WO2013061556A1 - 液晶表示パネル及びその製造方法 - Google Patents

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Abstract

 液晶表示パネルを構成するTFT基板(20)では、互いに隣り合う第1副画素及び第2副画素を有する各画素において、各画素の間に延びる各ソース線(14a)が各画素の第1副画素及び第2副画素の間に延びる各ゲート線(11a)に沿って単一に引き出された後に第1副画素側に分岐して各第1TFT(5a)の一部を構成する第1ソース電極(14aba)と、第2副画素側に分岐して各第2TFT(5b)の一部を構成する第2ソース電極(14abb)とを有し、各ゲート線(11a)が各ソース線(14a)の分岐した部分で開口している。

Description

液晶表示パネル及びその製造方法
 本発明は、液晶表示パネル及びその製造方法に関し、特に、薄膜トランジスタ基板を備えた液晶表示パネルにおいて、薄膜トランジスタ基板の各薄膜トランジスタのソース電極と、対向基板の共通電極との間に発生した短絡欠陥を修正する技術に関するものである。
 アクティブマトリクス駆動方式の液晶表示パネルは、例えば、画像の最小単位である各画素毎に、薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor、以下、「TFT」とも称する)、及びTFTに接続された画素電極を有するTFT基板と、TFT基板に対向するように設けられ、共通電極を有する対向基板と、TFT基板の各画素電極及び対向基板の共通電極の間に設けられた液晶層とを備えている。ここで、多くのTFT基板では、各画素の液晶層、すなわち、各画素の液晶容量に充電された電荷を安定に保持するために、各画素毎に補助容量が設けられている。
 例えば、特許文献1には、液晶表示パネルの色ずれを防止するために、マトリクス状に配列された(上記画素に相当する)各単位画素を複数の副画素領域に分割し、各副画素領域に(上記TFTに相当する)アクティブ素子、(上記液晶容量に相当する)液晶キャパシタ、及び(上記補助容量に相当する)蓄積キャパシタを配置し、同一単位画素内において、副画素領域における蓄積キャパシタと液晶キャパシタとの容量比を副画素領域毎に異ならせた液晶表示パネルが開示されている。
特開2008-15512号公報
 ところで、TFT基板を備えた液晶表示パネルでは、各画素のTFTにおいて、ソース電極及びドレイン電極の間に導電性を有する異物が介在すると、ソース電極及びドレイン電極の間が短絡して、その画素が正常に動作しなくなるおそれがあるので、例えば、基板検査工程において、各画素のTFTの何れかでソース電極及びドレイン電極の間が短絡した短絡欠陥が検出された場合には、修正工程において、レーザー光の照射により、短絡欠陥が検出された画素の画素電極と、短絡したドレイン電極とを切り離して黒点化することが多い。
 しかしながら、上記修正工程において、短絡欠陥が検出された画素の画素電極と、短絡したドレイン電極とを切り離しても、液晶表示パネルを運搬する際の振動やパネル表面に対する加圧などに起因して、ソース電極及びドレイン電極の間を短絡させていた異物を介して、TFT基板側の短絡した又は短絡していたソース電極と、対向基板側の共通電極との間が短絡するおそれがある。また、上記基板検査工程において、短絡欠陥として検出されないレベルであっても、仮に、ソース電極及びドレイン電極の間に導電性を有する異物が潜在していれば、液晶表示パネルを運搬する際の振動やパネル表面に対する加圧などにより、ソース電極及びドレイン電極の間に潜在する異物が顕在化して、TFT基板側のソース電極と、対向基板側の共通電極との間が短絡するおそれもある。なお、特許文献1に開示された液晶表示パネルのように、ゲート線及びソース線の交差する部分の近傍にTFTが設けられた液晶表示パネルでは、上記修正工程において、レーザー光を照射する際に、TFTに接続されたゲート線及びソース線を損傷させるおそれがあるので、改善の余地がある。
 本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、薄膜トランジスタ基板の各薄膜トランジスタのソース電極と、対向基板の共通電極との間に発生した短絡欠陥を可及的に容易に修正することにある。
 上記目的を達成するために、本発明は、各画素において、各ソース線が各ゲート線に沿って単一に引き出された後に第1副画素側に分岐した第1ソース電極と、第2副画素側に分岐した第2ソース電極とを備えるようにしたものである。
 具体的に本発明に係る液晶表示パネルは、互いに隣り合う第1副画素及び第2副画素を有する画素と、該第1副画素及び第2副画素の間に配置されたゲート線と、該ゲート線と交差する方向の上記画素の縁に沿って配置されたソース線と、上記第1副画素に設けられた第1薄膜トランジスタと、該第1薄膜トランジスタに設けられた第1ソース電極と、上記第2副画素に設けられた第2薄膜トランジスタと、該第2薄膜トランジスタに設けられた第2ソース電極とを備えた薄膜トランジスタ基板と、上記薄膜トランジスタ基板に対向して設けられ、共通電極を有する対向基板と、上記薄膜トランジスタ基板及び対向基板の間に設けられた液晶層とを備え、上記ソース線は、上記ゲート線に沿って延びる引き出し部、及び該引き出し部から上記第1ソース電極と上記第2ソース電極とに分岐する分岐部を有し、上記ゲート線は、上記分岐部で開口している。
 上記の構成によれば、ソース線がゲート線に沿って延びる引き出し部、及び引き出し部から第1ソース電極と第2ソース電極とに分岐する分岐部を有し、ゲート線がソース線の分岐部で開口しているので、液晶表示パネルの各画素において、薄膜トランジスタ基板側の第1薄膜トランジスタの第1ソース電極、又は第2薄膜トランジスタの第2ソース電極と、対向基板の共通電極との間が短絡した短絡欠陥が検出された場合には、短絡欠陥が検出された画素において、ゲート線の開口した部分を介してレーザー光を照射することにより、短絡した第1ソース電極又は第2ソース電極を切断して、対応する第1薄膜トランジスタ又は第2薄膜トランジスタをその薄膜トランジスタが接続されたソース線から分離することになる。これにより、短絡欠陥が検出された画素において、共通電極に入力される信号がソース線に入力されなくなるので、薄膜トランジスタ基板に設けられた薄膜トランジスタのソース電極と、対向基板の共通電極との間に発生した短絡欠陥が修正される。ここで、短絡欠陥を修正する際にレーザー光を照射する箇所(第1ソース電極又は第2ソース電極に分岐する分岐部)は、各ソース線の各ゲート線と交差する方向に延びる部分から離間していると共に、ゲート線に重なっていないので、レーザー光の照射によるソース線及びゲート線の損傷が抑制され、例えば、薄膜トランジスタがソース線及びゲート線の交差する部分の近傍に配置された場合よりも短絡欠陥が容易に修正される。したがって、薄膜トランジスタ基板の薄膜トランジスタのソース電極と、対向基板の共通電極との間に発生した短絡欠陥を可及的に容易に修正することが可能になる。
