WO2012132974A1 - 脆性板の切断装置および脆性板の切断方法 - Google Patents

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WO2012132974A1
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glass plate
brittle plate
brittle
plate
cutting
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PCT/JP2012/056910
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宏樹 田中
博史 安藤
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旭硝子株式会社
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups

Definitions

  • the present invention relates to a brittle plate cutting apparatus and a brittle plate cutting method.
  • a cutting device for a glass plate that is a brittle plate As a cutting device for a glass plate that is a brittle plate, a device having a wheel cutter that forms a scribe line (groove line) on the surface of the glass plate and a break bar that divides the glass plate along the scribe line is known. .
  • the scribe line is formed by rolling while pressing the wheel cutter against the surface of the glass plate.
  • a cutting apparatus for cutting a glass plate without forming a scribe line has been developed.
  • a cutting device that includes means for locally heating a glass plate and moving a heating region to form a crack that penetrates the glass plate in the thickness direction and extend the crack.
  • a crack that penetrates a brittle plate such as a glass plate in the thickness direction is more difficult as the brittle plate has a larger area. This is because the larger the brittle plate, the higher the rigidity of the brittle plate, and the greater the frictional force between the brittle plate and the stage that supports the brittle plate, making it difficult for the brittle plate to deform. This problem is more conspicuous in the central portion of the brittle plate than in the outer peripheral portion of the brittle plate, and the extension of the crack may stop midway.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a brittle plate cutting apparatus and a brittle plate cutting method capable of cutting a large area brittle plate.
  • the present invention provides: A first step of supporting the brittle plate by a support unit; and locally heating the brittle plate supported by the support unit and moving the heating region of the brittle plate to move the brittle plate in the plate thickness direction.
  • a method for cutting a brittle plate having a second step of forming a crack that penetrates and extending the crack In the first step, the brittle plate is supported by the support unit in a state where at least a part of the brittle plate is bent and deformed so that a tensile stress acts on a planned cutting line of the brittle plate surface.
  • a method for cutting a board is provided.
  • the cut surfaces of the brittle plate are separated from each other in the second step.
  • the support unit includes a stage that sucks and supports the brittle plate from the back surface, and a projecting member that projects from the support surface of the stage, and the projecting member is to be cut. It preferably extends along the line.
  • the protruding member protrudes from a side edge portion of the support surface of the stage
  • the support unit further includes a pressing member that presses an end portion of the brittle plate that protrudes from the stage from the front surface side toward the back surface side.
  • a space surrounded by the support surface of the stage, the protruding member, and the back surface of the brittle plate is negative pressure via an adsorption hole formed in the support surface of the stage.
  • a negative pressure is generated in the space by the negative pressure source and the cut surfaces of the brittle plate are separated from each other.
  • the protruding member has conductivity
  • the stage has insulating properties
  • the brittle plate disposed between the protruding member and the electrode is locally heated. It is preferable to move the heating region of the brittle plate by moving the electrode relative to the brittle plate supported by the support unit.
  • the support unit includes a stage that sucks and supports the brittle plate from the back surface, and a pressing member that presses an end portion of the brittle plate that protrudes from the stage from the front side toward the back side. It is preferable to have.
  • the support unit has a stage for supporting the brittle plate from the back surface, and the support surface of the stage is formed in a convex curved shape.
  • the support unit has a pair of support tubes that suck and support the brittle plate from the back surface, and each support tube extends in parallel with a planned cutting line on the back surface of the brittle plate. And It is preferable that the brittle plate is stretched over the pair of support tubes and is supported by the pair of support tubes in a state of being convexly curved upward.
  • the support unit has a pair of fixing members for fixing both edge portions of the brittle plate,
  • the brittle plate is preferably supported by the pair of fixing members in a state of being convexly curved downward.
  • the cut surfaces of the brittle plate are separated from each other by returning a part of the brittle plate supported by the support unit to its original shape. Is preferred.
  • the brittle plate disposed between the two electrodes is locally heated, It is preferable to move the heating region of the brittle plate by moving at least one of the electrodes relative to the brittle plate supported by the support unit.
  • the present invention also provides: Forming a crack penetrating the brittle plate in the thickness direction by locally heating the brittle plate supported by the support unit and the brittle plate supported by the support unit and moving the heating region of the brittle plate And a brittle plate cutting device having a crack forming unit for extending the crack,
  • the supporting unit provides a brittle plate cutting device that supports the brittle plate in a state where at least a part of the brittle plate is bent and deformed so that a tensile stress acts on a planned cutting line on the brittle plate surface.
  • a brittle plate cutting apparatus and a brittle plate cutting method capable of cutting a brittle plate having a large area can be provided.
  • FIG. 1 is a perspective view of a cutting device according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the cutting device according to the first embodiment.
  • FIG. 3A is a top view showing a state of cutting by the cutting device 10.
  • 3B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 3A.
  • 3C is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 3A.
  • FIG. 4A is a cross-sectional view (1) showing how the crack 8 is formed.
  • FIG. 4B is a cross-sectional view (2) showing how the crack 8 is formed.
  • FIG. 4C is a cross-sectional view (3) showing how the crack 8 is formed.
  • FIG. 5A is a top view showing a state of cutting by the cutting device in the second embodiment.
  • FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 5A.
  • FIG. 5C is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 5A.
  • FIG. 6A is a top view illustrating a state of cutting by the cutting device according to the third embodiment.
  • 6B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 6A.
  • FIG. 6C is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 6A.
  • FIG. 7A is a top view showing a state of cutting by the cutting device according to the fourth embodiment.
  • 7B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 7A.
  • FIG. 7C is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 7A.
  • FIG. 8A is a top view showing a state of cutting by the cutting device in the fifth embodiment.
  • FIG. 8B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 8A.
  • FIG. 8C is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 8A.
  • FIG. 9A is a top view showing a state of cutting by the cutting device in the sixth embodiment.
  • FIG. 9B is a sectional view taken along line BB in FIG. 9A.
  • FIG. 9C is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 9A.
  • FIG. 10A is a bottom view showing a state of cutting by the cutting device according to the seventh embodiment.
  • FIG. 10B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 10A.
  • FIG. 10C is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 10A.
  • FIG. 1 is a perspective view of a brittle plate cutting device according to a first embodiment.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the brittle plate cutting device in the first embodiment.
  • the cutting device 10 of the present embodiment is a device that cuts the glass plate 2 that is a brittle plate.
  • the brittle plate is not limited to the glass plate 2 and may be, for example, a silicon substrate, a sapphire substrate, or a ceramic substrate.
  • the glass plate 2 is formed into a flat plate shape in a natural state where no bending stress is applied.
  • Examples of the method for forming the glass plate 2 include a float method and a fusion method.
  • An initial crack serving as a starting point for cutting may be formed in advance at or near the starting point of the planned cutting line 4 on the glass plate surface 2a. However, in order to reduce the number of steps, there may be no initial crack.
  • scheduled cutting line is a virtual line scheduled to be cut.
  • the start point and the end point of the planned cutting line 4 on the glass plate surface 2a intersect the outer periphery of the glass plate surface 2a.
  • the type of glass of the glass plate 2 is not particularly limited, but is, for example, soda lime glass, non-alkali glass, or quartz glass.
  • size of the glass plate 2 is not specifically limited, For example, when the glass plate 2 is rectangular shape, the dimension of the short side of the glass plate 2 may be 20 mm or more.
  • the cutting device 10 locally heats the glass plate 2 supported by the support unit 20 and the glass plate 2 supported by the support unit 20 and moves the heating region of the glass plate 2 to move the glass plate 2 to the plate. It has a crack forming unit 50 for forming the crack 8 penetrating in the thickness direction and extending the crack 8.
  • the cutting device 10 does not have means for forming a scribe line (groove line) on the glass plate surface 2a in order to suppress damage to the glass plate surface 2a.
  • the support unit 20 supports the glass plate 2 in a state where at least a part of the glass plate 2 is bent and deformed so that a tensile stress acts on the planned cutting line 4 on the surface 2a of the glass plate.
  • the acting direction of the tensile stress is preferably an in-plane direction of the glass plate surface 2 a and a direction orthogonal to the planned cutting line 4.
  • the support unit 20 includes a stage 21 that sucks and supports the glass plate 2 from the back surface 2b, and a protruding member 24 that protrudes from the support surface 21a of the stage 21.
  • the protruding member 24 extends along the planned cutting line 4.
  • the protruding member 24 When viewed from the direction orthogonal to the planar support surface 21 a of the stage 21, the protruding member 24 overlaps the entire cutting line 4 of the glass plate 2.
  • the protruding member 24 bends and deforms the flat glass plate 2 by its own weight in a natural state. As a result, a tensile stress acts on the planned cutting line 4 on the glass plate surface 2a.
  • a plurality of suction holes 23 are formed in the support surface 21 a of the stage 21. Each suction hole 23 is connected to an external negative pressure source P.
  • the negative pressure source P is constituted by a vacuum pump or the like. When the negative pressure source P is activated, the stage 21 sucks and supports the glass plate 2 from the back surface 2b.
  • a band-plate-shaped protruding member 24 protrudes, and suction holes 23 are arranged on both the left and right sides of the protruding member 24.
  • the spaces S1 and S2 surrounded by the support surface 21a of the stage 21, the protruding member 24, and the glass plate back surface 2b are connected to the negative pressure source P through the suction holes 23.
  • a negative pressure pressure lower than atmospheric pressure
  • the glass plate back surface 2b is bent along the support surface 21a and the protruding member 24 on both sides of the protruding member 24. Deformed.
  • the crack formation unit 50 forms the crack 8 that penetrates the glass plate 2 in the plate thickness direction by locally heating the glass plate 2 supported by the support unit 20 and moving the heating region of the glass plate 2. At the same time, it is a means for extending the crack 8.
  • the crack forming unit 50 applies a thermal stress to the glass plate 2 by locally heating the glass plate 2 to form the crack 8.
  • the heating temperature of the glass plate 2 is set to a temperature below the annealing point. This is because when glass is heated to a temperature exceeding the annealing point, it flows in a viscous manner so as to relieve thermal stress.
  • the crack forming unit 50 has two electrodes 51 and 24 arranged on both sides (the front surface 2a side and the back surface 2b side) of the glass plate 2 supported by the support unit 20. Yes.
  • a strip-shaped protruding member 24 is used as one of the two electrodes 51 and 24.
  • the protruding member 24 has conductivity, and is made of a metal such as aluminum or copper.
  • the stage 21 in which the base end portion of the protruding member 24 is embedded has insulating properties, and is made of a synthetic resin such as polytetrafluoroethylene (trade name, Teflon (registered trademark)).
  • the electrode 51 is electrically connected to the protruding member 24 via the circuit 53.
  • the protruding member 24 may be grounded.
  • the circuit 53 includes a high-frequency power source 54 that supplies AC power (AC voltage) between the electrode 51 and the protruding member 24, a frequency and duty ratio of AC power (AC voltage), a modulator 55 that modulates voltage, and the like. .
  • the atmosphere around the electrode 51 is preferably an inert atmosphere such as a nitrogen atmosphere or an argon atmosphere.
  • the high frequency power supply 54 supplies AC power between the electrode 51 and the protruding member 24, an alternating electric field is formed between the electrode 51 and the protruding member 24, and the inside of the glass plate 2 disposed in the alternating electric field. Is locally dielectrically heated.
  • the glass plate 2 disposed between the protruding member 24 and the electrode 51 is locally heated.
  • the electrode 51 has a tapered tip toward the glass plate surface 2a.
  • the projecting member 24 has a tip portion tapered toward the glass plate back surface 2b.
  • the maximum width W of the protruding member 24 is, for example, 1 to 5 mm.
  • the crack forming unit 50 has a moving device 60 that moves the heating region of the glass plate 2 by moving the electrode 51 relative to the glass plate 2 supported by the support unit 20.
  • the moving device 60 of the present embodiment moves the electrode 51 side, but may move the support unit 20 side or both sides.
  • the moving device 60 includes, for example, a guide rail 62 that guides the electrode 51 in a predetermined direction, a drive source 64 that moves the electrode 51 in a predetermined direction, and the like.
  • the moving device 60 moves the electrode 51 along the planned cutting line 4 on the glass plate surface 2a.
  • a predetermined device (for example, the negative pressure source P, the high-frequency power source 54, and the drive source 64) of the cutting device 10 is connected to a control device 70 that controls the operation of the cutting device 10 via a signal line.
  • the control device 70 is configured as a computer including a CPU, a recording medium, and the like.
  • the control device 70 causes the CPU to execute various programs stored in the recording medium, thereby controlling the device connected via the signal line and causing the cutting device 10 to perform various operations.
  • FIG. 3A is a top view showing a state of cutting by the cutting device 10.
  • 3B is a sectional view taken along line BB in FIG. 3A
  • FIG. 3C is a sectional view taken along line CC in FIG. 3A.
  • illustration of the moving device 60 and the like is omitted for easy viewing of the drawing.
