WO2013152927A3 - Druckmesszelle und verfahren zu ihrer herstellung - Google Patents

Druckmesszelle und verfahren zu ihrer herstellung Download PDF

Info

Publication number
WO2013152927A3
WO2013152927A3 PCT/EP2013/055618 EP2013055618W WO2013152927A3 WO 2013152927 A3 WO2013152927 A3 WO 2013152927A3 EP 2013055618 W EP2013055618 W EP 2013055618W WO 2013152927 A3 WO2013152927 A3 WO 2013152927A3
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
counterpart
pressure
measuring cell
pressure measuring
measuring membrane
Prior art date
Application number
PCT/EP2013/055618
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
WO2013152927A2 (de
Inventor
Martin BURGARD
Ulfert Drewes
Nils Ponath
Andreas Rossberg
Elke Schmidt
Original Assignee
Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg filed Critical Endress+Hauser Gmbh+Co. Kg
Publication of WO2013152927A2 publication Critical patent/WO2013152927A2/de
Publication of WO2013152927A3 publication Critical patent/WO2013152927A3/de

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G01L9/0075Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)

Abstract

Eine Druckmesszelle 1, umfasst: eine keramische Messmembran 2 und einen keramischen Gegenkörper 4, wobei die Messmembran mit dem Gegenkörper unter Bildung einer Druckkammer zwischen der Messmembran und dem Gegenkörper mittels eines Aktivhartlots 6 druckdicht gefügt ist, wobei die Druckmesszelle 1 weiterhin an einer Oberfläche der Messmembran 2 und/oder des Gegenkörpers 4 einen Lotstopp aufweist, welcher verhindert, dass das Aktivhartlot sich über den Lotstopp hinaus radial einwärts in die Druckkammer erstreckt, wobei der Lotstopp erfindungsgemäß eine Beschichtung 26 aufweist, die Kohlenstoff, insbes. Graphit oder Ruß, Silizium oder Siliziumcarbid umfasst.
PCT/EP2013/055618 2012-04-12 2013-03-19 Druckmesszelle und verfahren zu ihrer herstellung WO2013152927A2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102012103166.5 2012-04-12
DE201210103166 DE102012103166A1 (de) 2012-04-12 2012-04-12 Druckmesszelle und Verfahren zu ihrer Herstellung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2013152927A2 WO2013152927A2 (de) 2013-10-17
WO2013152927A3 true WO2013152927A3 (de) 2014-04-03

Family

ID=47891738

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/EP2013/055618 WO2013152927A2 (de) 2012-04-12 2013-03-19 Druckmesszelle und verfahren zu ihrer herstellung

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102012103166A1 (de)
WO (1) WO2013152927A2 (de)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102012106236A1 (de) 2012-07-11 2014-01-16 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zum Fügen von Keramikkörpern mittels eines Aktivhartlots, Baugruppe mit mindestens zwei miteinander gefügten Keramikkörpern, insbesondere Druckmesszelle
DE102014104506A1 (de) * 2014-03-31 2015-10-01 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Drucksensor
DE102015108949A1 (de) 2015-06-08 2016-12-08 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Aktivhartlot zum Aktivhartlöten von Keramik

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5001595A (en) * 1989-04-01 1991-03-19 Gerhard Dittrich Capacitive pressure sensor and method of manufacturing same
EP0997935A1 (de) * 1997-04-11 2000-05-03 Ibiden Co., Ltd. Gedruckte leitterplatte und verfahren zu deren herstellung
US6267009B1 (en) * 1998-12-14 2001-07-31 Endress + Hauser Gmbh + Co. Capacitive pressure sensor cells or differential pressure sensor cells and methods for manufacturing the same
US20100132982A1 (en) * 2008-12-02 2010-06-03 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Package substrate including solder resist layer having pattern parts and method of fabricating the same

