WO2012160988A1 - 流体制御装置 - Google Patents

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WO2012160988A1
WO2012160988A1 PCT/JP2012/062083 JP2012062083W WO2012160988A1 WO 2012160988 A1 WO2012160988 A1 WO 2012160988A1 JP 2012062083 W JP2012062083 W JP 2012062083W WO 2012160988 A1 WO2012160988 A1 WO 2012160988A1
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WO
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horizontal frame
line support
fluid control
frame member
support member
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PCT/JP2012/062083
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English (en)
French (fr)
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出 四方
吉田　恒夫
新也 野島
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Fujikin Inc
Original Assignee
Fujikin Inc
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Publication date
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Priority to US14/118,310 priority patent/US9423056B2/en
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L3/00—Supports for pipes, cables or protective tubing, e.g. hangers, holders, clamps, cleats, clips, brackets
    • F16L3/22—Supports for pipes, cables or protective tubing, e.g. hangers, holders, clamps, cleats, clips, brackets specially adapted for supporting a number of parallel pipes at intervals
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17D—PIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES
    • F17D1/00—Pipe-line systems
    • F17D1/02—Pipe-line systems for gases or vapours
    • F17D1/04—Pipe-line systems for gases or vapours for distribution of gas

Definitions

  • the present invention relates to a fluid control device used in a semiconductor manufacturing apparatus or the like, and more particularly, to a fluid control device formed by integrating a plurality of fluid control devices.
  • a plurality of fluid control devices are arranged in series, and a plurality of lines formed by connecting them without using pipes or joints are arranged in parallel on a base member. Integration is progressing in the area.
  • An integrated fluid control device is often installed in a vertical state in a casing, and in Patent Document 1, as such a fluid control device, a plurality of fluid control devices are provided on one movable rail (line support member).
  • a plurality of lines formed by being attached are disclosed, and each movable rail of the plurality of lines is slidably attached to a fixed rail (base member) that faces in a direction orthogonal thereto. ing.
  • the structure is such that a plurality of large stresses (tensile stress, shear stress, etc.) are applied to the fastening member (bolt).
  • the height of the portion that supports the fluid control device is the height of the movable rail (line support member) + the height of the fixed rail (base member).
  • the height of a fluid control device including a fluid control device is increased, and a space (housing) for storing the fluid control device becomes large.
  • An object of the present invention is to provide a fluid control device capable of shortening assembly time by facilitating fixing of a line support member.
  • Another object of the present invention is to provide a fluid control device capable of suppressing an increase in the height of the portion supporting the fluid control device.
  • a fluid control device is a fluid control device in which a plurality of fluid control devices are attached to one line support member, and the plurality of line support members are detachably attached to the base member.
  • the frame member and the lower horizontal frame member and the left and right vertical frame members orthogonal to these are formed in a rectangular frame shape, and each horizontal frame member is provided with a positioning portion for positioning each line support member, The upper and lower end portions of each line support member are fixed in a state of being positioned by the positioning portions of the respective lateral frame members.
  • the line support member to which the fluid control device is attached is attached in front of the fluid control device (FIG. 9), and the front, back, top, bottom, left and right are based on this.
  • This state is a typical installation state of the fluid control device, but the fluid control device of the present invention is not limited to this installation state, and the base member formed in a rectangular frame shape is vertical (Y direction). ) And the base member formed in a rectangular frame shape may be installed horizontally (X direction, Z direction).
  • the upper horizontal frame member may be arranged on either the left or right side, the lower horizontal frame member on the other side, and the line support members may be arranged in parallel so as to be parallel to each other.
  • each line support member to each horizontal frame member may be performed, for example, by fitting both members or using a separate member (for example, a cover member).
  • Each line support member is preferably sandwiched between each horizontal frame member and an upper and lower cover member that is detachably attached to the base member.
  • each horizontal frame member is, for example, a recess formed on the upper surface of each horizontal frame member, and each line support member is positioned by fitting its upper and lower ends to the recesses of each horizontal frame member.
  • the configuration for positioning is not limited to this, and the positioning portion of each horizontal frame member may be a convex portion, and the upper and lower end portions of each line support member may be provided with concave portions that fit into this. .
  • Each horizontal frame member is provided with screw holes at least at both ends thereof, and the cover member is formed with screw member insertion holes at both ends thereof and is detachably attached to the horizontal frame member by male screw members. It is preferable.
  • Each line support member is made of, for example, a sheet metal having a body portion with an inverted U-shaped cross section.
  • Each horizontal frame member is, for example, a metal flat bar made of sheet metal or stainless steel having a substantially U-shaped cross section. When the horizontal frame member has a substantially U-shaped cross section, it is preferable that the horizontal frame member is disposed so as to open to the back side, and a concave portion is formed on the upper wall thereof.
  • the vertical frame member is made of, for example, a sheet metal having a body portion with an inverted U-shaped cross section.
  • the cover member is made of a sheet metal having a substantially L-shaped cross section, for example.
  • Fluid control devices include on-off valves (valves that shut off and open fluid passages), pressure reducing valves, pressure and flow measurement and indicators, and flow regulators (flow control valves, thermal mass flow controllers such as mass flow controllers) A device, a pressure type flow rate control device, etc.).
  • a plurality of block-shaped joint members which are lower layers, are attached to a line support member by male thread members, and a plurality of fluid control devices, which are upper layers so as to straddle adjacent joint members, It is attached to the joint member by a male screw member. If it does in this way, the fluid control apparatus of an upper layer can be taken out upwards independently by removing the external thread member from the upper part.
  • the configuration of one line is not limited to that composed of a lower layer and an upper layer, and various configurations can be employed.
  • the upper and lower cover members may be fixed to the base member (horizontal frame member or vertical frame member) with bolts or the like.
  • the weight of the line support member can be supported by the upper horizontal frame member, the weight burden on the operator is reduced, the labor and time of work are reduced, and each line support member is Since it is fixed, the labor is eliminated and the assembly time can be greatly shortened.
  • Each line support member has a flat plate-like device placement portion and an upper bent portion that is bent to the back side at the upper end side, and the upper and lower end portions of the device placement portion are in front of each horizontal frame member. It is preferable that the upper bent portion is in contact with the upper surface of the upper horizontal frame member.
  • the upper bent portion of the line support member is received by the upper surface of the upper horizontal frame member, so that the weight of the line support member is supported by the upper horizontal frame member, and the fluid control device in the fluid control device is An increase in the height of the supporting portion can be suppressed.
