｄｓを考慮して、生成する。

具体的には、指令値生成部１１４０は、「時刻ごとの目標位置Ｐｔ」から、「サーボ制御系２０（Ａ）の応答遅れ時間Ｄｓ（Ａ）」を考慮して、サーボ制御系２０（Ａ）に対する制御周期Ｃｃごとの指令値Ｃｍ（Ａ）を生成する。指令値生成部１１４０は、「時刻ごとの目標位置Ｐｔ」から、「サーボ制御系２０（Ｂ）の応答遅れ時間Ｄｓ（Ｂ）」を考慮して、サーボ制御系２０（Ｂ）に対する制御周期Ｃｃごとの指令値Ｃｍ（Ｂ）を生成する。

複数のサーボ制御系２０の各々で異なる応答遅れ時間Ｄｓを考慮して、複数のサーボ制御系２０の各々に対する指令値Ｃｍを生成することによって、指令値生成部１１４０は、複数のサーボ制御系２０の各々の制御結果を同期させることができる。

応答遅れ時間算出部１１３０は、サーボ制御系２０（特に、サーボドライバ２１）の制御特性を示すサーボパラメータを取得し、取得したサーボパラメータから、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓ」を算出する。応答遅れ時間算出部１１３０は、算出した「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓ」を、指令値生成部１１４０および検出時刻決定部１１５０へと出力する。

応答遅れ時間算出部１１３０は、サーボ制御系２０の制御特性を示すサーボパラメータとして、サーボドライバ２１の位置ループゲインを用いて、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを算出してもよい。例えば、応答遅れ時間算出部１１３０は、サーボ制御系２０（Ａ）の応答遅れ時間Ｄｓ（Ａ）を、サーボドライバ２１（Ａ）のサーボパラメータの１つである位置ループゲインの逆数としてもよい。応答遅れ時間算出部１１３０は、サーボ制御系２０（Ｂ）の応答遅れ時間Ｄｓ（Ｂ）を、サーボドライバ２１（Ｂ）のサーボパラメータの１つである位置ループゲインの逆数としてもよい。

検出時刻決定部１１５０は、位置指令生成部１１２０から「時刻ごとの目標位置Ｐｔ」を取得し、応答遅れ時間算出部１１３０から「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓ」を取得する。また、検出時刻決定部１１５０は、記憶部１３００を参照して、予想検出位置テーブル１３１０から「予想検出位置ｐＰｄに係る情報」を取得し、検出器応答遅れ時間テーブル１３２０から「検出系３０の応答遅れ時間Ｄｄ」を取得する。検出時刻決定部１１５０は、「時刻ごとの目標位置Ｐｔ」、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓ」、「予想検出位置ｐＰｄに係る情報」、および、「検出系３０の応答遅れ時間Ｄｄ」から、検出時刻Ｔｄおよび検出指示時刻ａＴｄを算出する。そして、検出時刻決定部１１５０は、算出した検出指示時刻ａＴｄを、通信部１２００へと、特に指令部１２１０へと、出力する。

具体的には、検出時刻決定部１１５０は、先ず、「時刻ごとの目標位置Ｐｔ」、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓ」、および、「予想検出位置ｐＰｄに係る情報」から、検出時刻Ｔｄを算出する。すなわち、検出時刻決定部１１５０は、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓ」を考慮して、目標位置Ｐｔと予想検出位置ｐＰｄとが一致する時刻として算出した時刻を、検出時刻Ｔｄとする。

検出時刻決定部１１５０は、次に、検出時刻Ｔｄと「検出系３０の応答遅れ時間Ｄｄ」とから、検出指示時刻ａＴｄを算出する。すなわち、検出時刻決定部１１５０は、検出時刻Ｔｄを「検出系３０の応答遅れ時間Ｄｄ」によって補正した時刻を、検出指示時刻ａＴｄとする。

例えば、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓ」が存在しない場合に、目標位置Ｐｔと予想検出位置ｐＰｄとが一致する時刻が時刻Ｔ０であったとすると、検出時刻決定部１１５０は、次のように、検出時刻Ｔｄおよび検出指示時刻ａＴｄを算出する。すなわち、検出時刻決定部１１５０は、「目標位置Ｐｔと予想検出位置ｐＰｄとが一致する」時刻Ｔ０から、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓ」を経た時刻を、検出時刻Ｔｄとする。また、検出時刻決定部１１５０は、検出時刻Ｔｄから「検出系３０の応答遅れ時間Ｄｄ」を遡った時刻を、検出指示時刻ａＴｄとする。

検出ずれ量算出部１１６０は、通信部１２００から、特に制御量取得部１２２０から、撮像画像Ｉｍを取得する。検出ずれ量算出部１１６０は、撮像画像Ｉｍに対して画像解析を実行して、撮像画像Ｉｍにおける「画像内での位置ずれ量」（つまり、撮像画像Ｉｍにおける「ワーク４０の位置Ｐｗの、基準位置Ｒｂからのずれ量」）を算出する。検出ずれ量算出部１１６０は、算出した「画像内での位置ずれ量」から、検出ずれ量Ｑｄ（つまり、検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量）を特定する。検出ずれ量算出部１１６０は、特定した検出ずれ量Ｑｄを、位置特定部１１８０へと出力する。

具体的には、検出ずれ量算出部１１６０は、撮像画像Ｉｍに対して画像解析を実行して、撮像画像Ｉｍにおけるワーク４０の位置Ｐｗ（例、ワーク４０の中心位置）と基準位置Ｒｂとのずれ量である「画像内での位置ずれ量」を算出する。そして、検出ずれ量算出部１１６０は、算出した「画像内での位置ずれ量」から、「画像内での位置ずれ量」に対応する、「検出時刻Ｔｄにおける、ワーク４０の位置Ｐｗと検出位置Ｐｄとのずれ量」である検出ずれ量Ｑｄを特定する。

ただし、検出ずれ量算出部１１６０は、通信部１２００（特に、制御量取得部１２２０）から、撮像画像Ｉｍに代えて、撮像画像Ｉｍの画像解析結果を取得してもよく、特に、撮像画像Ｉｍにおける「画像内での位置ずれ量」を取得してもよい。検出ずれ量算出部１１６０は、撮像画像Ｉｍにおける「画像内での位置ずれ量」から検出ずれ量Ｑｄを特定できればよく、撮像画像Ｉｍから「画像内での位置ずれ量」を算出するのは、検出ずれ量算出部１１６０であっても、検出系３０であってもよい。

すなわち、位置特定装置１０（特に、制御量取得部１２２０）は、検出系３０（例えば、撮像制御装置３２）が撮像画像Ｉｍに対する画像解析によって算出した「画像内での位置ずれ量」を受信してもよい。そして、検出ずれ量算出部１１６０は、撮像制御装置３２が受信した「画像内での位置ずれ量」から、検出ずれ量Ｑｄを算出してもよい。

検出位置算出部１１７０は、通信部１２００から、特に制御量取得部１２２０から、「制御周期Ｃｃごとの、サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」を取得する。検出位置算出部１１７０は、「制御周期Ｃｃごとの、サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」から、補間計算によって、「検出時刻Ｔｄにおけるフィードバック位置Ｐｆ」を算出する。検出位置算出部１１７０は、算出した「検出時刻Ｔｄにおけるフィードバック位置Ｐｆ」を、位置特定部１１８０へと出力する。

例えば、ｎを「０以上の整数」として、検出時刻Ｔｄが「ｎ」回目の制御周期Ｃｃ（ｎ）と「ｎ＋１」回目の制御周期Ｃｃ（ｎ＋１）との間の時刻である場合、検出位置算出部１１７０は、以下の処理を実行する。すなわち、検出位置算出部１１７０は、先ず、「制御周期Ｃｃ（ｎ）におけるフィードバック位置Ｐｆ（ｎ）」と、「制御周期Ｃｃ（ｎ＋１）におけるフィードバック位置Ｐｆ（ｎ＋１）」とを取得する。そして、検出位置算出部１１７０は、フィードバック位置Ｐｆ（ｎ）とフィードバック位置Ｐｆ（ｎ＋１）とから、補間計算によって、「検出時刻Ｔｄにおけるフィードバック位置Ｐｆ」を算出する。例えば、検出位置算出部１１７０は、フィードバック位置Ｐｆ（ｎ）とフィードバック位置Ｐｆ（ｎ＋１）とを結ぶ直線（または曲線）と、検出時刻Ｔｄを示す直線との交点から、「検出時刻Ｔｄにおけるフィードバック位置Ｐｆ」を算出する。

