WO2013147149A1 - 磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法および磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 - Google Patents

磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法および磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 Download PDF

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WO2013147149A1
WO2013147149A1 PCT/JP2013/059505 JP2013059505W WO2013147149A1 WO 2013147149 A1 WO2013147149 A1 WO 2013147149A1 JP 2013059505 W JP2013059505 W JP 2013059505W WO 2013147149 A1 WO2013147149 A1 WO 2013147149A1
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WO
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cutting
molten glass
glass
press
pair
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Application number
PCT/JP2013/059505
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勝彦 花田
磯野 英樹
秀和 谷野
村上 明
佐藤 崇
Original Assignee
Hoya株式会社
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B7/00Distributors for the molten glass; Means for taking-off charges of molten glass; Producing the gob, e.g. controlling the gob shape, weight or delivery tact
    • C03B7/10Cutting-off or severing the glass flow with the aid of knives or scissors or non-contacting cutting means, e.g. a gas jet; Construction of the blades used
    • C03B7/12Cutting-off or severing a free-hanging glass stream, e.g. by the combination of gravity and surface tension forces
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B11/00Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
    • C03B11/06Construction of plunger or mould
    • C03B11/08Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
    • C03B11/088Flat discs
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B7/00Distributors for the molten glass; Means for taking-off charges of molten glass; Producing the gob, e.g. controlling the gob shape, weight or delivery tact
    • C03B7/14Transferring molten glass or gobs to glass blowing or pressing machines
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/84Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
    • G11B5/8404Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers manufacturing base layers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2215/00Press-moulding glass
    • C03B2215/70Horizontal or inclined press axis

Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing a magnetic disk glass blank and a method for manufacturing a magnetic disk glass substrate.
  • a personal computer, a notebook personal computer, or a DVD (Digital Versatile Disc) recording device has a built-in hard disk device for data recording.
  • a hard disk device used in a portable computer such as a notebook personal computer
  • a magnetic disk in which a magnetic layer is provided on a glass substrate is used, and the magnetic head slightly floats above the surface of the magnetic disk. Magnetic recording information is recorded on or read from the magnetic layer by a (DFH (Dynamic Flying Height) head).
  • a glass substrate is preferably used because it has a property that it is less likely to undergo plastic deformation than a metal substrate or the like.
  • the density of magnetic recording has been increased.
  • the magnetic recording information area is miniaturized by using a perpendicular magnetic recording method in which the magnetization direction in the magnetic layer is perpendicular to the surface of the substrate.
  • the storage capacity of one disk substrate can be increased.
  • the flying distance from the magnetic recording surface of the magnetic head is extremely shortened to reduce the magnetic recording information area.
  • the magnetic layer is formed flat so that the magnetization direction of the magnetic layer is substantially perpendicular to the substrate surface. For this reason, the surface irregularities of the glass substrate are made as small as possible.
  • the surface unevenness of the end surface of the glass substrate is made as small as possible in addition to the main surface of the glass substrate.
  • a glass substrate used for a magnetic disk is manufactured, for example, by the following method. Specifically, in the method, a lump of molten glass (hereinafter referred to as a gob) is supplied onto a lower mold that is a receiving gob forming mold, and the lower mold and an upper gob forming mold are used. A gob is press-molded to produce a plate-like magnetic disk glass blank (hereinafter referred to as a glass blank), and then processed into a glass substrate for an information recording medium (Patent Document 1).
  • a gob a lump of molten glass
  • a glass blank a plate-like magnetic disk glass blank
  • the grinding process for example, grinding using alumina-based loose abrasive grains is performed.
  • the first grinding step and the second grinding step are performed using loose abrasive grains having different particle sizes.
  • the particle size of the loose abrasive used in the second grinding step is set smaller than the particle size of the loose abrasive used in the first grinding step. Thereby, rough grinding and fine grinding are performed in this order.
  • the polishing step includes, for example, a first polishing step using free abrasive grains such as cerium oxide and a hard resin material polisher, and a second polishing step using, for example, colloidal silica and a soft resin material polisher.
  • the grain size of the abrasive grains used in the first polishing process is smaller than the grain size of the abrasive grains used in the second grinding process during the grinding process.
  • the particle size of the abrasive grains used in the second polishing step is smaller than the particle size of the abrasive grains used in the first polishing step.
  • the first grinding step, the second grinding step, the first polishing step, and the second polishing step are performed in this order, and the surface quality such as the surface roughness of the glass substrate is improved. Process to gradually improve.
  • the gob falls freely and the distance from cutting to pressing is relatively long. Therefore, as shown in FIG. It becomes easy to destabilize (in the example shown in the figure, the gob is falling so as to shift to the left instead of directly below).
  • the upper end of the gob is positioned in the driving direction of the lower cutting blade from the lower cutting blade of the pair of cutting blades (left of FIG. 15). Is pushed out. Then, the direction of rotation about an axis extending along a direction perpendicular to the center of the gob G G with respect to the driving direction of the street and the lower cutting blade, the rotation moment occurs in the gob.
  • the gob falls while rotating, and the dropping posture and the dropping trajectory become unstable. In this way, the falling posture and the trajectory of the gob are destabilized, so that the part that first contacts the gob in the press surface of the die during pressing and the mode of stretching of the molten glass during the press are different for each press. Variation occurs.
  • the first contact portion with the gob in the press surface of the die at the time of pressing is the starting point of heat transfer from the gob
  • the first contact portion with the gob in the press surface of the die is different for each press.
  • the temperature distribution in the mold surface varies with each press.
  • This mechanism causes variations in the flatness of individual glass blanks and variations in flatness between individuals. Such variation in flatness within and between individual surfaces affects the setting of the processing amount (allowance) in post-processing (grinding, polishing, etc.).
  • the cutting part (shown in FIG. 15) on the surface of the gob is partially dissipated by heat conduction when it comes into contact with the cutting blade, so that the temperature is lower than other parts on the surface of the gob. It is. For this reason, when the cut part on the surface of the gob comes into contact with the press surface of the die during pressing, the periphery of the cut part on the surface of the gob cools and hardens faster than other parts, so that the glass blank is relatively deep. A sheer mark is generated (for example, 50 to 100 ⁇ m). Thus, when a shear mark is generated in a relatively deep place of the glass blank, it affects the setting of the processing amount (allowance) in post-processing (grinding, polishing, etc.).
  • the flatness of such a glass blank can be improved by grinding (first grinding step), and a shear mark formed at a relatively deep location can be removed.
  • first grinding step a shear mark formed at a relatively deep location
  • the machining allowance (the amount of cutting) in the grinding process is increased.
  • the machining allowance in the grinding process is increased, deep cracks are generated on the surface of the glass blank, so that the machining allowance (polishing amount) is inevitably increased in the polishing process, which is a subsequent process, so that deep cracks do not remain.
  • the vicinity of the outer peripheral edge portion of the main surface of the glass blank is rounded off, and the “sag problem” occurs at the edge portion. That is, since the vicinity of the outer peripheral edge portion of the glass blank is rounded off, when a magnetic disk is produced using this glass blank as a glass substrate, the distance between the magnetic layer near the outer peripheral edge portion and the magnetic head is the glass substrate. It becomes larger than the flying distance of the magnetic head in another part of the head. Further, since the vicinity of the outer peripheral edge portion has a rounded shape, surface irregularities are generated.
  • the recording and reading operations of the magnetic head are not accurate in the magnetic layer near the outer peripheral edge. This is "who's problem”. Further, since the machining allowance in the polishing process becomes large, the polishing process is not practically preferable because it takes a long time.
  • an object of the present invention is to provide a method for producing a glass blank for magnetic disk excellent in flatness in order to efficiently produce a glass substrate for magnetic disk in which surface irregularities on the main surface are suppressed.
  • a first aspect of the present invention is a method for manufacturing a glass blank for a magnetic disk having a pair of main surfaces, comprising a pair of cutting blades arranged opposite to each other in the horizontal direction and shifted from each other in the vertical direction. Cutting the molten glass supplied from the molten glass supply unit in cooperation, dropping the molten glass lump formed by the cutting, and after the cutting step, the molten glass lump is moved to a predetermined press position.
  • a press step of forming a glass blank by press forming with a press surface of a pair of molds, and between the cutting step and the pressing step, the pair of cuts at the time of cutting the molten glass It is characterized in that the dropping of the lump is guided to the press position so as to cancel the rotational moment of the lump of molten glass caused by the extrusion by the blade.
  • a second aspect of the present invention is a method for manufacturing a magnetic disk glass blank having a pair of main surfaces, wherein the pair of cutting blades are arranged so as to face each other in the horizontal direction and are shifted from each other in the vertical direction. Cutting the molten glass supplied from the molten glass supply unit in cooperation, dropping the molten glass lump formed by the cutting, and after the cutting step, the molten glass lump is moved to a predetermined press position.
  • a press step of forming a glass blank by press forming with a press surface of a pair of molds, and between the cutting step and the pressing step, the pair of cuts at the time of cutting the molten glass It is characterized in that the rotation of falling of the lump after cutting is regulated by canceling the rotational moment of the lump of molten glass caused by extrusion by the blade.
  • a third aspect of the present invention is a method of manufacturing a glass blank for a magnetic disk having a pair of main surfaces, wherein the pair of cutting blades are arranged to face each other in the horizontal direction and are shifted from each other in the vertical direction. Cutting the molten glass supplied from the molten glass supply unit in cooperation, dropping the molten glass lump formed by the cutting, and after the cutting step, the molten glass lump is moved to a predetermined press position.
  • Driving speed of the cutting blade disposed above the pair of cutting blades so as to cancel the rotational moment of the molten glass lump caused by the extrusion by the blades ,
  • By expediting than cutting blade disposed on the lower side characterized by restricting the rotation of the fall of the mass after cutting.
  • the molten glass lump that is being cut in the cutting step may be pressed with the pair of dies from both sides in the dropping direction.
  • the lump dropping may be guided by pressing air flowing in a horizontal direction between the cutting step and the pressing step.
  • a method for manufacturing a glass blank for a magnetic disk having a pair of main surfaces wherein the pair of cutting blades are arranged so as to face each other in the horizontal direction and to be shifted from each other in the vertical direction.
  • the molten glass lump that is being cut in the cutting step may be pressed with the pair of dies from both sides in the dropping direction.
  • the molten glass in the cutting step, may be pressed by a pressing member provided in the vicinity of the pair of cutting blades.
  • the pair of cutting blades are an upper cutting blade and a lower cutting blade that are arranged to be shifted from each other in the vertical direction and are arranged to face each other in the horizontal direction, and the lower cutting blade
  • the contact portion of the blade with the molten glass is curved so as to protrude toward the direction away from the upper cutting blade so as to suppress the horizontal displacement of the molten glass, and has a thickness in the vertical direction. It may be configured.
  • the molten glass in the method for manufacturing a glass blank for a magnetic disk, in the cutting step, may be cut in a state where the molten glass is pressed by air flowing in a horizontal direction.
  • the molten glass lump is formed such that a portion of the entire surface of the lump excluding a cutting site and the pair of mold press surfaces are first in contact with each other.
  • the press position is adjusted in advance.
  • the viscosity of the molten glass when flowing out from the molten glass outlet is preferably in the range of 500 dPa ⁇ s to 1050 dPa ⁇ s.
  • a fifth aspect of the present invention is a method for manufacturing a magnetic disk glass substrate, wherein the magnetic disk glass blank manufactured by the above magnetic disk glass blank manufacturing method is used to manufacture a magnetic disk glass substrate. It is characterized by doing.
  • the schematic block diagram which shows an example of the magnetic disc produced using the glass substrate for magnetic discs.
  • a sectional view of a magnetic disk The figure which shows the state in which a magnetic head floats on the surface of a magnetic disc. The figure explaining the surface unevenness
  • disconnection unit in the modification of 1st Embodiment The figure which shows the press molding process of the modification of 1st Embodiment.
  • disconnection unit of 2nd Embodiment. The figure which shows the press molding process of 2nd Embodiment.
  • FIG. 1A is a schematic configuration diagram illustrating an example of a magnetic disk manufactured using a glass substrate for a magnetic disk.
  • FIG. 1B is a schematic cross-sectional view of a magnetic disk.
  • FIG. 1C is a diagram illustrating a state in which the magnetic head floats on the surface of the magnetic disk.
  • the magnetic disk 1 has a ring shape and rotates around a rotation axis.
  • the magnetic disk 1 includes a glass substrate 2 and at least magnetic layers 3A and 3B.
  • an adhesion layer, a soft magnetic layer, a nonmagnetic underlayer, a perpendicular magnetic recording layer, a protective layer, a lubricating layer, and the like are formed.
  • a Cr alloy or the like is used for the adhesion layer.
  • the adhesion layer functions as an adhesive layer with the glass substrate 2.
  • a CoTaZr alloy or the like is used.
  • nonmagnetic underlayer for example, a granular nonmagnetic layer is used.
  • a granular magnetic layer is used for the perpendicular magnetic recording layer.
  • a material made of hydrogen carbon is used for the protective layer.
  • a fluorine-based resin or the like is used for the lubricating layer.
  • the magnetic disk 1 will be described using a more specific example.
  • an in-line type sputtering apparatus is used to form a CrTi adhesion layer, a CoTaZr / Ru / CoTaZr soft magnetic layer, a CoCrSiO 2 nonmagnetic granular underlayer, and CoCrPt—SiO 2 on both main surfaces of the glass substrate 2.
  • a TiO 2 granular magnetic layer and a hydrogenated carbon protective film are sequentially formed. Further, a perfluoropolyether lubricating layer is formed on the formed uppermost layer by dipping.
  • the magnetic disk 1 rotates around the rotation axis at a rotation speed of 7200 rpm, for example.
  • each of the magnetic heads 4 ⁇ / b> A and 4 ⁇ / b> B of the hard disk device floats by a distance H from the surface of the magnetic disk 1 as the magnetic disk 1 rotates at high speed.
  • the distance H at which the magnetic heads 4A and 4B fly is, for example, 5 nm.
  • the magnetic heads 4A and 4B record or read information on the magnetic layer.
  • the magnetic recording information area can be miniaturized and magnetic recording can be performed by performing recording or reading on the magnetic layer at a short distance without sliding with respect to the magnetic disk 1. Achieve high density.
  • the processing of the surface unevenness of the glass substrate 2 includes grinding using fixed abrasive grains having a small machining allowance, and, as a result, first polishing and second polishing capable of reducing the machining allowance. It is made after. Therefore, the conventional “who problem” is solved.
