WO2013105213A1 - リニアモータ - Google Patents

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WO2013105213A1
WO2013105213A1 PCT/JP2012/050263 JP2012050263W WO2013105213A1 WO 2013105213 A1 WO2013105213 A1 WO 2013105213A1 JP 2012050263 W JP2012050263 W JP 2012050263W WO 2013105213 A1 WO2013105213 A1 WO 2013105213A1
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WO
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coil
heat transfer
linear motor
outer peripheral
peripheral surface
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山田　修平
政利 藤田
良 永田
武洋 井土
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富士機械製造株式会社
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    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
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    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
    • H02K41/031—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
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    • H02K9/22—Arrangements for cooling or ventilating by solid heat conducting material embedded in, or arranged in contact with, the stator or rotor, e.g. heat bridges
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    • H02K9/22—Arrangements for cooling or ventilating by solid heat conducting material embedded in, or arranged in contact with, the stator or rotor, e.g. heat bridges
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    • H02K9/22—Arrangements for cooling or ventilating by solid heat conducting material embedded in, or arranged in contact with, the stator or rotor, e.g. heat bridges
    • H02K9/223—Heat bridges

Definitions

  • the present invention relates to a structure for cooling a coil of a linear motor.
  • a linear motor is used for a moving device that moves a mounting head of an electronic component mounting apparatus.
  • a linear motor is comprised from the needle
  • this linear motor is a heat transfer member that is attached in contact with the outer peripheral surface of the coil and dissipates the heat generated in the coil, thereby preventing the coil from accumulating and preventing the coil from burning. is doing.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a linear motor with improved cooling performance.
  • An invention of a linear motor according to claim 1 that solves the above-described problem is a stator having a plurality of magnetic force generating members provided in series, and wound around the outside of the stator and connected in the axial direction of the stator.
  • a plurality of coils provided, and a mover having a heat transfer member attached in contact with the outer peripheral surface of each coil and movably attached to the stator.
  • a linear motor wherein a pair of contact surfaces facing each other is formed, and the heat transfer member and the coil are sandwiched between the pair of contact surfaces, and the heat transfer member is disposed on the outer peripheral surface of the coil.
  • a housing that is pressure-bonded to the housing.
  • the heat transfer member is pressure-bonded to the outer peripheral surface of the coil when the pair of contact surfaces sandwich the heat transfer member and the coil. Thereby, it can prevent that a clearance gap opens between the outer peripheral surface of a coil, and the internal peripheral surface of a heat transfer member. For this reason, the heat generated in the coil can be reliably radiated through the heat transfer member, and the cooling performance of the linear motor can be improved.
  • the coil has a cylindrical shape.
  • the cross-sectional shape of the outer peripheral surface of the magnetic force generating member is a circular shape, the coil distance is equal to the magnetic force generating member regardless of the circumferential position of the magnetic force generating member, and the efficiency of the linear motor is improved. To do.
  • the invention according to claim 3 is the spacer member according to claim 1 or 2, wherein the spacer member fills a gap between the heat transfer member and the contact surface between the heat transfer member and the contact surface. Is sandwiched. Thereby, a heat transfer member can be reliably pressed on the outer peripheral surface of a coil with a pair of contact surface, and a heat transfer member can be reliably crimped
  • the spacer member has elasticity. Therefore, even if the shape of the outer peripheral surface of each coil differs depending on each coil, the difference in the shape of each coil can be absorbed by the spacer member having elasticity, and the heat transfer member is surely attached to the outer peripheral surface of the coil. Can be crimped to.
  • the spacer member has a wedge shape that gradually decreases in thickness toward the distal end side in the insertion direction.
  • the casing is filled with a resin surrounding the heat transfer member and the outer peripheral surface of the coil.
  • the heat transfer member is crimped to the outer peripheral surface of the coil, and then the resin is filled in the housing. Even if it exists, the state with which the heat-transfer member was closely_contact
  • a heat transfer material having insulation and flexibility is sandwiched between the outer peripheral surface of the coil and the heat transfer member.
  • the heat transfer material since the heat transfer material has flexibility, the heat transfer material comes into close contact with the outer circumferential surface of the concavo-convex coil. For this reason, the heat generated in the coil is reliably transmitted to the heat transfer member.
  • the heat transfer material since the heat transfer material has an insulating property, it is not necessary to provide an insulating member between the heat transfer member and the outer peripheral surface of the coil, and the step of arranging the insulating member can be omitted. Cost can be reduced.
  • the invention according to claim 8 is the invention according to claims 1 to 6, wherein a flexible heat transfer material and an insulating sheet having insulation properties are sandwiched between the outer peripheral surface of the coil and the heat transfer member. Yes.
  • the heat transfer material does not need to have insulating properties.
  • a material having high thermal conductivity such as thermal conductive grease in which a metal filler is dispersed can be used as the heat transfer material, and the thermal conductivity between the outer peripheral surface of the coil and the heat transfer member is improved. Can do.
  • the heat transfer member is encapsulated with an insulating tape having insulation properties, and the outer periphery of the coil and the insulating tape encapsulating the heat transfer member A flexible heat transfer material is sandwiched between the surfaces.
  • the heat transfer material does not need to have insulating properties.
  • a material having high thermal conductivity such as thermal conductive grease in which a metal filler is dispersed can be used as the heat transfer material, and the thermal conductivity between the outer peripheral surface of the coil and the heat transfer member is improved. Can do.
  • the insulating tape encapsulates the smooth heat transfer member, not only air does not enter between the heat transfer member and the insulating tape, but also the insulating tape encapsulating the heat transfer member. Moreover, since it is smooth, air does not enter between an insulating tape and a heat transfer member. For this reason, the thermal conductivity between the outer peripheral surface of the coil and the heat transfer member can be improved.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. It is a figure showing the manufacturing process of a needle
  • the linear motor 100 according to the first embodiment of the present invention is used in a moving device that moves the mounting head of the electronic component mounting apparatus.
  • the configuration of the electronic component mounting apparatus is described in Patent Document 1 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-172070. Since it is disclosed and well known, the description is omitted.
  • the linear motor 100 is a three-phase linear motor, and includes a stator 10 and a mover 20 movably attached to the stator 10 as shown in FIG.
  • the stator 10 is mounted on the base of the electronic component mounting apparatus, the mounting head is attached to the movable element 20 and a linear guide (not shown), and the mounting head which is a moving member is preset with respect to the base. It is movable along the route.
