RU2664106C2 - Способ низкотемпературного ионного азотирования стальных деталей - Google Patents
Способ низкотемпературного ионного азотирования стальных деталей Download PDFInfo
- Publication number
- RU2664106C2 RU2664106C2 RU2017100450A RU2017100450A RU2664106C2 RU 2664106 C2 RU2664106 C2 RU 2664106C2 RU 2017100450 A RU2017100450 A RU 2017100450A RU 2017100450 A RU2017100450 A RU 2017100450A RU 2664106 C2 RU2664106 C2 RU 2664106C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- glow discharge
- temperature
- low
- nitriding
- discharge plasma
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 17
- 239000010959 steel Substances 0.000 title claims abstract description 17
- 238000006396 nitration reaction Methods 0.000 title 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 6
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000009210 therapy by ultrasound Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 238000005272 metallurgy Methods 0.000 abstract 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 11
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 9
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 7
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005480 shot peening Methods 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 1
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 238000005324 grain boundary diffusion Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011089 mechanical engineering Methods 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000009738 saturating Methods 0.000 description 1
- 230000004936 stimulating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000002277 temperature effect Effects 0.000 description 1
- 238000005496 tempering Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/36—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
- C23C8/38—Treatment of ferrous surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
Abstract
Изобретение относится к обработке металлов поверхностной пластической деформацией и вакуумному ионно-плазменному азотированию и может быть использовано в машиностроении и других областях промышленности для обработки широкого ассортимента деталей машин и инструмента, изготовленных из сталей. Способ низкотемпературного ионного азотирования стального изделия в плазме тлеющего разряда включает катодное распыление, вакуумный нагрев изделия в плазме тлеющего разряда, состоящей из смеси азотосодержащего и инертного газов. Указанный нагрев изделия в плазме тлеющего разряда проводят при температуре 430С, причем сначала осуществляют поверхностную интенсивную пластическую деформацию посредством ультразвуковой обработки поверхности стального изделия с подачей инструмента S=2 м/мин, рабочей частотой f=22 кГц и частотой вращения детали N=30 об/мин. Обеспечивается осуществление низкотемпературной обработки в тлеющем разряде и повышение прочностных, трибологических характеристик поверхности, контактной долговечности и износостойкости стальных деталей. 4 ил., 1пр.
Description
Способ относится к области обработки металлов поверхностной пластической деформацией и вакуумному ионно-плазменному азотированию и может быть использован в машиностроении и других областях промышленности для обработки широкого ассортимента деталей машин и инструмента, изготовленных из стали.
Известен способ (патент РФ №2362831, кл. С23С 8/38 27.07.2009) азотирования стальных изделий, заключающийся в том, что изделие в качестве катода помещают в емкость с анодом, заполненную азотосодержащей средой, затем на катод и анод подают постоянное напряжение, создавая между изделием и анодом электрическое поле, и осуществляют затем процесс насыщения поверхности изделия азотом, в качестве азотосодержащей среды и одновременно анода используют раствор электролита, при этом процесс азотирования ведут при атмосферном давлении, а к катоду и аноду подводят напряжение в интервале 15-315 В, причем процесс азотирования ведут в два этапа - подготовительный и собственно азотирование, при этом подготовительный этап проводят при плавно изменяемом напряжении в интервале 15-150 В, а процесс собственно азотирования ведут после образования газовой рубашки между изделием и электролитом при напряжении в интервале 150-315 В.
Недостатком аналога являются ограниченные функциональные возможности, обусловленные отсутствием низкотемпературной обработки материала детали.
Известен способ (патент РФ №2418095, кл. С23С 8/36, 29.06.2009) азотирования стальных изделий в тлеющем разряде, включающий проведение вакуумного нагрева изделий в плазме азота повышенной плотности, по которому плазму азота повышенной плотности создают в тороидальной области движения электронов, образованной скрещенными электрическими и магнитными полями, причем под действием магнитного поля, создаваемого двумя цилиндрическими магнитами, один из которых полый, электроны движутся по циклоидальным замкнутым траекториям.
Недостатком аналога являются ограниченные функциональные возможности, обусловленные отсутствием низкотемпературной обработки материала детали.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату к заявляемому является способ (патент РФ №2413784, кл. С23С 8/36, 08.04.2013) азотирования стальных изделий в тлеющем разряде, включающий вакуумный нагрев изделий, являющихся катодом, в плазме азота повышенной плотности, которую формируют в прикатодной области пучком сгенерированных и ускоренных вспомогательным анодом электронов, при этом электроны, вылетающие из электронной пушки, направляют к аноду и к вспомогательному аноду, создавая электронный газовый поток, обеспечивающий столкновение электронов с нейтральными частицами и поддерживание существования плазмы, при этом скоростью движения электронов управляют посредством вспомогательного анода, подключенного к собственному источнику питания.