すなわち、検出位置算出部１１７０は、制御周期Ｃｃごとに取得した、複数の「制御周期Ｃｃごとの、サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」から、補間計算によって、「検出時刻Ｔｄにおけるフィードバック位置Ｐｆ」を算出してもよい。

位置特定部１１８０は、検出ずれ量算出部１１６０から検出ずれ量Ｑｄ（つまり、検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量）を取得し、検出位置算出部１１７０から「検出時刻Ｔｄにおけるフィードバック位置Ｐｆ」を取得する。前述の通り、「検出時刻Ｔｄにおけるフィードバック位置Ｐｆ」は、「検出時刻Ｔｄにおける撮像装置３３の位置」であり、つまり、検出位置Ｐｄに対応する。そこで、位置特定部１１８０は、検出ずれ量Ｑｄ（つまり、検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量）と、「検出時刻Ｔｄにおけるフィードバック位置Ｐｆ」（つまり、検出位置Ｐｄ）とから、ワーク４０の位置Ｐｗを特定する。

通信部１２００は、制御周期Ｃｃごとに周期的に、スレーブとしてのサーボ制御系２０および検出系３０の各々と通信を実行し、指令部１２１０および制御量取得部１２２０を含んでいる。

指令部１２１０は、指令値生成部１１４０から「サーボ制御系２０に対する制御周期Ｃｃごとの指令値Ｃｍ」を取得し、検出時刻決定部１１５０から検出指示時刻ａＴｄを取得する。指令部１２１０は、スレーブであるサーボ制御系２０および検出系３０へと、指令値Ｃｍおよび検出指示時刻ａＴｄを含む制御信号Ｃｓ（制御指示）を、制御周期Ｃｃごとに出力する（送信する）。

制御量取得部１２２０は、スレーブであるサーボ制御系２０および検出系３０から、これらのスレーブが出力する制御結果（例、制御量および検出結果）を示すデータを、制御周期Ｃｃごとに取得する（受信する）。すなわち、制御量取得部１２２０は、サーボ制御系２０から「制御周期Ｃｃごとの、サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」を示す情報を取得し、検出系３０から撮像画像Ｉｍを取得する。制御量取得部１２２０は、「制御周期Ｃｃごとの、サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」を示す情報を検出位置算出部１１７０へと送信し、撮像画像Ｉｍを検出ずれ量算出部１１６０へと出力する。

「制御周期Ｃｃごとの、サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」を示す情報は、「制御周期Ｃｃごとの、サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」に加えて、フィードバック位置Ｐｆが検出された時刻である実測時刻Ｔｍを示す情報を含んでいてもよい。その場合、検出位置算出部１１７０は、例えば、「制御周期Ｃｃ（ｎ）におけるフィードバック位置Ｐｆ（ｎ）」と「フィードバック位置Ｐｆ（ｎ）が検出された実測時刻Ｔｍ（ｎ）」とを取得する。また、検出位置算出部１１７０は、「制御周期Ｃｃ（ｎ＋１）におけるフィードバック位置Ｐｆ（ｎ＋１）」と「フィードバック位置Ｐｆ（ｎ＋１）が検出された実測時刻Ｔｍ（ｎ＋１）」とを取得する。そして、検出位置算出部１１７０は、実測時刻Ｔｍ（ｎ）におけるフィードバック位置Ｐｆ（ｎ）と、実測時刻Ｔｍ（ｎ＋１）におけるフィードバック位置Ｐｆ（ｎ＋１）とから、「検出時刻Ｔｄにおけるフィードバック位置Ｐｆ」を算出する。

また、前述の通り、制御量取得部１２２０は、検出系３０から、撮像画像Ｉｍの代わりに、検出系３０（例えば、撮像制御装置３２）が撮像画像Ｉｍに対する画像解析によって算出した「画像内での位置ずれ量」を取得してもよい。その場合、制御量取得部１２２０は、取得した「画像内での位置ずれ量」を、検出ずれ量算出部１１６０へと出力する。

（複数のワークの各々の位置を順次特定する場合について）
位置特定装置１０が、例えば１枚の基板上に載置された複数のワーク４０の各々の位置Ｐｗを順次特定する場合、位置特定装置１０の備える各機能ブロックは、以下の処理を実行してもよい。

例えば、位置特定部１１８０が「或るワーク４０（Ｐ）の位置Ｐｗ（Ｐ）」を特定すると、位置特定部１１８０は、特定した「或るワーク４０（Ｐ）の位置Ｐｗ（Ｐ）」を、位置指令生成部１１２０に通知する。

位置指令生成部１１２０は、「或るワーク４０（Ｐ）の予想検出位置ｐＰｄ（Ｐ）」と、「或るワーク４０（Ｐ）の次に位置Ｐｗを特定すべきワーク４０（Ｑ）の、予想検出位置ｐＰｄ（Ｑ）」とを、予想検出位置テーブル１３１０を参照して取得する。そして、位置指令生成部１１２０は、予想検出位置ｐＰｄ（Ｐ）から予想検出位置ｐＰｄ（Ｑ）への変位量である基準変位量Ｒｄ（ＰＱ）を算出する。位置指令生成部１１２０は、算出した基準変位量Ｒｄ（ＰＱ）と、位置特定部１１８０から通知された「位置Ｐｗ（Ｐ）」とによって、「或るワーク４０（Ｐ）の次に位置Ｐｗを特定すべきワーク４０（Ｑ）」が存在すべき位置を算出する。すなわち、位置指令生成部１１２０は、位置Ｐｗ（Ｐ）から基準変位量Ｒｄ（ＰＱ）分だけ進んだ位置を、ワーク４０（Ｑ）の存在すべき位置（つまり、「ワーク４０（Ｑ）の、補正後の予想検出位置ｐＰｄ’（Ｑ）」）とする。

位置指令生成部１１２０は、ワーク４０（Ｑ）の「補正前の予想検出位置ｐＰｄ（Ｑ）」に代えて、「補正後の予想検出位置ｐＰｄ’（Ｑ）」を目標位置Ｐｔとして含む目標軌道Ｔｔ’から、「時刻ごとの目標位置Ｐｔ’」を生成する。そして、位置指令生成部１１２０は、「時刻ごとの目標位置Ｐｔ’」を、指令値生成部１１４０および検出時刻決定部１１５０に通知する。

指令値生成部１１４０は、位置指令生成部１１２０から通知された「時刻ごとの目標位置Ｐｔ’」から、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓ」を考慮して、「サーボ制御系２０に対する制御周期Ｃｃごとの指令値Ｃｍ’」を生成する。

検出時刻決定部１１５０は、位置指令生成部１１２０から通知された「時刻ごとの目標位置Ｐｔ’」を用いて、撮像装置３３にワーク４０（Ｑ）を撮像させるべき時刻である検出時刻Ｔｄ’（Ｑ）を算出する。検出時刻決定部１１５０は、「時刻ごとの目標位置Ｐｔ’」、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓ」、および、「ワーク４０（Ｑ）の、補正後の予想検出位置ｐＰｄ’（Ｑ）」から、検出時刻Ｔｄ’（Ｑ）を算出する。すなわち、検出時刻決定部１１５０は、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓ」を考慮した「時刻ごとの目標位置Ｐｔ’」が、「ワーク４０（Ｑ）の、補正後の予想検出位置ｐＰｄ’（Ｑ）」に一致する時刻を、検出時刻Ｔｄ’（Ｑ）とする。

例えば、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓ」が存在しない場合に、目標位置Ｐｔ’と「補正後の予想検出位置ｐＰｄ’（Ｑ）」とが一致する時刻が時刻Ｔ’０であったとすると、検出時刻決定部１１５０は、次のように、検出時刻Ｔｄ’（Ｑ）を算出する。すなわち、検出時刻決定部１１５０は、「目標位置Ｐｔ’と『補正後の予想検出位置ｐＰｄ’（Ｑ）』とが一致する」時刻Ｔ’０から、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓ」を経た時刻を、検出時刻Ｔｄ’（Ｑ）とする。

そして、検出時刻決定部１１５０は、検出時刻Ｔｄ’（Ｑ）から「検出系３０の応答遅れ時間Ｄｄ」を遡った時刻を、検出指示時刻ａＴｄ’（Ｑ）とする。指令部１２１０は、検出指示時刻ａＴｄ’（Ｑ）を予め検出系３０へと通知しておくことで、撮像装置３３に、検出時刻Ｔｄ’（Ｑ）に撮像を実行させる。