  • the stator 10 includes a cylindrical pipe 12 and a plurality of columnar permanent magnets 11 housed in the pipe 12.
  • the pipe 12 is made of a nonmagnetic material (stainless steel or the like) that transmits the magnetic flux of each permanent magnet 11.
  • the permanent magnets 11 are connected in a straight line in the pipe 12 so that the S poles and N poles of the adjacent permanent magnets 11 face each other with a spacer (not shown) described later interposed therebetween.
  • a flat cylindrical spacer (not shown) made of a magnetic material such as iron is sandwiched between adjacent permanent magnets 11. This spacer serves as a yoke.
  • the mover 20 includes a bobbin 21, a plurality of coils 22, a casing 29, and a cooling member 35.
  • the bobbin 21 is a nonmagnetic material such as a cylindrical resin, and the stator 10 is inserted through the bobbin 21.
  • the plurality of coils 22 are wound around the outer peripheral surface of the bobbin 21, and a plurality of coils 22 are provided at predetermined intervals in the axial direction of the bobbin 21. In other words, the plurality of coils 22 are wound around the outer side of the stator 10 and are provided continuously in the axial direction of the stator 10.
  • the cooling member 35 includes a heat transfer member 36 and a heat radiating member 37, and is formed of a metal such as aluminum or copper having high thermal conductivity.
  • the heat transfer member 36 is a heat pipe that is hollow inside and that contains a working fluid and a mesh-like wick.
  • the heat transfer member 36 has an arc-shaped heat collecting portion 36a that is in contact with the outer peripheral surface of each coil 22, and a direction (outside) away from the center of the coil 22 from one end of the heat collecting portion 36a. It is comprised from the thermal radiation part 36b extended.
  • the heat radiating part 36b is located on the upper part (including the upper or upper end and the horizontal position) of the heat collecting part 36a.
  • the working fluid evaporated in the heat collecting section 36a is reliably moved to the heat radiating section 36b, and the working liquid aggregated in the heat radiating section 36b is reliably returned to the heat collecting section 36a by its own weight.
  • the working fluid since the working fluid repeatedly circulates between the heat collecting section 36a and the heat radiating section 36b by repeatedly evaporating and aggregating, the heat generated in the coil 22 can be reliably radiated by the heat radiating member 37.
  • a heat transfer material 23 such as an insulating and flexible silicon resin or heat conductive grease is sandwiched between each heat collecting portion 36 a and each coil 22.
  • the outer peripheral surface of the coil 22 is covered with the heat transfer material 23 over the entire circumference, but the heat transfer material 23 is sandwiched only between the heat collecting portions 36 a and the coils 22.
  • the embodiment may be used.
  • the radius of curvature inside the heat collecting portion 36 a is slightly smaller than the radius of curvature of the heat transfer material 23 covering the coil 22. For this reason, the inner peripheral surface of the heat collecting part 36 a is in close contact with the heat transfer material 23.
  • a heat radiating member 37 is attached to the heat radiating portion 36b.
  • the heat radiating member 37 includes a large number of fins 37a connected to the heat radiating portion 36b.
  • a fan 32 is provided at an end of the heat radiating member 37, and the heat radiating member 37 is covered with a duct (not shown). Air is blown into the heat radiating member 37 by the fan 32 to cool the heat radiating member 37.
  • the housing 29 is composed of a pair of contact surfaces 29a and 29b facing each other and a connection plate 29c connecting the lower ends of the contact surfaces 29a and 29b.
  • the coil 22 and the heat transfer member 36 are accommodated in the housing 29 in a state of being sandwiched between the contact surfaces 29 a and 29 b.
  • a plate-like spacer member 25 that fills the gap between the heat collection portion 36 a and the contact surface 29 a is provided between the heat collection portion 36 a and the contact surface 29 a. It is sandwiched by press-fitting.
  • the spacer member 25 is made of rubber (silicone resin) or the like having elasticity (flexibility). The thickness of the spacer member 25 is larger than the dimension of the gap between the heat collecting portion 36a and the contact surface 29a.
  • thermosetting resin 39 is filled in the housing 29 so as to surround the heat collecting portion 36 a and the outer peripheral surface of the coil 22.
  • the thermosetting resin 39 is filled in a gap between the coils 22 or a gap between the coil 22 and the heat collecting portion 36a.
  • Terminal members 28 are attached to both sides of the casing 29, and the side surfaces of the coils 22 at both ends are in contact with the terminal members 28.
  • the plurality of coils 22 are, in order, U phase, V phase, W phase, U phase, V phase, W phase, and so on.
  • thrust is generated in the mover 20 due to the interaction between the magnetic force of the permanent magnet 11 and the magnetic force of the coil 22.
  • the mover 20 moves relative to the stator 10.
  • the coil 22 generates heat, but as described above, the heat generated in the coil 22 is radiated by the cooling member 35.
  • FIG. 4 (Description of the manufacturing method of the needle
  • the bobbin 21 to which the coil 22, the heat transfer material 23, and the cooling member 35 are attached is housed in a housing 29, and the spacer member 25 is interposed between the heat collecting portion 36 a and the contact surface 29 a.
  • the jig 50 is set.
  • the jig 50 includes a rod 51 that is inserted into the bobbin 21, and a proximity mechanism 52 that brings the rod 51 and the contact surface 29a close to each other.
  • the proximity mechanism 52 includes a connecting member 53 that is attached to both ends of the rod 51, a plate 54 that is in close contact with the outer surface of the contact surface 29a, and a bolt 55.
  • a bolt hole 53 a is formed in the connecting member 53 at a position facing the plate 54.
  • a through hole 54a is formed in the plate 54 at a position facing the bolt hole 53a.
  • the rod 51 After housing the bobbin 21 in the housing 29, the rod 51 is inserted into the bobbin 21, the connecting members 53 are attached to both ends of the rod 51, and the plate 54 is brought into close contact with the contact surface 29a. Then, after the bolt 55 is inserted into the through hole 54 a, the bolt 55 is screwed into the bolt hole 53 a and the bolt 55 is tightened, the rod 51 and the plate 54 come close to each other, and the bobbin 21 and the contact surface 29 a are connected to the rod 51. Compressed by plate 54.
