JP5840231B2 - リニアモータ - Google Patents

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Description

本発明は、リニアモータのコイルを冷却する構造に関する。
従来から特許文献1に示されるように、電子部品実装装置の装着ヘッドを移動させる移動装置には、リニアモータが用いられている。このようなリニアモータは、ボビンの外周部に巻回された複数のコイルを有する可動子と、ボビンの内部に複数設けられた永久磁石を有する固定子とから構成されている。そして、このリニアモータは、コイルの外周面に沿うように接触して取り付けられた放熱部材で、コイルで発生した熱を放熱させることにより、コイルの蓄熱を防止して、コイルの焼損を防止している。
WO2006/040913号公報(図1)
しかしながら、各コイルの外周面の形状は、各コイルによって異なり、また、各コイルの外周面の曲率半径と、放熱部材の内周面の曲率半径が一致しないことから、コイルの外周面と放熱部材の内周面との間に隙間が開いてしまい、コイルから放熱部材への熱伝達が十分で無く、コイルの発熱を放熱部材によって十分に放熱させることができないという問題があった。このため、コイルの焼損を防止するために、コイルに流す電流量が制限され、移動装置の移動速度が制限されてしまうという問題があった。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、冷却性能を高めたリニアモータを提供することを目的とする。
上記課題を解決する請求項1に係るリニアモータの発明は、連ねて設けられた複数の磁力発生部材を有する固定子と、前記固定子の外側に巻回され、前記固定子の軸線方向に連ねて設けられた複数のコイルを有する可動子と、から構成されたリニアモータであって、隣接する前記コイルの間に、前記コイルの側面に沿うように、前記コイルの発熱を放熱させるための熱伝達部材を設けた。また、前記熱伝達部材は、集熱部と、前記集熱部と接続し前記コイルから離れる方向に突出する放熱部とから構成されたヒートパイプであり、前記集熱部は、前記コイルの径方向に扁平な平面を有するとともに、前記コイルの周方向に沿って曲がった形状であり、前記平面においてコイルの側面と接触する。
このように、隣接するコイルの間に、コイルの側周面に沿うように熱伝達部材を設け、その熱伝達部材は、集熱部と、集熱部と接続しコイルから離れる方向に突出する放熱部とから構成されたヒートパイプであり、集熱部は、コイルの径方向に扁平な平面を有するとともに、コイルの周方向に沿って曲がった形状であり、平面においてコイルの側面と接触するようにしたので、コイルの側周面と熱伝達部材としてのヒートパイプが曲面でなく平面で接触し、コイルの側周面とヒートパイプが確実に接触する。このため、コイルで発生した熱が確実にヒートパイプに伝熱し、コイルで発生した熱を、ヒートパイプを介して確実に放熱させることができ、リニアモータの冷却性能を向上させることが可能となる。また、コイルの側周面の両側にヒートパイプが接触するので、従来と比べて、コイルで発生した熱をより多くヒートパイプに伝熱させることができる。
請求項に係る発明は、請求項において、前記放熱部は、前記集熱部の上方に位置している。これにより、集熱部で蒸発した作動液が、確実に放熱部に移動し、また、放熱部において凝集した作動液がその自重により確実に集熱部に戻る。このため、作動液が集熱部と放熱部間において蒸発と凝集を繰り返して確実に循環するので、コイルで発生した熱を確実に放熱部材で放熱させることができる。
請求項に係る発明は、請求項1又は請求項2において、前記コイルの巻始め線又は巻き終わり線を前記コイルの外部に出線するために、隣接する前記コイル間に形成された隙間に、前記熱伝達部材が配設されている。これにより、従来からある隣接するコイル間の隙間に、熱伝達部材を配設することにより、可動子の大型化を防止しつつ、コイルの冷却性能を高めることが可能となる。
本実施形態のリニアモータの上面図である。 可動子の斜視図である。 図1のA−A断面図である。 図1のB−B断面図である。 比較例としての従来のリニアモータを表した図であり、(A)は従来のリニアモータの横断面図であり、(B)は(A)のC−C断面図である。 冷却部材がコイルの両側に設けられている実施形態のリニアモータの上面図である。 ファンが放熱部材の長手方向に複数に設けられている実施形態のリニアモータの上面図である。
(本実施形態のリニアモータの説明)
以下に図1〜図4を用いて本発明の1実施形態であるリニアモータ100について説明する。なお、図1、図2では、後述のヨーク23(図3示)を省略して表している。また、本実施形態のリニアモータ100は、電子部品実装装置の装着ヘッドを移動させる移動装置に用いられるが、電子部品実装装置の構成は、上記した特許文献1や特開2010−172070号公報に開示され周知であるので、説明を割愛する。
本実施形態のリニアモータ100は、三相のリニアモータであり、図1に示すように、固定子10と、この固定子10に移動可能に取り付けられた可動子20とから構成されている。固定子10は、電子部品実装装置の基台に装架され、可動子20及び図示しないリニアガイドに装着ヘッドが取り付けられて、被移動部材である装着ヘッドが基台に対して予め設定された経路に沿って移動可能となっている。