  • the surface unevenness of the main surface of the glass substrate 2 used for such a magnetic disk 1 has a flatness of, for example, 4 ⁇ m or less and a surface roughness of, for example, 0.2 nm or less.
  • the flatness of 4 ⁇ m or less is a target flatness required for a magnetic disk substrate as a final product.
  • Flatness means the flatness specified in JIS B0621. Specifically, it is the surface irregularity of the glass surface, and when the surface of the glass blank is sandwiched between two geometric parallel planes, The distance between two planes when the distance is minimum.
  • the flatness can be measured, for example, using a commercially available flatness tester.
  • the roughness (Ra) of the main surface is an arithmetic average roughness defined in JIS B 0601. Further, the roughness (Ra) of the main surface can be measured by an atomic force microscope and calculated by a method defined in JIS R1683: 2007.
  • FIG. 2 is a diagram for explaining surface irregularities.
  • the surface irregularities can be defined by roughly four irregularities according to the wavelength of the irregularities.
  • the surface unevenness has the largest wavelength undulation (wavelength of about 0.6 ⁇ m to 130 mm), waveness (wavelength of about 0.2 ⁇ m to 2 mm), micro waveness (wavelength of about 0.1 ⁇ m to 1 mm), roughness ( The wavelength is 10 nm or less).
  • the swell can be expressed by using the flatness as an index
  • the roughness can be expressed by using the arithmetic average roughness Ra as an index.
  • Aluminosilicate glass, soda lime glass, borosilicate glass, or the like can be used as the material for the magnetic disk glass substrate in the present embodiment.
  • aluminosilicate glass can be suitably used in that it can be chemically strengthened and a glass substrate for a magnetic disk excellent in the flatness of the main surface and the strength of the substrate can be produced.
  • the aluminosilicate glass has a SiO 2 content of 50 to 75% and Al 2 O 3 in terms of mol% when converted to oxide standards. 1 to 15%, at least one component selected from Li 2 O, Na 2 O and K 2 O in total 12 to 35%, at least one selected from MgO, CaO, SrO, BaO and ZnO And 0 to 20% in total, and at least one component selected from ZrO 2 , TiO 2 , La 2 O 3 , Y 2 O 3 , Ta 2 O 5 , Nb 2 O 5 and HfO 2 It is preferable to use an aluminosilicate glass having a composition of 0 to 10% in total.
  • FIG. 3 is a diagram showing a flow of one embodiment of a method for manufacturing a glass substrate for magnetic disk.
  • a plate-shaped glass blank having a pair of main surfaces is produced by press molding (step S10).
  • the formed glass blank is scribed to produce an annular glass substrate (step S20).
  • shape processing is performed on the scribed glass substrate (step S30).
  • the glass substrate is ground with fixed abrasive grains (step S40).
  • the end surface of the glass substrate is polished (step S50).
  • step S60 1st grinding
  • polishing is performed to the main surface of a glass substrate (step S60).
  • chemical strengthening is performed on the glass substrate after the first polishing (step S70).
  • step S80 is performed on the chemically strengthened glass substrate (step S80).
  • FIG. 4 is a plan view of an apparatus used in the press molding process.
  • the apparatus 101 includes four sets of press units 120, 130, 140, 150 and a cutting unit 160.
  • the cutting unit 160 is provided on the path of the molten glass flowing out (supplied) from the molten glass outlet (supply unit) 111.
  • the molten glass is cut by the cutting unit 160, so that a lump of molten glass (hereinafter also referred to as a gob) falls downward in the vertical direction.
  • the press units 120, 130, 140, and 150 are formed by sandwiching gobs at predetermined press positions in the air with a pair of press surfaces facing each other from both sides of the lump dropping path, thereby forming glass. Form a blank.
  • the four sets of press units 120, 130, 140, and 150 are provided every 90 degrees with the molten glass outlet 111 as the center.
  • the viscosity of the molten glass when it flows out from the molten glass outlet 111 is preferably in the range of 500 dPa ⁇ s to 1050 dPa ⁇ s.
  • Each of the press units 120, 130, 140, and 150 is driven by a moving mechanism (not shown) and can advance and retreat with respect to the molten glass outlet 111. That is, a catch position (a position where the press unit 140 is drawn with a solid line in FIG. 4) located directly below the molten glass outlet 111 and a retreat position (the press unit 120 in FIG. 4) away from the molten glass outlet 111.
  • a catch position a position where the press unit 140 is drawn with a solid line in FIG. 4 located directly below the molten glass outlet 111
  • a retreat position the press unit 120 in FIG. 4
  • the cutting unit 160 is provided on the path of the molten glass between the catch position (gob capture position by the press unit) and the molten glass outlet 111.
  • the cutting unit 160 cuts out the molten glass flowing out from the molten glass outlet 111 to an appropriate amount to form a gob.
  • the cutting unit 160 has a pair of cutting blades (an upper cutting blade 161 and a lower cutting blade 162) that are arranged so as to be shifted from each other in the vertical direction and are opposed to each other in the horizontal direction.
  • the cutting blades 161 and 162 cooperate to cut the molten glass. Specifically, the cutting blades 161 and 162 are driven to intersect on the molten glass path at a fixed timing, and when the cutting blades 161 and 162 intersect, the molten glass is cut out to obtain gob. .
  • the cutting unit 160 is provided with a plurality of guide members 163 for guiding the gob G G cut out from the molten glass L G in the cutting step to catch position.
  • Each guide member 163 has a shape extending in the vertical direction, and is arranged below the cutting blades 161 and 162 at a predetermined interval around the molten glass outlet 111.
  • the surface facing the dropping path of the gob G G of the surface of the guide member 163 is formed in a planar shape along the vertical direction, so as to guide the gob G G in fall to catch position .
  • Each of the plurality of guide members 163 may be arranged so as to face the other of the guide member 163 via the dropping path of the gob G G.
  • the distance between the pair of guide members 163 opposite to it may be formed to the extent that the gob G G may fall to catch position while in contact with the guide member 163.
  • the guide member 163 may not provided in plural, for example, to form a single guide member 163 in the vertical direction to extend the tubular, and arranged to drop the gob G G through the through hole of the guide member 163 May be.
  • the gob G G falls down in a state where the cutting unit G1 is always positioned vertically above.
  • each of the guide members 163 is not particularly limited, since there are cases where contact with the gob G G in falling, it is preferred to have heat resistance. Further, each of the guide members 163, in order to prevent the gob G G in drop adheres, preferably wettability to glass is composed of a material having low.
  • each guide member 163 may be made of ceramic or the like, or may be made of a material whose surface is plated (for example, gold plating or platinum plating).
  • the press unit 120 includes a first die 121, a second die 122, a first drive unit 123, and a second drive unit 124.
  • the first die 121 is each of the second die 122 is a plate-like member having a surface for press-forming the gob G G.
  • the normal direction of the two surfaces is a substantially horizontal direction, and the two surfaces are arranged to face each other in parallel.
  • the first drive unit 123 moves the first mold 121 forward and backward with respect to the second mold 122.
  • the second drive unit 124 moves the second mold 122 forward and backward with respect to the first mold 121.
  • the first drive unit 123 and the second drive unit 124 have a mechanism for rapidly bringing the surface of the first mold 121 and the surface of the second mold 122 into close proximity.
  • the 1st drive part 123 and the 2nd drive part 124 are the mechanisms which combined the air cylinder, the solenoid, and the coil spring, for example. Note that the structure of the press units 130, 140, and 150 is the same as that of the press unit 120, and a description thereof will be omitted.
  • Each press unit After moving into the catch position, the drive and the second drive unit first driving unit, the gob G G to fall first type and of predetermined sandwiched in Question second type thickness And a circular glass blank G is produced.
  • the cutting portion G1 of the gob G G because they are partially dissipated by thermal conduction upon contact with a pair of cutting blades 161 and 162, the temperature is lower than the other portions of the surface of the gob G G State. For this reason, when the cutting part G1 comes into contact with the press surface of the mold during pressing, the periphery of the cutting part G1 cools and hardens faster than other parts, so that a shear mark is formed in a relatively deep place (for example, 50 ⁇ m) of the glass blank. Will occur. Therefore, each of the press unit, as part a pair of mold press surfaces except the cut portion G1 of the total surface of the gob G G is first contacted, it is preferred to press-mold the gob G G.
  • the press position of the pair of dies has only to be adjusted.
  • relatively high temperature of the molten glass inside the gob G G is, jump out outward reheated cut portion G1 of the gob G G.
  • the molten glass is stretched, it is cooled and solidified with a small temperature difference between the cut portion of the molten glass and other portions, so that the depth of the shear mark in the glass blank becomes shallow (thinner). For this reason, it becomes easy to remove the shear mark in a processing step such as a grinding step or a polishing step.
  • the first conveyor 171, the second conveyor 172, the third conveyor 173, and the fourth conveyor 174 are provided below the retreat positions of the press units 120, 130, 140, and 150, respectively.
  • Each of the first to fourth conveyors 171 to 174 receives the glass blank G falling from the corresponding press unit and conveys the glass blank G to the next process apparatus (not shown).
  • the press units 120, 130, 140, and 150 are sequentially moved to the catch position, and are moved to the retreat position with the gob interposed therebetween. For this reason, the glass blank G can be continuously formed without waiting for the cooling of the glass blank G in each press unit.
  • S1 in FIG. 6 is a side view before the cutting blades 161 and 162 of the molten glass L G and the cutting unit 160 is in contact.
  • S2 in FIG. 6 the cutting blades 161 and 162 of the cutting unit 160 is a side view of the cut molten glass L G.
  • S3 of FIG. 6 is a side view showing a state in which the gob G G drops.
  • S4 in FIG. 6 is a side view illustrating a state where the pressing unit 120 is press-molded gob G G.
  • the molten glass L G is continuously flowing out from the molten glass outflow port 111.
  • the upper cutting blade 161 and the lower cutting blade 162 by driving the upper cutting blade 161 and the lower cutting blade 162 at a predetermined timing, cutting the molten glass L G.
  • cut molten glass becomes gob G G.
  • the time for driving the cutting unit 160 for example, as a gob G G radius of about 10mm is formed, the outflow amount and the cutting unit 160 per unit time of the molten glass L G The driving interval is adjusted.
  • the shape of the gob G G of the cut point (the time it was disconnected from the molten glass L G) is a vertically asymmetrical shape with respect to the horizontal plane passing through the vertical center of the gob G G.
  • the ratio of the horizontal direction of the longest dimension and the vertical direction of the longest dimension in the horizontal projection plane, in the vertical projection plane of the gob G G of the time of the cut for example, 1: 1.5-3.
  • instability tends to occur in the fall when the shape of such a gob G G.
  • the weight of the gob G G is 7 ⁇ 15 g.
  • Made gob G G falls to the first die 121 of the pressing unit 120 toward the gap between the second die 122. At this time, by the gob G G falls while contacting the respective guide members 163, falling trajectory of the gob G G is stabilized. Then, at the timing when the gob G G enters the first die 121 in the gap of the second die 122, such that the first die 121 second die 122 approach each other, the first driving unit 125 and the second drive The unit 126 is driven. Thereby, as shown in S4 of FIG. 6, the gob GG is captured (caught) between the first mold 121 and the second mold 122.
  • the gob G G and the press surface 121a of each mold 121 and 122 since the fall trajectory of the gob G G is stabilized, the gob G G and the press surface 121a of each mold 121 and 122, the first contact region between 122a becomes constant. Furthermore, the press surface 121a of the first die 121 and the press surface 122a of the second die 122 are in close proximity at a predetermined interval, and the press surface 121a of the first die 121 and the second die 122 are in close proximity. gob G G sandwiched between the press surface 122a is formed into a thin plate.
  • the press surface 121a of the first die 121 and the press surface 122a of the second die 122 are maintained.
  • Each is provided with protruding spacers 121b and 122b. When the spacers 121b and 122b come into contact with each other, the distance between the press surface 121a of the first die 121 and the press surface 122a of the second die 122 is maintained constant, and a plate-like space is created.
  • the first mold 121 and the second mold 122 are provided with a temperature adjustment mechanism (not shown).
  • the temperature of the first die 121 and second die 122 is a temperature adjusting mechanism, it is preferably adjusted to a temperature lower than a strain point of the molten glass L G.
  • the gob G G is formed into a substantially circular shape spread within a very short period of time along the pressing surface 122a of the press surface 121a and the second die 122 of the first die 121, further it is cooled non Solidifies as crystalline glass. Thereby, the glass blank G is produced.
  • the glass blank G formed in this embodiment is, for example, a circular plate having a diameter of 75 to 80 mm and a thickness of about 1 mm, depending on the size of the target magnetic disk glass substrate.
  • the press unit 120 quickly moves to the retracted position. Subsequently, other press unit 130 is moved to the catch position by the pressing unit 130, press the gob G G is performed.
  • the first die 121 and the second die 122 are closed until the glass blank G is sufficiently cooled (for example, until the temperature becomes lower than the bending point). To maintain. Thereafter, the first driving unit 123 and the second driving unit 124 are driven to separate the first mold 121 and the second mold 122, and the glass blank G falls off the press unit 120 and is at the lower part. It is received by the conveyor 171 (see FIG. 4).
  • the first die 121 and the second die 122 are closed within an extremely short time of 0.1 seconds (about 0.06 seconds), and the press surface 121a of the first die 121 and the first die 121 are closed.
  • the molten glass comes into contact with the entire press surface 122a of the second mold 122 almost simultaneously. For this reason, it is suppressed that the press surface 121a of the 1st type
  • the gob G G is formed into a circular shape, the temperature distribution is substantially uniform in the glass blank G to be shaped It becomes. For this reason, when the molten glass is cooled, the distribution of the shrinkage amount of the glass material is small, and the distortion of the glass blank G hardly occurs. Therefore, the flatness of the main surface of the manufactured glass blank material G is improved as compared with a glass blank manufactured by conventional press molding, and the target flatness of the main surface necessary as a glass substrate for a magnetic disk is set. Can do.
  • the surface roughness of the press surface 121a and the press surface 122a is adjusted so that the arithmetic average roughness Ra of the glass blank G is 0.01 ⁇ m to 10 ⁇ m, preferably 0.01 ⁇ m to 1 ⁇ m. can do.
  • FIG. 7 is a diagram for explaining a modification of the embodiment shown in FIG.
  • the plurality of guide members 163 may be provided at intervals in the vertical direction. In this case, by the gob G G falls while contacting the respective guide members 163, it is possible to stabilize the falling trajectory of the gob G G.
  • the guide member 163 may be integrally provided on the lower surface of the upper cutting blade 161. In this case, the guide member 163 has a shape extending vertically downward, when the pair of cutting blades 161 and 162 intersect (i.e., when the gob G G was obtained by cleavage of the molten glass L G), It is formed so that the vertically lower end faces the catch position.