 また、本発明に係る液晶表示パネルは、各々、互いに隣り合うように配置された第1副画素及び第2副画素を有し、マトリクス状に設けられた複数の画素と、該各画素の第1副画素及び第2副画素の間に、互いに平行に延びるようにそれぞれ設けられた複数のゲート線と、該各ゲート線と交差する方向の該各画素の間に、互いに平行に延びるようにそれぞれ設けられた複数のソース線と、上記各画素の第1副画素毎にそれぞれ設けられた複数の第1薄膜トランジスタと、上記各画素の第2副画素毎にそれぞれ設けられた複数の第2薄膜トランジスタとを備えた薄膜トランジスタ基板と、上記薄膜トランジスタ基板に対向するように設けられ、共通電極を有する対向基板と、上記薄膜トランジスタ基板及び対向基板の間に設けられた液晶層とを備え、上記薄膜トランジスタ基板は、上記各画素において、上記各ソース線が上記各ゲート線に沿って単一に引き出された後に上記第1副画素側に分岐して上記各第1薄膜トランジスタの一部を構成する第1ソース電極と、上記第2副画素側に分岐して上記各第2薄膜トランジスタの一部を構成する第2ソース電極とを有し、上記各ゲート線は、上記各ソース線の分岐した部分で開口している。
 上記の構成によれば、各画素において、各ソース線が各ゲート線に沿って単一に引き出された後に第1副画素側に分岐した第1ソース電極と、第2副画素側に分岐した第2ソース電極とを備え、各ゲート線が各ソース線の分岐した部分、すなわち、第1ソース電極及び第2ソース電極の部分で開口しているので、液晶表示パネルの各画素において、薄膜トランジスタ基板側の第1薄膜トランジスタの第1ソース電極、又は第2薄膜トランジスタの第2ソース電極と、対向基板の共通電極との間が短絡した短絡欠陥が検出された場合には、短絡欠陥が検出された画素において、各ゲート線の開口した部分を介してレーザー光を照射することにより、短絡した第1ソース電極又は第2ソース電極を切断して、対応する第1薄膜トランジスタ又は第2薄膜トランジスタをその薄膜トランジスタが接続されたソース線から分離することになる。これにより、短絡欠陥が検出された画素において、共通電極に入力される信号がソース線に入力されなくなるので、薄膜トランジスタ基板に設けられた各薄膜トランジスタのソース電極と、対向基板の共通電極との間に発生した短絡欠陥が修正される。ここで、短絡欠陥を修正する際にレーザー光を照射する箇所(第1ソース電極又は第2ソース電極)は、各ソース線の各ゲート線と交差する方向に延びる部分から離間していると共に、ゲート線に重なっていないので、レーザー光の照射による各ソース線及び各ゲート線の損傷が抑制され、例えば、薄膜トランジスタがソース線及びゲート線の交差する部分の近傍に配置された場合よりも短絡欠陥が容易に修正される。したがって、薄膜トランジスタ基板の各薄膜トランジスタのソース電極と、対向基板の共通電極との間に発生した短絡欠陥を可及的に容易に修正することが可能になる。
 上記各ゲート線は、上記各ソース線の単一に引き出された部分で開口していてもよい。
 上記の構成によれば、各ゲート線が各ソース線の単一に引き出された部分で開口しているので、各ゲート線と各ソース線との重なる面積が抑制され、各ゲート線と各ソース線との交差部分に形成される寄生容量が小さくなる。
 上記各第1薄膜トランジスタは、島状に設けられた第1半導体層を有し、上記第1ソース電極は、上記第1半導体層に重ならないように3μm以上の線状に形成された被切断部を有し、上記各第2薄膜トランジスタは、島状に設けられた第2半導体層を有し、上記第2ソース電極は、上記第2半導体層に重ならないように3μm以上の線状に形成された被切断部を有していてもよい。
 上記の構成によれば、第1ソース電極が第1半導体層に重ならないように3μm以上の線状に形成された被切断部を有し、第2ソース電極が第2半導体層に重ならないように3μm以上の線状に形成された被切断部を有しているので、短絡欠陥を修正する際には、各被切断部にレーザー光を照射することにより、短絡した第1ソース電極又は第2ソース電極が確実に切断される。
 上記各第1薄膜トランジスタ及び各第2薄膜トランジスタは、上記隣り合う一対のソース線の中間部分に設けられていてもよい。
 上記の構成によれば、各第1薄膜トランジスタ及び各第2薄膜トランジスタが隣り合う一対のソース線の中間部分に設けられているので、短絡欠陥を修正する際にレーザー光を照射する箇所(第1ソース電極又は第2ソース電極)が、各ソース線の各ゲート線と交差する方向に延びる部分から具体的に離間される。また、例えば、液晶分子の配向をピコメートルレベルで精密に制御する光配向技術を適用した液晶表示パネルでは、各副画素の中央を中心に+字状の暗部が形成されるので、その暗部を利用して、各第1薄膜トランジスタ及び各第2薄膜トランジスタを始め、容量線、並びに容量線に重なるドレイン電極の延設部を配置することにより、補助容量の配置に起因する各画素の開口率の低下が抑制される。