  • the glass plate 2 is supported by the support unit 20. Specifically, first, the glass plate 2 is placed on the planar support surface 21 a of the stage 21. Since the protruding member 24 protrudes from the support surface 21a, the flat glass plate 2 is bent and deformed by its own weight in a natural state, and tensile stress acts on the planned cutting line 4 on the glass plate surface 2a. Subsequently, the negative pressure source P is activated, and the glass materials on both sides of the planned cutting line 4 are sucked and fixed to the stage 21.
  • the tensile stress acting on the planned cutting line 4 is determined by the protruding amount H of the protruding member 24 (see FIG. 3B), the atmospheric pressure of the spaces S1 and S2, the physical properties of the glass plate 2, and the like, for example, 30 to 300 MPa, preferably 50 to 150 MPa.
  • the protruding amount H of the protruding member 24 is, for example, 0.1 to 3 mm.
  • the needle-shaped electrode 51 is moved to a position facing the starting point of the planned cutting line 4. Subsequently, AC power is supplied between the electrode 51 and the protruding member 24, and the glass plate 2 disposed between the electrode 51 and the protruding member 24 is locally heated. As a result, a crack 8 that penetrates the glass plate 2 in the thickness direction is formed from the outer periphery of the glass plate 2.
  • FIG. 4A to 4C are cross-sectional views showing how the cracks 8 are formed.
  • FIG. 4A tensile stress is generated in the planned cutting line 4 on the glass plate surface 2a. Therefore, as shown in FIG. 4B, the crack 8 is directed from the front surface 2a side to the back surface 2b side of the glass plate 2. grow up.
  • FIG. 4C when the crack 8 penetrates the glass plate 2 in the plate thickness direction, the tensile stress acting on the planned cutting line 4 is released, so that the cut surfaces 2c and 2d of the glass plate 2 are V Open in a letter shape.
  • the needle-shaped electrode 51 is relatively moved along the planned cutting line 4, and the crack 8 extends along the planned cutting line 4.
  • the glass plate back surface 2b is formed on the support surface 21a and the projection member 24. Bending stress is acting on the glass plate 2 so that it may follow.
  • the bending stress is generated on both the left and right sides of the protruding member 24, and is balanced with each other before the crack 8 is formed. However, the balance is lost after the crack 8 is formed. Therefore, after the formation of the crack 8, as shown in FIG. 3C, the cut surfaces 2c and 2d opened in a V shape are separated from each other.
  • the crack 8 reaches the end point of the planned cutting line 4
  • the supply of AC power is stopped. Further, the suction of the glass plate 2 by the stage 21 is stopped, and the glass plate 2 is removed from the stage 21. In this way, the glass plate 2 can be cut.
  • the bending stress acts on the planned cutting line 4 of the glass plate surface 2 by bending and deforming at least a part of the glass plate 2.
  • the cut surfaces 2c and 2d of the glass plate 2 are opened in a V shape. Therefore, the deformation
  • the negative pressure is generated in the spaces S1 and S2, so that when the crack 8 is formed, the glass plate 2 is re-deformed and opened in a V shape.
  • the cut surfaces 2c and 2d are separated from each other. Therefore, it is possible to prevent the corners of the cut surfaces 2c and 2d from rubbing against each other.
  • the suction holes 23 are disposed on the left and right sides of the protruding member 24, and the glass plate 2 is sucked and fixed to the stage 21 on both the left and right sides of the protruding member 24.
  • the protruding member protrudes from the edge of the support surface of the stage, and the suction hole is disposed only on one side of the protruding member.
  • FIG. 5A is a top view showing a state of cutting by the cutting device according to the second embodiment.
  • 5B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 5A
  • FIG. 5C is a cross-sectional view taken along line CC in FIG. 5A.
  • the cutting device 110 of this embodiment is a support unit that supports the glass plate 102 in a state in which at least a part of the glass plate 102 is bent and deformed so that a tensile stress acts on the planned cutting line 104 of the glass plate surface 102a. 120 and a crack forming unit 150.
  • the crack forming unit 150 has the same configuration as that of the first embodiment except that the electrode has a protruding member 124 instead of the protruding member 24 shown in FIGS. .
  • the support unit 120 includes a stage 121 that sucks and supports the glass plate 102 from the back surface 102b, and a protruding member 124 that protrudes from the side edge of the support surface 121a of the stage 121.
  • the protruding member 124 extends along the planned cutting line 104.
  • the protruding member 124 When viewed from a direction orthogonal to the planar support surface 121 a of the stage 121, the protruding member 124 overlaps the entire planned cutting line 104.
  • the protruding member 124 bends and deforms the flat glass plate 102 by its own weight in a natural state. As a result, a tensile stress acts on the planned cutting line 104 on the glass plate surface 102a.
  • a plurality of suction holes 123 are formed in the support surface 121 a of the stage 121.
  • Each suction hole 123 is connected to an external negative pressure source P.
  • the negative pressure source P When the negative pressure source P is activated, the stage 121 sucks and supports the glass plate 102 from the back surface 102b.
  • a band-plate-shaped protruding member 124 protrudes from the side edge of the support surface 121 a of the stage 121, and the suction hole 123 is disposed only on one side of the protruding member 124.
  • a space S3 surrounded by the support surface 121a of the stage 121, the protruding member 124, and the glass plate back surface 102b is connected to the negative pressure source P through the suction hole 123.
  • the negative pressure source P When the negative pressure source P is activated, a negative pressure is generated in the space S3, and the glass plate back surface 102b is bent and deformed along the support surface 121a and the protruding member 124.
  • the support unit 120 also includes a pressing member 125 that presses the end 102e of the glass plate 102 protruding from the stage 121 from the front surface 102a toward the back surface 102b. Therefore, sufficient tensile stress can be applied to the planned cutting line 104 at the end 102e of the glass plate 102.
  • the pressing member 125 extends in parallel with the planned cutting line 104.
  • the glass plate 102 is supported by the support unit 120. Specifically, first, the glass plate 102 is placed on the planar support surface 121 a of the stage 121. Since the protruding member 124 protrudes from the support surface 121a, the flat glass plate 102 is bent and deformed by its own weight in a natural state, and tensile stress acts on the planned cutting line 104 of the glass plate surface 102a. Subsequently, the negative pressure source P is activated, and the glass plate 102 is sucked and fixed to the stage 121.
  • the tensile stress acting on the planned cutting line 104 is determined by the protruding amount H (see FIG. 5B) of the protruding member 124, the pressure in the space S3, the pressing force applied from the pressing member 125 to the glass plate 102, the physical properties of the glass plate 102, and the like.
  • H the protruding amount of the protruding member 124
  • the protruding amount H of the protruding member 124 is, for example, 0.1 to 3 mm.
  • the needle-shaped electrode 51 is moved to a position facing the starting point of the planned cutting line 104. Subsequently, AC power is supplied between the electrode 51 and the protruding member 124, and the glass plate 102 disposed between the electrode 51 and the protruding member 124 is locally heated. As a result, a crack 108 that penetrates the glass plate 102 in the thickness direction is formed from the outer periphery of the glass plate 102.
  • the tensile stress acting on the planned cutting line 104 is released, so that the cut surfaces 102c and 102d of the glass plate 102 are opened in a V shape. Therefore, also in this embodiment, similarly to the first embodiment, the deformation at the time of cutting the glass plate 102 can be supported, and the large-area glass plate 102 can be cut.
  • the needle-shaped electrode 51 is relatively moved along the planned cutting line 104, and the crack 108 extends along the planned cutting line 104.
  • the supply of AC power is stopped. Further, the suction of the glass plate 102 by the stage 121 is stopped, and the glass plate 102 is removed from the stage 121. In this way, the glass plate 102 can be cut.
  • the support unit 20 of the first embodiment has the protruding member 24 that protrudes from the support surface 21 a of the stage 21.
  • the support unit of the present embodiment does not have a protruding member.
  • FIG. 6A is a top view showing a state of cutting by the cutting device according to the third embodiment.
  • 6B is a sectional view taken along line BB in FIG. 6A
  • FIG. 6C is a sectional view taken along line CC in FIG. 6A.
  • the cutting device 210 includes a support unit 220 and a crack formation unit 250.
  • the support unit 220 is a means for supporting the glass plate 202 in a state where at least a part of the glass plate 202 is bent and deformed so that a tensile stress acts on the planned cutting line 204 of the glass plate surface 202a.
  • the support unit 220 of this embodiment includes a stage 221 that sucks and supports the glass plate 202 from the back surface 202b.
  • a plurality of suction holes 223 are formed in the support surface 221 a of the stage 221. Each suction hole 223 is connected to an external negative pressure source P. When the negative pressure source P is activated, the stage 221 sucks and supports the glass plate 202 from the back surface 202b.
  • the support unit 220 includes a pressing member 225 that presses the end portion 202e of the glass plate 202 protruding from the stage 221 from the front surface 202a side to the back surface 202b side. Therefore, the end 202e of the glass plate 202 can be bent and deformed, and a tensile stress can be applied to the planned cutting line 204 at the end 202e.
  • the pressing member 225 extends in parallel with the planned cutting line 204 on the glass plate surface 202a.
  • the crack forming unit 250 forms a crack 208 that penetrates the glass plate 202 in the plate thickness direction by locally heating the glass plate 202 supported by the support unit 220 and moving the heating region of the glass plate 202. At the same time, it is a means for extending the crack 208.
  • the crack formation unit 250 has two electrodes 51 and 252 arranged on both sides (front side and back side) of the glass plate 202 supported by the support unit 220, for example, as shown in FIG. 6C.
  • the needle-shaped electrode 51 is electrically connected to the band plate-shaped electrode 252 through the circuit 53.
  • the electrode 252 extends along the planned cutting line 204.
  • the electrode 252 overlaps the entire planned cutting line 204 when viewed from a direction orthogonal to the planar support surface 221a of the stage 221.
  • the electrode 252 is fixed to the insulating stage 221 through an insulating support member 256.
  • the electrode 252 forms a slight gap with the glass plate back surface 202b.
  • the electrode 252 may be grounded.
  • the high frequency power supply 54 supplies AC power (AC voltage) between the two electrodes 51 and 252
  • a discharge is generated in the gap between the electrode 51 and the glass plate surface 202 a, and the glass plate surface 202 a is locally heated. Is done.
  • a discharge occurs in the gap between the electrode 252 and the glass plate back surface 202b, and the glass plate back surface 202b is locally heated.
  • the heating efficiency is good.
  • the high frequency power supply 54 supplies AC power (AC voltage) between the two electrodes 51 and 252, an alternating electric field is formed between the two electrodes 51 and 252, and the glass disposed in the alternating electric field.
  • the inside of the plate 202 is locally dielectrically heated.
  • the glass plate 202 disposed between the two electrodes 51 and 252 is locally heated.
  • the needle-shaped electrode 51 has a tapered tip toward the glass plate surface 202a.
  • the strip-shaped electrode 252 has a tapered tip toward the glass plate back surface 202b.
  • the crack forming unit 250 moves at least one of the two electrodes 51 and 252 (in the present embodiment, the electrode 51) relative to the glass plate 2 supported by the support unit 220, whereby the glass is formed.
  • a moving device 60 for moving the heating region of the plate 2 is provided.
  • the glass plate 202 is supported by the support unit 220. Specifically, first, the glass plate 202 is placed on the planar support surface 221 a of the stage 221. Subsequently, the negative pressure source P connected to the suction hole 223 formed in the support surface 221a is operated, and the glass plate 202 is sucked and fixed to the stage 221.
  • the pressing member 225 presses the end 202e protruding from the stage 221 of the glass plate 202 from the front surface 202a side to the back surface 202b side, and the end portion 202e is bent and deformed. As a result, a tensile stress acts on the planned cutting line 204 at the end 202e.
  • the tensile stress acting on the planned cutting line 204 is determined by the pressing force applied from the pressing member 225 to the glass plate 202, the physical properties of the glass plate 202, and the like, and is, for example, 25 to 300 MPa, preferably 30 to 50 MPa.
  • the needle-shaped electrode 51 is moved to a position facing the starting point of the planned cutting line 204. Subsequently, AC power is supplied between the two electrodes 51 and 252 and the glass plate 202 disposed between the two electrodes 51 and 252 is locally heated. As a result, a crack 208 that penetrates the glass plate 202 in the thickness direction is formed from the outer periphery of the glass plate 202.
  • disconnection of the glass plate 202 can be assisted similarly to 1st Embodiment, and the large area glass plate 202 can be cut
  • the needle-shaped electrode 51 is relatively moved along the planned cutting line 204, and the crack 208 extends along the planned cutting line 204.
  • the glass plate 202 has a restoring force to return to the original shape. This restoring force is balanced with the suction force of the stage 221 and the pressing force of the pressing member 225 before the formation of the crack 208, but the balance is lost after the formation of the crack 208.
  • the portion of the glass plate 202 that is supported by the stage 221 and the portion of the glass plate 202 that is pressed by the pressing member 225 are Each returns to a flat plate shape.