  • FIG. 7 is a diagram for explaining a modification of the embodiment shown in FIG.
  • the plurality of guide members 163 may be provided at intervals in the vertical direction. In this case, by the gob G G falls while contacting the respective guide members 163, it is possible to stabilize the falling trajectory of the gob G G.
  • step S20 Scribe process
  • the scribe means two concentric circles (an inner concentric circle and an outer concentric circle) by a scriber made of super steel alloy or diamond particles on the surface of the glass blank G in order to make the formed glass blank G into a ring shape of a predetermined size.
  • -Shaped cutting line linear scratch.
  • the glass blank G scribed in the shape of two concentric circles is partially heated, and due to the difference in thermal expansion of the glass blank G, the outer portion of the outer concentric circle and the inner portion of the inner concentric circle are removed. Thereby, an annular glass substrate is obtained.
  • An annular glass substrate can also be obtained by forming a circular hole in the glass blank G using a core drill or the like.
  • the shape processing step includes chamfering processing (chamfering processing of the outer peripheral end portion and the inner peripheral end portion) on the end portion of the glass substrate after the scribe step.
  • a chamfering process is a shape process which chamfers with a diamond grindstone in the outer peripheral end part and inner peripheral end part of the glass substrate after a scribe process.
  • the chamfer angle is, for example, 40 to 50 degrees with respect to the main surface.
  • step S40 Grinding process with fixed abrasive
  • grinding machining
  • a double-side grinding apparatus having a planetary gear mechanism.
  • the double-sided grinding apparatus has a pair of upper and lower surface plates (upper surface plate and lower surface plate), and a glass substrate is sandwiched between the upper surface plate and the lower surface plate. And by moving either the upper surface plate or the lower surface plate, or both, the glass substrate and each surface plate are moved relatively to grind both main surfaces of this glass substrate. Can do.
  • step S50 End face polishing process
  • the end face polishing of the glass substrate is performed in the end face polishing process.
  • mirror finishing is performed on the inner peripheral end surface and the outer peripheral end surface of the glass substrate by brush polishing.
  • a slurry containing fine particles such as cerium oxide as free abrasive grains is used.
  • step S60 First polishing (main surface polishing) step
  • polishing is given to the main surface of the glass substrate after an end surface grinding
  • the purpose of the first polishing is, for example, to remove scratches and distortions remaining on the main surface when grinding with fixed abrasive grains, or to adjust minute surface irregularities (microwaveness, roughness).
  • polishing is performed using a double-side polishing apparatus equipped with a planetary gear mechanism while applying a polishing liquid.
  • polishing unlike abrasive with fixed abrasive grains, free abrasive grains turbid in the slurry are used instead of fixed abrasive grains.
  • the double-side polishing apparatus has a pair of upper and lower surface plates (upper surface plate and lower surface plate), and a glass substrate is sandwiched between the upper surface plate and the lower surface plate.
  • an annular flat polishing pad is attached to the upper surface of the lower surface plate and the bottom surface of the upper surface plate as a whole. And, by moving either the upper surface plate or the lower surface plate, or both, the glass substrate and each surface plate are moved relatively to polish both main surfaces of the glass substrate. Can do.
  • step S70 Chemical strengthening process
  • the glass substrate after the first polishing step is chemically strengthened.
  • the chemical strengthening solution for example, a mixed solution of potassium nitrate (60% by weight) and sodium sulfate (40% by weight) can be used.
  • the chemical strengthening solution is heated to 300 ° C. to 400 ° C., for example, and the cleaned glass substrate is preheated to 200 ° C. to 300 ° C., for example, and then the glass substrate is placed in the chemical strengthening solution, for example, 3 hours to 4 hours. Immerse.
  • the immersion is preferably performed in a state of being accommodated in a holder so that the plurality of glass substrates are held by the end faces so that both main surfaces of the glass substrate are chemically strengthened.
  • the lithium ions and sodium ions on the surface layer of the glass substrate are respectively replaced with sodium ions and potassium ions having a relatively large ionic radius in the chemical strengthening solution.
  • a compressive stress layer is formed on the glass substrate and the glass substrate is strengthened. Note that the chemically strengthened glass substrate is cleaned. For example, after washing with sulfuric acid, it is washed with pure water or the like.
  • step S80 Second polishing (final polishing) step
  • polishing is given to the glass substrate after a chemical strengthening process.
  • the second polishing step aims at mirror polishing of the main surface.
  • the double-side polishing apparatus used in the first polishing process is used.
  • the difference from the first polishing step is that the type and particle size of the free abrasive grains are different and the hardness of the resin polisher is different.
  • the free abrasive grains used in the second polishing step for example, fine particles such as colloidal silica made turbid in the slurry are used.
  • the polished glass substrate is washed with a neutral detergent, pure water, IPA or the like to obtain a glass substrate for a magnetic disk.
  • a neutral detergent, pure water, IPA or the like it is preferable that the second polishing step is performed because the level of the surface irregularities on the main surface of the glass substrate can be further improved.
  • the roughness (Ra) of the main surface can be made 0.1 nm or less and the micro waveness (MW-Rq) of the main surface can be made 0.1 nm or less.
  • the pressing surfaces of the respective molds 121 and 122 at the pressing position between the cutting process and the pressing process. 121a, initial contact area between the gob G G at 122a is to be constant, and guides the fall of the gob G G.
  • the processing amount can be easily set in processing steps such as a grinding step and a polishing step, and the manufacturing efficiency of the magnetic disk glass substrate can be improved.
  • the shape of the gob G G of the time of the cut are the vertically asymmetrical shape with respect to the horizontal plane passing through the center of the gob G G, when the gob G G is rotated in the fall, each gold press surface 121a of the mold 121, the first point of contact between the gob G G within 122a occurs variation in time of the press.
  • the rotation of the gob G G is suppressed, possible to further improve the accuracy of the initial contact position between the gob G G in the press surface 121a, the 122a of each mold 121 and 122
  • the variation in temperature distribution in the press surface of the mold for each press becomes smaller, and the variation in the flatness in the solid surface of the glass blank and the flatness between individuals can be further reduced.
  • the following experiment was performed.
  • the gob diameter is 20 mm
  • the gob weight is 10 g
  • the drop of the gob is guided by a plurality of guide members 163 as shown in FIG. 7, 100 glass blanks are formed, and the die is pressed at the time of pressing.
  • the average deviation of the gob fall position from the center position of the surface was measured.
  • difference of a fall position the unevenness
  • the flatness of the molded glass blank was measured using a commercially available flatness tester, and the value of the variation in flatness was obtained.
  • the results are shown in Table 1 as Examples 1 to 3. In each of Examples 1 to 3, the interval between guide members adjacent in the vertical direction is different.
  • 100 glass blanks are molded, and the average value of the shift position of the gob from the center position of the press surface of the mold at the time of pressing 100 sheets and The variation width of the flatness of the molded glass blank was measured. The results are shown in Table 1 as Example 4.
  • the shear mark could be removed with a 30 ⁇ m margin on one side with 70 out of 100 glass blanks.
  • the shear mark could be removed with a margin of 100 ⁇ m (50 ⁇ m on one side) with 97 glass blanks out of 100 sheets.
  • the sheer marks could be removed with 100 ⁇ m margins in all the glass blanks out of 100 sheets.
  • FIG. S1 of FIG. 9 is a diagram showing a state before making a gob
  • S2 of FIG. 9 is a diagram showing a state in which the gob G G were made
  • S3 in FIG. 9, the gob G G drops is a diagram showing a state
  • S4 of FIG. 9 is a diagram showing a state where the glass blank G was made by press-forming the gob G G.
  • the size of the pressing force by the air, the rotation of the gob G G in the horizontal direction of movement or falling of the gob G G in fall may be a degree to be regulated.
  • the wind pressure is 0.5 MPa or more and 3 MPa or less
  • the air volume is 10 L / min to 100 L / min
  • the air temperature is room temperature or more.
  • Table 2 shows the average value of the drop position deviation and the flatness variation of the glass blank when the driving speed of the lower cutting blade 162 is changed with respect to the driving speed of the upper cutting blade 161.
  • Table 2 shows the average value of the drop position deviation when 100 glass blanks are molded in each example, and the shear mark removal rate when grinding 100 ⁇ m (one side 50 ⁇ m).
  • the cutting unit 160 as shown in FIG. 10, the molten glass L G to be cut in the cutting step, the path of the molten glass L G
  • a pair of pressing members (a first pressing member 163 and a second pressing member 164) are provided.
  • the pressing members 161 and 162 are provided in the vicinity of the lower side of the cutting blades 161 and 162 and are opposed to each other in the horizontal direction with the position directly below the molten glass outlet 111 as a center.
  • Each pressing member 163, 164 is driven by a moving mechanism (not shown), and can move forward and backward in the horizontal direction with respect to the center between the pressing members 163, 164 (that is, the position directly below the molten glass outlet 111). .
  • Each pressing member 163 and 164 when the molten glass L G is cut by the cutting blades 161 and 162 move toward the center between the respective pressing members 163 and 164, in a state in which communication with the molten glass outflow port 111 Add a pressing force toward the horizontal direction molten glass L G in contact.
  • the magnitude of this pressing force can be a degree of movement in the horizontal direction is restricted in the molten glass L G.
  • the pressing member 163 is moved in the direction away from each other. At this time, the gob falls toward the catch position.
  • the rotational moment based on being pressed from the cutting blade 161, 162 during cutting of the molten glass L G is less likely to occur in the gob (including a portion that is pressed from the pressing member 163 and 164). For this reason, the fall stability of the gob (that is, the stability of the rotation and the drop trajectory) is improved.
  • each holding member 163 is not particularly limited, it is necessary to press in contact with the molten glass L G, it is preferable to have a heat resistance which does not lose the heat of the molten glass L G.
  • Each pressing member 163 and 164 in order to prevent the gob from adhering when dropping the gob cut out from the molten glass L G, preferably wettability to glass is composed of a material having low.
  • each pressing member 163, 164 may be made of ceramic or the like, or may be made of a material whose surface is plated (for example, gold plating or platinum plating). Good.
  • the area of the portion contacting the molten glass L G of the pressing member 163 and 164, from the viewpoint of reducing the amount of heat of the molten glass L G discharged through the respective pressing members 163 and 164 are formed smaller It is preferable.
  • FIG. S1 of FIG. 11 is a side view before the cutting blades 161 and 162 of the molten glass L G and the cutting unit 160 is in contact.
  • the cutting blades 161 and 162 of the cutting unit 160 is a side view of the cut molten glass L G.
  • 11 is a side view when the pressing members 163 and 164 of the cutting unit 160 are moved away from each other.
  • S4 of FIG. 11 is a side view illustrating a state where the pressing unit 120 is press-molded mass G G of the molten glass.
  • the molten glass L G is continuously flowing out from the molten glass outflow port 111.
  • the pressing member 163 is moved in the horizontal direction as to approach each other to press the horizontal direction in contact with the molten glass L G.
  • it is restricted movement in the horizontal direction of the molten glass L G.
  • S2 of FIG. 11 by driving the upper cutting blade 161 and the lower cutting blade 162 at a predetermined timing, cutting the molten glass L G.
  • cut molten glass becomes gob G G.
  • each time for driving the cutting unit 160 for example, as a gob G G radius of about 10mm is formed, the outflow amount and the cutting unit 160 per unit time of the molten glass L G The driving interval is adjusted.
  • the shape of the gob G G of the cut point (the time it was disconnected from the molten glass L G) is a vertically asymmetrical shape with respect to the horizontal plane passing through the vertical center of the gob G G.
  • the ratio of the horizontal direction of the longest dimension in the vertical and the direction of the longest dimension, the vertical projection plane in the vertical horizontal projection plane of the gob G G of the time of the cut for example, 1: 1.5-3.
  • instability tends to occur in the fall when the shape of such a gob G G.
  • the weight of the gob G G is 7 ⁇ 15 g.
  • the gob G G made, as shown in S3 of FIG. 11, by the pressing member 163 is moved in the horizontal direction as to be spaced apart from each other, the first mold 121 of the press unit 120 and the It falls toward the gap between the two molds 122.
  • the first drive unit 125 and the second driving unit 126 are driven. Accordingly, as shown in S4 of FIG. 11, the gob GG is captured (caught) between the first mold 121 and the second mold 122.
  • the press surface 121a of the first mold 121 and the press surface 122a of the second mold 122 are in close proximity at a predetermined interval, and the press surface 121a of the first mold 121 and the second surface gob G G sandwiched between the press surface 122a of the mold 122 is shaped into a thin plate.
  • FIG. 12 is a diagram for explaining a modification of the embodiment shown in FIG.
  • the first pressing member 163 is provided integrally with the upper cutting blade 161
  • the second pressing member 164 is provided integrally with the lower cutting blade 162.
  • S1 in FIG. 12 is a diagram showing a state before making a gob, S2 in FIG. 12, gob G G in a state in which movement is restricted in the horizontal direction of the molten glass L G by the pressing member 163, 164 is a diagram showing a state in which were made, S3 in FIG.
  • FIG. 12 is a diagram showing a state in which the gob G G drops by cutting unit 160 is driven such that each pressing member 163 and 164 are separated
  • Figure S4 in 12 is a diagram showing a state where the glass blank G by press-forming the gob G G were made.
  • the molten glass L G is continuously flowing out from the molten glass outflow port 111.
  • the gob G G cut out from the molten glass L G is in a state of being held by the holding members 163, 164 provided in each cutting blade 161, 162.
  • the pressing members 163 and 164 move in the horizontal direction so as to be separated from each other, so that the gob GG has the first mold 121 and the second mold of the press unit 120. It falls toward the gap of the mold 122.
  • the gob G G as shown in S4 of FIG. 12, by the first mold 121 is sandwiched by press molding and a second mold 122, circular glass blank G is produced.
  • the cutting step of press-forming step so as to regulate the movement in the horizontal direction of the molten glass L G in a state in which a pressing force toward the horizontal direction is added to the molten glass L G in a state of communication with the glass outflow port 111 (supply section) (hold state), and cutting the molten glass L G.
  • the rotational moment based on being pressed from the cutting blade 161, 162 during cutting of the molten glass L G is less likely to occur in the gob G G. Therefore, drop stability of the gob G G (i.e., stability of rotation and falling trajectory) is improved.
  • the shape of the gob G G of the time of the cut are the vertically asymmetrical shape with respect to the horizontal plane passing through the center of the gob G G, when the gob G G is rotated in the fall, each gold press surface 121a of the mold 121, the first point of contact between the gob G G within 122a occurs variation in time of the press.