  • the contact surface 29a is slightly deformed to the bobbin 21 side, the heat collecting portion 36a is pressed to the coil 22 side by the contact surface 29a via the spacer member 25, and the heat collection portion 36a is brought to the outer peripheral surface of the coil 22.
  • a pressure is applied to the coated heat transfer material 23.
  • the rod 51 passes through the through hole 28a formed in the terminal member 28. However, since the inner diameter of the through hole 28a is larger than the outer diameter of the rod 51, the movement of the rod 51 is inhibited by the terminal member 28. Not.
  • thermosetting resin 39 is injected and filled in the housing 29, and after the thermosetting resin 39 is thermoset, the jig 50 is removed. Even when the jig 50 is removed from the mover 20, the heat collecting portion 36 a is kept in close contact with the heat transfer material 23 by the thermosetting resin 39 that has been thermoset. Each coil 22 is firmly fixed to the bobbin 21.
  • the spacer member 25 having elasticity is used, but a rigid spacer member 25 having a width substantially the same as the width of the heat collecting portion 36a may be used.
  • a plurality of types of spacer members 25 having different thicknesses are prepared, and the spacer members 25 having different thicknesses are selected according to the gap between the outer peripheral surface of each coil 22 and the contact surface 29a. 25 is press-fitted between the outer peripheral surface of the coil 22 and the contact surface 29 a, and the heat collecting portions 36 a are pressed against the heat transfer material 23.
  • the spacer member 26 of the second embodiment is a rigid body and has a wedge shape whose thickness gradually decreases toward the distal end side in the insertion direction.
  • the wedge-shaped spacer member 26 is inserted between the contact surface 29a and the heat collecting portion 36a, and the heat collecting portion 36a is inserted into the heat transfer material 23. Crimp to.
  • the spacer member 26 having almost the same width as the heat collecting portion 36a is sandwiched between each coil 22 and the contact surface 29a, the heat collecting portion 36a is surely secured regardless of the outer peripheral shape of the coil 22. It is more preferable because it can be crimped to the heat transfer material 23.
  • the heat transfer material 33 having flexibility and the insulating sheet 34 having insulation properties are sandwiched between the outer peripheral surface of the coil 22 and the heat collecting portion 36a.
  • the outer peripheral surface of the coil 22 is covered with a heat transfer material 33 having flexibility, and the entire coil 22 covered with the heat transfer material 33 is covered with an insulating sheet 34.
  • the insulating sheet 34 is aramid paper.
  • each heat collecting part 36 a is encapsulated with an insulating tape 27 having an insulating property, and a flexible heat transfer is provided between the insulating tape 27 and the outer peripheral surface of the coil 22.
  • a material 31 is sandwiched.
  • the insulating tape 27 is a polyimide film.
  • the heat collecting part 36a heat transfer member 36
  • the coil 22 are paired.
  • the heat collecting part 36a is pressure-bonded to the outer peripheral surface of the coil 22 between the contact surfaces 29a and 29b. Thereby, it can prevent that a clearance gap opens between the outer peripheral surface of the coil 22, and the internal peripheral surface of the heat collecting part 36a. Therefore, the heat generated in the coil 22 can be reliably radiated through the heat transfer member 36, and the cooling performance of the linear motors 100 to 400 can be improved.
  • the bobbin 21 and the coil 22 are cylindrical.
  • the cross-sectional shape of the outer peripheral surface of the permanent magnet 11 (magnetic force generating member) located inside the bobbin 21 is a circular shape corresponding to the inner peripheral surface of the bobbin 21, it depends on the position of the permanent magnet 11 in the circumferential direction. Accordingly, the distance of the coil 22 becomes equal to the permanent magnet 11, and the efficiency of the linear motors 100 to 400 is improved.
  • a spacer member 25 is press-fitted between the heat collecting portion 36a (heat transfer member) and the contact surface 29a to fill a gap between the heat collection portion 36a and the contact surface 29a. Is sandwiched between. Accordingly, the heat collecting portion 36a can be reliably pressed against the outer peripheral surface of the coil 22 by the pair of contact surfaces 29a and 29b, and the heat collecting portion 36a can be reliably pressed onto the outer peripheral surface of the coil 22.
  • the spacer member 25 has flexibility. Thereby, even if the shape of the outer peripheral surface of each coil 22 changes with each coil 22, the difference in the shape of each coil 22 can be absorbed with the flexible spacer member 25, and it is surely heat collecting part. 36 a can be crimped to the outer peripheral surface of the coil 22.
  • the spacer member 26 of the linear motor 200 of the second embodiment has a wedge shape whose thickness gradually decreases toward the distal end side in the insertion direction.
  • the heat collecting part 36a can be reliably crimped
  • the inside of the casing 29 is filled with a thermosetting resin that surrounds the heat collecting portion 36 a (heat transfer member) and the outer peripheral surface of the coil 22.
  • the bobbin 21 and the contact surface 29 a are brought close to each other with the jig 50, so that the heat collecting portion 36 a is pressed against the outer peripheral surface of the coil 22, and then the inside of the housing 29.
  • the thermosetting resin is filled and the thermosetting resin is thermoset, even after the jig 50 is removed, the heat collecting portion 36a is kept in close contact with the outer peripheral surface of the coil 22. .
  • thermosetting resin when the thermosetting resin is filled in the housing 29, the gap between the coils 22 and the gap between the coils 22 and the heat collecting part 36a are filled with the thermosetting resin. For this reason, the thermal conductivity from the coil 22 to the heat collecting part 36a is improved.
  • a heat transfer material 23 having insulation and flexibility is provided between the heat collecting portion 36 a (heat transfer member) and the outer peripheral surface of the coil 22. Is sandwiched. Thereby, since the heat transfer material 23 has flexibility, the heat transfer material 23 comes into close contact with the outer circumferential surface of the concavo-convex coil 22. For this reason, the heat generated in the coil 22 is reliably transmitted to the heat collecting part 36a. Further, since the heat transfer material 23 has an insulating property, it is not necessary to provide an insulating member between the heat collecting portion 36a and the outer peripheral surface of the coil 22, and the step of arranging the insulating member can be omitted. Therefore, the manufacturing cost can be reduced.
  • the heat-transfer material 33 which has flexibility, and the insulating sheet 34 which has insulation Is sandwiched.
  • the heat transfer material 33 does not need to have insulation.