（記憶部について）
記憶部１３００は、位置特定装置１０が使用する各種データを格納する記憶装置である。なお、記憶部１３００は、位置特定装置１０が実行する（１）制御プログラム、（２）ＯＳプログラム、（３）位置特定装置１０が有する各種機能を実行するためのアプリケーションプログラム、および、（４）該アプリケーションプログラムを実行するときに読み出す各種データを非一時的に記憶してもよい。上記の（１）～（４）のデータは、例えば、ＲＯＭ（read only memory）、フラッシュメモリ、ＥＰＲＯＭ（Erasable Programmable ROM）、ＥＥＰＲＯＭ（登録商標）（Electrically EPROM）、ＨＤＤ（Hard Disc Drive）等の不揮発性記憶装置に記憶される。位置特定装置１０は、図示しない一時記憶部を備えていてもよい。一時記憶部は、位置特定装置１０が実行する各種処理の過程で、演算に使用するデータおよび演算結果等を一時的に記憶するいわゆるワーキングメモリであり、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の揮発性記憶装置で構成される。どのデータをどの記憶装置に記憶するのかについては、位置特定装置１０の使用目的、利便性、コスト、または、物理的な制約等から適宜決定される。記憶部１３００はさらに、予想検出位置テーブル１３１０、および、検出器応答遅れ時間テーブル１３２０を格納している。

予想検出位置テーブル１３１０には、「予想検出位置ｐＰｄに係る情報」が、具体的には、「予想検出位置ｐＰｄを特定する情報」が格納されている。予想検出位置ｐＰｄは、「ワーク４０が載置される基板」の設計図などに基づいて、「ワーク４０が存在すべき位置」として予め予想検出位置テーブル１３１０に格納されている。

検出器応答遅れ時間テーブル１３２０には、「検出系３０の応答遅れ時間Ｄｄ」が格納されている。

記憶部１３００は、予想検出位置テーブル１３１０、および、検出器応答遅れ時間テーブル１３２０に加えて、サーボ制御系２０（特に、サーボドライバ２１）の制御特性を示すサーボパラメータを格納していてもよい。特に、記憶部１３００は、複数のサーボ制御系２０（特に、サーボドライバ２１）の各々の制御特性を示すサーボパラメータを格納していてもよい。

（位置特定装置についての整理）
これまでに図１から図１３を用いて説明してきた内容は、以下のように整理することができる。位置特定装置１０は、検出対象であるワーク４０の位置Ｐｗを特定する位置特定装置である。位置特定装置１０は、指令部１２１０と、制御量取得部１２２０（取得部）と、検出ずれ量算出部１１６０と、検出位置算出部１１７０と、位置特定部１１８０とを備えている。

指令部１２１０は、目標軌道Ｔｔから演算した指令値Ｃｍを、撮像装置３３（検出装置）およびワーク４０の少なくとも一方の位置を制御するサーボ制御系２０へと出力する。目標軌道Ｔｔは、「ワーク４０が存在すべき位置」として予め設定された予想検出位置ｐＰｄを、目標位置Ｐｔとして含む。

制御量取得部１２２０は、撮像装置３３およびワーク４０の少なくとも一方の移動中の時刻である検出時刻Ｔｄにおける、撮像装置３３の検出結果である撮像画像Ｉｍを取得する。検出時刻Ｔｄは、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮して算出したサーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」が、予想検出位置ｐＰｄに一致する時刻である。

検出ずれ量算出部１１６０は、「撮像画像Ｉｍにおける、基準位置Ｒｂとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量」から、「基準位置Ｒｂに対応する位置である検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量」である検出ずれ量Ｑｄを算出する。

検出位置算出部１１７０は、検出時刻Ｔｄにおける撮像装置３３の位置から、検出位置Ｐｄを算出する。

位置特定部１１８０は、検出位置算出部１１７０の算出した検出位置Ｐｄを、検出ずれ量算出部１１６０の算出した検出ずれ量Ｑｄによって補正することにより、ワーク４０の位置Ｐｗを特定する。

前記の構成によれば、位置特定装置１０は、撮像画像Ｉｍから、検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量である検出ずれ量Ｑｄを算出する。また、位置特定装置１０は、検出時刻Ｔｄにおける撮像装置３３の位置から、検出位置Ｐｄを算出する。そして、位置特定装置１０は、検出ずれ量Ｑｄと検出位置Ｐｄとによって、ワーク４０の位置Ｐｗを特定する。

（位置検出の高精度化）
そのため、位置特定装置１０は、検出時刻Ｔｄにおいて、ワーク４０の位置Ｐｗと検出位置Ｐｄとが一致しない場合にも、両者のずれ量を用いて、ワーク４０の位置Ｐｗを高精度に特定することができるとの効果を奏する。

（検出結果の高精度化および高速化）
また、前記の構成によれば、位置特定装置１０は、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮して算出したサーボ制御系２０の目標位置Ｐｔが、予想検出位置ｐＰｄに一致する時刻である検出時刻Ｔｄにおける撮像画像Ｉｍから、検出ずれ量Ｑｄを算出する。

ここで、撮像装置３３が検出を実行するタイミングにおいて、撮像装置３３がワーク４０を検出可能な範囲にワーク４０が存在しない場合、撮像画像Ｉｍから検出ずれ量Ｑｄを算出することはできない。

そこで、「撮像装置３３が検出を実行するタイミングにおいて、撮像装置３３がワーク４０を検出可能な範囲にワーク４０が存在しない」といった事態を回避するため、位置特定装置１０は、検出時刻Ｔｄにおける撮像画像Ｉｍを取得する。

例えば、サーボ制御系２０が撮像装置３３のみを移動させ、ワーク４０は移動されず、ワーク４０は予め、予想検出位置ｐＰｄに載置され、または、予想検出位置ｐＰｄに十分近い位置に載置されている場合、位置特定装置１０は、以下の処理を実行する。すなわち、位置特定装置１０は、撮像装置３３の位置を制御するサーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮して算出するサーボ制御系２０の目標位置Ｐｔが、予想検出位置ｐＰｄに一致する時刻を、検出時刻Ｔｄとする。

ここで、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮することによって、「サーボ制御系２０の、時刻ごとの目標位置Ｐｔ」は、「サーボ制御系２０の、時刻ごとのフィードバック位置Ｐｆ」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなると考えられる。そして、撮像装置３３の位置を制御するサーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆは、撮像装置３３の位置とみなすことができる。そのため、「撮像装置３３の、時刻ごとの位置」は、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮して算出される、サーボ制御系２０の、時刻ごとの目標位置Ｐｔ」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。

以上に説明した通り、検出時刻Ｔｄにおいて、「サーボ制御系２０によって移動されている撮像装置３３の位置」と、予想検出位置ｐＰｄとは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。そして、前述の通り、ワーク４０は予め、予想検出位置ｐＰｄに載置され、または、予想検出位置ｐＰｄに十分近い位置に載置されている。そのため、検出時刻Ｔｄにおいて、「サーボ制御系２０によって移動されている撮像装置３３の位置」とワーク４０の位置Ｐｗとは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなる。

その結果、位置特定装置１０は、「撮像装置３３が検出を実行するタイミングにおいて、撮像装置３３がワーク４０を検出可能な範囲に、ワーク４０が存在しない」といった事態を回避することができる。

また例えば、サーボ制御系２０がワーク４０のみを移動させ、撮像装置３３は移動されず、撮像装置３３は予め、予想検出位置ｐＰｄに載置され、または、予想検出位置ｐＰｄに十分近い位置に載置されている場合、位置特定装置１０は、以下の処理を実行する。すなわち、位置特定装置１０は、ワーク４０の位置Ｐｗを制御するサーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮して算出するサーボ制御系２０の目標位置Ｐｔが、予想検出位置ｐＰｄに一致する時刻を、検出時刻Ｔｄとする。

前述の通り、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮することによって、「サーボ制御系２０の、時刻ごとの目標位置Ｐｔ」は、「サーボ制御系２０の、時刻ごとのフィードバック位置Ｐｆ」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなると考えられる。そして、ワーク４０の位置Ｐｗを制御するサーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆは、ワーク４０の位置Ｐｗとみなすことができる。そのため、「ワーク４０の、時刻ごとの位置」は、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮して算出される、サーボ制御系２０の、時刻ごとの目標位置Ｐｔ」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。

以上に説明した通り、検出時刻Ｔｄにおいて、「サーボ制御系２０によって移動されているワーク４０の位置Ｐｗ」と、予想検出位置ｐＰｄとは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。そして、前述の通り、撮像装置３３は予め、予想検出位置ｐＰｄに載置され、または、予想検出位置ｐＰｄに十分近い位置に載置されている。そのため、検出時刻Ｔｄにおいて、「サーボ制御系２０によって移動されているワーク４０の位置Ｐｗ」と撮像装置３３の位置とは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなる。

