WO2012150877A3 - Способ модификации поверхностных свойств материалов и изделий - Google Patents

Способ модификации поверхностных свойств материалов и изделий Download PDF

Info

Publication number
WO2012150877A3
WO2012150877A3 PCT/RU2012/000340 RU2012000340W WO2012150877A3 WO 2012150877 A3 WO2012150877 A3 WO 2012150877A3 RU 2012000340 W RU2012000340 W RU 2012000340W WO 2012150877 A3 WO2012150877 A3 WO 2012150877A3
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
articles
materials
arc discharge
vacuum
chamber
Prior art date
Application number
PCT/RU2012/000340
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
WO2012150877A2 (ru
Inventor
Алексеевич КАРПОВДмитрий
Николаевич ЛИТУНОВСКИЙВладимир
Original Assignee
Федеральное Государственное Унитарное Предприятиe "Научно-Исследовательский Институт Электрофизической Аппаратуры Им. Д.В.Ефремова" (Фгуп "Нииэфа Им. Д.В.Ефремова")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное Государственное Унитарное Предприятиe "Научно-Исследовательский Институт Электрофизической Аппаратуры Им. Д.В.Ефремова" (Фгуп "Нииэфа Им. Д.В.Ефремова") filed Critical Федеральное Государственное Унитарное Предприятиe "Научно-Исследовательский Институт Электрофизической Аппаратуры Им. Д.В.Ефремова" (Фгуп "Нииэфа Им. Д.В.Ефремова")
Priority to DE112012001978.4T priority Critical patent/DE112012001978T5/de
Publication of WO2012150877A2 publication Critical patent/WO2012150877A2/ru
Publication of WO2012150877A3 publication Critical patent/WO2012150877A3/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C23C14/325—Electric arc evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • C21D1/06—Surface hardening
    • C21D1/08—Surface hardening with flames
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • C21D1/34—Methods of heating
    • C21D1/38—Heating by cathodic discharges
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • C21D1/74—Methods of treatment in inert gas, controlled atmosphere, vacuum or pulverulent material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • C21D1/74—Methods of treatment in inert gas, controlled atmosphere, vacuum or pulverulent material
    • C21D1/773—Methods of treatment in inert gas, controlled atmosphere, vacuum or pulverulent material under reduced pressure or vacuum
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32055—Arc discharge
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/3266—Magnetic control means

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Abstract

Способ относится к области пучково-плазменных технологий и основан на использовании воздействия на материал (изделие) катодных пятен вакуумного дугового разряда, возбуждаемого в условиях вакуума между анодом и катодом, которым служит обрабатываемое изделие. Способ включает загрузку материалов (изделий) в камеру, вакуумную откачку камеры, плазменную обработку материалов (изделий) и их выгрузку из камеры. Модификация поверхностных свойств материалов (изделий) осуществляется при инициации в условиях вакуума на их поверхности катодных пятен 1 и/или 2 и/или 3 типа вакуумного дугового разряда и обработкой ими модифицируемой поверхности с поверхностным переплавом. Для реализации этого режима величина давления в камере должна быть не более 1 Па, постоянное или импульсно-периодическое напряжение вакуумного дугового разряда не менее 10 В, ток вакуумного дугового разряда не менее 1 А. Возбуждение и поддержание вакуумного дугового разряда проводят в остаточном газе, либо в среде нейтрального и/или рабочего газа,а локализацию катодных пятен на обрабатываемой поверхности и управление их перемещением по поверхности осуществляют магнитным полем.
PCT/RU2012/000340 2011-05-05 2012-04-28 Способ модификации поверхностных свойств материалов и изделий WO2012150877A2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE112012001978.4T DE112012001978T5 (de) 2011-05-05 2012-04-28 Verfahren zum Modifizieren der Oberflächeneigenschaften von Materialien und Gegenständen

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2011118209 2011-05-05
RU2011118209/02A RU2478141C2 (ru) 2011-05-05 2011-05-05 Способ модификации поверхности материала плазменной обработкой

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2012150877A2 WO2012150877A2 (ru) 2012-11-08
WO2012150877A3 true WO2012150877A3 (ru) 2013-03-07

Family

ID=47108169

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/RU2012/000340 WO2012150877A2 (ru) 2011-05-05 2012-04-28 Способ модификации поверхностных свойств материалов и изделий

Country Status (3)

Country Link
DE (1) DE112012001978T5 (ru)
RU (1) RU2478141C2 (ru)
WO (1) WO2012150877A2 (ru)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2542912C2 (ru) * 2013-07-18 2015-02-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" Способ получения интерметаллического антиэмиссионного покрытия на сеточных электродах генераторных ламп
RU2541325C1 (ru) * 2013-07-19 2015-02-10 Николай Яковлевич Василик Способ упрочнения поверхности металлических изделий