  • the portion of the glass plate 202 that is pressed by the pressing member 225 moves in the pressing direction.
  • the cut surfaces 202c and 202d opened in a V shape are separated from each other. Therefore, also in this embodiment, it is possible to prevent the corners of the cut surfaces 202c and 202d from rubbing, as in the first embodiment.
  • the supply of AC power is stopped. Further, the suction of the glass plate 202 by the stage 221 is stopped, and the glass plate 202 is removed from the stage 221. In this way, the glass plate 202 can be cut.
  • the support surface 21a of the stage 21 which adsorbs and supports the glass plate 2 from the back surface 2b was formed in planar shape.
  • the support surface of the stage that supports the glass plate from the back surface is formed in a convex curved shape.
  • FIG. 7A is a plan view showing a state of cutting by the cutting device in the fourth embodiment.
  • 7B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 7A
  • FIG. 7C is a cross-sectional view taken along line CC in FIG. 7A.
  • the cutting device 310 includes a support unit 320 and a crack formation unit 250. Note that the configuration of the crack forming unit 250 is the same as that of the third embodiment, and thus the description thereof is omitted.
  • the support unit 320 is a means for supporting the glass plate 302 in a state where at least a part of the glass plate 302 is bent and deformed so that a tensile stress acts on the planned cutting line 304 of the glass plate surface 302a.
  • the support unit 320 of this embodiment includes a stage 321 that sucks and supports the glass plate 302 from the back surface 302b.
  • the support surface 321a of the stage 321 is formed in an upwardly curved shape.
  • a plurality of suction holes 323 are formed in the support surface 321a. Each suction hole 323 is connected to an external negative pressure source P. When the negative pressure source P is activated, the stage 321 sucks and supports the glass plate 302 from the back surface 302b.
  • the groove part 326 is provided in the upper end part of the support surface 321a, and the adsorption
  • a strip-shaped electrode 252 protrudes upward from the inner bottom surface of the groove portion 326.
  • the electrode 252 extends along the planned cutting line 304.
  • the electrode 252 overlaps the entire cutting line 304 in a top view.
  • the electrode 252 is partially embedded in an insulating stage 321 and fixed.
  • the electrode 252 forms a slight gap with the glass plate back surface 302b.
  • the electrode 252 may be grounded.
  • the glass plate 302 is supported by the support unit 320. Specifically, first, the glass plate 302 is placed on the support surface 321 a of the stage 321. Since the support surface 321a is formed in an upwardly convex curved shape, the flat glass plate 302 is bent and deformed by its own weight in a natural state, and a tensile stress acts on the planned cutting line 304 of the glass plate surface 302a.
  • the negative pressure source P is activated, and the glass materials on both sides sandwiching the planned cutting line 304 are sucked and fixed to the stage 321. If the curvature radius of the glass plate back surface 302b is larger than the curvature radius of the support surface 321a before the negative pressure source P is activated, the glass plate 302 is further bent and deformed by the operation of the negative pressure source P. Therefore, the tensile stress acting on the planned cutting line 304 is increased.
  • the tensile stress acting on the planned cutting line 304 is determined by the curved shape of the support surface 321a, the physical properties of the glass plate 302, and the like, for example, 25 to 300 MPa, and preferably 30 to 50 MPa.
  • the needle-shaped electrode 51 is moved to a position facing the starting point of the planned cutting line 304. Subsequently, AC power is supplied between the two electrodes 51 and 252, and the glass plate 302 disposed between the two electrodes 51 and 252 is locally heated. As a result, a crack 308 that penetrates the glass plate 302 in the thickness direction is formed from the outer periphery of the glass plate 302.
  • the tensile stress acting on the planned cutting line 304 is released, so that the cut surfaces 302c and 302d of the glass plate 302 are opened in a V shape. Therefore, also in this embodiment, the deformation
  • the needle-shaped electrode 51 is relatively moved along the planned cutting line 304, and the crack 308 extends along the planned cutting line 304.
  • the glass plate 302 has a restoring force to return to the original shape. This restoring force is balanced with the gravity acting on the left and right sides of the glass plate 302 before the crack 308 is formed, but the balance is lost after the crack 308 is formed.
  • the glass on the left side of the cut portion and the glass on the right side of the cut portion each return to a flat plate shape.
  • the cut surfaces 302c and 302d opened in a V shape are separated from each other. Therefore, also in this embodiment, it is possible to prevent the corners of the cut surfaces 302c and 302d from rubbing with each other as in the first embodiment.
  • the crack 308 reaches the end point of the planned cutting line 304, the supply of AC power is stopped. Further, the suction of the glass plate 302 by the stage 321 is stopped, and the glass plate 302 is removed from the stage 321. In this way, the glass plate 302 can be cut.
  • the suction holes 323 are arranged on both sides of the groove formed on the upper end of the support surface 321a of the stage 321.
  • the suction holes are arranged only on one side of the groove.
  • FIG. 8A is a top view showing a state of cutting by the cutting device according to the fifth embodiment.
  • 8B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 8A
  • FIG. 8C is a cross-sectional view taken along line CC in FIG. 8A.
  • the cutting device 410 includes a support unit 420 and a crack forming unit 250. Note that the configuration of the crack forming unit 250 is the same as that of the third embodiment, and thus the description thereof is omitted.
  • the support unit 420 is a means for supporting the glass plate 402 in a state where at least a part of the glass plate 402 is bent and deformed so that a tensile stress acts on the planned cutting line 404 of the glass plate surface 402a.
  • the support unit 420 of this embodiment includes a stage 421 that sucks and supports the glass plate 402 from the back surface 402b.
  • the support surface 421a of the stage 421 is formed in an upwardly convex curved shape.
  • a plurality of suction holes 423 are formed in the support surface 421a. Each suction hole 423 is connected to an external negative pressure source P. When the negative pressure source P is activated, the stage 421 sucks and supports the glass plate 402 from the back surface 402b.
  • the groove part 426 is provided in the upper end part of the support surface 421a, and the adsorption hole 423 is arrange
  • the negative pressure source P is activated, only one of the glass materials on both sides across the planned cutting line 404 is sucked into the stage 421 and fixed.
  • a strip-shaped electrode 252 protrudes upward from the inner bottom surface of the groove portion 426.
  • the electrode 252 extends along the planned cutting line 404.
  • the electrode 252 overlaps the entire cutting line 404 when viewed from above.
  • the electrode 252 is partially embedded in an insulating stage 421 and fixed.
  • the electrode 252 forms a slight gap with the glass plate back surface 402b.
  • the electrode 252 may be grounded.
  • the glass plate 402 is supported by the support unit 420. Specifically, first, the glass plate 402 is placed on the support surface 421 a of the stage 421. Since the support surface 421a is formed in an upwardly convex curved shape, the flat glass plate 402 is bent and deformed by its own weight in a natural state, and tensile stress acts on the planned cutting line 404 of the glass plate surface 402a.
  • the negative pressure source P is activated, and only one of the glass materials on both sides sandwiching the planned cutting line 404 is sucked into the stage 421 and fixed. If the curvature radius of the glass plate back surface 402b is larger than the curvature radius of the support surface 421a before the operation of the negative pressure source P, the glass plate 402 is further bent and deformed by the operation of the negative pressure source P. Therefore, the tensile stress acting on the planned cutting line 404 is increased.
  • the tensile stress acting on the planned cutting line 404 is determined by the curved shape of the support surface 421a, the physical properties of the glass plate 402, and the like, for example, 25 to 300 MPa, preferably 30 to 50 MPa.
  • the needle-shaped electrode 51 is moved to a position facing the starting point of the planned cutting line 404. Subsequently, AC power is supplied between the two electrodes 51, 252, and the glass plate 402 disposed between the two electrodes 51, 252 is locally heated. As a result, a crack 408 that penetrates the glass plate 402 in the thickness direction is formed from the outer periphery of the glass plate 402.
  • the tensile stress acting on the planned cutting line 404 is released, so that the cut surfaces 402c and 402d of the glass plate 402 open in a V shape. Therefore, also in this embodiment, the deformation
  • the needle-shaped electrode 51 is relatively moved along the planned cutting line 404, and the crack 408 extends along the planned cutting line 404.
  • the glass plate 402 has a restoring force to return to the original shape. This restoring force is balanced with the gravity acting on the left and right sides of the glass plate 402 before the formation of the crack 408, but the balance is lost after the formation of the crack 408.
  • the glass on the left side of the cut portion and the glass on the right side of the cut portion each return to a flat plate shape.
  • the glass on the right side of the cut portion is not adsorbed by the support surface 421a, the glass moves obliquely downward.
  • the cut surfaces 402c and 402d opened in a V shape are separated from each other. Therefore, also in this embodiment, it is possible to prevent the corners of the cut surfaces 402c and 402d from rubbing, as in the first embodiment.
  • the crack 408 reaches the end point of the planned cutting line 404, the supply of AC power is stopped. Further, the suction of the glass plate 402 by the stage 421 is stopped, and the glass plate 402 is removed from the stage 421. In this way, the glass plate 402 can be cut.
  • the cutting apparatus includes a stage 21 that sucks and supports the glass plate 2 from the back surface 2b.
  • the cutting device of the present embodiment has a pair of support tubes that adsorb and support the glass plate from the back surface.
  • FIG. 9A is a top view showing a state of cutting by the cutting device in the sixth embodiment.
  • 9B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 9A
  • FIG. 9C is a cross-sectional view taken along line CC in FIG. 9A.
  • the cutting device 510 includes a support unit 520 and a crack formation unit 250. Note that the configuration of the crack forming unit 250 is the same as that of the third embodiment, and thus the description thereof is omitted.
  • the support unit 520 is a means for supporting the glass plate 502 in a state where at least a part of the glass plate 502 is bent and deformed so that a tensile stress acts on the planned cutting line 504 of the glass plate surface 502a.
  • the support unit 520 of this embodiment has a pair of support tubes 527 that adsorb and support the glass plate 502 from the back surface 502b. Each support tube 527 extends in parallel with the planned cutting line 504.
  • the glass plate 502 is stretched over the pair of support tubes 527 and supported by the pair of support tubes 527 in a state of being convexly curved upward. Therefore, the upper end portion 502f of the glass plate 502 can be bent and deformed, and a tensile stress can be applied to the planned cutting line 504 at the upper end portion 502f.
  • a plurality of suction holes 528 are formed on the outer peripheral surface 527a of each support tube 527.
  • Each suction hole 528 is connected to an external negative pressure source P.
  • the negative pressure source P is constituted by a vacuum pump or the like. When the negative pressure source P is activated, the pair of support tubes 527 adsorb and support the glass plate 502 from the back surface 502b.
  • the pair of support tubes 527 are connected via a support member 529, and an electrode 252 is fixed to the center of the support member 529. In this way, the electrode 252 is fixed to the pair of support tubes 527.
  • the electrode 252 is formed in a strip shape and extends along the planned cutting line 504. The electrode 252 overlaps the entire cutting line 504 when viewed from above.
  • the electrode 252 forms a slight gap with the glass plate back surface 502b.
  • the electrode 252 may be grounded.
  • the glass plate 502 is supported by the support unit 520. Specifically, first, the glass plate 502 is stretched over a pair of support tubes 527, the flat glass plate 502 is bent and deformed by its own weight in a natural state, and tensile stress acts on the planned cutting line 504. To do. Subsequently, the negative pressure source P is activated, and the glass plate 502 is sucked and supported by the pair of support tubes 527.
  • the tensile stress acting on the planned cutting line 504 is determined by the distance between the pair of support tubes 527 and the physical properties of the glass plate 502, and is, for example, 25 to 300 MPa, preferably 30 to 50 MPa.
  • the needle-shaped electrode 51 is moved to a position facing the starting point of the planned cutting line 504 on the glass plate surface 502a. Subsequently, AC power is supplied between the two electrodes 51 and 252 and the glass plate 502 disposed between the two electrodes 51 and 252 is locally heated. As a result, a crack 508 penetrating the glass plate 502 in the thickness direction is formed from the outer periphery of the glass plate 502.
  • the tensile stress acting on the planned cutting line 504 is released, so that the cut surfaces 502c and 502d of the glass plate 502 are opened in a V shape. Therefore, also in this embodiment, the deformation
  • the needle-shaped electrode 51 is relatively moved along the planned cutting line 504, and the crack 508 progresses along the planned cutting line 504.
  • the glass plate 502 has a restoring force to return to the original shape. This restoring force is balanced with the gravity acting on the left and right sides of the glass plate 502 before the crack 508 is formed, but the balance is lost after the crack 508 is formed.
  • the glass on the left side of the cut location and the glass on the right side of the cut location return to a flat plate shape and are inclined obliquely downward due to gravity. Moving.
  • the cut surfaces 502c and 502d opened in a V shape are separated from each other. Therefore, also in this embodiment, it is possible to prevent the corners of the cut surfaces 502c and 502d from rubbing, as in the first embodiment.
  • the crack 508 reaches the end point of the planned cutting line 504, the supply of AC power is stopped. Further, the suction of the glass plate 502 by the pair of support tubes 527 is stopped, and the glass plate 502 is removed from the pair of support tubes 527. In this way, the glass plate 502 can be cut.