  • a convex portion extending downward is provided at the upper bent portion of each line support member, and concave portions into which the convex portions of the upper bent portion can be fitted are formed on the upper surface of the upper horizontal frame member at a required interval. It is preferable.
  • the convex part of the upper bent part is, for example, that the rear side end of the upper bent part is bent at a right angle to the lower side and the lateral width thereof is shortened.
  • the shape of the convex portion can be various shapes, and the shape of the concave portion of the upper horizontal frame member is determined according to this shape.
  • the convex portion of the upper bent portion may be fitted into the concave portion of the upper horizontal frame member from above (using its own weight). It can be done easily.
  • the recesses of the upper horizontal frame member are provided at an interval smaller than the pitch of the line support member arrangement, and the line support member can be positioned by using a plurality of recesses, one by two, etc. It is more preferable that it is made like this.
  • Each line support member further has a left and right bent portion that is bent to the back side at the left and right edges of the device mounting portion, and the lower end of the left and right bent portion is fitted on the upper surface of the lower horizontal frame member. It is preferred that possible recesses are formed at the required intervals.
  • the upper and lower ends of the left and right bent parts are notched so that the vertical length is shorter than the vertical length of the equipment placement section, and the upper and lower ends of the equipment placement section are in contact with the upper surfaces of the vertical horizontal frame members.
  • both the upper bent portion and the convex portion of the upper bent portion are fitted into the concave portion of the upper horizontal frame member from above so that the upper and lower horizontal frame members do not interfere with each other.
  • the width in the left-right direction of the concave portion of the lower horizontal frame member is such that both one of the left bent portion and the other right bent portion of the adjacent line support member can be fitted in one concave portion of the lower horizontal frame member. It is preferable that
  • the width in the left-right direction of the concave portion of the lower horizontal frame member may be twice the plate thickness of each line support member. If it does in this way, while adjacent line support members can be arranged without a gap, play of each line support member can be controlled, and the full width of the device in the left-right direction can be reduced.
  • the recesses of the lower horizontal frame member are also provided at intervals smaller than the pitch of the line support member arrangement, and the line support member can be positioned by using a plurality of recesses one by two, for example. It is preferable to be able to do this. More preferably, the width in the left-right direction of the recess of the upper horizontal frame member is made equal to the width of the recess in the upper horizontal frame member.
  • the base member is formed in a rectangular frame shape by the upper horizontal frame member, the lower horizontal frame member, and the left and right vertical frame members orthogonal to them, and each horizontal frame member has a Positioning portions for positioning the line support members are provided, and the upper and lower end portions of each line support member are fixed in a state where they are positioned by the positioning portions of each horizontal frame member. Fixing work with bolts or the like is unnecessary, and the assembly time can be greatly shortened.
  • a positioning structure between the line support member and each horizontal frame member (For example, positioning by fitting the convex portion and the concave portion) and a fixing structure (a structure in which the line support member is fixed by the upper and lower cover members) are divided, and thereby stress applied to the male screw member for attaching the upper and lower cover members. Is only stress generated when the line support member is fixed by the upper and lower cover members, and unnecessary stress is not applied to the male screw member.
  • Each line support member has a flat device mounting portion and an upper bent portion that is bent to the back side at the upper end side thereof, and the upper and lower end portions of the device mounting portion are formed by the horizontal frame members. It is made to contact
  • FIG. 1 is a perspective view showing a main part of an embodiment of a fluid control apparatus according to the present invention with a cover member omitted.
  • FIG. 2 is a perspective view showing a main part of an embodiment of the fluid control apparatus according to the present invention including a cover member.
  • 3A and 3B show a line support member of the fluid control apparatus according to the present invention, in which FIG. 3A is a partially cutaway front view, FIG. 3B is a side view thereof, and FIG. 4A and 4B are views showing an upper horizontal frame member used in the fluid control apparatus according to the present invention, in which FIG. 4A is a partially cutaway plan view, and FIG. 4B is a cross section taken along line bb in FIG. (C) is a partially cutaway front view.
  • FIG. 5A and 5B are views showing a lower horizontal frame member used in the fluid control apparatus according to the present invention, in which FIG. 5A is a partially cutaway plan view, and FIG. 5B is a cross section taken along line bb in FIG. (C) is a partially cutaway front view.
  • 6A and 6B are views showing a lower cover member used in the fluid control apparatus according to the present invention.
  • FIG. 6A is a partially cutaway plan view
  • FIG. 6B is a sectional view taken along line bb in FIG. (C) is a partially cutaway front view.
  • FIG. 7 is a perspective view showing a positioning configuration of each line support member and each horizontal frame member.
  • FIG. 8 is a partially cutaway vertical cross-sectional view of the main part of the fluid control apparatus according to the present invention.
  • FIG. 9 is a front view showing a comparative example of the fluid control apparatus according to the present invention.
  • FIG. 10 is a side view of the same.
  • Base member (31) Upper horizontal frame member (32) Lower horizontal frame member (33) (34) Left and right vertical frame members (36) (37) Upper and lower cover members (40) Line support member (41) Equipment placement section (42) Upper bent part (43) (44) Left and right bent part (45) Convex (46) Concave part (positioning part) (47) Concave part (positioning part)
  • top / bottom / left / right refers to the top / bottom / left / right of FIG. 9, and for front / back (front and back), the front side of FIG. 9 is the front (front), and the back side of FIG. Let's say.
  • FIG. 9 and FIG. 10 show an example (comparative example) of a fluid control device targeted by the present invention.
  • the fluid control device (1) includes a plurality of block-shaped joint members (4), which are lower layers, attached to the line support member (3), and a plurality of fluids, which are upper layers so as to straddle adjacent joint members (4).
  • the control device (5) has a plurality of lines formed by being attached to the joint member (4), and is attached to and detached from the base member (2) so that each line support member (3) is parallel to each other It is attached as possible.
  • Each fluid control device (5) has a different function, but since it is a well-known device, it is generically referred to by reference numeral (5), and individual description is omitted.
  • the base member (2) is fixed to, for example, a vertical wall surface of the casing, and the line support member (3) incorporating the joint member (4) and the fluid control device (5) can be changed or expanded. It is done by attaching and detaching.
  • the base member (2) includes an upper horizontal frame member (11) arranged on the upper side and a lower horizontal frame member (12) arranged on the lower side, and a left vertical frame member (13) and a right vertical frame orthogonal to them.
  • a square frame is formed by the member (14).
  • Each fluid control device (5) is fixed to a corresponding joint member (4) by a male screw member from above.