  • the rotation of the gob G G is suppressed, possible to further improve the accuracy of the initial contact position between the gob G G in the press surface 121a, the 122a of each mold 121 and 122
  • the variation in temperature distribution in the press surface of the mold for each press becomes smaller, and the variation in the flatness in the solid surface of the glass blank and the flatness between individuals can be further reduced.
  • the average deviation of the gob dropping position was 4 mm
  • the flatness variation of the glass blank was 10 ⁇ m.
  • the shear marks could be removed with an allowance of 100 ⁇ m (50 ⁇ m on one side) for all 100 sheets.
  • difference of the gob fall position was 25 mm
  • variation in the flatness of the glass blank was 50 micrometers.
  • this modification is different from the embodiment, in the cutting step, without using the pressing member 163, it lies in that is configured to regulate the movement in the horizontal direction of the molten glass L G. More specifically, as shown in S1 of FIG. 13, the contact surface 162a of the molten glass L G of the lower cutting blade 162 (the contact portion), as suppress the horizontal displacement of the molten glass, upper cutting It is configured to bend so as to protrude toward the direction away from the blade 161 and to have a thickness in the vertical direction.
  • FIG. S1 in FIG. 12 is a diagram showing a state before making a gob
  • S2 of FIG. 14 shows a state in which the gob G G was made in a state in which movement is restricted in the horizontal direction of the molten glass L G a diagram
  • S3 in FIG. 14 is a diagram showing a state in which the gob G G drops
  • S4 of FIG. 14 is a diagram showing a state where the glass blank G was made by press-forming the gob G G .
  • the cutting step in a state where the molten glass L G is pressed by the air flowing in horizontal direction, it lies in that is configured to cut the molten glass L G.
  • a plurality of blowers (not shown) are provided at predetermined intervals around the molten glass outlet 111 near the lower portions of the cutting blades 161 and 162.
  • the predetermined amount of air sent from the air blower flows in the horizontal direction toward the position right under the molten glass outflow port 111.
  • the molten glass L G is by receiving a predetermined pressing force by the air, is regulated movement in the horizontal direction of the molten glass L G.
  • the size of the pressing force by the air may be a degree of movement in the horizontal direction is restricted in the molten glass L G.
  • the glass outlet 111 in the cutting step of press-forming step, so as to regulate the movement in the horizontal direction of the molten glass L G, the glass outlet 111 a pressing force toward the horizontal direction (feed portion ) and while applying the molten glass L G of connected state, and cutting the molten glass L G.
  • the rotational moment based on being pressed from the cutting blade 161, 162 during cutting of the molten glass L G is less likely to occur in the gob G G. Therefore, drop stability of the gob G G (i.e., stability of rotation and falling trajectory) is improved.
  • the manufacturing method of the glass blank for magnetic discs and the manufacturing method of the glass substrate for magnetic discs of this invention are not limited to the said embodiment, and do not deviate from the main point of this invention. Of course, various improvements and changes may be made in the range.
  • the present invention is not limited to this example, and the present invention is not limited to this configuration as long as the gob is dropped and pressed.
  • the invention can be applied.
  • the present invention can be applied to a configuration in which a gob is received by one mold and then pressed.

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Abstract

 主表面の表面凹凸を抑制した磁気ディスク用ガラス基板を効率よく製造するべく、平面性に優れた磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法が提供される。本発明は一対の主表面を有する磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法であって、互いに対向配置された一対の切断刃の協働により溶融ガラスの供給部から供給される溶融ガラスを切断し、その切断してなる溶融ガラスの塊を落下させる切断工程と、前記切断工程の後に、前記溶融ガラスの塊を所定のプレス位置で一対の型のプレス面によってプレス成形することにより、ガラスブランクを成形するプレス工程と、を含み、前記切断工程から前記プレス工程までの間では、前記プレス位置での前記型のプレス面における前記塊との最初の接触領域が一定となるように、前記塊の落下を案内する。

Description

磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法および磁気ディスク用ガラス基板の製造方法
 本発明は、磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法および磁気ディスク用ガラス基板の製造方法に関する。
 今日、パーソナルコンピュータ、ノート型パーソナルコンピュータ、あるいはDVD(Digital Versatile Disc)記録装置等には、データ記録のためにハードディスク装置が内蔵されている。特に、ノート型パーソナルコンピュータ等の可搬性を前提とした機器に用いられるハードディスク装置では、ガラス基板に磁性層が設けられた磁気ディスクが用いられ、磁気ディスクの面上を僅かに浮上させた磁気ヘッド(DFH(Dynamic Flying Height)ヘッド)で磁性層に磁気記録情報が記録され、あるいは読み取られる。この磁気ディスクの基板には、金属基板等に比べて塑性変形をしにくい性質を持つことから、ガラス基板が好適に用いられている。
 また、ハードディスク装置における記憶容量の増大の要請を受けて、磁気記録の高密度化が図られている。例えば、磁性層における磁化方向を基板の面に対して垂直方向にする垂直磁気記録方式を用いて、磁気記録情報エリアの微細化が行われている。これにより、1枚のディスク基板における記憶容量を増大させることができる。しかも、記憶容量の一層の増大化のために、磁気ヘッドの磁気記録面からの浮上距離を極めて短くして磁気記録情報エリアを微細化することも行われている。このような磁気ディスクの基板においては、磁性層の磁化方向が基板面に対して略垂直方向に向くように、磁性層が平らに形成される。このために、ガラス基板の表面凹凸は可能な限り小さく作製されている。
 また、磁気ヘッドの浮上距離が短いことによりヘッドクラッシュ障害やサーマルアスペリティ障害を引き起こし易い。これらの障害は磁気ディスク面上の微小な凹凸あるいはパーティクルによって発生するため、ガラス基板の主表面の他にガラス基板の端面の表面凹凸も可能な限り小さく作製されている。
 ところで、磁気ディスクに用いるガラス基板は、例えば、以下の方法で製造される。具体的には、当該方法では、受けゴブ形成型である下型上に、溶融ガラスの塊(以下、ゴブという。)が供給され、下型と対向ゴブ形成型である上型を使用してゴブがプレス成形されて板状の磁気ディスク用ガラスブランク(以下、ガラスブランクという。)を作製した後、情報記録媒体用ガラス基板に加工される(特許文献1)。
 この方法では、下型上にゴブを供給した後に上型用胴型の下面と下型用胴型の上面を当接させ、上型と上型用胴型との摺動面および下型と下型用胴型との摺動面を超えて外側に肉薄板状ガラス成形空間を形成し、さらに上型を下降してプレス成形を行い、プレス成形直後に上型を上昇する。これにより、磁気ディスク用ガラス基板の元となる板状のガラスブランクが成形される。この後、研削工程及び研磨工程を経て磁気ディスク用ガラス基板が得られる。
 研削工程では、例えば、アルミナ系遊離砥粒を用いた研削が行われる。この工程では、粒子サイズが異なる遊離砥粒を用いて第1研削工程と第2研削工程が行われる。第2研削工程で用いる遊離砥粒の粒子サイズは第1研削工程で用いる遊離砥粒の粒子サイズに比べて小さく設定される。これにより、粗い研削と細かい研削をこの順番で行う。
 研磨工程は、例えば、酸化セリウム等の遊離砥粒および硬質樹脂材ポリッシャ等を用いた第1研磨工程と、例えばコロイダルシリカおよび軟質樹脂材ポリッシャ等を用いた第2研磨工程とを含む。第1研磨工程で用いる砥粒の粒子サイズは、研削工程中の第2研削工程で用いる砥粒の粒子サイズに比べて小さい。さらに、第2研磨工程で用いる砥粒の粒子サイズは、第1研磨工程で用いる砥粒の粒子サイズに比べて小さい。
 以上のように、ガラス基板における表面加工では、第1研削工程、第2研削工程、第1研磨工程、第2研磨工程が、この順番に行われ、ガラス基板の表面粗さ等の表面品質が徐々によくなるように加工する。
特許第3709033号公報
 ゴブを落下させてプレスする方法では、ゴブが自由落下し、また、切断してからプレスするまでの間の距離が比較的長いため、図15に示すように、ゴブの落下姿勢や落下軌道が不安定化(図の例では、ゴブが真下ではなく、左方向にずれるように落下している)しやすくなる。具体的には、図15に示すように、溶融ガラスの切断の際に、一対の切断刃のうちの下側切断刃より、ゴブの上端部が下側切断刃の駆動方向(図15の左方)へ押し出される。そして、ゴブGの中心を通りかつ下側切断刃の駆動方向に対して直交する方向に沿う軸を中心に回転する向きに、ゴブに回転モーメントが生じる。この回転モーメントによって、ゴブは、回転しながら落下し、落下姿勢や落下軌道が不安定化する。このようにゴブの落下姿勢や落下軌道が不安定化することによって、プレス時の型のプレス面内においてゴブと最初に接触する部位や、プレス中における溶融ガラスの延伸の態様に、プレス毎にばらつきが生じる。
 ここで、プレス時の型のプレス面内においてゴブと最初に接触する部位がゴブからの伝熱の起点となるため、型のプレス面内におけるゴブと最初に接触する部位がプレスの度に異なる場合には、型の面内の温度分布がプレスの度にばらつきが生じる。
 このように、型の面内の温度分布がプレスの度にばらつく場合には、ガラスブランクの個体の面内の平面度のばらつきが生じる。これに加えて、同じ型を用いて連続してプレス成形する際に、プレス前の時点の温度分布がガラスブランクの平面度に影響するため、成形されたガラスブランクの平面度に個体差が生じる。
 このようなメカニズムによって、ガラスブランクの個体の面内の平面度のばらつきと、個体間の平面度のばらつきとが生じる。このような個体面内及び個体間の平面度のばらつきは、後加工(研削,研磨等)における加工量(取りしろ)の設定に影響する。
 さらに、例えば図15に示すように、落下姿勢や落下軌道が不安定化した場合には、プレス毎にプレス位置でのゴブの切断部の位置のばらつきが生じ、ガラスブランクのシアマーク(切断痕)の位置及び深さに個体間ばらつきが生じ、加工工程でのシアマークの除去が煩雑であった。
 具体的に、ゴブの表面における切断部(図15に示す)は、切断刃と接触した際の熱伝導によって部分的に放熱されているため、ゴブの表面における他の部分よりも温度が低い状態である。このため、プレスの際に、ゴブの表面における切断部が型のプレス面と接触すると、ゴブの表面における切断部周辺は、他の部分に比べて早く冷え固まるため、ガラスブランクの比較的深い場所(例えば50~100μm)にシアマークが生じることとなる。
 このように、ガラスブランクの比較的深い場所にシアマークが生じる場合、後加工(研削,研磨等)における加工量(取りしろ)の設定に影響する。