  • the cutting apparatus includes a stage 21 that sucks and supports the glass plate 2 from the back surface 2b.
  • the cutting device of this embodiment has a pair of fixing members that fix both edges of the glass plate.
  • FIG. 10A is a bottom view showing a state of cutting by the cutting device in the seventh embodiment.
  • 10B is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 10A
  • FIG. 10C is a cross-sectional view taken along line CC in FIG. 10A.
  • the cutting device 610 includes a support unit 620 and a crack formation unit 250. Note that the configuration of the crack forming unit 250 is the same as that of the third embodiment, and thus the description thereof is omitted.
  • the support unit 620 is a means for supporting the glass plate 602 in a state where at least a part of the glass plate 602 is bent and deformed so that a tensile stress acts on the planned cutting line 604 of the glass plate lower surface 602a.
  • the support unit 620 of the present embodiment has a pair of fixing members 631 that fix both edge portions 602h of the glass plate 602.
  • the glass plate 602 is supported by a pair of fixing members 631 in a state of being convexly curved downward. Therefore, a tensile stress can be applied to the planned cutting line 604 at the lower end of the glass plate lower surface 602a.
  • the pair of fixing members 631 are connected via a support member 632, and the electrode 252 is fixed to the center of the support member 632. In this way, the electrode 252 is fixed to the pair of fixing members 631.
  • the electrode 252 is formed in a strip shape and extends along the planned cutting line 604.
  • the electrode 252 overlaps the entire cutting line 604 when viewed from above.
  • the electrode 252 forms a slight gap between the upper surface 602b of the glass plate.
  • the electrode 252 may be grounded.
  • the glass plate 602 is supported by the support unit 620.
  • the pair of fixing members 631 supports the glass plate 602 in a state of being curved downward and convex in a state where both edge portions 602h of the glass plate 602 are fixed. Therefore, a tensile stress can be applied to the planned cutting line 604 at the lower end of the glass plate lower surface 602a.
  • the tensile stress acting on the planned cutting line 604 is determined by the size and shape of the pair of fixing members 631 and the physical properties of the glass plate 602, and is, for example, 25 to 300 MPa, and preferably 30 to 50 MPa.
  • the needle-shaped electrode 51 is moved to a position facing the starting point of the planned cutting line 604. Subsequently, AC power is supplied between the two electrodes 51, 252, and the glass plate 602 disposed between the two electrodes 51, 252 is locally heated. As a result, a crack 608 that penetrates the glass plate 602 in the thickness direction is formed from the outer periphery of the glass plate 602.
  • disconnection of the glass plate 602 can be assisted similarly to 1st Embodiment, and the large area glass plate 602 can be cut
  • the needle-shaped electrode 51 is relatively moved along the planned cutting line 604, and the crack 608 extends along the planned cutting line 604.
  • the glass plate 602 has a restoring force to return to the original shape. This restoring force is balanced with the gravity acting on the left and right sides of the glass plate 602 before the formation of the crack 608, but the balance is lost after the formation of the crack 608.
  • the glass on the left side of the cut portion and the glass on the right side of the cut portion return to a flat plate shape and are inclined downward by gravity. Moving.
  • the cut surfaces 602c and 602d opened in a V shape are separated from each other. Therefore, also in this embodiment, it is possible to prevent the corners of the cut surfaces 602c and 602d from rubbing each other as in the first embodiment.
  • the crack 608 reaches the end point of the planned cutting line 604, the supply of AC power is stopped and the glass plate 602 is removed from the pair of fixing members 631. In this way, the glass plate 602 can be cut.
  • the glass plates 2 to 602 are formed into a flat plate shape in a natural state.
  • the glass plates 2 to 602 are bent and deformed so that tensile stress acts on the planned cutting lines 4 to 604 when supported by the support unit. As long as it is made, it may be formed into a curved shape in a natural state.
  • the electrode 51 is electrically connected to the protruding members 24 and 124 or the electrode 252 via the circuit 53, it may not be connected, and the electrode 252 may not be provided.
  • the electrode 51 may be electrically connected to the glass plates 2 to 602 via the circuit 53, and the glass plates 2 to 602 may be grounded. In this case, an AC voltage and an AC current are supplied to the electrode 51 from the high frequency power source 54.
  • the projection member 124 and the electrode 252 are formed in a band plate shape and fixed to the support units 120 to 620 in order to simplify the structure of the cutting devices 110 to 610.
  • the needle-shaped electrodes 51 that are formed to be opposed to each other they may be moved relative to the support units 120 to 620. In this case, the heating region of the glass plates 102 to 602 can be narrowed, and the heating efficiency can be improved.
  • the crack forming units 50, 150, 250 have the electrode 51 in order to locally heat the glass plate, but may have a laser light source instead of the electrode 51.
  • a laser light source a UV laser (wavelength: 355 nm), a green laser (wavelength: 532 nm), a semiconductor laser (wavelength: 808 nm, 940 nm, 975 nm), a fiber laser (wavelength: 1060 to 1100 nm), a YAG laser (wavelength: 1064 nm, 2080 nm, 2940 nm).
  • the electrode 252 is not necessary.
  • the crack forming units 50, 150, 250 may have a cooling source for locally cooling the glass plate in order to give a temperature gradient to the glass plate.
  • a cooling source for example, a nozzle that discharges a refrigerant is used.
  • a gas such as cooling air or a liquid such as cold water is used.
  • a combination of gas and liquid may be used.

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Abstract

　本発明は、脆性板を支持ユニットにより支持する第１のステップと、前記支持ユニットにより支持される脆性板を局所的に加熱すると共に前記脆性板の加熱領域を移動させることにより、前記脆性板を板厚方向に貫通するクラックを形成すると共に該クラックを伸展させる第２のステップとを有する脆性板の切断方法において、前記第１のステップでは、前記脆性板表面の切断予定線に引張応力が作用するように、前記脆性板の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、前記脆性板を前記支持ユニットにより支持する脆性板の切断方法に関する。

Description

脆性板の切断装置および脆性板の切断方法
　本発明は、脆性板の切断装置および脆性板の切断方法に関する。
　脆性板であるガラス板の切断装置として、ガラス板の表面にスクライブ線（溝線）を形成するホイールカッターと、スクライブ線に沿ってガラス板を分断するブレイクバーとを有する装置が知られている。スクライブ線は、ホイールカッターをガラス板の表面に押し付けながら転動させることで形成される。