 また、本発明に係る液晶表示パネルの製造方法は、各々、互いに隣り合うように配置された第1副画素及び第2副画素を有し、マトリクス状に設けられた複数の画素と、該各画素の第1副画素及び第2副画素の間に、互いに平行に延びるようにそれぞれ設けられた複数のゲート線と、該各ゲート線と交差する方向の該各画素の間に、互いに平行に延びるようにそれぞれ設けられた複数のソース線と、上記各画素の第1副画素毎にそれぞれ設けられた複数の第1薄膜トランジスタと、上記各画素の第2副画素毎にそれぞれ設けられた複数の第2薄膜トランジスタとを備え、上記各画素において、上記各ソース線が上記各ゲート線に沿って単一に引き出された後に上記第1副画素側に分岐して上記各第1薄膜トランジスタの一部を構成する第1ソース電極と、上記第2副画素側に分岐して上記各第2薄膜トランジスタの一部を構成する第2ソース電極とを有し、上記各ゲート線が上記各ソース線の分岐した部分で開口した薄膜トランジスタ基板を作製する薄膜トランジスタ基板作製工程と、共通電極を有する対向基板を作製する対向基板作製工程と、上記薄膜トランジスタ基板作製工程で作製された薄膜トランジスタ基板、及び上記対向基板作製工程で作製された対向基板を液晶層を介して貼り合わせることにより、貼合体を作製する貼合体作製工程と、上記貼合体作製工程で作製された貼合体の各画素において、上記第1ソース電極又は第2ソース電極と上記共通電極との間が短絡した短絡欠陥を検出する欠陥検出工程と、上記欠陥検出工程で短絡欠陥が検出された画素において、上記各ゲート線の開口した部分を介してレーザー光を照射することにより、上記短絡した第1ソース電極又は第2ソース電極を切断して、対応する上記第1薄膜トランジスタ又は第2薄膜トランジスタを該薄膜トランジスタが接続されたソース線から分離する欠陥修正工程とを備える。
 上記の方法によれば、薄膜トランジスタ基板作製工程で作製された薄膜トランジスタ基板では、各画素において、各ソース線が各ゲート線に沿って単一に引き出された後に第1副画素側に分岐した第1ソース電極と、第2副画素側に分岐した第2ソース電極とを備え、各ゲート線が各ソース線の分岐した部分、すなわち、第1ソース電極及び第2ソース電極の部分で開口しているので、欠陥検出工程において、貼合体作製工程で作製された貼合体、すなわち、液晶表示パネルの各画素において、薄膜トランジスタ基板側の第1薄膜トランジスタの第1ソース電極、又は第2薄膜トランジスタの第2ソース電極と、対向基板の共通電極との間が短絡した短絡欠陥が検出された場合には、欠陥修正工程において、短絡欠陥が検出された画素において、各ゲート線の開口した部分を介してレーザー光を照射することにより、短絡した第1ソース電極又は第2ソース電極を切断して、対応する第1薄膜トランジスタ又は第2薄膜トランジスタをその薄膜トランジスタが接続されたソース線から分離することになる。これにより、短絡欠陥が検出された画素において、共通電極に入力される信号がソース線に入力されなくなるので、薄膜トランジスタ基板に設けられた各薄膜トランジスタのソース電極と、対向基板の共通電極との間に発生した短絡欠陥が修正される。ここで、欠陥修正工程において、短絡欠陥を修正する際にレーザー光を照射する箇所(第1ソース電極又は第2ソース電極)は、各ソース線の各ゲート線と交差する方向に延びる部分から離間していると共に、ゲート線に重なっていないので、レーザー光の照射による各ソース線及び各ゲート線の損傷が抑制され、例えば、薄膜トランジスタがソース線及びゲート線の交差する部分の近傍に配置された場合よりも短絡欠陥が容易に修正される。したがって、薄膜トランジスタ基板の各薄膜トランジスタのソース電極と、対向基板の共通電極との間に発生した短絡欠陥を可及的に容易に修正することが可能になる。
 上記薄膜トランジスタ基板は、上記各画素において、上記各ゲート線が上記各第1薄膜トランジスタの一部を構成する第1ゲート電極と、該第1ゲート電極から離間して上記各第2薄膜トランジスタの一部を構成する第2ゲート電極とを有し、上記欠陥修正工程では、上記短絡した第1ソース電極又は第2ソース電極に対応する上記第1ゲート電極又は第2ゲート電極を該ゲート電極が接続されたゲート線から分離してもよい。
 上記の方法によれば、欠陥修正工程では、短絡した第1ソース電極又は第2ソース電極に対応する第1ゲート電極又は第2ゲート電極をそのゲート電極が接続されたゲート線から分離するので、短絡欠陥が発生した副画素の薄膜トランジスタと、それに対応するゲート線及びソース線との電気的な接続が解除されることにより、薄膜トランジスタの短絡欠陥に起因する不具合が低減される。
 本発明によれば、各画素において、各ソース線が各ゲート線に沿って単一に引き出された後に第1副画素側に分岐した第1ソース電極と、第2副画素側に分岐した第2ソース電極とを備えているので、薄膜トランジスタ基板の各薄膜トランジスタのソース電極と、対向基板の共通電極との間に発生した短絡欠陥を可及的に容易に修正することができる。
図1は、実施形態1に係る液晶表示パネルを構成するTFT基板の平面図である。 図2は、図1中の領域Aを拡大したTFT基板の平面図である。 図3は、図2中のIII-III線に沿ったTFT基板及びそれを備えた液晶表示パネルの断面図である。 図4は、TFT基板におけるTFTが形成された領域を拡大した平面図である。 図5は、ソース電極及び共通電極の間に短絡欠陥が発生した液晶表示パネルの断面図である。 図6は、ソース電極及びドレイン電極の間に短絡欠陥が発生した液晶表示パネルの断面図である。 図7は、実施形態1に係る液晶表示パネルの製造方法を示すTFT基板の平面図である。 図8は、実施形態2に係る液晶表示パネルの製造方法を示すTFT基板の平面図である。
 以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の各実施形態に限定されるものではない。
 《発明の実施形態1》
 図1~図7は、本発明に係る液晶表示パネル及びその製造方法の実施形態1を示している。具体的に、図1は、本実施形態の液晶表示パネル50を構成するTFT基板20の平面図であり、図2は、図1中の領域Aを拡大したTFT基板20の平面図である。また、図3は、図2中のIII-III線に沿ったTFT基板20及びそれを備えた液晶表示パネル50の断面図である。さらに、図4は、TFT基板20における第1TFT5a及び第2TFT5bが形成された領域、すなわち、短絡欠陥を修正する際にレーザー光が照射される領域の近傍を拡大した平面図である。
 液晶表示パネル50は、図3に示すように、互いに対向するように設けられたTFT基板20及び対向基板30と、TFT基板20及び対向基板30の間に設けられた液晶層40と、TFT基板20及び対向基板30を互いに接着すると共に、TFT基板20及び対向基板30の間に液晶層40を封入するためのシール材(不図示)とを備えている。ここで、TFT基板20、対向基板30及びそれらを備えた液晶表示パネル50では、図1に示すように、各々、図中の縦方向に互いに隣り合うように配置された第1副画素Pa及び第2副画素Pbを有する複数の画素Pがマトリクス状に設けられている。