  • a material having high thermal conductivity such as thermal conductive grease in which a metal filler is dispersed can be used as the heat transfer material 33, and the thermal conductivity between the coil and the heat collecting portion 36a can be improved. it can.
  • the heat collection part 36a (heat transfer member) is encapsulated with an insulating tape 27 having insulation properties, and encapsulates the heat collection part 36a.
  • a heat transfer material 31 having flexibility is sandwiched between the insulating tape 27 and the outer peripheral surface of the coil 22. Thereby, since the outer peripheral surface of the coil 22 and the heat collection part 36a are insulated by the insulating tape 27, the heat transfer material 31 does not need to have insulation.
  • a material having high thermal conductivity such as thermal conductive grease in which a metal filler is dispersed can be used as the heat transfer material 31, and the thermal conductivity between the outer peripheral surface of the coil 22 and the heat collecting portion 36a can be increased. Can be improved.
  • the insulating tape 27 encapsulates the smooth heat collecting portion 36a, air does not enter between the heat collecting portion 36a and the insulating tape 27, and the heat collecting portion 36a is encapsulated. Since the insulating tape 27 is also smooth, air does not enter between the insulating tape 27 and the heat transfer material 31. For this reason, the thermal conductivity between the outer peripheral surface of the coil 22 and the heat collecting part 36a can be improved.
  • the permanent magnet 11 is used as a magnetic force generating member for generating a magnetic force, but an electromagnet may be used as the magnetic force generating member.
  • the bobbin 21 and the coil 22 have a cylindrical shape, but may have a rectangular tube shape.
  • the heat collecting part 36 a has a shape corresponding to the outer peripheral surface of the coil 22, and contacts the outer peripheral surface of each coil 22.
  • the stator 10 is composed of a cylindrical pipe 12 and a plurality of columnar permanent magnets 11 housed in the pipe 12.
  • the stator 10 may be composed of a plurality of ring-shaped permanent magnets arranged in a straight line and a columnar rod penetrating the plurality of ring-shaped permanent magnets.
  • the permanent magnet of this embodiment has an N pole on the outer peripheral side and an S pole on the inner peripheral side, and an S pole on the outer peripheral side and an N pole on the inner peripheral side.
  • the magnetic poles are arranged in a straight line so that they change alternately.
  • the spacer comprised with the non-magnetic material is pinched
  • a structure in which the facing distance between the contact surfaces 29a and 29b is slightly smaller than the combined width of the heat collecting portion 36a and the coil 22, and the coil 22 to which the cooling member 35 is attached is press-fitted between the contact surfaces 29a and 29b. Then, the heat collecting part 36 a can be brought into close contact with the outer peripheral surface of the coil 22 and the heat transfer material 23. In the case of this embodiment, the spacer members 25 and 26 are unnecessary.