図3に示すように、固定子10は、円筒形状のパイプ12と、このパイプ12の内部に収納された円柱形状の複数の永久磁石11を有している。パイプ12は、各永久磁石11の磁束を透過させる非磁性材料(ステンレス鋼等)により構成されている。永久磁石11は、隣接する永久磁石11のS極どうし、N極どうしが後述のスペーサ(不図示)を挟んで対向するように、パイプ12内に一直線状に連ねて設けられている。なお、隣接する永久磁石11間には、鉄等の磁性体で構成された扁平な円柱形状のスペーサ(不図示)が挟み込まれている。このスペーサは、ヨークとしての役割を果たす。
図1〜図4に示すように、可動子20は、ボビン21、複数のコイル22、及び、冷却部材25を有している。ボビン21は、円筒形状の樹脂等の非磁性体であり、その内部に固定子10が挿通されている。複数のコイル22は、ボビン21の外周面に巻回され、ボビン21の軸線方向に所定間隔をおいて複数設けられている。言い換えると、複数のコイル22は、固定子10の外側に巻回され、固定子10の軸線方向に連ねて設けられている。図4に示すように、隣接するコイル22間には、コイル22の巻始め線又は巻き終わり線をコイル22の外部に出線するための隙間22aが形成されている。図1に示すように、ボビン21の両端には、端末部材29が取り付けられ、両端にあるコイル22の側面が端末部材29に当接している。
冷却部材25は、熱伝達部材26と放熱部材27とから構成され、熱伝導性の高いアルミニウムや銅等の金属で構成されている。熱伝達部材26は、ボビン21(固定子10)の軸線方向において隣接するコイル22の間に配設されている。熱伝達部材26は、内部が中空であり、その内部に作動液及び網目状のウイックが封入されたヒートパイプである。図3に示すように、熱伝達部材26は、コイル22の側周面のほぼ半周と接触する集熱部26aと、この集熱部26aの一端からコイル22の中心から遠ざかる向き(外側)に延出する放熱部26bとから構成されている。集熱部26aは、コイル22の周面の幅よりも小さい幅の円弧状であり、コイル22の径方向に扁平であり、コイル22の側面と接触している。図3に示すように、放熱部26bは集熱部26aの上方(上方乃至上端と水平位置を含む)に位置している。なお、冷却部材25は、磁気的な悪影響を及ぼさないように、非磁性体で構成されていることが好ましい。
なお、可動子20の製造時において、集熱部26aを隣接するコイル22の間に配設後に、両端のコイル22が互いに近接する方向に(圧縮方向に)、両端のコイル22に荷重をかけることにより、コイル22を集熱部26aに密着させている。そして、この状態で、コイル22同士の隙間やコイル22と集熱部26aとの隙間に、熱硬化性樹脂を充填し、この熱硬化樹脂を熱硬化させることにより、コイル22から集熱部26aへの熱伝導性を向上させるとともに、各コイル22を強固にボビン21に固定させている。
図1〜図4に示すように、放熱部26bには、放熱部材27が取り付けられている。本実施形態では、放熱部材27は、放熱部26bと接続する多数のフィン27aを備えている。放熱部材27の端部には、ファン28が設けられ、放熱部材27は図示しないダクトで覆われている。ファン28によって放熱部材27の内部に空気が送風されて放熱部材27が冷却される。
図3に示すように、コイル22の外周面に覆い被さるように、電磁鋼板等の磁性材料で構成されたヨーク23が取り付けられている。このヨーク23により、永久磁石11が発する磁力線の向きをコイル22に流れる電流の方向に対して直交する方向に変化させて、コイル22に作用する推力を増大させている。なお、ヨーク23は、必ずしも必須では無い。
複数のコイル22は、順番に、U相、V相、W相、U相、V相、W相…とされている。それぞれの相のコイル22に、それぞれ電気角で120°毎に位相がずれた交流電流を流すと、永久磁石11の磁力とコイル22の磁力との相互作用により、可動子20に推力が発生し、可動子20が固定子10に対して移動する。この際に、コイル22が発熱するが、上述のように、コイル22で発生した熱は、冷却部材25によって放熱される。
(比較例として従来のリニアモータの説明)
以下に図5を用いて、比較例として従来のリニアモータについて、本実施形態のリニアモータ100と異なる点について説明する。なお、従来のリニアモータにおいて、本実施形態のリニアモータ100と同じ構造の部分については、同じ番号を付して、その説明を省略する。
図5の(A)に示すように、従来のリニアモータでは、コイル22の外周面に沿うように接触する熱伝達部材126が設けられている。しかし、各コイル22の外周面の形状は、各コイル22によって一致せず、また、各コイル22の外周面の曲率半径と、熱伝達部材126の内周面の曲率半径が一致しないことから、コイル22の外周面と熱伝達部材126の内周面との間に隙間150が開いてしまう。このため、コイル22から熱伝達部材126への熱伝達が十分で無い。
また、図5の(B)に示すように、従来では、コイル22の外周面のみに熱伝達部材126が接触する構造であるので、例え、熱伝達部材126がコイル22の外周面に接触したとしても、コイル22から放熱部材への熱伝導が十分では無い。
(本実施形態のリニアモータの効果の説明)