Недостатком аналога является высокая температура обработки (500-540°С) и взрывоопасность, обусловленная использованием в газовой смеси ацетилена.
Задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является расширение функциональных возможностей, обусловленных повышением прочностных, трибологических характеристик поверхности, контактной долговечности и износостойкости стальных деталей.
Технический результат - осуществление низкотемпературной обработки в тлеющем разряде и повышение прочностных, трибологических характеристик поверхности, контактной долговечности и износостойкости стальных деталей.
Задача решается, а технический результат достигается тем, что в способе низкотемпературного ионного азотирования стального изделия в плазме тлеющего разряда, включающем катодное распыление, вакуумный нагрев изделия в плазме тлеющего разряда, состоящей из смеси азотсодержащего и инертного газов, указанный нагрев изделия в плазме тлеющего разряда проводят при температуре 430°С, причем сначала осуществляют поверхностную интенсивную пластическую деформацию посредством ультразвуковой обработки поверхности стального изделия с подачей инструмента S=2 м/мин, рабочей частотой f=22 кГц и частотой вращения детали N=30 об/мин.
Эффективность процесса ионного азотирования зависит от температуры, а именно, чем она выше, тем меньше длительность процесса азотирования при прочих равных условиях. Однако, при высокотемпературной обработке деталей со сложной конфигурацией возникает коробление детали, снижается качество поверхности из-за интенсивного ее распыления ионами насыщающей среды. Уменьшение температурного воздействия приводит к возрастанию длительности процесса, а в некоторых случаях диффузионное насыщение может вовсе остановиться.
Кроме температуры обработки на процесс диффузионного насыщения существенное влияние оказывает структура материала детали, например размер зерен и плотность дефектов на границах, которые оказывают стимулирующее воздействие на продвижение атомов азота вглубь материала при азотировании. Диффузионное насыщение удается повысить благодаря измельчению структуры материала детали и повышению плотности дефектов.
Измельчение структуры материала детали во всем ее объеме является трудоемким процессом. В этом случае рационально измельчать структуру в поверхностном слое. Для получения ультрамелкозернистого слоя часто используется способ поверхностной пластической деформации.
При поверхностной пластической деформационной обработке создание поверхностного слоя с ультрамелкозернистой структурой осуществляется в результате воздействия внешних сил на поверхность детали, реализуется пластическая деформация зерен. Во время обработки активизируется множество систем скольжения и создается большое количество различно ориентированных дислокаций. Под действием напряжений дислокации движутся и встречаются с перпендикулярно направленными дислокациями, где происходит их закрепление. Так в поверхностном слое формируются равноосные структуры в виде блоков (зерен), которые в зависимости от режимов обработки и применяемого способа поверхностной пластической деформации имеют средний размер D=100 нм…2 мкм. В результате поверхностной пластической деформационной обработки во время низкотемпературного ионного азотирования преимущественно происходит зернограничная диффузия, интенсифицируется процесс диффузионного насыщения.
Толщина измененного слоя Н в зависимости от режимов обработки и используемого метода поверхностной пластической деформации может достигать 0,05…2 мм. При этом измененный поверхностный слой имеет переходную зону между ультрамелкозернистой и крупнозернистой структурами толщиной h, в которой структура материала изменяется плавно от одного вида к другому. Этим обеспечивается хорошая совместимость свойств слоев друг с другом.
Существо изобретения поясняется чертежами. На фиг. 1 изображена принципиальная схема ультразвуковой обработки поверхности вала, здесь S - подача инструмента, м/мин, N - обороты изделия, об/мин, ƒ - частота ультразвуковых колебаний инструмента. На фиг. 2 изображена схема низкотемпературного ионного азотирования вала в тлеющем разряде, здесь 1 - источник питания, 2 - электрод-анод, 3 - подложка, 4 - обрабатываемая деталь, 5 - вакуумная камера. На фиг. 3 изображены кривые распределения микротвердости по глубине поверхностного слоя в поперечном сечении, здесь 6 - после дробеструйной обработки, 7 - после низкотемпературного ионного азотирования.
Пример конкретной реализации способа.