  • Each joint member (4) is fixed to the line support member (3) by a male screw member from above.
  • Each horizontal frame member (11) (12) is a stainless steel flat bar, and each horizontal frame member (11) (12) is provided with a plurality of screw holes penetrating up and down at a required interval. It has been.
  • the line support member (3) is formed as an integrated product by bending a sheet metal, and has a flat plate-like device placement portion (21) and flat plate-like device placement portions (21 ) The upper and lower ends of the upper and lower ends are bent so that the upper and lower mounting portions (22) and (23) are bent, and the reinforcing portion (24) is connected to both edges of the device placement portion (21). Become.
  • the bent shape of the upper and lower end portions of the device mounting portion (21) is formed by bending the sheet metal, such as forming a bent shape with a plurality of members in addition to bending the sheet metal.
  • Any configuration may be used as long as the same effects as in (23) can be obtained.
  • Each mounting portion (22) (23) of the line support member (3) includes a flat plate portion (22a) (23a) formed in a flat plate shape that is flush with the end portion of the device placement portion (21).
  • the right-angled portions (22b) and (23b) are substantially L-shaped, and the right-angled portions (22b) and (23b) are provided with through-holes (25) and (26) penetrating in the vertical direction. ing.
  • the right angle portion (22b) of the upper mounting portion (22) is superimposed on the upper surface (outer surface) of the upper horizontal frame member (11), and the male screw member (10) is connected to the upper mounting portion ( 22)
  • the upper end portion is fixed to the upper horizontal frame member (11) by being screwed into the screw hole of the upper horizontal frame member (11) from above (outside) the right angle portion (22b)
  • the right angle portion (23b) of the lower mounting portion (23) is superimposed on the lower surface (outer surface) of the lower horizontal frame member (12), and the male screw member (10) is aligned with the right angle portion (23b) of the lower mounting portion (23).
  • the lower end portion of the lower horizontal frame member (12) is fixed to the lower horizontal frame member (12) by being screwed into the screw hole of the lower horizontal frame member (12) from below (outside).
  • each line support member (3) When fixing each line support member (3), the positioning of each line support member (3) is carried out through the through holes (25) (26) of the mounting portions (22) (23) and the horizontal frame members (11). Since it is only necessary to match the screw hole (15) of (12), it can be performed easily and easily, and the assembly time can be shortened. Further, the right angle portions (22b) and (23b) of the attachment portions (22) and (23) formed in a bent shape of the respective line support members (3) are overlapped on the outer surfaces of the respective lateral frame members (11) and (12). Therefore, the total height of the base member (2) (horizontal frame members (11) and (12)) and the line support member (3) is the height of the base member (2) + the height of the line support member (3).
  • the height of the fixed rail (base member) of the conventional structure + the movable rail (line support) can be made lower than the height of the member.
  • each line support member (3) With a male screw member (10), and there is a problem that it takes time and effort (the same applies to the device of Patent Document 1). There's a problem.).
  • the fluid control device according to the present invention eliminates the trouble of fixing each line support member (3) to the fluid control device (1) shown in FIG. 9 and FIG.
  • illustration of the joint member (4) and the fluid control device (5) is omitted, and only the support means including the base member (30), the line support member (40), and the cover members (36) (37) is illustrated. I will explain.
  • the base member (30) includes an upper horizontal frame member (31) and a lower horizontal frame member (32), and a left vertical frame member (33) and a right vertical frame member ( 34) and the upper and lower ends of each vertical frame member (33) (34) are fixed to the left and right ends of each horizontal frame member (31) (32) by a male screw member (35) such as a bolt.
  • a male screw member (35) such as a bolt.
  • each horizontal frame member (31) (32) has a configuration for positioning each line support member (40) (a recess (not shown in the figure) of the upper horizontal frame member (31)) and a lower A recess (47) of the horizontal frame member (32) is provided.
  • a wide member in addition to the narrow member (constituting one line) indicated by reference numeral (40), a wide member (constituting four lines) is also used. A space for installing an additional line is secured on the right side of the base member (30).
  • Each line support member (40) is not fixed to each horizontal frame member (31) (32) by a screw member such as a bolt, but as shown in FIG. 2, the upper and lower cover members (36) ( 37) is fixed by being fastened to the horizontal frame members (31) and (32) by male screw members (38) such as bolts.
  • each line support member (40) includes a flat plate-like device mounting portion (41), an upper bent portion (42) bent to the back side at the upper end side, and the device mounting. Left and right bent portions (43) and (44) bent to the back side at both left and right edges of the portion (41).
  • the upper bent part (42) is rectangular and horizontal, and a substantially square convex part (45) extending downward is provided on the back face part.
  • the left and right bent parts (43) and (44) are rectangular vertically long and perpendicular to the equipment mounting part (41), and are vertically longer than the vertical length of the equipment mounting part (41). Has been shortened.
  • the convex portion (45) is formed such that the rear side end portion of the upper bent portion (42) is bent at a right angle downward and the lateral width thereof is shortened.
  • the wide line support member constituting the four lines is basically the same shape as that of FIG.
  • the part has a shape in which no convex part is provided, or a shape in which convex parts are provided at regular intervals.
  • the upper horizontal frame member (31) has a substantially U-shaped cross-section opening on the back side, and the upper wall (31a) of the upper horizontal frame member is line-supported on the back side.
  • a substantially rectangular recess (46) into which the protrusion (45) of the upper bent portion (42) of the member (40) can be fitted is formed at a required interval.
  • the lower horizontal frame member (32) has a substantially U-shaped cross section that opens to the back side, like the upper horizontal frame member (31).
  • substantially rectangular recesses (47) are formed at the same intervals as the recesses (46) of the upper horizontal frame member (31).
  • the recess (47) is formed over the entire length of the upper wall (32a) in the front-rear direction, whereas the recess (46) of the upper horizontal frame member (31) is provided only on the back side.
  • the lower end portions of the left and right bent portions (43) and (44) of the line support member (40) can be fitted into the concave portion (47).
  • the lower cover member (37) (the upper cover member (36) has the same shape) has an L-shaped cross section composed of a vertical wall portion (37a) and a horizontal wall portion (37b).
  • the wall (37a) is provided with a through hole (bolt insertion hole) (48).
  • the convex portion (45) of the upper bent portion (42) of the line support member (40) is formed in the concave portion (46) provided on the upper surface (upper wall (31a)) of the upper horizontal frame member (31).
  • the lower end of the left and right bent parts (43) and (44) of the line support member (40) in the recessed part (47) provided on the upper surface (upper wall (32a)) of the lower horizontal frame member (32). Is inserted.