　スクライブ線の形成後、ガラス板に切り込んでいたホイールカッターをガラス板から退出させると、ホイールカッターによって側方に押しやられていた部分が、元の形状に復帰しようとし、相互に衝突するので、水平クラックが発生する。
　そこで、水平クラックの発生を防止するため、ガラス板を下方に向けて湾曲させた状態で、ガラス板の下面にスクライブ線を形成し、その後、ガラス板をさらに湾曲させることで、ガラス板を分断する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。この技術によれば、ホイールカッターによって側方に押しやられていた部分が元の形状に復帰するのを低減できるので、水平クラックの発生を低減できるとしている。
　近年では、水平クラックの発生を防止するため、スクライブ線を形成することなく、ガラス板を切断する切断装置も開発されている。例えば、ガラス板を局所的に加熱すると共に加熱領域を移動させることにより、ガラス板を板厚方向に貫通するクラックを形成すると共にクラックを伸展させる手段を有する切断装置がある。
日本国特開平９－３１５８３２号公報
　ガラス板などの脆性板を板厚方向に貫通するクラックの形成は、脆性板が大面積になるほど、困難である。脆性板が大面積になるほど、脆性板の剛性が高くなるので、また、脆性板と脆性板を支持するステージとの摩擦力が大きくなるので、脆性板が変形し難いためである。この問題は、脆性板の外周部よりも、脆性板の中央部で顕著であり、クラックの伸展が途中で止まることがあった。
　本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、大面積の脆性板を切断可能な脆性板の切断装置および脆性板の切断方法を提供することを目的とする。
　上記目的を解決するため、本発明は、
　脆性板を支持ユニットにより支持する第１のステップと、前記支持ユニットにより支持される脆性板を局所的に加熱すると共に前記脆性板の加熱領域を移動させることにより、前記脆性板を板厚方向に貫通するクラックを形成すると共に該クラックを伸展させる第２のステップとを有する脆性板の切断方法において、
　前記第１のステップでは、前記脆性板表面の切断予定線に引張応力が作用するように、前記脆性板の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、前記脆性板を前記支持ユニットにより支持する脆性板の切断方法を提供する。
　本発明の脆性板の切断方法において、前記第２のステップでは、前記脆性板の切断面同士を離間させることが好ましい。
　本発明の脆性板の切断方法において、前記支持ユニットは、前記脆性板を裏面から吸着支持するステージと、該ステージの支持面から突出する突起部材とを有し、該突起部材は、前記切断予定線に沿って延びていることが好ましい。
　本発明の脆性板の切断方法において、前記突起部材は、前記ステージの支持面の側縁部から突出しており、
　前記支持ユニットは、前記脆性板の前記ステージからはみ出す端部を表面側から裏面側に向けて押圧する押圧部材をさらに有することが好ましい。
　本発明の脆性板の切断方法において、前記ステージの支持面と、前記突起部材と、前記脆性板の裏面とで囲まれる空間は、前記ステージの支持面に形成される吸着孔を介して負圧源に接続されており、
　前記第２のステップでは、前記負圧源により前記空間に負圧を生じさせて、前記脆性板の切断面同士を離間させることが好ましい。
　本発明の脆性板の切断方法において、前記突起部材は導電性を有し、前記ステージは絶縁性を有しており、
　前記第２のステップでは、
　前記突起部材と、前記突起部材に電気的に接続される電極との間に交流電力を供給することにより、前記突起部材と前記電極の間に配置される前記脆性板を局所的に加熱すると共に、
　前記支持ユニットにより支持される前記脆性板に対し、前記電極を相対的に移動させることにより、前記脆性板の加熱領域を移動させることが好ましい。
　本発明の脆性板の切断方法において、前記支持ユニットは、前記脆性板を裏面から吸着支持するステージと、前記脆性板の前記ステージからはみ出す端部を表面側から裏面側に向けて押圧する押圧部材とを有することが好ましい。
　本発明の脆性板の切断方法において、前記支持ユニットは、前記脆性板を裏面から支持するステージを有し、該ステージの支持面は、上に凸の湾曲形状に形成されていることが好ましい。
　本発明の脆性板の切断方法において、前記支持ユニットは、前記脆性板を裏面から吸着支持する一対の支持管を有し、各支持管は、前記脆性板の裏面の切断予定線と平行に延びており、
　前記脆性板は、前記一対の支持管の上に架け渡され、上に凸に湾曲した状態で前記一対の支持管により支持されることが好ましい。
　本発明の脆性板の切断方法において、前記支持ユニットは、前記脆性板の両縁部を固定する一対の固定部材を有し、
　前記脆性板は、下に凸に湾曲した状態で、前記一対の固定部材により支持されることが好ましい。
　本発明の脆性板の切断方法において、前記第２のステップでは、前記支持ユニットにより支持される前記脆性板の一部が元の形状に戻ることにより、前記脆性板の切断面同士を離間させることが好ましい。
　本発明の脆性板の切断方法において、前記第２のステップでは、
　前記支持ユニットにより支持される脆性板の両側に配置される２つの電極の間に交流電力を供給することにより、前記２つ電極の間に配置される前記脆性板を局所的に加熱すると共に、
　前記支持ユニットにより支持される前記脆性板に対し、少なくとも一方の電極を相対的に移動させることにより、前記脆性板の加熱領域を移動させることが好ましい。
　また、本発明は、
　脆性板を支持する支持ユニットと、前記支持ユニットにより支持される脆性板を局所的に加熱すると共に前記脆性板の加熱領域を移動させることにより、前記脆性板を板厚方向に貫通するクラックを形成すると共に該クラックを伸展させるクラック形成ユニットとを有する脆性板の切断装置において、
　前記支持ユニットは、前記脆性板表面の切断予定線に引張応力が作用するように、前記脆性板の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、前記脆性板を支持する脆性板の切断装置を提供する。
　本発明によれば、大面積の脆性板を切断可能な脆性板の切断装置および脆性板の切断方法を提供することができる。
図１は、第１の実施形態における切断装置の斜視図である。 図２は、第１の実施形態における切断装置の断面図である。 図３Ａは、切断装置１０による切断の様子を示す上面図である。 図３Ｂは、図３ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図３Ｃは、図３ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。 図４Ａは、クラック８の形成の様子を示す断面図（１）である。 図４Ｂは、クラック８の形成の様子を示す断面図（２）である。 図４Ｃは、クラック８の形成の様子を示す断面図（３）である。 図５Ａは、第２の実施形態における切断装置による切断の様子を示す上面図である。 図５Ｂは、図５ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図５Ｃは、図５ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。 図６Ａは、第３の実施形態における切断装置による切断の様子を示す上面図である。 図６Ｂは、図６ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図６Ｃは、図６ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。 図７Ａは、第４の実施形態における切断装置による切断の様子を示す上面図である。 図７Ｂは、図７ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図７Ｃは、図７ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。 図８Ａは、第５の実施形態における切断装置による切断の様子を示す上面図である。 図８Ｂは、図８ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図８Ｃは、図８ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。 図９Ａは、第６の実施形態における切断装置による切断の様子を示す上面図である。 図９Ｂは、図９ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図９Ｃは、図９ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。 図１０Ａは、第７の実施形態における切断装置による切断の様子を示す下面図である。 図１０Ｂは、図１０ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図である。 図１０Ｃは、図１０ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。
　以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明するが、各図面において、同一のまたは対応する構成については同一のまたは対応する符号を付して説明を省略する。
　［第１の実施形態］
　図１は、第１の実施形態における脆性板の切断装置の斜視図である。図２は、第１の実施形態における脆性板の切断装置の断面図である。
　本実施形態の切断装置１０は、脆性板であるガラス板２を切断する装置である。なお、脆性板は、ガラス板２に限定されず、例えばシリコン基板、サファイア基板、またはセラミックス基板などであってもよい。
　ガラス板２は、曲げ応力の作用していない自然状態で平板形状に成形されている。ガラス板２の成形方法としては、例えばフロート法やフュージョン法などがある。
　ガラス板表面２ａの切断予定線４の始点または始点近傍には、切断の起点となる初期クラックが予め形成されていてもよいが、工程数を削減するため、初期クラックはなくても良い。
　ここで、「切断予定線」とは、切断箇所となる予定の仮想線のことである。ガラス板表面２ａの切断予定線４の始点および終点は、ガラス板表面２ａの外周と交差している。
　ガラス板２のガラスの種類は、特に限定されないが、例えば、ソーダライムガラス、無アルカリガラス、または石英ガラスなどである。
　ガラス板２の大きさは、特に限定されないが、例えばガラス板２が矩形状の場合、ガラス板２の短辺の寸法が２０ｍｍ以上であって良い。
　切断装置１０は、ガラス板２を支持する支持ユニット２０と、支持ユニット２０により支持されるガラス板２を局所的に加熱すると共にガラス板２の加熱領域を移動させることにより、ガラス板２を板厚方向に貫通するクラック８を形成すると共にクラック８を伸展させるクラック形成ユニット５０を有する。なお、切断装置１０は、ガラス板表面２ａの損傷を抑えるため、ガラス板表面２ａにスクライブ線（溝線）を形成する手段を有していない。
　支持ユニット２０は、ガラス板表面２ａの切断予定線４に引張応力が作用するように、ガラス板２の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、ガラス板２を支持する。上記引張応力の作用方向は、ガラス板表面２ａの面内方向で、且つ、切断予定線４と直交する方向であることが好ましい。
　例えば、支持ユニット２０は、図１および図２に示すように、ガラス板２を裏面２ｂから吸着支持するステージ２１と、ステージ２１の支持面２１ａから突出する突起部材２４とを有する。突起部材２４は、切断予定線４に沿って延びている。
　ステージ２１の平面形状の支持面２１ａと直交する方向から見て、突起部材２４は、ガラス板２の切断予定線４の全体と重なっている。突起部材２４は、自然状態で平板形状のガラス板２を自重で曲げ変形させる。その結果、ガラス板表面２ａの切断予定線４に引張応力が作用する。
　ステージ２１の支持面２１ａには、複数の吸着孔２３が形成されている。各吸着孔２３は外部の負圧源Ｐと接続されている。負圧源Ｐは真空ポンプなどで構成され、負圧源Ｐが作動すると、ステージ２１が、ガラス板２を裏面２ｂから吸着支持する。
　ステージ２１の支持面２１ａからは、帯板形状の突起部材２４が突出しており、突起部材２４の左右両側に吸着孔２３が配置されている。負圧源Ｐが作動すると、切断予定線４を挟んだ両側のガラス材が、ステージ２１に吸引され、固定される。
　ステージ２１の支持面２１ａと、突起部材２４と、ガラス板裏面２ｂとで囲まれる空間Ｓ１、Ｓ２は、吸着孔２３を介して、負圧源Ｐに接続されている。負圧源Ｐが作動すると、空間Ｓ１、Ｓ２に負圧（大気圧よりも低い圧力）が生じ、突起部材２４の両側において、ガラス板裏面２ｂが支持面２１ａおよび突起部材２４に沿うように曲げ変形される。
　クラック形成ユニット５０は、支持ユニット２０により支持されるガラス板２を局所的に加熱すると共にガラス板２の加熱領域を移動させることにより、ガラス板２を板厚方向に貫通するクラック８を形成すると共にクラック８を伸展させる手段である。
　クラック形成ユニット５０は、ガラス板２を局所的に加熱することにより、ガラス板２に熱応力を印加して、クラック８を形成する。ガラス板２の加熱温度は、徐冷点以下の温度に設定される。ガラスは徐冷点を超える温度に加熱されると、熱応力を緩和するように、粘性流動するからである。
　例えば、クラック形成ユニット５０は、図２に示すように、支持ユニット２０により支持されるガラス板２の両側（表面２ａ側および裏面２ｂ側）に配置される２つの電極５１、２４を有している。本実施形態では、２つの電極５１、２４の一方として、帯板形状の突起部材２４が用いられている。
　そのため、突起部材２４は、導電性を有し、例えばアルミニウムや銅などの金属で構成されている。一方、突起部材２４の基端部が埋設されるステージ２１は、絶縁性を有しており、例えばポリテトラフルオロエチレン（商品名、テフロン（登録商標））などの合成樹脂で構成されている。
　電極５１は、回路５３を介して、突起部材２４と電気的に接続されている。突起部材２４は、アースされていてよい。回路５３は、電極５１と突起部材２４の間に交流電力（交流電圧）を供給する高周波電源５４、交流電力（交流電圧）の周波数やデューティ比、電圧を変調する変調器５５などで構成される。
　高周波電源５４が電極５１と突起部材２４の間に交流電力を供給することにより、電極５１とガラス板表面２ａの間に形成される間隙に放電が生じ、ガラス板表面２ａが局所的に加熱される。放電の安定化のため、電極５１の周辺の雰囲気は、窒素雰囲気やアルゴン雰囲気などの不活性雰囲気であることが好ましい。
　また、高周波電源５４が電極５１と突起部材２４の間に交流電力を供給することにより、電極５１と突起部材２４の間に交番電界が形成され、交番電界中に配置されるガラス板２の内部が局所的に誘電加熱される。
　このように、突起部材２４と電極５１との間に交流電力を供給することにより、突起部材２４と電極５１の間に配置されるガラス板２を局所的に加熱する。
　ガラス板２の加熱範囲を狭窄するため、電極５１はガラス板表面２ａに向けて先細り形状の先端部を有している。同じ理由で、突起部材２４は、ガラス板裏面２ｂに向けて先細り形状の先端部を有している。突起部材２４の最大幅Ｗは、例えば１～５ｍｍである。