 TFT基板20は、図1~図3に示すように、透明基板10aと、各画素Pの第1副画素Pa及び第2副画素Pbの間に互いに平行に延びるように透明基板10a上にそれぞれ設けられた複数のゲート線11aと、各ゲート線11aの延びる方向(図1中の横方向)の各画素Pの間に互いに平行に延びるように透明基板10a上にそれぞれ設けられた複数の容量線11bと、各ゲート線11a及び各容量線11bと直交する方向(図1中の縦方向)の各画素Pの間に互いに平行に延びるようにそれぞれ設けられた複数の第1ソース線14aと、各ゲート線11a及び各容量線11bと直交する方向の各画素Pの間に互いに平行に延びると共に、各第1ソース線14aと隣り合うようにそれぞれ設けられた複数の第2ソース線14bと、各第1副画素Pa毎にそれぞれ設けられた複数の第1TFT5aと、各第2副画素Pb毎にそれぞれ設けられた複数の第2TFT5bと、各第1TFT5a及び各第2TFT5bを覆うように設けられた層間絶縁膜15と、各第1副画素Paにおいて層間絶縁膜15上にそれぞれ設けられ、各第1TFT5aに接続された複数の第1画素電極16aと、各第2副画素Pbにおいて層間絶縁膜15上にそれぞれ設けられ、各第2TFT5bに接続された複数の第2画素電極16bと、各第1画素電極16a及び各第2画素電極16bを覆うように設けられた配向膜(不図示)とを備えている。
 容量線11bは、図1に示すように、隣り合う一対のゲート11aの間で2列の格子状に設けられている。
 第1TFT5aは、図1~図3に示すように、透明基板10a上にゲート線11aの一部として設けられた第1ゲート電極11aaと、第1ゲート電極11aaを覆うように設けられたゲート絶縁膜12と、ゲート絶縁膜12上に第1ゲート電極11aaに重なるように島状に設けられた第1半導体層13aと、第1半導体層13a上に第1ゲート電極11aaに重なると共に、互いに離間及び対峙するように設けられた第1ソース電極14aba及び第1ドレイン電極14caとを備えている。
 第1ソース電極14abaは、図1及び図2に示すように、第1ソース線14a又は第2ソース線14bからゲート線11aに沿って単一に引き出された後に、第1副画素Pa側にU字状に分岐された部分である。ここで、第1ソース線14a又は第2ソース線14bからゲート線11aに沿って単一に引き出された部分は、図2に示すように、第1ソース線14a又は第2ソース線14bがゲート線11aに沿って延びる引き出し部14abになっている。
 第1ドレイン電極14caは、図1に示すように、各第1副画素Paにおいて、その中央を中心に+字状に延設され、その+字状に延設された部分の中央で層間絶縁膜15に形成されたコンタクトホール15aを介して第1画素電極16aに接続されていると共に、ゲート絶縁膜12を介して容量線11bに重なることにより、各第1副画素Paの補助容量を構成している。
 第2TFT5bは、図1~図3に示すように、透明基板10a上にゲート線11aの一部として設けられた第2ゲート電極11abと、第2ゲート電極11abを覆うように設けられたゲート絶縁膜12と、ゲート絶縁膜12上に第2ゲート電極11abに重なるように島状に設けられた第2半導体層13bと、第2半導体層13b上に第2ゲート電極11abに重なると共に、互いに離間及び対峙するように設けられた第2ソース電極14abb及び第2ドレイン電極14cbとを備えている。
 第2ソース電極14abbは、図1及び図2に示すように、第1ソース線14a又は第2ソース線14bからゲート線11aに沿って単一に引き出された後に、第2副画素Pa側にU字状に分岐された部分である。ここで、第1ソース電極14aba及び第2ソース電極14abbの間は、図2に示すように、引き出し部14abから第1ソース電極14aba及び第2ソース電極14abbに分岐する分岐部14abcとなっている。
 第2ドレイン電極14cbは、図1に示すように、各第2副画素Pbにおいて、その中央を中心に+字状に延設され、その+字状に延設された部分の中央で層間絶縁膜15に形成されたコンタクトホール15aを介して第2画素電極16bに接続されていると共に、ゲート絶縁膜12を介して容量線11bに重なることにより、各第2副画素Pbの補助容量を構成している。
 第1TFT5a及び第2TFT5bは、図1に示すように、ゲート線11aと直交する方向(図中の縦方向)に沿って隣り合うもの同士が互いに異なるソース線(第1ソース線14a及び第2ソース線14b)に接続されており、第1TFT5a及び第2TFT5bと第1ソース線14a又は第2ソース線14bとの接続構造が千鳥状に配置されている。すなわち、図1に示すように、図中の右下側の第1TFT5a及び第2TFT5bは、図中の中央に延びる第1ソース線14aに接続され、それらに図中の縦方向に沿って隣り合う図中の右上側の第1TFT5a及び第2TFT5bは、図中の右側に延びる第2ソース線14bに接続され、図中の左下側の第1TFT5a及び第2TFT5bは、図中の中央に延びる第2ソース線14bに接続され、それらに図中の縦方向に沿って隣り合う図中の左上側の第1TFT5a及び第2TFT5bは、図中の左側に延びる第1ソース線14aに接続されている。
 ゲート線11aは、図1及び図2に示すように、第1ソース線14a及び第2ソース線14bの分岐した部分(第1ソース電極14aba及び第2ソース電極14abbの間の分岐部14abc)と、単一に引き出された部分(引き出し部14ab)とで開口している。ここで、第1ゲート電極11aa及び第2ゲート電極11abは、図1及び図2に示すように、ゲート線11aの開口した領域を介して互いに離間している。
 第1ソース電極14aba及び第2ソース電極14abbは、図2に示すように、第1半導体層13a及び第2半導体層13bにそれぞれ重ならないように、3μm以上に線状に形成された被切断部Cをそれぞれ有している。ここで、第1TFT5a及び第2TFT5bの近傍の具体的な寸法を例示すると、図4に示すように、Daが10μm程度であり、Dbが15μm程度であり、Dcが6μm程度であり、Ddが7μm程度であり、Deが4μm程度であり、Dfが7μm程度であり、Dgが10μm程度であり、Dhが4.5μm程度である。なお、第1副画素Pa及び第2副画素Pbの各大きさは、縦375μm程度×横250μm程度である。