  • the left and right bent parts (43) and (44) of the line support member (40) are arranged when the upper and lower end parts of the equipment mounting part (41) are in contact with the front of the upper and lower horizontal frame members (31) and (32).
  • the upper and lower horizontal frame members (31) and (32) Do not interfere with the upper and lower horizontal frame members (31) and (32) when fitting the convex portion (46) of the bent portion (42) into the concave portion (46) of the upper horizontal frame member (31) from above. Further, the upper end is positioned below the upper end of the device placement portion (41), and the lower end is positioned above the lower end of the device placement portion (41).
  • the upper and lower end portions of the device mounting portion (41) are brought into contact with the front surfaces of the horizontal frame members (31) and (32), and the upper bent portion (42) is the upper horizontal frame member. It is brought into contact with the upper surface of (31).
  • the upper bent portion (42) of the line support member (40) is received on the upper surface of the upper horizontal frame member (31), so that the weight of the line support member (40) is reduced by the upper horizontal frame member (31). It is supported.
  • each line support member (40) when positioning each line support member (40), the convex portion (45) of the upper bent portion (42) of the line support member (40) from above to the concave portion (46) of the upper horizontal frame member (31) (
  • Each line support member (40) can be easily positioned because it is only necessary to fit them using their own weight.
  • the left and right bent parts (43) and (44) reinforce the equipment mounting part (41), and the position of each line support member (40) is determined by positioning using the bent parts. Both securing and simplification of the configuration are compatible.
  • the combined height of the base member (30) (horizontal frame members (31) and (32)) and the line support member (40) is the base member (30 ) Height + line support member (40) height, not the base member (30) height + line support member (40) equipment mounting part (41) height (thickness).
  • the height of the portion that supports the fluid control device in the fluid control device can be reduced. The increase can be suppressed.
  • the left and right widths of the recesses (47) of the lower horizontal frame member (32) are twice the thickness of one of the left and right bent portions (43) and (44) of each line support member (40). Therefore, one left bent part (43) and the other right bent part (44) of the adjacent line support member (40) can be fitted into one concave part (47) of the lower horizontal frame member (32). It is said that.
  • the upper cover member (36) has its horizontal wall portion (36b) applied to the upper surface of the upper wall (31a) of the upper horizontal frame member (31), and its vertical wall.
  • the part (36a) is applied to the front of the upper end of the line support member (40)
  • the lower cover member (37) has a horizontal wall part (37b) which is the lower wall (lower surface) of the lower horizontal frame member (32).
  • the vertical wall portion (37a) is applied to the lower end portion of the line support member (40).
  • the line support members to which the required fluid controllers are attached are sequentially attached.