　また、クラック形成ユニット５０は、支持ユニット２０により支持されるガラス板２に対し電極５１を相対的に移動させることにより、ガラス板２の加熱領域を移動させる移動装置６０を有する。本実施形態の移動装置６０は、電極５１側を移動させるが、支持ユニット２０側を移動させてもよいし、両側を移動させてもよい。
　移動装置６０は、例えば、電極５１を所定方向に案内するガイドレール６２、電極５１を所定方向に移動させる駆動源６４などで構成される。移動装置６０は、電極５１をガラス板表面２ａの切断予定線４に沿って移動させる。
　切断装置１０の所定の装置（例えば、負圧源Ｐ、高周波電源５４、駆動源６４）は、切断装置１０の動作を制御する制御装置７０に、信号ラインを介して接続されている。制御装置７０は、ＣＰＵ、記録媒体などを含むコンピュータとして構成されている。制御装置７０は、記録媒体に格納された各種プログラムをＣＰＵに実行させることで、信号ラインを介して接続される装置を制御し、切断装置１０の各種動作を実行させる。
　次に、図３Ａ～図３Ｃを参照して、上記構成の切断装置１０の動作（切断方法）について説明する。
　図３Ａは、切断装置１０による切断の様子を示す上面図である。図３Ｂは図３ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図、図３Ｃは図３ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。図３Ａにおいて、図面を見やすくするため、移動装置６０などの図示を省略する。
　最初に、ガラス板２が支持ユニット２０により支持される。具体的には、先ず、ガラス板２がステージ２１の平面形状の支持面２１ａに載置される。支持面２１ａからは突起部材２４が突出しているので、自然状態で平板形状のガラス板２が自重で曲げ変形され、ガラス板表面２ａの切断予定線４に引張応力が作用する。続いて、負圧源Ｐが作動し、切断予定線４を挟んだ両側のガラス材が、ステージ２１に吸引され、固定される。
　このとき、ステージ２１の支持面２１ａと、突起部材２４と、ガラス板裏面２ｂとで囲まれる空間Ｓ１、Ｓ２に負圧が生じ、ガラス板裏面２ｂが支持面２１ａおよび突起部材２４に沿うように曲げ変形される。よって、ガラス板表面２ａの切断予定線４により強い引張応力が作用する。
　切断予定線４に作用する引張応力は、突起部材２４の突出量Ｈ（図３Ｂ参照）、空間Ｓ１、Ｓ２の気圧、ガラス板２の物性などにて定まり、例えば３０～３００ＭＰａであり、好ましくは５０～１５０ＭＰａである。突起部材２４の突出量Ｈは、例えば０．１～３ｍｍである。
　次いで、針形状の電極５１が切断予定線４の始点と対向する位置に移動される。続いて、電極５１と突起部材２４との間に交流電力が供給され、電極５１と突起部材２４との間に配置されるガラス板２が局所的に加熱される。その結果、ガラス板２の外周から、ガラス板２を板厚方向に貫通するクラック８が形成される。
　図４Ａ～図４Ｃは、クラック８の形成の様子を示す断面図である。図４Ａに示すように、ガラス板表面２ａの切断予定線４には引張応力が生じているので、図４Ｂに示すように、クラック８はガラス板２の表面２ａ側から裏面２ｂ側に向けて成長する。図４Ｃに示すように、クラック８がガラス板２を板厚方向に貫通すると、切断予定線４に作用していた引張応力が解放されるので、ガラス板２の切断面２ｃ、２ｄ同士がＶ字状に開く。
　次いで、針形状の電極５１が切断予定線４に沿って相対的に移動され、クラック８が切断予定線４に沿って伸展する。
　ところで、ステージ２１の支持面２１ａと、突起部材２４と、ガラス板裏面２ｂとで囲まれる空間Ｓ１、Ｓ２には負圧が生じているので、ガラス板裏面２ｂが支持面２１ａおよび突起部材２４に沿うように、ガラス板２に曲げ応力が作用している。
　この曲げ応力は、突起部材２４の左右両側で生じており、クラック８の形成前は、互いに均衡を保っているが、クラック８の形成後は、均衡が崩れる。そのため、クラック８の形成後は、図３Ｃに示すように、Ｖ字状に開いた切断面２ｃ、２ｄ同士が離れる。
　クラック８が切断予定線４の終点に到達すると、交流電力の供給が停止される。また、ステージ２１によるガラス板２の吸引が停止され、ステージ２１からガラス板２が取り外される。このようにして、ガラス板２を切断することができる。
　以上説明したように、本実施形態によれば、ガラス板２の少なくとも一部が曲げ変形されることにより、ガラス板表面２の切断予定線４に曲げ応力が作用しているので、クラック８の形成時に、ガラス板２の切断面２ｃ、２ｄ同士がＶ字状に開く。そのため、ガラス板２の切断時の変形を支援することができ、大面積のガラス板２を切断することができる。
　また、本実施形態によれば、図４Ａ～図４Ｃに示すように、空間Ｓ１、Ｓ２に負圧が生じることにより、クラック８の形成時に、ガラス板２が再変形し、Ｖ字状に開いた切断面２ｃ、２ｄ同士が離れる。よって、切断面２ｃ、２ｄの角同士が擦れ合うのを防止することができる。
　［第２の実施形態］
　上記第１の実施形態では、突起部材２４の左右両側に吸着孔２３が配置され、突起部材２４の左右両側において、ガラス板２がステージ２１に吸引され、固定されていた。
　これに対し、本実施形態では、突起部材がステージの支持面の縁部から突出しており、突起部材の片側にのみ吸着孔が配置されている。
　図５Ａは、第２の実施形態における切断装置による切断の様子を示す上面図である。図５Ｂは図５ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図、図５Ｃは図５ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。
　本実施形態の切断装置１１０は、ガラス板表面１０２ａの切断予定線１０４に引張応力が作用するように、ガラス板１０２の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、ガラス板１０２を支持する支持ユニット１２０と、クラック形成ユニット１５０を有する。なお、クラック形成ユニット１５０は、電極として、図３Ａ～図３Ｃに示す突起部材２４の代わりに、突起部材１２４を有する以外は、第１の実施形態と同様の構成であるので、説明を省略する。
　支持ユニット１２０は、ガラス板１０２を裏面１０２ｂから吸着支持するステージ１２１と、ステージ１２１の支持面１２１ａの側縁部から突出する突起部材１２４とを有する。突起部材１２４は、切断予定線１０４に沿って延びている。
　ステージ１２１の平面形状の支持面１２１ａと直交する方向から見て、突起部材１２４は、切断予定線１０４の全体と重なっている。突起部材１２４は、自然状態で平板形状のガラス板１０２を自重で曲げ変形させる。その結果、ガラス板表面１０２ａの切断予定線１０４に引張応力が作用する。
　ステージ１２１の支持面１２１ａには、複数の吸着孔１２３が形成されている。各吸着孔１２３は外部の負圧源Ｐと接続されている。負圧源Ｐが作動すると、ステージ１２１が、ガラス板１０２を裏面１０２ｂから吸着支持する。
　ステージ１２１の支持面１２１ａの側縁部からは、帯板形状の突起部材１２４が突出しており、突起部材１２４の片側のみに吸着孔１２３が配置されている。負圧源Ｐが作動すると、切断予定線１０４を挟んだ両側のガラス材の一方のみが、ステージ１２１に吸引され、固定される。
　ステージ１２１の支持面１２１ａと、突起部材１２４と、ガラス板裏面１０２ｂとで囲まれる空間Ｓ３は、吸着孔１２３を介して、負圧源Ｐに接続されている。負圧源Ｐが作動すると、空間Ｓ３に負圧が生じ、ガラス板裏面１０２ｂが支持面１２１ａおよび突起部材１２４に沿うように曲げ変形される。
　また、支持ユニット１２０は、ガラス板１０２のステージ１２１からはみ出す端部１０２ｅを表面１０２ａ側から裏面１０２ｂ側に向けて押圧する押圧部材１２５を有する。よって、ガラス板１０２の端部１０２ｅにある切断予定線１０４に十分な引張応力を与えることができる。押圧部材１２５は、切断予定線１０４と平行に延びている。
　次に、上記構成とした切断装置１１０の動作（切断方法）について、再度図５Ａ～図５Ｃを参照して説明する。
　最初に、ガラス板１０２が支持ユニット１２０により支持される。具体的には、先ず、ガラス板１０２がステージ１２１の平面形状の支持面１２１ａに載置される。支持面１２１ａからは突起部材１２４が突出しているので、自然状態で平板形状のガラス板１０２が自重で曲げ変形され、ガラス板表面１０２ａの切断予定線１０４に引張応力が作用する。続いて、負圧源Ｐが作動し、ガラス板１０２が、ステージ１２１に吸引され、固定される。
　このとき、ステージ１２１の支持面１２１ａと、突起部材１２４と、ガラス板裏面１０２ｂとで囲まれる空間Ｓ３に負圧が生じ、ガラス板裏面１０２ｂが支持面１２１ａおよび突起部材１２４に沿うように曲げ変形される。よって、ガラス板表面１０２ａの切断予定線１０４により強い引張応力が作用する。
　また、ガラス板１０２のステージ１２１からはみ出す端部１０２ｅが、表面１０２ａ側から裏面１０２ｂ側に向けて押圧部材１２５により押圧されるので、ガラス板表面１０２ａの切断予定線１０４に十分な引張応力が作用する。
　切断予定線１０４に作用する引張応力は、突起部材１２４の突出量Ｈ（図５Ｂ参照）、空間Ｓ３の気圧、押圧部材１２５からガラス板１０２に加わる押圧力、ガラス板１０２の物性などにて定まり、例えば２５～３００ＭＰａであり、好ましくは３０～５０ＭＰａである。突起部材１２４の突出量Ｈは、例えば０．１～３ｍｍである。
　次いで、針形状の電極５１が切断予定線１０４の始点と対向する位置に移動される。続いて、電極５１と突起部材１２４との間に交流電力が供給され、電極５１と突起部材１２４との間に配置されるガラス板１０２が局所的に加熱される。その結果、ガラス板１０２の外周から、ガラス板１０２を板厚方向に貫通するクラック１０８が形成される。
　クラック１０８が形成されると、切断予定線１０４に作用していた引張応力が解放されるので、ガラス板１０２の切断面１０２ｃ、１０２ｄ同士がＶ字状に開く。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、ガラス板１０２の切断時の変形を支援することができ、大面積のガラス板１０２を切断することができる。
　次いで、針形状の電極５１が切断予定線１０４に沿って相対的に移動され、クラック１０８が切断予定線１０４に沿って伸展する。
　ところで、ステージ１２１の支持面１２１ａと、突起部材１２４と、ガラス板裏面１０２ｂとで囲まれる空間Ｓ３には負圧が生じており、ガラス板裏面１０２ｂが支持面１２１ａおよび突起部材１２４に沿うように、ガラス板１０２に曲げ応力が作用している。
　この曲げ応力は、クラック１０８の形成前は、押圧部材１２５の押圧力と均衡を保っているが、クラック１０８の形成後は、均衡が崩れる。そのため、クラック１０８の形成後は、図５Ｃに示すように、Ｖ字状に開いた切断面１０２ｃ、１０２ｄ同士が離れる。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、切断面１０２ｃ、１０２ｄの角同士が擦れ合うのを防止することができる。
　クラック１０８が切断予定線１０４の終点に到達すると、交流電力の供給が停止される。また、ステージ１２１によるガラス板１０２の吸引が停止され、ステージ１２１からガラス板１０２が取り外される。このようにして、ガラス板１０２を切断することができる。
　［第３の実施形態］
　上記第１の実施形態の支持ユニット２０は、ステージ２１の支持面２１ａから突出する突起部材２４を有していた。
　これに対し、本実施形態の支持ユニットは、突起部材を有していない。
　図６Ａは、第３の実施形態における切断装置による切断の様子を示す上面図である。図６Ｂは、図６ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図、図６Ｃは、図６ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。
　本実施形態の切断装置２１０は、支持ユニット２２０と、クラック形成ユニット２５０を有する。
　支持ユニット２２０は、ガラス板表面２０２ａの切断予定線２０４に引張応力が作用するように、ガラス板２０２の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、ガラス板２０２を支持する手段である。
　本実施形態の支持ユニット２２０は、ガラス板２０２を裏面２０２ｂから吸着支持するステージ２２１を有する。ステージ２２１の支持面２２１ａには、複数の吸着孔２２３が形成されている。各吸着孔２２３は外部の負圧源Ｐと接続されている。負圧源Ｐが作動すると、ステージ２２１が、ガラス板２０２を裏面２０２ｂから吸着支持する。
　また、支持ユニット２２０は、ガラス板２０２のステージ２２１からはみ出す端部２０２ｅを表面２０２ａ側から裏面２０２ｂ側に向けて押圧する押圧部材２２５を有する。よって、ガラス板２０２の端部２０２ｅを曲げ変形することができ、端部２０２ｅにある切断予定線２０４に引張応力を与えることができる。
　押圧部材２２５は、ガラス板表面２０２ａの切断予定線２０４と平行に延びている。
　クラック形成ユニット２５０は、支持ユニット２２０により支持されるガラス板２０２を局所的に加熱すると共にガラス板２０２の加熱領域を移動させることにより、ガラス板２０２を板厚方向に貫通するクラック２０８を形成すると共にクラック２０８を伸展させる手段である。
　クラック形成ユニット２５０は、例えば図６Ｃに示すように、支持ユニット２２０により支持されるガラス板２０２の両側（表面側および裏面側）に配置される２つの電極５１、２５２を有する。針形状の電極５１は、回路５３を介して、帯板形状の電極２５２と電気的に接続されている。
　電極２５２は、切断予定線２０４に沿って延びている。電極２５２は、ステージ２２１の平面形状の支持面２２１ａと直交する方向から見て、切断予定線２０４の全体と重なっている。
　電極２５２は、絶縁性の支持部材２５６を介して、絶縁性のステージ２２１に固定されている。電極２５２は、ガラス板裏面２０２ｂとの間に僅かな間隙を形成している。電極２５２はアースされてよい。
　高周波電源５４が２つの電極５１、２５２の間に交流電力（交流電圧）を供給することにより、電極５１とガラス板表面２０２ａの間の間隙に放電が生じ、ガラス板表面２０２ａが局所的に加熱される。また、電極２５２とガラス板裏面２０２ｂの間の間隙に放電が生じ、ガラス板裏面２０２ｂが局所的に加熱される。本実施形態では、ガラス板２０２の表面２０２ａ側と裏面２０２ｂ側の両側に放電が生じるので、加熱効率がよい。
　また、高周波電源５４が２つの電極５１、２５２の間に交流電力（交流電圧）を供給することにより、２つの電極５１、２５２の間に交番電界が形成され、交番電界中に配置されるガラス板２０２の内部が局所的に誘電加熱される。
　このように、２つの電極５１、２５２との間に交流電力を供給することにより、２つの電極５１、２５２の間に配置されるガラス板２０２を局所的に加熱する。
　ガラス板２の加熱範囲を狭窄するため、針形状の電極５１はガラス板表面２０２ａに向けて先細り形状の先端部を有している。同じ理由で、帯板形状の電極２５２は、ガラス板裏面２０２ｂに向けて先細り形状の先端部を有している。