 このようなガラスブランクの平面度は、研削(第1研削工程)により、向上させることができるとともに、比較的深い場所に形成されたシアマークを除去することができる。例えば、平面度の向上、及びシアマーク除去のために研削工程における取り代(削り量)を大きくする。しかし、研削工程における取り代を大きくすると、ガラスブランクの表面に深いクラックが入るため、深いクラックが残留しないように、後工程である研磨工程においても取り代(研磨量)は必然的に大きくなる。しかし、遊離砥粒および樹脂ポリッシャを用いる研磨工程において取り代を大きくすると、ガラスブランクの主表面の外周エッジ部近傍が丸く削られて、エッジ部の「だれの問題」が発生する。すなわち、ガラスブランクの外周エッジ部近傍が丸く削られるため、このガラスブランクをガラス基板として用いて磁気ディスクを作製したとき、外周エッジ部近傍の磁性層と磁気ヘッドとの間の距離が、ガラス基板の別の部分における磁気ヘッドの浮上距離より大きくなる。また、外周エッジ部近傍が丸みを持った形状となるため、表面凹凸が発生する。この結果、外周エッジ部近傍の磁性層において磁気ヘッドの記録及び読み出しの動作が正確でない。これが「だれの問題」である。
 また、研磨工程における取り代が大きくなるため、研磨工程は長時間を要する等により実用上好ましくない。
 そこで、本発明は、主表面の表面凹凸を抑制した磁気ディスク用ガラス基板を効率よく製造するべく、平面性に優れた磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法を提供することを目的とする。
 本発明の第1の観点は、一対の主表面を有する磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法であって、水平方向に互いに対向配置され、かつ鉛直方向に互いにずらして配置された一対の切断刃の協働により溶融ガラスの供給部から供給される溶融ガラスを切断し、その切断してなる溶融ガラスの塊を落下させる切断工程と、前記切断工程の後に、前記溶融ガラスの塊を所定のプレス位置で一対の型のプレス面によってプレス成形することにより、ガラスブランクを成形するプレス工程と、を含み、前記切断工程から前記プレス工程までの間では、前記溶融ガラスの切断の際の前記一対の切断刃による押し出しに起因して生じた溶融ガラスの塊の回転モーメントを打ち消すように、前記プレス位置へ前記塊の落下を案内することを特徴とする。
 本発明の第2の観点は、一対の主表面を有する磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法であって、水平方向に互いに対向配置され、かつ鉛直方向に互いにずらして配置された一対の切断刃の協働により溶融ガラスの供給部から供給される溶融ガラスを切断し、その切断してなる溶融ガラスの塊を落下させる切断工程と、前記切断工程の後に、前記溶融ガラスの塊を所定のプレス位置で一対の型のプレス面によってプレス成形することにより、ガラスブランクを成形するプレス工程と、を含み、前記切断工程から前記プレス工程までの間では、前記溶融ガラスの切断の際の前記一対の切断刃による押し出しに起因して生じた溶融ガラスの塊の回転モーメントを打ち消すことにより、切断後の前記塊の落下の回転を規制することを特徴とする。
 本発明の第3の観点は、一対の主表面を有する磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法であって、水平方向に互いに対向配置され、かつ鉛直方向に互いにずらして配置された一対の切断刃の協働により溶融ガラスの供給部から供給される溶融ガラスを切断し、その切断してなる溶融ガラスの塊を落下させる切断工程と、前記切断工程の後に、前記溶融ガラスの塊を所定のプレス位置で一対の型のプレス面によってプレス成形することにより、ガラスブランクを成形するプレス工程と、を含み、前記切断工程から前記プレス工程までの間では、前記溶融ガラスの切断の際の前記一対の切断刃による押し出しに起因して生じた溶融ガラスの塊の回転モーメントを打ち消すように、前記一対の切断刃のうちの上側に配置された切断刃の駆動速度を、下側に配置された切断刃よりも速めることにより、切断後の前記塊の落下の回転を規制することを特徴とする。
 上記磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法において、前記プレス工程では、前記切断工程で切断されてなる落下中の前記溶融ガラスの塊を、前記落下方向の両側から前記一対の型でプレスしてもよい。
 上記磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法において、前記切断工程から前記プレス工程までの間では、水平方向に流れる空気の押圧により前記塊の落下を案内してもよい。
 本発明の第4の観点は、一対の主表面を有する磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法であって、水平方向で互いに対向配置され、鉛直方向で互いにずらして配置された一対の切断刃の協働により溶融ガラスの供給部から供給される溶融ガラスを切断し、その切断してなる溶融ガラスの塊を落下させる切断工程と、前記切断工程の後に、前記溶融ガラスの塊を一対の型のプレス面によってプレス成形することにより、ガラスブランクを成形するプレス工程と、を含み、前記切断工程では、前記溶融ガラスの切断の際の前記一対の切断刃による押し出しに起因する前記溶融ガラスの水平方向への移動を規制するように、水平方向に向けた押圧力を前記供給部と繋がった状態の前記溶融ガラスに加えた状態で、前記溶融ガラスを切断することを特徴とする。
 上記磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法において、前記プレス工程では、前記切断工程で切断されてなる落下中の前記溶融ガラスの塊を、前記落下方向の両側から前記一対の型でプレスしてもよい。
 上記磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法において、前記切断工程では、前記一対の切断刃の近傍に設けられた押さえ部材によって、前記溶融ガラスを押さえてもよい。
 上記磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法において、前記一対の切断刃は、鉛直方向で互いにずらして配置されかつ水平方向で互いに対向配置された上側切断刃及び下側切断刃であり、前記下側切断刃における前記溶融ガラスとの接触部位は、前記溶融ガラスの水平方向の変位を押さえるように、前記上側切断刃から離れる方向へ向けて凸となるように湾曲し、鉛直方向に厚みをもつように構成されていてもよい。
 上記磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法において、前記切断工程では、前記溶融ガラスが水平方向に流れる空気によって押圧された状態で、前記溶融ガラスを切断してもよい。
 上記磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法において、前記プレス工程で、前記塊の全表面のうち切断部位を除く部分と前記一対の型のプレス面が最初に接触するように、前記溶融ガラスの塊をプレス成形すべく、予めプレス位置が調整されていることが好ましい。
 上記磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法において、溶融ガラス流出口から流出される際の前記溶融ガラスの粘度が、500dPa・s~1050dPa・sの範囲内であることが好ましい。
 本発明の第5の観点は、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、上記磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法により製造された磁気ディスク用ガラスブランクを用いて、磁気ディスク用ガラス基板を製造することを特徴とする。
磁気ディスク用ガラス基板を用いて作製される磁気ディスクの一例を示す概略構成図。 磁気ディスクの断面図。 磁気ヘッドが磁気ディスクの表面を浮上する状態を示す図。 磁気ディスク用ガラスブランクあるいはガラス基板における表面凹凸を説明する図。 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法の一実施形態のフローを示す図。 プレス成形において用いられる装置の平面図。 第1の実施形態の切断ユニットの側面図。 第1の実施形態のプレス成形工程を示す図。 第1の実施形態のプレス成形工程の変形例を示す図。 第1の実施形態の変形例における切断ユニットの平面図。 第1の実施形態の変形例のプレス成形工程を示す図。 第2の実施形態の切断ユニットの側面図。 第2の実施形態のプレス成形工程を示す図。 第2の実施形態のプレス成形工程の変形例を示す図。 第2の実施形態の変形例における切断ユニットの平面図。 第2の実施形態の変形例のプレス成形工程を示す図。 切断工程において、溶融ガラスの塊(ゴブ)が鉛直方向に回転しながら落下する場合について説明する図。
[第1の実施形態]
 以下、本実施形態の磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法および磁気ディスク用ガラス基板の製造方法について詳細に説明する。
 (1)磁気ディスクおよび磁気ディスク用ガラス基板
 まず、図1A~図1Cを参照して、磁気ディスク用ガラス基板を用いて作製される磁気ディスクについて説明する。図1Aは、磁気ディスク用ガラス基板を用いて作製される磁気ディスクの一例を示す概略構成図である。図1Bは、磁気ディスクの概略断面図である。図1Cは、磁気ヘッドが磁気ディスクの表面を浮上する状態を示す図である。
 図1Aに示されるように、磁気ディスク1はリング状であり、回転軸を中心として回転する。図1Bに示されるように、磁気ディスク1は、ガラス基板2と、少なくとも磁性層3A,3Bと、を備える。
 なお、磁性層3A,3B以外には、例えば、図示されない付着層、軟磁性層、非磁性下地層、垂直磁気記録層、保護層および潤滑層等が成膜される。付着層には、例えばCr合金等が用いられる。付着層は、ガラス基板2との接着層として機能する。軟磁性層には、例えばCoTaZr合金等が用いられる。非磁性下地層には、例えばグラニュラー非磁性層等が用いられる。垂直磁気記録層には、例えばグラニュラー磁性層等が用いられる。保護層には、水素カーボンからなる材料が用いられる。潤滑層には、例えばフッ素系樹脂等が用いられる。
 磁気ディスク1について、より具体的な例を用いて説明する。本実施形態では、インライン型スパッタリング装置を用いて、ガラス基板2の両主表面に、CrTiの付着層、CoTaZr/Ru/CoTaZrの軟磁性層、CoCrSiOの非磁性グラニュラー下地層、CoCrPt-SiO・TiOのグラニュラー磁性層、水素化カーボン保護膜を順次成膜される。さらに、成膜された最上層にディップ法によりパーフルオロポリエーテル潤滑層が成膜される。
 磁気ディスク1は、例えば7200rpmの回転速度で回転軸を中心として回転する。図1Cに示されるように、ハードディスク装置の磁気ヘッド4A,4Bのそれぞれは、磁気ディスク1の高速回転に伴って、磁気ディスク1の表面から距離Hだけ浮上する。磁気ヘッド4A,4Bが浮上する距離Hは、例えば、5nmである。この状態で、磁気ヘッド4A,4Bは、磁性層に情報を記録し、あるいは読み出しを行う。この磁気ヘッド4A,4Bの浮上によって、磁気ディスク1に対して摺動することなく、しかも近距離で磁性層に対して記録あるいは読み出しを行うことにより、磁気記録情報エリアの微細化と磁気記録の高密度化を実現する。
 このとき、磁気ディスク1のガラス基板2の中央部から外周エッジ部5まで、目標とする表面精度で正確に加工され、距離H=5nmを保った状態で磁気ヘッド4A,4Bを正確に動作させることができる。
 このようなガラス基板2の表面凹凸の加工は、後述するように、取り代の小さい固定砥粒を用いた研削と、その結果、取り代を小さくすることができる第1研磨および第2研磨を経て作製される。したがって、従来の「だれの問題」が解消される。
 このような磁気ディスク1に用いられるガラス基板2の主表面の表面凹凸は、平面度が例えば4μm以下であり、表面の粗さが例えば0.2nm以下である。平面度が4μm以下は、最終製品としての磁気ディスク用基板に求められる目標平面度である。
 平面度は、JIS B0621に規定された平面度を意味し、具体的には、ガラス表面の表面凹凸であって、ガラスブランクの表面を幾何学的平行二平面で挟んだとき、平行二平面の間隔が最小となる場合の二平面間の間隔である。平面度は、例えば、市販のフラットネステスターを用いて測定することができる。
 主表面の粗さ(Ra)は、JIS B 0601に規定された算術平均粗さである。また、主表面の粗さ(Ra)は、原子間力顕微鏡で計測し、JIS R1683:2007で規定される方法で算出できる。
 ここで、図2を参照して、板状ガラスブランク(ガラス素材)やガラス基板における表面凹凸について説明する。図2は、表面凹凸を説明する図である。表面凹凸は、凹凸の波長に応じて概略4つの凹凸によって定めることができる。
 具体的には、表面凹凸は、最も波長が大きなうねり(波長0.6μm~130mm程度)、ウェービネス(波長0.2μm~2mm程度)、マイクロウェービネス(波長0.1μm~1mm)、粗さ(波長10nm以下)に分けられる。
 この中で、うねりは上記平面度を指標として表すことができ、粗さは上記算術平均粗さRaを指標として表すことができる。
 本実施形態における磁気ディスク用ガラス基板の材料として、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ボロシリケートガラスなどを用いることができる。特に、化学強化を施すことができ、また主表面の平面度及び基板の強度において優れた磁気ディスク用ガラス基板を作製することができるという点で、アルミノシリケートガラスを好適に用いることができる。
 本実施形態の磁気ディスク用ガラス基板の組成を限定するものではないが、アルミノシリケートガラスとして、酸化物基準に換算した際に、モル%表示で、SiOを50~75%、Alを1~15%、LiO、NaO及びKOから選択される少なくとも1種の成分を合計で12~35%、MgO、CaO、SrO、BaO及びZnOから選択される少なくとも1種の成分を合計で0~20%、及び、ZrO、TiO、La、Y、Ta、Nb及びHfOから選択される少なくとも1種の成分を合計で0~10%、有する組成からなるアルミノシリケートガラスを用いることが好ましい。
 (2)磁気ディスク用ガラス基板の製造方法
 次に、図3を参照して、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法のフローを説明する。図3は、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法の一実施形態のフローを示す図である。
 図3に示すように、先ず、一対の主表面を有する板状のガラスブランクをプレス成形により作製する(ステップS10)。次に、成形されたガラスブランクをスクライブして、円環状のガラス基板を作製する(ステップS20)。次に、スクライブされたガラス基板に対して形状加工(チャンファリング加工)を行う(ステップS30)。次に、ガラス基板に対して固定砥粒による研削を施す(ステップS40)。次に、ガラス基板の端面研磨を行う(ステップS50)。次に、ガラス基板の主表面に第1研磨を施す(ステップS60)。次に、第1研磨後のガラス基板に対して化学強化を施す(ステップS70)。次に、化学強化されたガラス基板に対して第2研磨を施す(ステップS80)。以上の工程を経て、磁気ディスク用ガラス基板が得られる。
 以下、各工程について、詳細に説明する。
 (a)プレス成形工程(ステップS10)
 先ず、図4を参照して、プレス成形工程について説明する。プレス成形工程は、切断工程とプレス工程とを含む。図4は、プレス成形工程において用いられる装置の平面図である。図4に示されるように、装置101は、4組のプレスユニット120,130,140,150と、切断ユニット160とを備える。切断ユニット160は、溶融ガラス流出口(供給部)111から流出する(供給される)溶融ガラスの経路上に設けられる。切断工程では、切断ユニット160によって溶融ガラスが切断されることにより、溶融ガラスの塊 (以降、ゴブともいう)が鉛直方向下向きに落下する。プレス工程では、プレスユニット120,130,140,150は、塊の落下経路の両側から、互いに対向する一対の型のプレス面でゴブを空中の所定のプレス位置で挟み込みプレス成形することにより、ガラスブランクを成形する。
 図4に示される例では、4組のプレスユニット120,130,140,150は、溶融ガラス流出口111を中心として90度おきに設けられている。
 ここで、溶融ガラス流出口111から流出される際の溶融ガラスの粘度は、500dPa・s~1050dPa・sの範囲内であることが好ましい。