 対向基板30は、図3に示すように、透明基板10bと、透明基板10b上に枠状に且つその枠内に格子状に設けられたブラックマトリクス21と、ブラックマトリクス21の各格子間にそれぞれ設けられた赤色層、緑色層及び青色層などの複数の着色層(不図示)と、ブラックマトリクス21及び各着色層を覆うように設けられた共通電極22と、共通電極22上に柱状に設けられた複数のフォトスペーサ(不図示)と、共通電極及び各フォトスペーサを覆うように設けられた配向膜(不図示)とを備えている。
 液晶層40は、電気光学特性を有するネマチックの液晶材料などにより構成され、負の誘電率異方性(Δε<0)の液晶分子を含んでいる。
 上記構成の液晶表示パネル50は、TFT基板20上の各第1画素電極16a及び各第2画素電極16bと対向基板30上の共通電極22との間に配置する液晶層40に各画素P毎に所定の電圧を印加して、液晶層40の配向状態を変えることにより、各画素P毎にパネル内を透過する光の透過率を調整して、画像を表示するように構成されている。ここで、液晶表示パネル50では、各画素Pの第1副画素Pa及び第2副画素Pbを個別に駆動させることにより、各画素Pの第1副画素Pa及び第2副画素Pbにおける輝度を互いに異ならせるように制御されている。
 次に、本実施形態の液晶表示パネル50を製造する方法について説明する。ここで、図5は、第1ソース電極14aba及び共通電極22の間に短絡欠陥Saが発生した液晶表示パネル50の断面図である。また、図6は、第1ソース電極14aba及び第1ドレイン電極14caの間に短絡欠陥Sbが発生した液晶表示パネル50の断面図である。さらに、図7は、本実施形態の液晶表示パネル50の製造方法を示すTFT基板20の平面図である。なお、本実施形態の製造方法は、TFT基板作製工程、対向基板作製工程、貼合体作製工程、欠陥検出工程及び欠陥修正工程を備える。
 <TFT基板作製工程>
 まず、ガラス基板などの透明基板10aの基板全体に、例えば、スパッタリング法により、チタン膜(厚さ25nm程度)及び銅膜(厚さ400nm程度)などを順に成膜して、金属積層膜を形成した後に、その金属積層膜に対して、フォトリソグラフィ、エッチング及びレジストパターンの剥離洗浄を行うことにより、第1ゲート電極11aa及び第2ゲート電極11abを有するゲート線11a、並びに容量線11bを形成する。
 続いて、ゲート線11a及び容量線11bが形成された基板全体に、例えば、プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)法により、窒化シリコン膜(厚さ400nm程度)などを成膜して、ゲート絶縁膜12を形成する。
 さらに、ゲート絶縁膜12が形成された基板全体に、例えば、プラズマCVD法により、例えば、真性アモルファスシリコン膜(厚さ200nm程度)、及びリンがドープされたn+アモルファスシリコン膜(厚さ20nm程度)を順に成膜した後に、真性アモルファスシリコン膜及びn+アモルファスシリコン膜の積層膜に対して、フォトリソグラフィ、エッチング及びレジストパターンの剥離洗浄を行うことにより、第1ゲート電極11aa及び第2ゲート電極11abの上方に島状の第1半導体層形成層(13a)及び第2半導体層形成層(13b)をそれぞれ形成する。
 続いて、上記第1半導体層形成層(13a)及び第2半導体層形成層(13b)が形成された基板全体に、例えば、スパッタリング法により、チタン膜(厚さ30nm程度)及び銅膜(厚さ400nm程度)などを順に成膜して、金属積層膜を形成した後に、その金属積層膜に対して、フォトリソグラフィ、エッチング及びレジストパターンの剥離洗浄を行うことにより、第1ソース電極14aba及び第2ソース電極14abbを有する第1ソース線14a、第1ソース電極14aba及び第2ソース電極14abbを有する第2ソース線14b、第1ドレイン電極14ca、並びに第2ドレイン電極14cbを形成する。
 そして、第1ソース電極14aba及び第1ドレイン電極14ca、並びに第2ソース電極14abb及び第2ドレイン電極14cbをマスクとして、上記第1半導体層形成層(13a)及び第2半導体層形成層(13b)のn+アモルファスシリコン層をエッチングで除去することにより、第1半導体層13a及びそれを備えた第1TFT5a、並びに第2半導体層13b及びそれを備えた第2TFT5bを形成する。
 さらに、第1TFT5a及び第2TFT5bが形成された基板全体に、例えば、プラズマCVD法により、窒化シリコン膜(厚さ200nm程度)などを成膜し、無機絶縁膜を形成する。
 続いて、上記無機絶縁膜が形成された基板全体に、例えば、スピンコート法又はスリットコート法により、アクリル系の感光性樹脂膜を塗布し、その塗布された感光性樹脂膜に対して、露光、現像及びベーキングを行うことにより、第1ドレイン電極14ca及び第2ドレイン電極14cbの上方にコンタクトホール15aの一部となる開口部を有する有機絶縁膜(厚さ2500nm程度)を形成する。
 さらに、上記有機絶縁膜の開口部から露出する上記無機絶縁膜をエッチングで除去して、コンタクトホール15aを形成することにより、無機絶縁膜及び有機絶縁膜の積層膜からなる層間絶縁膜15を形成する。
 そして、層間絶縁膜15が形成された基板全体に、例えば、スパッタリング法により、ITO(Indium Tin Oxide)膜(厚さ100nm程度)などの透明導電膜を成膜した後に、その透明導電膜に対して、フォトリソグラフィ、エッチング及びレジストパターンの剥離洗浄を行うことにより、第1画素電極16a及び第2画素電極16bを形成する。
 最後に、第1画素電極16a及び第2画素電極16bが形成された基板全体に、例えば、スピンコート法又はスリットコート法により、配向膜材料膜を塗布し、その塗布された配向膜材料に対して、露光、現像及びベーキングを行うことにより、配向膜(厚さ100nm程度)を形成する。ここで、配向膜材料膜は、例えば、一定時間のUV(ultraviolet)光の照射により側鎖がUV光の照射方向に傾くように構成された高分子有機化合物の薄膜により形成されている。
 以上のようにして、TFT基板20を作製することができる。
 <対向基板作製工程>
 まず、ガラス基板などの透明基板10bの基板全体に、例えば、スピンコート法又はスリットコート法により、黒に着色されたアクリル系の感光性樹脂を塗布し、その塗布された感光性樹脂をフォトマスクを介して露光した後に、現像することにより、ブラックマトリクス21(厚さ2μm程度)を形成する。