　また、クラック形成ユニット２５０は、支持ユニット２２０により支持されるガラス板２に対し、２つの電極５１、２５２のうち少なくとも一方（本実施形態では、電極５１）を相対的に移動させることにより、ガラス板２の加熱領域を移動させる移動装置６０を有する。
　次に、上記構成とした切断装置２１０の動作（切断方法）について、再度図６Ａ～図６Ｃを参照して説明する。
　最初に、ガラス板２０２が支持ユニット２２０により支持される。具体的には、先ず、ガラス板２０２がステージ２２１の平面形状の支持面２２１ａに載置される。続いて、支持面２２１ａに形成される吸着孔２２３に接続される負圧源Ｐが作動し、ガラス板２０２が、ステージ２２１に吸引され、固定される。
　次いで、押圧部材２２５がガラス板２０２のステージ２２１からはみ出す端部２０２ｅを表面２０２ａ側から裏面２０２ｂ側に向けて押圧し、端部２０２ｅを曲げ変形させる。その結果、端部２０２ｅにある切断予定線２０４に引張応力が作用する。
　切断予定線２０４に作用する引張応力は、押圧部材２２５からガラス板２０２に加わる押圧力、ガラス板２０２の物性などにて定まり、例えば２５～３００ＭＰａであり、好ましくは３０～５０ＭＰａである。
　次いで、針形状の電極５１が切断予定線２０４の始点と対向する位置に移動される。続いて、２つの電極５１、２５２の間に交流電力が供給され、２つの電極５１、２５２の間に配置されるガラス板２０２が局所的に加熱される。その結果、ガラス板２０２の外周から、ガラス板２０２を板厚方向に貫通するクラック２０８が形成される。
　クラック２０８が形成されると、切断予定線２０４に作用していた引張応力が解放されるので、ガラス板２０２の切断面２０２ｃ、２０２ｄ同士がＶ字状に開く。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、ガラス板２０２の切断時の変形を支援することができ、大面積のガラス板２０２を切断することができる。
　次いで、針形状の電極５１が切断予定線２０４に沿って相対的に移動され、クラック２０８が切断予定線２０４に沿って伸展する。
　ところで、ガラス板２０２は、元の形状に戻ろうとする復元力を有している。この復元力は、クラック２０８の形成前は、ステージ２２１の吸着力や押圧部材２２５の押圧力と均衡を保っているが、クラック２０８の形成後は、均衡が崩れる。
　そのため、クラック２０８が形成された切断箇所では、図６Ｃに示すように、ガラス板２０２のステージ２２１により支持される側の部分、および、ガラス板２０２の押圧部材２２５により押圧される側の部分が、それぞれ、平板形状に戻る。加えて、ガラス板２０２の押圧部材２２５により押圧される側の部分が、押圧方向に移動する。その結果、Ｖ字状に開いた切断面２０２ｃ、２０２ｄ同士が離される。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、切断面２０２ｃ、２０２ｄの角同士が擦れ合うのを防止することができる。
　クラック２０８が切断予定線２０４の終点に到達すると、交流電力の供給が停止される。また、ステージ２２１によるガラス板２０２の吸引が停止され、ステージ２２１からガラス板２０２が取り外される。このようにして、ガラス板２０２を切断することができる。
　［第４の実施形態］
　上記第１の実施形態では、ガラス板２を裏面２ｂから吸着支持するステージ２１の支持面２１ａが、平面形状に形成されていた。
　これに対し、本実施形態では、ガラス板を裏面から支持するステージの支持面が、上に凸の湾曲形状に形成されている。
　図７Ａは、第４の実施形態における切断装置による切断の様子を示す平面図である。図７Ｂは図７ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図、図７Ｃは図７ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。
　切断装置３１０は、支持ユニット３２０と、クラック形成ユニット２５０を有する。なお、クラック形成ユニット２５０の構成は、第３の実施形態と同様であるので、説明を省略する。
　支持ユニット３２０は、ガラス板表面３０２ａの切断予定線３０４に引張応力が作用するように、ガラス板３０２の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、ガラス板３０２を支持する手段である。
　本実施形態の支持ユニット３２０は、ガラス板３０２を裏面３０２ｂから吸着支持するステージ３２１を有する。ステージ３２１の支持面３２１ａは、上に凸の湾曲形状に形成されている。
　支持面３２１ａには、複数の吸着孔３２３が形成されている。各吸着孔３２３は外部の負圧源Ｐと接続されている。負圧源Ｐが作動すると、ステージ３２１が、ガラス板３０２を裏面３０２ｂから吸着支持する。
　支持面３２１ａの上端部には、溝部３２６が設けられており、溝部３２６の左右両側に吸着孔３２３が配置されている。負圧源Ｐが作動すると、切断予定線３０４を挟んだ両側のガラス材が、ステージ３２１に吸引され、固定される。
　溝部３２６の内底面からは、帯板形状の電極２５２が上方に向けて突出している。電極２５２は、切断予定線３０４に沿って延びている。電極２５２は、上面視にて、切断予定線３０４の全体と重なっている。
　電極２５２は、絶縁性のステージ３２１に一部が埋設され、固定されている。電極２５２は、ガラス板裏面３０２ｂとの間に僅かな間隙を形成している。電極２５２はアースされてよい。
　次に、上記構成とした切断装置３１０の動作（切断方法）について、再度図７Ａ～図７Ｃを参照して説明する。
　最初に、ガラス板３０２が支持ユニット３２０により支持される。具体的には、先ず、ガラス板３０２がステージ３２１の支持面３２１ａに載置される。支持面３２１ａは上に凸の湾曲形状に形成されているので、自然状態で平板形状のガラス板３０２が自重で曲げ変形して、ガラス板表面３０２ａの切断予定線３０４に引張応力が作用する。
　続いて、負圧源Ｐが作動し、切断予定線３０４を挟んだ両側のガラス材が、ステージ３２１に吸引され、固定される。負圧源Ｐの作動前に、ガラス板裏面３０２ｂの曲率半径が支持面３２１ａの曲率半径よりも大きい場合、負圧源Ｐの作動によって、ガラス板３０２がさらに曲げ変形される。よって、切断予定線３０４に作用する引張応力が強くなる。
　切断予定線３０４に作用する引張応力は、支持面３２１ａの湾曲形状、ガラス板３０２の物性などにて定まり、例えば２５～３００ＭＰａであり、好ましくは３０～５０ＭＰａである。
　次いで、針形状の電極５１が切断予定線３０４の始点と対向する位置に移動される。続いて、２つの電極５１、２５２の間に交流電力が供給され、２つの電極５１、２５２の間に配置されるガラス板３０２が局所的に加熱される。その結果、ガラス板３０２の外周から、ガラス板３０２を板厚方向に貫通するクラック３０８が形成される。
　クラック３０８が形成されると、切断予定線３０４に作用していた引張応力が解放されるので、ガラス板３０２の切断面３０２ｃ、３０２ｄ同士がＶ字状に開く。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、ガラス板３０２の切断時の変形を支援することができ、大面積のガラス板３０２を切断することができる。
　次いで、針形状の電極５１が切断予定線３０４に沿って相対的に移動され、クラック３０８が切断予定線３０４に沿って伸展する。
　ところで、ガラス板３０２は、元の形状に戻ろうとする復元力を有している。この復元力は、クラック３０８の形成前は、ガラス板３０２の左右両側に作用する重力と均衡を保っているが、クラック３０８の形成後は、均衡が崩れる。
　そのため、クラック３０８が形成された切断箇所では、図７Ｃに示すように、切断箇所の左側のガラス、および、切断箇所の右側のガラスが、それぞれ、平板形状に戻る。その結果、Ｖ字状に開いた切断面３０２ｃ、３０２ｄ同士が離される。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、切断面３０２ｃ、３０２ｄの角同士が擦れ合うのを防止することができる。
　クラック３０８が切断予定線３０４の終点に到達すると、交流電力の供給が停止される。また、ステージ３２１によるガラス板３０２の吸引が停止され、ステージ３２１からガラス板３０２が取り外される。このようにして、ガラス板３０２を切断することができる。
　［第５の実施形態］
　上記第４の実施形態では、ステージ３２１の支持面３２１ａの上端部に形成される溝部の両側に吸着孔３２３が配置されていた。
　これに対し、本実施形態では、溝部の片側にのみ吸着孔が配置されている。
　図８Ａは、第５の実施形態における切断装置による切断の様子を示す上面図である。図８Ｂは、図８ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図、図８Ｃは、図８ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。
　切断装置４１０は、支持ユニット４２０と、クラック形成ユニット２５０を有する。なお、クラック形成ユニット２５０の構成は、第３の実施形態と同様であるので、説明を省略する。
　支持ユニット４２０は、ガラス板表面４０２ａの切断予定線４０４に引張応力が作用するように、ガラス板４０２の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、ガラス板４０２を支持する手段である。
　本実施形態の支持ユニット４２０は、ガラス板４０２を裏面４０２ｂから吸着支持するステージ４２１を有する。ステージ４２１の支持面４２１ａは、上に凸の湾曲形状に形成されている。
　支持面４２１ａには、複数の吸着孔４２３が形成されている。各吸着孔４２３は外部の負圧源Ｐと接続されている。負圧源Ｐが作動すると、ステージ４２１が、ガラス板４０２を裏面４０２ｂから吸着支持する。
　支持面４２１ａの上端部には、溝部４２６が設けられており、溝部４２６の片側のみに吸着孔４２３が配置されている。負圧源Ｐが作動すると、切断予定線４０４を挟んだ両側のガラス材の一方のみが、ステージ４２１に吸引され、固定される。
　溝部４２６の内底面からは、帯板形状の電極２５２が上方に向けて突出している。電極２５２は、切断予定線４０４に沿って延びている。電極２５２は、上面視にて、切断予定線４０４の全体と重なっている。
　電極２５２は、絶縁性のステージ４２１に一部が埋設され、固定されている。電極２５２は、ガラス板裏面４０２ｂとの間に僅かな間隙を形成している。電極２５２はアースされてよい。
　次に、上記構成とした切断装置４１０の動作（切断方法）について、再度図８Ａ～図８Ｃを参照して説明する。
　最初に、ガラス板４０２が支持ユニット４２０により支持される。具体的には、先ず、ガラス板４０２がステージ４２１の支持面４２１ａに載置される。支持面４２１ａは上に凸の湾曲形状に形成されているので、自然状態で平板形状のガラス板４０２が自重で曲げ変形して、ガラス板表面４０２ａの切断予定線４０４に引張応力が作用する。
　続いて、負圧源Ｐが作動し、切断予定線４０４を挟んだ両側のガラス材の一方のみが、ステージ４２１に吸引され、固定される。負圧源Ｐの作動前に、ガラス板裏面４０２ｂの曲率半径が支持面４２１ａの曲率半径よりも大きい場合、負圧源Ｐの作動によって、ガラス板４０２がさらに曲げ変形される。よって、切断予定線４０４に作用する引張応力が強くなる。
　切断予定線４０４に作用する引張応力は、支持面４２１ａの湾曲形状、ガラス板４０２の物性などにて定まり、例えば２５～３００ＭＰａであり、好ましくは３０～５０ＭＰａである。
　次いで、針形状の電極５１が切断予定線４０４の始点と対向する位置に移動される。続いて、２つの電極５１、２５２の間に交流電力が供給され、２つの電極５１、２５２の間に配置されるガラス板４０２が局所的に加熱される。その結果、ガラス板４０２の外周から、ガラス板４０２を板厚方向に貫通するクラック４０８が形成される。
　クラック４０８が形成されると、切断予定線４０４に作用していた引張応力が解放されるので、ガラス板４０２の切断面４０２ｃ、４０２ｄ同士がＶ字状に開く。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、ガラス板４０２の切断時の変形を支援することができ、大面積のガラス板４０２を切断することができる。
　次いで、針形状の電極５１が切断予定線４０４に沿って相対的に移動され、クラック４０８が切断予定線４０４に沿って伸展する。
　ところで、ガラス板４０２は、元の形状に戻ろうとする復元力を有している。この復元力は、クラック４０８の形成前は、ガラス板４０２の左右両側に作用する重力と均衡を保っているが、クラック４０８の形成後は、均衡が崩れる。
　そのため、クラック４０８が形成された切断箇所では、図８Ｃに示すように、切断箇所の左側のガラス、および、切断箇所の右側のガラスが、それぞれ、平板形状に戻る。加えて、切断箇所の右側のガラスは、支持面４２１ａに吸着されていないので、斜め下方向に移動する。その結果、Ｖ字状に開いた切断面４０２ｃ、４０２ｄ同士が離される。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、切断面４０２ｃ、４０２ｄの角同士が擦れ合うのを防止することができる。
　クラック４０８が切断予定線４０４の終点に到達すると、交流電力の供給が停止される。また、ステージ４２１によるガラス板４０２の吸引が停止され、ステージ４２１からガラス板４０２が取り外される。このようにして、ガラス板４０２を切断することができる。
　［第６の実施形態］
　上記第１の実施形態の切断装置は、ガラス板２を裏面２ｂから吸着支持するステージ２１を有している。
　これに対し、本実施形態の切断装置は、ガラス板を裏面から吸着支持する一対の支持管を有している。
　図９Ａは、第６の実施形態における切断装置による切断の様子を示す上面図である。図９Ｂは、図９ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図、図９Ｃは、図９ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。
　切断装置５１０は、支持ユニット５２０と、クラック形成ユニット２５０を有する。なお、クラック形成ユニット２５０の構成は、第３の実施形態と同様であるので、説明を省略する。
　支持ユニット５２０は、ガラス板表面５０２ａの切断予定線５０４に引張応力が作用するように、ガラス板５０２の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、ガラス板５０２を支持する手段である。
　本実施形態の支持ユニット５２０は、ガラス板５０２を裏面５０２ｂから吸着支持する一対の支持管５２７を有する。各支持管５２７は、切断予定線５０４と平行に延びている。ガラス板５０２は、一対の支持管５２７の上に架け渡され、上に凸に湾曲した状態で一対の支持管５２７により支持される。よって、ガラス板５０２の上端部５０２ｆを曲げ変形することができ、上端部５０２ｆにある切断予定線５０４に引張応力を与えることができる。
　各支持管５２７の外周面５２７ａには、複数の吸着孔５２８が形成されている。各吸着孔５２８は外部の負圧源Ｐと接続されている。負圧源Ｐは真空ポンプなどで構成され、負圧源Ｐが作動すると、一対の支持管５２７が、ガラス板５０２を裏面５０２ｂから吸着支持する。
　一対の支持管５２７は、支持部材５２９を介して連結されており、支持部材５２９の中央部に電極２５２が固定されている。このようにして、電極２５２は、一対の支持管５２７に対して固定されている。