 プレスユニット120,130,140及び150の各々は、図示しない移動機構によって駆動されて、溶融ガラス流出口111に対して進退可能となっている。すなわち、溶融ガラス流出口111の真下に位置するキャッチ位置(図4においてプレスユニット140が実線で描画されている位置)と、溶融ガラス流出口111から離れた退避位置(図4において、プレスユニット120,130及び150が実線で描画されている位置、及びプレスユニット140が破線で描画されている位置)との間で移動可能となっている。
 切断ユニット160は、キャッチ位置(プレスユニットによるゴブの捕獲位置)と溶融ガラス流出口111との間の溶融ガラスの経路上に設けられる。切断ユニット160は、溶融ガラス流出口111から流出される溶融ガラスを適量に切り出してゴブを形成する。切断ユニット160は、鉛直方向に互いにずらして配置され、且つ、水平方向で互いに対向配置された一対の切断刃(上側切断刃161及び下側切断刃162)を有する。各切断刃161,162は、協働して溶融ガラスを切断する。具体的には、各切断刃161,162は、一定のタイミングで溶融ガラスの経路上で交差するよう駆動され、各切断刃161,162が交差したとき、溶融ガラスが切り出されてゴブが得られる。
 また、切断ユニット160には、図5に示すように、切断工程において溶融ガラスLから切り出されたゴブGをキャッチ位置まで案内するための複数の案内部材163が設けられている。各案内部材163は、鉛直方向に延びた形状を有し、各切断刃161,162の下方において溶融ガラス流出口111を中心として所定の間隔で配置されている。また、案内部材163の表面のうちゴブGの落下経路に面する表面は、鉛直方向に沿った平面形状をなしており、落下中のゴブGをキャッチ位置まで案内するようになっている。この場合、ゴブGが各案内部材163に案内されながら落下することにより、溶融ガラスの切断の際の一対の切断刃161,162による押し出しに起因して生じたゴブGの回転モーメントが打ち消され、ゴブGの落下軌道を安定させる(つまり、ゴブGを溶融ガラス流出口111の真下に落下させる)ことができる。このため、後述する一対の型のプレス面におけるゴブGとの最初の接触領域を一定にすることができる。
 複数の案内部材163の各々は、ゴブGの落下経路を介して他の案内部材163と対向するように配置されてもよい。この場合、対向する一対の案内部材163の間隔は、ゴブGが案内部材163に接触しながらキャッチ位置まで落下し得る程度に形成されていればよい。なお、案内部材163は複数設けられなくてもよく、例えば、一つの案内部材163を鉛直方向に延びた筒状に形成し、案内部材163の貫通孔を通じてゴブGを落下させるように配置してもよい。
 ここで、図15を参照して説明したように、溶融ガラスの切断の際に、一対の切断刃のうちの下側切断刃による押し出しによって、ゴブGの中心を通りかつ下側切断刃の駆動方向に対する直交方向に沿う軸を中心に回転する方向へゴブGに回転モーメントが生じる。この回転モーメントによって、ゴブGは落下中に回転する。このため、プレス毎にプレス位置でのゴブGの切断部の位置のばらつきが生じ、ガラスブランクGのシアマーク(切断痕)の位置及び深さの個体間のばらつきが生じ、後の加工工程(研削工程,研磨工程等)でのシアマークの除去が煩雑であった。
 本実施形態では、複数の案内部材163を設けたことにより、図5に示すように、ゴブGを、各案内部材163に接触しながら落下させることができる。この場合、切断時にゴブGに生じた回転モーメントは、各案内部材163との接触により打ち消される。このため、図5に示すように、ゴブGは、切断部G1が鉛直上方に常に位置する状態で落下する。これにより、プレス位置でのゴブGの切断部G1の位置のばらつきを低減することができるので、ガラスブランクGのシアマークの位置及び深さの個体間のばらつきを低減することができる。したがって、加工工程でのシアマークの除去が容易になる。
 各案内部材163を構成する材料は特に限定されないが、落下中のゴブGと接触する場合があることから、耐熱性を有することが好ましい。また、各案内部材163は、落下中のゴブGが付着することを防ぐために、ガラスに対する濡れ性が低い材料で構成されることが好ましい。例えば、各案内部材163は、セラミックなどから構成されてもよいし、表面にめっき(例えば金めっきやプラチナめっきなど)加工が施された材料から構成されてもよい。
 図4に戻り、プレスユニット120について説明する。プレスユニット120は、第1の型121と、第2の型122と、第1駆動部123と、第2駆動部124と、を有する。
 第1の型121と第2の型122の各々は、ゴブGをプレス成形するための面を有するプレート状の部材である。この2つの面の法線方向が略水平方向となり、この2つの面が互いに平行に対向するよう配置されている。
 第1駆動部123は、第1の型121を第2の型122に対して進退させる。一方、第2駆動部124は、第2の型122を第1の型121に対して進退させる。第1駆動部123及び第2駆動部124は、第1の型121の面と第2の型122の面とを急速に近接させる機構を有する。第1駆動部123及び第2駆動部124は、例えば、エアシリンダやソレノイドとコイルばねを組み合わせた機構である。
 なお、プレスユニット130,140及び150の構造は、プレスユニット120と同様であるため、説明は省略する。
 プレスユニットの各々は、キャッチ位置に移動した後、第1駆動部と第2駆動部の駆動により、落下するゴブGを第1の型と第2の型の問で挟み込んで所定の厚さに成形すると共に冷却し、円形状のガラスブランクGを作製する。
 ここで、ゴブGの切断部G1は、一対の切断刃161,162と接触した際の熱伝導によって部分的に放熱されているため、ゴブGの表面における他の部分よりも温度が低い状態である。このため、プレスの際に、切断部G1が型のプレス面と接触すると、切断部G1周辺は、他の部分に比べて早く冷え固まるため、ガラスブランクの比較的深い場所(例えば50μm)にシアマークが生じることとなる。
 そこで、プレスユニットの各々は、ゴブGの全表面のうち切断部G1を除く部分と一対の型のプレス面が最初に接触するように、ゴブGをプレス成形することが好ましい。具体的には、ゴブGの切断部G1が鉛直方向真上又は真下となるような位置でプレスするように、一対の型のプレス位置が調節されていればよい。この場合、プレスの際のゴブGの延伸の態様として、ゴブG内部の比較的高温の溶融ガラスが、ゴブGの切断部G1を再加熱して外側へ飛び出す。溶融ガラスの延伸の際に溶融ガラスの切断部とその他の部分との温度差が小さい状態で冷え固まっていくため、ガラスブランク中のシアマークの深さが浅くなる(薄くなる)。このため、研削工程や研磨工程等の加工工程でのシアマークの除去が容易になる。
 つぎに、プレスユニットは退避位置に移動した後、第1の型と第2の型を引き離し、成形されたガラスブランクGを落下させる。
 プレスユニット120,130,140,150の退避位置の下には、それぞれ、第1コンベア171、第2コンベア172、第3コンベア173、第4コンベア174が設けられている。第1~第4コンベア171~174の各々は、対応する各プレスユニットから落下するガラスブランクGを受け止めて図示しない次工程の装置にガラスブランクGを搬送する。
 本実施形態では、プレスユニット120,130,140及び150が、順番にキャッチ位置に移動して、ゴブを挟み込んで退避位置に移動するよう構成されている。このため、各プレスユニットでのガラスブランクGの冷却を待たずに、連続的にガラスブランクGの成形を行うことができる。
 なお、1つのプレスユニット120のみを用いて、連続的にゴブGを挟み込んでガラスブランクGの成形を行うこともできる。この場合、第1の型121と第2の型122は、ゴブGをプレス成形した直後に開放され、次に落下する溶融ガラスの塊をプレス成形する。
 ここで、図6に示される側面図を参照して、本実施形態のプレス成形工程について説明する。図6のS1は、溶融ガラスLと切断ユニット160の各切断刃161,162が接触する前の側面図である。図6のS2は、切断ユニット160の各切断刃161,162が溶融ガラスLを切り出したときの側面図である。図6のS3は、ゴブGが落下する状態を示す側面図である。図6のS4は、プレスユニット120がゴブGをプレス成形している状態の側面図である。
 図6のS1に示されるように、溶融ガラスLは、溶融ガラス流出口111から連続的に流出される。このとき、図6のS2に示されるように、所定のタイミングで上側切断刃161と下側切断刃162を駆動し、溶融ガラスLを切断する。これにより、切断された溶融ガラスは、ゴブGとなる。図6のS2に示される例では、切断ユニット160を駆動する度に、例えば、半径10mm程度のゴブGが形成されるように、溶融ガラスLの時間当たりの流出量や切断ユニット160の駆動間隔が調整される。
 ここで、切断された時点(溶融ガラスLから切り離された時点)のゴブGの形状は、そのゴブGの鉛直方向の中心を通る水平面に対して上下非対称な形状である。なお、切断された時点のゴブGの水平投影面における鉛直方向の最長寸法と、鉛直投影面における水平方向の最長寸法の比は、例えば1:1.5~3である。このようなゴブGの形状に場合に特に落下の不安定化が生じやすい。また、ゴブGの重量は、7~15gである。
 作られたゴブGは、図6のS3に示されるように、プレスユニット120の第1の型121と第2の型122の隙間に向かって落下する。このとき、ゴブGが各案内部材163に接触しながら落下することにより、ゴブGの落下軌道が安定化される。そして、ゴブGが第1の型121と第2の型122の隙間に入るタイミングで、第1の型121と第2の型122が互いに近づくように、第1駆動部125及び第2駆動部126が駆動される。これにより、図6のS4に示されるように、第1の型121と第2の型122の間にゴブGが捕獲(キャッチ)される。この場合、ゴブGの落下軌道が安定化されているので、ゴブGと各型121,122のプレス面121a,122aとの最初の接触領域が一定となる。さらに、第1の型121のプレス面121aと第2の型122のプレス面122aとが、所定の間隔にて近接した状態になり、第1の型121のプレス面121aと第2の型122のプレス面122aの間に挟み込まれたゴブGが、薄板状に成形される。
 なお、第1の型121のプレス面121aと第2の型122のプレス面122aの間隔を一定に維持するために、第1の型121のプレス面121a及び第2の型122のプレス面122aの各々には、突起状のスペーサ121b,122bが設けられる。各スペーサ121b,122bが互いに当接することによって、第1の型121のプレス面121aと第2の型122のプレス面122aの間隔は一定に維持されて、板状の空間が作られる。
 第1の型121及び第2の型122には、図示しない温度調節機構が設けられている。第1の型121及び第2の型122の温度は、温度調節機構により、溶融ガラスLの歪点以下の温度に調整されていることが好ましい。
 ゴブGが第1の型121のプレス面121a又は第2の型122のプレス面122aに接触してから、第1の型121と第2の型122とがゴブGを完全に閉じ込める状態になるまでの時間は約0.06秒と極めて短い。このため、ゴブGは極めて短時間の内に第1の型121のプレス面121a及び第2の型122のプレス面122aに沿って広がって略円形状に成形され、さらに、冷却されて非晶質のガラスとして固化する。これによって、ガラスブランクGが作製される。
 なお、本実施形態において成形されるガラスブランクGは、目的とする磁気ディスク用ガラス基板の大きさにもよるが、例えば、直径75~80mm、厚さ約1mmの円形状の板である。
 第1の型121と第2の型122が閉じられた後、プレスユニット120は速やかに退避位置に移動する。続いて、他のプレスユニット130がキャッチ位置に移動し、このプレスユニット130によって、ゴブGのプレスが行われる。
 プレスユニット120が退避位置に移動した後、ガラスブランクGが十分に冷却されるまで(例えば、屈服点よりも低い温度となるまで)、第1の型121と第2の型122は閉じた状態を維特する。この後、第1駆動部123及び第2駆動部124が駆動されて第1の型121と第2の型122が離間し、ガラスブランクGは、プレスユニット120を離れて落下し、下部にあるコンベア171に受け止められる(図4参照)。
 本実施形態では、0.1秒以内(約0.06秒)という極めて短時間の間に第1の型121と第2の型122が閉じられ、第1の型121のプレス面121aと第2の型122のプレス面122aの全体に、略同時に溶融ガラスが接触することになる。このため、第1の型121のプレス面121aと第2の型122のプレス面122aが局所的に加熱されることが抑制され、プレス面121aとプレス面122aに歪みは殆ど生じない。
 また、ゴブGから第1の型121及び第2の型122に熱が移動する前に、ゴブGが円形状に成形されるため、成形されるガラスブランクGの温度分布は略一様となる。このため、溶融ガラスの冷却時、ガラス材料の収縮量の分布は小さく、ガラスブランクGの歪みが発生しにくい。したがって、作製されたガラスブランク材Gの主表面の平面度は、従来のプレス成形により作製されるガラスブランクに比べて向上し、磁気ディスク用ガラス基板として必要な主表面の目標平面度にすることができる。
 また、プレス面121a及びプレス面122aの表面の粗さは、ガラスブランクGの算術平均粗さRaが0.01μm~10μmとなるように、好ましくは、0.01μm~1μmとなるように、調整することができる。
 図7は、図5に示す実施形態の変形例を説明する図である。図7に示すように、複数の案内部材163は、鉛直方向に間隔をおいて設けられてもよい。この場合においても、ゴブGが各案内部材163に接触しながら落下することにより、ゴブGの落下軌道を安定させることができる。また、図8に示すように、案内部材163を上側切断刃161の下面に一体に設けてもよい。この場合、案内部材163は、鉛直下方に延びた形状を有し、一対の切断刃161,162が交差したとき(つまり、溶融ガラスLの切断によりゴブGが得られたとき)に、鉛直下方の先端がキャッチ位置に向くように形成されている。これにより、図8に示すように、ゴブGが案内部材163に接触しながら落下することにより、溶融ガラスの切断の際の一対の切断刃による押し出しに起因して生じたゴブGの回転モーメントを打ち消すことにより、切断後のゴブGの落下の回転を規制することができ、ゴブGの落下軌道を安定させることができる。
 (b)スクライブ工程(ステップS20)
 次に、スクライブ工程について説明する。プレス成形工程の後、スクライブ工程では、成形されたガラスブランクGに対してスクライブが行われる。
 ここでスクライブとは、成形されたガラスブランクGを所定のサイズのリング形状とするために、ガラスブランクGの表面に超鋼合金製あるいはダイヤモンド粒子からなるスクライバにより2つの同心円(内側同心円および外側同心円)状の切断線(線状のキズ)を設けることをいう。2つの同心円の形状にスクライブされたガラスブランクGは、部分的に加熱され、ガラスブランクGの熱膨張の差異により、外側同心円の外側部分および内側同心円の内側部分が除去される。これにより、円環状のガラス基板が得られる。
 なお、ガラスブランクGに対してコアドリル等を用いて円孔を形成することにより円環状のガラス基板を得ることもできる。
 (c)形状加工工程(ステップS30)
 次に、形状加工工程について説明する。形状加工工程では、スクライブ工程後のガラス基板の端部に対するチャンファリング加工(外周端部および内周端部の面取り加工)を含む。チャンファリング加工は、スクライブ工程後のガラス基板の外周端部および内周端部において、ダイヤモンド砥石により面取りを施す形状加工である。面取り角度は、主表面に対して例えば40~50度である。
 (d)固定砥粒による研削工程(ステップS40)
 固定砥粒による研削工程では、遊星歯車機構を備えた両面研削装置を用いて、形状加工工程後のガラス基板の主表面に対して研削加工(機械加工)を行う。両面研削装置は、上下一対の定盤(上定盤および下定盤)を有しており、上定盤および下定盤の間にガラス基板が狭持される。そして、上定盤または下定盤のいずれか一方、または、双方を移動操作させることで、ガラス基板と各定盤とを相対的に移動させることにより、このガラス基板の両主表面を研削することができる。
 (e)端面研磨工程(ステップS50)
 次に、端面研磨工程について説明する。固定砥粒による研削工程後、端面研磨工程では、ガラス基板の端面研磨が行われる。
 端面研磨では、ガラス基板の内周端面及び外周端面に対して、ブラシ研磨により鏡面仕上げを行う。このとき、酸化セリウム等の微粒子を遊離砥粒として含むスラリーが用いられる。端面研磨を行うことにより、ガラス基板の端面での塵等が付着した汚染、ダメージあるいはキズ等の損傷の除去を行うことにより、サーマルアスペリティの発生の防止や、ナトリウムやカリウム等のコロージョンの原因となるイオン析出の発生を防止することができる。
 (f)第1研磨(主表面研磨)工程(ステップS60)