その結果、位置特定装置１０は、「撮像装置３３が検出を実行するタイミングにおいて、撮像装置３３がワーク４０を検出可能な範囲に、ワーク４０が存在しない」といった事態を回避することができる。

さらに例えば、第一のサーボ制御系２０（１）が撮像装置３３を移動させ、第二のサーボ制御系２０（２）がワーク４０を移動させる場合、位置特定装置１０は、以下の時刻を、検出時刻Ｔｄとする。すなわち、位置特定装置１０は、「第一のサーボ制御系２０（１）および第二のサーボ制御系２０（２）の、各々の応答遅れ時間Ｄｓを考慮して算出する、各々の目標位置Ｐｔ」が、共に、予想検出位置ｐＰｄに一致する時刻を、検出時刻Ｔｄとする。検出時刻Ｔｄにおいて、「第一のサーボ制御系２０（１）の応答遅れ時間Ｄｓ（１）を考慮して算出する、第一のサーボ制御系２０（１）の目標位置Ｐｔ（１）」は、予想検出位置ｐＰｄに一致する。また、検出時刻Ｔｄにおいて、「第二のサーボ制御系２０（２）の応答遅れ時間Ｄｓ（２）を考慮して算出する、第二のサーボ制御系２０（２）の目標位置Ｐｔ（２）」は、予想検出位置ｐＰｄに一致する。

前述の通り、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮することによって、「サーボ制御系２０の、時刻ごとの目標位置Ｐｔ」は、「サーボ制御系２０の、時刻ごとのフィードバック位置Ｐｆ」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなると考えられる。

そして、撮像装置３３の位置を制御する第一のサーボ制御系２０（１）のフィードバック位置Ｐｆ（１）は、撮像装置３３の位置とみなすことができる。また、ワーク４０の位置Ｐｗを制御する第二のサーボ制御系２０（２）のフィードバック位置Ｐｆ（２）は、ワーク４０の位置Ｐｗとみなすことができる。

そのため、「移動中の撮像装置３３の、時刻ごとの位置」は、「第一のサーボ制御系２０（１）の、応答遅れ時間Ｄｓ（１）を考慮して算出される、時刻ごとの目標位置Ｐｔ（１）」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。また、「移動中のワーク４０の、時刻ごとの位置」は、「第二のサーボ制御系２０（２）の、応答遅れ時間Ｄｓ（２）を考慮して算出される、時刻ごとの目標位置Ｐｔ（２）」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。

以上に説明した通り、検出時刻Ｔｄにおいて、「移動中の撮像装置３３の位置」と、「移動中のワーク４０の位置Ｐｗ」と、予想検出位置ｐＰｄとは一致し、または、三者のずれ量は十分に小さくなるはずである。

その結果、位置特定装置１０は、「撮像装置３３が検出を実行するタイミングにおいて、撮像装置３３がワーク４０を検出可能な範囲に、ワーク４０が存在しない」といった事態を回避することができる。

位置特定装置１０は、検出装置およびワーク４０の少なくとも一方の移動中の時刻であって、「ワーク４０の位置Ｐｗと、撮像装置３３の位置とが一致し、または、両者のずれ量が十分に小さくなる」時刻である検出時刻Ｔｄにおける撮像画像Ｉｍを取得する。

ここで、検出時刻Ｔｄにおける撮像装置３３の位置は、検出位置Ｐｄに対応するから、検出時刻Ｔｄにおける撮像画像Ｉｍにおいて、基準位置Ｒｂとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量は十分に小さくなると考えられる。そして、「撮像画像Ｉｍにおいて、基準位置Ｒｂとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量は十分に小さい」ことが予め分かっていれば、「撮像画像Ｉｍにおいて、両者のずれ量は予測不能または大きいと予測される」場合に比べて、撮像画像Ｉｍへの解析を高精度化できる。

そのため、位置特定装置１０は、高精度な解析を実行可能な「検出時刻Ｔｄにおける撮像画像Ｉｍ」を取得し、つまり、「検出時刻Ｔｄにおける撮像画像Ｉｍ」から、検出ずれ量Ｑｄを高精度に算出することができる。

また、位置特定装置１０は、検出ずれ量Ｑｄを、「撮像装置３３が、ワーク４０および撮像装置３３の少なくとも一方の移動中に、検出した撮像画像Ｉｍ」から算出する。そのため、位置特定装置１０は、「ワーク４０および撮像装置３３の移動を停止させてから撮像装置３３に検出を実行させ、撮像画像Ｉｍを生成させる」場合に比べて、撮像画像Ｉｍを高速に取得でき、その結果、検出ずれ量Ｑｄの算出を高速化できる。

（検出対象の位置特定の高精度化および高速化）
これまでに説明してきた通り、位置特定装置１０は、高精度な解析を実行可能な撮像画像Ｉｍを高速に取得し、撮像画像Ｉｍから検出ずれ量Ｑｄを高速かつ高精度に算出することができる。そして、位置特定装置１０は、算出した検出ずれ量Ｑｄと、検出位置Ｐｄとによって、ワーク４０の位置Ｐｗを特定する。

したがって、位置特定装置１０は、ワーク４０の位置Ｐｗを、高速かつ高精度に特定することができるとの効果を奏する。

位置特定装置１０は、サーボ制御系２０と制御周期Ｃｃごとに通信を実行する。サーボ制御系２０によって撮像装置３３の位置が制御される場合、位置特定装置１０は、検出時刻Ｔｄにおける撮像装置３３の位置を、撮像装置３３の位置を制御するサーボ制御系２０の、制御周期Ｃｃごとのフィードバック位置Ｐｆから、補間計算によって算出する。

前記の構成によれば、位置特定装置１０は、「検出時刻Ｔｄにおける、撮像装置３３の位置を制御するサーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」を、「サーボ制御系２０の、制御周期Ｃｃごとのフィードバック位置Ｐｆ」から、補間計算によって算出する。

ｎを「０以上の整数」として、例えば、検出時刻Ｔｄが「ｎ」回目の制御周期Ｃｃと「ｎ＋１」回目の制御周期Ｃｃとの間の時刻であると、位置特定装置１０は、以下のように、「検出時刻Ｔｄにおける、サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」を算出する。
すなわち、位置特定装置１０は、サーボ制御系２０の、「『ｎ』回目の制御周期Ｃｃにおけるフィードバック位置Ｐｆ」と、「『ｎ＋１』回目の制御周期Ｃｃにおけるフィードバック位置Ｐｆ」とから、「検出時刻Ｔｄにおけるフィードバック位置Ｐｆ」を算出する。

したがって、位置特定装置１０は、検出時刻Ｔｄが、サーボ制御系２０との通信周期である制御周期Ｃｃの整数倍でない場合でも、高精度に、「検出時刻Ｔｄにおける、サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」を算出することができるとの効果を奏する。

位置特定装置１０は、互いに同期した複数のサーボ制御系２０の各々に、複数のサーボ制御系２０の各々の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した指令値Ｃｍを出力する。例えば、位置特定装置１０は、サーボ制御系２０（Ａ）に、サーボ制御系２０（Ａ）の応答遅れ時間Ｄｓ（Ａ）を考慮した指令値Ｃｍ（Ａ）を出力する。また、位置特定装置１０は、サーボ制御系２０（Ｂ）に、サーボ制御系２０（Ｂ）の応答遅れ時間Ｄｓ（Ｂ）を考慮した指令値Ｃｍ（Ｂ）を出力する。

前記の構成によれば、位置特定装置１０は、互いに同期した複数のサーボ制御系２０の各々に、複数のサーボ制御系２０の各々の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した指令値Ｃｍを出力する。

したがって、位置特定装置１０は、複数のサーボ制御系２０を、互いに同期させた状態で制御して、ワーク４０の高精度な位置制御を実現できるとの効果を奏する。

制御システム１において、撮像制御装置３２（検出制御装置）は、撮像装置３３による検出動作（具体的には、撮像動作）を制御し、撮像制御装置３２は、通信装置３１（通信制御装置）との間で通信を実行する。

位置特定装置１０は、通信装置３１へと制御周期Ｃｃごとに送信する制御信号Ｃｓにおいて、検出系３０の応答遅れ時間Ｄｄ（撮像装置３３の応答遅れ時間Ｄｄ）を考慮して検出時刻Ｔｄを補正した検出指示時刻ａＴｄを指定する。位置特定装置１０は、制御信号Ｃｓにおいて検出指示時刻ａＴｄを指定することによって、通信装置３１に、撮像制御装置３２への検出指示の出力を、検出指示時刻ａＴｄにおいて実行させる。撮像制御装置３２は、検出指示を通信装置３１から受信すると、撮像装置３３へと、検出トリガを送信し、撮像装置３３に、検出動作（具体的には、撮像動作）を実行させる。