  • the convex portions (45) of the upper bent portions (42) of the respective line support members (40). ) Is fitted into the recess (46) of the upper horizontal frame member (31), and the lower ends of the left and right bent portions (43) and (44) are fitted into the recess (47) of the lower horizontal frame member (32).
  • Positioning is performed.
  • the upper and lower cover members (36), (37) are attached to the horizontal frame members (31), (32) by the male screw members (38). Install.
  • each line support member (40) is sandwiched between the upper and lower horizontal frame members (31) (32) and the upper and lower cover members (36) (37), and each line support member to which the fluid controller is attached ( 40) is fixed to the base member (30). Therefore, at the time of positioning each line support member (40), fixing work with bolts or the like is unnecessary, and the assembly time can be greatly shortened. Also, when adding, changing, and maintaining the line, remove the upper and lower cover members (36), (37), remove the required line support member (40), add a new line support member (40), etc. The upper and lower cover members (36) and (37) may be attached, and the time for extension, change and maintenance of the line can be shortened.
  • the left and right bent portions (43) and (44) can reinforce the device mounting portion (41) even if they are not perpendicular to the device mounting portion (41), and support multiple lines.
  • any shape may be used as long as they do not interfere with the adjacent line support member (40). In that case, the concave shape of the lower horizontal frame member (32) may be changed accordingly.
  • the present invention is suitable for use in a fluid control device formed by integrating a plurality of fluid control devices.
  • the assembly time can be shortened, and an increase in the height of the portion supporting the fluid control device can be suppressed.

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Abstract

　ライン支持部材の位置決めを容易にすることで、組立て時間の短縮化を可能とするとともに、流体制御機器を支持する部分の高さの増加を抑えることができる流体制御装置を提供する。　ベース部材30は、上横枠部材31および下横枠部材32とこれらに直交する左右縦枠部材33,34とによって方形の枠状に形成されている。各横枠部材31,32に、各ライン支持部材40を位置決めするための位置決め部が設けられて、各ライン支持部材40の上下端部は、各横枠部材31,32の位置決め部によって位置決めされた状態で、各横枠部材31,32とベース部材30に着脱可能に取り付けられた上下カバー部材37,38との間に挟持されている。

Description

流体制御装置
　この発明は、半導体製造装置等に使用される流体制御装置に関し、特に、複数の流体制御機器が集積化されて形成される流体制御装置に関する。
　半導体製造装置で使用される流体制御装置においては、複数の流体制御機器が直列状に配されてパイプや継手を介さずに接続されることによって形成された複数のラインをベース部材上に並列状に設置するという集積化が進んでいる。集積化流体制御装置は、筐体内に垂直状態で設置されることが多く、特許文献１には、このような流体制御装置として、複数の流体制御機器が１つの可動レール（ライン支持部材）に取り付けられることで形成されたラインを複数有しており、複数のラインの各可動レールがこれらと直交する方向を向いた固定レール（ベース部材）に摺動可能に取り付けられているものが開示されている。
特開２００９－２０４０９０号公報
　上記従来の流体制御装置によると、複数の流体制御機器を可動レールに予め組み付けておくことで、筐体内の作業としては、可動レールを固定レールに取り付けるだけでよく、ラインの増設（変更を含む）が容易に行えるという利点を有している。
　しかしながら、可動レールの位置決めと締結方法に際し、位置決めと締結を同時に行うため、可動レール（ライン支持部材）を位置決めするのに時間がかかるという問題があった。
　また、ライン支持部材の位置決めと固定を締結部材（ボルト等）だけで同時に行っているため、締結部材（ボルト）に複数の大きな応力（引張り応力やせん断応力など）が掛かる構造であった。
　さらに、可動レールの端部が固定レールに重ねられることから、流体制御機器を支持する部分の高さが可動レール（ライン支持部材）の高さ＋固定レール（ベース部材）の高さとなり、これに流体制御機器を加えた流体制御装置の高さが高いものとなり、これを収納するためのスペース（筐体）が大きくなるという問題もあった。
　この発明の目的は、ライン支持部材の固定を容易にすることで、組立て時間の短縮化を可能とすることができる流体制御装置を提供することにある。
　また、この発明の他の目的は、流体制御機器を支持する部分の高さの増加を抑えることができる流体制御装置を提供することにある。
　この発明による流体制御装置は、複数の流体制御機器が１つのライン支持部材に取り付けられ、複数のライン支持部材がベース部材に着脱可能に取り付けられている流体制御装置において、ベース部材は、上横枠部材および下横枠部材とこれらに直交する左右縦枠部材とによって方形の枠状に形成されており、各横枠部材に、各ライン支持部材を位置決めするための位置決め部が設けられて、各ライン支持部材の上下端部は、各横枠部材の位置決め部によって位置決めされた状態で固定されることを特徴とするものである。
　この明細書において、流体制御機器が取り付けられたライン支持部材を流体制御機器を手前にして取り付けた状態（図９）を正面図として、正面・背面および上下・左右は、これを基準にしていうものとする。この状態は、流体制御装置の典型的な設置状態であるが、この発明の流体制御装置は、この設置状態に限られるものではなく、方形の枠状に形成されたベース部材が垂直（Ｙ方向）となるように設置されることがあり、また、方形の枠状に形成されたベース部材が水平（Ｘ方向，Ｚ方向）となるように設置されることもある。また、垂直状態で設置される場合、上横枠部材が左右いずれか一方に、下横枠部材が同他方に、各ライン支持部材が上下に平行となる並列状に配置されることもある。