  • thermosetting resin 39 is filled in the casing 29.
  • a resin such as a two-component curable resin or a photocurable resin may be used. .
  • the linear motor 100 of the present embodiment can be used for a machine tool, a transfer device, and the like in addition to a moving device that moves the mounting head of the electronic component mounting apparatus.

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Abstract

　冷却性能を高めたリニアモータを提供する。　連ねて設けられた複数の磁力発生部材を有する固定子と、固定子の外側に巻回され、固定子の軸線方向に連ねて設けられた複数のコイルと、各コイルの外周面に沿うように接触して取り付けられた熱伝達部材を有し、固定子に移動可能に取り付けられた可動子と、から構成されたリニアモータであって、互いに対向した一対の当接面が形成され、当該一対の当接面で熱伝達部材及びコイルを挟んだ状態で収納し、熱伝達部材をコイルの外周面に圧着させる筐体を有する。

Description

リニアモータ
　本発明は、リニアモータのコイルを冷却する構造に関する。
　従来から特許文献１に示されるように、電子部品実装装置の装着ヘッドを移動させる移動装置には、リニアモータが用いられている。このようなリニアモータは、ボビンの外周面に巻回された複数のコイルを有する可動子と、ボビンの内部に複数設けられた永久磁石を有する固定子とから構成されている。そして、このリニアモータは、コイルの外周面に沿うように接触して取り付けられた熱伝達部材で、コイルで発生した熱を放熱させることにより、コイルの蓄熱を防止して、コイルの焼損を防止している。
ＷＯ２００６／０４０９１３号公報（図１）
　しかしながら、各コイルの外周面の形状は、各コイルによって異なることから、コイルの外周面と熱伝達部材の内周面との間に隙間が開いてしまい、コイルから熱伝達部材への熱伝達が十分で無く、コイルの発熱を熱伝達部材によって十分に放熱させることができないという問題があった。このため、コイルの焼損を防止するために、コイルに流す電流量が制限され、移動装置の移動速度が制限されてしまうという問題があった。
　本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、冷却性能を高めたリニアモータを提供することを目的とする。
　上記課題を解決する請求項１に係るリニアモータの発明は、連ねて設けられた複数の磁力発生部材を有する固定子と、前記固定子の外側に巻回され、前記固定子の軸線方向に連ねて設けられた複数のコイルと、前記各コイルの外周面に沿うように接触して取り付けられた熱伝達部材を有し、前記固定子に移動可能に取り付けられた可動子と、から構成されたリニアモータであって、互いに対向した一対の当接面が形成され、当該一対の当接面で前記熱伝達部材及び前記コイルを挟んだ状態で収納し、前記熱伝達部材を前記コイルの外周面に圧着させる筐体を有する。
　このように、一対の当接面が熱伝達部材及びコイルを挟むことにより、熱伝達部材がコイルの外周面に圧着される。これにより、コイルの外周面と熱伝達部材の内周面との間に隙間が開いてしまうことを防止することができる。このため、コイルで発生した熱を、熱伝達部材を介して確実に放熱させることができ、リニアモータの冷却性能を向上させることが可能となる。
　請求項２に係る発明は、請求項１において、前記コイルは、円筒形状である。これにより、磁力発生部材の外周面の断面形状を、円形状とすると、磁力発生部材の周方向の位置によらず、磁力発生部材に対してコイルの距離が均等となり、リニアモータの効率が向上する。
　請求項３に係る発明は、請求項１又は請求項２において、前記熱伝達部材と前記当接面との間には、前記熱伝達部材と前記当接面との間の隙間を埋めるスペーサ部材が挟み込まれている。これにより、一対の当接面で熱伝達部材をコイルの外周面に確実に押圧させることができ、確実に熱伝達部材をコイルに圧着させることができる。
　請求項４に係る発明は、請求項３において、前記スペーサ部材は、弾性を有する。これにより、各コイルの外周面の形状が各コイルによって違ったとしても、各コイルの形状の違いを、弾性を有するスペーサ部材で吸収させることができ、確実に、熱伝達部材をコイルの外周面に圧着させることができる。
　請求項５に係る発明は、請求項３において、前記スペーサ部材は、挿入方向先端側に向かって徐々に厚さが小さくなる楔状である。これにより、楔状のスペーサ部材を当接面と熱伝達部材の間に挿入させることにより、確実に、熱伝達部材をコイルの外周面に圧着させることができる。
　請求項６に係る発明は、請求項１～請求項５において、前記熱伝達部材及びコイルの外周面を囲む樹脂を前記筐体の内部に充填させた。これにより、治具でコイルと当接面とを近接させることにより、熱伝達部材をコイルの外周面に圧着させた後に、筐体の内部に樹脂を充填させると、治具を取り外した後であっても、熱伝達部材がコイルに密着された状態が維持される。また、筐体の内部に樹脂を充填させると、コイル同士の隙間やコイルと熱伝達部材との隙間に、樹脂が充填される。このため、コイルから熱伝達部材への熱伝導性が向上する。
　請求項７に係る発明は、請求項１～請求項６において、前記コイルの外周面と前記熱伝達部材との間に、絶縁性及び柔軟性を有する伝熱材料が挟み込まれている。これにより、伝熱材料は柔軟性を有するので、凹凸状のコイル外周面に伝熱材料が密接する。このため、コイルで発生した熱が、確実に熱伝達部材に伝達される。また、伝熱材料は絶縁性を有するので、熱伝達部材とコイルの外周面との間に絶縁部材を配設する必要が無く、絶縁部材を配設する工程を省略することができるので、製造コストを低減させることができる。
　請求項８に係る発明は、請求項１～請求項６において、前記コイルの外周面と前記熱伝達部材との間に、柔軟性を有する伝熱材料及び絶縁性を有する絶縁シートが挟み込まれている。これにより、コイルと熱伝達部材との間は、絶縁シートで絶縁されているので、伝熱材料は、絶縁性を有する必要が無い。このため、例えば、金属フィラーを分散させた熱伝導グリス等の熱伝導性の高い材料を、伝熱材料として用いることができ、コイルの外周面と熱伝達部材間の熱伝導性を向上させることができる。