前記の構成によれば、位置特定装置１０は、検出時刻Ｔｄを「撮像装置３３の応答遅れ時間Ｄｄ」によって補正した時刻である検出指示時刻ａＴｄを算出する。そして、位置特定装置１０は、通信装置３１に対して制御周期Ｃｃごとに出力する制御信号Ｃｓにおいて、検出指示時刻ａＴｄを指定する。

制御信号Ｃｓを受信した通信装置３１は、検出指示時刻ａＴｄにおいて、前記検出指示を撮像制御装置３２へと送信し、前記検出指示を受信した撮像制御装置３２は、撮像装置３３に、ワーク４０を検出させる。そのため、撮像装置３３が、ワーク４０を検出する時刻は、撮像装置３３の応答遅れ時間Ｄｄの分だけ検出指示時刻ａＴｄから遅れた時刻となり、つまり、検出時刻Ｔｄとなる。

ここで、撮像装置３３の応答遅れ時間Ｄｄを考慮せずに、撮像装置３３に検出を実行させようとした場合、撮像装置３３が実際に検出を実行する時刻は、撮像装置３３に検出の実行を指示した時刻から、撮像装置３３の応答遅れ時間Ｄｄの分だけ遅れることになる。

そこで、位置特定装置１０は、検出時刻Ｔｄを「撮像装置３３の応答遅れ時間Ｄｄ」によって補正した時刻である検出指示時刻ａＴｄを算出する。そして、位置特定装置１０は、撮像装置３３に検出の実行を指示する時刻として検出指示時刻ａＴｄを指定する。

したがって、位置特定装置１０は、制御信号Ｃｓにおいて、「撮像装置３３の応答遅れ時間Ｄｄ」を考慮した検出指示時刻ａＴｄを指定することによって、撮像装置３３に、検出時刻Ｔｄにおいて検出を実行させることができるとの効果を奏する。

また、位置特定装置１０は、制御周期Ｃｃごとに送信する制御信号Ｃｓにおいて検出指示時刻ａＴｄを指定し、例えば、位置特定装置１０は、検出指示時刻ａＴｄを、検出指示時刻ａＴｄよりも前の制御周期Ｃｃにおける制御信号Ｃｓにおいて指定する。

したがって、位置特定装置１０は、制御信号Ｃｓにおいて検出指示時刻ａＴｄを指定することで、検出指示時刻ａＴｄが、制御周期Ｃｃの整数倍でない場合にも、検出時刻Ｔｄにおいてワーク４０を検出できるとの効果を奏する。

位置特定装置１０について、「ワーク４０の位置Ｐｗと検出位置Ｐｄとのずれ量」を検出可能な検出装置として、撮像装置３３を利用する。検出ずれ量算出部１１６０は、撮像装置３３が撮像した撮像画像Ｉｍにおける基準位置Ｒｂと、撮像画像Ｉｍにおけるワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量から、検出ずれ量Ｑｄを算出する。

前記の構成によれば、位置特定装置１０は、撮像画像Ｉｍにおける基準位置Ｒｂと撮像画像Ｉｍにおけるワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量によって、検出ずれ量Ｑｄを算出する。そして、位置特定装置１０は、検出位置Ｐｄを検出ずれ量Ｑｄによって補正することにより、ワーク４０の位置Ｐｗを特定する。

ここで、撮像画像中の撮像対象（検出対象）の位置等を高速かつ高精度に特定する画像解析技術が知られている。

したがって、位置特定装置１０は、撮像画像Ｉｍから高速かつ高精度に算出した検出ずれ量Ｑｄと、検出位置Ｐｄとによって、ワーク４０の高速かつ高精度な位置特定を実現できるとの効果を奏する。

また、前述の通り、検出時刻Ｔｄにおいて、ワーク４０の位置Ｐｗと、撮像装置３３の位置とは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなる。したがって、例えば、撮像画像Ｉｍの中心位置を基準位置Ｒｂとする場合、撮像画像Ｉｍにおいて、ワーク４０は略中央に配置されることになる。

略中央にワーク４０が配置された撮像画像Ｉｍを用いることにより、略中央にワーク４０が配置されていない撮像画像を用いる場合に比べて、位置特定装置１０は、撮像画像Ｉｍにおいてワーク４０の位置Ｐｗを特定するための検査領域を小さくすることができる。そのため、位置特定装置１０は、撮像画像Ｉｍからワーク４０を検出するのに必要な画像解析処理の高速化を実現することができる。

また、撮像画像Ｉｍにおいてワーク４０は略中央に配置されるため、位置特定装置１０は、ワーク４０が略中央に配置されていない撮像画像に比べて、ワーク４０の撮像された領域が撮像画像Ｉｍの全体に占める割合を大きくすることができる。つまり、位置特定装置１０は、ワーク４０を拡大して撮像した撮像画像Ｉｍを生成させたることができる。そのため、位置特定装置１０は、ワーク４０が拡大して撮像された撮像画像Ｉｍに対して、高精度な画像解析を行うことができる。

したがって、位置特定装置１０は、撮像画像Ｉｍに対する高速かつ高精度な画像解析を実現し、この画像解析の結果を利用することによって、ワーク４０の高速かつ高精度な位置制御を実現できるとの効果を奏する。

位置特定装置１０は、複数のワーク４０の各々の位置Ｐｗを順次特定し、例えば、複数のワーク４０の一つである第１のワーク４０（１）の位置Ｐｗ（１）を特定した後、第２のワーク４０（２）の位置Ｐｗ（２）を特定する際に以下の処理を実行する。すなわち、位置特定装置１０は、（Ａ）第１のワーク４０（１）が存在すべき位置である第１の予想検出位置ｐＰｄ（１）と、（Ｂ）第２のワーク４０（２）が存在すべき位置である第２の予想検出位置ｐＰｄ（２）との差から、基準変位量Ｒｄ（１２）を算出する。そして、位置特定装置１０は、位置特定部１１８０によって特定された第１のワーク４０（１）の位置Ｐｗ（１）に、基準変位量Ｒｄ（１２）を加えた位置を、補正後の第２の予想検出位置ｐＰｄ’（２）とする。

位置特定装置１０は、第２のワーク４０（２）および撮像装置３３の少なくとも一方の位置が、補正後の第２の予想検出位置ｐＰｄ’（２）に一致すると予想した時刻を、第２のワーク４０（２）を検出させる検出時刻Ｔｄ’（２）とする。そして、位置特定装置１０は、検出時刻Ｔｄ’（２）において、撮像装置３３に、第２のワーク４０（２）に係る撮像画像Ｉｍを生成させる。

前記の構成によれば、位置特定装置１０は、第１の予想検出位置ｐＰｄ（１）と第２の予想検出位置ｐＰｄ（２）との差から、基準変位量Ｒｄ（１２）を算出する。
位置特定装置１０は、算出した基準変位量Ｒｄ（１２）を、第１のワーク４０（１）の位置Ｐｗ（１）に加えた位置を、補正後の第２の予想検出位置ｐＰｄ’（２）とする。そして、位置特定装置１０は、第２のワーク４０（２）および撮像装置３３の少なくとも一方の位置が、補正後の第２の予想検出位置ｐＰｄ’（２）に一致すると予想した時刻において、撮像装置３３に前記第二の検出対象についての撮像画像Ｉｍを生成させる。

したがって、位置特定装置１０は、複数のワーク４０の各々の位置を特定するのに際して、直前に特定したワーク４０の位置Ｐｗを用いることによって、次に位置を特定しようとするワーク４０が存在する位置を、高精度に予測できるとの効果を奏する。

例えば、第１のワーク４０（１）の実際の位置Ｐｗ（１）と第２のワーク４０（２）の実際の位置Ｐｗ（２）との差を、「実変位量Ａｄ（１２）」とする。そして、基準変位量Ｒｄ（１２）に対し、実変位量Ａｄ（１２）が、差分ｄＰだけ小さいとする。また、予想検出位置ｐＰｄ（２）と「第２のワーク４０（２）の次に位置を特定すべき第３のワーク４０（３）の予想検出位置ｐＰｄ（３）」との差を「基準変位量Ｒｄ（２３）」とする。さらに、第２のワーク４０（２）の実際の位置Ｐｗ（２）と第３のワーク４０（３）の実際の位置Ｐｗ（３）との差を、「実変位量Ａｄ（２３）」とする。そして、基準変位量Ｒｄ（２３）に対し、実変位量Ａｄ（２３）が、差分ｄＰだけ小さいとする。

