RU2009124870A - Способ вакуумного ионно-плазменного азотирования изделий из стали - Google Patents

Способ вакуумного ионно-плазменного азотирования изделий из стали Download PDF

Info

Publication number
RU2009124870A
RU2009124870A RU2009124870/02A RU2009124870A RU2009124870A RU 2009124870 A RU2009124870 A RU 2009124870A RU 2009124870/02 A RU2009124870/02 A RU 2009124870/02A RU 2009124870 A RU2009124870 A RU 2009124870A RU 2009124870 A RU2009124870 A RU 2009124870A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
steel products
nitrogen production
vacuum ion
nitrogen plasma
products
Prior art date
Application number
RU2009124870/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2418095C2 (ru
Inventor
Владимир Васильевич Будилов (RU)
Владимир Васильевич Будилов
Камиль Нуруллаевич Рамазанов (RU)
Камиль Нуруллаевич Рамазанов
Руслан Каримович Вафин (RU)
Руслан Каримович Вафин
Original Assignee
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический, Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" filed Critical Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический
Priority to RU2009124870/02A priority Critical patent/RU2418095C2/ru
Publication of RU2009124870A publication Critical patent/RU2009124870A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2418095C2 publication Critical patent/RU2418095C2/ru

Links

Landscapes

  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)

Abstract

Способ обработки стальных изделий, включающий азотирование в тлеющем разряде, для осуществления которого проводят вакуумный нагрев изделий в плазме азота повышенной плотности, отличающийся тем, что плазму азота повышенной плотности формируют в тороидальной области вращения электронов, которую создают скрещенными электрическим и магнитным полями.

Claims (1)

  1. Способ обработки стальных изделий, включающий азотирование в тлеющем разряде, для осуществления которого проводят вакуумный нагрев изделий в плазме азота повышенной плотности, отличающийся тем, что плазму азота повышенной плотности формируют в тороидальной области вращения электронов, которую создают скрещенными электрическим и магнитным полями.
RU2009124870/02A 2009-06-29 2009-06-29 Способ вакуумного ионно-плазменного азотирования изделий из стали RU2418095C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009124870/02A RU2418095C2 (ru) 2009-06-29 2009-06-29 Способ вакуумного ионно-плазменного азотирования изделий из стали

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009124870/02A RU2418095C2 (ru) 2009-06-29 2009-06-29 Способ вакуумного ионно-плазменного азотирования изделий из стали

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2009124870A true RU2009124870A (ru) 2011-01-10
RU2418095C2 RU2418095C2 (ru) 2011-05-10

Family

ID=44054205

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009124870/02A RU2418095C2 (ru) 2009-06-29 2009-06-29 Способ вакуумного ионно-плазменного азотирования изделий из стали

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2418095C2 (ru)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2625864C1 (ru) * 2016-10-10 2017-07-19 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Способ низкотемпературного ионного азотирования стальных изделий в магнитном поле
RU2646930C1 (ru) * 2016-12-01 2018-03-12 Общество с ограниченной ответственностью "Профтруба" Способ изготовления стержневых изделий
RU2654161C1 (ru) * 2017-02-27 2018-05-16 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Способ локального ионного азотирования стальных изделий в тлеющем разряде с магнитным полем
RU2711067C1 (ru) * 2019-02-05 2020-01-15 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Способ ионного азотирования в скрещенных электрических и магнитных полях

Also Published As

Publication number Publication date
RU2418095C2 (ru) 2011-05-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
MX2019012614A (es) Sistema de generacion de gas reactivo y metodo de tratamiento mediante el uso de gas reactivo.
WO2012169747A3 (ko) 벨트형 자석을 포함한 플라즈마 발생원 및 이를 이용한 박막 증착 시스템
SG10201900327YA (en) A method of cvd plasma processing with a toroidal plasma processing apparatus
MX2015014659A (es) Proceso y aparato para endurecer termoquimicamente piezas a trabajar.
WO2012057987A3 (en) Deposition ring and electrostatic chuck for physical vapor deposition chamber
TW200702485A (en) Low temperature plasma deposition process for carbon layer deposition
WO2011063146A3 (en) Plasma source design
RU2009124870A (ru) Способ вакуумного ионно-плазменного азотирования изделий из стали
WO2012107332A3 (de) Reinigungsvorrichtung zur reinigung von reinigungsgut
WO2012058184A3 (en) Plasma processing apparatus with reduced effects of process chamber asymmetry
RU2008101310A (ru) Способ комбинированной вакуумной ионно-плазменной обработки изделий
WO2010144761A3 (en) Ionized physical vapor deposition for microstructure controlled thin film deposition
WO2012154747A3 (en) High pressure bevel etch process
MX360902B (es) Proceso y dispositivo para generar un plasma energizado mediante una energia de microondas en el campo de una resonancia ciclotronica electronica (rce) para ejecutar un tratamiento de superficie o aplicar un recubrimiento alrededor de un componente filiforme.
MY170814A (en) Magnetron electrode for plasma processing
WO2012087919A3 (en) Methods and apparatus for gas delivery into plasma processing chambers
RU2016110289A (ru) Способ локальной обработки стальных изделий при ионном азотировании в магнитном поле
WO2009063629A1 (ja) プラズマ処理装置
RU2013115736A (ru) Способ локальной обработки материала при азотировании в тлеющем разряде
RU2008151794A (ru) Способ модификации поверхности материала
TW200733228A (en) Adaptively coupled plasma source having uniform magnetic field distribution and plasma chamber having the same
WO2009091195A3 (en) Plasma processing apparatus and method
EP3997965A4 (en) CATHODIC PLASMA VACUUM ARC SOURCE WITH IMPROVED MAGNETIC FIELD CONFIGURATION AND METHOD OF OPERATION
RU2013117842A (ru) Способ локальной обработки материала с эффектом полого катода при ионном азотировании
RU2015123448A (ru) Способ азотирования в плазме повышенной плотности

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20110630

NF4A Reinstatement of patent

Effective date: 20120827

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20150630