 続いて、ブラックマトリクス21が形成された基板上に、例えば、スピンコート法又はスリットコート法により、赤、緑又は青に着色されたアクリル系の感光性樹脂を塗布し、その塗布された感光性樹脂をフォトマスクを介して露光した後に、現像することによりパターニングして、選択した色の着色層(例えば、赤色層)を厚さ2μm程度に形成する。さらに、他の2色についても同様な工程を繰り返して、他の2色の着色層(例えば、緑色層及び青色層)を厚さ2μm程度に形成する。
 その後、上記各着色層が形成された基板上に、例えば、スパッタリング法により、ITO膜(厚さ100nm程度)を成膜して、共通電極22を形成する。
 さらに、共通電極22が形成された基板全体に、例えば、スピンコート法又はスリットコート法により、感光性のアクリル樹脂などからなる感光性樹脂膜を塗布した後に、その感光性樹脂膜に対して、露光、現像及びベーキングを行うことにより、フォトスペーサ(厚さ1μm程度)を形成する。
 最後に、上記フォトスペーサが形成された基板全体に、例えば、スピンコート法又はスリットコート法により、配向膜材料膜を塗布し、その塗布された配向膜材料に対して、露光、現像及びベーキングを行うことにより、配向膜(厚さ100nm程度)を形成する。
 以上のようにして、対向基板30を作製することができる。
 <貼合体作製工程>
 まず、例えば、上記対向基板作製工程で作製された対向基板30の表面に、UV硬化及び熱硬化の併用型樹脂などからなるシール材を枠状に印刷した後に、そのシール材の内側に液晶材料を滴下する。
 続いて、上記液晶材料が滴下された対向基板30と、上記TFT基板作製工程で作製されたTFT基板20とを、減圧下で貼り合わせた後に、その貼り合わせた貼合体を大気圧に開放することにより、その貼合体の表面及び裏面を加圧する。
 さらに、上記貼合体に挟持されたシール材にUV光を照射した後に、その貼合体を加熱することによりシール材を硬化させる。
 最後に、上記シール材を硬化させた貼合体を、例えば、ダイシングにより分断することにより、その不要な部分を除去する。
 以上のようにして、液晶表示パネル50(貼合体)を作製することができる。
 <欠陥検出工程>
 上記貼合体作製工程で作製された液晶表示パネル50に対して、各ゲート線11a、各容量線11b、各第1ソース線14a、各第2ソース線14b及び共通電極22に所定の検査信号を入力して、点灯検査を行うことにより、例えば、図5に示すように、膜残りなどの導電性を有する異物Fを介して、第1ソース電極14abaと共通電極22との間が短絡した短絡欠陥Saを検出する。ここで、短絡欠陥Saは、例えば、図6に示すように、第1ソース電極14aba及び第1ドレイン電極14caの間で発生した短絡欠陥Sbを引き起こした異物Fが、液晶表示パネルを運搬する際の振動やパネル表面に対する加圧などに起因して移動することにより、発生するものと考えられる。
 <欠陥修正工程>
 上記欠陥検出工程で短絡欠陥Saが検出された場合には、図7に示すように、短絡欠陥Saが検出された第1副画素Pにおいて、第1ソース電極14abaのRa部にレーザー光Lを照射することにより、第1ソース電極14abaを被切断部Cで切断することにより、第1ソース線14aから第1TFT5aを分離する。ここで、レーザー光Lは、例えば、YAG(Yttrium Aluminium Garnet)レーザーなどを用いて、1μm×5μm程度のスポットサイズで出力されたものである。その後、第1TFT5aが分離された第1副画素Pにおいて、レーザー光の照射により、容量線11bと第1ドレイン電極14caとを接続することにより、当該第1副画素Paを黒点化する。
 以上のようにして、本実施形態の短絡欠陥Saが修正された液晶表示パネル50を製造することができる。
 以上説明したように、本実施形態の液晶表示パネル50及びその製造方法によれば、TFT基板作製工程で作製されたTFT基板20では、各画素Pにおいて、各第1ソース線14a又は各第2ソース線14bが各ゲート線11aに沿って単一に引き出された後に第1副画素Pa側に分岐した第1ソース電極14abaと、第2副画素Pb側に分岐した第2ソース電極14abbとを備え、各ゲート線11aが各第1ソース線14a又は各第2ソース線14bの分岐した部分、すなわち、第1ソース電極14aba及び第2ソース電極14abbの部分で開口しているので、欠陥検出工程において、貼合体作製工程で作製された貼合体、すなわち、液晶表示パネル50の各画素Pにおいて、TFT基板20側の第1TFT5aの第1ソース電極14aba、又は第2TFT5bの第2ソース電極14abbと、対向基板20の共通電極22との間が短絡した短絡欠陥Saが検出された場合には、欠陥修正工程において、短絡欠陥Saが検出された画素Pにおいて、各ゲート線11aの開口した部分を介してレーザー光Lを照射することにより、短絡した第1ソース電極14aba又は第2ソース電極14abbを切断して、対応する第1TFT5a又は第2TFT5bをそのTFTが接続された第1ソース線14a又は第2ソース線14bから分離することになる。これにより、短絡欠陥Saが検出された画素Pにおいて、共通電極22に入力される信号が第1ソース線14a又は第2ソース線14bに入力されなくなるので、TFT基板20に設けられた各TFT(第1TFT5a及び第2TFT5b)のソース電極(第1ソース電極14aba及び第2ソース電極14abb)と、対向基板30の共通電極22との間に発生した短絡欠陥Saを修正することができる。ここで、欠陥修正工程において、短絡欠陥Saを修正する際にレーザー光Lを照射する箇所(第1ソース電極14aba又は第2ソース電極14abb)は、各第1ソース線14a又は各第2ソース線14bの各ゲート線11aと直交する方向に延びる部分から離間していると共に、ゲート線11aに重なっていないので、レーザー光Lの照射による各第1ソース線14a又は各第2ソース線14b及び各ゲート線11aの損傷を抑制することができ、例えば、TFTがソース線及びゲート線の交差する部分の近傍に配置された場合よりも短絡欠陥を容易に修正することができる。したがって、TFT基板20に設けられた各TFT(第1TFT5a及び第2TFT5b)のソース電極(第1ソース電極14aba及び第2ソース電極14abb)と、対向基板30の共通電極22との間に発生した短絡欠陥Saを可及的に容易に修正することができる。