すると、第３のワーク４０（３）の実際の位置Ｐｗ（３）は、第３のワーク４０（３）の予想検出位置ｐＰｄ（３）よりも、差分ｄＰ２つ分、つまり、２ｄＰ小さいことになる。

これに対して、第２のワーク４０（２）の実際の位置Ｐｗ（２）に、基準変位量Ｒｄ（２３）を加えた位置を、補正後の第三の予想検出位置ｐＰｄ’（３）とすると、補正後の第三の予想検出位置ｐＰｄ’（３）について以下のことが言える。すなわち、第３のワーク４０（３）の実際の位置Ｐｗ（３）と、補正後の第三の予想検出位置ｐＰｄ’（３）とのずれ量は、差分ｄＰとなる。

つまり、予想検出位置ｐＰｄ（３）を用いるのに比べて、第２のワーク４０（２）の実際の位置Ｐｗ（２）によって補正した補正後の第三の予想検出位置ｐＰｄ’（３）を用いることで、第３のワーク４０（３）の位置Ｐｗ（３）の予測精度を向上できる。

§３．動作例
（処理の全体概要について）
図１４は、位置特定装置１０が実行する処理の全体概要を説明するフロー図である。図１４に示すように、位置特定装置１０において、検出時刻決定部１１５０は、検出指示時刻決定処理を実行する（Ｓ１１０）。そして、通信部１２００（特に、指令部１２１０）は、検出指示時刻決定処理によって決定された検出指示時刻ａＴｄと、指令値生成部１１４０によって生成された指令値Ｃｍとを送信する（Ｓ１２０）。

通信部１２００（特に、制御量取得部１２２０）は、検出系３０の検出結果（例えば、撮像画像Ｉｍ）、および、サーボ制御系２０の制御結果（例えば、制御周期Ｃｃごとのフィードバック位置Ｐｆ）を受信する（Ｓ１３０）。そして、制御量取得部１２２０は、受信した検出系３０の検出結果を検出ずれ量算出部１１６０に通知し、また、受信したサーボ制御系２０の制御結果を検出位置算出部１１７０に通知する。

検出ずれ量算出部１１６０は、検出系３０の検出結果を用いて、検出ずれ量算出処理を実行する（Ｓ１４０）。また、検出位置算出部１１７０は、サーボ制御系２０の制御結果を用いて、検出位置算出処理を実行する（Ｓ１５０）。

位置特定部１１８０は、Ｓ１５０で算出した検出位置Ｐｄを、Ｓ１４０で算出した検出ずれ量Ｑｄによって補正して、ワーク４０の位置Ｐｗを特定する（Ｓ１６０）。

（検出指示時刻決定処理について）
図１５は、図１４の検出指示時刻決定処理（Ｓ１１０）の一例を説明するフロー図である。図１５に示すように、検出時刻決定部１１５０は、先ず、目標軌道Ｔｔから、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮して、時刻ごとの目標位置Ｐｔ（ｔ）を算出する（Ｓ２１０）。検出時刻決定部１１５０は、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮した目標位置Ｐｔ（ｔ）」と予想検出位置ｐＰｄとが一致する時刻を、検出時刻Ｔｄとして特定する（Ｓ２２０）。検出時刻決定部１１５０は、検出時刻Ｔｄに対して、検出系３０の応答遅れ時間Ｄｄを考慮して検出指示時刻ａＴｄを決定する（Ｓ２３０）。

（検出ずれ量算出処理および検出位置算出処理について）
図１６は、図１４の検出ずれ量算出処理（Ｓ１４０）および検出位置算出処理（Ｓ１５０）の各々の一例を説明するフロー図である。具体的には、図１６の（Ａ）は、検出ずれ量算出処理の一例を説明するフロー図であり、図１６の（Ｂ）は、検出位置算出処理の一例を説明するフロー図である。

図１６の（Ａ）に示すように、検出ずれ量算出部１１６０は、先ず、検出時刻Ｔｄにおける撮像画像Ｉｍに対して画像解析を実行し、撮像画像Ｉｍ中の、ワーク４０の位置Ｐｗ（例、ワーク４０の中心位置）を特定する（Ｓ３１０）。

検出ずれ量算出部１１６０は、特定した「撮像画像Ｉｍ中のワーク４０の位置Ｐｗ」と、「撮像画像Ｉｍ中の、検出位置Ｐｄに対応する基準位置Ｒｂ（例、撮像画像Ｉｍの中心点）」との間のずれ量（つまり、「画像内での位置ずれ量」）を算出する（Ｓ３２０）。

検出ずれ量算出部１１６０は、Ｓ３２０で算出されたずれ量から、「検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量」である検出ずれ量Ｑｄを算出する（Ｓ３３０）。

図１６の（Ｂ）に示すように、検出位置算出部１１７０は、先ず、制御周期Ｃｃごとの「サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」から、「検出時刻Ｔｄにおける、サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」を算出する（Ｓ４１０）。検出位置算出部１１７０は、算出した「検出時刻Ｔｄにおける、サーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆ」を、検出位置Ｐｄとする（Ｓ４２０）。

これまで図１４から図１６を用いて説明してきた位置特定装置１０の実行する処理は、以下のように整理することができる。すなわち、位置特定装置１０の実行する制御方法は、検出対象であるワーク４０の位置Ｐｗを特定する位置特定装置の制御方法である。前記制御方法は、指令ステップ（Ｓ１２０）と、取得ステップ（Ｓ１３０）と、検出ずれ量算出ステップ（Ｓ１４０）と、検出位置算出ステップ（Ｓ１５０）と、位置特定ステップ（Ｓ１６０）とを含む。

指令ステップは、目標軌道Ｔｔから演算した指令値Ｃｍを、撮像装置３３（検出装置）およびワーク４０の少なくとも一方の位置を制御するサーボ制御系２０へと出力する。目標軌道Ｔｔは、「ワーク４０が存在すべき位置」として予め設定された予想検出位置ｐＰｄを、目標位置Ｐｔとして含む。

制御量取得ステップは、撮像装置３３およびワーク４０の少なくとも一方の移動中の時刻である検出時刻Ｔｄにおける、撮像装置３３の検出結果である撮像画像Ｉｍを取得する。検出時刻Ｔｄは、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮して算出したサーボ制御系２０の目標位置Ｐｔ」が、予想検出位置ｐＰｄに一致する時刻である。

図１６の（Ａ）に例示するように、検出ずれ量算出ステップは、「撮像画像Ｉｍにおける、基準位置Ｒｂとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量」から、「検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量」である検出ずれ量Ｑｄを算出する。

図１６の（Ｂ）に例示するように、検出位置算出ステップは、検出時刻Ｔｄにおける撮像装置３３の位置から、検出位置Ｐｄを算出する。

位置特定ステップは、検出位置算出部１１７０の算出した検出位置Ｐｄを、検出ずれ量算出部１１６０の算出した検出ずれ量Ｑｄによって補正することにより、ワーク４０の位置Ｐｗを特定する。

前記の構成によれば、前記制御方法は、撮像画像Ｉｍから、検出位置Ｐｄとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量である検出ずれ量Ｑｄを算出する。また、前記制御方法は、検出時刻Ｔｄにおける撮像装置３３の位置から、検出位置Ｐｄを算出する。そして、前記制御方法は、検出ずれ量Ｑｄと検出位置Ｐｄとによって、ワーク４０の位置Ｐｗを特定する。

（位置検出の高精度化）
そのため、前記制御方法は、検出時刻Ｔｄにおいて、ワーク４０の位置Ｐｗと検出位置Ｐｄとが一致しない場合にも、両者のずれ量を用いて、ワーク４０の位置Ｐｗを高精度に特定することができるとの効果を奏する。

（検出結果の高精度化および高速化）
また、前記の構成によれば、前記制御方法は、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮して算出したサーボ制御系２０の目標位置Ｐｔが、予想検出位置ｐＰｄに一致する時刻である検出時刻Ｔｄにおける撮像画像Ｉｍから、検出ずれ量Ｑｄを算出する。

ここで、撮像装置３３が検出を実行するタイミングにおいて、撮像装置３３がワーク４０を検出可能な範囲にワーク４０が存在しない場合、撮像画像Ｉｍから検出ずれ量Ｑｄを算出することはできない。

そこで、「撮像装置３３が検出を実行するタイミングにおいて、撮像装置３３がワーク４０を検出可能な範囲にワーク４０が存在しない」といった事態を回避するため、前記制御方法は、検出時刻Ｔｄにおける撮像画像Ｉｍを取得する。