　各ライン支持部材の各横枠部材への固定は、例えば、両部材の嵌め合いによって行ってもよく、別途の部材（例えばカバー部材）を使用して行ってもよい。
　各ライン支持部材は、各横枠部材とベース部材に着脱可能に取り付けられた上下カバー部材との間に挟持されていることが好ましい。
　各横枠部材の位置決め部は、例えば、各横枠部材の上面に形成された凹部とされ、各ライン支持部材は、その上下端部が各横枠部材の凹部に嵌め合わされることによって位置決めされる。位置決めのための構成は、これに限定されるものではなく、各横枠部材の位置決め部を凸部として、各ライン支持部材の上下端部にこれに嵌まり合う凹部を設けるようにしてもよい。
　各横枠部材には、その少なくとも両端部にねじ孔が設けられ、カバー部材は、その両端部におねじ部材挿通孔が形成されて、おねじ部材によって、着脱可能に横枠部材に取り付けられていることが好ましい。
　各ライン支持部材は、例えば、本体部分が断面逆Ｕ字状の板金製とされる。各横枠部材は、例えば、断面が略コの字状の板金製やステンレス鋼などの金属製フラットバーとされる。横枠部材が断面略コの字状の場合には、背面側に開口するように配置されて、その上壁に凹部が形成されることが好ましい。縦枠部材は、例えば、本体部分が断面逆Ｕ字状の板金製とされる。カバー部材は、例えば、断面が略Ｌ字状の板金製とされる。
　流体制御機器としては、開閉弁（流体通路の遮断・開放を行う弁）、減圧弁、圧力および流量の測定および表示器、流量調整器（流量制御弁、マスフローコントローラのような熱式質量流量制御装置や圧力式流量制御装置等）などが使用される。
　１つのラインは、例えば、下段層となる複数のブロック状継手部材がおねじ部材によってライン支持部材に取り付けられ、隣り合う継手部材にまたがるように上段層となる複数の流体制御機器が上方からのおねじ部材によって継手部材に取り付けられる。このようにすると、上方からのおねじ部材を外すことにより、上段層の流体制御機器を単独で上方に取り出すことができる。１つのラインの構成は、下段層と上段層とからなるものに限られるものではなく、種々の構成を採用することができる。
　この流体制御装置を組み立てるには、所要の流体制御器が取り付けられたライン支持部材を順次位置決めして固定していく（各ライン支持部材をボルトなどで固定する作業は無し）。
　カバー部材を使用する場合には、すべてのライン支持部材を位置決めした後、上下のカバー部材をボルトなどでベース部材（横枠部材または縦枠部材）に固定すればよい。
　このようにすると、ライン支持部材の自重を上横枠部材によって支持することができ、作業者への重量の負担が軽減され、作業の手間や作業時間が軽減されるとともに、各ライン支持部材を固定するため手間が解消し、組立て時間の大幅な短縮化が可能となる。
　各ライン支持部材は、平板状の機器載置部と、その上端側において背面側に折り曲げられた上折曲げ部とを有し、機器載置部の上下端部が各横枠部材の正面に当接させられ、上折曲げ部が上横枠部材の上面に当接させられていることが好ましい。
　このようにすると、ライン支持部材の上折曲げ部が上横枠部材の上面で受けられることで、ライン支持部材の自重が上横枠部材によって支持されるとともに、流体制御装置における流体制御機器を支持する部分の高さの増加を抑えることができる。
　各ライン支持部材の上折曲げ部に、下方にのびる凸部が設けられて、上横枠部材の上面に、上折曲げ部の凸部が嵌め入れ可能な凹部が所要間隔で形成されていることが好ましい。
　上折曲げ部の凸部は、例えば、上折曲げ部の背面側端部が下側に直角に折り曲げられるとともに、その左右幅が短くなされたものとされる。凸部の形状は、種々の形状とすることが可能であり、これに合わせて、上横枠部材の凹部の形状が決められる。
　このようにすると、各ライン支持部材の位置決めに際し、上折曲げ部の凸部を上横枠部材の凹部に上方から（自重を利用して）嵌め合わせればよいので、各ライン支持部材の位置決めを容易に行うことができる。
　上横枠部材の凹部は、ライン支持部材の配置のピッチよりも小さい間隔で設けられており、複数の凹部を１つ置き、２つ置きなどで使用してライン支持部材を位置決めすることができるようになされていることがより好ましい。
　各ライン支持部材は、機器載置部の左右両縁において背面側に折り曲げられた左右折曲げ部をさらに有しており、下横枠部材の上面に、左右折曲げ部の下端部が嵌め入れ可能な凹部が所要間隔で形成されていることが好ましい。
　左右折曲げ部は、その上下端部が切り欠かれて、機器載置部の上下長さよりも上下長さが短くされ、機器載置部の上下端部が上下横枠部材の上面に当接した際および上折曲げ部の凸部を上横枠部材の凹部に上方から嵌め合わす際のいずれにおいても、上下横枠部材に干渉しない形状とされる。
　このようにすると、左右折曲げ部によって機器載置部を補強することができるとともに、この折曲げ部を利用しての位置決めが可能となり、各ライン支持部材の強度を確保して、かつ構成を簡素化することができる。
　下横枠部材の凹部の左右方向の幅は、下横枠部材の１つの凹部内に隣り合うライン支持部材の一方の左折曲げ部と他方の右折曲げ部との両方が嵌め入れ可能な大きさとされていることが好ましい。
　具体的には、下横枠部材の凹部の左右方向の幅＝各ライン支持部材の板厚の２倍とすればよい。このようにすると、隣り合うライン支持部材を隙間なく配置することができ、各ライン支持部材のガタを抑えることができるとともに、装置の左右方向の全幅を小さくすることができる。
　下横枠部材の凹部についても、ライン支持部材の配置のピッチよりも小さい間隔で設けられており、複数の凹部を１つ置き、２つ置きなどで使用してライン支持部材を位置決めすることができるようになされていることが好ましい。また、上横枠部材の凹部の左右方向の幅が上横枠部材の凹部の左右方向の幅に等しくされていることがより好ましい。
　この発明の流体制御装置によると、ベース部材は、上横枠部材および下横枠部材とこれらに直交する左右縦枠部材とによって方形の枠状に形成されており、各横枠部材に、各ライン支持部材を位置決めするための位置決め部が設けられて、各ライン支持部材の上下端部は、各横枠部材の位置決め部によって位置決めされた状態で固定されるので、各ライン支持部材の位置決め時には、ボルトなどによる固定作業は不要であり、組立て時間の大幅な短縮化が可能となる。
　また、各横枠部材とベース部材に着脱可能に取り付けられた上下カバー部材との間に各ライン支持部材が挟持されている構成とすることで、ライン支持部材と各横枠部材との位置決め構造（例えば凸部と凹部との嵌め合わせによる位置決め）と固定構造（上下カバー部材でライン支持部材を固定する構造）とが分けられ、これにより、上下カバー部材を取り付けるためのおねじ部材に掛かる応力は、上下カバー部材でライン支持部材を固定する際に発生する応力のみとなり、おねじ部材に対して不要な応力が掛からないものとできる。
　そして、各ライン支持部材は、平板状の機器載置部と、その上端側において背面側に折り曲げられた上折曲げ部とを有し、機器載置部の上下端部が各横枠部材の正面に当接させられ、上折曲げ部が上横枠部材の上面に当接させられていることで、流体制御装置における流体制御機器を支持する部分の高さの増加を抑えることができる。
図１は、この発明による流体制御装置の実施形態の要部をカバー部材を省略して示す斜視図である。 図２は、この発明による流体制御装置の実施形態の要部をカバー部材を含めて示す斜視図である。 図３は、この発明による流体制御装置のライン支持部材を示すもので、（ａ）は一部切欠き正面図、（ｂ）は同側面図、（ｃ）は同斜視図である。 図４は、この発明による流体制御装置で使用されている上横枠部材を示す図で、（ａ）は一部切欠き平面図、（ｂ）は（ａ）のｂ－ｂ線に沿う断面図、（ｃ）は一部切欠き正面図である。 図５は、この発明による流体制御装置で使用されている下横枠部材を示す図で、（ａ）は一部切欠き平面図、（ｂ）は（ａ）のｂ－ｂ線に沿う断面図、（ｃ）は一部切欠き正面図である。 図６は、この発明による流体制御装置で使用されている下カバー部材を示す図で、（ａ）は一部切欠き平面図、（ｂ）は（ａ）のｂ－ｂ線に沿う断面図、（ｃ）は一部切欠き正面図である。 図７は、各ライン支持部材と各横枠部材との位置決めの構成を示す斜視図である。 図８は、この発明による流体制御装置の要部の一部切欠き垂直断面図である。 図９は、この発明による流体制御装置の比較例を示す正面図である。 図１０は、同側面図である。