 また、本実施形態の液晶表示パネル50によれば、各ゲート線11aが各第1ソース線14a又は各第2ソース線14bの単一に引き出された部分で開口しているので、各ゲート線11aと各第1ソース線14a及び各第2ソース線14bとの重なる面積を抑制することができ、各ゲート線11aと各第1ソース線14a及び各第2ソース線14bとの交差部分に形成される寄生容量を小さくすることができる。
 また、本実施形態の液晶表示パネル50によれば、第1ソース電極14abaが第1半導体層13aに重ならないように3μm以上の線状に形成された被切断部Cを有し、第2ソース電極14abbが第2半導体層13bに重ならないように3μm以上の線状に形成された被切断部Cを有しているので、短絡欠陥Saを修正する際には、各被切断部Cにレーザー光Lを照射することにより、短絡した第1ソース電極14aba又は第2ソース電極14abbを確実に切断することができる。
 また、本実施形態の液晶表示パネル50によれば、各第1TFT5a及び各第2TFT5bが画素Pを介して隣り合う第1ソース線14a及び第2ソース線14bの中間部分に設けられているので、短絡欠陥Saを修正する際にレーザー光Lを照射する箇所(第1ソース電極14aba又は第2ソース電極14abb)を、各第1ソース線14a又は各第2ソース線14bの各ゲート線11aと交差する方向に延びる部分から具体的に離間させることができる。また、液晶分子の配向をピコメートルレベルで精密に制御する光配向技術を適用した液晶表示パネル50では、各第1副画素Pa及び各第2副画素Pbの中央を中心に+字状の暗部が形成されるので、その暗部を利用して、各第1TFT5a及び各第2TFT5bを始め、容量線11b、並びに容量線11bに重なる第1ドレイン電極14ca及び第2ドレイン電極14cbの各延設部を配置することにより、補助容量の配置に起因する各画素Pの開口率の低下を抑制することができる。
 また、本実施形態の液晶表示パネル50によれば、短絡欠陥Saが修正された画素Pでは、第1副画素Paが黒点化するものの、第2副画素Pbが正常に駆動するので、画素P全体が黒点化する場合よりも表示品位を向上させることができる。
 《発明の実施形態2》
 図8は、本実施形態の液晶表示パネル50の製造方法を示すTFT基板20aの平面図である。なお、以下の実施形態において、図1~図7と同じ部分については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
 上記実施形態1では、短絡欠陥Saが検出された画素Pに対して、切断用のレーザー光Lを1箇所に照射する液晶表示パネル50の製造方法を例示したが、本実施形態では、短絡欠陥Saが検出された画素Pに対して、切断用のレーザー光Lを3箇所に照射する液晶表示パネル50の製造方法を例示する。
 具体的には、欠陥修正工程において、欠陥検出工程で短絡欠陥Saが検出された場合には、図8に示すように、短絡欠陥Saが検出された第1副画素Pにおいて、第1ソース電極14abaのRa部、並びにゲート線11aのRb部及びRc部にレーザー光Lをそれぞれ照射することにより、第1ソース電極14abaを被切断部Cで切断すると共に、ゲート線11aを第1ゲート電極11aaの前側及び後側で切断することにより、第1ソース線14a及びゲート線11aから第1TFT5aを分離する。その後、第1TFT5aが分離された第1副画素Pにおいて、レーザー光の照射により、容量線11bと第1ドレイン電極14caとを接続することにより、当該第1副画素Paを黒点化する。これにより、本実施形態の短絡欠陥Saが修正された液晶表示パネル50を製造することができる。
 以上説明したように、本実施形態の液晶表示パネル50及びその製造方法によれば、上記実施形態1と同様に、TFT基板作製工程で作製されたTFT基板20では、各画素Pにおいて、各第1ソース線14a又は各第2ソース線14bが各ゲート線11aに沿って単一に引き出された後に第1副画素Pa側に分岐した第1ソース電極14abaと、第2副画素Pb側に分岐した第2ソース電極14abbとを備え、各ゲート線11aが各第1ソース線14a又は各第2ソース線14bの分岐した部分、すなわち、第1ソース電極14aba及び第2ソース電極14abbの部分で開口しているので、TFT基板20に設けられた各TFT(第1TFT5a及び第2TFT5b)のソース電極(第1ソース電極14aba及び第2ソース電極14abb)と、対向基板30の共通電極22との間に発生した短絡欠陥Saを可及的に容易に修正することができる。
 また、本実施形態の液晶表示パネル50の製造方法によれば、欠陥修正工程では、短絡した第1ソース電極14abaに対応する第1ゲート電極11aaをその第1ゲート電極11aaが接続されたゲート線11aから分離するので、短絡欠陥Saが発生した第1副画素Paの第1TFT5aと、それに対応するゲート線11a及び第1ソース線14aとの電気的な接続が解除されることにより、第1TFT5aの短絡欠陥Saに起因する不具合を低減することができる。
 なお、上記各実施形態では、TFTを備えた液晶表示パネルを例示したが、本発明は、TFT以外の3端子のスイッチング素子を備えた液晶表示パネルにも適用することができる。
 また、上記各実施形態では、点灯検査後に短絡欠陥を修正する製造方法を例示したが、本発明は、TFT基板作製工程で作製されたTFT基板に対して、電荷検出法などを用いたアレイ検査を行い、TFTのソース電極及びドレイン電極の間で発生した短絡欠陥を検出した後に、その短絡欠陥を修正することにより、パネル化した後に懸念される各TFTのソース電極と、対向基板の共通電極との間における短絡欠陥の発生を抑制する製造方法にも適用することができる。
 また、上記各実施形態では、ボトムゲート構造のTFTを備えた液晶表示パネルを例示したが、本発明は、トップゲート構造のTFTを備えた液晶表示パネルにも適用することができる。
 また、上記各実施形態では、各画素の間に第1ソース線及び第2ソース線の2本のソース線が設けられたTFT基板を備えた液晶表示パネルを例示したが、本発明は、各画素の間に1本のソース線が設けられたTFT基板を備えた液晶表示パネルにも適用することができる。
 また、上記各実施形態では、画素電極に接続されたTFTの電極をドレイン電極としたTFT基板を備えた液晶表示パネルを例示したが、本発明は、画素電極に接続されたTFTの電極をソース電極と呼ぶTFT基板を備えた液晶表示パネルにも適用することができる。