例えば、サーボ制御系２０が撮像装置３３のみを移動させ、ワーク４０は移動されず、ワーク４０は予め、予想検出位置ｐＰｄに載置され、または、予想検出位置ｐＰｄに十分近い位置に載置されている場合、前記制御方法は、以下の処理を実行する。すなわち、前記制御方法は、撮像装置３３の位置を制御するサーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮して算出するサーボ制御系２０の目標位置Ｐｔが、予想検出位置ｐＰｄに一致する時刻を、検出時刻Ｔｄとする。

ここで、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮することによって、「サーボ制御系２０の、時刻ごとの目標位置Ｐｔ」は、「サーボ制御系２０の、時刻ごとのフィードバック位置Ｐｆ」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなると考えられる。そして、撮像装置３３の位置を制御するサーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆは、撮像装置３３の位置とみなすことができる。そのため、「撮像装置３３の、時刻ごとの位置」は、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮して算出される、サーボ制御系２０の、時刻ごとの目標位置Ｐｔ」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。

以上に説明した通り、検出時刻Ｔｄにおいて、「サーボ制御系２０によって移動されている撮像装置３３の位置」と、予想検出位置ｐＰｄとは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。そして、前述の通り、ワーク４０は予め、予想検出位置ｐＰｄに載置され、または、予想検出位置ｐＰｄに十分近い位置に載置されている。そのため、検出時刻Ｔｄにおいて、「サーボ制御系２０によって移動されている撮像装置３３の位置」とワーク４０の位置Ｐｗとは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなる。

その結果、前記制御方法は、「撮像装置３３が検出を実行するタイミングにおいて、撮像装置３３がワーク４０を検出可能な範囲に、ワーク４０が存在しない」といった事態を回避することができる。

また例えば、サーボ制御系２０がワーク４０のみを移動させ、撮像装置３３は移動されず、撮像装置３３は予め、予想検出位置ｐＰｄに載置され、または、予想検出位置ｐＰｄに十分近い位置に載置されている場合、前記制御方法は、以下の処理を実行する。すなわち、前記制御方法は、ワーク４０の位置Ｐｗを制御するサーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮して算出するサーボ制御系２０の目標位置Ｐｔが、予想検出位置ｐＰｄに一致する時刻を、検出時刻Ｔｄとする。

前述の通り、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮することによって、「サーボ制御系２０の、時刻ごとの目標位置Ｐｔ」は、「サーボ制御系２０の、時刻ごとのフィードバック位置Ｐｆ」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなると考えられる。そして、ワーク４０の位置Ｐｗを制御するサーボ制御系２０のフィードバック位置Ｐｆは、ワーク４０の位置Ｐｗとみなすことができる。そのため、「ワーク４０の、時刻ごとの位置」は、「サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮して算出される、サーボ制御系２０の、時刻ごとの目標位置Ｐｔ」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。

以上に説明した通り、検出時刻Ｔｄにおいて、「サーボ制御系２０によって移動されているワーク４０の位置Ｐｗ」と、予想検出位置ｐＰｄとは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。そして、前述の通り、撮像装置３３は予め、予想検出位置ｐＰｄに載置され、または、予想検出位置ｐＰｄに十分近い位置に載置されている。そのため、検出時刻Ｔｄにおいて、「サーボ制御系２０によって移動されているワーク４０の位置Ｐｗ」と撮像装置３３の位置とは一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなる。

その結果、前記制御方法は、「撮像装置３３が検出を実行するタイミングにおいて、撮像装置３３がワーク４０を検出可能な範囲に、ワーク４０が存在しない」といった事態を回避することができる。

さらに例えば、第一のサーボ制御系２０（１）が撮像装置３３を移動させ、第二のサーボ制御系２０（２）がワーク４０を移動させる場合、前記制御方法は、以下の時刻を、検出時刻Ｔｄとする。すなわち、前記制御方法は、「第一のサーボ制御系２０（１）および第二のサーボ制御系２０（２）の、各々の応答遅れ時間Ｄｓを考慮して算出する、各々の目標位置Ｐｔ」が、共に、予想検出位置ｐＰｄに一致する時刻を、検出時刻Ｔｄとする。検出時刻Ｔｄにおいて、「第一のサーボ制御系２０（１）の応答遅れ時間Ｄｓ（１）を考慮して算出する、第一のサーボ制御系２０（１）の目標位置Ｐｔ（１）」は、予想検出位置ｐＰｄに一致する。また、検出時刻Ｔｄにおいて、「第二のサーボ制御系２０（２）の応答遅れ時間Ｄｓ（２）を考慮して算出する、第二のサーボ制御系２０（２）の目標位置Ｐｔ（２）」は、予想検出位置ｐＰｄに一致する。

前述の通り、サーボ制御系２０の応答遅れ時間Ｄｓを考慮することによって、「サーボ制御系２０の、時刻ごとの目標位置Ｐｔ」は、「サーボ制御系２０の、時刻ごとのフィードバック位置Ｐｆ」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなると考えられる。

そして、撮像装置３３の位置を制御する第一のサーボ制御系２０（１）のフィードバック位置Ｐｆ（１）は、撮像装置３３の位置とみなすことができる。また、ワーク４０の位置Ｐｗを制御する第二のサーボ制御系２０（２）のフィードバック位置Ｐｆ（２）は、ワーク４０の位置Ｐｗとみなすことができる。

そのため、「移動中の撮像装置３３の、時刻ごとの位置」は、「第一のサーボ制御系２０（１）の、応答遅れ時間Ｄｓ（１）を考慮して算出される、時刻ごとの目標位置Ｐｔ（１）」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。また、「移動中のワーク４０の、時刻ごとの位置」は、「第二のサーボ制御系２０（２）の、応答遅れ時間Ｄｓ（２）を考慮して算出される、時刻ごとの目標位置Ｐｔ（２）」に一致し、または、両者のずれ量は十分に小さくなるはずである。

以上に説明した通り、検出時刻Ｔｄにおいて、「移動中の撮像装置３３の位置」と、「移動中のワーク４０の位置Ｐｗ」と、予想検出位置ｐＰｄとは一致し、または、三者のずれ量は十分に小さくなるはずである。

その結果、前記制御方法は、「撮像装置３３が検出を実行するタイミングにおいて、撮像装置３３がワーク４０を検出可能な範囲に、ワーク４０が存在しない」といった事態を回避することができる。

前記制御方法は、検出装置およびワーク４０の少なくとも一方の移動中の時刻であって、「ワーク４０の位置Ｐｗと、撮像装置３３の位置とが一致し、または、両者のずれ量が十分に小さくなる」時刻である検出時刻Ｔｄにおける撮像画像Ｉｍを取得する。

ここで、検出時刻Ｔｄにおける撮像装置３３の位置は、検出位置Ｐｄに対応するから、検出時刻Ｔｄにおける撮像画像Ｉｍにおいて、基準位置Ｒｂとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量は十分に小さくなると考えられる。そして、「撮像画像Ｉｍにおいて、基準位置Ｒｂとワーク４０の位置Ｐｗとのずれ量は十分に小さい」ことが予め分かっていれば、「撮像画像Ｉｍにおいて、両者のずれ量は予測不能または大きいと予測される」場合に比べて、撮像画像Ｉｍへの解析を高精度化できる。

そのため、前記制御方法は、高精度な解析を実行可能な「検出時刻Ｔｄにおける撮像画像Ｉｍ」を取得し、つまり、「検出時刻Ｔｄにおける撮像画像Ｉｍ」から、検出ずれ量Ｑｄを高精度に算出することができる。

また、前記制御方法は、検出ずれ量Ｑｄを、「撮像装置３３が、ワーク４０および撮像装置３３の少なくとも一方の移動中に、検出した撮像画像Ｉｍ」から算出する。そのため、前記制御方法は、「ワーク４０および撮像装置３３の移動を停止させてから撮像装置３３に検出を実行させ、撮像画像Ｉｍを生成させる」場合に比べて、撮像画像Ｉｍを高速に取得でき、その結果、検出ずれ量Ｑｄの算出を高速化できる。

（検出対象の位置特定の高精度化および高速化）
これまでに説明してきた通り、前記制御方法は、高精度な解析を実行可能な撮像画像Ｉｍを高速に取得し、撮像画像Ｉｍから検出ずれ量Ｑｄを高速かつ高精度に算出することができる。そして、前記制御方法は、算出した検出ずれ量Ｑｄと、検出位置Ｐｄとによって、ワーク４０の位置Ｐｗを特定する。