(30)　　　　ベース部材
(31)　　　　上横枠部材
(32)　　　　下横枠部材
(33)(34)　　左右縦枠部材
(36)(37)　　上下カバー部材
(40)　　　　ライン支持部材
(41)　　　　機器載置部
(42)　　　　上折曲げ部
(43)(44)　　左右折曲げ部
(45)　　　　凸部
(46)　　　　凹部（位置決め部）
(47)　　　　凹部（位置決め部）
　この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
　以下の説明において、上下・左右は図９の上下・左右をいうものとし、前後（正面および背面）については、図９の紙面表側を前（正面）、図９の紙面裏側を後（背面）というものとする。
　図９および図１０に、この発明が対象とする流体制御装置の１例（比較例）を示す。
　流体制御装置(1)は、下段層となる複数のブロック状継手部材(4)がライン支持部材(3)に取り付けられ、隣り合う継手部材(4)にまたがるように上段層となる複数の流体制御機器(5)が継手部材(4)に取り付けられていることで形成されたラインを複数有しており、各ライン支持部材(3)が互いに平行となるようにベース部材(2)に着脱可能に取り付けられている。なお、各流体制御機器(5)は、それぞれ異なる機能を有しているものであるが、公知のものであるので、符号(5)で総称し、個別の説明は省略する。
　ベース部材(2)は、例えば筐体の垂直な壁面などに固定されており、ラインの変更や増設は、継手部材(4)および流体制御機器(5)が組み込まれたライン支持部材(3)を着脱することで行われる。
　ベース部材(2)は、上側に配置された上横枠部材(11)および下側に配置された下横枠部材(12)と、これらに直交する左縦枠部材(13)および右縦枠部材(14)とによって、方形の枠状に形成されている。
　各流体制御機器(5)は、上方からのおねじ部材によって対応する継手部材(4)に固定されている。また、各継手部材(4)は、上方からのおねじ部材によってライン支持部材(3)に固定されている。
　各横枠部材(11)(12)は、ステンレス鋼製フラットバーとされており、各横枠部材(11)(12)には、これを上下に貫通する複数のねじ孔が所要間隔で設けられている。
　ライン支持部材(3)は、板金を折り曲げることで一体品として形成されたもので、平板状の機器載置部(21)と、その両端にあって平板状とされた機器載置部(21)の上下端部がそれぞれ折り曲げられることで折曲げ状に形成された上下取付部(22)(23)と、機器載置部(21)の両縁に連なっている補強部(24)とからなる。
　なお、機器載置部(21)の上下端部の折曲げ形状は、板金を折り曲げて成形する以外に、複数部材で折曲げ形状を構成する等、板金の折曲げによって形成された上下取付部(22)(23)と同等の効果が得られるのであれば、どのような構成であってもよい。
　ライン支持部材(3)の各取付部(22)(23)は、機器載置部(21)の端部と面一の平板状に形成された平板部(22a)(23a)と、これに直角に連なる直角部(22b)(23b)とによって、略Ｌ字状になっており、直角部(22b)(23b)にこれを上下方向に貫通する貫通孔(25)(26)が設けられている。
　各ライン支持部材(3)は、上取付部(22)の直角部(22b)が上横枠部材(11)の上面（外面）に重ねられて、おねじ部材(10)が上取付部(22)の直角部(22b)の上方（外方）から上横枠部材(11)のねじ孔にねじ込まれることで、その上端部が上横枠部材(11)に固定されており、また、下取付部(23)の直角部(23b)が下横枠部材(12)の下面（外面）に重ねられて、おねじ部材(10)が下取付部(23)の直角部(23b)の下方（外方）から下横枠部材(12)のねじ孔にねじ込まれることで、その下端部が下横枠部材(12)に固定されている。
　上記の各ライン支持部材(3)の固定に際し、各ライン支持部材(3)の位置決めは、その取付部(22)(23)の貫通孔(25)(26)と各横枠部材(11)(12)のねじ孔(15)とを合わせるだけでよいことから、簡単かつ容易に行うことができ、組立て時間の短縮化が可能となる。また、各ライン支持部材(3)の折曲げ状に形成された取付部(22)(23)の直角部(22b)(23b)が各横枠部材(11)(12)の外面に重ねられるので、ベース部材(2)（横枠部材(11)(12)）とライン支持部材(3)とを合わせた高さは、ベース部材(2)の高さ＋ライン支持部材(3)の高さではなく、ベース部材(2)の高さ＋ライン支持部材(3)の機器載置部(21)の高さとなり、従来構造の固定レール（ベース部材）の高さ＋可動レール（ライン支持部材）の高さに比べて、高さを低くすることができる。
　上記の流体制御装置(1)では、各ライン支持部材(3)をそれぞれおねじ部材(10)で取り付ける必要があり、そのための手間がかかるという問題があった（特許文献１のものでも同様の問題がある。）。この発明による流体制御装置は、図９および図１０に示した流体制御装置(1)に対して、各ライン支持部材(3)を固定するための手間の解消が図られたものである。以下では、継手部材(4)および流体制御機器(5)の図示を省略し、ベース部材(30)、ライン支持部材(40)およびカバー部材(36)(37)からなる支持手段のみを図示して説明する。
　図１および図２に示すように、ベース部材(30)は、上横枠部材(31)および下横枠部材(32)とこれらに直交する左縦枠部材(33)および右縦枠部材(34)とからなり、各縦枠部材(33)(34)の上下両端部がボルトなどのおねじ部材(35)によって各横枠部材(31)(32)の左右端部に固定されることで、方形の枠状に形成されている。各横枠部材(31)(32)には、後述するように、各ライン支持部材(40)を位置決めするための構成（上横枠部材(31)の凹部（図には現れず）および下横枠部材(32)の凹部(47)）が設けられている。
　ライン支持部材(40)としては、符号(40)で示す幅狭のもの（１つのラインを構成するもの）に加えて、幅広のもの（４つのラインを構成するもの）も使用されており、ベース部材(30)の右側部分には、追加のラインを設置するためのスペースが確保されている。
　各ライン支持部材(40)は、それぞれがボルトなどのおねじ部材によって各横枠部材(31)(32)に固定されるのではなく、図２に示すように、上下カバー部材(36)(37)がボルトなどのおねじ部材(38)で横枠部材(31)(32)に締め付けられることで固定されている。
　各ライン支持部材(40)は、図３に示すように、平板状の機器載置部(41)と、その上端側において背面側に折り曲げられた上折曲げ部(42)と、機器載置部(41)の左右両縁において背面側に折り曲げられた左右折曲げ部(43)(44)とを有している。
　上折曲げ部(42)は、方形でかつ水平状とされており、その背面部に、下方にのびる略方形の凸部(45)が設けられている。左右折曲げ部(43)(44)は、上下に長い方形で機器載置部(41)と直角をなす垂直状とされており、機器載置部(41)の上下長さよりも上下長さが短くされている。凸部(45)は、上折曲げ部(42)の背面側端部が下側に直角に折り曲げられるとともに、その左右幅が短くなされたものとされている。なお、図示省略するが、４つのラインを構成する幅広のライン支持部材については、基本的には、図３と同様の形状とされるとともに、その左右両側にそれぞれ凸部が設けられて、中央部には凸部が設けられていない形状、もしくは、一定の間隔で凸部が設けられている形状とされている。