 以上説明したように、本発明は、TFT基板の各TFTのソース電極と、対向基板の共通電極との間に発生した短絡欠陥を容易に修正することができるので、液晶表示パネルを備えた液晶テレビなどについて有用である。
C      被切断部
L      レーザー光
P      画素
Pa     第1副画素
Pb     第2副画素
Sa     短絡欠陥
5a     第1TFT
5b     第2TFT
11a    ゲート線
11aa   第1ゲート電極
11ab   第2ゲート電極
13a    第1半導体層
13b    第2半導体層
14a    第1ソース線
14ab   引き出し部
14b    第2ソース線
14aba  第1ソース電極
14abb  第2ソース電極
14abc  分岐部
20     TFT基板
22     共通電極
30     対向基板
40     液晶層
50     液晶表示パネル(貼合体)

Claims (7)

  1.  互いに隣り合う第1副画素及び第2副画素を有する画素と、該第1副画素及び第2副画素の間に配置されたゲート線と、該ゲート線と交差する方向の上記画素の縁に沿って配置されたソース線と、上記第1副画素に設けられた第1薄膜トランジスタと、該第1薄膜トランジスタに設けられた第1ソース電極と、上記第2副画素に設けられた第2薄膜トランジスタと、該第2薄膜トランジスタに設けられた第2ソース電極とを備えた薄膜トランジスタ基板と、
     上記薄膜トランジスタ基板に対向して設けられ、共通電極を有する対向基板と、
     上記薄膜トランジスタ基板及び対向基板の間に設けられた液晶層とを備え、
     上記ソース線は、上記ゲート線に沿って延びる引き出し部、及び該引き出し部から上記第1ソース電極と上記第2ソース電極とに分岐する分岐部を有し、
     上記ゲート線は、上記分岐部で開口している、液晶表示パネル。
  2.  各々、互いに隣り合うように配置された第1副画素及び第2副画素を有し、マトリクス状に設けられた複数の画素と、該各画素の第1副画素及び第2副画素の間に、互いに平行に延びるようにそれぞれ設けられた複数のゲート線と、該各ゲート線と交差する方向の該各画素の間に、互いに平行に延びるようにそれぞれ設けられた複数のソース線と、上記各画素の第1副画素毎にそれぞれ設けられた複数の第1薄膜トランジスタと、上記各画素の第2副画素毎にそれぞれ設けられた複数の第2薄膜トランジスタとを備えた薄膜トランジスタ基板と、
     上記薄膜トランジスタ基板に対向するように設けられ、共通電極を有する対向基板と、
     上記薄膜トランジスタ基板及び対向基板の間に設けられた液晶層とを備え、
     上記薄膜トランジスタ基板は、上記各画素において、上記各ソース線が上記各ゲート線に沿って単一に引き出された後に上記第1副画素側に分岐して上記各第1薄膜トランジスタの一部を構成する第1ソース電極と、上記第2副画素側に分岐して上記各第2薄膜トランジスタの一部を構成する第2ソース電極とを有し、
     上記各ゲート線は、上記各ソース線の分岐した部分で開口している、液晶表示パネル。
  3.  上記各ゲート線は、上記各ソース線の単一に引き出された部分で開口している、請求項2に記載の液晶表示パネル。
  4.  上記各第1薄膜トランジスタは、島状に設けられた第1半導体層を有し、
     上記第1ソース電極は、上記第1半導体層に重ならないように3μm以上の線状に形成された被切断部を有し、
     上記各第2薄膜トランジスタは、島状に設けられた第2半導体層を有し、
     上記第2ソース電極は、上記第2半導体層に重ならないように3μm以上の線状に形成された被切断部を有している、請求項2又は3に記載の液晶表示パネル。
  5.  上記各第1薄膜トランジスタ及び各第2薄膜トランジスタは、上記隣り合う一対のソース線の中間部分に設けられている、請求項2乃至4の何れか1つに記載の液晶表示パネル。
  6.  各々、互いに隣り合うように配置された第1副画素及び第2副画素を有し、マトリクス状に設けられた複数の画素と、該各画素の第1副画素及び第2副画素の間に、互いに平行に延びるようにそれぞれ設けられた複数のゲート線と、該各ゲート線と交差する方向の該各画素の間に、互いに平行に延びるようにそれぞれ設けられた複数のソース線と、上記各画素の第1副画素毎にそれぞれ設けられた複数の第1薄膜トランジスタと、上記各画素の第2副画素毎にそれぞれ設けられた複数の第2薄膜トランジスタとを備え、上記各画素において、上記各ソース線が上記各ゲート線に沿って単一に引き出された後に上記第1副画素側に分岐して上記各第1薄膜トランジスタの一部を構成する第1ソース電極と、上記第2副画素側に分岐して上記各第2薄膜トランジスタの一部を構成する第2ソース電極とを有し、上記各ゲート線が上記各ソース線の分岐した部分で開口した薄膜トランジスタ基板を作製する薄膜トランジスタ基板作製工程と、
     共通電極を有する対向基板を作製する対向基板作製工程と、
     上記薄膜トランジスタ基板作製工程で作製された薄膜トランジスタ基板、及び上記対向基板作製工程で作製された対向基板を液晶層を介して貼り合わせることにより、貼合体を作製する貼合体作製工程と、
     上記貼合体作製工程で作製された貼合体の各画素において、上記第1ソース電極又は第2ソース電極と上記共通電極との間が短絡した短絡欠陥を検出する欠陥検出工程と、
     上記欠陥検出工程で短絡欠陥が検出された画素において、上記各ゲート線の開口した部分を介してレーザー光を照射することにより、上記短絡した第1ソース電極又は第2ソース電極を切断して、対応する上記第1薄膜トランジスタ又は第2薄膜トランジスタを該薄膜トランジスタが接続されたソース線から分離する欠陥修正工程とを備える、液晶表示パネルの製造方法。
  7.  上記薄膜トランジスタ基板は、上記各画素において、上記各ゲート線が上記各第1薄膜トランジスタの一部を構成する第1ゲート電極と、該第1ゲート電極から離間して上記各第2薄膜トランジスタの一部を構成する第2ゲート電極とを有し、
     上記欠陥修正工程では、上記短絡した第1ソース電極又は第2ソース電極に対応する上記第1ゲート電極又は第2ゲート電極を該ゲート電極が接続されたゲート線から分離する、請求項6に記載の液晶表示パネルの製造方法。
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