以上詳細に説明したように、本実施形態のリニアモータ100によれば、図3や図4に示すように、隣接するコイル22の間に、コイル22の側周面に沿うように熱伝達部材26を設けた。これにより、図4に示すように、コイル22の側周面と熱伝達部材26が曲面で無く平面で接触するので、コイル22の側周面と熱伝達部材26が確実に接触する。このため、コイル22で発生した熱が確実に熱伝達部材26に伝熱し、コイル22で発生した熱を、熱伝達部材26を介して確実に放熱させることができ、リニアモータ100の冷却性能を向上させることが可能となる。また、コイル22の側周面の両側に熱伝達部材26が接触するので、従来と比べて、コイル22で発生した熱をより多く熱伝達部材26に伝熱させることができる。また、可動子20の製造時において、集熱部26aを隣接するコイル22の間に配設後に、両端のコイル22が互いに近接する方向に(圧縮方向に)、両端のコイル22に荷重をかけることにより、コイル22を集熱部26aに確実に密着させることができ、コイル22で発生した熱を確実に熱伝達部材26に伝熱させることができる。
また、図5の示すように、従来の熱伝達部材126は、コイル22の外周面に沿うように接触している。一方で、本実施形態では、図4に示すように、熱伝達部材26は、隣接するコイル22間の隙間22aに配設されている。これにより、熱伝達部材126の厚さ分だけ、コイル22の巻数を増やすことができ、コイル22が発生する磁力を向上させることができる。このため、可動子20の固定子10に対する移動速度を高めることができる。
また、図2〜図4に示すように、熱伝達部材26は、コイル22の径方向に扁平な集熱部26aと、集熱部26aと接続しコイル22から離れる方向に突出する放熱部26bとから構成されたヒートパイプであり、放熱部26bに放熱部材27が設けられている。これにより、コイル22の側周面と接触する集熱部26a内の作動液が蒸発して潜熱を吸収し、蒸発した作動液が放熱部26bに移動すると放熱部材27によって冷却されて、作動液が凝集して潜熱を放出する。このため、コイル22で発生した熱を効率良く放熱部材27で放熱させることができる。なお、上述のように、両端のコイル22に荷重をかけて、コイル22を集熱部26aに密着させたとしても、ヒートパイプである熱伝達部材26は、平面であるコイル22の側周面によって押圧されるので、ヒートパイプに均一に荷重が加わり、ヒートパイプが潰れにくい。
また、図3に示すように、放熱部26bは、集熱部26aの上部に位置している。これにより、集熱部26aで蒸発した作動液が、確実に放熱部26bに移動し、また、放熱部26bにおいて凝集した作動液がその自重により確実に集熱部26aに戻る。このため、作動液が集熱部26aと放熱部26b間において蒸発と凝集を繰り返して確実に循環するので、コイル22で発生した熱を確実に放熱部材27で放熱させることができる。
また、図4に示すように、コイル22の巻始め線又は巻き終わり線をコイル22の外部に出線するために、隣接するコイル22間に形成された隙間22aに、集熱部26a(熱伝達部材)が配設されている。これにより、従来からある隣接するコイル22間の隙間22aに、集熱部26aを配設することにより、可動子20の大型化を防止しつつ、コイル22の冷却性能を高めることが可能となる。
なお、上述した実施形態では、磁力を発生させる磁力発生部材として永久磁石11を用いているが、磁力発生部材として電磁石を用いても差し支え無い。また、以上説明した実施形態では、ボビン21及びコイル22は、円筒形状であるが、角筒形状であっても差し支え無い。この実施形態の場合であっても、集熱部26aは、コイル22の側面を沿うように形成され、コイル22の側面と当接する。また、コイル22の側周面のほぼ全周と接触する集熱部26aであっても差し支え無い。
また、以上説明した実施形態では、固定子10は、円筒形状のパイプ12と、このパイプ12の内部に収納された円柱形状の複数の永久磁石11とから構成されている。しかし、固定子10は、一直線状に連ねて設けられた複数のリング状の永久磁石と、これら複数のリング状の永久磁石を貫通する円柱形状のロッドとから構成されたものであっても差し支え無い。この実施形態の永久磁石は、その外周側がN極とされるとともにその内周側がS極とされたものと、その外周側がS極とされるとともにその内周側がN極とされたものが、磁極が交互に変わるように一直線状に連ねて設けられている。そして、隣接する永久磁石間には、非磁性体で構成されたスペーサが挟み込まれている。
また、図6に示すように、冷却部材25をコイル22の両側に設け、リニアモータ200冷却性能を更に向上させても差し支え無い。また、図7に示すように、ファン28を放熱部材27(ボビン21)の長手方向に沿って、放熱部材27の下方又は上方に複数に設け、リニアモータ300の冷却性能を更に向上させても差し支え無い。
また、本実施形態のリニアモータ100は、電子部品実装装置の装着ヘッドを移動させる移動装置以外にも、工作機械や移送機器等の移動装置にも用いることができることは言うまでもない。
10…固定子、 11…永久磁石(磁力発生部材)、 20…可動子、 21…ボビン、 22…コイル、 22a…隙間、 26…熱伝達部材、 26a…集熱部、 26b…放熱部、 27…放熱部材、 100、200、300…リニアモータ