　請求項９に係る発明は、請求項１～請求項６において、前記熱伝達部材は、絶縁性を有する絶縁テープで被包され、前記熱伝達部材を被包する前記絶縁テープと前記コイルの外周面との間には、柔軟性を有する伝熱材料が挟み込まれている。これにより、コイルの外周面と熱伝達部材との間は、絶縁テープで絶縁されているので、伝熱材料は、絶縁性を有する必要が無い。このため、例えば、金属フィラーを分散させた熱伝導グリス等の熱伝導性の高い材料を、伝熱材料として用いることができ、コイルの外周面と熱伝達部材間の熱伝導性を向上させることができる。また、平滑な熱伝達部材を絶縁テープが被包しているので、熱伝達部材と絶縁テープとの間に空気が入らないのは勿論のこと、熱伝達部材を被包している絶縁テープもまた平滑なので、絶縁テープと熱伝達部材との間に空気が入らない。このため、コイルの外周面と熱伝達部材間の熱伝導性を向上させることができる。
第１実施形態のリニアモータの上面図である。 図１のＡ－Ａ断面図である。 図１のＢ－Ｂ断面図である。 可動子の製造工程を表した図であり、ボビンに治具が取り付けられている状態の断面図である。 第２実施形態のリニアモータの断面図である。 第３実施形態のリニアモータの断面図である。 第４実施形態のリニアモータの断面図である。
（第１実施形態のリニアモータの構造の説明）
　以下に図１～図３を用いて本発明の第１実施形態のリニアモータ１００の構造について説明する。なお、本実施形態のリニアモータ１００は、電子部品実装装置の装着ヘッドを移動させる移動装置に用いられるが、電子部品実装装置の構成は、上記した特許文献１や特開２０１０－１７２０７０号公報に開示され周知であるので、説明を割愛する。
　本実施形態のリニアモータ１００は、三相のリニアモータであり、図１に示すように、固定子１０と、この固定子１０に移動可能に取り付けられた可動子２０とから構成されている。固定子１０は、電子部品実装装置の基台に装架され、可動子２０及び図示しないリニアガイドに装着ヘッドが取り付けられて、被移動部材である装着ヘッドが基台に対して予め設定された経路に沿って移動可能となっている。
　図２に示すように、固定子１０は、円筒形状のパイプ１２と、このパイプ１２の内部に収納された円柱形状の複数の永久磁石１１を有している。パイプ１２は、各永久磁石１１の磁束を透過させる非磁性材料（ステンレス鋼等）により構成されている。永久磁石１１は、隣接する永久磁石１１のＳ極どうし、Ｎ極どうしが後述のスペーサ（不図示）を挟んで対向するように、パイプ１２内に一直線状に連ねて設けられている。なお、隣接する永久磁石１１間には、鉄等の磁性体で構成された扁平な円柱形状のスペーサ（不図示）が挟み込まれている。このスペーサは、ヨークとしての役割を果たす。
　図１～図３に示すように、可動子２０は、ボビン２１、複数のコイル２２、筐体２９、及び、冷却部材３５を有している。ボビン２１は、円筒形状の樹脂等の非磁性体であり、その内部に固定子１０が挿通されている。複数のコイル２２は、ボビン２１の外周面に巻回され、ボビン２１の軸線方向に所定間隔をおいて複数設けられている。言い換えると、複数のコイル２２は、固定子１０の外側に巻回され、固定子１０の軸線方向に連ねて設けられている。
　図２に示すように、冷却部材３５は、熱伝達部材３６と放熱部材３７とから構成され、熱伝導性の高いアルミニウムや銅等の金属で構成されている。本実施形態では、熱伝達部材３６は、内部が中空であり、その内部に作動液及び網目状のウイックが封入されたヒートパイプである。熱伝達部材３６は、各コイル２２の外周面に沿うようにそれぞれ接触する断面形状が円弧形状の集熱部３６ａと、この集熱部３６ａの一端からコイル２２の中心から遠ざかる向き（外側）に延出する放熱部３６ｂとから構成されている。
　図２に示すように、放熱部３６ｂは集熱部３６ａの上部（上方又は上端と水平位置を含む）に位置している。これにより、集熱部３６ａで蒸発した作動液が、確実に放熱部３６ｂに移動し、また、放熱部３６ｂにおいて凝集した作動液がその自重により確実に集熱部３６ａに戻る。このため、作動液が集熱部３６ａと放熱部３６ｂ間において蒸発と凝集を繰り返して確実に循環するので、コイル２２で発生した熱を確実に放熱部材３７で放熱させることができる。
　本実施形態では、図２に示すように、各集熱部３６ａと各コイル２２の間には、絶縁性及び柔軟性を有するシリコン樹脂や熱伝導グリス等の伝熱材料２３が挟み込まれている。図２に示す実施形態では、コイル２２の外周面が全周に渡って伝熱材料２３で被覆されているが、各集熱部３６ａと各コイル２２の間のみに、伝熱材料２３が挟み込まれている実施形態であっても差し支え無い。なお、本実施形態では、集熱部３６ａの内側の曲率半径は、コイル２２を被覆した伝熱材料２３の曲率半径より僅かに小さくなっている。このため、集熱部３６ａの内周面が伝熱材料２３に確実に密着するようになっている。
　図１～図３に示すように、放熱部３６ｂには、放熱部材３７が取り付けられている。本実施形態では、放熱部材３７は、放熱部３６ｂと接続する多数のフィン３７ａを備えている。放熱部材３７の端部には、ファン３２が設けられ、放熱部材３７は図示しないダクトで覆われている。ファン３２によって放熱部材３７の内部に空気が送風されて放熱部材３７が冷却される。
　図１や図２に示すように、筐体２９は、互いに対向した一対の当接面２９ａ、２９ｂと、これら当接面２９ａ、２９ｂの下端を接続する接続板２９ｃとから構成されている。図１や図２に示すように、コイル２２及び熱伝達部材３６は、当接面２９ａ、２９ｂによって挟んだ状態で、筐体２９内に収納されている。本実施形態では、図２に示すように、集熱部３６ａと当接面２９ａとの間には、集熱部３６ａと当接面２９ａとの間の隙間を埋める板状のスペーサ部材２５が圧入により挟み込まれている。スペーサ部材２５は、本実施形態では、弾性（柔軟性）を有するゴムやシリコン樹脂等である。スペーサ部材２５の厚さは、集熱部３６ａと当接面２９ａとの間の隙間の寸法より大きくなっている。
　図２に示すように、集熱部３６ａ及びコイル２２の外周面を囲むように熱硬化性樹脂３９が筐体２９の内部に充填されている。熱硬化性樹脂３９は、コイル２２同士の隙間やコイル２２と集熱部３６ａ隙間に充填されている。なお、筐体２９の両側には、端末部材２８が取り付けられ、両端にあるコイル２２の側面が端末部材２８に当接している。
　複数のコイル２２は、順番に、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相、Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相…とされている。それぞれの相のコイル２２に、それぞれ電気角で１２０°毎に位相がずれた交流電流を流すと、永久磁石１１の磁力とコイル２２の磁力との相互作用により、可動子２０に推力が発生し、可動子２０が固定子１０に対して移動する。この際に、コイル２２が発熱するが、上述のように、コイル２２で発生した熱は、冷却部材３５によって放熱される。
（第１実施形態の可動子の製造方法の説明）