Реализация способа показана на примере обработки детали-вала, изготовленного из стали 30Х3ВА (ТУ 14-1-950-74). Данная деталь работает в условиях высоких температур (до 450°С) и знакопеременных нагрузок, что предопределяет проведение низкотемпературной поверхностной упрочняющей обработки. Перед операцией поверхностной пластической деформации заготовка проходила предварительную термическую обработку - закалку и отпуск по ТУ-14-1-950-74. Создание поверхностного слоя с ультрамелкозернистой структурой материала заключается в следующих действиях: поверхность детали обрабатывают путем ультразвуковой обработки с подачей инструмента S=2 м/мин, рабочей частотой ƒ=22 кГц и частотой вращения детали N=30 об/мин. В результате ультразвуковой обработки формируется ультрамелкозернистый слой материала детали толщиной Н. Распределение микротвердости в поперечном сечении детали после ультразвуковой обработки имеет вид кривой 6. Затем осуществляют низкотемпературное ионное азотирование в следующем порядке. Деталь 4 подключают к отрицательному электроду, герметизируют камеру и откачивают воздух до давления 10 Па. После эвакуации воздуха камеру продувают рабочим газом 5-10 минут при давлении 1000-1330 Па, затем откачивают рабочий газ до давления 20-30 Па, подают на электроды напряжение и возбуждают тлеющий разряд. При напряжении 800-1000 В осуществляют катодное распыление. После 5-10-минутной обработки по режиму катодного распыления напряжение понижают до рабочего, а давление повышают до 150 Па, необходимое для эффективной обработки. В качестве рабочего газа используется газовая смесь азота, аргона и водорода (N2 35% + Аr 35% + Н2 30%). Азотирование в тлеющем разряде производят при давлении газа p=150 Па, токе I=1,2 А и напряжении U=460 В в течение 10 ч и температуре 430°С. Каждые 15 минут осуществляют смену газовой смеси в камере, которая заключается в откачке рабочего газа до давления 75 Па и последующего его повышения до рабочего давления 150 Па. Все процессы проходят за один технологический цикл, в одной камере и в одной атмосфере. После обработки деталь вместе с вакуумной камерой охлаждают под вакуумом до комнатной температуры. По окончании охлаждения в вакуумную камеру напускают атмосферный газ и извлекают обработанную деталь. Распределение микротвердости в поперечном сечении детали после низкотемпературного ионного азотирования имеет вид кривой 7 (фиг. 4).
Заявляемый способ позволяет расширить функциональные возможности ионного азотирования и повысить прочностные, трибологические характеристики поверхности, контактную долговечность и износостойкость стальных деталей при низкотемпературной обработке в тлеющем разряде за счет формирования поверхностного слоя с ультрамелкозернистой структурой материала детали путем дробеструйной обработки.
Claims (1)
- Способ низкотемпературного ионного азотирования стального изделия в плазме тлеющего разряда, включающий катодное распыление, вакуумный нагрев изделия в плазме тлеющего разряда, состоящей из смеси азотосодержащего и инертного газов, отличающийся тем, что указанный нагрев изделия в плазме тлеющего разряда проводят при температуре 430°С, причем сначала осуществляют поверхностную интенсивную пластическую деформацию посредством ультразвуковой обработки поверхности стального изделия с подачей инструмента S=2 м/мин, рабочей частотой f=22 кГц и частотой вращения детали N=30 об/мин.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017100450A RU2664106C2 (ru) | 2017-01-09 | 2017-01-09 | Способ низкотемпературного ионного азотирования стальных деталей |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017100450A RU2664106C2 (ru) | 2017-01-09 | 2017-01-09 | Способ низкотемпературного ионного азотирования стальных деталей |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2017100450A RU2017100450A (ru) | 2018-07-10 |
| RU2017100450A3 RU2017100450A3 (ru) | 2018-07-10 |
| RU2664106C2 true RU2664106C2 (ru) | 2018-08-15 |
Family
ID=62814050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2017100450A RU2664106C2 (ru) | 2017-01-09 | 2017-01-09 | Способ низкотемпературного ионного азотирования стальных деталей |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2664106C2 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2755911C1 (ru) * | 2021-01-12 | 2021-09-22 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ низкотемпературного ионного азотирования стальных деталей |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53104535A (en) * | 1977-02-24 | 1978-09-11 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Treating apparatus of ion nitriding |