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU1695704C (ru) * 1987-12-21 1992-12-23 Институт электроники им.У.А.Арифова Способ обработки поверхности изделий дуговым разр дом в вакууме
JPH1053866A (ja) * 1996-04-12 1998-02-24 Multi Arc Inc ガス制御式アーク装置とその方法
RU2118399C1 (ru) * 1996-08-30 1998-08-27 ГНЦ Центральный научно-исследовательский институт технологии судостроения Способ катодно-вакуумной обработки поверхности металлических деталей
RU2386705C1 (ru) * 2009-04-21 2010-04-20 Институт проблем машиноведения Российской академии наук Способ закалки стальных изделий

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2144096C1 (ru) * 1998-05-18 2000-01-10 Антипов Борис Федорович Способ обработки поверхности изделий дуговым разрядом в вакууме
RU2380456C1 (ru) * 2008-05-04 2010-01-27 Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие "Уралавиаспецтехнология" Способ нанесения ионно-плазменных покрытий и установка для его осуществления

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU1695704C (ru) * 1987-12-21 1992-12-23 Институт электроники им.У.А.Арифова Способ обработки поверхности изделий дуговым разр дом в вакууме
JPH1053866A (ja) * 1996-04-12 1998-02-24 Multi Arc Inc ガス制御式アーク装置とその方法
RU2118399C1 (ru) * 1996-08-30 1998-08-27 ГНЦ Центральный научно-исследовательский институт технологии судостроения Способ катодно-вакуумной обработки поверхности металлических деталей
RU2386705C1 (ru) * 2009-04-21 2010-04-20 Институт проблем машиноведения Российской академии наук Способ закалки стальных изделий

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
G. A. LIUBIMOV ET AL.: "Katodnoe piatno vakuumnoi dugi.", USPEKHI FIZICHESKIKH NAUK, vol. 125, no. 4, 1978, pages 665, 667 - 669, 677-678 *
V. N. ANTSIFEROV ET AL.: "Poroshkovaia metallurgiia i napylennye pokrytiia. Uchebnik dlia vuzov.", UCHEBNIK DLIA VUZOV, 1987, MOSKVA, METALLURGIIA, pages 601 - 602 *

Also Published As

Publication number Publication date
WO2012150877A2 (ru) 2012-11-08
RU2011118209A (ru) 2012-11-27
RU2478141C2 (ru) 2013-03-27
DE112012001978T5 (de) 2014-02-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2013167391A3 (en) Method and apparatus for generating electron beams
MX2017007356A (es) Fuente de plasma del catodo hueco.
JP2009533551A5 (ru)
PL1619265T3 (pl) Sposób i układ do powlekania wewnętrznych powierzchni prefabrykowanych przewodów rurowych w terenie
WO2007115819A8 (en) A vacuum treatment apparatus, a bias power supply and a method of operating a vacuum treatment apparatus
SG179493A1 (en) Method for pretreating substrates for pvd methods
WO2009114184A3 (en) Physical vapor deposition method with a source of isotropic ion velocity distribution at the wafer surface
WO2012073142A3 (de) Verfahren und vorrichtung zur ionenimplantation
US8142608B2 (en) Atmospheric pressure plasma reactor
WO2013104925A3 (en) In-vacuum rotational device
JP2016092342A5 (ru)
RU2015137774A (ru) Устройство для ионной бомбардировки и способ его применения для очистки поверхности подложки
WO2012150877A3 (ru) Способ модификации поверхностных свойств материалов и изделий
WO2010144761A3 (en) Ionized physical vapor deposition for microstructure controlled thin film deposition
WO2014160886A3 (en) Systems and methods for treating material surfaces
WO2012154747A3 (en) High pressure bevel etch process
MX2013012200A (es) Metodo de pulverizacion catódica por magnetron de impulso de alta potencia que proporciona la ionizacion mejorada de las particulas obtenidas por pulverización catódica y aparato para su implementacion.
WO2013055141A3 (ko) 생체용 재료의 표면개질 장치 및 표면개질 방법
MX2010004854A (es) Metodo para fabricar una superficie tratada y fuentes de plasma de vacio.
JP2016032028A5 (ru)
RU2009124870A (ru) Способ вакуумного ионно-плазменного азотирования изделий из стали
RU2008151794A (ru) Способ модификации поверхности материала
RU2664106C2 (ru) Способ низкотемпературного ионного азотирования стальных деталей
MX2014007668A (es) Metodo de recubrimiento de hipims homogeneo.
GB201303809D0 (en) Method and apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 12779277

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1120120019784

Country of ref document: DE

Ref document number: 112012001978

Country of ref document: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 12779277

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2