Claims (3)

  1. 連ねて設けられた複数の磁力発生部材を有する固定子と、
    前記固定子の外側に巻回され、前記固定子の軸線方向に連ねて設けられた複数のコイルを有する可動子と、から構成されたリニアモータであって、
    隣接する前記コイルの間に、前記コイルの側面に沿うように、前記コイルの発熱を放熱させるための熱伝達部材を設け、
    前記熱伝達部材は、集熱部と、前記集熱部と接続し前記コイルから離れる方向に突出する放熱部とから構成されたヒートパイプであり、
    前記集熱部は、前記コイルの径方向に扁平な平面を有するとともに、前記コイルの周方向に沿って曲がった形状であり、前記平面においてコイルの側面と接触するリニアモータ。
  2. 請求項において、
    前記放熱部は、前記集熱部の上方に位置しているリニアモータ。
  3. 請求項1又は請求項2において、
    前記コイルの巻始め線又は巻き終わり線を前記コイルの外部に出線するために、隣接する前記コイル間に形成された隙間に、前記熱伝達部材が配設されているリニアモータ。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ITBO20130432A1 (it) 2013-08-01 2015-02-02 Spal Automotive Srl Macchina elettrica.
WO2015037069A1 (ja) * 2013-09-11 2015-03-19 株式会社日立製作所 回転電機
CN107114011B (zh) * 2015-01-19 2020-04-14 株式会社富士 元件安装装置用头单元
JP6385888B2 (ja) * 2015-05-14 2018-09-05 キヤノンマシナリー株式会社 リニアモータ構造
CN109995190B (zh) * 2019-05-07 2020-08-07 哈尔滨工业大学 一种定子绕组与热管一体式散热结构的高转矩密度电机

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5920164A (en) * 1996-10-31 1999-07-06 Mfm Technology, Inc. Brushless linear motor
JP3643273B2 (ja) * 1999-10-28 2005-04-27 株式会社ソディック リニアモータのコイル装置およびその製造方法
US6278203B1 (en) * 1999-11-22 2001-08-21 Nikon Corporation Cooling structure for a linear motor
JP4574224B2 (ja) * 2004-05-12 2010-11-04 山洋電気株式会社 リニアモータ
CN101036280B (zh) 2004-10-14 2011-04-20 富士机械制造株式会社 线性电动机冷却装置及具有该装置的直线移动装置
JP4946263B2 (ja) * 2006-08-21 2012-06-06 村田機械株式会社 リニアモータおよびそれを搭載した工作機械
JP5072064B2 (ja) * 2006-09-01 2012-11-14 富士機械製造株式会社 円筒型リニアモータ
EP2352221B1 (en) 2008-10-23 2018-05-23 Sodick Co., Ltd. Linear motor coil assembly comprising cooling device
JP5426180B2 (ja) * 2009-01-20 2014-02-26 富士機械製造株式会社 リニアモータ

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US20140375148A1 (en) 2014-12-25
US9397538B2 (en) 2016-07-19
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CN104067493A (zh) 2014-09-24
JPWO2013105214A1 (ja) 2015-05-11
WO2013105214A1 (ja) 2013-07-18

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