　次に、図４を用いて、第１実施形態の可動子２０の製造方法について説明する。図４に示すように、コイル２２、伝熱材料２３、及び冷却部材３５を取り付けたボビン２１を、筐体２９内に収納し、集熱部３６ａと当接面２９ａとの間にスペーサ部材２５を挟み込ませた後に、治具５０をセットする。治具５０は、ボビン２１内に挿通するロッド５１、ロッド５１と当接面２９ａを近接させる近接機構５２とから構成されている。
　本実施形態では、近接機構５２は、ロッド５１の両端に取り付けられる連結部材５３と、当接面２９ａの外側面と密接するプレート５４、及びボルト５５から構成されている。プレート５４と対向する位置の連結部材５３には、ボルト穴５３ａが形成されている。ボルト穴５３ａと対向する位置のプレート５４には、貫通穴５４ａが形成されている。
　ボビン２１を筐体２９内に収納後に、ボビン２１にロッド５１を挿通し、ロッド５１の両端に連結部材５３を取り付け、プレート５４を当接面２９ａに密接させる。そして、貫通穴５４ａにボルト５５を挿通した後に、ボルト５５をボルト穴５３ａに螺着し、ボルト５５を締めると、ロッド５１とプレート５４が近接し、ボビン２１と当接面２９ａがロッド５１とプレート５４によって圧縮される。すると、当接面２９ａが僅かにボビン２１側に変形し、当接面２９ａによってスペーサ部材２５を介して集熱部３６ａがコイル２２側に押圧され、集熱部３６ａがコイル２２の外周面に被覆された伝熱材料２３に圧着する。なお、ロッド５１は、端末部材２８に形成された貫通穴２８ａを貫通しているが、貫通穴２８ａの内径は、ロッド５１の外径よりも大きいので、ロッド５１の動きが端末部材２８によって阻害されない。
　この状態で、筐体２９内に熱硬化性樹脂３９を注入して充填し、熱硬化性樹脂３９を熱硬化させた後に、治具５０を取り外す。可動子２０から治具５０が取り外された状態であっても、熱硬化した熱硬化性樹脂３９によって、集熱部３６ａが伝熱材料２３に密着した状態が維持される。また、各コイル２２が強固にボビン２１に固定される。
　なお、以上説明した第１実施形態では、弾性を有するスペーサ部材２５を使用しているが、集熱部３６ａの幅とほぼ同じ幅の剛体のスペーサ部材２５を用いても差し支え無い。この実施形態では、厚さの異なるスペーサ部材２５を複数種類用意し、各コイル２２の外周面と当接面２９ａとの隙間に応じて、厚さの異なるスペーサ部材２５を選択し、当該スペーサ部材２５をコイル２２の外周面と当接面２９ａとの間に圧入して、各集熱部３６ａを伝熱材料２３に圧着させる。
（第２実施形態のリニアモータの構造の説明）
　以下に、図５を用いて、第２実施形態のリニアモータ２００の構造について、第１実施形態のリニアモータ１００と異なる点について説明する。なお、第２実施形態のリニアモータ２００において、第１実施形態のリニアモータ１００と同じ構造の部分については、同じ番号を付して、その説明を省略する。
　図５に示すように、第２実施形態のスペーサ部材２６は、剛体であり、挿入方向先端側に向かって徐々に厚さが小さくなる楔状である。筐体２９内に熱硬化性樹脂３９を注入する前に、楔状のスペーサ部材２６を、当接面２９ａと集熱部３６ａとの間に挿入により挟み込ませ、集熱部３６ａを伝熱材料２３に圧着させる。なお、集熱部３６ａの幅と殆ど同じ幅のスペーサ部材２６を、各コイル２２と当接面２９ａとの間に挟み込ませると、コイル２２の外周形状によらずに、集熱部３６ａを確実に伝熱材料２３に圧着させることができるので、より好ましい。
（第３実施形態のリニアモータの構造の説明）
　以下に、図６を用いて、第３実施形態のリニアモータ３００の構造について、第１実施形態のリニアモータ１００と異なる点について説明する。なお、第３実施形態のリニアモータ３００において、第１実施形態のリニアモータ１００と同じ構造の部分については、同じ番号を付して、その説明を省略する。
　第３実施形態のリニアモータ３００では、コイル２２の外周面と集熱部３６ａとの間に、柔軟性を有する伝熱材料３３及び絶縁性を有する絶縁シート３４が挟み込まれている。図６に示す実施形態では、コイル２２の外周面は、柔軟性を有する伝熱材料３３で被覆され、伝熱材料３３で被覆されたコイル２２全体が、絶縁シート３４で被覆されている。なお、本実施形態では、絶縁シート３４は、アラミド紙である。
（第４実施形態のリニアモータの構造の説明）
　以下に、図７を用いて、第４実施形態のリニアモータ４００の構造について、第１実施形態のリニアモータ１００と異なる点について説明する。なお、第４実施形態のリニアモータ４００において、第１実施形態のリニアモータ１００と同じ構造の部分については、同じ番号を付して、その説明を省略する。
　第４実施形態のリニアモータ４００では、各集熱部３６ａは、絶縁性を有する絶縁テープ２７で被包され、絶縁テープ２７とコイル２２の外周面との間には、柔軟性を有する伝熱材料３１が挟み込まれている。なお、本実施形態では、絶縁テープ２７は、ポリイミドフィルムである。
（本実施形態のリニアモータの効果の説明）
　以上詳細に説明したように、本実施形態のリニアモータ１００～４００によれば、図２、図５、及び図６に示すように、集熱部３６ａ（熱伝達部材３６）及びコイル２２が一対の当接面２９ａ、２９ｂで挟み込まれ、集熱部３６ａがコイル２２の外周面に圧着される。これにより、コイル２２の外周面と集熱部３６ａの内周面との間に隙間が開いてしまうことを防止することができる。このため、コイル２２で発生した熱を、熱伝達部材３６を介して確実に放熱させることができ、リニアモータ１００～４００の冷却性能を向上させることが可能となる。
　また、図２、図５、及び図６に示すように、ボビン２１及びコイル２２は、円筒形状である。これにより、ボビン２１の内部に位置する永久磁石１１（磁力発生部材）の外周面の断面形状を、ボビン２１の内周面に対応した円形状とすると、永久磁石１１の周方向の位置によらず、永久磁石１１に対してコイル２２の距離が均等となり、リニアモータ１００～４００の効率が向上する。
　また、図２に示すように、集熱部３６ａ（熱伝達部材）と当接面２９ａとの間には、集熱部３６ａと当接面２９ａとの間の隙間を埋めるスペーサ部材２５が圧入により挟み込まれている。これにより、一対の当接面２９ａ、２９ｂで集熱部３６ａをコイル２２の外周面に確実に押圧させることができ、確実に集熱部３６ａをコイル２２の外周面に圧着させることができる。
　また、スペーサ部材２５は、柔軟性を有する。これにより、各コイル２２の外周面の形状が各コイル２２によって違ったとしても、各コイル２２の形状の違いを、柔軟性を有するスペーサ部材２５で吸収させることができ、確実に、集熱部３６ａをコイル２２の外周面に圧着させることができる。
　また、図５に示すように、第２実施形態のリニアモータ２００のスペーサ部材２６は、挿入方向先端側に向かって徐々に厚さが小さくなる楔状である。これにより、楔状のスペーサ部材２６を当接面２９ａと集熱部３６ａ（熱伝達部材）の間に挟み込ませることにより、確実に、集熱部３６ａをコイル２２の外周面に圧着させることができる。