　図４に示すように、上横枠部材(31)は、背面側に開口する断面略コの字状とされ、上横枠部材の上壁(31a)には、その背面側に、ライン支持部材(40)の上折曲げ部(42)の凸部(45)が嵌め入れ可能な略方形の凹部(46)が所要間隔で形成されている。
　図５に示すように、下横枠部材(32)は、上横枠部材(31)と同様に、背面側に開口する断面略コの字状とされ、下横枠部材(32)の上壁(32a)には、略方形の凹部(47)が上横枠部材(31)の凹部(46)と同じ間隔で形成されている。この凹部(47)は、上横枠部材(31)の凹部(46)が背面側にのみに設けられているのに対し、上壁(32a)の前後方向の全長に亘って形成されており、ライン支持部材(40)の左右折曲げ部(43)(44)の下端部がこの凹部(47)に嵌め入れ可能とされている。
　図６に示すように、下カバー部材(37)（上カバー部材(36)も同一形状）は、垂直壁部(37a)および水平壁部(37b)からなる断面Ｌ字状とされ、その垂直壁部(37a)には、貫通孔（ボルト挿通孔）(48)が設けられている。
　図７および図８に、各ライン支持部材(40)と各横枠部材(31)(32)とが組み合わされて位置決めされている状態を示している。
　同図において、上横枠部材(31)の上面（上壁(31a)）に設けられた凹部(46)にライン支持部材(40)の上折曲げ部(42)の凸部(45)が嵌め入れられるとともに、下横枠部材(32)の上面（上壁(32a)）に設けられた凹部(47)にライン支持部材(40)の左右折曲げ部(43)(44)の下端部が嵌め入れられている。ライン支持部材(40)の左右折曲げ部(43)(44)は、機器載置部(41)の上下端部が上下横枠部材(31)(32)の正面に当接した際および上折曲げ部(42)の凸部(46)を上横枠部材(31)の凹部(46)に上方から嵌め合わす際のいずれにおいても、上下横枠部材(31)(32)に干渉しないように、上端が機器載置部(41)の上端よりも下方に、下端が機器載置部(41)の下端よりも上方に位置させられている。ライン支持部材(40)は、機器載置部(41)の上下端部が各横枠部材(31)(32)の正面に当接させられ、上折曲げ部(42)が上横枠部材(31)の上面に当接させられている。これにより、ライン支持部材(40)の上折曲げ部(42)が上横枠部材(31)の上面で受けられることで、ライン支持部材(40)の自重が上横枠部材(31)によって支持されている。
　したがって、各ライン支持部材(40)の位置決めに際し、ライン支持部材(40)の上折曲げ部(42)の凸部(45)を上横枠部材(31)の凹部(46)に上方から（自重を利用して）嵌め合わせればよいので、各ライン支持部材(40)の位置決めを容易に行うことができる。また、左右折曲げ部(43)(44)は、機器載置部(41)を補強しており、この折曲げ部を利用して位置決めを行うことで、各ライン支持部材(40)の強度確保と構成の簡素化が両立するものとなっている。
　また、高さ（正面と背面との距離）については、ベース部材(30)（横枠部材(31)(32)）とライン支持部材(40)とを合わせた高さは、ベース部材(30)の高さ＋ライン支持部材(40)の高さではなく、ベース部材(30)の高さ＋ライン支持部材(40)の機器載置部(41)の高さ（厚さ）となり、従来構造の固定レール（ベース部材）の高さ＋可動レール（ライン支持部材）の高さに比べて、高さを低くすることができ、流体制御装置における流体制御機器を支持する部分の高さの増加を抑えることができる。
　下横枠部材(32)の凹部(47)の左右の幅は、各ライン支持部材(40)の左右折曲げ部(43)(44)の１つ分の厚みの２倍とされている。したがって、下横枠部材(32)の１つの凹部(47)内に隣り合うライン支持部材(40)の一方の左折曲げ部(43)と他方の右折曲げ部(44)の両方が嵌め入れ可能とされている。
　図８（および図２）に示すように、上カバー部材(36)は、その水平壁部(36b)が上横枠部材(31)の上壁(31a)上面にあてがわれ、その垂直壁部(36a)がライン支持部材(40)の上端部正面にあてがわれており、下カバー部材(37)は、その水平壁部(37b)が下横枠部材(32)の下壁（下面）にあてがわれ、その垂直壁部(37a)がライン支持部材(40)の下端部にあてがわれている。
　この流体制御装置を組み立てるには、所要の流体制御器が取り付けられたライン支持部材を順次取り付けていき、この際、各ライン支持部材(40)の上折曲げ部(42)の凸部(45)が上横枠部材(31)の凹部(46)に嵌め入れられるとともに、その左右折曲げ部(43)(44)の下端部が下横枠部材(32)の凹部(47)に嵌め入れられることによって位置決めを行う。こうして、すべてのライン支持部材(40)を位置決めした後、図２に示すように、上下カバー部材(36)(37)をおねじ部材(38)で各横枠部材(31)(32)に取り付ける。これにより、各ライン支持部材(40)が上下横枠部材(31)(32)と上下カバー部材(36)(37)との間に挟持され、流体制御器が取り付けられた各ライン支持部材(40)がベース部材(30)に固定される。したがって、各ライン支持部材(40)の位置決め時には、ボルトなどによる固定作業は不要であり、組立て時間の大幅な短縮化が可能となる。また、ラインの増設、変更およびメンテナンス時には、上下カバー部材(36)(37)を取り外して、所要のライン支持部材(40)の取外しや新たなライン支持部材(40)の追加などを行った後、上下カバー部材(36)(37)を取り付ければよく、ラインの増設、変更およびメンテナンスについても、その時間の短縮化が可能となる。
　なお、左右折曲げ部(43)(44)は、機器載置部(41)に対して垂直状でなくても、機器載置部(41)の補強が可能で、また、複数のライン支持部材(40)を平行して配置する際に、隣のライン支持部材(40)に対して干渉しなければどのような形状でもよい。その場合、それに合わせて下横枠部材(32)の凹部形状を変更してもよい。
　この発明は、複数の流体制御機器が集積化されて形成される流体制御装置に用いられるのに適している。この発明による流体制御装置を用いれば、組立て時間の短縮化が可能であり、また、流体制御機器を支持する部分の高さの増加を抑えることができる。

Claims (6)

  1. 　複数の流体制御機器が１つのライン支持部材に取り付けられ、複数のライン支持部材がベース部材に着脱可能に取り付けられている流体制御装置において、
    　ベース部材は、上横枠部材および下横枠部材とこれらに直交する左右縦枠部材とによって方形の枠状に形成されており、各横枠部材に、各ライン支持部材を位置決めするための位置決め部が設けられて、各ライン支持部材の上下端部は、各横枠部材の位置決め部によって位置決めされた状態で固定されることを特徴とする流体制御装置。
  2. 　各ライン支持部材は、各横枠部材とベース部材に着脱可能に取り付けられた上下カバー部材との間に挟持されていることを特徴とする請求項１の流体制御装置。
  3. 　各ライン支持部材は、平板状の機器載置部と、その上端側において背面側に折り曲げられた上折曲げ部とを有し、機器載置部の上下端部が各横枠部材の正面に当接させられ、上折曲げ部が上横枠部材の上面に当接させられていることを特徴とする請求項１または２の流体制御装置。
  4. 　各ライン支持部材の上折曲げ部に、下方にのびる凸部が設けられて、上横枠部材の上面に、上折曲げ部の凸部が嵌め入れ可能な凹部が所要間隔で形成されていることを特徴とする請求項３の流体制御装置。
  5. 　各ライン支持部材は、機器載置部の左右両縁において背面側に折り曲げられた左右折曲げ部をさらに有しており、下横枠部材の上面に、左右折曲げ部の下端部が嵌め入れ可能な凹部が所要間隔で形成されていることを特徴とする請求項４の流体制御装置。
  6. 　下横枠部材の凹部の左右方向の幅は、下横枠部材の１つの凹部内に隣り合うライン支持部材の一方の左折曲げ部と他方の右折曲げ部との両方が嵌め入れ可能な大きさとされていることを特徴とする請求項５の流体制御装置。
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