 次に、端面研磨工程後のガラス基板の主表面に第1研磨が施される。第1研磨は、例えば固定砥粒による研削を行った場合に主表面に残留したキズや歪みの除去、あるいは微小な表面凹凸(マイクロウェービネス、粗さ)の調整を目的とする。
 第1研磨工程では、例えば、遊星歯車機構を備えた両面研磨装置を用いて、研磨液を与えながら研磨する。第1研磨工程では、固定砥粒による研削と異なり、固定砥粒の代わりにスラリーに混濁した遊離砥粒を用いる。第1研磨に用いる遊離砥粒として、例えば、スラリーに混濁させた酸化セリウム砥粒、あるいはジルコニア砥粒などが用いられる。両面研磨装置は、上下一対の定盤(上定盤および下定盤)を有しており、上定盤および下定盤の間にガラス基板が狭持される。なお、下定盤の上面及び上定盤の底面には、全体として円環形状の平板の研磨パッドが取り付けられている。そして、上定盤または下定盤のいずれか一方、または、双方を移動操作させることで、ガラス基板と各定盤とを相対的に移動させることにより、このガラス基板の両主表面を研磨することができる。
 (g)化学強化工程(ステップS70)
 次に、第1研磨工程後のガラス基板は化学強化される。
 化学強化液として、例えば硝酸カリウム(60重量%)と硫酸ナトリウム(40重量%)の混合液等を用いることができる。化学強化工程では、化学強化液を例えば300℃~400℃に加熱し、洗浄したガラス基板を例えば200℃~300℃に予熱した後、ガラス基板を化学強化液中に、例えば3時間~4時間浸漬する。この浸漬の際には、ガラス基板の両主表面全体が化学強化されるように、複数のガラス基板が端面で保持されるように、ホルダに収納した状態で行うことが好ましい。
 ガラス基板を化学強化液に浸漬することによって、ガラス基板の表層のリチウムイオン及びナトリウムイオンが、化学強化液中のイオン半径が相対的に大きいナトリウムイオン及びカリウムイオンにそれぞれ置換されることで表層部分に圧縮応力層が形成され、ガラス基板が強化される。
 なお、化学強化処理されたガラス基板は洗浄される。例えば、硫酸で洗浄された後に、純水等で洗浄される。
 (h)第2研磨(最終研磨)工程(ステップS80)
 次に、化学強化工程後のガラス基板に第2研磨が施される。第2研磨工程は、主表面の鏡面研磨を目的とする。第2研磨工程では、例えば、第1研磨工程で用いた両面研磨装置を用いる。このとき、第1研磨工程と異なる点は、遊離砥粒の種類及び粒子サイズが異なることと、樹脂ポリッシャの硬度が異なることである。
 第2研磨工程に用いる遊離砥粒として、例えば、スラリーに混濁させたコロイダルシリカ等の微粒子が用いられる。
 研磨されたガラス基板を中性洗剤、純水、IPA等を用いて洗浄することで、磁気ディスク用ガラス基板が得られる。
 第2研磨工程を実施することは必ずしも必須ではないが、ガラス基板の主表面の表面凹凸のレベルをさらに良好なものとすることができる点で実施することが好ましい。第2研磨工程を実施することで、主表面の粗さ(Ra)を0.1nm以下かつ上記主表面のマイク
ロウェービネス(MW-Rq)を0.1nm以下とすることができる。
 以上説明したように、本実施形態の磁気ディスク用ガラスブランク及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法によれば、切断工程からプレス工程までの間では、プレス位置での各型121,122のプレス面121a,122aにおけるゴブGとの最初の接触領域が一定となるように、ゴブGの落下を案内している。
 これにより、各型121,122のプレス面121a,122a内におけるゴブGとの最初の接触位置の精度を向上させることができる。このため、各型121,122のプレス面121a,122a内の温度分布のプレス毎のばらつきが小さくなり、ガラスブランクGの個体の面内での平面度のばらつきを軽減できるとともに、ガラスブランクGの個体間の平面度ばらつきを軽減できる。この結果、研削工程や研磨工程などの加工工程における加工量設定を容易にすることができ、磁気ディスク用ガラス基板の製造効率を向上させることができる。
 さらにまた、切断された時点のゴブGの形状は、そのゴブGの中心を通る水平面に対して上下非対称な形状であるため、ゴブGが落下中に回転する場合には、各金型121,122のプレス面121a,122a内におけるゴブGとの最初の接触位置がプレスの度にばらつきが生じてしまう。これに対して、本実施形態では、ゴブGの回転が抑えられるため、各金型121,122のプレス面121a,122a内におけるゴブGとの最初の接触位置の精度をより向上させることができ、型のプレス面内の温度分布のプレス毎のばらつきがより小さくなり、ガラスブランクの固体面内の平面度と個体間の平面度とのばらつきをより軽減できる。
 次に、本実施形態について、効果を確認するために、次の実験を行った。
 ゴブの直径を20mm、ゴブの重量を10gとし、図7に示すような複数の案内部材163によってゴブの落下を案内した場合について、100枚のガラスブランクを成形し、プレス時における金型のプレス面の中心位置からのゴブの落下位置のずれの平均値を測定した。なお、落下位置のずれについては、金型のプレス成形面の中心位置に予め形成した凹凸が、ガラスブランクのどの位置に形成されたかを、ガラスブランクの最大径の中心位置からの当該凹凸までの距離を測定して求めた。また、成形されたガラスブランクの平面度を、市販のフラットネステスターを用いて測定し、平面度のばらつきの値を取得した。この結果を例1~3として表1に示す。なお、例1~3のそれぞれは、鉛直方向で隣り合う案内部材間の間隔が異なっている。またこれと同様に、案内部材を用いない場合についても、100枚のガラスブランクを成形し、100枚のプレス時における金型のプレス面の中心位置からのゴブの落下位置のずれの平均値と、成形されたガラスブランクの平面度のばらつき幅とを測定した。この結果を例4として表1に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
 また、例1の場合では、100枚中70枚のガラスブランクで片面30μmの取りしろでシアマークを除去することが出来た。例2の場合では、100枚中97枚のガラスブランクで100μm(片面50μm)の取りしろでシアマークを除去することが出来た。例3の場合では、100枚中全てのガラスブランクで100μmの取りしろでシアマークを除去することが出来た。これに対して、例4の場合には、100μmの取りしろでシアマークを除去することが出来たのは100枚中51枚であった。つまり、押圧力を溶融ガラスに加えずに切断した場合には、ゴブの回転によって、プレスする際に、ゴブの切断部が最初に金型に接して、シアマークが深くなっていたものと考えられる。
 従って、例1~3について、案内部材を用いることによって、ゴブの落下安定性が向上したことが確認され、ガラスブランクの平面度ばらつきの向上とシアマークの深さばらつきの低減が確認された。また、鉛直方向で隣り合う案内部材間の間隔が狭い方が、その間隔が広い場合に比べて、ガラスブランクの平面度のばらつきがより向上する点が確認された。
 (3)変形例1
 以下、上述した実施形態についての変形例1について図9を参照して説明する。図9のS1は、ゴブを作る前の状態を示す図であり、図9のS2は、ゴブGが作られた状態を示す図であり、図9のS3は、ゴブGが落下する状態を示す図であり、図9のS4は、ゴブGをプレス成形してガラスブランクGが作られた状態を示す図である。
 本変形例が実施形態と異なる点は、切断工程からプレス工程までの間では、水平方向に流れる空気の押圧によりゴブGの落下を案内する点にある。具体的に説明すると、各切断刃161,162の下方近傍には、図示しない複数の送風装置が溶融ガラス流出口111を中心として所定の間隔で設けられている。そして、図9のS1に示すように、送風装置から送られた所定量の空気が、溶融ガラス流出口111の真下の位置に向かって水平方向に流れるようになっている。
 次に、図9のS2に示すように、所定のタイミングで上側切断刃161と下側切断刃162を駆動し、溶融ガラスLを切断する。このとき、溶融ガラスLから切り出されたゴブGは、図9のS3に示すように、プレスユニット120の第1の型121と第2の型122の隙間に向かって落下する。この場合、落下中のゴブGの水平方向への移動は、空気により押圧されることで規制される。これにより、ゴブGは溶融ガラス流出口111から真下に落下するように案内されるため、ゴブGの落下軌道を安定させることができる。そして、ゴブGは、図9のS4に示すように、第1の型121と第2の型122とに挟まれてプレス成形されることにより、円形状のガラスブランクGが作製される。なお、空気による押圧力の大きさは、落下中のゴブGの水平方向の移動又は落下中のゴブGの回転が規制される程度であってよい。例えば、風圧が0.5MPa以上で3MPa以下、風量が10L/分~100L/分、空気の温度が室温以上であることが好ましい。
 本変形例では、実施形態と同様に、ゴブGの落下軌道を安定させることができるので、各型121,122のプレス面121a,122a内におけるゴブGとの最初の接触位置の精度を向上させることができる。このため、各型121,122のプレス面121a,122a内の温度分布のプレス毎のばらつきが小さくなり、ガラスブランクGの個体の面内での平面度のばらつきを軽減できるとともに、ガラスブランクGの個体間の平面度ばらつきを軽減できる。この結果、研削工程や研磨工程などの加工工程における加工量設定を容易にすることができ、磁気ディスク用ガラス基板の製造効率を向上させることができる。
 (4)変形例2
 以下、上述した実施形態についての変形例2について説明する。まず、図8に示す構成例では、案内部材163を用いた場合について説明した。これに対して、本変形例では、図8に示す案内部材163を省略し、上側切断刃161の駆動速度と下側切断刃162の駆動速度とを互いに変化させても、図8に示す構成と同様に、ゴブGの回転を規制することができる。具体的に、上側切断刃161の駆動速度を下側切断刃162の駆動速度よりも速くすることによって、下側切断刃162の押し出しにより生じるゴブGの回転モーメントを低減することができ、落下中のゴブGの回転を抑えることができる。以下の表2に上側切断刃161の駆動速度に対して下側切断刃162の駆動速度を変化させた場合の落下位置ずれの平均値とガラスブランクの平面度ばらつきの値を示す。表2には、各例で100枚のガラスブランクを成形した場合の落下位置ずれの平均値、及び100μm(片面50μm)研削した際のシアマーク除去率を示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
 表2に示すように、上側切断刃161の駆動速度を下側切断刃162よりも速めたほうが、ゴブの落下安定性が向上したことが確認され、シアマークの深さばらつきの低減が確認された。
[第2の実施形態]
 次に、第2の実施形態について説明する。
本実施形態の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法は、第1の磁気ディスク用ガラス基板に対して、プレス成形工程のみが異なる。以下では主として、プレス成形工程において第1の実施形態と異なる特徴について説明する。
(1)本実施形態のプレス成形工程
 本実施形態のプレス成形工程において、切断ユニット160には、図10に示すように、切断工程において切り出される溶融ガラスLを、溶融ガラスLの経路上で押さえるための一対の押さえ部材(第1の押さえ部材163及び第2の押さえ部材164)が設けられている。各押さえ部材161,162は、各切断刃161,162の下方近傍に設けられており、溶融ガラス流出口111の真下の位置を中心として水平方向に互いに対向配置されている。各押さえ部材163,164は、図示しない移動機構によって駆動され、各押さえ部材163,164間の中心(つまり、溶融ガラス流出口111の真下の位置)に対して水平方向に進退可能となっている。
 各押さえ部材163,164は、溶融ガラスLが各切断刃161,162によって切断される際、各押さえ部材163,164間の中心に向かって移動し、溶融ガラス流出口111と繋がった状態の溶融ガラスLに当接して水平方向に向けた押圧力を加える。この押圧力の大きさは、溶融ガラスLの水平方向の移動が規制される程度であってよい。また、溶融ガラスLが切り出されてゴブが得られると、各押さえ部材163,164は互いに離間する方向に移動する。このとき、ゴブは、キャッチ位置に向かって落下する。この場合、溶融ガラスLの切断時に各切断刃161,162から押圧されることに基づく回転モーメントがゴブ(各押さえ部材163,164から押圧されている部分を含む)に生じ難くなる。このため、ゴブの落下安定性(すなわち、回転及び落下軌道の安定性)が向上する。
 また、溶融ガラスLが各押さえ部材163,164によって押さえられた状態で切断されることにより、溶融ガラスLが押さえられていない状態で切断される場合と比較して、溶融ガラスLの切断具合が良好となる。このため、溶融ガラスLの切断時における各切断刃161,162の負荷を低減することができるので、各切断刃161,162の使用可能期間を長期化することができ、各切断刃161,162の交換に係るコストなどを低減することができる。
 各押さえ部材163,164を構成する材料は特に限定されないが、溶融ガラスLに当接して押圧する必要があることから、溶融ガラスLの熱を奪わない耐熱性を有することが好ましい。また、各押さえ部材163,164は、溶融ガラスLから切り出されたゴブを落下させる際にゴブが付着することを防ぐために、ガラスに対する濡れ性が低い材料で構成されることが好ましい。ガラスの濡れ性については、例えば、各押さえ部材163,164は、セラミックなどから構成されてもよいし、表面にめっき(例えば金めっきやプラチナめっきなど)加工が施された材料から構成されてもよい。
 また、各押さえ部材163,164の溶融ガラスLに当接する部分の面積は、各押さえ部材163,164を介して放出される溶融ガラスLの熱量を低減するという観点から、小さく形成されることが好ましい。
 次に、図11に示される側面図を参照して、本実施形態のプレス成形工程について説明する。図11のS1は、溶融ガラスLと切断ユニット160の各切断刃161,162が接触する前の側面図である。図11のS2は、切断ユニット160の各切断刃161,162が溶融ガラスLを切り出したときの側面図である。図11のS3は、切断ユニット160の各押さえ部材163,164が互いに離間する方向に移動したときの側面図である。図11のS4は、プレスユニット120が溶融ガラスの塊Gをプレス成形している状態の側面図である。
 図11のS1に示されるように、溶融ガラスLは、溶融ガラス流出口111から連続的に流出される。このとき、各押さえ部材163,164は互いに近接するように水平方向に移動し、溶融ガラスLに当接して水平方向に押圧する。これにより、溶融ガラスLの水平方向への移動が規制される。図11のS2に示されるように、所定のタイミングで上側切断刃161と下側切断刃162を駆動し、溶融ガラスLを切断する。これにより、切断された溶融ガラスがゴブGとなる。図11のS2に示される例では、切断ユニット160を駆動する度に、例えば、半径10mm程度のゴブGが形成されるように、溶融ガラスLの時間当たりの流出量や切断ユニット160の駆動間隔が調整される。
 ここで、切断された時点(溶融ガラスLから切り離された時点)のゴブGの形状は、そのゴブGの鉛直方向の中心を通る水平面に対して上下非対称な形状である。なお、切断された時点のゴブGの鉛直水平投影面における鉛直方向の最長寸法と、その鉛直投影面における水平方向の最長寸法の比は、例えば1:1.5~3である。このようなゴブGの形状に場合に特に落下の不安定化が生じやすい。また、ゴブGの重量は、7~15gである。
 作られたゴブGは、図11のS3に示されるように、各押さえ部材163,164が互いに離間するように水平方向に移動することによって、プレスユニット120の第1の金型121と第2の金型122の隙間に向かって落下する。このとき、ゴブGが第1の金型121と第2の金型122の隙間に入るタイミングで、第1の金型121と第2の金型122が互いに近づくように、第1駆動部125及び第2駆動部126が駆動される。これにより、図11のS4に示されるように、第1の金型121と第2の金型122の間にゴブGが捕獲(キャッチ)される。さらに、第1の金型121のプレス面121aと第2の金型122のプレス面122aとが、所定の間隔にて近接した状態になり、第1の金型121のプレス面121aと第2の金型122のプレス面122aの間に挟み込まれたゴブGが、薄板状に成形される。
 図12は、図11に示す実施形態の変形例を説明する図である。この変形例では、第1の押さえ部材163が上側切断刃161と一体に設けられ、且つ、第2の押さえ部材164が下側切断刃162と一体に設けられている。図12のS1は、ゴブを作る前の状態を示す図であり、図12のS2は、各押さえ部材163,164によって溶融ガラスLの水平方向への移動が規制された状態でゴブGが作られた状態を示す図であり、図12のS3は、各押さえ部材163,164が離間するように切断ユニット160が駆動されることによりゴブGが落下する状態を示す図であり、図12のS4は、ゴブGをプレス成形してガラスブランクGが作られた状態を示す図である。