　また、図２、図５、及び図６に示すように、集熱部３６ａ（熱伝達部材）及びコイル２２の外周面を囲む熱硬化性樹脂を筐体２９の内部に充填させている。これにより、図４に示すように、治具５０でボビン２１と当接面２９ａとを近接させることにより、集熱部３６ａをコイル２２の外周面に圧着させた後に、筐体２９の内部に熱硬化性樹脂を充填させ、当該熱硬化性樹脂を熱硬化させると、治具５０を取り外した後であっても、集熱部３６ａがコイル２２の外周面に密着された状態が維持される。また、筐体２９の内部に熱硬化性樹脂を充填させると、コイル２２同士の隙間やコイル２２と集熱部３６ａとの隙間に、熱硬化性樹脂が充填される。このため、コイル２２から集熱部３６ａへの熱伝導性が向上する。
　また、図２に示すように、第１実施形態のリニアモータ１００では、集熱部３６ａ（熱伝達部材）とコイル２２の外周面との間に、絶縁性及び柔軟性を有する伝熱材料２３が挟み込まれている。これにより、伝熱材料２３は柔軟性を有するので、凹凸状のコイル２２外周面に伝熱材料２３が密接する。このため、コイル２２で発生した熱が、確実に集熱部３６ａに伝達される。また、伝熱材料２３は絶縁性を有するので、集熱部３６ａとコイル２２の外周面との間に絶縁部材を配設する必要が無く、絶縁部材を配設する工程を省略することができるので、製造コストを低減させることができる。
　また、図６に示すように、第３実施形態のリニアモータ３００では、コイル２２の外周面と熱伝達部材３６との間に、柔軟性を有する伝熱材料３３及び絶縁性を有する絶縁シート３４が挟み込まれている。これにより、コイル２２と集熱部３６ａとの間は、絶縁シート３４で絶縁されているので、伝熱材料３３は、絶縁性を有する必要が無い。このため、例えば、金属フィラーを分散させた熱伝導グリス等の熱伝導性の高い材料を、伝熱材料３３として用いることができ、コイルと集熱部３６ａ間の熱伝導性を向上させることができる。
　また、図７に示すように、第４実施形態のリニアモータ４００では、集熱部３６ａ（熱伝達部材）は、絶縁性を有する絶縁テープ２７で被包され、集熱部３６ａを被包する絶縁テープ２７とコイル２２の外周面との間には、柔軟性を有する伝熱材料３１が挟み込まれている。これにより、コイル２２の外周面と集熱部３６ａとの間は、絶縁テープ２７で絶縁されているので、伝熱材料３１は、絶縁性を有する必要が無い。このため、例えば、金属フィラーを分散させた熱伝導グリス等の熱伝導性の高い材料を、伝熱材料３１として用いることができ、コイル２２の外周面と集熱部３６ａ間の熱伝導性を向上させることができる。また、平滑な集熱部３６ａを絶縁テープ２７が被包するので、集熱部３６ａと絶縁テープ２７との間に空気が入らないのは勿論のこと、集熱部３６ａを被包している絶縁テープ２７もまた平滑なので、絶縁テープ２７と伝熱材料３１との間に空気が入らない。このため、コイル２２の外周面と集熱部３６ａ間の熱伝導性を向上させることができる。
　なお、上述した実施形態では、磁力を発生させる磁力発生部材として永久磁石１１を用いているが、磁力発生部材として電磁石を用いても差し支え無い。また、以上説明した実施形態では、ボビン２１及びコイル２２は、円筒形状であるが、角筒形状であっても差し支え無い。この実施形態の場合も、集熱部３６ａは、コイル２２の外周面に対応した形状であり、各コイル２２の外周面に沿うように接触する。
　また、以上説明した実施形態では、固定子１０は、円筒形状のパイプ１２と、このパイプ１２の内部に収納された円柱形状の複数の永久磁石１１とから構成されている。しかし、固定子１０は、一直線状に連ねて設けられた複数のリング状の永久磁石と、これら複数のリング状の永久磁石を貫通する円柱形状のロッドとから構成されたものであっても差し支え無い。この実施形態の永久磁石は、その外周側がＮ極とされるとともにその内周側がＳ極とされたものと、その外周側がＳ極とされるとともにその内周側がＮ極とされたものが、磁極が交互に変わるように一直線状に連ねて設けられている。そして、隣接する永久磁石間には、非磁性体で構成されたスペーサが挟み込まれている。
　当接面２９ａ、２９ｂの対向距離を、集熱部３６ａとコイル２２を併せた幅寸法より僅かに小さくし、冷却部材３５が取り付けられたコイル２２を当接面２９ａ、２９ｂ間に圧入する構造とすれば、集熱部３６ａをコイル２２の外周面や伝熱材料２３に密着させることができる。この実施形態の場合には、スペーサ部材２５、２６は不要である。
　以上説明した実施形態では、熱硬化性樹脂３９を筐体２９内に充填させているが、熱硬化性樹脂３９の代わりに、２液硬化樹脂や光硬化樹脂等の樹脂を用いても差し支え無い。
　また、本実施形態のリニアモータ１００は、電子部品実装装置の装着ヘッドを移動させる移動装置以外にも、工作機械や移送機器等にも用いることができることは言うまでもない。
　１０…固定子、　１１…永久磁石（磁力発生部材）、　２０…可動子、　２１…ボビン、　２２…コイル、　２３…伝熱材料、　２５…スペーサ部材、　２６…スペーサ部材、　２９…筐体、　２９ａ、２９ｂ…当接面、　３３…伝熱材料、　３４…絶縁シート、　３６…熱伝達部材、　１００…第１実施形態のリニアモータ、　２００…第２実施形態のリニアモータ、　３００…第３実施形態のリニアモータ、　４００…第４実施形態のリニアモータ

Claims (9)

  1. 　連ねて設けられた複数の磁力発生部材を有する固定子と、
    　前記固定子の外側に巻回され、前記固定子の軸線方向に連ねて設けられた複数のコイルと、前記各コイルの外周面に沿うように接触して取り付けられた熱伝達部材を有し、前記固定子に移動可能に取り付けられた可動子と、から構成されたリニアモータであって、
    　互いに対向した一対の当接面が形成され、当該一対の当接面で前記熱伝達部材及び前記コイルを挟んだ状態で収納し、前記熱伝達部材を前記コイルの外周面に圧着させる筐体を有するリニアモータ。
  2. 　請求項１において、
    　前記コイルは、円筒形状であるリニアモータ。
  3. 　請求項１又は請求項２において、
    　前記熱伝達部材と前記当接面との間には、前記熱伝達部材と前記当接面との間の隙間を埋めるスペーサ部材が挟み込まれているリニアモータ。
  4. 　請求項３において、
    　前記スペーサ部材は、弾性を有するリニアモータ。
  5. 　請求項３において、
    　前記スペーサ部材は、挿入方向先端側に向かって徐々に厚さが小さくなる楔状であるリニアモータ。
  6. 　請求項１～請求項５のいずれかにおいて、
    　前記熱伝達部材及びコイルの外周面を囲む樹脂を前記筐体の内部に充填させたリニアモータ。
  7. 　請求項１～請求項６のいずれかにおいて、
    　前記コイルの外周面と前記熱伝達部材との間に、絶縁性及び柔軟性を有する伝熱材料が挟み込まれているリニアモータ。
  8. 　請求項１～請求項６のいずれかにおいて、
    　前記コイルの外周面と前記熱伝達部材との間に、柔軟性を有する伝熱材料及び絶縁性を有する絶縁シートが挟み込まれているリニアモータ。
  9. 　請求項１～請求項６のいずれかにおいて、
    　前記熱伝達部材は、絶縁性を有する絶縁テープで被包され、
    　前記熱伝達部材を被包する前記絶縁テープと前記コイルの外周面との間には、柔軟性を有する伝熱材料が挟み込まれているリニアモータ。
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