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5050034A (en) * 1990-01-22 1991-09-17 Endress U. Hauser Gmbh U. Co. Pressure sensor and method of manufacturing same
DE4129414A1 (de) 1990-11-13 1993-03-11 Endress Hauser Gmbh Co Verwendung eines speziellen tiegels beim melt-spinning einer aktivlot-legierung
ATE203326T1 (de) * 1998-12-14 2001-08-15 Endress Hauser Gmbh Co Kapazitive druck- oder differenzdruckmesszellen und verfahren zu deren herstellung
DE10036433A1 (de) 2000-07-26 2002-02-07 Endress Hauser Gmbh Co Kapazitiver Drucksensor
DE10114897A1 (de) * 2001-03-26 2002-10-24 Infineon Technologies Ag Elektronisches Bauteil
DE102008044641A1 (de) * 2008-04-28 2009-10-29 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optoelektronisches Bauelement
DE102008036381B3 (de) 2008-08-05 2010-04-22 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Membran aus Al2O3- Keramik für einen Drucksensor und Drucksensor mit einer solchen Messmembran
DE102009046844A1 (de) 2009-11-18 2011-05-19 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Kapazitive keramische Druckmesszelle
DE102010030156A1 (de) * 2010-06-16 2011-12-22 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Keramischer Drucksensor
DE102010043119A1 (de) 2010-10-29 2012-05-03 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Keramikteilen, insbesondere von Teilen eines Drucksensors, und ein keramisches Produkt, insbesondere einen keramischen Drucksensor
DE102010063065A1 (de) 2010-12-14 2012-06-14 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Drucksensor und Verfahren zu dessen Herstellung+

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5001595A (en) * 1989-04-01 1991-03-19 Gerhard Dittrich Capacitive pressure sensor and method of manufacturing same
EP0997935A1 (de) * 1997-04-11 2000-05-03 Ibiden Co., Ltd. Gedruckte leitterplatte und verfahren zu deren herstellung
US6267009B1 (en) * 1998-12-14 2001-07-31 Endress + Hauser Gmbh + Co. Capacitive pressure sensor cells or differential pressure sensor cells and methods for manufacturing the same
US20100132982A1 (en) * 2008-12-02 2010-06-03 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Package substrate including solder resist layer having pattern parts and method of fabricating the same

Also Published As

Publication number Publication date
DE102012103166A1 (de) 2013-10-17
WO2013152927A2 (de) 2013-10-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2011155858A3 (en) Method of graphene manufacturing
IN2014CN03656A (de)
WO2014201252A3 (en) Messenger rna based viral production
WO2013014294A3 (en) Improved baculovirus expression systems
WO2010056954A3 (en) Sealing apparatus for a process chamber
WO2013087073A3 (de) Substrat mit einer strukturierten oberfläche sowie verfahren zu dessen herstellung sowie verfahren zur bestimmung der benetzungseigenschaften davon
WO2012086976A3 (en) A composite comprising an electrode-active transition metal compound and a fibrous carbon material, and a method for preparing the same
WO2014013081A3 (en) Method for the degradation of keratin and use of the keratin hydrolysate produced
WO2012057504A3 (ko) 태양전지 및 그 제조 방법
GB2470399B (en) A sensor arranged to measure more than one characteristic of a fluid
WO2009121501A3 (de) Partikel, erhältlich durch trocknung einer wässrigen nanoharnstoff-dispersion
WO2016003803A8 (en) Process isolation diaphragm assembly for metal process seal
WO2016043462A3 (ko) 칼코부트롤의 제조방법
WO2012120060A3 (de) Verfahren zur herstellung eines thermoelektrischen moduls
DK2167569T3 (da) Fremgangsmåde til fremstilling af fluoropolymer pulvermateriale
WO2012177102A3 (ko) 탄소나노튜브필름 제조 방법
WO2013152927A3 (de) Druckmesszelle und verfahren zu ihrer herstellung
WO2014163694A3 (en) Trenched cooling hole arrangement for a ceramic matrix composite vane
WO2018013043A8 (en) Synthesis of vanadium pentoxide nanosheets
WO2015161468A8 (en) Methods and systems for producing isosorbide from biomass
WO2014057260A3 (en) Ceramic material
MX2017002941A (es) Aditivo de soldadura y procedimiento para la fabricacion de un grupo constructivo mediante una union de material.
WO2012022489A3 (de) Verriegelungselement für einen steckverbinder und steckverbinder mit einem solchen verriegelungselement
WO2013019425A3 (en) Sputter-etch tool and liners
CA2886020C (en) Mutant yeast strain with decreased glycerol production

Legal Events

Date Code Title Description
122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 13709929

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2