 図12のS1に示すように、溶融ガラスLは、溶融ガラス流出口111から連続的に流出される。次に、図12のS2に示すように、所定のタイミングで上側切断刃161と下側切断刃162を駆動し、溶融ガラスLを切断する。このとき、溶融ガラスLから切り出されたゴブGは、各切断刃161,162に設けられた各押さえ部材163,164によって保持された状態となっている。この後、図12のS3に示すように、各押さえ部材163,164が互いに離間するように水平方向に移動することによって、ゴブGは、プレスユニット120の第1の金型121と第2の金型122の隙間に向かって落下する。そして、ゴブGは、図12のS4に示すように、第1の金型121と第2の金型122とに挟まれてプレス成形されることにより、円形状のガラスブランクGが作製される。
 以上説明したように、本実施形態の磁気ディスク用ガラスブランク及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法によれば、プレス成形工程の切断工程において、溶融ガラスLの水平方向への移動を規制するように、水平方向に向けた押圧力をガラス流出口111(供給部)と繋がった状態の溶融ガラスLに加えた状態(押さえた状態)で、溶融ガラスLを切断している。
 これにより、溶融ガラスLの切断時に各切断刃161,162から押圧されることに基づく回転モーメントがゴブGに生じ難くなる。このため、ゴブGの落下安定性(すなわち、回転及び落下軌道の安定性)が向上する。
 また、ゴブGの落下安定性が向上するため、各金型121,122のプレス面121a,122a内におけるゴブGとの最初の接触位置の精度を向上させることができる。このため、各金型121,122のプレス面121a,122a内の温度分布のプレス毎のばらつきが小さくなり、ガラスブランクGの個体間の平面度のばらつきを軽減できる。この結果、加工工程における加工量設定を容易にすることができ、磁気ディスクの製造効率を向上させることができる。
 さらに、ガラスブランクGのシアマークの位置及び深さの個体間のばらつきが低減し、加工工程でのシアマークの除去が容易になる。
 さらにまた、切断された時点のゴブGの形状は、そのゴブGの中心を通る水平面に対して上下非対称な形状であるため、ゴブGが落下中に回転する場合には、各金型121,122のプレス面121a,122a内におけるゴブGとの最初の接触位置がプレスの度にばらつきが生じてしまう。これに対して、本実施形態では、ゴブGの回転が抑えられるため、各金型121,122のプレス面121a,122a内におけるゴブGとの最初の接触位置の精度をより向上させることができ、型のプレス面内の温度分布のプレス毎のばらつきがより小さくなり、ガラスブランクの固体面内の平面度と個体間の平面度とのばらつきをより軽減できる。
 次に、本実施形態について、効果を確認するために、次の実験を行った。
 ゴブの直径を20mm、ゴブの重量を10gとし、ガラス流出口と繋がった状態の溶融ガラスに押さえ部材により押圧力を溶融ガラスに加えて切断した場合について、100枚のガラスブランクを成形し、プレス時における金型のプレス面の中心位置からのゴブの落下位置のずれの平均値を測定した。なお、落下位置のずれについては、金型のプレス成形面の中心位置に予め形成した凹凸が、ガラスブランクのどの位置に形成されたかを、ガラスブランクの最大径の中心位置からの当該凹凸までの距離を測定して求めた。
 また、成形されたガラスブランクの平面度を、市販のフラットネステスターを用いて測定し、100枚のガラスブランクの平面度のばらつきの値を取得した。これと同様に、ガラス流出口と繋がった状態の溶融ガラスに押圧力を加えない状態で切断した場合についても、100枚のガラスブランクを成形し、プレス時における金型のプレス面の中心位置からのゴブの落下位置のずれの平均値と、成形されたガラスブランクの平面度のばらつきの値とを測定した。
 その結果、押圧力を溶融ガラスに加えて切断した場合には、ゴブの落下位置のずれの平均値が4mmであり、ガラスブランクの平面度のばらつきは10μmであった。また、押圧力を溶融ガラスに加えて切断した場合には、100枚全て100μm(片面50μm)の取りしろでシアマークを除去することが出来た。これに対して、押圧力を溶融ガラスに加えずに切断した場合には、ゴブの落下位置のずれの平均値が25mmであり、ガラスブランクの平面度のばらつきは50μmであった。また、押圧力を溶融ガラスに加えずに切断した場合には、100μm(片面50μm)の取りしろでシアマークを除去することが出来たのは100枚中51枚であった。つまり、押圧力を溶融ガラスに加えずに切断した場合には、ゴブの回転によって、プレスする際に、ゴブの切断部が最初に金型に接して、シアマークが深くなっていたものと考えられる。
 従って、本実施形態について、ゴブの落下安定性が向上したことが確認され、ガラスブランクの平面度ばらつきの向上とシアマークの深さばらつきの低減が確認された。
 (2)変形例
 以下、上述した実施形態についての変形例について説明する。
 (2-1)変形例1
 上述した実施形態の変形例1について図13を参照して説明する。図13のS1は、溶融ガラスLと各切断刃161,162が接触する前の平面図であり、図13のS2は、溶融ガラスLと各切断刃161,162が接触するタイミングの平面図である。
 本変形例が実施形態と異なる点は、切断工程において、各押さえ部材163,164を用いることなく、溶融ガラスLの水平方向への移動を規制するように構成した点にある。具体的に説明すると、図13のS1に示すように、下側切断刃162における溶融ガラスLとの接触面162a(接触部位)は、溶融ガラスの水平方向の変位を押さえるように、上側切断刃161から離れる方向へ向けて凸となるように湾曲し、鉛直方向に厚みをもつように構成されている。
 この場合、図13のS2に示すように、下側切断刃162の接触面162aで溶融ガラスLと接し、下側切断刃162が溶融ガラスLと接した状態で上側切断刃161との協働により溶融ガラスLが切断される。このとき、下側切断刃162と溶融ガラスLとの接触面積が比較的大きいため、下側切断刃162の接触面162aによって切り出されたゴブGの水平方向への移動が規制され、切断工程での回転モーメントがゴブGに発生しにくくなる。このため、ゴブの落下中の回転が押さえられ、ゴブの落下安定性が向上する。
 (2-2)変形例2
 上述した実施形態の変形例2について図14を参照して説明する。図12のS1は、ゴブを作る前の状態を示す図であり、図14のS2は、溶融ガラスLの水平方向への移動が規制された状態でゴブGが作られた状態を示す図であり、図14のS3は、ゴブGが落下する状態を示す図であり、図14のS4は、ゴブGをプレス成形してガラスブランクGが作られた状態を示す図である。
 本変形例が実施形態と異なる点は、切断工程において、溶融ガラスLが水平方向に流れる空気によって押圧された状態で、溶融ガラスLを切断するように構成した点にある。具体的に説明すると、各切断刃161,162の下方近傍には、図示しない複数の送風装置が溶融ガラス流出口111を中心として所定の間隔で設けられている。そして、図14のS1に示すように、送風装置から送られた所定量の空気が、溶融ガラス流出口111の真下の位置に向かって水平方向に流れるようになっている。この場合、溶融ガラスLが空気によって所定の押圧力を受けることにより、溶融ガラスLの水平方向への移動が規制される。なお、空気による押圧力の大きさは、溶融ガラスLの水平方向の移動が規制される程度であってよい。
 次に、図14のS2に示すように、所定のタイミングで上側切断刃161と下側切断刃162を駆動し、溶融ガラスLを切断する。このとき、溶融ガラスLから切り出されたゴブGは、空気によって水平方向への移動が規制され、図14のS3に示すように、プレスユニット120の第1の金型121と第2の金型122の隙間に向かって落下する。そして、ゴブGは、図14のS4に示すように、第1の金型121と第2の金型122とに挟まれてプレス成形されることにより、円形状のガラスブランクGが作製される。
 本変形例では、実施形態と同様に、プレス成形工程の切断工程において、溶融ガラスLの水平方向への移動を規制するように、水平方向に向けた押圧力をガラス流出口111(供給部)と繋がった状態の溶融ガラスLに加えた状態で、溶融ガラスLを切断している。
 これにより、溶融ガラスLの切断時に各切断刃161,162から押圧されることに基づく回転モーメントがゴブGに生じ難くなる。このため、ゴブGの落下安定性(すなわち、回転及び落下軌道の安定性)が向上する。
 以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法および磁気ディスク用ガラス基板の製造方法は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのは勿論である。
 なお、上記実施形態では、空中の所定のプレス位置でゴブをプレスする構成について説明したが、本発明はこの例に限定されるものではなく、ゴブを落下させてプレスする構成であれば、本発明を適用することができる。例えば、一方の金型でゴブを受けて、その後プレスするような構成であっても、本発明を適用することができる。

Claims (13)

  1.  一対の主表面を有する磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法であって、
     水平方向に互いに対向配置され、かつ鉛直方向に互いにずらして配置された一対の切断刃の協働により溶融ガラスの供給部から供給される溶融ガラスを切断し、その切断してなる溶融ガラスの塊を落下させる切断工程と、
     前記切断工程の後に、前記溶融ガラスの塊を所定のプレス位置で一対の型のプレス面によってプレス成形することにより、ガラスブランクを成形するプレス工程と、
     を含み、
     前記切断工程から前記プレス工程までの間では、前記溶融ガラスの切断の際の前記一対の切断刃による押し出しに起因して生じた溶融ガラスの塊の回転モーメントを打ち消すように、前記プレス位置へ前記塊の落下を案内する
     ことを特徴とする磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法。
  2.  一対の主表面を有する磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法であって、
     水平方向に互いに対向配置され、かつ鉛直方向に互いにずらして配置された一対の切断刃の協働により溶融ガラスの供給部から供給される溶融ガラスを切断し、その切断してなる溶融ガラスの塊を落下させる切断工程と、
     前記切断工程の後に、前記溶融ガラスの塊を所定のプレス位置で一対の型のプレス面によってプレス成形することにより、ガラスブランクを成形するプレス工程と、
     を含み、
     前記切断工程から前記プレス工程までの間では、前記溶融ガラスの切断の際の前記一対の切断刃による押し出しに起因して生じた溶融ガラスの塊の回転モーメントを打ち消すことにより、切断後の前記塊の落下の回転を規制する
     ことを特徴とする磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法。
  3.  一対の主表面を有する磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法であって、
     水平方向に互いに対向配置され、かつ鉛直方向に互いにずらして配置された一対の切断刃の協働により溶融ガラスの供給部から供給される溶融ガラスを切断し、その切断してなる溶融ガラスの塊を落下させる切断工程と、
     前記切断工程の後に、前記溶融ガラスの塊を所定のプレス位置で一対の型のプレス面によってプレス成形することにより、ガラスブランクを成形するプレス工程と、
     を含み、
     前記切断工程から前記プレス工程までの間では、前記溶融ガラスの切断の際の前記一対の切断刃による押し出しに起因して生じた溶融ガラスの塊の回転モーメントを打ち消すように、前記一対の切断刃のうちの上側に配置された切断刃の駆動速度を、下側に配置された切断刃よりも速めることにより、切断後の前記塊の落下の回転を規制する
     ことを特徴とする磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法。
  4.  前記プレス工程では、前記切断工程で切断されてなる落下中の前記溶融ガラスの塊を、前記落下方向の両側から前記一対の型でプレスする請求項1~3のいずれか1項に記載の磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法。
  5.  前記切断工程から前記プレス工程までの間では、水平方向に流れる空気の押圧により前記塊の落下を案内する
     ことを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法。
  6.  一対の主表面を有する磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法であって、
     水平方向で互いに対向配置され、鉛直方向で互いにずらして配置された一対の切断刃の協働により溶融ガラスの供給部から供給される溶融ガラスを切断し、その切断してなる溶融ガラスの塊を落下させる切断工程と、
     前記切断工程の後に、前記溶融ガラスの塊を一対の型のプレス面によってプレス成形することにより、ガラスブランクを成形するプレス工程と、
     を含み、
     前記切断工程では、前記溶融ガラスの切断の際の前記一対の切断刃による押し出しに起因する前記溶融ガラスの水平方向への移動を規制するように、水平方向に向けた押圧力を前記供給部と繋がった状態の前記溶融ガラスに加えた状態で、前記溶融ガラスを切断する
     ことを特徴とする磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法。
  7.  前記プレス工程では、前記切断工程で切断されてなる落下中の前記溶融ガラスの塊を、前記落下方向の両側から前記一対の型でプレスする請求項6に記載の磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法。
  8.  前記切断工程では、前記一対の切断刃の近傍に設けられた押さえ部材によって、前記溶融ガラスを押さえる
     ことを特徴とする請求項6又は7記載の磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法。
  9.  前記一対の切断刃は、鉛直方向で互いにずらして配置されかつ水平方向で互いに対向配置された上側切断刃及び下側切断刃であり、
     前記下側切断刃における前記溶融ガラスとの接触部位は、前記溶融ガラスの水平方向の変位を押さえるように、前記上側切断刃から離れる方向へ向けて凸となるように湾曲し、鉛直方向に厚みをもつように構成されている
     ことを特徴とする請求項6又は7記載の磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法。
  10.  前記切断工程では、前記溶融ガラスが水平方向に流れる空気によって押圧された状態で、前記溶融ガラスを切断する
     ことを特徴とする請求項6又は7記載の磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法。
  11.  前記プレス工程で、前記塊の全表面のうち切断部位を除く部分と前記一対の型のプレス面が最初に接触するように、前記溶融ガラスの塊をプレス成形すべく、予めプレス位置が調整されている
     ことを特徴とする請求項1~10のいずれか1項に記載の磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法。
  12.  溶融ガラス流出口から流出される際の前記溶融ガラスの粘度が、500dPa・s~1050dPa・sの範囲内である、請求項1~11のいずれか1項に記載の磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法。
  13.  請求項1~12のいずれか1項に記載の磁気ディスク用ガラスブランクの製造方法により製造された磁気ディスク用ガラスブランクを用いて、磁気ディスク用ガラス基板を製造することを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
     
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