　電極２５２は、帯板状に形成され、切断予定線５０４に沿って延びている。電極２５２は、上面視において、切断予定線５０４の全体に重なっている。
　電極２５２は、ガラス板裏面５０２ｂとの間に僅かな間隙を形成している。電極２５２はアースされてよい。
　次に、上記構成とした切断装置５１０の動作（切断方法）について、再度図９Ａ～図９Ｃを参照して説明する。
　最初に、ガラス板５０２が支持ユニット５２０により支持される。具体的には、先ず、ガラス板５０２が、一対の支持管５２７の上に架け渡され、自然状態で平板形状のガラス板５０２が自重で曲げ変形して、切断予定線５０４に引張応力が作用する。続いて、負圧源Ｐが作動し、ガラス板５０２が、一対の支持管５２７に吸引支持される。
　切断予定線５０４に作用する引張応力は、一対の支持管５２７の間の距離、ガラス板５０２の物性などにて定まり、例えば２５～３００ＭＰａであり、好ましくは３０～５０ＭＰａである。
　次いで、針形状の電極５１が、ガラス板表面５０２ａの切断予定線５０４の始点と対向する位置に移動される。続いて、２つの電極５１、２５２の間に交流電力が供給され、２つの電極５１、２５２の間に配置されるガラス板５０２が局所的に加熱される。その結果、ガラス板５０２の外周から、ガラス板５０２を板厚方向に貫通するクラック５０８が形成される。
　クラック５０８が形成されると、切断予定線５０４に作用していた引張応力が解放されるので、ガラス板５０２の切断面５０２ｃ、５０２ｄ同士がＶ字状に開く。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、ガラス板５０２の切断時の変形を支援することができ、大面積のガラス板５０２を切断することができる。
　次いで、針形状の電極５１が切断予定線５０４に沿って相対的に移動され、クラック５０８が切断予定線５０４に沿って進展する。
　ところで、ガラス板５０２は、元の形状に戻ろうとする復元力を有している。この復元力は、クラック５０８の形成前は、ガラス板５０２の左右両側に作用する重力と均衡を保っているが、クラック５０８の形成後は、均衡が崩れる。
　そのため、クラック５０８が形成された切断箇所では、図９Ｃに示すように、切断箇所の左側のガラス、および、切断箇所の右側のガラスが、それぞれ、平板形状に戻ると共に、重力によって斜め下方向に移動する。その結果、Ｖ字状に開いた切断面５０２ｃ、５０２ｄ同士が離される。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、切断面５０２ｃ、５０２ｄの角同士が擦れ合うのを防止することができる。
　クラック５０８が切断予定線５０４の終点に到達すると、交流電力の供給が停止される。また、一対の支持管５２７によるガラス板５０２の吸引が停止され、一対の支持管５２７からガラス板５０２が取り外される。このようにして、ガラス板５０２を切断することができる。
　［第７の実施形態］
　上記第１の実施形態の切断装置は、ガラス板２を裏面２ｂから吸着支持するステージ２１を有している。
　これに対し、本実施形態の切断装置は、ガラス板の両縁部を固定する一対の固定部材を有している。
　図１０Ａは、第７の実施形態における切断装置による切断の様子を示す下面図である。図１０Ｂは、図１０ＡのＢ－Ｂ線に沿った断面図、図１０Ｃは、図１０ＡのＣ－Ｃ線に沿った断面図である。
　切断装置６１０は、支持ユニット６２０と、クラック形成ユニット２５０を有する。なお、クラック形成ユニット２５０の構成は、第３の実施形態と同様であるので、説明を省略する。
　支持ユニット６２０は、ガラス板下面６０２ａの切断予定線６０４に引張応力が作用するように、ガラス板６０２の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、ガラス板６０２を支持する手段である。
　本実施形態の支持ユニット６２０は、ガラス板６０２の両縁部６０２ｈを固定する一対の固定部材６３１を有する。ガラス板６０２は、下に凸に湾曲した状態で、一対の固定部材６３１により支持される。よって、ガラス板下面６０２ａの下端部にある切断予定線６０４に引張応力を与えることができる。
　一対の固定部材６３１は、支持部材６３２を介して連結されており、支持部材６３２の中央部に電極２５２が固定されている。このようにして、電極２５２は、一対の固定部材６３１に対して固定されている。
　電極２５２は、帯板状に形成され、切断予定線６０４に沿って延びている。電極２５２は、上面視において、切断予定線６０４の全体に重なっている。
　電極２５２は、ガラス板上面６０２ｂとの間に僅かな間隙を形成している。電極２５２はアースされてよい。
　次に、上記構成とした切断装置６１０の動作（切断方法）について、再度図１０Ａ～図１０Ｃを参照して説明する。
　最初に、ガラス板６０２が支持ユニット６２０により支持される。具体的には、一対の固定部材６３１が、ガラス板６０２の両縁部６０２ｈを固定した状態で、ガラス板６０２を下に凸に湾曲した状態で支持する。よって、ガラス板下面６０２ａの下端部にある切断予定線６０４に引張応力を与えることができる。
　切断予定線６０４に作用する引張応力は、一対の固定部材６３１の寸法形状、ガラス板６０２の物性などにて定まり、例えば２５～３００ＭＰａであり、好ましくは３０～５０ＭＰａである。
　次いで、針形状の電極５１が切断予定線６０４の始点と対向する位置に移動される。続いて、２つの電極５１、２５２の間に交流電力が供給され、２つの電極５１、２５２の間に配置されるガラス板６０２が局所的に加熱される。その結果、ガラス板６０２の外周から、ガラス板６０２を板厚方向に貫通するクラック６０８が形成される。
　クラック６０８が形成されると、切断予定線６０４に作用していた引張応力が解放されるので、ガラス板６０２の切断面６０２ｃ、６０２ｄ同士がＶ字状に開く。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、ガラス板６０２の切断時の変形を支援することができ、大面積のガラス板６０２を切断することができる。
　次いで、針形状の電極５１が切断予定線６０４に沿って相対的に移動され、クラック６０８が切断予定線６０４に沿って伸展する。
　ところで、ガラス板６０２は、元の形状に戻ろうとする復元力を有している。この復元力は、クラック６０８の形成前は、ガラス板６０２の左右両側に作用する重力と均衡を保っているが、クラック６０８の形成後は、均衡が崩れる。
　そのため、クラック６０８が形成された切断箇所では、図１０Ｃに示すように、切断箇所の左側のガラス、および、切断箇所の右側のガラスが、それぞれ、平板形状に戻ると共に、重力によって斜め下方向に移動する。その結果、Ｖ字状に開いた切断面６０２ｃ、６０２ｄ同士が離される。従って、本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、切断面６０２ｃ、６０２ｄの角同士が擦れ合うのを防止することができる。
　クラック６０８が切断予定線６０４の終点に到達すると、交流電力の供給が停止され、一対の固定部材６３１からガラス板６０２が取り外される。このようにして、ガラス板６０２を切断することができる。
　以上、本発明の第１～第７の実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱しない範囲で、上記の実施形態に種々の変形や置換を加えることができる。
　例えば、上記のガラス板２～６０２は、自然状態で平板形状に成形されているとしたが、支持ユニットより支持された際に、切断予定線４～６０４に引張応力が作用するように曲げ変形される限り、自然状態で湾曲形状に成形されていてもよい。
　また、上記の電極５１は、回路５３を介して、突起部材２４、１２４または電極２５２と電気的に接続されているとしたが、接続されていなくてもよく、電極２５２がなくてもよい。この場合、電極５１は、回路５３を介してガラス板２～６０２に電気的に接続され、ガラス板２～６０２はアースされてよい。この場合、電極５１に、高周波電源５４から交流電圧、交流電流が供給される。
　また、上記の突起部材１２４、電極２５２は、切断装置１１０～６１０の構造の簡略化のため、帯板形状に形成され、支持ユニット１２０～６２０に対して固定されているとしたが、針形状に形成され、対向配置される針形状の電極５１と共に、支持ユニット１２０～６２０に対して相対的に移動されてもよい。この場合、ガラス板１０２～６０２の加熱領域を狭窄することができ、加熱効率を向上することができる。
　また、上記のクラック形成ユニット５０、１５０、２５０は、ガラス板を局所的に加熱するため、電極５１を有するとしたが、電極５１の代わりに、レーザ光源を有してもよい。レーザ光源としては、ＵＶレーザ（波長：３５５ｎｍ）、グリーンレーザ（波長：５３２ｎｍ）、半導体レーザ（波長：８０８ｎｍ、９４０ｎｍ、９７５ｎｍ）、ファイバーレーザ（波長：１０６０～１１００ｎｍ）、ＹＡＧレーザ（波長：１０６４ｎｍ、２０８０ｎｍ、２９４０ｎｍ）などが挙げられる。レーザ光源の場合、電極２５２は不要である。
　また、上記のクラック形成ユニット５０、１５０、２５０は、ガラス板に温度勾配をつけるため、ガラス板を局所的に冷却する冷却源を有していてもよい。冷却源としては、例えば冷媒を吐出するノズルが用いられる。冷媒としては、冷却空気などのガス、冷水などの液体が用いられる。ガスと液体を組み合わせて用いても良い。
　本出願は、２０１１年３月２８日出願の日本特許出願２０１１－０６９７９４に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
２、１０２、２０２、３０２、４０２、５０２、６０２　　ガラス板（脆性板）
２ａ、１０２ａ、２０２ａ、３０２ａ、４０２ａ、５０２ａ　ガラス板表面
２ｂ、１０２ｂ、２０２ｂ、３０２ｂ、４０２ｂ、５０２ｂ　ガラス板裏面
２ｃ、１０２ｃ、２０２ｃ、３０２ｃ、４０２ｃ、５０２ｃ、６０２ｃ　切断面
２ｄ、１０２ｄ、２０２ｄ、３０２ｄ、４０２ｄ、５０２ｄ、６０２ｄ　切断面
４、１０４、２０４、３０４、４０４、５０４、６０４　　切断予定線
８、１０８、２０８、３０８、４０８、５０８、６０８　　クラック
１０、１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０　切断装置
２０、１２０、２２０、３２０、４２０、５２０、６２０　支持ユニット
２１、１２１、２２１、３２１、４２１　ステージ
２１ａ、１２１ａ、２２１ａ、３２１ａ、４２１ａ　支持面
２３、１２３、２２３、３２３、４２３、５２８　吸着孔
２４、１２４　突起部材
５０、１５０、２５０　クラック形成ユニット
５１　電極
１２５、２２５　押圧部材
２５２　電極
５２７　支持管
６０２ａ　ガラス板下面
６０２ｂ　ガラス板上面
６３１　固定部材

Claims (13)

  1. 　脆性板を支持ユニットにより支持する第１のステップと、前記支持ユニットにより支持される脆性板を局所的に加熱すると共に前記脆性板の加熱領域を移動させることにより、前記脆性板を板厚方向に貫通するクラックを形成すると共に該クラックを伸展させる第２のステップとを有する脆性板の切断方法において、
    　前記第１のステップでは、前記脆性板の表面の切断予定線に引張応力が作用するように、前記脆性板の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、前記脆性板を前記支持ユニットにより支持する脆性板の切断方法。
  2. 　前記第２のステップでは、前記脆性板の切断面同士を離間させる請求項１に記載の脆性板の切断方法。
  3. 　前記支持ユニットは、前記脆性板を裏面から吸着支持するステージと、該ステージの支持面から突出する突起部材とを有し、該突起部材は、前記切断予定線に沿って延びている請求項１に記載の脆性板の切断方法。
  4. 　前記突起部材は、前記ステージの支持面の側縁部から突出しており、
    　前記支持ユニットは、前記脆性板の前記ステージからはみ出す端部を表面側から裏面側に向けて押圧する押圧部材をさらに有する請求項３に記載の脆性板の切断方法。
  5. 　前記ステージの支持面と、前記突起部材と、前記脆性板の裏面とで囲まれる空間は、前記ステージの支持面に形成される吸着孔を介して負圧源に接続されており、
    　前記第２のステップでは、前記負圧源により前記空間に負圧を生じさせて、前記脆性板の切断面同士を離間させる請求項３または４に記載の脆性板の切断方法。
  6. 　前記突起部材は導電性を有し、前記ステージは絶縁性を有しており、
    　前記第２のステップでは、
    　前記突起部材と、前記突起部材に電気的に接続される電極との間に交流電力を供給することにより、前記突起部材と前記電極の間に配置される前記脆性板を局所的に加熱すると共に、
    　前記支持ユニットにより支持される前記脆性板に対し、前記電極を相対的に移動させることにより、前記脆性板の加熱領域を移動させる請求項３～５のいずれか一項に記載の脆性板の切断方法。
  7. 　前記支持ユニットは、前記脆性板を裏面から吸着支持するステージと、前記脆性板の前記ステージからはみ出す端部を表面側から裏面側に向けて押圧する押圧部材とを有する請求項１に記載の脆性板の切断方法。
  8. 　前記支持ユニットは、前記脆性板を裏面から支持するステージを有し、該ステージの支持面は、上に凸の湾曲形状に形成されている請求項１に記載の脆性板の切断方法。
  9. 　前記支持ユニットは、前記脆性板を裏面から吸着支持する一対の支持管を有し、各支持管は、前記脆性板の裏面の切断予定線と平行に延びており、
    　前記脆性板は、前記一対の支持管の上に架け渡され、上に凸に湾曲した状態で前記一対の支持管により支持される請求項１に記載の脆性板の切断方法。
  10. 　前記支持ユニットは、前記脆性板の両縁部を固定する一対の固定部材を有し、
    　前記脆性板は、下に凸に湾曲した状態で、前記一対の固定部材により支持される請求項１に記載の脆性板の切断方法。
  11. 　前記第２のステップでは、前記支持ユニットにより支持される前記脆性板の一部が元の形状に戻ることにより、前記脆性板の切断面同士を離間させる請求項７～１０のいずれか一項に記載の脆性板の切断方法。
  12. 　前記第２のステップでは、
    　前記支持ユニットにより支持される脆性板の両側に配置される２つの電極の間に交流電力を供給することにより、前記２つ電極の間に配置される前記脆性板を局所的に加熱すると共に、
    　前記支持ユニットにより支持される前記脆性板に対し、少なくとも一方の電極を相対的に移動させることにより、前記脆性板の加熱領域を移動させる請求項７～１１のいずれか一項に記載の脆性板の切断方法。
  13. 　脆性板を支持する支持ユニットと、前記支持ユニットにより支持される脆性板を局所的に加熱する共に前記脆性板の加熱領域を移動させることより、前記脆性板を板厚方向に貫通するクラックを形成すると共に該クラックを伸展させるクラック形成ユニットとを有する脆性板の切断装置において、
    　前記支持ユニットは、前記脆性板表面の切断予定線に引張応力が作用するように、前記脆性板の少なくとも一部を曲げ変形させた状態で、前記脆性板を支持する脆性板の切断装置。
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