したがって、前記制御方法は、ワーク４０の位置Ｐｗを、高速かつ高精度に特定することができるとの効果を奏する。

§４．変形例
これまで、位置特定装置１０が複数のサーボ制御系２０を制御する例を説明してきたが、位置特定装置１０が制御するサーボ制御系２０は１つであってもよい。また、これまで、「ワーク４０の位置Ｐｗと検出位置Ｐｄとのずれ量」を検出する検出装置が、撮像装置３３である例を説明してきたが、検出装置が撮像装置３３であることは必須ではない。位置特定装置１０は、「ワーク４０の位置Ｐｗと検出位置Ｐｄとのずれ量」を検出することのできる検出装置から、「ワーク４０の位置Ｐｗと検出位置Ｐｄとのずれ量」を算出可能な検出結果を取得できればよい。さらに、これまで、主として位置特定装置１０が、撮像装置３３を移動させて、固定されたワーク４０の位置Ｐｗを特定する例を説明してきたが、位置特定装置１０が移動させる対象は、撮像装置３３でなくともよい。例えば、位置特定装置１０は、撮像装置３３の位置を固定して、ワーク４０を移動させてワーク４０の位置Ｐｗを特定してもよいし、撮像装置３３およびワーク４０の両方を移動させて、ワーク４０の位置Ｐｗを特定してもよい。

〔ソフトウェアによる実現例〕
位置特定装置１０の制御ブロック（特に、目標軌道取得部１１１０、位置指令生成部１１２０、応答遅れ時間算出部１１３０、指令値生成部１１４０、検出時刻決定部１１５０、検出ずれ量算出部１１６０、検出位置算出部１１７０、位置特定部１１８０、および、通信部１２００）は、集積回路（ＩＣチップ）等に形成された論理回路（ハードウェア）によって実現してもよいし、ソフトウェアによって実現してもよい。

後者の場合、位置特定装置１０は、各機能を実現するソフトウェアであるプログラムの命令を実行するコンピュータを備えている。このコンピュータは、例えば１つ以上のプロセッサを備えていると共に、上記プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記録媒体を備えている。そして、上記コンピュータにおいて、上記プロセッサが上記プログラムを上記記録媒体から読み取って実行することにより、本発明の目的が達成される。上記プロセッサとしては、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）を用いることができる。上記記録媒体としては、「一時的でない有形の媒体」、例えば、ＲＯＭ（Read Only Memory）等の他、テープ、ディスク、カード、半導体メモリ、プログラマブルな論理回路などを用いることができる。また、上記プログラムを展開するＲＡＭ（Random Access Memory）などをさらに備えていてもよい。また、上記プログラムは、該プログラムを伝送可能な任意の伝送媒体（通信ネットワークや放送波等）を介して上記コンピュータに供給されてもよい。なお、本発明の一態様は、上記プログラムが電子的な伝送によって具現化された、搬送波に埋め込まれたデータ信号の形態でも実現され得る。

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

１０ 位置特定装置
２０ サーボ制御系
３０ 検出系
３１ 通信装置（通信位置特定装置）
３２ 撮像制御装置（検出制御装置）
３３ 撮像装置（検出装置）
４０ ワーク
１２１０ 指令部
１２２０ 制御量取得部（取得部）
１１６０ 検出ずれ量算出部
１１７０ 検出位置算出部
１１８０ 位置特定部
ａＴｄ 検出指示時刻
Ｃｃ 制御周期
Ｃｍ 指令値
Ｃｓ 制御信号
Ｄｄ 検出系の応答遅れ時間
Ｄｓ サーボ制御系の応答遅れ時間
Ｉｍ 撮像画像
Ｐｄ 検出位置
Ｐｆ フィードバック位置
ｐＰｄ 予想検出位置
Ｐｔ 目標位置
Ｑｄ 検出ずれ量
Ｒｂ 基準位置
Ｓ１３０ 取得ステップ
Ｓ１４０ 検出ずれ量算出ステップ
Ｓ１５０ 検出位置算出ステップ
Ｓ１６０ 位置特定ステップ
Ｔｄ 検出時刻
Ｔｔ 目標軌道

Claims (9)

1. 検出対象の位置を特定する位置特定装置であって、
   前記検出対象が存在すべき位置として予め設定された予想検出位置を目標位置として含む目標軌道から演算した指令値を、検出装置および前記検出対象の少なくとも一方の位置を制御するサーボ制御系へと出力する指令部と、
   前記検出装置および前記検出対象の少なくとも一方の移動中の時刻であって、前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮して算出した前記サーボ制御系の目標位置が、前記予想検出位置に一致する時刻である検出時刻における、前記検出装置の検出結果を取得する取得部と、
   前記検出結果における、基準位置と前記検出対象の位置とのずれ量から、前記基準位置に対応する位置である検出位置と前記検出対象の位置とのずれ量である検出ずれ量を算出する検出ずれ量算出部と、
   前記検出時刻における前記検出装置の位置から、前記検出位置を算出する検出位置算出部と、
   前記検出位置を前記検出ずれ量によって補正することにより、前記検出対象の位置を特定する位置特定部と
   を備える位置特定装置。
2. 前記サーボ制御系と制御周期ごとに通信を実行し、
   前記サーボ制御系によって前記検出装置の位置が制御される場合、前記検出位置算出部は、前記検出時刻における前記検出装置の位置を、前記検出装置の位置を制御する前記サーボ制御系の、前記制御周期ごとのフィードバック位置から、補間計算によって算出する
   請求項１に記載の位置特定装置。
3. 互いに同期した複数のサーボ制御系の各々に、前記複数のサーボ制御系の各々の応答遅れ時間を考慮した指令値を出力する
   請求項１または２に記載の位置特定装置。
4. 前記検出装置の応答遅れ時間を考慮して前記検出時刻を補正した検出指示時刻を、前記検出装置による検出動作を制御する検出制御装置と通信する通信制御装置へと制御周期ごとに送信する制御信号において指定し、
   前記通信制御装置に、前記検出制御装置への検出指示の出力を、前記検出指示時刻において実行させることによって、前記検出装置に、前記検出時刻において、前記検出対象を検出させる
   請求項１から３のいずれか１項に記載の位置特定装置。
5. 前記検出装置は撮像装置であり、
   前記検出ずれ量算出部は、前記撮像装置が撮像した撮像画像における前記基準位置と、前記撮像画像における前記検出対象とのずれ量から、前記検出ずれ量を算出する
   請求項１から４のいずれか１項に記載の位置特定装置。
6. 複数の前記検出対象の各々の位置を順次特定し、
   （Ａ）複数の前記検出対象の一つである第一の検出対象が存在すべき位置である第一の予想検出位置と、（Ｂ）前記第一の検出対象の次に位置を特定すべき第二の検出対象が存在すべき位置である第二の予想検出位置との差から、基準変位量を算出し、
   前記位置特定部によって特定された前記第一の検出対象の位置に、前期基準変位量を加えた位置を、補正後の第二の予想検出位置として、
   前記第二の検出対象および前記検出装置の少なくとも一方の位置が、前記補正後の第二の予想検出位置に一致すると予想した時刻を、前記第二の検出対象を検出させる前記検出時刻とし、
   前記検出時刻において、前記検出装置に、前記第二の検出対象に係る前記検出結果を生成させる
   請求項１から５のいずれか１項に記載の位置特定装置。
7. 検出対象の位置を特定する位置特定装置の制御方法であって、
   前記検出対象が存在すべき位置として予め設定された予想検出位置を目標位置として含む目標軌道から演算した指令値を、検出装置および前記検出対象の少なくとも一方の位置を制御するサーボ制御系へと出力する指令ステップと、
   前記検出装置および前記検出対象の少なくとも一方の移動中の時刻であって、前記サーボ制御系の応答遅れ時間を考慮して算出した前記サーボ制御系の目標位置が、前記予想検出位置に一致する時刻である検出時刻における、前記検出装置の検出結果を取得する取得ステップと、
   前記検出結果における、基準位置と前記検出対象の位置とのずれ量から、前記基準位置に対応する位置である検出位置と前記検出対象の位置とのずれ量である検出ずれ量を算出する検出ずれ量算出ステップと、
   前記検出時刻における前記検出装置の位置から、前記検出位置を算出する検出位置算出ステップと、
   前記検出位置を前記検出ずれ量によって補正することにより、前記検出対象の位置を特定する位置特定ステップと
   を含む制御方法。
8. 請求項１から６のいずれか１項に記載の位置特定装置としてコンピュータを機能させるための情報処理プログラムであって、前記各部としてコンピュータを機能させるための情報処理プログラム。
9. 請求項８に記載の情報処理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。

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