| RU2041269C1 (ru) * | 1992-06-15 | 1995-08-09 | Акционерное общество открытого типа специального машиностроения и металлургии "Мотовилихинские заводы" | Способ изготовления кольца опоры качения |
| RU2385968C2 (ru) * | 2007-06-25 | 2010-04-10 | ООО "НПП Уралавиаспецтехнология" | Способ формирования нанокристаллического поверхностного слоя в материале изделий из металлических сплавов |
| RU115706U1 (ru) * | 2011-11-09 | 2012-05-10 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Предприятие "Сенсор" | Инструмент для формирования на деталях трибосопряжений поверхностей с нанокристаллической структурой |
| RU2534907C1 (ru) * | 2013-04-08 | 2014-12-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ локальной обработки материала при азотировании в тлеющем разряде |
-
2017
- 2017-01-09 RU RU2017100450A patent/RU2664106C2/ru active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53104535A (en) * | 1977-02-24 | 1978-09-11 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Treating apparatus of ion nitriding |
| RU2041269C1 (ru) * | 1992-06-15 | 1995-08-09 | Акционерное общество открытого типа специального машиностроения и металлургии "Мотовилихинские заводы" | Способ изготовления кольца опоры качения |
| RU2385968C2 (ru) * | 2007-06-25 | 2010-04-10 | ООО "НПП Уралавиаспецтехнология" | Способ формирования нанокристаллического поверхностного слоя в материале изделий из металлических сплавов |
| RU115706U1 (ru) * | 2011-11-09 | 2012-05-10 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Предприятие "Сенсор" | Инструмент для формирования на деталях трибосопряжений поверхностей с нанокристаллической структурой |
| RU2534907C1 (ru) * | 2013-04-08 | 2014-12-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ локальной обработки материала при азотировании в тлеющем разряде |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2755911C1 (ru) * | 2021-01-12 | 2021-09-22 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Способ низкотемпературного ионного азотирования стальных деталей |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2017100450A (ru) | 2018-07-10 |
| RU2017100450A3 (ru) | 2018-07-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5503725A (en) | Method and device for treatment of products in gas-discharge plasma | |
| EP0797838B1 (en) | Method and apparatus for plasma processing | |
| Georges et al. | Active screen plasma nitriding | |
| RU2664106C2 (ru) | Способ низкотемпературного ионного азотирования стальных деталей | |
| KR101719452B1 (ko) | 열간단조금형의 표면처리방법 및 그 열간단조금형 | |
| RU2625864C1 (ru) | Способ низкотемпературного ионного азотирования стальных изделий в магнитном поле | |
| RU2419676C1 (ru) | Способ ионно-вакуумного азотирования длинномерной стальной детали в тлеющем разряде | |
| RU2640703C2 (ru) | Способ локальной обработки стального изделия при ионном азотировании в магнитном поле | |
| RU2633867C1 (ru) | Способ низкотемпературного ионного азотирования титановых сплавов | |
| RU2409700C1 (ru) | Способ азотирования в плазме тлеющего разряда | |
| RU2418095C2 (ru) | Способ вакуумного ионно-плазменного азотирования изделий из стали | |
| Roliński et al. | Controlling plasma nitriding of ferrous alloys | |
| RU2654161C1 (ru) | Способ локального ионного азотирования стальных изделий в тлеющем разряде с магнитным полем | |
| RU2662518C2 (ru) | Способ создания макронеоднородной структуры на поверхности материалов | |
| RU2534907C1 (ru) | Способ локальной обработки материала при азотировании в тлеющем разряде | |
| RU2611003C1 (ru) | Способ ионного азотирования титановых сплавов | |
| Smirnov et al. | Microstructure and wear resistance of modified surfaces obtained by ion-plasma nitriding of 40ХН2МА steel | |
| RU2687616C1 (ru) | Способ низкотемпературного ионного азотирования титановых сплавов с постоянной прокачкой газовой смеси | |
| Kwon et al. | Geometric effect of ion nitriding on the nitride growth behavior in hollow tube | |
| RU2755911C1 (ru) | Способ низкотемпературного ионного азотирования стальных деталей | |
| RU2686397C1 (ru) | Способ формирования износостойкого покрытия на поверхности изделий из стали | |
| RU2766388C1 (ru) | Способ обработки поверхности на стальных деталях | |
| RU2671026C1 (ru) | Способ комбинированного плазменного упрочнения поверхности изделий из титановых сплавов | |
| RU2717124C1 (ru) | Способ интенсификации процесса низкотемпературного ионного азотирования изделий из титановых сплавов | |
| RU2478141C2 (ru) | Способ модификации поверхности материала плазменной обработкой |